KR20190111045A - High pressure discharge lamp - Google Patents
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Abstract
애자 (30) 는, 발광관 (10) 의 타방의 측관부 (15) 와 리플렉터 (20) 의 삽입공 (23) 사이에 형성된 공간 (s) 과 외부를 연통하는 개방부 (34) 를 갖고, 또, 일방의 측관부 (14) 의 길이 (L1) 는, 타방의 측관부 (15) 의 길이 (L2) 보다 길다. 이로써, 냉각 효율을 높여, 조도 업을 도모하는 것이 가능한 고압 방전 램프를 제공한다.The insulator 30 has a space s formed between the other side pipe portion 15 of the light emitting tube 10 and the insertion hole 23 of the reflector 20 and an open portion 34 communicating with the outside. In addition, the length L1 of one side pipe part 14 is longer than the length L2 of the other side pipe part 15. Thereby, the high pressure discharge lamp which can raise cooling efficiency and can aim at illumination intensity up is provided.
Description
본 발명은, 고압 방전 램프에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 노광 장치의 다등의 광원부를 구성하는 고압 방전 램프에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high pressure discharge lamp, and more particularly, to a high pressure discharge lamp constituting various light source parts of an exposure apparatus.
최근, 플랫 패널 디스플레이 장치의 컬러 필터나, 프린트 배선 기판을 제조할 때에 사용되는 노광 장치에서는, 노광 영역의 확대가 요구되고 있는 점에서, 광원부의 출력도 높일 것이 요구되고 있다. 이 때문에, 제조 비용 등에서 유리한, 비교적 저조도의 고압 방전 램프를 복수 사용하여, 광원부를 구성하도록 한 것이 여러 가지 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).In recent years, in the color filter of a flat panel display apparatus and the exposure apparatus used when manufacturing a printed wiring board, since the expansion of an exposure area | region is calculated | required, the output of a light source part is also requested | required. For this reason, the thing which comprised the light source part using two or more comparatively low-light high-pressure discharge lamps favorable in manufacture cost etc. is known variously (for example, refer patent document 1).
도 8 에 나타내는 바와 같이, 종래의 고압 방전 램프 (100) 로는, 방전하여 광을 발광하는 발광관 (110) 과, 발광관 (110) 으로부터의 광에 지향성을 갖게 하여 출사하는 리플렉터 (120) 와, 발광관 (110) 과 리플렉터 (120) 를 고정시키는 애자 (130) 와, 발광관 (110) 과 전기적으로 접속되는 와이어 (140) 를 주로 구비한다. 발광관 (110) 내에는, 할로겐 가스, 수은, 시동용 아르곤 등이 봉입된 내부 공간을 갖는 발광부 (111), 발광부 (111) 의 내부 공간을 봉지하는 1 쌍의 봉지부 (112, 113), 및, 발광부 (111) 내에 서로 대향하여 배치된 1 쌍의 전극 (114, 115) 이 형성되어 있다.As shown in FIG. 8, the conventional high-
또, 특허문헌 1 에 기재된 광원 장치에서는, 방전 램프 (100) 가 순정품인지의 여부를 고정밀도, 단시간 또한 저비용으로 검사할 수 있도록, 애자 (130) 의 내부에 백열등 (131) 이 형성되어 있다.Moreover, in the light source apparatus of
또한, 특허문헌 2 에 기재된 광 조사 장치에서는, 복수의 램프를 카세트에 위치 결정하여 사용하는 구성에 있어서, 각 램프의 베이스 부재에, 각 램프를 냉각시키기 위한 냉각로를 형성하는 것이 기재되어 있다.Moreover, in the light irradiation apparatus of patent document 2, in the structure which positions and uses several lamp | ramps in a cassette, it is described that forming the cooling path for cooling each lamp in the base member of each lamp | ramp.
그런데, 고압 방전 램프에서는, 램프마다의 조도 업도 요구되고 있다. 이 때문에, 발광부 내의 휘점에서의 에너지량이 증대하는 점에서, 냉각 효율의 추가적인 개선이 요구된다.By the way, in the high pressure discharge lamp, the illuminance up | up for every lamp is also calculated | required. For this reason, since the energy amount in the bright point in a light emitting part increases, further improvement of cooling efficiency is calculated | required.
본 발명은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 냉각 효율을 높여, 조도 업을 도모하는 것이 가능한 고압 방전 램프를 제공하는 것에 있다.This invention is made | formed in view of the subject mentioned above, The objective is to provide the high pressure discharge lamp which can raise a cooling efficiency and can aim at illumination intensity up.
