KR20190050482A - Mapping apparatus for load port that detects the presence or position of wafer - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a mapping device for a load port, detecting the existence and the position of a wafer. The mapping device is installed in a port door vertically operated to transfer a wafer by sealing and opening a storing port storing and transferring the wafer. The mapping device maps the existence or the position of the multiple wafers. The mapping device includes: a first mapping bar having a light transmitter on one side, wherein the other side of the first mapping bar is connected to a main bar to rotate; a second mapping bar having a light receiver on one side, wherein the other side of the second mapping bar is connected to the main bar to rotate; a first rotary wheel connected to the first mapping bar, wherein a part of one side is connected to a rotary bar; a second rotary wheel connected to the second mapping bar, wherein a part of one side is connected to the rotary bar; the rotary bar in which one side and the other side are connected to the first rotary wheel and the second rotary wheel to rotate; a cylinder linearly moving the rotary bar as one side of the cylinder is connected to the rotary bar; and the main bar connected to the port door, wherein the first mapping bar, the second mapping bar, and the cylinder are fixed thereto to rotate.

Description

웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치{Mapping apparatus for load port that detects the presence or position of wafer}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a mapping apparatus for a load port that detects presence /

본 발명은 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실린더를 통해서 매핑바를 회동시키고, 2개의 매핑바의 끝단에 각각 설치되어 있는 광송신기, 광수신기를 통해서 광을 송신하고 수신하여 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하도록 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mapping apparatus for a load port that detects the presence and position of a wafer, and more particularly, to an optical transmitter and an optical receiver provided at the ends of two mapping bars, The present invention relates to a mapping apparatus for a load port that detects presence / absence and position of a wafer for detecting presence / absence and position of a wafer.

본 발명은 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치에 관한 것이다. 최근 들어 전자 산업, 정보 통신 산업, 세부적으로 컴퓨터 산업의 빠른 기술 혁신과 개발이 지속적으로 이루어지고 있는바, 이들 산업들의 빠른 기술 혁신 및 개발의 근원은 단 시간내 많은 양의 정보를 처리함과 동시에 처리된 정보를 임시적 또는 영구적으로 저장할 수 있으면서도 그 크기가 매우 작은 반도체 제품을 생산하는 반도체 산업의 발달에 기인함을 알 수 있다.The present invention relates to a mapping apparatus for a load port that detects the presence and position of a wafer. In recent years, rapid technological innovation and development of electronic industry, information communication industry, and computer industry have been continuing, and the source of rapid technological innovation and development of these industries is to process a large amount of information in a short period of time It can be seen that the development of the semiconductor industry which can store the processed information temporarily or permanently, but produces a semiconductor product with a very small size can be seen.

이와 같이 고집적, 고성능 반도체 제품을 생산하기 위해서는 매우 복잡하면서 다양한 반도체 공정을 수십-수백 번 반복적으로 진행하여야 한다. 이때, 반도체 제품의 재료가 되는 순수 실리콘 웨이퍼들은 웨이퍼 카세트 (CASSETTE)에 안전하게 수납된 상태에서 다양한 반도체 공정을 수행하기 위해 이동되거나 보관된다.In order to produce such a highly integrated and high-performance semiconductor product, it is necessary to repeatedly perform complicated and various semiconductor processes several tens to several hundred times. At this time, pure silicon wafers to be a material of semiconductor products are moved or stored for carrying out various semiconductor processes while being safely stored in a wafer cassette (CASSETTE).

이와 같은 기능을 하는 카세트에는 복수개의 슬롯(slot)이 형성되어 있어서, 각 슬롯에 웨이퍼가 한장 씩 수납된다. In the cassette having such a function, a plurality of slots are formed, and wafers are stored one by one in each slot.

그리고 각 공정 챔버에 웨이퍼가 로딩(loading)되기 전에는 카세트에 수납된 웨이퍼의 개수 및 적재된 위치 등을 체크 하게 되는데 이와 같은 기능을 하는 장치를 매핑(mapping) 장치라고 한다. Before the wafer is loaded into each process chamber, the number of wafers housed in the cassette and the loaded position are checked. Such a functioning device is called a mapping device.

기존의 매핑장치는 매핑센서를 구비하되, 송신기와 수신기가 정위치보다 조금이라도 벗어나 있으면 웨이퍼의 수납여부를 판독할 수가 없어 에러를 발생시키는 문제점이 있었다. 또한, 기존의 매핑장치는 웨이퍼 카세트가 수납되는 수납 포트의 상하면에 송신기와 수신기가 형성되어 웨이퍼의 유무는 판독 가능하지만, 웨이퍼의 위치를 판독하지 못하는 문제점이 있었다.The conventional mapping apparatus has a mapping sensor, and if the transmitter and the receiver are slightly out of the predetermined position, it is impossible to read whether or not the wafer is stored. In addition, in the conventional mapping apparatus, the transmitter and the receiver are formed on the upper and lower sides of the receiving port in which the wafer cassette is housed, so that the presence or absence of the wafer can be read, but the position of the wafer can not be read.

상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 광수신기와 광송신기가 각각의 매핑바에 일체형으로 형성되어 광송신기와 광수신기가 항상 대칭되고, 이를 실린더의 전진과 후퇴를 이용하여 회동시키는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공하기 위함이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention, which is devised to solve the problems described above, to provide an optical transmitter and an optical receiver which are integrally formed in a mapping bar of an optical receiver and an optical transmitter, The present invention is intended to provide a mapping apparatus for a load port that detects the presence and position of a wafer to be rotated.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 포트도어에 설치되어 매핑바에 구비된 광수신기와 광송신기를 통해 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공하기 위함이다.It is another object of the present invention to provide a mapping apparatus for a load port that detects presence / absence and position of a wafer installed on a port door for detecting presence / absence of a wafer and an optical receiver provided in a mapping bar and an optical transmitter .

