KR20190089705A

KR20190089705A - NOx 저감을 위한 금속 세정 방법

Info

Publication number: KR20190089705A
Application number: KR1020180121836A
Authority: KR
Inventors: 양승호; 김현승; 백홍열
Original assignee: 피에스테크놀러지(주)
Priority date: 2018-01-23
Filing date: 2018-10-12
Publication date: 2019-07-31
Also published as: KR102443750B1; KR20210002415A

Abstract

본 발명은, 질산으로 구리 성막을 세정하는 방법에 있어서, NOx가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 자동화 시스템에 따라 과산화수소를 첨가하는 것을 특징으로 하는 세정 방법에 관한 것이다.

Description

NOx 저감을 위한 금속 세정 방법 {PROCESS OF CLEANING METAL FOR REDUCING NOX}

본 발명은, 구리 성막을 질산으로 세정하는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 챔버(chamber) 등과 같은 장비에 남아있는 구리 성막을 질산으로 세정 시, 발생되는 NOx 양을 저감하고, 조절하기 위해 과산화수소를 자동적으로 첨가하는 세정 방법에 관한 것이다.

스퍼터링 등의 장비를 다시 재활용하기 위해서는, 챔버(chamber) 등에 남아있는 금속 성막을 세정하는 공정을 거치는데, 이때 세정하지 않으면, 붙어있는 금속 성막이 자라나, 장비의 유지보수가 되지 않으므로, 남아있는 금속 성막을 세정하는 공정이 필요하다.

종래에는, 진공 증착 챔버(chamber) 등과 같은 장비에 남아있는 금속 성막을 세정할 때, 질산을 사용하였는데, 이는, 질산이 값이 싸고, 금속에 대한 포화도가 높기 때문이다. 하지만, 질산만으로 세정하면, 인체나 환경에 대하여 악영향을 미치는 다량의 NOx가 발생하는 문제점이 있었고, 발생량 또한 대한민국 환경부 대기오염 방지법의 질소산화물 허용치인 200ppm 이하로 제어해야 하는 것에 대한 한계가 있었다.

이와 관련하여, 구리 성막을 질산으로만 세정하는 경우, NOx가 발생 기준치의 10~20배 이상인 약 4300ppm 정도가 발생하였다.

이에, 통상의 기술자들은, 질소산화물 저감형 스크러버 등과 같은 장치를 사용하여 질소산화물을 외부로 나가게 하지 않게 하는 공정으로 질소산화물을 처리하여, 상기 질소산화물 허용치를 지키고 있었지만, 질산 세정을 위해 상기와 같은 추가적인 공정이 필요했고, 이로 인해 추가적인 비용 및 시간도 발생했으며, 정기적인 유지보수가 필요하다는 문제점이 있었다.

본 발명의 목적은, 구리 성막을 질산으로 세정 시, 발생되는 NOx를 저감하고, 조절하는 세정 방법을 제공하고자 하는 것이다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명자들은, 자동화 시스템을 구축하여 NOx가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 과산화수소가 첨가되는 경우, 추가 NOx 제거 공정없이, NOx의 발생을 저감하고, 조절하는 것을 발견함으로써, 본 발명에 완성하기에 이르렀다.

[1] 질산으로 구리 성막을 세정하는 방법에 있어서, NOx가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 자동화 시스템에 따라 과산화수소가 첨가되는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[2] 제 1 항에 있어서, 상기 자동화 시스템은, 하나 이상의 약액조, NOx 센서, 메인 컨트롤러, 과산화수소 탱크 및 정량 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[3] 제 1 항에 있어서, 상기 자동화 시스템은, (a) 하나 이상의 약액조에서 구리 성막을 질산으로 세정하는 단계; (b) 상기 약액조에서 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서가 측정하는 단계; (c) 상기 NOx 센서에서 측정된 NOx 농도를 메인 컨트롤러에 전달하는 단계;(d) 상기 측정된 NOx 농도가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하는 단계; 및 (e) 상기 제어된 농도의 과산화수소가 과산화수소 탱크에서 정량 펌프에 의해 약액조로 첨가되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[4] 제 3 항에 있어서, 구리 성막이 세정될 때까지 상기 (a) 내지 (e) 단계를 반복적으로 실시하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[5] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 첨가되는 과산화수소의 농도가 0.1 부피% ~ 1 부피% 인 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[6] 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 질산의 농도가 20 부피% ~ 40 부피% 인 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[7] 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 (a) 내지 (e) 단계는 약액 온도가 40 ℃ ~ 70 ℃ 에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[8] 제 2 항에 있어서, 자동화 시스템이 스크러버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

