KR20190134004A - Apparatus for breaking substrate - Google Patents

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Abstract

According to an embodiment of the present invention, a substrate breaking apparatus includes a breaking bar movably provided toward a substrate so as to pressurize a surface of the substrate. The breaking bar includes: a body; a first elastic member provided on the extreme end of the body; and a second elastic member provided between the body and the first elastic member, wherein the first elastic member can be made of a material having a greater deformation rate with respect to external force than the second elastic member.

Description

기판 브레이킹 장치{APPARATUS FOR BREAKING SUBSTRATE}Board Breaking Device {APPARATUS FOR BREAKING SUBSTRATE}

본 발명은 기판을 분단하는 기판 브레이킹 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate breaking device for dividing a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.Generally, liquid crystal display panels, organic electroluminescent display panels, inorganic electroluminescent display panels, transmissive projector substrates, and reflective projector substrates used in flat panel displays are brittle mother glass panels (hereinafter, referred to as substrates) such as glass. ) Is cut into a predetermined size from the unit glass panel (hereinafter referred to as 'unit substrate').

기판을 단위 기판으로 절단하는 공정은, 기판의 절단의 기준이 되는 절단 예정선을 따라, 다이아몬드와 같은 재료로 이루어진 스크라이빙 휠을 기판에 가압한 상태에서 기판 및/또는 스크라이빙 휠을 이동시켜 기판에 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정과, 스크라이빙 라인을 따라 기판을 가압하여 스크라이빙 라인의 크랙을 성장시킴으로써 기판을 분단하는 브레이킹 공정을 포함한다.The step of cutting the substrate into unit substrates moves the substrate and / or the scribing wheel in a state in which a scribing wheel made of a material such as diamond is pressed against the substrate along a cutting schedule line serving as a reference for cutting the substrate. And a crushing step of breaking the substrate by pressing the substrate along the scribing line to grow cracks in the scribing line by pressing the substrate along the scribing line.

일반적으로, 브레이킹 공정에서는, 스테이지 상에 안착된 기판에 대해 스크라이빙 라인을 따라 브레이킹 바를 가압한다. 따라서, 브레이킹 바의 선단이 기판에 접촉하면서 기판에 가압력을 가하는 과정에서, 기판의 표면이 손상될 가능성이 있다. 특히, 브레이킹 바의 선단이 기판에 국부적으로 접촉하여 기판을 가압하는 경우, 기판이 과도하게 절곡될 가능성이 있다.In general, in a braking process, the braking bar is pressed along the scribing line against a substrate seated on the stage. Therefore, in the process of applying a pressing force to the substrate while the tip of the breaking bar is in contact with the substrate, there is a possibility that the surface of the substrate is damaged. In particular, when the tip of the breaking bar locally contacts the substrate to press the substrate, there is a possibility that the substrate is excessively bent.

대한민국 공개특허 제10-2013-0014835호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0014835

본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판의 표면의 손상을 방지하면서 기판의 분단을 위한 가압력을 기판에 균일하게 가할 수 있는 기판 브레이킹 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a substrate breaking device capable of uniformly applying a pressing force for dividing the substrate to the substrate while preventing damage to the surface of the substrate.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치는, 기판의 표면을 가압하도록 기판을 향하여 이동 가능하게 구비되는 브레이킹 바를 포함하며, 브레이킹 바는, 몸체; 몸체의 가장 끝단에 구비되는 제1 탄성 부재; 및 몸체와 제1 탄성 부재 사이에 구비되는 제2 탄성 부재를 포함하며, 제1 탄성 부재는 제2 탄성 부재에 비하여 외력에 대하여 큰 변형율을 갖는 재료로 이루어질 수 있다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a substrate breaking apparatus including a breaking bar provided to be movable toward a substrate to pressurize a surface of the substrate, the breaking bar comprising: a body; A first elastic member provided at the most end of the body; And a second elastic member provided between the body and the first elastic member, wherein the first elastic member may be made of a material having a large strain against external force as compared with the second elastic member.

제2 탄성 부재는 그 중심이 그 둘레에 비하여 기판을 향하는 방향으로 더 돌출되는 형상으로 형성되고, 제1 탄성 부재는 제2 탄성 부재를 감싸도록 형성될 수 있다.The second elastic member may be formed in a shape in which the center thereof protrudes further in the direction toward the substrate, and the first elastic member may be formed to surround the second elastic member.

브레이킹 바의 중심축 방향으로의 제1 탄성 부재의 폭은 제2 탄성 부재의 폭에 비하여 클 수 있다.The width of the first elastic member in the direction of the center axis of the breaking bar may be larger than the width of the second elastic member.

기판에는 기판의 표면으로부터 돌출된 복수의 구조물이 구비될 수 있고, 제1 탄성 부재는 브레이킹 바가 기판을 가압할 때 서로 인접하는 구조물 사이의 공간을 채우는 크기를 가질 수 있다.The substrate may be provided with a plurality of structures protruding from the surface of the substrate, and the first elastic member may have a size that fills the space between the structures adjacent to each other when the breaking bar presses the substrate.

