KR20190109259A

KR20190109259A - 오버 및 언더 선형축 로봇

Info

Publication number: KR20190109259A
Application number: KR1020190027944A
Authority: KR
Inventors: 안토니 씨. 보노라; 로렌스 에이. 와이즈
Original assignee: 킴벌 일렉트로닉스 인디애나, 인크.
Priority date: 2018-03-15
Filing date: 2019-03-12
Publication date: 2019-09-25
Also published as: TW201938340A; CN110270989A; US20190283244A1; US10549420B2

Abstract

선형축 로보틱 구조체는 Z-타워를 포함한다. 수직 구동부가 Z-타워 내에 구성되고, 수직 구동 기구가 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된다. 제1 섹션 암이 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖고, 제1 섹션 암은 수직 구동 기구의 이동에 의해 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 제1 선형 구동부가 제1 섹션 암 내에 구성된다. 제1 선형 구동 기구가 Y-축을 따른 제1 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된다. 제1 그리퍼가 제1 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 제1 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

Description

오버 및 언더 선형축 로봇{OVER AND UNDER LINEAR AXIS ROBOT}

본 발명의 실시예들은 로봇에 관한 것으로서, 더 구체적으로 자동화 시험 및 조립 시스템에 채용되는 로봇에 관한 것이다.

자동화 시험 및 조립 시스템에서, 로봇은 하나의 장소로부터 다른 장소로 디바이스 또는 모듈(피시험 디바이스(Device Under Test; DUT))을 이동시키기 위해 채용된다. 예를 들어, 하나 이상의 로봇은 시험 결과에 따라, 로딩 포트 또는 컨베이어 내의 DUT 캐리어로부터 DUT를 픽업하고, DUT를 시험 위치로 이동하고, DUT를 하나 이상의 중간 장소(예를 들어, 순차적 시험)로 이동하고, DUT를 하나 이상의 시험 출구 장소로 이동하기 위해 채용될 수도 있다.

시험 및 조립 시스템에 채용되는 전형적인 로봇은 통상적으로 SCARA(selective compliance assembly robot arm) 로봇이라 칭하는 유형일 수 있다. 이들 SCARA 로봇은 x-y 방향에서 이동 가능하지만 z-방향에서 개별적으로 이동 가능하지 않은 관절형 암을 포함한다. 즉, 암은 수평 평면에서 이동 가능한 2겹 암(bi-fold arm)일 수도 있다. 예를 들어, 2개의 링크를 갖는 암에서, 암은 수평 평면 내에서 공간 내로 신장하고 자체로 절첩하거나 수축하는 것이 가능하다. 이 이동은 DUT를 시험 위치로 그리고 시험 위치로부터 운송하는 것과 같이, 물체를 하나의 셀로부터 다른 셀로 이송하기 위해 유리하다.

그러나, 각각의 SCARA 로봇 유닛을 위한 비용은 몇몇 사용 경우에 고가일 수도 있다. 즉, 다관절 암을 갖는 SCARA 로봇은 수평 평면 주위의 암의 이동을 제어하기 위해 다수의 방사상 구동 모터를 필요로 한다. SCARA 로봇의 수평 평면 주위의 이동을 필요로 하지 않는 사용 사례에 채용되는 다관절 암을 갖는 SCARA 로봇은 방사상 구동 모터 중 하나 이상을 사용할 필요가 없을 것이다. 즉, 다관절 암을 갖는 SCARA 로봇은 불필요하고 SCARA 로봇의 총 비용을 추가시키는 이질적인 특징부들을 가질 것이다.

또한, SCARA 로봇은 전형적으로 물체를 조작하기 위해 사용되는 암의 수가 제한되어 있다. 이와 같이, 조작되는 물체의 수를 증가시키기 위해, 부가의 SCARA 로봇이 요구된다. 그러나, 부가의 SCARA 로봇은 로봇 시스템의 푸트프린트의 증가를 필요로 한다. 다수의 사용 사례는 로봇 시스템의 푸트프린트의 증가를 수용할 수 없고, 이와 같이, 전체 시스템은 사용 기간에 걸쳐 핸들링하고 그리고/또는 조작할 수 있는 물체의 수에 있어서 하드 한계(hard limit)를 갖는다.

직선형 방식으로 물체를 핸들링하는 것이 가능하고, 로봇의 푸트프린트를 증가시킬 필요 없이 더 많은 수의 물체를 핸들링하기 위한 로봇을 설계하는 것이 유리할 것이다.

본 명세서에 제공된 배경 설명은 본 개시내용의 맥락을 일반적으로 제시하기 위한 것이다. 본 명세서에 거명된 발명자들의 작업, 이 배경기술 섹션에서 설명되어 있는 정도, 뿐만 아니라 출원시에 종래 기술로서 간주되지 않을 수도 있는 설명의 양태는 본 개시내용에 대한 종래 기술로서 명시적으로도 또한 암시적으로도 용인된 것이 아니다.

본 발명의 실시예들은 이러한 맥락에서 비롯된 것이다.

본 발명의 실시예들은 관련 기술분야에서 발견된 하나 이상의 문제점을 해결하는 것에 관련되고, 더 구체적으로 수직으로 배향된 관절형 암 모션을 위해 구성된 로봇을 포함한다.

본 개시내용의 실시예들은 선형축 로보틱 구조체를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖는 제1 섹션 암을 포함한다. 제1 섹션 암은 수직 구동 기구의 이동에 의해 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 로보틱 구조체는 제1 섹션 암 내에 구성된 제1 선형 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 Y-축을 따른 제1 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제1 선형 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 제1 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 제1 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제1 그리퍼를 포함한다.

다른 실시예들은 다른 선형축 로보틱 구조체를 개시하고 있다. 로보틱 구조체는 플랫폼을 포함한다. 로보틱 구조체는 플랫폼에 장착되고 플랫폼 주위를 세타형으로 회전하도록 구성되는 회전 가능한 베이스를 포함한다. 로보틱 구조체는 회전 가능한 베이스에 부착된 Z-타워를 포함하고, Z-타워는 회전 가능한 베이스와 함께 회전한다. 로보틱 구조체는 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖는 섹션 암을 포함한다. 섹션 암은 수직 구동 기구의 이동에 의해 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 로보틱 구조체는 섹션 암 내에 구성된 제1 선형 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 Y-축을 따른 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제1 선형 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 제1 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 제1 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제1 그리퍼를 포함한다.

또 다른 실시예들은 선형축 로보틱 구조체를 개시하고 있다. 로보틱 구조체는 Z-타워를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 수직 구동 기구에 부착하도록 구성된 암 지지 구조체를 포함한다. 암 지지 구조체는 수직 구동 기구의 이동에 의해 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 로보틱 구조체는 암 지지 구조체 내에 구성된 복수의 선형 구동부를 포함한다. 로보틱 구조체는 암 지지 구조체의 외향면 내에 수평으로 각각 배열된 복수의 슬롯을 포함한다. 로보틱 구조체는 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯을 통해 대응 선형 구동부와 통합하도록 각각 구성된 복수의 선형 구동 기구를 포함한다. 로보틱 구조체는 대응 선형 구동 기구에 부착하도록 각각 구성되고 대응 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 복수의 그리퍼를 포함한다.

이들 및 다른 장점은 전체 명세서 및 청구범위를 숙독시에 통상의 기술자들에 의해 이해될 수 있을 것이다.

실시예는 첨부 도면과 함께 취한 이하의 설명을 참조하여 가장 양호하게 이해될 수도 있다. 도면들은 실제 축척대로 도시되어 있지 않다.
도 1은 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 디바이스(예를 들어, 기판, DUT 등)를 시험하기 위해 구성된 시험 시스템을 도시하고 있는 도면.
도 2a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 트랙 시스템에 장착될 수도 있는 사시도.
도 2b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 도 2a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 상이한 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 트랙 시스템에 장착될 수도 있는 사시도.
도 2c는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 쎄타 모션을 위해 구성되어 있고, 트랙 시스템에 장착되어 있는 사시도.
도 2d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 로보틱 구조체가 플랫폼으로부터 상향으로 연장되도록 고정 플랫폼에 장착되어 있는 사시도.
도 2e는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 로보틱 구조체가 플랫폼으로부터 하향으로 연장되도록 고정 플랫폼에 장착되어 있는 사시도.
도 2f는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 디바이스 또는 모듈(예를 들어, DUT)을 보유하기 위한 캐리어 기구와 인터페이스 연결하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있는 도면.
도 2g는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 도 2f의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 디바이스(예를 들어, 휴대폰)를 보유하고 인터페이스 연결하기 위한 캐리어(예를 들어, 트레이)에 부착하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있는 도면.
도 2h는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 도 2f의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 이송의 목적으로 기판(예를 들어, 휴대폰 폼 팩터)에 직접 부착하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있는 도면.
도 2i는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 암 및/또는 그리퍼의 수는 로보틱 구조체의 푸트프린트를 유지하면서 수직 방향으로 스케일 가능할 수도 있는 사시도.
도 3a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 웨이퍼 핸들링을 위해 구성되고, 암 지지 구조체는 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이보다 약간 더 긴 평면도.
도 3b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 웨이퍼 핸들링을 위해 구성되고, 암 지지 구조체는 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이보다 상당히 더 긴 평면도.
도 3c는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 피시험 디바이스와 같은 디바이스를 파지하기 위해 구성되어 있는 평면도.
도 3d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 물체를 파지하기 위해 구성되고, 그리퍼 및 물체의 이동의 중심선은 로봇 회전과 일치하는 평면도.
도 4a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 트랙 시스템에 장착되고, 제1 그리퍼에 부착하도록 구성된 선형 구동 기구(예를 들어, 아웃리거 연장 브라켓)는 선형 구동 기구가 제2 그리퍼 상에 배치된 물체와 간섭하지 않도록 간극 공간을 증가시키기 위해 구성된 아웃리거 섹션을 포함하는 사시도.
도 4b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 선형 구동 기구가 제2 그리퍼 상에 배치된 물체와 간섭하지 않도록, 제1 그리퍼의 이동을 나타내는 직선형 암 모션을 위해 구성된 도 4a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도.
도 5a 내지 도 5d는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도이고, 여기서 사시도들은 암 지지 섹션에 부착된 다양한 그리퍼의 이동의 독립적인 제어를 도시하고 있고, 완전 신장, 및 완전 수축을 포함하는 그리퍼의 다양한 위치를 도시하고 있는 사시도.
도 6a 내지 도 6h는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 시험 시스템의 로더 내의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사용을 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 직선형 암 모션을 위해 구성되고, 로보틱 구조체는 다중-디바이스 캐리어로부터 하나 이상의 시험 스테이션으로 DUT를 운송하기 위해 구성되어 있는 도면.
도 7a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 복수의 그리퍼의 각각의 독립적인 선형 이동을 위해 구성된 다수의 선형 구동부 및 선형 구동 기구를 갖는 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 그리퍼는 완전 수축 위치에서 도시되어 있고, 그리퍼는 완전 수축 위치와 완전 신장 위치 사이의 임의의 위치로 이동될 수도 있는 사시도.
도 7b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 복수의 그리퍼의 각각의 독립적인 이동을 나타내는 도 7a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 그리퍼는 완전 수축 위치 또는 완전 신장 위치 중 하나에서 도시되어 있는 사시도.
도 7c는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 복수의 그리퍼의 각각의 독립적인 이동을 나타내는 도 7a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 그리퍼는 웨이퍼를 핸들링하기 위해 구성되고, 하나의 그리퍼는 완전 신장 위치에서 도시되어 있고, 나머지 그리퍼들은 완전 수축 위치에서 도시되어 있는 사시도.
도 7d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 복수의 그리퍼의 각각의 독립적인 이동을 나타내는 도 7a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 그리퍼는 웨이퍼를 핸들링하기 위해 구성되고, 2개의 그리퍼는 완전 신장 위치에서 도시되어 있고, 나머지 그리퍼들은 완전 수축 위치에서 도시되어 있는 사시도.
도 8은 전술된 시스템을 제어하기 위한 제어 모듈을 도시하고 있다.

이하의 상세한 설명은 예시의 목적으로 다수의 특정 상세를 포함하지만, 통상의 기술자는 이하의 상세의 다수의 변형 및 변경이 본 개시내용의 범주 내에 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이에 따라, 이하에 설명된 본 개시내용의 양태는 이 상세한 설명에 이어지는 청구범위에 보편성의 손실 없이 그리고 한정을 부여하지 않고 설명된다.

일반적으로 말하면, 본 개시내용의 다양한 실시예는 오버 및 언더 구성 및 직선형 암 모션을 갖는 로보틱 시스템을 설명한다. 특히, 로보틱 시스템은 수직으로 배향된 Z-마스트에 부착된 선형 슬라이드 조립체로서 구성될 수도 있다. 선형 슬라이드 조립체는 하나 이상의 수평 선형 구동 요소를 이용할 수도 있다. 선형 구동 요소는 수직 방식으로 암 지지 구조체 주위에 배열된 안내 베어링 및 모션 요소를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 일 실시예에서, 선형 구동 요소는 암 구조체(예를 들어, 섹션 암) 주위에 오버 및 언더 구성으로 구성된다. 다른 실시예에서, 하나 이상의 선형 구동 요소는 수직 방식으로 적층되어 있다. 이 방식으로, 하나 이상의 선형 구동 요소의 수직 배열은 하나의 푸트프린트의 가변적인 수의 선형 구동 요소를 로보틱 시스템에 제공한다. 단일의 로보틱 시스템은 모두 동일한 푸트프린트 내에서, 암 요소(예를 들어, 섹션 암)의 수를 증가시킴으로써, 또는 요구된 수의 선형 구동 요소를 핸들링하기 위한 암 요소의 크기를 증가시킴으로써 스케일 가능성을 제공할 수도 있다. 게다가, 로보틱 시스템의 모션을 직선형 암 모션에 제한하는 것은 특정 용례에 기초하여 최적 비용 제어를 제공한다. 이 방식으로, 증가된 신장을 위한 관절형 암 모션을 요구하지 않는 사용 사례 또는 용례는 직선형 암 모션을 나타내는 로보틱 시스템을 위한 오버 및 언더 구성에 의해 지원된다. Z-마스트를 위한 부가의 쎄타축 모션 및/또는 x축 모션이 또한 특정 용례 요구를 위해 구성될 수도 있다. 게다가, 암의 수직 배향은 종래의 로보틱 암에 대조하여, 하중 지탱 방향에서 증가된 강성을 제공한다. 이 향상된 강성은 드롭-오프/픽업 장소에서 더 고속 모션, 더 적은 진동, 및 더 높은 배치 위치 정확도를 가능하게 한다.

본 개시내용의 실시예는 연계된 기계 작용 지지 및 모션 안내 구성부품을 위해 요구되는 포위체(envelope)를 최소화하면서 탄력적인 물체(예를 들어, 기판) 모션 능력을 제공하기 때문에 다양한 용례에서 사용을 위해 유리하다. 예를 들어, 선형축 암 모션을 갖는 로보틱 시스템의 사용으로부터 이익을 얻는 용례는 기판 핸들링 용례(예를 들어, DUT 핸들링), 기판, 모듈을 위한 다수의 레벨의 조립 및 시험을 요구하는 패널 디스플레이 제조, 의료 기기 및/또는 디바이스(예를 들어, 스텐트, 제약 사용을 위한 미생물 디바이스 등)의 제조를 포함한다. 게다가, 다양한 모션 능력을 위한 탄력성은 특정 용례를 고려할 때 최적의 비용 제어를 가능하게 한다.

다양한 실시예의 상기 일반적인 이해를 갖고, 실시예들의 예시적인 상세가 이제 다양한 도면을 참조하여 설명될 것이다. 하나 이상의 도면에서 유사한 도면 부호의 요소 및/또는 구성요소는 일반적으로 동일한 구성 및/또는 기능성을 갖도록 의도된다. 또한, 도면들은 실제 축척대로 도시되어 있지 않고, 신규한 개념을 예시하고 강조하도록 의도된다. 본 발명의 실시예들은 이들 특정 상세의 일부 또는 모두 없이 실시될 수도 있다는 것이 이해될 수 있을 것이다. 다른 경우에, 공지의 프로세스 동작은 본 발명의 실시예들을 불필요하게 불명료하게 하지 않기 위해 상세히 설명되지 않는다.

