CN110047769A - 带特性的评价方法和扩展装置 - Google Patents
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Abstract
提供带特性的评价方法和扩展装置，能够对实际的使带扩展的条件下的带特性进行测定。带特性的评价方法包含如下步骤：保持步骤(ST2)，利用保持单元对带进行保持；扩展步骤(ST3)，对电动机进行驱动而对带进行扩展；以及评价步骤(ST4)，在实施扩展步骤(ST3)的期间，通过控制单元来测定电动机的输出扭矩，从而对带的伸缩性进行评价。在评价步骤(ST4)中，根据电动机的输出扭矩的变化，对带到达屈服点时的扩展单元的移动量进行计算。
Description
技术领域
本发明涉及对带特性进行评价的带特性的评价方法和扩展装置。
背景技术
作为沿着切断线将粘贴在带上的被加工物分割成多个芯片的装置，使用了对带进行扩展的扩展装置(例如，参照专利文献1和专利文献2)。
专利文献1：日本特开2002-334852号公报
专利文献2：日本特开2014-143297号公报
专利文献1和专利文献2所记载的扩展装置在对粘贴在划片带和BG(Back Grind：粘胶)带等上的晶片等被加工物进行加工时，加工品质有时根据带的特性而不同。例如在将带粘贴于内部形成有改质层的晶片上并且对该带进行扩展而将晶片分割成芯片的情况下，芯片化的分割率根据作为带特性的伸缩性而不同。因此，专利文献1和专利文献2所记载的扩展装置需要按照各带对扩展的强度和扩展的量进行优化。因此，以往，专利文献1和专利文献2所记载的扩展装置使用了制造带的制造商所公开的特性和使用专用的带拉伸测定专用机械所测定出的特性。
但是，从带的制造方法上来看，在流动方向和垂直方向上作为带特性的伸缩性大多是不同的，伸缩性会根据拉伸带的方向而发生变化，并且在实际的带扩展的条件下也会在流动方向和垂直方向的伸缩性混合在一起的、流动方向与垂直方向之间的45度方向上对该带进行拉伸，因此在通常的拉伸测定专用机械中，难以对带扩展时的条件下的伸缩性进行测定。因此，期望在实际对带进行扩展的条件下对带特性进行测定。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于，提供能够对实际的使带扩展的条件下的带特性进行测定的带特性的评价方法和扩展装置。
为了解决上述课题并达成目的，本发明的带特性的评价方法的特征在于，包含如下的步骤：保持步骤，利用保持构件对带进行保持；扩展步骤，对电动机进行驱动而对带进行扩展；以及评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过控制构件来测定电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
在所述带特性的评价方法中，也可以是，在该扩展步骤中，不仅在第一方向和与第一方向垂直的第二方向上对带进行扩展，还在包含第一方向与第二方向之间的倾斜方向的整个方位内对带进行扩展。
在所述带特性的评价方法中，也可以是，在该评价步骤中，根据该扭矩值的变化对该带到达屈服点的扩展量所对应的值进行计算。
另外，本发明的带特性的评价方法通过扩展装置对带进行评价，该扩展装置具有：保持构件，其对环状框架进行保持；扩展构件，其具有比被支承在该环状框架的开口处的带小的外径；移动构件，其具有使该扩展构件与该保持构件相对移动的电动机；以及控制构件，其对该电动机进行控制，该带特性的评价方法的特征在于，包含如下的步骤：框架安装步骤，将带支承在该环状框架的开口处；保持步骤，通过该保持构件对该环状框架进行保持；扩展步骤，对该电动机进行驱动而使该扩展构件移动一定的量，从而对带进行扩展；以及评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过该控制构件来测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
另外，本发明的带特性的评价方法通过扩展装置对带进行评价，该扩展装置具有：第一保持构件和第二保持构件，它们在第一方向上隔着要扩展的对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；第三保持构件和第四保持构件，它们在与该第一方向垂直的第二方向上隔着该对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；移动构件，其具有电动机，该电动机能够使该第一保持构件和该第二保持构件在该第一方向上朝向相互分离的方向进行移动，并且能够使该第三保持构件和该第四保持构件在该第二方向上朝向相互分离的方向进行移动；以及控制构件，其对该电动机进行控制，该带特性的评价方法的特征在于，包含如下的步骤：保持步骤，利用该第一保持构件至该第四保持构件对带进行保持；扩展步骤，对该电动机进行驱动而使该第一保持构件和该第二保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使该第三保持构件和该第四保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带进行扩展；以及评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过该控制构件来测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
本发明的扩展装置具有：保持构件，其对环状框架进行保持；扩展构件，其具有比被支承在该环状框架的开口处的带小的外径；移动构件，其具有使该扩展构件与该保持构件相对移动的电动机；以及控制构件，其对该电动机进行控制，该扩展装置的特征在于，该控制构件具有：扩展部，其在将环状框架保持于该保持构件的状态下，对该电动机进行驱动而使该扩展构件移动一定的量，从而对带进行扩展；以及评价部，其在该扩展部对该带进行扩展的期间测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
本发明的扩展装置具有：第一保持构件和第二保持构件，它们在第一方向上隔着要扩展的对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；第三保持构件和第四保持构件，它们在与该第一方向垂直的第二方向上隔着该对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；移动构件，其具有电动机，该电动机能够使该第一保持构件和该第二保持构件在该第一方向上朝向相互分离的方向进行移动，并且能够使该第三保持构件和该第四保持构件在该第二方向上朝向相互分离的方向进行移动；以及控制构件，其对该电动机进行控制，该扩展装置的特征在于，该控制构件具有：扩展部，其在利用该第一保持构件至该第四保持构件对带进行保持的状态下，对该电动机进行驱动而使该第一保持构件和该第二保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使该第三保持构件和该第四保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带进行扩展；以及评价部，其在该扩展部对该带进行扩展的期间测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
在所述扩展装置中，也可以是，该控制构件具有计算部，该计算部根据该评价部所评价的带的伸缩性，对该带的屈服点进行计算。
本发明实现了能够对实际的使带扩展的条件下的带特性进行测定的效果。
附图说明
图1是示出作为实施方式1的带特性的评价方法和扩展装置的评价对象的带的立体图。
图2是示出粘贴有作为实施方式1的带特性的评价方法和扩展装置的评价对象的带的被加工物的一例的立体图。
图3是示出具有实施方式1的扩展装置的激光加工装置的主要部分的立体图。
图4是示出构成图3所示的激光加工装置的扩展装置所测定出的作为带特性的带的伸缩性的一例的图。
