KR101432137B1 - A mapping device having an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer - Google Patents

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KR101432137B1 KR1020130032626A KR20130032626A KR101432137B1 KR 101432137 B1 KR101432137 B1 KR 101432137B1 KR 1020130032626 A KR1020130032626 A KR 1020130032626A KR 20130032626 A KR20130032626 A KR 20130032626A KR 101432137 B1 KR101432137 B1 KR 101432137B1
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Abstract

A mapping device maps the presence or location of multiple wafers and is installed on a port door moving up and down in order to close or open a storing port for storing and transferring wafers to transfer the wafers. The present invention relates to a mapping device with an integrated mapping bar which detects the presence and location of wafers. The mapping device comprises a mapping sensor including a transmitter and a receiver; a mapping bar in which the transmitter and the receiver of the mapping sensor are placed at both ends, respectively, to face each other; one or more transport members installed on the mapping bar to be able to rotate; a first cylinder rotating the transport member; and a joining unit to which the transport member and the first cylinder are fixed to be able to rotate and which is combined with the port door. Accordingly, provided is a mapping device with an integrated mapping bar detecting the presence and location of wafers, wherein the mapping sensor is integrated with and fixed to the mapping bar in order for the transmitter and the receiver to face each other in symmetry and rotate the transmitter and the receiver based on the forward and backward movement of the first cylinder.

Description

웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치{.}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a mapping apparatus having an integrated mapping bar for detecting presence /

본 발명은 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 매핑센서가 매핑바에 일체형으로 형성되어 매핑바에 매핑센서가 고정되고, 이를 제1실린더의 전진과 후퇴를 이용하여 회동시키는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a mapping apparatus in which an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer is formed, more particularly, a mapping sensor is integrally formed on a mapping bar and a mapping sensor is fixed to the mapping bar, The present invention relates to a mapping apparatus in which an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer to be rotated by using a retraction is formed.

본 발명은 매핑장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mapping apparatus.

최근 들어 전자 산업, 정보 통신 산업, 세부적으로 컴퓨터 산업의 빠른 기술 혁신과 개발이 지속적으로 이루어지고 있는바, 이들 산업들의 빠른 기술 혁신 및 개발의 근원은 단 시간내 많은 양의 정보를 처리함과 동시에 처리된 정보를 임시적 또는 영구적으로 저장할 수 있으면서도 그 크기가 매우 작은 반도체 제품을 생산하는 반도체 산업의 발달에 기인함을 알 수 있다.In recent years, rapid technological innovation and development of electronic industry, information communication industry, and computer industry have been continuing, and the source of rapid technological innovation and development of these industries is to process a large amount of information in a short period of time It can be seen that the development of the semiconductor industry which can store the processed information temporarily or permanently, but produces a semiconductor product with a very small size can be seen.

이와 같이 고집적, 고성능 반도체 제품을 생산하기 위해서는 매우 복잡하면서 다양한 반도체 공정을 수십-수백번 반복적으로 진행하여야 한다. 이때, 반도체 제품의 재료가 되는 순수 실리콘 웨이퍼들은 웨이퍼 카세트(CASSETTE)에 안전하게 수납된 상태에서 다양한 반도체 공정을 수행하기 위해 이동되어지거나 보관된다.In order to produce such highly integrated and high-performance semiconductor products, it is necessary to repeatedly perform complicated and various semiconductor processes several tens to hundreds of times. At this time, the pure silicon wafers to be a material of the semiconductor product are moved or stored in order to carry out various semiconductor processes while being safely stored in the wafer cassette (CASSETTE).

이와 같은 기능을 하는 카세트에는 복수개의 슬롯(slot)이 형성되어 있어서, 각 슬롯에 웨이퍼가 한장씩 수납된다.In the cassette having such a function, a plurality of slots are formed, and one wafer is accommodated in each slot.

그리고, 각 공정 챔버에 웨이퍼가 로딩(loading)되기 전에는 카세트에 수납된 웨이퍼들의 수 및 적재된 위치등을 체크하게 되는데 이와 같은 기능을 하는 장치를 매핑(mapping) 장치라고 한다.
Then, before the wafers are loaded into each process chamber, the number of wafers housed in the cassette and the position of the wafers loaded are checked. Such a functioning device is called a mapping device.

기존의 매핑장치는 매핑센서를 구비하되, 송신기와 수신기가 따로 구동하여 상기 송신기와 수신기가 정위치보다 조금이라도 벗어나 있으면 웨이퍼의 수납여부를 판독할 수가 없어 에러를 발생시키는 문제점이 있었다.The conventional mapping apparatus has a mapping sensor. When the transmitter and the receiver are driven separately by the mapping sensor, if the transmitter and the receiver are slightly out of position, it is impossible to read whether or not the wafer is stored.

또한, 기존의 매핑장치는 웨이퍼 카세트가 수납되는 수납 포트의 상하면에 송신기와 수신기가 형성되어 웨이퍼의 유무는 판독 가능하지만, 웨이퍼의 위치를 판독하지 못하는 문제점이 있었다.
In addition, in the conventional mapping apparatus, the transmitter and the receiver are formed on the upper and lower sides of the receiving port in which the wafer cassette is housed, so that the presence or absence of the wafer can be read, but the position of the wafer can not be read.

