KR20190140768A - Mask Frame and Mask Assembly - Google Patents

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KR20190140768A
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Abstract

Disclosed are a mask frame and a mask assembly. The mask frame of the present invention is a mask frame which is configured such that a mask sheet may be fixated, and comprises: a left frame provided on the left; a right frame provided on the right; an upper frame connecting an upper end portion of the left frame and an upper end portion of the right frame to each other; and a lower frame connecting a lower end portion of the left frame and a lower end portion of the right frame to each other. Here, the upper frame comprises: an upper rectilinear frame provided in a rectilinear shape in right and left directions; and an upper curve frame to which a mask sheet is coupled, and which is spaced from the upper rectilinear frame, and has bilateral symmetry, while being upwardly bent in a convex manner. Therefore, provided in the present invention are the mask frame and the mask assembly, which can prevent the mask frame from being deformed, and prevent the mask sheet from sagging, and prevent deformation while the position of the mask assembly is converted to be horizontal or vertical.

Description

마스크프레임 및 마스크조립체{Mask Frame and Mask Assembly}Mask Frame and Mask Assembly

본 발명은 마스크프레임 및 마스크조립체에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 소정의 패턴 또는 모양을 가지는 양극, 음극, 유기막 또는 픽셀 등이 기판상에 형성되도록 하는 마스크시트를 고정하는 마스크프레임 및 이를 포함하는 마스크조립체에 관한 것이다.The present invention relates to a mask frame and a mask assembly, and more particularly, to include a mask frame for fixing a mask sheet for forming an anode, a cathode, an organic film or a pixel having a predetermined pattern or shape on a substrate; It relates to a mask assembly.

기판처리장치는, 반도체 제조용 웨이퍼, LCD 제조용 기판, OLED 제조용 기판 등을 제조하기 위하여 증착공정, 식각공정 등을 수행하는 장치로서 기판처리의 종류, 조건 등에 따라서 다양하게 구성될 수 있다.The substrate processing apparatus is a device for performing a deposition process, an etching process, etc. to manufacture a semiconductor manufacturing wafer, an LCD manufacturing substrate, an OLED manufacturing substrate, and the like, and may be variously configured according to the type, conditions, and the like of the substrate processing.

기판처리장치 중 증착기는, 기판의 표면에 CVD, PVD, 증발증착 등을 이용하여 박막을 형성하는 장치를 말하고, 유기발광다이오드(OLED) 디스플레이 제조용 기판의 경우 증착물질을 증착함에 있어서, 유기물, 무기물, 금속 등을 증발시켜 기판 표면에 박막을 형성하는 공정이 이루어지고 있다.Evaporator of the substrate processing apparatus refers to a device for forming a thin film on the surface of the substrate using CVD, PVD, evaporation deposition, etc. In the case of a substrate for manufacturing an organic light emitting diode (OLED) display, in depositing a deposition material, The process of forming a thin film on the surface of a board | substrate by evaporating a metal etc. is performed.

증착물질을 증발시켜 박막을 형성하는 증착기는 증착용 기판이 로딩되는 증착챔버와, 증착챔버 내부에 설치되어 기판에 대하여 증착물질을 증발하도록 증착물질을 가열하여 증발시키는 소스를 포함하여, 이에 따라 증착물질이 증발되어 기판표면에 박막을 형성하는 기판처리가 이루어진다.The deposition apparatus for evaporating the deposition material to form a thin film includes a deposition chamber in which a deposition substrate is loaded, and a source installed inside the deposition chamber to heat and evaporate the deposition material to evaporate the deposition material with respect to the substrate. Substrate treatment is performed to evaporate the material to form a thin film on the substrate surface.

한편, 이러한 기판처리에서는, 증착 영역만 노출되도록 이루어지는 마스크를 기판 상측에 위치시킨 상태에서 이루어지며, 이에 따라 소정의 패턴 또는 모양을 가지는 양극, 음극, 유기막, 픽셀 등이 기판상에 형성될 수 있게 된다.On the other hand, in such a substrate treatment, a mask is formed on the substrate to expose only the deposition region, so that an anode, a cathode, an organic film, a pixel, etc. having a predetermined pattern or shape can be formed on the substrate. Will be.

마스크는 통상, 사각틀 형태의 마스크 프레임에 결합되어 사용되는데, 마스크는 이동 및 사용과정에서 마스크의 처짐이 발생될 수 있고, 특히, 기판 및 마스크가 대형화됨에 따라 마스크의 처짐방지에 대한 필요성이 더욱 증가하고 있다.The mask is generally used in combination with a rectangular frame frame, which may cause sagging of the mask during movement and use, and in particular, as the substrate and the mask become larger, the need for preventing sagging of the mask is further increased. Doing.

(0001) 대한민국등록특허 제10-1833234호(등록일: 2018.02.22)(0001) Republic of Korea Patent Registration No. 10-1833234 (Registration Date: February 22, 2018) (0002) 대한민국등록특허 제10-1295354호(등록일: 2013.08.05)(0002) Republic of Korea Patent No. 10-1295354 (Registration Date: 2013.08.05)

본 발명의 목적은, 마스크프레임 및 마스크시트의 변형과, 마스크시트의 처짐을 방지할 수 있는 마스크프레임 및 마스크조립체를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a mask frame and a mask assembly which can prevent deformation of the mask frame and mask sheet and sag of the mask sheet.

상기 목적은, 마스크시트가 고정되도록 이루어지는 마스크프레임으로서, 좌측에 구비되는 좌측프레임과, 우측에 구비되는 우측프레임과, 상기 좌측프레임의 상단부분과 상기 우측프레임의 상단부분을 서로 연결하는 상측프레임과, 상기 좌측프레임의 하단부분과 상기 우측프레임의 하단부분을 서로 연결하는 하측프레임을 포함하고, 상기 상측프레임은, 좌우방향을 따라 직선 형태를 이루는 상부직선프레임; 및 상기 마스크시트가 결합되는 것으로서, 상기 상부직선프레임과 이격되고, 좌우대칭이며 상측으로 볼록하게 굽은 상부곡선프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임에 의해 달성된다.The object is a mask frame to be fixed to the mask sheet, the left frame provided on the left side, the right frame provided on the right side, and the upper frame connecting the upper portion of the left frame and the upper portion of the right frame and And a lower frame connecting the lower portion of the left frame and the lower portion of the right frame to each other, wherein the upper frame comprises: an upper linear frame forming a straight line along left and right directions; And the mask sheet is combined, it is achieved by a mask frame, characterized in that it comprises a top curved frame spaced apart from the upper linear frame, symmetrical and convex upward.

본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상부곡선프레임은 상기 상부직선프레임보다 위쪽, 아래쪽, 앞쪽 또는 뒤쪽에 위치하도록 이루어질 수 있다.In the mask frame according to the present invention, the upper curved frame may be located above, below, front or rear than the upper straight frame.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상측프레임은, 좌우방향을 따라 직선 형태를 이루고 상기 상부직선프레임 및 상부곡선프레임과 이격되되, 상기 상부곡선프레임을 중심으로 상기 상부직선프레임의 반대쪽에 위치하는 상부직선보조프레임을 더 포함하여 이루어질 수 있다.In addition, in the mask frame according to the present invention, the upper frame is formed in a straight line along the left and right and spaced apart from the upper linear frame and the upper curved frame, located on the opposite side of the upper linear frame around the upper curved frame It may further comprise an upper linear auxiliary frame.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상부곡선프레임은, 그 길이방향을 따라 단면이 일정하되, 원형파이프 또는 다각형파이프 형태로 이루어지거나, 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 중 어느 하나의 형태로 이루어질 수 있다.In addition, in the mask frame according to the present invention, the upper curved frame, the cross section is constant along the longitudinal direction, made of a circular pipe or polygonal pipe shape, or the cross-section is L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H It may be made of any one of the characters.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상부곡선프레임은 티타늄으로 이루어지되, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재 또는 재질로 이루어지고, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임은 Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어지되, 서로 동종의 소재 또는 재질로 이루어질 수 있다.In addition, in the mask frame according to the present invention, the upper curve frame is made of titanium, the left frame, the right frame and the upper linear frame and a heterogeneous material or material, the left frame, the right frame and the upper linear frame Fe-Ni alloy, made of stainless steel, or made, including the same, may be made of the same material or material.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상부곡선프레임은, 내부에 위치하는 내부층; 및 상기 내부층을 둘러싸며 상기 내부층과 결합되는 외부층을 포함하고, 상기 내부층은 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재 또는 재질로 이루어지고, 상기 외부층은 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 동종의 소재 또는 재질로 이루어질 수 있다.In addition, in the mask frame according to the present invention, the upper curve frame, the inner layer located inside; And an outer layer surrounding the inner layer and coupled to the inner layer, wherein the inner layer is made of a different material or material from the left frame, the right frame, and the upper straight frame, and the outer layer is the left frame. The right frame and the upper straight frame may be made of the same material or material.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임에서, 상기 상부곡선프레임에는, 상기 마스크시트를 고정결합시키는 고정스크류가 길이방향을 따라 반복형성될 수 있다.In addition, in the mask frame according to the invention, the fixing screw for fixing the mask sheet to the upper curved frame may be repeatedly formed along the longitudinal direction.

