KR20200024487A - Seat for protecting flexible substrate - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 기판 보호 시트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 플렉시블 기판을 보호하기 위한 기판 보호 시트에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate protective sheet, and more particularly, to a substrate protective sheet for protecting a flexible substrate.
플렉시블 기판은 휘어지는 특성을 가진 기판으로서, 디스플레이장치, 연성회로기판(FPCB) 등에 사용될 수 있다.The flexible substrate is a substrate having a bending property, and may be used for a display device, a flexible circuit board (FPCB), and the like.
LCD, OLED를 이용한 플렉시블 디스플레이장치나 연성회로기판을 제조하는 과정에서, 플렉시블 기판은 가공, 수송 및 검사 등의 제조공정을 거치게 된다.In the process of manufacturing flexible display devices or flexible printed circuit boards using LCDs and OLEDs, the flexible substrate is subjected to manufacturing processes such as processing, transportation and inspection.
이러한 플렉시블 기판 제조과정은 평탄도를 유지하면서 공정을 진행하는 것이 매우 중요하다. 이를 위한 플렉시블 기판의 바람직한 제조공정은 진공척 등에 기판을 얹고 진공압으로 고정하는 것이다.In this flexible substrate manufacturing process, it is very important to proceed with the process while maintaining the flatness. A preferred manufacturing process of the flexible substrate for this purpose is to place the substrate on a vacuum chuck or the like and fix it with vacuum pressure.
이때, 진공척과 플렉시블 기판을 직접 접촉시킬 경우 플렉시블 기판에 물리적인 손상을 초래할 수 있다. 즉, 금속성의 진공척 표면과 플렉시블 기판과의 직접적인 접촉 시, 충격이나 마찰에 의하여 플렉시블 기판에 물리적인 손상이 발생할 수 있다.In this case, the direct contact between the vacuum chuck and the flexible substrate may cause physical damage to the flexible substrate. That is, when the metallic vacuum chuck surface is in direct contact with the flexible substrate, physical damage may occur to the flexible substrate due to impact or friction.
예를 들면, 진공으로 플렉시블 기판을 진공척의 표면에 흡착시킬 때 접촉 충격 때문에 플렉시블 기판이 파손되기도 하고, 흡착되는 도중에 진공척의 표면에서 플렉시블 기판이 미끄러지면서 스크래치가 발생할 수 있다.For example, when the flexible substrate is adsorbed onto the surface of the vacuum chuck by vacuum, the flexible substrate may be damaged due to the contact impact, and scratches may occur as the flexible substrate slides on the surface of the vacuum chuck during the adsorption.
또한, 진공압에 의하여 진공홀의 상단 영역에 위치한 플렉시블 기판의 저면이 진공홀로 빨려 들어가 기판에 변형이 발생할 수도 있다.In addition, the bottom surface of the flexible substrate positioned in the upper region of the vacuum hole may be sucked into the vacuum hole by the vacuum pressure and deformation may occur in the substrate.
이러한 이유로 플렉시블 기판 제조공정 등에서는 기판의 제조, 검사, 이송 등에 기판 보호 시트를 사용하고 있다.For this reason, a board | substrate protective sheet is used for manufacture, inspection, and conveyance of a board | substrate in a flexible substrate manufacturing process.
예를 들면, 기판 보호 시트로서 폴리에틸렌이나 부직포 등의 경질시트가 사용된 바 있으나, 진공척과 경질시트, 경질시트와 플렉시블 기판 사이에 이물질이 존재하면 플렉시블 기판에 스크래치, 파손, 변형 등의 심각한 손상을 초래할 수 있다.For example, a hard sheet such as polyethylene or nonwoven fabric has been used as the substrate protection sheet. However, if foreign matter is present between the vacuum chuck, the hard sheet, the hard sheet, and the flexible substrate, serious damage such as scratches, breakage, deformation, etc. may occur on the flexible substrate. Can cause.
이러한 이물질에 의한 기판 손상을 최소화하기 위해 최근에는 경질시트의 일면에 연질시트를 접합한 기판 보호 시트가 개시되고 있다.In order to minimize damage to the substrate caused by such foreign matter, a substrate protective sheet having a soft sheet bonded to one surface of a hard sheet has recently been disclosed.