본 발명의 상기 목적은, 하기의 구성에 의해 달성된다.The said objective of this invention is achieved by the following structures.
(1) 1 쌍의 전극이 대향하여 배치되는 타원체상 또는 구면상의 발광관부와, 그 발광관부의 양 단부에 연접되고, 상기 1 쌍의 전극의 길이 축선을 따라 연장되는 1 쌍의 측관부를 갖는 유리제의 발광관과,(1) an ellipsoidal or spherical light emitting tube portion in which a pair of electrodes are opposed to each other, and a pair of side tube portions connected to both ends of the light emitting tube portion and extending along a length axis of the pair of electrodes; With a light emitting tube of glass,
상기 길이 축선 방향의 일방측에 형성되고, 일방의 상기 측관부가 돌출되는 개구부와, 상기 길이 축선 둘레에 형성되는 포물면상의 반사면과, 상기 길이 축선 방향의 타방측에 형성되고, 타방의 상기 측관부가 간극을 갖고 삽입 가능한 삽입공을 갖는 리플렉터와,It is formed in one side of the said longitudinal axis direction, is formed in the opening part which one said side pipe part protrudes, the reflection surface on the parabolic surface formed around the said longitudinal axis, and the other side of the said longitudinal axis direction, The said other side A reflector having an insertion hole that can be inserted with a clearance between the pipes,
상기 발광관과, 상기 리플렉터가 각각 고정되는 애자를 구비하고,And a insulator to which the light emitting tube and the reflector are respectively fixed,
상기 애자는, 상기 타방의 측관부와 상기 리플렉터의 삽입공 사이에 형성된 공간과 외부를 연통하는 개방부를 갖고,The insulator has a space formed between the other side pipe portion and the insertion hole of the reflector and an open portion communicating with the outside,
상기 일방의 측관부의 길이는, 상기 타방의 측관부의 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 고압 방전 램프.The length of the said one side pipe | tube part is longer than the length of the said other side pipe | tube part, The high pressure discharge lamp characterized by the above-mentioned.
(2) 상기 일방의 측관부는, 상기 램프의 불감 영역 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 (1) 에 기재된 고압 방전 램프.(2) Said one side pipe part is arrange | positioned in the dead region of the said lamp, The high-pressure discharge lamp as described in (1) characterized by the above-mentioned.
(3) 상기 리플렉터에는, 상기 개구부에 인접하고, 상기 길이 축선 방향에 수직인 평탄면이 형성되고,(3) The reflector is formed with a flat surface adjacent to the opening and perpendicular to the longitudinal axis direction,
상기 길이 축선 방향에 있어서, 상기 리플렉터의 평탄면으로부터 상기 일방의 측관부까지의 거리 L3 은, 상기 발광관부의 중심으로부터 상기 리플렉터의 평탄면까지의 거리를 L4 로 하였을 때, 0.2 × L4 ≤ L3 ≤ 1.0 × L4 인 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (2) 에 기재된 고압 방전 램프.In the longitudinal axis direction, the distance L3 from the flat surface of the reflector to the one side pipe portion is 0.2 × L4 ≦ L3 ≦ when the distance from the center of the light emitting tube portion to the flat surface of the reflector is L4. It is 1.0 * L4, The high pressure discharge lamp as described in (1) or (2) characterized by the above-mentioned.
본 발명의 고압 방전 램프에 의하면, 애자는, 발광관의 타방의 측관부와 리플렉터의 삽입공 사이에 형성된 공간과 외부를 연통하는 개방부를 갖고, 또, 일방의 측관부의 길이는, 타방의 측관부의 길이보다 길다. 이로써, 발광관의 양 측관부에서의 냉각 효율을 높일 수 있어, 램프 자체의 조도 업을 도모할 수 있다.According to the high-pressure discharge lamp of the present invention, the insulator has a space formed between the other side tube portion of the light emitting tube and the insertion hole of the reflector and an open portion communicating with the outside, and the length of one side tube portion is the other side. Longer than the length of the crown Thereby, the cooling efficiency in both side pipe parts of a light emitting tube can be improved, and the illumination intensity of a lamp itself can be aimed at.
도 1 은, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 고압 방전 램프의 사시도이다.
도 2 는, 도 1 에 나타내는 고압 방전 램프의 측면도이다.
도 3 은, 도 1 에 나타내는 고압 방전 램프의 단면도이다.