또한 본 발명에 따른 마스크프레임은 좌우 및 상하대칭으로 이루어질 수 있다.In addition, the mask frame according to the present invention may be made of left and right symmetry.

또한 상기 목적은, 좌우방향을 따라 배열되는 다수 개의 마스크시트; 및 상기 마스크시트가 고정되도록 이루어지는 마스크프레임으로서, 좌측에 구비되는 좌측프레임과, 우측에 구비되는 우측프레임과, 상기 좌측프레임의 상단부분과 상기 우측프레임의 상단부분을 서로 연결하고 상기 마스크시트의 상측이 결합되는 상측프레임과, 상기 좌측프레임의 하단부분과 상기 우측프레임의 하단부분을 서로 연결하고 상기 마스크시트의 하측이 결합되는 하측프레임을 포함하는 마스크프레임을 포함하고, 상기 상측프레임은, 좌우방향을 따라 직선 형태를 이루는 상부직선프레임; 및 상기 마스크시트가 결합되는 것으로서, 상기 상부직선프레임과 이격되고, 좌우대칭이며 상측으로 볼록하게 굽은 상부곡선프레임을 포함하며, 상기 마스크시트는 상기 상부곡선프레임에 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크조립체에 의해 달성된다.In addition, the above object, a plurality of mask sheets arranged along the left and right directions; And a mask frame configured to fix the mask sheet, wherein a left frame provided on the left side, a right frame provided on the right side, and an upper portion of the left frame and an upper portion of the right frame are connected to each other, and an upper side of the mask sheet. And a mask frame including an upper frame coupled to each other, and a lower frame connecting the lower portion of the left frame and the lower portion of the right frame to each other and having a lower side of the mask sheet coupled thereto. Upper straight frame forming a straight line along the; And an upper curved frame spaced apart from the upper linear frame, symmetrical and convexly curved upward, wherein the mask sheet is coupled to the mask sheet, wherein the mask sheet is coupled to the upper curved frame. Is achieved.

본 발명에 따른 마스크조립체에서, 상기 상부곡선프레임은 상기 상부직선프레임보다 위쪽, 아래쪽, 앞쪽 또는 뒤쪽에 위치하고, 상기 상측프레임은, 좌우방향을 따라 직선 형태를 이루고 상기 상부직선프레임 및 상부곡선프레임과 이격되되, 상기 상부곡선프레임을 중심으로 상기 상부직선프레임의 반대쪽에 위치하는 상부직선보조프레임을 더 포함하여 이루어질 수 있다.In the mask assembly according to the present invention, the upper curved frame is located above, below, front or rear than the upper straight frame, and the upper frame forms a straight line along the left and right directions and the upper straight frame and the upper curved frame Spaced apart, it may further comprise an upper linear auxiliary frame located on the opposite side of the upper linear frame with respect to the upper curved frame.

또한 본 발명에 따른 마스크조립체에서, 상기 상부곡선프레임은, 그 길이방향을 따라 단면이 일정하되, 원형파이프 또는 다각형파이프 형태로 이루어지거나, 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 중 어느 하나의 형태로 이루어질 수 있다.In addition, in the mask assembly according to the present invention, the upper curved frame, the cross section is constant along the longitudinal direction, made of a circular pipe or polygonal pipe form, or the cross-section (L-shaped), c-shaped (U-shaped), H It may be made of any one of the characters.

또한 본 발명에 따른 마스크조립체에서, 상기 상부곡선프레임은 티타늄으로 이루어지되, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재 또는 재질로 이루어지고, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임은 Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어지되, 서로 동종의 소재 또는 재질로 이루어질 수 있다.In addition, in the mask assembly according to the present invention, the upper curved frame is made of titanium, the left frame, the right frame and the upper straight frame and made of different materials or materials, the left frame, the right frame and the upper straight frame Fe-Ni alloy, made of stainless steel, or made, including the same, may be made of the same material or material.

본 발명에 의하면, 마스크프레임의 변형을 방지하고, 마스크시트의 처짐을 방지할 수 있으며, 마스크조립체의 위치를 수평과 수직으로 전환함에 있어서 변형을 방지할 수 있는 마스크프레임 및 마스크조립체를 제공할 수 있게 된다.According to the present invention, it is possible to provide a mask frame and a mask assembly which can prevent deformation of the mask frame, prevent sagging of the mask sheet, and prevent deformation when switching the position of the mask assembly horizontally and vertically. Will be.

도 1은 본 발명에 따른 마스크조립체 및 마스크프레임을 정면에서 바라본 도면,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크조립체 및 마스크프레임을 정면에서 바라본 도면,
도 3은 도 1에 도시된 마스크프레임의 일부 구성 및 이에 작용하는 하중을 설명하는 도면,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 마스크프레임의 일부를 도시한 사시도,
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 마스크프레임의 여러 단면 형상을 도시한 도면,
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크프레임의 일부를 도시한 정면도,
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크조립체의 일부를 도시한 사시도,
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크조립체의 일부를 도시한 단면도이다.1 is a front view of the mask assembly and the mask frame according to the present invention,
2 is a front view of the mask assembly and the mask frame according to another embodiment of the present invention;
3 is a view for explaining a part of the configuration and the load acting on the mask frame shown in FIG.
4 is a perspective view showing a part of a mask frame according to still another embodiment of the present invention;
5 and 6 are views showing several cross-sectional shapes of the mask frame according to the present invention,
7 is a front view showing a part of a mask frame according to another embodiment of the present invention;
8 is a perspective view showing a part of a mask assembly according to another embodiment of the present invention;
9 is a cross-sectional view showing a portion of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, in describing the present invention, descriptions of already known functions or configurations will be omitted to clarify the gist of the present invention.

도 1은 본 발명에 2개의 실시예에 따른 마스크조립체(1) 및 마스크프레임(100)을 정면에서 바라본 도면이고, 도 2는 본 발명의 다른 2개의 실시예에 따른 마스크조립체(1) 및 마스크프레임(100)을 정면에서 바라본 도면이고, 도 3은 도 1에 도시된 마스크프레임(100)의 일부 구성 및 이에 작용하는 하중을 설명하는 도면이고, 도 4는 본 발명의 또 다른 실시예들에 따른 마스크프레임(100)의 일부를 도시한 사시도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 마스크프레임(100)의 여러 단면 형상을 도시한 도면이다.1 is a front view of a mask assembly 1 and a mask frame 100 according to two embodiments of the present invention, and FIG. 2 is a mask assembly 1 and a mask according to two other embodiments of the present invention. 3 is a front view of the frame 100, and FIG. 3 is a view illustrating a part of the configuration of the mask frame 100 shown in FIG. 1 and a load applied thereto, and FIG. 4 is a view illustrating still another embodiment of the present invention. 5 is a perspective view of a part of the mask frame 100 according to the present invention, and FIGS. 5 and 6 are views illustrating various cross-sectional shapes of the mask frame 100 according to the present invention.

본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)의 기술적 특징에 대한 설명의 편의를 위하여, 마스크프레임(100), 마스크시트(200, 200a, 200b) 및 마스크조립체(1)가 개략적이고 일부가 과장되게 표현되어 있다. 본 발명에 따른 마스크프레임(100), 마스크조립체(1)는, 본 발명에서 설명되는 기술적 특징을 갖는 것으로서, 형상, 모양, 규격 등이 다양하게 이루어질 수 있음은 물론이다.For convenience of description of the technical features of the mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention, the mask frame 100, mask sheets 200, 200a, 200b and the mask assembly 1 are schematic and Some are exaggerated. The mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention have the technical features described in the present invention, and of course, shapes, shapes, specifications, and the like may be variously made.

