KR20190088015A - 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 것.
(해결 수단) 테이프 특성의 평가 방법은, 유지 유닛으로 테이프를 유지하는 유지 스텝 (ST2) 과, 모터를 구동하여 테이프를 확장시키는 확장 스텝 (ST3) 과, 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 제어 유닛에 의해 모터의 출력 토크를 측정하고 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝 (ST4) 을 포함한다. 평가 스텝 (ST4) 에 있어서, 모터의 출력 토크의 변화로부터 테이프가 항복점에 이르는 확장 유닛의 이동량을 산출한다.

Description

테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치{METHOD OF EVALUATING TAPE CHARACTERISTIC AND EXPANSION APPARATUS}
본 발명은, 테이프 특성을 평가하는 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치에 관한 것이다.
테이프에 첩착 (貼着) 된 피가공물을 절단 라인을 따라 복수의 칩으로 분할하는 장치로서, 테이프를 확장시키는 확장 장치가 사용되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 및 특허문헌 2 참조).
일본 공개특허공보 2002-334852호 일본 공개특허공보 2014-143297호
특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 다이싱 테이프나 BG (Back Grind) 테이프 등에 첩착된 웨이퍼 등의 피가공물을 가공할 때에는, 테이프의 특성에 따라 가공 품질이 상이한 경우가 있다. 예를 들어 내부에 개질층이 형성된 웨이퍼에 첩착된 테이프를 확장시켜 칩으로 분할하는 경우, 칩화되는 분할률은, 테이프 특성인 신축성에 따라 상이하다. 이 때문에, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 테이프마다 확장의 강도나 양을 최적화할 필요가 있다. 이 때문에, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 에 기재된 확장 장치는, 종래, 테이프를 제조하는 제조사가 개시한 특성이나, 전용의 테이프 인장 측정 전용 기계를 사용하여 측정한 특성을 사용하고 있다.
그러나, 테이프의 제법상, 흐름 방향과 수직 방향에서 테이프 특성인 신축성이 상이한 경우가 많고, 테이프를 인장하는 방향에 따라 신축성이 달라지는 것과, 실제의 테이프 확장의 조건하에서는 흐름 방향과 수직 방향의 신축성이 혼재되어 있는 흐름 방향과 수직 방향 사이의 45 도 방향으로도 테이프를 인장함으로써, 통상의 인장 측정 전용 기계로는, 테이프 확장시의 조건하에서의 신축성을 측정하는 것이 곤란하다. 그 때문에, 실제로 테이프를 확장시키는 조건하에서 테이프 특정을 측정할 것이 요망되고 있다.
본 발명은, 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 제공하는 것이다.
상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 테이프 특성의 평가 방법으로서, 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과, 모터를 구동하여 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 제어 수단에 의해 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 테이프 특성의 평가 방법에 있어서, 그 확장 스텝에 있어서는, 제 1 방향과 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향뿐만 아니라, 제 1 방향과 제 2 방향 사이의 경사 방향도 포함한 전방위로 테이프를 확장시켜도 된다.
상기 테이프 특성의 평가 방법에 있어서, 그 평가 스텝에 있어서, 그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출해도 된다.
또, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과, 그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과, 그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서, 테이프를 그 환상 프레임의 개구에서 지지하는 프레임 장착 스텝과, 그 유지 수단에 의해 그 환상 프레임을 유지하는 유지 스텝과, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또, 본 발명의 테이프 특성의 평가 방법은, 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과, 그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서, 그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과, 그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 확장 장치는, 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과, 그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과, 그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서, 그 제어 수단은, 그 유지 수단에 환상 프레임을 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와, 그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여, 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 확장 장치는, 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과, 그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과, 그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서, 그 제어 수단은, 그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와, 그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 확장 장치에 있어서, 그 평가부가 평가한 테이프의 신축성에 기초하여, 그 테이프의 항복점을 산출하는 산출부를 구비해도 된다.
본 발명은, 실제의 테이프를 확장시키는 조건하에서의 테이프 특성을 측정할 수 있는 효과를 발휘한다.
도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프가 첩착된 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치를 구비하는 레이저 가공 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 4 는, 도 3 에 나타낸 레이저 가공 장치를 구성하는 확장 장치가 측정한 테이프 특성인 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 6 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 프레임 장착 스텝 후의 테이프 등을 나타내는 사시도이다.
도 7 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다.
도 8 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다.
도 9 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 10 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 11 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 12 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
도 13 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법이 실시되는 확장 장치의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 14 는, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다.
도 15 는, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다.
도 16 은, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다.
본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대하여, 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.
〔실시형태 1〕
본 발명의 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1 은, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프를 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치의 평가 대상인 테이프가 첩착된 피가공물의 일례를 나타내는 사시도이다.
실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 1 에 나타내는 테이프 (1) 를 적어도 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 따라 확장시켜, 확장량에 따른 값과, 확장에 저항하여 축소하려고 하는 힘에 따른 값의 관계를 측정하여, 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 도 1 에 나타내는 테이프 (1) 는, 롤 (2) 의 외주면 (3) 에 감겨 있고, 예를 들어, 가열된 수지가 제 1 방향 (11) 을 따라 이동되면서 제 1 방향 (11) 과 제 1 방향 (11) 에 대해 직교하는 제 2 방향 (12) 으로 연신되어, 롤 (2) 의 외주면 (3) 에 감긴다. 또한, 실시형태 1 에서는, 제 1 방향 (11) 은, 소위 흐름 방향 (MD : Machine Direction 방향) 이고, 제 2 방향 (12) 은, 소위 수직 방향 (TD : Transverse Direction 방향) 이다.
실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 제 1 방향 (11) 이 제 2 방향 (12) 보다 확장시키기 쉽다 (신장시키기 쉽다). 또, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 가열되면 수축되는 열수축성을 갖는다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 합성 수지로 구성된 수지층과, 수지층에 적층되고 또한 도 2 에 나타내는 피가공물 (4) 에 첩착 가능한 점착층을 구비하지만, 본 발명에서는, 점착층을 구비하고 있지 않은 소위 시트상 또는 필름상의 것이어도 된다.