[9] 제 3 항에 있어서, 상기 (d) 단계 후에 스크러버를 통해 발생된 NOx를 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.

본 발명의 세정 방법은, NOx 발생량을 저감시키고, 조절함으로써 구리 성막의 세정 시간을 줄이며, 모재 부식을 줄이고, 세정액을 재활용할 수 있다. 또한, 질소산화물을 처리하는 공정이 추가로 필요하지 않으므로, 그 비용 및 시간도 줄일 수 있다.

도 1은, 구리 성막 세정 시 발생되는 NOx를 저감하고, 조절하기 위한 과산화수소 첨가에 대한 자동화 시스템의 구성도를 나타낸다.
도 2는, 질산 세정시 발생하는 NOx 발생량을 측정한 NOx 센서를 나타낸다.
도 3은, 실시예의 약액조 내부에 설치된 NOx 센서의 위치를 나타낸다.
도 4는, 세정 전 후의 약액조를 나타낸다.
도 5는, 애노드바(Anode bar) 용접부 세정 전 후를 나타낸다.
도 6은, 알루미늄 모재 캡(Cap) 세정 전 후를 나타낸다.

이하에서 예시적인 일 구현예에 따른 구리 성막의 세정 방법에 관하여 더욱 상세히 설명한다.

본 발명에서 “약액”은 약액조 내부에 존재하는 질산 및/또는 과산화수소로서 구리 성막을 세정하는 용액을 의미한다.

본 발명에서 “%”는 약액의 총 부피 대비 %로써, 부피%를 의미한다.

본 발명은, 구리 성막을 질산으로 세정할 때, 대한민국 환경부에 의해 설정된 허용 수준인 질소산화물 발생 기준치가 200ppm 이하, 즉, NOx가 1200 ~ 1500ppm이 되도록 자동화 시스템에 따라 과산화수소를 첨가하여 NOx 발생량을 저감시키는 방법에 관한 것이다.

상기 자동화 시스템은, 약액조 (1, 2), 메인 컨트롤러 (3), NOx 센서 (6, 7, 8), 정량 펌프 (4, 5), 및 과산화수소 탱크 (10) 등을 포함할 수 있다.

상기 약액조 (1, 2) 는 오염된 구리 성막을 약액으로 세정하는 곳으로, 효율성을 위하여 1개 이상, 바람직하게는 2개 이상일 수 있다.

상기 NOx 센서 (6, 7, 8)는 약액조 내부, 바람직하게는 약액조에서 후드로 이어지는 곳, 또는 스크러버에 위치할 수 있고, 약액조 또는 스크러버에서 발생하는 NOx 농도를 측정할 수 있다.

상기 메인 컨트롤러 (3)는 약액조 내부의 NOx 센서에서 측정된 NOx 농도를 전달 받아 NOx 농도가 1200 ~ 1500ppm 이하, 바람직하게는 1300ppm 이하가 되도록 과산화수소의 농도를 제어할 수 있다. 제어된 농도의 신호를 과산화수소 탱크 (10)에 전달할 수 있으며, NOx 센서 (6, 7, 8)의 사이드에 위치할 수 있다.

상기 과산화수소 탱크 (10)는 메인 컨트롤러 (3)로부터 농도의 신호를 전달 받을 수 있으며, 전달 받은 신호에 따라 제어된 농도의 과산화수소를 형성할 수 있다.

