KR20190050689A

KR20190050689A - Anisotropic conductive sheet

Info

Publication number: KR20190050689A
Application number: KR1020180050158A
Authority: KR
Inventors: 변성섭; 권유리
Original assignee: 솔브레인멤시스(주)
Priority date: 2017-11-03
Filing date: 2018-04-30
Publication date: 2019-05-13

Abstract

The present invention provides an anisotropic conductive sheet for electrically connecting a tested electrode of a tested device to a testing electrode of a testing circuit board. To this end, the anisotropic conductive sheet comprises: an insulation unit; a protection unit formed on one side surface of the insulation unit; a plurality of conduction units penetrated in a thickness direction of the insulation unit and arranged to be separated from each other in a plane direction of the insulation unit; and a contact unit formed to protrude more than the insulation unit so as to correspond to the tested electrode at the end on one side of each of the conduction units. The protection unit is formed in a line-and-space pattern, and the contact unit is aligned in a line in a space between lines of the protection unit.

Description

ANISOTROPIC CONDUCTIVE SHEET [0002]

본 발명은 이방 도전성 시트에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 검사 신뢰성을 확보하고, 경량화를 위해 보호부의 구조를 더욱 효과적으로 개선한 이방 도전성 시트에 관한 것이다.The present invention relates to an anisotropic conductive sheet, and more particularly, to an anisotropic conductive sheet which secures inspection reliability and further improves the structure of a protective portion in order to reduce weight.

일반적으로 반도체 소자를 제조하는 과정에서는 프로브(probe) 테스트와 번인(burn-in) 테스트가 이루어진다. 상기 프로브 테스트는 실리콘으로 이루어진 웨이퍼에 다수의 집적 회로를 형성한 후, 형성된 집적 회로 각각의 전기적 특성을 검사하는 것이고, 상기 번인 테스트는 웨이퍼를 절단하여 반도체 칩을 얻은 후 이를 패키징하여 제조된 반도체 소자의 전기적 특성을 고온의 환경 하에서 검사하는 것이다.Generally, in the process of manufacturing a semiconductor device, a probe test and a burn-in test are performed. The probe test is performed by forming a plurality of integrated circuits on a wafer made of silicon and then examining the electrical characteristics of each of the formed integrated circuits. The burn-in test is performed by cutting a wafer to obtain a semiconductor chip, Is to be inspected under a high temperature environment.

상기 프로브 테스트 또는 상기 번인 테스트와 같은 전기적 검사 과정에서는 피검사 디바이스를 검사용 회로 기판에 전기적으로 연결하는 검사 소자로서 이방 도전성 시트가 사용되고 있다. 구체적으로 상기 이방 도전성 시트는 검사용 회로 기판에서 나온 신호가 검사용 전극을 거쳐 피검사 디바이스로 전달될 수 있도록 하는 매개 부품으로, 여기에는 도전부와 절연부를 포함하는데, 이에 대해 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.In an electrical inspection process such as the probe test or the burn-in test, an anisotropic conductive sheet is used as an inspection element for electrically connecting the device to be inspected to a circuit board for inspection. Specifically, the anisotropic conductive sheet is a medial component that allows a signal from a circuit board for inspection to be transmitted to a device under test through an inspection electrode, including a conductive portion and an insulating portion, The following is an explanation.

종래의 검사 장치에 이용되는 이방 도전성 시트(10)는 실리콘 수지와 도전성 입자로 이루어진 도전부(11)와 실리콘 수지로 이루어진 절연부(12)를 포함한다. 상기 도전부(11)는 그 상단이 반도체 소자(20)와 접촉하고, 그 하단이 검사용 회로 기판(30)의 검사용 전극(31)과 접촉함으로써, 피검사 디바이스(20)와 검사용 회로 기판(30)을 전기적으로 연결시킨다.An anisotropic conductive sheet 10 used in a conventional inspecting apparatus includes a conductive portion 11 made of a silicone resin and conductive particles and an insulating portion 12 made of a silicone resin. The upper end of the conductive part 11 is in contact with the semiconductor element 20 and the lower end of the conductive part 11 comes into contact with the inspection electrode 31 of the circuit board 30 for inspection, The substrate 30 is electrically connected.

이방 도전성 시트(10)의 도전부(11)는 피검사 디바이스인 반도체 소자의 성능 테스트를 위하여, 수천 회 이상의 횟수로 가압 및 통전이 매우 짧은 시간에 이루어진다. 그러나, 이방 도전성 시트의 도전부(11)와 여기에 접촉되는 BGA(ball grid array) 타입 또는 LGA(land grid array) 타입의 피검사 디바이스에 포함되는 피검사 전극의 접촉 문제가 발생하여, 피검사 디바이스와의 소정의 접촉 효율을 확보하지 못하는 경우가 있었다. 또한, 피검사 디바이스 검사 시에 정렬이 어렵고, 이방 도전성 시트 자체의 무게로 인하여, 피검사 디바이스에 영향을 미치는 문제가 있었다. 이에, 검사소자로 이용되는 이방 도전성 시트의 효과적인 구조를 위한 다양한 연구가 진행되고 있다.The conductive portion 11 of the anisotropically conductive sheet 10 is pressed and energized for a very short time in the number of times of several thousand times or more in order to test the performance of the semiconductor element to be inspected. However, contact problems between the conductive portions 11 of the anisotropically conductive sheet and the electrodes to be inspected included in the BGA (Ball Grid Array) type or LGA (land grid array) type inspection device brought into contact with the conductive portions 11, The predetermined contact efficiency with the device can not be ensured. In addition, alignment is difficult at the time of inspecting the device to be inspected, and there is a problem that the device under test is affected by the weight of the anisotropic conductive sheet itself. Accordingly, various researches have been conducted for an effective structure of an anisotropically conductive sheet used as an inspection station.