실시형태 1 에 있어서, 테이프 (1) 는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 롤 (2) 로부터 송출되어, 점착층이 환상 프레임 (5) 및 피가공물 (4) 의 표면 (6) 에 첩착되고, 환상 프레임 (5) 의 외측 가장자리부를 따라 절단되어, 피가공물 (4) 을 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 의 내측에 지지한다. 실시형태 1 에서는, 피가공물 (4) 은, 실리콘, 사파이어, 갈륨비소 또는 SiC (탄화규소) 등을 기판으로 하는 원판상의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼이다. 피가공물 (4) 은, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 서로 교차하는 복수의 직선상의 분할 예정 라인 (8) 으로 구획된 각 영역에 각각 디바이스 (9) 가 형성된 표면 (6) 을 갖는다. 실시형태 1 에 있어서, 피가공물 (4) 은, 표면 (6) 의 뒤쪽의 이면 (10) 측으로부터 투과성을 갖는 파장의 레이저 광선이 분할 예정 라인 (8) 을 따라 조사되어, 내부에 분할 예정 라인 (8) 을 따른 파단 기점이 되는 개질층이 형성된다. 피가공물 (4) 은, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 환상 프레임 (5) 의 외주 방향으로 테이프 (1) 가 확장되어, 개개의 디바이스 (9) 로 분할된다.
또한, 개질층이란, 밀도, 굴절률, 기계적 강도나 그 밖의 물리적 특성이 주위의 그것과는 상이한 상태가 된 영역을 의미하고, 용융 처리 영역, 크랙 영역, 절연 파괴 영역, 굴절률 변화 영역, 및 이들 영역이 혼재된 영역 등을 예시할 수 있다. 이와 같이, 실시형태 1 에 관련된 테이프 (1) 는, 피가공물 (4) 에 첩착된 상태로 확장되어, 개질층을 기점으로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하기 위해 바람직한 것이다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 피가공물 (4) 은, 내부에 파단 기점이 되는 개질층이 형성되지만, 본 발명에서는, 표면 (6) 측으로부터 절삭 가공이 실시되어 파단 기점이 되는 절삭홈이 형성되어도 되고, 표면 (6) 측으로부터 레이저 어블레이션 가공이 실시되어 파단 기점이 되는 레이저 가공 홈이 형성되어도 된다.
실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 3 에 나타내는 가공 장치인 레이저 가공 장치 (20) 를 구성하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시된다. 다음으로, 도 3 에 나타내는 레이저 가공 장치 (20) 를 도면에 기초하여 설명한다. 도 3 은, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치를 구비하는 레이저 가공 장치의 주요부를 나타내는 사시도이다. 도 4 는, 도 3 에 나타낸 레이저 가공 장치를 구성하는 확장 장치가 측정한 테이프 특성인 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 3 에 나타내는 레이저 가공 장치 (20) 는, 테이프 (1) 에 의해 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 의 내측에 지지된 피가공물 (4) 에 분할 예정 라인 (8) 을 따른 개질층을 형성한 후, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 피가공물 (4) 을 유지하는 도시되지 않은 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물 (4) 에 레이저 광선을 조사하는 도시되지 않은 레이저 광선 조사 유닛과, 피가공물 (4) 을 수용하는 카세트 (21) 가 설치되고 또한 카세트 (21) 를 연직 방향을 따라 승강시키는 카세트 엘리베이터 (22) 를 구비한다. 또, 레이저 가공 장치 (20) 는, 카세트 (21) 에 피가공물 (4) 을 꺼내고 넣는 반출입 유닛 (23) 과, 반출입 유닛 (23) 과 척 테이블 사이에서 피가공물 (4) 을 반송하는 도시되지 않은 제 1 반송 유닛과, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 에 첩착된 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 장치 (30) 와, 반출입 유닛 (23) 과 확장 장치 (30) 사이에서 피가공물 (4) 을 반송하는 제 2 반송 유닛 (24) 을 구비한다.
레이저 가공 장치 (20) 는, 카세트 (21) 내의 피가공물 (4) 을 반출입 유닛 (23) 이 카세트 (21) 밖으로 반출하고, 제 1 반송 유닛이 카세트 (21) 밖으로 반출된 피가공물 (4) 을 척 테이블로 반송한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 척 테이블이 피가공물 (4) 을 유지한 후, 레이저 광선 조사 유닛이 피가공물 (4) 에 레이저 광선을 조사하여 개질층을 형성한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 제 1 반송 유닛이 척 테이블로부터 반출입 유닛 (23) 으로 반송하고, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 제 2 반송 유닛 (24) 이 반출입 유닛 (23) 으로부터 확장 장치 (30) 로 반송한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 확장 장치 (30) 가 테이프 (1) 를 확장시켜, 개질층을 기점으로 분할 예정 라인 (8) 을 따라 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할한다. 레이저 가공 장치 (20) 는, 개개의 디바이스 (9) 로 분할된 피가공물 (4) 을 제 2 반송 유닛 (24) 및 반출입 유닛 (23) 이 순서대로 확장 장치 (30) 로부터 카세트 (21) 내로 반송한다. 또, 레이저 가공 장치 (20) 는, 확장 장치 (30) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에, 적어도 테이프 (1) 를 냉각시키는 도시되지 않은 냉각 장치를 구비한다. 냉각 장치는, 테이프 (1) 주위의 분위기를 예를 들어 －15 ℃ 에서 0 ℃ 까지의 범위 내로 냉각시킨다.
확장 장치 (30) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 에 첩착된 테이프 (1) 를 확장시켜, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 확장 장치 (30) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단인 유지 유닛 (31) 과, 확장 수단인 확장 유닛 (32) 과, 이동 수단인 이동 유닛 (33) 과, 제어 수단인 제어 유닛 (40) 을 구비한다.
유지 유닛 (31) 은, 환상 프레임 (5) 을 유지하는 수단이다. 유지 유닛 (31) 은, 레이저 가공 장치 (20) 의 장치 본체 (25) 에 장착된 원통상의 베이스 (34) 와, 복수의 클램프부 (35) 를 구비한다. 베이스 (34) 는, 내외경이 환상 프레임 (5) 의 내외경과 대략 동일하게 형성되고, 상면 (36) 이 수평 방향과 평행하고 평탄하게 형성되어 있다. 베이스 (34) 는, 상면 (36) 에 환상 프레임 (5) 이 재치 (載置) 된다.
복수의 클램프부 (35) 는, 베이스 (34) 의 둘레 방향으로 등간격으로 배치되고, 베이스 (34) 의 외주면에 장착되어 있다. 클램프부 (35) 는, 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 재치된 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 와의 사이에 끼워, 환상 프레임 (5) 을 유지한다.
확장 유닛 (32) 은, 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에 지지된 테이프 (1) 보다 작은 외경을 갖는 원통상으로 형성된 수단이다. 확장 유닛 (32) 은, 원통상으로 형성되고, 외경이 베이스 (34) 및 환상 프레임 (5) 의 내경보다 작고, 내경이 테이프 (1) 에 첩착되는 피가공물 (4) 의 외경보다 크게 형성되어 있다. 확장 유닛 (32) 은, 베이스 (34) 의 내주측에 배치되고, 베이스 (34) 와 동축이 되는 위치에 배치되어 있다.