반도체 및 디스플레이패널 등의 제조공정에서 피처리물인 웨이퍼 또는 기판의 고정 및 이동이 이루어지고, 대면적의 기판, 특히, OLED(Organic Light Emitting Diode) 디스플레이패널을 이루는 대면적 기판의 고정 및 이송이 이루어질 수 있다.In manufacturing processes such as semiconductors and display panels, wafers and substrates to be processed are fixed and moved, and large-size substrates, in particular, large-area substrates constituting OLED (Organic Light Emitting Diode) display panels are made. Can be.

기판이송장치는, 피처리물인 기판에 대하여, 에칭, CVD, 스퍼터링, 이온 주입, 에싱 및/또는 증발증착 등의 가공과정인 기판처리공정 또는 그러한 공정의 준비과정에서 기판을 고정 및 이송하도록 이루어지고, 기판이송장치의 일측에 본 발명의 마스크조립체(1)가 위치할 수 있다. 그리고 이러한 공정을 위한 기판처리장치는 마스크조립체(1)를 고정 및 이송시키는 마스크이송장치, 상술한 기판 이송장치, 프로세스 챔버 등을 포함하여 이루어진다.The substrate transfer device is configured to fix and transfer a substrate to a substrate to be processed in a substrate processing process or a preparation process of such a process, such as etching, CVD, sputtering, ion implantation, ashing and / or evaporation, and the like. The mask assembly 1 of the present invention may be located on one side of the substrate transfer device. In addition, the substrate processing apparatus for such a process includes a mask transfer apparatus for fixing and transferring the mask assembly 1, the substrate transfer apparatus, a process chamber, and the like.

기판이송장치는 기판과 함께 프로세스 챔버 내외부로, 또는 프로세스 챔버 내부에서 이동할 수 있고, 이때 기판은 수평상태 또한 수직상태로 놓여 이동할 수 있다.The substrate transfer device can move with the substrate into and out of the process chamber, or within the process chamber, where the substrate can move in a horizontal and vertical position.

마스크 이송장치는 마스크조립체(1)와 함께 프로세스 챔버 내외부로, 또는 프로세스 챔버 내부에서 이동할 수 있고, 이때 마스크조립체(1)는 수평상태 또한 수직상태로 놓여 이동할 수 있고, 수평상태와 수직상태가 서로 전환될 수 있다. 프로세스 챔버 내부에서 기판이 수평상태일 때 마스크조립체(1) 또한 수평상태이고, 기판이 수직상태일 때 마스크조립체(1) 또한 수직상태임은 물론이다.The mask transfer device can move with the mask assembly 1 into and out of the process chamber or within the process chamber, wherein the mask assembly 1 can move in a horizontal state and also in a vertical state, where the horizontal state and the vertical state are mutually Can be switched. The mask assembly 1 is also horizontal when the substrate is horizontal in the process chamber, and the mask assembly 1 is also vertical when the substrate is vertical.

이하에서는, 도 1 및 2에 도시된 마스크조립체(1)를 기준으로 상하방향(Y와 평행), 좌우방향(X와 평행)을 정하여 설명하도록 한다. 즉, 마스크조립체(1)가 수직방향으로 세워진 상태를 기준으로 방향을 정하여 설명하도록 한다. 다만, 이는 마스크조립체(1) 및 마스크프레임(100)의 설명을 위한 것이며, 본 발명에 따른 마스크조립체(1) 및 마스크프레임(100)이 반드시 수직방향으로 세워진 상태로 사용되어야 하는 것이 아님은 물론이다.Hereinafter, the up and down directions (parallel to Y) and the left and right directions (parallel to X) will be described based on the mask assembly 1 illustrated in FIGS. 1 and 2. That is, the mask assembly 1 will be described by defining a direction based on a state in which the mask assembly 1 stands in the vertical direction. However, this is for the description of the mask assembly (1) and the mask frame 100, of course, the mask assembly (1) and the mask frame 100 according to the present invention is not necessarily to be used in a vertical direction to be used, of course. to be.

마스크조립체(1)에는 소정의 패턴 또는 모양을 이루는 관통구멍(210)이 구비되고, 마스크조립체(1)는 프로세스 챔버 내에서 일측 방향으로 이송될 수 있고, 기판 앞에 위치할 수 있다. 프로세스 챔버 내에서 증발된 증착물질이 이러한 관통구멍(210)을 통과한 후 기판에 안착됨으로써 기판 상에 소정의 패턴 또는 모양을 가지는 양극, 음극, 유기막 또는 픽셀 등이 형성되게 된다.The mask assembly 1 is provided with a through hole 210 having a predetermined pattern or shape, and the mask assembly 1 may be transferred in one direction in the process chamber and positioned in front of the substrate. The evaporation material evaporated in the process chamber passes through the through hole 210 and is then deposited on the substrate to form an anode, a cathode, an organic film, or a pixel having a predetermined pattern or shape on the substrate.

본 발명에 따른 마스크조립체(1)는 마스크프레임(100) 및 마스크시트(200, 200a, 200b)를 포함하여 이루어진다.The mask assembly 1 according to the present invention comprises a mask frame 100 and a mask sheet 200, 200a, 200b.

마스크시트(200, 200a, 200b)는 상기 관통구멍(210)이 형성되는 구성이며, 얇은 금속판 형태로 이루어질 수 있고, 또는 금속성의 박막으로 이루어질 수 있다. 마스크시트(200, 200a, 200b)의 두께는 수㎜에서 수십㎜로 이루어질 수 있고, 또는 수십㎛에서 수백㎛로 이루어질 수 있고, 구체적으로 200㎛로 이루어질 수 있으며, 또는 18㎛의 두께로 이루어질 수 있다. 마스크시트(200, 200a, 200b)의 관통구멍(210)은, 요구되는 조건에 따라 그 크기 및 모양 등이 다양하게 이루어질 수 있다.(도 2(a) 및 (b) 참조)The mask sheets 200, 200a, and 200b have a configuration in which the through holes 210 are formed, and may be made of a thin metal plate, or may be formed of a metallic thin film. The thickness of the mask sheet 200, 200a, 200b may be made from several mm to several tens of mm, or may be made from several tens of micrometers to hundreds of micrometers, specifically, may be made of 200 μm, or may be made of a thickness of 18 μm. have. The through holes 210 of the mask sheets 200, 200a, and 200b may have various sizes, shapes, and the like, depending on the required conditions. (See FIGS. 2 (a) and (b).)

마스크시트(200)는 통상의 FMM(Fine Metal Mask)로 이루어질 수 있고, 마스크시트(200a)는 일측 방향으로 긴 스트립형태로 이루어질 수 있다.(도 1(a) 및 (b) 참조) 이때 다수 개의 마스크시트(200a)는 병렬로 배열되고 양측 단부(상하측 단부)가 마스크프레임(100)에 고정결합될 수 있다.The mask sheet 200 may be formed of a conventional fine metal mask (FMM), and the mask sheet 200a may be formed in a long strip shape in one direction (see FIGS. 1 (a) and (b)). The two mask sheets 200a may be arranged in parallel and both ends (upper and lower ends) may be fixedly coupled to the mask frame 100.

마스크시트(200)는 통상의 CMM(Common Metal Mask)로 이루어질 수 있다. 마스크시트(200b)는 통상의 오픈마스크(Open Mask) 형태로 이루어질 수 있고, 직사각형 형태로 이루어질 수 있다.(도 2 (a) 및 (b) 참조) 이때 마스크시트(200b)의 4개의 테두리 부분은 좌측프레임(110), 우측프레임(120), 상측프레임(130) 및 하측프레임(140) 각각에 고정결합될 수 있다.The mask sheet 200 may be formed of a common CMM. The mask sheet 200b may be formed in a general open mask form and may be formed in a rectangular form (see FIGS. 2A and 2B). Four edge portions of the mask sheet 200b may be formed. The left frame 110, the right frame 120, the upper frame 130 and the lower frame 140 may be fixedly coupled to each.

