KR20190125181A - Article transport apparatus and article transport facility - Google Patents

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KR20190125181A
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히데오 요시오카
료지 모리시타
후미오 다카하라
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

An article transporting apparatus includes a first transfer loading unit, a second transfer loading unit installed at a higher place than the first transfer loading unit, and a lift configured to support the first transfer loading unit and the second transfer loading unit and move in a vertical direction. A first-category article and a second-category article different from the first-category article are objects to be conveyed, and the volume of the first-category article conveyed is larger than that of the second-category article conveyed. The first transfer loading unit is configured to be able to load and convey only the first-category article of the first- and second-category articles between itself and a spot where loading is performed. The second transfer loading unit is configured to be able to load both the first-category article and the second-category article between itself and a spot where loading is performed. The first transfer loading unit is configured to perform a loading operation between itself and the place where the loading is performed in a short time compared to the second transfer loading unit.

Description

물품 반송 장치 및 물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT APPARATUS AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}Article conveying apparatus and article conveying facility {ARTICLE TRANSPORT APPARATUS AND ARTICLE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 제1 이송탑재(移載) 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 포함하고 있는 물품 반송(搬送) 장치, 및 이것을 구비한 물품 반송 설비에 관한 것이다.The present invention provides a first transfer mounting device and a second transfer mounting device installed at a position overlapping with the first transfer mounting device when viewed in an up-down direction above and along the up-down direction than the first transfer mounting device. It relates to an article carrying apparatus comprising an apparatus, a lifting body supporting the first transfer mounting apparatus and the second transfer mounting apparatus and moving along the vertical direction, and an article carrying facility equipped with the same. .

이하, 배경 기술에 대하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 괄호 쓰기의 부호 또는 명칭은, 선행기술 문헌에 있어서의 부호 또는 명칭으로 한다. 이러한 물품 반송 장치의 일례가, 일본공개특허 제2018-039660호 공보에 기재되어 있다. 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 제1 이송탑재 장치[하방 이송탑재부(34a)]와, 제2 이송탑재 장치[상방 이송탑재부(34b)]와, 제1 이송탑재 장치 및 제2 이송탑재 장치를 지지하는 승강체[제2 승강체(32)]를 포함하고 있다. 제1 이송탑재 장치 및 제2 이송탑재 장치는 동일하게 구성되어 있고, 물품을 하방으로부터 지지하도록 구성되어 있다.The background art will be described below. In the following description, the code or name of parentheses writing is a code or name in the prior art document. An example of such an article conveying apparatus is described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2018-039660. The article conveying apparatus of Unexamined-Japanese-Patent No. 2018-039660 has the 1st conveyance mounting apparatus (downward conveyance mounting part 34a), the 2nd conveyance mounting apparatus (upward conveyance mounting part 34b), and the 1st conveyance mounting apparatus. And a lifting body (second lifting body 32) that supports the second transfer mounting apparatus. The 1st transfer mounting apparatus and the 2nd transfer mounting apparatus are comprised similarly, and are comprised so that an article may be supported from below.

일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치에 의해 물품을 반송함으로써 2개의 물품을 모아서 반송할 수 있도록 구성되어 있고, 물품의 반송 효율이 높아지고 있다.The article conveying apparatus of JP 2018-039660A is comprised so that two articles can be collected and conveyed by conveying an article by a 1st conveying apparatus and a 2nd conveying apparatus, and the conveyance efficiency of an article is It is rising.

일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치는, 1종류의 물품을 반송 대상으로 하고 있지만, 복수 종류의 물품을 반송 대상으로 하여, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송하는 것이 필요로 되는 경우가 있다.Although the article conveying apparatus of Unexamined-Japanese-Patent No. 2018-039660 makes one kind of goods object of conveyance, it is necessary to collect and convey different kinds of goods by carrying out several types of goods as object of conveyance. have.

예를 들면, 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치에서는, FOUP만을 반송 대상의 물품으로 하고 있지만, 이 FOUP와는 종류가 상이한 레티클을 수용하는 레티클용 용기를 반송하는 것이 필요로 되는 경우가 있다. 이와 같이 FOUP와 레티클용 용기를 반송하는 경우, 일반적으로, 레티클용 용기의 반송량은 FOUP의 반송량보다 적다. 이와 같이, 상이한 종류의 물품을 반송하는 경우에 있어서, 물품 종류마다의 반송량에 편차가 있는 경우도 있다.For example, in the article conveying apparatus of Unexamined-Japanese-Patent No. 2018-039660, although only a FOUP is made into the object of conveyance, when it is necessary to convey the reticle container which accommodates the reticle different from this FOUP, There is. Thus, when conveying a FOUP and a container for a reticle, the conveyance amount of the container for a reticle is generally less than the conveyance amount of a FOUP. Thus, when conveying a different kind of article, there may be a variation in the conveyed amount for every kind of article.

또한, 일본공개특허 제2018-039660호 공보의 물품 반송 장치에서는, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치로 동일한 형식(포크식)의 이송탑재 장치를 채용하고 있지만, 물품의 종류에 따라서 적절한 이송탑재 장치의 형식이 상이한 경우가 있고, 이송탑재 장치의 형식에 따라서 이송탑재 동작에 필요로 하는 시간이 상이한 경우가 있다. 그리고, 이송탑재 장치의 이송탑재 동작에 필요로 하는 시간은, 물품의 반송 효율에 영향을 준다. 따라서, 이송탑재 장치의 구성 등에 의해서는, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송 가능하도록 한 것에 의해, 반송 효율이 크게 저하될 가능성이 있다.In addition, although the article conveying apparatus of Unexamined-Japanese-Patent No. 2018-039660 employ | adopts the conveyance mounting apparatus of the same type (fork type) as a 1st conveying loading apparatus and a 2nd conveying mounting apparatus, it is suitable according to the kind of article. The format of the conveyance mounting apparatus may be different, and the time required for the conveyance mounting operation may vary depending on the form of the conveyance mounting apparatus. In addition, the time required for the transfer mounting operation of the transfer mounting apparatus affects the conveyance efficiency of the article. Therefore, according to the structure of a conveyance mounting apparatus, conveyance efficiency may fall largely by making it possible to collect and convey different kinds of articles.

이에, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송할 수 있으면서 반송 효율의 저하를 억제할 수 있는 물품 반송 장치의 실현이 요망된다.Accordingly, it is desirable to realize an article conveying apparatus capable of collecting and conveying different kinds of articles while suppressing a decrease in conveying efficiency.

상기를 감안한 물품 반송 장치의 특징 구성은, 제1 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 포함하고,The feature structure of the article conveying apparatus which considered in view of the above is the 1st conveyance mounting apparatus and the article installed in the position which overlaps with the said 1st conveyance loading apparatus when viewed from the upper direction which is upper than the said 1st conveying loading apparatus, and also along an up-down direction. 2 a conveying device, and a lifting body supporting the first conveying device and the second conveying device and moving along the vertical direction;

제1류 물품과, 상기 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송 대상이고, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고, 상기 제1 이송탑재 장치는 상기 제1류 물품과, 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기(自己)와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되고, 상기 제2 이송탑재 장치는 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을, 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성인 점에 있다.A first-class article and a second-class article different in kind from the first-class article are objects to be conveyed, and the conveyed amount of the first-class article is greater than the conveyed amount of the second-class article, and the first conveyance mounting The apparatus is configured to be transportable between the first kind article and only the first kind article of the second kind article between the porcelain and a transfer target object, and the second transfer mounting apparatus is the first class article. Both of the article and the second kind of article are configured to be transportable between the porcelain and the transport target location, and the first transport mounting device is configured to provide the first kind of article between the porcelain and the transport target location. It is a point that a conveyance mounting operation | movement is implementable in a short time compared with the said 2nd conveyance mounting apparatus.

상기 특징 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는 제2류 물품은 유지할 수 없지만, 물품의 이송탑재 동작이 비교적 빠르다. 이에 대하여, 제2 이송탑재 장치는 물품의 이송탑재 동작이 비교적 느리지만, 제1류 물품과 제2류 물품의 양쪽을 유지할 수 있다.According to the above feature configuration, the first transfer mounting apparatus cannot hold the second kind of article, but the transfer placement operation of the article is relatively fast. In contrast, the second transfer mounting apparatus can hold both the first-class article and the second-class article, although the transport-mounting operation of the article is relatively slow.

즉, 비교적 반송량이 적은 제2류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 느린 제2 이송탑재 장치를 이용하여 반송하고, 비교적 반송량이 많은 제1류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 빠른 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치의 양쪽을 이용하여 반송할 수 있으므로, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.That is, the 1st conveyance loading apparatus which conveys with a 2nd conveying apparatus with a comparatively slow conveyance loading operation with respect to the 2nd kind goods with a comparatively small conveyance amount, and the conveyance loading operation | movement is relatively quick with respect to the 1st kind article which has a relatively high conveyance amount. Since it can convey using both of and a 2nd conveying mounting apparatus, the fall of conveyance efficiency can be suppressed.

[도 1] 물품 반송 설비의 정면도이다.
[도 2] 물품 반송 장치의 측면도이다.
[도 3] 제1 유지부가 하강 위치이고 또한 제1 인퇴(引退) 위치에 있는 제1 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 4] 제1 유지부가 하강 위치이고 또한 제1 돌출 위치에 있는 제1 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 5] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 6] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 7] 제2 유지부가 상승 위치이고 또한 제2 인퇴 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 8] 제2 유지부가 제1종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 9] 제2 유지부가 제2종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 10] 제2 유지부가 제3종용 하강 위치이고 또한 제2 돌출 위치에 있는 제2 이송탑재 장치의 측면도이다.
[도 11] 제1 컨베이어의 평면도이다.
[도 12] 제2 컨베이어 및 제3 컨베이어의 평면도이다.
[도 13] 제2 컨베이어 및 제3 컨베이어의 종단 정면도이다.
[도 14] 제어 블록도이다.
[도 15] 이송탑재 동작의 설명도이다.1 is a front view of an article carrying facility.
2 is a side view of the article carrying apparatus.
Fig. 3 is a side view of the first conveying device in which the first holding portion is in the lowered position and is in the first retracted position.
Fig. 4 is a side view of the first conveying device in which the first holding part is in the lowered position and is in the first protruding position.
FIG. 5 is a side view of the second conveyance mounting apparatus in the raised position and in the second withdrawn position. FIG.
Fig. 6 is a side view of the second conveying equipment in which the second holding portion is in the raised position and is in the second withdrawn position.
FIG. 7 is a side view of the second transfer mounting apparatus in which the second holding portion is in the raised position and in the second withdrawn position. FIG.
Fig. 8 is a side view of the second transfer mounting apparatus in which the second holding portion is in the lowering position for the first kind and in the second protruding position.
Fig. 9 is a side view of the second transfer mounting apparatus in which the second holding part is in the lowered position for the second type and in the second protruding position.
Fig. 10 is a side view of the second conveyance mounting apparatus in the lower position for the third kind and in the second projecting position.
11 is a plan view of the first conveyor.
12 is a plan view of a second conveyor and a third conveyor.
It is a longitudinal front view of a 2nd conveyor and a 3rd conveyor.
Fig. 14 is a control block diagram.
Fig. 15 is an explanatory diagram of a transfer mounting operation.

1. 실시형태1. Embodiment

물품 반송 장치를 포함한 물품 반송 설비의 실시형태에 대하여 도면에 기초하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of the article carrying facility containing an article carrying apparatus is described based on drawing.

도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는 승강식 반송 장치(1)(물품 반송 장치에 상당)와 컨베이어식 반송 장치(2)를 포함하고 있다. 승강식 반송 장치(1)는 하층(D)과 이 하층(D)보다 계층이 위인 상층(U) 사이에서 물품을 반송한다. 컨베이어식 반송 장치(2)는 하층(D) 및 상층(U)의 각각에 설치되어 있고, 물품을 수평 방향을 따라 반송한다.As shown in FIG. 1, the article conveying apparatus contains the lifting type conveying apparatus 1 (equivalent to the article conveying apparatus), and the conveyor type conveying apparatus 2. As shown in FIG. The lift-type conveying apparatus 1 conveys an article between the lower layer D and the upper layer U whose layer is higher than this lower layer D. FIG. The conveyor conveyance apparatus 2 is provided in each of the lower layer D and the upper layer U, and conveys an article along a horizontal direction.

승강식 반송 장치(1) 및 컨베이어식 반송 장치(2)의 각각은, 제1류 물품(K1)과, 상기 제1류 물품(K1)과는 종류가 상이한 제2류 물품(K2)이 반송 대상이다. 제2류 물품(K2)에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)이 포함되어 있다. 제1류 물품(K1)은 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품(T1)이다. 즉, 승강식 반송 장치(1) 및 컨베이어식 반송 장치(2)의 각각은, 외형 치수가 서로 상이한 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 반송 대상으로 하고 있다.As for each of the lifting type conveying apparatus 1 and the conveyor type conveying apparatus 2, the 1st kind goods K1 and the 2nd kind goods K2 from which the kind differs from the said 1st kind goods K1 convey are conveyed. It is a target. The second kind article K2 includes a second type article T2 and a third type article T3 which differ in external dimension from each other. The first kind article K1 is a first kind article T1 that is different in external dimension from both the second type article T2 and the third type article T3. That is, each of the lifting type conveying apparatus 1 and the conveyor type conveying apparatus 2 has the 1st type article T1, the 2nd type article T2, and the 3rd type article T3 which differ in external dimension from each other. It is a return object.

그리고, 제1류 물품(K1)의 반송량은 제2류 물품(K2)의 반송량보다 많다. 즉, 제1종 물품(T1)의 반송량은, 제2종 물품(T2)의 반송량과 제3종 물품(T3)의 반송량의 합계보다 많다. 본 실시형태에서는, 제1종 물품(T1)에 비하여 반송량이 적은 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 합하여 제2류 물품(K2)으로 하고, 반송량이 많은 제1종 물품(T1)을 제1류 물품(K1)으로서 분류하고 있다.And the conveyance amount of the 1st kind goods K1 is larger than the conveyance amount of the 2nd kind goods K2. That is, the conveyance amount of the 1st type goods T1 is larger than the sum of the conveyance amount of the 2nd type goods T2, and the conveyance amount of the 3rd type goods T3. In this embodiment, the 2nd type article T2 and the 3rd type article T3 which have a small conveyance quantity compared with the 1st type article T1 are put together as the 2nd type article K2, and the 1st type with many conveyance quantities The article T1 is classified as the first kind article K1.