본 개시내용의 실시예는 DUT 시험 모듈에 결합된 로봇 및/또는 도구 시스템을 포함하여, 물체의 핸들링 및 운송을 수행하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 다른 실시예는 반도체 프로세스 모듈에 결합된 로봇 및/또는 도구 시스템을 사용하여 물체의 핸들링 및 운송을 위해 구성된다. 본 개시내용의 다양한 실시예는 다양한 시험 및/또는 프로세스 모듈 구성 및/또는 시스템에서 구현될 수도 있다. 또한, 본 개시내용의 실시예는 본 명세서에 제공된 예에 한정되는 것은 아니고, 상이한 구성, 기하학 형상, 및 플라즈마-발생 기술을 채용하는 상이한 시험 및/또는 처리 시스템에서 실시될 수도 있고, 도구 시스템들 사이에서 시험 물체를 운송하는 시험 시설; 소형, 중형 및 대형 물체를 핸들링하는 공급 체인 관리 및 주문 처리를 제공하는 물류 센터(fulfillment center); 제조 센터(예를 들어, 패널 디스플레이, 스마트폰 등을 제조함); 및 기타 등등과 같은 물체의 운송을 필요로 하는 상이한 시스템 및/또는 용례에서 실시될 수도 있다.

본 개시내용의 실시예는 웨이퍼를 처리하기 위한 시스템에 관련하여 본 명세서에 설명되지만, 본 개시내용의 실시예의 로보틱 시스템은, 웨이퍼를 핸들링하는 것에 한정되는 것은 아니고, 시험 프로세스를 위해 DUT를 핸들링할 때와 같이, 다양한 물체를 핸들링하기 위해 적합하다는 것이 이해된다.

도 1은 본 개시내용의 일 실시예에 따른, DUT(25)와 같은 디바이스를 시험하기 위해 구성된 시험 시스템(100)을 도시하고 있다. 시험 시스템(100)은 다양한 스테이지에서 제조 동작 중에 채용될 수도 있다. 예를 들어, DUT(25)는 복수의 디바이스의 제조를 경험하는 기판일 수도 있고, 기판은 형성된 디바이스가 적절하게 동작하는지 여부를 판정하기 위해, 그리고 시험 결과에 기초하여 그 기판 상에서 디바이스를 계속 제조할지 여부에 대한 결정을 하기 위해 시험된다. 다른 예에서, DUT(25)는 휴대폰과 같은 완전 제조된 디바이스일 수도 있고, 판매를 위해 출시될 수 있기 전에 디바이스가 동작 요구를 만족하는지 여부를 판정하기 위해 최종 시험이 수행된다. 도 1은 캐리어(20)에 의해 보유되고 인터페이스 연결하는 휴대폰인 DUT(25)의 예를 도시하고 있다.

시험 시스템(100)은 그 각각이 특정 시험을 수행하기 위해 구성된 하나 이상의 시험 스테이션(10)을 포함할 수도 있다. 시험 스테이션(10)은 통상적으로 DUT(25) 상에 하나 이상의 시험 동작을 수행하기 위해 구성된 자동화 시험 장비(ATE)(15)를 포함한다. 게다가, 시험 스테이션(10)은 ATE(15)의 시험 환경 내로 DUT(25)를 로딩 및 언로딩하기 위해 구성된 로더(40)를 포함할 수도 있다. 예를 들어, 로더(40)는 수직으로 배향된 암 모션을 가져 이에 의해 암 신장부에 독립적인 소형 모션 구동부를 나타내는(예를 들어, 연계된 기계 작용 지지 및 모션 안내 구성부품을 위해 요구된 포위체를 최소화함) 것을 가능하게 하는 로보틱 시스템(41)을 포함할 수도 있다. 로보틱 시스템(41)은 DUT를 로딩 및 언로딩하기 위해 구성될 수도 있다. 예를 들어, 로보틱 시스템(41)은 하나 이상의 DUT를 보유하는 캐리어 및/또는 트레이와 인터페이스 연결하도록 구성될 수도 있다. 또한, 캐리어 및/또는 트레이는 시험 시스템(100) 내로의 진입 및 그로부터의 진출을 위해 DUT를 운송하기 위해, 뿐만 아니라 전체 시스템(예를 들어, 제조 시스템) 내에서 다양한 도구 시스템으로 DUT를 운송하기 위해 구성될 수도 있다.

또한, 일단 DUT(25)가 시험되었으면, 로보틱 시스템(41)은 DUT(25)를 복수의 빈(bin)(50) 중 특정 빈에 전달할 수도 있다. 예를 들어, 완전 제조된 디바이스(예를 들어, 휴대폰)의 경우에, 시험 결과가 긍정적이면, DUT(25)는 로보틱 시스템(41)에 의해 시험을 통과한 DUT를 보유하는 빈 내로 배치된다. 다른 한편으로, DUT(25)가 시험을 통과하지 못하면, 로보틱 시스템은 수리되어 재시험될 DUT를 보유하는 다른 빈 내로 DUT(25)를 배치할 수도 있다. 시험 결과는 또한 시험 시스템(100)의 데이터 저장부(도시 생략) 내에 저장될 수도 있다.

도시된 바와 같이, 시험 시스템(100)은 시험 캐리어(20)를 사용하여 DUT를 이동시킬 수도 있다. 예를 들어, DUT(25)는 컨베이어 벨트(30), 또는 시험 캐리어(20)를 거쳐 DUT를 운송하기 위한 임의의 다른 수단을 사용하여 하나 이상의 시험 스테이션(10) 사이에서 이동될 수도 있다. 예를 들어, 시험 캐리어(20)는 일련의 트랙, 로드 포트, 이송 모듈 등을 따라 하나의 로보틱 시스템(41)으로부터 다른 로보틱 시스템(41)으로 이송될 수도 있다. 도 1에서, 시험 스테이션(10)은 로보틱 시스템(41)을 포함하는 로더(40)와 같은 로딩 기구를 갖고 구성되는데, 여기서 로딩 기구는 컨베이어 벨트로부터 시험 캐리어를 픽업하고, 시험을 위해 시험 캐리어(20)를 ATE(15)로 운송한다. 시험 후에, 로보틱 시스템(41)은 시험 캐리어(20)를 컨베이어 벨트(30)로 재차 운송할 수도 있어, 시험 캐리어(20)가 다른 시험 스테이션, 수리 스테이션, 출구 스테이션, 포장 스테이션 등과 같은 다른 장소로 전달될 수도 있게 된다. 로보틱 시스템(41)은 또한 시험 캐리어(20)를 다른 시험 스테이션(10)으로 직접 운송할 수도 있다. 또한, 로보틱 시스템(41)은 전술된 바와 같이, 시험 결과에 따라 시험 캐리어(20)를 빈에 전달할 수도 있다.

시험 캐리어(20)는 로보틱 시스템(41)의 그리퍼(예를 들어, 그리퍼(240))의 인터페이스(45a)와 정합하도록 구성된 수용기(45b)를 포함한다. 이 방식으로, 로보틱 시스템(41)은 운송 목적으로 시험 캐리어(20)를 픽업하는 것이 가능하다. 게다가, 시험 캐리어(20)는 DUT(25)와 시험 스테이션(10)으로의 ATE(15) 사이의 인터페이스로서 역할을 할 수도 있다. 즉, 시험 캐리어(20)는 DUT(25) 대신에, 시험 스테이션(10)과 직접 정합하도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 시험 캐리어(20)는 DUT(25)와 비교할 때, 시험 스테이션(10)과의 인터페이스 연결을 핸들링하도록 더 튼튼한 디자인일 수 있고 더 양호하게 장착될 수도 있다.

도 2a 내지 도 2i는 그 각각이 직선형 암 모션을 위해 구성된 로보틱 구조체의 다양한 실시예를 도시하고 있다. 로보틱 구조체는 도 2a 내지 도 2e에서 유사하게 구성되고, 적용 가능하면 사양 전체에 걸쳐 또한 사용될 수도 있는 유사한 도면 부호의 요소를 포함한다. 도 2a 내지 도 2i 및 본 명세서 전체에 걸친 로보틱 구조체는 본 개시내용의 실시예에 따르면, 다양한 물체 및/또는 디바이스를 핸들링하기 위해 구성된다. 예를 들어, 몇몇 실시예에서, 로보틱 구조체(예를 들어, 도 2a의 200A)는 웨이퍼 및/또는 기판을 핸들링하기 위해 구성되고, 로보틱 구조체는 엔드 이펙터를 갖고 구성된 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 다른 실시예는 DUT를 핸들링하기 위해 구성된 로보틱 구조체(예를 들어, 도 2f의 200D)를 개시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 캐리어 및/또는 트레이를 갖고 구성되고 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 전술된 바와 같이, 다른 실시예는 다양한 물체, 캐리어, 트레이, DUT 등 중 임의의 하나를 핸들링하기 위해 구성된 다른 유형의 그리퍼의 사용을 개시하고 있다.

도 2a 및 도 2b는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체(200A)의 사시도를 도시하고 있다. 특히, 도 2a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체(200A)의 사시도(예를 들어, 공간 내의 제1 시점으로부터 취함)를 도시하고 있다. 도 2b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 도 2a의 오버/언더 선형축 로보틱 구조체의 상이한 사시도(예를 들어, 제2 시점으로부터 취함)를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 트랙 시스템에 장착될 수도 있다. 예를 들어, 도 2a에서, Z-타워(210)의 정면측(290)은 가시화되어 있고, 정면측(290)은 도 2b에서 감추어져 있다. 도 2b에서, Z-타워(210)의 이면측(291)은 가시화되어 있고, 정면측은 감추어져 있다. 이면측(291)은 일 실시예에서 불투명할 수도 있는데, 이는 오염물이 로보틱 구조체(200A)를 나오는 것을 방지하기 위해 유리할 수도 있다. 특히, 로보틱 구조체(200A)는 섹션 암(220), 또는 암 지지 구조체를 포함하고, 여기서 섹션 암(200) 내에 구성된 선형 구동부는 섹션 암을 따른 직선형 이동을 가능하게 한다.

일 실시예에서, 로보틱 구조체(200A)는 트랙 시스템에 결합되지 않는다. 특히, 로보틱 구조체(200A)는 브라켓(225)을 통해 지지부(215)에 고정 부착된다. 지지부(215)는 로보틱 구조체(200A)의 다양한 모션이 정확도를 갖고 반복될 수 있도록 강성 구조체를 제공하는 강성 플랫폼으로서 구성될 수도 있다. 예를 들어, 로보틱 구조체(200A)의 Z-타워(210)는 브라켓(225)을 통해 지지부(215)에 고정 부착될 수도 있다. 이와 같이, 도 2d에 관하여 제공된 설명과 같이, Z-마스트(210)의 어떠한 이동도 X-축을 따라 가능하지 않을 것이다.

다른 실시예에서, 로보틱 구조체(200A)는 부분적으로 X-축을 따른 이동을 위해 구성된다. 특히, 지지부(215)는 구동부(도시 생략)(예를 들어, 벨트 시스템, 선형 구동부 등)를 갖고 구성될 수도 있다. 브라켓(225)은 지지부(215)를 따른 로보틱 구조체(200A)의 Z-마스트(210)의 이동을 가능하게 하기 위해 구동부와 이동 가능하게 인터페이스 연결하도록 구성된다. 즉, Z-마스트는 적어도 지지부(215)의 섹션에 대해, X-축을 따라 X-방향으로 이동 가능하다. 상세히 도시되지는 않았지만, X-축은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 요구하지 않는다. 예를 들어, X-축은 트랙의 섹션의 방향을 규정할 수도 있고, X-축은 수평 평면 내에서 X-방향에서 로보틱 시스템(200A)의 모션을 규정할 수도 있다.

로보틱 구조체(200A)는 수직으로 배향된 Z-타워(210)(또한 Z-마스트라 칭함)를 또한 포함한다. 도시된 바와 같이, Z-마스트는 브라켓(225)을 통해 구조체(215)에 고정 부착되거나 이동 가능하게 인터페이스 연결된다. 로보틱 구조체(200A)는 Z-타워(210)의 위치 및 배향에 따라, 공간 내의 하나 이상의 규정된 라인을 따라 직선형 암 모션을 위해 구성된다. 이 방식으로, 규정된 라인을 따른 암 모션은 물체를 픽업 및/또는 드롭 오프하기 위해 그리퍼(240A, 240B)의 수축 및 신장을 제공한다. 예를 들어, Z-타워(210)가 고정될 때, 로보틱 구조체(200A)는 공간 내에 고정된 하나 이상의 규정된 라인을 따른 직선형 암 모션을 위해 구성된다. Z-타워가 X-모션을 위해 구성될 때, 로보틱 구조체(200A)는 Z-타워(210)의 X-모션 및/또는 쎄타 모션에 따라 또한 위치될 수도 있는 규정된 라인을 따른 직선형 암 모션을 위해 구성된다.

수직 구동부(도시 생략)가 Z-타워(210) 내에 구성된다. 수직 구동 기구가 Z-타워(210)를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된다. 상세히 도시되지는 않았지만, Z-축은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 요구하지 않는다. 예를 들어, Z-축은 Z-타워를 따른, 또는 Z-방향을 따른 섹션 암(220)의 선형 모션을 규정할 수도 있다. 도시된 바와 같이, Z-타워(210)의 정면측(290) 상에 위치된 슬롯(251)은 선형 구동 기구(도시 생략)가 Z-타워(210) 내에서 수직 구동부(도시 생략)와 통합하게 한다. 예를 들어, 수직 구동부는 볼 슬라이드 조립체를 포함할 수도 있고, 여기서 선형 구동 기구는 Z-축을 따른 이동을 위해 볼 슬라이드 조립체에 부착하도록 구성된다. 다른 예에서, 수직 구동부는 볼 스크류 조립체를 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 기어 박스(215)는 선형 구동 기구의 이동을 용이하게 하기 위해 제어 및 모터 구동 구성요소를 포함한다.

로보틱 구조체(200A)는 수직 구동 기구에 부착하도록 구성된 섹션 암(220) 또는 암 지지 구조체를 포함한다. 도시된 바와 같이, 섹션 암(220)은 수평 배향을 가져, 섹션 암을 따른 선형 이동이 수평 평면 내에서, 그리고 더 구체적으로는 수평 평면 내의 하나 이상의 규정된 라인을 따라 수행되게 된다. 게다가, 섹션 암(220)은 수직 구동 기구에 적응적으로 부착되기 때문에, 섹션 암(220)은 수직 구동 기구의 이동에 기초하여 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

명세서 전체에 걸쳐, 선형축을 따른 선형 구동 기구 및 대응 그리퍼의 직선형 암 모션, Z-축에서 수직 구동부의 수직 모션을 위한 다양한 모션 구동부, 및/또는 쎄타 모션을 위한 회전 구동부가 이하에 설명되는 바와 같이, 다양한 해결책을 이용할 수 있다. 예를 들어, 볼 슬라이드 조립체 및/또는 볼 스크류 조립체는 직선형 및/또는 선형 모션을 제공하도록 이용될 수도 있다. 또한, 일 실시예에서, 통합 모터 또는 타이밍 벨트 구동식 모터를 갖는 하모닉 또는 유성 구동부가 합체될 수도 있다. 대안적으로, 다른 실시예에서, 직접-구동 모터가 각도 모션을 제공하도록 이용될 수도 있다. 고분해능 인코더/제어기가 실시예들에서 구동 해결책을 갖고 채용될 수 있다. 이와 같이, 임의의 기구 또는 수단이 대응 섹션 암(220)의 선형 구동 기구의 이동을 제어하기 위해 사용될 수도 있다. 예를 들어, 다른 제어 기구는 전술된 구동부, 직접 선형 구동부, 체인 구동부, 방사상 구동부, 볼 슬라이드 조립체, 볼 스크류 조립체 등을 포함할 수도 있다.

게다가, 로보틱 구조체(200A)는 섹션 암(220)을 따라 정렬된 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 각각 구성된 적어도 하나의 암 신장부를 포함한다. 예를 들어, 로보틱 구조체(200A)는 암 신장부(R1, R2)를 포함한다. 도시된 바와 같은 로보틱 구조체(200A)는 섹션 암(220)을 위한 2개의 암 신장부를 포함하지만, 암 신장부의 수는 섹션 암(220) 또는 암 지지 구조체의 구성에 따라 하나로부터 하나 초과로 다양할 수도 있다. 즉, 로보틱 구조체(200A)는 단일 암 신장부, 또는 하나 이상의 섹션 암(예를 들어, 암 지지 구조체)에 의해 지지된 다수의 암 신장부를 갖는 것으로서 구성될 수도 있다.