상술한 바와 같은 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 본 발명의 목적은, 매핑센서가 매핑바에 일체형으로 형성되어 매핑바에 매핑센서가 고정되어 송신기와 수신기가 항상 대칭되고, 이를 제1실린더의 전진과 후퇴를 이용하여 회동시키는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치를 제공하기 위함이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a method and apparatus, The present invention provides a mapping device having an integrated mapping bar for detecting the presence or the position of a wafer to be rotated by using a wafer.

또한, 본 발명의 다른 목적은, 상기 제1실린더에 의해 이송되는 매핑바의 이송범위를 제한하는 회동반경제한부재 및 매핑바의 회동여부를 검출하는 회동감지센서를 포함하여 매핑바의 회동 여부에 따른 매핑센서의 오작동을 방지할 수 있는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치를 제공하기 위함이다.Another object of the present invention is to provide a rolling radius limiting member for limiting a range of movement of a mapping bar carried by the first cylinder and a rotation detecting sensor for detecting whether or not the mapping bar rotates, The present invention provides a mapping device having an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer that can prevent a malfunction of the mapping sensor according to the present invention.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 따르면, 본 발명은, 웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 설치되고, 복수의 웨이퍼의 존재 또는 위치를 매핑하는 매핑장치에 있어서, 송신기와 수신기를 포함하는 매핑센서; 상기 매핑센서의 송신기와 수신기가 각각 양측에 대향되게 형성되는 매핑바; 상기 매핑바에 회동가능하게 설치되는 제1이송부재와 제2이송부재; 상기 제1이송부재에 고정된 회동휠과 일측이 연결되고, 타측이 결합부와 회동가능하게 결합되며, 제1실린더의 전진 후퇴를 통해 회동휠을 회동하여 상기 매핑바를 이송시키는 제1실린더; 상기 제1이송부재, 상기 제2이송부재 및 상기 제1실린더가 회동가능하게 고정되고, 상기 포트도어에 결합되는 결합부; 및 제2이송부재의 결합부와 회동가능한 회전축에 형성되고, 상기 제1실린더가 전진하면 일단이 제1센서의 내부공간을 지나가며 타단이 제2센서의 내부공간을 벗어나고, 상기 제1실린더가 후퇴하면 상기 타단이 상기 제2센서의 내부공간을 지나가며 상기 일단이 상기 제1센서의 내부공간을 벗어나는 센서휠, 상기 센서휠의 일단이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 상기 결합부에 고정되는 제1센서, 및 상기 센서휠의 타단이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 상기 결합부에 고정되는 제2센서를 포함하는 회동감지센서;를 포함한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, the present invention provides a port door that is vertically driven so that a wafer can be transferred by sealing and opening a receiving port to which a wafer is received and transferred, A mapping sensor including a transmitter and a receiver; A mapping bar in which the transmitter and the receiver of the mapping sensor are opposed to each other; A first conveying member and a second conveying member rotatably installed in the mapping bar; A first cylinder connected to one side of a turning wheel fixed to the first feeding member and pivotally coupled to the other side of the coupling unit and rotating the pivoting wheel through forward and backward movement of the first cylinder to feed the mover bar; An engaging portion rotatably fixed to the first conveying member, the second conveying member, and the first cylinder and coupled to the port door; And a rotation shaft rotatable with an engagement portion of the second transfer member, wherein when the first cylinder advances, one end passes through the inner space of the first sensor and the other end moves out of the inner space of the second sensor, The sensor wheel having one end thereof passing through the inner space of the second sensor and one end of the sensor wheel being out of the inner space of the first sensor when the second sensor is retracted, And a rotation sensor that detects a passage of the sensor wheel through the inner space and that is fixed to the coupling portion.

또한, 상기 매핑센서는, 상기 송신기에서 신호를 방출하고, 상기 수신기는 상기 신호를 감지하여 상기 수신기의 신호감지 여부에 따라 웨이퍼의 존재 유무를 검출하는 것을 특징으로 한다.In addition, the mapping sensor emits a signal from the transmitter, and the receiver senses the signal and detects the presence or absence of a wafer according to whether the signal is sensed by the receiver.

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또한, 상기 결합부는, 상기 제1실린더의 전진과 후퇴를 제한하여 회동휠의 회동반경을 제한하는 회동반경제한부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.The engaging portion may include a turning radius limiting member for limiting the turning radius of the turning wheel by restricting the forward and backward movement of the first cylinder.

삭제delete

이상 살펴본 바와 같은 본 발명에 따르면, 매핑센서가 매핑바에 일체형으로 형성되어 매핑바에 매핑센서가 고정되어 송신기와 수신기가 항상 대칭되고, 이를 제1실린더의 전진과 후퇴를 이용하여 회동시키는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, the mapping sensor is integrally formed in the mapping bar, and the mapping sensor is fixed to the mapping bar so that the transmitter and the receiver are always symmetrical and the presence or absence of a wafer that rotates using the advance and retreat of the first cylinder And a mapping device in which an integrated mapping bar for detecting a position is formed.

