KR20190044946A - Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment - Google Patents

Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment Download PDF

Info

Publication number
KR20190044946A
KR20190044946A KR1020170137591A KR20170137591A KR20190044946A KR 20190044946 A KR20190044946 A KR 20190044946A KR 1020170137591 A KR1020170137591 A KR 1020170137591A KR 20170137591 A KR20170137591 A KR 20170137591A KR 20190044946 A KR20190044946 A KR 20190044946A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heater
distribution pipe
mounting
support
evaporation source
Prior art date
Application number
KR1020170137591A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102036656B1 (en
Inventor
김기현
김찬홍
Original Assignee
주식회사 선익시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 선익시스템 filed Critical 주식회사 선익시스템
Priority to KR1020170137591A priority Critical patent/KR102036656B1/en
Publication of KR20190044946A publication Critical patent/KR20190044946A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102036656B1 publication Critical patent/KR102036656B1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12—Organic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/243—Crucibles for source material

Abstract

The present invention relates to a device for heating a distribution tube of an evaporation source of deposition equipment which has a cylindrical structure to heat a distribution tube for distributing an evaporation material evaporated from a crucible to a plurality of nozzles. The device for heating a distribution tube of an evaporation source of deposition equipment comprises: a heater arranged in a circular structure when viewed from a side of the distribution tube along an outer circumference of the distribution tube, and divided into a plurality of sets in a circumferential direction; a hinge body to connect the plurality of divided heater sets, and spread when separating the heater by the distribution tube; and a mounting fixing means to prevent the heater from being spread when the heater is mounted on the distribution tube. The distribution tube can be intensively heated to a proper temperature, and the heater can be easily mounted and detached to improve heating performance of the distribution tube and facilitate repair and inspection.

Description

증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치{Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment}[0001] The present invention relates to an evaporation source of a deposition apparatus,

본 발명은 OLED 등을 제조하는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 다수의 노즐에 증착 물질을 분배하는 증발원 분배관의 히팅 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a deposition apparatus for manufacturing an OLED and the like, and more particularly to a heating apparatus for an evaporation source distribution pipe for distributing a deposition material to a plurality of nozzles.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 증착 공정은 유기물질을 증발시키고, 이렇게 증발된 유기물질을 기판에 증착시키는 공정이다.In general, an organic light emitting diode (OLED) deposition process is a process of evaporating an organic material and depositing the evaporated organic material on a substrate.

이러한 증착 공정은 글라스 등의 기판을 증착챔버 내에 배치하고, 유기물질이 담긴 증발원(또는 도가니)을 기판에 대향하도록 배치한 후에, 증발원을 가열하여 그 내부에 저장된 유기물질을 증발시켜 기판에 증착시킴으로써 기판 상에 유기 박막을 형성하게 된다.In such a deposition process, a substrate such as a glass substrate is placed in a deposition chamber, an evaporation source (or crucible) containing an organic substance is disposed so as to face the substrate, and then an evaporation source is heated to evaporate organic substances stored therein Thereby forming an organic thin film on the substrate.

최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라, 기판에 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형 증발원이 사용되고 있으며, 이러한 선형 증발원은 대면적의 기판에 유기물질이 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 노즐이 구성되어 있다.In recent years, linear evaporation sources have been used instead of an increasing source to uniformly form a large-area thin film on a substrate as the substrate is made larger. Such a linear evaporation source has a plurality of nozzles .

또한, 도가니와 노즐 사이에는 분배관이 구성되어 증발 물질을 각각의 노즐에 균일하게 분배하여 제공할 수 있도록 구성된다.In addition, a distribution pipe is formed between the crucible and the nozzle so that the evaporation material can be uniformly distributed to each nozzle.

이러한 도가니 및 분배관의 외부에는 히터가 설치되어 증발물질을 가열하도록 구성된다.A heater is provided outside the crucible and the distribution pipe to heat the evaporation material.

그러나 종래 분배관을 가열하는 히터 장치는 도가니, 분배관, 다수의 노즐로 이루어진 증발원 외부에 박스형 구조로 설치되므로 원형 구조로 이루어진 분배관 내부를 균일하게 가열하기 어렵고, 히터의 설치 구조도 복잡해지는 문제점이 있다.However, since the conventional heater device for heating the distribution pipe is installed in a box-like structure outside the evaporation source including the crucible, the distribution pipe and the plurality of nozzles, it is difficult to uniformly heat the inside of the distribution pipe having a circular structure and the installation structure of the heater becomes complicated .

