KR20190075564A - 에지부 두께 측정 장치 및 방법 - Google Patents

에지부 두께 측정 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정확한 두께 측정이 가능한 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것으로, 일실시예로서 통과하는 강판의 폭 방향 양측에 배치되며, 상기 강판의 폭 방향으로 이동가능한 C형 프레임; 상기 C형 프레임의 상부 부재 및 하부 부재에 각각 배치되며, 강판의 폭 방향을 따라 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 1 거리 측정부; 및 상기 C형 프레임에 연결되어 상기 C형 프레임을 이동시키는 이동부;를 포함하는 에지부 두께 측정 장치를 제공한다.

Description

에지부 두께 측정 장치 및 방법{Thickness measuring device for edge portion and method thereof}
본 발명은 판재의 에지부 두께를 측정하는 에지부 두께 측정 장치 및 방법에 대한 것이다.
기존의 판재의 두께를 측정하는 기기로 두께 측정기는 X-ray 측정기가 알려졌다. X-ray 측정기는 강판을 사이에 두고 소스와 감지기를 대칭으로 둔 상태에서 소스에서 방사능 X 선을 조사하면 강판을 투과하여 감지기에 도달하게 되는데 두께에 따라 도달 에너지가 감쇠하게 되며 그 감쇠하는 양과 두께와 상관성을 활용하여 두께를 측정하는 방식이다.
이 방식에는 몇 가지 문제점이 있다. 강판의 성분에 따라 동일한 두께임에도 투과율이 달라져서 두께를 다르게 인식하는 경우가 있어 성분을 두께측정치에 바로잡아주는 기능이 부여되어야 하며, 1점을 측정하는 방식이므로 강판이 장력변동이나 통과 라인의 변동에 의해 진행 각도가 달라져서 기울어질 경우 대각선의 길이를 측정하여 두께측정오차를 가져오는 문제점이 있다. 수㎛ 단위의 두께측정 정도를 요구하는 환경에서는 기울어짐에 의한 두께 오차가 큰 측정 오차로 작용할 수 있다. 또한 방사능이기 때문에 유지관리에 주의가 필요한 문제점이 있다.
강판의 성분에 의해 발생하는 두께 측정 오차를 방지하기 위해 레이저 방식에 의한 측정방식 등이 제안된 바 있으나 이러한 방식도 1점 측정일 경우 기울어짐에 의한 두께 오차는 해결할 수 없는 문제점이 있고 고정된 위치에서 이동하는 강판의 두께를 측정하는 방식이나, 1점 측정의 문제를 그대로 가지고 있다는 한계가 있다.
이에 특허문헌 1 과같이 두 측정을 복합적으로 사용하는 기술이 제안되었으나, 강판이 장력변동이나 통과 라인의 변동에 의해 진행 각도가 달라져서 기울어질 경우 대각선의 길이를 측정하여 두께측정오차를 가져오는 문제점은 해결되지 않았다.
(특허문헌 1) JP2004-037253 A
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 정확한 두께 측정이 가능한 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여, 다음과 같은 에지부 두께 측정 장치 및 방법을 제공한다.
본 발명은 일실시예로서 통과하는 강판의 폭 방향 양측에 배치되며, 상기 강판의 폭 방향으로 이동 가능한 C형 프레임; 상기 C형 프레임의 상부 부재 및 하부 부재에 각각 배치되며, 강판의 폭 방향을 따라 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 1 거리 측정부; 및 상기 C형 프레임에 연결되어 상기 C형 프레임을 이동시키는 이동부;를 포함하는 에지부 두께 측정 장치를 제공한다.
본 발명은 일실시예에서 상기 거리 측정부에 연결되며, 상기 상부 부재 및 하부 부재에 배치된 제 1 거리 측정부의 측정값으로부터 강판의 두께에 대한 정보를 얻는 제어부를 더 포함할 수 있으며, 상기 이동부는 강판의 폭 방향으로 연장하는 레일과, 상기 C형 프레임과 상기 레일과 연계하여 상기 C형 프레임을 직선 이동시키는 선형 이동 구동수단을 포함할 수 있다.