도 4 는, 도 1 에 나타내는 고압 방전 램프를, 도 3 과 직교하는 위치에서 절단한 단면도이다.
도 5 의 (a) 는, 휘점으로부터 발광된 광의 배향 분포를 나타내는 도면이고, (b) 는, 리플렉터의 반사면에서 반사된 광의 배향 분포 및 불감 영역을 나타내는 도면이다.
도 6 은, 본 실시형태의 고압 방전 램프가 램프 홀더에 장착된 상태를 나타내는 사시도이다.
도 7 은, 램프의 수명 시간을 관리하기 위한 회로를 나타내는 도면이다.
도 8 은, 종래의 고압 방전 램프를 나타내는 단면도이다.1 is a perspective view of a high-pressure discharge lamp according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view of the high pressure discharge lamp shown in FIG. 1.
3 is a cross-sectional view of the high-pressure discharge lamp shown in FIG. 1.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the high-pressure discharge lamp shown in FIG. 1 cut at a position perpendicular to FIG. 3.
FIG. 5A is a diagram showing the orientation distribution of light emitted from the bright point, and (b) is a diagram showing the orientation distribution and the dead region of the light reflected by the reflecting surface of the reflector.
6 is a perspective view showing a state in which the high-pressure discharge lamp of the present embodiment is attached to the lamp holder.
7 is a diagram illustrating a circuit for managing the life time of a lamp.
8 is a cross-sectional view showing a conventional high pressure discharge lamp.
이하, 본 발명의 일 실시형태에 관련된 고압 방전 램프에 대해, 도 1 ∼ 도 6 을 참조하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the high pressure discharge lamp which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated in detail with reference to FIGS.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 고압 방전 램프 (1) 는, 방전하여 광을 발광하는 유리제의 발광관 (10) 과, 발광관 (10) 으로부터의 광에 지향성을 갖게 하여 출사하는 리플렉터 (20) 와, 발광관 (10) 과 리플렉터 (20) 를 각각 고정시키는 애자 (30) 와, 발광관 (10) 과 전기적으로 접속되는 와이어 (16, 17) (도 4 참조) 를 주로 구비한다.As shown in FIG. 1, the high-
도 3 에 나타내는 바와 같이, 발광관 (10) 은, 1 쌍의 전극 (11, 12) 이 대향하여 배치되는 타원체상의 발광관부 (13) 와, 그 발광관부 (13) 의 양 단부에 연접되고, 1 쌍의 전극 (11, 12) 의 길이 축선 (X) 을 따라 연장되는 1 쌍의 측관부 (14, 15) 를 갖는다. 또, 발광관부 (13) 의 내부 공간 내에는, 할로겐 가스, 수은, 시동용 아르곤 등이 봉입되어 있고, 1 쌍의 측관부 (14, 15) 는, 발광관부 (13) 의 내부 공간을 봉지한다. 또한, 발광관부 (13) 의 형상은, 구면상이어도 된다.As shown in FIG. 3, the
리플렉터 (20) 는, 길이 축선 (X) 방향의 일방측에 형성되고, 일방의 측관부 (14) 가 돌출되는 개구부 (21) 와, 길이 축선 (X) 둘레에 형성되는 포물면상의 반사면 (22) 과, 길이 축선 (X) 방향의 타방측에 형성되고, 타방의 측관부 (15) 가 간극 (g) 을 갖고 삽입 가능한 삽입공 (23) 을 갖는다.The
발광관 (10) 은, 일방의 측관부 (14) 내로 연장되는 일방의 전극 (11) 을 애노드 (양극) 로 하고, 타방의 측관부 (15) 내로 연장되는 타방의 전극 (12) 을 캐소드 (음극) 로 하고 있다. 이것은, 일반적으로, 직류 방전등에서는 전극의 선단 형상의 사이즈가 (음극) < (양극) 이기 때문에, 방전에 의해 발광하는 광은 양극측에서 차단되는 각도가 음극측에서 차단되는 각도보다 크다. 한편, 리플렉터 (20) 는, 개구부 (21) 측에서 받게 되는 광의 각도를 크게 하기 위해서는 리플렉터 (20) 를 깊게 할 필요가 있다. 그 때문에, 광을 차단하는 각도가 큰 양극을 리플렉터 (20) 의 개구부 (21) 측으로 함으로써, 음극을 개구부 (21) 측으로 하는 것보다, 리플렉터 (20) 를 소형화할 수 있다.The