또한, 본 발명의 또 다른 목적은, 회동반경 제한부재가 형성되어 매핑바의 회전 반경에 제한을 걸어줌으로써, 매핑바의 잔고장을 방지하도록 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공하기 위함이다.It is still another object of the present invention to provide a mapping apparatus for a load port that detects the presence and position of a wafer for preventing a residual length of a mapping bar by limiting a turning radius of the mapping bar by forming a turning radius limiting member, .

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 설치되고, 복수의 웨이퍼의 존재 또는 위치를 매핑하는 매핑장치에 있어서, 광송신기가 일측면에 형성되고 타측이 회동 가능하도록 메인바와 결합되는 제1매핑바; 광수신기가 일측면에 형성되고 타측이 회동 가능하도록 메인바와 결합되는 제2매핑바; 상기 제1매핑바와 결합되며 일측 중 어느 한 부분이 회동바와 연결되는 제1회동휠; 상기 제2매핑바와 결합되며 일측 중 어느 한 부분이 회동바와 연결되는 제2회동휠; 일측 및 타측이 상기 제1회동휠 및 제2회동휠과 회동 가능하게 결합되는 회동바; 일측이 상기 회동바와 결합하여 상기 회동바를 직선 운동시키는 실린더; 및 상기 제1매핑바, 제2매핑바 및 실린더가 회동 가능하게 고정되고, 상기 포트도어에 결합되는 메인바;를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, the present invention provides a port door that is vertically driven so that a wafer can be transferred by sealing and opening a receiving port to which a wafer is received and transferred, A first mapping bar coupled to the main bar such that the optical transmitter is formed on one side and the other side is rotatable; A second mapping bar coupled to the main bar such that the optical receiver is formed on one side and the other side is rotatable; A first turning wheel coupled to the first mapping bar and having one side connected to the pivotal bar; A second turning wheel coupled to the second mapping bar and having one of the sides connected to the turning bar; A turning bar having one side and the other side rotatably coupled to the first turning wheel and the second turning wheel; A cylinder having one side engaged with the rotation bar and linearly moving the rotation bar; And a main bar rotatably fixed to the first mapping bar, the second mapping bar, and the cylinder, and coupled to the port door.

또한, 상기 제1회동휠 및 제2회동휠은, 타측이 일부 절삭된 원판 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 제1매핑바 및 제2매핑바는, 상기 제1회동휠 및 상기 제2회동휠이 위치한 면에 일부 돌출된 회동반경 제한부재가 형성되는 것을 특징으로 하고, 상기 회동반경 제한부재는, 상기 제1회동휠 및 제2회동휠의 절삭된 원판의 둘레 부분에 형성되되, 상기 제1회동휠 및 제2회동휠의 회전 시 상기 회동반경 제한부재로 인해 80도 내지 120도만 회전될 수 있도록 위치된다.It is preferable that the first turning wheel and the second turning wheel are formed in the shape of a disk with the other part being cut off partially, wherein the first mapping bar and the second mapping bar are formed by the first turning wheel and the second turning wheel, Wherein the turning radius limiting member is formed on a periphery of a cut circular plate of the first turning wheel and the second turning wheel, And is rotatable only by 80 to 120 degrees due to the rotation radius limiting member upon rotation of the first turning wheel and the second turning wheel.

또한, 상기 제1회동휠 및 상기 제2회동휠은, 상기 실린더의 전진 및 후퇴 시, 서로 반대방향으로 회전되도록, 상기 절삭부가 서로 90도 틀어져서 위치하고, 상기 제1회동휠은, 상기 실린더의 전진 시 절삭된 부분의 좌측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되고, 상기 실린더의 후퇴 시 절삭된 부분의 우측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되는 것을 특징으로 하고, 상기 제2회동휠은, 상기 실린더의 전진 시 절삭된 부분의 우측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되고, 상기 실린더의 후퇴 시 절삭된 부분의 좌측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉된다.The first turning wheel and the second turning wheel are positioned such that the cutting portions are rotated by 90 degrees relative to each other so that the first turning wheel and the second turning wheel are rotated in opposite directions when the cylinder advances and retracts, Wherein the left side of the cut-away portion is in contact with the turning radius limiting member, and the right side of the cut-off portion when the cylinder is retracted is in contact with the turning radius limiting member, The right side of the cut portion is brought into contact with the turning radius limiting member and the left side of the cut portion when the cylinder is retracted is brought into contact with the turning radius limiting member.

이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 광수신기와 광송신기가 각각의 매핑바에 일체형으로 형성되어 광송신기와 광수신기가 항상 대칭되고, 이를 실린더의 전진과 후퇴를 이용하여 회동시키는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, the optical receiver and the optical transmitter are integrally formed in the respective mapping bars, so that the optical transmitter and the optical receiver are always symmetrical, and the existence and position of the wafer, which rotates using the forward and backward movement of the cylinder, Can be provided for the load port.

또한, 본 발명에 따르면, 포트도어에 설치되어 매핑바에 구비된 광수신기와 광송신기를 통해 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공할 수 있다.Also, according to the present invention, it is possible to provide a mapping device for a load port that detects presence / absence and position of a wafer, which is provided in a port door and detects presence / absence and position of the wafer through an optical receiver and an optical transmitter provided in a mapping bar have.

또한, 본 발명에 따르면, 회동반경 제한부재가 형성되어 매핑바의 회전 반경에 제한을 걸어줌으로써, 매핑바의 잔고장을 방지하도록 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 제공할 수 있다.Further, according to the present invention, there is provided a mapping apparatus for a load port for detecting presence / absence of a wafer and a position for preventing a residual length of a mapping bar by forming a turning radius limiting member so as to limit a turning radius of the mapping bar .

