KR20200009296A - Apparatus for transferring substrate - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a substrate transferring apparatus. The substrate transferring apparatus includes: a main frame having a space divided into a first area and a second area arranged in parallel with each other from side to side therein; a first pickup unit installed on the first area of the main frame; a second pickup unit installed on the second area of the main frame; and a conveyor frame supporting a conveyor, wherein the conveyor frame is detachably coupled to the main frame so that the conveyor is selectively installed on a side portion of the first pickup unit or a side portion of the second pickup unit.

Description

기판 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}Substrate transfer device {APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer device.

인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 기판(Substrate)을 세정하는 전처리공정, 상기 전처리공정을 거친 기판을 도금하는 도금공정 및 후처리공정으로 구분될 수 있다. 인쇄회로기판(PCB)의 제조공정은 컨베이어(Conveyor) 등으로 이루어진 로딩 장치를 이용하여 기판을 전처리공정에서 도금공정으로, 그리고 상기 도금공정에서 후처리공정으로 이송하고 있으며, 각 공정에서는 기판을 정렬한 후 흡착하여 이송토록 하고 있다.The manufacturing process of a printed circuit board (PCB) may be divided into a pretreatment process for cleaning a substrate, a plating process for plating a substrate subjected to the pretreatment process, and a post treatment process. In the manufacturing process of printed circuit board (PCB), the substrate is transferred from the pretreatment process to the plating process and from the plating process to the post-treatment process by using a loading device made of a conveyor or the like. It is then adsorbed and transported.

일본 특허공개공보 제2000-332493호(2000.11.30. 공개)Japanese Patent Laid-Open No. 2000-332493 (published November 30, 2000)

본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역과 제2 영역으로 구획되는 공간이 마련된 메인 프레임; 상기 메인 프레임의 상기 제1 영역에 설치되는 제1 픽업유닛; 상기 메인 프레임의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 픽업유닛; 및 컨베이어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하고, 상기 컨베이어 프레임은, 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛의 측부에 선택적으로 설치되도록, 상기 메인 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 기판 이송 장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a main frame having a space partitioned into a first area and a second area arranged side by side in the left and right; A first pickup unit installed in the first area of the main frame; A second pickup unit installed in the second area of the main frame; And a conveyor frame supporting the conveyor, wherein the conveyor frame is detachably coupled to the main frame such that the conveyor is selectively installed on the side of the first pickup unit or the side of the second pickup unit. A conveying device is provided.

도 1은 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 한 결합 상태를 나타낸 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 결합 상태를 나타낸 도면.1 is a view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the invention.
2 is a view showing a bonding state of the substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention.
3 is a view showing another bonding state of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

본 출원에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 또한, 명세서 전체에서, "상에"라 함은 대상부분의 위 또는 아래에 위치함을 의미하는 것이며, 반드시 중력 방향을 기준으로 상 측에 위치하는 것을 의미하는 것이 아니다.In the present application, when a part is said to "include" a certain component, it means that it can further include other components, without excluding the other components unless otherwise stated. In addition, throughout the specification, "on" means to be located above or below the target portion, and does not necessarily mean to be located above the gravity direction.

또한, 결합이라 함은, 각 구성 요소 간의 접촉 관계에 있어, 각 구성 요소 간에 물리적으로 직접 접촉되는 경우만을 뜻하는 것이 아니라, 다른 구성이 각 구성 요소 사이에 개재되어, 그 다른 구성에 구성 요소가 각각 접촉되어 있는 경우까지 포괄하는 개념으로 사용하도록 한다.In addition, the coupling does not only mean a case where physical contact is directly between the components in the contact relationship between the components, but another component is interposed between the components, and the components are included in the other components. Use it as a comprehensive concept until each contact.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.Since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated.

본 발명에 따른 기판 이송 장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.An embodiment of a substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, in the following description with reference to the accompanying drawings, the same or corresponding components are given the same reference numerals and duplicate description thereof It will be omitted.

또한 이하에서 설명한 본 발명의 각각의 실시예는 반드시 하나의 실시예 만을 나타내는 개념이 아니며, 각각의 실시예에 대하여 종속된 실시예들을 포괄하는 개념으로 이해되어야 한다. In addition, each embodiment of the present invention described below is not necessarily a concept representing only one embodiment, it should be understood as a concept encompassing embodiments dependent on each embodiment.

도 1은 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치를 나타낸 도면이다.1 is a view showing a substrate transfer apparatus according to an embodiment of the invention.

도 1을 참조하면, 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는, 메인 프레임(110), 제1 픽업유닛(120), 제2 픽업유닛(130) 및 컨베이어 프레임(140)을 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a substrate transport apparatus according to an embodiment of the present invention may include a main frame 110, a first pickup unit 120, a second pickup unit 130, and a conveyor frame 140.

메인 프레임(110)은 복수의 선형 구조물로 이루어지는 틀로서, 메인 프레임(110)은 직육면체의 모서리(변)에 대응하는 복수의 선형 구조물로 이루어질 수 있다. 복수의 선형 구조물들은 큰 강성을 가지는 강재나 철재 등으로 이루어질 수 있으나, 소재가 제한되는 것은 아니다. 한편, 메인 프레임(110)의 하부에는 다수의 지지 레그(leg)가 결합될 수 있다.The main frame 110 is a frame composed of a plurality of linear structures, and the main frame 110 may be formed of a plurality of linear structures corresponding to the edges (sides) of the rectangular parallelepiped. The plurality of linear structures may be made of steel or steel having great rigidity, but the material is not limited thereto. Meanwhile, a plurality of support legs may be coupled to the lower portion of the main frame 110.