한국 공개특허 10-2016-0005875호Korean Patent Publication No. 10-2016-0005875 한국 등록특허 10-1671757호Korean Patent No. 10-1671757

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 분배관 둘레에 힌지로 연결되어 장착 및 개방이 가능한 히터를 설치함으로써 분배관을 적정한 온도로 집중 가열할 수 있는 동시에, 히터의 탈장착이 용이하여 분배관의 히팅 성능 향상은 물론 수리 점검도 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a heater capable of being mounted and opened by being hinged around a distributor tube, thereby intensively heating the distributor tube to an appropriate temperature, And to provide a heating device for an evaporation source distribution pipe of a vapor deposition equipment, which can improve the heating performance of the distribution pipe as well as the repair and inspection.

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치는, 원통형 구조로 이루어져 도가니에서 증발된 증발 물질을 다수의 노즐로 분배하는 분배관을 가열하기 위한 것으로, 상기 분배관의 외측 둘레를 따라 분배관의 측면에서 보았을 때 원형 구조로 배치되고, 원주 방향으로 복수개의 세트로 분할된 히터와; 상기 복수개로 분할된 히터를 연결하고, 상기 분배관에서 히터를 분리할 때는 벌림이 가능하도록 이루어진 힌지체와; 상기 히터가 상기 분배관에 장착된 상태에서 벌어지지 않도록 하는 장착 고정수단을 포함한 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a heating apparatus for an evaporation source distribution pipe of a vapor deposition apparatus for heating a distribution tube having a cylindrical structure and distributing vaporized material evaporated in a crucible to a plurality of nozzles, A heater disposed in a circular shape when viewed from the side of the distribution pipe along the outer circumference of the distribution pipe and divided into a plurality of sets in the circumferential direction; A hinge body connected to the plurality of divided heaters and configured to be opened when the heaters are separated from the distribution pipe; And a mounting and fixing means for preventing the heater from being opened when the heater is mounted on the distribution pipe.

상기 힌지체는, 힌지 축과, 상기 힌지 축을 중심으로 양쪽에 구성되어 분할된 양쪽 히터 세트를 연결하면서 지지하는 히터 연결대를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.Preferably, the hinge body includes a hinge shaft and a heater connecting rod for supporting and connecting both heater sets formed on both sides of the hinge shaft.

상기 장착 고정수단은 상기 분배간의 둘레에서 상기 힌지체로 연결되지 아니한 히터 세트의 끝부분을 상호 연결하도록 구성될 수 있다.The mounting and securing means may be configured to interconnect the ends of the heater set which are not connected to the hinge body at the periphery of the distribution.

이때, 상기 장착 고정수단은 상호 체결 및 분리되게 이루어진 클램프형 구조로 구성되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the mounting and fixing means is constituted by a clamp type structure which is mutually fastened and separated.

이와는 달리, 상기 장착 고정수단은 상기 히터가 상기 분배관에 결합되어 고정되도록 구성될 수 있다.Alternatively, the mounting and fixing means may be configured such that the heater is fixedly coupled to the distribution pipe.

또한, 상기 장착 고정수단은 상기 힌지체에 설치되어 상기 히터가 분배관에 장착되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체로 구성되는 것도 가능하다.The mounting and fixing means may be formed of an elastic body provided on the hinge body and providing an elastic force in a direction in which the heater is mounted on the distribution pipe.

상기 분배관의 외측에 구비되어 상기 히터를 상기 분배관에서 일정 간격 이격되게 지지하는 히터 지지수단을 포함하여 구성될 수 있다.And a heater supporting means provided on the outer side of the distribution pipe to support the heater at a predetermined interval in the distribution pipe.

상기 히터 지지수단은, 상기 분배관에서 돌출되는 마운팅 리브와, 상기 마운팅 리브에 결합되어 상기 히터를 지지하는 히터 지지체와, 상기 히터 지지체와 체결 수단으로 조립되어 상기 히터 지지체와의 사이에 히터를 고정하는 히터 고정체를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The heater support means includes a mounting rib protruding from the distribution pipe, a heater support coupled to the mounting rib to support the heater, and a heater fixed to the heater support by being assembled with the heater support and the fastening means. And a heater fixture for heating the heater.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The above and other objects and advantages of the present invention will become more apparent by describing in detail exemplary embodiments thereof with reference to the attached drawings in which: In addition to the principal task solutions as described above, various task solutions according to the present invention will be further illustrated and described.