图5是示出实施方式1的带特性的评价方法的流程的流程图。
图6是示出图5所示的带特性的评价方法的框架安装步骤后的带等的立体图。
图7是示出图5所示的带特性的评价方法的保持步骤的扩展装置的主要部分的剖视图。
图8是示出图5所示的带特性的评价方法的扩展步骤的扩展装置的主要部分的剖视图。
图9是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的一例的图。
图10是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的其他例的图。
图11是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的另一其他例的图。
图12是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的又一其他例的图。
图13是示出实施实施方式2的带特性的评价方法的扩展装置的结构的立体图。
图14是示出实施方式2的带特性的评价方法的流程的流程图。
图15是示意性地示出图14所示的带特性的评价方法的保持步骤的扩展装置的俯视图。
图16是示意性地示出图14所示的带特性的评价方法的扩展步骤的扩展装置的俯视图。
标号说明
1：带(对象物)；5：环状框架；7：开口；11：第一方向；12：第二方向；13：第三方向(倾斜方向)；30、30-2：扩展装置；31：保持单元(保持构件)；31-1：第一保持单元(第一保持构件、保持构件)；31-2：第二保持单元(第二保持构件、保持构件)；31-3：第三保持单元(第三保持构件、保持构件)；31-4：第四保持单元(第四保持构件、保持构件)；32：扩展单元(扩展构件)；33：移动单元(移动构件)；33-1：第一移动单元(移动构件)；33-2：第二移动单元(移动构件)；33-3：第三移动单元(移动构件)；33-4：第四移动单元(移动构件)；37、37-2：电动机；40、40-2：控制单元(控制构件)；45、45-2：扩展部；46、46-2：评价部；47、47-2：计算部；100、100-1、100-2、100-3、100-4：带的伸缩性(带特性)；103：屈服点；104：移动距离(到达屈服点的扩展量所对应的值)；ST1：框架安装步骤；ST2、ST2-2：保持步骤；ST3、ST3-2：扩展步骤；ST4、ST4-2：评价步骤。
具体实施方式
参照附图对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细说明。本发明不受以下的实施方式所记载的内容所限定。另外，在以下所记载的构成要素中包含本领域技术人员能够容易想到的方式和实质上相同的方式。此外，能够对以下所记载的结构进行适当组合。另外，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或者变更。
〔实施方式1〕
根据附图对本发明的实施方式1的带特性的评价方法和扩展装置进行说明。图1是示出作为实施方式1的带特性的评价方法和扩展装置的评价对象的带的立体图。图2是示出粘贴有作为实施方式1的带特性的评价方法和扩展装置的评价对象的带的被加工物的一例的立体图。
实施方式1的带特性的评价方法是如下的方法：使图1所示的带1至少沿着第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展，测定扩展量所对应的值与抵抗扩展而想要缩小的力所对应的值之间的关系，从而对作为带特性的带的伸缩性100进行评价。图1所示的带1卷绕在辊2的外周面3上，例如，使加热后的树脂一边沿着第一方向11移动一边在第一方向11和与第一方向11垂直的第二方向12上延伸而卷绕在辊2的外周面3上。另外，在实施方式1中，第一方向11是所谓的流动方向(MD：Machine Direction)，第二方向12是所谓的垂直方向(TD：Transverse Direction)。
在实施方式1中，带1的第一方向11比第二方向12容易扩展(容易伸展)。另外，在实施方式1中，带1具有在加热时收缩的热收缩性。另外，在实施方式1中，带1具有由合成树脂构成的树脂层和层叠在树脂层上并且能够粘贴在图2所示的被加工物4上的粘合层，但在本发明中，也可以是不具有粘合层的所谓的片状或者膜状的结构。
在实施方式1中，如图2所示，带1被从辊2送出后其粘合层粘贴在被加工物4的正面6和环状框架5上，然后沿着环状框架5的外缘部进行切断，将被加工物4支承在环状框架5的开口7的内侧。在实施方式1中，被加工物4是以硅、蓝宝石、砷化镓或SiC(碳化硅)等为基板的圆板状的半导体晶片或光器件晶片。如图2所示，被加工物4具有如下的正面6：在该正面6的由相互交叉的多条直线状的分割预定线8划分的各区域中分别形成有器件9。在实施方式1中，被加工物4被从正面6的相反侧的背面10侧沿着分割预定线8照射具有透过性的波长的激光光线，在内部形成沿着分割预定线8的作为断裂起点的改质层。通过使带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向的环状框架5的外周方向进行扩展，被加工物4被分割成各个器件9。
另外，改质层是指成为密度、折射率、机械强度以及其他物理特性与周围的特性不同的状态的区域，能够例示出熔融处理区域、裂纹区域、绝缘破坏区域、折射率变化区域以及混合了这些区域的区域等。这样，实施方式1的带1适合用于在粘贴于被加工物4的状态下进行扩展，从而以改质层为起点将被加工物4分割成各个器件9。另外，在实施方式1中，被加工物4在内部形成有作为断裂起点的改质层，但在本发明中，可以从正面6侧实施切削加工而形成作为断裂起点的切削槽，也可以从正面6侧实施激光烧蚀加工而形成作为断裂起点的激光加工槽。
实施方式1的带特性的评价方法利用构成图3所示的加工装置(即激光加工装置20)的扩展装置30来实施。接着，参照附图对图3所示的激光加工装置20进行说明。图3是示出具有实施方式1的扩展装置的激光加工装置的主要部分的立体图。图4是示出构成图3所示的激光加工装置的扩展装置所测定出的作为带特性的带的伸缩性的一例的图。
图3所示的激光加工装置20是如下的装置：在被带1支承于环状框架5的开口7的内侧的被加工物4中形成了沿着分割预定线8的改质层之后，将被加工物4分割成各个器件9。激光加工装置20具有：未图示的卡盘工作台，其对被加工物4进行保持；未图示的激光光线照射单元，其向保持在卡盘工作台上的被加工物4照射激光光线；以及盒升降机22，其设置有收纳被加工物4的盒21，并且使盒21沿着铅直方向进行升降。另外，激光加工装置20具有：搬出搬入单元23，其相对于盒21取出或放入被加工物4；未图示的第1搬送单元，其对被加工物4在搬出搬入单元23和卡盘工作台之间进行搬送；扩展装置30，其对粘贴在形成有改质层的被加工物4上的带1进行扩展；以及第2搬送单元24，其对被加工物4在搬出搬入单元23和扩展装置30之间进行搬送。
在激光加工装置20中，搬出搬入单元23将盒21内的被加工物4向盒21外搬出，第1搬送单元将被搬出到盒21外的被加工物4搬送至卡盘工作台。在激光加工装置20中，在卡盘工作台对被加工物4进行了保持之后，激光光线照射单元向被加工物4照射激光光线而形成改质层。在激光加工装置20中，第1搬送单元将形成有改质层的被加工物4从卡盘工作台搬送至搬出搬入单元23，第2搬送单元24将形成有改质层的被加工物4从搬出搬入单元23搬送至扩展装置30。在激光加工装置20中，扩展装置30对带1进行扩展，以改质层为起点沿着分割预定线8将被加工物4分割成各个器件9。在激光加工装置20中，第2搬送单元24和搬出搬入单元23依次将被分割成各个器件9的被加工物4从扩展装置30搬送至盒21内。另外，激光加工装置20具有未图示的冷却装置，在扩展装置30对带1进行扩展时，该冷却装置至少对带1进行冷却。冷却装置例如将带1的周围的气氛冷却至-15℃到0℃的范围内。