일방의 측관부 (14) 의 선단부, 및 타방의 측관부 (15) 의 기단부로부터 연장되는 전선은, 급전에 사용되는 1 쌍의 와이어 (16, 17) 에 각각 접속되어 있다. 또한, 일방의 측관부 (14) 와 접속된 와이어 (16) 는, 리플렉터 (20) 에 장착된 받침대 (24) 를 통하여 외부로 도출된다.The electric wires extending from the distal end of one
리플렉터 (20) 는, 공기그릇상의 바닥부의 외측에 애자 (30) 의 베이스부 (31) 를 덮고, 그 접합부를 접착제로 고착시키고 있다 (도 4 참조). 또, 애자 (30) 의 베이스부 (31) 의 통상의 중앙 부분은, 리플렉터 (20) 의 삽입공 (23) 내에 삽입되는 타방의 측관부 (15) 의 기단측 부분을 유지하는 유지부 (32) 를 구비한다. 타방의 측관부 (15) 는, 이 유지부 (32) 에서 애자 (30) 와 접착제로 고정된다.The
따라서, 리플렉터 (20) 및 발광관 (10) 의 타방의 측관부 (15) 는, 애자 (30) 에 각각 고정되고, 리플렉터 (20) 와 발광관 (10) 은 접착되어 있지 않고, 타방의 측관부 (15) 와 리플렉터 (20) 의 삽입공 (23) 사이의 간극은, 공간 (s) 을 형성한다.Therefore, the other
애자 (30) 는, 상기 서술한 베이스부 (31) 와, 유지부 (32) 를 포함하여 그 베이스부 (31) 의 후방을 덮는 커버부 (33) 를 갖는다. 커버부 (33) 의 바닥부 (33a) 는 평탄하게 형성되어 있다.The
이 때문에, 이 평탄한 바닥부 (33a) 에 도시되지 않은 램프 누름 커버를 맞닿게 하고, 이 램프 누름 커버와 도 6 에 나타내는 램프 홀더 (40) 를 결합함으로써, 램프 (1) 를 램프 홀더 (40) 에 고정시켜도 된다.For this reason, by attaching the lamp press cover not shown to this
도 3 으로 돌아와, 애자 (30) 의 베이스부 (31) 는, 타방의 측관부 (15) 와 리플렉터 (20) 의 삽입공 (23) 사이의 공간 (s) 과 외부를 연통함과 함께, 타방의 측관부 (15) 를 외부에 개방한 2 개의 개방부 (34) 를 갖는다. 그리고, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 램프 (1) 가 램프 홀더 (40) 에 장착된 상태에 있어서, 램프 홀더 (40) 의 후방에서 에어를 끌어들여 배기함으로써, 램프 (1) 의 전면으로부터 거두어들인 에어가, 공간 (s) 과 개방부 (34) 를 통과하여, 발광관 (10) 을 냉각시킨다. 따라서, 공간 (s) 과 개방부 (34) 는, 냉각로를 형성한다.3, the
또한, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 애자 (30) 의 베이스부 (31) 와 커버부 (33) 사이의 수용 공간에는, 저항체로서의 백열등 (35) 이 배치되어 있고, 외부의 급전 와이어 (36) 와 접속되어 있다. 이 백열등 (35) 의 필라멘트 (35a) 는 저항체이기 때문에, 주위의 온도에 영향을 받아 저항값이 변화한다. 또한, 급전 와이어 (36) 는, 와이어 (16, 17) 와는 다른 계통의 전원에 접속된다. 또, 이 백열등 (35) 은, 냉각로를 통과하는 에어에 의해 차가워지지 않도록, 그 수용 공간에 배치되어 있다. 예를 들어, 백열등 (35) 에 전류를 공급하여, 백열등 (35) 의 필라멘트 (35a) 의 양단의 전압을 측정하고, 그 전압을, 사전에 조사해 둔 전압과 온도의 데이터베이스와 대조하여, 램프의 온도나 냉각 상태를 관리할 수 있다. 혹은, 백열등 (35) 에 충분히 큰 전류를 공급하여, 백열등 (35) 의 필라멘트 (35a) 의 용단을 실시한다. 용단의 유무를 판정 회로에서 확인하고, 사용 이력 관리를 실시하도록 해도 된다.In addition, as shown in FIG. 4, an
또한, 저항체로는, 백열등 (35) 외에, 금속 피막 저항, 탄소 저항, 금속 와이어, 열전쌍, 바이메탈 등을 사용하여, 수명 관리나, 온도 관리를 실시하도록 해도 된다.As the resistor, in addition to the
또, 백열등 (35) 은, 램프 (1) 의 애자 (30) 의 내부에 있어도 되고, 애자 (30) 의 외측에 배치되어 급전 와이어 (36) 와 접속되어 있어도 된다.Moreover, the