또한, 본 발명에 따르면, 상기 제1실린더에 의해 이송되는 매핑바의 이송범위를 제한하는 회동반경제한부재 및 매핑바의 회동여부를 검출하는 회동감지센서를 포함하여 매핑바의 회동 여부에 따른 매핑센서의 오작동을 방지할 수 있는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치를 제공할 수 있다.In addition, according to the present invention, a turning radius limiting member for limiting a conveying range of the mapping bar conveyed by the first cylinder, and a rotation detecting sensor for detecting whether the mapping bar is turned, It is possible to provide a mapping device in which an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer that can prevent malfunction of the sensor is formed.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치를 나타낸 분해사시도
도 2은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 사시도
도 4은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 저면도
도 5은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 저면도
도 6 내지 도7은 본 발명의 실시예에 도어개폐장치를 나타낸 사시도
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 분해사시도
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 투과측면도
도 11은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 분해사시도
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 사시도
도 14는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 분해사시도
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 개폐동작을 나타낸 측면도
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 배면사시도
도 17은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 도어개폐부와 가이드부재의 동작을 나타낸 배면사시도
도 18은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치와 도어개폐장치의 제공방법을 나타낸 순서도
도 19a 내지 도 19b는 본 발명의 실시예에 따른 준비상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 20a 내지 도 20b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 21a 내지 도 21b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑시작위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 22a 내지 도 22b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 23a 내지 도 23b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑종료위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 24a 내지 도 24b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 클로즈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도
도 25a 내지 도 25b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑이 완료된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이다.1 is an exploded perspective view showing a mapping apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a perspective view showing a state in which a mapping apparatus according to an embodiment of the present invention is closed;
3 is a perspective view showing a state in which a mapping apparatus according to an embodiment of the present invention is open;
4 is a bottom view showing a state in which the mapping apparatus according to the embodiment of the present invention is closed;
5 is a bottom view showing a state in which the mapping apparatus according to the embodiment of the present invention is open;
6 to 7 are perspective views showing a door opening / closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is an exploded perspective view showing a door opening / closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 9 is a perspective view showing the front and rear moving parts of the door opening / closing device according to the embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a perspective view of the front and rear moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention.
Fig. 11 is a perspective view showing the front and rear moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention.
12 is an exploded perspective view showing the front and rear moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention.
13 is a perspective view showing the upper and lower portions of the door opening and closing apparatus according to the embodiment of the present invention.
14 is an exploded perspective view showing the upper and lower portions of the door opening and closing apparatus according to the embodiment of the present invention.
15 is a side view showing an opening and closing operation of the door opening / closing apparatus according to the embodiment of the present invention
16 is a rear perspective view illustrating a door opening / closing apparatus according to an embodiment of the present invention.
17 is a rear perspective view showing the door opening and closing part of the door opening / closing device and the operation of the guide member according to the embodiment of the present invention.
18 is a flowchart showing a mapping apparatus and a method of providing a door opening / closing apparatus according to an embodiment of the present invention
19A to 19B are a side view and a transmission plane view showing a preparation state according to an embodiment of the present invention.
20A and 20B are a side view and a transmission plane view of a port door according to an embodiment of the present invention,
FIGS. 21A and 21B are a side view and a transmission plane view showing a state in which a port door reaches a mapping start position according to an embodiment of the present invention;
FIGS. 22A and 22B are a side view showing a state in which the mapping bar is opened according to an embodiment of the present invention,
23A and 23B are a side view and a transmission plane view showing a state in which the port door reaches the mapping end position according to the embodiment of the present invention;
24A and 24B are a side view and a transmission plane view showing a state where the mapping bar is closed according to the embodiment of the present invention
25A and 25B are a side view and a transmission plan view showing a state in which mapping according to an embodiment of the present invention is completed.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The advantages and features of the present invention, and the manner of achieving them, will be apparent from and elucidated with reference to the embodiments described hereinafter in conjunction with the accompanying drawings. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, and will fully convey the scope of the invention to those skilled in the art. To fully disclose the scope of the invention to those skilled in the art, and the invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

이하, 본 발명의 실시예들에 의하여 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치를 설명하기 위한 도면들을 참고하여 본 발명에 대해 설명하도록 한다.
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described with reference to the accompanying drawings, which illustrate a mapping device having an integrated mapping bar for detecting the presence or position of a wafer according to embodiments of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 2은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 4은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 클로즈된 상태를 나타낸 저면도이며, 도 5은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치가 오픈된 상태를 나타낸 저면도이다.2 is a perspective view illustrating a state in which a mapping apparatus according to an embodiment of the present invention is closed. FIG. 3 is a schematic diagram of a mapping apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a bottom view showing a state where the mapping apparatus according to the embodiment of the present invention is closed, FIG. 5 is a view showing the state where the mapping apparatus according to the embodiment of the present invention is opened It is the bottom surface.

도 1 내지 도 5를 참고하면, 본 발명인 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치(100)는 매핑센서(110), 매핑바(120), 제1실린더(140), 결합부(150)를 포함한다.1 to 5, a mapping apparatus 100 having an integrated mapping bar for detecting the presence and position of a wafer according to the present invention includes a mapping sensor 110, a mapping bar 120, a first cylinder 140, (150).

여기서, 매핑센서(110)는 송신기(112)와 수신기(114)를 포함한다.Here, the mapping sensor 110 includes a transmitter 112 and a receiver 114.

그리고, 매핑센서(110)는, 상기 송신기(112)에서 신호를 방출하고, 상기 수신기(114)는 상기 신호를 감지하여 상기 수신기(114)의 신호감지 여부에 따라 웨이퍼의 존재 유무를 검출한다.The mapping sensor 110 emits a signal from the transmitter 112. The receiver 114 senses the signal and detects the presence or absence of the wafer according to whether the receiver 114 senses the signal.

또한, 매핑바(120)는, 상기 매핑센서(110)의 송신기(112)와 수신기(114)가 각각 양측에 대향되게 형성된다.The mapping bar 120 is formed such that the transmitter 112 and the receiver 114 of the mapping sensor 110 are opposed to each other.

