KR20190108505A - 박막 디바이스를 제조하는 무용매 방법 - Google Patents

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알베르토 아르고이티아
캉닝 리앙
요하네스 피. 세이델
야로스와프 지에바
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비아비 솔루션즈 아이엔씨.
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Abstract

박막 디바이스를 형성하는 방법은 웹을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및 웹으로부터 다층 박막을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함한다. 박막 디바이스를 형성하는 추가의 방법이 개시된다.

Description

박막 디바이스를 제조하는 무용매 방법{SOLVENT-LESS METHOD TO MANUFACTURE THIN FILM DEVICES}
관련 출원
본 출원은 2018년 3월 14일자로 출원된 미국 가출원 제62/643,038호에 대한 우선권을 주장하며, 이 기초출원의 개시내용은 참고로 본 명세서에 원용된다.
발명의 기술분야
본 개시내용은, 일반적으로, 웹(web)을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및 웹으로부터 다층 박막을 박리, 즉, 이형(release)시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법에 관한 것이다.
박막 디바이스는 일반적으로 다층 구조체와 웹 사이에 이형층을 구비한 상태에서 웹 상에 제작된다. 몇몇 경우에, 이형층은 박막 디바이스를 코팅하기 전에 증발되는 염화나트륨 이형층이다. 다른 경우에, 이형층은 폴리에틸렌 테레프탈레이트 웹에 의해 제공된 아세톤 가용성 중합체 이형층이다. 두 경우에 있어서, 박막은 아세톤/물 또는 100% 아세톤을 이용해서 이형층을 용해시키는 습식 공정에서 스트리핑(stripping)된다. 유해한 가연성 아세톤(용매)의 사용은 스트리핑, 헹굼, 여과 및 스트리핑된 그대로의 박막의 건조를 위한 특정 공정 장비를 필요로 한다.
부식성(caustic) 용매의 사용 없이 이형층을 가진 웹으로부터 다층 구조체를 제거하는 방법, 예를 들어, 현재의 습식 공정 대신에 더 간단하고 덜 값비싼 건조 공정을 이용하는 방법에 대한 요구가 존재한다. 부가적으로 또는 대안적으로, 이형층 없이 웹으로부터 다층 구조체를 제거하는 방법에 대한 요구가 존재한다. 이러한 방법은 더 간단한 공정이 될 것이고, 추가의 재료의 제거 때문에 더욱 비용 효율적이 될 것이다.
일 양상에 있어서, 박막 디바이스를 형성하는 방법이 개시되되, 해당 방법은 웹을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및 웹으로부터 다층 박막을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함한다.
다른 양상에 있어서, 박막 디바이스를 형성하는 방법이 개시되되, 해당 방법은 웹을 제1 층으로 코팅하는 단계; 제1 층을 반사체층(reflector layer)으로 코팅하는 단계; 반사체층을 제2 층으로 코팅하여 다층 박막을 형성하는 단계; 및 건조 수법에 의해 웹으로부터 다층 박막을 이형시키는 단계를 포함한다.
추가의 양상에 있어서, 박막 디바이스를 형성하는 방법이 개시되되, 해당 방법은 이형층을 가진 웹을 제공하는 단계; 이형층을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및 웹으로부터 다층 박막을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함한다.
각종 실시형태의 추가의 특징 및 이점은, 부분적으로, 이하의 설명에 제시될 것이고, 부분적으로 이하의 설명으로부터 명백할 것이거나, 또는 각종 실시형태의 시행에 의해 학습될 수 있다. 각종 실시형태의 목적 및 기타 이점은 본 명세서의 설명에서 특히 지정된 요소 및 조합에 의해 실현되고 달성될 것이다.
수 개의 양상 및 실시형태에서의 본 개시내용은 상세한 설명 및 첨부 도면으로부터 더욱 완전히 이해될 수 있으며, 여기서:
도 1은 본 개시내용의 일례에 따른 방법의 양상을 수행하기 위한 전사 방법을 예시한 도면;
도 2는 본 개시내용의 일례에 따른 박막 디바이스의 단면도;
도 3은 본 개시내용의 일례에 따른 박막 디바이스의 단면도;
도 4는 본 개시내용의 일례에 따른 박막 디바이스의 단면도; 및
도 5는 본 개시내용의 일례에 따른 박막 디바이스의 단면도.
본 명세서 및 도면 전체를 통해서, 유사한 도면 부호는 유사한 요소를 나타낸다.
전술한 일반적인 설명 및 이하의 상세한 설명은 둘 다 예시적이고 설명적일 뿐이고, 본 교시의 각종 실시형태의 설명을 제공하도록 의도된 것임이 이해되어야 한다. 각 도면에 나타낸 층/성분은 특정 도면에 관하여 기재될 수 있지만, 특정 층/성분의 설명이 다른 도면에서의 균등한 층/성분에 적용 가능한 것임이 이해된다.
광범위하고 다양한 실시형태에 있어서, 박막 디바이스(10)를 형성하는 방법이 개시되되, 해당 방법은 웹(40)을 다층 박막(20)으로 코팅하는 단계; 및 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함한다. 일 양상에 있어서, 웹(40)은 이형층(30)을 포함하지 않고, 다층 박막(20)은 웹(40) 상에 직접 증착된다. 다층 박막(20)은 2개 이상의 층, 예컨대, 3개의 층, 4개의 층, 5개의 층 또는 6개의 층, 예를 들어, 7개의 층을 포함할 수 있다. 일 양상에 있어서, 다층 박막(20)은 3개의 층을 포함할 수 있다. 다른 양상에 있어서, 다층 박막(20)은 5개의 층을 포함할 수 있다. 다층 박막(20)은 파브리-페로 구조체(Fabry-Perot structure)를 포함할 수 있다. 파브리-페로 구조체는 박막 간섭 효과를 제공하기 위하여 5개 이상의 층을 가질 수 있다. 파브리-페로 구조체에 존재하는 층의 수는 목적하는 광학 특성, 그러나 또는 다른 특성, 예를 들어, 자성 특성에 따라 다양할 수 있다. 방법은 특정 효과 안료와 같이, 박막 디바이스(10)를 제조하는데 사용될 수 있다. 다층 박막(20)을 포함하는 층은 이하에 더욱 완전히 논의된다.