각각의 암 신장부는 선형 구동부, 선형 구동 기구, 및 그리퍼 구성을 포함한다. 각각의 선형 구동부(도시 생략)는 섹션 암(220) 내에 구성된다. 일 실시예에서, 선형 구동부는 볼 슬라이드 조립체이다. 특히, 대응 선형 구동 기구(예를 들어, 브라켓)는 대응 Y-축을 따른 섹션 암(220)을 따른 선형 이동을 위해 선형 구동부와 통합하도록 구성된다. 게다가, 그리퍼가 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고, 여기서 그리퍼는 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 각각의 그리퍼는 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼의 단부의 중심선(Y)을 통해 규정됨)을 따른 선형 모션을 위해 구성된다. 하나 이상의 제어 기구는 각각의 암 신장부의 독립적인 제어를 제공하여, 암 신장부(R1)의 이동이 암 신장부(R2)의 이동으로부터 개별적으로 제어되게 되도록 구현될 수도 있다.

예를 들어, 암 신장부(R1)는 섹션 암(220) 내에 구성된 제1 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220)을 따른 선형 이동을 위해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 제1 선형 구동 기구(221)를 포함한다. 예를 들어, 선형 구동 기구(221)는 슬롯(225)을 통해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성되고, 슬롯(225)은 제1 섹션 암(220)의 외부면(223)을 따라 수평으로 배열된다. 외부면(223)은 Z-타워(210)로부터 이격하여 외향으로 지향한다. 또한, 그리퍼(240A)가 제1 선형 구동 기구(221)에 부착하도록 구성되고, 또한 선형 구동 기구(221)의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 즉, 그리퍼(240A)는 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240A)의 단부의 중심선(Y-1)을 통해 규정됨)을 따른 선형 모션을 위해 구성된다. 도시된 바와 같이, 그리퍼(240A)의 단부(245A)는 선형 구동 기구(221)에 부착하도록 구성된다. 일 실시예에서, 단부(245A)는 선형 구동 기구(221)에 고정 부착된다.

게다가, 암 신장부(R2)는 섹션 암(220) 내에 구성된 제2 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220)을 따른 선형 이동을 위해 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 선형 구동 기구(227)를 포함한다. 예를 들어, 선형 구동 기구(227)는 슬롯(226)(도 2b 참조)을 통해 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성되고, 슬롯(226)은 제1 섹션 암(220)의 내부면(224)을 따라 수평으로 배열된다. 내부면(224)은 Z-타워(210)를 향해 내향으로 지향한다. 또한, 그리퍼(240B)가 제2 선형 구동 기구(227)에 부착하도록 구성되고, 또한 제2 선형 구동 기구(227)의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 즉, 그리퍼(240B)는 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240A)의 단부의 중심선(Y-2)을 통해 규정됨)을 따른 선형 모션을 위해 구성된다. 도시된 바와 같이, 그리퍼(240B)의 단부(245B)는 선형 구동 기구(227)에 부착하도록 구성된다. 일 실시예에서, 단부(245B)는 제2 선형 구동 기구(227)에 고정 부착된다.

각각의 그리퍼(240A, 240B)는 대응 물체와 인터페이스 연결하도록 구성된다. 그리퍼(240A, 240B)는 능동 또는 수동 디바이스일 수도 있어, 대응 물체(예를 들어, 진공)와 능동적으로 결합할 수도 있고, 또는 대응 물체(예를 들어, 배리어)와 수동을 결합할 수도 있게 된다. 그리퍼(240A)의 설명은 명세서 전체에 걸쳐 설명된 로보틱 구조체 내에 사용된 임의의 그리퍼를 대표하는 것으로서 제공된다. 예를 들어, 일 구현예에서, 그리퍼(240A)는 DUT를 핸들링하기 위해 구성된 엔드 이펙터이다. 다른 구현예에서, 엔드 이펙터는 기판, 또는 웨이퍼 기판을 핸들링하기 위해 구성될 수도 있다. 또 다른 구현예에서, 그리퍼(240A)는 캐리어를 핸들링하기 위해 구성되고, 캐리어는 물체를 운송하기 위해 사용될 수도 있다. 예를 들어, 캐리어는 물체가 그 내로 배치될 수도 있고 물체가 그 외부로 제거될 수도 있는 바스켓으로서 성형될 수도 있다. 순전히 예시를 위해, 캐리어는 물류 센터에 채용될 수도 있고, 또는 캐리어는 예로서 빌딩 패널이 표시할 때, 일 장소로부터 다른 장소로 구성요소를 이동시키도록 제조 현장에서 채용될 수도 있다. 예를 들어, 그리퍼(240A)는 하나 이상의 물체를 보유하기 위한 리셉터클 영역을 갖는 컨테이너를 핸들링하거나 연결하도록 구성될 수도 있다.

실시예들에서, 명세서 전체에 걸쳐 설명된 로보틱 구조체(로보틱 구조체(200A)와 같은)는 다양한 감지 동작을 수행하기 위한 감지 능력을 갖고 구성된다. 감지 능력은 적외선 신호를 사용하는 적외선 감지 수단 또는 요소를 구현하는 것, 가시광 또는 자외광 신호를 사용하는 광 감지 수단 또는 요소를 구현하는 것, 초음파 신호를 사용하는 초음파 감지 수단 또는 요소를 구현하는 것, 기계적 감지 수단 또는 요소를 구현하는 것 등을 포함하여, 임의의 감지 수단 또는 요소에 의해 수행될 수도 있다. 다양한 사용 사례가 명세서에 설명된 하나 이상의 로보틱 구조체 내에 감지 능력을 구현하기 위해 이하에 설명된다.

일 실시예에서, 그리퍼(240A, 240B)는 물체(예를 들어, 요소, 기판, 웨이퍼, DUT 등)의 존재 또는 부재를 감지하기 위한 감지 능력을 갖고 각각 구성된다. 다수의 그리퍼가 채용될 때, 감지 수단 또는 요소의 크기는 예로서 일대일 관계로 구현된다. 특히, 감지 능력은 물체의 자동화 이송 및 회수 중에 그리퍼(240A, 240B)(예를 들어, 엔드 이펙터) 상의 지지 특징부에 의해 이용될 수도 있다. 즉, 감지 능력은 대응 물체가 그리퍼 상에 배치되었는지 그리퍼로부터 제거되었는지 여부를 판정하는데 이용된다.

다른 실시예에서, 감지 능력은 저장 위치가 비어 있는지 충만해 있는지 여부를 평가하도록 구현될 수 있다. 감지 능력은 저장 위치(예를 들어, 슬롯 내에 물체를 저장함)를 포함하여 저장 구성요소(예를 들어, 전면 개방 통합 포드(front opening unified POD)-FOUP) 내에 구현될 수 있다. 게다가, 저장 능력은 그리퍼(240A, 240B)와 같은 저장 위치와 인터페이스 연결하거나 결합하는 구성요소 내에서 구현될 수 있다. 예를 들어, 물체가 그리퍼(240A)에 의해 핸들링되는지 여부를 감지하도록 지시되는 대신에, 저장 구성요소가 접근함에 따라, 그리퍼(240A)의 감지 능력은 저장 구성요소가 비어 있는지 충만해 있는지 여부를 판정하도록 배향될 수도 있다. 또한, 감지 능력은 저장 구성요소 및/또는 저장 구성요소 내의 저장 위치에 관련하여 그리퍼(240A, 240B)의 위치설정에 피드백을 제공하도록 구현될 수 있다. 예를 들어, 피드백은 그리퍼(240A, 240B)(예를 들어, 엔드 이펙터) 또는 임의의 다른 핸들링 수단의 정확한 위치설정을 가능하게 하는데 사용될 수도 있다.

게다가, 각각의 직선형 요소(예를 들어, 암 신장부(R1, R2))는 다양한 결정을 행하기 위한 감지 능력을 갖고 구성될 수도 있다. 예를 들어, 감지 능력은 물체 두께를 결정하도록 구현될 수도 있다(예를 들어, 그리퍼(240A)에 의해 핸들링될 때, 또는 저장 구성요소의 저장 위치 내로의 배치 중에). 또한, 감지 능력은 암 신장부가 저장 구성요소(예를 들어, FOUP) 내의 저장 위치(예를 들어, 슬롯)와 결합하도록 적절하게 위치되었는지 여부를 판정하는 것과 같은, 직선형 요소를 위한 평면성을 결정하도록 구현될 수도 있다. 또한, 감지 능력은 암 신장부가 저장 구성요소의 저장 위치와 인터페이스 연결하는 것을 가능하게 하도록 위치된 적절한 쎄타로 각형성되었는지 여부를 판정하는 것과 같은, 직선형 요소의 쎄타 배향을 결정하도록 구현될 수도 있다. 더욱이, 감지 능력은 암 신장부(R1, R2)의 각도 경사 및/또는 그리퍼(240A, 240B)의 각도 경사가 저장 구성요소의 하나 이상의 저장 위치와 인터페이스 연결하는 것을 가능하게 하도록 적절하게 각형성되었는지 여부를 판정하는 것과 같이, 직선형 요소의 각도 경사를 결정하도록 구현될 수도 있다.

로보틱 구조체(200A)는 오버 및 언더 선형축 구성으로 구성된다. 특히, 암 신장부(R1)(및 더 구체적으로는 그리퍼(240A))는 섹션 암(220) 위에 구성되고, 암 신장부(R2)(및 더 구체적으로는 그리퍼(240B))는 섹션 암(220) 아래에 구성된다. 다른 구성들이 하나 이상의 암 신장부를 제공하기 위해 지원되고, 그 각각은 섹션 암, 또는 대응 암 지지 구조체 주위의 직선형 모션을 위해 구성된다.

도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 섹션 암(220)은 Z-방향에서 하중 지탱 능력(예를 들어, 중력에 기인하는 그리퍼, 및 보유된 물체 상의 힘)을 증가시키도록 구성된다. 예를 들어, 암 섹션(220)의 단면은 수평 치수에 비교할 때, 하중 지탱 방향(예를 들어, 수직 또는 Z-방향)에서 더 넓은 치수를 나타낸다. 이는 Z-방향에서 하향력을 핸들링하기 위한 섹션 암(S1)의 더 양호한 강성을 제공한다(예를 들어, 수평 굽힘이 없음).

로보틱 구조체(200A)가 그 내에 존재하는 포위 시스템의 오염을 방지하기 위한 수단이 본 개시내용의 실시예에 제공된다. 오염은 로보틱 구조체(200A)의 이동부를 통해 발생할 수도 있다. 예를 들어, 마이크로-미립자가 로보틱 구조체(200A)의 내부 기구에 의해 발생될 수도 있다. 마이크로-미립자의 제어는 회전형 관절 연결 조인트의 밀봉을 통해 성취될 수도 있다. 예를 들어, 보호 커버가 조인트 또는 피봇점 위에 제공되어 구성요소의 이동을 허용할 수도 있다. 게다가, 더 낮은 내부 분위기 압력이 관절 연결 조인트에 제공될 수도 있다. 또한, 커버가 슬롯(225, 226, 251) 위에 제공될 수도 있다. 예를 들어, Z-축의 수직 모션을 위해, 롤링 "밀봉 테이프"의 사용 또는 Z-타워(210) 내부의 더 낮은 분위기 압력은 단독으로 또는 조합하여, Z-축 동작 중에 요구된 청결도를 보장하도록 구현될 수도 있다.

도 2c는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200C)의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 쎄타 모션을 위해 구성되어 있고, 트랙 시스템에 장착되어 있다. 로보틱 구조체(200C)는, 로보틱 구조체(200C)가 플랫폼(201) 및 트랙 시스템(230)에 장착되는 것을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 게다가, 로보틱 구조체(200C)는 θ 축을 따른 쎄타(θ) 모션, 암 신장부의 그리퍼의 모션에 대응하는 하나 이상의 Y-모션, 트랙 시스템(230)의 섹션을 따른 X-모션, 및 Z-축을 따른 Z-모션을 제공하도록 또한 구성된다. 상세히 도시되지는 않았지만, θ-축, Y-축, Z-축, 및 X-축 중 하나 이상은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 필요로 하지 않는다. 예를 들어, θ-축은 특정 쎄타각에서 로보틱 구조체(200C)의 위치설정을 가능하게 하는 공간 내의 특정 배향을 가질 수도 있다. 게다가, R-축은 임의의 특정 쎄타각을 위한 R-거리를 규정할 수도 있다. 또한, Z-축은 Z-방향에서 섹션 암(220)의 모션을 규정한다. 또한, X-축은 트랙 시스템(230)의 섹션의 방향을 규정할 수도 있고, X-축은 수평 평면 내에서 X-방향에서 로보틱 시스템(200C)의 모션을 규정할 수도 있다.

특히, 로보틱 구조체(200C)는 부가의 구성요소가 추가되는 플랫폼(201)을 포함한다. 플랫폼(201)은 로보틱 구조체(200C)의 다양한 모션이 정확도를 갖고 반복될 수 있도록 강성 구조체를 제공한다. 도시된 바와 같이, 플랫폼(201)은 트랙 시스템(230)과 이동 가능하게 인터페이스 연결하게 되어, 플랫폼(201)이 적어도 트랙 시스템(230)의 섹션에 대해, X-축을 따라 X-방향에서 이동 가능하게 된다. 예를 들어, 선형 구동부가 X-축을 따른 플랫폼의 이동을 가능하게 하기 위해 로보틱 구조체(200C) 내에(예를 들어, 플랫폼(201) 내에) 포함된다. 이와 같이, 로보틱 구조체(200C)는 또한 플랫폼(201)의 이동을 통해 X-방향으로 이동 가능하다.

게다가, 회전 가능한 베이스(205)가 플랫폼(201)에 회전 가능하게 장착된다. 즉, 회전 가능한 베이스(205)는 플랫폼(201)에 대해 쎄타에서 회전하도록 되어 있다. 회전 가능한 구동부(도시 생략)가 쎄타 이동을 가능하게 하도록 로보틱 구조체(200A) 내에 포함될 수도 있다. 전술된 바와 같이, 로보틱 구조체(200C)는 회전 가능한 베이스(205)에 고정 부착되어 있는 수직으로 배향된 Z-타워(210)를 또한 포함한다. 이와 같이, Z-타워(210)는 회전 가능한 베이스(205)와 함께 회전한다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(200A)는, 예로서 물체를 픽업 및/또는 드롭-오프하기 위해 암(R1, R2)을 수축하고 신장하기 위해, 또는 트랙 시스템(230)을 따라 로보틱 구조체(200C)를 이동할 때 위치설정을 위해 임의의 쎄타 방향으로 배향될 수 있다.

도 2d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200D)의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 로보틱 구조체가 플랫폼(201')으로부터 상향으로 연장되도록 플랫폼(201')에 장착되어 있다. 로보틱 구조체(200C)는, 로보틱 구조체(200D)가 공간 내에 고정되어 있는 플랫폼(201')에 장착되는 것을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 이와 같이, 로보틱 구조체(200D)는 공간 내의 특정 장소에 고정된다. 도시된 바와 같이, 로보틱 구조체(200D)는 일 실시예에서, 임의의 쎄타 모션 없이 직선형 모션을 제공한다(예를 들어, 회전 가능한 베이스를 통해 제공되는 바와 같이). 다른 실시예들은 전술된 바와 같이, θ 축을 따른 쎄타(θ) 모션, 하나 이상의 대응하는 Y-축을 따른 하나 이상의 Y-모션 및 Z-축을 따른 Z-모션을 제공하도록 로보틱 구조체(200D)를 구성하는 것에 양호하게 적합된다. 게다가, 다른 실시예에서, X-모션은 선택적으로 트랙 시스템을 통해 제공될 수도 있다.

도 2e는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체(200E)의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 로보틱 구조체(200E)가 플랫폼(201")으로부터 하향으로 연장되도록 플랫폼(201")에 장착되어 있다. 로보틱 구조체(200C)는, 로보틱 구조체(200E)가 공간 내에 고정되어 있는 플랫폼(201')에 장착되어, 로보틱 구조체(200)가 플랫폼(201') 아래에 현수되는 것(예를 들어, 오버헤드 호이스트 운송 시스템 - OHT 내에 구성됨)을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 이와 같이, 로보틱 구조체(200E)는 공간 내의 특정 장소에 고정된다. 도시된 바와 같이, 로보틱 구조체(200E)는 일 실시예에서, 임의의 쎄타 모션 없이 직선형 모션을 제공한다(예를 들어, 회전 가능한 베이스를 통해 제공되는 바와 같이). 다른 실시예들은 전술된 바와 같이, θ 축을 따른 쎄타(θ) 모션, 하나 이상의 대응하는 Y-축을 따른 하나 이상의 Y-모션, 및 Z-축을 따른 Z-모션을 제공하도록 로보틱 구조체(200E)를 구성하는 것에 양호하게 적합된다. 게다가, 다른 실시예에서, X-모션은 몇몇 물류 센터에서 사용되는 오버헤드 이송 시스템 내에서와 같이, 선택적으로 트랙 시스템을 통해 제공될 수도 있다.