대한민국 등록특허공보 제10-1318351호Korean Patent Registration No. 10-1318351

본 발명은 이방 도전성 시트의 구조를 개선하여 검사 신뢰성 확보 및 경량화를 확보할 수 있는 이방 도전성 시트를 제공하는 것이다.The present invention provides an anisotropic conductive sheet which can improve the structure of the anisotropic conductive sheet to secure inspection reliability and light weight.

또한, 본 발명은 상기 이방 도전성 시트가 배치되어 있는 피검사 디바이스의 검사 장치를 제공하는 것이다.The present invention also provides an apparatus for inspecting a device to be inspected on which the anisotropic conductive sheet is disposed.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 피검사 디바이스의 피검사 전극과 검사용 회로 기판의 검사용 전극을 전기적으로 연결시키기 위한 이방 도전성 시트로서, 절연부, 상기 절연부의 일측 면에 형성된 보호부, 상기 절연부의 두께 방향으로 관통되어서 복수로 형성되고 그 각각은 상기 절연부의 면 방향으로 상호 이격되면서 배치되어 있는 도전부 및 상기 각각의 도전부 일측의 단부에 상기 피검사 디바이스의 피검사 전극과 대응되도록 상기 절연부보다 돌출되어 형성되어 있는 접촉부를 포함하고, 상기 보호부는 라인 앤 스페이스 패턴으로 형성되며, 상기 접촉부는 상기 보호부의 라인들의 사이의 공간에 일렬로 나열되어 있는 것인, 이방 도전성 시트를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided an anisotropically conductive sheet for electrically connecting an electrode to be inspected of a device to be inspected and an electrode for inspecting a circuit board for inspection, comprising: an insulating portion; a protection portion formed on one side of the insulating portion; A plurality of conductive parts which are arranged in a thickness direction of the insulating part so as to be spaced apart from each other in a plane direction of the insulating part; Wherein the protection portion is formed in a line-and-space pattern, and the contact portion is arranged in a line in a space between the lines of the protection portion .

또한, 본 발명은 피검사 디바이스의 피검사 전극에 대응하여 배치된 검사용 전극을 구비한 검사용 회로 기판 및 상기 검사용 회로 기판 상에 상기 이방 도전성 시트가 배치되어 있는 것인, 피검사 디바이스의 검사 장치를 제공한다.Further, the present invention provides a device for inspecting a device to be inspected, comprising: an inspecting circuit board having an inspecting electrode disposed corresponding to an inspecting electrode of the device to be inspected; and an anisotropic conductive sheet disposed on the inspecting circuit board Thereby providing an inspection apparatus.

본 발명은 이방 도전성 시트의 보호부를 라인 앤 스페이스 패턴으로 형성함으로써, 피검사 디바이스의 검사 시에 피검사 전극(예컨대, 땜납 볼(ball lead) 전극)을 보다 용이하게 정렬할 수 있고, 다수의 접촉으로 인한 이방 도전성 시트의 접촉부의 파손을 방지하여 검사 신뢰성을 확보하면서도, 효율적인 보호부의 구조로 인하여 이방 도전성 시트를 경량화할 수 있어서, 검사용 회로 기판의 손상을 방지할 수 있다.The present invention forms the protective portion of the anisotropically conductive sheet in a line-and-space pattern, so that the electrodes to be inspected (for example, solder ball electrodes) can be more easily aligned at the time of inspecting the devices to be inspected, It is possible to reduce the weight of the anisotropic conductive sheet due to the structure of the effective protection portion and to prevent the circuit board for inspection from being damaged.

도 1은 종래의 피검사 디바이스의 검사 장치를 나타낸 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 이방 도전성 시트의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 이방 도전성 시트의 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태에 따른 이방 도전성 시트의 사시도이다.
도 5는 피검사 디바이스의 피검사 전극과 본 발명의 일 실시형태에 따른 이방 도전성 시트가 접촉할 때를 나타내는 개념도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시형태에 따른 이방 도전성 시트의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 피검사 디바이스의 검사 장치를 나타낸 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view showing a conventional inspection apparatus for inspected devices. FIG.
2 is a cross-sectional view of an anisotropic conductive sheet according to an embodiment of the present invention.
3 is a plan view of an anisotropic conductive sheet according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view of an anisotropically conductive sheet according to an embodiment of the present invention.
5 is a conceptual diagram showing a case where an anisotropic conductive sheet according to an embodiment of the present invention is brought into contact with an electrode to be inspected of a device to be inspected.
6 is a cross-sectional view of an anisotropic conductive sheet according to another embodiment of the present invention.
7 is an explanatory diagram showing an inspection apparatus of an inspected device of the present invention.

이하 본 발명을 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described.

다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며 덧붙여, 본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시형태를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명의 명세서 전체에서 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.It should be understood, however, that the present invention is not limited thereto, and that the terms used in the present invention are used only for describing specific embodiments and are not intended to limit the present invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. To "include" an element throughout the specification of the present invention means that it can include other elements, not excluding other elements, unless specifically stated otherwise.

