KR20190054550A - 센서용 엑추에이터 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터는 메인보드와 전기적으로 연결되는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치되어 상기 베이스 기판과 전기적으로 연결되고 복수의 자석들과 렌즈 홀더가 배치되는 제1 기판, 상기 제1 기판과 복수의 연결부들을 통해 전기적으로 연결되며 연성을 가지는 제2 기판 및 상기 제2 기판과 전기적으로 연결되며 상기 복수의 자석들을 마주보는 각 측부 모두에 코일이 권선되는 이미지 센서를 포함한다.

Description

센서용 엑추에이터{Actuator for Sensor}
본 발명은, 센서용 엑추에이터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 카메라 모듈에 사용되는 이미지 센서를 쉬프트(Shift)하거나 틸트(Tilt)할 수 있는 엑추에이터에 관한 것이다.
최근, 휴대용 전자기기의 크기와 부피가 최소화되고 있으며, 이러한 휴대용 전자기기에 탑재되는 카메라 모듈도 동시에 소형화 되는 추세이다.
이런 추세에 따라, 카메라 모듈 내부에 장착되는 영상 흔들림 방지 엑추에이터(OIS Actuator; Optical Image Stabilizer Actuator)는 렌즈를 쉬프트하기 위해 형상기억합금 와이어를 사용하여 엑추에이터에 사용되는 부품을 최소화하고 엑추에이터 자체의 소형화를 시도하였다.
그러나, 렌즈를 쉬프트하는 방식을 사용하는 엑추에이터의 경우, 렌즈의 이동 거리만큼 이미지 센서의 크기가 증가되어 엑추에이터의 소형화가 어려웠다.
또한, 형상기억합금 와이어가 고주파에 쉽게 반응하여 필요하지 않은 경우에도 렌즈가 쉬프트되는 문제점이 있었으며, 외부의 충격에 의해 발생한 응력이 형상기억합금 와이어에 누적되면, 와이어가 단선되어 엑추에이터 자체가 정상적으로 작동하지 않는다는 문제점도 있었다.
본 발명은, 상기와 같은 문제점들을 해결하고 영상 흔들림 방지 엑추에이터의 크기를 최소화하여 휴대용 전자기기에 장착되는 카메라 모듈을 최소형화 하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 메인보드와 전기적으로 연결되는 베이스 기판, 상기 베이스 기판 상에 배치되어 상기 베이스 기판과 전기적으로 연결되고 복수의 자석들과 렌즈 홀더가 배치되는 제1 기판, 상기 제1 기판과 복수의 연결부들을 통해 전기적으로 연결되며 연성을 가지는 제2 기판, 및 상기 제2 기판과 전기적으로 연결되며 상기 복수의 자석들을 마주보는 각 측부 모두에 코일이 권선되는 이미지 센서를 포함하는 센서용 엑추에이터를 제공한다.
상기 복수의 연결부들은 각각 복수의 마루와 골을 가지는 접힘부를 포함할 수 있다.
상기 제1 기판에는 제1 중공이 형성되고, 상기 제2 기판에는 제2 중공이 형성되며, 상기 이미지 센서는 상기 제1 중공 내부에 배치될 수 있다.
상기 복수의 연결부들은 상기 제2 기판의 각 모서리부로부터 연장 형성되어 상기 제2 기판의 중심을 기준으로 X자 형상을 가지도록 배치될 수 있다.
상기 복수의 연결부들은 상기 제2 기판의 각 측면에서 연장 형성되어 상기 제2 기판의 중심을 기준으로 십자 형상을 가지도록 배치될 수 있다.
상기 복수의 연결부는 2개일 수 있다.
상기 2개의 연결부들은 각각 90도 간격으로 이격 배치될 수 있다.
상기 제1 기판은 복수의 홈을 포함하고, 상기 복수의 자석들은 상기 복수의 홈 내부에 배치될 수 있다.
상기 복수의 자석들의 상면에 상기 렌즈 홀더가 접착 고정될 수 있다.