메인 프레임(110)의 내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역(111)과 제2 영역(112)으로 구획되는 공간이 마련된다. 제1 영역(111)과 제2 영역(112)의 구획은 가상으로 구획되거나 선형 구조물에 의하여 실제로 구획될 수 있다. 제1 영역(111)와 제2 영역(112)의 형상, 크기는 모두 동일할 수 있다.A space partitioned into the first region 111 and the second region 112 disposed side by side from side to side inside the main frame 110 is provided. The partition of the first region 111 and the second region 112 may be virtually partitioned or actually partitioned by a linear structure. The shape and size of the first region 111 and the second region 112 may be the same.

복수의 기판(S)은 상하로 적재되어 기판 이송 장치로 공급되는데, 복수의 기판(S) 사이마다 간지(P)가 개재될 수 있다. 간지(P)는 일정한 두께를 갖는 사각형의 종이나 합성수지로 이루어진 것일 수 있다.The plurality of substrates S are stacked up and down and supplied to the substrate transfer apparatus, and the interlayer slips P may be interposed between the plurality of substrates S. FIG. The slip sheet (P) may be made of rectangular paper or synthetic resin having a certain thickness.

픽업유닛은 투입되는 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩하거나, 기판(S)과 함께 투입되는 간지(P)를 픽업하여 수취하는 장비이다. 픽업유닛은 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)을 포함할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 기판(S) 로딩 기능 또는 간지(P) 수취 기능을 할 수 있다. 즉, 제1 픽업유닛(120)이 기판(S) 로딩 기능을 하면, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P) 수취 기능을 하고, 제2 픽업유닛(130)이 기판(S) 로딩 기능을 하면, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P) 수취 기능을 한다.The pickup unit is a device that picks up the substrate S to be loaded and loads it onto the conveyor 141, or picks up and collects the slip paper P injected together with the substrate S. The pickup unit may include a first pickup unit 120 and a second pickup unit 130. The first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 may serve as a substrate (S) loading function or a slip sheet (P) receiving function. That is, when the first pickup unit 120 functions to load the substrate S, the second pickup unit 130 functions to receive the slip sheet P, and the second pickup unit 130 functions to load the substrate S. If so, the first pickup unit 120 serves as a slip sheet (P) receiving function.

제1 픽업유닛(120)은 메인 프레임(110)의 제1 영역(111)에 설치되고, 제2 픽업유닛(130)은 메인 프레임(110)의 제2 영역(112)에 설치된다. 제1 영역(111)과 제2 영역(112)은 좌우로 나란히 배치되며, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130) 역시 좌우로 나란히 배치된다.The first pickup unit 120 is installed in the first region 111 of the main frame 110, and the second pickup unit 130 is installed in the second region 112 of the main frame 110. The first region 111 and the second region 112 are arranged side by side, and the first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 are also arranged side by side.

제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 모두 메인 프레임(110)에 결합될 수 있지만, 메인 프레임(110)에 대해 탈착 가능할 수 있다.Both the first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 may be coupled to the main frame 110, but may be detachable from the main frame 110.

제1 영역(111)에 형성되는 제1 픽업유닛(120)과 제2 영역(112)에 형성되는 제2 픽업유닛(130)은 서로 동일한 형상을 가질 수 있고, 제1 영역(111)과 제2 영역(112) 사이에 존재하는 가상의 평면에 대해 서로 면대칭을 이루는 형상을 가질 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 동일한 형상을 가지면서 서로 면대칭을 이룰 수도 있다. 도 1에서는 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 동일한 형상을 가지도록 도시되었으나, 이러한 특징으로 한정되는 것이 아니라, 상술한 것과 같이 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 서로 면대칭인 형상을 가질 수도 있다.The first pickup unit 120 formed in the first region 111 and the second pickup unit 130 formed in the second region 112 may have the same shape, and the first region 111 and the first region 111 may have the same shape. It may have a shape that is face symmetric with respect to the virtual plane existing between the two regions (112). The first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 may have the same shape and face-symmetric with each other. In FIG. 1, the first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 are illustrated to have the same shape. However, the first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 are not limited thereto. The unit 130 may have a shape that is face symmetric with each other.

제1 픽업유닛(120)은, 상하로 승강 가능한 제1 암(arm)(121); 및 상기 제1 암(121)에 결합되는 제1 흡착기(122)를 포함하고, 제2 픽업유닛(130)은, 상하로 승강 가능한 제2 암(arm)(131); 및 상기 제2 암(131)에 결합되는 제2 흡착기(132)를 포함할 수 있다.The first pick-up unit 120 includes: a first arm 121 capable of lifting up and down; And a first adsorber 122 coupled to the first arm 121, wherein the second pickup unit 130 includes: a second arm 131 capable of lifting up and down; And a second adsorber 132 coupled to the second arm 131.

제1 암(121)은 상하로 승강하면서, 제1 암(121)에 결합되는 제1 흡착기(122)를 상하로 승강시킬 수 있다. 제1 암(121)이 하강하면 제1 흡착기(122)는 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착할 수 있다. 제1 암(121)이 상승하면 제1 흡착기(122)에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 픽업될 수 있다. 이 때, 제1 흡착기(122)는 내부를 진공으로 만들어 압력 차에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 흡착되도록 한다. The first arm 121 may elevate the first adsorber 122 coupled to the first arm 121 while moving up and down. When the first arm 121 is lowered, the first adsorber 122 may adsorb the substrate S or the interleaver P. When the first arm 121 is raised, the substrate S or the interleaver P may be picked up by the first adsorber 122. At this time, the first adsorber 122 vacuums the inside to allow the substrate S or the interleaver P to be adsorbed by the pressure difference.

또한, 제1 암(121)이 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착한 상태에서 하강하고 제1 흡착기(122)의 내부의 진공 상태를 해제하면, 기판(S)이 제1 흡착기(122)로부터 분리되어 컨베이어(141) 상에 로딩되거나 제1 흡착기(122)로부터 간지(P)가 분리되어 소정의 위치로 수취될 수 있다.In addition, when the first arm 121 descends while adsorbing the substrate S or the interleaver P and releases the vacuum state inside the first adsorber 122, the substrate S may be the first adsorber 122. ) And may be loaded onto the conveyor 141 or the interleaver P may be separated from the first adsorber 122 and received at a predetermined position.