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 투과 사시도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 포트도어 구동장치의 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 내부 측면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 상하이동부의 예시도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 저면도.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 측면도.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 저면도.1 is a perspective view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
2 is a transmission perspective view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view of a port door driving apparatus of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
4 is an inner side view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
5 is an exemplary view of a vertically moving portion of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
6 is a perspective view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
7 is a bottom view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;
8 is a side view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping device for a load port according to an embodiment of the present invention;
9 is a bottom view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention;

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention and the manner of achieving them will become apparent with reference to the embodiments described in detail below with reference to the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the drawings for explaining a mapping apparatus for a load port that detects presence / absence and position of a wafer according to embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 투과 사시도이다.FIG. 1 is a perspective view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a transmission perspective view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 로드포트(10)의 내부로 이송할 수 있도록 로드포트(10)의 포트도어(1000)를 상하로 이동시키는 포트도어 구동장치(20)에 있어서, 로드포트(10)의 상측에 포트도어(1000)에 대향되는 개구부(900)가 형성되며, 하부 공간에 포트도어 구동장치(20)가 내설되고, 상하이동부(200) 및 전후이동부(300)에 의해 돌출바(310)를 이동시키고, 돌출바(310)에 연결된 포트도어 지지부재(1100)를 이동시켜 포트도어(1000)를 개폐하도록 한다.Referring to FIGS. 1 and 2, the port door 1000 of the load port 10 is vertically and horizontally disposed so that the wafer is stored and transported and the wafer is transported to the inside of the load port 10 The port door driving device 20 is provided with an opening 900 opposed to the port door 1000 on the upper side of the load port 10 and a port door driving device 20 installed in the lower space, The protruding bar 310 is moved by the upward and downward moving part 200 and the forward and backward moving part 300 and the port door supporting member 1100 connected to the protruding bar 310 is moved to open and close the port door 1000.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 포트도어 구동장치의 사시도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 로드포트의 내부 측면도이다.FIG. 3 is a perspective view of a port door driving apparatus of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is an internal side view of a load port of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 3 및 도 4를 참조하여, 도 2의 로드포트(10)의 하부 공간에 내설된 포트도어 구동장치(20)에 대해서 설명하도록 한다.Referring to Figs. 3 and 4, the port door driving apparatus 20 installed in the lower space of the load port 10 of Fig. 2 will be described.

포트도어 구동장치(20)는 프레임(100), 상하이동부(200), 및 전후이동부(300)를 포함한다.The port door driving device 20 includes a frame 100, a vertical moving part 200, and a fore and aft moving part 300.

프레임(100)은 제2가이드홈(110), 밸트(210) 및 가이드돌기(150)를 포함한다.The frame 100 includes a second guide groove 110, a belt 210, and guide protrusions 150.

프레임(100)은 상하 방향으로 제1가이드홈(13)에 대응되도록 제2가이드홈(110)이 형성되어 있고, 일측에 가이드봉(130)이 형성되어 있으며, 로드포트(10)에 형성되어 있는 제1가이드홈(13)과 프레임(100)의 제2가이드홈(110)이 대응되도록 로드포트(10)의 내벽에 설치된다. 이때, 제1가이드홈(13)은 로드포트(10)의 상하방향으로 형성되어 있고, 제1가이드홈(13)과 제2가이드홈(110)의 크기는 동일한 것이 바람직하며, 가이드홈의 폭은 돌출바(310)의 폭보다 크기 때문에 돌출바(310)의 이동이 용이하도록 한다.The frame 100 is formed with a second guide groove 110 corresponding to the first guide groove 13 in the vertical direction and a guide rod 130 formed on one side thereof and formed on the rod port 10 The first guide groove 13 of the frame 100 and the second guide groove 110 of the frame 100 correspond to each other. At this time, the first guide groove 13 is formed in the vertical direction of the rod port 10, and the sizes of the first guide groove 13 and the second guide groove 110 are preferably the same, Is larger than the width of the protruding bar 310, so that the protruding bar 310 can be easily moved.

도 3에서는 밸트(210)로 인해서 제1가이드홈(13) 및 제2가이드홈(110)이 가려져 있으므로, 도 1 및 도 2를 더 참조하도록 한다.In FIG. 3, the first guide groove 13 and the second guide groove 110 are covered by the belt 210, and therefore, the present invention will be further described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG.

도 3을 참고하면, 제1가이드홈(13) 및 제2가이드홈(110)이 대응되도록 프레임(100)이 로드포트(10)의 내벽에 설치되어 제1가이드홈(13) 및 제2가이드홈(110)이 합쳐져 하나의 가이드홈으로 보여지고 있는 것을 예시하고 있다.3, the frame 100 is installed on the inner wall of the load port 10 so that the first guide groove 13 and the second guide groove 110 correspond to each other, And the grooves 110 are combined and shown as a single guide groove.

밸트(210)는 제2가이드홈의 상측 및 하측에 고정되고, 제2가이드홈의 전면을 덮도록 형성되며 제1롤러, 제2롤러, 제3롤러 및 제4롤러에 안착된다. 보다 상세하게는, 제2가이드홈(110)의 전면을 덮도록 하되, 제2가이드홈(110)의 상측으로부터 제1롤러(211), 제2롤러(213), 제3롤러(215), 제4롤러(217)에 안착되고 제2가이드홈(110)의 하측에 고정되기 때문에 돌출바(310) 부분은 개방되어 있다.The belt 210 is fixed on the upper and lower sides of the second guide groove and is formed to cover the entire surface of the second guide groove and is seated on the first roller, the second roller, the third roller and the fourth roller. The first roller 211, the second roller 213, the third roller 215, the third roller 215, and the third roller 215 are disposed to cover the entire surface of the second guide groove 110, The protruding bar 310 is seated on the fourth roller 217 and fixed to the lower side of the second guide groove 110, so that the protruding bar 310 is opened.

가이드돌기(150)에 대해서는 추후 설명하도록 한다. 상하이동부(200)는 제1롤러(211), 제2롤러(213), 제3롤러(215), 제4롤러(217), 제1롤러프레임(230), 제2롤러프레임(231), 롤러프레임 지지부재(233) 및 상하이동부재(250)를 포함한다.The guide protrusion 150 will be described later. The upper and lower shafts 200 are connected to a first roller 211, a second roller 213, a third roller 215, a fourth roller 217, a first roller frame 230, a second roller frame 231, A roller frame support member 233 and an upper and lower movable member 250.