제1종 물품(T1)은 상부에 제1 피유지부(F1)를 구비하고 있다. 제2종 물품(T2)은 상부에 제2 피유지부(F2)를 구비하고 있다. 제3종 물품(T3)은 상부에 제3 피유지부(F3)를 구비하고 있다. 그리고, 제1 피유지부(F1)는 제1류 물품(K1)의 상부에 구비된 제1류 피유지부(R1)에 상당하고, 제2 피유지부(F2) 및 제3 피유지부(F3)는 제2류 물품(K2)의 상부에 구비된 제2류 피유지부(R2)에 상당한다.The first type article T1 includes a first held portion F1 at an upper portion thereof. The second type article T2 has a second held portion F2 thereon. The third type article T3 has a third held portion F3 thereon. The first held portion F1 corresponds to the first held portion R1 provided on the upper portion of the first kind article K1, and the second held portion F2 and the third held portion F3 is corresponded to the 2nd class to-be-held part R2 provided in the upper part of the 2nd type article K2.

제2종 물품(T2)은 제3종 물품(T3)보다 상하 방향 Z의 치수가 크고, 제1종 물품(T1)은 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)보다 상하 방향 Z의 치수가 크다. 그러므로, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)를 유지한 경우의 제2종 물품(T2)의 하단의 높이는, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제3종 물품(T3)의 제3 피유지부(F3)를 유지한 경우의 제3종 물품(T3)의 하단의 높이보다 낮아진다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제1종 물품(T1)의 제1 피유지부(F1)를 유지한 경우의 제1종 물품(T1)의 하단의 높이는, 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)를 유지한 경우의 제2종 물품(T2)의 하단의 높이, 및 제2 이송탑재 장치(7)의 제2 유지부(16)에 의해 제3종 물품(T3)의 제3 피유지부(F3)를 유지한 경우의 제3종 물품(T3)의 하단의 높이보다 낮아진다.The second type of article T2 has a larger dimension in the vertical direction Z than the third type of article T3, and the first type of article T1 has a vertical direction than the second type of article T2 and the third type of article T3. Z dimension is large. Therefore, the lower end of the second type article T2 when the second held portion F2 of the second type article T2 is held by the second holding portion 16 of the second transfer mounting apparatus 7. Height of the third type article T3 when the third held portion F3 of the third type article T3 is held by the second holding portion 16 of the second transfer mounting apparatus 7. Lower than the height of the bottom. In addition, the lower end of the first type article T1 when the first held portion F1 of the first type article T1 is held by the second holding unit 16 of the second transfer mounting apparatus 7. Height of the second type article T2 when the second holding portion F2 of the second type article T2 is held by the second holding portion 16 of the second transfer mounting apparatus 7. The third type article T3 when the height of the lower end and the third held portion F3 of the third type article T3 are held by the second holding section 16 of the second transfer mounting apparatus 7. ) Is lower than the height of the bottom.

본 실시형태에서는, 제1종 물품(T1)은 반도체 웨이퍼를 수용하는 웨이퍼용 용기이고, 제2종 물품(T2)은 EUV 마스크를 수용하는 EUV용 용기이며, 제3종 물품(T3)은 레티클을 수용하는 레티클용 용기이다. 구체적으로는, 제1종 물품(T1)은 FOUP(Front Opening Unified Pod) 및 FOSB(Front Opening Shipping Box)이다. 제2종 물품(T2)은 SEMI 규격의 E152에 따른 EUV용 용기이다. 제3종 물품(T3)은 SEMI 규격의 E111에 따른 레티클용 용기이다. 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2) 및 제3 피유지부(F3)는, 각 용기의 상면부에 구비된 플랜지부다.In the present embodiment, the first type article T1 is a container for wafers containing a semiconductor wafer, the second type article T2 is a container for EUV containing an EUV mask, and the third type article T3 is a reticle It is a container for a reticle to accommodate. Specifically, the first type article T1 is a front opening unified pod (FOUP) and a front opening shipping box (FOSB). The second type article T2 is a container for EUV according to E152 of the SEMI standard. The third type article T3 is a container for a reticle according to E111 of the SEMI standard. The first to-be-held part F1, the second to-be-held part F2, and the third to-be-held part F3 are flange parts provided in the upper surface part of each container.

본 실시형태에서는, 승강식 반송 장치(1)에 있어서의 제2 이송탑재 장치(7)의 동작에 영향을 주는 부위의 외형 치수가 상이한 경우에 「외형 치수가 상이함」으로 하고 있다. 즉, 제2 이송탑재 장치(7)는 용기의 플랜지부를 유지하는 구성이므로, 용기에 있어서의 플랜지부의 높이가 같은 높이에 있고, 또한 상기 플랜지부의 형상이 동일한 경우에는, 「외형 치수가 동일함」으로 하고 있고, 용기의 플랜지부의 높이가 상이하거나, 또는 상기 플랜지부의 형상이 상이한 경우에는 「외형 치수가 상이함」으로 하고 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)을 모두 지지할 수 있지만, 제1종 물품(T1)의 바닥면과 제2종 물품(T2)의 바닥면과 제3종 물품(T3)의 바닥면이 같은 높이로 지지되고 있는 경우에는, 이들 물품의 플랜지부의 높이가 상이하므로, 이들 물품은 「외형 치수가 상이한」 것이고, 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)에서는 이송탑재하는 경우의 동작이 상이한 것으로 된다. 그러므로, 이들 제1종 물품(T1)과 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)은 상이한 종류로 하고 있다. 한편, 제1종 물품(T1)으로서 FOUP와 FOSB가 있지만, 이들은 용기의 플랜지의 높이가 같으며 플랜지부의 형상도 동일하므로, 이들은 「외형 치수가 상이한」 것이 아니고, 외형 치수가 동일한 물품, 즉 동일한 종류의 물품으로 하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)의 플랜지부의 형상이 동일하다. 즉 본 실시형태에서는, 플랜지부의 형상이 동일한 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)이 제2류 물품(K2)으로 분류되고, 이들과 플랜지부의 형상이 상이하고, 또한 플랜지부의 높이도 상이한 제1종 물품(T1)이 제1류 물품(K1)으로 분류되고 있다.In this embodiment, when the external dimension of the site | part which affects the operation | movement of the 2nd conveyance mounting apparatus 7 in the lifting type conveying apparatus 1 is different, it is set as "an external dimension is different." That is, since the 2nd conveying mounting apparatus 7 is a structure which hold | maintains the flange part of a container, when the height of the flange part in a container exists in the same height, and the shape of the said flange part is the same, "the external dimension is Same ", and when the height of the flange part of a container differs or the shape of the said flange part differs, it is set as" an external dimension is different. " Although the second transfer mounting apparatus 7 can support both the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3, the bottom surface of the first type article T1. In the case where the bottom surface of the second type article T2 and the bottom surface of the third type article T3 are supported at the same height, the heights of the flange portions of these articles are different. Different from the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3. Therefore, these 1st type articles T1, 2nd type articles T2, and 3rd type articles T3 are different types. On the other hand, there are FOUP and FOSB as the first type article T1, but since they have the same height of the flanges of the container and the same shape of the flange portions, they are not "different in external dimension", but an article having the same external dimension, that is, It is made of the same kind of goods. And in this embodiment, the shape of the flange part of the 2nd type article T2 and the 3rd type article T3 is the same. That is, in this embodiment, the 2nd type goods T2 and the 3rd type goods T3 which have the same shape of a flange part are classified into the 2nd type goods K2, and these and the shape of a flange part differ, and The first kind article T1, which also differs in the height of the flange portion, is classified as the first kind article K1.

승강식 반송 장치(1)는 제1 이송탑재 장치(6)와, 제1 이송탑재 장치(6)보다 상방이자 또한 상하 방향 Z를 따르는 상하 방향 Z에서 볼 때 제1 이송탑재 장치(6)와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치(7)와, 제1 이송탑재 장치(6) 및 제2 이송탑재 장치(7)를 지지하고 또한 승강용 모터(9)(도 14 참조)의 구동에 의해 상하 방향 Z를 따라 이동하는 승강체(8)를 포함하고 있다.The lifting conveying apparatus 1 includes the first conveying device 6 and the first conveying device 6 when viewed from the upper and lower directions Z along the upper and lower directions Z and above the first conveying device 6. It supports the 2nd conveying mounting apparatus 7 installed in the position which overlaps, the 1st conveying mounting apparatus 6, and the 2nd conveying mounting apparatus 7, and drives the elevating motor 9 (refer FIG. 14). And the lifting body 8 moving along the vertical direction Z is included.

제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]과 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)] 중 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]만을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)] 및 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)]의 양쪽을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되어 있다.The first transfer mounting apparatus 6 includes a first kind article K1 (a first kind article T1) and a second kind article K2 (a second kind article T2 and a third kind article T3). ], Only the first kind article K1 (first kind article T1) is configured to be transportable between the porcelain and the transport mounting target point 3. The second transfer mounting apparatus 7 includes the first kind article K1 [first kind article T1] and the second kind article K2 [second kind article T2 and the third kind article T3]. ] Are configured to be transportable between the porcelain and the transport mounting target point 3.

그리고, 제1 이송탑재 장치(6)에 있어서, 「자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능」이란, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 이송탑재 장치(6)로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1류 물품(K1)을 이송탑재하는 것이나, 제1 이송탑재 장치(6)가 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1류 물품(K1)을 이송탑재할 수 있는 것을 나타내고 있다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)에 있어서, 「자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재 가능」이란, 제2 이송탑재 장치(7)가 제2 이송탑재 장치(7)로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 이송탑재하는 것이나, 제2 이송탑재 장치(7)가 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 이송탑재할 수 있는 것을 나타내고 있다.In addition, in the 1st conveyance mounting apparatus 6, the "conveyance mounting between a magnetic body and the conveyance mounting target point 3" means that the 1st conveyance mounting apparatus 6 conveys from the 1st conveyance mounting apparatus 6 The first-class article K1 is transported to the mounting target point 3, or the first transport-mounted device 6 is transported to the first transport-mounted device 6 from the transport-mounted location 3. It shows that K1 can be transported. In addition, in the 2nd transfer mounting apparatus 7, the "conveyance mounting between magnetic and transfer target object 3" means that the 2nd transfer mounting apparatus 7 transfers from the 2nd transfer mounting apparatus 7. The conveyance-mounted first kind article K1 or the second kind article K2 is mounted to the mounting target location 3, and the 2nd conveyance mounting apparatus 7 is a 2nd conveyance mounting apparatus from the conveyance target object point 3; (7) shows that the first kind article K1 or the second kind article K2 can be transported.

도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 상하 방향 Z에서 볼 때, 승강체(8)의 주위에 위치하도록 이송탑재 대상 개소(3)가 구비되어 있다. 이 이송탑재 대상 개소(3)에는, 물품을 지지하는 지지체(10)나, 컨베이어식 반송 장치(2)의 일부가 구비되어 있다. 제1 이송탑재 장치(6)는 자기와 지지체(10) 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재하고, 또한 자기와 컨베이어식 반송 장치(2) 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재한다. 제2 이송탑재 장치(7)는, 자기와 지지체(10) 사이에서 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 이송탑재하고, 또한 자기와 컨베이어식 반송 장치(2) 사이에서 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 이송탑재한다.As shown in FIG. 11 and FIG. 12, when viewed in the up-down direction Z, the transfer mounting target point 3 is provided so as to be located around the lifting body 8. The transfer mounting target point 3 is provided with a support 10 for supporting the article and a part of the conveyor conveyance apparatus 2. The first transfer mounting device 6 transfers the first type article T1 between the porcelain and the support 10, and also transfers the first type article T1 between the porcelain and the conveyor conveyance device 2. Mount. The second transfer mounting apparatus 7 transfers and mounts the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3 between the porcelain and the support 10, and the porcelain and the conveyor. The first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3 are transported between the expression conveying apparatus 2.

도 2에 나타낸 바와 같이, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]을 유지하는 제1 유지부(11)와, 제1 유지부(11)를 제1 인퇴 위치와 제1 인퇴 위치에 대하여 이송탑재 대상 개소(3)가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴(出退) 기구(12)와, 제1 유지부(11)를 제1 출퇴 기구(12)에 대하여 상하 방향 Z로 이동시키는 제1 승강 기구(13)와, 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따르는 축심(軸心) 주위로 선회시키는 제1 선회 기구(14)를 구비하고 있다.As shown in FIG. 2, the 1st conveyance mounting apparatus 6 includes the 1st holding part 11 which hold | maintains the 1st kind article K1 (1st kind article T1), and the 1st holding part ( A first retracting mechanism 12 for moving 11) to the first retracted position and the first retracted position protruding toward the side where the transfer target object 3 exists with respect to the first retracted position and the first retracted position; 1st lifting mechanism 13 which moves the part 11 in the up-down direction Z with respect to the 1st pulling-out mechanism 12, and turning the 1st pulling-out mechanism 12 around the axial center along a vertical Z direction. A first swing mechanism 14 is provided.

본 실시형태에서는, 제1 출퇴 기구(12)는 스칼라 암(scalar arm)에 의해 구성되어 있다. 제1 출퇴 기구(12)의 기부(基部)가 승강체(8)에 대하여, 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 제1 출퇴 기구(12)의 선단부에 제1 승강 기구(13)가 연결되어 있다. 제1 출퇴 기구(12)는, 출퇴 방향 X를 따라 신축함으로써 제1 유지부(11)를 출퇴 방향 X를 따라 이동시킨다. 제1 승강 기구(13)는 제1 출퇴 기구(12)에 고정된 본체부(13A)와, 본체부(13A)에 승강 가능하게 지지되고 또한 제1 유지부(11)에 고정된 승강부(13B)를 구비하고 있다. 제1 승강 기구(13)는, 승강부(13B)를 본체부(13A)에 대하여 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킨다. 제1 유지부(11)는, 제1류 물품(K1)의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 제1류 물품(K1)을 유지하도록 구성되어 있다.In this embodiment, the 1st exit mechanism 12 is comprised by the scalar arm. The base of the 1st exit mechanism 12 is rotatably connected with respect to the lifting body 8 about the axial center along the up-down direction Z. As shown in FIG. And the 1st lifting mechanism 13 is connected to the front-end | tip of the 1st exit mechanism 12. As shown in FIG. The 1st exit mechanism 12 expands and contracts along the exit direction X, and moves the 1st holding part 11 along the exit direction X. As shown in FIG. The first lifting mechanism 13 is a main body portion 13A fixed to the first exit mechanism 12 and a lifting portion supported by the main body portion 13A so as to be liftable and fixed to the first holding portion 11 ( 13B). The first elevating mechanism 13 moves the elevating portion 13B along the vertical direction Z with respect to the main body portion 13A to move the first holding portion 11 along the vertical direction Z. As shown in FIG. The first holding part 11 is configured to hold the first kind article K1 by supporting the bottom surface of the first kind article K1 from below.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1류 물품(K1)을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 동작을 행한다. 제1 이송탑재 장치(6)는 이송탑재 동작으로서, 승강체(8)와 이송탑재 대상 개소(3)를 연결하는 방향(출퇴 방향 X)을 따라 돌출 및 인퇴하는 출퇴 동작과, 상하 방향 Z를 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the 1st conveyance mounting apparatus 6 performs the conveyance mounting operation which conveys and mounts the 1st goods K1 between magnetism and the conveyance loading target location 3. The 1st transfer mounting apparatus 6 is a transfer deployment operation | movement, and the retreat operation | movement which protrudes and retracts along the direction (retraction direction X) which connects the lifting body 8 and the transfer mounting target location 3, and the up-down direction Z is performed. Thus, the lifting and lowering operation is configured.