제2 암(131)은 상하로 승강하면서, 제2 암(131)에 결합되는 제2 흡착기(132)를 상하로 승강시킬 수 있다. 제2 암(131)이 하강하면 제2 흡착기(132)는 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착할 수 있다. 제1 암(121)이 상승하면 제2 흡착기(132)에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 픽업될 수 있다. 여기서, 제2 흡착기(132)는 내부를 진공으로 만들어 압력 차에 의하여 기판(S) 또는 간지(P)가 흡착되도록 한다.The second arm 131 may lift up and down while lifting the second adsorber 132 coupled to the second arm 131 while lifting up and down. When the second arm 131 is lowered, the second adsorber 132 may adsorb the substrate S or the interleaver P. When the first arm 121 is raised, the substrate S or the slip sheet P may be picked up by the second adsorber 132. Here, the second adsorber 132 makes the interior vacuum so that the substrate S or the interleaver P is adsorbed by the pressure difference.

또한, 제2 암(131)이 기판(S) 또는 간지(P)를 흡착한 상태에서 하강하고 제2 흡착기(132)의 내부의 진공 상태를 해제하면, 기판(S)이 로딩되거나 간지(P)가 수취될 수 있다.In addition, when the second arm 131 descends while adsorbing the substrate S or the slippers P and releases the vacuum state inside the second adsorber 132, the substrate S is loaded or the slippers P. ) Can be received.

한편, 상기 제1 픽업유닛(120)은 제1 암 지지부(123)를 포함하고, 제2 픽업유닛(130)은 제2 암 지지부(133)를 포함할 수 있다.The first pickup unit 120 may include a first arm support 123, and the second pickup unit 130 may include a second arm support 133.

제1 암 지지부(123)는 제1 암(121)을 지지하되, 제1 암(121)은 제1 암 지지부(123)에 상하로 이동 가능하게 결합된다. 예를 들어, 제1 암 지지부(123)에는 홈과 같은 가이드가 형성되어, 제1 암(121)은 상기 가이드를 따라 상하로 이동할 수 있다.The first arm support 123 supports the first arm 121, but the first arm 121 is coupled to the first arm support 123 so as to be movable up and down. For example, a guide such as a groove is formed in the first arm support 123, and the first arm 121 may move up and down along the guide.

제2 암 지지부(133)는 제2 암(131)을 지지하되, 제2 암(131)은 제2 암 지지부(133)에 상하로 이동 가능하게 결합된다. 예를 들어, 제2 암 지지부(133)에는 홈과 같은 가이드가 형성되어, 제2 암(131)은 상기 가이드를 따라 상하로 이동할 수 있다.The second arm support 133 supports the second arm 131, but the second arm 131 is coupled to the second arm support 133 so as to be movable up and down. For example, a guide such as a groove is formed in the second arm support 133, and the second arm 131 may move up and down along the guide.

한편, 메인 프레임(110)에는 레일(R)이 결합될 수 있고, 레일(R)에는 상기 제1 암 지지부(123) 및 상기 제2 암 지지부(133)가 좌우 이동 가능하게 결합된다. 즉, 제1 암 지지부(123)는 레일(R)을 따라 좌우 이동하고, 제2 암 지지부(133) 역시 레일(R)을 따라 좌우 이동할 수 있다. Meanwhile, a rail R may be coupled to the main frame 110, and the first arm support 123 and the second arm support 133 may be coupled to the rail R so as to move left and right. That is, the first arm support part 123 may move left and right along the rail R, and the second arm support part 133 may also move left and right along the rail R.

결국, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 상하 좌우 이동이 모두 가능할 수 있다. 또한, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 동시에 왕복 이동될 수 있고, 함께 상하 이동될 수도 있다. As a result, the first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 may be capable of moving up, down, left, and right. In addition, the first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 may be reciprocated at the same time along the rail (R), may be moved up and down together.

컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)를 지지하는 복수의 선형 구조물이다. The conveyor frame 140 is a plurality of linear structures that support the conveyor 141.

컨베이어(141)는 로딩된 기판(S)을 수평 방향으로 이송시킨다. 컨베이어(141)는 기판(S)을 기판(S) 제조 과정에서 요구되는 외부 장비로 투입시킬 수 있다. 컨베이어(141)는 외부 장비에 투입될 기판(S) 중 최대의 기판(S)을 이송시킬 수 있는 크기를 가질 수 있다. The conveyor 141 transfers the loaded substrate S in the horizontal direction. The conveyor 141 may inject the substrate S into external equipment required in the manufacturing process of the substrate S. The conveyor 141 may have a size capable of transferring the largest substrate S among the substrates S to be input to external equipment.

컨베이어(141)는 복수의 롤러를 포함할 수 있다. 롤러를 샤프트에 의하여 제자리에 회전을 하게 되고, 복수의 롤러가 동일 방향으로 회전함에 따라, 롤러에 안착된 기판(S)은 전진할 수 있다. 한편, 컨베이어(141)의 롤러는 양 방향 회전이 가능할 수 있다. The conveyor 141 may include a plurality of rollers. The roller is rotated in place by the shaft, and as the plurality of rollers rotate in the same direction, the substrate S seated on the roller may move forward. On the other hand, the roller of the conveyor 141 may be capable of rotating in both directions.

컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)가 상기 제1 픽업유닛(120)의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛(130)의 측부에 선택적으로 설치되도록, 메인 프레임(110)에 탈착 가능하게 결합된다.The conveyor frame 140 is detachably coupled to the main frame 110 such that the conveyor 141 is selectively installed on the side of the first pickup unit 120 or the side of the second pickup unit 130.