扩展装置30是对粘贴在形成有改质层的被加工物4上的带1进行扩展而将被加工物4分割成各个器件9的装置。如图3所示，扩展装置30具有作为保持构件的保持单元31、作为扩展构件的扩展单元32、作为移动构件的移动单元33以及作为控制构件的控制单元40。
保持单元31是对环状框架5进行保持的构件。保持单元31具有圆筒状的基座34和多个夹具部35，该基座34安装于激光加工装置20的装置主体25。基座34形成为内外直径与环状框架5的内外直径大致相等，上表面36与水平方向平行地平坦形成。基座34在上表面36上载置环状框架5。
多个夹具部35沿基座34的周向等间隔地配置并且安装在基座34的外周面上。夹具部35将载置在基座34的上表面36上的环状框架5夹在夹具部35与基座34之间，从而对环状框架5进行保持。
扩展单元32是形成为具有比被支承在环状框架5的开口7处的带1小的外径的圆筒状的构件。扩展单元32形成为圆筒状，其外径形成为比基座34和环状框架5的内径小，其内径形成为比粘贴于带1的被加工物4的外径大。扩展单元32配置在基座34的内周侧，并且配置在与基座34同轴的位置。
移动单元33具有使扩展单元32和保持单元31沿着铅直方向进行相对移动的电动机37。在实施方式1中，移动单元33使扩展单元32沿着铅直方向进行移动，从而使扩展单元32相对于保持单元31的基座34沿着铅直方向进行相对移动。另外，在实施方式1中，移动单元33使扩展单元32沿着铅直方向在使扩展单元32的上端与基座34的上表面36位于同一平面上的位置和使扩展单元32的上端位于比基座34的上表面36靠上方的位置的整个范围内进行移动。
移动单元33具有：滚珠丝杠38，其利用电动机37绕轴心进行旋转，通过绕轴心进行旋转而使扩展单元32沿着铅直方向进行移动；以及检测单元39，其检测扩展单元32的上端在铅直方向上距离预先设定的基准位置的位置。检测单元39将检测结果向控制单元40输出。
控制单元40经由驱动器41与电动机37连接，并且对电动机37进行控制而使扩展装置30实施对带1的扩展动作。另外，控制单元40分别对激光加工装置20的各构成要素进行控制，使激光加工装置20对被加工物4实施加工动作。另外，控制单元40是计算机，其具有：运算处理装置，其具有CPU(central processing unit：中央处理单元)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(read only memory：只读存储器)或者RAM(random access memory：随机存取存储器)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制单元40的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，将用于对激光加工装置20进行控制的控制信号经由输入输出接口装置输出到激光加工装置20的各构成要素。
控制单元40与显示单元42和输入单元43连接，该显示单元42由对加工动作的状态、图像等进行显示的液晶显示装置等构成，该输入单元43在操作员对加工内容信息等进行登记时使用。输入单元43由设置在显示单元42上的触摸面板和键盘等外部输入装置中的至少一个构成。
另外，扩展装置30在基座34的内周侧与扩展单元32的外周侧之间具有加热器44，在对带1进行扩展后，该加热器44对带1的被加工物4与环状框架5之间的部分进行加热。
在上述扩展装置30中，在周围被冷却装置冷却并且扩展单元32的上端与基座34的上表面36位于同一平面上的状态下，利用第2搬送单元24将环状框架5载置在基座34的上表面36上，其中，该环状框架5将形成有改质层的被加工物4支承在开口7处。扩展装置30的控制单元40使夹具部35将环状框架5夹在基座34的上表面36与夹具部35之间，从而对环状框架5进行保持。此时，扩展装置30的扩展单元32的上端与带1抵接。
扩展装置30的控制单元40对电动机37进行驱动而使扩展单元32向上方移动。这样，由于带1与扩展单元32的上端抵接，因此随着扩展单元32的移动，带1在包含第一方向11和第二方向12这两个方向以及第一方向11与第二方向12之间的倾斜方向即第三方向13(图2所示)的整个方位内朝向外周方向呈放射状地进行扩展。带1的扩展结果为，拉伸力呈放射状地作用于带1。这样，当拉伸力呈放射状地作用于粘贴在被加工物4的正面6上的带1时，由于被加工物4沿着分割预定线8形成有改质层，所以以改质层为基点沿着分割预定线8被分割成各个器件9，并且器件9之间的距离扩大，在器件9之间形成间隔。
在对带1进行扩展后，扩展装置30的控制单元40开始利用加热器44对带1的被加工物4与环状框架5之间的部分进行加热，然后利用电动机37使扩展单元32下降，将扩展单元32的上端定位在与基座34的上表面36为同一平面上。这样，扩展装置30的控制单元40使带1的被加工物4与环状框架5之间的部分收缩，使得在扩展单元32的上端与基座34的上表面36被定位在同一平面上之后仍继续维持器件9间的间隔。在对带1进行了扩展和加热后，扩展装置30的控制单元40解除夹具部35对环状框架5的保持，利用第2搬送单元24将基座34的上表面36上的环状框架5的开口7处所支承的被加工物4搬送至搬出搬入单元23。
另外，在扩展装置30的控制单元40中设定有将被加工物4分割成各个器件时的扩展单元32的移动速度、移动距离、冷却装置冷却带1的温度。为了设定将被加工物4分割成各个器件9时的扩展单元32的移动速度、移动距离、冷却装置冷却带1的温度，上述扩展装置30实际地对带1在包含第一方向11和第二方向12这两个方向以及第三方向13的整个方位内朝向外周方向呈放射状地进行扩展，从而对作为带1的特性的图4所示的带的伸缩性100进行测定、评价。
图4所示的带的伸缩性100表示与对粘贴于环状框架5的带1进行保持后的经过时间相对的电动机37的扭矩值(即电动机37的输出扭矩)和扩展单元32的上端在铅直方向上离基准位置的距离。图4的横轴表示经过时间，左侧的纵轴表示额定扭矩为100％时的电动机37的输出扭矩，右侧的纵轴表示扩展单元32的上端在铅直方向上离基准位置的距离。
电动机37的输出扭矩是抵抗带1的扩展而想要缩小的力所对应的值，在图4中以实线示出。扩展单元32的上端在铅直方向上离基准位置的距离是与带1的扩展量对应的值，在图4中以点划线示出。另外，在开始带1的扩展之后电动机37的输出扭矩与扩展单元32的上端离基准位置的距离成比例的范围是带1的弹性区域101，在开始带1的扩展之后电动机37的输出扭矩与扩展单元32的上端离基准位置的距离不成比例的范围是带1的塑性区域102，电动机37的输出扭矩在弹性区域101与塑性区域102之间的边界是带1的屈服点103。
在实施方式1中，在扩展装置30对图4所示的带的伸缩性100进行测定时，准备没有粘贴被加工物4并且外周缘粘贴于环状框架5的带1，将粘贴于该带1的环状框架5保持在保持单元31上，以超过屈服点103的方式对带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向的外周方向呈放射状地进行扩展。
为了对图4所示的带的伸缩性100进行测定、评价，如图3所示，扩展装置30的控制单元40具有扩展部45、评价部46以及计算部47。
扩展部45在将环状框架5保持于保持单元31的状态下对电动机37进行驱动而使扩展单元32从上端与基座34的上表面36位于同一平面上的状态起朝向上方移动一定的量，使带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向的外周方向呈放射状地进行扩展。在保持单元31对粘贴于带1的环状框架5进行保持之后，扩展部45使扩展单元32从上端与基座34的上表面36位于同一平面上的状态起以由输入单元43设定的移动速度朝向上方移动一定的量。另外，一定的量由输入单元43来设定，是超过屈服点103的值。