제1 이송탑재 장치(6)의 출퇴 동작은, 제1 출퇴 기구(12)에 의해 제1 유지부(11)를 제1 인퇴 위치로부터 제1 돌출 위치에 돌출시키는 제1 돌출 동작과, 제1 출퇴 기구(12)에 의해 제1 유지부(11)를 제1 돌출 위치로부터 제1 인퇴 위치에 인퇴시키는 제1 인퇴 동작을 포함한다. 또한, 제1 이송탑재 장치(6)의 승강 동작은, 제1 승강 기구(13)에 의해 제1 유지부(11)를 하강 위치로부터 상승 위치로 상승시키는 제1 상승 동작과, 제1 승강 기구(13)에 의해 제1 유지부(11)를 상승 위치로부터 하강 위치로 하강시키는 제1 하강 동작을 포함한다.The withdrawal operation of the first transfer mounting device 6 includes a first protruding operation for protruding the first holding part 11 from the first withdrawal position to the first protruding position by the first withdrawal mechanism 12, and the first withdrawal operation. And a first retracting operation for retracting the first holding part 11 from the first projecting position to the first retracted position by the retracting mechanism 12. In addition, the lifting operation of the 1st conveyance mounting apparatus 6 is the 1st lifting operation which raises the 1st holding part 11 from a lowered position to a raise position by the 1st lifting mechanism 13, and a 1st lifting mechanism And a first lowering operation of lowering the first holding part 11 from the raised position to the lowered position by (13).

제1 이송탑재 장치(6)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는 제1 유지부(11)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제1 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제1 돌출 동작, 제1 하강 동작, 제1 인퇴 동작의 순으로 행한다.The 1st conveyance mounting apparatus 6 is a 1st holding part which hold | maintains the 1st type article T1, when carrying the 1st type article T1 from the porcelain to the conveyance mounting target location 3, 11) is in the up position in the up-down direction Z and is in the first withdrawal position in the retreat direction X, in order of the first protruding operation, the first lowering operation, and the first withdrawal operation.

또한, 제1 이송탑재 장치(6)는, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있지 않은 제1 유지부(11)가 상하 방향 Z에 있어서 하강 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제1 인퇴 위치에 있는 상태로부터 제1 돌출 동작, 제1 상승 동작, 제1 인퇴 동작의 순으로 행한다.In addition, the 1st conveyance mounting apparatus 6 is the 1st thing which does not hold the 1st type article T1, when carrying the 1st type article T1 to itself from the conveyance loading target location 3. From the state in which the holding | maintenance part 11 is in the down position in the up-down direction Z, and in the 1st withdrawal position in the retreat direction X, it performs in order of 1st protrusion operation, 1st raising operation, and 1st retraction operation.

그리고, 제1 이송탑재 장치(6)는, 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전시키는 것에 의해, 제1 출퇴 기구(12)를 신축시켰을 때의 제1 유지부(11)의 출퇴 방향 X를 변경 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 주위에 늘어서는 5개의 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 제1종 물품(T1)을 이송탑재할 수 있도록 되어 있다.And the 1st conveyance mounting apparatus 6 rotates the 1st pull-out mechanism 12 around the axial center along the up-down direction Z, and the 1st holding | maintenance part at the time of expanding | stretching the 1st pull-out mechanism 12 ( It is comprised so that the exit direction X of 11) can be changed. This makes it possible to transfer-mount the first type article T1 between the five transfer-mounted locations 3 arranged around the periphery.

제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]과 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)] 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부(16)와, 제2 유지부(16)를 제2 인퇴 위치와 제2 인퇴 위치에 대하여 이송탑재 대상 개소(3)가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구(17)와, 제2 유지부(16)를 제2 출퇴 기구(17)에 대하여 상하 방향 Z로 이동시키는 제2 승강 기구(18)와, 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 선회시키는 제2 선회 기구(19)를 구비하고 있다.The second transfer mounting apparatus 7 includes the first kind article K1 (first kind article T1) and the second kind article K2 (second kind article T2 and the third kind article T3). ] The second holding | maintenance part 16 which can hold | maintain both, and the 2nd protrusion which protruded the 2nd holding part 16 to the side in which the target object 3 to be conveyed with respect to the 2nd withdrawn position and the 2nd withdrawn position exists. The second withdrawal mechanism 17 for moving to the position, the second elevating mechanism 18 for moving the second holding part 16 in the vertical direction Z with respect to the second withdrawal mechanism 17, and the second withdrawal mechanism ( The 2nd turning mechanism 19 which rotates 17) around the axial center along the up-down direction Z is provided.

본 실시형태에서는, 제2 출퇴 기구(17)는 스칼라 암에 의해 구성되어 있다. 제2 출퇴 기구(17)의 기부가 승강체(8)에 대하여, 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 연결되어 있다. 그리고, 제2 출퇴 기구(17)의 선단부에 제2 승강 기구(18)가 연결되어 있다. 제2 출퇴 기구(17)는, 출퇴 방향 X를 따라 신축함으로써 제2 유지부(16)를 출퇴 방향 X를 따라 이동시킨다. 제2 승강 기구(18)는, 제2 출퇴 기구(17)에 고정된 본체부(18A)와, 본체부(18A)에 승강 가능하게 지지되고 또한 제2 유지부(16)에 고정된 승강부(18B)를 구비하고 있다. 제2 승강 기구(18)는 승강부(18B)를 본체부(18A)에 대하여 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제2 유지부(16)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킨다. 제2 유지부(16)는 제1류 물품(K1)의 상부에 구비된 제1류 피유지부(R1)와, 제2류 물품(K2)의 상부에 구비된 제2류 피유지부(R2) 모두를 유지할 수 있도록 구성되어 있다.In this embodiment, the 2nd exit mechanism 17 is comprised by the scalar arm. The base of the 2nd exit mechanism 17 is rotatably connected with respect to the lifting body 8 around the axial center along the up-down direction Z. As shown in FIG. And the 2nd lifting mechanism 18 is connected to the front-end | tip of the 2nd drawing mechanism 17. As shown in FIG. The 2nd exit mechanism 17 expands and contracts along the exit direction X, and moves the 2nd holding part 16 along the exit direction X. As shown in FIG. The second lifting mechanism 18 is supported by the main body portion 18A fixed to the second exit mechanism 17 and the main body portion 18A so as to be liftable and fixed to the second holding portion 16. 18B is provided. The second elevating mechanism 18 moves the elevating portion 18B along the up-down direction Z with respect to the main body portion 18A, thereby moving the second holding portion 16 along the up-down direction Z. As shown in FIG. The second holding part 16 includes a first type held portion R1 provided on the first type article K1 and a second type held portion provided on the second type article K2 ( R2) is configured to hold all of them.

제2 유지부(16)에 대하여 설명을 부가한다. 제2 유지부(16)는, 수평 방향을 따라 서로 원근 이간 이동 가능한 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 구비하고 있다. 제2 유지부(16)는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 서로 접근시킨 접근 상태와, 한 쌍의 파지 클로우(16A)를 서로 이간시킨 이간 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다. 이간 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)의 간격은 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2), 제3 피유지부(F3)의 폭보다 넓고, 접근 상태에서는, 한 쌍의 파지 클로우(16A)는 제1 피유지부(F1), 제2 피유지부(F2), 제3 피유지부(F3)의 어느 폭보다도 좁다. 그러므로, 제2 유지부(16)는, 제1종 물품(T1)의 상부에 구비된 제1 피유지부(F1)와, 제2종 물품(T2)의 상부에 구비된 제2 피유지부(F2)와, 제3종 물품(T3)의 상부에 구비된 제3 피유지부(F3) 모두를 유지할 수 있도록 구성되어 있다.The description is added to the second holding unit 16. The 2nd holding part 16 is equipped with a pair of holding claw 16A which can mutually move away from each other along a horizontal direction. The 2nd holding part 16 is comprised so that switching to the approaching state which approached 16 A of pairs of holding claws, and the separation state which separated the pair of holding claws 16A from each other is possible. In the separated state, the interval between the pair of gripping claws 16A is wider than the width of the first held portion F1, the second held portion F2, and the third held portion F3, and in the approaching state, The pair of gripping claws 16A are narrower than any of the widths of the first held portion F1, the second held portion F2, and the third held portion F3. Therefore, the 2nd holding part 16 is the 1st hold part F1 provided in the upper part of the 1st type article T1, and the 2nd hold part provided in the upper part of the 2nd type article T2. It is comprised so that both (F2) and the 3rd hold part F3 provided in the upper part of the 3rd type goods T3 can be hold | maintained.

제2 이송탑재 장치(7)는, 제1류 물품(K1)이나 제2류 물품(K2)을 자기와 이송탑재 대상 개소(3) 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 동작을 행한다. 제2 이송탑재 장치(7)는 이송탑재 동작으로서, 출퇴 동작과 승강 동작에 더하여, 제1류 물품(K1) 또는 제2류 물품(K2)을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있다.The 2nd conveyance mounting apparatus 7 performs the conveyance mounting operation which conveys and mounts the 1st goods K1 and the 2nd goods K2 between magnetism and the object to be transported 3. The second transfer mounting apparatus 7 is configured to carry out a holding operation for holding the first kind article K1 or the second kind article K2 in addition to the withdrawal operation and the elevating operation as the transfer mounting operation.

제2 이송탑재 장치(7)의 출퇴 동작은, 제2 출퇴 기구(17)에 의해 제2 유지부(16)를 제2 인퇴 위치로부터 제2 돌출 위치에 돌출시키는 제2 돌출 동작과, 제2 출퇴 기구(17)에 의해 제2 유지부(16)를 제2 돌출 위치로부터 제2 인퇴 위치에 인퇴시키는 제2 인퇴 동작을 포함한다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 승강 동작은, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로 상승시키는 제2 상승 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제1종용 하강 위치로 하강시키는 제1종용 하강 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제2종용 하강 위치로 하강시키는 제2종용 하강 동작과, 제2 승강 기구(18)에 의해 제2 유지부(16)를 상승 위치로부터 제3종용 하강 위치로 하강시키는 제3종용 하강 동작을 포함한다. 또한, 제2 이송탑재 장치(7)의 유지 동작은, 제2 유지부(16)를 접근 상태로부터 이간 상태로 전환하는 이간 동작과, 제2 유지부(16)를 이간 상태로부터 접근 상태로 전환하는 접근 동작을 포함한다.The withdrawal operation of the second transfer mounting device 7 includes a second protruding operation for protruding the second holding part 16 from the second withdrawal position to the second protruding position by the second withdrawal mechanism 17, and the second withdrawing operation. And a second retracting operation for retracting the second holding portion 16 from the second projecting position to the second retracted position by the retracting mechanism 17. In addition, the lifting operation of the 2nd conveyance mounting apparatus 7 is the 2nd lifting operation which raises the 2nd holding part 16 to a raise position by the 2nd lifting mechanism 18, and the 2nd lifting mechanism 18 The 1st type lowering operation which lowers the 2nd holding part 16 from a raise position to the 1st type lowering position by the 2nd holding | maintenance mechanism, and the 2nd holding part 16 is moved from a raise position by the 2nd lifting mechanism 18 to 2nd. The second type descending operation for lowering to the vertically lowered position, and the third type lowering operation for lowering the second holding part 16 from the raised position to the third type lowered position by the second elevating mechanism 18 are included. In addition, the holding | maintenance operation | movement of the 2nd transfer mounting apparatus 7 is a separation operation which switches the 2nd holding part 16 from an approach state to a separation state, and switches the 2nd holding part 16 from an apart state to an access state. It includes an access operation.

제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.The 2nd conveyance mounting apparatus 7 is a 2nd holding part which hold | maintains the 1st kind article T1, when carrying the 1st type article T1 from the porcelain to the conveyance loading target location 3 from the porcelain ( 16) is in the up position in the up-down direction Z and is in the second withdrawal position in the retreat direction X, the second protruding operation, the first kind lowering operation, the separation operation, the second raising operation, and the second withdrawal operation. In order.

또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기로부터 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.In addition, when the 2nd transfer mounting apparatus 7 transfers and mounts the 1st type article T1 from the porcelain from the object to be transported 3, the 1st type article T1 and the 2nd type article T2. ), From the state in which the 2nd holding part 16 which does not hold any of the 3rd type articles T3 is in the up position in the up-down direction Z, and is in the 2nd withdrawal position in the retracting direction X, It performs in order of protrusion operation | movement, the 1st type descending operation | movement, an approaching operation, a 2nd raising operation, and a 2nd withdrawal operation.

제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 경우에는, 제2종 물품(T2)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제2종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.The 2nd conveyance mounting apparatus 7 is a 2nd holding part which hold | maintains the 2nd type article T2, when carrying the 2nd type article T2 from the porcelain to the conveyance mounting target location 3, 16) is in the up position in the up-down direction Z and in the second withdrawal position in the retreat direction X, the second protruding operation, the second descending operation, the separation operation, the second raising operation, and the second withdrawal operation. In order.

또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기로부터 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제2종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.In addition, when the 2nd transfer mounting apparatus 7 transfers the 2nd type goods T2 from the porcelain from 3 to the transfer mounting target point 3, the 1st type goods T1 and the 2nd type goods T2. ), From the state in which the 2nd holding part 16 which does not hold any of the 3rd type articles T3 is in the up position in the up-down direction Z, and is in the 2nd withdrawal position in the retracting direction X, It performs in order of protrusion operation | movement, 2nd type descending operation | movement, approach operation | movement, 2nd raising operation | movement, and 2nd retraction operation.

제2 이송탑재 장치(7)는, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 경우에는, 제3종 물품(T3)을 유지하고 있는 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제3종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.The 2nd conveyance mounting apparatus 7 is a 2nd holding part which hold | maintains the 3rd kind article T3, when carrying the 3rd kind article T3 from the porcelain to the conveyance mounting target location 3, 16) is in the up position in the up-down direction Z and is in the second withdrawal position in the retreat direction X, the second protruding operation, the third descending operation, the separation operation, the second raising operation, and the second retraction operation. In order.