컨베이어 프레임(140)은 제1 영역(111) 측부에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합되거나, 제2 영역(112)의 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합될 수 있다. 즉, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)에 대해 탈착되는 독립적인 구성이다. The conveyor frame 140 may be coupled to the main frame 110 to be positioned at the side of the first region 111 or to the main frame 110 to be positioned at the second region 112. That is, the conveyor frame 140 is an independent configuration detachable with respect to the main frame 110.

컨베이어 프레임(140)과 메인 프레임(110)은 서로 탈착 가능하도록 볼트(B) 결합으로 결합될 수 있다. 따라서, 컨베이어 프레임(140)과 메인 프레임(110)이 서로 접하는 영역의 선형 구조물들에는 볼트(B)가 끼워질 수 있는 볼트 삽입 홀(H)이 형성될 수 있다. The conveyor frame 140 and the main frame 110 may be coupled to the bolt (B) coupling to be removable from each other. Therefore, bolt insertion holes H through which the bolt B may be inserted may be formed in the linear structures in the region where the conveyor frame 140 and the main frame 110 contact each other.

컨베이어 프레임(140)의 볼트 삽입 홀(H)은 컨베이어 프레임(140)의 한쪽 또는 양쪽에 위치할 수 있다. 도 1의 경우, 컨베이어 프레임(140)의 양쪽에 볼트 삽입 홀(H)이 형성되며, 도 2 및 도 3의 경우, 컨베이어 프레임(140)의 한쪽에 볼트 삽입 홀(H)이 형성된다. The bolt insertion hole H of the conveyor frame 140 may be located on one or both sides of the conveyor frame 140. In the case of FIG. 1, bolt insertion holes H are formed at both sides of the conveyor frame 140, and bolt insertion holes H are formed at one side of the conveyor frame 140 in FIGS. 2 and 3.

메인 프레임(110)의 볼트 삽입 홀(H)은 메인 프레임(110)의 양쪽에 위치한다. 왜냐하면, 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합되거나, 우측에 결합되기 때문이다. The bolt insertion holes H of the main frame 110 are located at both sides of the main frame 110. This is because the conveyor frame 140 is coupled to the left side or the right side of the main frame 110.

구체적으로 살펴보면, 도 1을 참조할 때, 컨베이어 프레임(140)의 일면이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합되면, 컨베이어 프레임(140)의 우측면이 메인 프레임(110)의 좌측면과 볼트(B) 결합될 수 있다. 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 우측에 결합시키려고 할 때, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)으로부터 분리하되, 컨베이어 프레임(140)을 회전시키지 않고, 컨베이어 프레임(140)의 상기 일면의 반대면이 메인 프레임(110)의 우측면과 접하도록, 메인 프레임(110)에 결합시킬 수 있다. 즉, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 평행이동 된다. 이 경우, 컨베이어 프레임(140)에는 볼트 삽입 홀(H)이 양면에 형성될 수 있다.Specifically, referring to FIG. 1, when one side of the conveyor frame 140 is coupled to the left side of the main frame 110, the right side of the conveyor frame 140 is the left side of the main frame 110 and the bolt B. ) Can be combined. When attempting to couple the conveyor frame 140 to the right side of the main frame 110, separate the conveyor frame 140 from the main frame 110, without rotating the conveyor frame 140, The opposite side of the one surface may be coupled to the main frame 110 to be in contact with the right side of the main frame 110. That is, the conveyor frame 140 is moved in parallel from the left side to the right side of the main frame 110. In this case, the bolt insertion hole H may be formed on both sides of the conveyor frame 140.

도 2 또는 도 3을 참조하면, 메인 프레임(110)의 좌측에 결합된 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 우측에 결합시키려고 할 때, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)으로부터 분리(볼트 제거)하여, 컨베이어 프레임(140)의 상기 일면이 메인 프레임(110)의 우측면과 접하도록, 컨베이어 프레임(140)을 180도 회전시켜 메인 프레임(110)에 결합(볼트 결합)시킬 수 있다. 이 경우, 컨베이어 프레임(140)에는 볼트 삽입 홀(H)이 일면에만 형성될 수 있다. 2 or 3, when attempting to couple the conveyor frame 140 coupled to the left side of the main frame 110 to the right side of the main frame 110, the conveyor frame 140 is moved from the main frame 110. By separating (bolting), the conveyor frame 140 can be rotated 180 degrees to be coupled (bolt-coupled) so that the one side of the conveyor frame 140 contacts the right side of the main frame 110. have. In this case, the bolt insertion hole H may be formed only on one surface of the conveyor frame 140.

한편, 컨베이어(141)는 컨베이어 프레임(140)에 대해 탈착 가능할 수 있다. 상술한 두 경우에 있어서, 컨베이어 프레임(140)을 분리하여 메인 프레임(110)에 새로이 결합시킬 때, 컨베이어(141)도 분리되어 회전되어 재결합될 수 있다. Meanwhile, the conveyor 141 may be detachable from the conveyor frame 140. In the above two cases, when the conveyor frame 140 is detached and newly coupled to the main frame 110, the conveyor 141 may also be separated and rotated to be recombined.

구체적으로, 도 1을 참조한 경우에 있어서, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 변경할 때, 컨베이어 프레임(140)은 180도 회전 시키지 않고 평행이동하되, 컨베이어(141)가 180도 회전 되어 재결합될 수 있다. 다만, 도 1의 경우에도, 컨베이어(141)의 롤러가 역방향 회전이 가능하고, 컨베이어(141) 형상 및 기능에 있어서 방향성이 없다면, 컨베이어 프레임(140)과 컨베이어(141) 전체가 회전 없이 평행이동 될 수도 있다. Specifically, in the case of referring to Figure 1, when changing the conveyor frame 140 from the left side to the right side of the main frame 110, the conveyor frame 140 is moved in parallel without rotating 180 degrees, the conveyor 141 is It can be rotated 180 degrees and recombined. However, even in the case of Figure 1, the roller of the conveyor 141 is capable of reverse rotation, if there is no direction in the shape and function of the conveyor 141, the conveyor frame 140 and the entire conveyor 141 is moved in parallel without rotation May be

도 2 또는 도 3을 참조한 경우에 있어서는, 컨베이어 프레임(140)을 메인 프레임(110)의 좌측에서 우측으로 변경할 때, 컨베이어(141)를 컨베이어 프레임(140)과 분리시키지 않는다면, 컨베이어 프레임(140)은 컨베이어(141)와 함께 180도 회전될 수 있다. 2 or 3, when changing the conveyor frame 140 from the left side to the right side of the main frame 110, the conveyor frame 140 is not separated from the conveyor frame 140 unless the conveyor 141 is separated from the conveyor frame 140. May be rotated 180 degrees with the conveyor 141.