브레이킹 바는 브레이킹 바가 기판을 가압할 때 제1 탄성 부재의 형상을 규제하는 안내 부재를 더 포함할 수 있다.The braking bar may further include a guide member for regulating the shape of the first elastic member when the braking bar presses the substrate.

안내 부재는 몸체와의 사이에 제1 탄성 부재가 수용되는 수용 공간을 갖도록 형성될 수 있다.The guide member may be formed to have an accommodation space between the body and the first elastic member.

본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 브레이킹 바는, 몸체와, 몸체의 가장 끝단에 구비되는 제1 탄성 부재와, 몸체와 제1 탄성 부재 사이에 구비되는 제2 탄성 부재를 포함할 수 있고, 제1 탄성 부재는 제2 탄성 부재에 비하여 외력에 대하여 큰 변형율을 갖는 재료로 이루어질 수 있다. 따라서, 브레이킹 바가 기판을 가압하는 과정에서, 제1 탄성 부재가 기판과 접촉하면서 방사형으로 퍼지게 되므로, 몸체 및 제2 탄성 부재를 통해 가해지는 가압력이 기판을 향하여 균일하게 분산될 수 있고, 이에 따라, 브레이킹 바에 의해 가해지는 과도하거나 국부적인 가압력에 의해 기판이 손상되거나 절곡되는 것이 방지될 수 있다.The breaking bar of the substrate breaking device according to the embodiment of the present invention may include a body, a first elastic member provided at the end of the body, and a second elastic member provided between the body and the first elastic member, The first elastic member may be made of a material having a large strain against external force as compared to the second elastic member. Therefore, since the first elastic member is radially spread while the breaking bar presses the substrate, the pressing force applied through the body and the second elastic member can be uniformly distributed toward the substrate, and accordingly, Damage or bending of the substrate can be prevented by excessive or local pressing force applied by the breaking bar.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 작동 상태가 개략적으로 도시된 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 브레이킹 바가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 7 및 도 8은 도 6의 브레이킹 바의 작동 상태가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 브레이킹 바의 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치의 브레이킹 바의 또 다른 예가 개략적으로 도시된 단면도이다.
도 11은 도 10의 브레이킹 바의 작동 상태가 개략적으로 도시된 단면도이다.1 is a perspective view schematically showing a substrate breaking apparatus according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view schematically showing a substrate breaking apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 to 5 are side views schematically showing an operating state of the substrate breaking apparatus according to the embodiment of the present invention.
6 is a schematic cross-sectional view of a breaking bar of a substrate breaking apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are cross-sectional views schematically showing an operating state of the breaking bar of FIG. 6.
9 is a cross-sectional view schematically showing another example of the breaking bar of the substrate breaking apparatus according to the embodiment of the present invention.
10 is a cross-sectional view schematically showing another example of the breaking bar of the substrate breaking device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing an operating state of the breaking bar of FIG. 10.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a substrate braking apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치(1000)는, 기판(P)을 지지하는 스테이지(S)의 상방에 설치되는 베이스(100)와, 기판(P)의 이송 방향에 있어서 기판(P)의 중심에 대하여 베이스(100)의 좌측 및 우측에 각각 설치되는 이송 유닛(200)과, 기판(P)의 이송 방향에 있어서 기판(P)의 중심에 대하여 좌측 및 우측에 각각 설치되며 이송 유닛(200)에 의해 승강 이동하는 실린더(300), 실린더(300)의 내부 압력을 조절하는 압력 조절 유닛(400)과, 실린더(300)의 실린더 로드(310)에 연결되어 하강 이동을 통해 기판(P)의 표면을 가압하는 브레이킹 헤드(500)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the board | substrate breaking apparatus 1000 which concerns on the Example of this invention is equipped with the base 100 provided above the stage S which supports the board | substrate P, and the board | substrate ( In the transfer direction of P, in the center of the board | substrate P in the transfer direction of the board | substrate P and the transfer unit 200 provided in each of the left and right sides of the base 100 with respect to the center of the board | substrate P, respectively. Are installed on the left and right sides of the cylinder 300, which are moved up and down by the transfer unit 200, the pressure regulating unit 400 for adjusting the internal pressure of the cylinder 300, and the cylinder rod 310 of the cylinder 300. It may include a braking head 500 connected to pressurize the surface of the substrate (P) through the downward movement.

기판(P)에 형성된 스크라이빙 라인(L)이 스테이지(S)를 향하도록 기판(P)이 스테이지(S)에는 안착될 수 있다.The substrate P may be seated on the stage S such that the scribing line L formed on the substrate P faces the stage S. FIG.

이송 유닛(200), 실린더(300) 및 압력 조절 유닛(400)은 하나의 실시예에 불과하며 다른 공지의 이송 유닛 및 가압 유닛이 채택될 수 있다. 또한, 이송 유닛(200)만이 설치되고 실린더(300)는 생략될 수 있다.The transfer unit 200, the cylinder 300, and the pressure regulating unit 400 are just one embodiment, and other known transfer units and pressurization units may be adopted. In addition, only the transfer unit 200 may be installed and the cylinder 300 may be omitted.

베이스(100)는 도시되지 않은 고정 지지부에 연결되어 고정된 상태를 유지한다.The base 100 is connected to a fixed support not shown to maintain a fixed state.

