KR20200023078A - A vertical-cavity surface-emitting laser package - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a vertical-cavity surface-emitting laser package with a new structure. The vertical-cavity surface-emitting laser package comprises: a housing including a seating part having a first pattern; a surface-emitting laser element disposed in the housing; and a diffusion part disposed on the seating part of the housing and having a second pattern having a shape corresponding to the shape of the first pattern.

Description

표면발광레이저 패키지{A VERTICAL-CAVITY SURFACE-EMITTING LASER PACKAGE}Surface-emitting laser package {A VERTICAL-CAVITY SURFACE-EMITTING LASER PACKAGE}

실시예는 표면발광레이저 패키지에 관한 것이다.Embodiments relate to surface emitting laser packages.

GaAs, AlGaAs 등의 화합물을 포함하는 반도체 소자는 넓고 조정이 용이한 밴드 갭 에너지를 이용하여 다양한 파장대역의 광을 방출할 수 있어, 발광 소자, 수광 소자 및 각종 다이오드 등으로 다양하게 사용될 수 있다.A semiconductor device including a compound such as GaAs or AlGaAs may emit light of various wavelength bands by using a wide and easy-to-adjust band gap energy, and thus may be variously used as a light emitting device, a light receiving device, and various diodes.

특히, 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 재질을 이용한 발광 다이오드(Light Emitting Diode)나 레이저 다이오드(Laser Diode)와 같은 발광소자는 박막 성장 기술 및 소자 재료의 개발로 적색, 녹색, 청색 및 자외선 등 다양한 색을 구현할 수 있으며, 형광 재질을 이용하거나 색을 조합함으로써 효율이 좋은 백색 광선의 구현이 가능하며, 형광등, 백열등 등 기존의 광원에 비해 저 소비전력, 반영구적인 수명, 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성의 장점을 가진다.In particular, light emitting devices such as light emitting diodes or laser diodes using group 3-5 or 2-6 compound semiconductor materials have been developed using thin film growth technology and device materials. Various colors such as ultraviolet rays can be realized, and efficient white light can be realized by using fluorescent materials or combining colors.Low power consumption, semi-permanent life, fast response speed, It has the advantages of safety and environmental friendliness.

뿐만 아니라, 광검출기나 태양 전지와 같은 수광 소자는 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 재질을 이용하여 제작하는 경우 소자 재료의 개발로 다양한 파장대역의 빛을 흡수하여 광 전류를 생성함으로써 감마선부터 라디오 파장대역에 이르는 다양한 파장대역의 빛을 수광할 수 있다. 또한 반도체 소자는 빠른 응답속도, 안전성, 환경 친화성 및 소자 재료의 용이한 조절의 장점을 가져 전력 제어 또는 초고주파 회로나 통신용 모듈에도 용이하게 채택될 수 있다.In addition, when a light receiving device such as a photodetector or a solar cell is manufactured by using a group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor material, the development of device materials absorbs light in various wavelength bands, thereby generating a photocurrent. It can receive light in various wavelength bands, ranging from radio wavelength bands. In addition, semiconductor devices have the advantages of fast response speed, safety, environmental friendliness, and easy control of device materials, so that they can be easily adopted in power control or microwave circuits or communication modules.

따라서, 반도체 소자는 광 통신 시스템의 송수신 모듈, 액정표시장치LCD(Liquid Crystal Display)의 백라이트를 구성하는 냉음극관(CCFL: Cold Cathode Fluorescence Lamp)을 대체하는 발광 유닛, 형광등이나 백열 전구를 대체할 수 있는 백색 발광 다이오드와 같은 조명 장치, 자동차의 헤드 라이트, 신호등 또는 Gas나 화재를 감지하는 센서 등에까지 응용이 확대되고 있다.Therefore, the semiconductor device may replace a transmission / reception module of an optical communication system, a light emitting unit that replaces a cold cathode fluorescent lamp (CCFL) constituting a backlight of a liquid crystal display (LCD), a fluorescent lamp, or an incandescent bulb. Applications are expanding to lighting devices such as white light emitting diodes, automotive headlights, traffic lights or sensors to detect gas or fire.

또한, 반도체 소자는 고주파 응용 회로나 기타 전력 제어 장치, 통신용 모듈에까지 응용이 확대될 수 있다. 예를 들어, 반도체 소자로서 표면발광 레이저(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser: VCSEL) 소자가 있다. 표면발광레이저 소자는 광 통신, 광병렬 처리, 광연결 등에 사용되고 있다. 한편, 이러한 통신용 모듈에서 사용되는 레이저 다이오드의 경우, 저전류에서 작동하기 용이하도록 설계되어 있다. In addition, the semiconductor device may be extended to high frequency application circuits, other power control devices, and communication modules. For example, there is a surface-emitting laser (VCSEL) device as a semiconductor device. Surface emitting laser devices are used in optical communication, optical parallel processing, optical connection, and the like. On the other hand, the laser diode used in such a communication module is designed to be easy to operate at a low current.

표면발광레이저 소자는 통신용과 센서용으로 개발되고 있다. 통신용 표면발광레이저 소자는 광통신 시스템에 적용된다. Surface-emitting laser devices are being developed for communication and sensors. The surface emitting laser device for communication is applied to an optical communication system.

센서용 표면발광레이저 소자는 사함의 얼굴을 인지하는 3D 센싱 카메라에 적용된다. 예를 들어, 3D 센싱 카메라는 객체의 심도 정보(Depth Information)를 포착할 수 있는 카메라로서, 최근 증강현실과 맞물려 각광을 받고 있다. The surface emitting laser element for the sensor is applied to a 3D sensing camera that detects a person's face. For example, a 3D sensing camera is a camera capable of capturing depth information of an object, and has recently been in the spotlight in conjunction with augmented reality.

표면발광레이저 소자가 포함된 표면발광레이저 패키지로 제품화될 수 있다.It can be commercialized into a surface emitting laser package containing a surface emitting laser element.

종래의 표면발광레이저 패키지에서, 표면발광레이저 소자의 레이저빔을 확산시키기 위해 표면발광레이저 소자 위에 확산부가 배치되고, 확산부는 접착 부재에 의해 고정된다. In a conventional surface emitting laser package, a diffusion portion is disposed on the surface emitting laser element to diffuse the laser beam of the surface emitting laser element, and the diffusion portion is fixed by the adhesive member.

하지만, 확산부가 접착 부재에 의해 고정되더라도, 충격에 의해 확산부가 탈착되는 문제가 발생된다. 이와 같이 확산부가 탈착되는 경우, 확산부 아래에 배치된 표면발광레이저 소자에서 방출된 레이저빔이 그대로 노출되게 된다. 표면발광레이저 패키지가 안면 인식 분야에 적용되는 경우, 확산부의 탈착에 의해 노출된 레이저빔이 사용자의 눈에 전달되어 실명될 위험이 있다.However, even if the diffusion part is fixed by the adhesive member, a problem arises in which the diffusion part is detached by an impact. When the diffusion is detached as described above, the laser beam emitted from the surface emitting laser device disposed below the diffusion is exposed as it is. When the surface emitting laser package is applied to the face recognition field, there is a risk that the laser beam exposed by the detachment of the diffuser is transmitted to the eyes of the user and blinded.

실시예는 전술한 문제 및 다른 문제를 해결하는 것을 목적으로 한다.The embodiment aims to solve the above and other problems.

실시예의 다른 목적은 새로운 구조를 갖는 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package having a new structure.

실시예의 또 다른 목적은 확산부의 고정성을 강화한 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package with enhanced fixing of the diffusion portion.

실시예의 또 다른 목적은 고출력의 빛을 제공하고 내부로 습기가 침투되는 것을 방지할 수 있는 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Yet another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package that can provide high power light and prevent moisture from penetrating therein.

실시예의 또 다른 목적은 방열 성능을 향상시킬 수 있는 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package that can improve the heat dissipation performance.

실시예의 또 다른 목적은 표면발광레이저 소자의 고정성을 강화한 표면발광레이저 패키지를 제공한다.It is still another object of the embodiment to provide a surface emitting laser package having enhanced fixability of the surface emitting laser device.

실시예의 또 다른 목적은 전기적인 연결에 대한 신뢰성을 확보할 수 있는 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package that can ensure the reliability of the electrical connection.

실시예의 또 다른 목적은 확산부의 표면 손상을 방지할 수 있는 표면발광레이저 패키지를 제공한다.Yet another object of the embodiment is to provide a surface emitting laser package capable of preventing surface damage of the diffuser.

상기 또는 다른 목적을 달성하기 위해 실시예의 일 측면에 따르면, 표면발광레이저 패키지는, 제1 패턴을 갖는 안착부를 포함하는 하우징; 상기 하우징에 배치되는 표면발광레이저 소자; 및 상기 하우징의 상기 안착부에 배치되며, 상기 제1 패턴의 형상에 대응되는 형상인 제2 패턴을 갖는 확산부;를 포함한다.According to an aspect of an embodiment to achieve the above or another object, the surface emitting laser package, the housing comprising a seating portion having a first pattern; A surface emitting laser device disposed in the housing; And a diffusion part disposed on the seating part of the housing and having a second pattern having a shape corresponding to the shape of the first pattern.

실시예에 따른 표면발광레이저 패키지의 효과에 대해 설명하면 다음과 같다.Referring to the effect of the surface-emitting laser package according to the embodiment as follows.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 표면발광레이저 소자가 접착부에 매립되어 접착부에 의해 표면발광레이저 소자가 단단하게 고정되어 표면발광레이저 소자의 탈착을 방지할 수 있다 는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the surface emitting laser device is embedded in the adhesive portion, and the surface emitting laser device is firmly fixed by the adhesive portion to prevent detachment of the surface emitting laser device.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 와이어가 접착부에 매립되어 접착부에 의해 와이어가 단단하게 고정되어 충격으로 인한 와이어의 단선을 방지할 수 있다 는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the wire is embedded in the adhesive portion has the advantage that the wire is firmly fixed by the adhesive portion can prevent the disconnection of the wire due to the impact.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 산소나 수분이 외부로부터 하우징을 통해 하우징 내로 투습되더라도, 접착부에 의해 차단되어 표면발광레이저 소자이 산소나 수분에 노출되지 않도록 할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, even if oxygen or moisture is permeated into the housing through the housing from the outside, there is an advantage that it is blocked by the adhesive portion to prevent the surface emitting laser device from being exposed to oxygen or moisture.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 접착부의 제1 패턴 위에 확산부를 형성하기 위한 재질만 형성하여 주면, 자연적으로 확산부의 하면에 제2 패턴 형성되므로, 확산부의 제2 패턴을 별도로 형성할 필요 없어 공정이 단순하고 공정 시간을 줄 일 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, if only the material for forming the diffusion portion is formed on the first pattern of the adhesive portion, since the second pattern is naturally formed on the lower surface of the diffusion portion, the second pattern of the diffusion portion need not be formed separately. This has the advantage of being simple and reducing process time.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 종래와 같이 확산부를 부착하기 위한 별도의 접착 공정이 필요 없으며, 또한 미리 별도로 확산부를 만들어 놓을 필요가 없고, 하우징 내에 직접 제2 패턴을 포함하는 확산부가 형성되므로, 확산부를 부착하기 위한 별도의 접착 공정을 수행할 때 발생될 수 있는 확산부의 스크래치가 발생되지 않아 목표 발산각 설계가 용이하다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, there is no need for a separate bonding process for attaching the diffusion as in the prior art, and there is no need to make the diffusion in advance separately, so that the diffusion including the second pattern directly in the housing is formed. There is an advantage in that the design of the target divergence angle is not easy because the scratch of the diffuser is not generated when a separate bonding process for attaching the diffuser is performed.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 표면발광레이저 소자의 상면과 확산부의 하면 사이의 거리는 표면발광레이저 소자의 상면과 하우징의 바닥면 사이의 거리보다 작도록 하여, 표면발광레이저 소자로부터 방출된 레이저빔이 최단 거리로 확산부로 진입되도록 하여 발산각을 최소화할 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the distance between the upper surface of the surface emitting laser element and the lower surface of the diffuser is smaller than the distance between the upper surface of the surface emitting laser element and the bottom surface of the housing, so that the laser beam emitted from the surface emitting laser element The shortest distance to enter the diffusion portion has the advantage that the divergence angle can be minimized.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 하우징의 안착부와 확산부가 나사산을 이용하여 끼움 체결되어, 확산부가 안착부에 단단하게 고정되므로, 확산부의 이탈이 방지되어 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the mounting portion and the diffusion portion of the housing is fastened using a screw thread, so that the diffusion portion is securely fixed to the mounting portion, the separation of the diffusion portion can be prevented to improve the reliability of the product There is this.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 안착부에 확산부에 체결될 때 회전된 방향에 반대 방향으로 회전되어 확산부가 안착부)로부터 용이하게 분리될 수 있어, 확산부의 불량 등이 발생되는 경우 확산부의 교체가 용이하다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, when the fastening portion is fastened to the mounting portion, it is rotated in a direction opposite to the rotational direction so that the diffusion portion can be easily separated from the mounting portion, so that if the diffusion portion defects, etc. occurs It is easy to replace.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 하우징의 안착부의 제1 패턴과 확산부의 제2 패턴 사이에 배치된 접착부재에 의해 하우징의 안착부의 제1 패턴과 확산부의 제2 패턴이 더욱 더 단단하게 체결되어, 확산부의 탈착이 원천적으로 차단될 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the first pattern of the seating portion of the housing and the second pattern of the diffusion portion are fastened more tightly by an adhesive member disposed between the first pattern of the seating portion of the housing and the second pattern of the diffusion portion. Therefore, there is an advantage that the desorption of the diffusion part can be blocked at the source.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 확산부의 직경을 하우징의 안착부의 직경보다 작게 하여, 확산부의 외측면과 하우징의 안착부의 내측면 사이에 일정 갭이 형성되도록 하고 이러한 갭에 접착부재가 배치될 수 있다. 이에 따라, 확산부가 하우징의 안착부에 보다 용이하게 끼움 체결될 뿐만 아니라 하우징의 안착부의 제1 패턴과 확산부의 제2 패턴 사이의 끼움 체결뿐만 아니라 접착부재에 의한 확산부와 하우징의 안착부의 접착에 의해 확산부의 탈착이 원천적으로 차단되어 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the diameter of the diffuser is made smaller than the diameter of the seating portion of the housing, such that a gap is formed between the outer face of the diffuser and the inner face of the seating portion of the housing and an adhesive member can be arranged in this gap. have. Accordingly, not only the diffusion part is more easily fitted into the seating part of the housing but also the fitting fastening between the first pattern of the seating part of the housing and the second pattern of the diffusion part, as well as the adhesion of the diffusion part to the seating part of the housing by the adhesive member. There is an advantage that the desorption of the diffusion portion is blocked by the source can be improved reliability of the product.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 확산부의 측면과 하우징의 안착부의 측면이 나사산으로 끼움 체결되는 한편, 확산부의 하면과 하우징의 안착부의 바닥면 사이에 접착부재가 배치됨으로써, 확산부의 탈착이 원천적으로 차단되어 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, the side of the diffusion portion and the side of the seating portion of the housing are screwed together, while an adhesive member is disposed between the bottom surface of the diffusion portion and the bottom surface of the seating portion of the housing, whereby the detachment of the diffusion portion is essentially There is an advantage that can be blocked to improve the reliability of the product.

실시예들 중 적어도 하나에 의하면, 확산부의 상면은 하우징의 상면보다 낮게 위치되므로, 하우징의 상면에 의해 확산부의 상면이 보호되어 하우징의 상면에 생길 수 있는 스크래치와 같은 불량이 차단될 수 있다는 장점이 있다.According to at least one of the embodiments, since the upper surface of the diffusion portion is located lower than the upper surface of the housing, the upper surface of the diffusion is protected by the upper surface of the housing has the advantage that the defects such as scratches that may occur on the upper surface of the housing can be blocked. have.

실시예의 적용 가능성의 추가적인 범위는 이하의 상세한 설명으로부터 명백해질 것이다. 그러나 실시예의 사상 및 범위 내에서 다양한 변경 및 수정은 당업자에게 명확하게 이해될 수 있으므로, 상세한 설명 및 바람직한 실시예와 같은 특정 실시예는 단지 예시로 주어진 것으로 이해되어야 한다. Further scope of the applicability of the embodiments will become apparent from the detailed description below. However, various changes and modifications within the spirit and scope of the embodiments can be clearly understood by those skilled in the art, and therefore, specific embodiments, such as the detailed description and the preferred embodiments, are to be understood as given by way of example only.

도 1은 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.
도 2는 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 평면도이다.
도 3는 도 2에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 일 영역(C1)의 확대도이다.
도 4a는 도 3에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 A1-A2 선을 따른 제1 단면도이다.
도 4b는 도 3에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 A3-A4 선을 따른 제2 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지의 제조 공정을 설명하는 도면이다.
도 8은 제2 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.
도 9은 제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 평면도이다.
도 10는 도 1의 표면발광레이저 패키지에서 K-K'라인을 따라 절단한 단면도이다.
도 11은 제3 실시예에 따른 하우징을 도시한 단면도이다.
도 12는 제3 실시예에 따른 확산부를 도시한 사시도이다.
도 13는 제3 실시예에 따른 확산부를 도시한 단면도이다.
도 14은 제4 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.
도 15은 제5 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.
도 16은 제6 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.
도 17은 실시예에 따른 표면발광 레이저소자의 다른 단면도이다.
도 18는 실시예에 따른 표면발광레이저 소자가 적용된 이동 단말기의 사시도이다.
1 is a cross-sectional view illustrating a surface light emitting laser package according to a first embodiment.
2 is a plan view of the surface-emitting laser device according to the first embodiment.
3 is an enlarged view of one region C1 of the surface emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. 2.
4A is a first cross-sectional view taken along line A1-A2 of the surface emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. 3.
4B is a second cross-sectional view taken along line A3-A4 of the surface emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. 3.
5 to 7 are views illustrating a manufacturing process of the surface emitting laser package according to the first embodiment.
8 is a cross-sectional view illustrating a surface emitting laser package according to a second embodiment.
9 is a plan view illustrating a surface emitting laser package according to a third embodiment.
10 is a cross-sectional view taken along the line K-K 'of the surface emitting laser package of FIG.
11 is a sectional view showing a housing according to the third embodiment.
12 is a perspective view illustrating a diffusion unit according to a third embodiment.
13 is a sectional view showing a diffusion unit according to a third embodiment.
14 is a cross-sectional view showing a surface emitting laser package according to the fourth embodiment.
15 is a cross-sectional view of a surface emitting laser package according to a fifth embodiment.
16 is a cross-sectional view illustrating a surface emitting laser package according to a sixth embodiment.
17 is another cross-sectional view of the surface emitting laser device according to the embodiment.
18 is a perspective view of a mobile terminal to which a surface emitting laser device is applied according to an embodiment.

이하 상기의 과제를 해결하기 위한 구체적으로 실현할 수 있는 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.DETAILED DESCRIPTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

실시예의 설명에 있어서, 각 element의 " 상(위) 또는 하(아래)(on or under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, 상(위) 또는 하(아래)(on or under)는 두 개의 element가 서로 직접(directly)접촉되거나 하나 이상의 다른 element가 두 element사이에 배치되어(indirectly) 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 "상(위) 또는 하(아래)(on or under)"으로 표현되는 경우 하나의 element를 기준으로 위쪽 방향뿐만 아니라 아래쪽 방향의 의미도 포함할 수 있다.In the description of the embodiments, when described as being formed on the "on or under" of each element, the on or under is It includes both the two elements are in direct contact with each other (directly) or one or more other elements are formed indirectly between the two (element). In addition, when expressed as "on" or "under", it may include the meaning of the downward direction as well as the upward direction based on one element.

(제1 실시예)(First embodiment)

도 1은 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view illustrating a surface light emitting laser package 100 according to a first embodiment.

도 1을 참조하면, 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 하우징(110)을 제공할 수 있다. Referring to FIG. 1, the surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide a housing 110.

하우징(110)은 그 하우징(110) 상에 배치되는 모든 구성 요소를 지지할 수 있다. 예컨대, 하우징(110)은 그 위에 배치되는 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)를 지지할 수 있다. 하우징(110), 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)은 패키징 공정에 의해 모듈화된 모듈일 수 있다. 이와 같은 모듈이 하나 또는 복수로 회로기판(미도시) 상에 실장될 수 있다.The housing 110 can support all the components disposed on the housing 110. For example, the housing 110 may support the surface emitting laser device 201 and the diffuser 140 disposed thereon. The housing 110, the surface emitting laser device 201, and the diffuser 140 may be modules modularized by a packaging process. One or more such modules may be mounted on a circuit board (not shown).

실시예의 하우징(110)은 지지 강도, 방열성, 절연성 등이 우수한 재질을 포함할 수 있다. The housing 110 of the embodiment may include a material having excellent support strength, heat dissipation, insulation, and the like.

하우징(110)은 열 전도율이 높은 재질을 포함할 수 있다. 하우징(110)은 표면발광레이저 소자(201)에서 발생된 열을 외부로 효율적으로 방출할 수 있도록 방열 특성이 좋은 재질로 제공될 수 있다. 하우징(110)은 절연 재질을 포함할 수 있다. The housing 110 may include a material having high thermal conductivity. The housing 110 may be made of a material having good heat dissipation characteristics so as to efficiently discharge heat generated from the surface emitting laser device 201 to the outside. The housing 110 may include an insulating material.

예컨대, 하우징(110)은 세라믹 소재를 포함할 수 있다. 하우징(110)은 동시 소성되는 저온 소성 세라믹(LTCC: low temperature co-fired ceramic) 또는 고온 소성 세라믹(HTCC: high temperature co-fired ceramic)을 포함할 수 있다. For example, the housing 110 may include a ceramic material. The housing 110 may include a low temperature co-fired ceramic (LTCC) or a high temperature co-fired ceramic (HTCC) that is co-fired.