일 양상에 있어서, 박막 디바이스(10)를 형성하는 방법은 웹(40)을 제1 층으로 코팅하는 단계; 제1 층을 반사체층으로 코팅하는 단계; 반사체층을 제2 층으로 코팅하여 다층 박막(20)을 형성하는 단계; 및 건조 수법에 의해 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키는 단계를 포함할 수 있다. 일 양상에 있어서, 웹(40)은 이형층(30)을 포함하지 않고, 다층 박막(20), 예컨대, 제1 층은, 웹(40) 상에 직접 증착된다. 방법은 이형된 다층 박막(20)을 수집하는 단계를 더 포함할 수 있다. 방법은 이형된 다층 박막(20)을 분쇄하는 단계를 더 포함할 수 있다. 제1 층, 반사체층 및 제2 층은 이하에 더욱 완전히 논의된다.
다른 양상에 있어서, 박막 디바이스(10)를 형성하는 방법이 개시되되, 해당 방법은 이형층(30)을 가진 웹(40)을 제공하는 단계; 이형층(30)을 다층 박막(20)으로 코팅하는 단계; 및 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함한다. 일 양상에 있어서, 다층 박막(20)은 3개의 층을 포함할 수 있다. 다른 양상에 있어서, 다층 박막(20)은 5개의 층을 포함할 수 있다. 다층 박막(20)은 파브리-페로 구조체를 포함할 수 있다. 파브리-페로 구조체는 박막 간섭 효과를 제공하도록 5개 이상의 층을 가질 수 있다. 파브리-페로 구조체에 존재하는 층의 개수는 목적하는 광학 특성, 그러나 또한 다른 특성, 예를 들어, 자성 특성에 따라서 변할 수 있다. 방법은 박막 디바이스(10)를 예컨대, 특정 안료 효과를 갖도록 만드는데 사용될 수 있다. 다층 박막(20)을 포함하는 층은 이하에 더욱 완전히 논의된다. 일 양상에 있어서, 이형층(30) 상에 코팅된 다층 박막(20)은, 이형층(30) 상에 코팅된 제1 층을 포함할 수 있으며; 상기 방법은 제1 층을 반사체층으로 코팅하는 단계; 및 반사체층을 제2 층으로 코팅하여 다층 박막(20)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 제1 층, 반사체층 및 제2 층은 이하에 더욱 완전히 논의된다.
본 명세서에 개시된 방법에서 사용되는 웹(40)은 이형층(30) 및 다층 박막(20) 중 적어도 하나를 유지할 수 있는 임의의 재료일 수 있다. 일 양상에 있어서, 웹(40)은 마이크로구조화된 웹(40), 예컨대, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)일 수 있다. 웹(40)은 가요성일 수 있다. 몇몇 양상에 있어서, 웹(40)은 이형층(30)을 포함할 수 있다. 다른 양상에 있어서, 웹(40)에는 이형층(30)이 존재하지 않을 수 있으므로, 다층 박막(20), 예를 들어, 제1 층이 웹(40) 상에 직접 코팅될 수 있다.
본 명세서에 개시된 방법의 몇몇에서 사용되는 이형층(30)은 웹(40)에 대해서 낮은 접착력으로 웹(40)의 표면 상에 제공될 수 있다. 일 양상에 있어서, 이형층(30)은 웹(40)에 대한 낮은 접착력과 비교해서 다층 박막(20)의 제1 층에 더 낮은 접착력으로 존재할 수 있다. 이와 같이 해서, 이형층(30)은 다층 박막(20)의 제1 층 대신에 웹(40)으로부터 더욱 용이하게 제거될 수 있다. 일 양상에 있어서, 이형층(30)은 수용성일 수 있다. 이형층(30)은, 예를 들어, 알루미늄과 같은 금속층을 함유하는 안료와 함께 이용되는 바와 같이, 분쇄 공정 후에 그리고 부통태화/기능화 습식 공정 전에 다층 박막(20)으로부터 제거될 수 있다. 건조 수법, 예컨대, 건식 스트리핑 공정은, 이형층(30)의 존재 없이 행해질 수 있거나, 또는 웹(40)에 대한 낮은 접착력을 갖는 이형층(30)에 의해 행해질 수 있다. 이형층(30)은 웹(40)과 다층 박막(20) 사이에 존재할 필요는 없다.
이형층(30)은 폴리비닐 알코올 제제, 다당류 제제(덱스트란), 폴리아크릴산 제제, 폴리비닐 아세테이트 제제, 폴리비닐 피롤리돈 제제, 카복시메틸 셀룰로스 제제 및 이들의 조합물로부터 선택될 수 있다. 이형층(30)은 수용성일 수 있지만, 제1 층, 반사체층 및 제2 층을 포함하는 다층 박막(20)을 코팅하는데 사용되는 용매에는 불용성일 수 있다. 부가적으로, 이형층(30)의 분자량은 수중 용해도를 개선시키기 위하여 변경될 수 있다. 예를 들어, 제1 층이 수계 제제를 갖는 경우, 이형층(30)은 수중 낮은 용해도를 지녀야만 한다. 이형층(30)은 코팅 및 다층 박막(20) 중 적어도 제1 층의 건조에 요구되는 시간 기간 동안 그의 온전성을 유지시켜야 한다.
일 양상에 있어서, 이형층(30)은 폴리비닐 알코올(PVA) 제제일 수 있다. 이 제제는 비독성, 투명 및 불활성이다. 이것은 우수한 막형성 특성을 갖는 수용성 중합체이다. PVA의 코팅은 폴리에틸렌 프탈레이트(PET)와 같은 소수성 중합체의 표면에 대해서 낮은 접착력을 지니고 대부분의 유기 용매에 불용성이다. 하나 또는 다수의 용매계 층이 소수성 중합체 시트(웹) 상에 사전-코팅된 PVA층 상에 코팅된 경우, PVA층이 코팅 과정 동안 그대로 유지될 뿐만 아니라, 압착된 공기 또는 물 스트림으로부터의 영향과 같은 기계력의 인가에 의해서 층들이 중합체 시트(웹)로부터 편리하게 분리될 수 있게 한다. 이와 같이 해서, PVA층은 이형층(30)으로서 기능할 수 있다.