본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치는, 분배관 둘레에 원형상으로 설치되기 때문에 분배관을 적정한 온도로 집중 가열할 수 있는 동시에, 일정한 온도로 균일하게 가열하여 분배관의 히팅 성능을 향상시킬 수 있고, 이에 따라 증착 성능 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.Since the heating device of the evaporation source distribution pipe of the evaporation equipment according to the present invention is installed in a circular shape around the distribution pipe, the distribution pipe can be intensively heated to a proper temperature and uniformly heated at a constant temperature, And it is possible to contribute to the improvement of the deposition performance.

또한, 본 발명은 히터 고정체 및 히터 지지체를 통해 히터를 보다 용이하고 안정적으로 지지할 수 있는 효과도 있다.Further, the present invention also has the effect of supporting the heater more easily and stably through the heater fixture and the heater support.

또한, 본 발명은 복수의 히터가 힌지체로 연결되어 분배관에서 분리시에 벌림이 가능하도록 구성되기 때문에 분배관 히팅장치의 수리 및 점검도 용이하게 이루어질 수 있는 효과가 있다.Further, the present invention is configured such that a plurality of heaters are connected to the hinge body so that the heaters can be opened at the time of separation at the distribution pipe, so that the repair and inspection of the distribution pipe heating device can be easily performed.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 분배관의 히팅 장치가 포함된 증발원의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분배관의 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배관의 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도로서, 히팅 장치의 장착 상태를 보인 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배관의 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도로서, 히팅 장치의 열림(비장착) 상태를 보인 도면이다.1 is an overall perspective view of an evaporation source including a heating device of a distribution pipe according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view of an evaporation source including a heating device of a distribution pipe according to an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a side view of an evaporation source including a heating device of a distribution pipe according to another embodiment of the present invention, and shows a mounting state of the heating device.
FIG. 4 is a side view of an evaporation source including a heating device of a distribution pipe according to another embodiment of the present invention, and shows the opening (non-mounting) state of the heating device.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 분배관의 히팅 장치가 포함된 증발원이 도시된 도면들로서, 도 1은 전체 사시도, 도 2는 측면 구성도이다.1 and 2 are views showing an evaporation source including a heating device for a distribution pipe according to an embodiment of the present invention. FIG. 1 is an overall perspective view and FIG. 2 is a side view.

이들 도면을 참조하면, 증발원(10)은 증발물질이 저장된 상태에서 가열하는 도가니(20), 좌우로 길게 배치되어 도가니(20)에서 증발된 물질을 다수의 노즐(50)로 균일하게 제공하는 분배관(30), 증발물질이 분사되는 다수의 노즐(50)로 이루어진다.Referring to these drawings, an evaporation source 10 includes a crucible 20 for heating in a state where an evaporation material is stored, an evaporator 20 for evaporating a substance uniformly provided in the crucible 20 from a plurality of nozzles 50, A pipe 30, and a plurality of nozzles 50 through which the evaporation material is injected.

도 1에 도시된 증발원(10)은 선형 증발원 구조를 가진 것으로, 2개의 도가니(20)가 좌우에 구성되고, 도가니(20) 상측에 수평 방향으로 분배관(30)이 연결되며, 분배관(30) 상측에 다수의 노즐(50)들이 일렬로 배열된 구조로 이루어진다. 이러한 증발원(10) 구조는 하나의 예시이며, 실시 조건에 따라 공지의 증발원을 이용하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 물론이다.The evaporation source 10 shown in Fig. 1 has a linear evaporation source structure. Two crucibles 20 are formed on the right and left sides. A distribution pipe 30 is connected to the upper side of the crucible 20 in a horizontal direction. A plurality of nozzles 50 are arranged in a line on the upper side of the nozzles 30. The structure of the evaporation source 10 is merely an example, and it is needless to say that the evaporation source 10 may be modified in various ways using a known evaporation source according to the operating conditions.