또한, 하우징(110)은 금속 화합물을 포함할 수 있다. 하우징(110)은 열 전도도가 140 W/mK 이상인 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예컨대, 하우징(110)은 질화 알루미늄(AlN) 또는 알루미나(Al2O3)를 포함할 수 있다.In addition, the housing 110 may include a metal compound. The housing 110 may include a metal oxide having a thermal conductivity of 140 W / mK or more. For example, the housing 110 may include aluminum nitride (AlN) or alumina (Al 2 O 3).

하우징(110)은 다른 예로서, 수지 계열의 절연 재질을 포함할 수 있다. 하우징(110)은, 실리콘 수지, 에폭시 수지, 플라스틱 재질을 포함하는 열 경화성 수지, 또는 고내열성 재질로 제공될 수 있다. As another example, the housing 110 may include a resin-based insulating material. The housing 110 may be provided of a silicone resin, an epoxy resin, a thermosetting resin including a plastic material, or a high heat resistant material.

하우징(110)은 도전성 재질을 포함할 수도 있다. 하우징(110)이 도전성 재질, 예컨대 금속으로 제공되는 경우, 하우징(110)과 표면발광레이저 소자(201) 사이 또는 하우징(110)과 전극(181 내지 186) 사이에 전기적인 절연을 위한 절연 부재가 제공될 수 있다.The housing 110 may include a conductive material. When the housing 110 is made of a conductive material such as metal, an insulating member for electrical insulation is provided between the housing 110 and the surface emitting laser element 201 or between the housing 110 and the electrodes 181 to 186. Can be provided.

제1 실시예의 하우징(110)은 제1 바디(110a)와 제2 바디(110b)를 포함할 수 있다. 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a) 상에 배치될 수 있다. The housing 110 of the first embodiment may include a first body 110a and a second body 110b. The second body 110b may be disposed on the first body 110a.

제1 및 제2 바디(110a, 110b)는 동일 재질로 이루어지고 일체로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 및 제2 바디(110a, 110b)는 성형 가공에 의한 일괄 공정에 의해 형성될 수 있다. The first and second bodies 110a and 110b may be made of the same material and integrally formed. For example, the first and second bodies 110a and 110b may be formed by a batch process by molding.

제1 및 제2 바디(110a, 110b)는 서로 상이한 재질로 형성되고 별개의 공정에 의해 형성될 수 있다. 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a)와 상이한 재질로 이루어지며 별개의 공정에 의해 형성될 수 있다. 이러한 경우, 제2 바디(110b)의 하면과 제1 바디(110a)의 상면이 접착 부재(미도시)에 의해 서로 접착될 수 있다. 예로서, 접착 부재는 유기물을 포함할 수 있다. 예컨대, 접착 부재는 에폭시 계열의 수지를 포함할 수 있다. 예컨대, 접착 부재는 실리콘계 수지를 포함할 수 있다.The first and second bodies 110a and 110b may be formed of different materials and formed by separate processes. The second body 110b is made of a different material from the first body 110a and may be formed by a separate process. In this case, the bottom surface of the second body 110b and the top surface of the first body 110a may be adhered to each other by an adhesive member (not shown). As an example, the adhesive member may include an organic material. For example, the adhesive member may include an epoxy resin. For example, the adhesive member may include a silicone resin.

제1 바디(110a)의 상면은 제1 영역과 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함할 수 있다. An upper surface of the first body 110a may include a first area and a second area surrounding the first area.

제2 바디(110b)는 내부에 개구를 갖고 제1 바디(110a)의 가장자리로부터 수직으로 돌출 형성될 수 있다. 즉, 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a)의 상면의 제1 영역에 대응되는 개구를 가질 수 있다. 이러한 경우, 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a)의 상면의 제2 영역 상에 배치될 수 있다. 제1 바디(110a)의 상면의 제1 영역과 제2 바디(110b)의 개구에 의해 캐비티(111)가 정의될 수 있다. 캐비티(111)는 하우징(110)에 구비될 수 있다. 캐비티(111)에 의해 노출되는 제1 바디(110a)의 상면의 제1 영역은 바닥면(113)일 수 있다. The second body 110b may have an opening therein and protrude vertically from an edge of the first body 110a. That is, the second body 110b may have an opening corresponding to the first region of the upper surface of the first body 110a. In this case, the second body 110b may be disposed on the second area of the upper surface of the first body 110a. The cavity 111 may be defined by the first region of the upper surface of the first body 110a and the opening of the second body 110b. The cavity 111 may be provided in the housing 110. The first region of the top surface of the first body 110a exposed by the cavity 111 may be the bottom surface 113.

제2 바디(110b)는 개구 또는 캐비티(111)와 접하는 측면(115)을 가질 수 있다. 캐비티(111)는 바닥면(113)과 측면(115)에 의해 형성될 수 있다. 측면(115)은 제1 바디(110a)의 바닥면(113)에 대해 수직인 면을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The second body 110b may have a side surface 115 that contacts the opening or the cavity 111. The cavity 111 may be formed by the bottom surface 113 and the side surface 115. The side surface 115 may have a surface perpendicular to the bottom surface 113 of the first body 110a, but is not limited thereto.

제1 실시예의 하우징(110)은 서로 이격된 제1 및 제2 비아홀(미도시)을 포함할 수 있다. 구체적으로, 하우징(110)의 제1 바디(110a)는 수직으로 관통되는 제1 및 제2 비아홀을 포함할 수 있다. 나중에 설명하겠지만, 제1 및 제2 비아홀에 제1 및 제2 연결배선(185, 186)이 배치될 수 있다. The housing 110 of the first embodiment may include first and second via holes (not shown) spaced apart from each other. In detail, the first body 110a of the housing 110 may include first and second via holes vertically penetrating through the housing 110. As will be described later, the first and second connection wires 185 and 186 may be disposed in the first and second via holes.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)를 포함할 수 있다. The surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may include a first electrode portion 181 and a second electrode portion 182.

제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 하우징(110)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 제1 바디(110a)의 바닥면(113) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 전기적인 절연을 위해 서로 이격될 수 있다. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be disposed in the housing 110. In detail, the first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be disposed on the bottom surface 113 of the first body 110a. The first electrode portion 181 and the second electrode portion 182 may be spaced apart from each other for electrical insulation.

제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 제1 바디(110a)의 바닥면(113)의 형상과 동일한 형상을 가질 수 있다. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may have the same shape as that of the bottom surface 113 of the first body 110a.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 표면발광레이저 소자(201)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide the surface emitting laser device 201.

표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181) 상에 배치될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)의 하측은 제1 전극부(181)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 제1 전극부(181)는 표면발광레이저 소자(201)의 제1 전극(도 4a의 215)과 전기적으로 연결될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181)의 일부 영역 상에 배치될 수 있다. 제1 전극부(181)의 사이즈는 표면발광레이저 소자(201)의 사이즈보다 클 수 있다. 예컨대, 표면발광레이저 소자(201)는 위에서 보았을 때 정사각형을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 표면발광레이저 소자(201)의 가로폭과 세로폭은 서로 동일할 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)의 사이즈를 고려하여, 제1 전극부(181)의 사이즈는 제2 전극부(182)의 사이즈보다 클 수 있다.The surface emitting laser device 201 may be disposed on the first electrode part 181. The lower side of the surface emitting laser device 201 may be electrically connected to the first electrode unit 181. For example, the first electrode unit 181 may be electrically connected to the first electrode 215 of FIG. 4A of the surface light emitting laser device 201. The surface emitting laser device 201 may be disposed on a portion of the first electrode part 181. The size of the first electrode unit 181 may be larger than that of the surface emitting laser device 201. For example, the surface emitting laser device 201 may have a square when viewed from above, but is not limited thereto. The width and height of the surface emitting laser device 201 may be the same. In consideration of the size of the surface emitting laser device 201, the size of the first electrode part 181 may be larger than that of the second electrode part 182.

표면발광레이저 소자(201)는 각각 레이저빔을 방출하는 복수의 에미터(도 3의 E1, E2, E3)를 포함하는 발광부(E)와 제2 전극부(182)에 전기적으로 연결되기 위한 패드전극(280)이 배치되는 패드부(P)를 포함할 수 있다. The surface emitting laser device 201 is electrically connected to the light emitting unit E and the second electrode unit 182 including a plurality of emitters (E1, E2, and E3 in FIG. 3) that emit laser beams, respectively. The pad electrode 280 may include a pad part P disposed thereon.

표면발광레이저 소자(201)는 제2 전극부(182)와 인접하여 배치될 수 있다. 구체적으로, 표면발광레이저 소자(201)의 패드부(P)는 제2 전극부(182)와 인접하여 배치될 수 있다. The surface emitting laser device 201 may be disposed adjacent to the second electrode unit 182. In detail, the pad part P of the surface emitting laser device 201 may be disposed adjacent to the second electrode part 182.

도 2 내지 도 4b를 참조하여, 표면발광레이저 소자(201)를 상세히 설명한다. 2 to 4B, the surface emitting laser device 201 will be described in detail.

도 2는 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 평면도이고, 도 3는 도 2에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 일 영역(C1)의 확대도이다. 도 4a는 도 3에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 A1-A2 선을 따른 제1 단면도이고, 도 4b는 도 3에 도시된 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 A3-A4 선을 따른 제2 단면도이다.FIG. 2 is a plan view of the surface light emitting laser device according to the first embodiment, and FIG. 3 is an enlarged view of one region C1 of the surface light emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. 4A is a first cross-sectional view taken along line A1-A2 of the surface emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. 3, and FIG. 4B is A3 of the surface emitting laser device according to the first embodiment shown in FIG. Second section along the line A4.

도 2 내지 도 4b를 참조하면, 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 발광부(E)와 패드부(P)를 포함할 수 있다. 발광부(E)는 도 3와 같이 복수의 발광 에미터(E1, E2, E3)를 포함하는 영역으로서 레이저빔이 방출되는 영역일 수 있다. 예컨대, 발광부(E)는 수십에서 수백개의 발광 에미터를 포함할 수 있다. 패드부(P)는 발광 에미터(E1, E2, E3)에 배치되지 않는 영역일 수 있다. 2 to 4B, the surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may include a light emitting part E and a pad part P. FIG. As illustrated in FIG. 3, the light emitting unit E may be a region including a plurality of light emitting emitters E1, E2, and E3, and may emit a laser beam. For example, the light emitting unit E may include tens to hundreds of light emitting emitters. The pad part P may be a region that is not disposed in the light emitting emitters E1, E2, and E3.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제2 전극(282)을 포함할 수 있다. 즉, 각 발광 에미터(E1, E2, E3)에서 제2 전극(282)은 개구부(aperture, 241)에 대응되는 영역을 제외한 나머지 영역에 배치될 수 있다. 예컨대, 제2 전극(282)은 제2 반사층(250)의 제2 영역에 배치될 수 있다. 제2 반사층(250)의 제1 영역은 제2 영역에 의해 둘러싸이고, 개구부(241)의 사이즈와 동일하거나 이보다 클 수 있다. 따라서, 발광층(230)에서 생성된 빔이 개구부(241)을 통과하여 제2 전극(282)에 의해 정의된 개구부를 통해 외부로 방출될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may include a second electrode 282. That is, in each of the light emitting emitters E1, E2, and E3, the second electrode 282 may be disposed in the remaining regions except for the region corresponding to the aperture 241. For example, the second electrode 282 may be disposed in the second region of the second reflective layer 250. The first region of the second reflective layer 250 is surrounded by the second region and may be equal to or larger than the size of the opening 241. Therefore, the beam generated in the emission layer 230 may pass through the opening 241 and be emitted to the outside through the opening defined by the second electrode 282.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극(215), 기판(210), 제1 반사층(220), 발광층(230), 산화층(240), 제2 반사층(250), 패시베이션층(270), 제2 전극(282) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment includes a first electrode 215, a substrate 210, a first reflective layer 220, a light emitting layer 230, an oxide layer 240, a second reflective layer 250, One or more of the passivation layer 270 and the second electrode 282 may be included.

산화층(240)은 개구부(241) 및 절연영역(242)을 포함할 수 있다. 개구부(241)은 전류가 흐르는 통로영역일 수 있다. 절연영역(242)은 전류의 흐름을 차단하는 차단영역일 수 있다. 절연영역(242)는 옥사이드층(oxide layer) 또는 산화층으로 지칭될 수 있다. The oxide layer 240 may include an opening 241 and an insulating region 242. The opening 241 may be a passage area through which current flows. The insulating region 242 may be a blocking region that blocks the flow of current. The insulating region 242 may be referred to as an oxide layer or an oxide layer.

산화층(240)은 전류의 흐름이나 밀도를 제한하여 보다 응집된 레이저빔이 방출되도록 하므로, 전류제한층(current confinement layer)으로 지칭될 수 있다. The oxide layer 240 may be referred to as a current confinement layer because it restricts the flow or density of the current to emit a more coherent laser beam.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 패드전극(280)을 더 포함할 수 있다. 패드전극(280)은 패드부(P), 즉 발광부(E)를 제외한 영역에 배치될 수 있다. 패드전극(280)은 제2 전극(282)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 전극(282)과 패드전극(280)은 일체로 형성되거나 별개도 형성될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may further include a pad electrode 280. The pad electrode 280 may be disposed in an area excluding the pad part P, that is, the light emitting part E. FIG. The pad electrode 280 may be electrically connected to the second electrode 282. The first electrode 282 and the pad electrode 280 may be formed integrally or separately.

이하 도 2 내지 도 4b를 참조하여 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)의 기술적 특징을 설명하기로 한다. 제1 실시예의 도면에서 x축의 방향은 기판(210)의 길이방향에 평행한 방향일 수 있으며, y축은 x축에 수직한 방향일 수 있다.Hereinafter, technical features of the surface emitting laser device 201 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 2 to 4B. In the drawing of the first embodiment, the direction of the x-axis may be a direction parallel to the longitudinal direction of the substrate 210, the y-axis may be a direction perpendicular to the x-axis.

<기판, 제1 전극><Substrate, first electrode>

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 기판(210)을 제공한다. 기판(210)은 전도성 기판 또는 비전도성 기판일 수 있다. 전도성 기판으로는 전기 전도도가 우수한 금속이 사용될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)의 동작시 발생되는 열이 충분히 발산시킬 수 있어야 하므로, 전도성 기판으로는 열전도도가 높은 GaAs 기판 또는 금속기판을 사용하거나 실리콘(Si) 기판 등이 사용될 수 있다. 비전도성 기판으로는 AlN 기판이나 사파이어(Al2O3) 기판 또는 세라믹 계열의 기판 등이 사용될 수 있다.The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment provides a substrate 210. The substrate 210 may be a conductive substrate or a nonconductive substrate. As the conductive substrate, a metal having excellent electrical conductivity may be used. Since the heat generated during the operation of the surface emitting laser device 201 should be sufficiently dissipated, a GaAs substrate or a metal substrate having a high thermal conductivity or a silicon (Si) substrate may be used as the conductive substrate. As the non-conductive substrate, an AlN substrate, a sapphire (Al 2 O 3 ) substrate, or a ceramic-based substrate may be used.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극(215)을 제공한다. 제1 전극(215)은 기판(210)의 하부에 배치될 수 있다. 제1 전극(215)은 도전성 재료로 단층 또는 다층으로 배치될 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(215)은 금속일 수 있고, 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성되어, 전기적 특성을 향상시켜 광출력을 높일 수 있다.The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment provides a first electrode 215. The first electrode 215 may be disposed under the substrate 210. The first electrode 215 may be disposed in a single layer or multiple layers of a conductive material. For example, the first electrode 215 may be a metal and include at least one of aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), and gold (Au). Therefore, it is formed in a single layer or a multi-layer structure, it is possible to improve the electrical characteristics to increase the light output.

<제1 반사층><1st reflective layer>

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제1 반사층(220)를 제공한다. 제1 반사층(220)는 기판(210) 상에 배치될 수 있다. 두께를 줄이기 위해 기판(210)이 생략되는 경우, 제1 반사층(220)의 하면은 제1 전극(215)의 상면과 접촉될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment provides a first reflective layer 220. The first reflective layer 220 may be disposed on the substrate 210. When the substrate 210 is omitted to reduce the thickness, the bottom surface of the first reflective layer 220 may contact the top surface of the first electrode 215.

제1 반사층(220)는 제1 도전형 도펀트로 도핑될 수 있다. 예를 들어, 제1 도전형 도펀트는 Si, Ge, Sn, Se, Te 등과 같은 n형 도펀트를 포함할 수 있다.The first reflective layer 220 may be doped with a first conductivity type dopant. For example, the first conductivity type dopant may include an n type dopant such as Si, Ge, Sn, Se, Te, or the like.

제1 반사층(220)는 갈륨계 화합물, 예를 들면 AlGaAs를 포함할 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 반사층(220)는 분산 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)일 수 있다. 예를 들어, 제1 반사층(220)는 서로 다른 굴절률을 가지는 재질을 포함하는 제1 층 및 제2 층이 교대로 적어도 1회 이상 적층된 구조일 수 있다.The first reflective layer 220 may include a gallium-based compound, for example, AlGaAs, but is not limited thereto. The first reflective layer 220 may be a distributed bragg reflector (DBR). For example, the first reflective layer 220 may have a structure in which a first layer and a second layer including materials having different refractive indices are alternately stacked at least once.

예를 들어, 제1 반사층(220)는 기판(210) 상에 배치된 복수의 층을 포함할 수 있다. 각 층은 AlxGa(1-x)As(0<x<1)의 조성식을 갖는 반도체 재질을 포함할 수 있으며, 각 층 내의 Al이 증가하면 각 층의 굴절률은 감소하고, Ga가 증가하면 각 층의 굴절률은 증가할 수 있다. 각각의 층의 두께는 λ/4n일 수 있고, λ는 발광층(230)에서 발생하는 광의 파장일 수 있고, n은 상술한 파장의 광에 대한 각 층의 굴절률일 수 있다. 여기서, λ는 650 내지 980나노미터(nm)일 수 있고, n은 각층의 굴절률일 수 있다. 이러한 구조의 제1 반사층(220)는 약 940 나노미터의 파장의 광에 대하여 99.999%의 반사율을 가질 수 있다.For example, the first reflective layer 220 may include a plurality of layers disposed on the substrate 210. Each layer may include a semiconductor material having a composition formula of Al x Ga (1-x) As (0 <x <1), and if the Al in each layer increases, the refractive index of each layer decreases, and if Ga increases The refractive index of each layer can increase. Each layer may have a thickness of λ / 4n, λ may be a wavelength of light generated in the light emitting layer 230, and n may be a refractive index of each layer with respect to light having the aforementioned wavelength. Here, λ may be 650 to 980 nanometers (nm), and n may be the refractive index of each layer. The first reflective layer 220 having such a structure may have a reflectance of 99.999% for light having a wavelength of about 940 nanometers.

각 제1 반사층(220)에서의 층의 두께는 각각의 굴절률과 발광층(230)에서 방출되는 광의 파장 λ에 따라 결정될 수 있다.The thickness of the layer in each first reflective layer 220 may be determined according to the refractive index and the wavelength λ of the light emitted from the light emitting layer 230.

<활성층><Active layer>

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 발광층(230)를 포함할 수 있다. 발광층(230)는 제1 반사층(220) 상에 배치될 수 있다. 구체적으로, 발광층(230)는 제1 반사층(220) 상에 배치될 수 있다. 발광층(230)는 제1 반사층(220)과 제2 반사층(250) 사이에 배치될 수 있다.The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may include a light emitting layer 230. The light emitting layer 230 may be disposed on the first reflective layer 220. In detail, the emission layer 230 may be disposed on the first reflective layer 220. The light emitting layer 230 may be disposed between the first reflective layer 220 and the second reflective layer 250.

발광층(230)는 활성층과 적어도 하나 이상의 캐비티를 포함할 수 있다. 예를 들어, 발광층(230)는 활성층, 활성층의 하측에 배치되는 제1 캐비티 및 활성층의 상측에 배치되는 제2 캐비티를 포함할 수 있다. 제1 실시예의 발광층(230)는 제1 캐비티와 제2 캐비티를 모두 포함하거나, 둘 중의 하나만 포함할 수도 있다.The light emitting layer 230 may include an active layer and at least one cavity. For example, the emission layer 230 may include an active layer, a first cavity disposed below the active layer, and a second cavity disposed above the active layer. The light emitting layer 230 of the first embodiment may include both the first cavity and the second cavity, or may include only one of them.

활성층은 단일 우물구조, 다중 우물구조, 단일 양자우물 구조, 다중 양자우물(MQW: Multi Quantum Well) 구조, 양자점 구조 또는 양자선 구조 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The active layer may include any one of a single well structure, a multi well structure, a single quantum well structure, a multi quantum well (MQW) structure, a quantum dot structure, and a quantum line structure.

활성층은 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 재질을 이용하여 양자우물층과 양자벽층을 포함할 수 있다. 양자우물층은 양자벽층의 에너지 밴드 갭보다 작은 에너지 밴드 갭을 갖는 재질로 형성될 수 있다. 활성층은 InGaAs/AlxGaAs, AlGaInP/GaInP, AlGaAs/AlGaAs, AlGaAs/GaAs, GaAs/InGaAs 등의 1 내지 3 페어 구조로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 활성층에는 도펀트가 도핑되지 않을 수 있다.The active layer may include a quantum well layer and a quantum wall layer using a group 3-5 or group 2-6 compound semiconductor material. The quantum well layer may be formed of a material having an energy band gap smaller than the energy band gap of the quantum wall layer. The active layer may be formed of one to three pair structures such as InGaAs / AlxGaAs, AlGaInP / GaInP, AlGaAs / AlGaAs, AlGaAs / GaAs, GaAs / InGaAs, but is not limited thereto. The dopant may not be doped in the active layer.