상하이동부(200)는 각 모서리에 제1롤러(211), 제2롤러(213), 제3롤러(215) 및 제4롤러(217)를 포함한다. 또한, 제1롤러프레임(230)은 상측에 제2롤러(213)가 회전 가능하게 형성되고, 하측에 제3롤러(215)가 회전 가능하게 형성된다.The upper and lower shafts 200 include a first roller 211, a second roller 213, a third roller 215 and a fourth roller 217 at each corner. A second roller 213 is rotatably formed on the upper side of the first roller frame 230, and a third roller 215 is rotatably formed on the lower side of the first roller frame 230.

제2롤러프레임(231)은 상측에 제1롤러(211)이 회전 가능하게 형성되고, 하측에 제4롤러(217)가 회전 가능하게 형성된다.The first roller 211 is rotatably formed on the upper side of the second roller frame 231, and the fourth roller 217 is rotatably formed on the lower side thereof.

롤러프레임 지지부재(233)가 제1롤러프레임(230)과 제2롤러프레임(231)을 연결하여 제1롤러프레임(230) 및 제2롤러프레임(231)을 지지하도록 한다.The roller frame support member 233 connects the first roller frame 230 and the second roller frame 231 to support the first roller frame 230 and the second roller frame 231.

또한, 제2롤러프레임(231)은 측면에 상하이동부재(250)를 포함하고, 상하이동부재(250)는 프레임(100)의 측면에 형성되어 있는 가이드봉(130)과 결합하되 상하로 이동 가능하도록 한다. 이때 상하이동부재(250)는 제2액츄에이터(251)를 포함하며, 제2액츄에이터(251)를 통해 상하이동부재(250)를 가이드봉(130)의 상측 또는 하측으로 구동시켜 포트도어(1000)를 개폐한다. 보다 상세하게는 상하이동부재(250)가 가이드봉(130)의 상측 또는 하측으로 구동함으로 인하여 연결되어 있는 상하이동부(200)가 함께 상측 또는 하측으로 이동하는 것이 바람직하다.The upper and lower movable members 250 are coupled to the guide rods 130 formed on the side of the frame 100 so that the upper and lower movable members 250 move up and down. . At this time, the upper and lower movable members 250 include the second actuators 251 and the upper and lower movable members 250 are driven to the upper side or the lower side of the guide rods 130 through the second actuators 251, Respectively. More specifically, the upper and lower moving parts 200 connected to the upper and lower moving parts 250 move upward or downward because the upper and lower moving parts 250 are driven to the upper side or the lower side of the guide rod 130.

또한 상하이동부(200)는 가이드봉(130)에 결합 될 수 있도록 관통공이 마련되어 있는 것이 바람직하다. 이때, 액츄에이터는 장치를 움직이거나 제어하는데 쓰이는 기계 장치로서, 동력을 이용하여 기계를 동작시킨다. Further, it is preferable that a through hole is provided in the upper and lower easiness portion 200 so as to be coupled to the guide rod 130. At this time, the actuator is a mechanical device used for moving or controlling the device, and operates the machine using the power.

본 발명에서는 회전 운동을 상하 운동으로 변환하여 상하이동부재(250)를 상측 또는 하측으로 구동하도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 액츄에이터는 유압, 공기압을 이용하는 원동 구동장치로 피스톤, 실린더 기구 등으로 상하이동부재(250)를 상, 하로 동작시킬 수 있는 장치라면 본 발명에 적용이 가능하기 때문에 발명의 실시자가 용이하게 선택하도록 한다. 가이드돌기(150)에 대해서 설명하도록 한다.In the present invention, it is preferable that the rotational motion is converted into a vertical motion and the upper and lower movable members 250 are driven upward or downward. Further, since the actuator can be applied to the present invention as long as it is a motion driving device using hydraulic pressure and air pressure and capable of operating the upper and lower movable members 250 up and down with a piston, a cylinder mechanism or the like, . The guide protrusion 150 will be described.

프레임(100)은 상하 방향으로 가이드돌기(150)를 더 포함한다. 본 발명의 실시예에서는 2개의 가이드돌기(150)를 포함하는 것을 예시하고 있다.The frame 100 further includes a guide projection 150 in the vertical direction. In the embodiment of the present invention, it is illustrated that two guide protrusions 150 are included.

또한, 제2롤러프레임(231)은 상기 가이드돌기(150)의 크기에 대응되는 가이드돌기 접촉부재(235)를 양측면에 포함하여 상하이동부(200)가 상측 또는 하측으로 이동 시에 가이드돌기 접촉부재(235)가 가이드돌기(150)을 슬라이딩하여 상하이동부가 안정적으로 이동하도록 한다.The second roller frame 231 includes guide protrusion contact members 235 corresponding to the sizes of the guide protrusions 150 on both sides so that when the upper and lower movable parts 200 are moved upward or downward, The guide protrusion 150 slides so that the upper and lower movable parts can be stably moved.

상기와 같은 프레임(100)의 상측으로부터 제1롤러(211), 제2롤러(213), 제3롤러(215), 제4롤러(217)를 순차적으로 지나서 프레임(100) 하측까지 연결되어 있는 밸트(210)와 가이드돌기 접촉부재(235)로 인해서 보다 정밀하고 안정적으로 운영되어야 하는 반도체 장비에 대해서 상하이동부(200)가 구동될 때 상하이동부재(250) 만으로 구동되는 것보다 장비의 진동을 줄이고 안전성을 더해줌으로써 장비의 오류 또는 고장을 방지하는 효과가 있다.The first roller 211, the second roller 213, the third roller 215 and the fourth roller 217 sequentially from the upper side of the frame 100 to the lower side of the frame 100 The vibration of the equipment is more likely to occur when the upper and lower moving parts 200 are driven by the upper and lower moving parts 250 relative to the semiconductor equipment to be more precisely and stably operated due to the belt 210 and the guide protrusion contact member 235 It is possible to prevent the failure or malfunction of the equipment by adding safety and reducing it.