그리고, 이송부재(130)는, 일측이 상기 매핑바(120)에 회동가능하게 하나 이상 설치된다.At least one of the transfer members 130 is rotatably installed at one side of the mapping bar 120.

또한, 이송부재(130)는 두개가 형성되는 것이 바람직하고, 각 이송부재(130)의 타측이 결합부(150)에 관통형성되어 회동가능하게 형성되며, 제1이송부재(130a)의 타측에는 회동휠(132)이 형성되고, 제2이송부재(130b)의 타측에는 센서휠(134)이 형성되는 것이 바람직하다.
In addition, it is preferable that two conveying members 130 are formed, and the other side of each conveying member 130 is formed to be rotatable through the coupling portion 150, and the other side of the first conveying member 130a It is preferable that the rotation wheel 132 is formed and the sensor wheel 134 is formed on the other side of the second transfer member 130b.

그리고, 제1실린더(140)는, 상기 제1이송부재(130a)에 고정된 회동휠(132)과 일측이 연결되고, 타측이 상기 결합부(150)와 회동가능하게 결합되며, 제1실린더(140)의 전진 후퇴를 통해 회동휠(132)을 회동하여 상기 매핑바(120)를 이송시킨다.The first cylinder 140 is connected to one end of the rotation wheel 132 fixed to the first transfer member 130a and the other end of the first cylinder 140 is rotatably coupled to the engagement portion 150, The turning wheel 132 is rotated through the forward and backward movement of the mover 140 to transfer the mover 120. [

따라서, 제1실린더(140)는 결합부(150)에 회동가능하게 고정되며 전진과 후퇴시 회동휠(132)을 회동하여 이송부재(130)를 회동시키고 이송부재(130)의 회동에 따라 매핑바(120)를 이송시킨다.Accordingly, the first cylinder 140 is rotatably fixed to the engaging part 150 and rotates the turning wheel 132 at the time of advancing and retreating to rotate the conveying member 130 and, according to the rotation of the conveying member 130, Thereby transporting the bar 120.

여기서, 제1실린더(140)는 포트도어(300)가 매핑시작위치로 이동시 전진하여 고정되며, 포트도어(300)가 매핑종료 위치로 이동되면 제1실린더(140)가 후퇴하여 고정된다.The first cylinder 140 moves forward when the port door 300 is moved to the mapping start position and the first cylinder 140 is retracted when the port door 300 is moved to the mapping end position.

제1실린더(140)의 전진에 따라 매핑바(120)에 형성된 매핑센서(110)가 웨이퍼의 존재유무 검출을 시작하며, 제1실린더(140)의 후퇴에 따라 웨이퍼의 존재유무 검출을 마감한다.
As the first cylinder 140 advances, the mapping sensor 110 formed on the mapping bar 120 starts to detect the presence or absence of the wafer and terminates the detection of the presence or absence of the wafer in accordance with the retreat of the first cylinder 140 .

그리고, 결합부(150)는, 회동반경제한부재(160a,b) 및 회동감지센서를 포함한다.The engaging portion 150 includes the turning radius limiting members 160a and 160b and the rotation detecting sensor.

또한, 결합부(150)는, 상기 이송부재(130) 및 제1실린더(140)가 회동가능하게 고정되고, 상기 포트도어(300)에 결합된다.The coupling unit 150 is rotatably fixed to the transfer member 130 and the first cylinder 140 and is coupled to the port door 300.

그리고, 결합부(150)에 포함된 회동반경제한부재(160a,b)는, 상기 제1실린더(140)의 전진과 후퇴를 제한하여 회동휠(132)의 회동반경을 제한한다.The turning radius limiting members 160a and 160b included in the engaging portion 150 limit the advance and retreat of the first cylinder 140 and limit the turning radius of the turning wheel 132. [

상기 회동반경제한부재(160a,b)는, 제1실린더(140)의 전진시 회동되는 회동휠(132)을 회동반경을 제한하고, 제1실린더(140)의 후퇴시 회동되는 회동휠(132)의 회동반경을 제한하도록 두개가 설치되는 것이 바람지하다.The turning radius limiting members 160a and 160b restrict the turning radius of the turning wheel 132 that is rotated when the first cylinder 140 is moved forward and the turning wheel 132 that rotates when the first cylinder 140 is retracted It is advisable that two are installed so as to limit the turning radius.

또한, 회동감지센서는, 상기 제1실린더(140)의 전진 후퇴를 감지한다.Further, the rotation detection sensor senses the advance and retreat of the first cylinder (140).

여기서, 회동감지센서는 센서휠(134), 제1센서(136) 및 제2센서(138)를 포함한다.Here, the rotation detection sensor includes a sensor wheel 134, a first sensor 136, and a second sensor 138.

센서휠(134)은, 상기 제2이송부재(130b)와 결합되되, 결합면의 일면 또는 타면에 위치하는 것이 바람직하다.It is preferable that the sensor wheel 134 is coupled to the second transfer member 130b and is located on one side or the other side of the coupling surface.

그리고, 상기 센서휠(134)은, 상기 제1실린더(140)가 전진하면 일단이 제1센서(136)의 내부공간을 지나가며 타단이 제2센서(138)의 내부공간을 벗어나고, 상기 제1실린더(140)가 후퇴하면 상기 타단이 상기 제2센서(138)의 내부공간을 지나가며 상기 일단이 상기 제1센서(136)의 내부공간을 벗어나는 특징으로 한다.When the first cylinder 140 advances, the sensor wheel 134 passes one end of the first sensor 136 through the inner space and the other end of the sensor wheel 134 moves out of the inner space of the second sensor 138, When the first cylinder 140 is retracted, the other end passes through the inner space of the second sensor 138, and the one end of the cylinder 140 moves out of the inner space of the first sensor 136.