이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 과 유지 유닛 (31) 을 연직 방향을 따라 상대 이동시키는 모터 (37) 를 갖는다. 실시형태 1 에 있어서, 이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 이동시켜, 유지 유닛 (31) 의 베이스 (34) 에 대해 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 상대적으로 이동시킨다. 또, 실시형태 1 에 있어서, 이동 유닛 (33) 은, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상이 되는 위치와, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 보다 상방이 되는 위치에 걸쳐 확장 유닛 (32) 을 연직 방향을 따라 이동시킨다.
이동 유닛 (33) 은, 모터 (37) 에 의해 축심 둘레로 회전되고, 축심 둘레로 회전됨으로써 확장 유닛 (32) 을 연직 방향으로 이동시키는 볼 나사 (38) 와, 확장 유닛 (32) 의 상단의 미리 설정된 기준 위치로부터의 연직 방향의 위치를 검출하는 검출 유닛 (39) 을 구비한다. 검출 유닛 (39) 은, 검출 결과를 제어 유닛 (40) 에 출력한다.
제어 유닛 (40) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 모터 (37) 에 접속되어 있음과 함께 모터 (37) 를 제어하여, 확장 장치 (30) 에 테이프 (1) 의 확장 동작을 실시하게 하는 것이다. 또, 제어 유닛 (40) 은, 레이저 가공 장치 (20) 의 각 구성 요소를 각각 제어하여, 피가공물 (4) 에 대한 가공 동작을 레이저 가공 장치 (20) 에 실시하게 하는 것이다. 또한, 제어 유닛 (40) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 레이저 가공 장치 (20) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통하여 레이저 가공 장치 (20) 의 각 구성 요소에 출력한다.
제어 유닛 (40) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (42) 과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛 (43) 이 접속되어 있다. 입력 유닛 (43) 은, 표시 유닛 (42) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다.
또, 확장 장치 (30) 는, 테이프 (1) 의 확장 후에, 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 사이를 가열하는 히터 (44) 를 베이스 (34) 의 내주측이고 또한 확장 유닛 (32) 의 외주측에 구비하고 있다.
전술한 확장 장치 (30) 는, 주위가 냉각 장치에 의해 냉각되고, 또한 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서, 제 2 반송 유닛 (24) 에 의해 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 개질층이 형성된 피가공물 (4) 을 개구 (7) 에 지지한 환상 프레임 (5) 이 재치된다. 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 클램프부 (35) 가 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 의 상면 (36) 과의 사이에 끼워, 환상 프레임 (5) 을 유지한다. 이 때, 확장 장치 (30) 의 확장 유닛 (32) 의 상단이 테이프 (1) 에 맞닿아 있다.
확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 모터 (37) 를 구동시켜 확장 유닛 (32) 을 상방으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 테이프 (1) 가 확장 유닛 (32) 의 상단에 맞닿아 있기 때문에, 확장 유닛 (32) 의 이동과 함께 테이프 (1) 가 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 사이의 경사 방향인 제 3 방향 (13) (도 2 에 나타낸다) 도 포함한 전방위로 외주 방향을 향해 방사상으로 확장된다. 테이프 (1) 의 확장의 결과, 테이프 (1) 에 방사상으로 인장력이 작용한다. 이와 같이 피가공물 (4) 의 표면 (6) 에 첩착된 테이프 (1) 에 방사상으로 인장력이 작용하면, 피가공물 (4) 은, 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개질층이 형성되어 있기 때문에, 개질층을 기점으로 하여 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개개의 디바이스 (9) 로 분할됨과 함께, 디바이스 (9) 사이가 넓어져, 디바이스 (9) 사이에 간격이 형성된다.
확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 를 확장시킨 후, 히터 (44) 에 의해 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 사이의 가열을 개시하고, 모터 (37) 에 확장 유닛 (32) 을 하강시켜 확장 유닛 (32) 의 상단을 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치시킨다. 이렇게 하여, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 의 피가공물 (4) 과 환상 프레임 (5) 의 사이를 수축시켜, 확장 유닛 (32) 의 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치된 후에도 디바이스 (9) 간의 간격을 유지한다. 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 테이프 (1) 의 확장, 가열 후, 클램프부 (35) 의 환상 프레임 (5) 의 유지를 해제하고, 제 2 반송 유닛 (24) 에 의해 베이스 (34) 의 상면 (36) 상의 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에 지지된 피가공물 (4) 을 반출입 유닛 (23) 으로 반송한다.
또한, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도가 설정되어 있다. 전술한 확장 장치 (30) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 설정하기 위해, 실제로, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 3 방향 (13) 도 포함한 전방위로 외주 방향으로 방사상으로 확장시켜, 테이프 (1) 의 특성인 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가한다.
도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 은, 환상 프레임 (5) 에 첩착된 테이프 (1) 를 유지하고 나서의 경과 시간에 대한 모터 (37) 에 가해지는 토크값인 모터 (37) 의 출력 토크 및 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다. 도 4 의 가로축은, 경과 시간을 나타내고, 좌측의 세로축은, 정격 토크를 100 ％ 로 하였을 때의 모터 (37) 의 출력 토크를 나타내고, 우측의 세로축은, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다.
모터 (37) 의 출력 토크는, 테이프 (1) 의 확장에 저항하여 축소하려고 하는 힘에 따른 값이고, 도 4 중에 실선으로 나타낸다. 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리는, 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이고, 도 4 중에 일점 쇄선으로 나타낸다. 또한, 테이프 (1) 의 확장을 개시하고 나서 모터 (37) 의 출력 토크와 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리가 비례하는 범위는, 테이프 (1) 의 탄성 영역 (101) 이고, 테이프 (1) 의 확장을 개시하고 나서 모터 (37) 의 출력 토크와 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리가 비례하지 않게 되는 범위는, 테이프 (1) 의 소성 영역 (102) 이고, 모터 (37) 의 출력 토크의 탄성 영역 (101) 과 소성 영역 (102) 사이의 경계는, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 이다.
실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30) 가 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 때에는, 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않고 또한 외주 가장자리가 환상 프레임 (5) 에 첩착된 테이프 (1) 를 준비하고, 이 테이프 (1) 에 첩착된 환상 프레임 (5) 을 유지 유닛 (31) 에 유지하고, 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시킨다.
확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 위해, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 확장부 (45) 와, 평가부 (46) 와, 산출부 (47) 를 구비한다.
확장부 (45) 는, 유지 유닛 (31) 에 환상 프레임 (5) 을 유지한 상태에서, 모터 (37) 를 구동하여 확장 유닛 (32) 을 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 일정량 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시키는 것이다. 확장부 (45) 는, 유지 유닛 (31) 이 테이프 (1) 에 첩착된 환상 프레임 (5) 을 유지한 후에, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정된 이동 속도로 확장 유닛 (32) 을 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 일정량 이동시킨다. 또한, 일정량은, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정되고, 항복점 (103) 을 초과하는 값이다.