본 발명은 피검사 디바이스의 전기적 검사 과정에서 사용되는 검사소자용 이방 도전성 시트로서, 도 2을 참조로 하여 구체적으로 살펴본다. 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 피검사 디바이스의 피검사 전극과 검사용 회로 기판의 검사용 전극을 전기적으로 연결시키기 위한 이방 도전성 시트(100)로서, 절연부(110), 상기 절연부(110)의 일측 면에 형성된 보호부(120), 상기 절연부(110)의 두께 방향으로 관통되어서 복수로 형성되고 그 각각은 상기 절연부(110)의 면 방향으로 상호 이격되면서 배치되어 있는 도전부(130) 및 상기 각각의 도전부(130) 일측의 단부에 상기 피검사 전극과 대응되도록 상기 절연부(110) 보다 돌출되어 형성되어 있는 접촉부(140)를 포함하고, 상기 보호부(120)는 라인 앤 스페이스 패턴으로 형성되며, 상기 접촉부(140)는 상기 보호부(120)의 라인들의 사이의 공간에 일렬로 나열되어 있는 것인 이방 도전성 시트(100)를 제공한다.The present invention will be described in detail with reference to FIG. 2, which is an anisotropic conductive sheet for use in an inspection process of an inspected device. According to an embodiment of the present invention, there is provided an anisotropically conductive sheet (100) for electrically connecting an electrode to be inspected of an inspected device with an inspecting electrode of an inspecting circuit board, A plurality of protrusions 120 formed in one side of the insulator 110 in the thickness direction of the insulator 110 and spaced from each other in the plane direction of the insulator 110; And a contact part 140 protruding from the insulating part 110 so as to correspond to the electrodes to be inspected at one end of each of the conductive parts 130, And the contact portion 140 is arranged in a line between the lines of the protection portion 120 in a line.

우선, 본 발명의 이방 도전성 시트(100)에 포함되는 절연부(110)는, 도전부(130) 사이에 위치하여 도전부(130) 간의 신호 전달을 차단하는 역할을 한다. 이러한 절연부(110)의 재질로서는, 절연성 물질을 이용할 수 있고, 상기 절연성 물질은 폴리이미드, 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. 이중에서, 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 부가형 또는 축합형일 수 있으며, 성형성과 탄성변형이 용이하다는 측면에서 부가형 액상 실리콘 고무가 바람직하다. 상기 절연부(110)를 액상 실리콘 고무의 경화물에 의해 형성하는 경우에 있어서, 상기 실리콘 고무의 경화물은 100 ~ 200℃에 있어서의 압축 영구 왜곡이 5 ~ 10 % 이하인 것이 바람직하다. The insulating part 110 included in the anisotropically conductive sheet 100 of the present invention is positioned between the conductive parts 130 and blocks the signal transmission between the conductive parts 130. The insulating material may be an insulating material such as polyimide, polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber And hydrogenated products thereof, block copolymer rubbers such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer, and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, Epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber. Of these, liquid silicone rubber is preferable from the viewpoints of moldability and electrical properties. The liquid silicone rubber may be addition type or condensation type, and addition type liquid silicone rubber is preferable in view of moldability and easy elastic deformation. In the case where the insulating portion 110 is formed of a cured liquid silicone rubber, it is preferable that the cured product of the silicone rubber has a compression set of 10 to 10% or less at 100 to 200 ° C.

본 발명의 이방 도전성 시트(100)에 포함되는 도전부(130)는 상기 절연부(110)의 두께 방향으로 관통되어서 복수로 형성되고, 내부에 도전성 입자를 포함하는 것으로, 피검사 디바이스와 검사용 회로 기판을 전기적으로 연결시키는 역할을 한다. 구체적으로, 도전부(130)의 하단은 검사용 회로 기판(미도시)과 접촉하고, 도전부(130)의 상단에는 접촉부(140)가 형성되어 있어서, 피검사 디바이스의 피검사 전극(미도시)과 접촉하여 검사용 회로 기판에서 나오는 신호를 피검사 디바이스에 전달한다. 이러한 도전부(130)의 매질을 이루는 물질은 상기 절연부(110)에서와 같은 절연성 물질을 사용할 수 있고, 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다. 한편, 도전부(130)의 매질을 이루는 물질은 상기 절연부(110)의 매질과 반드시 서로 동일한 물질을 사용할 필요는 없으며, 서로 다른 절연성 물질을 사용하는 것도 가능하다.The conductive parts 130 included in the anisotropically conductive sheet 100 of the present invention are formed in plural numbers through the insulating part 110 in the thickness direction thereof and include conductive particles therein. And serves to electrically connect the circuit board. Specifically, the lower end of the conductive part 130 is in contact with a circuit board for inspection (not shown), and the contact part 140 is formed at the upper end of the conductive part 130, To transmit a signal from the circuit board for inspection to the inspected device. The material forming the medium of the conductive part 130 may be an insulating material such as that in the insulating part 110, and it is preferable to use silicone rubber, but the present invention is not limited thereto. The material forming the medium of the conductive part 130 does not necessarily have to be the same material as the medium of the insulation part 110, and different insulating materials may be used.