도 2f 내지 도 2h는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 로보틱 구조체(200F)의 사시도를 도시하고 있고, 디바이스 또는 모듈(예를 들어, DUT)을 보유하기 위한 캐리어 또는 트레이부 또는 기구(20)와 인터페이스 연결하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있다. 도 2f에서, 그리퍼(240A', 240B')는 격리하여 도시되어 있고, 반면에 도 2g에서, 그리퍼(240A', 240B')는 캐리어 또는 트레이(20)와 인터페이스 연결하여 도시되어 있다.

구체적으로, 도 2f는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200F)의 사시도를 도시하고 있고, 기판 또는 모듈(예를 들어, DUT)을 보유하고 그리고/또는 인터페이스 연결하기 위한 캐리어부(20)로서 구성되거나 캐리어부를 핸들링하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼(240A', 240B')를 또한 도시하고 있다. 전술된 바와 같이, 로보틱 구조체(200F)는 하나 이상의 Y-축을 따른 Y-모션, Z-축을 따른 Z-모션, 및 선택적으로 X-축을 따른 X-모션을 제공한다. 게다가, 로보틱 구조체(200F)는 선택적으로 θ-축을 따른 쎄타(θ) 모션을 위해 구성될 수도 있다. 상세히 도시되지는 않았지만, θ-축, Y-축, Z-축, 및 X-축 중 하나 이상은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 필요로 하지 않는다.

특히, 로보틱 구조체(200F)는, 그리퍼(240A', 240B')가 기판 또는 웨이퍼 핸들러를 포함하거나 인터페이스 연결하는 대신에 캐리어(20)(도 2f에 도시되지 않음)와 인터페이스 연결하도록 구성되는 것을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 구조가 유사하다. 예를 들어, 그리퍼(240A', 240B')는 캐리어부(20)와 인터페이스 연결하고 그리고/또는 핸들링하도록 구성되고, 캐리어부(20)는 DUT(25)를 인터페이스 연결하고 핸들링하도록 구성된다. 게다가, 그리퍼(240A', 240B')는 각각 캐리어부(20)를 부착 및 탈착하도록 구성될 수도 있어, 대응 DUT(25)가 캐리어부(20)에 의해 여전히 보유되는 동안 다른 시험 장소(전술된 바와 같이)로 운송될 수도 있게 된다. 예를 들어, 그리퍼(240A')는 캐리어 트레이(20) 상에 위치된 수용기(도시 생략)와 정합하도록 구성된 인터페이스(45a)를 포함할 수도 있다.

일 실시예에서, 로보틱 구조체(200F)는 하나 이상의 유형의 그리퍼에 해제 가능하게 부착하도록 구성된 유니버설 인터페이스를 선택적으로 포함할 수도 있고, 여기서 각각의 그리퍼는 대응 물체와 인터페이스 연결하도록 고유하게 구성된다. 예를 들어, 하나의 그리퍼는 웨이퍼 기판을 핸들링하기 위해 엔드 이펙터와 인터페이스 연결하도록 구성될 수도 있다. 다른 예에서, 다른 그리퍼가 물체를 보유하기 위해 캐리어와 인터페이스 연결하도록 구성될 수도 있다. 도 2f에 도시된 바와 같이, 유니버설 인터페이스(261A)는 제1 단부(262A)를 통해 선형 구동 기구(221)에 부착하도록 구성될 수도 있다. 유니버설 인터페이스(261A)는 하나 이상의 유형의 그리퍼에 해제 가능하게 부착하도록 구성된 제2 단부(260A)를 포함할 수도 있다. 즉, 유니버설 인터페이스(261A)는 선택 가능한 그리퍼에 해제 가능하게 부착하도록 제어될 수도 있다. 도시된 바와 같이, 유니버설 인터페이스(261A)는 그리퍼(240A')에 해제 가능하게 부착된다. 도시되지는 않았지만, 암 신장부(R2)는 그리퍼(240B')에 해제 가능하게 부착되어 있는 제2 단부(260B)(감춰짐)를 포함하는 유니버설 인터페이스(261B)를 선택적으로 포함할 수도 있다. 또한, 하나 이상의 그리퍼는 보유 영역 내에 배열될 수도 있어, 유니버설 인터페이스(261A, 261B)가 선택된 그리퍼를 보유 영역으로부터 부착할 수도 있고, 또는 부착된 그리퍼를 유니버설 인터페이스(261A, 261B)로부터 탈착하고 탈착된 그리퍼를 보유 영역 내로 배치할 수도 있게 된다. 센서 및 ID 태그가 어느 그리퍼가 유니버설 인터페이스에 부착되어야 하는지를 결정하도록 섹션을 위해 채용될 수도 있다.

도 2g는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200F)의 사시도를 도시하고 있고, 디바이스(예를 들어, 휴대폰)를 보유하고 인터페이스 연결하기 위한 캐리어(예를 들어, 트레이)부(20)에 부착하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있다. 특히, 그리퍼(240A', 240B')는 대응 캐리어부(20)와 인터페이스 연결하여 도시되어 있다. 예를 들어, 그리퍼(240A')는 캐리어부(20)와 인터페이스 연결하고, 캐리어부(20)는 DUT(25)를 핸들링한다. 캐리어부(20)는 하나 이상의 DUT를 보유하도록 구성될 수도 있는데, 하나의 DUT가 도시되어 있다. 전술된 바와 같이, 그리퍼(240A')는 캐리어부(20)를 부착 및 탈착하도록 구성될 수도 있다. 실시예에서, 그리퍼(예를 들어, 그리퍼(240A', 240B'))는 핸들링되는 물체(예를 들어, 캐리어(20))보다 더 작거나 더 크도록 또는 유사한 크기를 갖도록 구성될 수도 있다는 것이 이해된다. 예를 들어, 상이한 그리퍼는 기판 푸트프린트보다 작을 수도 있고, 또는 기판 푸트프린트를 넘어 연장될 수도 있고, 또는 기판 이송부를 지지할 때 기판 푸트프린트와 유사한 크기를 가질 수도 있다.

도 2h는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200F)의 사시도를 도시하고 있고, 이송의 목적으로 기판(예를 들어, 휴대폰 폼 팩터)에 직접 부착하도록 구성된 이송 로봇의 그리퍼를 또한 도시하고 있다. 특히, 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 이송 로봇(200F)의 그리퍼(240A', 240B')는 이송의 목적으로 기판(25)(예를 들어, 휴대폰 폼 팩터)에 직접 부착하거나 인터페이스 연결하도록 구성된다. 특히, 그리퍼(240A')는 기판(25)과 직접 인터페이스 연결하여 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 그리퍼(240A')는 기판(25)에 제거 가능하게 부착하도록 구성된다. 예를 들어, 그리퍼(240A') 상의 리지 또는 다른 보유 수단은 운송 중에 기판(25)을 적소에 단단히 보유하도록 위치될 수도 있다. 게다가, 리지 또는 다른 보유 수단은 요구시에(예를 들어, 적절한 상승력의 인가시에) 기판(25)을 해제하도록 구성된다. 실시예에서, 그리퍼(예를 들어, 그리퍼(240A', 240B'))는 핸들링되는 물체(예를 들어, 기판(25))보다 더 작거나 더 크도록 또는 유사한 크기를 갖도록 구성될 수도 있다는 것이 이해된다. 예를 들어, 상이한 그리퍼는 기판 푸트프린트보다 작을 수도 있고, 또는 기판 푸트프린트를 넘어 연장될 수도 있고, 또는 기판 이송부를 지지할 때 기판 푸트프린트와 유사한 크기를 가질 수도 있다.

도 2i는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체(200I)의 사시도를 도시하고 있고, 여기서 암 및/또는 그리퍼의 수는 로보틱 구조체의 푸트프린트를 유지하면서 수직 방향(예를 들어, Z-방향)으로 스케일 가능할 수도 있다. 전술된 바와 같이, 로보틱 구조체(200I)는 하나 이상의 Y-축을 따른 Y-모션, Z-축을 따른 Z-모션, 및 선택적으로 X-축을 따른 X-모션, 선택적으로 θ-축을 따른 쎄타(θ) 모션을 제공한다. 상세히 도시되지는 않았지만, θ-축, Y-축, Z-축, 및 X-축 중 하나 이상은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 필요로 하지 않는다.

로보틱 구조체(200A)는 전술된 바와 같이, 수직으로 배향된 Z-타워(21)를 또한 포함한다. 수직 구동부(도시 생략)가 Z-타워(210) 내에 구성된다. 수직 구동 기구가 Z-타워(210)를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된다. 도시된 바와 같이, 선택적으로, Z-타워(210)는 θ-축을 따른 쎄타(θ) 모션을 제공하는 회전 가능한 베이스(205)에 고정 부착된다. 회전 가능한 베이스(205)는 플랫폼(201)에 회전 가능하게 부착된다. 트랙 시스템(230)이 플랫폼(201)과 선택적으로 인터페이스 연결된다.

로보틱 구조체(200I)는 하나 이상의 섹션 암(220)을 포함하고, 그 각각은 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되어 있다. 도시된 바와 같이, 로보틱 구조체(200I)는 섹션 암(220A, 220B)을 포함한다. 섹션 암(220A)의 일반적인 설명이 제공되고, 수직 구동 기구에 이동 가능하게 부착된 모든 섹션 암을 대표하고, 섹션 암 및 대응 암 신장부의 이전의 설명을 따른다. 특히, 섹션 암(220A)은 수평 배향을 가져, 섹션 암을 따른 선형 이동이 수평 평면 내에서, 그리고 더 구체적으로는 수평 평면 내의 하나 이상의 규정된 라인을 따라 수행되게 된다. 게다가, 섹션 암(220)은 수직 구동 기구에 적응적으로 부착되기 때문에, 섹션 암(220)은 수직 구동 기구의 이동에 기초하여 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

게다가, 로보틱 구조체(200I)는 오버 및 언더 암 신장부 구성을 포함한다. 각각의 암 신장부는 섹션 암(220A)을 따라 정렬된 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 예를 들어, 섹션 암(220A)은 암 신장부(R1, R2)를 포함한다. 각각의 암 신장부는 전술된 바와 같이, 선형 구동부, 선형 구동 기구, 및 그리퍼 구성을 포함한다. 예를 들어, 암 신장부(R1)는 섹션 암(220A) 내에 구성된 제1 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220A)을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(225A)을 통해 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 제1 선형 구동 기구(221A)를 포함한다. 또한, 그리퍼(240A-1)가 선형 구동 기구(221A)에 부착하도록 구성되고, 또한 선형 구동 기구(221A)의 이동에 의해 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240A-1)의 단부의 중심선(Y)을 통해 규정됨)을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 또한, 암 신장부(R2)는 섹션 암(220A) 내에 구성된 제2 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220A)을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯(도시 생략)을 통해 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 제2 선형 구동 기구(도시 생략)를 포함한다. 또한, 그리퍼(240B-1)가 대응 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고, 또한 대응 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240B-1)의 단부의 중심선(Y)을 통해 규정됨)을 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

섹션 암(220B) 및 그 각각의 암 신장부는 수평 배향을 각각 갖는 것과 같은, 섹션 암(220A)과 유사하게 구성된다. 전술된 바와 같이, 섹션 암(220B)은 Z-타워(210) 내의 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고, 수직 구동 기구의 이동에 기초하여 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 도시된 바와 같이, 암 신장부(R3)는 섹션 암(220B) 내에 구성된 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220B)을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(225B)을 통해 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 선형 구동 기구(221B)를 포함한다. 또한, 그리퍼(240A-2)가 선형 구동 기구(221B)에 부착하도록 구성되고, 또한 선형 구동 기구(221B)의 이동에 의해 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240A-2)의 단부의 중심선(Y)을 통해 규정됨)을 따른 선형 이동을 위해 구성된다. 또한, 암 신장부(R4)는 섹션 암(220B) 내에 구성된 선형 구동부(도시 생략), 및 섹션 암(220B)을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯(도시 생략)을 통해 선형 구동부와 통합하도록 구성된 대응 선형 구동 기구(도시 생략)를 포함한다. 또한, 그리퍼(240B-2)가 대응 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고, 또한 대응 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축(예를 들어, 물체를 보유하는 그리퍼(240B-2)의 단부의 중심선(Y)을 통해 규정됨)을 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

하나 이상의 제어 기구는 각각의 암 신장부의 독립적인 제어를 제공하여, 암 신장부(R1)의 이동이 암 신장부(R2, R3, R4)의 이동으로부터 개별적으로 제어되게 되도록 구현될 수도 있다. 즉, R1, R2, R3, R4의 독립적인 제어가 제공된다.

도시된 바와 같이, 일 실시예에서, 섹션 암(220B)의 오버 및 언더 구성은 섹션 암(220A)의 것과 유사하다. 즉, 섹션 암(220A)에서, 암 신장부(R1)는 암 신장부(R2) 위에 있고, 섹션 암(220B)에서, 암 신장부(R3)는 암 신장부(R4) 위에 있다. 그러나, 양 섹션 암(220A, 220B)에서, 암 신장부들은 각각의 섹션 암의 바디 위에 있다. 다른 실시예에서, 섹션 암(220B)의 오버 및 언더 구성은 모든 섹션 암을 함께 모으도록 역전된다. 즉, 암 신장부(R3, R4)는 섹션 암(220B)의 바디 아래에 구성된다.

도 3a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된, 도 2a 및 도 2b에서 미리 소개된 오버/언더 선형축 로보틱 구조체(200A)의 평면도이다. 특히, 직선형 암 모션은 대응 Y-방향에서 대응 암 신장부의 이동과 함께 그리퍼(240A, 240B)의 신장 및 수축을 포함한다. 로보틱 구조체(200A)는 각각의 대응 암 신장부에 대해 하나 이상의 Y-축에 대한 하나 이상의 Y-모션, 및 X-축을 따른 X-모션을 제공할 수도 있다. 선택적으로, 로보틱 구조체(200A)는 θ-축(도시 생략) 주위의 쎄타(θ) 모션을 제공할 수도 있다. 하나 이상의 그리퍼(240A, 240B)는 기판 또는 웨이퍼 핸들링을 위해 구성되지만, 로보틱 구조체는 다양한 유형의 모듈 및/또는 디바이스를 핸들링하기 위해 구성된 임의의 유형의 그리퍼를 포함할 수도 있다. 도시된 바와 같이, 그리퍼(240A, 240B)는 웨이퍼(310) 핸들링을 위해 구성된다.

전술된 바와 같이, 로보틱 구조체(200A)는 수직으로 배향된 Z-타워(210)를 포함한다. Z-타워는 Z-축을 따른 Z-모션을 위해 구성된 수직 구동부, Z-선형 가이드(예를 들어, 볼 슬라이드 조립체), Z-모터들, 볼 스크류 조립체 등을 포함하도록 구성될 수도 있다. 섹션 암(220)은 수직 구동 기구(229)를 통해 Z-타워(210)에 부착하도록 구성되어, 섹션 암(220)이 Z-축을 따른 수직 구동부에 의한 수직 이동을 위해 구성되게 된다.

로보틱 구조체(200A)는 암 섹션(220)을 따른 선형 또는 직선형 이동을 위해 구성된 하나 이상의 그리퍼(240A, 240B)를 포함하는 암 신장부를 포함한다. 각각의 암 신장부는 전술된 바와 같이, 선형 구동부, 선형 구동 기구, 및 그리퍼 구성을 포함한다. 예를 들어, 제1 암 신장부(R1)는 섹션 암(220) 내에 구성된 선형 구동부(도시 생략), 선형 구동부와 인터페이스 연결하도록 구성된 선형 구동 기구(221), 및 그리퍼(240A)를 포함한다. 게다가, 제2 암 신장부(R2)는 선형 구동부(228), 선형 구동부(228)와 인터페이스 연결하도록(예를 들어, 슬롯(226)을 통해) 구성된 선형 구동 기구(227), 및 그리퍼(240B)를 포함한다. 예를 들어, 선형 구동 기구(227)는 선형 구동부(228)의 선형 볼 슬라이드 조립체의 캐리지(229)에 부착하도록 구성될 수도 있어, 캐리지(229)의 이동이 선형 구동 기구(227)의 이동을 통해 그리퍼(240B)의 이동으로 변환되게 된다.