상기 정량 펌프 (4, 5) 는 과산화수소 탱크 (10) 로부터 약액조 (1, 2)로 메인 컨트롤러 (3)에 의해 제어된 농도의 과산화수소를 첨가할 수 있다. 상기 첨가되는 과산화수소의 이동 속도는 10 ~ 30 ℓ/min 바람직하게는 20 ℓ/min이 될 수 있다.

상기 자동화 시스템은, (a) 하나 이상의 약액조에서 구리 성막을 질산으로 세정하는 단계; (b) 상기 약액조에서 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서가 측정하는 단계; (c) 상기 NOx 센서에서 측정된 NOx 농도를 메인 컨트롤러에 전달하는 단계; (d) 상기 메인 컨트롤러가 측정된 NOx 농도가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 과산화수소의 농도를 제어하는 단계; 및 (e) 상기 제어된 농도의 과산화수소가 과산화수소 탱크에서 정량 펌프에 의해 약액조로 첨가되는 단계;를 포함한다.

	용액	화학 반응
1단계	HNO₃	Cu + HNO₃→ Cu(NO₃)₂ + H₂O + NO, NO₂
2단계	H₂O₂	2NO + 3H₂O₂ → 2HNO₃ + 2H₂O 2NO₂ + H₂O₂ → 2HNO₃

상기 (a) 단계에서 구리는 질산에 의해 질산구리가 되어 약액에 용해되고, NO, NO₂와 같은 NOx가 발생될 수 있다(표 1, 1단계). 상기 발생되는 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정할 수 있다.

또한, 상기 (c) 및 (d) 단계에서 측정된 NOx의 농도를 메인 컨트롤러에 전달하고, 메인 컨트롤러는 NOx의 농도가 1200 ~ 1500ppm 이하, 바람직하게는 1300ppm 이하가 되도록 과산화수소의 농도를 제어하고 정량 펌프에 의해 과산화수소 탱크로부터 과산화수소를 약액조에 첨가할 수 있다. 상기 (e) 단계에서 NOx가 과산화수소와 반응하여 물과 질산을 형성할 수 있다(표 1, 2단계).

상기 (a) 내지 (e) 단계에 의해 NOx의 발생량이 1200 ~ 1500ppm 이하로 저감하고, 1200 ~ 1500ppm을 초과하지 않도록 조절할 수 있다.

구리 성막이 세정될 때까지 상기 (a) 내지 (e) 단계를 반복적으로 실시한다.

첨가된 과산화수소가 NOx와의 반응으로 분해되어 없어지는 동시에, 질산에 의해 구리 성막은 세정되므로 다시 NOx의 발생량이 증가할 수 있다. 이 때, NOx의 농도가 일정량 이하가 되도록 정량 펌프에 의해 과산화수소를 첨가하는 것을 반복할 수 있다.

상기 첨가되는 과산화수소의 농도는 바람직하게는 0.1% 내지 1%일 수 있고, 더욱 바람직하게는 0.3% 내지 0.7%, 가장 바람직하게는 0.5%일 수 있다. 과산화수소의 농도가 0.1% 이하이면, 질산 세정시 발생되는 NOx가 충분히 저감되지 않을 수 있고, 과산화수소의 농도가 1% 이상이면, 구리 성막에 산화막이 만들어져 부동태 형태가 될 수 있다.

상기 구리 성막이 세정될 때까지는 구리 성막이 전부 없어질 때까지를 의미한다. 남아있는 구리 성막이 전부 없어질 때까지 (a) 내지 (e) 단계를 반복적으로 실시할 수 있다.

질산의 농도는 바람직하게는 20% 내지 40%이고, 더욱 바람직하게는 25% 내지 35%이며, 가장 바람직하게는 30%이다. 질산의 농도가 20% 이하이면, 세정 속도가 떨어질 수 있고, 40% 이상이면, 세정력이 높아지나 비용이 많이 든다는 문제가 생길 수 있다.