또한, 제2 이송탑재 장치(7)는, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 자기에게 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 경우에는, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 어느 것도 유지하고 있지 않은 제2 유지부(16)가 상하 방향 Z에 있어서 상승 위치에 있고 또한 출퇴 방향 X에 있어서 제2 인퇴 위치에 있는 상태로부터, 제2 돌출 동작, 제3종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작, 제2 인퇴 동작의 순으로 행한다.In addition, when the 2nd transfer mounting apparatus 7 carries a 3rd kind article T3 to him from the transfer mounting target location 3, the 1st type article T1 and the 2nd type article T2. ), From the state in which the 2nd holding part 16 which does not hold any of the 3rd type articles T3 is in the up position in the up-down direction Z, and is in the 2nd withdrawal position in the retracting direction X, Protruding operation, the third descending operation, the approaching operation, the second raising operation, and the second withdrawal operation are performed in this order.

제1 이송탑재 장치(6)는, 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서의 제1류 물품(K1)의 이송탑재 동작을, 제2 이송탑재 장치(7)에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성이다.The 1st conveyance mounting apparatus 6 is the structure which can perform the conveyance mounting operation | movement of the 1st goods K1 between the magnetism and the conveyance mounting object point in a short time compared with the 2nd conveyance mounting apparatus 7. As shown in FIG.

제1 이송탑재 장치(6)가, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제1 돌출 동작, 제1 하강 동작 및 제1 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)은, 제2 이송탑재 장치(7)가, 자기로부터 이송탑재 대상 개소(3)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 이간 동작, 제2 상승 동작 및 제2 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)에 비하여 짧다.The time required when the first transfer mounting device 6 transfers the first type article T1 from the porcelain to the transfer placement target portion 3 (first projecting operation, first descending operation, and first). The time required for the withdrawal operation is the time required for the second transfer mounting apparatus 7 to carry the first type article T1 from the magnet to the transfer target target portion 3 (second). Time required for the protruding operation, the first descending operation, the separation operation, the second raising operation, and the second withdrawal operation).

또한, 제1 이송탑재 장치(6)가, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제1 돌출 동작, 제1 상승 동작, 제1 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)은, 제2 이송탑재 장치(7)가, 이송탑재 대상 개소(3)부터 자기에게 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 경우에 필요로 하는 시간(제2 돌출 동작, 제1종용 하강 동작, 접근 동작, 제2 상승 동작 및 제2 인퇴 동작에 필요로 하는 시간)에 비하여 짧다.Moreover, the time required when the 1st conveyance mounting apparatus 6 carries a 1st type article T1 to self from the conveyance loading target location 3 (1st protrusion operation, 1st raising operation, The time required for the first withdrawal operation is the time required when the second transfer mounting apparatus 7 transfers the first type article T1 to the first loading object from the transfer placement target point 3. Time required for the second protruding operation, the first kind descending operation, the approaching operation, the second raising operation, and the second withdrawal operation).

그리고, 제2 이송탑재 장치(7)는, 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따르는 축심 주위로 회전시키는 것에 의해, 제2 출퇴 기구(17)를 신축시켰을 때의 제2 유지부(16)의 출퇴 방향 X를 변경 가능하게 구성되어 있다. 이에 의해, 주위에 늘어서는 5개의 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 제1종 물품(T1)이나 제2종 물품(T2)이나 제3종 물품(T3)을 이송탑재할 수 있도록 되어 있다.And the 2nd conveyance mounting apparatus 7 rotates the 2nd pull-out mechanism 17 around the axial center along a vertical direction Z, and the 2nd holding | maintenance part at the time of making the 2nd pull-out mechanism 17 expand and contract ( It is comprised so that the exit direction X of 16) can be changed. Thereby, the 1st type article T1, the 2nd type article T2, and the 3rd type article T3 can be conveyed and mounted between the 5 conveyance mounting target points 3 arranged in the circumference | surroundings. .

컨베이어식 반송 장치(2)는 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제1종 물품(T1)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어(21) 및 제2 컨베이어(22)와, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제2종 물품(T2)과 제3종 물품(T3)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어(23)를 구비하고 있다. 제1 컨베이어(21)보다 상방에, 제2 컨베이어(22)와 제3 컨베이어(23)가 설치되어 있다.The conveyor conveying apparatus 2 is a first conveyor (1) for conveying only the first type article T1 of the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3 along the horizontal direction ( 21) and the second conveyor 22, the second type article T2 and the third type article T3 of the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3. The 3rd conveyor 23 which carries a bay along a horizontal direction is provided. Above the 1st conveyor 21, the 2nd conveyor 22 and the 3rd conveyor 23 are provided.

제1 컨베이어(21)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제1종 물품(T1)을 반송하는 반입용 제1 컨베이어(21)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1종 물품(T1)을 반송하는 반출용 제1 컨베이어(21)가 있다. 도 11에 나타낸 예에서는, 반입용 제1 컨베이어(21)와 반출용 제1 컨베이어(21)를 1세트의 제1 컨베이어(21)로 하여, 같은 높이에 2세트의 제1 컨베이어(21)가 설치되어 있다.As the 1st conveyor 21, the 1st conveyance 21 for carrying in which the 1st kind goods T1 are conveyed toward the conveyance target part 3, and the 1st kind article (from the conveyance target object 3) There is a 1st conveyor 21 for carrying out which conveys T1). In the example shown in FIG. 11, the 1st conveyor 21 for carrying in and the 1st conveyor 21 for carrying out are made into 1 set of 1st conveyor 21, and 2 sets of 1st conveyor 21 are provided in the same height. It is installed.

제2 컨베이어(22)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제1종 물품(T1)을 반송하는 반입용 제2 컨베이어(22)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제1종 물품(T1)을 반송하는 반출용 제2 컨베이어(22)가 있다. 또한, 제3 컨베이어(23)로서, 이송탑재 대상 개소(3)를 향하여 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 반송하는 반입용 제3 컨베이어(23)와, 이송탑재 대상 개소(3)로부터 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 반송하는 반출용 제3 컨베이어(23)가 있다. 도 12에 나타낸 예에서는, 반입용 제2 컨베이어(22)와 반출용 제2 컨베이어(22)를 1세트의 제2 컨베이어(22)로 하고, 반입용 제3 컨베이어(23)와 반출용 제3 컨베이어(23)를 1세트의 제3 컨베이어(23)로 하여, 같은 높이에 1세트의 제2 컨베이어(22)와 1세트의 제3 컨베이어(23)가 설치되어 있다.As the 2nd conveyor 22, the 2nd conveyor 22 for carrying in which the 1st type goods T1 are conveyed toward the transfer target place 3, and the 1st type article (from the transfer target site 3) There is a 2nd conveyor 22 for carrying out which conveys T1). Moreover, the 3rd conveyor 23 for carrying in which the 2nd kind goods T2 and the 3rd kind goods T3 is conveyed toward the target object 3 to be conveyed as a 3rd conveyor 23, and the object of conveyance load There is a 3rd conveyor 23 for carrying out which conveys the 2nd type article T2 and the 3rd type article T3 from the location 3. In the example shown in FIG. 12, the 2nd conveyor 22 for carrying in and the 2nd conveyor 22 for carrying out are made into a set of 2nd conveyor 22, and the 3rd conveyor 23 for carrying in and 3rd for carrying out Using the conveyor 23 as one set of the third conveyors 23, one set of the second conveyors 22 and one set of the third conveyors 23 are provided at the same height.

제2 컨베이어(22)와 제3 컨베이어(23)의 설치 높이에 대하여 설명을 부가한다. 본 실시형태에서는 도 13에 나타낸 바와 같이, 제2 컨베이어(22)는, 상기 제2 컨베이어(22)가 반송하는 제1종 물품(T1)의 제1 피유지부(F1)의 높이가, 제3 컨베이어(23)가 반송하는 제2종 물품(T2)의 제2 피유지부(F2)의 높이와 같아지도록 설치되어 있다.Description is added about the installation height of the 2nd conveyor 22 and the 3rd conveyor 23. As shown in FIG. In this embodiment, as shown in FIG. 13, the height of the 1st hold part F1 of the 1st type goods T1 conveyed by the said 2nd conveyor 22 is a 2nd conveyor 22, and The 3rd conveyor 23 is provided so that it may become equal to the height of the 2nd holding part F2 of the 2nd type goods T2 conveyed.

제1 컨베이어(21)와 제2 컨베이어(22)는, 제1 이송탑재 장치(6)에 의한 자기와 제1 컨베이어(21) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치(7)에 의한 자기와 제2 컨베이어(22) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.The 1st conveyor 21 and the 2nd conveyor 22 are conveyance-mounted of the goods of the 1st type T1 between the magnetism by the 1st conveyance installation apparatus 6, and the 1st conveyor 21, and a 2nd conveyance. It is arrange | positioned at the space | interval which can carry out the conveyance mounting of the goods of the 1st type T1 between the magnetism by the mounting apparatus 7 and the 2nd conveyor 22 simultaneously.

또한, 제1 컨베이어(21)와 제3 컨베이어(23)는, 제1 이송탑재 장치(6)에 의한 자기와 제1 컨베이어(21) 사이의 제1종 물품(T1)의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치(7)에 의한 자기와 제3 컨베이어(23) 사이의 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.In addition, the first conveyor 21 and the third conveyor 23, the transfer of the first type of goods (T1) between the porcelain and the first conveyor 21 by the first transfer mounting device 6, and The transfer goods of the second type article T2 and the third type article T3 between the porcelain by the second transfer mounting apparatus 7 and the third conveyor 23 are arranged at intervals which can be executed simultaneously.

제2 컨베이어(22)는, 수평 방향을 따라 이동하여 제1류 물품(K1)[제1종 물품(T1)]을 반송하는 제1류용 대차(27)와, 제1류용 대차(27)의 이동 경로의 일단부(一端部)에 대하여 설치된 제1종용 내측 지지부(28)와, 제1류용 대차(27)의 이동 경로의 타단부(他端部)에 대하여 설치된 제1종용 외측 지지부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 제1종용 내측 지지부(28)는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다.The 2nd conveyor 22 of the 1st class trolley 27 and the 1st class trolley 27 which move along a horizontal direction and convey the 1st class goods K1 (1st class goods T1) are carried out. An inner support 28 for the first type provided with respect to one end of the movement path, and an outer support for the first type provided with the other end of the movement path of the trolley 27 for the first flow (not shown). Not used). The inner support portion 28 for the first type is located at the location 3 to be transported.

제1종용 내측 지지부(28)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기가 행해진다. 또한, 제1종용 외측 지지부에 대해서는, 천장 가까이를 주행하는 물품 반송차(4)(도 1 참조)에 의해 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기가 행해진다. 그리고, 제1류용 대차(27)에 의해, 제1종용 내측 지지부(28)와 제1종용 외측 지지부 사이에서 제1종 물품(T1)을 반송한다.About the inner side support part 28 for a 1st type, loading and unloading of the 1st type article T1 is performed by the lifting type conveying apparatus 1. As shown in FIG. In addition, about the 1st type outer support part, loading and unloading of the 1st type article T1 is performed by the goods conveyance vehicle 4 (refer FIG. 1) which runs near a ceiling. And the 1st type trolley | bogie 27 conveys the 1st type goods T1 between the 1st type inner support part 28 and the 1st type outer support part.

제3 컨베이어(23)는, 수평 방향을 따라 이동하여 제2류 물품(K2)[제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)]을 반송하는 제2류용 대차(31)와, 제2류용 대차(31)의 이동 경로의 일단부에 대하여 설치된 제2종용 내측 지지부(32) 및 제3종용 내측 지지부(33)와, 제2류용 대차(31)의 이동 경로의 타단부에 대하여 설치된 제2종용 외측 지지부(도시하지 않음) 및 제3종용 외측 지지부(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 제2종용 내측 지지부(32) 및 제3종용 내측 지지부(33)는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다.The 3rd conveyor 23 is the 2nd class trolley | bogie 31 which moves along a horizontal direction, and conveys the 2nd kind goods K2 (2nd kind goods T2 and 3rd kind goods T3), With respect to the other end of the movement path of the 2nd type inner support part 32 and the 3rd type inner support part 33 provided with respect to the one end of the movement route of the 2nd kind trolley | bogie 31, and the 2nd type trolley | bogie 31 It provided with the 2nd type outer support part (not shown) and the 3rd type outer support part (not shown) provided. The second type inner support part 32 and the third type inner support part 33 are located at the object 3 to be transported.

제2종용 내측 지지부(32)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제2종 물품(T2)의 싣고 내리기가 행해지고, 제3종용 내측 지지부(33)에 대해서는, 승강식 반송 장치(1)에 의해 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기가 행해진다. 제2종용 외측 지지부에 대해서는, 물품 반송차(4)(도 1 참조)에 의해 제2종 물품(T2)의 싣고 내리기가 행해지고, 제3종용 외측 지지부에 대해서는, 물품 반송차(4)에 의해 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기가 행해진다. 그리고, 제2류용 대차(31)에 의해, 제2종용 내측 지지부(32)와 제2종용 외측 지지부 사이에서 제2종 물품(T2)을 반송하고, 또한 제3종용 내측 지지부(33)와 제3종용 외측 지지부 사이에서 제3종 물품(T3)을 반송한다.About the inside support part 32 for 2nd types, loading and unloading of the goods of type 2 T2 is performed by the lifting type conveying apparatus 1, and for the inside support part 33 for 3rd types, the lifting type conveying apparatus 1 is carried out. ), Loading and unloading of the third type article T3 is performed. About the 2nd type outer support part, loading and unloading of the 2nd type goods T2 is performed by the goods conveyance vehicle 4 (refer FIG. 1), and about the 3rd type outer support part by the goods transport vehicle 4 Loading and unloading of the 3rd type goods T3 is performed. And by the 2nd kind trolley | bogie 31, the 2nd type goods T2 are conveyed between the 2nd type inner support part 32 and the 2nd type outer support part, and also the 3rd type inner support part 33 and the 1st item are carried out. The 3rd type goods T3 are conveyed between 3 types of outer support parts.

그리고, 제1 컨베이어(21)는 제2 컨베이어(22)와 동일하게 구성되어 있으므로 설명은 생략한다.In addition, since the 1st conveyor 21 is comprised similarly to the 2nd conveyor 22, description is abbreviate | omitted.

