KR20200002590A - 검사 결과 제시 장치, 검사 결과 제시 방법 및 검사 결과 제시 프로그램 - Google Patents

검사 결과 제시 장치, 검사 결과 제시 방법 및 검사 결과 제시 프로그램 Download PDF

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Abstract

[과제] 결함 판정용의 하나 이상의 역치를 보다 용이하게 결정할 수 있는 환경을 실현할 수 있는 검사 결과 제시 장치를 제공한다.
[해결 수단] 검사 결과 제시 장치는, 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 검사 결과 정보
에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시한다.

Description

검사 결과 제시 장치, 검사 결과 제시 방법 및 검사 결과 제시 프로그램{INSPECTION RESULT PRESENTING APPARATUS, INSPECTION RESULT PRESENTING METHOD AND INSPECTION RESULT PRESENTING PROGRAM}
본 발명은, 피검사물의 외관 검사 결과를 유저에게 제시하는 검사 결과 제시 장치, 검사 결과 제시 방법 및 검사 결과 제시 프로그램에 관한 것이다.
제품이 정상적으로 제조되었는지 여부 등을 판정하기 위해서, 제품 표면의 카메라에 의한 촬영 결과로부터 제품 표면의 각처의 특징량(통상, 휘도값)을 구하고, 구한 특징량과 몇 가지 역치를 비교함으로써 결함을 검출하는 장치(이하, 외관 검사 장치라 표기한다)가 사용되고 있다.
결함의 상기 검출 수순으로부터 명확한 바와 같이, 기존의 외관 검사 장치에서는, 역치가 적절한 값으로 되어 있지 않은 경우, 잘못된 검사 결과가 얻어져 버리지만, 기존의 외관 검사 장치는, 결함의 총 수나 결함의 사이즈별 수를 출력하는 기능밖에 갖고 있지 않다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 그 때문에, 역치가 적절한 값으로 되어 있지 않은 경우, 기존의 외관 검사 장치에서는, 각 결함의 특징량을 차례차례 체크하여 체크 결과로부터 적절한 역치를 결정한다는 번잡한 작업을 행해야만 했다.
일본 특허 공개 제2003-98111호 공보
본 발명은, 상기 현 상황을 감안하여 이루어진 것이며, 결함 판정용의 하나 이상의 역치를 보다 용이하게 결정할 수 있는 환경을 실현할 수 있는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명의 일 관점에 관한 검사 결과 제시 장치는, 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득부와, 상기 취득부에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부를 구비한다.
즉, 본 발명의 상기 관점에 관한 검사 결과 제시 장치는, 그 표시 내용으로부터, 결함별로 특징량과 역치의 관계성을 알 수 있는 그래프를 유저에게 제시하는 구성을 갖는다. 따라서, 검사 결과 제시 장치에 따르면, 특징량이 역치에 가까운 각 결함이 실제로 결함인지 여부를 판정하는 것만으로, 적정값을 조정하는 것이 가능해진다.
그래프 생성부가 유저에게 제시하는 그래프는, 각 결함의 제1 방향 위치와 특징량의 관계 및 하나 이상의 역치를 나타내는 것이면 된다. 따라서, 그래프 생성부는, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계와, 상기 하나 이상의 역치와, 상기 피검사면의 상기 결함 이외의 영역인 바탕 영역의 상기 특징량의 상기 제1 방향 위치 의존성을 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시해도 된다.
또한, 특징량이 역치에 가까운 각 결함이 실제로 결함인지 여부의 판정을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위해서, 검사 결과 제시 장치에, 『상기 검사 결과 정보는, 상기 화상 데이터를 포함하고, 상기 검사 결과 정보에 포함되는 상기 화상 데이터에 기초하여, 상기 유저에 의해 상기 그래프로부터 선택된 결함의 확대된 화상을 유저에게 제시하는 확대 화상 제시부를 더 구비한다』는 구성을 채용해 두어도 된다.
또한, 그래프 생성부에, 복수의 상기 검사 결과 정보 각각에 대하여 상기 그래프를 생성하고, 생성한 복수의 상기 그래프를 동시에 유저에게 제시하는 기능을 부여해 두어도 되고, 검사 결과 제시 장치에, 『상기 취득부에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 상기 피검사면에 존재하는 결함의 개수를 상기 특징량별로 나타낸 빈도 히스토그램을 생성하여 유저에게 제시하는 히스토그램 생성부』를 부가해 두어도 된다.