따라서, 센서휠(134)은 부채꼴 형상으로 형성되어 일정 각도 이상 회동되어 제1실린더(140)의 전진과 후진시 매핑바(120)가 제 위치에 도달 하였을때, 제1센서(136) 또는 제2센서(138)의 내부공간을 지나가는 것이 바람직하다.Accordingly, when the sensor bar 134 is formed in a fan shape and is rotated by a predetermined angle or more to reach the position of the mapping bar 120 when the first cylinder 140 is advanced or retracted, 2 sensor 138. [0033]

제1센서(136)는, 상기 제1실린더(140)의 전진시, 상기 센서휠(134)이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 결합부(150)에 고정된다.The first sensor 136 is formed to sense that the sensor wheel 134 passes through the inner space when the first cylinder 140 is advanced and is fixed to the engaging part 150.

제2센서(138)는, 상기 제1실린더(140)의 후퇴시, 상기 센서휠(134)이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 결합부(150)에 고정된다.
The second sensor 138 is formed to sense that the sensor wheel 134 passes the inner space when the first cylinder 140 is retracted and is fixed to the engaging part 150.

도 6 내지 도7은 본 발명의 실시예에 도어개폐장치를 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 분해사시도이며, 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 투과측면도이며, 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 사시도이고, 도 12는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 전후이동부를 나타낸 분해사시도이며, 도 13은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 사시도이고, 도 14는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 상하이동부를 나타낸 분해사시도이며, 도 15는 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 개폐동작을 나타낸 측면도이고, 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치를 나타낸 배면사시도이며, 도 17은 본 발명의 실시예에 따른 도어개폐장치의 도어개폐부와 가이드부재의 동작을 나타낸 배면사시도이다.
6 is a perspective view showing a door opening / closing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 8 is an exploded perspective view showing a door opening / closing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 10 is a perspective view showing the front and rear moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention, and FIG. 11 is a front view and a rear view showing the front and rear moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention. 12 is an exploded perspective view showing a front and rear moving parts of a door opening / closing device according to an embodiment of the present invention, FIG. 13 is a perspective view showing the upper and lower moving parts of the door opening and closing device according to the embodiment of the present invention, 15 is an exploded perspective view of a door opening / closing device according to an embodiment of the present invention. Fig. 15 is a side view showing an opening and closing operation of the door opening / closing device according to the embodiment of the present invention, A perspective view showing the rear door opening and closing device according to an embodiment of the present invention, Figure 17 is a rear perspective view of the door opening and closing operation of the guide member of the door opening and closing device according to an embodiment of the invention.

도 6 내지 도 17을 참고하면, 본 발명인 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치(100)는 전후이동부(210) 및 상하이동부(260)를 포함한다.6 to 17, a mapping apparatus 100 having an integrated mapping bar for detecting the presence or the position of a wafer according to the present invention includes a forward / backward moving unit 210 and a vertical moving unit 260.

여기서, 전후이동부(210)는, 상기 실린더부(250)에 포함된 실린더가 전진하면 상기 도어연결부(235)에 결합된 포트도어(300)가 오픈되고, 상기 실린더부(250)에 포함된 실린더가 후퇴하면 상기 도어연결부(235)에 결합된 포트도어(300)가 클로징된다.When the cylinder included in the cylinder part 250 advances, the port door 300 coupled to the door connecting part 235 is opened. In the cylinder part 250, The port door 300 coupled to the door connecting portion 235 is closed.

제1가이드부(214)는, 상기 전후이동부(210)는, 외측으로 돌출되어 형성되고, 상기 제1케이스(212) 양측에 고정된다.The first guide portion 214 is formed so as to protrude outward and is fixed to both sides of the first case 212.

상기 제1가이드부(214)는, 상기 제1케이스(212)에 고정되는 제1고정부재(215) 및 상기 제1고정부재(215)에 슬라이딩 결합되는 제1이동부재(216)를 포함한다.The first guide unit 214 includes a first fixing member 215 fixed to the first case 212 and a first moving member 216 slidingly coupled to the first fixing member 215 .

상기 제2가이드부(236)는, 상기 제1가이드부(214)에 평행이송 가능하게 결합된다.The second guide portion 236 is coupled to the first guide portion 214 so as to be parallel to the first guide portion 214.

제2가이드부(236)는, 상기 제2가이드부(236)에 고정되는 제2고정부재(237) 및 상기 제1이동부재(216)에 슬라이딩 결합되고, 상기 제2고정부재(237)에 슬라이딩 결합되는 제2이동부재(238)를 포함한다.The second guide portion 236 includes a second fixed member 237 fixed to the second guide portion 236 and a second fixed member 237 slidingly coupled to the first movable member 216, And a second shifting member 238 slidingly engaged.