마스크프레임(100)은 마스크시트(200, 200a, 200b)보다 강도 또는 강성이 큰 소재로 이루어진다. 마스크프레임(100)은 인바(invar, Fe-Ni 합금) 또는 스테인리스강(stainless steel)으로 이루어질 수 있고, 또는 이를 포함하여 이루어질 수 있다. The mask frame 100 is made of a material having a greater strength or rigidity than the mask sheets 200, 200a and 200b. The mask frame 100 may be made of invar (Fe-Ni alloy) or stainless steel, or may include the same.

본 발명에서 설명되는 '인바(invar)'는 구체적으로 Invar36으로 이루어질 수 있고, '스테인리스강'은 SUS430으로 이루어질 수 있다.Invar (invar) described in the present invention may be specifically made of Invar36, 'stainless steel' may be made of SUS430.

마스크프레임(100)은 좌측프레임(110), 우측프레임(120), 상측프레임(130) 및 하측프레임(140)을 포함하여 이루어지고, 전체적으로 사각형의 틀 형태로 이루어진다.The mask frame 100 includes a left frame 110, a right frame 120, an upper frame 130, and a lower frame 140, and has a rectangular frame shape as a whole.

좌측프레임(110)은 마스크프레임(100)의 좌측을 이루며 상하방향(Y)으로 길게 이루어지고, 전체적으로 직선형태로 이루어질 수 있다. 좌측프레임(110)은 상하방향(Y)을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 좌측프레임(110)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 좌측프레임(110)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The left frame 110 forms the left side of the mask frame 100 and is long in the vertical direction (Y), and may be formed in a straight line as a whole. The left frame 110 may have a constant cross section along the up and down direction (Y), and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the left frame 110 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shape, L-shape, U-shape, H-shape and the like. The cross-sectional shape of the left frame 110 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

우측프레임(120)은 마스크프레임(100)의 우측을 이루며 상하방향(Y)으로 길게 이루어지고, 전체적으로 직선형태로 이루어질 수 있다. 우측프레임(120)은 상하방향(Y)을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 우측프레임(120)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 우측프레임(120)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The right frame 120 forms the right side of the mask frame 100 and is long in the vertical direction (Y), and may be formed in a straight line as a whole. The right frame 120 may have a constant cross section along the up and down direction (Y), and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the right frame 120 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped and the like. The cross-sectional shape of the right frame 120 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

좌측프레임(110)과 우측프레임(120)은 서로 평행하게 이루어질 수 있고, 모양, 크기 및 재질 등이 서로 동일하게 이루어질 수 있으며, 서로 대칭된 형태로 이루어질 수 있다.The left frame 110 and the right frame 120 may be formed in parallel to each other, the shape, size and material may be made the same, and may be formed in a symmetrical form.

상측프레임(130)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)의 각각의 상단을 서로 연결하고, 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)에 고정된다.The upper frame 130 connects upper ends of the left frame 110 and the right frame 120 to each other and is fixed to the left frame 110 and the right frame 120.

상측프레임(130)은 상부직선프레임(131)과 상부곡선프레임(132)을 포함하여 이루어질 수 있다.The upper frame 130 may include an upper straight frame 131 and an upper curved frame 132.

상부직선프레임(131)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하고 좌우방향(X)을 따라 직선 형태를 이룬다. 상부직선프레임(131)은 좌우방향(X)을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 상부직선프레임(131)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 상부직선프레임(131)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The upper straight frame 131 connects the left frame 110 and the right frame 120 to each other and forms a straight line along the left and right directions (X). The upper linear frame 131 may have a constant cross-section along the left and right directions (X), and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the upper straight frame 131 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped or the like. The cross-sectional shape of the upper straight frame 131 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

상부직선프레임(131)은 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 동종 재질로 이루어질 수 있으며, Fe-Ni 합금, 스테인리스강 등으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어질 수 있고, 상측프레임(130)이 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 안정적이고 견고한 결합이 이루어지도록 한다.The upper linear frame 131 may be made of the same material as the left frame 110 and the right frame 120, and may be made of or include a Fe-Ni alloy, stainless steel, or the like, and the upper frame 130 The left frame 110 and the right frame 120 and the stable and secure coupling is to be made.

상부곡선프레임(132)은 상부직선프레임(131)과 이격되어, 상부곡선프레임(132)과 상부직선프레임(131) 사이에는 공간이 마련된다. 상부곡선프레임(132)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하되, 상부직선프레임(131)과 같이 직선형태로 이루어지는 것이 아니고 곡선형태로 이루어진다. 특히 상부곡선프레임(132)은 상측(Y)을 향하여 볼록하게 굽은 형태로 이루어진다. 상부곡선프레임(132)은, 그 전체길이에 걸쳐 곡률이 일정하거나 곡률이 연속적으로 변하도록 이루어지는 것이 바람직하다.The upper curve frame 132 is spaced apart from the upper straight frame 131, a space is provided between the upper curved frame 132 and the upper straight frame 131. The upper curved frame 132 connects the left frame 110 and the right frame 120 to each other, but does not have a straight line like the upper straight frame 131 but has a curved shape. In particular, the upper curve frame 132 is formed in a convex bent toward the upper side (Y). The upper curve frame 132 is preferably made so that the curvature is constant or the curvature continuously changes over its entire length.

상부곡선프레임(132)의 길이(L2)는 상부직선프레임(131)의 길이(L1)보다 길게 이루어진다.The length L2 of the upper curved frame 132 is longer than the length L1 of the upper straight frame 131.

상부곡선프레임(132)은 그 길이방향을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 상부곡선프레임(132)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 상부곡선프레임(132)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The upper curved frame 132 may have a constant cross section along its longitudinal direction, and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the upper curve frame 132 may be formed in the shape of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shape, L-shape, U-shape, H-shape and the like. The cross-sectional shape of the upper curved frame 132 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

상부곡선프레임(132)은, 내부에 위치하는 내부층(132a)과, 내부층(132a)을 둘러싸며 내부층(132a)과 결합되는 외부층(132b)으로 구분될 수 있다.The upper curve frame 132 may be divided into an inner layer 132a positioned inside and an outer layer 132b surrounding the inner layer 132a and coupled to the inner layer 132a.

본 발명에 따른 마스크프레임(100)에서 상부곡선프레임(132)은 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 동종 재질로 이루어질 수 있다.In the mask frame 100 according to the present invention, the upper curve frame 132 may be made of the same material as the left frame 110 and the right frame 120.

또한, 본 발명에 따른 마스크프레임(100)에서 상부곡선프레임(132)은 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 이종 재질로 이루어질 수 있다. 예컨대, 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)이 인바(Fe-Ni 합금), 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어질 때, 상부곡선프레임(132)은 티타늄으로 이루어질 수 있다. 따라서, 상측프레임(130)의 전체 무게를 줄이면서 강성을 증가시킬 수 있게 된다.In addition, the upper curved frame 132 in the mask frame 100 according to the present invention may be made of a different material and the left frame 110 and the right frame 120. For example, when the left frame 110 and the right frame 120 is made of Invar (Fe-Ni alloy), stainless steel, or including the same, the upper curve frame 132 may be made of titanium. Therefore, it is possible to increase the rigidity while reducing the overall weight of the upper frame 130.

상부곡선프레임(132)은 용접에 의해 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)에 결합될 수 있다.The upper curve frame 132 may be coupled to the left frame 110 and the right frame 120 by welding.

또한, 상부곡선프레임(132)이 내부층(132a)과 외부층(132b)으로 구분될 때, 내부층(132a)은 좌측프레임(110), 우측프레임(120) 및 상부직선프레임(131)과 이종의 소재 또는 재질로 이루어지고, 외부층(132b)은 좌측프레임(110), 우측프레임(120) 및 상부직선프레임(131)과 동종의 소재 또는 재질로 이루어질 수 있다.In addition, when the upper curved frame 132 is divided into an inner layer 132a and an outer layer 132b, the inner layer 132a may be formed of the left frame 110, the right frame 120, and the upper straight frame 131. It is made of different materials or materials, and the outer layer 132b may be made of the same material or material as the left frame 110, the right frame 120, and the upper straight frame 131.

예컨대, 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)이 Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어질 때, 외부층(132b)은 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 동일한 소재로 이루어지고, 내부층(132a)은 티타늄으로 이루어질 수 있다.For example, when the left frame 110 and the right frame 120 is made of or including a Fe-Ni alloy, stainless steel, the outer layer 132b is the same as the left frame 110 and the right frame 120 It is made of a material, the inner layer 132a may be made of titanium.