각각의 암 신장부(R1, R2)는 대응 Y-축을 따라 이동하도록 구성된다. 이들 암 신장부는, 예로서 그리퍼(240A, 240B)를 통해 정렬되기 때문에, 암 신장부(R1, R2)의 이동은 그리퍼(240A, 240B)의 중심을 통해 연장되는 중심선 또는 Y-축(320)과 정렬되게 된다. 특히, 암 신장부(R1) 및 그리퍼(240A)의 Y-모션, 및 암 신장부(R2) 및 그리퍼(240B)의 Y-모션은 모두 중심선(320)과 정렬된다. 그러나, 암 신장부(R1)의 Y-모션은 암 신장부(R2)의 Y-모션과는 상이한 수평 평면 내에 있다. 즉, 로보틱 구조체(220A)의 암 신장부의 오버 및 언더 구성에 의해, 암 신장부(R1) 및 그리퍼(240A)의 Y-모션은 암 신장부(R2) 및 그리퍼(240B)의 Y-모션 위에 있다. 이와 같이, 그리퍼(240A)는 그리퍼(240B) 위에 있다. 다른 실시예에서, 암 신장부(R1, R2)의 Y-모션은 정렬되지 않을 수도 있다(예를 들어, 중심선(320)과 각각 정렬됨).

도시된 바와 같이, 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 섹션 암(220)의 길이(330)는 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이(335)보다 약간 더 길다. 이 방식으로, 대응 그리퍼에 의해 핸들링되는 기판(예를 들어, 웨이퍼) 또는 DUT의 전방 에지는 완전히 수축될 때 섹션 암(220)의 단부를 바로 넘어 연장될 것이다. 이들 치수는 기판 또는 DUT 이송이 발생하는 영역과 암 섹션(220) 사이의 간섭을 방지할 수도 있다. 예를 들어, 섹션 암(220)의 길이(330)는 그리퍼(240B)와 대응 선형 구동 기구(227)(예를 들어, 브라켓)의 조합의 길이(335)보다 약간 더 길어, 그리퍼(240B)가 완전히 수축될 때, 그 선단 에지(312)가 섹션 암(220)의 길이(330)의 치수 내에 있게 된다. 섹션 암(330)의 길이는 상이한 실시예에서 가변적이고, 심지어 도 3a에 도시된 것보다 더 길거나 더 짧을 수 있다.

도 3a에서 그리고 본 명세서에 전체에 걸친 다른 도면에서, 기판(310)은 그리퍼(240A)의 푸트프린트보다 큰 크기(예를 들어, 직경)를 갖고 도시되어 있다. 즉, 그리퍼(240A)의 폭(예를 들어, 엔드 이펙터의 연장부들 사이의 거리)은 기판(310)의 직경보다 작을 수도 있다. 그러나, 기판(310) 또는 그리퍼(240A)에 의해 핸들링되는 임의의 다른 물체(예를 들어, 기판, DUT, 디바이스 등)의 크기는 가변적이라는 것이 이해된다. 이와 같이, 대응 그리퍼에 의해 핸들링되는 물체는 대응 그리퍼보다 더 작거나 더 크거나 또는 동일한 크기를 가질 수도 있다. 즉, 상이한 그리퍼가 핸들링되는 물체보다 더 작거나 더 크거나 또는 유사한 크기를 갖도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 상이한 그리퍼는 기판 푸트프린트보다 작을 수도 있고, 또는 기판 푸트프린트를 넘어 연장될 수도 있고, 또는 기판 이송부를 지지할 때 기판 푸트프린트와 유사한 크기를 가질 수도 있다.

도 3b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200A')의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 기판 핸들링을 위해 구성되고, 암 지지 구조체는 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이보다 상당히 더 길다. 로보틱 구조체(200A')는, 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 섹션 암(220')의 길이(330')가 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이(335)보다 긴 것을 제외하고는, 도 2a, 도 2b 및 도 3a의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 전술된 바와 같이, 섹션 암(220')의 길이는 실시예들에서 가변적이고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 길이(330')는 도 3a에 도시된 것보다 길 수 있다. 이 방식으로, 섹션 암(220')의 단부(222')는 완전히 수축될 때 대응 그리퍼(예를 들어, 그리퍼(240B))에 의해 핸들링되는 기판(310)(예를 들어, 웨이퍼) 또는 DUT의 전방 에지(311)를 넘어 연장되고, 반면에 도 3a에서, 섹션 암(220)의 단부(222)는 기판(310)의 전방 에지(311)를 넘어 연장되지 않는다. 예를 들어, 도 3b에서, 섹션 암(220')의 길이(330')는 그리퍼(240B)와 대응 선형 구동 기구(227)(예를 들어, 브라켓)의 조합의 길이(335)보다 더 길어, 그리퍼(240B)가 완전히 수축될 때, 그 선단 에지(312)가 섹션 암(220)의 길이(330')의 치수 내에 있게 된다.

도 3c는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200F)(도 2f에서 미리 소개되어 있음)의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체의 그리퍼는 피시험 디바이스와 같은 디바이스를 파지하기 위해 구성되어 있다. 구체적으로, 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 로보틱 구조체(200F)의 그리퍼(240A', 240B')는 DUT와 같은 기판, 모듈을 핸들링하기 위해 각각 구성된 캐리어부(20)와 인터페이스 연결하기 위해 구성된다. 도 2f에 관련하여 전술된 바와 같이, 로보틱 구조체(200F)는, 그리퍼(240A', 240B')가 웨이퍼 핸들러 대신에 DUT 핸들러로서 구성되어 있는 것을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 도시된 바와 같이, 그리퍼(240A')는 캐리어부(20) 상에 위치된 수용기(도시 생략)와 정합하도록 구성된 인터페이스(45a)를 포함한다. 또한, 그리퍼(240B')는 캐리어부(20) 상에 위치된 수용기(도시 생략)와 정합하도록 구성된 인터페이스(45b)를 포함한다. 예를 들어, 캐리어부(20)는 휴대폰과 같은 DUT(25)와 인터페이스 연결하고 핸들링(예를 들어, 지지)하도록 구성된다. 게다가, 그리퍼(240A', 240B')는 각각 캐리어부(20)를 부착 및 탈착하도록 구성될 수도 있어, 대응 DUT가 시험 캐리어(20)에 의해 여전히 보유되는 동안 다른 시험 장소(전술된 바와 같이)로 운송될 수도 있게 된다.

게다가, 로보틱 구조체(200F)는, 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 섹션 암(220")의 길이(330")가 그리퍼와 브라켓의 조합의 길이(335)보다 긴 것을 제외하고는, 도 3a의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다. 이 방식으로, 섹션 암(220")의 단부(222")는 완전히 수축될 때 대응 그리퍼(예를 들어, 그리퍼(240B'))에 의해 핸들링되는 캐리어부(20) 또는 DUT의 전방 에지(311")를 넘어 연장된다. 즉, 섹션 암(220")의 길이(330")는 그리퍼(240B')와 대응 선형 구동 기구(227)(예를 들어, 브라켓)의 조합의 길이(335)보다 더 길어, 그리퍼(240B')가 완전히 수축될 때, 그 선단 에지(312")가 섹션 암(220")의 길이(330")의 치수 내에 있게 된다.

도 3d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200A)의 평면도이고, 여기서 로보틱 구조체(200A)의 그리퍼는 물체를 파지하기 위해 구성되고, 그리퍼 및 물체의 이동의 중심선은 로봇 회전과 일치한다.

특히, 로보틱 구조체(200A)는 플랫폼(201)(도시 생략) 및 플랫폼(201)에 회전 가능하게 장착된 회전 가능한 베이스(205)를 포함한다. 회전 가능한 베이스(205)는 플랫폼에 대해 쎄타에서 회전하도록 되어 있다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(200A)는 θ-축 주위의 쎄타(θ) 모션 및 Z-축 주위의 Z-모션을 제공한다. 구체적으로, 수직으로 배향된 Z-타워(210)가 회전 가능한 베이스(205)에 고정 부착된다. 이와 같이, Z-타워(210)는 θ-축에 대해 회전 가능한 베이스(205)와 함께 회전한다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(200A)는, 예로서 물체를 픽업 및/또는 드롭-오프하기 위해 암 신장부(R2)의 그리퍼(240B)를 수축하고 신장하기 위해, 또는 트랙 시스템(도시 생략)을 따라 로보틱 구조체(200A)를 이동할 때 위치설정을 위해 임의의 쎄타 방향으로 배향될 수 있다. 암 신장부(R1)는 도 3d에는 도시되어 있지 않다. Z-타워(210)는 수직 구동부, Z-선형 가이드(예를 들어, 볼 슬라이드 조립체), Z1 및 Z2 모터, 볼 스크류 조립체, 및 쎄타 베어링을 포함하도록 구성될 수도 있다.

또한, 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 섹션 암(220)의 길이(330)는 그리퍼(240B)와 선형 구동 기구(227)(예를 들어, 브라켓)의 조합의 길이(335)보다 약간 더 길다. 이 방식으로, 대응 그리퍼(240B)에 의해 핸들링되는 기판(예를 들어, 웨이퍼) 또는 DUT의 전방 에지(도시 생략)는 완전히 수축될 때 섹션 암(220)의 단부(222)를 바로 넘어 연장될 것이다. 유사하게, 섹션 암(220)의 길이(330)는 그리퍼(240B)와 대응 선형 구동 기구(227)(예를 들어, 브라켓)의 조합의 길이(335)보다 더 길어, 그리퍼(240B)가 완전히 수축될 때, 그 선단 에지(312)가 섹션 암(220)의 단부(222)를 넘어 연장되지 않게 된다.

도 4a는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 선형 구동 기구가 제2 그리퍼 상에 배치된 물체와 간섭하지 않도록 간극 공간을 증가시키기 위해 구성된 아웃리거 신장 브라켓(221A)을 포함하고, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(400)의 사시도를 도시하고 있다. 직선형 암 모션은 대응 Y-방향에서 대응 암 신장부의 이동과 함께 그리퍼(240A, 240B)의 신장 및 수축을 포함한다. 로보틱 구조체(400)는, 선형 구동 기구(221A)가 슬롯(225)을 통해 제1 선형 구동부와 통합하고 그리고/또는 그에 적응적으로 부착하기 위한 제1 단부(401), 및 그리퍼(240A)의 단부(245A)에 부착하도록 구성된 제2 단부(402)를 갖고 구성된 신장 브라켓을 포함하는 것을 제외하고는, 도 2a 및 도 2b의 로보틱 구조체(200A)와 유사하게 구성된다.

도시된 바와 같이, 암 신장부(R1)의 선형 구동부는 암 신장부(R2)의 선형 구동부 아래에 구성된다. 즉, 암 신장부(R2)의 선형 구동부는 섹션 암(220) 내의 암 신장부(R1)의 선형 구동부 위에 있어, 그리퍼(240B)가 그리퍼(240A) 아래에 있게 된다.

더 구체적으로, 아웃리거 신장 브라켓(221A)은 점선 원(AA)에 강조되어 있는 바와 같이, 암 신장부(R2)의 그리퍼(240B) 위에 수평으로 위치된 간극 공간을 증가시키도록 구성된 아웃리거 섹션을 갖고 구성된다. 이 방식으로, 아웃리거 신장 브라켓(221A)은 후술되는 도 4b에 더 도시되어 있는 바와 같이, 간극 공간을 점유하기 위해 충분한 크기 및 치수를 갖는 그리퍼(240) 상에 배치된 기판과 간섭하지 않는다.

도 4b는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된, 도 4a에서 소개된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(400)의 사시도를 도시하고 있다. 도 4b의 로보틱 구조체(400)는, 점선 원(BB)에 강조되어 있는 바와 같이, 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 아웃리거 신장 브라켓(221A)(즉, 선형 구동 기구)이 그리퍼(240B)에 상에 배치되어 이에 의해 핸들링되는 캐리어부(20) 및 기판(25)과 간섭하지 않도록 하는 그리퍼(240A)의 선형 이동을 도시하고 있다. 즉, 암 신장부(R1)는 완전 신장 위치로 이동하고, 암 신장부(R1)의 아웃리거 신장 브라켓(221A)은 암 신장부(R2)의 그리퍼(240B)에 의해 핸들링되는 캐리어부(20)를 클리어하도록 충분한 치수를 갖는다. 도시된 바와 같이, 암 신장부(R2)는 완전 수축 위치에 있다.

도 5a 내지 도 5d는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 직선형 암 모션을 위해 구성된 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(200A')의 사시도이다. 선택적으로, 도 5a 내지 도 4d의 로보틱 구조체(200A')는 전술된 바와 같이, 트랙 시스템 통합을 지원할 수도 있다. 도 5a 내지 도 5d의 사시도는 로보틱 구조체(200A')의 이면측(291)의 가려지지 않은 뷰를 갖는 공간 내의 제1 관점으로부터 취해졌다. 오버 및 언더 구성에서, 암 신장부(R1)를 위한 그리퍼(240A)는 암 신장부(R2)를 위한 그리퍼(240B) 위에 있지만, 이들의 배향은 역전될 수도 있다.

게다가, 도 3b에서 전술된 바와 같이, 섹션 암(220')의 길이(330')는 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 대응 그리퍼와 선형 구동 기구의 조합의 길이(335)보다 길다. 예를 들어, 섹션 암(220')의 길이는 그리퍼(240A)와 선형 구동 기구(221)의 조합의 길이보다 길다. 또한, 섹션 암(220')의 길이는 그리퍼(240B)와 선형 구동 기구(227)의 조합의 길이보다 길다.

더 구체적으로, 도 5a 내지 도 5d는 완전 신장 및 완전 수축을 포함하는 로보틱 구조체(200A')의 암 신장부(R1, R2)의 다양한 위치를 도시하고 있다. 도 5a 내지 도 5d에서, 암 신장부(R1, R2)는 시험 및/또는 조립 프로세스 중에, 시험 시스템의 시험 스테이션 전체에 걸쳐 기판, 모듈, DUT를 추출하고, 운송하고, 배치하기 위한 목적으로 신장 및 수축되어 도시되어 있다. 몇몇 실시예에서, 암 신장부(R1, R2) 중 적어도 하나의 완전 수축이 가능하고, 여기서 대응 그리퍼(들)(예를 들어, 엔드 이펙터)는 완전 수축을 허용하도록 구성된다. 도시되어 있지 않은 로보틱 구조체(200A')의 암 신장부(R1, R2)를 위한 다수의 상이한 구성이 지원되기 때문에, 도 5a 내지 도 5d는 순전히 예시의 목적이다. 예를 들어, 도시되지는 않았지만, 암 신장부(R1, R2)는 절반 또는 1/4 신장부와 같은 다양한 신장부로 각각 배치될 수도 있다. 몇몇 실시예에서, 암 신장부(R1, R2) 중 적어도 하나의 완전 신장이 가능하고, 여기서 대응 그리퍼(들)(예를 들어, 엔드 이펙터)는 완전 신장을 허용하도록 구성된다(예를 들어, 물체를 픽업하거나 드롭 오프하기 위한). 또한, 도 5a 내지 도 5d에는 도시되어 있지 않지만, 암 신장부(R1, R2)는 Z-축을 따라 수직으로 이동될 수도 있고, 여기서 각각의 암 신장부(R1, R2)는 전술된 바와 같이, 부가의 직선형 암 모션을 갖는다.

도 5a 내지 도 5d 및 본 명세서 전체에 걸친 로보틱 구조체는 본 개시내용의 실시예들에 따르면, 다양한 물체 및/또는 디바이스를 핸들링하기 위해 구성된다. 예를 들어, 몇몇 실시예에서, 도 5a 내지 도 5d의 로보틱 구조체(200A')는 웨이퍼 및/또는 기판(310)을 핸들링하기 위해 구성되고, 로보틱 구조체는 엔드 이펙터를 갖고 구성된 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 다른 실시예는 디바이스, 모듈, 및/또는 DUT를 핸들링하기 위해 구성된 로보틱 구조체(예를 들어, 200F)를 개시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체는 캐리어부(예를 들어, 캐리어 및/또는 트레이)를 갖고 구성되고 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 전술된 바와 같이, 다른 실시예는 다양한 물체, 캐리어, 트레이, DUT 등 중 임의의 하나를 핸들링하기 위해 구성된 다른 유형의 그리퍼의 사용을 개시하고 있다.

특히, 도 5a 내지 도 5d는 예로서 도구 시스템으로부터 웨이퍼를 픽업할 때, 완전 수축으로부터 완전 신장으로 각각의 암 신장부(R1, R2)의 이동을 도시하고 있다. 도 5a 내지 도 5c에서, 암 신장부(R1, R2)의 그리퍼(240A, 240B)는 기판(310) 또는 DUT를 핸들링하지 않는다. 일 경우에, 그리퍼(240B)는 기판 및/또는 웨이퍼를 핸들링할 때 엔드 이펙터로서 구성될 수도 있다.