평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 모터 (37) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하는 것이다. 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 드라이버 (41) 가 모터 (37) 에 인가하는 전압값과 모터 (37) 에 흘리는 전류값의 적어도 일방을 참조하여, 모터 (37) 의 출력 토크를 산출하고, 산출된 모터 (37) 의 출력 토크를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 또, 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 검출 유닛 (39) 의 검출 결과에 기초하여 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리를 산출하고, 산출된 확장 유닛 (32) 의 상단의 기준 위치로부터의 거리를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 이렇게 하여, 평가부 (46) 는, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 산출하고, 기억한다. 또한, 실시형태 1 에 있어서, 평가부 (46) 는, 확장부 (45) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에 설정된 확장 유닛 (32) 의 이동 속도 및 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도와 대응시켜, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다.
산출부 (47) 는, 평가부 (46) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 산출한다. 실시형태 1 에서는, 산출부 (47) 는, 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 산출한다. 또한, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 는, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이다. 산출부 (47) 는, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 도 4 에 일례를 나타내는 테이프의 신축성 (100) 에 대응시켜 기억한다.
실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30) 의 제어 유닛 (40) 은, 평가부 (46) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 산출부 (47) 가 산출한 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 표시 유닛 (42) 에 표시하지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40) 에 접속된 외부 출력 장치에 출력해도 된다.
또한, 확장부 (45) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다. 평가부 (46) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프의 신축성 (100) 을 기억 장치에 기억함으로써 실현된다. 산출부 (47) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 기억 장치에 기억함으로써 실현된다.
다음으로, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법을 설명한다. 도 5 는, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 도 6 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 프레임 장착 스텝 후의 테이프 등을 나타내는 사시도이다. 도 7 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다. 도 8 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 나타내는 확장 장치의 주요부의 단면도이다. 도 9 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 일례를 나타내는 도면이다. 도 10 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 11 은, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 12 는, 도 5 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 평가 스텝에서 측정한 테이프의 신축성의 또 다른 예를 나타내는 도면이다.
실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 1 에 관련된 레이저 가공 장치 (20) 의 확장 장치 (30) 에 의해 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 프레임 장착 스텝 (ST1) 과, 유지 스텝 (ST2) 과, 확장 스텝 (ST3) 과, 평가 스텝 (ST4) 을 포함한다.
프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 테이프 (1) 를 환상 프레임 (5) 의 개구 (7) 에서 지지하는 스텝이다. 프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 주지된 마운트 장치 등이 롤 (2) 로부터 송출된 테이프 (1) 를 환상 프레임 (5) 에 첩착하고, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 테이프 (1) 가 개구 (7) 를 막도록, 환상 프레임 (5) 의 외측 가장자리부를 따라 테이프 (1) 를 절단한다. 그리고, 프레임 장착 스텝 (ST1) 은, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 외측 가장자리부가 환상 프레임 (5) 에 첩착되고, 또한 개구 (7) 를 막은 테이프 (1) 를 레이저 가공 장치 (20) 의 카세트 (21) 내에 수용하고, 유지 스텝 (ST2) 으로 진행된다.
유지 스텝 (ST2) 은, 유지 유닛 (31) 으로 테이프 (1) 를 유지하는 스텝이다. 실시형태 1 에서는, 유지 스텝 (ST2) 에서는, 레이저 가공 장치 (20) 의 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 제어 유닛 (40) 이 카세트 (21) 내의 환상 프레임 (5) 에 외측 가장자리부가 첩착된 테이프 (1) 를 취출하여, 확장 장치 (30) 의 베이스 (34) 의 상면 (36) 에 환상 프레임 (5) 을 재치한다. 유지 스텝 (ST2) 에서는, 제어 유닛 (40) 이, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 유지 유닛 (31) 의 클램프부 (35) 에 의해 환상 프레임 (5) 을 베이스 (34) 에 유지하고, 확장 스텝 (ST3) 및 평가 스텝 (ST4) 으로 진행된다.
확장 스텝 (ST3) 은, 모터 (37) 를 구동하여, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방과 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 사이의 경사 방향인 제 3 방향 (13) (도 2 에 나타낸다) 도 포함한 전방위로 테이프 (1) 를 방사상으로 확장시키는 스텝이다. 확장 스텝 (ST3) 에서는, 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 때의 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (전술한 일정량의 상당), 및 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 설정한다. 확장 스텝 (ST3) 에서는, 오퍼레이터의 온도, 이동 거리 및 이동 속도의 설정이 완료되면, 제어 유닛 (40) 의 확장부 (45) 가, 모터 (37) 를 구동하여, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 확장 유닛 (32) 을 설정된 이동 속도로, 상단이 베이스 (34) 의 상면 (36) 과 동일 평면 상에 위치한 상태에서 상방을 향해 설정된 일정량인 이동 거리 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시킨다.
평가 스텝 (ST4) 은, 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 제어 유닛 (40) 에 의해 모터 (37) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 스텝이다. 평가 스텝 (ST4) 에서는, 제어 유닛 (40) 의 평가부 (46) 가, 일정 시간마다 모터 (37) 의 출력 토크와, 확장 유닛 (32) 의 기준 위치로부터의 거리를 산출하여, 경과 시간과 대응시켜, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 에 나타내는 테이프의 신축성 (100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 으로서 기억한다.
또한, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 의 가로축은, 경과 시간을 나타내고, 세로축의 영보다 하측은, 정격 토크를 100 ％ 로 하였을 때의 모터 (37) 의 출력 토크를 나타내고, 세로축의 영보다 상측은, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 나타내고 있다. 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 는, 모터 (37) 의 출력 토크를 실선으로 나타내고, 확장 유닛 (32) 의 상단의 연직 방향의 기준 위치로부터의 거리를 일점 쇄선으로 나타낸다. 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 에 나타내는 테이프의 신축성 (100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 은 도 4 에 나타내는 테이프의 신축성 (100) 과 대응하는 부분에 동일 부호를 붙인다.
도 9 및 도 10 은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 0 ℃ 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-1, 100-2) 을 나타내고, 도 11 및 도 12 는, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 －15 ℃ 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-3, 100-4) 을 나타내고 있다. 도 9 및 도 11 은, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 0.5 ㎜/sec 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-1, 100-3) 을 나타내고, 도 10 및 도 12 는, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도를 1.0 ㎜/sec 로 하였을 때의 테이프의 신축성 (100-2, 100-4) 을 나타내고 있다.