또한, 특징량이 역치에 가까운 각 결함이 실제로 결함인지 여부의 판정을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위해서, 검사 결과 제시 장치에, 『상기 검사 결과 정보는, 상기 화상 데이터를 포함하고, 상기 검사 결과 정보에 포함되는 상기 화상 데이터에 기초하여, 상기 유저에 의해 상기 그래프로부터 선택된 결함의 확대된 화상을 유저에게 제시하는 확대 화상 제시부를 더 구비한다』는 구성을 채용해 두어도 된다.
검사 결과 제시 장치는, 『상기 피검사물이 시트형 부재이며, 상기 피검사물의 상기 피검사면의 상기 화상 데이터가, 카메라와 상기 피검사물을 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 얻어지는 데이터인』 장치여도 된다.
또한, 본 발명의 일 관점에 관한 검사 결과 제시 방법은, 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득 스텝과, 상기 취득 스텝에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성 스텝을 포함한다.
또한, 본 발명의 일 관점에 관한 검사 결과 제시 프로그램은, 컴퓨터에, 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득 스텝과, 상기 취득 스텝에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성 스텝을 실행시킨다.
또한, 본 발명의 일 관점에 관한 검사 결과 제시 장치는, 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성부와, 상기 검사 결과 정보 생성부에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부를 구비한다.
이들 기술을 사용해도, 결함 판정용의 하나 이상의 역치를 보다 용이하게 결정할 수 있는 환경을 실현할 수 있다.
본 발명에 따르면, 결함 판정용의 하나 이상의 역치를 보다 용이하게 결정할 수 있는 환경을 실현할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 검사 결과 제시 장치의 개략 구성 및 사용 형태의 설명도이다.
도 2는, 제1 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 3은, 빈도 히스토그램이 구비된 제1 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 4는, 제2 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 5는, 제2 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 6은, 제2 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 7은, 빈도 히스토그램이 구비된 제2 표시 처리에 의한 검사 결과의 표시예의 설명도이다.
도 8은, 확대 표시 처리에 의해 표시되는 확대 표시 윈도우의 설명도이다.
도 9는, 결함 종별 히스토그램 표시 처리에 의해 표시되는 정보의 설명도이다.
도 10은, 카메라별 휘도 그래프 표시 처리에 의해 표시되는 정보의 설명도이다.
도 11은, 실시 형태에 관한 검사 결과 제시 장치의 변형예의 설명도이다.
도 1에, 본 발명의 일 실시 형태에 관한 검사 결과 제시 장치(10)의 개략 구성 및 사용 형태를 나타낸다.
본 실시 형태에 관한 검사 결과 제시 장치(10)는, 1대 이상(도 1에서는, 1대)의 외관 검사 장치(20)와 접속되어서 사용되는 장치이다.
《외관 검사 장치(20)》
외관 검사 장치(20)는, 반송 롤러(31) 등으로 이루어지는 반송 기구에 의해 반송되는 시트형 피검사물(30)의 외관 검사를 행하는 장치이다. 나타낸 바와 같이, 외관 검사 장치(20)는, 피검사물(30)의 소정 영역에 광을 조사하기 위한 광원(21)과, 당해 광원(21)으로부터 조사되어서 피검사물(30)의 피검사면(도 1에 있어서의 카메라(22)측의 면)에서 반사된 광이 입사되도록 배치된 카메라(22)와, 신호 처리 장치(25)를 구비한다. 또한, 본 실시 형태에 관한 외관 검사 장치(20)의 카메라(22)는, 컬러 라인 센서와 광학계를 조합한 것이다.
외관 검사 장치(20)는, 검사 결과 정보 생성 처리를 행하는 검사 결과 정보 생성부(26)와, 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성되는 검사 결과 정보를, 삭제가 지시될 때까지 기억해 두기 위한 기억부(27)를 구비한 장치이다. 통상, 외관 검사 장치(20)의 검사 결과 정보 생성부(26), 기억부(27)는, 각각, 프로세서(CPU, 마이크로컨트롤러)를 중심으로 한 유닛(신호 처리용 하드웨어), 하드디스크 드라이브 등의 불휘발성 기억 장치에서 실현된다.
외관 검사 장치(20)의 검사 결과 정보 생성부(26)가 행하는 검사 결과 정보 생성 처리는, 이하의 처리가 조합된 처리이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 위치(“피검사면의 각 위치”, “각 영역의 중심 위치” 등)란, 카메라(22)로부터 입력되는 화상 데이터의 해상도 단위에서의 위치이다. 또한, 검사 결과 정보 생성 처리 개시 전에, 검사 결과 정보 생성부(26)에는, 검사 결과 정보 생성 처리의 처리 대상으로 되는 피검사물(30)의 식별 정보(제품명, 로트 번호 등)가 입력된다.