PVA층은 웹(40) 상에 수성 PVA 용액을 코팅함으로써 형성될 수 있다. 완전 가수분해된 그리고 부분 가수분해된(예컨대, 86 내지 88% 가수분해된) PVA는 둘 다 이형층(30)을 형성하는데 사용될 수 있다. 또한, Mw 10,000 내지 200,000의 범위의 분자량을 가진 PVA는 이형층(30)에 대해서 적합할 수 있다. 부분적으로 가수분해된 PVA는 완전 가수분해된 PVA가 이의 강력한 분자간 수소-결합 상호작용으로 인해 더 강력한 코팅으로 초래할 수 있는 한편 투명한 코팅 및 냉수 중 높은 용해도를 초래할 수 있다. 저분자량은 신속한 물 용해 및 낮은 용액 점도를 가능하게 할 수 있다. 이에 반하여, 고분자량은 느린 물 용해 및 높은 용액 점도를 초래할 수 있다.
0.01% 내지 30% PVA를 가진 제제는 웹(40)을 코팅하고 이형층(30)을 형성하는데 사용될 수 있다. PVA에 부가해서, 계면활성제, 변형제, 유기 용매, 오염방지제 등과 같은 첨가제는 코팅 성능을 증대시키도록 제제 형성 이형층(30)에 포함될 수 있다. 유효한 PVA 이형층(30)은, 웹(40)의 특성에 따라서, 약 1㎚ 내지 약 10마이크론, 예를 들어, 약 50㎚ 내지 약 1100㎚의 범위의 층 두께를 가질 수 있다.
PVA는 가교제에 의해 실온 또는 상승된 온도에서 가교될 수 있다. 적합한 가교제는 다이알데하이드, 예컨대, 글리옥살 및 글루타르알데하이드; 다이카복실산, 예컨대, 말론산, 석신산, 글루타르산, 아디프산 등; 붕산; 및 몇몇 다가 금속 이온, 예컨대, Al3 +를 포함하지만, 이들로 제한되는 것은 아니다. PVA층의 가교는 물에 불용성을 부여할 수 있고 수계 코팅에 대한 이형 재료로서 기능할 수 있다.
일 양상에 있어서, 폴리아크릴산(PAA)-PVA 혼합물이 이형층(30)으로서 사용될 수 있다. 웹(40)에 대한 혼합물의 접착력은 중화된 카복실산기의 함량을 제어하도록 수산화나트륨과 같은 염기를 첨가함으로서 조정될 수 있다. PAA가 수산화나트륨과 반응할 경우, 카복실산나트륨염을 형성한다. 웹(40)에 대한 PAA-PVA 이형층(30)의 부착력은 카복실산염 함량이 증가함에 따라서 감소할 수 있는 것이 확인되었다. 이와 같이 해서, 이형층(30) 내 카복실레이트염의 양을 제어함으로써 다층 박막(20)의 이형을 조율하는 것이 가능하다.
이형층(30)은 무기염 및/또는 유기염을 포함할 수 있다. 이형층(30)에 사용하기 위한 적합한 염의 비제한적인 예는 염화나트륨, 황산나트륨, 염화칼륨, 아세트산나트륨, 및 이들의 조합물을 포함한다. 염은 이형층(30)의 특성을 변형시킬 수 있고 이형층(30)과 웹(40) 사이의 접착력을 저감시킬 수 있다.
다층 박막(20)은 제1 층, 반사체층, 제2 층, 및 추가의 층, 예컨대, 흡수층 및/또는 자성층 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 추가의 층은 다층 박막(20) 내의 각종 위치에 위치될 수 있다. 예를 들어, 다층 박막(20)은 파브리-페로 구조체, 예컨대, 흡수층/유전체층/반사체층/유전체층/흡수체층을 포함할 수 있다.
개시된 방법에 있어서, 제1 층과 제2 층은 각각 독립적으로 유기층 또는 복합 유기/무기층일 수 있다. 제1 층과 제2 층은 각각 독립적으로 무색 입자, 유기 착색제 안료, 유기 착색제 염료, 무기 착색 입자, 유기 흡수체 입자, 무기 흡수체 입자, 유기 고굴절률 유전체 입자(organic high index dielectric particle), 무기 고굴절률 유전체 입자, 유기 저굴절률 유전체 입자, 무기 저굴절률 유전체 입자, 무기 금속 입자, 무기 복합체 및 무기 합금 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 제1 층 및 제2 층의 분자 및/또는 입자는 분자 또는 입자층이 입사광의 파장보다 클 경우 생성될 수 있는 미 산란(Mie scattering)을 일으키지 않는 크기를 가질 수 있다. 이것은 입사광의 파장이 입자 크기보다 큰 경우인 레이레이 산란(Rayleigh scattering)과 대조적이다.
무기 고굴절률 유전체 입자 및 무기 저굴절률 입자의 비제한적인 예는 SiO2, TiO2, Al2O3, ZrO2, WO3, VO5, ITO, Ta2O5, CeO2, Y2O3, ZnS, ZnO, In2O3, La2O3, MgO, Nd2O3, Pr6O11, Fe2O3, Fe3O4, SiO, SnO2, FeOx, MgF2, AlF3, CeF3, LaF3, LiF, CaF2, TiC, TiN, 서멧(cermet), 다이아몬드-유사 탄소, 금속 카바이드, 금속 나이트라이드, 금속 보라이드, 금속 카보나이트라이드, 금속 옥시카바이드, 금속 옥시나이트라이드, 금속 옥시카보나이트라이드, 보론 카바이드, 및 이들의 조합물을 포함한다.