제1 캐비티와 제2 캐비티는 AlyGa(1-y)As(0<y<1) 재질로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 제1 캐비티와 제2 캐비티는 각각 AlyGa(1-y)As로된 복수의 층을 포함할 수 있다. The first cavity and the second cavity may be formed of Al y Ga (1-y) As (0 <y <1), but are not limited thereto. For example, the first cavity and the second cavity may each include a plurality of layers of Al y Ga (1-y) As.

<산화층><Oxide layer>

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 산화층(240)을 제공할 수 있다. 산화층(240)은 절연영역(242)과 개구부(241)를 포함할 수 있다. 절연영역(242)는 개구부(241)을 둘러쌀 수 있다. 예컨대, 개구부(241)은 발광층(230)의 제1 영역(중심영역) 상에 배치되고, 절연영역(242)는 발광층(230)의 제2 영역(가장자리영역) 상에 배치될 수 있다. 제2 영역은 제1 영역을 둘러쌀 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may provide the oxide layer 240. The oxide layer 240 may include an insulating region 242 and an opening 241. The insulating region 242 may surround the opening 241. For example, the opening 241 may be disposed on the first area (center area) of the light emitting layer 230, and the insulating area 242 may be disposed on the second area (edge area) of the light emitting layer 230. The second region may surround the first region.

개구부(241)은 전류가 흐르는 통로영역일 수 있다. 절연영역(242)은 전류의 흐름을 차단하는 차단영역일 수 있다. 절연영역(242)는 옥사이드층(oxide layer) 또는 산화층으로 지칭될 수 있다. The opening 241 may be a passage area through which current flows. The insulating region 242 may be a blocking region that blocks the flow of current. The insulating region 242 may be referred to as an oxide layer or an oxide layer.

개구부(241)의 사이즈에 의해 제2 전극(282)에서 발광층(230)으로 공급되는 전류의 양, 즉 전류밀도가 결정될 수 있다. 개구부(241)의 사이즈는 절연영역(242)에 의해 결정될 수 있다. 절연영역(242)의 사이즈가 커질수록 개구부(241)의 사이즈는 작아지고, 이에 따라 발광층(230)으로 공급되는 전류밀도는 증가될 수 있다. 아울러, 개구부(241)은 발광층(230)에서 생성된 빔이 상측 방향, 즉 제2 반사층(250)의 방향으로 진행되는 통로일 수 있다. 즉, 개구부(241)의 사이즈에 따라, 발광층(230)의 빔의 발산각이 달라질 수 있다.The amount of current supplied from the second electrode 282 to the light emitting layer 230, that is, the current density may be determined by the size of the opening 241. The size of the opening 241 may be determined by the insulating region 242. As the size of the insulating region 242 increases, the size of the opening 241 may decrease, and thus the current density supplied to the light emitting layer 230 may increase. In addition, the opening 241 may be a passage through which the beam generated in the emission layer 230 travels in an upward direction, that is, in a direction of the second reflective layer 250. That is, the divergence angle of the beam of the light emitting layer 230 may vary according to the size of the opening 241.

절연영역(242)은 절연층, 예를 들어 알루미늄산화물(Al2O3)로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 산화층(240)이 AlGaAs(aluminum gallium arsenide)를 포함하는 경우, 산화층(240)의 AlGaAs가 H2O와 반응하여 가장자리가 알루미늄산화물(Al2O3)로 변해져 절연영역(242)으로 형성되고, H2O와 반응하지 않은 중심영역은 AlGaAs를 포함하는 개구부(241)가 될 수 있다.The insulating region 242 may be formed of an insulating layer, for example, aluminum oxide (Al 2 O 3 ). For example, when the oxide layer 240 includes aluminum gallium arsenide (AlGaAs), the AlGaAs of the oxide layer 240 reacts with H 2 O to change the edge to aluminum oxide (Al 2 O 3 ), thereby insulating the region 242. The central region, which is formed of H 2 O and does not react with H 2 O, may be an opening 241 including AlGaAs.

제1 실시예에 의하면, 개구부(241)을 통해 발광층(230)에서 발광된 광을 상부 영역으로 발산할 수 있으며, 절연영역(242)과 비교하여 개구부(241)의 광 투과율이 우수할 수 있다.According to the first embodiment, the light emitted from the light emitting layer 230 through the opening 241 may be emitted to the upper region, and the light transmittance of the opening 241 may be excellent compared to the insulating region 242. .

절연영역(242)은 복수의 층을 포함할 수 있으며, 예를 들어, 절연영역(242)은 제1 절연영역, 제1 절연영역 상에 배치된 제2 절연영역 및 제2 절연영역 사에 배치된 제3 절연영역을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 절연영역 중 하나의 절연영역은 다른 절연영역과 동일한 두께를 갖거나 상이한 두께를 가질 수 있다. 제1 내지 제3 절연영역은 적어도 산화(oxidation) 재질을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 절연영역은 적어도 3-5족 또는 2-6족 화합물 반도체 재질을 포함할 수 있다.The insulating region 242 may include a plurality of layers. For example, the insulating region 242 may be disposed between the first insulating region, the second insulating region disposed on the first insulating region, and the second insulating region. It may include a third insulating region. One insulating region of the first to third insulating regions may have the same thickness as the other insulating region or may have a different thickness. The first to third insulating regions may include at least an oxidation material. The first to third insulating regions may include at least a group 3-5 or a group 2-6 compound semiconductor material.

<제2 반사층><Second reflective layer>

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제2 반사층(250)를 포함할 수 있다. 제2 반사층(250)는 산화층(240) 상에 배치될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may include a second reflective layer 250. The second reflective layer 250 may be disposed on the oxide layer 240.

제2 반사층(250)는 갈륨계 화합물 예를 들면 AlGaAs를 포함할 수 있으며, 제2 반사층(250)는 제2 도전형 도펀트로 도핑될 수 있다. 제2 도전형 도펀트는 Mg, Zn, Ca, Sr, Ba 등과 같은 p형 도펀트일 수 있다. 한편, 제1 반사층(220)이 p형 도펀트로 도핑될 수도 있고, 제2 반사층(250)이 n형 도펀트로 도핑될 수도 있다.The second reflective layer 250 may include a gallium-based compound, for example, AlGaAs, and the second reflective layer 250 may be doped with a second conductive dopant. The second conductivity type dopant may be a p-type dopant such as Mg, Zn, Ca, Sr, Ba, or the like. Meanwhile, the first reflective layer 220 may be doped with a p-type dopant, and the second reflective layer 250 may be doped with an n-type dopant.

제2 반사층(250)도 분산 브래그 반사기(DBR: Distributed Bragg Reflector)일 수 있다. 예를 들어, 제2 반사층(250)는 서로 다른 굴절률을 가지는 재질을 포함하는 복수의 층이 교대로 적어도 1회 이상 적층된 구조일 수 있다.The second reflecting layer 250 may also be a distributed Bragg reflector (DBR). For example, the second reflective layer 250 may have a structure in which a plurality of layers including materials having different refractive indices are alternately stacked at least once.

제2 반사층(250)의 각 층은 AlGaAs를 포함할 수 있고, 상세하게는 AlxGa(1-x)As(0<x<1)의 조성식을 갖는 반도체 재질로 이루어질 수 있다. 여기서, Al이 증가하면 각 층의 굴절률은 감소하고, Ga가 증가하면 각 층의 굴절률은 증가할 수 있다. 제2 반사층(250)의 각 층의 두께는 λ/4n이고, λ는 활성층에서 방출되는 광의 파장일 수 있고, n은 상술한 파장의 광에 대한 각 층의 굴절률일 수 있다.Each layer of the second reflective layer 250 may include AlGaAs, and in detail, may be formed of a semiconductor material having a compositional formula of Al x Ga (1-x) As (0 <x <1). Herein, when Al increases, the refractive index of each layer may decrease, and when Ga increases, the refractive index of each layer may increase. Each layer of the second reflective layer 250 may have a thickness of λ / 4n, λ may be a wavelength of light emitted from the active layer, and n may be a refractive index of each layer with respect to light having the aforementioned wavelength.

이러한 구조의 제2 반사층(250)는 약 940 나노미터의 파장의 광에 대하여 99.9%의 반사율을 가질 수 있다.The second reflective layer 250 having such a structure may have a reflectance of 99.9% for light having a wavelength of about 940 nanometers.

제2 반사층(250)는 층들이 교대로 적층되어 이루어질 수 있으며, 제1 반사층(220) 내에서 층들의 페어(pair) 수는 제2 반사층(250) 내에서 층들의 페어 수보다 더 많을 수 있다. 상술한 바와 같이 제1 반사층(220)의 반사율은 99.999%로서 제2 반사층(250)의 반사율인 99.9%보다 클 수 있다. The second reflective layer 250 may be formed by alternately stacking layers, and the number of pairs of layers in the first reflective layer 220 may be greater than the number of pairs of layers in the second reflective layer 250. . As described above, the reflectance of the first reflective layer 220 may be 99.999%, which may be greater than 99.9% of the reflectance of the second reflective layer 250.

제1 실시예에서 제2 반사층(250)는 발광층(230) 상에 배치되는 복수의 층을 포함할 수 있다. 각각의 층은 단일 또는 복수의 층으로 형성될 수 있다.In the first embodiment, the second reflective layer 250 may include a plurality of layers disposed on the light emitting layer 230. Each layer may be formed of a single or a plurality of layers.

<패시베이션층, 제2 전극>Passivation layer, second electrode

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 패시베이션층(270)을 제공할 수 있다. 패시베이션층(270)은 발광구조물의 일부 영역의 둘레를 둘러쌀 수 있다. 발광구조물의 일부 영역은 예컨대, 발광층(230), 산화층(240) 및 제2 반사층(250)를 포함할 수 있다. 패시베이션층(270)은 제1 반사층(220)의 상면 상에 배치될 수 있다. 패시베이션층(270)은 제2 반사층(250)의 에지 영역 상에 배치될 수 있다. 발광구조물이 부분적으로 메사 식각되는 경우, 제1 반사층(220)의 상면의 일부는 노출되고, 발광구조물의 일부 영역이 형성될 수 있다. 패시베이션층(270)이 발광구조물의 일부 영역의 둘레와 노출된 제1 반사층(220)의 상면 상에 배치될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may provide a passivation layer 270. The passivation layer 270 may surround a portion of the light emitting structure. Some regions of the light emitting structure may include, for example, the light emitting layer 230, the oxide layer 240, and the second reflective layer 250. The passivation layer 270 may be disposed on the top surface of the first reflective layer 220. The passivation layer 270 may be disposed on an edge region of the second reflective layer 250. When the light emitting structure is partially mesa-etched, a portion of the upper surface of the first reflective layer 220 may be exposed, and a portion of the light emitting structure may be formed. The passivation layer 270 may be disposed on a circumference of a portion of the light emitting structure and on an upper surface of the exposed first reflective layer 220.

패시베이션층(270)은 외부로부터 발광구조물을 보호하고, 제1 반사층(220)와 제2 반사층(250)의 전기적인 쇼트를 차단할 수 있다. 패시베이션층(270)은 SiO2와 같은 무기 재질로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The passivation layer 270 may protect the light emitting structure from the outside and block electrical short between the first reflective layer 220 and the second reflective layer 250. The passivation layer 270 may be formed of an inorganic material such as SiO 2 , but is not limited thereto.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 소자(201)는 제2 전극(282)을 제공할 수 있다. 제2 전극(282)은 패드전극(280)에 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 전극(282)는 제2 반사층(250)의 상면의 일부분에 접촉될 수 있다. The surface emitting laser device 201 according to the first embodiment may provide the second electrode 282. The second electrode 282 may be electrically connected to the pad electrode 280. The second electrode 282 may contact a portion of the top surface of the second reflective layer 250.

제2 전극(282)과 패드전극(280)은 도전성 재료로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 전극(282)과 패드전극(280)은 백금(Pt), 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 텅스텐(W), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다.The second electrode 282 and the pad electrode 280 may be made of a conductive material. For example, the second electrode 282 and the pad electrode 280 may include platinum (Pt), aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), tungsten (W), and copper (Cu). ), Gold (Au) may be formed in a single layer or a multi-layer structure.

다시 도 3 및 도 4를 참조하면, 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 복수의 와이어(191)을 제공할 수 있다. 와이어(191)은 표면발광레이저 소자(201)를 제2 전극부(182)에 전기적으로 연결시켜 주기 위한 연결 부재일 수 있다. 3 and 4, the surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide a plurality of wires 191. The wire 191 may be a connection member for electrically connecting the surface emitting laser device 201 to the second electrode unit 182.

복수의 와이어(191)은 서로 간에 이격될 수 있다. 각 와이어(191)의 일측은 표면발광레이저 소자(201)의 패드부(P)의 패드전극(280)에 전기적으로 연결되고, 각 와이어(191)의 타측은 제2 전극부(182)에 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 패드전극(280)은 표면발광레이저 소자(201)의 제2 전극(282)과 전기적으로 연결될 수 있다. 패드전극(280)은 표면발광레이저 소자(201)의 제2 전극(282)과 일체로 형성될 수 있다.The plurality of wires 191 may be spaced apart from each other. One side of each wire 191 is electrically connected to the pad electrode 280 of the pad portion P of the surface emitting laser device 201, and the other side of each wire 191 is electrically connected to the second electrode portion 182. Can be connected. For example, the pad electrode 280 may be electrically connected to the second electrode 282 of the surface emitting laser device 201. The pad electrode 280 may be integrally formed with the second electrode 282 of the surface emitting laser device 201.

본딩 공정을 이용하여 와이어(191)는 표면발광레이저 소자(201)의 패드부(P)와 제2 전극부(182)와 전기적으로 연결될 수 있다. The wire 191 may be electrically connected to the pad portion P and the second electrode portion 182 of the surface emitting laser device 201 using a bonding process.

와이어(191)의 최고점은 표면발광레이저 소자(201)의 상면, 구체적으로 표면발광레이저 소자(201)의 패드부(P)의 상면보다 높게 위치될 수 있다. The highest point of the wire 191 may be located higher than the upper surface of the surface emitting laser device 201, specifically, the upper surface of the pad portion P of the surface emitting laser device 201.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide a first bonding part 183 and a second bonding part 184.

제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 하우징(110) 아래에 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면 상에 배치될 수 있다. The first bonding part 183 and the second bonding part 184 may be disposed under the housing 110. For example, the first bonding portion 183 and the second bonding portion 184 may be disposed on the bottom surface of the first body 110a of the housing 110.

도면에서는 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)가 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면으로부터 하부 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다.In the drawing, the first bonding portion 183 and the second bonding portion 184 may be disposed to protrude downward from the lower surface of the first body 110a of the housing 110.

다른 예로서, 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면에 서로 이격된 제1 및 제2 리세스가 형성되고, 제1 리세스에 제1 본딩부(183)이 배치되고, 제2 리세스에 제2 본딩부(184)가 배치될 수 있다 이러한 경우, 제1 리세스에 배치된 제1 본딩부(183)의 하면 및 제2 리세스에 배치된 제2 본딩부(184)의 하면은 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면과 수평으로 일치할 수 있다.As another example, first and second recesses spaced apart from each other are formed on the bottom surface of the first body 110a of the housing 110, and a first bonding part 183 is disposed in the first recess, and a second The second bonding portion 184 may be disposed in the recess. In this case, the bottom surface of the first bonding portion 183 disposed in the first recess and the second bonding portion 184 disposed in the second recess may be disposed. The lower surface may horizontally coincide with the lower surface of the first body 110a of the housing 110.

예로서, 제1 본딩부(183)의 하면과 제2 본딩부(184)의 하면 각각은 회로기판(미도시)의 신호라인(미도시)에 면 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 이러한 경우, 하우징(110)은 제1 기판으로 지칭되고, 회로기판(160)은 제2 기판으로 지칭될 수 있다. For example, each of the lower surface of the first bonding unit 183 and the lower surface of the second bonding unit 184 may be in surface contact with and electrically connected to a signal line (not shown) of a circuit board (not shown). In this case, the housing 110 may be referred to as a first substrate, and the circuit board 160 may be referred to as a second substrate.

제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 하우징(110) 아래에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 아래에서 보았을 때 원 형상의 패드를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The first bonding part 183 and the second bonding part 184 may be spaced apart from each other under the housing 110. The first bonding portion 183 and the second bonding portion 184 may have a pad having a circular shape when viewed from below, but the embodiment is not limited thereto.

제1 본딩부(183)는 제1 전극부(181)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 본딩부(183)는 제1 연결배선(185)을 통하여 제1 전극부(181)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 연결배선(185)은 예로서, 하우징(110)에 제공된 제1 비아홀에 배치될 수 있다. 제1 본딩부(183)와 제1 연결배선(185)은 동일 금속 물질을 이용하여 일체로 형성될 수 있다. The first bonding part 183 may be electrically connected to the first electrode part 181. The first bonding unit 183 may be electrically connected to the first electrode unit 181 through the first connection line 185. For example, the first connection line 185 may be disposed in the first via hole provided in the housing 110. The first bonding part 183 and the first connection wiring 185 may be integrally formed using the same metal material.

제2 본딩부(184)는 제2 전극부(182)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 본딩부(184)는 제2 연결배선(186)을 통하여 제2 전극부(182)와 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 연결배선(186)은 예로서, 하우징(110)에 제공된 제2 비아홀에 배치될 수 있다. 제2 본딩부(184)와 제2 연결배선(186)은 동일 금속 물질을 이용하여 일체로 형성될 수 있다. The second bonding part 184 may be electrically connected to the second electrode part 182. The second bonding unit 184 may be electrically connected to the second electrode unit 182 through the second connection line 186. For example, the second connection wiring 186 may be disposed in the second via hole provided in the housing 110. The second bonding portion 184 and the second connection wiring 186 may be integrally formed using the same metal material.

예컨대, 제1 연결배선(185)과 제2 연결배선(186)은 텅스텐(W)을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 텅스텐(W)이 1000℃ 이상의 고온에서 녹여진 후 제1 및 제2 비아홀에 주입된 후 경화되어, 제1 연결배선(185)와 제2 연결배선(186)이 형성될 수 있다. 텅스텐(W)의 일부가 하우징(110) 하부에서 경화되어 제1 및 제2 본딩부(183, 184)로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.For example, the first connection wire 185 and the second connection wire 186 may include tungsten (W), but are not limited thereto. Tungsten (W) may be melted at a high temperature of 1000 ° C. or higher, injected into the first and second via holes, and cured to form a first connection line 185 and a second connection line 186. A portion of the tungsten (W) may be hardened under the housing 110 to be formed of the first and second bonding portions 183 and 184, but is not limited thereto.

실시예에 의하면, 회로기판(미도시)을 통하여 표면발광레이저 소자(201)에 구동 전원이 제공될 수 있게 된다. According to the embodiment, the driving power can be provided to the surface emitting laser device 201 through a circuit board (not shown).

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 접착부(130)을 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide an adhesive part 130.

접착부(130)는 하우징(110)의 캐비티(111)에 배치될 수 있다. The adhesive part 130 may be disposed in the cavity 111 of the housing 110.

접착부(130)는 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)를 둘러쌀 수 있다. 접착부(130)는 표면발광레이저 소자(201)를 둘러쌀 수 있다. 접착부(130)는 와이어(191)를 둘러쌀 수 있다. 접착부(130)의 상면은 적어도 와이어(191)의 최고점보다 높게 위치될 수 있다. The adhesion part 130 may surround the first electrode part 181 and the second electrode part 182. The adhesive part 130 may surround the surface emitting laser device 201. The adhesive part 130 may surround the wire 191. The top surface of the adhesive portion 130 may be located at least higher than the highest point of the wire 191.

접착부(130)의 상면은 복수의 제1 패턴(132)을 포함할 수 있다. 제1 패턴(132)은 접착부(130)의 내부로 움푹 들어간 음각패턴을 포함할 수 있다. 제1 패턴(132)은 그루브(groove), 리세스(recess), 홈으로 지칭될 수 있다. An upper surface of the adhesive part 130 may include a plurality of first patterns 132. The first pattern 132 may include an intaglio pattern recessed into the adhesion part 130. The first pattern 132 may be referred to as a groove, a recess, or a groove.

제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 접착부(130)에 매립될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 접착부(130)에 매립될 수 있다. 와이어(191)는 접착부(130)에 매립될 수 있다. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be embedded in the adhesive part 130. The surface emitting laser device 201 may be embedded in the adhesive part 130. The wire 191 may be embedded in the adhesive part 130.

접착부(130)는 지지 강도, 내열성, 방열성, 접착성, 절연성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 접착부(130)는 유기·무기하이브리드 수지, 지방족 플루오렌 변성 아크릴레이트 계열 수지 또는 아크릴아크릴레이트 계열 수지로 이루어질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 유기·무기하이브리드 수지의 굴절률은 대략 1.3이고, 지방족 플루오렌 변성 아크릴레이트 계열 수지의 굴절률은 대략 1.43이며, 아크릴아크릴레이트 계열 수지의 굴절률은 대략 1.46일 수 있다. The adhesive part 130 may be made of a material having excellent support strength, heat resistance, heat dissipation, adhesiveness, and insulation. For example, the adhesive part 130 may be made of an organic / inorganic hybrid resin, an aliphatic fluorene-modified acrylate-based resin or an acrylate-acrylate resin, but is not limited thereto. For example, the refractive index of the organic / inorganic hybrid resin is about 1.3, the refractive index of the aliphatic fluorene-modified acrylate-based resin is about 1.43, and the refractive index of the acrylate-based resin may be about 1.46.

접착부(130)의 접착성이 우수하므로, 접착부(130)가 하우징(110)의 측면(115)과 바닥면(113), 제1 및 제2 전극부(181, 182), 표면발광레이저 소자(201) 및 와이어(191)에 용이하게 접착될 수 있다. Since the adhesiveness of the adhesive part 130 is excellent, the adhesive part 130 may include the side surface 115 and the bottom surface 113 of the housing 110, the first and second electrode parts 181 and 182, and the surface emitting laser device ( 201) and the wire 191 can be easily bonded.