·카메라(22)로부터 입력되는, 피검사물(30)의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 피검사면의 각 위치의 휘도값을 구하는 처리
·구한 각 위치의 휘도값에 기초하여, 피검사물(30)의 피검사면으로부터, 휘도값이 명측 검출 역치(상세는 후술) 이상으로 되어 있는 영역인 명측 결함을 탐색하고, 탐색된 명측 결함마다, 그 범위, 중심 위치 및 중심 위치 휘도값을 포함하는 명측 결함 정보를 생성하는 명측 결함 정보 생성 처리
·구한 각 위치의 휘도값에 기초하여, 피검사물(30)의 피검사면으로부터, 휘도값이 암측 검출 역치(상세는 후술) 이하로 되어 있는 영역인 암측 결함을 탐색하고, 탐색된 암측 결함마다, 그 범위, 중심 위치 및 중심 위치 휘도값을 포함하는 암측 결함 정보를 생성하는 암측 결함 정보 생성 처리
·각 결함 정보 생성 처리에서 생성된 암측 및 명측 결함 정보와 피검사물(30)의 피검사면의 화상 데이터를 포함하는 검사 결과 정보를, 검사 결과 정보의 생성에 사용한 명측 검출 역치 및 암측 검출 역치와 외관 검사 장치(20)의 장치 식별 정보와 피검사물(30)의 식별 정보와 피검사면의 화상 데이터의 생성 일시를 포함하는 검사 결과 식별 정보에 대응지은 형태로 기억부(27)에 기억(보존)하는 처리
명측 검출 역치, 암측 검출 역치는, 외관 검사 장치(20)의 실제 운용 전에, 피검사물(30)이 표준적인 몇 가지의 샘플(이하, 역치 결정용 샘플이라 표기한다)의 외관을 외관 검사 장치(20)에 의해 검사함으로써 정해지는 값이다. 외관 검사 장치(20)는, 기억부(27)에, 각 역치 결정용 샘플에 관한 검사 결과 정보 및 검사 결과 식별 정보가 기억된 상태에서 운용이 개시되는 장치로 되어 있다. 또한, 역치 결정용 샘플에 관한 검사 결과 식별 정보에는, 자정보가, 역치 결정용 샘플에 관한 것임을 나타내는 정보가 포함되어 있다.
또한, 외관 검사 장치(20)는, 피검사물(30)의 반송 방향과 직교하는 직선형으로 배치된 복수대의 카메라(22)를 접속하는 것도 가능한 장치로서 구성되어 있다. 그렇게 배치된 복수대의 카메라(22)가 접속되어 있는 경우, 외관 검사 장치(20)(검사 결과 정보 생성부(26))는, 각 카메라(22)로부터 출력된 화상 데이터가, 검사 결과 정보 중의 화상 데이터의 어느 부분의 데이터인지를 나타내는 정보를 포함하는 검사 결과 식별 정보를 기억부(27)에 기억시킨다.
《검사 결과 제시 장치(10)》
검사 결과 제시 장치(10)는, 컴퓨터 본체(10a), 입력 장치(10b), 디스플레이(10c)를 구비한 컴퓨터(데스크탑 PC, 랩톱 PC 등)에, 당해 컴퓨터를, 도 1에 나타낸 바와 같은 구성의 장치, 즉, 취득부(11), 바탕 휘도 정보 산출부(12), 지시 응답부(13) 및 기억부(15)를 구비한 장치로서 동작시키기 위한 검사 결과 제시 프로그램을 인스톨한 장치이다.
취득부(11)는, 검사 결과 제시 장치(10)에 접속되어 있는 각 외관 검사 장치(20)로부터, 각 검사 결과 정보와 각 검사 결과 정보에 대응지어진 검사 결과 식별 정보를 취득하여 기억부(15)에 기억시키는 유닛이다.
바탕 휘도 정보 산출부(12)는, 기억부(15) 내의 각 검사 결과 정보에 기초하여, 바탕 영역의 휘도값의 평균값과 표준 편차 σ의 반송 방향 위치 의존성을 나타내는 바탕 휘도 정보를 산출하고, 기억부(15) 내의 각 검사 결과 정보에 추가하는 유닛이다. 또한, 바탕 영역이란, 암측 결함도 명측 결함도 아닌 피검사면의 영역(환언하면, 정상적인 영역)을 의미한다.