연질시트는 플렉시블 기판과 진공척 사이에 이물질이 존재할 경우 완충 역할을 수행하며, 연질시트로는 공기투과성이 좋은 폴리우레탄 재질이 사용될 수 있다.The soft sheet serves as a buffer when foreign matter is present between the flexible substrate and the vacuum chuck. As the soft sheet, a polyurethane material having good air permeability may be used.
그러나 폴리우테탄으로 제조된 연질시트는 자체의 통기성은 좋지만 연질시트의 일부가 늘어져서 진공척의 진공홀을 막게 됨으로써 오히려 기판의 흡착성을 저하시킬 수 있다.However, the soft sheet made of polyurethane has good breathability, but a part of the soft sheet is stretched to block the vacuum hole of the vacuum chuck, thereby decreasing the adsorptivity of the substrate.
본 발명의 실시예는 진공척에 기판이 진공 흡착될 때 흡착성을 향상시킬 수 있는 기판 보호 시트를 제공한다.Embodiment of the present invention provides a substrate protective sheet that can improve the adsorption property when the substrate is vacuum-adsorbed to the vacuum chuck.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.The object of the present invention is not limited to the above, and other objects and advantages of the present invention which are not mentioned may be understood by the following description.
본 발명의 실시예에 의한 기판 보호 시트는, 폴리우레탄을 포함하는 연질시트; 상기 연질시트의 일면에 부착되고, 폴리에틸렌을 포함하는 경질시트;를 포함하며, 상기 연질시트는 복수의 통공을 구비할 수 있다.Substrate protective sheet according to an embodiment of the present invention, the soft sheet comprising a polyurethane; It is attached to one surface of the soft sheet, and includes a hard sheet comprising polyethylene; The soft sheet may include a plurality of through holes.
본 발명의 실시예에서, 상기 연질시트의 개구율은 20~30%일 수 있다. 이때, 상기 통공의 직경은 0.8mm~1.2mm일 수 있고, 상기 통공과 통공 간의 피치는 1.5mm~2.5mm이며, 상기 연질시트 및 경질시트의 두께는 0.1mm~0.3mm일 수 있다.In an embodiment of the present invention, the opening ratio of the soft sheet may be 20 to 30%. In this case, the diameter of the through hole may be 0.8mm ~ 1.2mm, the pitch between the through hole and the hole is 1.5mm ~ 2.5mm, the thickness of the soft sheet and hard sheet may be 0.1mm ~ 0.3mm.
본 발명의 실시예에서, 상기 연질시트는 진공척의 상면에 배치되고, 상기 경질시트는 기판의 저면에 배치될 수 있다.In an embodiment of the present invention, the soft sheet may be disposed on the upper surface of the vacuum chuck, the hard sheet may be disposed on the bottom surface of the substrate.
본 발명의 실시예에 따르면, 연질시트에 복수의 통공을 형성함으로써 연질시트의 개구율을 높일 수 있고, 이로 인해 진공척으로부터 기판에 대한 안정적인 흡착력을 제공할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, by forming a plurality of through holes in the soft sheet, it is possible to increase the opening ratio of the soft sheet, thereby providing a stable adsorption force on the substrate from the vacuum chuck.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The effects of the present invention are not limited to the above-described effects, but should be understood to include all the effects deduced from the configuration of the invention described in the detailed description or claims of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 보호 시트를 도시한 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 보호 시트가 진공척에 안착된 상태를 도시한 단면도이다.
도 3 및 도 4는 각각 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 보호 시트가 진공척에 안착될 때 이물질이 존재하는 경우를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a substrate protective sheet according to an embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view showing a state in which a substrate protective sheet according to an embodiment of the present invention is mounted on a vacuum chuck.