접착부(130)가 우수한 방열 특성을 가지므로, 표면발광레이저 소자(201)에서 발생된 열이 신속하게 외부로 방출될 수 있다. Since the adhesive part 130 has excellent heat dissipation characteristics, heat generated in the surface emitting laser device 201 may be quickly released to the outside.

접착부(130)가 우수한 절연 특성을 가지므로, 표면발광레이저 소자(201)와 다른 구성 요소와의 전기적이 절연이 확보될 수 있다. Since the adhesive part 130 has excellent insulating properties, electrical insulation between the surface emitting laser device 201 and other components may be ensured.

접착부(130)가 우수한 내열성을 가지므로, 접착부(130)의 경화시에도 변형이 발생되지 않고 접착부(130)의 광학적 특성을 유지할 수 있다. Since the adhesive part 130 has excellent heat resistance, deformation may not occur even when the adhesive part 130 is cured, and thus optical properties of the adhesive part 130 may be maintained.

제1 실시예에 따르면, 표면발광레이저 소자(201)가 접착부(130)에 매립되어 접착부(130)에 의해 표면발광레이저 소자(201)가 단단하게 고정되어 표면발광레이저 소자(201)의 탈착을 방지할 수 있다. According to the first embodiment, the surface emitting laser device 201 is embedded in the adhesive part 130 so that the surface emitting laser device 201 is firmly fixed by the adhesive part 130 to remove the surface emitting laser device 201. It can prevent.

제1 실시예에 따르면, 와이어(191)가 접착부(130)에 매립되어 접착부(130)에 의해 와이어(191)가 단단하게 고정되어 충격으로 인한 와이어(191)의 단선을 방지할 수 있다. According to the first embodiment, the wire 191 is embedded in the adhesive portion 130, the wire 191 is firmly fixed by the adhesive portion 130 can prevent the disconnection of the wire 191 due to the impact.

제1 실시예에 따르면, 산소나 수분이 외부로부터 하우징(110)을 통해 하우징(110) 내로 투습되더라도, 접착부(130)에 의해 차단되어 표면발광레이저 소자(201)이 산소나 수분에 노출되지 않도록 할 수 있다. According to the first embodiment, even if oxygen or moisture is permeated into the housing 110 through the housing 110 from the outside, it is blocked by the adhesive unit 130 so that the surface emitting laser device 201 is not exposed to oxygen or moisture. can do.

제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100)는 확산부(140)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100 according to the first embodiment may provide the diffuser 140.

확산부(140)는 하우징(110)의 캐티비에 배치될 수 있다. 확산부(140)는 접착부(130) 상에 배치될 수 있다. 확산부(140)의 하면은 접착부(130)의 상면과 접촉되고, 확산부(140)의 측면(115)은 하우징(110)의 측면(115)과 접촉될 수 있다. The diffusion unit 140 may be disposed in the cathy of the housing 110. The diffusion part 140 may be disposed on the adhesive part 130. The bottom surface of the diffusion part 140 may be in contact with the top surface of the adhesive part 130, and the side surface 115 of the diffusion part 140 may be in contact with the side surface 115 of the housing 110.

확산부(140)의 상면은 하우징(110)의 제2 바디(110b)의 상면과 수평으로 일치될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. An upper surface of the diffusion part 140 may horizontally coincide with an upper surface of the second body 110b of the housing 110, but is not limited thereto.

확산부(140)의 하면은 복수의 제2 패턴(142)을 포함할 수 있다. 제2 패턴(142)은 확산부(140)로부터 외부로, 즉 표면발광레이저 소자(201)를 향해 돌출된 양각패턴을 포함할 수 있다. 제2 패턴(142)은 돌기(protrusion), 돌출영역, 연장부로 지칭될 수 있다. The lower surface of the diffusion unit 140 may include a plurality of second patterns 142. The second pattern 142 may include an embossed pattern protruding from the diffuser 140 to the outside, that is, toward the surface light emitting laser device 201. The second pattern 142 may be referred to as a protrusion, a protruding region, and an extension.

제2 패턴(142)은 확산부(140)의 하면의 전 영역 상에 배치될 수 있다. The second pattern 142 may be disposed on the entire area of the bottom surface of the diffusion unit 140.

확산부(140)의 제2 패턴(142)은 접착부(130)의 제1 패턴(132)에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 나중에 설명하겠지만, 접착부(130)의 제1 패턴(132)이 형성된 후, 제1 패턴(132)에 확산부(140)를 형성하기 위한 재질이 형성되므로, 확산부(140)의 하면에 접착부(130)의 제1 패턴(132)에 대응되는 제2 패턴(142)이 형성될 수 있다. The second pattern 142 of the diffusion part 140 may have a shape corresponding to the first pattern 132 of the adhesive part 130. As will be described later, after the first pattern 132 of the adhesive part 130 is formed, a material for forming the diffusion part 140 is formed in the first pattern 132, so that the adhesive part ( A second pattern 142 corresponding to the first pattern 132 of 130 may be formed.

접착부(130)의 제1 패턴(132)과 확산부(140)의 제2 패턴(142)에 의해 표면발광레이저 소자(201)에서 방출되어 접착부(130)를 경유하여 입사된 레이저빔이 확산되도록 할 수 있다.The laser beam incident through the adhesion part 130 is diffused from the surface light emitting laser device 201 by the first pattern 132 of the adhesion part 130 and the second pattern 142 of the diffusion part 140. can do.

접착부(130)의 제1 패턴(132)와 확산부(140)의 제2 패턴(142)에 의해 패턴부가 구성될 수 있다. 즉, 패턴부는 제1 패턴(132)와 제2 패턴(142)를 포함할 수 있다. 패턴부는 접착부(130)와 확산부(140)의 경계면에 배치될 수 있다. 접착부(130)와 확산부(140)의 경계면에서 접착부(130)의 상면에 형성되는 제1 패턴(132)과 제1 패턴에 대응되도록 형성된 제2 패턴(142)에 의해 패턴부가 구성될 수 있다. The pattern part may be formed by the first pattern 132 of the adhesive part 130 and the second pattern 142 of the diffusion part 140. That is, the pattern unit may include the first pattern 132 and the second pattern 142. The pattern part may be disposed at an interface between the adhesive part 130 and the diffusion part 140. The pattern part may be configured by the first pattern 132 formed on the upper surface of the adhesive part 130 and the second pattern 142 formed to correspond to the first pattern at the interface between the adhesive part 130 and the diffusion part 140. .

상술한 바와 같이, 접착부(130)의 제1 패턴(132) 위에 확산부(140)를 형성하기 위한 재질만 형성하여 주면, 자연적으로 확산부(140)의 하면에 제2 패턴(142)이 형성되므로, 확산부의 제2 패턴을 별도로 형성할 필요 없어 공정이 단순하고 공정 시간을 줄 일 수 있다. As described above, when only the material for forming the diffusion part 140 is formed on the first pattern 132 of the adhesive part 130, the second pattern 142 is naturally formed on the bottom surface of the diffusion part 140. Therefore, since the second pattern of the diffusion part does not need to be formed separately, the process is simple and the process time can be reduced.

또한, 종래에는 패턴이 형성된 확산부(140)를 별도의 접착 공정을 이용하여 하우징에 부착하는 공정이 필요하였다. 이와 같은 부착 공정을 위해서 확산부가 하우징에 가압되어야 하는데, 이러한 경우 자칫 확산부의 표면에 스크래치와 같은 불량이 발생되어 확산부의 표면에서 출사되는 레이저빔의 발산각이 목표 발산각보다 커지는 발산각 불량이 발생될 수 있다.In addition, in the related art, a process of attaching the diffusion part 140 having the pattern to the housing using a separate bonding process was required. For this attachment process, the diffusion part must be pressed against the housing. In this case, a defect such as a scratch occurs on the surface of the diffusion part, and a divergence angle defect occurs in which the divergence angle of the laser beam emitted from the surface of the diffusion part is larger than the target divergence angle. Can be.

하지만, 제1 실시예에 따르면, 종래와 같이 확산부를 부착하기 위한 별도의 접착 공정이 필요 없으며, 또한 미리 별도로 확산부를 만들어 놓을 필요가 없고, 하우징(110) 내에 직접 제2 패턴(142)을 포함하는 확산부(140)가 형성될 수 있다. 이에 따라, 확산부를 부착하기 위한 별도의 접착 공정을 수행할 때 발생되는 확산부의 스크래치가 발생되지 않아 목표 발산각 설계가 용이하다. However, according to the first embodiment, there is no need for a separate bonding process for attaching the diffusion portion as in the prior art, and there is no need to separately make the diffusion portion in advance, and include the second pattern 142 directly in the housing 110. The diffusion unit 140 may be formed. Accordingly, scratches of the diffusion parts generated when a separate bonding process for attaching the diffusion parts are not generated, thereby making it easier to design a target divergence angle.

확산부(140)는 지지 강도, 내열성, 방열성, 접착성, 절연성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 확산부(140)는 우레탄 아크릴(Urethane acrylate)계열 수지, 폴리아미드이미드(Polyamide-imide) 계열 수지 또는 폴리에테르아미드(Polyether-imide) 계열 수지로 이루어질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 확산부(140)의 굴절률은 접착부(130)의 굴절률보다 크도록 하여, 표면발광레이저 소자(201)에서 방출되어 접착부(130)를 경유하여 입사된 레이저빔이 확산되도록 할 수 있다. 예컨대, 우레탄 아크릴 계열 수지의 굴절률은 대략 1.6이고, 폴리 아미드이미드 계열 수지의 굴절률은 대략 1.65이며, 폴리에테르아미드 계열 수지의 굴절률은 대략 1.63일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The diffusion unit 140 may be made of a material having excellent support strength, heat resistance, heat dissipation, adhesiveness, and insulation. For example, the diffusion part 140 may be made of urethane acrylate-based resin, polyamide-imide-based resin, or polyether-imide-based resin, but is not limited thereto. The refractive index of the diffusion part 140 may be greater than the refractive index of the adhesion part 130, so that the laser beam incident through the adhesion part 130 may be diffused by the surface light emitting laser device 201. For example, the refractive index of the urethane acrylic resin is approximately 1.6, the refractive index of the polyamide-imide resin is approximately 1.65, the refractive index of the polyetheramide resin may be approximately 1.63, but is not limited thereto.

확산부(140)의 접착성이 우수하므로, 확산부(140)가 하우징(110)의 측면(115)과 접착부(130)에 용이하게 접착될 수 있다. Since the adhesion of the diffusion part 140 is excellent, the diffusion part 140 may be easily adhered to the side surface 115 and the adhesion part 130 of the housing 110.

확산부(140)가 우수한 방열 특성을 가지므로, 표면발광레이저 소자(201)에서 발생된 열이 신속하게 외부로 방출될 수 있다. Since the diffusion part 140 has excellent heat dissipation characteristics, heat generated in the surface emitting laser device 201 may be quickly discharged to the outside.

확산부(140)가 우수한 내열성을 가지므로, 확산부(140)의 경화시에도 변형이 발생되지 않고 확산부(140)의 광학적 특성을 유지할 수 있다. Since the diffusion unit 140 has excellent heat resistance, deformation may not occur even when the diffusion unit 140 is cured, and thus the optical characteristics of the diffusion unit 140 may be maintained.

예컨대, 접착부(130)는 제1 층으로, 확산부(140)는 제2 층으로 지칭될 수 있다. 예컨대, 접착부(130)는 제1 수지층으로, 확산부(140)는 제2 수지층으로 지칭될 수 있다. For example, the adhesion part 130 may be referred to as a first layer, and the diffusion part 140 may be referred to as a second layer. For example, the adhesive part 130 may be referred to as a first resin layer, and the diffusion part 140 may be referred to as a second resin layer.

접착부(130)의 두께를 T1이라 하고, 확산부(140)의 두께를 T2라 하면, 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 두께를 T3라 할 수 있다. 이러한 경우, 접착부(130)의 두께(T1)는 확산부(140)의 두께(T2)와 동일할 수 있다. 접착부(130)의 두께(T1)는 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 두께(T2)와 동일할 수 있다. When the thickness of the adhesive part 130 is called T1 and the thickness of the diffusion part 140 is called T2, the thickness of the first body 110a of the housing 110 may be called T3. In this case, the thickness T1 of the adhesive part 130 may be the same as the thickness T2 of the diffusion part 140. The thickness T1 of the adhesive part 130 may be the same as the thickness T2 of the first body 110a of the housing 110.

접착부(130)의 두께(T1)는 확산부(140)의 두께(T2)보다 클 수 있다. 예컨대, 확산부(140)의 두께(T2)와 접착부(130)의 두께(T1)의 비는 대략 1:1 내지 대략 1:1.5일 수 있다. The thickness T1 of the adhesive part 130 may be greater than the thickness T2 of the diffusion part 140. For example, the ratio of the thickness T2 of the diffusion part 140 and the thickness T1 of the adhesive part 130 may be about 1: 1 to about 1: 1.5.

표면발광레이저 소자(201)의 상면과 확산부(140)의 하면 사이의 거리(L1)은 표면발광레이저 소자(201)의 상면과 하우징(110)의 바닥면(113) 사이의 거리(L2)보다 작도록 하여, 표면발광레이저 소자(201)로부터 방출된 레이저빔이 최단 거리로 확산부(140)로 진입되도록 하여 발산각을 최소화할 수 있다. The distance L1 between the top surface of the surface emitting laser element 201 and the bottom surface of the diffuser 140 is the distance L2 between the top surface of the surface emitting laser element 201 and the bottom surface 113 of the housing 110. By making it smaller, the diverging angle can be minimized by allowing the laser beam emitted from the surface emitting laser device 201 to enter the diffusion unit 140 at the shortest distance.

도 5 내지 도 7은 제1 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지의 제조 공정을 설명하는 도면이다.5 to 7 are views illustrating a manufacturing process of the surface emitting laser package according to the first embodiment.

도 5에 도시한 바와 같이, 표면발광레이저 소자(201)가 실장된 하우징(110)이 마련될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182) 중 하나의 전극부 상에 배치될 수 있다. As shown in FIG. 5, a housing 110 in which the surface emitting laser device 201 is mounted may be provided. The surface emitting laser device 201 may be disposed on one of the first electrode part 181 and the second electrode part 182.

하우징(110)에 제1 및 제2 전극부(181, 182), 제1 및 제2 본딩부(183, 184) 및 제1 및 제2 연결배선(185, 186)이 배치될 수 있다.First and second electrode parts 181 and 182, first and second bonding parts 183 and 184, and first and second connection wirings 185 and 186 may be disposed in the housing 110.

다른 예로서, 제1 및 제2 본딩부(183, 184) 및 제1 및 제2 연결배선(185, 186)은 확산부(도 7의 140 참고)가 형성된 후에 하우징(110)에 형성될 수도 있다. As another example, the first and second bonding parts 183 and 184 and the first and second connection wires 185 and 186 may be formed in the housing 110 after the diffusion part (see 140 in FIG. 7) is formed. have.

이어서, 하우징(110)의 캐비티(111)에 제1 수지재(130a)가 채워질 수 있다. 제1 수지재(130a)는 지지 강도, 내열성, 방열성, 접착성, 절연성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제1 수지재(130a)는 유기·무기하이브리드 수지, 지방족 플루오렌 변성 아크릴레이트 계열 수지 또는 아크릴아크릴레이트 계열 수지로 이루어질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 유기·무기하이브리드 수지의 굴절률은 대략 1.3이고, 지방족 플루오렌 변성 아크릴레이트 계열 수지의 굴절률은 대략 1.43이며, 아크릴아크릴레이트 계열 수지의 굴절률은 대략 1.46일 수 있다. Subsequently, the first resin material 130a may be filled in the cavity 111 of the housing 110. The first resin material 130a may be made of a material having excellent support strength, heat resistance, heat dissipation, adhesiveness, and insulation. For example, the first resin material 130a may be made of an organic / inorganic hybrid resin, an aliphatic fluorene-modified acrylate-based resin, or an acrylate-acrylate resin, but is not limited thereto. For example, the refractive index of the organic / inorganic hybrid resin is about 1.3, the refractive index of the aliphatic fluorene-modified acrylate-based resin is about 1.43, and the refractive index of the acrylate-based resin may be about 1.46.

이어서, 하부에 양각패턴(352)을 갖는 스탬프(stamp, 350)가 제1 수지재(130a) 위에 놓여진 후, 스탬프(350)가 가압될 수 있다. Subsequently, after the stamp 350 having the embossed pattern 352 is placed on the first resin material 130a, the stamp 350 may be pressed.

도 6에 도시한 바와 같이, 스탬프(350)가 가압되어 양각패턴(352)에 대응하는 복수의 제1 패턴(132)이 제1 수지재(130a)의 상면에 형성될 수 있다. 제1 패턴(132)은 스탬프(350)의 양각패턴(352)에 대응되는 음각패턴을 포함할 수 있다. As shown in FIG. 6, the stamp 350 is pressed to form a plurality of first patterns 132 corresponding to the relief patterns 352 on the upper surface of the first resin material 130a. The first pattern 132 may include an intaglio pattern corresponding to the embossed pattern 352 of the stamp 350.

이어서, 경화 공정을 이용하여 제1 수지재(130a)가 경화되어 접착부(130)로 변경될 수 있다. Subsequently, the first resin material 130a may be cured using the curing process to be changed to the adhesive part 130.

도 7에 도시한 바와 같이, 제2 수지재가 하우징(110)의 캐비티(111)에 채워질 수 있다. 제2 수지재가 하우징(110)의 캐비티(111) 내의 접착부(130) 상에 형성될 수 있다. 제2 수지재는 지지 강도, 내열성, 방열성, 접착성, 절연성이 우수한 재질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 제2 수지재는 우레탄 아크릴(Urethane acrylate)계열 수지, 폴리아미드이미드(Polyamide-imide) 계열 수지 또는 폴리에테르아미드(Polyether-imide) 계열 수지로 이루어질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 확산부(140)의 굴절률은 접착부(130)의 굴절률보다 크도록 하여, 표면발광레이저 소자(201)에서 방출되어 접착부(130)를 경유하여 입사된 레이저빔이 확산되도록 할 수 있다. 예컨대, 우레탄 아크릴 계열 수지의 굴절률은 대략 1.6이고, 폴리 아미드이미드 계열 수지의 굴절률은 대략 1.65이며, 폴리에테르아미드 계열 수지의 굴절률은 대략 1.63일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다이어서, 경화 공정을 이용하여 제2 수지재가 경화되어 확산부(140)로 변경될 수 있다. As shown in FIG. 7, the second resin material may be filled in the cavity 111 of the housing 110. The second resin material may be formed on the adhesive part 130 in the cavity 111 of the housing 110. The second resin material may be made of a material having excellent support strength, heat resistance, heat dissipation, adhesiveness, and insulation. For example, the second resin material may be made of urethane acrylate-based resin, polyamide-imide resin, or polyether-imide resin, but is not limited thereto. The refractive index of the diffusion part 140 may be greater than the refractive index of the adhesion part 130, so that the laser beam incident through the adhesion part 130 may be diffused by the surface light emitting laser device 201. For example, the refractive index of the urethane acrylic resin is about 1.6, the refractive index of the polyamide-imide resin is approximately 1.65, the refractive index of the polyetheramide-based resin may be approximately 1.63, but not limited to this, so that the curing process is used. As a result, the second resin material may be cured to be changed to the diffusion part 140.

이미 접착부(130)의 상면에 복수의 제1 패턴(132)이 형성되어 있으므로, 접착부(130) 상에 제2 수지재가 경화되는 경우, 제2 수지재의 하면에는 접착부(130)의 제1 패턴(132)에 대응되는 제2 패턴(142)이 형성될 수 있다. Since the plurality of first patterns 132 are already formed on the upper surface of the adhesive part 130, when the second resin material is cured on the adhesive part 130, the first pattern of the adhesive part 130 is formed on the lower surface of the second resin material ( The second pattern 142 corresponding to the 132 may be formed.

스탬프(350)에 양각패턴(352)이 형성되므로, 접착부(130)의 제1 패턴(132)은 스탬프(350)의 양각패턴(352)에 대응되는 음각패턴을 포함할 수 있다. 아울러, 확산부(140)가 접착부(130) 상에 형성되므로, 확산부(140)의 하면에는 접착부(130)의 제1 패턴(132), 즉 음각패턴에 대응되는 제2 패턴(142), 즉 양각패턴이 형성될 수 있다. 확산부(140)의 제2 패턴(142)은 스탬프(350)의 양각패턴(352)와 동일한 형상을 갖는 양각패턴을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. Since the embossed pattern 352 is formed on the stamp 350, the first pattern 132 of the adhesive part 130 may include an engraved pattern corresponding to the embossed pattern 352 of the stamp 350. In addition, since the diffusion part 140 is formed on the adhesion part 130, the first pattern 132 of the adhesion part 130, that is, the second pattern 142 corresponding to the intaglio pattern is formed on the bottom surface of the diffusion part 140. That is, an embossed pattern may be formed. The second pattern 142 of the diffusion unit 140 may include an embossed pattern having the same shape as the embossed pattern 352 of the stamp 350, but is not limited thereto.

(제2 실시예)(2nd Example)

도 8은 제2 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.8 is a cross-sectional view illustrating a surface emitting laser package according to a second embodiment.

제2 실시예는 확산부(140)의 제2 패턴(142)을 제외하고는 제1 실시예와 동일하다. 제2 실시예에서 제1 실시예와 동일한 기능, 형상 및/또는 구조에 대해서는 동일한 도면 번호를 부여하고, 상세한 설명을 생략하며, 생략된 기술적 사상은 제1 실시예의 설명으로부터 용이하게 이해될 수 있다. The second embodiment is the same as the first embodiment except for the second pattern 142 of the diffusion unit 140. In the second embodiment, the same reference numerals are given to the same functions, shapes, and / or structures as those of the first embodiment, detailed descriptions thereof are omitted, and the omitted technical idea may be easily understood from the description of the first embodiment. .