본 발명은 일실시예에서 상기 C형 프레임의 상부 부재 및 하부 부재에 각각 배치되며, 강판의 진행 방향을 따라서 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 2 거리 측정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 일실시예에서 상기 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나에 배치되며, 상기 C형 프레임의 형상 정보를 취득하는 형상 측정부;를 더 포함할 수 있다.
일실시예에서 상기 이동부는 상기 C형 프레임 하부에서 강판의 폭 방향으로 연장하는 레일과, 상기 C형 프레임과 상기 레일과 연계하여 상기 C형 프레임을 직선 이동시키는 선형 이동구동수단을 포함하며, 상기 형상 측정부는 상부 부재에만 배치되며, 상기 형상 측정부는 레이저 거리계를 포함하되, 상기 레이저 거리계는 연직 방향에 대하여 경사지게 레이저 광을 조사할 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 제어부는 상기 형상 정보를 통하여 상기 두께에 대한 정보를 보정할 수 있다.
본 발명의 일실시예에서 상기 제 1 거리 측정부는 상부 부재 또는 하부 부재 내측의 공간부에 상기 레이저 거리계가 일렬로 배치되며, 상기 레이져 거리계를 냉각하기 위하여 상기 공간부로 에어를 분사하는 에어 퍼지 수단을 포함할 수 있다.
본 발명은 상술한 에지부 두께 측정 장치를 사용하는 에지부 두께 측정 방법으로, 상기 레이져 거리계에서 얻어진 거리 정보로부터 상기 강판의 기울기를 판단하는 기울기 판단 단계; 상기 상부 및 하부 부재에서 얻어진 거리 정보로부터 실측 두께를 판단하는 실측 두께 판단 단계; 및 상기 강판의 기울기를 고려하여 상기 실측 두께를 보정하는 제 1 보정 단계를 포함하는 에지부 두께 측정 방법을 제공한다.
본 발명의 일실시예에서 상기 제 1 보정 단계 이후에 수행되며, C형 프레임의 형상 정보에 기초하여 실측 두께를 보정하는 제 2 보정 단계를 포함할 수 있다.
본 발명은 상술한 장치 및 방법을 통하여, 정확한 두께 측정이 가능한 두께 측정 장치 및 두께 측정 방법을 제공할 수 있다.
도 1 내지 3 은 1 지점 측정을 보여주는 모식도이다.
도 4a 는 본 발명의 일실시예의 에지부 두께 측정 장치의 사시도이다.
도 4b 는 본 발명의 일실시에의 에지부 두께 측정 장치의 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예의 에지부 두께 측정 장치의 평면도이다.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 측정을 보여주는 모식도이다.
도 7 은 본 발명의 다른 실시예의 에지부 두께 측정 장치의 평면도이다.
도 8 은 본 발명의 또다른 실시예의 측면도가 도시되어 있다.
도 1 내지 도 3a 에는 1 지점 측정을 보여주는 모식도가 도시되어 있으며, 도 3b 에는 도 3a 에서 냉각 여부에 따른 측정 거리 변경을 보여주는 그래프가 도시되어 있다.
도 1 에서 보이듯이, 레이저 거리계(10, 11)는 강판(S)의 상하 양측 동일 지점에 배치되며, 소정의 거리(D)를 두고 배치된다. 거리(D)가 정혀진 상태에서 고정된 두 거리계(10, 11)로 강판(S)까지의 거리를 측정하게 되면, 측정 거리를 소정의 거리(D)에서 뺌으로써 강판의 두께(t)를 도출하게 된다(t=D-(d1+d2)).
하지만, 도 2 에서 보이듯이, 강판(S)이 경사진 경우에 도 1 과 같은 방식으로 두께를 산출하게 된 경우에 산출된 두께(l)는 실제 두께(t)보다 크게 측정된다(l > t)는 문제가 있다.