본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 리프트를 더 포함할 수 있다. 리프트는 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160)를 포함한다.The substrate transfer apparatus according to the embodiment of the present invention may further include a lift. The lift includes a first lift 150 and a second lift 160.

제1 리프트(150)는 제1 픽업유닛(120) 하부에 설치되어 상하로 승강하고, 제2 리프트(160)는 제2 픽업유닛(130) 하부에 설치되어 상하로 승강한다. The first lift 150 is installed below the first pick-up unit 120 to move up and down, and the second lift 160 is installed below the second pick-up unit 130 to move up and down.

제1 픽업유닛(120)이 기판(S) 로딩 기능을 하는 경우, 사이마다 간지(P)가 개재된 복수의 기판(S)(기판 세트라고 함)은 제1 리프트(150)로 제공되고, 제1 리프트(150)가 기판 세트를 상하로 이동시킨다. 제1 리프트(150)는 기판 세트를 받치면서 승강하면 제1 픽업유닛(120)이 하강하여 한 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩할 수 있다. 또한, 제2 픽업유닛(130)은 상기 한 기판(S) 아래에 놓여져 있던 간지(P)를 픽업할 수 있다. 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 제2 리프트(160) 상에 수취시킬 수 있다. 제2 리프트(160)는 상하로 승강하면서 수취된 간지(P)를 처리할 수 있다.When the first pickup unit 120 functions to load the substrate S, a plurality of substrates S (called a substrate set) interposed between the sheets P are provided to the first lift 150. The first lift 150 moves the substrate set up and down. When the first lift 150 is lifted while supporting the substrate set, the first pickup unit 120 descends to pick up one substrate S and load it on the conveyor 141. In addition, the second pickup unit 130 may pick up the interleaved paper P placed under the substrate S. The second pickup unit 130 may receive the slip sheet P on the second lift 160. The second lift 160 may process the received slip sheet P while lifting up and down.

또한, 제2 픽업유닛(130)이 기판(S) 로딩 기능을 하는 경우, 사이마다 간지(P)가 개재된 복수의 기판(S)(기판 세트라고 함)은 제2 리프트(160)로 제공되고, 제2 리프트(160)가 기판 세트를 상하로 이동시킨다. 제2 리프트(160)는 기판 세트를 받치면서 승강하면 제2 픽업유닛(130)이 하강하여 한 기판(S)을 픽업하여 컨베이어(141)에 로딩할 수 있다. 또한, 제1 픽업유닛(120)은 상기 한 기판(S) 아래에 놓여져 있던 간지(P)를 픽업할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 제1 리프트(150) 상에 수취시킬 수 있다. 제2 리프트(160)는 상하로 승강하면서 수취된 간지(P)를 처리할 수 있다.In addition, when the second pickup unit 130 functions to load the substrate S, a plurality of substrates S (called a substrate set) interposed between the sheets P are provided to the second lift 160. The second lift 160 moves the substrate set up and down. When the second lift 160 lifts while supporting the substrate set, the second pickup unit 130 descends to pick up one substrate S and load it on the conveyor 141. In addition, the first pick-up unit 120 may pick up the slip sheet P placed under the one substrate S. The first pickup unit 120 may receive the slip sheet P on the first lift 150. The second lift 160 may process the received slip sheet P while lifting up and down.

이러한 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160)는 서로 면대칭인 형상을 가지거나, 동일한 형상을 가질 수 있다.The first lift 150 and the second lift 160 may have a face symmetrical shape or may have the same shape.

기판 이송 장치는 제1 리프트 프레임(151)과 제2 리프트 프레임(161)을 더 포함할 수 있다. The substrate transfer apparatus may further include a first lift frame 151 and a second lift frame 161.

제1 리프트 프레임(151)은 제1 리프트(150)를 지지하고, 메인 프레임(110)의 제1 영역(111) 하에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합되고, 제2 리프트 프레임(161)은 제2 리프트(160)를 지지하고, 메인 프레임(110)의 제2 영역(112) 하에 위치하도록 메인 프레임(110)에 결합될 수 있다. 제1 리프트(150)는 제1 리프트 프레임(151)에 승강 가능하게 결합되고, 제2 리프트(160)는 제2 리프트 프레임(161)에 승강 가능하게 결합된다. The first lift frame 151 supports the first lift 150 and is coupled to the main frame 110 to be positioned under the first region 111 of the main frame 110, and the second lift frame 161 is The second lift 160 may be supported and coupled to the main frame 110 to be positioned under the second area 112 of the main frame 110. The first lift 150 is liftably coupled to the first lift frame 151, and the second lift 160 is liftably coupled to the second lift frame 161.

제1 리프트 프레임(151)과 제2 리프트 프레임(161) 각각은 복수의 선형 구조물로 이루어질 수 있고, 복수의 선형 구조물은 직육면체 모서리(변)에 대응하여 형성될 수 있다. Each of the first lift frame 151 and the second lift frame 161 may be formed of a plurality of linear structures, and the plurality of linear structures may be formed to correspond to a rectangular parallelepiped edge (side).

