KR20190127384A - 판 형상이 우수한 철-니켈(Fe-Ni) 합금 박 제조방법 - Google Patents

판 형상이 우수한 철-니켈(Fe-Ni) 합금 박 제조방법 Download PDF

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KR20190127384A
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Abstract

본 발명은 전주도금법(Electroforming)을 이용하여, 중량%로, Ni 34~46%, 잔부는 Fe 및 불가피한 불순물을 포함하며, 두께가 40㎛ 이하(0㎛ 제외)인 철-니켈 합금 박을 제조하는 철-니켈 합금 박 제조단계; 및 연속 열처리로를 통해 상기 철-니켈 합금 박을 열처리하는 열처리 단계; 를 포함하고,
상기 철-니켈 합금 박의 열처리 시 상기 연속 열처리로의 인입부에서의 장력이 0.01N/㎟ 이상 0.5N/㎟ 미만인 철-니켈 합금 박의 제조방법을 제공한다.

Description

판 형상이 우수한 철-니켈(Fe-Ni) 합금 박 제조방법{A manufacturing method of Fe-Ni alloy foil having excellent plate-shape}
본 발명은 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 패널에 사용되는 파인 메탈 마스크(FMM)용 전해 철-니켈(Fe-Ni) 합금 박의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 철-니켈 합금 박의 열처리 시에 판 형상을 개선할 수 있는 철-니켈 합금 박의 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 철-니켈 합금 박은 디스플레이 생산기술의 핵심 부품인 섀도우 마스크(shadow mask)로 사용되고 있다. 파인 메탈 마스크(FMM: Fine metal mask)라고 알려진 이 마스크는 RGB(Red, Green, Blue) 구조의 고해상도 유기발광다이오드를 생산하기 위한 필수 부품으로, 유기발광다이오드 디스플레이 패널 화소를 결정 짓는 핵심 부품이다. 그리고 파인 메탈 마스크는 유연성이 확보되어야 하는 동시에, 고온에서 공정 수행이 이루어짐에 따라 열에 의한 수축, 팽창이 일어날 수 있기 때문에 열팽창이 잘 일어나지 않는 재료의 선택이 필수적이다.
통상적으로 파인 메탈 마스크 소재로 철-니켈(Fe-Ni) 합금계인 인바 합금(Fe-36%Ni)을 주로 사용한다. 종래 기술에서는 파인 메탈 마스크로 사용되는 합금 박을 제조하기 위해 압연과 열처리를 실시하고 있었다. 하지만, 상기 유기발광다이오드를 만들기 위해서는 40㎛ 이하의 박판으로 된 파인 메탈 마스크가 필요한데 종래의 압연 공정을 통해서는 개재물에 의한 표면 불량 및 제조 비용 상승 등의 제조기술의 한계로 인해 극박 제품을 제조하기 어려운 문제점이 있었다. 따라서 종래의 압연과 열처리로 제조되는 파인 메탈 마스크만으로는 유기발광다이오드의 고해상도 상향이 어려운 실정이었다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 최근에 전주도금법(Electroforming)을 이용하여 철-니켈 합금 박을 생산하는 것이 제안되었다. 상기 전주도금법은 회전하는 원통형의 음극 드럼과 이에 대항하는 한 쌍의 원호 형상의 불용성 양극으로 둘러싸인 틈으로 전해액을 공급하고, 전류를 흘려 상기 음극 드럼 표면에 철-니켈 합금을 전착 시키는 연속적인 전해 철-니켈 합금 박 생산이 가능한 방식이다. 그리고 이와 같이 전주도금법으로 Fe, Ni 이온을 금속으로 환원시키는 공정을 제박 공정이라 한다.
하지만 전주도금법의 제박 공정에서 얻어진 철-니켈 합금 박은 원리적으로 내부 응력을 생산한다. 이와 같은 내부응력은 철-니켈 합금 박의 절단 부분(양 끝단)의 말림(Curl)을 발생시키고, 말림(Curl)이 발생된 합금 박은 파인 메탈 마스크로서 사용할 수 없는 상태가 된다.