즉, 제1가이드부(214)의 제1고정부재(215) 및 제1이동부재(216)와 제2가이드부(236)의 제2고정부재(237) 및 제2이동부재(238)가 각각 슬라이딩 결합되기 때문에 도어연결부(235)는 제1고정부재(215)에 평행이송 가능하게 결합된 제1이동부재(216)의 이동, 제1이동부재(216)에 평행이송가능하게 결합된 제2이동부재(238)의 이동 및 제2이동부재(238)에 평행이송가능하게 결합된 제2고정부재(237)의 이동에 의하여 이동하게 된다.That is, the first fixing member 215 and the first moving member 216 of the first guide portion 214 and the second fixing member 237 and the second moving member 238 of the second guide portion 236 The door connecting portion 235 is moved by the movement of the first moving member 216 coupled to the first fixing member 215 such that the first moving member 216 can move parallel to the first fixing member 215, 2 moving member 238 and the second fixing member 237 coupled to the second moving member 238 so as to be movable in parallel.

따라서, 제1가이드부(214)와 제2가이드부(236)의 결합으로 인하여 도어연결부(235)의 이동거리가 증가하게 된다.Therefore, the movement distance of the door connecting portion 235 increases due to the engagement of the first guide portion 214 and the second guide portion 236. [

링크바(220)는 제1캠팔로우(222)가 형성된 상단과 상기 제1케이스(212)의 내부에 힌지결합되는 중단(224) 및 제2캠팔로우(226)가 형성된 하단을 포함한다.The link bar 220 includes a lower end formed with a stop 224 and a second cam follower 226 which are hinged to the inside of the first case 212 and the upper end where the first cam follower 222 is formed.

또한, 링크바(220)는, 상기 중단(224)을 기준으로 상기 상단이 상기 포트도어(300) 방향으로 일정각도 기울어져 형성된다.The upper end of the link bar 220 is inclined at a predetermined angle in the direction of the port door 300 with respect to the stop 224.

제1캠팔로우(222)는, 상기 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성된다.The first cam followers 222 protrude from both sides of the link bar 220.

제2캠팔로우(226)는, 상기 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성된다.The second cam followers 226 protrude from both sides of the link bar 220.

여기서, 제1캠팔로우(222)와 제2캠팔로우(226)는 링크바(220)의 양측면에 돌출되어 형성되는 것이 바람직하지만, 링크바(220)에 형성된 홀에 삽입되는 폴대에 의해 회전가능한 롤러가 결합되는 형태로 형성되는 것 또한 바람직하다.The first cam followers 222 and the second cam followers 226 are preferably protruded from both sides of the link bar 220. However, the first cam followers 222 and the second cam followers 226 can be rotated by the poles inserted into the holes formed in the link bars 220 It is also preferable that the roller is formed in a combined form.

제1캠(230)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된다.The first cam 230 is formed such that the first cam follower 222 is vertically movable and rotatable.

여기서 제1캠(230)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 결합되는 양측에 형성된 제1캠결합공(232)을 포함한다.Here, the first cam 230 includes a first cam coupling hole 232 formed on both sides to which the first cam follower 222 is coupled.

제1캠결합공(232)은, 상기 제1캠팔로우(222)가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있다.The first cam coupling hole 232 is formed in the shape of a slot so that the first cam follower 222 can move up and down.

도어연결부(235)는, 상기 제1캠(230)과 결합하고, 포트도어(300)와 결합한다.The door connecting portion 235 engages with the first cam 230 and engages with the port door 300.

도어연결부(235)는, 상기 제1캠(230)과 결합하며 중앙을 기점으로 양측으로 연장되어 상기 제1케이스(212)를 감싸며 내측으로 형성되는 제2가이드부를 포함한다.The door connecting portion 235 includes a second guide portion coupled to the first cam 230 and extending in both directions from the center to surround the first case 212 and formed inward.

제2캠(240)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 상하이동 및 회동 가능하도록 형성된다.The second cam 240 is formed such that the second cam follower 226 is vertically movable and rotatable.

제2캠(240)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 결합되는 양측에 형성된 제2캠결합공(242)을 포함한다.The second cam 240 includes a second cam engagement hole 242 formed on both sides to which the second cam follower 226 is coupled.

상기 제2캠결합공(242)은, 상기 제2캠팔로우(226)가 상하이동이 가능하도록 장공형태로 되어있다.The second cam coupling hole 242 is formed in the shape of a slot so that the second cam follower 226 can move up and down.

실린더부(250)는, 상기 제2캠(240)과 결합하고 전진 및 후퇴하는 실린더를 통해 상기 도어연결부(135)를 이동시킨다.
The cylinder portion 250 moves the door connecting portion 135 through the cylinder engaged with the second cam 240 and moving forward and backward.

그리고, 상하이동부(260)는, 제1케이스(212)를 고정하고, 상기 제1케이스(212)를 상하로 이동시킨다.Then, the upper and lower easiness portions 260 fix the first case 212 and move the first case 212 up and down.

상하이동부(260)는, 제2케이스(262), 케이스고정부(265a,265b), 이동부(270a) 및 완충부(270b)을 포함한다.The upper and lower easiness portions 260 include a second case 262, case fixing portions 265a and 265b, a moving portion 270a and a buffer portion 270b.

여기서, 제1케이스고정부(265a)는, 상기 제1케이스(212)의 일측에 결합된다.Here, the first case fixing portion 265a is coupled to one side of the first case 212. [

또한, 제2케이스고정부(265b)는, 상기 제1케이스(212)의 타측에 결합된다.The second case fixing portion 265b is coupled to the other side of the first case 212. [

그리고, 이동부(270a)는, 제2케이스(262)의 내측에 형성되고, 상기 제1케이스고정부(265a) 및 제2케이스고정부(265b)와 결합하며, 외부 동력에 의해 상하로 이동하는 체인에 의해 제1케이스고정부(265a)를 상하로 이동시키는 것이 바람직하다.The moving part 270a is formed inside the second case 262 and is engaged with the first case fixing part 265a and the second case fixing part 265b and is moved up and down by external power It is preferable to move the first case fixing portion 265a up and down.

