KR20190136698A - 가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 챔버를 선택적으로 개폐시킬 수 있는 가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치에 관한 것으로서, 통로를 차단할 수 있는 도어; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 상기 도어의 이동 방향을 안내할 수 있는 도어 안내 장치;를 포함하고, 상기 도어 안내 장치는, 상기 도어와 연결되는 가동대; 프레임의 일측에 길이 방향으로 길게 형성되는 안내홈부; 및 상기 가동대에 회전이 자유롭게 설치되고, 적어도 일부분이 상기 안내홈부에 접촉되어 구름 회전될 수 있는 안내 롤러;를 포함할 수 있다.

Description

가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치{Guide type gate valve system and cylinder apparatus}
본 발명은 가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 챔버를 선택적으로 개폐시킬 수 있는 가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 챔버는 진공 또는 고청정의 작업환경이 요구되는 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기를 제조하기 위해 사용되는 산업 설비 시설이며, 이러한 챔버에 부착되는 게이트 밸브는 챔버의 출입구 역할을 하는 것으로서, 도어를 열어 챔버 공간 내로 반도체 칩이나 웨이퍼 등을 이동하고 다시 도어를 닫아 챔버 내의 기밀 상태가 유지되도록 하는 장치의 일종이다.
이러한 종래 게이트 밸브의 기본 구성은, 대한민국 공개특허 제10-2006-0036689호에 기재된 바와 같이, 하우징에 형성된 통로의 개폐를 위한 도어, 즉 밸브체가 하우징 내부에 장착되어져 있으며, 상기 도어는 구동 실린더나 액츄에이터의 구동에 의해 승하강 이동되면서 하우징의 통로를 선택적으로 개폐시킬 수 있는 구성이다.
또한, 통상적으로 이러한 게이트 밸브의 구동 장치에는 챔버 내부의 기밀을 유지하고 외부의 각종 오염 물질로부터 챔버 내부를 보호하기 위해 벨로우즈관이 설치될 수 있다.
그러나, 이러한 종래의 게이트 밸브는 도어의 움직임을 안정적으로 안내하는 안내 장치가 없거나 가이드 봉 등의 가이드 구조물이 있다 하더라도 면대면 접촉으로 인하여 접촉면이 넓어지고, 이로 인해 마찰력이 커져서 에너지가 소모되며, 부품의 마모로 인해 내구성이 떨어지고, 부품이 파손되거나 오동작이 발생되는 등 많은 문제점들이 있었다.
또한, 이러한 가이드 봉 등의 가이드 구조물로 인하여 제품의 단가가 높아지고, 추가 공간을 필요로 하기 때문에 공간이 낭비되는 등 추가적인 문제점들이 있었다.
본 발명의 사상은, 이러한 문제점들을 해결하기 위한 것으로서, 안내홈부의 일측 안내면에 구름 접촉되는 안내 롤러를 이용하여 접촉 면적을 면대선으로 줄여서 마찰력을 최소화할 수 있고, 이를 통해서 부품의 내구성과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 비교적 낮은 단가의 부품으로 적은 공간만 필요하기 때문에 비용과 공간을 절약할 수 있게 하는 가이드 타입 게이트 밸브 시스템 및 실린더 장치를 제공함에 있다. 그러나 이러한 과제는 예시적인 것으로서, 이에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템은, 통로를 차단할 수 있는 도어; 상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및 상기 도어의 이동 방향을 안내할 수 있는 도어 안내 장치;를 포함하고, 상기 도어 안내 장치는, 상기 도어와 연결되는 가동대; 프레임의 일측에 길이 방향으로 길게 형성되는 안내홈부; 및 상기 가동대에 회전이 자유롭게 설치되고, 적어도 일부분이 상기 안내홈부에 접촉되어 구름 회전될 수 있는 안내 롤러;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 안내홈부는, 제 1 안내면이 상기 안내 롤러와 구름 접촉될 수 있고, 제 2 안내면이 상기 안내 롤러와 제 1 간격으로 이격될 수 있도록 그 폭이 적어도 상기 안내 롤러의 외경 보다 넓을 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 안내 롤러는, 상기 가동대의 좌측면에 형성되는 제 1 안내 롤러; 및 상기 가동대의 우측면에 형성되는 제 2 안내 롤러;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 제 1 안내 롤러는, 상기 제 1 안내면과 구름 접촉될 수 있고, 상기 제 2 안내면과 상기 제 1 간격으로 이격되는 제 1-1 롤러; 및 상기 1-1 롤러의 상방 또는 하방에 설치되고, 상기 제 1 안내면과 제 2 간격으로 이격되며, 상기 제 2 안내면과 구름 접촉될 수 있는 제 1-2 롤러;를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템은, 상기 도어와 상기 도어 이동 장치를 연결하는 플런저(plunger); 및 상기 플런저를 둘러싸는 형상으로 형성되고, 밸브 하우징과 상기 가동대 사이에 설치되는 벨로우즈관;을 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어 이동 장치는, 작동 유체의 압력에 따라 피스톤의 전후진이 가능한 실린더 장치일 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 실린더 장치는, 실린더 몸체; 제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤; 및 일부가 상기 피스톤과 연결되고, 타부가 상기 플런저와 연결되는 피스톤 축;을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어측에 설치되어 상기 도어를 상기 통로 방향으로 밀착시키는 도어측 실린더에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축에 제 1 유로가 형성되고, 상기 플런저에서 상기 도어측 실린더까지 제 2 유로가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 피스톤 축이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부에 내통부가 형성되고, 상기 피스톤 축에 상기 내통부를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 도어는, 사용시 실링 부재 교체 장치에 의해 상기 도어에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 도어로부터 분리된 상태로 챔버 내부에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트가 설치될 수 있다.