유기 흡수체 입자 및 무기 흡수체 입자의 비제한적인 예는 탄소, 흑연, 규소, 게르마늄, 서멧, 유전체 매트릭스에 혼합된 금속, 및 가시 스펙트럼에서 균일 또는 선택적 흡수체로서 작용할 수 있는 기타 물질을 포함한다. 서멧 및 상이한 합금, 예컨대, 인코넬(Inconel), 스테인리스강, 하스텔로이 등이 또한 이들의 광학 및 물리적 특성을 위하여 사용될 수 있다. 몇몇 금속 카바이드, 금속 나이트라이드, 금속 보라이드, 금속 카보나이트라이드, 금속 옥시카바이드, 금속 옥시나이트라이드, 금속 옥시카보나이트라이드 등이 또한 유기 매트릭스에 매립된 경우 이들의 흡수 특성을 위하여 사용될 수 있다.
제1 층 및/또는 제2 층은 사용될 수 있는 유기 단량체 및 중합체, 아크릴레이트(예컨대, 메타크릴레이트), 에폭시, 퍼플루오로알켄, 폴리테트라플루오로에틸렌(테플론(Teflon)), 플루오린화 에틸렌 프로필렌(FEP), 폴리에스터, 폴리비닐, 폴리아마이드, 폴리이미드, 폴리우레탄, 폴리아크릴레이트, 폴리메타크릴레이트, 폴리카보네이트, 폴리유라에, 셀룰로스 아세테이트 부티레이트, 셀룰로스 아세테이트, 프로피오네이트, 셀룰로스 나이트레이트, 및 이들의 조합물을 포함할 수 있다.
제1 층 및/또는 제2 층은 시각적 외관뿐만 아니라 최종 박막 안료 플레이크의 기타 기능성도 변화시키도록 무기 유전체 입자를 포함할 수 있다. 무기 입자의 첨가에 의해 유래된 기능적 특성은, 전기적 및/또는 자성 특성, 형광 특성, 업-컨버팅(up-converting) 특성(예를 들어, 근적외레이저빔을 가시광으로 변환시키거나 또는 광의 저에너지색, 예컨대, 적색을 고에너지 색, 예컨대, 청색 또는 녹색으로 변화), 난연 및 정전 분산(electrostatic dissipation)을 포함하지만, 이들로 제한되는 것은 아니다.
유기 착색제 안료 및 유기 착색제 염료의 비제한적인 예는 페릴렌, 페리논, 퀴나크리돈, 퀴나크리돈퀴논, 안트라피리미딘, 안트라퀴논, 안탄트론, 벤즈이미다졸론, 다이아조 축합, 아조, 퀴놀론, 잔텐, 아조메틴, 퀴노프탈론, 인단트론, 프탈로사이아닌, 트라이아릴카보늄, 다이옥사진, 아미노안트라퀴논, 아이소인돌린, 다이케토피롤로피롤, 티오인디고, 티아진인디고, 아이소인돌린, 아이소인돌리논, 피란트론, 아이소비올란트론, 미요시 메탄, 트라이아릴메탄, 배트(vat) 염료, 황 염료 및 이들의 혼합물을 포함한다.
다층 박막(20)은 PVA-PET 상에 제1 층 에폭시, 아크릴레이트 또는 에폭시-아크릴레이트 혼성 코팅을 포함할 수 있다. 제1 층은 슬롯 다이 코터, 또는 용매계 제제를 이용하는 드로다운 코터(drawdown coater)를 이용해서 코팅될 수 있다. 일 양상에 있어서, 이 제1 층은, 공기 스트리핑 방법과 같이, 인가된 기계력에 의해 PET 웹(40)으로부터 성공적으로 스트리핑될 수 있다.
추가의 양상에 있어서, 다층 박막(20)은 설계, 예컨대, (HL)n, (LH)n, (HL)nH, (LH)nL, 및 이들의 조합을 포함하는 모든 유전체 박막 간섭 구조체를 포함할 수 있으며, 여기서 n은 약 1 내지 약 100, 예컨대, 약 2 내지 4의 정수이다. L층 및 H층은 각각 선택된 설계 과정에서의 QWOT이다. 기타 적합한 설계는 또한 상이한 광학 두께를 갖는 고 유전체 코팅과 저 유전체 코팅의 조합에 의해 얻어질 수 있으며, 몇몇 층은 동일한 파장의 QWOT를 갖지 않을 수도 있다. 유사하게는, 몇몇 광학적 설계는 대칭일 수도 있다.
제1 층, 제2 층, 반사체층, 및 추가의 층을 포함하는 다층 박막(20)은 증착 공정을 이용해서 증착될 수 있다. 일 양상에 있어서, 각 층은 독립적으로 슬롯-다이, 그라비어, 마이크로그라비어, 잉크젯, 커튼 코팅, 계량 로드(metering rod), 메이어 바 코팅(myer bar coating), 플렉소(flexo) 및 오프셋 인쇄로부터 선택된 공정을 이용해서 코팅으로서 적용될 수 있다. 다른 양상에 있어서, 각 층은 독립적으로 물리적 기상 증착 및 화학적 기상 증착으로부터 선택된 진공 하 공정을 이용해서 코팅으로서 적용될 수 있다. 추가의 양상에 있어서, 제1 층과 제2 층은 슬롯-다이, 그라비어, 마이크로그라비어, 잉크젯, 커튼 코팅, 계량 로드, 메이어 바 코팅, 플렉소 및 오프셋 인쇄로부터 선택된 공정을 이용해서 적용될 수 있고; 반사체층은 물리적 기상 증착 및 화학적 기상 증착으로부터 선택된 진공 하 공정을 이용해서 적용된다.
다층 박막(20)의 반사체층은 진공 하에 증착될 수 있다. 반사체층은 반사 특성을 가진 임의의 재료, 예컨대, 금속을 포함할 수 있다. 반사 특성을 가진 재료의 비제한적인 예는 알루미늄, 은, 구리, 금, 백금, 주석, 티타늄, 팔라듐, 니켈, 코발트, 로듐, 니오븀, 크롬, 및 이들의 화합물, 조합물 또는 합금을 포함한다. 기타 적합한 반사 합금 및 화합물의 비제한적인 예는 청동, 황동, 질화티타늄 등뿐만 아니라, 위에서 나열된 금속의 합금, 예컨대, 은-팔라듐을 포함한다. 반사체층은 고유한 색, 예컨대, 구리, 금, 은 구리 합금, 황동, 청동, 질화티타늄, 및 이들의 화합물, 조합물 또는 합금을 가질 수 있다.