도 8을 참조하면, 제2 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100A)는 하우징(110), 표면발광레이저 소자(201), 접착부(130) 및 확산부(140)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 8, the surface emitting laser package 100A according to the second embodiment may include a housing 110, a surface emitting laser device 201, an adhesive part 130, and a diffusion part 140.

제2 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100A)는 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)를 더 포함할 수 있다. 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 하우징(110)의 캐비티(111)에 구비된 바닥면(113) 상에 배치될 수 있다. The surface emitting laser package 100A according to the second embodiment may further include a first electrode part 181 and a second electrode part 182. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be disposed on the bottom surface 113 provided in the cavity 111 of the housing 110.

표면발광레이저 소자(201)는 예컨대, 제1 전극부(181) 상에 배치되지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 표면발광레이저 소자(201)의 제1 전극은 제1 전극부(181)와 전기적으로 연결될 수 있다.The surface emitting laser element 201 is, for example, disposed on the first electrode portion 181, but is not limited thereto. The first electrode of the surface emitting laser device 201 may be electrically connected to the first electrode part 181.

표면발광레이저 소자(201)는 와이어(191)를 이용하여 제2 전극부(182)와 전기적으로 연결될 수 있다. 예컨대, 와이의 일측은 표면발광레이저 소자(201)의 제2 전극과 전기적으로 연결될 수 있다. The surface emitting laser device 201 may be electrically connected to the second electrode unit 182 using a wire 191. For example, one side of the wire may be electrically connected to the second electrode of the surface emitting laser device 201.

예컨대, 표면발광레이저 소자(201)는 레이저빔이 방출되는 활성층을 포함할 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극(215)은 활성층 아래에 배치되고, 제2 전극(280)은 예컨대 활성층 위에 배치될 수 있는 수직형 표면발광레이저 소자(201)일 수 있지만, 플립칩형 표면발광레이저 소자(도 9 참조)일 수도 있다. For example, the surface emitting laser device 201 may include an active layer for emitting a laser beam. The surface emitting laser device 201 may be a flip chip type, although the first electrode 215 may be disposed below the active layer, and the second electrode 280 may be, for example, a vertical surface emitting laser device 201 that may be disposed above the active layer. It may be a surface emitting laser element (see FIG. 9).

접착부(130)의 상면은 복수의 제1 패턴(132)을 포함할 수 있다. 확산부(140)의 하면은 제1 패턴(132)에 대응되는 복수의 제2 패턴(142)을 포함할 수 있다.An upper surface of the adhesive part 130 may include a plurality of first patterns 132. The lower surface of the diffusion unit 140 may include a plurality of second patterns 142 corresponding to the first pattern 132.

복수의 제1 패턴(132)은 접착부(130)의 상면의 일부 영역(이하, 제1 패턴영역이라 함)에 형성될 수 있다. 복수의 제2 패턴(142)은 확산부(140)의 하면의 일부 영역(이하, 제2 패턴영역이라 함)에 형성될 수 있다. The plurality of first patterns 132 may be formed on a portion of the upper surface of the adhesive part 130 (hereinafter, referred to as a first pattern region). The plurality of second patterns 142 may be formed in a portion of the lower surface of the diffusion part 140 (hereinafter referred to as a second pattern region).

제2 패턴(142)이 제1 패턴(132)에 대응되어 형성되므로, 제2 패턴영역과 제1 패턴영역은 서로 동일한 폭(W2)을 가질 수 있다. Since the second pattern 142 is formed corresponding to the first pattern 132, the second pattern region and the first pattern region may have the same width W2.

제2 실시예에 따르면, 제1 패턴영역과 제2 패턴영역 각각의 폭(W2)은 표면발광레이저 소자(201)의 폭(W1)와 같거나 크고, 확산부(140)와 접착부(130) 각각의 폭(W3)보다 작을 수 있다. 구체적으로, 제1 패턴영역과 제2 패턴영역 각각의 폭(W2)은 표면발광레이저 소자(201)의 발광부(E)의 폭과 같거나 클 수 있다. According to the second embodiment, the width W2 of each of the first pattern region and the second pattern region is equal to or larger than the width W1 of the surface light emitting laser element 201, and the diffusion portion 140 and the adhesive portion 130 are formed. It may be smaller than each width W3. In detail, the width W2 of each of the first pattern area and the second pattern area may be equal to or larger than the width of the light emitting part E of the surface light emitting laser device 201.

표면발광레이저 소자(201)는 제1 패턴영역 또는 제2 패턴영역 각각과 수직으로 중첩될 수 있다. The surface emitting laser device 201 may vertically overlap each of the first pattern region or the second pattern region.

제1 패턴영역 또는 제2 패턴영역의 일부 영역(이하, 제1 영역이라 함)은 표면발광레이저 소자(201)와 수직으로 중첩되고, 제1 패턴영역 또는 제2 패턴영역의 다른 영역(이하, 제2 영역이라 함)은 표면발광레이저 소자(201)와 수직으로 중첩되지 않을 수 있다. 제2 영역은 제1 영역을 둘러쌀 수 있다. A portion of the first pattern region or the second pattern region (hereinafter referred to as a first region) is vertically overlapped with the surface light emitting laser device 201, and another region of the first pattern region or the second pattern region (hereinafter, The second region may not vertically overlap with the surface emitting laser device 201. The second region may surround the first region.

제2 실시예에 따르면, 표면발광레이저 소자(201)로부터 레이저빔이 방출되므로, 레이저빔의 발산각은 크지 않으므로, 제1 패턴(132)(또는 제2 패턴(142))을 포함하는 패턴영역의 폭(W2)을 접착부(130)(또는 확산부(140))의 전 영역에 형성할 필요가 없고, 표면발광레이저 소자(201)의 폭(W1), 구체적으로 표면발광레이저 소자(201)의 발광부(E)의 폭과 같거나 크고 접착부(130)(또는 확산부(140))의 폭(W3)보다 작게 형성할 수 있다. According to the second embodiment, since the laser beam is emitted from the surface emitting laser element 201, the divergence angle of the laser beam is not large, and thus, the pattern region including the first pattern 132 (or the second pattern 142). It is not necessary to form the width W2 of the entire area of the adhesive portion 130 (or the diffusion portion 140), and the width W1 of the surface light emitting laser element 201, specifically, the surface light emitting laser element 201. The width of the light emitting unit E may be equal to or larger than the width W3 of the adhesive unit 130 (or the diffusion unit 140).

(제3 실시예)(Third Embodiment)

도 9은 제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 평면도이며, 도 10는 도 9의 표면발광레이저 패키지에서 K-K'라인을 따라 절단한 단면도이다. 도 11은 제3 실시예에 따른 하우징을 도시한 단면도이다. 도 12는 제3 실시예에 따른 확산부를 도시한 사시도이며, 도 13는 제3 실시예에 따른 확산부를 도시한 단면도이다.9 is a plan view illustrating a surface emitting laser package according to a third embodiment, and FIG. 10 is a cross-sectional view taken along the line K-K 'of the surface emitting laser package of FIG. 11 is a sectional view showing a housing according to the third embodiment. 12 is a perspective view illustrating a diffusion unit according to a third embodiment, and FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a diffusion unit according to a third embodiment.

도 9 내지 도 13를 참조하면, 제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100B)는 하우징(110)을 제공할 수 있다. 9 to 13, the surface emitting laser package 100B according to the third embodiment may provide a housing 110.

하우징(110)은 그 하우징(110) 상에 배치되는 모든 구성 요소를 지지할 수 있다. 예컨대, 하우징(110)은 그 위에 배치되는 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)를 지지할 수 있다. 하우징(110), 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)은 패키징 공정에 의해 모듈화된 모듈일 수 있다. 이와 같은 모듈이 하나 또는 복수로 회로기판(미도시) 상에 실장될 수 있다.The housing 110 can support all the components disposed on the housing 110. For example, the housing 110 may support the surface emitting laser device 201 and the diffuser 140 disposed thereon. The housing 110, the surface emitting laser device 201, and the diffuser 140 may be modules modularized by a packaging process. One or more such modules may be mounted on a circuit board (not shown).

실시예의 하우징(110)은 지지 강도, 방열성, 절연성 등이 우수한 재질을 포함할 수 있다. The housing 110 of the embodiment may include a material having excellent support strength, heat dissipation, insulation, and the like.

하우징(110)은 열 전도율이 높은 재질을 포함할 수 있다. 하우징(110)은 표면발광레이저 소자(201)에서 발생된 열을 외부로 효율적으로 방출할 수 있도록 방열 특성이 좋은 재질로 제공될 수 있다. 하우징(110)은 절연 재질을 포함할 수 있다. The housing 110 may include a material having high thermal conductivity. The housing 110 may be made of a material having good heat dissipation characteristics so as to efficiently discharge heat generated from the surface emitting laser device 201 to the outside. The housing 110 may include an insulating material.

예컨대, 하우징(110)은 세라믹 소재를 포함할 수 있다. 하우징(110)은 동시 소성되는 저온 소성 세라믹(LTCC: low temperature co-fired ceramic) 또는 고온 소성 세라믹(HTCC: high temperature co-fired ceramic)을 포함할 수 있다. For example, the housing 110 may include a ceramic material. The housing 110 may include a low temperature co-fired ceramic (LTCC) or a high temperature co-fired ceramic (HTCC) that is co-fired.

또한, 하우징(110)은 금속 화합물을 포함할 수 있다. 하우징(110)은 열 전도도가 140 W/mK 이상인 금속 산화물을 포함할 수 있다. 예컨대, 하우징(110)은 질화 알루미늄(AlN) 또는 알루미나(Al2O3)를 포함할 수 있다.In addition, the housing 110 may include a metal compound. The housing 110 may include a metal oxide having a thermal conductivity of 140 W / mK or more. For example, the housing 110 may include aluminum nitride (AlN) or alumina (Al 2 O 3).

하우징(110)은 다른 예로서, 수지 계열의 절연 재질을 포함할 수 있다. 하우징(110)은, 실리콘 수지, 에폭시 수지, 플라스틱 재질을 포함하는 열 경화성 수지, 또는 고내열성 재질로 제공될 수 있다. As another example, the housing 110 may include a resin-based insulating material. The housing 110 may be provided of a silicone resin, an epoxy resin, a thermosetting resin including a plastic material, or a high heat resistant material.

하우징(110)은 도전성 재질을 포함할 수도 있다. 하우징(110)이 도전성 재질, 예컨대 금속으로 제공되는 경우, 하우징(110)과 표면발광레이저 소자(201) 사이 또는 하우징(110)과 전극(181 내지 186) 사이에 전기적인 절연을 위한 절연 부재가 제공될 수 있다.The housing 110 may include a conductive material. When the housing 110 is made of a conductive material such as metal, an insulating member for electrical insulation is provided between the housing 110 and the surface emitting laser element 201 or between the housing 110 and the electrodes 181 to 186. Can be provided.

하우징(110)의 외곽 테두리는 위에서 보았을 때 정사각 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 예컨대, 하우징(110)은 X1의 가로폭과 X2의 세로폭을 가질 수 있다.The outer edge of the housing 110 may have a square shape when viewed from above, but is not limited thereto. For example, the housing 110 may have a width of X1 and a height of X2.

하우징(110)의 내부는 제1 캐비티(111)와 제1 캐비티(111)의 사이즈보다 큰 제2 캐비티(112)를 가질 수 있다. 제1 캐비티(111)와 제2 캐비티(112)는 내부로 움푹 들어간 형상을 의미할 수 있다.The interior of the housing 110 may have a first cavity 111 and a second cavity 112 larger than the size of the first cavity 111. The first cavity 111 and the second cavity 112 may refer to a recessed shape therein.

실시예의 하우징(110)은 제1 바디(110a), 제2 바디(110b) 및 제3 바디(110c)를 포함할 수 있다. The housing 110 of the embodiment may include a first body 110a, a second body 110b, and a third body 110c.

제1 내지 제3 바디(110a 내지 110c)는 동일 재질로 이루어지고 일체로 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제3 바디(110a 내지 110c)는 성형 가공에 의한 일괄 공정에 의해 형성될 수 있다. The first to third bodies 110a to 110c may be made of the same material and integrally formed. For example, the first to third bodies 110a to 110c may be formed by a batch process by molding.

제1 내지 제3 바디(110a 내지 110c)는 서로 상이한 재질로 형성되고 별개의 공정에 의해 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 내지 제3 바디(110a 내지 110c)는 동일 재질로 이루어지고 일체로 형성되고, 제1 바디(110a)는 제2 및 제3 바디(110b, 110c)와 상이한 재질로 이루어지며 별개의 공정에 의해 형성될 수 있다. 이러한 경우, 일체로 형성된 제2 및 제3 바디(110b, 110c)의 하면과 제1 바디(110a)의 상면이 접착 부재(미도시)에 의해 서로 접착될 수 있다. 예로서, 접착 부재는 유기물을 포함할 수 있다. 예컨대, 접착 부재는 에폭시 계열의 수지를 포함할 수 있다. 예컨대, 접착 부재는 실리콘계 수지를 포함할 수 있다.The first to third bodies 110a to 110c may be formed of different materials and formed by separate processes. For example, the first to third bodies 110a to 110c are made of the same material and integrally formed, and the first body 110a is made of a different material from the second and third bodies 110b and 110c and is separate. It can be formed by the process. In this case, the lower surfaces of the second and third bodies 110b and 110c integrally formed with the upper surface of the first body 110a may be adhered to each other by an adhesive member (not shown). As an example, the adhesive member may include an organic material. For example, the adhesive member may include an epoxy resin. For example, the adhesive member may include a silicone resin.

제2 바디(110b)는 제1 바디(110a) 상에 배치되고, 제3 바디(110c)는 제2 바디(110b) 상에 배치될 수 있다. The second body 110b may be disposed on the first body 110a, and the third body 110c may be disposed on the second body 110b.

제1 바디(110a)의 상면은 제1 영역과 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함할 수 있다. 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a)의 제1 영역에 대응되는 제1 개구를 가질 수 있다. 이러한 경우, 제2 바디(110b)는 제1 바디(110a)의 제2 영역 상에 배치될 수 있다. 제1 바디(110a)의 제1 영역과 제2 바디(110b)의 제1 개구에 의해 제1 캐비티(111)가 정의될 수 있다. 제1 캐비티(111)에 의해 노출되는 제1 바디(110a)의 제1 영역은 제1 바닥면(121)일 수 있다. An upper surface of the first body 110a may include a first area and a second area surrounding the first area. The second body 110b may have a first opening corresponding to the first area of the first body 110a. In this case, the second body 110b may be disposed on the second area of the first body 110a. The first cavity 111 may be defined by the first region of the first body 110a and the first opening of the second body 110b. The first area of the first body 110a exposed by the first cavity 111 may be the first bottom surface 121.

제2 바디(110b)는 제1 개구 또는 제1 캐비티(111)와 접하는 제1 측면(122)을 가질 수 있다. 제2 바디(110b)와 제1 바디(110a) 사이에는 제2 바디(110b)의 두께(T22)만큼의 단차(이하, 제1 단차라 함)가 형성될 수 있다. 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)과 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123) 사이에 위치되는 제1 측면(122)에 의해 제1 단차가 형성될 수 있다. 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)은 제2 바디(110b)의 상면일 수 있다. The second body 110b may have a first side surface 122 contacting the first opening or the first cavity 111. A step (hereinafter, referred to as a first step) corresponding to the thickness T22 of the second body 110b may be formed between the second body 110b and the first body 110a. A first step may be formed by the first side surface 122 positioned between the first bottom surface 121 of the first body 110a and the second bottom surface 123 of the second body 110b. The second bottom surface 123 of the second body 110b may be an upper surface of the second body 110b.

제2 바디(110b)의 상면은 제1 개구에 접하는 제1 영역과 제1 개구와 제1 영역을 둘러싸는 제2 영역을 포함할 수 있다. The upper surface of the second body 110b may include a first area that contacts the first opening and a second area that surrounds the first opening and the first area.

제3 바디(110c)는 제2 바디(110b)의 제1 개구의 직경보다 큰 직경을 갖는 제2 개구를 가질 수 있다. 제3 바디(110c)는 제2 바디(110b)의 제2 영역 상에 배치될 수 있다. The third body 110c may have a second opening having a diameter larger than the diameter of the first opening of the second body 110b. The third body 110c may be disposed on the second area of the second body 110b.

제2 바디(110b)의 제1 영역과 제3 바디(110c)의 제2 개구에 의해 제2 캐비티(112)이 정의될 수 있다. 제2 캐비티(112)에 의해 노출되는 제2 바디(110b)의 제1 영역은 제2 바닥면(123)일 수 있다. The second cavity 112 may be defined by the first region of the second body 110b and the second opening of the third body 110c. The first area of the second body 110b exposed by the second cavity 112 may be the second bottom surface 123.

제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)은 제1 캐비티(111)에 접하고 제2 캐비티(112)에 배치될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 즉, 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)은 제1 캐비티(111)에 인접하여 제1 캐비티(111)의 둘레를 따라 배치될 수 있다. The second bottom surface 123 of the second body 110b may be in contact with the first cavity 111 and disposed in the second cavity 112, but is not limited thereto. That is, the second bottom surface 123 of the second body 110b may be disposed along the circumference of the first cavity 111 adjacent to the first cavity 111.

제3 바디(110c)는 제2 캐비티(112)와 접하는 제2 측면(124)을 가질 수 있다. 제3 바디(110c)와 제2 바디(110b) 사이에는 제3 바디(110c)의 두께(T33)만큼의 단차(이하, 제2 단차라 함)가 형성될 수 있다. 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 제3 바디(110c)의 상면 사이에 위치되는 제2 측면(124)에 의해 제2 단차가 형성될 수 있다.The third body 110c may have a second side surface 124 in contact with the second cavity 112. A step (hereinafter referred to as a second step) corresponding to the thickness T33 of the third body 110c may be formed between the third body 110c and the second body 110b. A second step may be formed by the second side surface 124 positioned between the second bottom surface 123 of the second body 110b and the top surface of the third body 110c.

제2 캐비티(112)는 제1 캐비티(111)와 연통될 수 있다. 제2 캐비티(112)의 사이즈는 제1 캐비티(111)의 사이즈보다 클 수 있다. The second cavity 112 may communicate with the first cavity 111. The size of the second cavity 112 may be larger than the size of the first cavity 111.

위에서 보았을 때, 제1 캐비티(111)는 사각 형상을 가지고, 제2 캐비티(112)은 원 형상을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 위에서 보았을 때, 제2 바디(110b)의 제1 개구는 사각 형상을 가지며, 제3 바디(110c)의 제2 개구는 원 형상을 가질 수 있다. 위에서 보았을 때, 제1 바디(110a)이 제1 바닥면(121)은 사각 형상을 가지고, 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)은 원 형상을 가질 수 있다. When viewed from above, the first cavity 111 may have a rectangular shape, and the second cavity 112 may have a circular shape, but is not limited thereto. When viewed from above, the first opening of the second body 110b may have a rectangular shape, and the second opening of the third body 110c may have a circular shape. When viewed from above, the first bottom surface 121 of the first body 110a may have a quadrangular shape, and the second bottom surface 123 of the second body 110b may have a circular shape.

정리하면, 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121), 제2 바디(110b)의 제1 개구 및 제1 캐비티(111)은 서로 동일한 사각 형상을 가질 수 있다. 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123), 제3 바디(110c)의 제2 개구 및 제2 캐비티(112)은 서로 동일한 원 형상을 가질 수 있다. In summary, the first bottom surface 121 of the first body 110a, the first opening of the second body 110b, and the first cavity 111 may have the same rectangular shape. The second bottom surface 123 of the second body 110b, the second opening of the third body 110c, and the second cavity 112 may have the same circular shape.

예컨대, 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)의 중심축은 하우징(110)의 중심축과 일치할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. For example, the central axis of the first bottom surface 121 of the first body 110a may coincide with the central axis of the housing 110, but is not limited thereto.

제1 바디(110a)의 두께를 T11이라고 하고, 제2 바디(110b)의 두께를 T22라고 하며, 제3 바디(110c)의 두께를 T33라고 할 수 있다. 이러한 경우, 제1 내지 제3 두께(T11 내지 T33) 사이는 수학식 1로 나타내어질 수 있다. The thickness of the first body 110a may be referred to as T11, the thickness of the second body 110b may be referred to as T22, and the thickness of the third body 110c may be referred to as T33. In this case, between the first to third thicknesses T11 to T33 may be represented by Equation 1.

[수학식 1][Equation 1]

T11≥T22≥T33T11≥T22≥T33

예컨대, 제3 바디(110c)의 두께(T33)는 대략 0.3mm 내지 대략 0.6mm일 수 있다. 예컨대, 제3 바디(110c)의 두께(T33)는 0.5mm일 수 있다. For example, the thickness T33 of the third body 110c may be about 0.3 mm to about 0.6 mm. For example, the thickness T33 of the third body 110c may be 0.5 mm.

제3 바디(110c)의 두께(T33)는 확산부(140)의 두께와 동일할 수 있다. 예컨대, 확산부(140)의 상면은 하우징(110)의 상면, 즉 제3 바디(110c)의 상면(125)과 수평으로 일치될 수 있다. The thickness T33 of the third body 110c may be the same as the thickness of the diffusion unit 140. For example, the upper surface of the diffusion unit 140 may horizontally coincide with the upper surface of the housing 110, that is, the upper surface 125 of the third body 110c.

상술한 바와 같이, 제1 단차는 제2 바디(110b)의 두께(T22)에 의해 결정되고, 제2 단차는 제3 바디(110c)의 두께(T33)에 의해 결정될 수 있다. 따라서, 제2 단차의 높이는 제1 단차의 높이와 같거나 작을 수 있다. As described above, the first step may be determined by the thickness T22 of the second body 110b, and the second step may be determined by the thickness T33 of the third body 110c. Thus, the height of the second step may be less than or equal to the height of the first step.