본 실시 형태에 관한 바탕 휘도 정보 산출부(12)는, 검사 결과 정보에 포함되는, 피검사물(30)의 반송 방향에 수직인 방향의 1라인분의 화상 데이터로부터, 암측 결함 및 명측 결함에 관한 각 화소값을 제거하고, 나머지 화소값으로부터 휘도값의 평균값과 표준 편차 σ를 산출하는 처리를, 휘도값의 평균값 등의 산출 대상으로 되는 부분이 대략 등간격으로 되게 반복함으로써, 상기 바탕 휘도 정보를 산출하는 유닛이다. 단, 바탕 휘도 정보는, 바탕 영역의 휘도값의 반송 방향 위치 의존성을 나타내는 정보이면 된다. 따라서, 바탕 휘도 정보는, 바탕 영역의 휘도값의 평균값의 반송 방향 위치 의존성을 나타내는 정보여도, 바탕 영역의 휘도값의 표준 편차 σ의 반송 방향 위치 의존성을 나타내는 정보여도, 바탕 영역의 휘도값의 대표값(예를 들어, 랜덤하게 선택한 휘도값이나, 휘도값의 최빈값)의 반송 방향 위치 의존성을 나타내는 정보여도 된다.
지시 응답부(13)는, 입력 장치(10b)에 대한 조작을 통하여 유저로부터 각종 지시를 접수하고, 접수한 지시에 따른 처리를 행하는 유닛이다.
지시 응답부(13)가 실행 가능한 처리에는, 제1 표시 처리, 빈도 히스토그램이 구비된 제1 표시 처리, 제2 빈도 히스토그램이 구비된 제2 표시 처리, 확대 화상 표시 처리, 역치 산출·설정 처리, 결함 종별 히스토그램 표시 처리, 카메라별 휘도 그래프 표시 처리 등이 있다.
제1 표시 처리는, 유저에 의해, 장치 식별 정보의 지정을 수반하는 제1 표시 처리의 실행 지시 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 실행하는 처리이다.
제1 표시 처리를 개시한 지시 응답부(13)는, 먼저, 유저에 의해 지정된 장치 식별 정보(이하, 지정 장치 식별 정보라 표기한다)를 포함하는 역치 결정용 샘플에 관한 검사 결과 식별 정보와, 지정 장치 식별 정보를 포함하는 검사 대상 샘플에 관한 최신의 검사 결과 식별 정보를 기억부(15)로부터 검색한다. 또한, 검사 대상 샘플이란, 역치 결정용 샘플이 아닌 피검사물(30)을 의미한다.
그리고, 지시 응답부(13)는, 검색된 각 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되어 있는 각 검사 결과 정보에 기초하여, 도 2에 나타낸 바와 같은 화상 정보를 디스플레이(10c)에 표시한다. 또한, 이 도 2의 좌측, 중앙부, 우측에 나타낸 그래프(이하, 휘도 그래프라 표기한다)는, 각각, 컷 샘플 테스트(“샘플 테스트”), 롤 샘플 테스트(“롤 테스트”), 검사 대상 샘플(“운용”)의 검사 결과 정보에 기초하여 표시되는 그래프이다.
즉, 지시 응답부(13)는, 검사 대상 샘플의 검사 결과 정보에 대해서는, 당해 검사 결과 정보에 포함되는 명측 결함 정보, 암측 결함 정보, 바탕 휘도 정보에 기초하여, 도 2의 우측에 나타낸 바와 같은, 휘도값을 종축으로 하고, 반송 방향 위치(도면에서는, 시간·거리)를 횡축으로 한 그래프이고, 각 명측 결함을 나타내는 포인트(41b)와, 각 암측 결함을 나타내는 포인트(41d)와, 바탕 영역 내의 각 부의 휘도값의 평균값을 나타내는 포인트(43)와, 포인트(43)를 근사하는 근사 곡선(44)과, 2개의 3σ 곡선(45)과, 명측 검출 역치를 나타내는 라인(51b)과, 암측 검출 역치를 나타내는 라인(51d)이 나타난 휘도 그래프를, 디스플레이(10c)에 표시한다.
또한, 지시 응답부(13)는, 각 검사 대상 샘플의 검사 결과 정보에 대해서도, 같은 휘도 그래프를 디스플레이(10c)에 표시한다.