또, 리플렉터 (20) 의 개구부 (21) 의 외연은, 모퉁이부가 모따기된 대략 정방형상으로 형성되어 있지만, 4 개의 모퉁이부 중 하나는, 얼라인먼트용의 절결 (26) 로 되어, 3 개의 모퉁이부와 상이한 형상으로 되어 있다. 이로써, 램프 (1) 가 램프 홀더 (40) 에 장착되면, 램프 (1) 는, 모두 동일한 방향으로 얼라인먼트된다.Moreover, although the outer edge of the
발광관 (10) 은, 상측에 위치하는 부분의 온도가 높아지기 때문에, 상측을 통과하는 공기의 양을 많게 하면, 냉각 효율이 오른다.Since the temperature of the part located in the upper side becomes high in the
이 때문에, 램프 홀더 (40) 가 장착되는 조명 장치에 있어서, 애자 (30) 에 형성된 2 개의 개방부 (34) 가 상하 방향에 위치하도록, 램프 (1) 가 얼라인먼트되어 램프 홀더 (40) 에 장착되는 것이 바람직하다.For this reason, in the lighting apparatus with which the
또, 상측에 위치하는 개방부 (34) 의 개구 면적을, 하측에 위치하는 개방부 (34) 의 개구 면적보다 커지도록, 애자 (30) 의 형상을 비대칭으로 하여, 냉각 효율을 더욱 높여도 된다. 예를 들어, 본 실시형태에서는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 개방부 (34) 의 개구 간극 (g) 은, 길이 축선 (X) 을 통과하는 2 개의 평면에 의해 규정되어 있고, 그 2 개의 평면에 의해 형성되는 각도를 바꿈으로써, 그 개구 간극 (g), 나아가서는 개구 면적을 변경할 수 있다.Moreover, the shape of the
여기서, 본 실시형태의 램프 (1) 에서는, 조도 업을 도모하기 위해, 발광관부 (13) 에서의 에너지량을 증대시키고 있고, 그에 수반하여, 발광관부 (13) 에서의 온도가, 종래의 것보다 고온이 된다. 한편, 일방의 측관부 (14) 및 타방의 측관부 (15) 로부터 연장되는 전선과 와이어 (16, 17) 의 접속 부분은, 내열성의 관점에서 비교적 온도를 내릴 필요가 있다.Here, in the
이 때문에, 본 실시형태에서는, 일방의 측관부 (14) 의 길이 (L1) 를, 타방의 측관부 (15) 의 길이 (L2) 보다 길게 설계하고 있다. 즉, 타방의 측관부 (15) 는, 냉각로 내를 통과하는 에어에 노출됨으로써, 일방의 측관부 (14) 에 비해 방열 작용이 높다. 이에 대해, 일방의 측관부 (14) 는, 타방의 측관부 (15) 보다 길게 함으로써, 발광관부 (13) 와, 일방의 측관부 (14) 로부터의 전선과 와이어 (16) 의 접속 부분까지의 거리를 떼어 놓아, 그 접속 부분에서의 온도의 저감을 더욱 도모한다. 따라서, 발광관 (10) 의 양 측관부 (14, 15) 에서 냉각 효율을 높일 수 있다.For this reason, in this embodiment, the length L1 of one
구체적으로, 본 실시형태에서는, 일방의 측관부 (14) 의 길이 (L1) 는, 타방의 측관부 (15) 의 길이 (L2) 에 대해, 1.1 ∼ 1.4 배로 설정되어 있다.Specifically, in the present embodiment, the length L1 of one
또, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 일방의 측관부 (14) 는, 램프 (1) 로부터의 광을 저해시키지 않도록, 램프 (1) 의 불감 영역 (A) 내에 배치된다.Moreover, as shown in FIG. 4, one side pipe |
도 5(a) 에 나타내는 바와 같이, 발광관부 (13) 에서는, 1 쌍의 전극 (11, 12) 사이에서의 방전에 의해, 휘점 (P) 에서 발생한 광은 방사상으로 퍼지지만, 전극 (11, 12) 이 존재함으로써, 광의 배향 분포는 사선부 (B) 와 같이 되어, 전극 (11, 12) 이 연장되는 방향에서는 그림자가 생긴다.As shown in FIG. 5 (a), in the light emitting
또, 도 5(b) 에 나타내는 바와 같이, 리플렉터 (20) 는 포물면이며, 발광관 (10) 의 휘점 (P) 은, 포물면의 초점에 배치되어 있다. 이 때문에, 휘점 (P) 으로부터 발한 광선은, 일점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 리플렉터 (20) 의 반사면 (22) 에서 반사되어 평행광이 된다. 그러나, 휘점 (P) 의 초점으로부터의 어긋남과, 휘점 (P) 이 유한의 사이즈를 갖고 있기 때문에, 실제로는, 점선으로 나타내는 바와 같은 광선을 포함하기 때문에, 모두가 평행광이 되지는 않는다. 이 평행광을 포함하는 모든 광선의 방향을 고려하면, 리플렉터 (20) 에서 반사된 광은, 또한, 도 5(b) 에 나타내는 사선부 (C) 를 모두 통과한다. 그리고, 이에 대해, 모든 반사된 광이 통과하지 않는 위치를 불감 영역 (A) 으로 하면, 일방의 측관부 (14) 는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 램프 (1) 의 불감 영역 (A) 내에 배치되어 있으므로, 리플렉터 (20) 에서 반사된 광을 저해시키지 않는다. 이 불감 영역 (A) 은, 리플렉터 (20) 의 포물면의 형상을 설계함으로써 부여된다.Moreover, as shown to FIG. 5 (b), the