전후이동부(300)는 롤러프레임 지지부재(233)의 상면에 설치되며 전후이동부재(330) 및 돌출바(310)를 포함한다. 전후이동부재(330)는 돌출바(310)를 전후로 이동하도록 한다. 이때, 돌출바(310)는 포트도어(1000)의 내부로부터 프레임(100)의 제2가이드홈(110) 및 로드포트(10)의 제1가이드홈(13)을 지나서 외부로 돌출되도록 하며 포트도어(1000)의 하측에 포함된 포트도어 지지부재(1100)와 연결된다.The back and forth moving part 300 is installed on the upper surface of the roller frame supporting member 233 and includes a back and forth moving member 330 and a protrusion bar 310. The back and forth moving member 330 moves the protruding bar 310 back and forth. The protruding bar 310 protrudes from the inside of the port door 1000 to the outside through the second guide groove 110 of the frame 100 and the first guide groove 13 of the load port 10, And is connected to the port door supporting member 1100 included in the lower side of the door 1000.

또한, 돌출바(310)를 전후로 이동하도록 하는 전후이동부재(330)는 롤러프레임 지지부재(233)에 내설 되는 것이 바람직하다. 이때, 전후이동부(300)는 제1액츄에이터(350)를 포함하여 제1액츄에이터(350)를 통해 돌출바(310)를 전후로 구동하도록 한다. 또한, 제1액츄에이터(350)는 롤러프레임 지지부재(233)에 내설되는 것이 바람직하다. 이때, 액츄에이터는 장치를 움직이거나 제어하는데 쓰이는 기계 장치로서, 동력을 이용하여 기계를 동작시킨다.Further, it is preferable that the back and forth moving member 330 for moving the protruding bar 310 back and forth is installed in the roller frame supporting member 233. At this time, the forward / backward moving part 300 includes the first actuator 350 and drives the protruding bar 310 forward / backward through the first actuator 350. Further, it is preferable that the first actuator 350 is installed in the roller frame support member 233. At this time, the actuator is a mechanical device used for moving or controlling the device, and operates the machine using the power.

본 발명에서는 회전 운동을 전후 운동으로 변환하여 돌출바(310)를 전진 또는 후진하도록 구동하는 것이 바람직하다. 또한, 액츄에이터는 유압, 공기압을 이용하는 원동 구동장치로 피스톤, 실린더 기구 등으로 전후이동부재(330)를 전후로 동작시킬 수 있는 장치라면 본 발명에 적용이 가능하기 때문에 발명의 실시자가 용이하게 선택하도록 한다.In the present invention, it is preferable to convert the rotational motion into the forward / backward motion and drive the protruding bar 310 to move forward or backward. Further, the actuator can be applied to the present invention as long as it is a movable driving device using hydraulic pressure and air pressure and capable of operating the front-rear movable member 330 forward and backward by means of a piston, a cylinder mechanism, etc. .

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 상하이동부의 예시도이다. 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에서 상하이동부(200)가 상하로 이동하는 것을 예시할 수 있다.5 is an illustration of a vertically moving part of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention. Referring to FIG. 5, in the embodiment of the present invention, it is possible to exemplify that the vertically moving part 200 moves up and down.

상기와 같은 구성을 참고하여 보다 상세하게 로드포트(10)의 포트도어 구동장치(20) 작동을 예시하도록 하겠다. 이때, 도 1을 참조하여 포트도어(1000)가 개방되는 방향을 전방으로 예시하도록 하겠다. 포트도어(1000)가 로드포트(10)의 개구부(900)를 밀폐하고 있다. 전후이동부재(330)가 제1액츄에이터(350)를 통해서 돌출바(310)를 전방으로 이동시키면, 돌출바(310)에 연결되어 있는 포트도어 지지부재(1100), 포트도어(1000)가 함께 전방으로 이동하면서 개구부(900)를 밀폐하고 있던 포트도어(1000)가 1차적으로 개방된다.The operation of the port door driving device 20 of the load port 10 will be described in more detail with reference to the above-described configuration. 1, the direction in which the port door 1000 is opened will be exemplified in the forward direction. The port door 1000 closes the opening portion 900 of the load port 10. The port door supporting member 1100 and the port door 1000 connected to the protruding bar 310 are moved together with the protruding bar 310 through the first actuator 350 The port door 1000, which has closed the opening 900 while being moved forward, is opened primarily.

제2액츄에이터(251)를 통해서 가이드봉(130)에 상하로 이동 가능하도록 결합되어 있는 상하이동부재(250)를 하측으로 이동하도록 하면, 상하이동부(200)가 하측으로 이동되고 돌출바(310)도 함께 이동한다.The upper and lower movable members 250 coupled to the guide rod 130 through the second actuator 251 so as to be movable upward and downward move downward so that the movable upper and lower movable parts 200 are moved downward, .

따라서, 돌출바(310)에 연결되어 있는 포트도어 지지부재(1100) 및 포트도어(1000)가 함께 하측으로 이동하면서 2차적으로 포트도어(1000)가 완전히 개방되고 포트도어(1000)의 개방이 완료된다.Accordingly, when the port door supporting member 1100 and the port door 1000 connected to the protruding bar 310 are moved down together, the port door 1000 is completely opened and the opening of the port door 1000 is opened Is completed.

이상으로 포트도어(1000)의 개방에 대해서 예시하였고, 폐쇄는 개방의 역순으로 진행되므로 더 이상의 자세한 설명은 생략하도록 한다.As described above, the opening of the port door 1000 is exemplified, and the closing operation is performed in the reverse order of opening, so that detailed description will be omitted.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 사시도이다.6 is a perspective view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참조하여 본 발명인 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트(10)용 매핑장치(20)를 개략적으로 설명하도록 한다.Referring to FIG. 6, a mapping device 20 for a load port 10 for detecting the presence and position of a wafer according to the present invention will be schematically described.

메인바(500)의 상면 일측에 제1매핑바(510), 타측에 제2매핑바(530)가 각각 회동 가능하도록 결합되어 있다.A first mapping bar 510 is coupled to one side of the top surface of the main bar 500 and a second mapping bar 530 is coupled to the other side of the main bar 500 to be rotatable.