한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 사상에 따른 실린더 장치는, 실린더 몸체; 제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤; 및 일부가 상기 피스톤과 연결되고, 타부가 상기 플런저와 연결되는 피스톤 축;을 포함하고, 상기 도어에 설치되는 도어측 실린더에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축과 상기 플런저에 유로가 형성될 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 상기 피스톤 축이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부에 내통부가 형성되고, 상기 피스톤 축에 상기 내통부를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부가 형성될 수 있다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 안내홈부의 일측 안내면에 구름 접촉되는 안내 롤러를 이용하여 접촉 면적을 면대선으로 줄여서 마찰력을 최소화할 수 있고, 이를 통해서 부품의 내구성과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 비교적 낮은 단가의 부품으로 적은 공간만 필요하기 때문에 제작 비용과 공간을 절약할 수 있는 효과를 갖는 것이다. 물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 폐쇄 상태를 나타내는 정면도이다.
도 2는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 개방 상태를 나타내는 정면도이다.
도 3은 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 안내홈부 및 안내 롤러를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 플런저를 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 실린더 장치를 나타내는 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 개방 상태를 나타내는 정면도이다.
도 7은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 측면도이다.
도 8은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 안내홈부 및 안내 롤러를 나타내는 측면도이다.
도 9는 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 유로의 일례들을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 복귀 스프링의 일례들을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템을 나타내는 개념도이다.
도 12는 도 11의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 동작을 개념적으로 나타내는 개념도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 여러 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시예는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시예에 한정되는 것은 아니다. 오히려 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하고, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 본 명세서에서 사용된 바와 같이, 단수 형태는 문맥상 다른 경우를 분명히 지적하는 것이 아니라면, 복수의 형태를 포함할 수 있다. 또한, 본 명세서에서 사용되는 경우 "포함한다(comprise)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급한 형상들, 숫자, 단계, 동작, 부재, 요소 및/또는 이들 그룹의 존재를 특정하는 것이며, 하나 이상의 다른 형상, 숫자, 동작, 부재, 요소 및/또는 그룹들의 존재 또는 부가를 배제하는 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들을 개략적으로 도시하는 도면들을 참조하여 설명한다. 도면들에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차(tolerance)에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 발명 사상의 실시예는 본 명세서에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면 제조상 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다.
이하, 본 발명의 여러 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100) 및 실린더 장치(200)를 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 폐쇄 상태를 나타내는 정면도이고, 도 2는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 도어 개방 상태를 나타내는 정면도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 크게 도어(10)와, 도어 이동 장치(20) 및 도어 안내 장치(30)를 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 도어(10)는 챔버와 연결될 수 있는 밸브 하우징(H)의 일측에 형성된 통로(Ha)를 차단할 수 있는 일종의 밸브체로서, 상기 도어(10)는 상기 통로(Ha)의 형상에 대응되도록 상기 통로(Ha)의 형상에 따라 형성될 수 있다.
이러한, 상기 도어(10)는 이해를 구하기 위해 도시된 것으로, 도면에 국한되지 않고, 다양한 개수로 설치되거나 각종 실링 부재나 각종 관절 또는 힌지 구조물 등이 추가로 설치되는 등 매우 다양하게 적용될 수 있다.
여기서, 상기 밸브 하우징(H)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태로 형성되는 일종의 케이스 구조체로서, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 일측 또는 양측에 상기 통로(Ha)가 형성되는 구조체일 수 있다.