한편, 도 3a 에서 보이듯이, 강판(S)이 경사지지 않더라도 거리계 자체의 위치가 변경되는 경우에 기준이 되는 거리(D)가 변경되며(D → D'), 예를 들어 상부 거리계(10)가 내려온 경우(D > D')에 산출된 두께(D-(d1+d2))가 실제 두께(t=D'-(d1+d2))보다 크게 된다는 문제가 있다.
특히, 강판(S)이 고온의 소재인 경우에 레이저 거리계를 보호하기 위하여 냉각 수단을 통하여 레이저 거리계를 냉각시키게 되는데, 냉각이 있는 경우와 없는 경우에도 유의미한 거리 변경이 발생한다.
도 3b 에는 레이저 거리계가 측정하는 거리가 냉각 여부에 따라서 변경됨을 보이고 있다. 도 3b 의 데이터를 획득하는데 사용된 장치는 도 4 내지 5에 도시된 장치이며, 이에 대하여는 뒤에서 자세히 설명하도록 한다. 도 3b 에서 보이듯이, 레이저 거리계의 냉각이 수행되는 경우에 갑작스럽게 0.1mm 정도의 변형이 발생되는 것을 알 수 있다.
따라서, 레이저 거리계를 통하여 1점 특정을 하는 경우에 강판의 기울기 및 레이저 거리계의 기준 거리에 따라서 정확한 측정이 되지 않으므로, 이에 대한 보정이 필요하며, 본 발명은 이러한 문제를 해결하는 것이다.
도 4a 내지 5 에는 본 발명의 일실시예의 에지부 두께 측정 장치의 사시도, 측면도 및 평면도가 도시되어 있다.
도 4a 에서 보이듯이, 본 발명의 일실시예의 에지부 두께 측정 장치(100)는 통과하는 강판(S)의 폭 방향 양측에 배치되며, 상기 강판의 폭 방향으로 이동 가능한 C형 프레임(110); 상기 C형 프레임(110)의 상부 부재(111) 및 하부 부재(113)에 각각 배치되며, 강판의 폭 방향을 따라 레이저 거리계(129)가 일렬로 배치된 제 1 거리 측정부(120); 및 상기 C형 프레임(110)에 연결되어 상기 C형 프레임(110)을 이동시키는 이동부;를 포함한다.
C형 프레임(110)은 상부 부재(111), 측면 부재(112) 및 하부 부재(113)를 포함하며, 강판(S)의 양측에 배치된다. 상기 상부 부재(111) 및 하부 부재(113)의 각각에는 동일한 위치에 제 1 거리 측정부(120)가 배치된다.
C형 프레임(110)의 하부에는 레일(140)이 배치된다. 레일(140)은 강판(S) 하부를 통과하여 강판의 폭 방향으로 연장하며, 일 단부에는 제어부(130)가 배치된다. C형 프레임(110)의 하부에는 가이드(115)가 배치되며, 도시되지 않은 구동 수단에 의해서 상기 C형 프레임(110)은 레일(140)을 따라서 선형 이동을 한다. 이 실시예에서는 레일(140)과 가이드(115)를 통하여 C형 프레임(110)을 선형 이동시키는 선형 이동부가 설명되어 있으나, 이에 제한되지 않고 다양한 선형 이동부가 적용될 수 있음은 물론이다.
도 4b 에서는 C형 프레임(110)의 확대 측면도에서 볼 수 있듯이, 본 발명의 C형 프레임(110)의 상부 부재(111) 및 하부 부재(113)의 단부측에 제 1 거리 측정부(120)가 배치된다.
제 1 거리 측정부(120)는 상부 부재(111)의 내측에 형성된 공간(122)과 그 공간(122)에 일렬로 배치되는 레이저 거리계(129), 상기 레이저 거리계(129)에서 조사되는 레이저가 통과하게 되는 관측창(121) 및 상기 공간(122)으로 레이저 거리계(129) 보호를 위한 에어를 공급하는 에어 퍼지부(125)를 포함한다. 이 실시예에서 레이저 거리계(129)는 발광/수광부가 강판(S)의 폭 방향을 따라서 일렬로 배치된다.