또한, 도 1에 나타낸 바와 같이 본 실시형태에서는, 컨베이어식 반송 장치(2)는 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 및 제3종 물품(T3) 중 제1종 물품(T1)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제4 컨베이어(24)와, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3) 중 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)만을 수평 방향을 따라 반송하는 제5 컨베이어(25)를 구비하고 있다.In addition, in this embodiment, as shown in FIG. 1, the conveyor type conveying apparatus 2 is a 1st type article among the 1st type article T1, the 2nd type article T2, and the 3rd type article T3. Fourth conveyor 24 for conveying only (T1) along the horizontal direction, and the second type article T2 among the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3, and The 5th conveyor 25 which carries only 3rd type goods T3 along a horizontal direction is provided.

제4 컨베이어(24) 및 제5 컨베이어(25)는 제1 컨베이어(21), 제2 컨베이어(22) 및 제3 컨베이어(23)에 대하여 하방으로서 바닥면 가까이에 설치되어 있다. 상기 제4 컨베이어(24) 및 제5 컨베이어(25)의 각각의 한쪽 단부는 이송탑재 대상 개소(3)에 위치하고 있다. 그리고, 제4 컨베이어(24)의 다른 쪽 단부에 대하여, 작업자가 제1종 물품(T1)의 싣고 내리기를 행하고, 제5 컨베이어(25)의 다른 쪽 단부에 대하여, 작업자가 제2종 물품(T2) 또는 제3종 물품(T3)의 싣고 내리기를 행한다.The 4th conveyor 24 and the 5th conveyor 25 are provided near the bottom surface with respect to the 1st conveyor 21, the 2nd conveyor 22, and the 3rd conveyor 23 below. One end of each of the fourth conveyor 24 and the fifth conveyor 25 is located at the transfer site target point 3. Then, the worker loads and unloads the first-class article T1 with respect to the other end of the fourth conveyor 24, and the worker performs the second-class article (with respect to the other end of the fifth conveyor 25. T2) or type 3 article T3 is loaded and unloaded.

도 14에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비는, 상위 컨트롤러(H)로부터의 지령에 기초하여 승강식 반송 장치(1)의 동작을 제어하는 제1 제어부(H1)와, 상위 컨트롤러(H)로부터의 지령에 기초하여 컨베이어식 반송 장치(2)의 동작을 제어하는 제2 제어부(H2)를 구비하고 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 이송탑재 장치(6), 제2 이송탑재 장치(7) 및 승강체(8)의 동작을 제어하는 제어부에 상당한다.As shown in FIG. 14, the article carrying facility includes the first control unit H1 that controls the operation of the lift type conveying apparatus 1 based on the instruction from the host controller H, and the host controller H from the host controller H. The 2nd control part H2 which controls the operation | movement of the conveyor type conveying apparatus 2 based on an instruction | command is provided. The 1st control part H1 is corresponded to the control part which controls the operation | movement of the 1st transfer mounting apparatus 6, the 2nd transfer mounting apparatus 7, and the lifting body 8. As shown in FIG.

제1 이송탑재 장치(6)는 제1 재고 센서(S1)와 상승 센서(S2)와 하강 센서(S3)를 구비하고 있다. 제2 이송탑재 장치(7)는 제2 재고 센서(S4)와 제3 재고 센서(S5)와 제1 정위치 센서(S6)와 제2 정위치 센서(S7)를 구비하고 있다. 그리고, 제2 재고 센서(S4)가 제1류 물품(K1)을 검출하기 위한 제1 센서에 상당하고, 제3 재고 센서(S5)가 제2류 물품(K2)을 검출하기 위한 제2 센서에 상당한다.The 1st transfer mounting apparatus 6 is equipped with the 1st stock sensor S1, the rising sensor S2, and the falling sensor S3. The 2nd transfer mounting apparatus 7 is equipped with the 2nd stock sensor S4, the 3rd stock sensor S5, the 1st fixed position sensor S6, and the 2nd fixed position sensor S7. And the 2nd stock sensor S4 is corresponded to the 1st sensor for detecting the 1st goods K1, and the 2nd stock sensor S5 is the 2nd sensor for detecting 2nd goods K2. Corresponds to

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 재고 센서(S1)는, 제1 유지부(11)에 탑재되어 있는 제1종 물품(T1)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 재고 센서(S1)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the first stock sensor S1 is provided to transmit detection light toward an area where the first type article T1 mounted on the first holding part 11 exists. have. The first control unit H1 determines whether or not the first holding unit 11 holds the first type article T1 based on the detection information of the first inventory sensor S1.

상승 센서(S2)는, 승강체(8)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제1 유지부(11)가 상승 위치이고 또한 제1 컨베이어(21)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제1 컨베이어(21)에 설치되어 있는 제1 피검출체(A1)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 상승 센서(S2)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 이송탑재 대상 개소(3)에 대하여 적합한 상승 위치에 있는지 아닌지를 판별한다. 그리고, 제2 컨베이어(22)에도 제1 컨베이어(21)와 마찬가지로 제1 피검출체(A1)가 설치되어 있다.Ascending sensor S2 is a turning position where the lifting body 8 is located in the height corresponding to the 1st conveyor 21, and the 1st holding part 11 is a rising position, and also corresponds to the 1st conveyor 21. As shown in FIG. In the state of being in the state, it is provided so that a detection light may be transmitted toward the 1st to-be-detected object A1 provided in the 1st conveyor 21. Based on the detection information of the rising sensor S2, the first control unit H1 determines whether or not the first holding unit 11 is at a suitable rising position with respect to the transfer target object point 3. And the 1st to-be-detected body A1 is provided also in the 2nd conveyor 22 similarly to the 1st conveyor 21. As shown in FIG.

하강 센서(S3)는, 승강체(8)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제1 유지부(11)가 하강 위치이고 또한 제1 컨베이어(21)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제1 컨베이어(21)에 설치되어 있는 제1 피검출체(A1)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 하강 센서(S3)의 검출 정보에 기초하여, 제1 유지부(11)가 이송탑재 대상 개소(3)에 대하여 적합한 하강 위치에 있는지 아닌지를 판별한다.The lowering sensor S3 is a turning position where the lifting body 8 is located at a height corresponding to the first conveyor 21, and the first holding part 11 is in a lowering position and also corresponds to the first conveyor 21. In the state of being in the state, it is provided so that a detection light may be transmitted toward the 1st to-be-detected object A1 provided in the 1st conveyor 21. Based on the detection information of the falling sensor S3, the first control unit H1 determines whether or not the first holding unit 11 is in a suitable lowering position with respect to the transfer target object point 3.

도 5∼도 10에 나타낸 바와 같이, 제2 재고 센서(S4)는, 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제1종 물품(T1)이 존재하는 높이이고 또한 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)이 존재하지 않는 높이에 설치되어 있다. 그리고, 제2 재고 센서(S4)는, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제1종 물품(T1)이 존재하는 영역이고 또한 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제2종 물품(T2)이나 제3종 물품(T3)이 존재하지 않는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제2 재고 센서(S4)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제1종 물품(T1)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.5-10, the 2nd stock sensor S4 is the height in which the 1st type goods T1 hold | maintained by the 2nd conveyance mounting apparatus 7 exist, and the 2nd conveyance mounting apparatus 7 is present. The second type article T2 and the third type article T3 which are held by) are provided at a height where they do not exist. And the 2nd stock sensor S4 is the area | region in which the 1st type goods T1 hold | maintained in the 2nd holding part 16 exists, and the 2nd type goods hold | maintained in the 2nd holding part 16 is carried out. It is provided so as to transmit the detection light toward the area | region where T2 and the 3rd type goods T3 do not exist. The first control unit H1 determines whether or not the second holding unit 16 holds the first type article T1 based on the detection information of the second inventory sensor S4.

제3 재고 센서(S5)는, 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제2종 물품(T2)이 존재하는 높이이고 또한 제2 이송탑재 장치(7)가 유지하는 제3종 물품(T3)이 존재하는 높이에 설치되어 있다. 그리고, 제3 재고 센서(S5)는, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제2종 물품(T2)이 존재하는 영역이고 또한 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 제3종 물품(T3)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 상기 제3 재고 센서(S5)는 거리 센서에 의해 구성되어 있고, 제2 유지부(16)에 유지되고 있는 물품까지의 거리를 계측하도록 구성되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제3 재고 센서(S5)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제2종 물품(T2)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별하고, 또한 제2 유지부(16)가 제3종 물품(T3)을 유지하고 있는지 아닌지를 판별한다.The 3rd stock sensor S5 is the 3rd type goods T3 which the height which the 2nd type goods T2 hold | maintained by the 2nd transport mounting apparatus 7 exists, and the 2nd transport mounting apparatus 7 hold | maintains. ) Is installed at the height that exists. And the 3rd stock sensor S5 is the area | region where the 2nd type goods T2 hold | maintained by the 2nd holding part 16 exists, and the 3rd type goods hold | maintained by the 2nd holding part 16 is carried out. It is provided so as to transmit the detection light toward the area | region where T3 exists. In addition, in this embodiment, the said 3rd stock sensor S5 is comprised by the distance sensor, and is comprised so that the distance to the article hold | maintained by the 2nd holding part 16 may be measured. Based on the detection information of the third inventory sensor S5, the first control unit H1 determines whether or not the second holding unit 16 is holding the second type article T2, and further, the second holding unit. It is determined whether or not 16 holds the third type article T3.

제1 정위치 센서(S6)는, 승강체(8)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제2 컨베이어(22)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제2 컨베이어(22)에 설치되어 있는 제2 피검출체(A2)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제1 정위치 센서(S6)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제2 컨베이어(22)에 대하여 적합한 위치에 있는지 아닌지를 판별한다. 그리고, 제1 컨베이어(21)에 대해서도 제2 컨베이어(22)와 마찬가지로 제2 피검출체(A2)가 설치되어 있다.The 1st fixed position sensor S6 is a 2nd conveyor (when the lifting body 8 is located in the height corresponding to the 2nd conveyor 22, and is in the turning position corresponding to the 2nd conveyor 22). It is provided so that a detection light may be transmitted toward the 2nd to-be-detected object A2 provided in 22). The first control unit H1 determines whether or not the second holding unit 16 is in a suitable position with respect to the second conveyor 22 based on the detection information of the first fixed position sensor S6. And also about the 1st conveyor 21, the 2nd to-be-detected body A2 is provided similarly to the 2nd conveyor 22. As shown in FIG.

제2 정위치 센서(S7)는, 승강체(8)가 제3 컨베이어(23)에 대응하는 높이에 위치하고, 또한 제3 컨베이어(23)에 대응하는 선회 위치에 있는 상태에서, 제3 컨베이어(23)에 설치되어 있는 제3 피검출체(A3)를 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제1 제어부(H1)는 제2 정위치 센서(S7)의 검출 정보에 기초하여, 제2 유지부(16)가 제3 컨베이어(23)에 대하여 적합한 위치에 있는지 아닌지를 판별한다.The second home position sensor S7 is located at a height corresponding to the third conveyor 23 and at a turning position corresponding to the third conveyor 23. It is provided so that detection light may be transmitted to the third to-be-detected object A3 provided in 23). The first control unit H1 determines whether or not the second holding unit 16 is in a suitable position with respect to the third conveyor 23 based on the detection information of the second exact position sensor S7.

도 13에 나타낸 바와 같이, 제3 컨베이어(23)는, 반송 중인 물품이 제2종 물품(T2)인지 제3종 물품(T3)인지를 판별하는 판별 장치(35)를 구비하고 있다. 판별 장치(35)는 제4 재고 센서(S8)와 제5 재고 센서(S9)와 제2 제어부(H2)로 구성되어 있다. 제4 재고 센서(S8)는 제2종용 내측 지지부(32)에 탑재되어 있는 제2종 물품(T2)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 또한, 제5 재고 센서(S9)는 제3종용 내측 지지부(33)에 탑재되어 있는 제3종 물품(T3)이 존재하는 영역을 향하여 검출 광을 투광하도록 설치되어 있다. 제2 제어부(H2)는 제4 재고 센서(S8)의 검출 정보 및 제5 재고 센서(S9)의 검출 정보에 기초하여, 제2종용 내측 지지부(32)가 제2종 물품(T2)을 지지하고 있는지 아닌지를 판별하고, 또한 제3종용 내측 지지부(33)가 제3종 물품(T3)을 지지하고 있는지 아닌지를 판별한다.As shown in FIG. 13, the 3rd conveyor 23 is provided with the discriminating apparatus 35 which discriminates whether the goods in conveyance are the 2nd type goods T2 or the 3rd type goods T3. The discrimination apparatus 35 is comprised from the 4th stock sensor S8, the 5th stock sensor S9, and the 2nd control part H2. The 4th stock sensor S8 is provided so that a detection light may be transmitted toward the area | region where the 2nd type goods T2 mounted in the inner support part 32 for 2nd types exist. In addition, the 5th stock sensor S9 is provided so that detection light may be transmitted toward the area | region where the 3rd type goods T3 mounted in the 3rd type inner support part 33 exist. The 2nd control part H2 supports the 2nd type inner support part 32 of the 2nd type | mold goods based on the detection information of the 4th stock sensor S8, and the detection information of the 5th stock sensor S9. Then, it is determined whether or not, and whether or not the inner support part 33 for the third type supports the third type article T3.

제1 제어부(H1)는, 승강체(8)를 이송탑재 대상 개소(3)에 대응하는 위치에 승강시키는 승강 제어와, 물품을 이송탑재 대상 개소(3)와의 사이에서 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 제1 제어부(H1)는 이송탑재 제어로서, 제1 컨베이어(21)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 또한, 제1 제어부(H1)는 이송탑재 제어로서, 제1 이송탑재 장치(6)로부터 제1 컨베이어(21)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제2 컨베이어(22)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제3종 물품(T3)을 이송탑재하는 이송탑재 제어, 제1 이송탑재 장치(6)로부터 제2 컨베이어(22)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다.The 1st control part H1 carries out the elevating control which elevates the elevating body 8 to the position corresponding to the conveying target object 3, and the conveyance mounting control which conveys an article with the conveying target object 3; Run The first control unit H1 is a transfer-mount control, from a transfer-mount control and a second conveyor 22, which transfer-mount the first type article T1 from the first conveyor 21 to the first transfer-mounted device 6. Transfer-mounted control for transporting the first type of article T1 to the second conveying device 7, conveying the second type of article T2 from the third conveyor 23 to the second conveying device 7. Transfer-mounted control, transfer-mounted control to transfer-mount the third type article T3 from the third conveyor 23 to the second transfer-mounted device 7, the first transfer-mounted device 6 from the second conveyor 22. The transfer mounting control for carrying the first type article T1 to () is performed. In addition, the first control unit H1 is a transport mounting control, a transport mounting control for transporting and mounting a first type article T1 from the first transport mounting apparatus 6 to the first conveyor 21, and a second transport mounting apparatus. Transfer-type control which transfers the first type article T1 to the 2nd conveyor 22 from (7), and transfers the 2nd type article T2 to the 3rd conveyor 23 from the 2nd conveying apparatus 7. Transfer-mounted control for transporting, transport-mounted control for transporting the third type article T3 from the second transport-mounted device 7 to the third conveyor 23, the second conveyor from the first transport-mounted device 6. Transfer equipment control for carrying the first type article T1 is carried out at (22).