양 암 신장부(R1, R2)를 위한 이동의 시퀀스에서, 도 5a에서, 암 신장부(R1)는 완전히 신장되어, 그리퍼(240A)는 섹션 암(220')을 넘어 연장되게 된다. 또한, 암 신장부(R2)는 완전히 수축되어, 그리퍼(240B)가 섹션 암(220')을 넘어 연장되지 않게 되어, 그리퍼(240B)와 대응 선형 구동 기구(227)의 길이가 섹션 암(220')의 길이의 치수 내에 완전히 규정되게 된다. 도 5b에서, 암 신장부(R2)의 그리퍼(240B)는 완전 신장 위치로 이동되어 있고, 그리퍼(240B)는 웨이퍼를 핸들링하지 않는다. 또한, 암 신장부(R1)는 또한 완전 신장 위치에 있고, 그리퍼(240A)가 웨이퍼를 핸들링하지 않는다.

도 5c에서, 암 신장부(R1)는 완전 수축 위치로 이동되어 있고, 그리퍼(240A)는 웨이퍼를 핸들링하지 않는다. 또한, 암 신장부(R2)는 완전 신장 위치에 유지되고, 그리퍼(240B)가 웨이퍼를 핸들링하지 않는다. 도 5d에서, 도 5c에 도시된 바와 동일한 암 신장부 구성을 갖고, 암 신장부(R1)는 완전 수축 위치에 있고, 암 신장부(R2)는 완전 신장되어 있다. 또한, 도 5c에서, 암 신장부(R2)는 기판(310)을 픽업한 후에 도시되어 있다. 예로서, 시험 스테이션 또는 로더로부터 기판을 픽업하기 위해 암 신장부를 이동할 때, 동일한 또는 상이한 이동(예를 들어, 완전 신장으로부터 완전 수축으로 이동)이 암 신장부(R2)를 사용하여 운송의 목적으로 웨이퍼(310)를 추출하도록 수행될 수도 있다.

도 5d에서 그리고 본 명세서에 전체에 걸친 다른 도면에서, 기판(310)은 그리퍼(240B)와 동일한 직경을 갖고 도시되어 있다. 기판(310) 또는 그리퍼(240B)에 의해 핸들링되는 임의의 다른 물체(예를 들어, 기판, DUT, 디바이스 등)의 크기는 가변적이라는 것이 이해된다. 이와 같이, 대응 그리퍼에 의해 핸들링되는 물체는 대응 그리퍼보다 더 작거나 더 크거나 또는 동일한 크기를 가질 수도 있다. 즉, 상이한 그리퍼가 핸들링되는 물체보다 더 작거나 더 크도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 상이한 그리퍼는 기판 푸트프린트보다 작을 수도 있고, 또는 기판 이송부를 지지할 때 기판 푸트프린트를 넘어 연장될 수도 있다.

도 6a 내지 도 6h는 본 개시내용의 실시예들에 따른, 시험 시스템의 로더(40) 내의, 도 2a 및 도 2b에 소개된 로보틱 구조체(200A)의 사용을 도시하고 있고, 여기서 로보틱 구조체(200A)는 개방 또는 밀봉 가능한 다중-디바이스 캐리어(665)로부터 다른 시험 및/또는 제조 스테이션으로 기판, 모듈, DUT를 운송하기 위해 구성되어 있다. 특히, 로더(40)는 DUT(25)를 보유하는 캐리어 또는 트레이(20)를 운송하기 위해 구성된 다중-디바이스 캐리어(665)를 수용하기 위한 하나 이상의 로드 포트(660)를 포함할 수도 있다. 로드 포트(660)는 다중-디바이스 캐리어(665)와 로보틱 구조체(200A) 사이의 표준 인터페이스로서 구성된다. 예를 들어, 로드 포트(660)는 로더(40) 내의 로보틱 구조체(200A)에 캐리어 및/또는 트레이(20)를 제시하도록 구성되고, 여기서 로보틱 구조체는 캐리어 및/또는 트레이(20)에 의해 핸들링된 DUT를 대응 시험 스테이션(도시 생략)으로 이동시키도록 구성된다.

다중-디바이스 캐리어(665)는 대응 로더(40)를 거쳐 시험 스테이션으로부터 시험 스테이션으로 다중-디바이스 캐리어(665)를 이동시키도록 구성된 운송 시스템(예를 들어, 오버헤드 호이스트 이송(OHT) 시스템)과 정합하도록 구성된 핸들(도시 생략)을 포함할 수도 있다. 캐리어(665)는 포드 쉘(pod shell) 및 포드 도어(pod door)를 포함하고, 여기서 포드 도어는 포드 도어가 쉘로부터 제거되기 전에 로드 포트(660)의 포트 도어와 맞물려서 캐리어(660) 내에 위치된 카세트(620)로의 액세스를 가능하게 한다. 카세트(620)는 하나 이상의 밀접하게 이격된 슬롯(621)(예를 들어, 621A 내지 621N)을 포함하고, 각각의 슬롯(621)은 더 소형 캐리어 또는 트레이(20)를 보유하기 위해 구성된다. 카세트(620)는 임의의 수의 슬롯(621)을 가질 수도 있다.

로더는 다중-디바이스 캐리어(665)를 지지하기 위해 구성된 장착면(610)을 포함한다. 로킹 조립체(605)가 장착면에 부착되고, 여기서 로킹 조립체(605)는 다중-디바이스 캐리어(665)를 장착면(610) 상의 적소에 로킹하도록 구성된다. 일단 로킹되면, 다중-디바이스 캐리어(665)는 로드 포트(160)에 적절하게 도킹되고, 포드 도어는 개방될 수도 있다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(200A)는 DUT 추출 및/또는 배치(예를 들어, 캐리어부(20)를 거쳐), 및 로더(40) 내부 내로의 캐리어 또는 트레이(20)를 거친 DUT의 운송을 위해 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하는 것이 가능하다. 추가의 운송이 연결된 시험 스테이션(도시 생략)으로 그리고 그로부터 캐리어 또는 트레이(20)를 거쳐 DUT(25)를 이동시키도록 가능해질 수도 있다. 게다가, 로보틱 구조체(200A)는 예로서 로더(40)가 다수의 로드 포트를 지지할 때, 로더(40) 내의 이동을 가능하게 하도록 트랙 시스템(230)과 인터페이스 연결되거나 통합될 수도 있다.

로더(40) 내부에 위치된 로보틱 구조체(200A)는 이중 암 신장 구조체(예를 들어, 오버 및 언더 구성으로)로서 구성되지만, 하나 이상의 암 신장부를 갖도록 구성될 수도 있다. 도시된 바와 같이, 로보틱 구조체(200A)는 암 신장부(R1, R2)를 포함하고, 암 신장부(R1)는 DUT(예를 들어, 캐리어부(20))를 핸들링하기 위해 구성된 그리퍼(240A)를 포함한다. 또한, 로보틱 구조체(200A)는 DUT를 핸들링하기 위해 구성된 그리퍼(240B)를 포함하는 암 신장부(R2)를 포함한다. 일 실시예에서, 그리퍼(240A, 240B)는 전술된 바와 같이, 웨이퍼를 핸들링하기 위해 구성될 수도 있다.

도 6a 내지 도 6c에서, 암 신장부(R1, R2)는 비-인접한 슬롯으로부터 순차적인 방식으로 슬롯(621A, 621C) 내의 DUT를 핸들링하는 캐리어 또는 트레이(20)를 픽업하도록 조정된다. 예를 들어, 제1 암 신장부(R1)는 슬롯(621A)으로부터 캐리어 또는 트레이(20)를 픽업하고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 이동하고, 이어서 암 신장부(R2)는 다중-디바이스 캐리어(665) 내로 이동하여 슬롯(621C)으로부터 캐리어 또는 트레이(20)를 제거하고, 슬롯(621A, 621C)은 인접하지 않는다(예를 들어, 슬롯(621B)은 슬롯(621A, 621C) 사이에 있음).

도 6a에서, 암 신장부(R1)는 대응 캐리어 또는 트레이(20)를 통한 DUT 추출의 목적으로 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하고 슬롯(621A)에 액세스하도록 위치된다. 슬롯 내의 캐리어 또는 트레이(20)와 맞물리기 위한 암 신장부(R1)의 그리퍼(240A)의 이동은 잘 알려져 있고, 추가의 설명이 필요가 없다. 도시된 바와 같이, 암 신장부(R2)는 암 신장부(R1)와 간섭하지 않도록 위치되고, 수축 위치에 있을 수도 있다.

도 6b에서, 암 신장부(R1)는 캐리어부(20)를 픽업하였고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 시험 시스템의 로더(40)의 내부 내로 이동한다. 게다가, 암 신장부(R2)는 DUT 추출의 목적으로 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하고 다른 슬롯(예를 들어, 슬롯(621C))에 액세스하도록 위치된다. 도 6c에서, 암 신장부(R2)는 캐리어부(20)를 픽업하였고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 시험 시스템의 로더(40)의 내부 내로 이동하여, 양 암 신장부가 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 이동하게 되었다. 슬롯 내의 캐리어부(20)와 맞물리기 위한 암 신장부(R1 또는 R2)의 그리퍼(240A 또는 240B)의 이동은 잘 알려져 있고, 추가의 설명이 필요가 없다. 도시된 바와 같이, 캐리어 또는 트레이(20)는 슬롯(621A, 621C)이 없다.

도 6d 내지 도 6f에서, 암 신장부(R1, R2)는 인접한 슬롯으로부터 순차적인 방식으로 다중-디바이스 캐리어(665) 내부의 캐리어 또는 트레이(20)를 동시에 픽업하도록 조정된다. 예를 들어, 제1 암 신장부(R1)는 슬롯(621A)으로부터 캐리어 또는 트레이(20)를 픽업하고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 이동하고, 이어서 암 신장부(R2)는 다중-디바이스 캐리어(665) 내로 이동하여 슬롯(621B)으로부터 캐리어 또는 트레이(20)를 제거하고, 슬롯(621A, 621B)은 인접한다.

도 6d에서, 암 신장부(R1)는 대응 캐리어 또는 트레이(20)를 통한 DUT 추출의 목적으로 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하고 슬롯(621A)에 액세스하도록 위치된다. 도시된 바와 같이, 암 신장부(R2)는 암 신장부(R1)와 간섭하지 않도록 위치되고, 수축 위치에 있을 수도 있다.

도 6e에서, 암 신장부(R1)는 캐리어부(20)를 픽업하였고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 시험 시스템의 로더(40)의 내부 내로 이동한다. 게다가, 암 신장부(R2)는 DUT 추출의 목적으로 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하고 다른 슬롯(예를 들어, 슬롯(621B))에 액세스하도록 위치된다. 도 6e에서, 암 신장부(R2)는 캐리어부(20)를 픽업하였고, 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 시험 시스템의 로더(40)의 내부 내로 이동하여, 양 암 신장부(R1, R2)가 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 이동하게 되었다. 도 6f에서, 암 신장부(R1, R2)는 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 로더(40)의 내부 내로 이동하였다. 즉, 양 암 신장부(R1, R2)는 완전히 수축된다. 도시된 바와 같이, 캐리어 또는 트레이(20)는 슬롯(621A, 621B)이 없다.

게다가, 다른 암 신장부 이동이 가능하다. 예를 들어, 암 신장부(R1, R2)는 다중-디바이스 캐리어(665)에 진입하고 동시에 슬롯(621A, 621B) 내의 캐리어 또는 트레이(20)를 픽업할 수도 있다. 그 후에, 암 신장부(R1, R2)는 다중-디바이스 캐리어(665)를 나오고 동시에 다중-디바이스 캐리어(665) 외부로 그리고 로더(40)의 내부 내로 이동할 수도 있다.

도 6g 및 도 6h는 시험 스테이션(도시 생략)으로 그리고 그로부터 웨이퍼를 이동하기 위한 로더(40) 내의 로보틱 구조체(200A)의 이동(예를 들어, 회전)을 도시하고 있다. 특히, 도 6g는 로보틱 구조체(200A)의 정면도를 도시하고 있고, 여기서 양 암 신장부(R1, R2)는 캐리어 또는 트레이(20)를 핸들링하고 있고, 트랙 시스템(230)을 따라 이동할 수도 있다. 암 신장부(R1)의 그리퍼(240A)는 암 신장부(R2)의 그리퍼(240B) 위에 위치된다. 로더(40) 내의 로보틱 구조체(200A)의 추가의 회전 후에, 도 6h는 완전 또는 부분 신장시에, 암 신장부(R1, R2)가 연결된 시험 스테이션(도시 생략) 내로 진입할 수도 있도록 하는 배향에서 암 신장부(R1, R2)를 도시하고 있다.

도 7a 내지 도 7d는 본 개시내용의 일 실시예에 따른, 복수의 그리퍼의 각각의 독립적인 선형 이동을 위해 구성된 다수의 선형 구동부 및 선형 구동 기구를 갖는 오버 및 언더 선형축 로보틱 구조체(700)의 사시도를 도시하고 있다. 도 7a 내지 도 7d의 사시도는 로보틱 구조체(700)의 정면측(790)의 가려지지 않은 뷰를 갖는 공간 내의 제1 관점으로부터 취해졌다. 로보틱 구조체(700)는 다양한 물체 및/또는 디바이스를 핸들링하기 위해 구성된 그리퍼를 포함하는 하나 이상의 암 신장부를 포함한다. 암 신장부 및 그리퍼의 각각은 선형 이동에 관하여 그리고 핸들링을 위해 독립적으로 제어된다. 또한, 로보틱 구조체(700)의 동일한 푸트프린트는 임의의 수의 암 신장부(1 내지 N)를 지지할 수 있다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(700)에 의해 핸들링되는 물체의 수는 전체 시스템(예를 들어, 시험, 제조, 운송 등) 내의 로보틱 구조체에 의해 요구된 수평 푸트프린트에 영향을 미치지 않고 상당히 증가될 수 있다. 이전에, 수평 푸트프린트의 증가는 물체 및/또는 디바이스의 수의 증가를 지원하는데 필요한 부가의 전통적인 로보틱 시스템(그 자신의 수평 푸트프린트를 각각 요구함)을 수용하기 위해 핸들링되는 물체 및/또는 디바이스의 수를 증가시키기 위해 요구되었다. 다수의 경우에, 로보틱 시스템을 위한 수평 푸트프린트의 증가는 상당한 비용 및/또는 전체 시스템의 크기의 증가 없이 이루어질 수 없다. 때때로, 부가의 공간이 형성되지 않을 수 있고, 이와 같이 핸들링되는 물체 및/또는 디바이스의 수는 증가될 수 없다. 다른 한편으로, 본 개시내용의 실시예에서, 핸들링되는 물체 및/또는 디바이스의 수를 증가시키는 수평 푸트프린트의 어떠한 증가도 요구되지 않는다.

로보틱 구조체(700)는 수직으로 배향된 Z-타워(210)(또한 Z-마스트라 칭함)를 또한 포함한다. 도시된 바와 같이, Z-타워는 구조체(215)에 고정 부착되거나 이동 가능하게 인터페이스 연결될 수도 있다(예를 들어, 브라켓 또는 다른 연결 수단을 통해). 로보틱 구조체(700)는 Z-타워(210)의 위치 및 배향에 따라, 공간 내의 하나 이상의 규정된 라인을 따라 직선형 암 모션을 위해 구성된다. 예를 들어, 로보틱 구조체(700)는 하나 이상의 규정된 라인을 다라 물체를 픽업 및/또는 드롭 오프하기 위해, 대응 암 신장부의 하나 이상의 그리퍼를 수축 및 신장하기 위해 구성된다.

소개된 바와 같이, 로보틱 구조체(700)는 본 개시내용의 일 실시예에 따르면, 부분적으로 X-축을 따른 이동을 위해 구성될 수도 있다. 특히, 지지부(215)는 구동부(도시 생략)(예를 들어, 벨트 시스템, 선형 구동부 등)를 갖고 구성될 수도 있다. 예를 들어, 브라켓(도시 생략) 또는 다른 커넥터가 지지부(215)를 따른 로보틱 구조체(700)의 Z-타워(210)의 이동을 가능하게 하기 위해 구동부와 이동 가능하게 인터페이스 연결하도록 구성될 수도 있다. 즉, Z-타워(210)는 적어도 지지부(215)의 섹션에 대해, X-축을 따라 X-방향으로 이동 가능하다. 상세히 도시되지는 않았지만, X-축은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 요구하지 않는다. 예를 들어, X-축은 트랙의 섹션의 방향을 규정할 수도 있고, X-축은 수평 평면 내에서 X-방향에서 로보틱 시스템(700)의 모션을 규정할 수도 있다.