따라서, 상측프레임(130)의 전체 무게를 줄이면서 강성을 증가시킬 수 있을 뿐 아니라, 상부곡선프레임(132)은 외부층(132b)을 통하여 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 용접 등에 의해 결합됨으로써 마스크프레임(100)의 용이하고 안정적인 결합이 유지될 수 있다.Therefore, the rigidity can be increased while reducing the overall weight of the upper frame 130, and the upper curve frame 132 is welded to the left frame 110 and the right frame 120 through the outer layer 132b. By being coupled by the easy and stable coupling of the mask frame 100 can be maintained.

상부곡선프레임(132)은 상부직선프레임(131)보다 아래쪽(도 4(a) 참조), 앞쪽(도 4(b) 참조), 뒤쪽(도 4(c) 참조) 또는 위쪽(도 4(d) 참조)에 위치할 수 있다.The upper curved frame 132 is lower than the upper linear frame 131 (see FIG. 4 (a)), front (see FIG. 4 (b)), rear (see FIG. 4 (c)), or upper (FIG. 4 (d). (See)).

하측프레임(140)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)의 각각의 하단을 서로 연결하고, 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)에 고정된다.The lower frame 140 connects the lower ends of the left frame 110 and the right frame 120 to each other and is fixed to the left frame 110 and the right frame 120.

하측프레임(140)은, 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 같이 하나의 프레임으로 이루어질 수 있고(도 1(a) 참조), 상측프레임(130)과 같이 2개의 프레임으로 이루어질 수 있다.(도 1(b) 참조)The lower frame 140 may be formed of one frame, such as the left frame 110 and the right frame 120 (see FIG. 1 (a)), and may be formed of two frames, such as the upper frame 130. (See FIG. 1 (b))

하측프레임(140)이 하나의 프레임으로 이루어지는 경우, 하측프레임(140)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하고 좌우방향을 따라 직선 형태를 이룬다. 하측프레임(140)은 좌우방향을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 하측프레임(140)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 하측프레임(140)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.When the lower frame 140 is composed of one frame, the lower frame 140 connects the left frame 110 and the right frame 120 to each other and forms a straight line along the left and right directions. The lower frame 140 may have a constant cross section along the left and right directions, and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the lower frame 140 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped. The cross-sectional shape of the lower frame 140 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

하측프레임(140)은 좌측프레임(110), 우측프레임(120) 및 상측프레임(130)과 동일한 소재 및 재질로 이루어질 수 있다.The lower frame 140 may be made of the same material and material as the left frame 110, the right frame 120, and the upper frame 130.

하측프레임(140)이 2개의 프레임으로 이루어지는 경우 하측프레임(140)은 하부직선프레임(141)과 하부곡선프레임(142)을 포함하여 이루어질 수 있다.When the lower frame 140 is composed of two frames, the lower frame 140 may include a lower straight frame 141 and a lower curved frame 142.

하부직선프레임(141)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하고 좌우방향을 따라 직선 형태를 이룬다. 하부직선프레임(141)은 좌우방향을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 하부직선프레임(141)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 하부직선프레임(141)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The lower straight frame 141 connects the left frame 110 and the right frame 120 to each other and forms a straight line along the left and right directions. The lower straight frame 141 may have a constant cross section along the left and right directions, and may be formed in a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the lower straight frame 141 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shape, L-shape, U-shape, H-shape and the like. The cross-sectional shape of the lower straight frame 141 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

하부직선프레임(141)은 상부직선프레임(131)과 동일한 소재 및 재질로 이루어질 수 있다.The lower straight frame 141 may be made of the same material and material as the upper straight frame 131.

하부곡선프레임(142)은 하부직선프레임(141)과 이격되고, 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하되, 하부직선프레임(141)과 같이 직선형태로 이루어지는 것이 아니고 곡선형태로 이루어진다. 특히 하부곡선프레임(142)은 하측을 향하여 볼록하게 굽은 형태로 이루어진다.The lower curved frame 142 is spaced apart from the lower linear frame 141, and connects the left frame 110 and the right frame 120, but not in a straight line like the lower straight frame 141, but in a curved form. Is done. In particular, the lower curve frame 142 is formed in a convex bent toward the lower side.

하부곡선프레임(142)의 길이는 하부직선프레임(141)의 길이보다 길게 이루어진다.The length of the lower curve frame 142 is made longer than the length of the lower straight frame 141.

하부곡선프레임(142)은 그 길이방향을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 하부곡선프레임(142)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 하부곡선프레임(142)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The lower curved frame 142 may have a constant cross section along its longitudinal direction, and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the lower curve frame 142 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shape, L-shape, U-shape, H-shape and the like. The cross-sectional shape of the lower curved frame 142 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

하부곡선프레임(142)은 하부직선프레임(141)보다 위쪽, 아래쪽, 앞쪽 또는 뒤쪽에 위치할 수 있다.The lower curve frame 142 may be located above, below, front or rear than the lower linear frame 141.

하부곡선프레임(142)은 상부곡선프레임(132)과 동일한 구조, 소재 및 재질로 이루어질 수 있다.The lower curve frame 142 may be made of the same structure, material, and material as the upper curve frame 132.

본 발명에 따른 마스크프레임(100)은 상하 및 좌우 대칭된 형태로 이루어질 수 있다. 이에 따라 상측프레임(130)과 하측프레임(140)은 서로 대칭된 형태로 이루어질 수 있다.The mask frame 100 according to the present invention may be formed in a vertically and horizontally symmetrical form. Accordingly, the upper frame 130 and the lower frame 140 may be formed in a symmetrical form.

본 발명에 따른 마스크조립체(1)에서 마스크시트(200, 200a, 200b)가 마스크프레임(100)에 결합될 때, 마스크시트(200, 200a, 200b)는 충분히 팽팽하게 당겨진 상태에서 결합되어야 함은 물론이다. 마스크시트(200, 200a, 200b)는 마스크프레임(100)에 결합됨에 있어서 용접에 의하여 결합될 수 있고, 볼트, 리벳 등과 같은 고정수단에 의하여 결합될 수 있다.In the mask assembly 1 according to the present invention, when the mask sheets 200, 200a and 200b are coupled to the mask frame 100, the mask sheets 200, 200a and 200b should be coupled in a sufficiently stretched state. Of course. The mask sheets 200, 200a and 200b may be coupled by welding in the mask frame 100, and may be coupled by fixing means such as bolts and rivets.

본 발명에 따른 마스크조립체(1)에서 마스크시트(200, 200a, 200b)가 상측프레임(130)에 고정될 때, 마스크시트(200, 200a, 200b)의 상단 부분은 상측프레임(130) 중 상부곡선프레임(132)에 결합되고 상부직선프레임(131)에는 결합되지 않는 것이 바람직하다.When the mask sheets 200, 200a and 200b are fixed to the upper frame 130 in the mask assembly 1 according to the present invention, the upper portion of the mask sheets 200, 200a and 200b is the upper part of the upper frame 130. It is preferable to be coupled to the curved frame 132 and not to the upper straight frame 131.

또한, 본 발명에 따른 마스크조립체(1)에서 마스크시트(200, 200a, 200b)의 하단 부분은 하측프레임(140)에 고정된다.In addition, in the mask assembly 1 according to the present invention, the lower end portions of the mask sheets 200, 200a and 200b are fixed to the lower frame 140.

또한, 본 발명에 따른 마스크조립체(1)에서 마스크시트(200, 200a, 200b)가 하측프레임(140)에 고정되고, 하측프레임(140)이 하부직선프레임(141)과 하부곡선프레임(142)을 포함하여 이루어질 때, 마스크시트(200, 200a, 200b)의 하단 부분은 하측프레임(140) 중 하부곡선프레임(142)에 결합되고 하부직선프레임(141)에는 결합되지 않는 것이 바람직하다.In addition, in the mask assembly 1 according to the present invention, the mask sheets 200, 200a and 200b are fixed to the lower frame 140, and the lower frame 140 is the lower straight frame 141 and the lower curved frame 142. When made, including, the lower portion of the mask sheet (200, 200a, 200b) is preferably coupled to the lower curve frame 142 of the lower frame 140 and is not coupled to the lower straight frame 141.