반사체층은 또한 유기 매트릭스에 혼입된 반사 특성을 가진 입자를 포함할 수 있다. 진공 하에 증착된 반사체층에 대해서 기재된 동일한 재료가 적합한 유기 매트릭스 내로의 첨가 입자로서 사용될 수 있다. 게다가, 은 반사체층은 브래쉬어 은 공정(Brashear silver process)의 변형법을 이용해서 증착될 수 있다.
알루미늄을 포함하는 반사체층 상에 기초한 특정 효과 안료는 알루미늄층의 산화를 피하기 위하여 부동태화 처리를 이용해서 더욱 처리될 수 있다.
다층 박막(20)은 독립적으로 제1 층, 반사체층, 제2 층, 및/또는 추가의 층의 각각에 응집 및 접착 촉진제 재료를 포함할 수 있다. 이들 재료는 각 층에 또는 다층 박막(20)의 계면에 직접 첨가될 수 있다. 적합한 접착 촉진제는 하이드록실, 티올, 아민, 카복실산, 인산, 또는 실록산기를 함유하는 분자 및 수지를 포함하지만, 이들로 제한되는 것은 아니다.
본 명세서에 개시된 방법은, 건조 수법을 이용해서, 예컨대, 웹(40) 및/또는 존재할 경우 이형층(30)을 가진 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키도로 기계력을 인가하는 단계를 포함할 수 있다. 일 양상에 있어서, 기계력의 인가는 다층 박막(20)으로 인해 플레이크를 형성하게 하고, 이 플레이크는 이형될 수 있고 더욱 처리될 수 있다. 다른 양상에 있어서, 기계력의 인가는, 플레이크를 형성하지 않지만 특정 광학 및 기능적 설계를 갖는 독립된 박막 디바이스(10)를 형성한다.
인가된 기계력은 다층 박막(20)을 균열시켜 플레이크를 형성하도록 국재화된 장력을 포함할 수 있다. 일 양상에 있어서, 국재화된 장력은 웹(40)의 뒷면과 접촉하여 예리한 나이프에 의해 원조될 수 있다. 인가된 국재화된 장력에 이어서 고속 가스, 공기 또는 스팀이 인가될 수 있다. 특히, 공기 스트리핑 공정은 (1) 다층 박막(20)에 균열을 유도시켜 박막 디바이스, 예컨대, 플레이크를 형성하도록 웹(40)에 장력을 인가하는 단계, 및 (2) 웹(40)으로부터 다층 박막(20)의 플레이크를 강타하도록 다층 박막(20)에 대해서 압착된 공기 스트림을 인가하는 단계를 포함할 수 있다.
다른 양상에 있어서, 인가된 기계력은 국재화된 초음파 인가를 포함할 수 있다. 다른 양상에 있어서, 인가된 기계력은 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 직접 끌어당기는 단계를 포함할 수 있다. 인가된 기계력은 또한 진동력을 인가하면서 다층 박막(20)을 스트레칭시키는 단계를 포함할 수 있다. 인가된 기계력은 또한 수집 챔버 내로 웹(40)을 끌어넣도록 다층 박막(20)에 근접하여 진공 블레이드를 배치함으로써 웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 스트리핑하도록 진공화시키는 단계를 포함할 수 있다. 박막 디바이스, 예컨대, 플레이크의 수집은, 도 1에 도시된 것과 같은 박막 디바이스 전사 방법에 의해 달성될 수 있다.
이형된 다층 박막(20)은 더욱 가공처리, 예컨대, 수집 및/또는 분쇄될 수 있다. 일 양상에 있어서, 이형된 다층 박막(20)은 플레이크의 형태일 수 있고, 이것은 수집, 즉, 적절한 기류 통기 시스템에 의해 사이클론에 수집될 수 있다. 수집된 플레이크는 분쇄될 수 있다. 분쇄는 제트 밀, 저온 분쇄, 액체 매질 상에서의 초음파 분쇄, 미분화(pulverizing) 및 고전단 습식 분쇄로부터 선택된 공정일 수 있다. 이어서 플레이크는 헹굼 및/또는 건조될 수 있다. 일 양상에 있어서, 건조 단계는 필수는 아닌데, 그 이유는 일부 알루미늄 부동태화 공정이 물, 예컨대, 도데실포스폰산나트륨, 옥틸포스폰산, 옥타데실포스폰산, 도데실인산칼륨, 및 실리카, 티타니아, 지르코니아, 세리아 알루미나 또는 이들의 조합과 같은 재료에 의한 졸-겔 캡슐화 처리를 필요로 하기 때문이다.
추가의 양상에 있어서, 박막 디바이스(10)는 다층 박막(20) 및 이형층(30)을 포함할 수 있다. 이형층(30)은 광학 특성을 변화시킬 수 있고 박막 디바이스(10)에 기능성을 내포시킬 수 있다. 이형층(30)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 다층 박막(20)의 한쪽 면에 존재할 수 있거나 또는 다층 박막(20)의 양쪽 면에 존재할 수 있다. 이형층(30)이 다층 박막(20)의 양쪽 면에 존재할 경우, 각 이형층(30)은 동일 또는 상이할 수 있다. 예를 들어, 하나의 이형층(30)은 웹(40)과 원래 접촉하는 이형층(30)으로서 기능할 수 있고, 제2 이형층(30)은 박막에 추가의 기능성을 제공할 수 있다.
일 양상에 있어서, 이형층(30)은 도 4에 도시된 바와 같이 제조 비용을 저감시키도록 웹(40)의 양쪽 면에 코팅될 수 있다. 제1의 제안된 제조 구조체는 다층 박막/이형층/웹/이형층/다층 박막과 유사할 것이다.