여기서, 이방 도전성 시트(100)의 접촉부(140)는 상기 도전부(130) 내에 포함되는 도전성 입자와 동일 또는 상이한 다수의 도전성 입자를 포함하며, 이러한 접촉부(140)의 매질을 이루는 물질은 상기 절연부(110)의 매질과 반드시 서로 동일한 물질을 사용할 필요는 없으며, 서로 다른 절연성 물질을 사용하는 것도 가능하다. 또한, 각각의 접촉부(140)는 대략적으로 피검사 디바이스(미도시)의 피검사 전극(미도시)과 대응되는 개소에 위치하게 된다.The contact portion 140 of the anisotropically conductive sheet 100 includes a plurality of conductive particles that are the same as or different from the conductive particles included in the conductive portion 130. The material forming the medium of the contact portion 140 is the insulating It is not always necessary to use the same material as the medium of the portion 110, and it is also possible to use different insulating materials. In addition, each of the contact portions 140 is approximately located at a position corresponding to the electrodes to be inspected (not shown) of an inspected device (not shown).

상기 도전부(130) 및 접촉부(140)에 포함되는 다수의 도전성 입자는 상기 도전부(130) 및 접촉부(140)의 매질을 이루는 물질 내에 다수의 도전성 입자가 랜덤 방향 또는 도전부(130) 및 접촉부(140)의 두께 방향으로 밀집되어 정렬된 형태로 포함될 수 있는데, 이방 도전성 시트(100)의 도전부(130)에서의 도전 저항을 최소화하는 점에서 도전부(130) 및 접촉부(140)의 두께 방향으로 정렬된 형태로 포함되는 것이 바람직하다. A plurality of conductive particles contained in the conductive part 130 and the contact part 140 are electrically connected to the conductive part 130 and the conductive part 130 in a material forming the medium of the conductive part 130 and the contact part 140, The conductive part 130 and the contact part 140 may be arranged in a concentrated manner in the thickness direction of the contact part 140. In order to minimize the conductive resistance in the conductive part 130 of the anisotropic conductive sheet 100, And it is preferably included in the form aligned in the thickness direction.

본 발명에 따른 도전성 입자의 소재는 자기력선을 작용시킴으로써 쉽게 도전부(130) 및 접촉부(140)의 두께 방향으로 정렬하도록 자성을 나타내는 것을 사용할 수 있다. 이러한 도전성 입자의 구체예로는 니켈, 철, 코발트, 망간 등의 자성을 나타내는 강자성체 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 강자성체 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성의 귀금속(貴金屬, noble metal)의 도금을 수행한 것이 사용될 수 있다.The material of the conductive particles according to the present invention may be one which exhibits magnetism so as to be easily aligned in the thickness direction of the conductive part 130 and the contact part 140 by applying magnetic force lines. Specific examples of such conductive particles include particles made of a ferromagnetic metal showing magnetism such as nickel, iron, cobalt, and manganese, particles made of these alloys, particles containing these ferromagnetic metals, or particles containing these particles as core particles, The surface of the particles may be coated with a conductive noble metal, such as gold, silver, palladium or rhodium, which is not easily oxidized.

상기, 도전성 입자가 정렬되어 배치됨으로써, 다수의 도전성 입자들은 접촉부(140)가 피검사 디바이스(미도시)에 의하여 가압되는 경우 서로 접촉하면서 전기적인 통전을 가능하게 하는 기능을 수행한다. 즉, 피검사 디바이스(미도시)에 의하여 가압되기 전에는 도전성 입자들이 미세하게 이격되거나 서로 약하게 접촉되어 있으며, 도전부(130) 및 접촉부(140)가 가압되어 압축되면 도전성 입자들이 서로 확실하게 접촉됨으로써 전기적 도통이 가능해 질 수 있다.When the conductive particles are aligned and arranged, the plurality of conductive particles contact each other when the contact portion 140 is pressed by a device to be inspected (not shown), thereby performing electrical energization. That is, the conductive particles are slightly spaced or weakly contacted with each other before being pressed by a device to be inspected (not shown). When the conductive part 130 and the contact part 140 are pressed and compressed, Electrical conduction can be enabled.

상기 도전부(130) 상측에 형성된 접촉부(140)의 도전성 입자의 밀도는 도전부(130)의 도전성 입자의 밀도와 대비하여 동일하거나 높을 수 있다. 이러한 경우, 보다 효율적으로 이방 도전성 시트(100)의 도전성을 향상시키는 효과를 가질 수 있다. 그러나, 상기 접촉부(140)는 도전부(130)의 상측에 돌출되어 형성되므로, 피검사 디바이스의 피검사 전극과의 빈번한 접촉과정에서 쉽게 변형 내지는 손상 등이 될 염려가 있게 된다. 특히, 볼리드 단자와의 빈번한 접촉으로 인하여 접촉부(140)는 그 형상을 그대로 유지하지 못하고 파손될 수도 있다.The density of the conductive particles of the contact portion 140 formed on the conductive portion 130 may be the same or higher than the density of the conductive particles of the conductive portion 130. In this case, the effect of improving the conductivity of the anisotropic conductive sheet 100 can be more efficiently achieved. However, since the contact portion 140 protrudes from the upper side of the conductive portion 130, the contact portion 140 may be easily deformed or damaged during frequent contact with the electrodes to be inspected of the device under test. Particularly, due to frequent contact with the ball lead terminal, the contact portion 140 can not maintain its shape and may be broken.