3 and 4 are cross-sectional views illustrating a case in which foreign substances exist when the substrate protective sheet according to the exemplary embodiment of the present invention is seated on the vacuum chuck.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail an embodiment of the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 본 발명의 본질과 관계없는 부분은 그에 대한 상세한 설명을 생략할 수 있으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 부여할 수 있다.In order to clearly describe the present invention, parts irrelevant to the essence of the present invention may be omitted, and the same reference numerals may be assigned to the same or similar elements throughout the specification.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 여기서 사용되는 전문 용어는 단지 특정 실시 예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하도록 의도되지 않으며, 본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 이해되는 개념으로 해석될 수 있다.In addition, when a part is said to "include" a certain component, this means that it may further include other components, except to exclude other components unless otherwise stated. The terminology used herein is for the purpose of describing particular embodiments only and is not intended to be limiting of the invention, unless otherwise defined herein, as understood by one of ordinary skill in the art to which the invention pertains. It can be interpreted as a concept.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 보호 시트를 도시한 것이다.1 illustrates a substrate protective sheet according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참고하면, 일 실시예에 의한 기판 보호 시트는 통기성 연질시트의 일면에 통기성 경질시트가 부착되어 구성된다.Referring to Figure 1, the substrate protective sheet according to an embodiment is configured by attaching a breathable hard sheet on one surface of the breathable soft sheet.
통기성 연질시트(11)는 폴리우레탄 폼을 포함할 수 있다. 폴리우레탄 폼은 오픈 셀(Open cell) 구조이므로 통기성이 우수해 플렉시블 기판을 안전하고 정확하게 진공 흡착시킬 수 있다.The breathable
또한, 폴리우레탄 폼은 외부 요인에 의한 변형이 보다 쉽게 발생하고, 외부 요인이 제거되었을 때 쉽게 원상태로 복원되는 소재이다. 따라서, 외부 변형 요인으로 인하여 플렉시블 기판(30)에 전가될 수 있는 변형을 통기성 연질시트(11) 자체가 흡수하기에 적합하다.In addition, polyurethane foam is a material that is more easily deformed by external factors, and is easily restored to its original state when the external factors are removed. Accordingly, the breathable
즉, 통기성 연질시트(11)는 자체의 변형에 의하여 플렉시블 기판(30)을 진공 흡착시킬 때 발생하는 외부의 변형 요인으로 인한 플렉시블 기판(30)의 변형을 효과적으로 방지 또는 억제할 수 있는 것이다.That is, the breathable
다만, 통기성 연질시트는 진공척의 진공홀을 막을 수 있고, 이로 인해 플렉시블 기판에 대한 진공 흡착이 정상적으로 진행되지 않을 수 있다. 또한, 플렉시블 기판은 그 플렉시블한 재질의 특성에 따라 진공척에 흡착 시 기판 자체가 휘어져 있는 경우가 발생할 수 있다. 이와 같은 경우 흡착력이 약해지고, 흡착력이 약할 경우 기판은 진공척에 안정적으로 흡착되지 못하는 문제가 발생할 수 있다.However, the breathable soft sheet may block the vacuum hole of the vacuum chuck, and thus vacuum adsorption on the flexible substrate may not proceed normally. In addition, the flexible substrate may be bent when the substrate itself is bent on the vacuum chuck depending on the characteristics of the flexible material. In this case, the adsorption force is weak, and when the adsorption force is weak, the substrate may not be stably adsorbed to the vacuum chuck.
따라서, 일 실시예에 의한 통기성 연질시트는 다수의 통공을 갖는다. 즉, 통기성 연질시트의 개구율을 높임으로써 통기성 연질시트가 진공척의 진공홀을 막게 되는 현상을 최소화하고, 결과적으로 플렉시블 기판에 대한 흡착 성능을 향상시킬 수 있다.Therefore, the breathable soft sheet according to the embodiment has a plurality of holes. That is, by increasing the opening ratio of the breathable soft sheet, the phenomenon that the breathable soft sheet blocks the vacuum hole of the vacuum chuck can be minimized, and as a result, the adsorption performance on the flexible substrate can be improved.