빈도 히스토그램이 구비된 제1 표시 처리는, 제1 표시 처리와 같은 휘도 그래프가 디스플레이(10c)에 표시되는 처리이다. 단, 빈도 히스토그램이 구비된 제1 표시 처리에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 각 검사 결과 정보의 내용을 나타내는 빈도 히스토그램도 디스플레이(10c)에 표시된다. 또한, 이때, 표시되는 각 빈도 히스토그램에도, 휘도 그래프와 마찬가지로, 명측 검출 역치를 나타내는 라인(52b)과 암측 검출 역치를 나타내는 라인(52d)이 나타난다.
제2 표시 처리는, 유저에 의해, 기억부(15) 내의 둘 이상의 검사 결과 식별 정보를 지정을 수반하는 제2 표시 처리의 실행 지시 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 실행하는 처리이다.
유저에 의해 두 검사 결과 식별 정보가 지정된 경우, 제2 표시 처리에서는, 한쪽 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되어 있는 검사 결과 정보의 내용을 나타내는 휘도 그래프와 다른 쪽 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되어 있는 검사 결과 정보의 내용을 나타내는 휘도 그래프가 디스플레이(10c)에 표시된다. 구체적으로는, 예를 들어 로트 A의 검사 결과 식별 정보와 로트 B의 검사 결과 식별 정보가 유저에 의해 지정된 경우, 제2 표시 처리에서는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 로트 A에 관한 휘도 그래프와 로트 B에 관한 휘도 그래프가 디스플레이(10c)에 표시된다. 또한, 제품 A의 검사 결과 식별 정보와 제품 B의 검사 결과 식별 정보가 유저에 의해 지정된 경우, 제2 표시 처리에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제품 A에 관한 휘도 그래프와 제품 B에 관한 휘도 그래프가 디스플레이(10c)에 표시된다.
유저에 의해 N(≥3)개의 검사 결과 식별 정보가 지정된 경우, 제2 표시 처리에서는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 탭 조작에 의해 N종의 휘도 그래프 중에서 표시하는 휘도 그래프를 선택 가능한 휘도 그래프용 GUI 위젯(61)이 2개 디스플레이(10c)에 표시된다.
빈도 히스토그램이 구비된 제2 표시 처리는, 빈도 히스토그램이 구비된 제1 표시 처리(도 3 참조)와 마찬가지로, 빈도 히스토그램도 디스플레이(10c)에 표시되게 되는 처리이다. 또한, 유저에 의해 N(≥3)개의 검사 결과 식별 정보가 지정된 경우, 빈도 히스토그램이 구비된 제2 표시 처리에서는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 탭 조작에 의해 N종의 빈도 히스토그램 중에서 표시하는 빈도 히스토그램을 선택 가능한 빈도 히스토그램용 GUI 위젯(62)이 2개 디스플레이(10c)에 표시된다.
확대 화상 표시 처리는, 표시 중인 휘도 그래프 상의 하나의 포인트(41(41b 또는 41d))를 선택하는 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 실행하는 처리이다. 이 확대 화상 표시 처리 시, 지시 응답부(13)는, 어떤 포인트(41)가 선택된 휘도 그래프의 기초가 된 검사 결과 정보 중의 화상 데이터로부터, 당해 포인트(41)를 중심으로 한 소정 사이즈의 화상 데이터를 추출한다. 그리고, 지시 응답부(13)는, 도 8에 나타낸 바와 같은 확대 표시 윈도우, 즉, 추출한 화상 데이터를 확대 표시한 화상(55)과, 바탕 영역의, 선택된 포인트(41)와 반송 방향 위치가 일치된 부분의 빈도 히스토그램을 포함하는 확대 표시 윈도우를 휘도 그래프 상에 표시한다.
그리고, 지시 응답부(13)는, 확대 표시 윈도우에 대하여 소정의 제외 조작이 이루어진 경우에는, 확대 표시를 행한 포인트(41)를, 결함으로 하면 안된다는 것을 기억하고 나서, 확대 표시 윈도우를 디스플레이(10c) 상에서 소거한다.