이 때문에, 리플렉터 (20) 에는, 개구부 (21) 에 인접하고, 리플렉터 (20) 의 축 방향 일단을 규정하는, 길이 축선 (X) 방향에 수직인 평탄면 (25) 이 형성되어 있지만, 일방의 측관부 (14) 는, 이 평탄면 (25) 으로부터의 돌출 길이가 길어진다. 즉, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 길이 축선 (X) 방향에 있어서, 리플렉터 (20) 의 이 평탄면 (25) 으로부터 일방의 측관부 (14) 의 선단까지의 거리 L3 은, 발광관부 (13) 의 중심으로부터 리플렉터 (20) 의 평탄면 (25) 까지의 거리를 L4 로 하였을 때, 0.2 × L4 ≤ L3 ≤ 1.0 × L4 로 설정된다.For this reason, although the
각 측관부 (14, 15) 의 관경은, 각 측관부 (14, 15) 의 길이 (L1, L2) 에 대해 강도를 확보할 수 있는 굵기이고, 또한, 일방의 측관부 (14) 가 램프 (1) 의 불감 영역 (A) 으로부터 비어져 나오지 않도록 설정된다.The tube diameter of each
여기서, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 각 측관부 (14, 15) 의 관경을 D1 로 하면, 일방의 측관부 (14) 의 길이 (L1) 에 대해, D1 ≤ 0.4 × L1 로 설정되어 있다.Here, as shown in FIG. 3, when the diameter of each
또, 일방의 측관부 (14) 및 타방의 측관부 (15) 는, 각각 원통상으로 하고, 서로의 관경을 D1 과 동일하게 하고 있다. 각 측관부 (14, 15) 는 발광관부 (13) 와 접속되어 있고, 발광관부 (13) 는 각 측관부 (14, 15) 를 개재하여 와이어 (16, 17) 와 접속된다. 발광관부 (13) 는, 매우 고온이지만, 와이어 (16, 17) 는 산화 방지를 위해 온도를 낮게 할 필요가 있어, 각 측관부 (14, 15) 에서 온도 구배를 만듦으로써 와이어 (16, 17) 의 온도 저하를 실현하고 있다.In addition, one side pipe |
각 측관부 (14, 15) 의 관경 (D1) 을 동일하게 함으로써 발광관부 (13) 와 접속하는 근방의 온도 구배를 양극에서 동일하게 설정하기 쉬워진다. 한편, 발광관부 (13) 의 양극에서 온도 구배차가 커지면 유리 내부에 변형이 축적되어, 파열을 유발하는 요인이 된다.By making the diameter D1 of each side pipe |
또, 리플렉터 (20) 는, 개구 직경을 D2, 가상적인 포물면 (PA) 에 있어서의 초점 위치를 f1 로 하면, D2/f1 = 7 ∼ 10 으로 설정되는 것이 바람직하다. 이 범위로 설정함으로써, 집광 위치가 대략 1 m 이상이 되어, 효율적으로 플라이 아이 렌즈에 광을 모을 수 있다.In addition, the
이와 같이 구성된 고압 방전 램프 (1) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 세로 방향 및 가로 방향으로 복수씩 램프 홀더 (40) 에 장착됨으로써, 노광 장치용의 광원부로서 적용된다. 또, 도시되지 않은 배기 장치에 의해, 램프 홀더 (40) 의 배면측의 에어를 배기함으로써, 램프 홀더 (40) 의 전면측으로부터의 에어를, 각 고압 방전 램프 (1) 의 공간 (s) 을 냉각로로 하여 램프 (1) 에 거두어들임으로써, 각 램프 (1) 를 냉각시킬 수 있다. 또한, 램프 홀더 (40) 의 배면측은, 램프 누름 커버와 협동하여 밀폐 공간을 구성하고, 그 밀폐 공간으로부터 에어를 배기하도록 해도 된다.As shown in FIG. 6, the high-
이상 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 고압 방전 램프에 의하면, 애자 (30) 는, 발광관 (10) 의 타방의 측관부 (15) 와 리플렉터 (20) 의 삽입공 (23) 사이에 형성된 공간 (s) 과 외부를 연통하는 개방부 (34) 를 갖고, 또, 일방의 측관부 (14) 의 길이 (L1) 는, 타방의 측관부 (15) 의 길이 (L2) 보다 길다. 이로써, 발광관 (10) 의 양 측관부 (14, 15) 에서의 냉각 효율을 높일 수 있어, 램프 자체의 조도 업을 도모할 수 있다.As described above, according to the high-pressure discharge lamp of the present embodiment, the