评价部46在扩展部45对带1进行扩展的期间对电动机37的输出扭矩进行测定，从而对带的伸缩性100进行测定、评价。评价部46在扩展部45对带1进行扩展的期间参照驱动器41赋予给电动机37的电压值和流过电动机37的电流值中的至少一方，对电动机37的输出扭矩进行计算，并将计算出的电动机37的输出扭矩与经过时间对应起来进行存储。另外，评价部46在扩展部45对带1进行扩展的期间根据检测单元39的检测结果，对扩展单元32的上端离基准位置的距离进行计算，并将计算出的扩展单元32的上端离基准位置的距离与经过时间对应起来进行存储。这样，评价部46计算出在图4中示出一例的带的伸缩性100并进行存储。另外，在实施方式1中，评价部46将在图4中示出一例的带的伸缩性100与在扩展部45对带1进行扩展时所设定的扩展单元32的移动速度和冷却装置冷却带1的温度对应起来进行存储。
计算部47根据评价部46所测定并评价的带的伸缩性100，对带1的屈服点103进行计算。在实施方式1中，计算部47根据在图4中示出一例的带的伸缩性100(即电动机37的输出扭矩的变化等)，对从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104进行计算。另外，从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104是从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的带1的扩展量所对应的值。计算部47将计算出的从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104与在图4中示出一例的带的伸缩性100对应起来进行存储。
在实施方式1中，扩展装置30的控制单元40将评价部46所测定并评价的带的伸缩性100和计算部47所计算出的从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104显示于显示单元42，但在本发明中，也可以输出给与控制单元40连接的外部输出装置。
另外，扩展部45的功能是通过如下方式实现的：控制单元40的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理。评价部46的功能是通过如下方式实现的：控制单元40的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，并将计算出的带的伸缩性100存储于存储装置。计算部47的功能是通过如下方式实现的：控制单元40的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，并将计算出的从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104存储于存储装置。
接着，对实施方式1的带特性的评价方法进行说明。图5是示出实施方式1的带特性的评价方法的流程的流程图。图6是示出图5所示的带特性的评价方法的框架安装步骤后的带等的立体图。图7是示出图5所示的带特性的评价方法的保持步骤的扩展装置的主要部分的剖视图。图8是示出图5所示的带特性的评价方法的扩展步骤的扩展装置的主要部分的剖视图。图9是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的一例的图。图10是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的其他例的图。图11是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的另一其他例的图。图12是示出在图5所示的带特性的评价方法的评价步骤中所测定出的带的伸缩性的又一其他例的图。
实施方式1的带特性的评价方法是利用实施方式1的激光加工装置20的扩展装置30对作为带特性的带的伸缩性100进行评价的方法。如图5所示，实施方式1的带特性的评价方法包含框架安装步骤ST1、保持步骤ST2、扩展步骤ST3以及评价步骤ST4。
框架安装步骤ST1是将带1支承在环状框架5的开口7处的步骤。在框架安装步骤ST1中，使用公知的安装装置等将从辊2送出的带1粘贴于环状框架5，然后沿着环状框架5的外缘部将带1切断，以使得如图6所示的那样带1将开口7封住。然后，在框架安装步骤ST1中，将如图6所示的那样外缘部粘贴于环状框架5并且封住了开口7的带1收纳到激光加工装置20的盒21内，接着进入保持步骤ST2。
保持步骤ST2是利用保持单元31对带1进行保持的步骤。在实施方式1中，在保持步骤ST2中，激光加工装置20的操作员对输入单元43进行操作，控制单元40将盒21内的外缘部粘贴在环状框架5上的带1取出，并将环状框架5载置在扩展装置30的基座34的上表面36上。在保持步骤ST2中，如图7所示，控制单元40利用保持单元31的夹具部35将环状框架5保持在基座34上，然后进入扩展步骤ST3和评价步骤ST4。
扩展步骤ST3是如下的步骤：对电动机37进行驱动而使带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向以及第一方向11与第二方向12之间的倾斜方向即第三方向13(图2示出)的整个方位内呈放射状地进行扩展。在扩展步骤ST3中，操作员对输入单元43进行操作，设定对带的伸缩性100进行测定、评价时的冷却装置冷却带1的温度、扩展单元32的移动距离(相当于上述一定的量)以及扩展单元32的移动速度。在扩展步骤ST3中，当操作员对温度、移动距离以及移动速度的设定完成时，控制单元40的扩展部45对电动机37进行驱动，如图8所示，使扩展单元32以所设定的移动速度从上端与基座34的上表面36位于同一平面上的状态起朝向上方移动所设定的一定的量的移动距离，从而使带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向的外周方向呈放射状地进行扩展。
评价步骤ST4是如下的步骤：在实施扩展步骤ST3的期间，利用控制单元40来测定电动机37的输出扭矩，从而对带的伸缩性100进行评价。在评价步骤ST4中，控制单元40的评价部46每过一定的时间便对电动机37的输出扭矩和扩展单元32离基准位置的距离进行计算，并与经过时间对应起来而存储为在图9、图10、图11和图12中示出的带的伸缩性100-1、100-2、100-3、100-4。
另外，图9、图10、图11和图12的横轴表示经过时间，纵轴的零的下侧表示额定扭矩为100％时的电动机37的输出扭矩，纵轴的零的上侧表示扩展单元32的上端在铅直方向上离基准位置的距离。在图9、图10、图11和图12中用实线示出电动机37的输出扭矩，用点划线示出扩展单元32的上端在铅直方向上离基准位置的距离。在图9、图10、图11和图12所示的带的伸缩性100-1、100-2、100-3、100-4中，对与图4所示的带的伸缩性100对应的部分标注相同的标号。
图9和图10示出了冷却装置对带1进行冷却的温度为0℃时的带的伸缩性100-1、100-2，图11和图12示出了冷却装置对带1进行冷却的温度为-15℃时的带的伸缩性100-3、100-4。图9和图11示出了扩展单元32的移动速度为0.5mm/sec时的带的伸缩性100-1、100-3，图10和图12示出了扩展单元32的移动速度为1.0mm/sec时的带的伸缩性100-2、100-4。
在评价步骤ST4中，当在扩展步骤ST3中扩展单元32的一定的量的移动完成并且带的伸缩性100的测定完成时，控制单元40的计算部47根据带的伸缩性100(即电动机37的输出扭矩的变化等)，计算从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104并进行存储，并且控制单元40将所测定并评价的带的伸缩性100和从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104显示于显示单元42。当在评价步骤ST4中完成了对从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的扩展单元32的移动距离104的计算、存储等时，结束带特性的评价方法。