이러한 상기 밸브 하우징(H)은, 상술된 상기 도어(10)나 상기 도어 이동 장치(20)나 상기 도어 안내 장치(30)를 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(H)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 통로나 밸브 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(20)는, 상기 도어(10)를 상기 통로(Ha) 방향으로 이동시킬 수 있는 실린더나 모터나 동력전달장치나 기어박스 등 매우 다양한 종류가 형태의 액츄에이터들이 모두 적용될 수 있다.
따라서, 상기 도어(10)는 상기 밸브 하우징(H)의 내부에서 상기 도어 이동 장치(20)에 의해 승하강되면서 상기 통로(Ha)를 선택적으로 개폐시킬 수 있다.
한편, 예컨대, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어 안내 장치(30)는, 신뢰도가 높고 마찰력이 낮은 롤러를 이용하여 상기 도어(10)의 이동 방향을 안정적으로 안내할 수 있는 장치로서, 예를 들면, 상기 도어 안내 장치(30)는, 상기 도어(10)와 연결되는 가동대(31)와, 프레임(F)의 일측에 길이 방향으로 길게 형성되는 안내홈부(32) 및 상기 가동대(31)에 회전이 자유롭게 설치되고, 적어도 일부분이 상기 안내홈부(32)에 접촉되어 구름 회전될 수 있는 안내 롤러(33)를 포함할 수 있다.
도 3은 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 상기 안내홈부(32) 및 안내 롤러(33)를 나타내는 측면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 더욱 구체적으로 예를 들면 상기 안내홈부(32)는, 제 1 안내면(32a)이 상기 안내 롤러(33)와 구름 접촉될 수 있고, 제 2 안내면(32b)이 상기 안내 롤러(33)와 제 1 간격(L1)으로 이격될 수 있도록 그 폭(W)이 적어도 상기 안내 롤러(33)의 외경(D) 보다 넓게 형성될 수 있다.
따라서, 상기 안내 롤러(33)는 상기 안내홈부(32)의 상기 제 1 안내면(32a)에만 구름 접촉되어 면대면이 아닌 면대선 접촉으로 마찰력을 최소화할 수 있고, 상기 제 2 안내면(32b)에는 접촉되지 않아서 마찰력을 극소화할 수 있다.
그러므로, 상기 안내 롤러(33)가 상기 안내홈부(32) 내에서 흔들릴 수도 있지만, 상기 제 1 간격(L1)이 매우 미세하여 흔들리는 현상을 최소화할 수 있고, 상기 제 1 간격(L1)에 윤활액이나 윤활유가 도포되어 흔들림을 방지할 수도 있으며, 흔들린다 하더라도 실제로 상기 통로(Ha)와 밀착되는 상기 도어(10)는 높은 정밀도가 요구되지 않는 것으로서, 상기 도어(10)가 크게 이탈되지 않도록 상기 안내 롤러(33)는 안내 역할을 충분히 수행할 수 있다.
또한, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 더욱 안정적이고 견고한 안내 기능을 위해서, 상기 안내 롤러(33)는, 상기 가동대(31)의 좌측면에 형성되는 제 1 안내 롤러(33-1) 및 상기 가동대(31)의 우측면에 형성되는 제 2 안내 롤러(33-2)를 포함할 수 있다.
따라서, 이러한 상기 제 1 안내 롤러(33-1) 및 상기 제 2 안내 롤러(33-2)를 이용하여 좌우 흔들림이나 전후 흔들림을 방지하고, 상기 가동대(31)의 마찰력을 최소화하여 부품의 내구성과 신뢰성을 향상시킬 수 있으며, 비교적 낮은 단가의 안내 롤러(33) 및 안내홈부(32) 등의 부품을 적용시켜서 적은 공간만 필요하기 때문에 비용과 공간을 절약할 수 있다.
한편, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)은, 상기 도어(10)와 상기 도어 이동 장치(20)를 연결하는 플런저(P)(plunger) 및 상기 플런저(P)를 둘러싸는 형상으로 형성되고, 밸브 하우징(H)과 상기 가동대(31) 사이에 설치되는 벨로우즈관(V)을 더 포함할 수 있다.
따라서, 상기 벨로우즈관(V)이 상기 플런저(P)의 승하강시 상기 밸브 하우징(H) 내부의 진공압을 깨뜨리지 않고도 신장 및 수축하면서 상기 플런저(P)를 보호할 수 있고, 상기 가동대(31)의 양측방향으로 상기 제 1 안내 롤러(33-1) 및 상기 제 2 안내 롤러(33-2)가 설치되기 때문에 상기 플런저(P)가 설치되더라도 안내 기능을 수행하면서 최소의 높이로 장비를 설치할 수 있기 때문에 공간을 절약할 수 있다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이러한 본 발명의 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 보다 상세하게 설명하면, 먼저, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 도어(10)는 상기 도어 이동 장치(20)에 의해 상기 통로(Ha) 방향으로 상승되어 상기 통로(Ha)에 밀착되는 도어 폐쇄 모드를 수행할 수 있다.