마스크시트(200a)가 상하방향으로 긴 스트립형태로 이루어지고, 이러한 마스크시트(200a)가 좌우방향으로 반복하여 배열될 때, 마스크시트(200a)의 상단은 상부곡선프레임(132)에 고정결합된다.When the mask sheet 200a is formed in a long strip shape in the vertical direction, and when the mask sheet 200a is repeatedly arranged in the left and right directions, the upper end of the mask sheet 200a is fixedly coupled to the upper curved frame 132. .

마스크시트(200a)가 결합되는 지점에서 마스크시트(200a)에 의해 상부곡선프레임(132)에는 하측 방향으로 하중(F1)이 작용할 수 있으며, 상부곡선프레임(132)의 길이 전체에 걸쳐 하측 방향으로 하중(F1)이 작용할 수 있다.At the point where the mask sheet 200a is coupled, the load F1 may act on the upper curved frame 132 in the lower direction by the mask sheet 200a, and in the lower direction over the entire length of the upper curved frame 132. The load F1 can act.

이러한 하중(F1)이 지속적으로 작용하는 경우 상부곡선프레임(132)의 변형발생이 고려될 수 있다. 즉, 도 3(b)에 도시된 바와 같이, 도 3(a)와 비교할 때, 상부직선프레임(131)의 중간 부분과 상부곡선프레임(132)의 중간 부분의 간격이 벌어지는 형태의 변형발생이 고려될 수 있다. 이처럼, 만일 상부곡선프레임(132)의 변형이 발생하면 마스크프레임(100)의 변형뿐 아니라 마스크시트(200a)의 처짐 등이 발생하게 된다.Deformation of the upper curve frame 132 may be considered when such a load (F1) is continuously acting. That is, as shown in FIG. 3 (b), when the gap between the middle portion of the upper straight frame 131 and the middle portion of the upper curved frame 132 is widened as compared with FIG. Can be considered. As such, if deformation of the upper curved frame 132 occurs, not only the deformation of the mask frame 100 but also the sagging of the mask sheet 200a may occur.

그러나 본 발명에 따른 마스크프레임(100)에서는, 상부곡선프레임(132)이 상측으로 볼록한 곡선형태로 이루어짐으로써 상부곡선프레임(132)에 작용하는 하중은 상부곡선프레임(132)의 길이방향을 따라 전달되므로, 상부곡선프레임(132)의 특정 부분, 예컨대 중간 부분의 변형(국부적인 변형)이 방지될 수 있으며, 마스크프레임(100)의 전체적인 변형 및 마스크시트(200a)의 처짐이 효과적으로 방지될 수 있다.However, in the mask frame 100 according to the present invention, the upper curve frame 132 is formed in a convex upward shape, the load acting on the upper curve frame 132 is transmitted along the longitudinal direction of the upper curve frame 132 Therefore, deformation of a specific portion of the upper curve frame 132, for example, an intermediate portion (local deformation) can be prevented, and overall deformation of the mask frame 100 and sagging of the mask sheet 200a can be effectively prevented. .

한편, 상부곡선프레임(132)의 길이 전체에 걸쳐 하측 방향으로 하중(F1)이 작용하는 경우, 상부곡선프레임(132)에는 그 길이방향을 따라 압축력이 작용할 수 있고, 상부곡선프레임(132)은 그 길이방향에서 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)을 밀면서 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)에 각각 하중(F2)을 가하게 된다. 즉, 좌측프레임(110)와 우측프레임(120)은 서로 멀어지는 방향으로 하중(F2)을 받게 된다.On the other hand, when the load (F1) acts in the lower direction over the entire length of the upper curved frame 132, the compressive force may act on the upper curved frame 132 along the longitudinal direction, the upper curved frame 132 is A load F2 is applied to the left frame 110 and the right frame 120 while pushing the left frame 110 and the right frame 120 in the longitudinal direction thereof. That is, the left frame 110 and the right frame 120 are subjected to the load (F2) in a direction away from each other.

그러나 상부곡선프레임(132)과 인접하여 상부직선프레임(131)이 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 연결하고 있으므로, 상부직선프레임(131)에는 길이방향을 따라 인장력이 작용하면서, 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 당기게 되며 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)에 각각 하중(F3)을 가하게 된다. 이에 따라, 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)의 변형, 또한 상부곡선프레임(132)의 변형을 방지하게 되며, 전체적으로 마스크프레임(100)의 변형이 효과적으로 방지되게 된다.However, since the upper linear frame 131 is connected to the left frame 110 and the right frame 120 adjacent to the upper curve frame 132, the tension force acts along the longitudinal direction to the upper linear frame 131, the left side The frame 110 and the right frame 120 are pulled and a load F3 is applied to the left frame 110 and the right frame 120, respectively. Accordingly, the deformation of the left frame 110 and the right frame 120, and also the deformation of the upper curve frame 132 is prevented, the overall deformation of the mask frame 100 is effectively prevented.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크프레임(100)이 상하대칭된 형태로 이루어지는 경우, 하측프레임(140)에서도 상측프레임(130)과 동일하게 변형이 방지될 수 있으며, 마스크프레임(100)의 안정적인 형상유지가 이루어질 수 있다.As described above, when the mask frame 100 according to the present invention is formed in a vertically symmetrical form, deformation can be prevented in the same way as the upper frame 130 in the lower frame 140, the mask frame 100 Stable shape maintenance can be achieved.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크프레임(100)의 일부를 도시한 정면도이다.7 is a front view showing a part of the mask frame 100 according to another embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)에서, 상측프레임(130)은 상부직선보조프레임(133)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.In the mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention, the upper frame 130 may further include an upper linear auxiliary frame 133.

즉, 상측프레임(130)은 상부직선프레임(131), 상부곡선프레임(132) 및 상부직선보조프레임(133)을 포함하여 이루어질 수 있다. 이때, 상부직선프레임(131) 및 상부곡선프레임(132)은 상술한 바와 동일하게 이루어질 수 있다.That is, the upper frame 130 may include an upper linear frame 131, an upper curved frame 132 and an upper linear auxiliary frame 133. In this case, the upper linear frame 131 and the upper curved frame 132 may be the same as described above.

그리고 본 발명에 따른 마스크조립체(1)에서 마스크시트(200, 200a, 200b)가 상측프레임(130)에 고정될 때, 마스크시트(200, 200a, 200b)의 상단 부분은 상측프레임(130) 중 상부곡선프레임(132)에 결합되고 상부직선프레임(131) 및 상부직선보조프레임(133)에는 결합되지 않는 것이 바람직하다.And when the mask sheet (200, 200a, 200b) is fixed to the upper frame 130 in the mask assembly 1 according to the present invention, the upper part of the mask sheet (200, 200a, 200b) of the upper frame 130 It is preferable that the upper curved frame 132 is coupled to the upper linear frame 131 and the upper linear auxiliary frame 133.

상부직선보조프레임(133)은, 좌우방향(X)을 따라 직선 형태를 이루고 상부직선프레임(131) 및 상부곡선프레임(132)과 이격되되, 상부곡선프레임(132)을 중심으로 상부직선프레임(131)의 반대쪽에 위치한다.The upper linear auxiliary frame 133 forms a straight line along the left and right directions (X) and is spaced apart from the upper straight frame 131 and the upper curved frame 132, and the upper straight frame 132 is formed around the upper curved frame 132. 131) on the opposite side.

상부직선보조프레임(133)은 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 서로 연결하고 좌우방향(X)을 따라 직선 형태를 이룬다. 상부직선보조프레임(133)은 좌우방향(X)을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있고, 원형기둥, 다각형기둥 등의 형태로 이루어질 수 있다. 또한 상부직선프레임(131)은 원형파이프, 다각형파이프 등의 형태로 이루어질 수 있고, 그 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 등의 모양으로 이루어질 수 있다. 이러한 상부직선보조프레임(133)의 단면 형상은, 프레임의 중량을 감소시키면서 강도를 향상시키는데 유리하게 작용할 수 있다.The upper linear auxiliary frame 133 connects the left frame 110 and the right frame 120 to each other and forms a straight line along the left and right directions (X). The upper linear auxiliary frame 133 may have a constant cross section along the left and right directions (X), and may be formed in the form of a circular column, a polygonal column, or the like. In addition, the upper straight frame 131 may be formed in the form of a circular pipe, polygonal pipe, etc., the cross section may be formed in the shape of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped or the like. The cross-sectional shape of the upper linear subsidiary frame 133 may advantageously work to improve the strength while reducing the weight of the frame.