평가 스텝 (ST4) 에서는, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서 확장 유닛 (32) 의 일정량의 이동이 완료되고, 테이프의 신축성 (100) 의 측정이 완료되면, 제어 유닛 (40) 의 산출부 (47) 가 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 산출하고, 기억함과 함께, 제어 유닛 (40) 이, 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 를 표시 유닛 (42) 에 표시한다. 테이프 특성의 평가 방법은, 평가 스텝 (ST4) 에 있어서, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 (104) 의 산출, 기억 등이 완료되면 종료한다.
실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 스텝 (ST3) 의 실시 중에 모터 (37) 의 출력 토크 등을 측정하기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 용이하게 측정하고, 평가할 수 있다.
또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방을 포함하는 외주 방향으로 방사상으로 확장시키기 때문에, 일 방향만 확장시켜 테이프 특성을 측정하는 종래의 방법보다 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때에 실제의 테이프 (1) 를 확장시키는 조건하에서의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.
또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3) 에 있어서 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 확장시키기 때문에, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 파악할 수 있고, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 테이프 (1) 의 확장량에 대응하는 확장 유닛 (32) 의 이동 거리를 항복점 (103) 에 이르지 않는 값으로 설정하기 쉬워진다. 그 결과, 테이프 특성의 평가 방법은, 환상 프레임 (5) 과 피가공물 (4) 사이의 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 의 잉여 부분이 확장 후에 가열되어 수축될 때에 피가공물 (4) 에 첩착된 부분의 테이프 (1) 도 끌려 인장되어 디바이스 (9) 사이의 간격이 벌어져, 개개로 분할된 디바이스 (9) 끼리가 접촉하는 것을 억제할 수 있다.
또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시되기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 수 있다.
또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 확장 유닛 (32) 의 이동 속도에 대응하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 측정한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 확장 유닛 (32) 의 이동 거리 및 이동 속도 및 냉각 온도를 설정할 수 있다.
또, 실시형태 1 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30) 에 의해 실시되기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하는 전용의 장치를 사용하지 않고, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.
또한, 실시형태 1 에 관련된 확장 장치 (30) 는, 레이저 가공 장치 (20) 를 구성하고 있지만, 본 발명에서는, 레이저 가공 장치 (20) 와 별체로 형성되어도 된다.
〔실시형태 2〕
본 발명의 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법 및 확장 장치를 도면에 기초하여 설명한다. 도 13 은, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법이 실시되는 확장 장치의 구성을 나타내는 사시도이다. 도 14 는, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법의 흐름을 나타내는 플로 차트이다. 도 15 는, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 유지 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다. 도 16 은, 도 14 에 나타낸 테이프 특성의 평가 방법의 확장 스텝을 모식적으로 나타내는 확장 장치의 평면도이다. 또한, 도 13, 도 14, 도 15 및 도 16 은, 실시형태 1 과 동일 부분에 동일 부호를 붙이고 설명을 생략한다.
실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 는, 개질층이 형성된 피가공물 (4) 이 첩착된 대상물인 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 으로 확장시켜, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 장치이다. 확장 장치 (30-2) 는, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 고정 기대 (50) 와, 고정 기대 (50) 의 중앙에 형성된 유지 테이블 (51) 과, 제 1 유지 수단인 제 1 유지 유닛 (31-1) 과, 제 2 유지 수단인 제 2 유지 유닛 (31-2) 과, 제 3 유지 수단인 제 3 유지 유닛 (31-3) 과, 제 4 유지 수단인 제 4 유지 유닛 (31-4) 과, 이동 수단인 제 1 이동 유닛 (33-1) 과, 이동 수단인 제 2 이동 유닛 (33-2) 과, 이동 수단인 제 3 이동 유닛 (33-3) 과, 이동 수단인 제 4 이동 유닛 (33-4) 과, 제어 수단인 제어 유닛 (40-2) 을 구비한다.
유지 테이블 (51) 은, 원판상으로 상면 (52) 이 수평 방향을 따라 평탄하게 형성되고, 상면 (52) 에 테이프 (1) 가 재치된다. 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 은, 제 1 방향 (11) 에 있어서 확장되는 테이프 (1) 가 재치되는 유지 테이블 (51) 을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되어 있다. 즉, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 은, 제 1 방향 (11) 을 따라 서로 대향하고, 서로 간에 유지 테이블 (51) 을 위치시키고 있다.
제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 제 2 방향 (12) 에 있어서 확장되는 테이프 (1) 가 재치되는 유지 테이블 (51) 을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되어 있다. 즉, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 제 2 방향 (12) 을 따라 서로 대향하고, 서로 간에 유지 테이블 (51) 을 위치시키고 있다.
제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 각각 테이프 (1) 를 사이에 두고 유지한다. 제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 서로 구성이 대략 동등하기 때문에, 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명한다.
제 1 유지 유닛 (31-1), 제 2 유지 유닛 (31-2), 제 3 유지 유닛 (31-3) 및 제 4 유지 유닛 (31-4) 은, 고정 기대 (50) 상에 형성된 기둥상의 이동 기대 (53) 에 연직 방향으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성된 1 쌍의 협지 부재 (54) 와, 1 쌍의 협지 부재 (54) 를 서로 가까워지는 방향 및 서로 멀어지는 방향으로 이동시키는 이동 기구 (55) 를 구비한다. 1 쌍의 협지 부재 (54) 는, 서로 연직 방향으로 간격을 두고 배치되고, 이동 기구 (55) 에 의해 서로 가까워져 서로 간에 테이프 (1) 를 끼워 유지한다. 이동 기구 (55) 는, 이동 기대 (53) 에 형성되어 있다. 또, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 1 쌍의 협지 부재 (54) 및 이동 기구 (55) 를 형성한 이동 기대 (53) 는, 고정 기대 (50) 에 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 자유롭게 이동할 수 있도록 형성되어 있다.
제 1 이동 유닛 (33-1) 과 제 2 이동 유닛 (33-2) 은, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 제 1 방향 (11) 에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 제 1 이동 유닛 (33-1) 은, 제 1 유지 유닛 (31-1) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 1 방향 (11) 으로 이동시킨다. 실시형태 1 에 있어서, 제 2 이동 유닛 (33-2) 은, 제 2 유지 유닛 (31-2) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 1 방향 (11) 으로 이동시킨다.
제 3 이동 유닛 (33-3) 과 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 제 2 방향 (12) 에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 것이다. 실시형태 1 에 있어서, 제 3 이동 유닛 (33-3) 은, 제 3 유지 유닛 (31-3) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 2 방향 (12) 으로 이동시킨다. 실시형태 1 에 있어서, 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 제 4 유지 유닛 (31-4) 이 형성된 이동 기대 (53) 를 고정 기대 (50) 에 대해 제 2 방향 (12) 으로 이동시킨다.