이 때, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 안내 롤러(33)는 상기 안내홈부(32)의 상기 제 1 안내면(32a)에만 구름 접촉으로 상승되어 면대선 접촉으로 마찰력을 최소화할 수 있고, 상기 제 2 안내면(32b)에는 접촉되지 않아서 마찰력을 극소화할 수 있다.
이어서, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 도어(10)는 상기 도어 이동 장치(20)에 의해 상기 통로(Ha) 방향으로부터 이격되어 상기 통로(Ha)가 개방되는 도어 개방 모드를 수행할 수 있다.
이 때도 역시, 마찬가지로 상기 안내 롤러(33)는 상기 안내홈부(32)의 상기 제 1 안내면(32a)에만 구름 접촉으로 하강되어 면대선 접촉으로 마찰력을 최소화할 수 있고, 상기 제 2 안내면(32b)에는 접촉되지 않아서 마찰력을 극소화할 수 있다.
도 4는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 플런저(P)를 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 1의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 실린더 장치(200)를 나타내는 확대 단면도이다.
예컨대, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 도어 이동 장치(20)는, 작동 유체의 압력에 따라 피스톤의 전후진이 가능한 실린더 장치(200)일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 상기 실린더 장치(200)는, 실린더 몸체(210)와, 제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체(210) 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤(220) 및 일부가 상기 피스톤(220)과 연결되고, 타부가 상기 플런저(P)와 연결되는 피스톤 축(230)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 실린더 몸체(210)의 내경면 상부에는 제 1 커버(C1)가 설치될 수 있고, 내경면 하부에는 제 2 커버(C2)가 설치될 수 있고, 상기 피스톤(220)을 움직이게 할 수 있도록 유압을 형성하는 제 1 유입구(H1) 및 제 2 유입구(H2)가 상기 실린더 몸체(210)에 형성될 수 있다.
따라서, 상기 실린더 장치(200)는 상기 제 1 유입구(H1)로 상기 제 1 작동 유체가 공급되면, 상기 피스톤(220)이 하강할 수 있고, 상기 제 2 유입구(H2)로 상기 제 1 작동 유체가 공급되면, 상기 피스톤(220)이 하강할 수 있는 복동식 실린더 장치일 수 있다.
또한, 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 도어측에 설치되어 상기 도어(10)를 상기 통로 방향으로 밀착시키는 도어측 실린더(C)에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축(230)과 상기 플런저(P)에 유로(P1)(P2)가 형성될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 피스톤 축(230)이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부(240)와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부(240)에 내통부(250)가 형성되고, 상기 피스톤 축(230)에 상기 내통부(250)를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부(260)가 형성될 수 있다.
따라서, 상기 내통부(250)가 상기 실린더 몸체(210)에 고정되고, 상기 외통부(260)가 상기 피스톤 축(230)을 따라 가동되더라도 상기 피스톤 축(230)과 상기 플런저(P)에 형성된 유로(P1)(P2)들이 서로 연결되어 언제든지 상기 도어측 실린더(C)에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있다.
그러므로, 상술된 본 발명의 실린더 장치(200)를 이용하면, 제 1 작동 유체를 이용하여 상기 피스톤(220)을 전진시켜서 상기 도어(10)가 수직 방향으로 상승되면 상기 제 2 작동 유체를 이용하여 상기 도어측 실린더(C)를 이용하여 상기 도어(10)를 상기 통로(Ha) 방향으로 수평 전진시켜서 상기 통로(Ha)에 밀착시킬 수 있다.
여기서, 상기 실린더 장치(200)는, 공압 실린더 장치 또는 유압 실린더 장치일 수 있고, 반드시 도면에만 국한되지 않고, 단동식, 복동식은 물론이고, 피스톤이 움직이는 피스톤 구동 방식, 실린더가 움직이는 실린더 구동 방식 등 매우 다양한 방식의 실린더 장치들이 모두 적용될 수 있다.
한편, 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 실시예들에 따른 실린더 장치(200)는, 실린더 몸체(210)와, 제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체(210) 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤(220) 및 일부가 상기 피스톤(220)과 연결되고, 타부가 상기 플런저(P)와 연결되는 피스톤 축(230)을 포함하고, 상기 도어(10)에 설치되는 도어측 실린더(C)에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축(230)과 상기 플런저(P)에 유로(P1)(P2)가 형성될 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 피스톤 축(230)이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부(240)와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부(240)에 내통부(250)가 형성되고, 상기 피스톤 축(230)에 상기 내통부(250)를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부(260)가 형성될 수 있다.