이송 유닛(200)은 베이스(100)에 고정 설치된다. 이송 유닛(200)은, 모터(220)와, 모터(220)에 연결되어 회전 운동이 가능한 이송 나사(210)를 포함할 수 있다.The transfer unit 200 is fixedly installed on the base 100. The transfer unit 200 may include a motor 220 and a feed screw 210 connected to the motor 220 and capable of rotating.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 이송 유닛(200)은 기판(P)의 이송 방향에 있어서 좌측 및 우측에 하나씩 설치될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 이송 유닛(200)이 기판(P)의 이송 방향을 기준으로 좌측 및 우측에 각각 설치될 수 있다.As illustrated in FIGS. 1 and 2, the transfer units 200 may be installed one on the left and the right in the transfer direction of the substrate P. As shown in FIG. However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of transfer units 200 may be installed at left and right sides of the substrate P, respectively.

이송 나사(210)에는 이동 블럭(120)이 나사 결합된다. 이동 블럭(120)은 이송 나사(210)의 회전에 의해 승강할 수 있다. 이동 블럭(120)에는 이송 나사(210)가 나사 결합될 수 있도록 나선홈(132a)이 형성되어 있다.The moving block 120 is screwed to the feed screw 210. The moving block 120 may be elevated by the rotation of the feed screw 210. The moving block 120 is formed with a spiral groove 132a so that the feed screw 210 can be screwed.

이동 블럭(120)의 원활한 승강 이동을 위해 베이스(100)에는 이동 블럭(120)을 안내하기 위한 선형 가이드나 크로스 롤러 가이드 등의 가이드(130)가 구비될 수 있다.In order to smoothly move the moving block 120, the base 100 may be provided with a guide 130 such as a linear guide or a cross roller guide for guiding the moving block 120.

그리고, 이동 블럭(120)에는 기판(P)의 이송 방향을 기준으로 좌측 및 우측에 실린더(300)가 각각 고정 설치될 수 있다. 상하 방향으로 연장된 실린더 로드(310)가 실린더(300)에 연결될 수 있다. 실린더 로드(310)의 하단에는 복수의 링크(531, 532)를 통해 브레이킹 헤드(500)가 설치되어 있다.The cylinder 300 may be fixedly installed on the left and right sides of the moving block 120 based on the transfer direction of the substrate P, respectively. The cylinder rod 310 extending in the vertical direction may be connected to the cylinder 300. The lower end of the cylinder rod 310 is provided with a braking head 500 through a plurality of links (531, 532).

복수의 링크(531, 532) 중 하나의 링크(531)는 회전에 대한 자유도를 가질 수 있고, 다른 하나의 링크(532)는 브레이킹 헤드(500)의 길이방향 이동에 대한 자유도를 가질 수 있다.One link 531 of the plurality of links 531, 532 may have a degree of freedom for rotation, and the other link 532 may have a degree of freedom for longitudinal movement of the braking head 500.

실린더(300)는 기판(P)의 이송 방향을 기준으로 좌측 및 우측에 각각 하나씩 설치될 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 복수의 실린더(300)가 기판(P)의 이송 방향을 기준으로 좌측 및 우측에 각각 설치될 수 있다.One cylinder 300 may be installed on the left and right sides of the substrate P, respectively. However, the present invention is not limited thereto, and the plurality of cylinders 300 may be installed at left and right sides of the substrate P, respectively.

브레이킹 헤드(500)는 스테이지(S) 위에 배치된 기판(P)의 표면에 직접적으로 가압력을 가하는 역할을 한다. 브레이킹 헤드(500)는, 실린더 로드(310)에 연결되는 헤드 본체(510)와, 헤드 본체(510) 하단에 설치되는 브레이킹 바(520)를 포함한다.The braking head 500 serves to apply a pressing force directly to the surface of the substrate P disposed on the stage S. The braking head 500 includes a head body 510 connected to the cylinder rod 310, and a braking bar 520 installed at the bottom of the head body 510.

브레이킹 바(520)는 기판(P)의 이송 방향에 직교하는 방향으로 수평으로 연장될 수 있다. 또한, 브레이킹 바(520)는 기판(P)에 대하여 수직으로 연장될 수 있다.The breaking bar 520 may extend horizontally in a direction orthogonal to the transfer direction of the substrate P. FIG. In addition, the breaking bar 520 may extend perpendicular to the substrate P. FIG.

실린더(300)에는 압력 조절 유닛(400)이 연결되어 기판(P)에 작용하는 가압력을 일정한 값으로 전달할 수 있다. 예를 들면, 압력 조절 유닛(400)은 레귤레이터를 포함할 수 있다.The pressure adjusting unit 400 is connected to the cylinder 300 to transmit a pressing force acting on the substrate P to a constant value. For example, the pressure regulation unit 400 may include a regulator.