제 1 이동 유닛 (33-1), 제 2 이동 유닛 (33-2), 제 3 이동 유닛 (33-3) 및 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 서로 구성이 대략 동등하기 때문에, 동일 부분에 동일 부호를 붙여 설명한다.
제 1 이동 유닛 (33-1), 제 2 이동 유닛 (33-2), 제 3 이동 유닛 (33-3) 및 제 4 이동 유닛 (33-4) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 제어 유닛 (40-2) 에 접속되고, 또한 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이동 가능하게 하는 모터 (37-2) 와, 모터 (37-2) 에 의해 축심 둘레로 회전되어 이동 기대 (53) 를 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이동시키는 볼 나사 (38-2) 와, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 미리 설정된 기준 위치로부터의 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 의 위치를 검출하는 검출 유닛 (39-2) 을 갖는다. 검출 유닛 (39-2) 은, 검출 결과를 제어 유닛 (40-2) 에 출력한다. 또, 확장 장치 (30-2) 는, 테이프 (1) 를 냉각시키는 도시되지 않은 냉각 장치를 구비한다.
제어 유닛 (40-2) 은, 드라이버 (41) 를 개재하여 모터 (37-2) 에 접속되어 있음과 함께 모터 (37-2) 를 제어하여, 확장 장치 (30-2) 에 테이프 (1) 의 확장 동작을 실시하게 하는 것이다. 또, 제어 유닛 (40-2) 은, 확장 장치 (30-2) 의 각 구성 요소를 각각 제어하는 것이다. 또한, 제어 유닛 (40-2) 은, CPU (central processing unit) 와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM (read only memory) 또는 RAM (random access memory) 과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 갖는 컴퓨터이다. 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치는, 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 확장 장치 (30-2) 를 제어하기 위한 제어 신호를, 입출력 인터페이스 장치를 통하여 확장 장치 (30-2) 의 각 구성 요소에 출력한다.
제어 유닛 (40-2) 은, 가공 동작의 상태나 화상 등을 표시하는 액정 표시 장치 등에 의해 구성되는 표시 유닛 (42) 과, 오퍼레이터가 가공 내용 정보 등을 등록할 때에 사용하는 입력 유닛 (43) 이 접속되어 있다. 입력 유닛 (43) 은, 표시 유닛 (42) 에 형성된 터치 패널과, 키보드 등의 외부 입력 장치 중 적어도 하나에 의해 구성된다.
전술한 확장 장치 (30-2) 는, 주위가 냉각 장치에 의해 냉각된 상태에서, 유지 테이블 (51) 의 상면 (52) 에 개질층이 형성된 피가공물 (4) 이 첩착된 테이프 (1) 가 재치된다. 확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동 기구 (55) 를 제어하여 1 쌍의 협지 부재 (54) 사이에 테이프 (1) 를 끼워 유지한다.
확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 모터 (37-2) 를 구동시켜 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 에 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 제 1 방향 (11) 또는 제 2 방향 (12) 으로 이반되는 방향으로 이동시킨다. 그렇게 하면, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동과 함께 테이프 (1) 가 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장된다. 테이프 (1) 의 확장 결과, 테이프 (1) 에 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 인장력이 작용한다. 이와 같이 피가공물 (4) 이 첩착된 테이프 (1) 에 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 인장력이 작용하면, 피가공물 (4) 은, 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개질층이 형성되어 있기 때문에, 개질층을 기점으로 하여 분할 예정 라인 (8) 을 따라 개개의 디바이스 (9) 로 분할된다.
확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 테이프 (1) 를 확장시킨 후, 모터 (37-2) 에 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 을 확장 전의 위치로 이동시키고, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 테이프 (1) 의 유지를 해제한다.
실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 을 따른 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도가 설정되어 있다. 확장 장치 (30-2) 는, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 을 따른 이동 속도, 이동 거리, 냉각 장치의 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도를 설정하기 위해, 실제로, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시켜, 실시형태 1 과 동일하게 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가한다.
실시형태 2 에 있어서, 확장 장치 (30-2) 가 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 때에는, 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 를 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 에 유지하고, 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시킨다.
확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 위해, 도 13 에 나타내는 바와 같이, 확장부 (45-2) 와, 평가부 (46-2) 와, 산출부 (47-2) 를 구비한다.
확장부 (45-2) 는, 제 1 내지 제 4 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 으로 테이프 (1) 를 유지한 상태에서, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 그 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시키는 것이다. 확장부 (45-2) 는, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 이 테이프 (1) 를 유지한 후에, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정된 이동 속도로 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 이 서로 이반되는 방향이고 또한 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 그 제 4 유지 유닛 (31-4) 이 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킨다. 또한, 일정량은, 입력 유닛 (43) 으로부터 설정되고, 항복점 (103) 을 초과하는 값이다.
평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 의 출력 토크를 측정하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하는 것이다. 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 각 드라이버 (41) 가 각 모터 (37-2) 에 인가하는 전압값과 모터 (37-2) 에 흘리는 전류값의 적어도 일방을 참조하여, 각 모터 (37-2) 의 출력 토크를 산출하고, 산출된 각 모터 (37-2) 의 출력 토크를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 또, 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 의 테이프 (1) 의 확장 중에 검출 유닛 (39-2) 의 검출 결과에 기초하여 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하고, 산출된 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 경과 시간에 대응시켜 기억한다. 이렇게 하여, 평가부 (46-2) 는, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다. 또한, 실시형태 2 에 있어서, 평가부 (46-2) 는, 확장부 (45-2) 가 테이프 (1) 를 확장시킬 때에 설정된 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 이동 속도 및 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도와 대응시켜, 테이프의 신축성 (100) 을 기억한다.
산출부 (47-2) 는, 평가부 (46-2) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 산출한다. 실시형태 2 에서는, 산출부 (47-2) 는, 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37-2) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 제 1 방향 (11) 및 제 2 방향 (12) 각각의 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출한다. 또한, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리는, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 테이프 (1) 의 확장량에 따른 값이다. 산출부 (47-2) 는, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 테이프의 신축성 (100) 에 대응시켜 기억한다.
실시형태 1 에 있어서, 확장 장치 (30-2) 의 제어 유닛 (40-2) 은, 평가부 (46-2) 가 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 산출부 (47-2) 가 산출한 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 표시 유닛 (42) 에 표시하지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40) 에 접속된 외부 출력 장치에 출력해도 된다.
또한, 확장부 (45-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시함으로써 실현된다. 평가부 (46-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40-2) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프의 신축성 (100) 을 기억 장치에 기억함으로써 실현된다. 산출부 (47-2) 의 기능은, 제어 유닛 (40) 의 연산 처리 장치가 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하고, 산출된 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 기억 장치에 기억함으로써 실현된다.