즉, 예를 들면, 제1 컨베이어(21)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고, 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)이 지지되고 있는 경우에는, 먼저 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 위치로 이동하도록 승강체(8)를 승강시키는 승강 제어를 실행한다. 이에 의해, 이와 같이 승강 제어를 실행함으로써, 제1 이송탑재 장치(6)가 제1 컨베이어(21)에 대응하는 위치로 이동하고, 제2 이송탑재 장치(7)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 위치로 이동한다. 그리고, 제1 제어부(H1)는, 제1 컨베이어(21)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 이송탑재 장치(7)로부터 제3 컨베이어(23)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 동시에 실행한다.That is, for example, the first type of article T1 is supported by the inner support part 28 for the first type of the first conveyor 21, and the second type of article T2 is provided by the second conveying device 7. In the case of being supported, firstly, the first control unit H1 carries out elevating control for elevating the elevating body 8 so that the first transport mounting device 6 moves to a position corresponding to the first conveyor 21. . Thereby, by performing lifting control in this way, the 1st conveyance mounting apparatus 6 moves to the position corresponding to the 1st conveyor 21, and the 2nd conveyance mounting apparatus 7 moves to the 2nd conveyor 22. As shown in FIG. Move to the corresponding position. Then, the first control unit (H1), the transfer mounting control to transfer the first type of article (T1) from the first conveyor 21 to the first transfer mounting device 6, and the second transfer mounting device (7) Transfer control to transfer the second type article T2 to the third conveyor 23 is simultaneously performed.

또한, 예를 들면, 제2 컨베이어(22)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고, 제1 컨베이어(21)의 제1종용 내측 지지부(28)에 제1종 물품(T1)이 지지되고 있지 않고, 제1 이송탑재 장치(6) 및 제2 이송탑재 장치(7)의 양쪽이 물품을 유지하고 있지 않은 경우에는, 제2 컨베이어(22)의 제1종용 내측 지지부(28)에 지지된 제1종 물품(T1)만을 이송탑재 하면 된다. 이와 같은 경우에는, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)의 어느 것이라도 제1종 물품(T1)을 이송탑재할 수 있다. 즉, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어의 양쪽을 실행할 수 있다. 이와 같은 경우에는, 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 장치(6)가 제2 컨베이어(22)에 대응하는 위치로 이동하도록 승강체(8)를 승강시키는 승강 제어를 실행한다. 그 후, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 실행한다. 이와 같이, 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어와, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어의 양쪽을 실행 가능한 경우, 제1 제어부(H1)는 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어를 우선적으로 실행한다.In addition, for example, the first type of article T1 is supported by the inner support part 28 for the first kind of the second conveyor 22, and the inner support part 28 for the first kind of the first conveyor 21 is supported. When the first type article T1 is not supported and both of the first transfer mounting apparatus 6 and the second transfer mounting apparatus 7 do not hold the article, the first conveyance of the second conveyor 22 is performed. Only the first type article T1 supported by the longitudinal inner support 28 needs to be transported. In such a case, any of the first transfer mounting apparatus 6 and the second transfer mounting apparatus 7 can carry the first type article T1 on the transfer basis. That is, from the second conveyor 22 to the first transport mounting apparatus 6, the transport mounting control for transporting the first type article T1, and from the second conveyor 22 to the second transport mounting apparatus 7 Both transfer mounting control for carrying the first type article T1 can be performed. In such a case, the 1st control part H1 performs lifting control which raises and lowers the lifting body 8 so that the 1st conveyance mounting apparatus 6 may move to the position corresponding to the 2nd conveyor 22. As shown in FIG. Subsequently, transfer placement control for transferring the first type article T1 from the second conveyor 22 to the first transfer placement apparatus 6 is performed. As described above, the transfer mounting control for transferring the first type article T1 from the second conveyor 22 to the first transfer mounting device 6 and the second transfer mounting device 7 from the second conveyor 22. In the case where both of the transfer-mount control for carrying the first type article T1 to and from each other are feasible, the first control unit H1 moves the first type article (from the second conveyor 22 to the first transfer-mounting device 6). The transfer mounting control for carrying the T1) is preferentially performed.

그리고, 제1 컨베이어(21) 또는 제2 컨베이어(22)로부터 제1 이송탑재 장치(6)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가, 제1 이송탑재 제어에 상당한다. 또한, 제3 컨베이어(23)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제2종 물품(T2)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가, 제2 이송탑재 제어에 상당한다. 또한, 제2 컨베이어(22)로부터 제2 이송탑재 장치(7)에 제1종 물품(T1)을 이송탑재하는 이송탑재 제어가 제3 이송탑재 제어에 상당한다. Then, the transfer mounting control in which the first type of article T1 is transferred from the first conveyor 21 or the second conveyor 22 to the first transfer mounting apparatus 6 corresponds to the first transfer mounting control. Moreover, the conveyance mounting control which carries the 2nd type goods T2 from the 3rd conveyor 23 to the 2nd conveying loading apparatus 7 is corresponded to 2nd conveying loading control. In addition, the conveyance mounting control which carries a 1st type article T1 from the 2nd conveyor 22 to the 2nd conveying loading apparatus 7 is corresponded to the 3rd conveying loading control.

2. 기타 실시형태2. Other Embodiments

다음에, 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비의 기타 실시형태에 대하여 설명한다.Next, another embodiment of the article carrying apparatus and the article carrying facility will be described.

(1) 상기 실시형태에서는, 제1류 물품(K1)을 FOUP 및 FOSB로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV용 용기 및 레티클용 용기로 하였으나, 제1류 물품(K1) 및 제2류 물품(K2)은 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 제1류 물품(K1)을 FOUP와 FOSB 중 어느 한쪽으로 해도 되고, 제2류 물품(K2)을 레티클용 용기와 EUV용 용기 중 어느 한쪽으로 해도 된다. 또한, 제1류 물품(K1)을 레티클용 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV용 용기로 해도 된다. 또한, 제1류 물품(K1) 및 제2류 물품(K2)은 반도체 제조 설비로 반송되는 이들의 물품에는 한정되지 않고, 예를 들면 컨테이너나 팔레트 등의 용기여도 되고, 각종 제품 그 자체여도 된다.(1) In the above embodiment, the first kind article K1 is FOUP and FOSB and the second kind article K2 is a container for EUV and a reticle container, but the first kind article K1 and second The article K2 may be appropriately changed. For example, the first kind article K1 may be either FOUP or FOSB, and the second kind article K2 may be either a reticle container or an EUV container. In addition, the first kind article K1 may be a reticle container and the second kind article K2 may be a container for EUV. In addition, the 1st goods K1 and the 2nd goods K2 are not limited to these goods conveyed to a semiconductor manufacturing facility, For example, containers, such as a container and a pallet, may be sufficient, and various products themselves may be sufficient as them. .

(2) 상기 실시형태에서는, 제1류 물품(K1)을 FOUP 및 FOSB로서, 반도체 웨이퍼를 수용하는 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 EUV 용기 및 레티클 용기로서, 포토마스크를 수용하는 용기로 하고, 제1류 물품(K1)과 제2류 물품(K2)에서 수용물의 용도가 상이한 경우를 예로서 설명하였다. 그러나, 이것에 한정되지 않고, 예를 들면 제1류 물품(K1)을 350㎜ 웨이퍼를 수용하는 용기로 하고, 제2류 물품(K2)을 450㎜ 웨이퍼를 수용하는 용기로 하는 등, 제1류 물품(K1)과 제2류 물품(K2)에서 수용물의 용도가 동일해도 된다.(2) In the above embodiment, the first kind article K1 is used as a container for containing a semiconductor wafer as the FOUP and FOSB, and the second kind article K2 is used as an EUV container and a reticle container to accommodate a photomask. As a container, the case where the use of a receiving object differs in the 1st kind article K1 and the 2nd kind article K2 was demonstrated as an example. However, it is not limited to this, For example, the 1st type article K1 is used as the container which accommodates a 350 mm wafer, and the 2nd type article K2 is used as the container which accommodates a 450 mm wafer, etc. The use of the object may be the same in the article K1 and the second article K2.

(3) 상기 실시형태에서는, 제1 제어부(H1)는, 제1 이송탑재 제어와 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하였으나, 제3 이송탑재 제어를 우선적으로 실행해도 된다.(3) In the above embodiment, the first control unit H1 preferentially executes the first transfer placement control when both the first transfer placement control and the third transfer placement control can be executed. Control may be executed first.

(4) 상기 실시형태에서는, 제1 승강 기구(13)가 제1 출퇴 기구(12)에 대하여 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성인 경우를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 승강 기구(13)가 승강체(8)에 대하여 제1 출퇴 기구(12)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제1 유지부(11)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성이어도 된다. 또한, 마찬가지로, 제2 승강 기구(18)가 승강체(8)에 대하여 제2 출퇴 기구(17)를 상하 방향 Z를 따라 이동시킴으로써, 제2 유지부(16)를 상하 방향 Z를 따라 이동시키는 구성이어도 된다.(4) In the above embodiment, the case where the first lifting mechanism 13 moves the first holding part 11 along the up-down direction Z with respect to the first pulling-out mechanism 12 has been described as an example. Not limited, the first lifting mechanism 13 moves the first holding mechanism 11 along the vertical direction Z by moving the first exit mechanism 12 along the vertical direction Z with respect to the lifting body 8. The structure may be sufficient. In addition, similarly, the second elevating mechanism 18 moves the second retracting mechanism 17 along the up-down direction Z with respect to the lifting body 8, thereby moving the second holding part 16 along the up-down direction Z. The structure may be sufficient.

(5) 상기 실시형태에서는, 제1 이송탑재 장치(6)가 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작을 행하도록 구성되고, 제2 이송탑재 장치(7)가 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작과 유지 동작을 행하도록 구성되며, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)에서 이송탑재 동작이 상이한 경우를 예로서 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)에서 이송탑재 동작을 동일하게 해도 된다. 예를 들면, 제1 이송탑재 장치(6)와 제2 이송탑재 장치(7)의 양쪽이, 이송탑재 동작으로서 출퇴 동작과 승강 동작을 행하도록 구성되어도 된다. 이 경우에 있어서, 예를 들면, 제1 출퇴 기구(12)와 제2 출퇴 기구(17) 중 한쪽을 스칼라 암에 의해 구성하고, 다른 쪽을 슬라이드 포크에 의해 구성하도록 해도 된다. 이 경우라도, 스칼라 암과 슬라이드 포크의 이송탑재 동작의 상이에 의해, 제1 이송탑재 장치(6)가 제2 이송탑재 장치(7)에 비하여 이송탑재 동작을 단시간에 실행 가능한 구성이면 된다.(5) In the said embodiment, the 1st transfer mounting apparatus 6 is comprised so that a retraction operation and a lifting operation may be performed as a transfer mounting operation, and the 2nd transfer mounting apparatus 7 is a retraction operation and a lifting operation as a transfer mounting operation. And a case in which the transport mounting operation is different in the first transporting device 6 and the second transporting device 7 are described as an example, but the present invention is not limited thereto, and the first transporting device ( 6) and the 2nd transfer mounting apparatus 7 may make the transfer mounting operation | movement the same. For example, both the first transfer mounting apparatus 6 and the second transfer mounting apparatus 7 may be configured to perform the withdrawal operation and the lifting operation as the transfer mounting operation. In this case, for example, one of the first withdrawal mechanism 12 and the second withdrawal mechanism 17 may be configured by a scalar arm, and the other may be configured by a slide fork. Even in this case, it is only necessary that the first transfer mounting apparatus 6 can perform the transfer mounting operation in a short time as compared with the second transfer mounting apparatus 7 due to the difference in the transfer mounting operation between the scalar arm and the slide fork.

(6) 상기 실시형태에서는, 제2 이송탑재 장치(7)가 제1종 물품(T1)을 검출하기 위한 제2 재고 센서(S4)과, 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하기 위한 제3 재고 센서(S5)를 구비하는 구성으로 하였으나, 제2 이송탑재 장치(7)가 구비하는 센서의 위치 및 개수는 적절히 변경해도 된다. 즉, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)이 존재하는 높이에 센서를 구비하여, 하나의 센서에 의해 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하는 구성으로 해도 되고, 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2), 제3종 물품(T3)의 각각에 대하여 개별로 센서를 설치하여, 3개의 센서에 의해 제1종 물품(T1), 제2종 물품(T2) 및 제3종 물품(T3)을 검출하는 구성으로 해도 된다.(6) In the above embodiment, the second transport mounting apparatus 7 includes a second stock sensor S4 for detecting the first type article T1, a second type article T2, and a third type article ( Although it is set as the structure provided with the 3rd stock sensor S5 for detecting T3), you may change suitably the position and number of the sensor with which the 2nd conveyance mounting apparatus 7 is equipped. That is, a sensor is provided at a height at which the first type article T1, the second type article T2, and the third type article T3 exist, and the first type article T1 and the second type are provided by one sensor. It is good also as a structure which detects the slave article T2 and the 3rd article T3, and it is individual with respect to each of the 1st type article T1, the 2nd type article T2, and the 3rd type article T3. It is good also as a structure which provides a sensor and detects the 1st type article T1, the 2nd type article T2, and the 3rd type article T3 with three sensors.

(7) 그리고, 전술한 각 실시형태에서 개시된 구성은 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합하여 적용할 수도 있다. 기타의 구성에 관해서도, 본 명세서에서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히 각종 개변을 행할 수 있다.(7) And the structure disclosed by each embodiment mentioned above can also be applied in combination with the structure disclosed by other embodiment, unless a contradiction arises. Regarding other configurations, the embodiments disclosed herein are merely examples in all respects. Accordingly, various modifications can be made as appropriate without departing from the spirit of the present disclosure.

3. 상기 실시형태의 개요3. Outline of the Embodiment

이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 장치 및 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.Hereinafter, the outline | summary of the article conveyance apparatus and article conveyance installation demonstrated above is demonstrated.