한편, 본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치(1000)는, 기판(P)의 이송 방향을 기준으로 브레이킹 바(520)의 전방측 및 후방측에 각각 설치되는 지지 유닛(600)을 포함할 수 있다. 예를 들면, 지지 유닛(600)은 브레이킹 헤드(500)에 설치될 수 있다.On the other hand, the substrate breaking apparatus 1000 according to the embodiment of the present invention, the support unit 600 which is installed on the front side and the rear side of the breaking bar 520 based on the transfer direction of the substrate (P), respectively; Can be. For example, the support unit 600 may be installed in the braking head 500.

브레이킹 바(520)가 하강하여 브레이킹 바(520)의 선단이 기판(P)에 접촉하는 것과 동시에 또는 접촉하기 직전에, 지지 유닛(600)의 하단이 기판(P)의 상면에 접촉하여 기판(P)의 상면을 가압할 수 있다. 이에 따라, 지지 유닛(600)이 스크라이빙 라인(L)을 중심으로 좌우에서 기판(P)을 지지할 수 있다. 따라서, 기판(P)이 브레이킹 바(520)에 의해 가압될 때, 기판(P)이 들뜨는 현상을 방지할 수 있다.At the same time as or immediately before the breaking bar 520 descends and the front end of the breaking bar 520 contacts the substrate P, the lower end of the support unit 600 contacts the upper surface of the substrate P so that the substrate ( The upper surface of P) can be pressurized. Accordingly, the support unit 600 may support the substrate P from right and left around the scribing line L. FIG. Therefore, when the substrate P is pressed by the breaking bar 520, it is possible to prevent the substrate P from lifting.

도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 지지 유닛(600)은, 브레이킹 헤드(500)에 형성된 가압 부재 설치 부재(630)와, 가압 부재 설치 부재(630)를 상하 방향, 즉, 수직으로 관통한 상태에서 가압 부재 설치 부재(630)에 대하여 탄성적으로 상대 승강 이동 가능하게 설치되는 가압 부재(610)를 포함할 수 있다.As shown in FIG. 1 and FIG. 2, the support unit 600 penetrates the pressing member mounting member 630 and the pressing member mounting member 630 formed in the braking head 500 vertically, that is, vertically. The pressing member 610 may be installed to be elastically movable relative to the pressing member mounting member 630 in one state.

기판(P)의 상면으로부터 가압 부재(610)의 하단(612) 사이의 간격은 기판(P)의 상면으로부터 브레이킹 바(520)의 하단 사이의 간격에 비하여 작거나 같도록 하여, 브레이킹 바(520)가 하강하여 기판(P)에 접촉하기 이전에 가압 부재(610)의 하단(612)이 기판(P)의 상면을 가압하도록 한다.The spacing between the lower surface 612 of the pressing member 610 from the upper surface of the substrate P is smaller than or equal to the spacing between the lower surface of the braking bar 520 from the upper surface of the substrate P, thus breaking the bar 520. ), The lower end 612 of the pressing member 610 presses the upper surface of the substrate P before falling down to contact the substrate P.

또한, 가압 부재 설치 부재(630)의 상부에서 가압 부재(610)의 상단 또는 측면에는 스토퍼(640)가 형성될 수 있다. 그리고, 가압 부재 설치 부재(630)의 저면과 가압 부재(610)의 하단(612) 사이에는 압축 스프링(650)이 설치될 수 있다. 따라서, 기판(P)에 대한 가압 부재(610)의 지지 작용 및 브레이킹 바(520)의 가압 작용이 연이어서 자연스럽게 일어나도록 할 수 있다.In addition, a stopper 640 may be formed at an upper end or side surface of the pressing member 610 at the upper portion of the pressing member installing member 630. In addition, a compression spring 650 may be installed between the bottom of the pressing member mounting member 630 and the lower end 612 of the pressing member 610. Therefore, the supporting action of the pressing member 610 against the substrate P and the pressing action of the braking bar 520 can be successively occurring naturally.

도 1 및 도 2에는 압축 스프링(650)이 가압 부재(610)를 감싸는 형태로 설치되는 구성이 도시되어 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않으며, 압축 스프링(650)이 가압 부재(610)의 외측에 가압 부재(610)와 별도로 배치될 수 있다. 이 경우, 가압 부재(610)의 하단(612)에는 압축 스프링(650)을 지지하기 위한 걸림턱 등이 형성될 수 있다.1 and 2 illustrate a configuration in which the compression spring 650 is installed to surround the pressing member 610. However, the present invention is not limited to this configuration, and the compression spring 650 may be disposed separately from the pressing member 610 on the outer side of the pressing member 610. In this case, a locking step for supporting the compression spring 650 may be formed at the lower end 612 of the pressing member 610.

도 3 내지 도 5는 도 1 및 도 2에 따른 지지 유닛(600)을 채택한 기판 브레이킹 장치(1000)를 이용하여 기판(P)을 가압하는 과정을 순차적으로 도시한다.3 to 5 sequentially illustrate a process of pressing the substrate P using the substrate breaking device 1000 employing the support unit 600 according to FIGS. 1 and 2.