한편, 제2 바디(110b)의 바닥면(123)와 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)에 의해 안착부(117)가 정의될 수 있다. 안착부(117)는 나중에 설명될 확산부(140)가 고정되는 영역일 수 있다. 확산부(140)가 안착부(117)에 안착되도록 확산부(140)는 안착부(117)의 형상에 대응되는 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 위에서 보았을 때, 확산부(140)의 외곽 테두리는 원 형상을 가질 수 있다. 확산부(140)와 하우징(110)의 고정에 대해서는 나중에 상세히 설명한다.Meanwhile, the mounting part 117 may be defined by the bottom surface 123 of the second body 110b and the second side surface 124 of the third body 110c. The seating part 117 may be an area where the diffusion part 140 to be described later is fixed. The diffusion part 140 may have a shape corresponding to the shape of the seating part 117 so that the diffusion part 140 is seated on the seating part 117. For example, when viewed from above, the outer edge of the diffusion unit 140 may have a circular shape. The fixing of the diffusion part 140 and the housing 110 will be described later in detail.

실시예의 하우징(110)은 서로 이격된 제1 및 제2 비아홀(미도시)을 제공할 수 있다. 구체적으로, 하우징(110)의 제1 바디(110a)는 수직으로 관통되는 제1 및 제2 비아홀을 포함할 수 있다. 나중에 설명하겠지만, 제1 및 제2 비아홀에 제1 및 제2 연결배선(185, 186)이 배치될 수 있다. The housing 110 of the embodiment may provide first and second via holes (not shown) spaced apart from each other. In detail, the first body 110a of the housing 110 may include first and second via holes vertically penetrating through the housing 110. As will be described later, the first and second connection wires 185 and 186 may be disposed in the first and second via holes.

제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100B)는 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)를 포함할 수 있다. The surface emitting laser package 100B according to the third embodiment may include a first electrode part 181 and a second electrode part 182.

제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 하우징(110)에 배치될 수 있다. 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121) 상에 배치될 수 있다. 제1 전극부(181)와 제2 전극부(182)는 이격될 수 있다. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be disposed in the housing 110. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be disposed on the first bottom surface 121 of the first body 110a. The first electrode part 181 and the second electrode part 182 may be spaced apart from each other.

제1 전극부(181)는 표면발광레이저 소자(201)이 배치되어야 하므로, 제1 전극부(181)의 사이즈는 제2 전극부(182)의 사이즈보다 클 수 있다. Since the surface emitting laser device 201 is to be disposed in the first electrode part 181, the size of the first electrode part 181 may be larger than that of the second electrode part 182.

예컨대, 제1 전극부(181)는 표면발광레이저 소자(201)의 제1 전극과 전기적으로 연결되고, 제2 전극부(182)는 와이어(191)를 통해 표면발광레이저 소자(201)의 제2 전극과 전기적으로 연결될 수 있다. For example, the first electrode portion 181 is electrically connected to the first electrode of the surface emitting laser element 201, and the second electrode portion 182 is formed of the surface emitting laser element 201 through the wire 191. Can be electrically connected with the two electrodes.

와이어(191)가 표면발광레이저 소자(201)과 제2 전극부(182) 사엥 연결될 때, 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)으로부터 와이어(191)의 제일 높은 지점은 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)보다 낮게 위치될 수 있다. 와이어(191)가 이와 같이 위치될 때, 확산부(140)가 안착부(117)에 안착되더라도 와이어(191)가 확산부(140)의 하면과 접촉되지 않아, 확산부(140)와 와이어(191)의 접촉으로 인한 불량이 방지될 수 있다. 이러한 불량으로 예컨대 와이어(191)의 단선이나 와이어(191)의 발열이 확산부(140)으로 전달되어 확산부(140)를 변형시키는 것 등이 있을 수 있다.When the wire 191 is connected between the surface emitting laser element 201 and the second electrode portion 182, the highest point of the wire 191 is first from the first bottom surface 121 of the first body 110a. It may be located lower than the second bottom surface 123 of the body (110b). When the wire 191 is positioned in this way, even when the diffusion part 140 is seated on the seating part 117, the wire 191 is not in contact with the bottom surface of the diffusion part 140, so that the diffusion part 140 and the wire ( A defect due to the contact of 191 can be prevented. Such defects may include, for example, disconnection of the wire 191 or heat generation of the wire 191 to be transmitted to the diffusion unit 140 to deform the diffusion unit 140.

제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100B)는 표면발광레이저 소자(201)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100B according to the third embodiment may provide the surface emitting laser device 201.

표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181)과 제2 전극부(182) 중 하나의 전극부 상에 배치될 수 있다. 예컨대, 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181) 상에 배치될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 제1 전극부(181)의 일부 영역 상에 배치될 수 있다. 제1 전극부(181)의 사이즈는 표면발광레이저 소자(201)의 사이즈보다 클 수 있다. 예컨대, 표면발광레이저 소자(201)는 위에서 보았을 때 사각형을 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 표면발광레이저 소자(201)의 세로폭과 가로폭은 서로 동일할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The surface emitting laser device 201 may be disposed on one of the first electrode part 181 and the second electrode part 182. For example, the surface emitting laser device 201 may be disposed on the first electrode part 181. The surface emitting laser device 201 may be disposed on a portion of the first electrode part 181. The size of the first electrode unit 181 may be larger than that of the surface emitting laser device 201. For example, the surface emitting laser device 201 may have a quadrangle when viewed from above, but is not limited thereto. The vertical width and the horizontal width of the surface emitting laser device 201 may be the same but are not limited thereto.

표면발광레이저 소자(201)는 각각 레이저빔을 방출하는 복수의 에미터(도 3의 E1, E2, E3)를 포함하는 발광부(도 9의 E)와 와이어(191)를 이용하여 제2 전극부(182)에 전기적으로 연결되기 위한 패드전극(280)이 배치되는 패드부(도 9의 P)를 포함할 수 있다. The surface emitting laser device 201 uses a light emitting part (E in FIG. 9) and a wire 191 including a plurality of emitters (E1, E2 and E3 in FIG. 3) that emit a laser beam, respectively. The pad electrode 280 may be disposed on the pad 182 to be electrically connected to the unit 182.

제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100B)는 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100B according to the third embodiment may provide the first bonding portion 183 and the second bonding portion 184.

제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 하우징(110) 아래에 배치될 수 있다. 예컨대, 제1 본딩부와 제2 본딩부는 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면 상에 배치될 수 있다. The first bonding part 183 and the second bonding part 184 may be disposed under the housing 110. For example, the first bonding portion and the second bonding portion may be disposed on the bottom surface of the first body 110a of the housing 110.

도면에서는 제1 본딩부와 제2 본딩부가 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면으로부터 하부 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다.In the drawing, the first bonding portion and the second bonding portion may be disposed to protrude downward from the lower surface of the first body 110a of the housing 110.

다른 예로서, 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면에 서로 이격된 제1 및 제2 리세스가 형성되고, 제1 리세스에 제1 본딩부(183)이 배치되고, 제2 리세스에 제2 본딩부(185)가 배치될 수 있다 이러한 경우, 제1 리세스에 배치된 제1 본딩부의 하면 및 제2 리세스에 배치된 제2 본딩부의 하면은 하우징(110)의 제1 바디(110a)의 하면과 수평으로 일치할 수 있다.As another example, first and second recesses spaced apart from each other are formed on the bottom surface of the first body 110a of the housing 110, and a first bonding part 183 is disposed in the first recess, and a second The second bonding portion 185 may be disposed in the recess. In this case, the lower surface of the first bonding portion disposed in the first recess and the lower surface of the second bonding portion disposed in the second recess may be formed of the housing 110. It may coincide horizontally with the lower surface of the first body (110a).

예로서, 제1 본딩부(183)의 하면과 제2 본딩부(184)의 하면 각각은 회로기판(미도시)의 신호라인(미도시)에 면 접촉되어 전기적으로 연결될 수 있다. 이러한 경우, 하우징(110)은 제1 기판으로 지칭되고, 회로기판은 제2 기판으로 지칭될 수 있다. For example, each of the lower surface of the first bonding unit 183 and the lower surface of the second bonding unit 184 may be in surface contact with and electrically connected to a signal line (not shown) of a circuit board (not shown). In this case, the housing 110 may be referred to as a first substrate, and the circuit board may be referred to as a second substrate.

제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 하우징(110) 아래에서 서로 이격되어 배치될 수 있다. 제1 본딩부(183)와 제2 본딩부(184)는 아래에서 보았을 때 원 형상의 패드를 가질 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The first bonding part 183 and the second bonding part 184 may be spaced apart from each other under the housing 110. The first bonding portion 183 and the second bonding portion 184 may have a pad having a circular shape when viewed from below, but the embodiment is not limited thereto.

제1 본딩부(183)는 제1 전극(181)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 본딩부(183)는 제1 연결배선(185)을 통하여 제1 전극(181)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1 연결배선(185)은 예로서, 하우징(110)에 제공된 제1 비아홀에 배치될 수 있다. 제1 본딩부(183)와 제1 연결배선(185)은 동일 금속 물질을 이용하여 일체로 형성될 수 있다. The first bonding part 183 may be electrically connected to the first electrode 181. The first bonding part 183 may be electrically connected to the first electrode 181 through the first connection line 185. For example, the first connection line 185 may be disposed in the first via hole provided in the housing 110. The first bonding part 183 and the first connection wiring 185 may be integrally formed using the same metal material.

제2 본딩부(184)는 제2 전극(182)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 본딩부(184)는 제2 연결배선(186)을 통하여 제2 전극(182)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제2 연결배선(186)은 예로서, 하우징(110)에 제공된 제2 비아홀에 배치될 수 있다. 제2 본딩부(184)와 제2 연결배선(186)은 동일 금속 물질을 이용하여 일체로 형성될 수 있다. The second bonding part 184 may be electrically connected to the second electrode 182. The second bonding unit 184 may be electrically connected to the second electrode 182 through the second connection line 186. For example, the second connection wiring 186 may be disposed in the second via hole provided in the housing 110. The second bonding portion 184 and the second connection wiring 186 may be integrally formed using the same metal material.

예컨대, 제1 연결배선(185)과 제2 연결배선(186)은 텅스텐(W)을 포함할 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 텅스텐(W)이 1000℃ 이상의 고온에서 녹여진 후 제1 및 제2 비아홀에 주입된 후 경화되어, 제1 연결배선(185)와 제2 연결배선(186)이 형성될 수 있다. 텅스텐(W)의 일부가 하우징(110)하부에서 경화되어 제1 및 제2 본딩부(183, 184)로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다.For example, the first connection wire 185 and the second connection wire 186 may include tungsten (W), but are not limited thereto. Tungsten (W) may be melted at a high temperature of 1000 ° C. or higher, injected into the first and second via holes, and cured to form a first connection line 185 and a second connection line 186. A portion of the tungsten (W) may be hardened under the housing 110 to be formed of the first and second bonding portions 183 and 184, but is not limited thereto.

실시예에 의하면, 회로기판(미도시)을 통하여 표면발광레이저 소자(201)에 구동 전원이 제공될 수 있게 된다. According to the embodiment, the driving power can be provided to the surface emitting laser device 201 through a circuit board (not shown).

제3 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100B)는 확산부(140)를 제공할 수 있다. The surface emitting laser package 100B according to the third embodiment may provide the diffusion part 140.

확산부(140)는 표면발광레이저 소자(201) 상에 배치될 수 있다. 예컨대, 확산부(140)는 하우징(110)의 안착부(117) 상에 배치될 수 있다. The diffusion unit 140 may be disposed on the surface emitting laser device 201. For example, the diffusion part 140 may be disposed on the seating part 117 of the housing 110.

확산부(140)는 하우징(110)의 안착부(117)에 단단하게 체결되어 이탈되지 않을 수 있다. The diffusion part 140 may be firmly fastened to the seating part 117 of the housing 110 and may not be separated.

확산부(140)를 하우징(110)의 안착부(117)에 단단하게 체결하기 위해 다양한 특징이 제시될 수 있다. Various features can be presented to securely fasten the diffuser 140 to the seating portion 117 of the housing 110.

제3 실시예에 따르면, 안착부(117)에 제1 패턴(107)이 형성되고, 확산부(140)에 안착부(117)의 제1 패턴(107)의 형상에 대응되는 제2 패턴(143)이 형성될 수 있다. 제1 패턴(107)은 안착부(117)의 내측면, 즉 하우징(110)의 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)을 따라 형성될 수 있다. 제2 패턴(143)은 확산부(140)의 외측면을 따라 형성될 수 있다. 예컨대, 제1 패턴(107)과 제2 패턴(143) 각각은 일 방향을 따라 형성되는 복수의 나사산일 수 있다. 예컨대, 제1 패턴(107)의 나사산은 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)의 상측에서 하측으로 시계 방향을 따라 형성될 수 있다. 예컨대, 제2 패턴(143)의 나사산은 확산부(140)의 외측면의 상측에서 하측으로 시계 방향을 따라 형성될 수 있다. 나사산은 골(trough)과 골 사이의 영역을 의미할 수 있다. 따라서, 제1 패턴(107)과 제2 패턴(143)은 골과 산이 교대로 배치된 형상을 가질 수 있다. According to the third embodiment, the first pattern 107 is formed in the seating portion 117, and the second pattern corresponding to the shape of the first pattern 107 of the seating portion 117 in the diffusion portion 140 ( 143 may be formed. The first pattern 107 may be formed along the inner side surface of the seating portion 117, that is, the second side surface 124 of the third body 110c of the housing 110. The second pattern 143 may be formed along the outer surface of the diffusion unit 140. For example, each of the first pattern 107 and the second pattern 143 may be a plurality of threads formed in one direction. For example, the thread of the first pattern 107 may be formed along the clockwise direction from the upper side to the lower side of the second side surface 124 of the third body 110c. For example, the thread of the second pattern 143 may be formed along the clockwise direction from the upper side to the lower side of the outer surface of the diffusion unit 140. Thread may mean a region between troughs and valleys. Accordingly, the first pattern 107 and the second pattern 143 may have a shape in which valleys and mountains are alternately arranged.

제1 패턴(107)은 안착부(117), 하우징(110)의 제3 바디(110c)와 일체로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 제2 패턴(143)은 확산부(140)와 일체로 형성될 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. The first pattern 107 may be integrally formed with the seating part 117 and the third body 110c of the housing 110, but is not limited thereto. The second pattern 143 may be formed integrally with the diffusion unit 140, but the embodiment is not limited thereto.

제1 패턴(107)의 나사산은 수직 방향을 따라 음각영역과 양각영역이 교대로 배치될 수 있다. 제2 패턴(143)의 나사산은 수직 방향을 따라 음각영역과 양각영역이 교대로 배치될 수 있다. 제2 패턴(143)의 나사산의 음각영역은 제1 패턴(107)의 나사산의 양각영역에 대응될 수 있다. 제2 패턴(143)의 나사산의 양각영역은 제1 패턴(107)의 나사산의 음각영역에 대응될 수 있다. In the thread of the first pattern 107, an intaglio area and an embossed area may be alternately disposed along the vertical direction. In the thread of the second pattern 143, an intaglio area and an embossed area may be alternately disposed along the vertical direction. An intaglio area of the thread of the second pattern 143 may correspond to an embossed area of the thread of the first pattern 107. An embossed area of the thread of the second pattern 143 may correspond to an engraved area of the thread of the first pattern 107.

따라서, 확산부(140)의 하측의 나사산이 안착부(117)의 상측의 나사산에 끼워진 후, 확산부(140)가 시계 방향으로 회전되거나 안착부(117)가 반시계 방향으로 회전됨에 따라 확산부(140)의 하측의 나사산이 안착부(117)의 상측의 나사산과 맞물리어 회전되고 확산부(140)가 점진적으로 하부 방향을 이동되어, 확산부(140)가 안착부(117)에 단단하게 체결될 수 있다. 확산부(140)의 나사산과 안착부(117)의 나사산이 서로 맞물리도록 체결됨으로써, 확산부(140)이 탈착되지 않게 되어, 확산부(140)의 탈착으로 인해 노출되는 표면발광레이저 소자(201)의 레이저빔에 의한 사용자의 눈 손상이 방지될 수 있다. Accordingly, after the lower thread of the diffusion part 140 is fitted to the upper thread of the seating part 117, the diffusion part 140 is rotated clockwise or the seating part 117 is rotated in the counterclockwise direction. The lower thread of the portion 140 rotates in engagement with the upper thread of the seating portion 117 and the diffusion portion 140 gradually moves downward, so that the diffusion portion 140 is firmly attached to the seating portion 117. Can be fastened. As the screw thread of the diffusion part 140 and the screw thread of the mounting part 117 are engaged with each other, the diffusion part 140 is not detached, and the surface light emitting laser device 201 is exposed due to the detachment of the diffusion part 140. Eye damage due to the laser beam can be prevented.

확산부(140)의 회전은 확산부(140)의 하측이 안착부(117)의 바닥면, 즉 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)에 접할 때 멈춰질 수 있다. 따라서, 확산부(140)가 안착부(117)에 완전하게 체결되는 경우, 확산부(140)의 하면이 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 접촉될 수 있다. Rotation of the diffusion part 140 may be stopped when the lower side of the diffusion part 140 contacts the bottom surface of the seating part 117, that is, the second bottom surface 123 of the second body 110b. Therefore, when the diffusion part 140 is completely fastened to the seating part 117, the lower surface of the diffusion part 140 may contact the second bottom surface 123 of the second body 110b.

안착부(117)의 측면, 즉 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)은 경사면을 가질 수 있다. 예컨대, 안착부(117)의 경사면은 하우징(110)의 바닥면, 즉 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)에 대해 대략 100° 내지 120°의 각도로 경사질 수 있다. 안착부(117)의 경사면은 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)에 20°일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 안착부(117)의 상측에서의 직경(D1)은 안착부(117)의 하측에서의 직경(D2)보다 클 수 있다. The side surface of the seating portion 117, that is, the second side surface 124 of the third body 110c may have an inclined surface. For example, the inclined surface of the seating portion 117 may be inclined at an angle of about 100 ° to 120 ° with respect to the bottom surface of the housing 110, that is, the second bottom surface 123 of the second body 110b. The inclined surface of the seating portion 117 may be 20 ° to the second bottom surface 123 of the second body 110b, but is not limited thereto. The diameter D1 at the upper side of the seating portion 117 may be larger than the diameter D2 at the lower side of the seating portion 117.

안착부(117)가 경사짐에 따라 확산부(140)의 외측면 또한 안착부(117)의 경사면에 대응되어 경사질 수 있다. 확산부(140)의 경사면은 확산부(140)의 상면에 대해 대략 10° 내지 30°의 각도로 경사질 수 있다. 확산부(140)의 경사면은 확산부(140)의 상면에 대해 20°일 수 있지만, 이에 대해서는 한정하지 않는다. 확산부(140)의 상측에서의 직경(D1)은 확산부(140)의 하측에서의 직경(D2)보다 클 수 있다. 안착부(117)의 상측의 직경은 확산부(140)의 상측의 직경(D1)과 동일할 수 있다. 안착부(117)의 하측의 직경은 확산부(140)의 하측의 직경(D2)과 동일할 수 있다. As the seating portion 117 is inclined, the outer surface of the diffusion portion 140 may also be inclined to correspond to the inclined surface of the seating portion 117. The inclined surface of the diffuser 140 may be inclined at an angle of about 10 ° to 30 ° with respect to the top surface of the diffuser 140. The inclined surface of the diffuser 140 may be 20 ° with respect to the upper surface of the diffuser 140, but is not limited thereto. The diameter D1 at the upper side of the diffusion part 140 may be larger than the diameter D2 at the lower side of the diffusion part 140. The upper diameter of the seating portion 117 may be the same as the diameter (D1) of the upper side of the diffusion portion 140. The diameter of the lower side of the seating portion 117 may be equal to the diameter D2 of the lower side of the diffusion portion 140.

다른 예로서, 안착부(117)의 측면(124)과 확산부(140)의 측면 각각은 하우징(110)의 바닥면에 수직인 수직면을 가질 수도 있다. As another example, each of the side surface 124 of the seating portion 117 and the side surface of the diffusion portion 140 may have a vertical surface perpendicular to the bottom surface of the housing 110.

확산부(140)가 안착부(117)에 체결되기 위해 확산부(140)가 하우징(110)의 제2 캐비티(112) 내로 이동될 수 있다. 확산부(140)의 하측의 직경(D2)은 안착부(117)의 상측의 직경보다 작으므로, 확산부(140)의 하측의 외측면이 안착부(117)의 내측면(124)과 접촉되지 않는다. 확산부(140)의 하측이 안착부(117)의 중간 영역으로 이동되는 경우, 확산부(140)의 하측의 측면에 형성된 나사산이 안착부(117)의 내측면(124)에 형성된 나사산에 접촉될 수 있다. 이때부터 확산부(140)가 시계 방향을 따라 회전되거나 안착부(117)가 반시계 방향으로 회전됨으로써, 확산부(140)의 하측이 안착부(117)의 나사산을 타고 하부 방향으로 이동될 수 있다. 확산부(140)의 하측이 예컨대, 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 접촉됨으로써, 확산부(140)가 안착부(117)에 끼움 체결될 수 있다. The diffusion part 140 may be moved into the second cavity 112 of the housing 110 to fasten the diffusion part 140 to the seating part 117. Since the diameter D2 of the lower side of the diffusion portion 140 is smaller than the diameter of the upper side of the seating portion 117, the outer side surface of the lower side of the diffusion portion 140 contacts the inner side surface 124 of the seating portion 117. It doesn't work. When the lower side of the diffusion portion 140 is moved to the middle region of the seating portion 117, the thread formed on the lower side of the diffusion portion 140 contacts the thread formed on the inner side surface 124 of the seating portion 117. Can be. At this time, the diffuser 140 is rotated in a clockwise direction or the seating portion 117 is rotated in a counterclockwise direction, so that the lower side of the diffuser 140 can be moved downward by riding the thread of the seating portion 117. have. As the lower side of the diffusion part 140 contacts the second bottom surface 123 of the second body 110b, for example, the diffusion part 140 may be fitted to the seating part 117.