또한 파인 메탈 마스크로 사용 되기 위해서는 철-니켈 합금 박의 열팽창계수를 5.5ppm/℃ 이하의 값을 갖도록 조절을 할 필요성이 있었다. 철-니켈 합금 박의 열팽창율이 큰 경우, 열을 통한 증착 과정 중에 박막 트랜지스터가 형성된 유리와 파인 메탈 마스크가 동시에 가열이 되기 때문에, 열로 인해 팽창이 되어 길이 변화가 발생하는 문제가 발생하게 된다.
상기 철-니켈 합금 박의 절단 부분(양 끝단)의 말림(Curl) 방지하고 소정의 열팽창율을 갖도록 하기 위해서는 열처리 공정이 필수적으로 수반되어야 한다. 하지만 두께 40㎛ 이하의 박판을 연속 열처리로에서 열처리를 진행할 경우 합금 박에 변형이 일어나 평탄도가 저해되는 문제가 발생하였다.
구체적으로는, 두께 40㎛ 이하의 박판의 경우 종래 방식으로 연속 열처리로를 활용하여 열처리하면, 당겨지는 장력(Tension)에 의해 연속 열처리로 내에서 합금 박에 텐션 버클링(Tension buckling)이 발생하는 문제점이 있었다. 상기 텐션 버클링은 연속 열처리로 내에서 MD(Mechanical Direction) 방향을 따라 합금 박이 파도 모양으로 물결치는 현상을 말하는 것으로서, 이러한 텐션 버클링이 발생한 상태에서 열처리가 진행되면 상기 텐션 버클링의 형태와 유사하게 판 형상에 변형이 일어나고, 최종적으로는 부분적으로 말림(Curl)이 발생해서 합금 박의 평탄도(Waviness)에 좋지 않은 영향을 주게 된다.
또한 두께 40㎛ 이하 수준의 극박에서는 상기 텐션 버클링과 더불어 열처리 시의 장력에 의해 부분적으로 합금 박에 주름이 발생할 수 있고, 상기 주름이 롤을 타고 넘어갈 때에 찢어짐 등의 손상이 발생하는 문제도 있었다.
그리고 유기발광다이오드는 유리 기판에 형성된 박막 트랜지스터(TFT: thin film transistor)위에 파인 메탈 마스크를 정확한 위치로 일치시켜 유기물을 증착시켜야 하기 때문에, 위와 같이 평탄도가 저해된 파인 메탈 마스크로 증착을 하게 되면, 원하는 디스플레이를 구동시키는 소자인 박막 트랜지스터 위가 아닌 틀어진 위치에 유기물이 증착되어, RGB의 색 번짐 불량이 발생하게 된다.
따라서 두께 40㎛ 이하의 극박에서도 판 형상 불량이 없고 열팽창 특성이 우수한 철-니켈 합금 박을 제조할 수 있는 제조방법이 요구되고 있었다.
본 발명은 판 형상이 향상된 철-니켈 합금 박의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 과제는 상술한 내용에 한정하지 않는다. 본 발명의 추가적인 과제는 명세서 전반적인 내용에 기재되어 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상적인 지식을 가지는 자라면 본 발명의 명세서로부터 본 발명의 추가적인 과제를 이해하는데 아무런 어려움이 없을 것이다.
본 발명의 일 측면은 철-니켈 합금 박의 제조방법으로서, 전주도금법(Electroforming)을 이용하여, 중량%로, Ni 34~46%, 잔부는 Fe 및 불가피한 불순물을 포함하며, 두께가 40㎛ 이하(0㎛ 제외)인 철-니켈 합금 박을 제조하는 철-니켈 합금 박 제조단계; 및 연속 열처리로를 통해 상기 철-니켈 합금 박을 열처리하는 열처리 단계;를 포함하고, 상기 철-니켈 합금 박의 열처리 시 상기 연속 열처리로의 인입부에서의 장력이 0.01N/㎟ 이상 0.5N/㎟ 미만인 철-니켈 합금 박의 제조방법을 제공한다.
상기 열처리 단계에서 열처리 온도는 300 ~ 345℃ 일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 상기 철-니켈 합금 박의 평탄도(I-unit)는 1.3 이하일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 열팽창계수는 5.5ppm/℃ 이하일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 평균 결정립 크기는 13㎚ 이상 50㎚ 이하일 수 있다.