통기성 연질시트(11)는 폴리우레탄 폼의 자기 점착력을 이용하여 통기성 경질시트(12)와 접합될 수 있다. 또는, 통기성 접착제를 이용하여 통기성 경질시트(12)와 통기성 연질시트(11)를 접합하여 통기성을 확보할 수도 있다.The breathable
통기성 경질시트(12)는 플렉시블 기판이 진공척에 흡착될 때 충분한 평탄도를 제공해 준다. 통기성 경질시트(12)는 에틸렌의 중합(重合)에 의해 생기는 열가소성(熱可塑性) 플라스틱인 폴리에틸렌 중에서, 저압법(低壓法)이나 중압법에 의해 만들어진 고밀도(경질) 폴리에틸렌을 포함할 수 있다.The breathable
통기성 경질시트로서 폴리에틸렌 대신 부직포가 사용될 수도 있다. 다만, 부직포는 폴리에틸렌에 비해 경제적이지만 표면조도(Surface Roughness) 및 평탄도(Flatness)가 낮기 때문에 흡착력 역시 저하될 수 있다.Non-woven fabric may be used instead of polyethylene as the breathable hard sheet. However, although non-woven fabric is more economical than polyethylene, adsorption power may also be lowered because surface roughness and flatness are low.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 보호 시트가 진공척에 배치된 상태를 도시한 단면도이다.2 is a cross-sectional view showing a state in which a substrate protective sheet according to an embodiment of the present invention is disposed in a vacuum chuck.
도 2를 참고하면, 진공척(20) 상에 기판 보호 시트(10)가 배치되고, 기판 보호 시트(10) 상에 플렉시블 기판(30)이 배치된다.Referring to FIG. 2, the
이와 같이 배치된 상태에서, 진공척(20)의 진공홀(21)을 통해 플렉시블 기판(30)을 진공 흡착시키면 진공홀(21)의 상단부에 위치하는 통기성 연질시트(11)의 저면 부분이 진공홀(21) 측으로 소정량 흡입된다.When the
이때, 통기성 연질시트(11)의 상면에 배치된 통기성 경질시트(12)는 통기성 연질시트(11)의 탄력에 의해 변형이 최소화되고 평탄도를 유지할 수 있으며, 결과적으로 플렉시블 기판(30)의 변형이 최소화될 수 있다.At this time, the breathable
한편, 통기성 연질시트(11)에 복수의 통공(11a)이 형성되어 있으므로, 진공척(20)과 플렉시블 기판(30) 간의 통기성을 충분히 확보할 수 있으며, 이에 따라 플렉시블 기판(30)의 안정적인 진공 흡착이 가능하게 된다.On the other hand, since the plurality of through
아래의 표 1 내지 표 8은 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타낸 데이터이다.Tables 1 to 8 below are data showing examples and comparative examples of the present invention.
실시예 1 내지 5는 기판 보호 시트에 복수의 통공이 형성된 연질시트가 적용된 것이다. 이때, 실시예 1 내지 3은 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.3mm인 경우이며, 실시예 4는 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.1mm인 경우이며, 실시예 5는 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.2mm인 경우이다.In Examples 1 to 5, a soft sheet having a plurality of holes formed therein is applied to the substrate protective sheet. At this time, Examples 1 to 3 is the case where the thickness of the soft sheet is 0.3mm and the thickness of the hard sheet is 0.3mm, Example 4 is the case where the thickness of the soft sheet is 0.3mm and the thickness of the hard sheet is 0.1mm, Example 5 is a case where the thickness of the soft sheet is 0.3mm and the thickness of the hard sheet is 0.2mm.