이에, 상기 접촉부(140)를 보호하고, 이방 도전성 시트의 내구성의 확보를 위하여, 도 3(평면도) 및 도 4(사시도)에 도시된 바와 같이 상기 보호부(120)는 라인 앤 스페이스 패턴으로 형성되며, 상기 접촉부(140)는 상기 보호부(120)의 라인들의 사이의 공간에 일렬로 나열되어 있는 것이 바람직하다.3 (plan view) and FIG. 4 (perspective view), the protective portion 120 is formed in a line-and-space pattern so as to protect the contact portion 140 and ensure durability of the anisotropically conductive sheet. And the contact portion 140 may be arranged in a line between the lines of the protection portion 120.

본 발명의 일 실시형태에 따르면, 상기 보호부(120)는 다양한 형상일 수 있고, 예를 들어 두께 방향에서의 단면이 반구형, 사다리꼴형, 역사다리꼴형 및 사각형으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 모양으로 형성되는 것일 수 있다.According to one embodiment of the present invention, the protector 120 may have various shapes, for example, at least one selected from the group consisting of hemispherical, trapezoidal, inverted trapezoidal, As shown in FIG.

상기 보호부(120)는 접촉부(140)를 제외한 영역을 라인 앤 스페이스 패턴으로 커버할 수 있으며, 접촉부(140)가 피검사 디바이스와 접촉 시 가해지는 압력을 흡수하여 감소시키는 역할을 한다. 또한 상기 보호부(120)는 감소시키고, 피검사 전극이 접촉부(140)에 정확히 접촉할 수 있도록 가이드 역할을 한다. 상기 보호부(120)는 절연부(110)에 접착제 등의 화학물질을 통해 접착되거나, 또는 상기 절연부(110)와 상기 보호부(120)를 연결시켜주는 지지부(미도시)를 더 포함하여 물리적으로 연결될 수도 있다. The protection unit 120 may cover an area other than the contact unit 140 in a line-and-space pattern. The protection unit 120 absorbs and reduces the pressure applied when the contact unit 140 contacts the device under test. Further, the protection unit 120 is reduced and serves as a guide to allow the electrodes to be inspected to contact the contact unit 140 accurately. The protection unit 120 may further include a support unit (not shown) that is attached to the insulation unit 110 through a chemical material such as an adhesive or connects the insulation unit 110 and the protection unit 120 It may be physically connected.

또한, 상기 보호부(120)는 재질에 따라서 빈 공간이 없는 치밀한 조직으로 제조될 수도 있고, 메쉬 또는 스폰지 형상의 내부 조직으로 제조될 수도 있는데, 보호부를 경량화 하면서, 탄성력 및 복원력을 동시에 가질 수 있으며, 피검사 디바이스와 접촉 시에 이방 도전성 시트의 접촉부(140)에 가해지는 압력을 보다 효과적으로 감소시키는 점에서 메쉬 또는 스폰지 형상으로 제조되는 것이 바람직하다. The protection unit 120 may be made of a dense structure having no empty space according to the material, or may be made of a mesh or sponge-like internal structure. The protection unit 120 may have both elasticity and restoring force while reducing the weight of the protection unit , It is preferable to be formed in a mesh or sponge shape in that it effectively reduces the pressure applied to the contact portion 140 of the anisotropic conductive sheet upon contact with the device to be inspected.

상기 보호부(120)의 재질로서는 절연성 물질을 이용할 수 있고, 상기 절연성 물질은 폴리이미드, 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계 고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등을 들 수 있다. 이중에서, 기계적 강도 및 열화학적으로 우수한 폴리이미드를 사용하는 것이 바람직하다.As the material of the protection unit 120, an insulating material may be used. The insulating material may be a polyimide, a polybutadiene rubber, a natural rubber, a polyisoprene rubber, a styrene-butadiene copolymer rubber, an acrylonitrile-butadiene copolymer rubber, Block copolymer rubbers such as conjugated diene rubbers and their hydrogenated products, styrene-butadiene-diene block copolymer rubbers and styrene-isoprene block copolymers, hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, Chlorinated rubbers, chlorinated rubbers, silicone rubbers, ethylene-propylene copolymer rubbers and ethylene-propylene-diene copolymer rubbers. Among them, it is preferable to use a polyimide excellent in mechanical strength and thermochemistry.

상기 보호부(120)는 예를 들어 피검사 디바이스의 피검사 전극(예컨대, 땜납 볼 전극)의 전기적 접촉점인 피검사 전극의 볼의 수가 증가함에 따라 그 하중을 제어하기 어렵기 때문에, 보호부(120)의 하중을 감소시키는 측면에서 보호부(120)의 경도가 절연부(110)의 경도보다 클 수 있다. Since the protective portion 120 is difficult to control the load as the number of balls of the electrodes to be inspected which are the electrical contact points of the electrodes to be inspected (for example, solder ball electrodes) of the device under test increases, The hardness of the protective portion 120 may be greater than the hardness of the insulating portion 110. [