实施方式1的带特性的评价方法在实施对带1进行扩展的扩展步骤ST3时对电动机37的输出扭矩等进行测定，因此能够容易地对带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，实施方式1的带特性的评价方法在扩展步骤ST3中使带1向包含第一方向11和第二方向12这两个方向的外周方向呈放射状地进行扩展，因此与仅向一个方向扩展而对带特性进行测定的现有方法相比，能够在将被加工物4分割成各个器件9时对实际的使带1扩展的条件下的带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，实施方式1的带特性的评价方法在扩展步骤ST3中以超过屈服点103的方式对带1进行扩展，因此能够掌握带1的屈服点103，从而容易将被加工物4被分割成各个器件9时的与带1的扩展量对应的扩展单元32的移动距离设定为不会到达屈服点103的值。其结果为，在带特性的评价方法中，当环状框架5与被加工物4之间的没有粘贴被加工物4的带1的剩余部分在扩展后被加热而收缩时，带1的粘贴于被加工物4的部分也随着被拉伸而使器件9间的间隔变大，从而能够抑制各个分割而得的器件9彼此接触。
另外，实施方式1的带特性的评价方法利用将被加工物4分割成各个器件9的扩展装置30来实施，因此能够在与将被加工物4分割成各个器件9的条件相近的状态下对带的伸缩性100进行测定。
另外，在实施方式1的带特性的评价方法中，与冷却装置冷却带1的温度、扩展单元32的移动速度对应地对带的伸缩性100进行测定，因此能够根据在与将被加工物4分割成各个器件9的条件相近的状态下测定出的带的伸缩性100，设定实际地将被加工物4分割成各个器件9时的扩展单元32的移动距离、移动速度以及冷却温度。
另外，实施方式1的带特性的评价方法利用将被加工物4分割成各个器件9的扩展装置30来实施，因此不使用对带的伸缩性100进行测定的专用装置，也能够对带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，实施方式1的扩展装置30构成了激光加工装置20，但在本发明中，也可以与激光加工装置20分开设置。
〔实施方式2〕
参照附图对本发明的实施方式2的带特性的评价方法和扩展装置进行说明。图13是示出实施实施方式2的带特性的评价方法的扩展装置的结构的立体图。图14是示出实施方式2的带特性的评价方法的流程的流程图。图15是示意性地示出图14所示的带特性的评价方法的保持步骤的扩展装置的俯视图。图16是示意性地示出图14所示的带特性的评价方法的扩展步骤的扩展装置的俯视图。另外，在图13、图14、图15和图16中对与实施方式1相同的部分标注相同的标号并省略说明。
实施方式2的扩展装置30-2是如下的装置：对粘贴着形成有改质层的被加工物4的对象物即带1向第一方向11和第二方向12进行扩展，从而将被加工物4分割成各个器件9。如图13所示，扩展装置30-2具有固定基台50、设置于固定基台50的中央的保持工作台51、作为第一保持构件的第一保持单元31-1、作为第二保持构件的第二保持单元31-2、作为第三保持构件的第三保持单元31-3、作为第四保持构件的第四保持单元31-4、作为移动构件的第一移动单元33-1、作为移动构件的第二移动单元33-2、作为移动构件的第三移动单元33-3、作为移动构件的第四移动单元33-4、以及作为控制构件的控制单元40-2。
保持工作台51为圆板状，其上表面52沿着水平方向平坦形成，在上表面52上载置带1。第一保持单元31-1和第二保持单元31-2在第一方向11上隔着对要扩展的带1进行载置的保持工作台51而相互对置配设。即，第一保持单元31-1和第二保持单元31-2沿着第一方向11相互对置，将保持工作台51定位于第一保持单元31-1和第二保持单元31-2之间。
第三保持单元31-3和第四保持单元31-4在第二方向12上隔着对要扩展的带1进行载置的保持工作台51而相互对置配设。即，第三保持单元31-3和第四保持单元31-4沿着第二方向12相互对置，将保持工作台51定位于第三保持单元31-3和第四保持单元31-4之间。
第一保持单元31-1、第二保持单元31-2、第三保持单元31-3和第四保持单元31-4分别对带1进行夹持而保持。第一保持单元31-1、第二保持单元31-2、第三保持单元31-3和第四保持单元31-4的结构大致相互相同，对相同部分标注相同的标号来进行说明
第一保持单元31-1、第二保持单元31-2、第三保持单元31-3和第四保持单元31-4具有：一对夹持部件54，它们以沿铅直方向移动自如的方式设置在柱状的移动基台53上，该移动基台53设置在固定基台50上；以及移动机构55，其使一对夹持部件54向相互接近的方向和相互远离的方向进行移动。一对夹持部件54在铅直方向上相互隔开间隔而配置，通过移动机构55来相互接近，从而将带1夹持在彼此之间而进行保持。移动机构55设置在移动基台53上。另外，设置有各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的一对夹持部件54和移动机构55的移动基台53以沿第一方向11或第二方向12移动自如的方式设置在固定基台50上。
第一移动单元33-1和第二移动单元33-2能够使第一保持单元31-1和第二保持单元31-2在第一方向11上朝向相互远离的方向进行移动。在实施方式2中，第一移动单元33-1使设置有第一保持单元31-1的移动基台53相对于固定基台50沿第一方向11进行移动。在实施方式2中，第二移动单元33-2使设置有第二保持单元31-2的移动基台53相对于固定基台50沿第一方向11进行移动。
第三移动单元33-3和第四移动单元33-4能够使第三保持单元31-3和第四保持单元31-4在第二方向12上朝向相互远离的方向进行移动。在实施方式2中，第三移动单元33-3使设置有第三保持单元31-3的移动基台53相对于固定基台50沿第二方向12进行移动。在实施方式2中，第四移动单元33-4使设置有第四保持单元31-4的移动基台53相对于固定基台50沿第二方向12进行移动。
第一移动单元33-1、第二移动单元33-2、第三移动单元33-3和第四移动单元33-4的结构大致相互相同，因此对相同的部分标注相同的标号并省略说明。
第一移动单元33-1、第二移动单元33-2、第三移动单元33-3和第四移动单元33-4具有：电动机37-2，其经由驱动器41与控制单元40-2连接，并且能够使保持单元31-1、31-2、31-3、31-4向第一方向11或第二方向12进行移动；滚珠丝杠38-2，其利用电动机37-2绕轴心进行旋转而使移动基台53向第一方向11或第二方向12移动；以及检测单元39-2，其对保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54在第一方向11或第二方向12上离预先设定的基准位置的位置进行检测。检测单元39-2将检测结果输出给控制单元40-2。另外，扩展装置30-2具有对带1进行冷却的未图示的冷却装置。
控制单元40-2经由驱动器41与电动机37-2连接，并且对电动机37-2进行控制而使扩展装置30-2对带1实施扩展动作。另外，控制单元40-2分别对扩展装置30-2的各构成要素进行控制。另外，控制单元40-2是计算机，其具有：运算处理装置，其具有CPU(centralprocessing unit)那样的微处理器；存储装置，其具有ROM(read only memory)或者RAM(random access memory)那样的存储器；以及输入输出接口装置。控制单元40-2的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，将用于对扩展装置30-2进行控制的控制信号经由输入输出接口装置输出到扩展装置30-2的各构成要素。
控制单元40-2与显示单元42和输入单元43连接，该显示单元42由对加工动作的状态、图像等进行显示的液晶显示装置等构成，该输入单元43在操作员对加工内容信息等进行登记时使用。输入单元43由设置在显示单元42上的触摸面板和键盘等外部输入装置中的至少一个构成。