제1매핑바(510)의 일측면에 광송신기(513)가 형성되어 있고, 제2매핑바(530)의 일측면에는 광수신기(533)가 형성되어 있다. 또한, 메인바의 하측면에는 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)를 각각 회동하도록 하는 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 설치되고, 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 회동하도록 하는 회동바(550) 및 실린더(570)가 설치되어 있다.An optical transmitter 513 is formed on one side of the first mapping bar 510 and an optical receiver 533 is formed on one side of the second mapping bar 530. A first turning wheel 511 and a second turning wheel 531 for turning the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are provided on the lower side of the main bar, A rotating bar 550 and a cylinder 570 for rotating the wheel 511 and the second turning wheel 531 are provided.

상기와 같은 구성에 의해 실린더(570)가 회동바(550)를 전진, 또는 후진 시키고 회동바(550)가 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)을 회동시켜 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 메인바(500)로부터 회동하여 펼쳐지고 메인바(500)가 설치되어 있는 포트도어(1000)가 상측 또는 하측으로 이동하면서 제1매핑바(510)와 제2매핑바(530)가 웨이퍼를 지나며 광을 송, 수신하여 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하도록 한다.The cylinder 570 advances or retracts the rotation bar 550 and the rotation bar 550 rotates the first rotation wheel 511 and the second rotation wheel 531, The first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are pivoted from the main bar 500 and unfolded and the port door 1000 provided with the main bar 500 moves upward or downward, The second mapping bar 530 passes through the wafer and transmits and receives light to detect the presence or position of the wafer.

도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 저면도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 측면도이다.FIG. 7 is a bottom view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a view illustrating the opening and closing of a mapping bar of the mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention Side view.

도 7 및 도 8를 참조하여 본 발명에 대해서 보다 상세하게 설명하도록 한다.로드포트(10)용 매핑장치(20)는 제1매핑바(510), 제2매핑바(530), 제1회동휠(511), 제2회동휠(531), 회동바(550), 실린더(570), 및 메인바(500)를 포함한다.The mapping device 20 for the load port 10 includes a first mapping bar 510, a second mapping bar 530, a first rotation bar 530, And includes a wheel 511, a second turning wheel 531, a turning bar 550, a cylinder 570, and a main bar 500.

제1매핑바(510)는 일측면에 광송신기(513)가 형성되어 있고, 타측이 회동 가능하도록 메인바(500)의 상면 일측에 결합된다. The first mapping bar 510 has an optical transmitter 513 formed on one side thereof and is coupled to one side of the top surface of the main bar 500 so that the other side thereof is rotatable.

제2매핑바(530)는 일측면에 광수신기(533)가 형성되어 있고, 타측이 회동 가능하도록 메인바(500)의 상면 타측에 결합된다. 이때, 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 메인바(500)에 결합되는 형태는 도 6과 같이 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 닫혔을 경우 서로 부딪히지 않고 소정거리 이격되도록 하는 것이 바람직하다. 또한, 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 개방되었을 경우 송신하는 광이 웨이퍼에 닿아서 웨이퍼의 존재 유무를 판단할 수 있도록 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)의 길이가 충분히 형성되는 것이 바람직하다. 제1회동휠(511)은 메인바(500)의 하면에 형성되며, 제1매핑바(510)와 결합되고, 일측 중 어느 한 부분이 회동바(550)와 연결된다.The second mapping bar 530 has an optical receiver 533 formed on one side thereof and is coupled to the other side of the top surface of the main bar 500 so that the other side can be rotated. The first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are coupled to the main bar 500 as shown in FIG. 6 when the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are closed It is preferable that they are spaced apart by a predetermined distance without colliding with each other. When the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are opened, the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 may be positioned so that the transmitted light touches the wafer, It is preferable that the length of the first electrode 530 is sufficiently formed. The first turning wheel 511 is formed on the lower surface of the main bar 500 and is coupled to the first mapping bar 510 and one of the sides is connected to the turning bar 550.

제2회동휠(531)은 메인바(500)의 하면에 형성되며, 제2매핑바(530)와 결합되고, 일측 중 어느 한 부분이 회동바(550)와 연결된다. 이때, 제1매핑바(510)가 제1회동휠(511)이 회동함에 따라서 동일하게 회동하도록 메인바(500)를 사이에 두고 메인바(500)에 마련된 홀 안에서 축결합되는 것이 바람직하다. 또한, 제2매핑바(530)가 제2회동휠(531)이 회동함에 따라서 동일하게 회동하도록 메인바(500)를 사이에 두고 메인바(500)에 마련된 홀 안에서 축결합되는 것이 바람직하다. 회동바(550)는 일측이 제1회동휠(511), 타측이 제2회동휠(531)과 각각 회동 가능하게 결합된다.The second turning wheel 531 is formed on the lower surface of the main bar 500 and is coupled to the second mapping bar 530 and one of the sides is connected to the turning bar 550. It is preferable that the first mapping bar 510 is axially coupled in a hole provided in the main bar 500 with the main bar 500 interposed therebetween so as to rotate in the same manner as the first turning wheel 511 rotates. It is also preferable that the second mapping bar 530 is axially coupled in a hole provided in the main bar 500 with the main bar 500 interposed therebetween so as to rotate in the same manner as the second turning wheel 531 rotates. The turning bar 550 is rotatably coupled to the first turning wheel 511 on one side and the second turning wheel 531 on the other side.

실린더(570)는 메인바(500)의 하면에 형성되며, 일측이 회동바(550)와 결합하여 회동바(550)를 직선 운동시킨다. The cylinder 570 is formed on the lower surface of the main bar 500 and one side of the cylinder 570 engages with the rotation bar 550 to linearly move the rotation bar 550.

본 발명의 실시예에서는 실린더(570)가 메인바(500)의 타측 하면에 형성되어 있는 것으로 예시하고 있다. 이때, 보다 상세하게는 실린더(570)는 좌우, 또는 상하의 직선운동을 하는 장치를 지칭한다.In the embodiment of the present invention, the cylinder 570 is formed on the other side of the main bar 500. At this time, more specifically, the cylinder 570 refers to a device that performs linear motion in the left, right, or up and down directions.