(inHg)Boardless
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(inHg)Substrate
(inHg)
실시예 1 내지 5를 참고하면, 통기성 연질시트의 개구율은 20~30%일 수 있다. 개구율이 20% 미만인 경우, 기판 보호 시트의 위치에 따라서 통기성을 충분히 확보하지 못함으로써 진공홀 막힘 현상이 발생할 수 있다. 개구율이 30%를 초과할 경우, 통기성 연질시트와 통기성 경질시트 간의 접촉면이 감소하게 되며, 상호 간의 접합력 감소로 인해 진공압에 의해 진공홀 방향으로의 통기성 연질시트의 당김 현상이 발생할 수 있다. 즉, 위치에 따라 당김 현상의 증감에 의하여 압력 변동이 심할 수 있다.Referring to Examples 1 to 5, the opening ratio of the breathable soft sheet may be 20 to 30%. When the opening ratio is less than 20%, the vacuum hole clogging may occur due to insufficient air permeability depending on the position of the substrate protective sheet. When the opening ratio exceeds 30%, the contact surface between the breathable soft sheet and the breathable hard sheet is reduced, and the pulling phenomenon of the breathable soft sheet in the direction of the vacuum hole may occur due to the vacuum pressure due to the decrease in the bonding force between them. That is, the pressure fluctuation may be severe due to the increase or decrease of the pulling phenomenon depending on the position.
개구율을 20~30%로 맞추기 위해, 실시예 1 내지 3은 각각 통공의 직경이 1.0mm, 2.0mm, 3.0mm인 상태에서 통공과 통공 간의 피치를 조절한 것이다. 이를 참고하면, 아래의 설정값을 가질 때 기판 보호 시트의 평탄도 및 흡착 성능을 확보할 수 있다.In order to adjust the opening ratio to 20 to 30%, Examples 1 to 3 adjust the pitch between the hole and the hole in a state where the diameter of the hole is 1.0 mm, 2.0 mm, and 3.0 mm, respectively. Referring to this, it is possible to ensure the flatness and adsorption performance of the substrate protective sheet when having the following setting value.
통공의 직경은 0.8mm~1.2mm일 수 있다. 통공은 레이저나 금형을 이용해서 타공을 하게 되는데, 통공의 직경이 0.8mm 미만인 경우 타공이 어려운 문제가 있다. 통공의 직경이 1.2mm를 초과할 경우, 흡착력 측면에서 안정적이기는 하지만 통공의 직경이 증가하면서 진공 흡착 시 플렉시블 기판의 평판도에 영향을 줄 수 있어 불량이 발생할 수 있다.The diameter of the through hole may be 0.8mm to 1.2mm. The through hole is to be perforated using a laser or a mold, there is a problem that the perforation is difficult when the diameter of the through hole is less than 0.8mm. If the diameter of the through hole exceeds 1.2mm, it is stable in terms of adsorption force, but as the diameter of the through hole increases, it may affect the flatness of the flexible substrate during vacuum adsorption, thereby causing a defect.
통공과 통공 간의 피치는 1.5mm~2.5mm일 수 있다. 피치가 1.5mm 미만일 경우, 통기성 연질시트와 통기성 경질시트 간의 접촉면이 감소하게 되며, 상호 간의 접합력 감소로 인해 진공압에 의해 진공홀 방향으로 통기성 연질시트의 당김 현상이 발생할 수 있다. 즉, 위치에 따라 당김 현상의 증감에 의하여 압력 변동이 심할 수 있다. 피치가 2.5mm를 초과할 경우, 기판 보호 시트의 위치에 따라서 통기성을 충분히 확보하지 못함으로써 진공홀 막힘 현상이 발생할 수 있다.The pitch between the through and the through may be 1.5mm ~ 2.5mm. When the pitch is less than 1.5 mm, the contact surface between the breathable soft sheet and the breathable hard sheet is reduced, and the pulling phenomenon of the breathable soft sheet in the direction of the vacuum hole may be caused by the vacuum pressure due to the decrease in the bonding force between them. That is, the pressure fluctuation may be severe due to the increase or decrease of the pulling phenomenon depending on the position. When the pitch exceeds 2.5 mm, the vacuum hole clogging may occur due to insufficient breathability depending on the position of the substrate protective sheet.
연질시트 및 경질시트의 두께는 공정 특성이나 제조 공정 내부의 이물질 관리치를 고려하여 적절하게 선택될 수 있다. 예컨대, 연질시트 및 경질시트의 두께는 0.05mm~1mm일 수 있다.The thickness of the soft sheet and the hard sheet may be appropriately selected in consideration of process characteristics or foreign matter management values in the manufacturing process. For example, the thickness of the soft sheet and the hard sheet may be 0.05mm ~ 1mm.