물품 반송 장치는 제1 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치로부터 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치와, 상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체를 구비하고,The article carrying apparatus includes a first transfer mounting apparatus, a second transfer mounting apparatus installed at a position overlapping with the first transfer mounting apparatus when viewed from the first transfer mounting apparatus in an upward direction and along the vertical direction along the vertical direction; And a lifting body supporting a first conveying device and a second conveying device and moving along the vertical direction,

제1류 물품과, 이 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송 대상이고, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며, 상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을, 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성이다.A first-class article and a second-class article different in kind from this first-class article are objects to be conveyed, and the conveyance amount of the first-class article is greater than the conveyance amount of the second-class article, and the first conveyance mounting The apparatus is configured such that only the first kind article of the first kind article and the second kind article can be transported between a porcelain and a transfer target object, and the second transfer mounting apparatus comprises the first kind article and Both of the second kind articles are configured to be transportable between the porcelain and the transfer target object, and the first transfer mounting apparatus is configured to transfer the first kind of article between the porcelain and the transfer target object. It is a structure which can perform an operation | movement in a short time compared with the said 2nd transfer mounting apparatus.

상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는 제2류 물품은 유지할 수 없지만, 물품의 이송탑재 동작이 비교적 빠르다. 이에 대하여, 제2 이송탑재 장치는 물품의 이송탑재 동작이 비교적 느리지만, 제1류 물품과 제2류 물품의 양쪽을 유지할 수 있다.According to the above configuration, the first transfer mounting apparatus cannot hold the second kind of article, but the transfer mounting operation of the article is relatively fast. In contrast, the second transfer mounting apparatus can hold both the first-class article and the second-class article, although the transport-mounting operation of the article is relatively slow.

즉, 비교적 반송량이 적은 제2류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 느린 제2 이송탑재 장치를 이용하여 반송하고, 비교적 반송량이 많은 제1류 물품에 대해서는 이송탑재 동작이 비교적 빠른 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치의 양쪽을 이용하여 반송할 수 있으므로, 반송 효율의 저하를 억제할 수 있다.That is, the 1st conveyance loading apparatus which conveys with respect to the 2nd kind goods comparatively small in conveyance quantity using the 2nd conveyance loading apparatus which is relatively slow in conveyance loading operation, and the conveyance loading operation | movement is comparatively fast for the 1st kind article which conveys relatively high conveying quantity. Since it can convey using both of and a 2nd conveying mounting apparatus, the fall of conveyance efficiency can be suppressed.

여기에서, 상기 제1 이송탑재 장치는 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 승강체와 상기 이송탑재 대상 개소를 연결하는 방향을 따라 돌출 및 인퇴하는 출퇴 동작과, 상기 상하 방향을 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되고, 상기 제2 이송탑재 장치는 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 출퇴 동작과 상기 승강 동작에 더하여, 상기 제1류 물품 또는 상기 제2류 물품을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있으면 호적하다.In this case, the first transfer mounting apparatus performs the withdrawal operation of protruding and retracting along the direction connecting the lifting member and the target location of the loading mounting, and the lifting operation of lifting up and down along the vertical direction as the transfer mounting operation. And the second transfer mounting apparatus is configured to perform a holding operation for holding the first-class article or the second-class article as the transfer-mount operation, in addition to the withdrawal operation and the elevating operation. Do.

상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치는, 출퇴 동작과 승강 동작에 의해 제1류 물품을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재하지만, 제2 이송탑재 장치는, 출퇴 동작과 승강 동작과 유지 동작에 의해 제1류 물품이나 제2류 물품을 자기와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재한다. 이와 같이, 제1 이송탑재 장치는, 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작의 공정이 적기 때문에, 제1 이송탑재 장치를 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작이 빠른 구성으로 하기 용이하다. 한편, 제2 이송탑재 장치는, 유지 동작에 의해 물품을 유지하는 구성이므로, 상이한 종류의 물품의 이송탑재에 대응한 구성으로 하기 용이하다.According to the said structure, the 1st conveyance mounting apparatus conveys and mounts the 1st goods | goods between self and a conveyance placement object by the withdrawal operation | movement and lifting operation | movement, but the 2nd conveyance installation apparatus carries out withdrawal | operation operation | movement operation | work By the operation, the first-class article and the second-class article are transported and mounted between the porcelain and the transport target site. As described above, since the first transfer mounting apparatus has fewer steps of the transfer mounting operation than the second transfer mounting apparatus, the first transfer mounting apparatus can be easily configured to have a faster transfer mounting operation than the second transfer mounting apparatus. On the other hand, since the 2nd transfer mounting apparatus is a structure which hold | maintains an article by a holding operation, it is easy to set it as the structure corresponding to the transfer mounting of different kind of articles.

또한, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 유지하도록 구성된 제1 유지부를 구비하고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 상부에 구비된 제1류 피유지부와, 상기 제2류 물품의 상부에 구비된 제2류 피유지부 모두를 유지할 수 있도록 구성된 제2 유지부를 구비하고 있으면 호적하다.In addition, the first transfer mounting apparatus includes a first holding unit configured to hold the bottom surface of the first kind of article by supporting from below, and the second transfer mounting apparatus is provided on an upper portion of the first kind of article. It is suitable if it is equipped with the 2nd holding part comprised so that both the 1st type to-be-held part and the 2nd type | mold to-be-held part provided in the upper part of the said 2nd goods may be provided.

상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치의 제1 유지부를 제1 이송탑재 장치에 유지되고 있는 제1류 물품에 대하여 하방에 배치하고, 제2 이송탑재 장치의 제2 유지부를 제2 이송탑재 장치에 유지되고 있는 제1류 물품이나 제2류 물품에 대하여 상방에 배치할 수 있다. 그러므로, 상기한 바와 같이 제1 이송탑재 장치보다 상방에 제2 이송탑재 장치가 배치된 구성에 있어서는, 제1 유지부와 제2 유지부를 상하로 떼어 놓아 배치할 수 있고, 이들 사이에 물품을 유지하기 위한 공간을 형성할 수 있다. 그러므로, 제1 이송탑재 장치에 유지되고 있는 물품과 제2 이송탑재 장치에 유지되고 있는 물품의 상하 방향의 간격을 좁게 할 수 있다. 따라서, 제1 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와 제2 이송탑재 장치의 이송탑재 대상 개소와의 상하 방향의 간격도 좁게 할 수 있어, 이송탑재 대상 개소의 공간 절약화를 도모하기 용이하다.According to the said structure, the 1st holding | maintenance part of a 1st transfer mounting apparatus is arrange | positioned below with respect to the 1st goods hold | maintained by a 1st transfer mounting apparatus, and the 2nd holding | maintenance part of a 2nd transfer mounting apparatus is a 2nd transfer mounting apparatus. It can arrange | position upwards with respect to the 1st goods and 2nd goods hold | maintained at. Therefore, in the structure in which the 2nd transfer mounting apparatus is arrange | positioned above the 1st transfer mounting apparatus as above-mentioned, it can arrange | position a 1st holding part and a 2nd holding part up and down, and hold an article between them. It is possible to form a space for. Therefore, the space | interval in the up-down direction of the article hold | maintained in the 1st conveyance mounting apparatus and the article hold | maintained in the 2nd conveyance mounting apparatus can be narrowed. Therefore, the space | interval in the up-down direction of the conveyance mounting object place of a 1st conveyance mounting apparatus, and the conveyance mounting object place of a 2nd conveying mounting apparatus can also be narrowed, and it is easy to aim at space saving of a conveyance mounting object place.

또한, 상기 제1류 물품은, 상기 제2류 물품보다 상기 상하 방향의 치수가 크고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 검출하기 위한 제1 센서와, 상기 제2류 물품을 검출하기 위한 제2 센서를 구비하고, 상기 제1 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제1류 물품이 존재하는 높이이고 또한 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하지 않는 높이에 설치되고, 상기 제2 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하는 높이에 설치되어 있으면 호적하다.The first kind article has a larger dimension in the vertical direction than the second kind article, and the second transfer mounting apparatus includes a first sensor for detecting the first kind article and the second kind article. And a second sensor for detecting the first sensor, wherein the first sensor has a height at which the first-class article held by the second transport-mounted device exists and is held by the second transport-mounted device. It is suitable if it is provided in the height which an article does not exist, and the said 2nd sensor is installed in the height which the said 2nd goods hold | maintained by the said 2nd conveyance mounting apparatus exists.

상기 구성에 의하면, 제2 이송탑재 장치가 제1류 물품을 유지하고 있는 경우에는 제1 센서 및 제2 센서가 물품을 검출한다. 한편, 제2 이송탑재 장치가 제2류 물품을 유지하고 있는 경우에는 제1 센서가 물품을 검출하고, 제2 센서는 물품을 검출하지 않는다. 따라서, 상기 구성에 의하면, 제2 이송탑재 장치가 유지하고 있는 물품이 제1류 물품인지 제2류 물품인지를 적절하게 검출할 수 있다.According to the said structure, when the 2nd conveying apparatus is holding the 1st goods, the 1st sensor and the 2nd sensor detect an article. On the other hand, when the 2nd conveying apparatus is holding the 2nd goods, a 1st sensor detects an article and a 2nd sensor does not detect an article. Therefore, according to the said structure, it can detect suitably whether the article hold | maintained by the 2nd conveyance mounting apparatus is a 1st class goods or a 2nd type goods.

또한, 상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 유지하는 제1 유지부를 제1 인퇴 위치와 상기 제1 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴 기구와, 상기 제1 유지부를 상기 제1 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제1 승강 기구를 구비하고, 상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부를 제2 인퇴 위치와 상기 제2 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구와, 상기 제2 유지부를 상기 제2 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 승강 기구를 구비하고 있으면 호적하다.In addition, the first transfer mounting device is a first retaining portion for holding the first article, to a first protruding position in which the first retracted position and the first retracted position protrude to the side where the object to be transported is present. And a first elevating mechanism for moving the first retracting mechanism and a first elevating mechanism for moving the first holding part in the up and down direction with respect to the first withdrawing mechanism. The second transfer mounting apparatus includes the first article and the first article. A second retracting mechanism for moving the second holding part capable of holding both of the second articles to a second retracted position and a second projected position projecting toward the side where the transfer target object exists relative to the second retracted position; It is suitable if it is provided with the 2nd lifting mechanism which moves a 2nd holding | maintenance part to the said up-down direction with respect to the said 2nd exit mechanism.

상기 구성에 의하면, 제1 승강 기구는, 제1 출퇴 기구와 제1 유지부 중 제1 유지부만을 승강시키므로, 제1 출퇴 기구와 제1 유지부의 양쪽을 승강시키는 경우에 비하여, 제1 승강 기구에 의해 승강시키는 대상의 중량을 가볍게 할 수 있으므로, 제1 승강 기구의 소형화나 경량화를 도모할 수 있다. 마찬가지로, 제2 승강 기구에 대해서도, 제2 승강 기구에 의해 승강시키는 대상의 중량을 가볍게 할 수 있으므로, 제2 승강 기구의 소형화나 경량화를 도모할 수 있다.According to the said structure, since a 1st lifting mechanism raises and lowers only a 1st holding | maintenance part among a 1st pull-out mechanism and a 1st holding | maintenance part, compared with the case of lifting up both a 1st pulling-out mechanism and a 1st holding | maintenance part, a 1st lifting mechanism Since the weight of the object to be raised and lowered can be made light, the 1st lifting mechanism can be reduced in size and weight. Similarly, the weight of the object to be lifted and lowered by the second lift mechanism can also be reduced with respect to the second lift mechanism, so that the size and weight of the second lift mechanism can be reduced.

또한, 상기 제1류 물품은 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼용 용기이고, 상기 제2류 물품은 EUV 마스크를 수납하는 EUV용 용기와, 레티클을 수납하는 레티클용 용기 중 적어도 한쪽이면 호적하다.The first kind of article is a container for wafers containing a semiconductor wafer, and the second kind of article is suitable for at least one of an EUV container for storing an EUV mask and a reticle container for storing a reticle.

상기 구성에 의하면, 반도체 제조 설비에 있어서, 일반적으로 반송량이 비교적 많은 웨이퍼용 용기와, 반송량이 비교적 적은 EUV용 용기나 레티클용 용기를 반송 효율의 저하를 억제하면서 적절하게 반송할 수 있다.According to the said structure, in the semiconductor manufacturing equipment, generally the container for wafers with a comparatively large conveyance quantity, the container for EUV and the container for reticle with a relatively small conveyance quantity can be conveyed suitably, suppressing the fall of conveyance efficiency.

또한, 상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 이송탑재 장치 및 상기 승강체의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제1 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 제어와, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제2류 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 제어와, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제3 이송탑재 제어를 실행하고, 또한 상기 제1 이송탑재 제어와 상기 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 상기 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하면 호적하다.The apparatus may further include a control unit for controlling the operations of the first transport mounting device, the second transport mounting device, and the lifting body, wherein the control unit is configured to connect the first transport mounting device to the first transport mounting device from the target location for transporting. A first conveyance control for conveying and carrying the articles of the article, a second conveyance control for conveying and carrying the second kind of article to the second conveyance device from the conveyance placement object, and the first conveyance from the conveyance object. 2 If the 3rd conveyance mounting control which carries a said 1st goods is carried by a conveyance mounting apparatus, and both of the said 1st conveyance mounting control and the 3rd conveyance mounting control are feasible, the said 1st conveyance mounting is carried out. It is appropriate to execute control first.

상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 제어와 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하게 된다. 상기와 같이, 제1 이송탑재 장치는 제2 이송탑재 장치에 비하여 이송탑재 동작을 단시간에 실행 가능하다. 그러므로, 상기 구성에 의하면, 제1류 물품의 반송을 보다 효율적으로 행할 수 있다.According to the above configuration, when both of the first transfer mounting control and the third transfer mounting control are feasible, the first transfer mounting control is executed first. As described above, the first transfer mounting apparatus can execute the transfer mounting operation in a short time as compared with the second transfer mounting apparatus. Therefore, according to the said structure, conveyance of the 1st goods can be performed more efficiently.

물품 반송 설비는 물품 반송 장치와, 컨베이어식 반송 장치를 포함하고,The article conveying apparatus includes an article conveying apparatus and a conveyor conveying apparatus,

상기 제2류 물품에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품과 제3종 물품이 포함되고, 상기 제1류 물품은 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품이고, 상기 컨베이어식 반송 장치는 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제1종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어를 구비하고, 상기 제1 컨베이어보다 상방에 상기 제2 컨베이어와 상기 제3 컨베이어가 설치되고, 상기 제1 컨베이어와 상기 제2 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제2 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되고, 상기 제1 컨베이어와 상기 제3 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제3 컨베이어 사이의 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있다.The second kind of article includes a second type article and a third type article which have different external dimensions from each other, and the first type article has a different product from both the second type article and the third type article. A first type of article, the conveyor type conveying apparatus includes a first conveyor and a second conveyor for conveying only the first type of article of the first type of article, the second type of article and the third type of article along a horizontal direction; A third conveyor for carrying only the second type article and the third type article out of the first type article, the second type article, and the third type article along a horizontal direction; The second conveyor and the third conveyor is provided, the first conveyor and the second conveyor, the transfer of the first kind of goods between the porcelain and the first conveyor by the first transfer mounting device, The second transfer loading cabinet And the first conveyor and the third conveyor are arranged at intervals capable of simultaneously carrying the transfer of the first type article between the porcelain and the second conveyor. 1 the transfer of the first type of goods between the conveyor, and the transfer of the second type of goods and the third type of goods between the porcelain and the third conveyor by the second conveying device at a time interval which can be executed at the same time It is arranged.