도 5를 참조로 하여 살펴보면, 이방 도전성 시트(100)를 이용하여 피검사 디바이스(20)를 검사할 때, 피검사 디바이스(20)의 하단에 위치하고 이방 도전성 시트(100)의 접촉부(140)와 접촉하는 피검사 전극(21)은 접촉부(140)를 일정 압력으로 가압하게 된다. 이 경우, 접촉부(140)는 도 5에 나타난 바와 같이 수평 방향으로 두께가 팽창하게 되는데, 접촉부(140)에 인접하고 있는 보호부(120)는 접촉부(140)로부터 전달되는 압력에 대응하여, 일정한 탄성력 및 회복력을 가지고 있어야 접촉부(140)의 내구성을 장시간 유지할 수 있다. 보다 효율적으로는 상술한 바와 같은 접촉부(140)의 수평방향의 두께 변화를 감안하여, 상기 보호부(120)로부터 상기 접촉부는 일정한 거리로 이격되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로, 도 6을 참조로 한 본 발명의 일 실시형태에 따르면, 상기 접촉부(140)는 피검사 디바이스의 피검사 전극과 라인 앤 스페이스 패턴의 상기 보호부(120)로부터 상기 접촉부(140)가 이격되어 있는 평균 간격(S)과, 상기 접촉부(140)가 상기 절연부(110)로부터 돌출되어 있는 평균 높이(H)의 비(S/H)는 0.1 내지 0.6 일 수 있으며, 0.1 내지 0.3 인 것이 바람직하다. 상기 접촉부(140)가 상기 절연부(110)로부터 돌출되어 있는 평균 높이(H)의 비(S/H)가 0.1미만이면 가이드 역할을 할 수 없고, 상기 절연부(110)로부터 돌출되어 있는 평균 높이(H)의 비(S/H)가 0.6을 초과하면 접촉이 잘 되지 않을 수 있다. 5, when the device 20 to be inspected is inspected using the anisotropic conductive sheet 100, the contact portion 140 of the anisotropic conductive sheet 100 is positioned at the lower end of the device under test 20, The electrodes 21 to be inspected which contact with each other press the contact portion 140 at a constant pressure. In this case, the contact portion 140 expands in the horizontal direction as shown in FIG. 5, and the protective portion 120 adjacent to the contact portion 140 has a constant (corresponding to the pressure transmitted from the contact portion 140) The resilient force and the resilient force are required to maintain the durability of the contact portion 140 for a long time. It is preferable that the contact portion is spaced apart from the protective portion 120 by a predetermined distance in consideration of the thickness variation in the horizontal direction of the contact portion 140 as described above. 6, the contact portion 140 includes a contact portion 140 extending from the protection portion 120 of the line-and-space pattern to the electrodes to be inspected of the device to be inspected (see FIG. 6) The ratio S / H of the spacing S and the average height H of the contact 140 protruding from the insulating portion 110 may be 0.1 to 0.6 and may be 0.1 to 0.3 . If the ratio (S / H) of the average height H of the contact portion 140 protruding from the insulating portion 110 is less than 0.1, it can not serve as a guide and the average If the ratio (S / H) of the height H exceeds 0.6, the contact may not be performed well.

추가적으로, 이방 도전성 시트(100)의 상기 접촉부는(140)는 보호부(120)와 동일 또는 상이한 높이를 가질 수 있다. 접촉부(140)의 높이가 보호부(200)의 높이보다 높은 경우(예컨대, LGA), 접촉부(140)의 높이가 보호부(200)의 높이보다 낮은 경우(예컨대, BGA) 등 다양한 모양을 가진 피검사 전극을 포함하는 피검사 디바이스의 검사에 이방 도전성 시트를 용이하게 이용할 수 있다. 또한, 이방 도전성 시트의 최외부로 돌출된 접촉부(140)는 다수의 도전성 입자를 포함하고 있으므로, 시트의 전체적인 저항수치를 낮출 수도 있으며, 피검사 디바이스와 이방 도전성 시트가 상호 접촉 시에 보호부(120)의 간섭을 받지 않고 접촉이 가능해지므로, 피검사 디바이스의 검사 신뢰성을 확보할 수 있다. Additionally, the contact portion 140 of the anisotropic conductive sheet 100 may have the same or different height as the protection portion 120. [ When the height of the contact portion 140 is higher than the height of the protection portion 200 (for example, LGA) and the height of the contact portion 140 is lower than the height of the protection portion 200 (for example, BGA) The anisotropic conductive sheet can be easily used for inspecting the device to be inspected including the electrodes to be inspected. Since the contact portion 140 protruding to the outermost side of the anisotropic conductive sheet includes a large number of conductive particles, the overall resistance value of the sheet may be lowered, and when the device to be inspected and the anisotropically conductive sheet are in contact with each other, 120, thereby making it possible to ensure the inspection reliability of the device under test.

또한, 상기 보호부(120)의 상면 및 하면 중 적어도 하나의 면에는 보호시트(미도시)가 부착될 수도 있다. 상기 보호시트는 메쉬 형태일 수 있고, 메쉬는 원형, 삼각형, 사각형 등의 다각형으로 형성될 수 있다. 상기 보호시트는 유기 섬유로 구성된 메쉬 혹은 부직포일 수 있고, 상기 유기 섬유는 아라미드 섬유, 폴리에틸렌 섬유, 폴리아릴레이트 섬유, 나일론 섬유, 폴리 에스테르 섬유, 폴리테트라플루오르에틸렌 섬유 등의 불소 수지 섬유일 수 있다. 이와 같은 상기 보호시트는 보호부의 상면 및 하면 중 적어도 어느 하나의 면에 부착되어, 피검사 디바이스 검사 시에 발생되는 열에 의해 피검사 디바이스와 동일하거나 근사한 열팽창 계수를 가질 수 있으며, 하중 감소이 감소될 수 있다. 상기 보호시트가 보호부의 하부에 부착될 경우, 보호시트는 절연부와의 접촉력을 높이기 위해 미끄럼 방지 화학물질 처리가 될 수 있다.In addition, a protective sheet (not shown) may be attached to at least one of the upper surface and the lower surface of the protection unit 120. The protective sheet may be in the form of a mesh, and the mesh may be formed in a polygonal shape such as a circle, a triangle, or a square. The protective sheet may be a mesh or nonwoven fabric composed of organic fibers, and the organic fibers may be fluororesin fibers such as aramid fibers, polyethylene fibers, polyarylate fibers, nylon fibers, polyester fibers, and polytetrafluoroethylene fibers . The protective sheet may be attached to at least one of the upper surface and the lower surface of the protective portion to have a thermal expansion coefficient equal to or close to that of the device to be inspected by the heat generated during the inspection of the inspected device, have. When the protective sheet is attached to the lower portion of the protective portion, the protective sheet may be treated with a non-slip chemical to increase the contact force with the insulating portion.