다만, 연질시트의 두께는 0.1mm~0.3mm인 경우가 더욱 바람직하다. 연질시트의 두께가 0.1mm 미만일 경우 충분한 완충 효과를 제공하기가 어렵고, 연질시트의 두께가 두꺼울수록 이물질로 인한 손상을 방지 내지 억제하는 데는 효과적이지만, 0.3mm를 초과할 경우 연질시트 자체의 변형이 기판의 변형을 유발할 수 있다.However, the thickness of the flexible sheet is more preferably 0.1mm ~ 0.3mm. If the thickness of the soft sheet is less than 0.1mm, it is difficult to provide sufficient buffering effect. The thicker the thickness of the soft sheet, the more effective it is to prevent or suppress damage caused by foreign substances. It may cause deformation of the substrate.
또한, 경질시트의 두께는 경제성, 흡착성 등을 감안하여 0.1mm~0.3mm가 더욱 바람직하다. 경질시트의 두께가 0.1mm 미만일 경우 제조가 어렵고 플렉시블 기판의 평탄도 유지에 취약하며, 경질시트의 두께가 0.3mm를 초과할 경우 원가부담이 증가하고 통기성이 나빠져서 플렉시블 기판의 흡착력이 문제가 된다.In addition, the thickness of the hard sheet is more preferably 0.1 mm to 0.3 mm in consideration of economical efficiency, adsorptivity, and the like. If the thickness of the rigid sheet is less than 0.1mm, manufacturing is difficult and vulnerable to maintaining the flatness of the flexible substrate, and if the thickness of the rigid sheet exceeds 0.3mm, the cost burden increases and the air permeability worsens, so that the adsorptivity of the flexible substrate becomes a problem.
비교예 1 내지 3은 기판 보호 시트에 통공이 형성되지 않은 연질시트가 적용된 것이다. 이때, 비교예 1은 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.1mm인 경우, 비교예 2는 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.2mm인 경우, 비교예 3은 연질시트의 두께가 0.3mm이고 경질시트의 두께가 0.3mm인 경우이다.In Comparative Examples 1 to 3, a soft sheet having no holes formed thereon was applied to the substrate protective sheet. At this time, Comparative Example 1 is the thickness of the flexible sheet is 0.3mm and the thickness of the rigid sheet is 0.1mm, Comparative Example 2 is the thickness of the flexible sheet is 0.3mm and the thickness of the rigid sheet is 0.2mm, Comparative Example 3 The thickness of the soft sheet is 0.3mm and the thickness of the hard sheet is 0.3mm.
비교예 1 내지 3을 참고하면, 폴리우테탄은 자체의 통기성은 좋지만 통공을 형성하지 않을 경우 연질시트의 일부가 늘어져서 진공척의 진공홀을 막음으로써 오히려 통기성을 악화시킬 수 있다.Referring to Comparative Examples 1 to 3, polybutane may have its own breathability, but if it does not form a hole, a part of the soft sheet may be stretched to block the vacuum hole of the vacuum chuck, which may worsen the breathability.
즉, 통기성 연질시트에 통공을 형성한 실시예 1 내지 5와 비교하여 기판의 유무에 따른 압력차(즉, 이 압력차가 기판의 흡착력임)가 상당히 감소한다. 기판이 정상적일 경우에는 기판 전체적으로 진공척에 안정되게 흡착되므로 문제가 없으나, 플렉시블 기판의 특성상 휘어져 있는 경우 흡착 불량이 발생할 수 있다.That is, compared with Examples 1 to 5 in which the holes are formed in the breathable soft sheet, the pressure difference (that is, the pressure difference is the adsorption force of the substrate) with or without the substrate is considerably reduced. If the substrate is normal, there is no problem since the substrate is stably adsorbed to the vacuum chuck as a whole. However, if the substrate is bent due to the characteristics of the flexible substrate, poor adsorption may occur.