상부 부재(111)와 하부 부재(113)에 배치되는 제 1 거리 측정부(120a, 120b)는 평면상에서 동일한 위치에 배치되며, 따라서 강판(S)의 동일 지점을 측정한다. 도 5 에서 보이듯이, 제어부(130)는 C형 프레임(110)을 레일(140)을 따라 강판(S)의 폭 방향으로 이동시키면서, 상기 제 1 거리 측정부(120)가 강판(S)의 에지부에 위치하게 한다.
제어부(130)는 강판(S)이 진입할 때 C형 프레임(110)이 강판으로 접근하여 폭 방향으로 설치된 제 1 거리 측정부(120)로 에지부를 감지한 후 측정해야 할 위치를 특정한 후 이동부로 의해 이동시킨 후, 제 1 거리 측정부(120)로 강판(S) 사이의 거리를 측정한다.
도 6 에는 본 발명의 제 1 거리 측정부(120a, 120b)로 두께를 측정하는 방식이 개시되어 있다. 두께 판단은 상기 제어부(130)에서 수행된다. 본 발명에서 제 1 거리 측정부(120a, 120b)는 에지부 감지 역할과 폭 방향으로의 강판의 기울어짐을 보상하는 역할을 동시에 한다. 거리 측정방식은 센서가 열(array)로 설치되어 있으므로 각 센서의 거리를 평균값을 취한 후 이를 대푯값으로 설정한다. 이러한 이유는 강판의 표면이 냉각과정 및 압연과정을 거치면서 완전평면이 아닌 경우가 대부분이기 때문이다.
또한, 각 거릿값들의 패턴을 통해 기울어진 정도를 계산한다. 기울어진 정도는 첫 번째 센서(Gu1 혹은 Gd1)와 마지막 센서(Gu5 혹은 Gd5)의 거리값 차이가 0이면 강판의 경사가 없는 것이고, 거리값 차이가 있으면 강판이 기울어진 것이므로, 그 센서의 거리 차이(｜Gu1 - Gu5｜)와 첫 번째 센서와 마지막 센서의 구조물에 설치된 간격(R)을 이용하면 기울어진 각도(θ)를 계산해 낼 수 있다(식 1 참고).
θ = tan-1[(｜ Gu1 - Gu5｜)/R] .... 식 1
혹은 각 거릿값들을 대상으로 1차 회귀식을 구하여 그 계수를 활용하여 각도(θ)를 구할 수도 있다.
강판의 두께를 계산하기 위해 우선 센서가 설치된 기준 거리(D)에서 각 상하부 측정부(120a, 120b)의 거릿값(Gu, Gd)를을 빼주면 강판이 수평일 때 강판(S)의 두께(t)가 된다.
강판(S)이 기울어졌을 때는 대각선의 두께가 되므로 이를 보정해줄 필요가 있으므로 다음 식 2과 같이 기울어진 만큼의 거리를 보상해 준다.
실제두께(t)= 측정두께(Sm)×Cos θ ... 식 2
여기서, Sm: 상하부 측정부(120a, 120b)의 거릿값을 이용하여 측정된 두께 값(= D -(Gu+Gd)), θ: 수평으로부터 강판이 기울어진 각도
강판(S)의 두께가 일정할 경우 위와 같은 방식이 활용될 수 있으나 도 6(c) 와 같이 강판의 두께가 길이방향/폭 방향으로 편차가 있을 때는 상하부의 측정된 각도가 달라지게 된다. 이를 보상하기 위해 상하부 각각의 틀어진 각도를 측정한 후 그 평균을 취해서 강판 대표 경사각으로 활용할 수 있다(식 3 참고).
실제두께(t)= 측정두께(Sm)×Cos[(θ1+θ2)/2] .... 식 3
여기서, θ1 : 상부의 측정된 기울기 각, θ2 :하부의 측정된 기울기 각
이렇게 되면 강판의 두께가 달라질 경우도 문제없이 강판이 경사졌을 때 정확히 두께를 보정할 수 있고 이 값이 실제 강판의 두께가 된다.