증발원(10)의 외측 둘레에는 증발물질을 원활하게 증발시켜 분사할 수 있도록 히팅 장치들이 설치된다. 즉, 도가니(20)를 가열하는 도가니 히팅 장치(25), 분배관(30)을 가열하는 분배관 히팅 장치(40), 노즐(50)을 가열하는 노즐 히팅 장치(55)가 설치된다.A heating device is installed around the outer circumference of the evaporation source 10 so that the evaporation material can be evaporated and sprayed smoothly. That is, a crucible heating apparatus 25 for heating the crucible 20, a distribution pipe heating apparatus 40 for heating the distribution pipe 30, and a nozzle heating apparatus 55 for heating the nozzle 50 are provided.

도가니 히팅 장치(25) 및 노즐 히팅 장치(55)는 공지의 도가니 및 노즐을 가열하는 히팅 장치를 이용하여 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하고, 분배관 히팅 장치(40)에 대하여 자세히 설명한다.Since the crucible heating device 25 and the nozzle heating device 55 can be constructed using a known crucible and a heating device for heating the nozzle, a detailed description thereof will be omitted and the distribution pipe heating device 40 will be described in detail.

분배관 히팅 장치(40)는 도 2에서와 같이 측면에서 보았을 때 분배관(30)의 외측 둘레를 따라 원형상으로 배치되는 히터(42)를 포함한다.The distribution pipe heating apparatus 40 includes a heater 42 arranged in a circular shape along the outer circumference of the distribution pipe 30 when viewed from the side as in Fig.

히터(42)는 전기 열선을 포함한 구성으로 이루어질 수 있으며, 이 전기 열선이 분배관(30)의 길이 방향으로 지그재그 형상 또는 U자형 구조로 연속적으로 연결되게 구성될 수 있다. 물론, 도면에 예시하지는 않았지만, 전기 열선에 전기를 인가하는 전기 인가장치 및 히터를 제어하는 수단이 구성되고, 이러한 히팅 장치의 부대 구성 요소는 공지의 히터와 동일 또는 유사하게 구성할 수 있다.The heater 42 may be configured to include an electric hot wire, and the electric hot wire may be continuously connected in a zigzag or U-shaped structure in the longitudinal direction of the distribution pipe 30. [ Of course, although not shown in the drawing, an electric applicator for applying electricity to the electric hot wire and a means for controlling the heater are constituted, and the subcomponents of such a heating device can be configured to be the same as or similar to known heaters.

히터(42)는 원주 방향으로 복수개의 세트로 분할되어 구성되고, 이렇게 분할된 히터(42)는 힌지체(80)를 통해 장착 및 벌림이 가능하도록 연결된다. 도 2에서는 히터(42)가 2개의 세트로 분할되고, 하나의 힌지체(80)를 통해 서로 연결된 구성을 보여준다. 하지만, 히터(42)가 2개의 세트로 분할된 구성에 한정되지 않고, 3개의 세트로 분할되어 구성되는 것도 가능하다. 이때에는 2개의 힌지체(80)를 통해 상호 연결되게 구성되는 것이 바람직하다(도 3 참조).The heater 42 is divided into a plurality of sets in the circumferential direction, and the divided heaters 42 are connected through the hinge body 80 so as to be mounted and opened. 2 shows a configuration in which the heaters 42 are divided into two sets and connected to each other through one hinge body 80. In Fig. However, the present invention is not limited to the configuration in which the heater 42 is divided into two sets, and the heater 42 may be divided into three sets. At this time, it is preferable that they are interconnected through two hinge bodies 80 (see FIG. 3).

힌지체(80)는 분할된 양쪽 히터(42)를 상대 회전 가능하게 상호 연결하도록 구성되는데, 히터(42)가 분배관(30)에 원형 구조로 장착된 상태에서 히터(42)를 분배관(30)에서 분리할 때 벌림이 가능하고, 히터(42)를 분배관(30)에 장착할 때는 오므림이 가능하도록 하기 위해 구성된다.The hinge body 80 is configured to mutually connect the divided heaters 42 so as to be rotatable relative to each other. The heater 42 is connected to the distributor pipe 30 in a state in which the heater 42 is installed in the distributor pipe 30 in a circular structure 30, and is configured to enable the crushing when the heater 42 is mounted on the distribution pipe 30.