상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 인장강도는 1.0㎬ 이상일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 철-니켈 합금 박의 제조방법에서는 파인 메탈 마스크 등의 전자소재로 사용되는 철-니켈 합금 박의 열처리 시에 연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 조절하여 철-니켈 합금 박의 평탄도를 개선할 수 있는 효과가 있다.
이러한 평탄도가 개선된 철-니켈 합금 박으로 파인 메탈 마스크를 제작할 경우 고해상도의 파인 메탈 마스크 제작이 가능하여 유기발광다이오드의 색 선명도를 높일 수 있다.
또한 위 인입부에서의 장력을 조절함과 동시에 열처리 시 열처리 온도를 소정 범위로 함으로써 파인 메탈 마스크로서의 사용에 적합한 열팽창계수, 평균 결정립 크기 및 인장강도를 가지는 철-니켈 합금 박을 용이하게 제조할 수 있다.
도 1 은 철-니켈 합금 박의 연속 열처리 장치를 도식화하여 나타낸 것이다.
본 발명자들은 전술한 바와 같은 두께 40㎛ 이하의 합금 박의 연속 열처리 방법에서의 문제점을 해결하기 위해 깊이 연구하였으며, 그 결과 본 발명을 도출하기에 이르렀다.
이하, 본 발명에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명의 일 측면의 철-니켈 합금 박의 제조방법은 전주도금법(Electroforming)을 이용하여 철-니켈 합금 박을 제조하는 철-니켈 합금 박 제조 단계와 연속 열처리로를 통해 상기 철-니켈 합금 박을 열처리하는 열처리 단계를 포함한다.
상기 철-니켈 합금 박 제조단계에 의해 제조되는 철-니켈 합금 박은 중량%로, Ni 34~46%, 잔부는 Fe 및 불가피한 불순물을 포함하며, 두께가 40㎛ 이하(0㎛ 제외)인 것이 바람직하다.
상기 Ni 함량이 지나치게 낮을 경우, 철-니켈 합금 박의 열팽창계수가 급격하게 증가하는 문제가 있으므로, 상기 Ni 함량은 34중량% 이상인 것이 바람직하고, 35중량% 이상인 것이 보다 바람직하며, 36중량% 이상인 것이 보다 더 바람직하다. 반면, 그 함량이 지나치게 높을 경우, 철-니켈 합금 박의 열팽창계수가 유리 기판 등에 비해 지나치게 커지게 되는 문제가 있으므로, 상기 Ni 함량은 46중량% 이하인 것이 바람직하고, 44중량% 이하인 것이 보다 바람직하며, 42중량% 이하인 것이 한층 더 바람직하다.
한편 상기 철-니켈 합금 박의 두께가 두꺼우면 고해상도의 유기발광다이오드의 제조에 적용할 수 없다. 따라서 상기 철-니켈 합금 박의 두께는 40㎛ 이하인 것이 바람직하고, 18㎛ 이하인 것이 보다 바람직하다. 반면 고해상도의 유기발광다이오드의 제조 시 파인 메탈 마스크의 두께, 즉 철-니켈 합금 박의 두께는 얇을수록 유리하므로 그 하한은 별도로 한정하지 않는다(단, 0 ㎛ 초과). 다만, 철-니켈 합금 박이 너무 얇을 경우 파인 메탈 마스크의 제조 공정에서 덴트, 구김, 판파단 등의 문제가 발생할 가능성이 높아지므로, 그 하한은 5㎛ 이상으로 할 수 있다.
이후 상기 철-니켈 합금 박 제조단계에 의해 제조된 철-니켈 합금 박은 연속 열처리로에서 열처리된다. 이때 인입부 텐션 조절기 (1) 를 통해 상기 연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 0.01N/㎟ 이상 0.5N/㎟ 미만으로 제어하는 것이 바람직하다. 상기 철-니켈 합금 박은 연속 열처리로의 인입부 측에 배치된 인입부 텐션 조절기 (1) 를 거쳐 연속 열처리로 (2) 의 인입부로 연결되며, 위 장력은 상기 인입부 텐션 조절기 (1) 에서 철-니켈 합금 박을 당기거나 느슨하게 함으로써 조절할 수 있다.