도 7 에는 본 발명의 다른 실시예의 평면도가 도시되어 있다.
도 7 에서 C형 프레임(110)을 제외한 다른 구성은 도 4 의 실시예와 동일하다. 도 7 의 실시예에서 C형 프레임(110)에는 제 1 거리 측정부(120)에 더하여 제 2 거리 측정부(150)를 더 포함한다.
제 2 거리 측정부(150)는 강판(S)의 진행 방향에 따라 레이저 거리계가 일렬로 배친된다. 제 2 거리 측정부(150)에서의 측정 방식은 제 1 거리 측정부(120)와 동일하며, 다만, 측정에 의해서 얻어지는 각도가 강판(S)의 폭 방향의 경사가 아닌 진행방향의 경사를 측정할 수 있게 되며, 이로부터 강판의 두께정보와 함께 강판의 형상 정보 역시 얻을 수 있다.
도 8 에는 본 발명의 또다른 실시예의 측면도가 도시되어 있다.
도 8 에서 보이듯이, C형 프레임(110)은 상부 부재(111), 측면 부재(112) 및 하부 부재(113)를 포함하며, 상기 C형 프레임(110)의 상부 부재(111) 및 하부 부재(113)에 각각 배치되며, 도시되지는 않았지만 강판(S)의 폭 방향을 따라 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 1 거리 측정부(120; 도 4b 참고)도 포함한다. 또한, 도 8 의 실시예의 경우에 C형 프레임(110)의 개방부측 단부에 형상 측정부(127, 128)가 배치된다.
형상 측정부는 레이저 거리계로 상부 부재(111)에 배치된 발광부(127)과 수광부(128)를 포함하며, 강판(S)을 측정하기 전에 발광부(127)에서 조사된 레이저를 수광부(128)에서 받아서 C형 프레임(110)의 형상, 즉, 개방 단부의 거리를 측정한다. 따라서, 이 실시예에서는 기준 거리(D)를 정해진 값을 사용하는 것이 아니라 측정 거리(D)에 기초하여 강판(S)의 두께를 정확하게 측정할 수 있다.
특히, 본 발명에서 형상 측정부는 동일한 부재에 발광부(127)와 수광부(128)를 배치하며, 발광부(127)는 연직 방향에 대하여 경사지게 레이저를 조사하고, 경사지게 반사된 광을 수광한다. 이렇게, 동일한 방향에 발광부(127)와 수광부(128)를 배치함으로써, 변동성을 증폭시킬 수 있으며, 그에 따라서 미세한 프레임의 변동도 감지할 수 있다.
한편, 이하에서는 도 8 의 에지부 두께 측정 장치(100)를 가지고 에지부 두께 측정 방법에 대하여 설명하도록 한다.
본 발명에서 강판(S)과의 충돌을 피하기 위하여 강판(S)의 진입 전에 양 사이드로 C형 프레임(110)이 이동되어 있다. 강판(S)이 진입되면, 제어부(130)는 강판(S) 쪽으로 C형 프레임(110)을 이동시키는 이동 단계가 수행된다. 이때, 제 1 거리 측정부(120)는 동작하며, 따라서 폭 방향을 따라서 일렬로 배치된 레이저 거리계(129)를 통하여 강판(S)의 에지부에 도달했는 지를 제어부(130)가 파악할 수 있다.
이동되기 전 혹은 에지부에 진입하기 전, 상기 형상 측정부를 통하여 C형 프레임(110)의 형상 정보를 획득하는 것이 가능하며, 이렇게 얻어진 형상 정보는 후에 실측 두께의 보정에 활용될 수 있다.