또한, 제1 리프트 프레임(151), 제2 리프트 프레임(161) 및 메인 프레임(110)은 서로 탈착 가능하게 결합될 수 있다.In addition, the first lift frame 151, the second lift frame 161, and the main frame 110 may be detachably coupled to each other.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 한 결합 상태를 나타낸 도면이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 다른 결합 상태를 나타낸 도면이다. 2 is a view showing a bonding state of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view showing another bonding state of the substrate transfer apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2 에서는 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합된다. 도 3에서는 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 우측에 결합된다. 요컨대, 컨베이어 프레임(140)은 도 2와 같이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합될 수도 있고, 도 3과 같이 메인 프레임(110)의 우측에 결합될 수도 있다. 컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측 또는 우측에 선택적으로 결합할 수 있고, 이를 위하여, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)에 탈착 가능하게 결합된다.In FIG. 2, the conveyor frame 140 is coupled to the left side of the main frame 110. In FIG. 3, the conveyor frame 140 is coupled to the right side of the main frame 110. In other words, the conveyor frame 140 may be coupled to the left side of the main frame 110 as shown in FIG. 2, or may be coupled to the right side of the main frame 110 as shown in FIG. 3. Conveyor frame 140 may be selectively coupled to the left or right of the main frame 110, for this purpose, the conveyor frame 140 is detachably coupled to the main frame (110).

도 2 및 도 3을 참조하여, 기판 이송 장치의 결합상태 및 작동을 설명하기로 한다. 도 2에 대해 먼저 설명한다.2 and 3, the coupled state and operation of the substrate transfer apparatus will be described. 2 will be described first.

컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 좌측에 결합(볼트 결합)되고, 컨베이어(141)는 메인 프레임(110)의 제1 영역(111)에 설치된 제1 픽업유닛(120)의 좌측에 위치한다. 제1 픽업유닛(120)은 컨베이어(141)와 제1 리프트(150) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있고, 제2 픽업유닛(130)은 제1 리프트(150)와 제2 리프트(160) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있다. The conveyor frame 140 is coupled (bolt coupled) to the left side of the main frame 110, the conveyor 141 is on the left side of the first pickup unit 120 installed in the first region 111 of the main frame 110. Located. The first pickup unit 120 may reciprocate between the conveyor 141 and the first lift 150 from side to side, and the second pickup unit 130 may include the first lift 150 and the second lift 160. You can reciprocate from side to side.

우선, 제1 픽업유닛(120)은 제1 리프트(150) 상에 위치하고, 제2 픽업유닛(130)은 제2 리프트(160) 상에 위치(원 위치)할 때, 간지(P)를 포함하는 기판(S)은 제1 리프트(150) 상에 적재되고, 제1 리프트(150)는 상승하고, 제1 픽업유닛(120)은 하강하여 제1 픽업유닛(120)의 제1 흡착기(122)가 기판(S)과 접하면, 제1 픽업유닛(120)은 상승하고, 기판(S)은 제1 픽업유닛(120)에 의하여 픽업된다. First, when the first pickup unit 120 is positioned on the first lift 150, and the second pickup unit 130 is positioned on the second lift 160 (the original position), the first pickup unit 120 includes the slip sheet P. The substrate S is loaded on the first lift 150, the first lift 150 is raised, the first pickup unit 120 is lowered, and the first adsorber 122 of the first pickup unit 120 is lowered. ) Touches the substrate S, the first pickup unit 120 is raised, and the substrate S is picked up by the first pickup unit 120.

제1 픽업유닛(120)은 레일(R)을 따라 이동하여 컨베이어(141) 상측에 위치한다. 동시에 제2 픽업유닛(130) 역시 레일(R)을 따라 이동하여 제1 리프트(150) 상에 위치할 수 있다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 함께 하강하고, 제1 픽업유닛(120)은 기판(S)을 컨베이어(141) 상에 로딩하며, 제2 픽업유닛(130)의 제2 흡착기(132)는 간지(P)와 접한다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)이 상승하면, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 픽업한다. 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 이동하여 원 위치로 돌아온 후, 하강하고, 제1 픽업유닛(120)은 다시 기판(S)을 픽업하는 작업을 반복하게 되고, 제2 픽업유닛(130)은 간지(P)를 제2 리프트(160) 상에 수취시킨 후 상술한 작업을 반복하게 된다. The first pickup unit 120 moves along the rail R and is positioned above the conveyor 141. At the same time, the second pickup unit 130 may also move along the rail R and be positioned on the first lift 150. The first pickup unit 120 and the second pickup unit 130 are lowered together, the first pickup unit 120 loads the substrate (S) on the conveyor 141, the second pickup unit 130 The second adsorber 132 is in contact with the slip sheet P. When the first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 are raised, the second pick-up unit 130 picks up the slip sheet (P). After the first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 move along the rail R to return to their original position, the first pick-up unit 120 descends, and the first pick-up unit 120 picks up the substrate S again. Repeating, the second pickup unit 130 receives the slip sheet (P) on the second lift 160 and then repeats the above operation.

도 2의 상태를 도 3의 상태로 전환하기 위해서, 먼저, 컨베이어 프레임(140)은 메인 프레임(110)으로부터 분리(볼트 제거)된다. 필요에 따라서 컨베이어(141)도 컨베이어 프레임(140)으로부터 분리된다. 다만, 컨베이어(141)가 컨베이어 프레임(140)으로부터 분리되지 않더라도 컨베이어 프레임(140)과 컨베이어(141)는 함께 180도 회전하여, 메인 프레임(110)의 우측에 결합될 수 있다. In order to switch the state of FIG. 2 to the state of FIG. 3, first, the conveyor frame 140 is separated (bolt removed) from the main frame 110. If necessary, the conveyor 141 is also separated from the conveyor frame 140. However, even if the conveyor 141 is not separated from the conveyor frame 140, the conveyor frame 140 and the conveyor 141 may be rotated 180 degrees together and coupled to the right side of the main frame 110.

도 3에 대해 설명한다.3 will be described.