추가의 양상에 있어서, 이형층(30)과 다층 박막(20)의 적층체가 제조 비용을 저감시키기 위하여 웹(40) 상에 형성될 수 있다. 제2의 제안된 제조 구조체는 도 5에 도시된 바와 같이 웹/이형층/다층 박막/이형층/다층 박막(20)과 유사할 것이다. 이것은 웹(40)의 동일 표면으로부터 플레이크의 양의 2배를 제공할 수 있다. 부가적으로, 제1 제안된(도 4) 및 제2 제안된(도 5) 제조 구조체는 더욱 비용을 감소시키고 생산을 증가시키기 위하여 조합될 수 있다.
실시예 1
3개의 층을 포함하는 다층 박막(20)을 직접 PET의 웹(40) 상에 직접 증착시켰으며, 즉, 이형층이 존재하지 않았다. 다층 박막(20)은 슬롯 다이 공정을 사용해서 증착시킨 유기 적색 착색제를 갖는 복합 혼성 아크릴레이트-에폭시의 제1 유기층을 포함하였다. 알루미늄의 반사체층은 진공 증착을 이용해서 제1 층 상에 코팅하였다. 제2 층은 슬롯 다이 공정을 이용해서 유기 적색 착색제를 갖는 복합 혼성 아크릴레이트-에폭시를 포함하여 반사체 층 상에 코팅하였다.
웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키기 위하여 해당 다층 박막에 기계력을 인가하였다. 기계력은 웹(40)의 뒷면과 접촉하여 예리한 나이프의 도움으로 웹(40)에 장력을 인가함으로써 다층 박막(20)의 균열을 포함한다. 나이프는 다층 박막(20)에의 손상을 피하기 위하여 다층 박막(20)에 직접 접촉되지 않았다. 이어서 웹(40) 상에 코팅된 다층 박막(20)은 균열된 코팅을 강타하도록 높은 유량/고속 공기 흐름에 노출시켰다. 나이프의 인가(균열) 및 공기의 인가는 거의 동시에 수행되었다. 이와 같이 해서, 다층 박막(20)을 웹(40)으로부터 이형시켜, 박막 디바이스, 예컨대, 플레이크로 형성하였다. 플레이크를 적절한 기류 통기 시스템에 의해 사이클론에 수집하였다. 제트 밀 분쇄 수법을 이용해서 플레이크, 즉, 이형된 다층 박막(20)을 분쇄하였다.
실시예 2
3개의 층을 포함하는 다층 박막(20)을 수용성 중합체 제제(PVA)로 이루어진 이형층(30)을 가진 PET의 웹(40) 상에 직접 증착시켰다. 다층 박막(20)은 슬롯 다이 공정을 이용해서 증착된 유기 적색 착색제를 갖는 복합 혼성 아크릴레이트-에폭시의 제1 유기층을 포함하였다. 알루미늄의 반사체층은 진공 증착을 이용해서 제1 층 상에 코팅하였다. 제2 층은 슬롯 다이 공정을 이용해서 유기 적색 착색제를 갖는 복합 혼성 아크릴레이트-에폭시를 포함하도록 반사체층 상에 코팅하였다.
웹(40)으로부터 다층 박막(20)을 이형시키기 위하여 해당 다층 박막에 기계력을 인가하였다. 기계력은 웹(40)의 뒷면과 접촉하여 예리한 나이프의 도움으로 웹(40)에 장력을 인가함으로써 다층 박막(20)의 균열을 포함한다. 나이프는 다층 박막(20)에의 손상을 피하기 위하여 다층 박막(20)에 직접 접촉되지 않았다. 이어서 웹(40) 상에 코팅된 다층 박막(20)은 균열된 코팅을 강타하도록 고유량/고속 공기 흐름에 노출시켰다. 나이프의 인가(균열) 및 공기의 인가는 거의 동시에 수행되었다. 이와 같이 해서, 다층 박막(20)을 웹(40)으로부터 이형시켜, 박막 디바이스, 예컨대, 플레이크로 형성하였다. 플레이크를 적절한 기류 분출 시스템에 의해 사이클론에 수집하였다. 제트 밀 분쇄 수법을 이용해서 플레이크, 즉, 이형된 다층 박막(20)을 분쇄하였다.
실시예 3
5-층 박막은 크롬의 제3 층, 황화아연의 제1 층, 알루미늄의 반사체층, 황화아연의 제2 층, 및 크롬의 제4 층에 기초하여 형성되었다. 다층 박막(20)은 비- 또는 느린 녹색 변화 설계를 생성하도록 황화아연 유전체층(제1 층 및 제2 층)의 광학 두께를 갖는다. 제1 층과 제2 층은 PET 웹(40) 상에 박스 코터(box coater)를 이용해서 진공 물리적 기상 증착되었다. PET 웹(40)은 PVA의 이형층(30)(60 내지 200㎚)을 포함하였다. PVA 이형층(30)은 공기 스트리핑 가능하고 수용성이었다. 녹색 다층 박막(20)은 이하의 구조를 가졌다: 8㎚ Cr/368㎚ ZnS/80㎚ Al/368㎚ ZnS/8㎚ Cr.
실시예 4
5-층 박막 간섭부가 크롬의 제3 층, 플루오린화마그네슘의 제1 층, 알루미늄의 반사체층, 플루오린화마그네슘의 제2 층 및 크롬의 제4 층에 기초하여 형성되었다. 다층 박막(20)은 적색/금색 색 변화 설계를 생성하도록 플루오린화마그네슘 유전체층(제1 층 및 제2 층)의 광학적 두께를 가졌다. 제1 층과 제2 층은 PET 웹(40) 상에 롤 대 롤 진공 물리적 기상 증착되었다. PET 웹(40)은 상이한 두께(60 내지 200㎚)를 갖는 PVA의 이형층(30)을 포함하였다. PVA층은 각각 4, 12 및 50마이크론의 습윤 두께에 대응하는 K-바 번호(K-Bars number) 0, 2 및 5를 이용하는 K101 Control K-Hand Coater를 이용해서 코팅하였다. 모든 경우에 있어서, PVA 코팅 제제는 2.2% 고체를 지녔고, PVA층의 건조 물리적 두께는 각각 88㎚, 264㎚ 및 1100㎚였다. 3개의 PVA 이형층(30)을 갖는 다층은 공기 스트리핑 가능하고 수용성이었다. 더 두꺼운 PVA층이 공기 스트리핑 공정을 더 효율적이게 하는 경향이 있었다. 적색/금색 다층 박막(20)은 이하의 구조를 가졌다: 10㎚ Cr/250㎚ MgF2/80㎚ Al/250㎚ MgF2/10㎚ Cr.