역치 산출·설정 처리는, 소정의 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 개시하는 처리이다. 역치 산출·설정 처리 시, 지시 응답부(13)는, 먼저, 유저에게 제시하는 권장 역치(암측 검출 역치 및 명측 검출 역치의 권장값)를 산출하기 위한 권장 역치 산출 처리를 행한다. 이 권장 역치 산출 처리로서는, 구체적인 내용이 상이한 다양한 것을 채용할 수 있다. 예를 들어, 권장 역치 산출 처리는, 결함으로 하면 안되는 것을 기억하고 있는 각 포인트(41)의 부분도 바탕 영역이라고 간주하여, 바탕 영역의 휘도값의 평균값 및 표준 편차 σ를 산출하고, 평균값 ±k·σ(k는 미리 정해져 있는 상수)를 권장 역치로서 산출하는 처리여도 된다. 또한, 권장 역치 산출 처리는, 결함으로 하면 안되는 것을 기억하고 있는 각 포인트(41)가 결함으로서 특정되지 않는 암측 검출 역치 및 명측 검출 역치를 권장 역치로서 산출하는 처리여도 된다.
권장 역치 산출 처리를 종료한 지시 응답부(13)는, 표시 중의 휘도 그래프 상에 산출한 각 권장 역치를 표시한다. 그리고, 지시 응답부(13)는, 유저에 의해 각 역치의 설정을 지시하는 조작이 이루어진 경우에는, 산출한 각 역치를 외관 검사 장치(20)로 설정하고 나서, 역치 산출·설정 처리를 종료한다.
또한, 지시 응답부(13)는, 유저에 의해 각 역치의 매뉴얼 설정을 지시하는 조작이 이루어진 경우에는, 암측 검출 역치 및 명측 검출 역치를 유저에 입력시키기 위한 다이얼로그 박스를 디스플레이(10c) 상에 표시한다. 그리고, 지시 응답부(13)는, 다이얼로그 박스에 입력된 암측 검출 역치 및 명측 검출 역치를 외관 검사 장치(20)에 설정하고 나서, 역치 산출·설정 처리를 종료한다.
이상, 설명한 바와 같이, 검사 결과 제시 장치(10)의 지시 응답부(13)는, 휘도값이, 각 검출 역치(암측 검출 역치, 명측 검출 역치)에 가까운 각 결함을 알 수 있는 그래프(휘도 그래프, 빈도 그래프)를 유저에게 제시하는 기능을 갖고 있다. 그 때문에, 검사 결과 제시 장치(10)의 유저는, 확대 표시 처리 등을 이용함으로써, 휘도값이 각 검출 역치에 가까운 결함이 실제로 결함인지 여부를 판정하는 것만으로, 역치가 적정 값인지 여부를 판정할 수 있다. 그리고, 그 결과로서, 검사 결과 제시 장치(10)에 의하면, 각 검출 역치의 적정값으로의 조정 작업을 용이한 것으로 할 수 있다.
이하, 지시 응답부(13)에 대하여 몇 가지의 사항을 보충한다.
지시 응답부(13)는, 상기한 각종 처리에 추가하여, 결함 종별 히스토그램 표시 처리 및 카메라별 휘도 그래프 표시 처리도 실행 가능하도록 프로그래밍되어 있다.
결함 종별 히스토그램 표시 처리는, 장치 식별 정보의 지정을 수반하는 결함 종별 히스토그램 표시 처리의 실행 지시 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 실행하는, 이하의 내용의 처리이다.
결함 종별 히스토그램 표시 처리를 개시한 지시 응답부(13)는, 먼저, 유저에 의해 지정된 장치 식별 정보를 포함하는 검사 결과 식별 정보를 기억부(15)로부터 검색한다. 이어서, 지시 응답부(13)는, 검색된 각 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되어 있는 각 검사 결과 정보에 기초하여, 각 검사 대상(로트)의 명측 결함수 및 암측 결함수를 특정한다. 그리고, 지시 응답부(13)는, 각 결함수의 특정 결과에 기초하여, 도 9에 나타낸 바와 같은 화상 정보, 즉, 각 검사 대상의 명측 결함수를 검사 일시순으로 나타낸 히스토그램 및 각 검사 대상의 암측 결함수를 검사 일시순으로 나타낸 히스토그램을, 디스플레이(10c)에 표시한다.
또한, 결함 종별 히스토그램 표시 처리에 의한 히스토그램의 표시를 고속으로 실시할 수 있도록 하기 위해서, 외관 검사 장치(20)로부터의 검사 결과 정보 및 검사 결과 식별 정보의 취득 시에, 명측 결함수 및 암측 결함수가 산출되어서, 산출 결과가 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되도록 해 두어도 된다.
이 결함 종별 히스토그램 표시 처리에 의해 디스플레이(10c)에 표시되는 정보를, 피검사물(30)의 제조 프로세스에 관한 정보(원료의 추가·삭감, 장치의 교환, 기기의 메인터넌스 시기 등)를 참조하여 해석하면, 제조 프로세스에 잠재하는 문제를 특정할 수 있다.