在上述扩展装置30-2中，在周围被冷却装置冷却后的状态下，在保持工作台51的上表面52上载置带1，在该带1上粘贴有被加工物4，在该被加工物4中形成有改质层。扩展装置30-2的控制单元40-2对保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的移动机构55进行控制，将带1夹持在一对夹持部件54之间而进行保持。
扩展装置30-2的控制单元40-2对电动机37-2进行驱动而利用移动单元33-1、33-2、33-3、33-4使保持单元31-1、31-2、31-3、31-4在第一方向11或第二方向12上向分离的方向进行移动。这样，带1伴随着保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的移动而向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展。带1的扩展结果为，第一方向11和第二方向12的拉伸力作用于带1。这样，当第一方向11和第二方向12的拉伸力作用于粘贴有被加工物4的带1时，由于被加工物4沿着分割预定线8形成有改质层，因此以改质层为基点沿着分割预定线8被分割成各个器件9。
在对带1进行了扩展后，扩展装置30-2的控制单元40-2利用电动机37-2使保持单元31-1、31-2、31-3、31-4移动到扩展前的位置，然后解除保持单元31-1、31-2、31-3、31-4对带1的保持。
在实施方式2的扩展装置30-2中设定有将被加工物4分割成各个器件9时的保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的沿第一方向11和第二方向12的移动速度、移动距离以及冷却装置冷却带1的温度。为了设定将被加工物4分割成各个器件9时的保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的沿第一方向11和第二方向12的移动速度、移动距离、冷却装置冷却带1的温度，扩展装置30-2实际地对带1在第一方向11和第二方向12这两个方向上进行扩展，从而与实施方式1同样地对第一方向11和第二方向12各自的带的伸缩性100进行测定、评价。
在实施方式2中，在扩展装置30-2对带的伸缩性100进行测定时，将没有粘贴被加工物4的带1保持在保持单元31-1、31-2、31-3、31-4上，以超过屈服点103的方式使带1向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展。
为了对带的伸缩性100进行测定、评价，如图13所示，扩展装置30-2的控制单元40-2具有扩展部45-2、评价部46-2、计算部47-2。
扩展部45-2在利用第一至第四保持单元31-1、31-2、31-3、31-4对带1进行保持的状态下，对各移动单元33-1、33-2、33-3、33-4的电动机37-2进行驱动而使第一保持单元31-1和第二保持单元31-2朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使第三保持单元31-3和该第四保持单元31-4朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带1向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展。在保持单元31-1、31-2、31-3、31-4对带1进行了保持之后，扩展部45-2使第一保持单元31-1和第二保持单元31-2以由输入单元43设定的移动速度朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使第三保持单元31-3和该第四保持单元31-4以由输入单元43设定的移动速度向相互分离的朝向移动一定的量。另外，一定的量由输入单元43来设定，是超过屈服点103的值。
评价部46-2在扩展部45-2对带1进行扩展的期间对各移动单元33-1、33-2、33-3、33-4的电动机37-2的输出扭矩进行测定，从而对带的伸缩性100进行测定、评价。评价部46-2在扩展部45-2对带1进行扩展的期间参照各驱动器41赋予给各电动机37-2的电压值和流过电动机37-2的电流值中的至少一方，对各电动机37-2的输出扭矩进行计算，将计算出的各电动机37-2的输出扭矩与经过时间对应起来进行存储。另外，评价部46-2在扩展部45-2对带1进行扩展的期间根据检测单元39-2的检测结果，对各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离进行计算，将计算出的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离与经过时间对应起来进行存储。这样，评价部46-2存储第一方向11和第二方向12各自的带的伸缩性100。另外，在实施方式2中，评价部46-2将带的伸缩性100与在扩展部45-2对带1进行扩展时所设定的保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的移动速度和冷却装置冷却带1的温度对应起来进行存储。
计算部47-2根据评价部46-2所测定并评价的带的伸缩性100，对带1的屈服点103进行计算。在实施方式2中，计算部47-2根据带的伸缩性100(即电动机37-2的输出扭矩的变化等)，对从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54在第一方向11和第二方向12上分别移动的移动距离进行计算。另外，从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离是与从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的带1的扩展量对应的值。计算部47-2将计算出的从带1开始扩展起到达到屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离与带的伸缩性100对应起来进行存储。
在实施方式2中，扩展装置30-2的控制单元40-2将评价部46-2所测定并评价的带的伸缩性100和计算部47-2所计算出的从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离显示于显示单元42，但在本发明中，也可以输出给与控制单元40连接的外部输出装置。
另外，扩展部45-2的功能是通过如下方式实现的：控制单元40-2的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理。评价部46-2的功能是通过如下方式实现的：控制单元40-2的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，将计算出的带的伸缩性100存储于存储装置。计算部47-2的功能是通过如下方式实现的：控制单元40的运算处理装置根据存储于存储装置的计算机程序来实施运算处理，将计算出的从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离存储在存储装置中。
实施方式2的带特性的评价方法是利用实施方式2的扩展装置30-2对作为带特性的带的伸缩性100进行评价的方法。如图14所示，实施方式2的带特性的评价方法包含保持步骤ST2-2、扩展步骤ST3-2、评价步骤ST4-2。
保持步骤ST2-2是利用第一至第四保持单元31-1、31-2、31-3、31-4对带1进行保持的步骤。在实施方式2中，在保持步骤ST2中，将没有粘贴被加工物4的带1载置在保持工作台51的上表面52上。在保持步骤ST2-2中，如图15所示，控制单元40-2将带1夹在保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的一对夹持部件54之间而进行保持，然后进入扩展步骤ST3-2和评价步骤ST4-2。