전술한 설명으로부터, 당업자라면 본 교시내용이 다양한 형태로 구현될 수 있음을 이해할 수 있다. 따라서, 이들 교시내용이 특정 실시형태 및 그의 예와 관련하여 설명되었지만, 본 교시내용의 진정한 범위는 제한되어서는 안 된다. 본 명세서의 교시내용의 범위로부터 벗어나는 일 없이 각종 변화와 변형이 이루어질 수 있다.
본 범위의 개시내용은 넓게 해석되어야 한다. 본 개시내용은 본 명세서에 개시된 디바이스, 활성 및 기계적 작용을 달성하기 위하여 등가물, 수단, 시스템 및 방법을 개시하는 것이 의도된다. 개시된 각 디바이스, 물품, 방법, 수단, 기계적 요소 또는 기구에 대해서, 본 개시내용은 또한 이의 개시내용에 포함되며 본 명세서에 개시된 많은 양상, 기구 및 디바이스를 시행하기 위한 등가물, 수단, 시스템 방법을 교시하는 것이 의도된다. 추가로, 본 개시내용은 코팅 및 이의 많은 양상, 특징 및 요소에 관한 것이다. 이러한 디바이스는 이의 용도 및 동작에서 역동적일 수 있으며, 이 개시내용은 등가물, 수단, 시스템 및 디바이스 및/또는 제조 물품의 사용 방법, 및 설명과 일치하는 많은 양상과 본 명세서에 개시된 동작 및 기능의 정신을 포함하도록 의도된다. 본 출원의 청구범위는 마찬가지로 광범위하게 해석되어야 한다.
많은 실시형태에서 본 명세서에서의 본 발명의 설명은 속성상 단지 예시적이며, 따라서 본 발명의 요지로부터 벗어나지 않는 변형이 본 발명의 범위 내인 것으로 의도된다. 이러한 변형은 본 발명의 정신과 범위로부터의 벗어남으로써 간주되지 않는다.

Claims (21)

  1. 박막 디바이스를 형성하는 방법으로서,
    웹(web)을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및
    상기 웹으로부터 상기 다층 박막을 이형(release)시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다층 박막은 3개의 층을 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다층 박막은 파브리-페로 구조체(Fabry-Perot structure)를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  4. 박막 디바이스를 형성하는 방법으로서,
    웹을 제1 층으로 코팅하는 단계;
    상기 제1 층을 반사체층(reflector layer)으로 코팅하는 단계;
    상기 반사체층을 제2 층으로 코팅하여 다층 박막을 형성하는 단계; 및
    건조 수법에 의해 상기 웹으로부터 상기 다층 박막을 이형시키는 단계를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 이형된 다층 박막을 수집하는 단계를 더 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  6. 제4항에 있어서, 이형된 다층 박막을 분쇄하는 단계를 더 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 각각 독립적으로 유기층 또는 복합 유기/무기층인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  8. 제4항에 있어서, 상기 건조 수법은 국재화된 장력을 생성시켜서 다층 박막에 균열을 일으키고 나서 고속 가스, 공기 또는 스팀을 인가하는 인가된 기계력인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  9. 제4항에 있어서, 상기 건조 수법은 국재화된 초음파 인가의 인가된 기계력인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  10. 제4항에 있어서, 상기 건조 수법은 상기 웹으로부터 상기 다층 박막을 직접 당기는 인가된 기계력인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  11. 제4항에 있어서, 상기 건조 수법은 진동력이 인가되는 동안 상기 다층 박막을 스트레칭시키는 인가된 기계력인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  12. 제4항에 있어서, 상기 건조 수법은 진공 블레이드를 아주 근접하게 배치함으로써 상기 웹의 상기 다층 박막을 스트리핑하도록 진공을 가하는 인가된 기계력인, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  13. 제4항에 있어서, 각 코팅은 독립적으로 슬롯-다이, 그라비어, 마이크로그라비어, 잉크젯, 커튼 코팅, 계량 로드(metering rod), 메이어 바 코팅(myer bar coating), 플렉소(flexo) 및 오프셋 인쇄로부터 선택된 공정을 이용해서 인가되는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  14. 제4항에 있어서, 각 코팅은 독립적으로 물리적 기상 증착 및 화학적 기상 증착으로부터 선택된 진공 하 공정을 이용해서 적용되는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  15. 제4항에 있어서, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 슬롯-다이, 그라비어, 마이크로그라비어, 잉크젯, 커튼 코팅, 계량 로드, 메이어 바 코팅, 플렉소 및 오프셋 인쇄로부터 선택된 공정을 이용해서 적용되고, 상기 반사체층은 물리적 기상 증착 및 화학적 기상 증착으로부터 선택된 진공 하 공정을 이용해서 적용되는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  16. 제6항에 있어서, 상기 분쇄는 제트 밀(jet mill), 저온 분쇄, 액체 매질 상에서의 초음파 분쇄, 미분화(pulverizing) 및 고전단 습식 분쇄로부터 선택되는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  17. 제4항에 있어서, 상기 제1 층과 상기 제2 층은 각각 독립적으로 무색 입자, 유기 착색제 안료, 유기 착색제 염료, 무기 착색 입자, 유기 흡수체 입자, 무기 흡수체 입자, 유기 고굴절률 유전체 입자(organic high index dielectric particle), 무기 고굴절률 유전체 입자, 유기 저굴절률 유전체 입자, 무기 저굴절률 유전체 입자, 무기 금속 입자, 무기 복합체 및 무기 합금 중 적어도 하나를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  18. 박막 디바이스를 형성하는 방법으로서,
    수용성 이형층을 가진 웹을 제공하는 단계;
    상기 수용성 이형층을 다층 박막으로 코팅하는 단계; 및
    상기 웹으로부터 상기 다층 박막을 이형시키기 위하여 기계력을 인가하는 단계를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 다층 박막은 파브리-페로 구조체를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 다층 박막은 상기 수용성 이형층 상에 코팅된 제1 층을 포함하되; 상기 방법은,
    상기 제1 층을 반사체층으로 코팅하는 단계; 및
    상기 반사체층을 제2 층으로 코팅하여 상기 다층 박막을 형성하는 단계를 포함하는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 이형층은 폴리비닐 알코올 제제, 다당류 제제, 폴리아크릴산 제제, 폴리비닐 아세테이트 제제, 폴리비닐 피롤리돈 제제, 카복시메틸 셀룰로스 제제, 및 이들의 조합물로부터 선택되는, 박막 디바이스를 형성하는 방법.