상기 (a) 내지 (e) 단계가 수행되는 온도는 바람직하게는 40℃ ~ 70℃이다. 적정 온도는 다른 공정 조건 및 요인에 의해 필요에 따라 정해질 수 있다. 약액의 온도가 높아지면 세정액이 끓어 넘칠 수 있고, 약액의 온도가 낮아지면 과산화수소의 반응성이 떨어질 수 있다.

상기 자동화 시스템은 스크러버를 추가로 포함할 수 있다. 상기 자동화 시스템은 (e) 단계 후 스크러버를 통해 발생된 NOx를 제거하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.

상기 스크러버는 NOx를 포집하여 정화한 후 정화된 공기를 대기로 배출시키기 위해 사용되며, 바람직하게는 습식 스크러버일 수 있다. 본 발명에서는 NOx의 발생을 보다 저감시키기 위해, 스크러버를 추가로 사용할 수 있다.

상기 자동화 시스템을 컴퓨터 또는 모바일과 연결할 수 있고, 이로 인해 사용자가 실시간 모니터링할 수 있다.

상기 자동화 시스템에서 사용된 NOx 센서, 메인 컨트롤러, 과산화수소 탱크 등은 유선 또는 무선으로 신호를 전달할 수 있다.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예들 및 그 효과에 대한 결과를 제시한다. 다만, 하기에 기재된 실시예들은 본 발명을 구체적으로 예시하거나 설명하기 위한 것에 불과하며, 이로 인해 본 발명이 제한되어서는 아니된다.

실시예

하기에서는 총 5가지 평가를 하였으며, 그에 대한 실험 및 평가를 하기의 표 2 및 표 3에 정리하였다.

본 실시예에서 “%”는 약액의 총 부피 대비 %로써, 부피%를 의미한다.

	1차 평가	2차 평가	3차 평가
목적	Nox 저감 평가	Nox 저감 평가	온도 제어 효과
질산 농도	30.1%→34.5% 상승	30.3% → 33.9% 상승	30.9% → 33.7% 상승
약액 온도	40℃→59℃ 상승	40℃ → 89℃ 상승	40℃ → 64℃ 상승
세정 시간	170분	80분	180분
Nox 발생시	1300ppm발생시 H₂O₂투입	1300ppm발생시 H₂O₂투입	1300ppm발생시 H₂O₂투입
H₂O₂ 투입주기	약 20분	약 10 ~ 15분	약 40분
질산 용액의 양	120L	1500L (1차의 12.5배)	2500L (1차의 20.8배)
구리양	4.6kg	85kg(1차의 18.5배)	83kg (1차의 18배)
구리 표면적	0.236㎡	4.807㎡(1차 20.4배)	4.807㎡ (1차의20.4배)

	4차 평가	5차 평가
목적	모재 부식 평가	약액 재활용 평가
질산 농도	30.1% → 31.1% 상승	33.7% → 35.7% 상승
약액 온도	40℃ → 44℃ 상승	1차 : 40℃→43℃ 2차 : 43℃→60℃
세정 시간	90분	300분
Nox 발생시	1300ppm발생시 H₂O₂투입	1300ppm발생시 H₂O₂투입
H₂O₂ 투입주기	-	약 60분
질산 용액의 양	2500L (1차의 20.8배)	2500L (1차의 20.8배)
구리량	7kg	55kg(1차의 12배)
구리 표면적	4.257㎡	3.204㎡(1차의 13.6배)

1차 평가

실시예 1은, 약액조에서 구리 성막을 30%의 질산 용액 120L로 세정하면서, 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정하였다. 측정된 NOx의 농도가 1300ppm일 때, 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하였고, 제어된 농도의 과산화수소가 정량 펌프에 의해 자동적으로 첨가되었다. 이때, 제어된 과산화수소의 농도는 0.5% 였다. 비교예 1은, 상기 실시예 1에서 과산화수소를 첨가하는 것을 제외하고는 실시예 1과 동일하게 구리 성막을 세정하였다.

실시예 1과 비교예 1의 약액 온도, 세정 시간, NOx 발생량, 과산화수소 투입 주기, 및 구리 세정량을 측정하여, 그 결과를 하기 표 4에 나타내었고, 실시예 1 및 비교예 1의 NOx 발생량을 각각 참고도 1 및 참고도 2에 나타내었다.