제3 실시예에 따르면, 확산부(140)와 안착부(117)가 나사산을 이용하여 끼움 체결되어, 확산부(140)가 안착부(117)에 단단하게 고정되므로, 확산부(140)의 이탈이 방지되어 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다. According to the third embodiment, since the diffusion part 140 and the seating part 117 are fitted and fastened using a screw thread, and the diffusion part 140 is firmly fixed to the seating part 117, the diffusion part 140 is Deviation can be prevented to improve the reliability of the product.

제3 실시예에 따르면, 안착부(117)에 확산부(140)에 체결될 때 회전된 방향에 반대 방향으로 회전되어 확산부(140)가 안착부(117)로부터 용이하게 분리될 수 있어, 확산부(140)의 불량 등이 발생되는 경우 확산부(140)의 교체가 용이하다.According to the third embodiment, when the fastening part 140 is fastened to the seating part 117, the diffusion part 140 can be easily separated from the seating part 117 by being rotated in a direction opposite to the rotational direction. When a defect or the like of the diffusion unit 140 occurs, it is easy to replace the diffusion unit 140.

한편, 확산부(140)는 표면발광레이저 소자(201)로부터 이격되어 배치될 수 있다. 확산부(140)는 하우징(110)의 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)에 의해 지지될 수 있다.Meanwhile, the diffusion unit 140 may be disposed to be spaced apart from the surface light emitting laser device 201. The diffusion part 140 may be supported by the second bottom surface 123 of the second body 110b of the housing 110.

확산부(140)는 표면발광레이저 소자(201)로부터 발광된 레이저빔의 발산각(divergence angle)을 확장시킬 수 있다. The diffusion unit 140 may extend the divergence angle of the laser beam emitted from the surface emitting laser device 201.

확산부(140)는 무반사(anti-reflective)층을 포함할 수 있다. 예로서, 확산부(140)는 확산부(140)의 상면에 배치된 무반사층을 포함할 수 있다. 무반사층은 확산부(140)와 별개로 형성될 수 있다. The diffusion unit 140 may include an anti-reflective layer. For example, the diffuser 140 may include an antireflective layer disposed on an upper surface of the diffuser 140. The antireflective layer may be formed separately from the diffusion part 140.

무반사층은 예로서 무반사 코팅 필름을 포함할 수 있다. 이러한 무반사 코팅 필름이 확산부(140)의 상면에 부착될 수 있다. 무반사층은 확산부(140)의 표면에 스핀 코팅 또는 스프레이 코팅 등을 통하여 형성될 수도 있다. 예로서, 무반사층은 TiO2, SiO2, Al2O3, Ta2O3, ZrO2, MgF2를 포함하는 그룹 중에서 적어도 하나를 포함하는 단일층 또는 다층으로 형성될 수 있다.The antireflective layer may, for example, comprise an antireflective coating film. The antireflective coating film may be attached to the upper surface of the diffusion unit 140. The antireflective layer may be formed on the surface of the diffusion part 140 by spin coating or spray coating. For example, the antireflective layer may be formed of a single layer or multiple layers including at least one of a group containing TiO 2, SiO 2, Al 2 O 3, Ta 2 O 3, ZrO 2, MgF 2.

확산부(140)는 바디(141)와 바디(141)의 하부에 배치된 복수의 제3 패턴(145)을 포함할 수 있다. The diffusion unit 140 may include a body 141 and a plurality of third patterns 145 disposed under the body 141.

일 예로, 제3 패턴(145)은 바디(141)와 상이한 재질로 형성될 수 있다. 예컨대, 바디(141)는 수지 재질을 포함하고, 제3 패턴(145)는 유리 재질을 포함할 수 있다. For example, the third pattern 145 may be formed of a material different from that of the body 141. For example, the body 141 may include a resin material, and the third pattern 145 may include a glass material.

다른 예로, 제3 패턴(145)는 바디(141)와 일체로 형성될 수 있다. As another example, the third pattern 145 may be integrally formed with the body 141.

제3 패턴(145)은 하부 방향, 즉 표면발광레이저 소자(201)의 방향을 향해 돌출된 돌기(protrusions)를 포함할 수 있다. 인접하는 제3 패턴(145)은 서로 접촉되거나 이격될 수 있다. 제3 패턴(145) 각각은 랜덤한 형상을 가질 수 있다. The third pattern 145 may include protrusions protruding downward, that is, toward the surface of the surface emitting laser device 201. Adjacent third patterns 145 may be in contact with or spaced apart from each other. Each of the third patterns 145 may have a random shape.

(제4 실시예)(Example 4)

도 14은 제4 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.14 is a cross-sectional view showing a surface emitting laser package according to the fourth embodiment.

제4 실시예는 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이에 배치되는 접착부재(150)를 제외하고 제3 실시예와 동일하다. 제4 실시예에서 제3 실시예와 동일한 기능, 형상 및/또는 구조를 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다. 이하의 설명에서 생략된 개시 내용은 제3 실시예(도 1 내지 도 13)로부터 용이하게 이해될 수 있다. 도면에 미처 도시되지 않은 구성 요소는 도 1 내지 도 13에 도시된 도면에 도시된 도면 부호와 동일하다. The fourth embodiment is the third embodiment except for the adhesive member 150 disposed between the first pattern 107 of the seating portion 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion portion 140. Same as the example. In the fourth embodiment, components having the same functions, shapes, and / or structures as those of the third embodiment are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. The disclosure omitted in the following description can be easily understood from the third embodiment (Figs. 1 to 13). Components not shown in the drawings are the same as those shown in the drawings shown in FIGS. 1 to 13.

도 14을 참조하면, 제4 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100C)는 하우징(110), 제1 및 제2 전극부(181, 182), 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 14, the surface emitting laser package 100C according to the fourth embodiment may include a housing 110, first and second electrode portions 181 and 182, a surface emitting laser element 201, and a diffusion portion 140. ) May be included.

하우징(110)의 상측, 즉 제3 바디(110c)에는 확산부(140)가 안착될 수 있는 안착부(117)가 형성될 수 있다. A mounting portion 117 on which the diffusion portion 140 may be mounted may be formed on the upper side of the housing 110, that is, the third body 110c.

제1 및 제2 전극부(181, 182)는 하우징(110)의 바닥면, 즉 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121) 상에 배치될 수 있다. 표면발광레이저 소자(201)는 제1 및 제2 전극부(181, 182) 중 하나의 전극부 상에 배치될 수 있다. The first and second electrode portions 181 and 182 may be disposed on the bottom surface of the housing 110, that is, on the first bottom surface 121 of the first body 110a. The surface emitting laser device 201 may be disposed on one of the first and second electrode portions 181 and 182.

하우징(110)의 안착부(117)는 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)으로부터 제1 단자를 갖는 위치에 형성될 수 있다. 하우징(110)의 안착부(117)는 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)으로로부터 일정 높이의 단차를 가질 수 있다. 하우징(110)의 안착부(117)는 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)으로부터 일정 높이에 위치되는 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)을 포함할 수 있다. 제2 바디(110b)는 제1 개구를 가지고 제1 바디(110a) 상에 배치되고, 제3 바디(110c)는 제1 개구의 직경보다 큰 직경의 제2 개구를 가지고 제2 바디(110b) 상에 배치될 수 있다. The mounting part 117 of the housing 110 may be formed at a position having the first terminal from the first bottom surface 121 of the first body 110a. The seating part 117 of the housing 110 may have a step height of a predetermined height from the first bottom surface 121 of the first body 110a. The seating part 117 of the housing 110 may include a second bottom surface 123 and a third body (123) of the second body 110b positioned at a predetermined height from the first bottom surface 121 of the first body 110a. Second side 124 of 110c). The second body 110b has a first opening and is disposed on the first body 110a, and the third body 110c has a second opening having a diameter larger than the diameter of the first opening and the second body 110b. It can be placed on.

따라서, 제1 캐비티(111)가 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)과 제2 바디(110b)의 제1 개구에 의해 형성되고, 제2 캐비티(112)가 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 제3 바디(110c)의 제2 개구에 의해 형성될 수 있다. 이러한 경우, 제1 전극부(181) 및 제2 전극부(182) 그리고 표면발광레이저 소자(201)는 하우징(110)의 제1 캐비티(111)에 배치될 수 있다. Accordingly, the first cavity 111 is formed by the first bottom surface 121 of the first body 110a and the first opening of the second body 110b, and the second cavity 112 is formed by the second body ( The second bottom surface 123 of 110b and the second opening of the third body 110c may be formed. In this case, the first electrode part 181, the second electrode part 182, and the surface light emitting laser element 201 may be disposed in the first cavity 111 of the housing 110.

제4 실시예에 따르면, 확산부(140)의 직경은 하우징(110)의 안착부(117)의 직경보다 작을 수 있다. 예컨대, 하우징(110)의 안착부(117)의 직경과 확산부(140)의 직경 사이의 차이는 대략 50nm 내지 대략 300nm일 수 있다. 이러한 경우, 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이에 하우징(110)의 안착부(117)의 직경과 확산부(140)의 직경 사이의 차이만큼의 갭이 존재할 수 있다. According to the fourth embodiment, the diameter of the diffusion part 140 may be smaller than the diameter of the seating part 117 of the housing 110. For example, the difference between the diameter of the seating portion 117 of the housing 110 and the diameter of the diffusion 140 may be approximately 50 nm to approximately 300 nm. In this case, the diameter of the seating portion 117 of the housing 110 and the diffusion portion between the first pattern 107 of the seating portion 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion portion 140. There may be as much gap as the difference between the diameters of 140.

이러한 갭이 존재하더라도, 확산부(140)가 하우징(110)의 안착부(117)에 위치될 때, 확산부(140)의 제1 패턴(107)과 하우징(110)의 안착부(117)의 제2 패턴(143)은 서로 끼움 체결될 수 있다. Even if such a gap exists, when the diffusion portion 140 is positioned in the seating portion 117 of the housing 110, the first pattern 107 of the diffusion portion 140 and the seating portion 117 of the housing 110 are present. The second pattern 143 may be fitted to each other.

제4 실시예에 따르면, 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이에 접착부재(150)가 배치될 수 있다. 접착부재(150)로는 접착력, 내습성, 절연성, 지지 강도가 우수한 재질이 사용될 수 있다. 예로서, 접착부재(150)는 유기물을 포함할 수 있다. 접착부재(150)는 에폭시 계열의 레진을 포함할 수 있다. 또한, 접착부재(150)는 실리콘계 레진을 포함할 수 있다.According to the fourth embodiment, the adhesive member 150 may be disposed between the first pattern 107 of the seating portion 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion portion 140. As the adhesive member 150, a material having excellent adhesion, moisture resistance, insulation, and support strength may be used. For example, the adhesive member 150 may include an organic material. The adhesive member 150 may include an epoxy resin. In addition, the adhesive member 150 may include a silicone resin.

예컨대, 먼저 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)에 접착페이스트가 코팅될 수 있다. 이어서, 확산부(140) 및/또는 하우징(110)이 회전되어, 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)에 맞물리게 된다. 확산부(140)의 하측이 하우징(110)의 안착부(117)의 바닥면, 즉 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)에 접촉될 때까지 확산부(140) 및/또는 하우징(110)이 회전될 수 있다. 이어서, 접착페이스트가 경화되어 접착부재(150)가 되고, 이러한 접착부재(150)가 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이에 배치될 수 있다. For example, first, an adhesive paste may be coated on the first pattern 107 of the seating portion 117 of the housing 110. Subsequently, the diffuser 140 and / or the housing 110 are rotated such that the second pattern 143 of the diffuser 140 engages with the first pattern 107 of the seating portion 117 of the housing 110. do. The diffuser 140 and / or until the lower side of the diffuser 140 contacts the bottom surface of the seating portion 117 of the housing 110, that is, the second bottom surface 123 of the second body 110b. The housing 110 may be rotated. Subsequently, the adhesive paste is cured to form the adhesive member 150. The adhesive member 150 is formed by the first pattern 107 of the seating part 117 of the housing 110 and the second pattern of the diffusion part 140 ( 143).

제4 실시예에 따르면, 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이에 배치된 접착부재(150)에 의해 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 더욱 더 단단하게 체결되어, 확산부(140)의 탈착이 원천적으로 차단될 수 있다. According to the fourth embodiment, the first of the seating portion 117 of the housing 110 by the adhesive member 150 disposed between the first pattern 107 and the second pattern 143 of the diffusion portion 140. The pattern 107 and the second pattern 143 of the diffusion unit 140 are tighter and tighter, so that the detachment of the diffusion unit 140 may be blocked.

한편, 확산부(140)의 직경이 하우징(110)의 안착부(117)의 직경과 동일한 경우, 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)에 너무 강하게 접촉되게 되어, 확산부(140)나 하우징(110)의 안착부(117)의 회전이 어려워 끼움 체결되지 않을 수 있다. On the other hand, when the diameter of the diffusion portion 140 is the same as the diameter of the seating portion 117 of the housing 110, the second pattern 143 of the diffusion portion 140 of the seating portion 117 of the housing 110 The contact of the first pattern 107 is too strong, the rotation of the diffusion portion 140 or the seating portion 117 of the housing 110 may be difficult to fit.

제4 실시예에 따르면, 확산부(140)의 직경을 하우징(110)의 안착부(117)의 직경보다 작게 하여, 확산부(140)의 외측면과 하우징(110)의 안착부(117)의 내측면(124) 사이에 일정 갭이 형성되도록 하고 이러한 갭에 접착부재(150)가 배치됨으로써, 확산부(140)가 하우징(110)의 안착부(117)에 보다 용이하게 끼움 체결될 뿐만 아니라 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143) 사이의 끼움 체결뿐만 아니라 접착부재(150)에 의한 확산부(140)와 하우징(110)의 안착부(117)의 접착에 의해 확산부(140)의 탈착이 원천적으로 차단되어 제품에 대한 신뢰성이 향상될 수 있다.According to the fourth embodiment, the diameter of the diffusion portion 140 is smaller than the diameter of the seating portion 117 of the housing 110, so that the outer surface of the diffusion portion 140 and the seating portion 117 of the housing 110 are provided. By forming a gap between the inner surface 124 of the adhesive member 150 is disposed in this gap, the diffusion portion 140 is more easily fitted to the seating portion 117 of the housing 110. In addition, not only the fastening between the first pattern 107 of the seating part 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion part 140 but also the diffusion part 140 by the adhesive member 150 and Desorption of the diffusion unit 140 is blocked by adhesion of the mounting unit 117 of the housing 110, thereby improving reliability of the product.

한편, 다른 실시예로서, 제4 실시예와 제5 실시예가 결합될 수도 있다. 즉, 하우징(110)의 안착부(117)의 제2 측면(124)과 확산부(140)의 측면 사이에 제1 접착부재(150)가 배치되고, 하우징(110)의 안착부(117)의 바닥면과 확산부(140)의 하면 사이에 제2 접착부재(155)가 배치될 수도 있다. 이와 같이, 제1 및 제2 접착부재(155)에 의해 확산부(140)의 하면뿐만 아니라 확산부(140)의 측면이 안착부(117)에 접착되므로, 확산부(140)의 탈착이 불가능해질 수 있다. Meanwhile, as another embodiment, the fourth embodiment and the fifth embodiment may be combined. That is, the first adhesive member 150 is disposed between the second side surface 124 of the seating portion 117 of the housing 110 and the side surface of the diffusion portion 140, and the seating portion 117 of the housing 110. The second adhesive member 155 may be disposed between the bottom surface and the bottom surface of the diffusion part 140. As described above, since the first and second adhesive members 155 adhere not only the bottom surface of the diffusion portion 140 but also the side surface of the diffusion portion 140 to the seating portion 117, the diffusion portion 140 is not detachable. Can be done.

또 다른 실시예로서, 제4 실시예와 제5 실시예가 결합되되, 제4 실시예에서 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 생략될 수 있다. 이와 같이, 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 없더라도, 제1 접착부재(150)와 제2 접착부재(155)에 의해 확산부(140)의 하면뿐만 아니라 확산부(140)의 측면이 안착부(117)에 접착되므로, 확산부(140)의 탈착이 방지될 수 있다. As another embodiment, the fourth embodiment and the fifth embodiment are combined, but in the fourth embodiment, the first pattern 107 of the seating part 117 and the second pattern 143 of the diffusion part 140 are omitted. Can be. As such, even without the first pattern 107 of the seating part 117 and the second pattern 143 of the diffusion part 140, the diffusion part is formed by the first adhesive member 150 and the second adhesive member 155. Since not only the bottom surface of the 140 but also the side surface of the diffusion portion 140 is bonded to the seating portion 117, detachment of the diffusion portion 140 can be prevented.

(제5 실시예)(Example 5)

도 15은 제5 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.15 is a cross-sectional view of a surface emitting laser package according to a fifth embodiment.

제5 실시예는 하우징(110)의 안착부(117)의 바닥면과 확산부(140)의 하면 사이에 배치되는 접착부재(155)를 제외하고 제1 및 제4 실시예와 동일하다. 제5 실시예에서 제1 및 제4 실시예와 동일한 기능, 형상 및/또는 구조를 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다. 이하의 설명에서 생략된 개시 내용은 제1 및 제4 실시예(도 1 내지 도 14)로부터 용이하게 이해될 수 있다. 도면에 미처 도시되지 않은 구성 요소는 도 1 내지 도 14에 도시된 도면에 도시된 도면 부호와 동일하다. The fifth embodiment is the same as the first and fourth embodiments except for the adhesive member 155 disposed between the bottom surface of the seating portion 117 of the housing 110 and the bottom surface of the diffusion portion 140. In the fifth embodiment, components having the same functions, shapes, and / or structures as those in the first and fourth embodiments will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. The disclosure omitted in the following description can be easily understood from the first and fourth embodiments (Figs. 1 to 14). Components not shown in the drawings are the same as those in the drawings shown in FIGS. 1 to 14.

도 15을 참조하면, 제5 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100D)는 하우징(110), 제1 및 제2 전극부(181, 182), 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 15, the surface emitting laser package 100D according to the fifth embodiment may include a housing 110, first and second electrode portions 181 and 182, a surface emitting laser element 201, and a diffusion portion 140. ) May be included.

하우징(110)의 상측, 즉 제3 바디(110c)에는 확산부(140)가 안착될 수 있는 안착부(117)가 형성될 수 있다. A mounting portion 117 on which the diffusion portion 140 may be mounted may be formed on the upper side of the housing 110, that is, the third body 110c.

예컨대, 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 서로 맞물리어 끼움 체결될 수 있다. For example, the first pattern 107 of the seating part 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion part 140 may be engaged with each other to be fitted.

제5 실시예에 따르면, 확산부(140)의 하면과 하우징(110)의 안착부(117)의 바닥면, 즉 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123) 사이에 접착부재(155)가 배치될 수 있다. 접착부재(155)로는 접착력, 내습성, 절연성, 지지 강도가 우수한 재질이 사용될 수 있다. 예로서, 접착부재(155)는 유기물을 포함할 수 있다. 접착부재(155)는 에폭시 계열의 레진을 포함할 수 있다. 또한, 접착부재(155)는 실리콘계 레진을 포함할 수 있다. According to the fifth embodiment, the adhesive member 155 between the bottom surface of the diffusion portion 140 and the bottom surface of the seating portion 117 of the housing 110, that is, the second bottom surface 123 of the second body 110b. ) May be arranged. As the adhesive member 155, a material having excellent adhesion, moisture resistance, insulation, and support strength may be used. For example, the adhesive member 155 may include an organic material. The adhesive member 155 may include an epoxy resin. In addition, the adhesive member 155 may include a silicone resin.

접착부재(155)는 제4 실시예의 접착부재(150)의 재질과 동일하거나 동일하지 않을 수 있다. The adhesive member 155 may or may not be the same as the material of the adhesive member 150 of the fourth embodiment.

접착부재(155)는 확산부(140)의 하측에 구비된 제3 패턴(145)과 접촉될 수 있다. 확산부(140)의 제3 패턴(145)의 볼록한 형상으로 인해, 확산부(140)의 보다 넓은 면적에 접착부재(155)가 접촉되므로, 접착부재(155)에 의해 확산부(140)가 보다 단단하게 하우징(110)의 안착부(117)에 고정될 수 있다. The adhesive member 155 may be in contact with the third pattern 145 provided below the diffusion part 140. Due to the convex shape of the third pattern 145 of the diffusion part 140, since the adhesive member 155 contacts the wider area of the diffusion part 140, the diffusion part 140 is formed by the adhesive member 155. It may be fixed to the seating portion 117 of the housing 110 more firmly.

다른 실시예로서, 확산부(140)의 하측의 가장자리에 제3 패턴(145)이 구비되지 않는 경우, 접착부재(155)는 하우징(110)의 바디(141)의 하면과 접촉될 수 있다. In another embodiment, when the third pattern 145 is not provided at the lower edge of the diffusion unit 140, the adhesive member 155 may contact the bottom surface of the body 141 of the housing 110.

다른 실시예로서, 도시되지 않았지만 접착부재(155)는 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)의 폭 보다 좁게 배치되어 제2 바디(110b)의 제1 측면(122)에 접촉되지 않을 수 있으며, 표면발광레이저 소자(201)로부터 발광된 레이저빔의 발산각(divergence angle)에 영향을 주지 않을 수 있다.In another embodiment, although not shown, the adhesive member 155 may be disposed to be narrower than the width of the second bottom surface 123 of the second body 110b so as not to contact the first side 122 of the second body 110b. It may not be, and may not affect the divergence angle of the laser beam emitted from the surface emitting laser device 201.