상기 구성에 의하면, 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 제1 컨베이어 사이에서의 제1종 물품의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 제2 컨베이어 사이에서의 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다. 또한, 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 제1 컨베이어 사이에서 제1종 물품의 이송탑재와, 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 제3 컨베이어 사이에서의 제2종 물품 및 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다.According to the above configuration, transfer of goods of the first type between the porcelain and the first conveyor by the first conveying device and transfer of articles of the first type between the porcelain and the second conveyor by the second conveying device You can run the mount at the same time. In addition, the transfer of goods of the first type between the porcelain and the first conveyor by the first conveying device, the second and third kind of goods between the porcelain and the third conveyor by the second conveying device It is possible to run the transport load at the same time.

즉, 제2 이송탑재 장치에, 제1종 물품과 제2종 물품과 제3종 물품의 어느 물품을 유지하는 경우라도, 제1 이송탑재 장치에 의한 이송탑재와 제2 이송탑재 장치에 의한 이송탑재를 동시에 실행할 수 있다. 그리고, 반송량이 비교적 적은 제2종 물품이나 제3종 물품을 제2 이송탑재 장치에 유지하지 않는 경우에는, 이 제2 이송탑재 장치에 반송량이 비교적 많은 제1종 물품을 유지할 수 있으므로, 물품의 반송 효율을 높일 수 있다.That is, even when the article of the first kind, the second kind and the third kind of article is held in the second conveying apparatus, the conveying by the first conveying apparatus and the second conveying apparatus You can run the mount at the same time. In the case where the second-class article or the third-class article with a relatively small amount of conveyance is not held in the second conveyance loading apparatus, the first type of article with a relatively high conveyance amount can be retained in the second conveyance loading apparatus. The conveyance efficiency can be improved.

따라서, 상기 구성에 의하면, 상이한 종류의 물품을 모아서 반송할 수 있으면서, 물품의 반송 효율을 높일 수 있다.Therefore, according to the said structure, the conveyance efficiency of an article can be improved, collecting and conveying a different kind of article.

본 개시에 관한 기술은, 제1 이송탑재 장치와 제2 이송탑재 장치와 승강체를 포함한 물품 반송 장치에 이용할 수 있다.The technique according to the present disclosure can be used for an article carrying apparatus including a first transfer mounting apparatus, a second transfer mounting apparatus, and a lifting body.

1 : 승강식 반송 장치(물품 반송 장치)
2 : 컨베이어식 반송 장치
3 : 이송탑재 대상 개소
6 : 제1 이송탑재 장치
7 : 제2 이송탑재 장치
8 : 승강체
11 : 제1 유지부
12 : 제1 출퇴 기구
13 : 제1 승강 기구
16 : 제2 유지부
17 : 제2 출퇴 기구
18 : 제2 승강 기구
21 : 제1 컨베이어
22 : 제2 컨베이어
23 : 제3 컨베이어
H1 : 제1 제어부(제어부)
K1 : 제1류 물품
K2 : 제2류 물품
R1 : 제1류 피유지부
R2 : 제2류 피유지부
S4 : 제2 재고 센서(제1 센서)
S5 : 제3 재고 센서(제2 센서)
T1 : 제1종 물품
T2 : 제2종 물품
T3 : 제3종 물품
Z : 상하 방향1: lifting type conveying device (article conveying device)
2: conveyor conveying device
3: destination for transportation
6: first transfer equipment
7: second transfer equipment
8: lifting body
11: first holding part
12: first withdrawal mechanism
13: first lifting mechanism
16: second holding part
17: second withdrawal mechanism
18: second lifting mechanism
21: first conveyor
22: second conveyor
23: third conveyor
H1: first control unit (control unit)
K1: Goods of Chapter 1
K2: Second-class goods
R1: Class 1 maintenance part
R2: Class 2 maintenance part
S4: second inventory sensor (first sensor)
S5: third inventory sensor (second sensor)
T1: Article 1 article
T2: Article 2 goods
T3: Article 3 goods
Z: Up and down direction

Claims (8)

제1 이송탑재(移載) 장치;
상기 제1 이송탑재 장치보다 상방이자 또한 상하 방향을 따르는 상하 방향에서 볼 때 상기 제1 이송탑재 장치와 중첩되는 위치에 설치된 제2 이송탑재 장치; 및
상기 제1 이송탑재 장치 및 상기 제2 이송탑재 장치를 지지하고 또한 상기 상하 방향을 따라 이동하는 승강체;
를 포함하고,
제1류 물품과, 상기 제1류 물품과는 종류가 상이한 제2류 물품이 반송(搬送) 대상이며, 상기 제1류 물품의 반송량은 상기 제2류 물품의 반송량보다 많고,
상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 중 상기 제1류 물품만을 자기(自己)와 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되고,
상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품 및 상기 제2류 물품의 양쪽을 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서 이송탑재 가능하게 구성되며,
상기 제1 이송탑재 장치는, 자기와 상기 이송탑재 대상 개소 사이에서의 상기 제1류 물품의 이송탑재 동작을 상기 제2 이송탑재 장치에 비하여 단시간에 실행 가능한 구성인,
물품 반송 장치.A first transfer mounting device;
A second transfer mounting apparatus installed at a position overlapping with the first transfer mounting apparatus when viewed from above and below the first transfer mounting apparatus and along the vertical direction; And
A lifting body supporting the first transporting device and the second transporting device and moving along the vertical direction;
Including,
A first-class article and a second-class article different in kind from the first-class article are subject to conveyance, and the conveyed amount of the first-class article is larger than the conveyed amount of the second-class article,
The first transfer mounting apparatus is configured to be capable of transfer mounting only between the first type article and the second type article between the porcelain and the transfer target object.
The second transfer mounting apparatus is configured to transfer both the first article and the second article between the porcelain and the transfer target object,
The said 1st conveying loading apparatus is a structure which can perform the conveyance mounting operation | movement of the said 1st goods | goods between a magnetic body and the said conveying loading target place in a short time compared with the said 2nd conveying mounting apparatus,
Goods conveying device. 제1항에 있어서,
상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 승강체와 상기 이송탑재 대상 개소를 연결하는 방향을 따라 돌출 및 인퇴(引退)하는 출퇴(出退) 동작과, 상기 상하 방향을 따라 승강하는 승강 동작을 행하도록 구성되고,
상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 이송탑재 동작으로서, 상기 출퇴 동작과 상기 승강 동작에 더하여, 상기 제1류 물품 또는 상기 제2류 물품을 유지하는 유지 동작을 행하도록 구성되어 있는, 물품 반송 장치.The method of claim 1,
The said 1st conveyance mounting apparatus is a said conveyance mounting operation | movement, withdraw | raising operation | movement which protrudes and retracts along the direction which connects the said lifting body and the said target object to be mounted, and elevating along the said up-down direction Configured to perform a lifting operation
The said 2nd conveyance loading apparatus is an conveyance apparatus which is comprised so that the said conveyance mounting operation may perform the holding | maintenance operation which hold | maintains the said 1st goods or the 2nd goods in addition to the said withdrawal operation and the said lifting operation. . 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 바닥면을 하방으로부터 지지함으로써 유지하도록 구성된 제1 유지부를 구비하고,
상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품의 상부에 구비된 제1류 피유지부와, 상기 제2류 물품의 상부에 구비된 제2류 피유지부 모두를 유지할 수 있도록 구성된 제2 유지부를 구비하고 있는, 물품 반송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The first transfer mounting device includes a first holding part configured to hold the bottom surface of the first article from below.
The second transfer-mounted device includes: a second configured to hold both the first-class held part provided on the upper part of the first type article and the second-class held part provided on the upper part of the second type article. An article carrying apparatus comprising a holding unit. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1류 물품은 상기 제2류 물품보다 상기 상하 방향의 치수가 크고,
상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 검출하기 위한 제1 센서와, 상기 제2류 물품을 검출하기 위한 제2 센서를 구비하고,
상기 제1 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제1류 물품이 존재하는 높이이고 또한 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하지 않는 높이에 설치되고,
상기 제2 센서는, 상기 제2 이송탑재 장치가 유지하는 상기 제2류 물품이 존재하는 높이에 설치되어 있는, 물품 반송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The first kind article has a larger dimension in the vertical direction than the second kind article,
The second transfer mounting apparatus includes a first sensor for detecting the first article, a second sensor for detecting the second article,
The first sensor is installed at a height at which the first-class article held by the second transfer-mounted device exists and at a height at which the second-class article held by the second transfer-mounted device does not exist.
The said 2nd sensor is an article conveying apparatus provided in the height which the said 2nd goods hold | maintained by the said 2nd conveyance mounting apparatus exists. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품을 유지하는 제1 유지부를 제1 인퇴 위치와 상기 제1 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제1 돌출 위치로 이동시키는 제1 출퇴 기구와, 상기 제1 유지부를 상기 제1 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제1 승강 기구를 구비하고,
상기 제2 이송탑재 장치는, 상기 제1류 물품과 상기 제2류 물품 모두를 유지할 수 있는 제2 유지부를 제2 인퇴 위치와 상기 제2 인퇴 위치에 대하여 상기 이송탑재 대상 개소가 존재하는 측으로 돌출시킨 제2 돌출 위치로 이동시키는 제2 출퇴 기구와, 상기 제2 유지부를 상기 제2 출퇴 기구에 대하여 상기 상하 방향으로 이동시키는 제2 승강 기구를 구비하고 있는, 물품 반송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The first transfer mounting apparatus moves the first holding portion for holding the first article to a first protruding position protruding to a side where the transfer target object exists relative to a first retracted position and the first withdrawn position. A first lifting mechanism and a first lifting mechanism for moving the first holding part in the vertical direction with respect to the first pulling out mechanism,
The second transfer mounting apparatus projects a second holding portion capable of holding both the first type article and the second type article toward the side where the transfer target target point exists with respect to a second retracted position and the second withdrawn position. And a second lifting mechanism for moving to the second projected position and a second lifting mechanism for moving the second holding part in the vertical direction with respect to the second pulling out mechanism. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1류 물품은 반도체 웨이퍼를 수납하는 웨이퍼용 용기이고,
상기 제2류 물품은 EUV 마스크를 수납하는 EUV용 용기와, 레티클을 수납하는 레티클용 용기 중 적어도 한쪽인, 물품 반송 장치.The method according to claim 1 or 2,
The first article is a wafer container for containing a semiconductor wafer,
An article carrying apparatus according to claim 2, wherein the article of second class is at least one of a container for EUV containing an EUV mask and a container for reticle containing a reticle. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 이송탑재 장치, 상기 제2 이송탑재 장치 및 상기 승강체의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하고,
상기 제어부는, 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제1 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제1 이송탑재 제어; 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제2류 물품을 이송탑재하는 제2 이송탑재 제어; 및 상기 이송탑재 대상 개소로부터 상기 제2 이송탑재 장치에 상기 제1류 물품을 이송탑재하는 제3 이송탑재 제어;를 실행하고, 또한 상기 제1 이송탑재 제어와 상기 제3 이송탑재 제어의 양쪽이 실행 가능한 경우에는, 상기 제1 이송탑재 제어를 우선적으로 실행하는, 물품 반송 장치.The method according to claim 1 or 2,
Further comprising a control unit for controlling the operation of the first transfer mounting device, the second transfer mounting device and the lifting body,
The control unit may include: a first transfer mounting control configured to transfer the first type article to the first transfer mounting apparatus from the target location of the transfer; A second transfer mounting control configured to transfer the second kind article to the second transfer mounting apparatus from the target location of the transfer; And a third transfer placement control for transferring the first kind article to the second transfer placement device from the target portion of the transfer placement. The article conveyance apparatus which implements the said 1st conveyance mounting control preferentially when it is executable. 제1항 또는 제2항에 기재된 물품 반송 장치, 및 컨베이어식 반송 장치를 포함한 물품 반송 설비로서,
상기 제2류 물품에는, 서로 외형 치수가 상이한 제2종 물품과 제3종 물품이 포함되고,
상기 제1류 물품은, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 양쪽과 외형 치수가 상이한 제1종 물품이며,
상기 컨베이어식 반송 장치는, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제1종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제1 컨베이어 및 제2 컨베이어와, 상기 제1종 물품, 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품 중 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품만을 수평 방향을 따라 반송하는 제3 컨베이어를 구비하고,
상기 제1 컨베이어보다 상방에, 상기 제2 컨베이어와 상기 제3 컨베이어가 설치되고,
상기 제1 컨베이어와 상기 제2 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제2 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되고,
상기 제1 컨베이어와 상기 제3 컨베이어는, 상기 제1 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제1 컨베이어 사이의 상기 제1종 물품의 이송탑재와, 상기 제2 이송탑재 장치에 의한 자기와 상기 제3 컨베이어 사이의 상기 제2종 물품 및 상기 제3종 물품의 이송탑재를 동시에 실행 가능한 간격으로 배치되어 있는,
물품 반송 설비.An article carrying apparatus comprising the article carrying apparatus according to claim 1 or 2 and a conveyor-type carrying apparatus,
The second kind of article includes a second kind of article and a third kind of article having different external dimensions from each other
The first kind of article is a first kind of article which differs in external dimensions from both of the second kind of article and the third kind of article,
The said conveyor type conveying apparatus is a 1st conveyor and a 2nd conveyor which convey only a said 1st kind article of the said 1st kind article, the 2nd kind article, and the 3rd kind article along a horizontal direction, and the said 1st kind A third conveyor for transporting only the second type article and the third type article along the horizontal direction among the article, the second type article, and the third type article;
The second conveyor and the third conveyor are provided above the first conveyor,
The first conveyor and the second conveyor, the transfer of the first type of goods between the magnetism by the first conveying device and the first conveyor, the magnetism by the second conveying device and the second Disposed at intervals executable to simultaneously transport the first type of goods between the conveyors,
The first conveyor and the third conveyor, the transfer of the first kind of goods between the magnetism by the first conveying device and the first conveyor, the magnetism by the second conveying device and the third Disposed at intervals capable of simultaneously carrying the second type article and the third type article between the conveyors;
Goods conveying equipment.
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