	실시예 1	비교예 1
약액온도	40℃ → 59℃ 상승	40℃
세정시간	3시간	6시간
Nox 발생량	1300ppm 발생시, H₂O₂첨가	4300ppm 이상
과산화수소 투입주기	약 20분 (5회)	-
약액량	120L
구리량	4.6kg

[참고도 1]

[참고도 2]

표 4 및 참고도 1, 및 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1은 질산으로 세정할 때, 0.5% 농도의 과산화수소가 20분 경과시점에 자동적으로 첨가됨으로써, NOx의 발생량을 저감시킬 수 있었다. 반면, 비교예 1은 과산화수소가 첨가되지 않음으로써 NOx의 발생량은 4300ppm 이상으로 유지되었다.

실시예 1의 세정시간 또한 약 170분으로, 비교예 1보다 약 1/2 정도 단축할 수 있었다.

참고로, 실시예 1은 구리량 대비 약액량이 부족하여 약액 온도가 20℃ 정도 상승하였다.

2차 평가

실시예 2는, 약액조에서 구리 성막을 30%의 질산 용액 1500L로 세정하면서, 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정하였다. 측정된 NOx의 농도가 1300ppm일 때, 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하였고, 제어된 농도의 과산화수소가 정량 펌프에 의해 자동적으로 첨가되었다. 이때, 제어된 과산화수소의 농도는 0.5% 였다.

과산화수소 약액 온도, 세정시간, NOx 발생량, 과산화수소 투입 주기 및 구리 세정량을 측정하여, 그 결과를 표 2의 2차 평가에 나타내었고, 실시예 2의 NOx 발생량을 참고도 3에 나타내었다. 한편, 세정 전 후의 배스(Bath)를 도 3에 나타내었다.

[참고도 3]

참고도 3에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 2는 질산으로 세정할 때, 0.5% 농도의 과산화수소가 약 10 ~ 15분 경과시점에 자동적으로 첨가됨으로써, NOx의 발생량을 저감시킬 수 있었고, 세정 시간 또한 약 80분으로 단축할 수 있었다.

참고로, 실시예 2의 구리량은 85kg(실시예 1 대비 12.5배 증가)인 바, 약액량은 1500L(실시예 1 대비 18.5배 증가)로서, 구리량의 증가 대비 약액량이 부족하여 약액 온도가 40℃에서 89℃로 크게 상승하였다.

3차 평가

실시예 3은, 약액조에서 구리 성막을 30%의 질산 용액 2500L로 세정하면서, 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정하였다. 측정된 NOx의 농도가 1300ppm일 때, 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하였고, 제어된 농도의 과산화수소가 정량 펌프에 의해 자동적으로 첨가되었다. 이때, 제어된 과산화수소의 농도는 0.5% 였다.

실시예 3의 약액 온도, 과산화수소 투입 주기 및 구리 세정량을 측정하여, 그 결과를 상기 표 2의 3차 평가에 나타내었고, 실시예 3의 NOx 발생량을 참고도 4에 나타내었다.

[참고도 4]

상기 참고도 4에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 3은 0.5% 농도의 과산화수소가 약 40분 경과시점에 자동적으로 첨가됨으로써, NOx의 발생량을 저감시킬 수 있었고, 구리 성막의 세정 시간 또한 약 180분으로 단축할 수 있었다.

참고로, 실시예 3은 실시예 2에 비하여 약액량이 증가하였는 바, 약액 온도가 40℃에서 64℃ 정도로 실시예 2에 비해 덜 상승한 것을 확인할 수 있다.

4차 평가

실시예 4는, 약액조에서 구리 성막을 30%의 질산 용액 2500L로 세정하면서, 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정하였다. 측정된 NOx의 농도가 1300ppm일 때, 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하였고, 제어된 농도의 과산화수소가 정량 펌프에 의해 자동적으로 첨가되었다. 이때, 제어된 과산화수소의 농도는 0.5% 였다.