실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 2 에 관련된 확장 장치 (30-2) 에 의해 테이프 특성인 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 방법이다. 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 도 14 에 나타내는 바와 같이, 유지 스텝 (ST2-2) 과, 확장 스텝 (ST3-2) 과, 평가 스텝 (ST4-2) 을 포함한다.
유지 스텝 (ST2-2) 은, 제 1 내지 제 4 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 으로 테이프 (1) 를 유지하는 스텝이다. 실시형태 2 에서는, 유지 스텝 (ST2) 에서는, 유지 테이블 (51) 의 상면 (52) 에 피가공물 (4) 이 첩착되어 있지 않은 테이프 (1) 를 재치한다. 유지 스텝 (ST2-2) 에서는, 제어 유닛 (40-2) 이, 도 15 에 나타내는 바와 같이, 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 1 쌍의 협지 부재 (54) 사이에 테이프 (1) 를 끼워 유지하고, 확장 스텝 (ST3-2) 및 평가 스텝 (ST4-2) 으로 진행된다.
확장 스텝 (ST3-2) 은, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 제 1 유지 유닛 (31-1) 과 제 2 유지 유닛 (31-2) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께, 제 3 유지 유닛 (31-3) 과 제 4 유지 유닛 (31-4) 을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 테이프 (1) 를 확장시키는 스텝이다. 확장 스텝 (ST3-2) 에서는, 오퍼레이터가 입력 유닛 (43) 을 조작하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 때의 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 (전술한 일정량의 상당), 및 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 속도를 설정한다. 확장 스텝 (ST3-2) 에서는, 오퍼레이터의 온도, 이동 거리 및 이동 속도의 설정이 완료되면, 제어 유닛 (40-2) 의 확장부 (45-2) 가, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 를 구동하여, 도 16 에 나타내는 바와 같이, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 를 설정된 이동 속도로, 설정된 일정량의 이동 거리 이동시켜, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시킨다.
평가 스텝 (ST4-2) 은, 확장 스텝 (ST3-2) 의 실시 중에 제어 유닛 (40-2) 에 의해, 각 이동 유닛 (33-1, 33-2, 33-3, 33-4) 의 모터 (37-2) 의 출력 토크를 측정하고, 테이프의 신축성 (100) 을 평가하는 스텝이다. 평가 스텝 (ST4-2) 에서는, 제어 유닛 (40-2) 의 평가부 (46-2) 가, 일정 시간마다 각 모터 (37-2) 의 출력 토크와, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하여, 경과 시간과 대응시켜, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 으로서, 실시형태 1 과 동일하게 기억한다.
평가 스텝 (ST4-2) 에서는, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 일정량의 이동이 완료되고, 테이프의 신축성 (100) 의 측정이 완료되면, 제어 유닛 (40-2) 의 산출부 (47-2) 가 측정한 테이프의 신축성 (100) 즉 모터 (37-2) 의 출력 토크의 변화 등으로부터 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 산출하고, 기억함과 함께, 제어 유닛 (40-2) 이, 측정하고, 평가한 테이프의 신축성 (100) 및 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 표시 유닛 (42) 에 표시한다. 테이프 특성의 평가 방법은, 평가 스텝 (ST4-2) 에 있어서, 테이프 (1) 의 확장 개시부터 항복점 (103) 에 이르기까지의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리의 산출, 기억 등이 완료되면 종료한다.
실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 실시형태 1 과 동일하게, 테이프 (1) 를 확장시키는 확장 스텝 (ST3-2) 의 실시 중에 모터 (37-2) 의 출력 토크 등을 측정하기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 용이하게 측정하고, 평가할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서, 테이프 (1) 를 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 의 쌍방으로 확장시키기 때문에, 일 방향만 확장시키는 종래의 방법보다 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때에 실제의 테이프 (1) 를 확장시키는 조건하에서의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 확장 스텝 (ST3-2) 에 있어서 항복점 (103) 을 초과하여 테이프 (1) 를 확장시키기 때문에, 테이프 (1) 의 항복점 (103) 을 파악할 수 있고, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 테이프 (1) 의 확장량에 대응하는 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리를 항복점 (103) 에 이르지 않는 값으로 설정하기 쉬워진다. 그 결과, 테이프 특성의 평가 방법은, 개개로 분할된 디바이스 (9) 끼리가 접촉하는 것을 억제할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30-2) 에 의해 실시되기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 테이프의 신축성 (100) 을 측정할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 냉각 장치가 테이프 (1) 를 냉각시키는 온도, 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 속도에 대응하여, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하기 때문에, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 조건에 가까운 상태에서 측정한 테이프의 신축성 (100) 에 기초하여, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 및 이동 속도를 설정할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할하는 확장 장치 (30-2) 에 의해 실시되기 때문에, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하는 전용의 장치를 사용하지 않고, 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가할 수 있다.
또, 실시형태 2 에 관련된 테이프 특성의 평가 방법은, 제 1 방향 (11) 과 제 2 방향 (12) 각각의 테이프의 신축성 (100) 을 측정하고, 평가하기 때문에, 실제로 피가공물 (4) 을 개개의 디바이스 (9) 로 분할할 때의 각 유지 유닛 (31-1, 31-2, 31-3, 31-4) 의 협지 부재 (54) 의 이동 거리 및 이동 속도를 설정할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변형하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 실시형태 1 및 실시형태 2 에서는, 제어 유닛 (40, 40-2) 이, 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 에 기초하여 항복점 (103) 을 산출하였지만, 본 발명에서는, 제어 유닛 (40, 40-2) 이, 항복점 (103) 을 산출하지 않고, 측정된 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 을 표시 유닛 (42) 에 표시해도 된다. 이 경우, 오퍼레이터가, 항복점 (103) 을 산출하거나, 항복점 (103) 을 산출하지 않고, 테이프 (1) 끼리의 테이프의 신축성 (100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4) 의 차 등으로부터 디바이스 (9) 로 분할할 때의 이동 거리, 이동 속도, 및 온도 등을 설정해도 된다.