상부직선보조프레임(133)은 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 동종 재질로 이루어질 수 있으며, Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어질 수 있고, 상측프레임(130)이 좌측프레임(110) 및 우측프레임(120)과 안정적이고 견고한 결합이 이루어지도록 한다.The upper linear auxiliary frame 133 may be made of the same material as the left frame 110 and the right frame 120, and may be made of or include Fe-Ni alloy, stainless steel, or the like, and the upper frame 130 The left frame 110 and the right frame 120 and the stable and secure coupling is to be made.

그리고, 상부곡선프레임(132)과 인접하여 상부직선프레임(131) 및 상부직선보조프레임(133)이 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)을 연결하고 있으므로, 상부직선프레임(131) 및 상부직선보조프레임(133)에는 길이방향을 따라 인장력이 작용하면서, 좌측프레임(110)과 우측프레임(120)의 변형, 또한 상부곡선프레임(132)의 변형을 방지하게 되며, 전체적으로 마스크프레임(100)의 변형이 더욱 효과적으로 방지되게 된다.In addition, since the upper linear frame 131 and the upper linear auxiliary frame 133 connect the left frame 110 and the right frame 120 adjacent to the upper curved frame 132, the upper straight frame 131 and the upper part. The linear auxiliary frame 133 prevents deformation of the left frame 110 and the right frame 120, and also the deformation of the upper curve frame 132 while the tensile force acts along the longitudinal direction, and the mask frame 100 as a whole. The deformation of is more effectively prevented.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크조립체(1)의 일부를 도시한 사시도이고, 도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크조립체(1)의 일부를 도시한 단면도이다.8 is a perspective view showing a part of the mask assembly 1 according to another embodiment of the present invention, Figure 9 is a cross-sectional view showing a part of the mask assembly 1 according to another embodiment of the present invention.

본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)는 고정스크류(300a, 300b)를 더 포함하여 이루어질 수 있다.The mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention may further include fixing screws 300a and 300b.

고정스크류(300a, 300b)는 통상의 볼트 등의 형태로 이루어질 수 있다.Fixing screws (300a, 300b) may be made in the form of a conventional bolt or the like.

본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)에서, 상부곡선프레임(132)에는 마스크시트(200, 200a, 200b)를 고정결합시키는 고정스크류(300a, 300b)가 길이방향을 따라 반복형성될 수 있다.In the mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention, the fixing screw 300a, 300b for fixing the mask sheet 200, 200a, 200b to the upper curve frame 132 is repeated along the length direction. Can be formed.

고정스크류(300a)는 마스크시트(200, 200a, 200b)의 제1 체결구멍(220)을 관통한 후 마스크프레임(100)(특히, 상부곡선프레임(132))의 제2 체결구멍(135)에 체결되면서, 마스크시트(200, 200a, 200b)를 마스크프레임(100) 상에 고정시키도록 이루어질 수 있다.The fixing screw 300a penetrates through the first fastening holes 220 of the mask sheets 200, 200a and 200b, and then the second fastening holes 135 of the mask frame 100 (in particular, the upper curved frame 132). While being fastened to, the mask sheets 200, 200a, and 200b may be fixed to the mask frame 100.

한편, 본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)는 고정스크류(300b) 및 연결브라켓(400)을 더 포함하여 이루어질 수 있다.Meanwhile, the mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention may further include a fixing screw 300b and a connection bracket 400.

이때, 고정스크류(300b)는 통상의 볼트 등의 형태로 이루어질 수 있다.At this time, the fixing screw 300b may be formed in the form of a conventional bolt or the like.

연결브라켓(400)은 마스크시트(200, 200a)의 단부에 고정되고, 고정스크류(300b)와 함께 마스크시트(200, 200a)와 마스크프레임(100)(특히, 상부곡선프레임(132))의 결합을 매개한다.The connection bracket 400 is fixed to the ends of the mask sheets 200 and 200a, and together with the fixing screws 300b of the mask sheets 200 and 200a and the mask frame 100 (particularly, the upper curved frame 132). Mediate binding.

연결브라켓(400)은 상부곡선프레임(132)의 길이방향을 따라 그 단면이 일정하게 이루어질 수 있으며, 구체적으로 단면이 ㄷ자(U자) 형태로 이루어질 수 있고, 그 내부에 상부곡선프레임(132)이 수용되거나 삽입될 수 있다.The connection bracket 400 may have a constant cross section along the longitudinal direction of the upper curved frame 132, and specifically, may have a cross section having a U shape, and the upper curved frame 132 therein. Can be received or inserted.

연결브라켓(400)의 고정부(410)는 편평한 판 형태로 이루어지며, 마스크시트(200, 200a)의 단부에 고정된다. 연결브라켓(400)의 고정부(410)와 마스크시트(200, 200a)는 용접 등의 방법으로 서로 고정될 수 있다. 연결브라켓(400)의 고정부(410)는 전후방향(Z)을 기준으로 마스크시트(200, 200a)와 상부곡선프레임(132) 사이에 개재되는 형태를 이루며, 상부곡선프레임(132)에 밀착될 수 있다.The fixing part 410 of the connection bracket 400 is formed in a flat plate shape and is fixed to the end portions of the mask sheets 200 and 200a. The fixing part 410 and the mask sheets 200 and 200a of the connection bracket 400 may be fixed to each other by welding or the like. The fixing part 410 of the connection bracket 400 forms a shape interposed between the mask sheets 200 and 200a and the upper curved frame 132 based on the front and rear direction Z, and closely adheres to the upper curved frame 132. Can be.

연결브라켓(400)의 절곡부(420)는 고정부(410)에서 직각 형태로 절곡될 수 있다.The bent portion 420 of the connection bracket 400 may be bent at a right angle at the fixing portion 410.

고정스크류(300b)는 연결브라켓(400)의 절곡부(420)를 관통한 후 상부곡선프레임(132)에 나사결합될 수 있다.The fixing screw 300b may be screwed to the upper curved frame 132 after passing through the bent portion 420 of the connecting bracket 400.

고정스크류(300b)가 상부곡선프레임(132)에 나사결합되는 정도를 조정함으로써, 도 9(a)의 상태에서 도 9(b)의 상태로 변경될 수 있다. 즉, 상부곡선프레임(132)을 상대로 마스크시트(200, 200a)의 상단 부분을 위쪽(Y)으로 이동시킬 수 있으며, 이에 따라 마스크시트(200, 200a)가 충분히 인장된 상태에서 마스크프레임(100)에 고정되도록 할 수 있으며, 마스크시트(200, 200a)의 처짐 등을 보상할 수 있다.By adjusting the degree that the fixing screw 300b is screwed to the upper curve frame 132, it can be changed from the state of Figure 9 (a) to the state of Figure 9 (b). That is, the upper portion of the mask sheets 200 and 200a may be moved upwards (Y) with respect to the upper curved frame 132, and thus the mask frame 100 in a state where the mask sheets 200 and 200a are sufficiently tensioned. ) To be fixed, and sag of the mask sheets 200 and 200a may be compensated for.

본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)는 상하대칭된 형태로 이루어질 수 있고, 상술한 고정스크류(300a, 300b) 및 연결브라켓(400)은 상하대칭된 형태로 하부곡선프레임(142) 상에 구비될 수 있음은 물론이다.The mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention may be formed in a vertically symmetrical form, and the fixing screws 300a and 300b and the connecting bracket 400 are formed in a vertically symmetrical lower curved frame ( Of course, it may be provided on the 142.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 마스크프레임(100) 및 마스크조립체(1)에 의하면, 마스크프레임(100)의 변형을 방지하고, 마스크시트(200, 200a, 200b)의 처짐을 방지할 수 있으며, 마스크조립체(1)의 위치를 수평과 수직으로 전환함에 있어서 변형을 방지할 수 있는 마스크프레임(100)을 제공할 수 있게 된다.As described above, according to the mask frame 100 and the mask assembly 1 according to the present invention, the deformation of the mask frame 100 can be prevented, and the sagging of the mask sheets 200, 200a, 200b can be prevented. In this case, the mask frame 100 may be prevented from being deformed in switching the position of the mask assembly 1 horizontally and vertically.

앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.While specific embodiments of the invention have been described and illustrated above, it is to be understood that the invention is not limited to the described embodiments, and that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the invention. It is self-evident to those who have. Therefore, such modifications or variations are not to be understood individually from the technical spirit or point of view of the present invention, the modified embodiments will belong to the claims of the present invention.