먼저, 도 3에 도시한 바와 같이, 가압 부재(610)가 기판(P)에 접촉하기 전에는 가압 부재 설치 부재(630)와 가압 부재(610) 사이에 개재된 압축 스프링(650)과 스토퍼(640)에 의해 가압 부재 설치 부재(630)와 가압 부재(610)가 서로 멀어지는 방향으로 탄성력이 작용한다.First, as shown in FIG. 3, before the pressing member 610 contacts the substrate P, the compression spring 650 and the stopper 640 interposed between the pressing member mounting member 630 and the pressing member 610. The elastic force acts in a direction away from the pressing member mounting member 630 and the pressing member 610 by each other.

도 4에 도시한 바와 같이, 브레이킹 헤드(500)가 하강함에 따라 가압 부재(610)가 기판(P)과 접촉한 이후에는, 브레이킹 헤드(500)에 설치된 가압 부재 설치 부재(630)가 압축 스프링(650)의 힘을 극복하면서 하강하며, 이에 따라, 브레이킹 바(520)의 선단(X)이 기판(P)을 향해 하강하기 시작한다.As shown in FIG. 4, after the pressing member 610 comes into contact with the substrate P as the braking head 500 descends, the pressing member mounting member 630 installed on the braking head 500 is a compression spring. It descends while overcoming the force of 650, whereby the tip X of the breaking bar 520 begins to descend toward the substrate P.

그리고, 도 5에 도시한 바와 같이, 가압 부재(610)가 기판(P)을 지지한 상태에서 브레이킹 바(520)가 기판(P)의 상면(스크라이빙 라인(L)에 반대되는 표면)에 가압력을 가하며, 이에 따라, 기판(P)이 스크라이빙 라인(L)을 따라 분단될 수 있다.And, as shown in FIG. 5, in the state where the pressing member 610 supports the substrate P, the breaking bar 520 is the upper surface of the substrate P (the surface opposite to the scribing line L). The pressing force is applied to the substrate P, whereby the substrate P can be divided along the scribing line L. FIG.

도 6에 도시된 바와 같이, 브레이킹 바(520)는, 몸체(523)와, 기판(P)을 향하는 몸체(523)의 선단에 구비되는 복수의 탄성 부재(521, 522)를 포함할 수 있다. 도 6에서는 두 개의 탄성 부재(521, 522)가 도시되었지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 셋 이상의 탄성 부재(521, 522)가 몸체(523)의 선단에 구비될 수 있다.As illustrated in FIG. 6, the breaking bar 520 may include a body 523 and a plurality of elastic members 521 and 522 provided at the front end of the body 523 facing the substrate P. As illustrated in FIG. . Although two elastic members 521 and 522 are illustrated in FIG. 6, the present invention is not limited thereto, and three or more elastic members 521 and 522 may be provided at the front end of the body 523.

몸체(523)는 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때, 가압력을 전달하는 역할을 할 수 있다. 몸체(523)는 금속 등의 강성 재료로 이루어질 수 있다.The body 523 may serve to transmit a pressing force when the breaking bar 520 presses the substrate P. FIG. The body 523 may be made of a rigid material such as metal.

복수의 탄성 부재(521, 522)는 접착제 등에 의해 몸체(523)에 부착될 수 있다. 복수의 탄성 부재(521, 522)는 서로 접착제 등에 의해 부착될 수 있다. 다른 예로서, 복수의 탄성 부재(521, 522)는 자체가 접착성(점착성)을 갖는 재료로 이루어져, 서로 부착될 수 있다.The plurality of elastic members 521 and 522 may be attached to the body 523 by an adhesive or the like. The plurality of elastic members 521 and 522 may be attached to each other by an adhesive or the like. As another example, the plurality of elastic members 521 and 522 may be made of a material having an adhesive (adhesive) and attached to each other.

복수의 탄성 부재(521, 522)는 강성 재질의 몸체(523)가 기판(P)에 직접적으로 접촉하는 것을 방지하며, 이에 따라, 기판(P)의 표면이 손상되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 복수의 탄성 부재(521, 522)는 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때 발생하는 과도한 충격을 흡수함으로써, 기판(P)이 손상되거나 과도하게 절곡되는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.The plurality of elastic members 521 and 522 may prevent the body 523 of the rigid material from directly contacting the substrate P, thereby preventing the surface of the substrate P from being damaged. In addition, the plurality of elastic members 521 and 522 absorb excessive shock generated when the braking bar 520 presses the substrate P, thereby preventing the substrate P from being damaged or excessively bent. can do.

복수의 탄성 부재(521, 522)는, 브레이킹 바(520)의 가장 끝단에 구비되는 제1 탄성 부재(521)와, 몸체(523) 및 제1 탄성 부재(521) 사이에 배치되는 제2 탄성 부재(522)를 포함할 수 있다. 제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522)는 몸체(523)의 중심축 방향(기판(P)에 대하여 수직 방향)으로 순차적으로(예를 들면, 일렬로) 배치될 수 있다. 제2 탄성 부재(522)는 몸체(523) 및 제1 탄성 부재(521) 사이에 개재될 수 있다.The plurality of elastic members 521 and 522 may include a first elastic member 521 provided at the end of the breaking bar 520, and a second elastic member disposed between the body 523 and the first elastic member 521. It may include a member 522. The first elastic member 521 and the second elastic member 522 may be disposed sequentially (for example, in a line) in the central axis direction (vertical direction with respect to the substrate P) of the body 523. The second elastic member 522 may be interposed between the body 523 and the first elastic member 521.