컨베이어 프레임(140)이 메인 프레임(110)의 우측에 결합(볼트 결합)되고, 컨베이어(141)는 메인 프레임(110)의 제2 영역(112)에 설치된 제2 픽업유닛(130)의 좌측에 위치한다. 제2 픽업유닛(130)은 컨베이어(141)와 제2 리프트(160) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있고, 제1 픽업유닛(120)은 제2 리프트(160)와 제1 리프트(150) 사이를 좌우로 왕복 운동할 수 있다. The conveyor frame 140 is coupled (bolt coupled) to the right side of the main frame 110, the conveyor 141 is on the left side of the second pickup unit 130 installed in the second area 112 of the main frame 110. Located. The second pickup unit 130 may reciprocate between the conveyor 141 and the second lift 160 from side to side, and the first pickup unit 120 may include the second lift 160 and the first lift 150. You can reciprocate from side to side.

우선, 제2 픽업유닛(130)은 제2 리프트(160) 상에 위치하고, 제1 픽업유닛(120)은 제1 리프트(150) 상에 위치(원 위치)할 때, 간지(P)를 포함하는 기판(S)은 제2 리프트(160) 상에 적재되고, 제2 리프트(160)는 상승하고, 제2 픽업유닛(130)은 하강하여 제2 픽업유닛(130)의 제2 흡착기(132)가 기판(S)과 접하면, 제2 픽업유닛(130)은 상승하고, 기판(S)은 제2 픽업유닛(130)에 의하여 픽업된다. First, when the second pickup unit 130 is positioned on the second lift 160 and the first pickup unit 120 is positioned on the first lift 150 (the original position), the second pickup unit 130 includes the slip sheet P. The substrate S is loaded on the second lift 160, the second lift 160 is raised, the second pickup unit 130 is lowered, and the second adsorber 132 of the second pickup unit 130 is lowered. ) Touches the substrate S, the second pickup unit 130 is raised, and the substrate S is picked up by the second pickup unit 130.

제2 픽업유닛(130)은 레일(R)을 따라 이동하여 컨베이어(141) 상측에 위치한다. 동시에 제1 픽업유닛(120) 역시 레일(R)을 따라 이동하여 제2 리프트(160) 상에 위치할 수 있다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)은 함께 하강하고, 제2 픽업유닛(130)은 기판(S)을 컨베이어(141) 상에 로딩하며, 제1 픽업유닛(120)의 제1 흡착기(122)는 간지(P)와 접한다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)이 상승하면, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 픽업한다. 제2 픽업유닛(130)과 제1 픽업유닛(120)은 레일(R)을 따라 이동하여 원 위치로 돌아온 후, 하강하고, 제2 픽업유닛(130)은 다시 기판(S)을 픽업하는 작업을 반복하게 되고, 제1 픽업유닛(120)은 간지(P)를 제1 리프트(150) 상에 수취시킨 후 상술한 작업을 반복하게 된다. The second pickup unit 130 moves along the rail R and is positioned above the conveyor 141. At the same time, the first pickup unit 120 may also move along the rail R and be positioned on the second lift 160. The second pick-up unit 130 and the first pick-up unit 120 are lowered together, the second pick-up unit 130 loads the substrate S on the conveyor 141, and the first pick-up unit 120 The first adsorber 122 is in contact with the interleaver (P). When the second pick-up unit 130 and the first pick-up unit 120 rise, the first pick-up unit 120 picks up the slip sheet (P). After the second pick-up unit 130 and the first pick-up unit 120 move along the rail R to return to their original positions, the second pick-up unit 130 descends, and the second pick-up unit 130 picks up the substrate S again. And the first pickup unit 120 receives the slip sheet (P) on the first lift 150 and then repeats the above-described operation.

상술한 기판 이송 장치에 의하면, 도 2에서 도 3으로 전환되는 경우와 같이, 컨베이어 프레임(140)의 위치가 전환되더라도, 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)의 픽업 대상물이 서로 바뀔 뿐 제1 픽업유닛(120)과 제2 픽업유닛(130)의 위치는 그대로 유지될 수 있다. According to the substrate transfer apparatus described above, even when the position of the conveyor frame 140 is switched, as in the case of switching from FIG. 2 to FIG. 3, the pickup objects of the first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 are The positions of the first pick-up unit 120 and the second pick-up unit 130 may be maintained as they are.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면, 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리 범위 내에 포함된다고 할 것이다.As mentioned above, although embodiment of this invention was described, those of ordinary skill in the art should add, change, delete, or add a component within the range which does not deviate from the idea of this invention described in the claim. The present invention may be modified and changed in various ways, etc., which will also be included within the scope of the present invention.

S: 기판
P: 간지
B: 볼트
H: 볼트 삽입 홀
R: 레일
110: 메인 프레임
111: 제1 영역
112: 제2 영역
120: 제1 픽업유닛
121: 제1 암
122: 제1 흡착기
123: 제1 암 지지부
130: 제2 픽업유닛
131: 제2 암
132: 제2 흡착기
133: 제2 암 지지부
140: 컨베이어 프레임
141: 컨베이어
150: 제1 리프트
151: 제1 리프트 프레임
160: 제2 리프트
161: 제2 리프트 프레임S: Substrate
P: Kanji
B: bolt
H: Bolt insertion hole
R: rail
110: main frame
111: first region
112: second area
120: first pickup unit
121: the first arm
122: first adsorber
123: first arm support
130: second pickup unit
131: second arm
132: second adsorber
133: second arm support
140: conveyor frame
141: conveyor
150: first lift
151: first lift frame
160: second lift
161: second lift frame

Claims (15)