또한, 로보틱 구조체(700)는 트랙 시스템에 결합되지 않을 수도 있다. 예를 들어, 로보틱 구조체(700)는 지지부(215)에 고정 부착될 수도 있다(브라켓을 통해). 지지부(215)는 로보틱 구조체(700)의 다양한 모션이 정확도를 갖고 반복될 수 있도록 강성 구조체를 제공하는 강성 플랫폼으로서 구성될 수도 있다. 로보틱 구조체(200A)의 Z-타워(210)가 지지부(215)에 고정 부착될 때, Z-마스트(210)의 어떠한 이동도 X-축을 따라 가능하지 않다.

수직 구동부(도시 생략)가 Z-타워(210) 내에 구성된다. 수직 구동 기구가 Z-타워(210)를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 수직 구동부와 통합하도록 구성된다. 상세히 도시되지는 않았지만, Z-축은 관련 기술분야에 공지되어 있고, 추가의 개시를 요구하지 않는다. 예를 들어, Z-축은 Z-타워를 따른, 또는 Z-방향을 따른 섹션 암(220)의 선형 모션을 규정할 수도 있다. 도시된 바와 같이, Z-타워(210)의 정면측(290) 상에 위치된 슬롯(251)은 수직 구동 기구(도시 생략)가 Z-타워(210) 내에서 수직 구동부(도시 생략)와 통합하게 한다. 예를 들어, 수직 구동부는 볼 슬라이드 조립체를 포함할 수도 있고, 여기서 수직 구동 기구는 Z-축을 따른 이동을 위해 볼 슬라이드 조립체에 부착하도록 구성된다. 다른 예에서, 수직 구동부는 볼 스크류 조립체를 포함할 수도 있다.

로보틱 구조체(700)는 수직 구동 기구에 부착하도록 구성된 암 지지 구조체(720)를 포함한다. 이 방식으로, 암 지지 구조체(720)는 수직 구동 기구의 이동에 의해 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

로보틱 구조체(700)는 하나 이상의 암 신장부(R1 내지 RN)를 포함하고, 각각의 암 신장부는 적어도 선형 구동부, 선형 구동 기구, 및 그리퍼를 포함한다. 암 신장부는 다양한 물체 및/또는 디바이스를 핸들링하기 위해 구성된다. 예를 들어, 몇몇 실시예에서, 도 7a 내지 도 7d의 로보틱 구조체(700)는 웨이퍼 및/또는 기판(310)을 핸들링하기 위해 구성되고, 로보틱 구조체(700)는 엔드 이펙터를 갖고 구성된 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 다른 실시예에서, 로보틱 구조체(700)는 디바이스, 모듈, 및/또는 DUT를 핸들링하기 위해 구성되고, 여기서 로보틱 구조체는 캐리어부(예를 들어, 캐리어 및/또는 트레이)를 갖고 구성되고 그리고/또는 인터페이스 연결하는 그리퍼를 포함한다. 로보틱 구조체(700)의 또 다른 실시예는 다양한 물체, 캐리어, 트레이, DUT 등 중 임의의 하나를 핸들링하기 위해 구성된 다른 유형의 그리퍼의 사용을 개시하고 있다.

암 신장부에 대해, 복수의 선형 구동부(도시 생략)가 암 지지 구조체(720) 내에 구성된다. 예를 들어, 선형 구동부는 직선형 모션을 제공하기 위해 대응 볼 슬라이드 조립체를 통해 구현될 수도 있다. 게다가, 복수의 슬롯(725)(예를 들어, 슬롯(725A 내지 725E)을 포함함)은 암 지지 구조체(720)의 외향면(790) 내에 배열된다. 예를 들어, 각각의 슬롯(725A 내지 725E)은 외향면(790) 내에 수평으로 배열된다. 또한, 복수의 선형 구동 기구가 제공되고, 각각의 선형 구동 기구는 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯을 통해 대응 선형 구동부와 통합하도록 구성된다. 예를 들어, 선형 구동 기구는 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯을 통해 대응 볼 슬라이드 조립체의 캐리지에 부착하도록 구성될 수도 있다. 로보틱 구조체는 복수의 그리퍼를 포함하고, 각각의 그리퍼는 대응 선형 구동 기구에 부착하도록 구성된다. 이와 같이, 각각의 그리퍼는 대응 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된다.

도시된 바와 같이, 로보틱 구조체(700)는 5개의 암 신장부(R1 내지 R5)를 포함한다. 예를 들어, 암 신장부(R1)는 대응 선형 구동 기구(도시 생략)에 부착하도록 구성된 그리퍼(740A)를 포함하고, 여기서 선형 구동 기구는 대응 Y1-축을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(725A)을 통해 대응 선형 구동부(도시 생략)와 통합하기 위해 부착하도록 또한 구성된다. 또한 암 신장부(R2)는 대응 선형 구동 기구(도시 생략)에 부착하도록 구성된 그리퍼(740B)를 포함하고, 여기서 선형 구동 기구는 대응 Y2-축을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(725B)을 통해 대응 선형 구동부(도시 생략)와 통합하기 위해 부착하도록 또한 구성된다. 또한, 암 신장부(R3)는 대응 선형 구동 기구(도시 생략)에 부착하도록 구성된 그리퍼(740C)를 포함하고, 여기서 선형 구동 기구는 대응 Y3-축을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(725C)을 통해 대응 선형 구동부(도시 생략)와 통합하기 위해 부착하도록 또한 구성된다. 또한, 암 신장부(R4)는 대응 선형 구동 기구(도시 생략)에 부착하도록 구성된 그리퍼(740D)를 포함하고, 여기서 선형 구동 기구는 대응 Y4-축을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(725D)을 통해 대응 선형 구동부(도시 생략)와 통합하기 위해 부착하도록 또한 구성된다. 또한, 암 신장부(R5)는 대응 선형 구동 기구(도시 생략)에 부착하도록 구성된 그리퍼(740E)를 포함하고, 여기서 선형 구동 기구는 대응 Y5-축을 따른 선형 이동을 위해 슬롯(725E)을 통해 대응 선형 구동부(도시 생략)와 통합하기 위해 부착하도록 또한 구성된다. 일 실시예에서, 하나 이상의 Y1 내지 Y5 축은 수직 방향으로 정렬될 수도 있다.

인접한 암 신장부들 사이의 간격은 미리선택될 수 있다. 일 실시예에서, 인접한 암 신장부의 쌍들 사이의 간격은 균일하다. 다른 실시예에서, 인접한 암 신장부의 쌍들 사이의 간격은 불균일하다. 예를 들어, 인접한 암 신장부의 하나의 쌍은 다중-디바이스 캐리어(예를 들어, 캐리어(665))의 인접한 액세스 슬롯(예를 들어, 슬롯(621))에 액세스를 제공하기 위한 간격을 갖고 구성될 수도 있다. 이 방식으로, 로보틱 구조체(700)의 모든 5개의 암 신장부(R1 내지 R5)를 다중-디바이스 캐리어 내로 신장할 때, 5개의 인접한 슬롯이 액세스되어, 예로서 그 내부에 수납된 기판을 픽업한다. 암 신장부(R1 내지 R5)의 이동의 시퀀스는 다중-디바이스 캐리어 내의 기판들을 제거하기 위해 25개의 액세스 슬롯을 갖는 캐리어에 대해 5회 반복될 수도 있다. 인접한 암 신장부의 다른 쌍은 캐리어의 비-인접한 액세스 슬롯(예를 들어, 하나 이상의 액세스 슬롯을 스킵함)에 액세스를 제공하기 위해 간극을 갖고 구성될 수도 있다. 일 실시예에서, 인접한 암 신장부의 쌍 사이의 간격은 또한 제어 가능할 수도 있다. 예를 들어, 암 지지 구조체(720)는 인접한 암 신장부의 쌍들 사이의 간격을 증가시키거나 감소시키기 위해 신장 가능하고 수축 가능한 아코디언형 섹션을 포함할 수도 있다. 일 실시예에서, 로보틱 구조체(700)는 하나 이상의 암 신장부가 다중-디바이스 캐리어로서 전면 개방 통합 포드(FOUP) 내의 액세스 슬롯과 동시에 인터페이스 연결할 수 있도록 크기 설정된다.

또한, 각각의 암 신장부는 시험 및/또는 조립 프로세스 중에, 시험 시스템의 시험 스테이션 전체에 걸쳐 기판, 모듈, DUT를 추출하고, 운송하고, 배치하기 위한 목적으로 독립적으로 제어될 수 있다. 단일의 제어기 또는 다수의 제어기가 대응 암 신장부의 복수의 선형 구동부의 각각의 이동을 제어하기 위해 구성될 수도 있다. 이 방식으로, 다중-디바이스 캐리어의 액세스 슬롯의 다양한 인덱싱이 암 지지 구조체(720)의 배향, 및 암 신장부(R1 내지 R5)의 위치설정에 따라, 하나 이상의 암 신장부(예를 들어, 그리퍼)에 의해 인터페이스 연결될 수도 있다.

예를 들어, 도 7a 내지 도 7d는 완전 신장 및 완전 수축을 포함하는 로보틱 구조체(700)의 암 신장부(R1 내지 R5)의 다양한 위치를 도시하고 있다. 도 7a 내지 도 7d에서, 암 신장부(R1 내지 R5)는 시험 및/또는 조립 프로세스 중에, 시험 시스템의 시험 스테이션 전체에 걸쳐 기판, 모듈, DUT를 추출하고, 운송하고, 배치하기 위한 목적으로 신장 및 수축되어 도시되어 있다. 몇몇 실시예에서, 암 신장부(R1 내지 R5) 중 적어도 하나의 완전 수축이 가능하고, 여기서 대응 그리퍼(들)(예를 들어, 엔드 이펙터)는 완전 수축을 허용하도록 구성된다. 도시되어 있지 않은 로보틱 구조체(700)의 암 신장부(R1, R52)를 위한 다수의 상이한 구성이 지원되기 때문에, 도 7a 내지 도 7d는 순전히 예시의 목적이다. 예를 들어, 도시되지는 않았지만, 암 신장부(R1, R5)는 절반 또는 1/4 신장부와 같은 다양한 정도의 신장부로 각각 배치될 수도 있다. 몇몇 실시예에서, 암 신장부(R1 내지 R5) 중 적어도 하나의 완전 신장이 가능하고, 여기서 대응 그리퍼(들)(예를 들어, 엔드 이펙터)는 완전 신장을 허용하도록 구성된다(예를 들어, 물체를 픽업하거나 드롭 오프하기 위한). 또한, 도 5a 내지 도 5d에는 도시되어 있지 않지만, 암 신장부(R1, R2)는 Z-축을 따라 수직으로 이동될 수도 있고, 여기서 각각의 암 신장부(R1, R2)는 전술된 바와 같이, 부가의 직선형 암 모션을 갖는다.

특히, 도 7a에서, 암 신장부(R1 내지 R5)의 각각의 그리퍼(740A 내지 740E)는 완전 수축 위치에 있고, 그리퍼는 완전 수축 위치 또는 완전 신장 위치 사이의 임의의 위치로 이동될 수도 있다.

도 7b에서, 암 신장부(R2, R5)는 완전 신장 위치에 있어, 그리퍼(725B, 725E)가 완전 신장되게 된다. 나머지 암 신장부(R1, R3, R4)는 완전 수축 위치에 있어, 그리퍼(725A, 725C, 725D)가 완전 수축되게 된다.

도 7c에서, 암 신장부(R3)는 완전 신장 위치에 있어, 그리퍼(725C)가 완전 신장되게 된다. 나머지 암 신장부(R1, R2, R4, R5)는 완전 수축 위치에 있어, 그리퍼(725A, 725B, 725D, 725E)가 완전 수축되게 된다. 또한, 도 7c에서, 암 신장부(R3)는 기판(310)을 픽업한 후에, 또는 기판(310)의 드롭 오프 프로세스에서 도시되어 있다. 예로서, 시험 스테이션 또는 로더로부터 기판을 픽업하기 위해 암 신장부를 이동할 때, 동일한 또는 상이한 이동(예를 들어, 완전 신장으로부터 완전 수축으로 이동)이 암 신장부(R3)를 사용하여 운송의 목적으로 웨이퍼(310)를 추출하도록 수행될 수도 있다. 게다가, 나머지 암 신장부(R1, R2, R4, R5)의 각각은 기판(310)을 미리 픽업하였고, 운송의 목적으로 수축된 위치로 이동되어 있다.

도 7c에서 그리고 본 명세서에 전체에 걸친 다른 도면에서, 기판(310)은 그리퍼(740A 내지 740E)와 동일한 직경을 갖고 도시되어 있다. 기판(310) 또는 그리퍼(740A 내지 740E)에 의해 핸들링되는 임의의 다른 물체(예를 들어, 기판, DUT, 디바이스 등)의 크기는 가변적이라는 것이 이해된다. 이와 같이, 대응 그리퍼에 의해 핸들링되는 물체는 대응 그리퍼보다 더 작거나 더 크거나 또는 동일한 크기를 가질 수도 있다. 즉, 상이한 그리퍼가 핸들링되는 물체보다 더 작거나 더 크도록 구성될 수도 있다. 예를 들어, 상이한 그리퍼는 기판 푸트프린트보다 작을 수도 있고, 또는 기판 이송부를 지지할 때 기판 푸트프린트를 넘어 연장될 수도 있다.

도 7d에서, 2개의 암 신장부(R3, R4)는 기판(310)을 드롭 오프 및/또는 픽업하는 것으로 도시되어 있다. 예를 들어, 암 신장부(R3, R4)는 완전 신장 위치에 있어, 그리퍼(725C, 725D)가 완전 신장되게 된다. 나머지 암 신장부(R1, R2, R5)는 완전 수축 위치에 있어, 그리퍼(725A, 725B, 725E)가 운송의 목적으로 완전 수축되게 된다. 예를 들어, 암 신장부(R1, R2, R5)는 다음에 기판(310)을 드롭 오프하기 위해 완전히 신장될 수도 있고, 또는 모든 암(R1 내지 R5)을 수축한 후에, Z-타워(210)는 상이한 장소(예를 들어, 상이한 시험 스테이션)로 운송을 위해 X-축을 따라 이동된다.

도 8은 전술된 시스템을 제어하기 위한 제어 모듈(810)을 도시하고 있다. 제어 모듈(810)은 본 개시내용의 다양한 실시예의 양태를 수행하는데 사용된 예시적인 디바이스 내에 구성될 수도 있다. 예를 들어, 도 8은 일 실시예에 따른 디바이스를 구현하기 위해 적합한 예시적인 하드웨어 시스템(800)을 도시하고 있다. 하드웨어 시스템(800)은 본 개시내용의 실시예를 실시하기 위해 적합한 컴퓨터 시스템일 수도 있고, 프로세서, 메모리, 및 하나 이상의 인터페이스를 포함할 수도 있다. 특히, 하드웨어 시스템(800)은 소프트웨어 애플리케이션 및 선택적으로 운영 체제를 실행하기 위한 중앙 처리 유닛 또는 프로세서(801)를 포함한다. 프로세서(801)는 하나 이상의 프로세싱 코어를 갖는 하나 이상의 범용 마이크로프로세서일 수도 있다. 또한, 시스템(800)은 프로세서(801)에 의해 사용을 위해 애플리케이션 및 데이터를 저장하기 위한 메모리(850)를 포함할 수도 있다. 저장 장치(852)는 애플리케이션 및 데이터를 위한 비휘발성 저장 장치 및 다른 컴퓨터-판독 가능 매체를 제공하고, 고정식 디스크 드라이브, 이동식 디스크 드라이브, 플래시 메모리 디바이스, 및 CD-ROM, DVD-ROM, 블루레이, HD-DVD, 또는 다른 광학 디바이스, 뿐만 아니라 신호 전송 및 저장 매체를 포함할 수도 있다. 시스템(800)의 구성요소는 하나 이상의 데이터 버스(814)를 거쳐 접속된다.