도 1 에는 인입부 텐션 조절기 (1), 연속 열처리로 (2) 및 권취부 (3) 로 구성된 열처리 장치가 도시되어 있다. 전주도금법에 의해 제조된 상기 철-니켈 합금 박은 인입부 텐션 조절기 (1) 를 거쳐 연속 열처리로 (2) 의 인입부 측으로 연결되고, 그 다음 상기 연속 열처리로 (2) 에서 연속적으로 열처리된 후 권취부 (3) 에서 권취될 수 있다. 이때 인입부 텐션 조절기 (1) 는 연속 열처리로 (2) 의 인입부의 합금 박에 장력을 부여하는 기능을 수행하며, 상기 인입부 텐션 조절기 (1) 의 제어를 통해 연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 용이하게 조절할 수 있다.
상기 인입부에서의 장력이 0.5N/㎟ 이상일 경우, 철-니켈 합금 박에 텐션 버클링이 발생하여 판 형상에 변형이 일어나고, 이로 인해 합금 박에 부분적으로 말림(Curl)이 발생하여 평탄도가 저해된다. 따라서 인입부에서의 장력은 0.5N/㎟ 미만인 것이 바람직하고, 0.33N/㎟ 이하인 것이 보다 바람직하다. 반면 상기 인입부에서의 장력이 지나치게 낮을 경우 연속 열처리로 내에서 합금 박의 처짐 현상이 발생하고, 철-니켈 합금 박의 일부에서 사행(meandering)이 나타나는 문제가 발생한다. 따라서 인입부에서의 장력은 0.01N/㎟ 이상인 것이 바람직하다.
또한 상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 상기 철-니켈 합금 박의 평탄도(Waviness, I-unit)는 1.3 이하인 것이 바람직하다. 상기 연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 0.5N/㎟ 미만으로 조절함으로써, 상기 평탄도를 1.3 이하로 제어할 수 있다. 상기 평탄도는 철-니켈 합금 박의 평탄한 정도를 나타내는 값으로서 하기 식 1 을 이용하여 계산할 수 있다.
[식 1] Waviness (I-unit) = [(L-Lref) / Lref] × 105
(여기서, L : 샘플의 펼침 길이, Lref : 샘플의 기준 길이)
상기 평탄도 값이 1.3 을 초과할 경우 파인 메탈 마스크 제조 후 총 피치(total pitch)가 커져서 최종적으로는 마스크 패턴 정밀도가 저하되는 원인이 될 수 있다. 반면에 유기발광다이오드의 제조 과정에서 파인 메탈 마스크의 평탄도가 좋을 수록 유리 기판에 형성된 박막 트랜지스터 위에 파인 메탈 마스크를 정확한 위치로 일치시킬 수 있으므로, 상기 평탄도 값은 낮을수록 바람직하다. 따라서 상기 평탄도 값이 0 일 때 더 좋은 파인 메탈 마스크의 제작이 가능한 것이므로 상기 평탄도 값의 하한은 한정할 필요가 없다.
한편 파인 메탈 마스크로서 적합하게 사용되기 위하여, 열처리 후의 철-니켈 합금 박은 5.5ppm/℃ 이하의 열팽창계수, 13㎚ 이상 50㎚ 이하의 평균 결정립 크기, 1.0㎬ 이상의 인장강도를 가지는 것이 바람직하다.
연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 조절함과 동시에 연속 열처리로에서의 열처리 온도를 조절함으로써, 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 평균 결정립 크기, 인장강도 및 열팽창계수의 인자를 조절할 수 있다. 특히 인입부 장력을 0.5N/㎟ 미만으로 조절하면서 300 ~ 345℃ 범위의 열처리 온도로 열처리하면, 위 조건을 충족하는 열팽창계수, 평균 결정립 크기 및 인장강도를 가지는 철-니켈 합금 박을 얻을 수 있다. 이러한 열처리 온도는 300 ~ 330℃ 인 것이 보다 바람직하다.
열처리 후의 철-니켈 합금 박의 열팽창계수가 5.5ppm/℃ 를 초과하는 경우, 박막 트랜지스터가 형성된 유리 기판과의 열팽창 정도의 차이가 너무 커지게 된다. 이 때문에 유기발광다이오드의 제조 시 열을 통한 증착 과정 중에 유리 기판과 파인 메탈 마스크가 동시에 가열될 때, 파인 메탈 마스크에 상당한 길이 변화가 발생해 유리 기판의 박막 트랜지스터 상의 정확한 위치에 유기물이 증착되기 어렵게 된다. 따라서 상기 열팽창계수는 5.5ppm/℃ 이하인 것이 바람직하고, 5.0ppm/℃ 이하인 것이 보다 바람직하다. 그리고 상기 열팽창계수는 하기 식 2 를 이용하여 쉽게 계산할 수 있다.