1 : 테이프 (대상물)
5 : 환상 프레임
7 : 개구
11 : 제 1 방향
12 : 제 2 방향
13 : 제 3 방향 (경사 방향)
30, 30-2 : 확장 장치
31 : 유지 유닛 (유지 수단)
31-1 : 제 1 유지 유닛 (제 1 유지 수단, 유지 수단)
31-2 : 제 2 유지 유닛 (제 2 유지 수단, 유지 수단)
31-3 : 제 3 유지 유닛 (제 3 유지 수단, 유지 수단)
31-4 : 제 4 유지 유닛 (제 4 유지 수단, 유지 수단)
32 : 확장 유닛 (확장 수단)
33 : 이동 유닛 (이동 수단)
33-1 : 제 1 이동 유닛 (이동 수단)
33-2 : 제 2 이동 유닛 (이동 수단)
33-3 : 제 3 이동 유닛 (이동 수단)
33-4 : 제 4 이동 유닛 (이동 수단)
37, 37-2 : 모터
40, 40-2 : 제어 유닛 (제어 수단)
45, 45-2 : 확장부
46, 46-2 : 평가부
47, 47-2 : 산출부
100, 100-1, 100-2, 100-3, 100-4 : 테이프의 신축성 (테이프 특성)
103 : 항복점
104 : 이동 거리 (항복점에 이르는 확장량에 따른 값)
ST1 : 프레임 장착 스텝
ST2, ST2-2 : 유지 스텝
ST3, ST3-2 : 확장 스텝
ST4, ST4-2 : 평가 스텝

Claims (8)

  1. 테이프 특성의 평가 방법으로서,
    유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과,
    모터를 구동하여 테이프를 확장시키는 확장 스텝과,
    그 확장 스텝의 실시 중에 제어 수단에 의해 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    그 확장 스텝에 있어서는, 제 1 방향과 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향뿐만 아니라, 제 1 방향과 제 2 방향 사이의 경사 방향도 포함한 전방위로 테이프를 확장시키는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    그 평가 스텝에 있어서,
    그 토크값의 변화로부터 그 테이프가 항복점에 이르는 확장량에 따른 값을 산출하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.
  4. 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과,
    그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과,
    그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과,
    그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서,
    테이프를 그 환상 프레임의 개구에서 지지하는 프레임 장착 스텝과,
    그 유지 수단에 의해 그 환상 프레임을 유지하는 유지 스텝과,
    그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과,
    그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.
  5. 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과,
    그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과,
    그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과,
    그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치에 의해, 테이프를 평가하는 방법으로서,
    그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지하는 유지 스텝과,
    그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장 스텝과,
    그 확장 스텝의 실시 중에 그 제어 수단에 의해 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 테이프 특성의 평가 방법.
  6. 환상 프레임을 유지하는 유지 수단과,
    그 환상 프레임의 개구에 지지된 테이프보다 작은 외경을 갖는 확장 수단과,
    그 확장 수단과 그 유지 수단을 상대 이동시키는 모터를 갖는 이동 수단과,
    그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서,
    그 제어 수단은,
    그 유지 수단에 환상 프레임을 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여 그 확장 수단을 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와,
    그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여, 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.
  7. 제 1 방향에 있어서 확장되는 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 1 유지 수단과, 제 2 유지 수단과,
    그 제 1 방향에 직교하는 제 2 방향에 있어서 그 대상물을 사이에 두고 서로 대향하여 배치 형성되고, 각각 그 대상물을 유지하는 제 3 유지 수단과, 제 4 유지 수단과,
    그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 그 제 1 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 함과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 그 제 2 방향에 있어서 서로 이반되는 방향으로 이동 가능하게 하는 모터를 갖는 이동 수단과,
    그 모터를 제어하는 제어 수단을 구비한 확장 장치로서,
    그 제어 수단은,
    그 제 1 내지 그 제 4 유지 수단으로 테이프를 유지한 상태에서, 그 모터를 구동하여, 그 제 1 유지 수단과 그 제 2 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시킴과 함께 그 제 3 유지 수단과 그 제 4 유지 수단을 서로 이반되는 방향으로 일정량 이동시켜 테이프를 확장시키는 확장부와,
    그 확장부의 그 테이프의 확장 중에 그 모터에 가해지는 토크값을 측정하여 테이프의 신축성을 평가하는 평가부를 구비하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.
  8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,
    그 제어 수단은, 그 평가부가 평가한 테이프의 신축성에 기초하여, 그 테이프의 항복점을 산출하는 산출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 확장 장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110931382B (zh) * 2019-12-11 2022-04-08 湘能华磊光电股份有限公司 一种led晶粒的光电性能检测方法

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113438A (ja) * 1995-10-23 1997-05-02 Sekisui Chem Co Ltd 粘着テープの剥離試験器
JP2001225986A (ja) * 2000-02-16 2001-08-21 Ricoh Co Ltd シート材保持装置
JP2002334852A (ja) 2001-05-10 2002-11-22 Disco Abrasive Syst Ltd 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置
US8746054B2 (en) * 2008-05-09 2014-06-10 Nitto Denko Corporation Peel tester, method for evaluating impact peel characteristics, adhesive tape and mobile device
JP2014143297A (ja) 2013-01-24 2014-08-07 Disco Abrasive Syst Ltd 拡張装置および拡張方法
US8857253B2 (en) * 2012-02-14 2014-10-14 Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. Measuring device for measuring adhesive strength of two-sided adhesive tapes
JP2015211079A (ja) * 2014-04-24 2015-11-24 日東電工株式会社 ダイシング・ダイボンドフィルム
JP2016012636A (ja) * 2014-06-27 2016-01-21 株式会社ディスコ テープ拡張装置
KR20170039087A (ko) * 2014-05-27 2017-04-10 인터테이프 폴리머 코포레이션 테이프 밀봉 강도를 테스트하기 위한 테스팅 디바이스 및 방법

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100003119A1 (en) 2008-07-07 2010-01-07 Disco Corporation Method for picking up device attached with adhesive tape
JP5973883B2 (ja) * 2012-11-15 2016-08-23 株式会社荏原製作所 基板保持装置および研磨装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09113438A (ja) * 1995-10-23 1997-05-02 Sekisui Chem Co Ltd 粘着テープの剥離試験器
JP2001225986A (ja) * 2000-02-16 2001-08-21 Ricoh Co Ltd シート材保持装置
JP2002334852A (ja) 2001-05-10 2002-11-22 Disco Abrasive Syst Ltd 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置
US8746054B2 (en) * 2008-05-09 2014-06-10 Nitto Denko Corporation Peel tester, method for evaluating impact peel characteristics, adhesive tape and mobile device
US8857253B2 (en) * 2012-02-14 2014-10-14 Hong Fu Jin Precision Industry (Shenzhen) Co., Ltd. Measuring device for measuring adhesive strength of two-sided adhesive tapes
JP2014143297A (ja) 2013-01-24 2014-08-07 Disco Abrasive Syst Ltd 拡張装置および拡張方法
JP2015211079A (ja) * 2014-04-24 2015-11-24 日東電工株式会社 ダイシング・ダイボンドフィルム
KR20170039087A (ko) * 2014-05-27 2017-04-10 인터테이프 폴리머 코포레이션 테이프 밀봉 강도를 테스트하기 위한 테스팅 디바이스 및 방법
JP2016012636A (ja) * 2014-06-27 2016-01-21 株式会社ディスコ テープ拡張装置

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