여기서, 이러한 상기 실린더 장치(200)에 대한 구성과 역할은 본 발명이 일부 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 그것과 동일할 수 있다. 따라서, 상세한 설명은 생략한다.
도 6은 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 도어 개방 상태를 나타내는 정면도이고, 도 7은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(300)을 나타내는 측면도이고, 도 8은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 안내홈부(32) 및 안내 롤러(33-11)(33-12)를 나타내는 측면도이다.
도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(300)의 제 1 안내 롤러(33-1)는, 상기 제 1 안내면(32a)과 구름 접촉될 수 있고, 상기 제 2 안내면(32b)과 상기 제 1 간격(L1)으로 이격되는 제 1-1 롤러(33-11) 및 상기 1-1 롤러(33-11)의 상방 또는 하방에 설치되고, 상기 제 1 안내면(32a)과 제 2 간격(L2)으로 이격되며, 상기 제 2 안내면(32b)과 구름 접촉될 수 있는 제 1-2 롤러(33-12)를 포함할 수 있다.
따라서, 상기 안내홈부(32) 내에서 서로 대각선 방향으로 배치되는 2개의 상기 제 1-1 롤러(33-11) 및 상기 제 1-2 롤러(33-12)를 이용하여 각각의 안내면(32a)(32b)에 밀착되어 승하강시 마찰 및 저항력을 최소화할 수 있다.
즉, 도 7의 F1 방향으로 상기 도어(10)를 전진시키는 힘이나 F2 방향으로 상기 도어(10)에 적용되는 반발력에도 각각의 롤러들(33-11)(33-12)이 각각의 안내면들(32a)(32b)들과 견고하게 밀착되어 상기 도어(10)가 흔들리거나 헐거워지는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 도면에서는 상기 롤러들(33-11)(33-12)이 대각선 방향으로 배치되어 있으나, 이에 반드시 국한되지 않고 대칭적으로 배치되거나 비대칭적으로 배치되는 등 롤러의 개수나 배치 형태는 매우 다양하게 적용될 수 있다.
도 9는 상술된 본 발명의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)(300)의 유로(P1)(P2)의 일례들을 나타내는 도면이다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 상술된 본 발명의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)(300)의 유로는, 상기 피스톤 축(230)에 형성되는 제 1 유로(P1) 및 상기 플런저(P)에서 상기 도어측 실린더(C)까지 제 2 유로(P2)를 포함할 수 있다.
이러한 상기 제 1 유로(P1) 및 상기 제 2 유로(P2)의 형태는, 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 도어측 실린더(C)들을 통합 제어하기 위해서, 단일한 유로에서 양갈래로 수평 분지되어 최종 상승되는 형태이거나, 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 도어측 실린더(C)들을 개별 제어하기 위해서, 각각의 유로에서 절곡되어 최종 상승되는 형태이거나, 도 9의 (c)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 도어측 실린더(C)들을 통합 제어하기 위해서, 단일한 유로에서 T자 형태로 양갈래로 분지되는 형태이거나, 도 9의 (d)에 도시된 바와 같이, 2개의 상기 도어측 실린더(C)들을 개별 제어하기 위해서, 각각의 유로에서 절곡되는 형태 등 매우 다양한 형태로 적용될 수 있다.
도 10은 도 6의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템의 도어 복귀 스프링(R)의 일례들을 나타내는 도면이다.
도 10에 도시된 바와 같이, 상술된 바와 같이, 상기 도어측 실린더(C)들이 단동식이거나 또는 단동식이라도 보다 원활한 전후진 운동이 이루어지도록 도어 복귀 스프링(R)이 적용되는 경우, 상기 도어 복귀 스프링(R)은, 도 10의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 도어측 실린더(C)의 축 중심에 1개가 배치되거나, 도 10의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 도어측 실린더(C)의 축 중심을 기준으로 복수개(도면에서는 4개)가 등각 배치되거나, 도 10의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 도어측 실린더(C)의 축 중심을 1개가 배치되고, 이를 기준으로 복수개(도면에서는 4개)가 등각 배치될 수 있다. 그러나, 이에 반드시 국한되지 않고 매우 다양한 형태 및 개수의 도어 복귀 스프링이 모두 적용될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(1100)을 나타내는 개념도이고, 도 12는 도 11의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(1100)의 동작을 개념적으로 나타내는 개념도이다.