또한, 본 발명은, 전술한 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 적절히 변형, 개량 등이 가능하다.In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A deformation | transformation, improvement, etc. are possible suitably.
예를 들어, 본 발명에서는, 발광관과 와이어의 접속의 방법이나, 발광관 내부의 구성은, 본 실시형태의 것에 한정되지 않고, 종래의 임의의 것을 적용할 수 있다.For example, in this invention, the method of connection of a light tube and a wire, and the structure inside a light tube is not limited to the thing of this embodiment, Any conventional thing can be applied.
또, 본 발명에서는, 도 7 에 나타내는 바와 같은 회로를 사용하여, 수명 시간의 관리를 실시하도록 해도 된다. 즉, 직렬로 배치된 저항체 (Ri) 와 퓨즈 (Fi) (각각, i = 1, 2, …, n ; n 은 1, 바람직하게는 2 이상의 정수) 가, 병렬로 n 열 배치된다. 저항체 (Ri) 는, 각각 저항값이 상이하고, 퓨즈 (Fi) 가 끊어지는 전류값은 각각 상이하다. 수명 시간을 관리할 때에는, 전원부 (50) 로부터 상이한 전류를 흐르게 함으로써, 각 퓨즈 (Fi) 를 소정 시간 경과할 때마다 절단한다. 또한, 전원부 (50) 의 r 은, 전원의 내부 저항을 나타내고 있다.In the present invention, the life time may be managed using a circuit as shown in FIG. 7. In other words, resistors Ri and fuses Fi (i = 1, 2, ..., n; n is 1, preferably 2 or more integers) arranged in series are arranged in n rows in parallel. The resistor Ri has a different resistance value, and the current value at which the fuse Fi blows is different. In managing the life time, each fuse Fi is cut every time a predetermined time elapses by flowing a different current from the
또, 전원부 (50) 의 전압을 제어하여, 각 퓨즈 (Fi) 를 순서대로 절단함으로써, 수명 시간의 관리를 실시하도록 해도 된다.Moreover, you may control life time by controlling the voltage of the
또한, 모든 저항체 (Ri) 와 퓨즈 (Fi) 의 합성 저항값을 판정 회로에서 판정함으로써, 램프 (1) 의 사양을 판별하는 것이 가능하다. 이 경우, 사양이 상이한 램프 (1) 를 점등시킨 상태에 있어서도, 수명 관리가 가능해져, 정상적으로 또한 안전하게 점등할 수 있다.In addition, it is possible to determine the specification of the
또한, 상기 회로는, 퓨즈 (Fi) 를 형성하지 않고, 저항값이 각각 상이한 복수의 저항체 (Ri) 를 병렬로 배치하도록 하고, 전원부 (50) 로부터 상이한 전류를 흐르게 함으로써, 각 저항체 (Ri) 가 소정 시간 경과할 때마다 순서대로 용단되도록 해도 된다.Further, in the circuit, without forming a fuse Fi, a plurality of resistors Ri having different resistance values are arranged in parallel, and different resistors Ri are caused by flowing different currents from the
또, 저항체는, 램프 (1) 의 애자 내부에 있어도 되고, 급전 와이어 (36) 와 외부의 전기적 접촉을 도모하는 도시하지 않은 커넥터부에 접속되어 있어도 된다. 이 경우에도, 저항체는, 램프 전극에 전력을 공급하는 와이어 (16, 17) 와는 다른 계통의 전원에 접속되어 있을 필요가 있다.Moreover, the resistor may be inside the insulator of the
본 발명은, 2017년 2월 2일 출원된 일본 특허출원 (일본 특허출원 2017-017856호) 에 기초하는 것이며, 그 내용은 여기에 참조로서 받아들여진다.This invention is based on the JP Patent application (Japanese Patent Application No. 2017-017856) of an application on February 2, 2017, The content is taken in here as a reference.