이러한 힌지체(80)는 힌지 축(81)과, 이 힌지 축(81)을 중심으로 양쪽에 구성되어 분할된 양쪽 히터(42)를 지지하는 히터 연결대(83)를 포함하여 구성될 수 있다. 그리고 힌지체(80)에는 분배관(30)으로부터 일정 간격 이격된 상태로 히터(42)를 지지하도록 일정한 두께를 갖는 지지체(84)가 구성될 수 있다. 지지체(84)는 반드시 필요한 구성은 아니고, 히터 연결대(83)의 두께를 증대시키거나 돌출부 등을 형성하여 구성하는 것도 가능하다.The hinge body 80 may include a hinge shaft 81 and a heater connecting rod 83 for supporting both the heaters 42 formed on both sides of the hinge shaft 81. The support body 84 having a predetermined thickness may be formed on the hinge body 80 so as to support the heater 42 while being spaced apart from the distribution tube 30 by a predetermined distance. The support 84 is not necessarily required, but it is also possible to increase the thickness of the heater connecting rod 83, or to form a projection or the like.

상기와 같이 분배관 히팅 장치(40)는 히터(42)가 복수의 세트로 분리되고, 그 사이에 힌지체(80)가 연결되므로, 분배관(30) 둘레에 히터(42)를 장착할 때, 히터(42)가 벌어지지 않고 분배관(30) 둘레에 장착되어 있도록 하는 장착 고정수단(85)이 요구된다.As described above, in the distribution pipe heating apparatus 40, the heater 42 is divided into a plurality of sets, and the hinge body 80 is connected therebetween. Therefore, when the heater 42 is mounted around the distribution pipe 30 And mounting fixation means 85 for allowing the heater 42 to be mounted around the distribution pipe 30 without being opened is required.

장착 고정수단(85)은 분배관(30) 둘레에 히터(42)를 고정하기 위해 여러 가지 방식으로 구성이 가능한데, 그 중 하나는 분배관(30)의 둘레에서 힌지체(80)의 반대쪽인 히터(42) 세트의 끝부분을 상호 연결하도록 구성할 수 있다. 이때 장착 고정수단(85)은 도 2에 도시된 바와 같이 상호 체결되어 히터 세트가 원형 구조를 이루도록 고정하는 클램프(86)로 구성될 수 있다. 클램프(86) 구조 외에도 볼트 너트 체결 구조, 와이어 연결 구조 등 다양한 방법으로 히터(42) 세트의 끝부분을 상호 연결하도록 구성할 수 있다. The mounting fixture 85 can be configured in various ways to secure the heater 42 around the dispensing tube 30, one of which is located on the opposite side of the hinge body 80, around the dispensing tube 30 The ends of the set of heaters 42 may be interconnected. At this time, the mounting and fixing means 85 may be composed of a clamp 86 which is fastened to each other as shown in FIG. 2 and fixes the heater set so as to have a circular structure. The ends of the set of heaters 42 may be interconnected by various methods such as a bolt-nut fastening structure, a wire-connecting structure, and the like.

다른 구조의 장착 고정수단(85)은 도면에 구체적으로 예시하지는 않았지만 히터(42)가 분배관(30)에 직접 결합되어 고정되도록 구성하는 것도 가능하다. 이때 장착 고정수단(85)은 분배관(30)의 외측면과 히터(42) 사이에 상호 결합될 수 있는 구조를 형성하여, 상호 결합시킴으로써 히터(42)가 분배관(30)에 직접 고정되도록 구성할 수 있다. 예를 들면, 도 2에서 분배관(30)에서 돌출되는 마운팅 리브(32)에 히터 지지체(46)가 결합되는 구조 등으로 이루어질 수 있다.The mounting fixing means 85 of another structure may be configured so that the heater 42 is directly coupled to and fixed to the distribution pipe 30 although not specifically illustrated in the drawings. At this time, the mounting and fixing means 85 forms a structure that can be mutually coupled between the outer surface of the distribution pipe 30 and the heater 42 so that the heater 42 is directly fixed to the distribution pipe 30 Can be configured. For example, the heater support 46 may be coupled to the mounting rib 32 protruding from the distribution pipe 30 in FIG.