도 6에서는 제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522)가 각각 하나씩 구비된 구성이 제시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522)가 각각 복수로 구비되거나, 제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522) 중 어느 하나가 복수로 구비될 수 있다.In FIG. 6, a configuration in which one first elastic member 521 and one second elastic member 522 are provided is provided, but the present invention is not limited thereto, and the first elastic member 521 and the second elastic member ( 522 may be provided in plurality, or any one of the first elastic member 521 and the second elastic member 522 may be provided in plurality.

제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522)는 상이한 탄성 계수를 가질 수 있다. 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)에 비하여 작은 탄성 계수를 가질 수 있다. 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)에 비하여 외력에 대해 큰 변형율을 가질 수 있다. 제2 탄성 부재(522)는 제1 탄성 부재(521)에 비하여 강성일 수 있고, 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)에 비하여 연성일 수 있다.The first elastic member 521 and the second elastic member 522 may have different elastic modulus. The first elastic member 521 may have a smaller elastic modulus than the second elastic member 522. The first elastic member 521 may have a larger strain against external force than the second elastic member 522. The second elastic member 522 may be rigid compared to the first elastic member 521, and the first elastic member 521 may be softer than the second elastic member 522.

제1 탄성 부재(521) 및 제2 탄성 부재(522)는 상이한 재료로 이루어질 수 있다. 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)의 재료에 비하여 용이하게 변형되는(즉, 변형도가 큰) 재료로 이루어질 수 있다. 예를 들면, 제1 탄성 부재(521)는 실리콘 계의 재료 또는 고무 계의 재료로 이루어질 수 있고, 제2 탄성 부재(522)는 우레탄 계의 재료로 이루어질 수 있다.The first elastic member 521 and the second elastic member 522 may be made of different materials. The first elastic member 521 may be made of a material that is easily deformed (ie, has a high degree of deformation) as compared with the material of the second elastic member 522. For example, the first elastic member 521 may be made of a silicon-based material or a rubber-based material, and the second elastic member 522 may be made of a urethane-based material.

한편, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때, 제2 탄성 부재(522)의 둘레에서 제1 탄성 부재(521)가 폭 넓게 퍼질 수 있도록, 제2 탄성 부재(522)는 그 중심이 그 둘레에 비하여 기판(P)을 향하는 방향으로 더 돌출되는 형상(예를 들면, 쐐기형)으로 형성될 수 있고, 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)의 둘레를 감싸도록 형성될 수 있다.On the other hand, when the braking bar 520 presses the substrate P, the second elastic member 522 is formed so that the first elastic member 521 can be widely spread around the second elastic member 522. The center may be formed in a shape (for example, a wedge shape) that protrudes further in the direction toward the substrate P than the periphery thereof, and the first elastic member 521 is formed around the second elastic member 522. It can be formed to wrap.

또한, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때, 제2 탄성 부재(522)의 둘레에서 제1 탄성 부재(521)가 폭 넓게 퍼질 수 있도록, 브레이킹 바(520)의 중심축 방향으로 제1 탄성 부재(521)의 폭(H1)은 제2 탄성 부재(522)의 폭(H2)에 비하여 큰 것이 바람직하다.In addition, when the breaking bar 520 presses the substrate P, the breaking direction of the breaking bar 520 may be such that the first elastic member 521 may spread widely around the second elastic member 522. Therefore, it is preferable that the width H1 of the first elastic member 521 is larger than the width H2 of the second elastic member 522.

도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압하기 위해 기판(P)을 향하여 이동될 때, 제1 탄성 부재(521)가 기판(P)과 먼저 접촉한다. 이때, 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)에 비하여 작은 탄성 계수를 가지며 용이하게 변형될 수 있으므로, 제1 탄성 부재(521)는 기판(P)과 접촉하면서, 방사상으로 퍼질 수 있다.As shown in FIGS. 7 and 8, when the breaking bar 520 is moved toward the substrate P to press the substrate P, the first elastic member 521 first contacts the substrate P. As shown in FIG. do. At this time, since the first elastic member 521 has a smaller elastic modulus than the second elastic member 522 and can be easily deformed, the first elastic member 521 is in contact with the substrate P to spread radially. Can be.

따라서, 제2 탄성 부재(522) 및 기판(P) 사이에는 방사형으로 퍼진 제1 탄성 부재(521)가 개재되며, 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)를 통해 전달되는 가압력을 기판(P)을 향하여 균일하게 분산시키는 역할을 할 수 있다.Therefore, a radially spread first elastic member 521 is interposed between the second elastic member 522 and the substrate P, and the first elastic member 521 is a pressing force transmitted through the second elastic member 522. It can serve to uniformly disperse toward the substrate (P).