도 1 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(1100)은, 피가공물(1)의 이동을 위한 챔버(C1)(C2)의 통로(Ha)를 선택적으로 개폐할 수 있는 것으로서, 크게 밸브체(1010)와, 밸브체 이동 장치(1020)와, 실링 부재 교체 장치(1030) 및 제어부(1040)를 포함할 수 있다.
예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(1010)는, 밸브 하우징(H)의 내부에 설치되는 것으로서, 상기 통로(Ha)와 대응되는 상술된 상기 도어(10)를 포함하는 구조체로서, 상기 밸브체 이동 장치(1020)에 의해 승하강 이동 및 전후진 이동이 가능할 수 있다.
여기서, 상기 밸브 하우징(H)은, 전체적으로 속이 빈 박스 형태로 형성되는 일종의 케이스 구조체로서, 반도체 칩, 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등과 같은 첨단 반도체 장치나 디스플레이 장치나 기타 의료 기기 등 각종 대상물이 출입할 수 있도록 각종 챔버(C1)(C2)들과 연결될 수 있는 통로(Ha)가 형성되는 구조체일 수 있다.
이러한 상기 밸브 하우징(H)은, 상술된 상기 밸브체(1010)나, 상기 밸브체 이동 장치(1020)나, 상기 실링 부재 교체 장치(1030) 등을 지지할 수 있고, 각종 챔버들과 연결될 수 있도록 충분한 강도와 내구성을 갖는 구조체일 수 있다. 그러나, 이러한 상기 밸브 하우징(H)은 도면에 개념적으로 도시된 바와 같이, 도면에 한정되지 않고 매우 다양한 종류와 형태의 하우징들이 모두 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 이동 장치(1020)는, 상기 밸브체(1010)를 상기 통로(Ha) 방향으로 이동시킬 수 있는 장치로서, 각종 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 마그넷 커플링, 기계 장치 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 적용될 수 있다.
또한, 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 실링 부재 교체 장치(1030)는, 사용시, 상기 밸브체(1010)에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 밸브체(1010)로부터 분리된 상태로 대기 수용부(A)에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재(S) 또는 실링 부재(S)가 설치된 실링 플레이트(SP)를 이용하여 진공 환경 하에서도 상기 실링 부재(S) 또는 상기 실링 플레이트(SP)를 교체할 수 있는 장치로서, 각종 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 및 이들의 조합들 중 어느 하나 이상이 적용될 수 있다.
여기서, 상기 밸브체 이동 장치(1020)와 상기 실링 부재 교체 장치(1030)는 각각 별도의 장치가 적용될 수 있고, 이외에도 상기 밸브체 이동 장치(1020)가 상기 실링 부재 교체 장치(1030)를 겸할 수 있다. 즉, 각각 별도의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 적용될 수도 있고, 하나의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 2가지 역할을 모두 하는 것도 가능하다.
또한, 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 제어부(1040)는, 상기 밸브체(1010)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결되거나, 또는 상기 밸브체(1010)에 체결된 복수개의 실링 부재(S)들 또는 실링 플레이트(SP)들 중에서 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리할 수 있도록 상기 밸브체 이동 장치 및 상기 실링 부재 교체 장치에 제어 신호를 인가할 수 있는 장치로서, 각종 연산장치, 중앙처리장치, 마이크로프로세서, 집적 회로, 인쇄회로기판, 프로그램, 프로그램이 저장된 저장장치, 명령입력장치, 디스플레이장치, 전원 장치, 제어장치, 제어반, 전자부품, 네트워크장치, 원격제어장치 등이 모두 적용될 수 있다.
따라서, 상기 제어부(1040)는, 사용자의 명령에 따르거나, 미리 입력된 실링 부재(S)의 수명이 도래되어 교체 명령 신호가 입력되거나, 실링 부재(S)의 노후도를 측정할 수 있는 센서부로부터 교체 신호가 입력되면, 상기 밸브체(1010)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결되거나, 또는 상기 밸브체(1010)에 체결된 복수개의 실링 부재(S)들 또는 실링 플레이트(SP)들 중에서 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 분리할 수 있도록 상기 밸브체 이동 장치 및 상기 실링 부재 교체 장치에 제어 신호를 인가할 수 있다.
그러므로, 상기 대기 수용부(A)에 나란하게 복수개의 신품 실링 부재(S1) 또는 실링 부재(S1)가 설치된 신품 실링 플레이트(SP1)를 미리 수용하고, 이를 진공 환경 하에서 상기 밸브체(1010)에 결합 또는 분리시킴으로써 진공 환경을 깨지 않고도 노후된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 내부에서 교체하여 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있고, 이를 통해서, 진공 환경 하에서도 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)의 로딩 및 언로딩이 가능하여 실링 부재 교체 시간을 최소화할 수 있고, 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며, 외부로부터의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 예컨대, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 대기 수용부(A)는, 상기 밸브체(1010)를 둘러싸는 형상으로 형성되는 밸브 하우징(H)의 내부에 형성되고, 적어도 하나 이상의 상기 실링 부재(S)들 또는 상기 실링 플레이트(SP)들이 나란하게 적재되는 매거진(M)과 대응되도록 형성될 수 있다.