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110749945B (zh) * 2019-09-27 2020-10-27 宁波融光纳米科技有限公司 一种光学薄膜、结构色颜料及光学薄膜的制备方法
CN117162638B (zh) * 2023-11-02 2023-12-29 山东森荣新材料股份有限公司 膨体聚四氟乙烯复合保温膜的制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0240952A2 (en) * 1986-04-10 1987-10-14 Sumitomo Chemical Company, Limited A method for producing a flaky material
US5135812A (en) * 1979-12-28 1992-08-04 Flex Products, Inc. Optically variable thin film flake and collection of the same
US5968664A (en) * 1997-11-11 1999-10-19 Mitsubishi Polyester Film, Llc Polymeric coated substrates for producing optically variable products
US6398999B1 (en) * 1998-10-23 2002-06-04 Avery Dennison Corporation Process for making high aspect ratio reflective metal flakes
US6545809B1 (en) * 1999-10-20 2003-04-08 Flex Products, Inc. Color shifting carbon-containing interference pigments
US20030178734A1 (en) * 1998-10-23 2003-09-25 Karl Josephy Process for making angstrom scale and high aspect functional platelets
US20110293547A1 (en) * 2009-01-28 2011-12-01 Bernhard Geissler Pvd metal effect pigment having gradient on nanoscale metal particles, method for the production thereof and use thereof
US20170043608A1 (en) * 2014-02-13 2017-02-16 Sicpa Holding Sa Security threads and stripes

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3138475A (en) * 1959-11-14 1964-06-23 Jenaer Glaswerk Schott & Gen Filler and meterial with an artificial pearly gloss and method of producing the same
JPS6116849A (ja) * 1984-07-04 1986-01-24 尾池工業株式会社 虹彩箔
NZ218573A (en) * 1985-12-23 1989-11-28 Optical Coating Laboratory Inc Optically variable inks containing flakes
US4941865A (en) * 1988-10-24 1990-07-17 Packaging Concepts, Inc. Method and apparatus for forming metallized packaging material
US4879140A (en) * 1988-11-21 1989-11-07 Deposition Sciences, Inc. Method for making pigment flakes
DE59209413D1 (de) * 1991-10-18 1998-08-13 Merck Patent Gmbh Gefärbte und beschichtete plättchenförmige pigmente
TW245772B (ko) * 1992-05-19 1995-04-21 Akzo Nv
EP0984043A1 (en) * 1998-08-31 2000-03-08 Sicpa Holding S.A. Optically variable pigments providing a colour shift between two distinct colours, coating composition comprising the same, method for producing the same and substrate coated with the coating composition
US6157489A (en) * 1998-11-24 2000-12-05 Flex Products, Inc. Color shifting thin film pigments
DE19906589A1 (de) 1999-02-17 2000-08-24 Basf Ag Cholesterisches Schichtmaterial und Verfahren zu dessen Herstellung
US7667895B2 (en) * 1999-07-08 2010-02-23 Jds Uniphase Corporation Patterned structures with optically variable effects
EP1239307A1 (en) * 2001-03-09 2002-09-11 Sicpa Holding S.A. Magnetic thin film interference device
US6749936B2 (en) 2001-12-20 2004-06-15 Flex Products, Inc. Achromatic multilayer diffractive pigments and foils
US6902807B1 (en) 2002-09-13 2005-06-07 Flex Products, Inc. Alignable diffractive pigment flakes
US6692830B2 (en) * 2001-07-31 2004-02-17 Flex Products, Inc. Diffractive pigment flakes and compositions
US7438245B2 (en) * 2004-07-13 2008-10-21 Ricoh Company, Ltd. Milling and classifying apparatus, collision mill, air classifier, toner, and method for producing toner
GB0516968D0 (en) * 2005-08-18 2005-09-28 Dunwilco 1198 Ltd Process
DE102007034928A1 (de) * 2007-07-24 2009-01-29 Eckart Gmbh Mehrschichtige metallische Effektpigmente, Verfahren zu deren Herstellung und Verwendung
JP5579363B2 (ja) 2007-11-26 2014-08-27 ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーション 内密セキュリティ用途向け顔料フレークの周囲のフレームまたは境界の提供
US8852476B2 (en) * 2008-03-04 2014-10-07 Wolfgang Decker Method for producing thin flake

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5135812A (en) * 1979-12-28 1992-08-04 Flex Products, Inc. Optically variable thin film flake and collection of the same
EP0240952A2 (en) * 1986-04-10 1987-10-14 Sumitomo Chemical Company, Limited A method for producing a flaky material
US5968664A (en) * 1997-11-11 1999-10-19 Mitsubishi Polyester Film, Llc Polymeric coated substrates for producing optically variable products
US6398999B1 (en) * 1998-10-23 2002-06-04 Avery Dennison Corporation Process for making high aspect ratio reflective metal flakes
US20030178734A1 (en) * 1998-10-23 2003-09-25 Karl Josephy Process for making angstrom scale and high aspect functional platelets
US6545809B1 (en) * 1999-10-20 2003-04-08 Flex Products, Inc. Color shifting carbon-containing interference pigments
US20110293547A1 (en) * 2009-01-28 2011-12-01 Bernhard Geissler Pvd metal effect pigment having gradient on nanoscale metal particles, method for the production thereof and use thereof
US20170043608A1 (en) * 2014-02-13 2017-02-16 Sicpa Holding Sa Security threads and stripes

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