내부에 좌우로 나란히 배치되는 제1 영역과 제2 영역으로 구획되는 공간이 마련된 메인 프레임;
상기 메인 프레임의 상기 제1 영역에 설치되는 제1 픽업유닛;
상기 메인 프레임의 상기 제2 영역에 설치되는 제2 픽업유닛; 및
컨베이어를 지지하는 컨베이어 프레임을 포함하고,
상기 컨베이어 프레임은, 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부 또는 상기 제2 픽업유닛의 측부에 선택적으로 설치되도록, 상기 메인 프레임에 탈착 가능하게 결합되는 기판 이송 장치.
A main frame having a space divided into a first region and a second region disposed side by side in a left and right direction;
A first pickup unit installed in the first area of the main frame;
A second pickup unit installed in the second area of the main frame; And
A conveyor frame for supporting the conveyor,
And the conveyor frame is detachably coupled to the main frame such that the conveyor is selectively installed on the side of the first pickup unit or the side of the second pickup unit.
제1항에 있어서,
상기 메인 프레임과 상기 컨베이어 프레임은 볼트 결합되는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
And the main frame and the conveyor frame are bolted to each other.
제1항에 있어서,
상기 컨베이어는 상기 컨베이어 프레임에 대해 탈착 가능한 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
And the conveyor is detachable from the conveyor frame.
제1항에 있어서,
상기 제1 영역과 상기 제2 영역은 서로 동일한 크기를 가지는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
And the first region and the second region have the same size.
제4항에 있어서,
상기 제1 픽업유닛과 상기 제2 픽업유닛은 서로 동일한 형상을 가지는 기판 이송 장치.
The method of claim 4, wherein
And the first pickup unit and the second pickup unit have the same shape.
제4항에 있어서,
상기 제1 픽업유닛과 상기 제2 픽업유닛은 서로 면대칭인 형상을 가지는 기판 이송 장치.
The method of claim 4, wherein
And the first pick-up unit and the second pick-up unit have surface symmetry with each other.
제1항에 있어서,
상기 제1 픽업유닛은,
상하로 승강 가능한 제1 암; 및
상기 제1 암에 결합되는 제1 흡착기를 포함하고,
상기 제2 픽업유닛은,
상하로 승강 가능한 제2 암; 및
상기 제2 암에 결합되는 제2 흡착기를 포함하는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
The first pickup unit,
A first arm capable of lifting up and down; And
A first adsorber coupled to the first arm,
The second pickup unit,
A second arm capable of lifting up and down; And
And a second adsorber coupled to the second arm.
제7항에 있어서,
상기 제1 픽업유닛은 상기 제1 암이 상하 이동 가능하게 결합되는 제1 암 지지부를 포함하고,
상기 제2 픽업유닛은 상기 제2 암이 상하 이동 가능하게 결합되는 제2 암 지지부를 포함하고,
상기 제1 암 지지부 및 상기 제2 암 지지부가 좌우 이동 가능하게 결합되고, 상기 메인 프레임에 결합되는 레일을 더 포함하는 기판 이송 장치.
The method of claim 7, wherein
The first pickup unit includes a first arm support portion to which the first arm is coupled to be movable up and down,
The second pickup unit includes a second arm support portion to which the second arm is coupled to be movable up and down,
The first arm support and the second arm support is coupled to the left and right movable substrate transfer apparatus further comprises a rail coupled to the main frame.
제1항에 있어서,
상기 제1 픽업유닛 하부에 설치되어 상하로 승강하는 제1 리프트 및
상기 제2 픽업유닛 하부에 설치되어 상하로 승강하는 제2 리프트를 더 포함하는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
A first lift installed at a lower portion of the first pick-up unit and moving up and down;
And a second lift installed below the second pick-up unit to move up and down.
제9항에 있어서,
상기 제1 리프트를 지지하고, 상기 제1 영역 하에 위치하도록 상기 메인 프레임에 결합되는 제1 리프트 프레임; 및
상기 제2 리프트를 지지하고, 상기 제2 영역 하에 위치하도록 상기 메인 프레임에 결합되는 제2 리프트 프레임을 더 포함하는 기판 이송 장치.
The method of claim 9,
A first lift frame supporting the first lift and coupled to the main frame to be positioned under the first area; And
And a second lift frame coupled to the main frame to support the second lift and to be positioned under the second area.
제9항에 있어서,
상기 제1 리프트와 상기 제2 리프트는 서로 면대칭인 형상을 가지는 기판 이송 장치.
The method of claim 9,
And the first lift and the second lift have surface symmetry with each other.
제1항에 있어서,
상기 컨베이어 프레임이 상기 컨베이어가 상기 제1 픽업유닛의 측부에 설치되도록 상기 메인 프레임에 결합된 경우,
상기 제1 픽업유닛은 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
When the conveyor frame is coupled to the main frame so that the conveyor is installed on the side of the first pickup unit,
And the first pickup unit picks up a substrate and loads the substrate onto the conveyor.
제12항에 있어서,
상기 기판은 사이마다 간지가 개재된 복수로 상기 제1 픽업유닛에 제공되고,
상기 제2 픽업유닛은 상기 간지를 픽업하는 기판 이송 장치.
The method of claim 12,
The substrate is provided to the first pick-up unit in a plurality of interleaved interposition between,
And the second pickup unit picks up the slip sheet.
제1항에 있어서,
상기 컨베이어 프레임이 상기 컨베이어가 상기 제2 픽업유닛의 측부에 설치되도록 상기 메인 프레임에 결합된 경우,
상기 제2 픽업유닛은 기판을 픽업하여 상기 컨베이어에 로딩하는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
When the conveyor frame is coupled to the main frame so that the conveyor is installed on the side of the second pickup unit,
And the second pickup unit picks up a substrate and loads the substrate onto the conveyor.
제14항에 있어서,
상기 기판은 사이마다 간지가 개재된 복수로 상기 제2 픽업유닛에 제공되고,
상기 제1 픽업유닛은 상기 간지를 픽업하는 기판 이송 장치.
The method of claim 14,
The substrate is provided to the second pick-up unit in a plurality of interleaved interposition between,
And the first pickup unit picks up the slip sheet.
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