여기서, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 매거진(M)은, 상기 밸브체(1010)에 체결될 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 수용하는 제 1 매거진(M1)일 수 있다.
더욱 구체적으로 예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 이동 장치(1020)는, 상기 밸브체(1010)를 대기 위치에서 상기 통로 높이까지 상승시킬 수 있는 밸브체 승하강 장치(21) 및 상기 통로 높이까지 상승된 상기 밸브체(1010)를 상기 통로(Ha) 방향으로 전후진시킬 수 있는 밸브체 전후진 장치(22)를 포함할 수 있다.
또한, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 실링 부재 교체 장치(1030)는, 상기 대기 위치까지 하강된 상기 밸브체(1010)가 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)와 체결될 수 있도록 상기 밸브체(1010)를 상기 대기 수용부(A) 방향으로 이동시키는 밸브체 체결 장치(31)를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 밸브체 승하강 장치(21)나, 상기 밸브체 전후진 장치(22)나, 상기 밸브체 체결 장치(31)는 각각 별도의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 적용될 수도 있고, 이외에도 하나의 모터, 리니어 모터, 실린더, 액츄에이터, 동력 전달 장치, 기계 장치, 마그넷 커플링 등이 2가지 이상의 역할을 겸하여 적용될 수도 있다.
또한, 더욱 구체적으로 예를 들면, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 실링 플레이트(SP)는, 앞면에 실링 부재(S)가 형성되고, 뒷면 일측에 다른 실링 플레이트가 맞물릴 수 있도록 맞물림부(T)가 형성되며, 뒷면 타측에 맞물린 실링 플레이트의 실링 부재와 대응되는 실링 부재 홈부(G)가 형성될 수 있다.
도 12는 도 11의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(1100)의 동작을 개념적으로 나타내는 개념도이다.
따라서, 도 12에 도시된 바와 같이, 도 11의 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(100)의 작동 과정을 단계적으로 설명하면, 도 12의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 메거진(M1)에는 복수개의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)가 수용될 수 있다.
이어서, 도 12의 (b)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체(1010)를 대기 위치로 하강시킬 수 있고, 이어서, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 체결 장치(31)를 이용하여 상기 밸브체(1010) 또는 상기 밸브체(1010)에 결합된 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)를 이동시켜서 상기 밸브체(1010)나, 상기 노후 실링 부재(S2) 또는 노후 실링 플레이트(SP2)에 상기 제 1 메거진(M1)의 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)를 체결할 수 있다.
이어서, 도 12의 (d)에 도시된 바와 같이, 상기 밸브체 승하강 장치(21)를 이용하여 상기 밸브체(1010)를 상기 통로(Ha) 높이까지 상승시키고, 상기 밸브체 전후진 장치(22)를 이용하여 상기 밸브체(1010)에 체결된 상기 신품 실링 부재(S1) 또는 상기 신품 실링 플레이트(SP1)로 상기 통로(Ha)를 폐쇄시킬 수 있다.
그러므로, 상기 챔버(C1)(C2) 및 상기 밸브 하우징(H) 내부의 진공 환경을 그대로 유지하면서 항상 신품 실링 부재(S1) 또는 신품 실링 플레이트(SP1)를 사용할 수 있다. 이후에, 상기 제 1 매거진(M1)을 이용하여 복수개의 실링 부재(S) 또는 실링 플레이트(SP)를 한꺼번에 로딩 및 언로딩할 수 있다.