또 다른 구조의 장착 고정수단(85)은 도면에 예시하지는 않았지만 힌지체(80)에 구성되어 장착 상태가 유지되도록 구성되는 것도 가능하다. 이때 장착 고정수단(85)은 힌지축에 히터(42)가 분배관(30)에 장착되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체를 설치하여 구성하는 방법으로 가능하다. 탄성체는 힌지 축(81)에 장착된 코일형 구조로 이루어져 양단부가 히터 연결대(83)에 각각 결합된 상태에서 탄성력을 제공하도록 구성되거나, 양단부가 히터 연결대(83)에 각각 결합된 판스프링 등을 이용하여 구성할 수 있다.Although not shown in the drawing, the mounting and fixing means 85 of another structure may be configured in the hinge body 80 so that the mounting state is maintained. At this time, the mounting and fixing means 85 can be constructed by providing an elastic body on the hinge shaft to provide an elastic force in a direction in which the heater 42 is mounted on the distribution pipe 30. The elastic body may have a coil-like structure mounted on the hinge shaft 81 and may be configured to provide an elastic force in a state where both end portions are coupled to the heater connecting rod 83, or a plate spring or the like, .

또한, 분배관 히팅 장치(40)는 히터(42)를 분배관(30)으로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하는 히터 지지수단(45)을 포함하여 구성될 수 있다.The distribution pipe heating apparatus 40 may include a heater support means 45 for supporting the heater 42 at a predetermined distance from the distribution pipe 30. [

히터 지지수단(45)은, 분배관(30)의 둘레 방향으로 이어지는 히터(42)의 전기 열선을 지지하기 위해 분배관(30)의 길이 방향으로 길게 설치되고, 히터(42)를 안정적으로 지지하기 위해 분배관(30)의 원주 방향으로 복수개가 구성되는 것이 바람직하다. 도 2에 도시된 히터 지지수단(45)은 좌측에 배치되는 히터(42)를 지지하기 위해 3열, 우측에 배치되는 히터(42)를 지지하기 위해 3열 구조로 설치된 구성을 보여준다.The heater support means 45 is provided in the longitudinal direction of the distribution pipe 30 so as to support the electric heating wire of the heater 42 extending in the circumferential direction of the distribution pipe 30, It is preferable that a plurality of pipes are formed in the circumferential direction of the distribution pipe 30. [ The heater support means 45 shown in Fig. 2 shows a structure in which three columns are provided to support the heater 42 disposed on the left side, and a three-row structure is provided to support the heater 42 disposed on the right side.

이러한 히터 지지수단(45)은, 분배관(30)에서 돌출되는 마운팅 리브(32)와, 이 마운팅 리브(32)에 결합되어 히터(42)를 지지하는 히터 지지체(46)와, 히터 지지체(46)와 체결 수단으로 조립되어 히터 지지체(46)와의 사이에 히터(42)를 고정하는 히터 고정체(48)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The heater support means 45 includes a mounting rib 32 protruding from the distribution pipe 30, a heater support 46 coupled to the mounting rib 32 to support the heater 42, And a heater fixing body 48 which is assembled with the fixing means and fixes the heater 42 with the heater support body 46. [

마운팅 리브(32)는 분배관(30)의 외면에서 반경 방향으로 돌출되는 구조로 형성되고, 분배관(30)의 길이를 따라 길게 형성되는 것이 바람직하다.Preferably, the mounting rib 32 is formed to protrude in the radial direction from the outer surface of the distribution pipe 30, and is formed to be long along the length of the distribution pipe 30.

히터 지지체(46)는 사각 막대형 플레이트 구조로 형성되어 뒷면에 상기 마운팅 리브(32)에 끼워져 결합할 수 있도록 리브 삽입홈(46a)을 갖도록 구성할 수 있다.The heater support body 46 may be formed in a square barrel plate structure and may have a rib insertion groove 46a so that the heater support body 46 can be engaged with the mounting rib 32 on a rear surface thereof.

히터 고정체(48)도 사각 막대형 플레이트 구조로 형성되는 것이 바람직하고, 이러한 히터 고정체(48)를 히터 지지체(46)에 고정하는 체결 수단은 볼트나 나사 등을 이용하여 구성할 수 있다.The heater fixing body 48 is also preferably formed of a square barrel plate structure. The fixing means for fixing the heater fixing body 48 to the heater supporting body 46 can be formed using bolts, screws, or the like.

히터 지지체(46)와 히터 고정체(48)는 절연성을 가지면서 열전도도가 있는 AlN 등의 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.The heater support body 46 and the heater fixing body 48 are preferably made of a ceramic material such as AlN having thermal conductivity and insulating property.