카메라별 휘도 그래프 표시 처리는, 복수대의 카메라(22)가 접속된 외관 검사 장치(20)의 장치 식별 정보와, 당해 외관 검사 장치(20)에 의해 검사된 피검사물(30)의 식별 정보의 지정을 수반하는 카메라별 휘도 그래프 표시 처리의 실행 지시 조작이 이루어졌을 때, 지시 응답부(13)가 실행하는 처리이다.
이 카메라별 휘도 그래프 표시 처리 시, 지시 응답부(13)는, 먼저, 유저에 의해 지정된 장치 식별 정보 및 피검사물(30)의 식별 정보를 포함하는 검사 결과 식별 정보를 기억부(15)로부터 검색한다. 이어서, 지시 응답부(13)는, 검색한 검사 결과 식별 정보와, 검사 결과 식별 정보에 대응지어져서 기억부(15)에 기억되어 있는 검사 결과 식별 정보에 기초하여, 카메라(22)별 휘도 그래프(“카메라(1)”로부터의 화상 데이터에 기초하는 휘도 그래프, “카메라(2)”로부터의 화상 데이터에 기초하는 휘도 그래프 등)를 생성하고, 도 10에 나타낸 바와 같은 형태로 디스플레이(10c)에 표시한다. 이 카메라별 휘도 그래프 표시 처리에 의하면, 이상 상태로 되어 있는 카메라(22)를 간단하게 특정하는 것이 가능해진다.
《변형예》
상기한 실시 형태에 관한 검사 결과 제시 장치(10)는, 각종 변형을 실시할 수 있는 것이다. 예를 들어, 제1 표시 처리를, 도 11에 나타낸 바와 같은 화상 정보를 표시하는 처리로 변형해도 된다. 즉, 제1 표시 처리를, 각 검사 대상 샘플(도면에서는, 로트 A, B, C)에 관한 휘도 그래프가 탭 표시되는 처리로 변형해도 된다. 각 표시 처리를, 표시 중인 어떤 휘도 그래프(이하, 주목 휘도 그래프라 표기한다)에 대하여 소정의 조작(예를 들어, 휘도 그래프를 오른쪽 클릭하는 조작)이 이루어졌을 때, 피검사물(30)의 식별 정보 등을 선택하기 위한 리스트 박스를 표시하고, 주목 휘도 그래프를, 당해 리스트 박스에서 선택된 식별 정보 등으로 식별되는 피검사물(30)의 검사 결과에 관한 휘도 그래프로 변경하는 처리로 변형해도 된다.
검사 결과 제시 장치(10)를, 휘도 그래프의 표시에 필요한 정보(바탕 영역의 각 부의 휘도값의 평균값 및 표준 편차 σ)를 미리 산출하지 않는 장치로 변형해도 된다. 즉, 검사 결과 제시 장치(10)를, 어떤 휘도 그래프의 표시가 지시되었을 때, 당해 휘도 그래프의 표시에 필요로 되는 정보를 산출하고, 산출한 정보를 이용하여 휘도 그래프를 표시하는 장치로 변형해도 된다. 또한, 검사 결과 제시 장치(10)가 표시하는 휘도 그래프는, 각 결함의 제1 방향 위치와 휘도값의 관계와, 결함인지 여부의 판정에 사용된 하나 이상의 역치를 나타내는 것이기만 하면 된다. 또한, 제1 방향 위치란, 피검사물(30)의 피검사면에 대하여 정해진 직교 좌표계에 있어서의 한쪽 좌표값을 의미한다. 따라서, 휘도 그래프를, 포인트(43), 근사 곡선(44), 3σ 곡선(45) 중 어느 것 또는 모두가 나타나지 않는 그래프로 해 두어도 된다.
또한, 피검사물(30)이, 암측 또는 명측 결함이 전혀(또는 거의) 발생하지 않은 것인 경우에는, 당연히, 휘도 그래프를, 암측 또는 명측 결함에 관한 정보가 나타나지 않는 것으로 할 수 있다.
검사 결과 제시 장치(10)를, 휘도값 이외의 특징량(색상, 채도, 명도 등)에 기초하여, 결함 피검사물(30)의 피검사면에 존재하는 각 결함을 특정하는 외관 검사 장치(20)가 출력하는 검사 결과 정보를 처리하는 장치로 변형해도 된다. 또한, 검사 결과 제시 장치(10)를, Web 브라우즈 기능을 갖는 기기(PC, 스마트폰 등)으로부터 이용할 수 있는 장치(즉, 각종 그래프가 표시되는 Web 페이지를, Web 브라우즈 기능을 갖는 기기에 제공 가능한 장치)로 변형해도 된다.