이하 이러한 본 발명의 일부 또 다른 실시예들에 따른 가이드 타입 게이트 밸브 시스템(1100)의 기술적 사상은 본 출원인의 이름으로 출원된 대한민국 특허출원번호 제10-2018-0028158호의 기술적 내용을 포함할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10: 도어
20: 도어 이동 장치
30: 도어 안내 장치
31: 가동대
32: 안내홈부
32a: 제 1 안내면
32b: 제 2 안내면
33: 안내 롤러
33-1: 제 1 안내 롤러
33-2: 제 2 안내 롤러
P: 플런저(plunger)
V: 벨로우즈관
H: 밸브 하우징
Ha: 통로
100: 가이드 타입 게이트 밸브 시스템
200: 실린더 장치
210: 실린더 몸체
220: 피스톤
230: 피스톤 축
240: 유로 입구부
250: 내통부
260: 외통부

Claims (12)

  1. 통로를 차단할 수 있는 도어;
    상기 도어를 상기 통로 방향으로 이동시킬 수 있는 도어 이동 장치; 및
    상기 도어의 이동 방향을 안내할 수 있는 도어 안내 장치;를 포함하고,
    상기 도어 안내 장치는,
    상기 도어와 연결되는 가동대;
    프레임의 일측에 길이 방향으로 길게 형성되는 안내홈부; 및
    상기 가동대에 회전이 자유롭게 설치되고, 적어도 일부분이 상기 안내홈부에 접촉되어 구름 회전될 수 있는 안내 롤러;
    를 포함하는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 안내홈부는,
    제 1 안내면이 상기 안내 롤러와 구름 접촉될 수 있고, 제 2 안내면이 상기 안내 롤러와 제 1 간격으로 이격될 수 있도록 그 폭이 적어도 상기 안내 롤러의 외경 보다 넓은, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 안내 롤러는,
    상기 가동대의 일측면에 형성되는 제 1 안내 롤러; 및
    상기 가동대의 타측면에 형성되는 제 2 안내 롤러;
    를 포함하는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 안내 롤러는,
    상기 제 1 안내면과 구름 접촉될 수 있고, 상기 제 2 안내면과 상기 제 1 간격으로 이격되는 제 1-1 롤러; 및
    상기 1-1 롤러의 상방 또는 하방에 설치되고, 상기 제 1 안내면과 제 2 간격으로 이격되며, 상기 제 2 안내면과 구름 접촉될 수 있는 제 1-2 롤러;
    를 포함하는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  5. 제 3 항에 있어서,
    상기 도어와 상기 도어 이동 장치를 연결하는 플런저(plunger); 및
    상기 플런저를 둘러싸는 형상으로 형성되고, 밸브 하우징과 상기 가동대 사이에 설치되는 벨로우즈관;
    을 더 포함하는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 도어 이동 장치는,
    작동 유체의 압력에 따라 피스톤의 전후진이 가능한 실린더 장치인, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 실린더 장치는,
    실린더 몸체;
    제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤; 및
    일부가 상기 피스톤과 연결되고, 타부가 상기 플런저와 연결되는 피스톤 축;
    을 포함하는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 도어측에 설치되어 상기 도어를 상기 통로 방향으로 밀착시키는 도어측 실린더에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축에 제 1 유로가 형성되고, 상기 플런저에서 상기 도어측 실린더까지 제 2 유로가 형성되는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 피스톤 축이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부에 내통부가 형성되고, 상기 피스톤 축에 상기 내통부를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부가 형성되는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 도어는,
    사용시 실링 부재 교체 장치에 의해 상기 도어에 체결될 수 있고, 미사용시 상기 도어로부터 분리된 상태로 챔버 내부에 대기할 수 있는 적어도 하나 이상의 실링 부재 또는 실링 부재가 설치된 실링 플레이트가 설치되는, 가이드 타입 게이트 밸브 시스템.
  11. 실린더 몸체;
    제 1 작동 유체의 압력에 따라 상기 실린더 몸체 내부에서 전후진이 가능하게 설치되는 피스톤; 및
    일부가 상기 피스톤과 연결되고, 타부가 상기 플런저와 연결되는 피스톤 축;
    을 포함하고,
    상기 도어에 설치되는 도어측 실린더에 제 2 작동 유체가 전달될 수 있도록 상기 피스톤 축과 상기 플런저에 유로가 형성되는, 실린더 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 피스톤 축이 신장 및 수축되더라도 상기 실린더측에 고정된 유로 입구부와 연결될 수 있도록 상기 유로 입구부에 내통부가 형성되고, 상기 피스톤 축에 상기 내통부를 둘러싸는 형태로 밀착되게 형성되어 슬라이딩 운동이 가능한 외통부가 형성되는, 실린더 장치.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130113624A (ko) * 2012-04-06 2013-10-16 프리시스 주식회사 게이트 밸브
KR101421226B1 (ko) * 2014-03-27 2014-07-22 주식회사 건우테크 수밀부재 보호기능을 구비한 수문
KR20150131371A (ko) * 2013-03-21 2015-11-24 배트 홀딩 아게 진공 밸브

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130113624A (ko) * 2012-04-06 2013-10-16 프리시스 주식회사 게이트 밸브
KR20150131371A (ko) * 2013-03-21 2015-11-24 배트 홀딩 아게 진공 밸브
KR101421226B1 (ko) * 2014-03-27 2014-07-22 주식회사 건우테크 수밀부재 보호기능을 구비한 수문

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