또한,완충부(270b)는, 상기 제2케이스(262)에 형성되고, 상기 제2케이스고정부(265b)와 결합하며, 상기 제1케이스(212)의 상하이동시 상기 케이스(212)가 흔들리지 않도록 균형을 잡아준다The cushioning portion 270b is formed in the second case 262 and is engaged with the second case fixing portion 265b so that the case 212 of the first case 212, Balance it

여기서, 완충부(270b)는, 제2케이스(262)의 내측에 형성되며, 상기 이동부(270a)에 의해 상기 제1케이스고정부(265a)가 외부동력에 의해 상하로 이동시 발생되는 진동을 제거해주는 완충역할을 한다.
Here, the buffering portion 270b is formed inside the second case 262, and the vibration generated when the first case fixing portion 265a is moved up and down by the external power by the moving portion 270a It serves as a buffer to remove.

도 18은 본 발명의 실시예에 따른 매핑장치와 도어개폐장치의 제공방법을 나타낸 순서도이고, 도 19a 내지 도 19b는 본 발명의 실시예에 따른 준비상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 20a 내지 도 20b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 21a 내지 도 21b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑시작위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 22a 내지 도 22b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 오픈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 23a 내지 도 23b는 본 발명의 실시예에 따른 포트도어가 매핑종료위치에 도달된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이며, 도 24a 내지 도 24b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑바가 클로즈된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이고, 도 25a 내지 도 25b는 본 발명의 실시예에 따른 매핑이 완료된 상태를 나타낸 측면도 및 투과평면도이다.
FIG. 18 is a flowchart showing a mapping device and a method of providing a door opening / closing device according to an embodiment of the present invention, FIGS. 19A to 19B are a side view and transmission plan view showing a ready state according to an embodiment of the present invention, FIG. 20B is a side view and a transmission plan view showing a state in which the port door is opened according to the embodiment of the present invention, FIGS. 21A to 21B are side views showing a state in which the port door has reached the mapping start position according to the embodiment of the present invention 22A and 22B are a side view and transmission plan view showing a state in which a mapping bar is opened according to an embodiment of the present invention, and Figs. 23A to 23B are views showing a state in which the port door according to the embodiment of the present invention is positioned at the mapping end position 24A and 24B are a side view and a transmission plane view showing a state in which the mapping bar is closed according to the embodiment of the present invention, , Figure 25a to Figure 25b is a side view and a plan view showing a transmission map is complete state according to an embodiment of the invention.

도 18내지 도 25b를 참고하면, 우선 포트도어(300)가 수납포트(310)를 밀폐하였을때, 제1실린더(140)는 후퇴된 상태에서 고정되어 매핑바(120)가 클로즈된 상태에서 시작한다(s110).18 to 25B, when the port door 300 closes the storage port 310, the first cylinder 140 is fixed in the retracted state, so that when the mapping bar 120 is closed, (S110).

그 다음, 제2실린더(250)가 전진하여 도어개폐부(230)에 의해 고정된 포트도어(300)가 수납포트(310)에서 오픈된다(s120).Then, the second cylinder 250 advances and the port door 300 fixed by the door opening / closing part 230 is opened at the storage port 310 (s120).

그 다음, 포트도어(300)가 매핑을 시작할 수 있도록 포트도어(300)가 상하이동부(262)에 의해 매핑시작 위치에 위치하게 된다(s130).Then, the port door 300 is positioned at the mapping start position by the up-and-down moving part 262 so that the port door 300 can start mapping (s130).

그 다음, 포트도어(300)가 매핑시작 위치에 위치하면 제1실린더(140)가 전진되어 고정되고, 매핑바(120)가 오픈된다(s140).Then, when the port door 300 is located at the mapping start position, the first cylinder 140 is advanced and fixed, and the mapping bar 120 is opened (s140).

그 다음, 포트도어(300)가 상하이동부(262)에 의해 아래로 이동하여 매핑종료 위치에 위치하게 된다(s150).Then, the port door 300 is moved downward by the vertically movable portion 262 to be positioned at the mapping end position (S150).

그 다음, 포트도어(300)가 매핑종료 위치에 위치하게 되면 제1실린더(140)가 후진되어 고정되고, 매핑바(120)가 클로즈된다(s160).Then, when the port door 300 is positioned at the mapping end position, the first cylinder 140 is retracted and fixed, and the mapping bar 120 is closed (s160).

그 다음, 포트도어(300)가 최하점에 도달하여 수납포트(310) 매핑을 종료한다(s170).
Then, the port door 300 reaches the lowest point and terminates the mapping of the storage port 310 (S170).

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
It will be understood by those skilled in the art that the present invention may be embodied in other specific forms without departing from the spirit or essential characteristics thereof. It is therefore to be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the foregoing detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and the equivalents thereof are included in the scope of the present invention Should be interpreted.