1 : 고압 방전 램프
10 : 발광관
11, 12 : 전극
13 : 발광관부
14, 15 : 측관부
20 : 리플렉터
21 : 개구부
22 : 반사면
23 : 삽입공
25 : 평탄면
30 : 애자
34 : 개방부
A : 불감 영역
s : 공간
L1 : 일방의 측관부의 길이
L2 : 타방의 측관부의 길이1: high pressure discharge lamp
10: light emitting tube
11, 12: electrode
13 light emitting part
14, 15: side part
20: reflector
21: opening
22: reflecting surface
23: insertion hole
25: flat surface
30: insulator
34: opening
A: dead zone
s: space
L1: length of one side pipe part
L2: Length of other side pipe
Claims (3)
상기 길이 축선 방향의 일방측에 형성되고, 일방의 상기 측관부가 돌출되는 개구부와, 상기 길이 축선 둘레에 형성되는 포물면상의 반사면과, 상기 길이 축선 방향의 타방측에 형성되고, 타방의 상기 측관부가 간극을 갖고 삽입 가능한 삽입공을 갖는 리플렉터와,
상기 발광관과, 상기 리플렉터가 각각 고정되는 애자를 구비하고,
상기 애자는, 상기 타방의 측관부와 상기 리플렉터의 삽입공 사이에 형성된 공간과 외부를 연통하는 개방부를 갖고,
상기 일방의 측관부의 길이는, 상기 타방의 측관부의 길이보다 긴 것을 특징으로 하는 고압 방전 램프.Light emission of glass having an ellipsoidal or spherical light emitting tube portion in which a pair of electrodes are opposed to each other, and a pair of side tube portions connected to both ends of the light emitting tube portion and extending along a length axis of the pair of electrodes Tube,
It is formed in one side of the said longitudinal axis direction, is formed in the opening part which one said side pipe part protrudes, the reflection surface on the parabolic surface formed around the said longitudinal axis, and the other side of the said longitudinal axis direction, The said other side A reflector having an insertion hole that can be inserted with a clearance between the pipes,
And a insulator to which the light emitting tube and the reflector are respectively fixed,
The insulator has a space formed between the other side pipe portion and the insertion hole of the reflector and an open portion communicating with the outside,
The length of the said one side pipe | tube part is longer than the length of the said other side pipe | tube part, The high pressure discharge lamp characterized by the above-mentioned.
상기 일방의 측관부는, 상기 램프의 불감 영역 내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 고압 방전 램프.The method of claim 1,
The said one side pipe | tube part is arrange | positioned in the dead region of the said lamp, The high pressure discharge lamp characterized by the above-mentioned.
상기 리플렉터에는, 상기 개구부에 인접하고, 상기 길이 축선 방향에 수직인 평탄면이 형성되고,
상기 길이 축선 방향에 있어서, 상기 리플렉터의 평탄면으로부터 상기 일방의 측관부까지의 거리 L3 은, 상기 발광관부의 중심으로부터 상기 리플렉터의 평탄면까지의 거리를 L4 로 하였을 때, 0.2 × L4 ≤ L3 ≤ 1.0 × L4 인 것을 특징으로 하는 고압 방전 램프.The method according to claim 1 or 2,
The reflector is formed with a flat surface adjacent to the opening and perpendicular to the longitudinal axis direction,
In the longitudinal axis direction, the distance L3 from the flat surface of the reflector to the one side pipe portion is 0.2 × L4 ≦ L3 ≦ when the distance from the center of the light emitting tube portion to the flat surface of the reflector is L4. High-pressure discharge lamp, characterized in that 1.0 × L4.
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