[식 2] 열팽창계수(CTE, ppm/℃) = [ΔL / (Lref·ΔT)]
(여기서, ΔL : 변화 온도 구간에서의 길이 변화량, Lref : 샘플의 기준 길이, ΔT : 온도 변화량)
또한 실제 통상적인 유기발광다이오드의 제조공정에서는 파인 메탈 마스크는 제조라인에 고정되고 온도가 다른 유리 기판이 새로이 투입된다. 이때 온도가 다른 유리 기판이 증착챔버 내로 새로 투입되는 과정에서 온도 차이로 인해 파인 메탈 마스크의 길이 변화가 발생할 수 있고, 이로 인해 유기발광다이오드의 불량이 발생할 확률이 높아질 수 있다. 따라서 상기 열팽창계수는 낮을수록 유기발광다이오드 제조에 유리하므로 그 하한은 특별히 한정하지 않는다. 특히, 상기 열팽창계수가 0ppm/℃ 이면 보다 바람직하다.
한편 과도한 열처리에 따른 비정상 결정립 성장으로 인하여 상기 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 평균 결정립 크기가 지나치게 커지는 경우 합금 박의 평탄도가 커지는 문제가 있다. 따라서 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 평균 결정립 크기는 50㎚ 이하인 것이 바람직하다.
반면, 충분하지 않은 열처리로 인하여 상기 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 평균 결정립 크기가 지나치게 작은 경우 철-니켈 합금 박의 열팽창율이 커지는 문제가 발생할 수 있다. 따라서 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 평균 결정립 크기는 13㎚ 이상인 것이 바람직하다. 상기 평균 결정립 크기는 열처리 후 상기 철-니켈 합금 박에 대해 X-Ray 회절 분석을 실시하고, 상기 분석에 의한 회절 피크의 반가폭(FWHM, full width at half maximum)을 이용하여, Scherrer 식을 사용하여 쉽게 계산할 수 있다.
상기 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 인장강도가 지나지게 작을 경우, 파인 메탈 마스크의 제조공정에서 덴트, 구김, 판파단 등의 문제가 발생할 수 있다. 따라서 상기 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 인장강도는 1.0㎬ 이상인 것이 바람직하다. 반면, 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 인장강도가 커져도 파인 메탈 마스크의 제조공정에서 특별한 문제가 발생하지 않으므로, 상기 열처리 후의 철-니켈 합금 박의 인장강도의 상한은 특별히 한정하지 않는다.
(실시예)
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 다만, 하기 실시예는 본 발명을 예시하여 구체화하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 권리범위를 제한하기 위한 것이 아니라는 점에 유의할 필요가 있다. 본 발명의 권리범위는 청구범위에 기재된 사항과 이로부터 합리적으로 유추되는 사항에 의하여 결정되는 것이기 때문이다.
먼저 전주도금법을 이용하여 Ni 함량이 40중량%인 30㎛ 두께의 철-니켈 합금 박을 제조하였다. 이후 상기 철-니켈 합금 박을 연속 열처리로의 인입부에서 권취부까지 연결하여 연속적으로 열처리를 실시하였다. 이때 연속 열처리로의 열처리 조건은 330℃의 열처리 온도 및 20% 수소(80% 질소) 분위기로 하였다.
상기 철-니켈 합금 박을 이용하여 인입부에서의 장력을 0.07N/㎟ 에서 3.33N/㎟ 까지 점차 증가시키면서 실험을 진행하였다. 그리고 열처리 후의 철-니켈 합금 박에 대해 아래의 평가방법에 따라 평탄도, 열팽창계수, 평균 결정립 크기 및 인장강도를 측정하였다. 또한 주름은 육안으로 관찰하여 주름 발생 여부를 확인하였다. 그 결과를 하기 표 1 에 나타내었다.