상기와 같은 구성에 의해, 실린더(570)가 전진 또는 후진의 직선 운동을 하면 실린더(570)의 일측에 연결되어 있는 회동바(550)가 함께 직선 운동을 하게 되고, 회동바(550)에 연결되어 있는 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 회동하게 된다. When the cylinder 570 linearly moves forward or backward, the rotation bar 550 connected to one side of the cylinder 570 linearly moves together with the rotation bar 550, The first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are rotated.

도면에 따른 실시예로 예를 들면, 실린더(570)가 좌측으로 후진하면 회동바(550)를 이동시켜 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 회동시켜 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 닫혀 메인바(500)로 모이게 되고, 실린더(570)가 우측으로 전진하면 회동바(550)를 이동시켜 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)을 회동시켜 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)가 펼쳐져서 광송신기(513)와 광수신기(533)를 이용하여 매핑을 할 수 있게 된다. 또한, 매핑장치(30)는 포트도어(1000)에 설치되어 있기 때문에, 포트도어(1000)가 상하이동부(200)에 의해서 상하로 이동하고, 상측 또는 하측으로 이동하면서 포트도어(1000)에 설치된 매핑장치(30)로 적재된 웨이퍼들을 매핑 하게 된다.For example, when the cylinder 570 is moved backward to the left, the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are rotated to move the turning bar 550, 510 and the second mapping bar 530 are closed and assembled to the main bar 500. When the cylinder 570 advances to the right side, the turning bar 550 is moved to move the first turning wheel 511 and the second turning wheel 511, The first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are unfolded so that mapping can be performed using the optical transmitter 513 and the optical receiver 533. [ Since the mapping device 30 is installed in the port door 1000, the port door 1000 moves up and down by the up-and-down moving part 200 and moves to the upper side or the lower side, And maps the loaded wafers to the mapping device 30. [

도 9는 본 발명의 실시예에 따른 로드포트용 매핑장치의 매핑바의 개폐를 예시한 저면도이다.9 is a bottom view illustrating opening and closing of a mapping bar of a mapping apparatus for a load port according to an embodiment of the present invention.

도 9를 참조하여 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)의 절삭부와 회동반경 제한부재(600)에 대해서 설명하도록 하겠다.The cutting portion of the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 and the turning radius limiting member 600 will be described with reference to FIG.

제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)은 타측이 일부 절삭된 원판 형상으로 형성된다. 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)는 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 위치한 면에 일부 돌출된 회동반경 제한부재(600)가 형성되어 있다. The first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are formed in the shape of a disk with the other side cut out to some extent. The first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 are formed with a turning radius limiting member 600 partially protruding from the surface on which the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are located.

회동반경 제한부재(600)는 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)의 절삭된 원판의 둘레 부분에 형성되되, 상기 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)의 회전 시 상기 회동반경 제한부재(600)로 인해 80도 내지 120도만 회전할 수 있도록 위치한다.The turning radius limiting member 600 is formed on the periphery of the cut circular plate of the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 and the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531, Limiting member 600 so that it can rotate only by 80 to 120 degrees.

상기와 같은 구성으로 인해서, 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)이 미리 설정된 각도 이상으로 회전하여 웨이퍼를 매핑할 때 광송신기(513)와 광수신기(533)의 광 송수신에 오류가 발생하는 것을 방지하고, 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)의 오류, 또는 고장을 방지하는 효과가 있다. 이때, 회동반경 제한부재(600)로 인한 각도의 제한은 제1매핑바(510) 및 제2매핑바(530)이 광송신기(513) 및 광수신기(533)를 이용하여 매핑 작업을 할 수 있을 정도가 바람직하며, 발명의 실시자가 용이하게 각도를 설정할 수 있도록 회동반경 제한부재(600)의 위치를 적절히 배치하도록 한다. 또한, 제1회동휠(511) 및 제2회동휠(531)은 실린더(570)의 전진 및 후퇴 시, 서로 반대방향으로 회전되도록, 절삭부가 서로 90도 틀어져서 위치한다.Reception of light between the optical transmitter 513 and the optical receiver 533 when the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are rotated at a predetermined angle or more to map the wafer Thereby preventing an error from occurring and preventing errors or failures of the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530. [ At this time, the limitation of the angle due to the turning radius limiting member 600 is such that the first mapping bar 510 and the second mapping bar 530 can perform the mapping operation using the optical transmitter 513 and the optical receiver 533 And the position of the turning radius limiting member 600 is appropriately arranged so that the inventor can easily set the angle. The first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 are positioned such that the cutting portions are rotated 90 degrees from each other such that the first turning wheel 511 and the second turning wheel 531 rotate in opposite directions when the cylinder 570 advances and retracts.

제1회동휠(511)은 실린더(570)의 전진 시 절삭된 부분의 좌측이 회동반경 제한부재(600)에 접촉되고, 실린더(570)의 후퇴 시 절삭된 부분의 우측이 회동반경 제한부재(600)에 접촉되는 것이 바람직하다. 또한, 제2회동휠(531)은 실린더(570)의 전진 시 절삭된 부분의 우측이 상기 회동반경 제한부재(600)에 접촉되고, 실린더(570)의 후퇴 시 절삭된 부분의 좌측이 회동반경 제한부재(600)에 접촉되는 것이 바람직하다.The first turning wheel 511 contacts the turning radius limiting member 600 on the left side of the cut portion of the cylinder 570 when the cylinder 570 is advanced and the right side of the cut portion on the retreat of the cylinder 570 is the turning radius limiting member 600). The second turning wheel 531 is configured such that the right side of the cut portion when the cylinder 570 is advanced comes into contact with the turning radius limiting member 600 and the left side of the cut portion when the cylinder 570 is retracted, It is preferable to contact the limiting member 600.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