제어 모듈(800)은 부분적으로 감지된 값에 기초하여 시스템 내의 디바이스를 제어하도록 채용될 수도 있다. 단지 예로서, 제어 모듈(800)은 감지된 값 및 다른 제어 파라미터에 기초하여, 수직 구동부(802), 회전 구동부(804), 이중 신장 구동부(806)(예를 들어, 로보틱 시스템의 암을 신장 및 수축하기 위해 사용됨), 트랙 시스템(808), 및 다른 센서(812) 중 하나 이상을 제어할 수도 있다. 제어 모듈(800)은 전형적으로 하나 이상의 메모리 디바이스 및 하나 이상의 프로세서를 포함할 것이다. 제어 모듈(800)과 연계된 메모리 디바이스 상에 저장된 다른 컴퓨터 프로그램이 몇몇 실시예에서 채용될 수도 있다.

전형적으로, 제어 모듈(800)과 연계된 사용자 인터페이스가 존재할 것이다. 사용자 인터페이스는 시험 시스템의 디스플레이 스크린 및/또는 그래픽 소프트웨어 디스플레이에 명령을 제공하기 위해 구성된 디스플레이 인터페이스(818), 및 시스템(800)에 사용자 입력을 통신하는데 사용되는 포인팅 디바이스, 키보드, 터치 스크린, 마이크로폰 등과 같은 사용자 입력 디바이스(820)를 포함할 수도 있다.

몇몇 구현예에서, 제어기는 전술된 예들의 부분일 수도 있는 시스템의 부분이다. 이러한 시스템은 시험 시스템을 포함할 수 있다. 또 다른 시스템은 처리 도구 또는 도구들, 챔버 또는 챔버들, 처리를 위한 플랫폼 또는 플랫폼들, 및/또는 특정 처리 구성요소(기판 받침대, 가스 유동 시스템 등)를 포함하는, 반도체 처리 장비를 포함할 수도 있다. 이들 시스템의 모두는 반도체 웨이퍼 또는 기판의 시험 또는 처리 전, 중, 및 후에 이들의 동작을 제어하기 위한 전자 기기와 통합될 수도 있다. 전자 기기는 시스템 또는 시스템들의 다양한 구성요소 또는 하위부를 제어할 수도 있는 "제어기"라 칭할 수도 있다. 제어기는, 처리 요구 및/또는 시스템의 유형에 따라, 다양한 구동 기구, 및 설명된 로보틱 구조체를 위한 암 기구를 포함하여, 본 명세서에 개시된 임의의 프로세스를 제어하도록 프로그램될 수도 있고, 처리 가스의 전달, 온도 설정(예를 들어, 가열 및/또는 냉각), 압력 설정, 진공 설정, 전력 설정, 무선 주파수(RF) 발생기 설정, RF 정합 회로 설정, 주파수 설정, 유량 설정, 유체 전달 설정, 위치 및 동작 설정, 도구 및 다른 이송 도구 내로의 기판 이송부 및/또는 특정 시스템에 연결되거나 인터페이스 연결된 로드 로크(load lock)를 또한 포함할 수도 있다.

광범위하게 말하면, 제어기는 명령을 수신하고, 명령을 발행하고, 동작을 제어하고, 세정 동작을 가능하게 하고, 종단점 측정을 가능하게 하는 등인 다양한 집적 회로, 논리 회로, 메모리, 및/또는 소프트웨어를 갖는 전자 기기로서 정의될 수도 있다. 집적 회로는 프로그램 명령을 저장하는 펌웨어의 형태의 칩, 디지털 신호 프로세서(DSP), 응용 주문형 집적 회로(ASIC)로서 정의된 칩, 및/또는 하나 이상의 마이크로프로세서, 또는 프로그램 명령(예를 들어, 소프트웨어)을 실행하는 마이크로제어기를 포함할 수도 있다. 프로그램 명령은 다양한 개별 설정(또는 프로그램 파일)의 형태로 제어기에 통신되어, 반도체 기판 상에 또는 이를 위해 또는 시스템에 특정 프로세스를 수행하기 위한 동작 파라미터를 규정하는 명령일 수도 있다. 동작 파라미터는 몇몇 실시예에서, 웨이퍼의 하나 이상의 층, 재료, 금속, 산화물, 실리콘, 실리콘 디옥사이드, 표면, 회로, 및/또는 다이의 제조 중에 하나 이상의 처리 단계를 성취하도록 프로세스 엔지니어에 의해 규정된 레시피의 부분일 수도 있다.

제어기는 몇몇 실시예에서, 시스템과 통합되고, 결합되거나, 시스템에 다른 방식으로 네트워킹되거나, 이들의 조합인 컴퓨터의 부분이거나 컴퓨터에 결합될 수도 있다. 예를 들어, 제어기는 기판 처리의 원격 액세스를 허용할 수 있는 팹 호스트 컴퓨터 시스템의 전체 또는 일부의 "클라우드" 내에 있을 수도 있다. 컴퓨터는 제조 작업의 현재 경과를 모니터링하고, 과거 제조 작업의 이력을 검사하고, 복수의 제조 작업으로부터 트렌드 또는 성능 메트릭을 검사하고, 현재 처리의 파라미터를 변경하고, 현재 처리를 따르도록 처리 단계를 설정하거나, 또는 새로운 프로세스를 시작하도록 시스템으로의 원격 액세스를 가능하게 할 수도 있다. 몇몇 예에서, 원격 컴퓨터(예를 들어, 서버)는 로컬 네트워크 또는 인터넷을 포함할 수도 있는 네트워크를 통해 시스템에 프로세스 레시피를 제공할 수 있다.

원격 컴퓨터는 이후에 원격 컴퓨터로부터 시스템에 통신되는 파라미터 및/또는 설정의 입력 또는 프로그램을 가능하게 하는 사용자 인터페이스를 포함할 수도 있다. 몇몇 예에서, 제어기는 하나 이상의 작업 중에 수행될 처리 단계의 각각에 대한 파라미터를 지정하는 데이터의 형태의 명령을 수신한다. 파라미터는 수행될 프로세스의 유형 및 제어기가 인터페이스 연결하거나 제어하도록 구성되는 도구의 유형에 특정할 수도 있다는 것이 이해되어야 한다. 따라서, 전술된 바와 같이, 제어기는 예를 들어 본 명세서에 설명된 프로세스 및 콘트롤과 같은, 공통 목적을 향해 함께 네트워킹되거나 작동하는 하나 이상의 별개의 제어기를 포함함으로써, 분산될 수도 있다. 이러한 목적의 분산형 제어기의 예는 챔버 상에서 프로세스를 제어하도록 조합되는 원격으로 위치된(예를 들어, 플랫폼 레벨에서 또는 원격 컴퓨터의 부분으로서) 하나 이상의 집적 회로와 통신하는 챔버 상의 하나 이상의 집적 회로일 것이다.

전술된 바와 같이, 도구에 의해 수행될 프로세스 단계 또는 단계들에 따라, 제어기는 다른 도구 회로 또는 모듈, 다른 도구 구성요소, 클러스터 도구, 다른 도구 인터페이스, 인접한 도구, 이웃하는 도구, 공장 전체에 걸쳐 위치된 도구, 메인 컴퓨터, 다른 제어기, 또는 도구 장소들로 그리고 그로부터 웨이퍼의 컨테이너를 유도하는 재료 운송에 사용된 도구 및/또는 반도체 제조 공장에서의 로드부 중 하나 이상과 통신할 수도 있다.

실시예들의 상기 설명은 예시 및 설명의 목적으로 제공된 것이다. 이는 철저한 것으로 또는 본 개시내용을 한정하는 것으로 의도된 것은 아니다. 특정 실시예의 개별 요소들 또는 특징들은 일반적으로 그 특정 실시예에 한정되지 않지만, 적용 가능하면 상호교환 가능하고, 구체적으로 도시되거나 설명되지 않았더라도, 선택된 실시예에서 사용될 수 있다. 이들은 또한 다수의 방식으로 변동될 수도 있다. 이러한 변형은 본 개시내용으로부터 일탈로서 간주되어서는 안되고, 모든 이러한 수정은 본 개시내용의 범주 내에 포함되도록 의도된다.

상기 실시예들은 이해의 명료화를 위해 몇몇 상세로 설명되었지만, 특정 변경 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주 내에서 실시될 수 있다는 것이 명백할 것이다. 이에 따라, 본 발명의 실시예들은 한정적인 것이 아니라 예시적인 것으로서 고려되어야 하고, 실시예들은 본 명세서에 제공된 상세에 한정되는 것은 아니라, 청구범위의 범주 및 등가물 내에서 수정될 수도 있다.

Claims

선형축 로보틱 구조체이며,
Z-타워;
상기 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부;
상기 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 상기 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구;
상기 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖는 제1 섹션 암으로서, 상기 제1 섹션 암은 상기 수직 구동 기구의 이동에 의해 상기 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성되는, 제1 섹션 암;
상기 제1 섹션 암 내에 구성된 제1 선형 구동부;
Y-축을 따른 상기 제1 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 상기 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제1 선형 구동 기구; 및
상기 제1 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 상기 제1 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제1 그리퍼
를 포함하는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서,
상기 제1 섹션 암 내에 구성된 제2 선형 구동부;
Y-축을 따른 상기 제1 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 상기 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제2 선형 구동 기구; 및
상기 제2 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 상기 제2 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제2 그리퍼를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제2항에 있어서,
상기 제1 선형 구동 기구는 상기 제1 선형 구동부와 통합하도록 제1 단부에 구성된 신장 브라켓, 및 상기 제1 그리퍼에 부착하도록 구성된 제2 단부를 포함하고,
상기 제2 선형 구동부는 상기 제1 선형 구동부 위에 구성되어, 상기 제2 그리퍼가 상기 제1 그리퍼 아래에 있게 되고,
아웃리거 신장 브라켓은 상기 제2 그리퍼 위에 수평으로 위치된 간극 공간을 증가시키도록 구성된 아웃리거 섹션을 갖도록 구성되어, 상기 신장 브라켓이 상기 제2 그리퍼 상에 배치되어 상기 간극 공간을 점유하는 기판과 간섭하지 않게 되는, 로보틱 구조체.
제2항에 있어서,
상기 제1 선형 구동부 및 상기 제2 선형 구동부의 이동을 독립적으로 제어하기 위해 구성된 제어기를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제2항에 있어서,
상기 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖는 제2 섹션 암으로서, 상기 제2 섹션 암은 상기 수직 구동 기구의 이동에 의해 상기 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성되는, 제2 섹션 암;
상기 제2 섹션 암 내에 구성된 제3 선형 구동부;
Y-축을 따른 상기 제2 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 상기 제3 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제3 선형 구동 기구; 및
상기 제3 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 상기 제3 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제3 그리퍼를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제2항에 있어서,
상기 Z-타워로부터 이격하여 외향으로 지향하는 상기 제1 섹션 암의 외부면을 따라 수평으로 배열된 제1 슬롯으로서, 상기 제1 선형 구동 기구는 상기 제1 슬롯을 통해 상기 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성되는, 제1 슬롯; 및
상기 Z-타워를 향해 내향으로 지향하는 상기 섹션 암의 내부면을 따라 수평으로 배열된 제2 슬롯으로서, 상기 제2 선형 구동 기구는 상기 제2 슬롯을 통해 상기 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성되는, 제2 슬롯을 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서,
플랫폼을 더 포함하고, 상기 Z-타워는 상기 플랫폼 위로 연장되는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서,
플랫폼을 더 포함하고, 상기 Z-타워는 상기 플랫폼 아래로 연장되는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서, 상기 수직 구동부는 볼 스크류 조립체를 포함하는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서, 상기 제1 선형 구동부는 볼 슬라이드 조립체를 포함하는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 피시험 디바이스(DUT)를 보유하도록 구성된 엔드 이펙터를 포함하는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 하나 이상의 물체를 보유하기 위해 적합한 리셉터클 영역을 갖는 컨테이너와 연결하도록 구성되는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서,
상기 제1 선형 구동 기구에 연결하도록 제1 단부에 구성된 유니버설 인터페이스를 더 포함하고, 상기 유니버설 인터페이스의 제2 단부는 하나 이상의 그리퍼에 해제 가능하게 부착하도록 구성되고, 각각의 그리퍼는 대응 물체와 인터페이스 연결하도록 고유하게 구성되는, 로보틱 구조체.
제1항에 있어서, 상기 그리퍼는 능동 디바이스 또는 수동 디바이스를 포함하는, 로보틱 구조체.
선형축 로보틱 구조체이며,
플랫폼;
상기 플랫폼에 장착되고 상기 플랫폼 주위를 쎄타형으로 회전하도록 구성된 회전 가능한 베이스;
상기 회전 가능한 베이스에 부착되고, 상기 회전 가능한 베이스와 함께 회전하는 Z-타워;
상기 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부;
상기 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 상기 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구;
상기 수직 구동 기구에 부착하도록 구성되고 수평 배향을 갖는 섹션 암으로서, 상기 섹션 암은 상기 수직 구동 기구의 이동에 의해 상기 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성되는, 섹션 암;
상기 섹션 암 내에 구성된 제1 선형 구동부;
Y-축을 따른 상기 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 상기 제1 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제1 선형 구동 기구; 및
상기 제1 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 상기 제1 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제1 그리퍼
를 포함하는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서,
상기 섹션 암 내에 구성된 제2 선형 구동부;
Y-축을 따른 상기 섹션 암을 따른 선형 이동을 위해 상기 제2 선형 구동부와 통합하도록 구성된 제2 선형 구동 기구; 및
상기 제2 선형 구동 기구에 부착하도록 구성되고 상기 제2 선형 구동 기구의 이동에 의해 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 제2 그리퍼를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제16항에 있어서,
상기 제1 선형 구동부 및 상기 제2 선형 구동부의 이동을 독립적으로 제어하기 위해 구성된 제어기를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서, 상기 Z-타워는 상기 플랫폼 위로 연장되는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서,
트랙 시스템을 더 포함하고, 상기 플랫폼은 트랙을 따른 이동을 위해 상기 트랙 시스템에 이동 가능하게 부착하도록 구성되는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 피시험 디바이스(DUT)를 보유하도록 구성된 엔드 이펙터를 포함하는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서, 상기 제1 그리퍼는 하나 이상의 물체를 보유하기 위해 적합한 리셉터클 영역을 갖는 컨테이너와 연결하도록 구성되는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서,
상기 제1 선형 구동 기구에 연결하도록 제1 단부에 구성된 유니버설 인터페이스를 더 포함하고, 상기 유니버설 인터페이스의 제2 단부는 하나 이상의 그리퍼에 해제 가능하게 부착하도록 구성되고, 각각의 그리퍼는 대응 물체와 인터페이스 연결하도록 고유하게 구성되는, 로보틱 구조체.
제15항에 있어서, 상기 그리퍼는 능동 디바이스 또는 수동 디바이스를 포함하는, 로보틱 구조체.
선형축 로보틱 구조체이며,
Z-타워;
상기 Z-타워 내에 구성된 수직 구동부;
상기 Z-타워를 따라 Z-축으로 선형 이동을 위해 상기 수직 구동부와 통합하도록 구성된 수직 구동 기구;
상기 수직 구동 기구에 부착하도록 구성된 암 지지 구조체로서, 상기 암 지지 구조체는 상기 수직 구동 기구의 이동에 의해 상기 Z-타워를 따른 선형 이동을 위해 구성되는, 암 지지 구조체;
상기 암 지지 구조체 내에 구성된 복수의 선형 구동부;
상기 암 지지 구조체의 외향면 내에 수평으로 각각 배열된 복수의 슬롯;
대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 대응 슬롯을 통해 대응 선형 구동부와 통합하도록 각각 구성된 복수의 선형 구동 기구; 및
대응 선형 구동 기구에 부착하도록 각각 구성되고 상기 대응 선형 구동 기구의 이동에 의해 대응 Y-축을 따른 선형 이동을 위해 구성된 복수의 그리퍼
를 포함하는, 로보틱 구조체.
제24항에 있어서,
상기 복수의 선형 구동부의 각각의 이동을 독립적으로 제어하기 위해 구성된 제어기를 더 포함하는, 로보틱 구조체.
제24항에 있어서, 상기 수직 구동부는 볼 스크류 조립체를 포함하는, 로보틱 구조체.
제24항에 있어서, 상기 복수의 선형 구동부 중 적어도 하나는 볼 슬라이드 조립체를 포함하는, 로보틱 구조체.
제24항에 있어서, 상기 복수의 그리퍼 중 적어도 하나는 피시험 디바이스(DUT)를 보유하도록 구성된 엔드 이펙터를 포함하는, 로보틱 구조체.
제24항에 있어서, 상기 복수의 그리퍼 중 적어도 하나는 하나 이상의 물체를 보유하기 위해 적합한 리셉터클 영역을 갖는 컨테이너와 연결하도록 구성되는, 로보틱 구조체.