또한, 본 발명의 이방 도전성 시트는 사용과정에서 그 형태가 변형되는 것을 보다 방지하기 위해 절연부의 하부면(피검사 전극에 접촉하는 면의 반대방향)에 절연시트가 더 마련될 수도 있다. 상기 절연시트는 이방 도전성 시트를 지지하는 프레임(미도시) 하부에 위치하는 검사용 회로 기판과 프레임 간의 전기적 단락을 예방할 수 있으며, 상기 절연시트는 프레임에 접착제로 접착될 수 있다. 이러한 절연시트를 이루는 물질은 특별히 한정되지 않으나, 에폭시 수지 또는 폴리이미드 수지 등을 들 수 있다.In addition, the anisotropic conductive sheet of the present invention may further include an insulating sheet on the lower surface of the insulating portion (in the direction opposite to the surface contacting the electrodes to be inspected) in order to further prevent the shape of the anisotropic conductive sheet from being deformed during use. The insulating sheet can prevent an electrical short between the circuit board for inspection and the frame located below the frame (not shown) supporting the anisotropic conductive sheet, and the insulating sheet can be bonded to the frame with an adhesive. The material constituting such an insulating sheet is not particularly limited, but an epoxy resin, a polyimide resin and the like can be given.

한편, 본 발명의 이방 도전성 시트를 제조하는 방법은 구체적으로, 프레임이 투입된 몰드에 절연부를 형성하기 위한 액상의 실리콘 수지 조성물을 투입하여 성형한 성형물을 형성한 후, 피검사 디바이스와 접촉하는 상면에 보호부를 부착하고, 검사용 회로 기판과 접촉하는 하면에 절연 시트를 부착 시킨다. 이후, 타공을 통하여 도전부 및 접촉부가 형성될 다수의 홀을 형성시킨다. 상기 타공 부위에 도전부 및 접촉부를 형성하기 위한 도전성 입자를 포함하는 액상의 실리콘 수지 조성물을 주입하고, 상기 성형용 재료에 그 상하 방향(각 부재의 두께 방향)으로 자장을 가하여, 상기 도전성 입자가 자기력선과 평행한 상하방향으로 정렬될 수 있도록 한다. 이후에는 실리콘 수지 조성물을 경화시키고 난 후, 레이저 가공, 프레스 가공, 또는 드릴 가공 등 중 355nm UV 레이저 가공을 통하여, 보호부에 라인 앤 스페이스 패턴을 형성한 후, 이방 도전성 시트의 제조를 완료하게 된다.A method of manufacturing an anisotropically conductive sheet according to the present invention includes the steps of forming a molded product by injecting a liquid silicone resin composition for forming an insulating portion into a mold into which a frame is inserted, A protective portion is attached, and an insulating sheet is attached to a lower surface which is in contact with the circuit board for inspection. Thereafter, a plurality of holes through which the conductive portion and the contact portion are to be formed are formed through the pores. A liquid silicone resin composition containing conductive particles for forming a conductive portion and a contact portion is injected into the piercing portion and a magnetic field is applied to the molding material in the up and down direction (thickness direction of each member) So that they can be aligned in the vertical direction parallel to the magnetic force lines. Thereafter, after the silicone resin composition is cured, a line-and-space pattern is formed in the protective portion through 355 nm UV laser processing during laser processing, press processing, drilling or the like, and then the production of the anisotropic conductive sheet is completed .

도 7은 본 발명의 피검사 디바이스의 검사 장치를 나타낸 설명도로서, 상술한 이방 도전성 시트를 포함한다. Fig. 7 is an explanatory view showing a testing apparatus of the device to be inspected of the present invention, and includes the above-described anisotropic conductive sheet.