10: 로드포트
20: 포트도어 구동장치
13: 제1가이드홈
30: 매핑장치
100: 프레임
110: 제2가이드홈
130: 가이드봉
150: 가이드돌기
200: 상하이동부
210: 밸트
211: 제1롤러
213: 제2롤러
215: 제3롤러
217: 제4롤러
230: 제1롤러프레임
231: 제2롤러프레임
233: 롤러프레임 지지부재
235: 가이드돌기 접속부재
250: 상하이동부재
251: 제2액츄에이터
300: 전후이동부
310: 돌출바
330: 전후이동부재
350: 제1액츄에이터
500: 메인바
510: 제1매핑바
511: 제1회동휠
513: 광송신기
530: 제2매핑바
531: 제2회동휠
533: 광수신기
550: 회동바
570: 실린더
600: 회동반경 제한부재
900: 개구부
1000: 포트도어
1100: 포트도어 지지부재10: load port
20: Port door drive
13: first guide groove
30: Mapping device
100: frame
110: second guide groove
130: guide rod
150: guide projection
200: Eastern Shanghai
210: Belt
211: first roller
213: second roller
215: third roller
217: fourth roller
230: first roller frame
231: second roller frame
233: roller frame supporting member
235: guide projection connecting member
250: Shanghai East Material
251: second actuator
300: Posterior and posterior Eastern
310: protruding bar
330: front and rear movable member
350: first actuator
500: Main bar
510: first mapping bar
511: First turning wheel
513: Optical transmitter
530: second mapping bar
531: Second turning wheel
533: Optical receiver
550: Rotating bar
570: Cylinder
600: Rotation radius limiting member
900: opening
1000: Port door
1100: Port door support member

Claims (3)

웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 설치되고, 복수의 웨이퍼의 존재 또는 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치에 있어서,
광송신기가 일측면에 형성되고 타측이 회동 가능하도록 메인바와 결합되는 제1매핑바;
광수신기가 일측면에 형성되고 타측이 회동 가능하도록 메인바와 결합되는 제2매핑바;
상기 제1매핑바와 결합되며 일측 중 어느 한 부분이 회동바와 연결되는 제1회동휠;
상기 제2매핑바와 결합되며 일측 중 어느 한 부분이 회동바와 연결되는 제2회동휠;
일측 및 타측이 상기 제1회동휠 및 제2회동휠과 회동 가능하게 결합되는 회동바;
일측이 상기 회동바와 결합하여 상기 회동바를 직선 운동시키는 실린더; 및
상기 제1매핑바, 제2매핑바 및 실린더가 회동 가능하게 고정되고, 상기 포트도어에 결합되는 메인바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치.There is provided a mapping apparatus for a load port which is provided in a port door which is driven up and down so as to seal and open a receiving port in which a wafer is stored and to be transported and to detect the presence or position of a plurality of wafers,
A first mapping bar coupled to the main bar so that the optical transmitter is formed on one side and the other side is rotatable;
A second mapping bar coupled to the main bar such that the optical receiver is formed on one side and the other side is rotatable;
A first turning wheel coupled to the first mapping bar and having one side connected to the pivotal bar;
A second turning wheel coupled to the second mapping bar and having one of the sides connected to the turning bar;
A turning bar having one side and the other side rotatably coupled to the first turning wheel and the second turning wheel;
A cylinder having one side engaged with the rotation bar and linearly moving the rotation bar; And
And a main bar rotatably fixed to the first mapping bar, the second mapping bar, and the cylinder, and coupled to the port door. 제1항에 있어서, 상기 제1회동휠 및 제2회동휠은,
타측이 일부 절삭된 원판 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하고,
상기 제1매핑바 및 제2매핑바는,
상기 제1회동휠 및 상기 제2회동휠이 위치한 면에 일부 돌출된 회동반경 제한부재가 형성되는 것을 특징으로 하고,
상기 회동반경 제한부재는,
상기 제1회동휠 및 제2회동휠의 절삭된 원판의 둘레 부분에 형성되되, 상기 제1회동휠 및 제2회동휠의 회전 시 상기 회동반경 제한부재로 인해 80도 내지 120도만 회전될 수 있도록 위치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치.2. The steering apparatus according to claim 1, wherein the first turning wheel and the second turning wheel comprise:
And the other side is formed as a partially cut disc shape,
The first mapping bar and the second mapping bar may include:
And a turning radius limiting member partially protruding from a surface on which the first turning wheel and the second turning wheel are located,
The rotation radius limiting member
The first turning wheel and the second turning wheel are formed on the periphery of the cut circular plate so that the first turning wheel and the second turning wheel are rotated only by 80 to 120 degrees due to the turning radius limiting member And the position of the wafer is detected. 제2항에 있어서, 상기 제1회동휠 및 상기 제2회동휠은,
상기 실린더의 전진 및 후퇴 시, 서로 반대방향으로 회전되도록, 상기 절삭부가 서로 90도 틀어져서 위치하고,
상기 제1회동휠은,
상기 실린더의 전진 시 절삭된 부분의 좌측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되고, 상기 실린더의 후퇴 시 절삭된 부분의 우측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되는 것을 특징으로 하고,
상기 제2회동휠은,
상기 실린더의 전진 시 절삭된 부분의 우측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되고, 상기 실린더의 후퇴 시 절삭된 부분의 좌측이 상기 회동반경 제한부재에 접촉되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 로드포트용 매핑장치.3. The steering apparatus according to claim 2, wherein the first turning wheel and the second turning wheel comprise:
The cutting portions being rotated by 90 degrees relative to each other so as to be rotated in mutually opposite directions when the cylinder advances and retracts,
Wherein the first turning wheel comprises:
Wherein a left side of the cut portion when the cylinder advances is in contact with the rotation radius limiting member and a right side of the cut portion when the cylinder is retracted is in contact with the rotation radius limiting member,
Wherein the second turning wheel
Wherein the right side of the cut portion when the cylinder advances is brought into contact with the rotation radius limiting member and the left side of the cut portion when the cylinder is retracted comes into contact with the rotation radius limiting member. A mapping device for a load port to detect.
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