1. 결정립 크기
X-Ray 회절 분석에 의한 회절 피크의 반가폭(FWHM, full width at half maximum)을 이용하여, 결정립 크기를 Scherrer식*을 사용하여 계산하였다.
* B.D.Cullity; Elements of X-Ray diffraction, (2nd ed., Addison-Wesley Pub., 1978) 102.
2. 인장강도
ASTM-SUB 기준으로 시편을 제작하여 strain speed 1㎛/sec 기준으로 미세 인장 시험기를 이용하여 측정하였다.
3. 평탄도(Waviness)
평탄도는 측정 후 하기 식 1 을 이용하여 계산하였다.
[식 1] Waviness (I-unit) = [(L-Lref) / Lref] × 105
(여기서, L : 샘플의 펼침 길이, Lref : 샘플의 기준 길이)
4. 열팽창계수(CTE)
열팽창율은 측정 후 하기 식 2 를 이용하여 계산하였다.
[식 2] CTE(ppm/℃) = [ΔL / (Lref·ΔT)]
(여기서, ΔL : 변화 온도 구간에서의 길이 변화량, Lref : 샘플의 기준 길이, ΔT : 온도 변화량)
구분 인입부 장력 (N/㎟) 평탄도
(I-unit) 		주름 발생 여부 열팽창계수
(ppm/℃) 		평균 결정립 크기 (nm) 인장강도
(㎬)
본발명예1 0.07 1.04 × 4.64 13.3 1.25
본발명예2 0.20 1.08 × 4.88 22.5 1.28
본발명예3 0.33 1.15 × 4.79 18.2 1.25
본발명예4 0.47 1.25 × 4.51 20.1 1.37
비교예1 0.67 1.48 ○ 4.95 19.3 1.32
비교예2 0.80 1.64 ○ 5.32 20.1 1.15
비교예3 1.00 2.04 ○ 5.44 21.4 1.22
비교예4 1.33 3.20 ○ 5.46 45.5 1.24
비교예5 3.33 6.46 ○ 5.62 48.6 1.31
본 발명의 조건에 따라 연속 열처리로의 인입부에서의 장력을 0.50N/㎟ 미만으로 제어한 본발명예 1 내지 4 에서는 평탄도 1.3 이하를 모두 만족하여 철-니켈 합금박의 평탄도가 현저하게 개선되었고, 주름도 발생하지 않아 합금 박의 손상을 최소화 할 수 있는 것을 확인할 수 있었다. 또한 열팽창계수(CTE), 평균 결정립 크기 및 인장강도도 모두 본 발명의 범위를 만족하는 양호한 철-니켈 합금 박을 얻을 수 있었다.
반면 인입부에서의 장력이 0.50N/㎟ 이상인 비교예 1 내지 5 에서는 평탄도가 1.3 이상을 나타내었을 뿐만 아니라, 합금 박에 주름이 발생하여 파인 메탈 마스크용 소재로 사용하기 부적합한 특성을 보였다.
1 연속 열처리로 인입부 텐션 조절기
2 연속 열처리로
3 권취부

Claims (6)

  1. 철-니켈 합금 박의 제조방법으로서,
    전주도금법(Electroforming)을 이용하여, 중량%로, Ni 34~46%, 잔부는 Fe 및 불가피한 불순물을 포함하며, 두께가 40㎛ 이하(0㎛ 제외)인 철-니켈 합금 박을 제조하는 철-니켈 합금 박 제조단계; 및
    연속 열처리로를 통해 상기 철-니켈 합금 박을 열처리하는 열처리 단계;
    를 포함하고,
    상기 철-니켈 합금 박의 열처리 시 상기 연속 열처리로의 인입부에서의 장력이 0.01N/㎟ 이상 0.5N/㎟ 미만인, 철-니켈 합금 박의 제조방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 열처리 단계의 열처리 온도는 300 ~ 345℃ 인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 박의 제조방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 상기 철-니켈 합금 박의 평탄도(I-unit)는 1.3 이하인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 박의 제조방법.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 열팽창계수는 5.5ppm/℃ 이하인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 박의 제조방법.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 평균 결정립 크기는 13㎚ 이상 50㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 박의 제조방법.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 철-니켈 합금 박의 열처리 후 인장강도는 1.0㎬ 이상인 것을 특징으로 하는 철-니켈 합금 박의 제조방법.
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