상기 피검사 디바이스의 검사 장치는 검사용 전극(31)을 구비한 검사용 회로 기판(30)을 포함한다. 상기 검사용 회로 기판(30)의 표면(도 7에 있어서 상면)에는 검사 대상인 피검사 디바이스(20)의 반구 형상 또는 구형 형상의 피검사 전극(예컨대, 땜납 볼 전극)(21)에 대응하여 검사용 전극(31)이 형성되어 있다. 상기 검사용 회로 기판(30) 상에는 상술한 이방 도전성 시트(100)가 배치되어 있다. 이와 같은 피검사 디바이스의 검사 장치는 피검사 전극(21)이 접촉부(140) 상에 위치되도록 피검사 디바이스(20)가 배치된다. 이 상태에서, 예를 들어 피검사 디바이스(20)를 검사용 회로 기판(30)에 접근하는 방향으로 압박함으로써, 이방 도전성 시트(100)는 각각의 접촉부(140) 및 도전부(130)가 피검사 전극(21)과 검사용 전극(31)에 의해 협압된 상태가 된다. 그 결과, 피검사 디바이스(20)의 각 피검사 전극(21)과 검사용 회로 기판(30)의 각 검사용 전극(31) 사이의 전기적 접속이 달성되고, 이 상태에서 피검사 디바이스(20)의 검사가 행해진다.The inspection apparatus of the device to be inspected includes an inspection circuit board (30) having an inspection electrode (31). 7) of the hemispherical or spherical shape of the inspected device 20 to be inspected is formed on the surface (the upper surface in Fig. 7) of the circuit board 30 for inspection, Electrode 31 is formed. The above-described anisotropically conductive sheet 100 is disposed on the circuit board 30 for inspection. In the inspection apparatus of the device to be inspected as described above, the device 20 to be inspected is arranged such that the electrodes 21 to be inspected are positioned on the contact portion 140. In this state, the anisotropic conductive sheet 100 is pressed against the circuit board 30 for inspection, for example, by pushing the device 20 to be inspected in the direction of approaching the circuit board for inspection 30 so that the contact portions 140 and the conductive portions 130 And is in a state of being clamped by the inspecting electrode 21 and the inspecting electrode 31. As a result, electrical connection is established between each of the electrodes 21 to be inspected of the device 20 to be inspected and each of the electrodes 31 of the circuit board 30 for inspection. In this state, Is inspected.

본 발명에 있어서는 상기한 실시 형태에 한정되지 않고 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made.

본 발명의 이방 도전성 시트(100)를 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사에 이용하는 경우에 있어서, 검사 대상인 피검사 디바이스(20)의 피검사 전극(21)은 반구 형상 또는 구형 형상의 땜납 볼 전극에 한정되지 않고, 예를 들어 리드 전극이나 평판형의 전극일 수 있다. 또한, 이방 도전성 시트(100)는 검사용 회로 기판(30)에 일체적으로 접착되어 있을 수 있다. 이와 같은 구성에 따르면, 이방 도전성 시트와 검사용 회로 기판 사이의 위치가 어긋나는 것을 방지할 수 있다.When the anisotropic conductive sheet 100 of the present invention is used for electrical inspection of the device 20 to be inspected, the electrodes 21 to be inspected of the device 20 to be inspected are half-spherical or spherical, But may be, for example, a lead electrode or a plate-like electrode. The anisotropic conductive sheet 100 may be integrally bonded to the circuit board 30 for inspection. According to such a configuration, displacement between the anisotropic conductive sheet and the circuit board for inspection can be prevented from being displaced.

20: 피검사 디바이스
21: 피검사 전극
30: 검사용 회로 기판
31: 검사용 전극
10, 100: 이방 도전성 시트
12, 110: 절연부
120: 보호부
11, 130: 도전부
140: 접촉부20: Inspected device
21: electrode to be inspected
30: Circuit board for inspection
31: Electrode for inspection
10, 100: Anisotropically conductive sheet
12, 110:
120:
11, 130: conductive part
140:

Claims

An anisotropically conductive sheet for electrically connecting an electrode to be inspected of a device to be inspected and an inspecting electrode of an inspecting circuit board,
Insulating portion;
A protective portion formed on one side of the insulating portion;
A plurality of conductive portions penetrating in a thickness direction of the insulating portion, each of the conductive portions being spaced apart from each other in a plane direction of the insulating portion; And
And a contact portion protruding from the insulating portion so as to correspond to the electrode to be inspected at an end of one of the conductive portions,
Wherein the protection portion is formed in a line-and-space pattern, and the contact portion is arranged in a line in a space between the lines of the protection portion.

The method according to claim 1,
Wherein the conductive portion and the contact portion include a plurality of conductive particles.

The method of claim 2,
Wherein the density of the conductive particles of the contact portion is higher than the density of the conductive particles of the conductive portion.

The method of claim 2,
Wherein the conductive particles contained in the conductive portion and the contact portion are aligned in the thickness direction of the conductive portion and the contact portion.

The method of claim 2,
Wherein the conductive particles comprise at least one ferromagnetic metal particle selected from the group consisting of iron, nickel, cobalt, manganese and alloys thereof, or particles of the alloy or particles containing the ferromagnetic metal. .

The method according to claim 1,
Wherein the protective portion is formed in at least one shape selected from the group consisting of hemispherical shape, trapezoidal shape, inverted trapezoidal shape, and square shape in cross section in the thickness direction.

The method according to claim 1,
Wherein the protective portion has a mesh or sponge-like internal structure.

The method according to claim 1,
And the hardness of the insulating portion and the protective portion are different.

The method according to claim 1,
(S / H) of an average distance (S) in which the contact portion is spaced from the protective portion of the line-and-space pattern and an average height (H) in which the contact portion is protruded from the insulating portion is 0.1 to 0.6 , An anisotropically conductive sheet.

The method according to claim 1,
Further comprising a supporting portion between the insulating portion and the protecting portion.

The method according to claim 1,
Wherein at least one of the insulating portion, the conductive portion, the protective portion, and the contact portion is at least one of polyimide, conjugated diene rubber, block copolymer rubber, chloroprene, urethane rubber, An ethylene-propylene copolymer rubber, an ethylene-propylene copolymer rubber, an ethylene-propylene-diene copolymer rubber, and a hydrogenated product thereof.

An inspection circuit board having inspection electrodes arranged corresponding to inspection electrodes of the device to be inspected; And
Wherein an anisotropically conductive sheet according to any one of claims 1 to 11 is arranged on the circuit board for inspection.