100; 매핑장치 110: 매핑센서
112: 송신기 114: 수신기
120: 매핑바 130: 이송부재
130a: 제1이송부재 130b: 제2이송부재
132: 회동휠 134; 센서휠
136: 제1센서 138: 제2센서
140: 제1실린더 150: 결합부
160a,160b: 회동반경제한부재 200: 도어개폐장치
210: 전후이동부 212: 제1케이스
214: 제1가이드부재 215: 제1고정부재
216; 제1이동부재 220: 링크바
222: 제1캠팔로우 224: 중단
226: 제2캠팔로우 230: 제1캠
232: 제1캠결합공 235: 도어연결부
236: 제2가이드부재 237: 제2고정부재
238: 제2이동부재 240: 제2캠
242: 제2캠결합공 250: 실린더부
260: 상하이동부 262: 제2케이스
265a: 제1케이스고정부 265b: 제2케이스고정부
270a: 이동부 270b: 완충부
300: 포트도어 310; 수납포트100; Mapping device 110: Mapping sensor
112: transmitter 114: receiver
120: mapping bar 130:
130a: first conveying member 130b: second conveying member
132: turning wheel 134; Sensor wheel
136: first sensor 138: second sensor
140: first cylinder 150:
160a, 160b: turning radius limiting member 200: door opening / closing device
210: front and rear east portion 212: first case
214: first guide member 215: first fixing member
216; First moving member 220: Link bar
222: First cam follower 224: Stop
226: second cam follower 230: first cam
232: first cam engaging hole 235: door connecting portion
236: second guide member 237: second fixing member
238: second moving member 240: second cam
242: second cam engagement hole 250: cylinder part
260: Shanghai East 262: Second case
265a: first case fixing portion 265b: second case fixing portion
270a: Moving part 270b: Buffer part
300: port door 310; Storage port

Claims (5)

웨이퍼가 수납되고 이송되는 수납포트를 밀폐하고 개방하여 웨이퍼를 이송할 수 있도록 상하로 구동되는 포트도어에 설치되고, 복수의 웨이퍼의 존재 또는 위치를 매핑하는 매핑장치에 있어서,
송신기와 수신기를 포함하는 매핑센서;
상기 매핑센서의 송신기와 수신기가 각각 양측에 대향되게 형성되는 매핑바;
상기 매핑바에 회동가능하게 설치되는 제1이송부재와 제2이송부재;
상기 제1이송부재에 고정된 회동휠과 일측이 연결되고, 타측이 결합부와 회동가능하게 결합되며, 제1실린더의 전진 후퇴를 통해 회동휠을 회동하여 상기 매핑바를 이송시키는 제1실린더;
상기 제1이송부재, 상기 제2이송부재 및 상기 제1실린더가 회동가능하게 고정되고, 상기 포트도어에 결합되는 결합부; 및
제2이송부재의 결합부와 회동가능한 회전축에 형성되고, 상기 제1실린더가 전진하면 일단이 제1센서의 내부공간을 지나가며 타단이 제2센서의 내부공간을 벗어나고, 상기 제1실린더가 후퇴하면 상기 타단이 상기 제2센서의 내부공간을 지나가며 상기 일단이 상기 제1센서의 내부공간을 벗어나는 센서휠, 상기 센서휠의 일단이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 상기 결합부에 고정되는 제1센서, 및 상기 센서휠의 타단이 내부공간을 지나가는 것을 감지하도록 형성되고 상기 결합부에 고정되는 제2센서를 포함하는 회동감지센서;를 포함하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치.1. A mapping device which is provided in a port door that is vertically driven so as to transfer a wafer by sealingly opening and closing a receiving port to which a wafer is received and transferred and mapping the presence or position of a plurality of wafers,
A mapping sensor including a transmitter and a receiver;
A mapping bar in which the transmitter and the receiver of the mapping sensor are opposed to each other;
A first conveying member and a second conveying member rotatably installed in the mapping bar;
A first cylinder connected to one side of a turning wheel fixed to the first feeding member and pivotally coupled to the other side of the coupling unit and rotating the pivoting wheel through forward and backward movement of the first cylinder to feed the mover bar;
An engaging portion rotatably fixed to the first conveying member, the second conveying member, and the first cylinder and coupled to the port door; And
The first cylinder is formed in a rotation shaft rotatable with the engaging portion of the second conveying member, and when the first cylinder advances, one end passes the inner space of the first sensor and the other end goes out of the inner space of the second sensor, The sensor wheel having one end thereof passing through the internal space of the second sensor and having one end thereof deviating from the internal space of the first sensor, a sensor wheel formed so as to sense one end of the sensor wheel passing through the internal space, And a rotation sensing sensor including a first sensor and a second sensor formed to sense that the other end of the sensor wheel passes through the inner space and fixed to the engagement portion, and an integrated mapping A mapping device formed with a bar. 제1항에 있어서, 상기 매핑센서는,
상기 송신기에서 신호를 방출하고, 상기 수신기는 상기 신호를 감지하여 상기 수신기의 신호감지 여부에 따라 웨이퍼의 존재 유무를 검출하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치.The apparatus of claim 1, wherein the mapping sensor comprises:
Wherein the receiver detects a presence or absence of a wafer according to whether the signal is sensed by the receiver by sensing the signal, and the receiver detects a presence or absence of the wafer, . 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 결합부는,
상기 제1실린더의 전진과 후퇴를 제한하여 회동휠의 회동반경을 제한하는 회동반경제한부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 존재 유무 및 위치를 검출하는 일체형 매핑바가 형성된 매핑장치.
The connector according to claim 1,
And a turning radius limiting member for limiting the turning radius of the turning wheel by restricting the forward and backward movement of the first cylinder.
삭제delete
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