검사 결과 제시 장치(10)를, 외관 검사 장치(20)로서도 동작 가능한 장치로 변형해도 된다. 또한, 검사 결과 제시 장치(10)를, 외관 검사 장치(20)로서도 동작 가능한 장치로 변형하는 경우에는, 검사 결과 제시 장치(10)에, 휘도 그래프 등을 실시간으로 표시하는 기능(피검사물(30)의 카메라(22)로부터의 화상 데이터를 도입하면서, 휘도 그래프 내에 포인트(41b, 41d, 43)를 추가해 가는 기능)을 부여해 두어도 된다. 또한, 상기 기술을, 시트형이 아닌 피검사물(30)의 검사에 이용해도 된다.
《부기》
1. 피검사물(30)의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득부(11)와,
상기 취득부(11)에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부(12, 13)
를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치(10).
2. 피검사물(30)의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성부(11, 12, 26)와,
상기 검사 결과 정보 생성부에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부(13)
를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
10: 검사 결과 제시 장치
10a: 컴퓨터 본체
10b: 입력 장치
10c: 디스플레이
11: 취득부
12: 바탕 휘도 정보 산출부
13: 지시 응답부
15, 27: 기억부
20: 외관 검사 장치
21: 광원
22: 카메라
25: 신호 처리 장치
26: 검사 결과 정보 생성부
30: 피검사물
31: 반송 롤러
44: 근사 곡선
45: 3σ곡선
61: 휘도 그래프용 GUI 위젯
62: 빈도 히스토그램용 GUI 위젯

Claims (9)

  1. 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득부와,
    상기 취득부에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 그래프 생성부는, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계와, 상기 하나 이상의 역치와, 상기 피검사면의 상기 결함 이외의 영역인 바탕 영역의 상기 특징량의 상기 제1 방향 위치 의존성을 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는
    것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사 결과 정보는, 상기 화상 데이터를 포함하고,
    상기 검사 결과 정보에 포함되는 상기 화상 데이터에 기초하여, 상기 유저에 의해 상기 그래프로부터 선택된 결함의 확대된 화상을 유저에게 제시하는 확대 화상 제시부를 더 구비하는
    것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 그래프 생성부는, 복수의 상기 검사 결과 정보 각각에 대하여 상기 그래프를 생성하고, 생성한 복수의 상기 그래프를 동시에 유저에게 제시하는 기능을 갖는
    것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 취득부에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 상기 피검사면에 존재하는 결함의 개수를 상기 특징량별로 나타낸 빈도 히스토그램을 생성하여 유저에게 제시하는 히스토그램 생성부를, 더 구비하는
    것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피검사물이 시트형 부재이며,
    상기 피검사물의 상기 피검사면의 상기 화상 데이터가, 카메라와 상기 피검사물을 상기 제1 방향으로 상대적으로 이동시킴으로써 얻어지는 데이터인
    것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
  7. 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 하나 이상의 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득 스텝과,
    상기 취득 스텝에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성 스텝
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 방법.
  8. 컴퓨터에,
    피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성 처리에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보를 취득하는 취득 스텝과,
    상기 취득 스텝에 의해 취득된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 하나 이상의 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성 스텝
    을 실행시키는 것을 특징으로 하는 기록 매체에 기록된 검사 결과 제시 프로그램.
  9. 피검사물의 피검사면의 화상 데이터에 기초하여, 상기 피검사면의 각 위치에 있어서의 소정의 특징량을 구하고, 구한 각 위치에 있어서의 상기 특징량과 하나 이상의 역치를 비교함으로써 상기 피검사면에 존재하는 각 결함의 제1 방향 위치 및 상기 특징량을 특정하고, 특정한 각 결함의 상기 제1 방향 위치 및 상기 특징량과 상기 역치를 포함하는 검사 결과 정보를 생성하는 검사 결과 정보 생성부와,
    상기 검사 결과 정보 생성부에 의해 생성된 상기 검사 결과 정보에 기초하여, 각 결함의 상기 제1 방향 위치와 상기 특징량의 관계 및 상기 역치를 나타내는 그래프를 생성하여 유저에게 제시하는 그래프 생성부
    를 구비하는 것을 특징으로 하는 검사 결과 제시 장치.
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