扩展步骤ST3-2是如下步骤：对各移动单元33-1、33-2、33-3、33-4的电动机37-2进行驱动而使第一保持单元31-1和第二保持单元31-2朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使第三保持单元31-3和第四保持单元31-4朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带1向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展。在扩展步骤ST3-2中，操作员对输入单元43进行操作，设定对带的伸缩性100进行测定、评价时的冷却装置冷却带1的温度、各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离(相当于上述一定的量)以及各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动速度。在扩展步骤ST3-2中，当操作员对温度、移动距离和移动速度的设定完成时，控制单元40-2的扩展部45-2对各移动单元33-1、33-2、33-3、33-4的电动机37-2进行驱动，如图16所示，使各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54以所设定的移动速度移动所设定的一定的量的移动距离，从而对带1向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展。
评价步骤ST4-2是如下的步骤：在实施扩展步骤ST3-2的期间，利用控制单元40-2来测定各移动单元33-1、33-2、33-3、33-4的电动机37-2的输出扭矩，从而对带的伸缩性100进行评价。在评价步骤ST4-2中，控制单元40-2的评价部46-2与实施方式1同样地每过一定时间便对各电动机37-2的输出扭矩、各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离进行计算，并与经过时间对应起来而存储为第一方向11和第二方向12各自的带的伸缩性100。
在评价步骤ST4-2中，当在扩展步骤ST3-2中各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的一定的量的移动完成并且对带的伸缩性100的测定完成时，控制单元40-2的计算部47-2根据所测定出的带的伸缩性100(即电动机37-2的输出扭矩的变化等)，对从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离进行计算、存储，并且控制单元40-2将所测定并评价的带的伸缩性100和从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离显示于显示单元42。当在评价步骤ST4-2中对从带1开始扩展起至到达屈服点103为止的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离的计算、存储等完成时，结束带特性的评价方法。
实施方式2的带特性的评价方法与实施方式1相同，在实施对带1进行扩展的扩展步骤ST3-2的期间对电动机37-2的输出扭矩等进行测定，因此能够容易地对带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，在实施方式2的带特性的评价方法中，在扩展步骤ST3-2中对带1向第一方向11和第二方向12这两个方向进行扩展，因此与仅向一个方向进行扩展的现有方法相比，能够在将被加工物4分割成各个器件9时对实际的使带1扩展的条件下的带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，在实施方式2的带特性的评价方法中，在扩展步骤ST3-2中以超过屈服点103的方式对带1进行扩展，因此能够掌握带1的屈服点103，从而容易将被加工物4被分割成各个器件9时的与带1的扩展量对应的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离设定为不会到达屈服点103的值。其结果为，带特性的评价方法能够抑制各个分割而得的器件9彼此接触。
另外，实施方式2的带特性的评价方法通过将被加工物4分割成各个器件9的扩展装置30-2来实施，因此能够在与将被加工物4分割成各个器件9的条件相近的状态下对带的伸缩性100进行测定。
另外，在实施方式2的带特性的评价方法中，与冷却装置冷却带1的温度、各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动速度对应地对带的伸缩性100进行测定，因此能够根据在与将被加工物4分割成各个器件9的条件相近的状态下所测定出的带的伸缩性100，设定实际地将被加工物4分割成各个器件9时的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离和移动速度。
另外，实施方式2的带特性的评价方法利用将被加工物4分割成各个器件9的扩展装置30-2来实施，因此不使用对带的伸缩性100进行测定的专用装置，也能够对带的伸缩性100进行测定、评价。
另外，在实施方式2的带特性的评价方法中，对第一方向11和第二方向12各自的带的伸缩性100进行测定、评价，因此能够设定实际地将被加工物4分割成各个器件9时的各保持单元31-1、31-2、31-3、31-4的夹持部件54的移动距离和移动速度。
另外，本发明不限定于上述实施方式。即，能够在不脱离本发明的主旨的范围内实施各种变形。例如，在实施方式1和实施方式2中，控制单元40、40-2根据带的伸缩性100、100-1、100-2、100-3、100-4来计算屈服点103，但在本发明中，控制单元40、40-2也可以不对屈服点103进行计算，而是将测定出的带的伸缩性100、100-1、100-2、100-3、100-4显示于显示单元42。在该情况下，操作员也可以对屈服点103进行计算、或者不对屈服点103进行计算而根据带1彼此之间的带的伸缩性100、100-1、100-2、100-3、100-4的差等来设定分割成器件9时的移动距离、移动速度和温度等。
Claims (8)
1.一种带特性的评价方法，其特征在于，该带特性的评价方法包含如下的步骤：
保持步骤，利用保持构件对带进行保持；
扩展步骤，对电动机进行驱动而对带进行扩展；以及
评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过控制构件来测定电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
2.根据权利要求1所述的带特性的评价方法，其特征在于，
在该扩展步骤中，不仅在第一方向和与第一方向垂直的第二方向上对带进行扩展，还在包含第一方向与第二方向之间的倾斜方向的整个方位内对带进行扩展。
3.根据权利要求1或2所述的带特性的评价方法，其特征在于，
在该评价步骤中，
根据该扭矩值的变化对该带到达屈服点的扩展量所对应的值进行计算。
4.一种带特性的评价方法，通过扩展装置对带进行评价，该扩展装置具有：
保持构件，其对环状框架进行保持；
扩展构件，其具有比被支承在该环状框架的开口处的带小的外径；
移动构件，其具有使该扩展构件与该保持构件相对移动的电动机；以及
控制构件，其对该电动机进行控制，
该带特性的评价方法的特征在于，包含如下的步骤：
框架安装步骤，将带支承在该环状框架的开口处；
保持步骤，通过该保持构件对该环状框架进行保持；
扩展步骤，对该电动机进行驱动而使该扩展构件移动一定的量，从而对带进行扩展；以及