상기 베이스 기판 및 제1 기판이 접촉하는 부분과 상기 제1 기판 및 상기 복수의 연결부의 일단 사이에 각각 이방 전도성 필름들이 삽입 배치될 수 있다.
상기 이미지 센서가 상기 제2 기판과 접촉되는 부분에는 도전성을 가지는 금속이 삽입 배치되고, 상기 금속을 열압착하여 상기 이미지 센서와 상기 제2 기판을 접착 고정할 수 있다.
본 발명에 따른 센서용 엑추에이터는 영상 흔들림 방지 엑추에이터의 크기와 부피를 줄여, 전체적으로 카메라 모듈의 크기와 부피를 최소화할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 나타낸 센서용 엑추에이터의 단면도이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 단면도이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터가 작동하는 상태를 나타낸 도면이다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명에 의한 카메라 모듈의 다양한 실시 예들에 대하여 상세히 설명한다.
이하에서 설명되는 모든 실시 예들은 본 발명의 이해를 돕기 위해 예시적으로 나타낸 것이며, 여기에 설명된 실시 예들과 다르게 변형되어 다양한 실시 형태로 실시될 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 혹은 공지 구성요소에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우, 그 구체적인 설명은 생략하도록 한다.
첨부된 도면은 발명의 이해를 돕기 위해서 실제 축척대로 도시된 것이 아니라 일부 구성요소의 치수가 과장되게 도시될 수 있으며, 각 구성요소들에 참조번호를 기재할 때, 동일한 구성요소들에 대해서는 다른 도면에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표시하였다.
본 명세서 및 청구범위에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 또한, 본 발명의 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제1, 제2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 '연결' 또는 '결합'된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결 또는 결합될 수 있지만, 그 구성 요소와 그 다른 구성요소 사이에 또 다른 구성 요소가 '연결' 또는 '결합'될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시 예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 발명에 대한 다양한 변형 실시 예들이 있을 수 있다.
이하에서 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 Ⅱ-Ⅱ 선을 따라 나타낸 센서용 엑추에이터의 단면도이다. 또한, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 단면도이며, 도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)는 베이스 기판(10), 제1 기판(100), 제2 기판(130), 이미지 센서(140)를 포함한다.
베이스 기판(10)은 연성회로기판(FPCB; Flexible Printed Circuit Board)으로 구성될 수 있으며, 일단에 연결된 커넥터(13)를 통해서 메인보드(미도시)와 전기적으로 연결된다.
베이스 기판(10)에서 커넥터(13)가 연결된 면의 반대 면에는 스테인리스 스틸(SUS; Steel Use Stainless, 12)이 접착될 수 있다. 이는 스테인리스 스틸(12)이 커넥터(13)가 연결된 베이스 기판 부분을 지지하여 구조적 강도를 높이기 위함이다.
제1 기판(100)은 베이스 기판(10)의 일면에 부착된다. 이때, 베이스 기판 및 제1 기판이 접촉하는 부분 사이에 이방 전도성 필름(ACF; Anisotropic Conductive Film, 101)을 삽입 배치하여 베이스 기판(10)과 제1 기판(100)을 접착 고정할 수 있다.
이방 전도성 필름(101)은 도전성을 가지므로 베이스 기판(10) 및 제1 기판(100)을 상호 접착 고정시킬 뿐만 아니라, 전기적으로도 연결할 수 있다.
제1 기판(100)이 부착된 베이스 기판(10)의 일면과 반대되는 면에도 스테인리스 스틸(11)이 접착될 수 있다. 제1 기판(100)이 부착된 베이스 기판 부분을 스테인리스 스틸(11)로 지지하여 구조적 강도를 높이기 위함이다.
제1 기판(100)은 Cavity PCB(Cavity Printed Circuit Board)로 구성될 수 있다.
제1 기판(100) 상에는 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)과 렌즈 홀더(110)가 배치되며, 본 실시예에 따른 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)은 영구 자석으로 이루어진다.