또한, 제1 탄성 부재(521)는 제1 탄성 부재(521)에 비하여 강성인 제2 탄성 부재(522)가 기판(P)과 직접 접촉하는 것을 방지하여, 기판(P)의 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the first elastic member 521 prevents the second elastic member 522 that is rigid compared to the first elastic member 521 from directly contacting the substrate P, thereby preventing the surface of the substrate P from being damaged. You can prevent it.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 브레이킹 바(520)는, 기판(P)의 표면으로부터 필름, 소자 등과 같은 구조물(P1, P2)이 돌출된 경우에 보다 효과적이다. 기판(P)의 표면에 구조물(P1, P2)이 구비되는 경우, 기판(P)은 인접하는 구조물(P1, P2) 사이에서 분단될 수 있다. 이를 위해, 구조물(P1, P2) 사이에 스크라이빙 라인이 형성될 수 있고, 브레이킹 바(520)가 구조물(P1, P2) 사이로 진입하여 기판(P)을 분단할 수 있다.As shown in FIG. 9, the braking bar 520 according to the exemplary embodiment of the present invention is more effective when the structures P1 and P2 such as a film and an element protrude from the surface of the substrate P. FIG. When the structures P1 and P2 are provided on the surface of the substrate P, the substrate P may be divided between the adjacent structures P1 and P2. To this end, a scribing line may be formed between the structures P1 and P2, and the breaking bar 520 may enter the structures P1 and P2 to divide the substrate P.

제1 탄성 부재(521)는 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때 서로 인접하는 구조물(P1, P2) 사이의 공간(W)을 채울 수 있는 크기를 가질 수 있다. 따라서, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때 서로 인접하는 구조물(P1, P2) 사이의 공간(W)이 제1 탄성 부재(521)에 의해 채워지므로, 브레이킹 바(520)에 의해 가해지는 가압력이 제1 탄성 부재(521)를 통해 분산될 수 있다. 따라서, 서로 인접하는 구조물(P1, P2) 사이의 공간(W)에 해당하는 기판(P)의 표면에 가압력이 균일하게 가해질 수 있다. 또한, 브레이킹 바(520)에 의해 가해지는 과도하거나 국부적인 가압력에 의해 기판(P)이 손상되거나 과도하게 절곡되는 것이 방지될 수 있다.The first elastic member 521 may have a size that may fill the space W between the structures P1 and P2 adjacent to each other when the braking bar 520 presses the substrate P. Referring to FIG. Therefore, when the breaking bar 520 presses the substrate P, the space W between the structures P1 and P2 adjacent to each other is filled by the first elastic member 521, so that the breaking bar 520 may not be used. The pressing force applied by the first body may be distributed through the first elastic member 521. Therefore, the pressing force may be uniformly applied to the surface of the substrate P corresponding to the space W between the structures P1 and P2 adjacent to each other. In addition, the substrate P may be prevented from being damaged or excessively bent due to excessive or local pressing force applied by the breaking bar 520.

도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때, 제2 탄성 부재(522)의 둘레에서 제1 탄성 부재(521)가 균일하게 퍼질 수 있도록, 몸체(523)에는 제1 탄성 부재(521)의 형상을 규제하는 안내 부재(524)가 구비될 수 있다.As shown in FIGS. 10 and 11, when the braking bar 520 presses the substrate P, the first elastic member 521 may be uniformly spread around the second elastic member 522. The body 523 may be provided with a guide member 524 for regulating the shape of the first elastic member 521.

안내 부재(524)는 제1 탄성 부재(521)로부터 소정의 간격으로 이격된 상태로 제1 탄성 부재(521)의 둘레를 감싸도록 형성될 수 있다. 안내 부재(524)는 몸체(523)와 일체로 형성될 수 있거나 별도의 부재로서 제작된 후 몸체(523)에 부착될 수 있다. 안내 부재(524)는 몸체(523)와의 사이에 제1 탄성 부재(521)가 수용되는 수용 공간을 갖도록 형성될 수 있다.The guide member 524 may be formed to surround the circumference of the first elastic member 521 in a state spaced apart from the first elastic member 521 at predetermined intervals. The guide member 524 may be integrally formed with the body 523 or may be manufactured as a separate member and then attached to the body 523. The guide member 524 may be formed to have an accommodation space in which the first elastic member 521 is accommodated between the body 523 and the body 523.

이와 같은 구성에 따르면, 도 11에 도시된 바와 같이, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압할 때, 제1 탄성 부재(521)가 안내 부재(524)에 형성된 소정의 수용 공간 내에서 퍼지게 되며, 이에 따라, 제1 탄성 부재(521)의 형상이 안내 부재(524)에 의해 규제될 수 있다. 따라서, 제1 탄성 부재(521)가 방사상으로 균일하게 퍼질 수 있으며, 이에 따라, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압하는 가압력이 보다 균일하게 기판(P)을 향하여 분산될 수 있다. 따라서, 브레이킹 바(520)에 의해 가해지는 과도하거나 국부적인 가압력에 의해 기판(P)이 손상되거나 과도하게 절곡되는 것이 방지될 수 있다.According to this configuration, as shown in FIG. 11, when the braking bar 520 presses the substrate P, the first elastic member 521 is provided in the predetermined receiving space formed in the guide member 524. As a result, the shape of the first elastic member 521 may be restricted by the guide member 524. Accordingly, the first elastic member 521 may be uniformly radially spread, and accordingly, the pressing force for pressing the substrate P by the breaking bar 520 may be more uniformly distributed toward the substrate P. FIG. Therefore, it is possible to prevent the substrate P from being damaged or excessively bent due to excessive or local pressing force applied by the breaking bar 520.