(제6 실시예)(Example 6)

도 16은 제6 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지를 도시한 단면도이다.16 is a cross-sectional view illustrating a surface emitting laser package according to a sixth embodiment.

제6 실시예는 확산부(140)의 상면이 하우징(110)의 상면(125)보다 낮게 위치되는 것을 제외하고 제1 내지 제5 실시예와 동일하다. 제6 실시예에서 제1 내지 제5 실시예와 동일한 기능, 형상 및/또는 구조를 갖는 구성 요소에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고 상세한 설명을 생략한다. 이하의 설명에서 생략된 개시 내용은 제1 내지 제5 실시예(도 1 내지 도 15)로부터 용이하게 이해될 수 있다. 도면에 미처 도시되지 않은 구성 요소는 도 1 내지 도 15에 도시된 도면에 도시된 도면 부호와 동일하다. The sixth embodiment is the same as the first to fifth embodiments except that the upper surface of the diffusion portion 140 is positioned lower than the upper surface 125 of the housing 110. In the sixth embodiment, components having the same functions, shapes, and / or structures as those in the first to fifth embodiments will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted. The disclosure omitted in the following description can be easily understood from the first to fifth embodiments (Figs. 1 to 15). Components not shown in the drawings are the same as those shown in the drawings shown in FIGS. 1 to 15.

도 16을 참조하면, 제6 실시예에 따른 표면발광레이저 패키지(100E)는 하우징(110), 제1 및 제2 전극부(181, 182), 표면발광레이저 소자(201) 및 확산부(140)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 16, the surface emitting laser package 100E according to the sixth embodiment may include a housing 110, first and second electrode portions 181 and 182, a surface emitting laser element 201, and a diffusion portion 140. ) May be included.

하우징(110)은 제1 바디(110a), 제2 바디(110b) 및 제3 바디(110c)를 포함할 수 있다. 제1 바디(110a)의 제1 바닥면(121)과 제2 바디(110b)의 제1 개구에 의해 제1 캐비티(111)가 형성될 수 있다. 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 제3 바디(110c)의 제2 개구에 의해 제2 캐비티(112)가 형성될 수 있다. 제2 개구의 직경은 제1 개구의 직경보다 클 수 있다. 제2 개구의 직경과 제1 개구의 직경 차이에 따라 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)의 면적이 달라질 수 있다. The housing 110 may include a first body 110a, a second body 110b, and a third body 110c. The first cavity 111 may be formed by the first bottom surface 121 of the first body 110a and the first opening of the second body 110b. The second cavity 112 may be formed by the second bottom surface 123 of the second body 110b and the second opening of the third body 110c. The diameter of the second opening may be larger than the diameter of the first opening. The area of the second bottom surface 123 of the second body 110b may vary according to the difference between the diameter of the second opening and the diameter of the first opening.

하우징(110)의 상측, 즉 제3 바디(110c)에는 확산부(140)가 안착될 수 있는 안착부(117)가 형성될 수 있다. A mounting portion 117 on which the diffusion portion 140 may be mounted may be formed on the upper side of the housing 110, that is, the third body 110c.

하우징(110)의 안착부(117)는 하우징(110)의 상측에 위치될 수 있다. 하우징(110)의 안착부(117)는 제2 캐비티(112)를 둘러쌀 수 있다. 하우징(110)의 안착부(117)는 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 제3 바디(110c)의 제2 측면(124)을 가질 수 있다. 안착부(117)의 내측면(124)에 제1 패턴(107)이 형성될 수 있다. 예컨대, 하우징(110)의 안착부(117)의 제1 패턴(107)과 확산부(140)의 제2 패턴(143)이 서로 맞물리어 끼움 체결될 수 있다. The seating portion 117 of the housing 110 may be located above the housing 110. The seating portion 117 of the housing 110 may surround the second cavity 112. The seating portion 117 of the housing 110 may have a second bottom surface 123 of the second body 110b and a second side surface 124 of the third body 110c. The first pattern 107 may be formed on the inner side surface 124 of the seating portion 117. For example, the first pattern 107 of the seating part 117 of the housing 110 and the second pattern 143 of the diffusion part 140 may be engaged with each other to be fitted.

안착부(117)의 두께는 제3 바디(110c)의 두께(T33)와 동일할 수 있다. 이러한 경우, 확산부(140)의 두께(Td)는 안착부(117)의 두께(T33)보다 작을 수 있다. 따라서, 확산부(140)의 하면이 안착부(117)의 바닥면, 즉 제2 바디(110b)의 제2 바닥면(123)과 접촉되도록 위치될 때, 확산부(140)의 상면은 하우징(110)의 상면, 즉 제3 바디(110c)의 상면(125)보다 낮게 위치될 수 있다. The thickness of the seating part 117 may be the same as the thickness T33 of the third body 110c. In this case, the thickness Td of the diffusion part 140 may be smaller than the thickness T33 of the seating part 117. Therefore, when the bottom surface of the diffusion portion 140 is positioned to contact the bottom surface of the seating portion 117, that is, the second bottom surface 123 of the second body 110b, the top surface of the diffusion portion 140 is disposed in the housing. The upper surface of the 110 may be located lower than the upper surface 125 of the third body 110c.

예컨대, 확산부(140)의 상면이 하우징(110)의 상면(125)보다 낮게 위치되는 깊이(d)는 확산부(140)의 두께(Td)의 3% 내지 10%일 수 있다. 예컨대, 확산부(140)의 상면이 하우징(110)의 상면(125)보다 낮게 위치되는 깊이(d)는 하우징(110)의 제3 바디(110c)의 두께(T33)의 대략 3% 내지 대략 10%일 수 있다. 예컨대, 확산부(140)의 두께(Td)가 500㎛인 경우, 깊이(d)는 15㎛ 내지 50㎛일 수 있다. For example, the depth d at which the upper surface of the diffusion 140 is lower than the upper surface 125 of the housing 110 may be 3% to 10% of the thickness Td of the diffusion 140. For example, the depth d at which the upper surface of the diffusion portion 140 is positioned lower than the upper surface 125 of the housing 110 is about 3% to about the thickness T33 of the third body 110c of the housing 110. May be 10%. For example, when the thickness Td of the diffusion part 140 is 500 μm, the depth d may be 15 μm to 50 μm.

제6 실시예에 따르면, 확산부(140)의 상면은 하우징(110)의 상면(125)보다 낮게 위치되므로, 하우징(110)의 상면(125)에 의해 확산부(140)의 상면이 보호되어 하우징(110)의 상면(125)에 생길 수 있는 스크래치와 같은 불량이 차단될 수 있다. According to the sixth embodiment, since the upper surface of the diffusion unit 140 is positioned lower than the upper surface 125 of the housing 110, the upper surface of the diffusion unit 140 is protected by the upper surface 125 of the housing 110. Defects such as scratches that may occur on the upper surface 125 of the housing 110 may be blocked.

또한, 도시되지 않았지만 확산부(140)의 상면의 외측부와 깊이(d)에 의해 노출된 안착부(115) 사이에는 접착부재가 배치될 수 있으며, 접착부재에 의해 확산부(140)의 탈착이 불가능해질 수 있다.In addition, although not shown, an adhesive member may be disposed between the outer portion of the upper surface of the diffusion portion 140 and the seating portion 115 exposed by the depth d, and the detachment of the diffusion portion 140 may be performed by the adhesive member. It can be impossible.

(플립칩형 표면발광레이저소자)(Flip Chip Type Surface Emitting Laser Device)

도 17은 실시예에 따른 표면발광 레이저소자의 다른 단면도이다. 17 is another cross-sectional view of the surface emitting laser device according to the embodiment.

제1 내지 제6 실시예에 따른 표면발광레이저 소자가 도 17에 도시된 플립칩형 표면발광레이저소자에 적용될 수 있다.The surface emitting laser device according to the first to sixth embodiments may be applied to the flip chip type surface emitting laser device shown in FIG. 17.

제1 내지 제6 실시예에 따른 표면발광 레이저소자는 수직형 외에 도 17와 같이 제1 전극(215)과 제2 전극(282)이 동일 방향을 향하는 플립칩형일 수 있다.In addition to the vertical type, the surface emitting laser device according to the first to sixth embodiments may be a flip chip type in which the first electrode 215 and the second electrode 282 face the same direction as shown in FIG. 17.

예를 들어, 도 17에 도시된 플립칩형 표면발광레이저소자는 제1 전극부(215, 217), 기판(210), 제1 반사층(220), 활성영역(230), 애퍼처 영역(240), 제2 반사층(250), 제2 전극부(280, 282), 제1 패시베이션층(271), 제2 패시베이션층(272), 비반사층(290) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 이때 제2 반사층(250)의 반사율이 제1 반사층(220)의 반사율 보다 높게 설계될 수 있다.For example, the flip chip type surface emitting laser device illustrated in FIG. 17 may include a first electrode part 215 and 217, a substrate 210, a first reflective layer 220, an active region 230, and an aperture region 240. The second reflective layer 250, the second electrode parts 280 and 282, the first passivation layer 271, the second passivation layer 272, and the anti-reflection layer 290 may be included. In this case, the reflectance of the second reflecting layer 250 may be designed to be higher than that of the first reflecting layer 220.

이때 제1 전극부(215, 217)는 제1 전극(215)과 제1 패드전극(217)을 포함할 수 있으며, 소정의 메사 공정을 통해 노출된 제1 반사층(220) 상에 제1 전극(215)이 전기적으로 연결되며, 제1 전극(215)에 제1 패드전극(217)이 전기적으로 연결될 수 있다.In this case, the first electrode parts 215 and 217 may include a first electrode 215 and a first pad electrode 217, and the first electrode on the first reflective layer 220 exposed through a predetermined mesa process. The 215 may be electrically connected, and the first pad electrode 217 may be electrically connected to the first electrode 215.

제1 전극부(215, 217)은 도전성 재료로 이루어질 수 있고, 예를 들면 금속일 수 있다. 예를 들어, 제1 전극(215)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 구리(Cu), 금(Au) 중 적어도 하나를 포함하여 단층 또는 다층 구조로 형성될 수 있다. 제1 전극(215)와 제1 패드전극(217)은 서로 동일한 금속 또는 상이한 금속을 포함할 수 있다. The first electrode portions 215 and 217 may be made of a conductive material, for example, metal. For example, the first electrode 215 may include a single layer or a multilayer structure including at least one of aluminum (Al), titanium (Ti), chromium (Cr), nickel (Ni), copper (Cu), and gold (Au). It can be formed as. The first electrode 215 and the first pad electrode 217 may include the same metal or different metals.

제1 반사층(220)이 n형 반사층인 경우, 제1 전극(215)은 n형 반사층에 대한 전극일 수 있다.When the first reflective layer 220 is an n-type reflective layer, the first electrode 215 may be an electrode for the n-type reflective layer.

제2 전극부(280, 282)는 제2 전극(282)과 제2 패드전극(280)을 포함할 수 있으며, 제2 반사층(250) 상에 제2 전극(282)이 전기적으로 연결되며, 제2 전극(282)에 제2 패드전극(280)이 전기적으로 연결될 수 있다.The second electrode parts 280 and 282 may include a second electrode 282 and a second pad electrode 280, and the second electrode 282 is electrically connected to the second reflective layer 250. The second pad electrode 280 may be electrically connected to the second electrode 282.

제2 반사층(250)이 p형 반사층인 경우, 제2 전극(282)은 p형 전극일 수 있다.When the second reflective layer 250 is a p-type reflective layer, the second electrode 282 may be a p-type electrode.

상술한 실시예에 따른 제2 전극(도 12 참조)은 플립칩형 표면발광레이저 소자의 제2 전극(282)에 동일하게 적용될 수 있다.The second electrode (see FIG. 12) according to the above-described embodiment may be equally applied to the second electrode 282 of the flip chip type surface emitting laser device.

제1 절연층(271)과 제2 절연층(272)은 절연성 재질로 이루어질 수 있고, 예를 들면 질화물 또는 산화물로 이루어질 수 있으며, 예를 들어, 폴리이미드(Polymide), 실리카(SiO2), 또는 질화 실리콘(Si3N4) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.The first insulating layer 271 and the second insulating layer 272 may be made of an insulating material, for example, may be formed of nitride or oxide, for example, polyimide, silica (SiO 2 ), Or silicon nitride (Si 3 N 4 ).

실시예는 신뢰성이 높은 전극구조를 구비한 표면발광 레이저소자를 제공할 수 있는 기술적 효과가 있다.The embodiment has a technical effect of providing a surface emitting laser device having a highly reliable electrode structure.

또한 실시예는 출사 빔의 빔 패턴(beam pattern)이 분열 또는 출사 빔의 발산각(divergence angle of beams)이 증가되는 광학적 문제를 해결할 수 있는 표면발광 레이저소자를 제공할 수 있는 기술적 효과가 있다.In addition, the embodiment has a technical effect that can provide a surface emitting laser device that can solve the optical problem that the beam pattern of the exit beam is split or the divergence angle of the beam is increased.

또한 실시예는 오믹특성을 개선할 수 있는 표면발광 레이저소자를 제공할 수 있는 기술적 효과가 있다.In addition, the embodiment has a technical effect that can provide a surface emitting laser device that can improve the ohmic characteristics.

(이동 단말기)(Mobile terminal)

도 18는 실시예에 따른 표면발광레이저 소자가 적용된 이동 단말기의 사시도이다.18 is a perspective view of a mobile terminal to which a surface emitting laser device is applied according to an embodiment.

제1 내지 제6 실시예에 따른 수직형 표면발광레이저 소자와 도 17에 도시된 플립형 표면발광레이저 소자는 도 18에 도시된 이동 단말기에 적용될 수 있다. The vertical surface emitting laser device and the flip surface emitting laser device shown in FIG. 17 according to the first to sixth embodiments may be applied to the mobile terminal shown in FIG.

도 18에 도시된 바와 같이, 실시예의 이동 단말기(1500)는 후면에 제공된 카메라 모듈(1520), 플래쉬 모듈(1530), 자동 초점 장치(1510)를 포함할 수 있다. 여기서, 자동 초점 장치(1510)는 발광층으로서 앞서 설명된 제1 내지 제6 실시예에 따른 표면발광레이저 소자의 패키지 중의 하나를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 18, the mobile terminal 1500 of the embodiment may include a camera module 1520, a flash module 1530, and an auto focusing device 1510 provided at a rear surface thereof. Here, the auto focusing device 1510 may include one of the packages of the surface emitting laser device according to the first to sixth embodiments described above as the light emitting layer.

플래쉬 모듈(1530)은 그 내부에 광을 발광하는 발광소자를 포함할 수 있다. 플래쉬 모듈(1530)은 이동 단말기의 카메라 작동 또는 사용자의 제어에 의해 작동될 수 있다. The flash module 1530 may include a light emitting device that emits light therein. The flash module 1530 may be operated by camera operation of a mobile terminal or control of a user.

카메라 모듈(1520)은 이미지 촬영 기능 및 자동 초점 기능을 포함할 수 있다. 예컨대 카메라 모듈(1520)은 이미지를 이용한 자동 초점 기능을 포함할 수 있다.The camera module 1520 may include an image capturing function and an auto focus function. For example, the camera module 1520 may include an auto focus function using an image.

자동 초점 장치(1510)는 레이저를 이용한 자동 초점 기능을 포함할 수 있다. 자동 초점 장치(1510)는 카메라 모듈(1520)의 이미지를 이용한 자동 초점 기능이 저하되는 조건, 예컨대 10m 이하의 근접 또는 어두운 환경에서 주로 사용될 수 있다. 자동 초점 장치(1510)는 앞서 기술된 실시예의 표면발광레이저 소자를 포함하는 발광층과, 포토 다이오드와 같은 빛 에너지를 전기 에너지로 변환하는 수광부를 포함할 수 있다.The auto focus device 1510 may include an auto focus function using a laser. The auto focus device 1510 may be mainly used in a condition in which the auto focus function using the image of the camera module 1520 is degraded, for example, in a proximity or dark environment of 10 m or less. The auto focus device 1510 may include a light emitting layer including the surface emitting laser device of the above-described embodiment, and a light receiving unit for converting light energy such as a photodiode into electrical energy.

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.The foregoing detailed description should not be construed as limiting in all respects, but should be considered as illustrative. The scope of the embodiments should be determined by reasonable interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalent scope of the embodiments are included in the scope of the embodiments.

상기의 상세한 설명은 모든 면에서 제한적으로 해석되어서는 아니되고 예시적인 것으로 고려되어야 한다. 실시예의 범위는 첨부된 청구항의 합리적 해석에 의해 결정되어야 하고, 실시예의 등가적 범위 내에서의 모든 변경은 실시예의 범위에 포함된다.The foregoing detailed description should not be construed as limiting in all respects, but should be considered as illustrative. The scope of the embodiments should be determined by reasonable interpretation of the appended claims, and all changes within the equivalent scope of the embodiments are included in the scope of the embodiments.

100: 표면발광레이저 패키지
107, 143, 145: 패턴
110: 하우징
110a, 110b, 110c, 141: 바디
111, 112: 캐비티
113, 121, 123: 바닥면
115, 122, 124: 측면
117: 안착부
125: 상면
130: 접착부
132, 142: 패턴
140: 확산부
141: 바디
145: 패턴
150, 155: 접착부재
181, 182: 전극부
183, 184: 본딩부
185, 186: 연결배선
191: 와이어
201: 표면발광레이저 소자
210: 기판
215: 제1 전극
217, 280: 패드전극
220: 제1 반사층
230: 발광층
240: 산화층
241: 개구부
242: 절연영역
250: 제2 반사층
270: 패시베이션층
282: 제2 전극
350: 스탬프
352: 양각패턴
E: 발광부
E1, E2, E3: 에미터
M: 메사영역
P: 패드부
100: surface emitting laser package
107, 143, 145: pattern
110: housing
110a, 110b, 110c, 141: body
111, 112: cavity
113, 121, 123: Bottom
115, 122, 124: side
117: seating area
125: top
130: adhesive
132, 142: pattern
140: diffusion part
141: body
145: pattern
150, 155: adhesive member
181, 182: electrode portion
183, 184: bonding part
185, 186: connection wiring
191: wire
201: surface emitting laser device
210: substrate
215: first electrode
217 and 280: pad electrode
220: first reflective layer
230: light emitting layer
240: oxide layer
241: opening
242: insulation area
250: second reflective layer
270: passivation layer
282: second electrode
350: stamp
352: embossed pattern
E: light emitting part
E1, E2, E3: Emitter
M: mesa area
P: Pad part

Claims (10)

제1 패턴을 갖는 안착부를 포함하는 하우징;
상기 하우징에 배치되는 표면발광레이저 소자; 및
상기 하우징의 상기 안착부에 배치되며, 상기 제1 패턴의 형상에 대응되는 형상인 제2 패턴을 갖는 확산부;
를 포함하는 표면발광레이저 패키지.
A housing including a seating portion having a first pattern;
A surface emitting laser device disposed in the housing; And
A diffusion part disposed on the seating part of the housing and having a second pattern having a shape corresponding to the shape of the first pattern;
Surface emitting laser package comprising a.
제1항에 있어서,
상기 하우징은,
제1 바닥면을 가지며,
상기 표면발광레이저 소자는 상기 제1 바닥면 상에 배치되며,
상기 안착부는,
상기 제1 바닥면으로부터 단차를 갖는 제2 바닥면과 측면을 갖는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 1,
The housing is
Has a first bottom surface,
The surface emitting laser device is disposed on the first bottom surface,
The seating portion,
And a second bottom surface and a side surface having a step from the first bottom surface.
제2항에 있어서,
상기 제1 패턴은 상기 상기 안착부의 상기 측면을 따라 배치되고,
상기 제2 패턴은 상기 확산부의 측면을 따라 배치되는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 2,
The first pattern is disposed along the side surface of the seating portion,
The second pattern is a surface light emitting laser package disposed along the side of the diffusion.
제2항에 있어서,
상기 안착부의 상기 측면은 제1 경사면을 가지며,
상기 확산부의 측면은 상기 안착부의 상기 제1 경사면에 대응되는 제2 경사면을 가지며,
상기 경사면은 상기 제2 바닥면에 대해 100° 내지 120°의 각도를 갖는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 2,
The side surface of the seating portion has a first inclined surface,
The side of the diffusion portion has a second inclined surface corresponding to the first inclined surface of the seating portion,
And the inclined surface has an angle of 100 ° to 120 ° with respect to the second bottom surface.
제4항에 있어서,
상기 확산부의 상면의 직경은 상기 확산부의 하면의 직경보다 큰 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 4, wherein
A surface light emitting laser package having a diameter of an upper surface of the diffusion portion larger than a diameter of a lower surface of the diffusion portion.
제2항에 있어서,
상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴은 나사산을 포함하는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 2,
And the first pattern and the second pattern comprise threads.
제2항에 있어서,
상기 제1 바닥면은 사각 형상을 가지며,
상기 제2 바닥면은 원 형상을 갖는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 2,
The first bottom surface has a square shape,
And the second bottom surface has a circular shape.
제2항에 있어서,
상기 안착부의 상기 제1 패턴과 상기 확산부의 상기 제2 패턴 사이에 배치된 제1 접착부재;
를 더 포함하는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 2,
A first adhesive member disposed between the first pattern of the seating portion and the second pattern of the diffusion portion;
Surface light emitting laser package further comprising.
제8항에 있어서,
상기 안착부의 상기 제2 바닥면과 상기 확산부의 하면 사이에 배치되는 제2 접착부재;
를 더 포함하는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 8,
A second adhesive member disposed between the second bottom surface of the seating portion and a bottom surface of the diffusion portion;
Surface light emitting laser package further comprising.
제1항에 있어서,
상기 확산부의 상면은 상기 하우징의 상면보다 낮게 위치되는 표면발광레이저 패키지.
The method of claim 1,
The upper surface of the diffusion portion is lower surface than the upper surface of the housing laser package.
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