도 3은 진공척(20)에 플렉시블 기판(30)이 진공 흡착되는 동안, 기판 보호 시트에 의하여 이물질로 인한 플렉시블 기판(30)의 변형 및 손상이 방지되는 경우를 예시한 것이다.3 illustrates a case where deformation and damage of the
도 3을 참고하면, 진공척(20)의 상면에 통기성 연질시트(11)가 밀착 배치된 상태에서, 진공척(20)의 상면과 통기성 연질시트(11) 사이에 이물질이 존재하는 경우, 이물질에 의한 변형은 통기성 연질시트(11)에 의해 우선 감소되며, 이에 따라 통기성 경질시트(12) 및 플렉시블 기판(30)에 가해질 수 있는 영향을 방지할 수 있다. 따라서, 통기성 경질시트(12)와 함께 플렉시블 기판(30)이 보호될 수 있다.Referring to FIG. 3, in the state in which the breathable
도 4는 기판 보호 시트의 통기성 연질시트(11)가 진공척(20)의 상면에 맞닿은 상태에서 플렉시블 기판(30)이 진공 흡착될 때 플렉시블 기판(30)과 통기성 경질시트(12) 사이에 이물질(20)이 존재하는 경우에 플렉시블 기판(30)이 보호되는 상황을 예시한 것이다.4 is a foreign matter between the
도 4를 참고하면, 이물질로 인하여 플렉시블 기판(30)과 통기성 경질시트(12) 사이에 공간이 형성될 정도로 통기성 경질시트(12)에 변형이 발생하더라도 그 변형은 통기성 연질시트(11)에 의해 흡수됨으로써 플렉시블 기판(30)의 변형을 최소화한다. 또한, 플렉시블 기판(30)의 저면이 이물질과 직접 접촉할 때 마찰과 충격을 약화 시킴으로써 스크래치와 파손도 최소화될 수 있다.Referring to FIG. 4, even when deformation occurs in the breathable
본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있으므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해해야만 한다.As those skilled in the art to which the present invention pertains may implement the present invention in other specific forms without changing the technical spirit or essential features, the embodiments described above are intended to be illustrative in all respects and are not intended to be limiting. Should be.
본 발명의 범위는 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.The scope of the present invention is shown by the appended claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be construed as being included in the scope of the present invention. .
10; 기판 보호 시트
11; 연질시트
11a; 통공
12; 경질시트10; PCB protection sheet
11; Soft sheet
11a; Through
12; Hard sheet
Claims (6)
폴리우레탄을 포함하는 연질시트;
상기 연질시트의 일면에 부착되고, 폴리에틸렌을 포함하는 경질시트;를 포함하며,
상기 연질시트는 복수의 통공을 구비하는 기판 보호 시트.
A substrate protective sheet disposed between a vacuum chuck and a substrate,
Soft sheet containing polyurethane;
It is attached to one surface of the soft sheet, comprising a hard sheet comprising polyethylene;
The soft sheet is a substrate protective sheet having a plurality of through holes.
상기 연질시트의 개구율은 20~30%인 기판 보호 시트.
The method of claim 1,
The opening ratio of the said soft sheet is a board | substrate protective sheet which is 20 to 30%.
상기 통공의 직경은 0.8mm~1.2mm인 기판 보호 시트.
The method of claim 1,
The through hole is 0.8mm ~ 1.2mm in diameter of the substrate protective sheet.
상기 통공과 통공 간의 피치는 1.5mm~2.5mm인 기판 보호 시트.
The method of claim 1,
The substrate protection sheet is a pitch between the through hole and 1.5mm ~ 2.5mm.
상기 연질시트의 두께는 0.1mm~0.3mm이고, 상기 경질시트의 두께는 0.1mm~0.3mm인 기판 보호 시트.
The method of claim 1,
The thickness of the soft sheet is 0.1mm ~ 0.3mm, the thickness of the hard sheet is 0.1mm ~ 0.3mm substrate protective sheet.
상기 연질시트는 진공척의 상면에 배치되고, 상기 경질시트는 기판의 저면에 배치되는 기판 보호 시트.The method of claim 1,
The soft sheet is disposed on the upper surface of the vacuum chuck, the hard sheet is disposed on the bottom surface of the substrate protective sheet.
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