본 발명의 실시예에 따른 기판 브레이킹 장치(1000)의 브레이킹 바(520)는, 몸체(523)와, 몸체(523)의 가장 끝단에 구비되는 제1 탄성 부재(521)와, 몸체(523)와 제1 탄성 부재(521) 사이에 구비되는 제2 탄성 부재(522)를 포함할 수 있고, 제1 탄성 부재(521)는 제2 탄성 부재(522)에 비하여 외력에 대하여 큰 변형율을 갖는 재료로 이루어질 수 있다. 따라서, 브레이킹 바(520)가 기판(P)을 가압하는 과정에서, 제1 탄성 부재(521)가 기판(P)과 접촉하면서 방사상으로 퍼지게 되므로, 몸체(523) 및 제2 탄성 부재(522)를 통해 가해지는 가압력이 기판(P)을 향하여 균일하게 분산될 수 있다. 따라서, 브레이킹 바(520)에 의해 가해지는 과도하거나 국부적인 가압력에 의해 기판(P)이 손상되거나 과도하게 절곡되는 것이 방지될 수 있다.The breaking bar 520 of the substrate breaking apparatus 1000 according to the embodiment of the present invention includes a body 523, a first elastic member 521 and a body 523 provided at the extreme end of the body 523. And a second elastic member 522 provided between the first elastic member 521, and the first elastic member 521 has a material having a larger strain against external force than the second elastic member 522. It may be made of. Therefore, in the process of pressing the substrate P by the breaking bar 520, since the first elastic member 521 is radially spread while being in contact with the substrate P, the body 523 and the second elastic member 522 are disposed. The pressing force applied through the substrate P may be uniformly dispersed toward the substrate P. Therefore, it is possible to prevent the substrate P from being damaged or excessively bent due to excessive or local pressing force applied by the breaking bar 520.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.While the preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to these specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope of the claims.

100: 베이스 200: 이송 유닛
300: 실린더 400: 레귤레이터
500: 브레이킹 헤드 520: 브레이킹 바
521, 522: 탄성 부재 523: 몸체
600: 지지유닛 P: 기판100: base 200: transfer unit
300: cylinder 400: regulator
500: breaking head 520: breaking bar
521, 522: elastic member 523: body
600: support unit P: substrate

Claims (6)

기판의 표면을 가압하도록 상기 기판을 향하여 이동 가능하게 구비되는 브레이킹 바를 포함하며,
상기 브레이킹 바는,
몸체;
상기 몸체의 가장 끝단에 구비되는 제1 탄성 부재; 및
상기 몸체와 상기 제1 탄성 부재 사이에 구비되는 제2 탄성 부재를 포함하며,
상기 제1 탄성 부재는 상기 제2 탄성 부재에 비하여 외력에 대하여 큰 변형율을 갖는 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.A braking bar is provided to be movable toward the substrate to press the surface of the substrate,
The breaking bar,
Body;
A first elastic member provided at the most end of the body; And
A second elastic member provided between the body and the first elastic member,
And said first elastic member is made of a material having a large strain against external force as compared to said second elastic member. 청구항 1에 있어서,
상기 제2 탄성 부재는 그 중심이 그 둘레에 비하여 상기 기판을 향하는 방향으로 더 돌출되는 형상으로 형성되고,
상기 제1 탄성 부재는 상기 제2 탄성 부재의 둘레를 감싸도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.The method according to claim 1,
The second elastic member is formed in a shape in which the center thereof protrudes further in the direction toward the substrate than its circumference,
And the first elastic member is formed to surround a circumference of the second elastic member. 청구항 1에 있어서,
상기 브레이킹 바의 중심축 방향으로의 상기 제1 탄성 부재의 폭은 제2 탄성 부재의 폭에 비하여 큰 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.The method according to claim 1,
The width of the first elastic member in the direction of the center axis of the breaking bar is larger than the width of the second elastic member, substrate breaking apparatus. 청구항 1에 있어서,
상기 기판에는 상기 기판의 표면으로부터 돌출된 복수의 구조물이 구비되고,
상기 제1 탄성 부재는 상기 브레이킹 바가 상기 기판을 가압할 때 서로 인접하는 구조물 사이의 공간을 채우는 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.The method according to claim 1,
The substrate is provided with a plurality of structures protruding from the surface of the substrate,
And the first elastic member has a size to fill a space between adjacent structures when the braking bar presses the substrate. 청구항 1에 있어서,
상기 브레이킹 바는 상기 브레이킹 바가 상기 기판을 가압할 때 상기 제1 탄성 부재의 형상을 규제하는 안내 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.The method according to claim 1,
The braking bar further comprises a guide member for regulating the shape of the first elastic member when the braking bar presses the substrate. 청구항 5에 있어서,
상기 안내 부재는 상기 몸체와의 사이에 상기 제1 탄성 부재가 수용되는 수용 공간을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 브레이킹 장치.The method according to claim 5,
And the guide member is formed to have a receiving space between the body and the first elastic member.
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