评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过该控制构件来测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
5.一种带特性的评价方法，通过扩展装置对带进行评价，该扩展装置具有：
第一保持构件和第二保持构件，它们在第一方向上隔着要扩展的对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；
第三保持构件和第四保持构件，它们在与该第一方向垂直的第二方向上隔着该对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；
移动构件，其具有电动机，该电动机能够使该第一保持构件和该第二保持构件在该第一方向上朝向相互分离的方向进行移动，并且能够使该第三保持构件和该第四保持构件在该第二方向上朝向相互分离的方向进行移动；以及
控制构件，其对该电动机进行控制，
该带特性的评价方法的特征在于，包含如下的步骤：
保持步骤，利用该第一保持构件至该第四保持构件对带进行保持；
扩展步骤，对该电动机进行驱动而使该第一保持构件和该第二保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使该第三保持构件和该第四保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带进行扩展；以及
评价步骤，在实施该扩展步骤的期间，通过该控制构件来测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
6.一种扩展装置，其具有：
保持构件，其对环状框架进行保持；
扩展构件，其具有比被支承在该环状框架的开口处的带小的外径；
移动构件，其具有使该扩展构件与该保持构件相对移动的电动机；以及
控制构件，其对该电动机进行控制，
该扩展装置的特征在于，
该控制构件具有：
扩展部，其在将环状框架保持于该保持构件的状态下，对该电动机进行驱动而使该扩展构件移动一定的量，从而对带进行扩展；以及
评价部，其在该扩展部对该带进行扩展的期间测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
7.一种扩展装置，其具有：
第一保持构件和第二保持构件，它们在第一方向上隔着要扩展的对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；
第三保持构件和第四保持构件，它们在与该第一方向垂直的第二方向上隔着该对象物而相互对置配设，分别对该对象物进行保持；
移动构件，其具有电动机，该电动机能够使该第一保持构件和该第二保持构件在该第一方向上朝向相互分离的方向进行移动，并且能够使该第三保持构件和该第四保持构件在该第二方向上朝向相互分离的方向进行移动；以及
控制构件，其对该电动机进行控制，
该扩展装置的特征在于，
该控制构件具有：
扩展部，其在利用该第一保持构件至该第四保持构件对带进行保持的状态下，对该电动机进行驱动而使该第一保持构件和该第二保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，并且使该第三保持构件和该第四保持构件朝向相互分离的方向移动一定的量，从而对带进行扩展；以及
评价部，其在该扩展部对该带进行扩展的期间测定该电动机的输出扭矩值，从而对带的伸缩性进行评价。
8.根据权利要求6或7所述的扩展装置，其特征在于，
该控制构件具有计算部，该计算部根据该评价部所评价的带的伸缩性而对该带的屈服点进行计算。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN110931382A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-27 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 一种led晶粒的光电性能检测方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001225986A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Ricoh Co Ltd | シート材保持装置 |
| CN103817589A (zh) * | 2012-11-15 | 2014-05-28 | 株式会社荏原制作所 | 基板保持装置以及研磨装置 |
| CN105321877A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-02-10 | 株式会社迪思科 | 带扩张装置 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09113438A (ja) * | 1995-10-23 | 1997-05-02 | Sekisui Chem Co Ltd | 粘着テープの剥離試験器 |
| JP4647830B2 (ja) | 2001-05-10 | 2011-03-09 | 株式会社ディスコ | 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置 |
| US8746054B2 (en) * | 2008-05-09 | 2014-06-10 | Nitto Denko Corporation | Peel tester, method for evaluating impact peel characteristics, adhesive tape and mobile device |
| US20100003119A1 (en) * | 2008-07-07 | 2010-01-07 | Disco Corporation | Method for picking up device attached with adhesive tape |
| CN103245608A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 双面胶粘合力检测装置 |
| JP6180120B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2017-08-16 | 株式会社ディスコ | 拡張装置および拡張方法 |
| JP6295132B2 (ja) * | 2014-04-24 | 2018-03-14 | 日東電工株式会社 | ダイシング・ダイボンドフィルム |
| WO2015183874A1 (en) * | 2014-05-27 | 2015-12-03 | Intertape Polymer Corp. | Testing device and methods for testing tape seal strength |
-
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001225986A (ja) * | 2000-02-16 | 2001-08-21 | Ricoh Co Ltd | シート材保持装置 |
| CN103817589A (zh) * | 2012-11-15 | 2014-05-28 | 株式会社荏原制作所 | 基板保持装置以及研磨装置 |
| CN105321877A (zh) * | 2014-06-27 | 2016-02-10 | 株式会社迪思科 | 带扩张装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110931382A (zh) * | 2019-12-11 | 2020-03-27 | 湘能华磊光电股份有限公司 | 一种led晶粒的光电性能检测方法 |
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