하지만, 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)과 렌즈 홀더(110)의 배치는 이에 한정되지 않으며, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 기판(100)이 Cavity PCB로 구성되어, 제1 기판(100)에 단차를 가지는 홈(100a, 100b)이 형성되는 경우, 이러한 홈(100a, 100b) 내부에 자석(120a)이 배치될 수 있다. 그리고, 자석(120a) 상면에 렌즈 홀더(110)가 접착 고정될 수도 있다.
또한, 제1 기판(100)에는 제1 중공(1000)이 형성되고, 이미지 센서(140)는 제1 중공(1000) 내부에서 제1 기판(100)과 이격되도록 배치될 수 있다. 제1 중공(1000)은 이미지 센서(140)가 쉬프트되거나 틸트될 때, 움직일 수 있는 공간을 제공한다. 동시에 제1 중공(1000) 내에 이미지 센서(140)가 배치됨으로써 센서용 엑추에이터(1)의 크기와 부피가 최소화 된다.
제2 기판(130)은 복수의 연결부(130a, 130b, 130c, 130d, 130e, 130f)가 제2 기판(130)의 몸체(130')로부터 연장 형성되고, 이러한 복수의 연결부(130a, 130b, 130c, 130d, 130e, 130f)를 통해 제1 기판(100)과 전기적으로 연결된다.
복수의 연결부(130a, 130b, 130c, 130d, 130e, 130f)는 적어도 2개 이상으로 구성되어야 한다.
제2 기판(130)이 2개의 연결부를 포함하도록 구성된 경우, 2개의 연결부들(130a, 130b)은 도 5에 도시된 바와 같이 각각 90도 간격으로 이격 배치되는 것이 바람직하다. 이는 이미지 센서(140)가 복수의 코일들(141, 142, 143, 144)과 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d) 간 전자기장 작용에 의해 가로나 세로로 쉬프트되는 운동이 용이하도록 하기 위함이다. 하지만, 2개의 연결부들(130a, 130b)이 180도로 이격 배치되는 것을 제한하는 것은 아니다.
또한, 복수의 연결부가 4개 이상으로 구성될 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 연결부들(130c, 130d, 130e, 130f)이 제2 기판(130)의 각 모서리부로부터 연장 형성될 수 있다. 이 때, 복수의 연결부들(130c, 130d, 130e, 130f)은 제2 기판(130)의 중심을 기준으로 X자 형상과 유사하게 배치된다.
이 외에도, 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 연결부들(130a, 130b, 130c, 130d)은 제2 기판(130)의 중심을 기준으로 십자 형상과 유사하게 제2 기판(130)으로부터 연장 형성될 수 있다.
이렇게 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)는 복수의 연결부들(130a, 130b, 130c, 130d, 130e, 130f)에 대한 배치를 다양하게 변경할 수 있으며, 이를 통해 제2 기판(130)이 구조상 안정적으로 제1 기판(100)과 이미지 센서(140)에 연결되도록 한다. 동시에, 제2 기판(130)이 이미지 센서(140)의 쉬프트 또는 틸트 운동을 정확하고 안정적으로 수행할 수 있도록 도와준다.
제1 기판(100) 및 복수의 연결부 일단(130a', 130b') 사이에 이방 전도성 필름(131a, 131b)을 삽입 배치하여 복수의 연결부 일단(130a', 130b')을 제1 기판 상에 접착할 수 있다.
이방 전도성 필름(131a, 131b)은 접착성과 도전성을 가지므로 복수의 연결부 일단(130a', 130b')이 제1 기판(100)에 접착될 수 있도록 하고, 제1 기판(100)과 제2 기판(130)을 전기적으로 연결한다.
제2 기판(130)은 연성회로기판으로 구성되며 휘어질 수 있다.
제2 기판의 몸체(130')의 일면에는 이미지 센서(140)가 부착되며 동시에 전기적으로 연결된다.