한편, 에지부에 진입하면, 레이져 거리계(129)를 통하여 상하면 양면에서 제 1 거리 측정부(120a, 120b)로부터 강판(S) 사이의 거리를 측정한다. 각 센서에서 얻어진 거릿값에 기초하여 강판(S)의 기울기 정보를 얻는 기울기 판단 단계 및 실측 두께 정보를 얻는 실측 두께 판단 단계가 수행된다.
제어부(130)는 상기 실측 두께를 기울기 정보에 기초하여 보정함으로써, 강판(S)의 두께를 판단하며, 이때, 상술한 C형 프레임의 형상 정보도 함께 고려하여 실제 강판(S)의 두께를 얻을 수 있다.
이상에서는 본 발명의 실시예를 중심으로 설명하였으나, 본 발명은 이에 제한되지 않고 다양하게 변형되어 실시될 수 있다.
S; 강판 100: 에지부 두께 측정 장치
110: C형 프레임 111: 상부 부재
112: 측면 부재 113: 하부 부재
120: 제 1 거리 측정부 121: 관측장
122: 공간 125: 에어 퍼지부
127: 발광부 128: 수광부
129: 레이저 거리계 130: 제어부
140:레일 150: 제 2 거리 측정부

Claims (11)

  1. 통과하는 강판의 폭 방향 양측에 배치되며, 상기 강판의 폭 방향으로 이동가능한 C형 프레임;
    상기 C형 프레임의 상부 부재 및 하부 부재에 각각 배치되며, 강판의 폭 방향을 따라 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 1 거리 측정부; 및
    상기 C형 프레임에 연결되어 상기 C형 프레임을 이동시키는 이동부;를 포함하는 에지부 두께 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 거리 측정부에 연결되며, 상기 상부 부재 및 하부 부재에 배치된 제 1 거리 측정부의 측정값으로부터 강판의 두께에 대한 정보를 얻는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  3. 제 1항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 이동부는 강판의 폭 방향으로 연장하는 레일과, 상기 C형 프레임과 상기 레일과 연계하여 상기 C형 프레임을 직선 이동시키는 선형 이동 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 C형 프레임의 상부 부재 및 하부 부재에 각각 배치되며, 강판의 진행 방향을 따라서 레이저 거리계가 일렬로 배치된 제 2 거리 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나에 배치되며, 상기 C형 프레임의 형상 정보를 취득하는 형상 측정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이동부는 상기 C형 프레임 하부에서 강판의 폭 방향으로 연장하는 레일과, 상기 C형 프레임과 상기 레일과 연계하여 상기 C형 프레임을 직선 이동시키는 선형 이동 구동수단을 포함하며
    상기 형상 측정부는 상부 부재에만 배치되며, 상기 형상 측정부는 레이저 거리계를 포함하되, 상기 레이저 거리계는 연직 방향에 대하여 경사지게 레이저 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 형상 정보를 통하여 상기 두께에 대한 정보를 보정하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 거리 측정부는 상부 부재 또는 하부 부재 내측의 공간부에 상기 레이저 거리계가 일렬로 배치되며, 상기 레이저 거리계를 냉각하기 위하여 상기 공간부로 에어를 분사하는 에어 퍼지 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 장치.
  9. 제 1 항의 에지부 두께 측정 장치를 사용하는 에지부 두께 측정 방법으로,
    상기 레이저 거리계에서 얻어진 거리 정보로부터 상기 강판의 기울기를 판단하는 기울기 판단 단계;
    상기 상부 및 하부 부재에서 얻어진 거리 정보로부터 실측 두께를 판단하는 실측 두께 판단 단계; 및
    상기 강판의 기울기를 고려하여 상기 실측 두께를 보정하는 제 1 보정 단계를 포함하는 에지부 두께 측정 방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    C형 프레임의 형상 정보에 기초하여 실측 두께를 보정하는 제 2 보정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 방법.
  11. 제 9 항에 있어서,
    상기 기울기 판단 단계 및 실측 두께 판단 단계 이전에 상기 제 1 거리 측정부를 통하여 상기 이동부를 강판의 에지부로 이동시키는 이동 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에지부 두께 측정 방법.
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