실시예 4의 약액 온도, 과산화수소 투입 주기 및 구리 세정량을 측정하여, 그 결과를 상기 표 3의 4차 평가에서 나타내었고, 실시예 4의 NOx 발생량을 하기 참고도 5에 나타내었다.

비교예 2는, 상기 실시예 4에서 과산화수소를 첨가하는 것을 제외하고는 실시예 4과 동일하게 구리 성막을 세정하였다.

[참고도 5]

상기 참고도 5에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 4는 0.5% 농도의 과산화수소가 자동적으로 첨가됨으로써, NOx의 발생량을 저감시킬 수 있었고, 세정 시간 또한 약 90분으로 단축할 수 있었다.

실시예 4는 애노드바(Anode bar) 용접부가 부식되지 않았으나, 비교예 2는 부식되었다. 또한, 실시예 4는 알루미늄 모재 캡(Cap)의 부식 정도에 대해 비교예 2와 큰 차이가 없었다. 도 5 및 도 6으로부터 애노드 바(Anode bar) 용접부 및 알루미늄 모재 캡(Cap)의 부식 정도를 확인할 수 있다.

5차 평가

실시예 5는, 약액조에서 구리 성막을 30%의 질산 용액 2500L로 세정하면서, 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서에서 측정하였다. 측정된 NOx의 농도가 1300ppm일 때, 메인 컨트롤러에서 과산화수소의 농도를 제어하였고, 제어된 농도의 과산화수소가 정량 펌프에 의해 자동적으로 첨가되었다. 이때, 제어된 과산화수소의 농도는 0.5% 였다.

실시예 5의 약액 온도, 과산화수소 투입 주기 및 구리 세정량을 측정하여, 그 결과를 상기 표 3의 5차 평가에 나타내었고, 실시예 5의 NOx 발생량을 하기 참고도 6에 나타내었다.

[참고도 6]

상기 참고도 6에서 알 수 있는 바와 같이, 실시예 5는 0.5% 농도의 과산화수소가 자동적으로 첨가됨으로써, NOx의 발생량을 저감시킬 수 있었고, 구리 성막의 세정 시간 또한 약 300분으로 단축할 수 있었다.

약액을 재활용하면 약액 내의 질산의 농도가 줄어들어 세정력이 약해졌다. 이에, 약액을 재활용 할 때, 가열 등으로 약액의 온도를 높인 후 사용하여 구리의 세정력이 양호해졌다.

Claims

질산으로 구리 성막을 세정하는 방법에 있어서, NOx가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 자동화 시스템에 따라 과산화수소를 첨가하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 자동화 시스템은,
하나 이상의 약액조, NOx 센서, 메인 컨트롤러, 과산화수소 탱크 및 정량 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 1 항에 있어서,
상기 자동화 시스템은,
(a) 하나 이상의 약액조에서 구리 성막을 질산으로 세정하는 단계;
(b) 상기 약액조에서 발생된 NOx의 농도를 NOx 센서가 측정하는 단계;
(c) 상기 NOx 센서에서 측정된 NOx 농도를 메인 컨트롤러에 전달하는 단계;
(d) 상기 메인 컨트롤러에서 측정된 NOx 농도가 1200 ~ 1500ppm 이하가 되도록 과산화수소의 농도를 제어하는 단계; 및
(e) 상기 제어된 농도의 과산화수소가 과산화수소 탱크에서 정량 펌프에 의해 약액조로 첨가되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 3 항에 있어서,
구리 성막이 세정될 때까지 상기 (a) 내지 (e) 단계를 반복적으로 실시하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 첨가되는 과산화수소의 농도가 0.1 부피% ~ 1 부피% 인 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 질산의 농도가 20 부피% ~ 40 부피% 인 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 (a) 내지 (e) 단계가 40 ℃ ~ 70 ℃ 의 약액 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 2 항에 있어서,
자동화 시스템이 스크러버를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
제 3 항에 있어서,
상기 (d) 단계 후에 스크러버를 통해, 발생된 NOx를 제거하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 세정 방법.