제2 기판(130)과 이미지 센서(140)가 접촉하는 부분 사이에는 도전성을 가지는 금속(132a, 132b)이 배치되며, 열 압착에 의해 이 금속(132a, 132b)이 녹고 압착되어 제2 기판(130)과 이미지 센서(140)를 접착 고정한다.
이때 사용되는 금속으로는 도전성이 좋으면서 열에 의해 쉽게 변형 가능한 금(Au)이 사용된다. 하지만, 사용되는 금속은 반드시 금에 한정되지 않으며, 높은 도전성을 가지고 열압착에 의해 제2 기판(130)과 이미지 센서(140)를 부착시킬 수 있는 금속이라면 어떤 금속이든 사용될 수 있다.
제2 기판의 몸체(130')에는 제2 중공(1300)이 형성된다. 이는, 렌즈(미도시)를 통과하는 피사체의 빛을 이미지 센서(140)에 보내기 위함이다.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이 총 4개의 코일들(141, 142, 143, 144)이 이미지 센서(140)의 각 측부에 권선된다. 이때, 제1 기판(100)에 배치된 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)을 마주보는 이미지 센서의 각 측부마다 코일들(141, 142, 143, 144)이 권선된다.
이하에서는 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(2)에 대하여 설명한다. 다만, 본 발명의 일 실시예와 동일한 구성은 설명을 간략히 하거나 생략할 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예와 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호를 사용할 수 있으며, 반복되는 구성은 도시를 생략할 수도 있다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 평면도이며, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터의 단면도이다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(2)는 도 8 에 도시된 복수의 연결부들(330a, 330b, 330c, 330d, 330e, 330f)의 평면과 같이 복수의 마루(332)와 골(333)을 가지는 접힘부(331)를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(2)는 도 9에 도시된 연결부(230)의 단면과 같이, 마루(232)와 골(233)이 형성된 접힘부(231)를 포함할 수도 있다.
도 8 도시된 접힘부(331)를 포함하는 복수의 연결부들(330a, 330b, 330c, 330d, 330e, 330f) 또는 도 9에 도시된 접힘부(231)를 포함하는 연결부(230)는, 코일들(141, 142, 143, 144)이 메인보드로부터 전기 신호를 전달받아 전기장을 형성하고 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)과 반응하여 이미지 센서(140)를 쉬프트 또는 틸트시킬 때, 연결부가 휘어짐으로 인해서 발생하는 응력을 마루와 골로 완화시킨다. 따라서, 연결부의 구조적 안정성이 증대되고 작동 수명도 연장된다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)가 작동하는 원리를 설명한다. 이하의 설명은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1) 뿐만 아니라, 본 발명의 다른 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(2)에도 동일하게 적용되므로, 동일한 구성은 설명을 간략히 하거나 생략할 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)가 작동하는 상태를 나타낸 도면이다.
베이스 기판(10)은 커넥터(13)를 통해 메인보드로부터 전기적 신호를 수신하고 제1 기판(100)으로 전달한다. 제1 기판(100)은 제2 기판(130)으로 신호를 다시 전달하며, 신호는 최종적으로 이미지 센서(140)를 거쳐 복수의 코일들 각각(141, 142, 143, 144)에 도달하게 된다.
신호에 의해 복수의 코일들 각각(141, 142, 143, 144)은 전기장을 형성하고, 제1 기판에 배치된 복수의 자석들(120a, 120b, 120c, 120d)과 전자기 반응을 통해 형성된 인력 또는 척력을 이용하여 이미지 센서(140)를 쉬프트하거나 틸트시킨다.
도 10에 도시된 바와 같이, 제1 코일(141)은 제1 자석(120b)과 척력을 형성하고, 제2 코일(142)은 제2 자석(120a)과 인력을 형성하여, 이미지 센서의 일단(140a)을 r1 방향으로 회전시키고, 이미지 센서의 타단(140b)을 r1 방향과 반대되는 방향인 r2 방향으로 회전시킨다. 이에 의해, 이미지 센서(140)는 일정한 각도를 회전하면서 틸트 운동을 한다.