1 : 마스크조립체 100 : 마스크프레임
110 : 좌측프레임 120 : 우측프레임
130 : 상측프레임 131 : 상부직선프레임
132 : 상부곡선프레임 132a : 내부층
132b : 외부층 133 : 상부직선보조프레임
140 : 하측프레임 141 : 하부직선프레임
142 : 하부곡선프레임
200, 200a, 200b : 마스크시트 210 : 관통구멍
300a, 300b : 고정스크류 400 : 연결브라켓1: mask assembly 100: mask frame
110: left frame 120: right frame
130: upper frame 131: upper linear frame
132: upper curve frame 132a: inner layer
132b: outer layer 133: upper linear auxiliary frame
140: lower frame 141: lower straight frame
142: lower curve frame
200, 200a, 200b: mask sheet 210: through hole
300a, 300b: fixed screw 400: connecting bracket

Claims (12)

마스크시트가 고정되도록 이루어지는 마스크프레임으로서, 좌측에 구비되는 좌측프레임과, 우측에 구비되는 우측프레임과, 상기 좌측프레임의 상단부분과 상기 우측프레임의 상단부분을 서로 연결하는 상측프레임과, 상기 좌측프레임의 하단부분과 상기 우측프레임의 하단부분을 서로 연결하는 하측프레임을 포함하고,
상기 상측프레임은,
좌우방향을 따라 직선 형태를 이루는 상부직선프레임; 및
상기 마스크시트가 결합되는 것으로서, 상기 상부직선프레임과 이격되고, 좌우대칭이며 상측으로 볼록하게 굽은 상부곡선프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.A mask frame for fixing a mask sheet, the left frame provided on the left side, the right frame provided on the right side, an upper frame connecting the upper portion of the left frame and the upper portion of the right frame, and the left frame The lower part of the lower frame and the lower part of the lower frame connecting with each other,
The upper frame,
An upper straight frame forming a straight line along the left and right directions; And
The mask sheet is coupled to the mask frame, characterized in that it comprises a top curved frame spaced apart from the upper linear frame, symmetrical and convex upward. 제1항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은 상기 상부직선프레임보다 위쪽, 아래쪽, 앞쪽 또는 뒤쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 1,
The upper curved frame is a mask frame, characterized in that located above, below, front or rear than the upper straight frame. 제2항에 있어서,
상기 상측프레임은,
좌우방향을 따라 직선 형태를 이루고 상기 상부직선프레임 및 상부곡선프레임과 이격되되, 상기 상부곡선프레임을 중심으로 상기 상부직선프레임의 반대쪽에 위치하는 상부직선보조프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 2,
The upper frame,
The mask frame is characterized in that it comprises a straight line in the form of a straight line and spaced apart from the upper linear frame and the upper curved frame, the upper linear auxiliary frame located on the opposite side of the upper linear frame with respect to the upper curved frame . 제1항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은, 그 길이방향을 따라 단면이 일정하되, 원형파이프 또는 다각형파이프 형태로 이루어지거나, 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 중 어느 하나의 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 1,
The upper curved frame, the cross section is constant along the longitudinal direction, made of a circular pipe or polygonal pipe shape, or the cross-section made of any one form of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped Mask frame characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은 티타늄으로 이루어지되, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재로 이루어지고,
상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임은 Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어지되, 서로 동종의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 1,
The upper curved frame is made of titanium, the left frame, the right frame and the upper straight frame and made of different materials,
The left frame, the right frame and the upper straight frame is made of a Fe-Ni alloy, or stainless steel, or including the same, but the mask frame, characterized in that made of the same type of material. 제1항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은,
내부에 위치하는 내부층; 및
상기 내부층을 둘러싸며 상기 내부층과 결합되는 외부층을 포함하고,
상기 내부층은 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재로 이루어지고,
상기 외부층은 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 동종의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 1,
The upper curve frame,
An inner layer located therein; And
An outer layer surrounding the inner layer and coupled to the inner layer,
The inner layer is made of a heterogeneous material with the left frame, the right frame and the upper straight frame,
The outer layer is a mask frame, characterized in that made of the same type of material as the left frame, the right frame and the upper straight frame. 제1항에 있어서,
상기 상부곡선프레임에는, 상기 마스크시트를 고정결합시키는 고정스크류가 길이방향을 따라 반복형성되는 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method of claim 1,
The upper curved frame, the mask frame, characterized in that the fixing screw for fixing the mask sheet is repeatedly formed along the longitudinal direction. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
좌우 및 상하대칭인 것을 특징으로 하는 마스크프레임.The method according to any one of claims 1 to 7,
Mask frame, characterized in that the left and right and up and down symmetry. 좌우방향을 따라 배열되는 다수 개의 마스크시트; 및
상기 마스크시트가 고정되도록 이루어지는 마스크프레임으로서, 좌측에 구비되는 좌측프레임과, 우측에 구비되는 우측프레임과, 상기 좌측프레임의 상단부분과 상기 우측프레임의 상단부분을 서로 연결하고 상기 마스크시트의 상측이 결합되는 상측프레임과, 상기 좌측프레임의 하단부분과 상기 우측프레임의 하단부분을 서로 연결하고 상기 마스크시트의 하측이 결합되는 하측프레임을 포함하는 마스크프레임을 포함하고,
상기 상측프레임은,
좌우방향을 따라 직선 형태를 이루는 상부직선프레임; 및
상기 마스크시트가 결합되는 것으로서, 상기 상부직선프레임과 이격되고, 좌우대칭이며 상측으로 볼록하게 굽은 상부곡선프레임을 포함하며,
상기 마스크시트는 상기 상부곡선프레임에 결합되는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.A plurality of mask sheets arranged along the left and right directions; And
A mask frame for fixing the mask sheet, the left frame provided on the left side, the right frame provided on the right side, the upper portion of the left frame and the upper portion of the right frame are connected to each other and the upper side of the mask sheet And a mask frame including an upper frame coupled to each other, a lower frame connected to a lower portion of the left frame and a lower portion of the right frame, and a lower frame coupled to the lower side of the mask sheet.
The upper frame,
An upper straight frame forming a straight line along the left and right directions; And
The mask sheet is to be coupled, spaced apart from the upper linear frame, and includes a upper curved frame symmetrical and convexly curved upwards,
The mask sheet is a mask assembly, characterized in that coupled to the upper curved frame. 제9항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은 상기 상부직선프레임보다 위쪽, 아래쪽, 앞쪽 또는 뒤쪽에 위치하고,
상기 상측프레임은,
좌우방향을 따라 직선 형태를 이루고 상기 상부직선프레임 및 상부곡선프레임과 이격되되, 상기 상부곡선프레임을 중심으로 상기 상부직선프레임의 반대쪽에 위치하는 상부직선보조프레임을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.The method of claim 9,
The upper curved frame is located above, below, front or rear than the upper straight frame,
The upper frame,
A mask assembly further comprising: an upper linear auxiliary frame formed in a straight line shape in a left and right direction and spaced apart from the upper straight frame and the upper curved frame, and positioned opposite to the upper straight frame with respect to the upper curved frame. . 제9항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은, 그 길이방향을 따라 단면이 일정하되, 원형파이프 또는 다각형파이프 형태로 이루어지거나, 단면이 ㄱ자(L자), ㄷ자(U자), H자 중 어느 하나의 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.The method of claim 9,
The upper curved frame, the cross section is constant along the longitudinal direction, made of a circular pipe or polygonal pipe shape, or the cross-section made of any one form of L-shaped (L-shaped), U-shaped (U-shaped), H-shaped Mask assembly characterized in that. 제9항에 있어서,
상기 상부곡선프레임은 티타늄으로 이루어지되, 상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임과 이종의 소재로 이루어지고,
상기 좌측프레임, 우측프레임 및 상부직선프레임은 Fe-Ni 합금, 스테인리스강으로 이루어지거나 또는 이를 포함하여 이루어지되, 서로 동종의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크조립체.The method of claim 9,
The upper curved frame is made of titanium, the left frame, the right frame and the upper straight frame and made of different materials,
The left frame, the right frame and the upper straight frame is made of or including Fe-Ni alloy, stainless steel, or a mask assembly, characterized in that made of the same type of material.
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