도 10에 도시된 동작은 예시일 뿐이며, 본 발명의 일 실시예에 따른 센서용 엑추에이터(1)의 작동 및 이미지 센서(140)의 움직임은 본 설명에 의해 제한되지는 않는다.
도 10의 예시 이외에도, 전기적 신호를 바꾸어 복수의 코일들 각각(141, 142, 143, 144)에 흐르는 전류의 방향을 바꿈으로써, 이미지 센서(140)를 도 10에 도시된 방향과 다른 방향으로 틸트하거나 쉬프트 할 수 있고, 또한, 틸트 및 쉬프트 두가지 운동을 모두 동시에 하도록 할 수도 있다.
이와 같이 본 발명에 따른 센서용 엑추에이터는, 렌즈를 이동시키는 대신 센서를 이동시키므로, 렌즈, 센서 및 엑추에이터의 전체적인 크기를 축소하는데 유리하다.
또한, 센서를 이동시키기 위하여 형상기억합금 와이어를 사용하는 대신에, 코일과 연성회로기판을 사용하므로, 종래 형상기억합금 와이어를 사용하는 영상 흔들림 방지 엑추에이터에 비하여 고주파 영향로부터 비교적 자유롭다.
그리고, 형상기억합금 와이어를 사용하지 않으므로, 종래 문제점으로 제기되던 형상기억합금 와이어의 단선을 걱정할 필요가 없다.
이상에서 기재된 '포함하다', '구성하다' 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
또한, 본 발명의 여러 실시 예들과 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
1: 센서용 엑추에이터는
10: 베이스 기판
100: 제1 기판
110: 렌즈 홀더
120: 자석
130: 제2 기판
140: 이미지 센서

Claims (11)

  1. 메인보드와 전기적으로 연결되는 베이스 기판;
    상기 베이스 기판 상에 배치되어 상기 베이스 기판과 전기적으로 연결되고 복수의 자석들과 렌즈 홀더가 배치되는 제1 기판;
    상기 제1 기판과 복수의 연결부들을 통해 전기적으로 연결되며 연성을 가지는 제2 기판; 및
    상기 제2 기판과 전기적으로 연결되며 상기 복수의 자석들을 마주보는 각 측부 모두에 코일이 권선되는 이미지 센서;를 포함하는 센서용 엑추에이터.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 연결부들은 각각 복수의 마루와 골을 가지는 접힘부를 포함하는, 센서용 엑추에이터.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판에는 제1 중공이 형성되고,
    상기 제2 기판에는 제2 중공이 형성되며,
    상기 이미지 센서는 상기 제1 중공 내부에 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 연결부들은 상기 제2 기판의 각 모서리부로부터 연장 형성되어 상기 제2 기판의 중심을 기준으로 X자 형상을 가지도록 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 연결부들은 상기 제2 기판의 각 측면에서 연장 형성되어 상기 제2 기판의 중심을 기준으로 십자 형상을 가지도록 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 연결부는 2개인, 센서용 엑추에이터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 2개의 연결부들은 각각 90도 간격으로 이격 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 기판은 복수의 홈을 포함하고,
    상기 복수의 자석들은 상기 복수의 홈 내부에 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 복수의 자석들의 상면에 상기 렌즈 홀더가 접착 고정되는, 센서용 엑추에이터.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 베이스 기판 및 제1 기판이 접촉하는 부분과 상기 제1 기판 및 상기 복수의 연결부의 일단 사이에 각각 이방 전도성 필름들이 삽입 배치되는, 센서용 엑추에이터.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 이미지 센서가 상기 제2 기판과 접촉되는 부분에는 도전성을 가지는 금속이 삽입 배치되고, 상기 금속을 열압착하여 상기 이미지 센서와 상기 제2 기판을 접착 고정하는, 센서용 엑추에이터.
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