이와 같은 히터 지지체(46)와 히터 고정체(48)는 긴 사각 플레이트 구조로 이루어져 그 사이에 히터(42)를 고정할 수 있도록 하나의 짝을 이루며, 조립이 용이하도록 길이 방향으로 다수 분할된 구조로 구성할 수 있다.The heater support body 46 and the heater fixing body 48 have a long rectangular plate structure and are formed in a pair so as to fix the heater 42 therebetween. .

한편, 도 1을 참조하면, 좌우로 길게 형성된 분배관(30)에 좌우로 길게 히터(42) 및 상호 연결하는 힌지체(80), 히터(42)를 지지하는 히터 지지수단(45)이 설치되므로 분배관 히팅 장치(40)의 탈장착이 용이하도록 횡방향으로 분할(S)하여 구성할 수 있다.1, a heater 42 and a hinge body 80 interconnecting to each other and a heater supporting means 45 for supporting the heater 42 are installed in the distribution pipe 30 formed to be long in the left and right direction So that it can be divided (S) in the lateral direction so as to facilitate detachment and attachment of the distribution pipe heating apparatus (40).

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 2개의 도가니(20)가 설치된 부분에서 분배관 히팅 장치(40)를 분리하여 구성할 수 있는 것이다. 이때 히터(42)는 커넥터(43) 등을 통해 전기적으로 상호 연결되게 구성하는 것이 바람직하나, 실시 조건에 따라서는 횡방향으로 분할된 각 분배관 히팅장치(40A, 40B, 40C)의 히터(42)에 각각 전원을 공급하도록 구성하는 것도 가능하다.That is, as shown in FIG. 1, the distribution pipe heating apparatus 40 can be separated from the portion where the two crucibles 20 are installed. At this time, it is preferable to configure the heaters 42 to be electrically interconnected through the connector 43 or the like, but depending on the conditions, the heaters 42 of the distribution pipe heating apparatuses 40A, 40B, 40C, And the power supply may be configured to supply power to each of the plurality of power sources.

다음은, 도 2를 참조하여, 분배관 히팅 장치(40) 외의 구성에 대해 간단히 설명한다.Next, the configuration other than the distribution pipe heating apparatus 40 will be briefly described with reference to Fig.

노즐(50) 주위에 설치되는 노즐 히팅 장치(55)는 노즐의 양쪽에 지그재그 방식으로 연결되는 노즐 히터(56)와, 이 노즐 히터(56)을 지지하는 히터 지지체(58)로 구성될 수 있다.The nozzle heating apparatus 55 provided around the nozzle 50 may include a nozzle heater 56 connected to both sides of the nozzle in a staggered manner and a heater support 58 for supporting the nozzle heater 56 .

상기한 도가니 히팅 장치(25), 분배관 히팅 장치(40), 노즐 히팅 장치(55)가 설치된 상태에서 증발원(10)의 외곽에는 각각의 히팅 장치에서 발생된 열을 냉각하기 위한 냉각 플레이트(60)가 구비되고, 이 냉각 플레이트(60)의 안쪽에는 상기 히터(42) 쪽에서 전달된 열을 분배관(30) 쪽으로 반사시키는 리플렉터(70)가 설치될 수 있다. In a state where the crucible heating device 25, the distribution pipe heating device 40 and the nozzle heating device 55 are installed, a cooling plate 60 (not shown) for cooling the heat generated in each heating device is provided outside the evaporation source 10 And a reflector 70 for reflecting the heat transmitted from the heater 42 toward the distribution pipe 30 may be installed on the inside of the cooling plate 60.

냉각 플레이트(60) 및 리플렉터(70)는 공지의 구조를 이용하여 용이하게 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.The cooling plate 60 and the reflector 70 can be easily constructed using a known structure, so that a detailed description thereof will be omitted.

도 3 및 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 분배관 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도로서, 도 3은 히팅 장치의 장착 상태를 보인 도면이고, 도 4는 히팅 장치의 열림(비장착) 상태를 보인 도면이다. 참고로, 전술한 실시예와 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 도면 번호를 부여하고, 반복 설명은 생략한다.3 and 4 are side views of an evaporation source including a distribution pipe heating device according to another embodiment of the present invention. FIG. 3 is a view showing a mounting state of the heating device, FIG. For reference, the same reference numerals are given to the same constituent parts as those of the above-described embodiment, and repeated explanation is omitted.

앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에서는 히터(42)가 2개의 세트로 분리되고 그 사이에 하나의 힌지체(80)가 구성된 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 실시예에서는 히터(42)가 3개의 세트로 분리되고 각 분리된 히터(42) 세트 사이에 힌지체(80)가 연결된 구성을 보여준다. 그리고 히터(42)의 양쪽 끝단부에 클램프(87)가 각각 구성되어 주변 구조물에 연결 및 분리되게 구성된 것을 보여준다.In the embodiment of the present invention, the heater 42 is divided into two sets, and one hinge body 80 is disposed between the two sets. However, in the present embodiment, the heater 42 has three And a hinge body 80 is connected between each set of the separated heaters 42. In this case, And the clamps 87 are formed at both ends of the heater 42 so as to be connected to and separated from the peripheral structure.

분배관(30)의 둘레에는 히터(42)를 지지하기 위한 돌출 지지대(49)가 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that a protruding support 49 for supporting the heater 42 is formed around the distribution pipe 30.

도 3에서와 같이 분배관 히팅 장치(40) 장착시에는 클램프(87)에 의해 히터(42)가 분배관 또는 주변 구조물에 상호 결합됨으로써 분배관 히팅 장치(40)가 분배관(30) 둘레에서 안정된 장착 상태를 유지하게 된다.3, when the distribution pipe heating apparatus 40 is installed, the heater 42 is coupled to the distribution pipe or the peripheral structure by the clamp 87 so that the distribution pipe heating apparatus 40 is rotated around the distribution pipe 30 And a stable mounting state is maintained.

도 4에서와 같이 클램프(87)가 분리된 경우에는 분배관 히팅 장치(40)를 분배관(30)으로부터 분리할 수 있게 되고, 이때 분배관(30)을 비롯한 분배관 히팅 장치(40) 등을 수리, 점검, 교환 등을 실시할 수 있게 된다.When the clamp 87 is separated as shown in FIG. 4, the distribution pipe heating apparatus 40 can be separated from the distribution pipe 30. At this time, the distribution pipe heating apparatus 40 including the distribution pipe 30 Repair, exchange, and the like.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention can be implemented independently of each other, and can be implemented in combination with each other. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is evident that many alternatives, modifications, and variations will be apparent to those skilled in the art. It is possible. Accordingly, the technical scope of the present invention should be determined by the appended claims.

10 : 증발원 20 : 도가니
25 : 도가니 히팅 장치 30 : 분배관
32 : 마운팅 리브 40 : 분배관 히팅 장치
42 : 히터 45 : 히터 지지수단
46 : 히터 지지체 48 : 히터 고정체
50 : 노즐 55 : 노즐 히팅 장치
56 : 노즐 히터 58 : 히터 지지체
60 : 냉각 플레이트 70 : 리플렉터
80 : 힌지체 81 : 힌지 축
83 : 히터 연결대 84 : 지지체
85 : 장착 고정수단 86, 87 : 클램프10: evaporation source 20: crucible
25: crucible heating device 30: distribution pipe
32: Mounting rib 40: Distribution pipe heating device
42: heater 45: heater holding means
46: heater support body 48: heater fixing body
50: nozzle 55: nozzle heating device
56: Nozzle heater 58: Heater support
60: cooling plate 70: reflector
80: hinge body 81: hinge shaft
83: heater connecting rod 84: support
85: mounting fixing means 86, 87: clamp

Claims (8)

원통형 구조로 이루어져 도가니에서 증발된 증발 물질을 다수의 노즐로 분배하는 분배관을 가열하기 위한 것으로,
상기 분배관의 외측 둘레를 따라 분배관의 측면에서 보았을 때 원형 구조로 배치되고, 원주 방향으로 복수개의 세트로 분할된 히터와;
상기 복수개로 분할된 히터를 연결하고, 상기 분배관에서 히터를 분리할 때는 벌림이 가능하도록 이루어진 힌지체와;
상기 히터가 상기 분배관에 장착된 상태에서 벌어지지 않도록 하는 장착 고정수단을 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The present invention relates to a method for heating a distribution pipe that has a cylindrical structure and distributes evaporated material evaporated in a crucible to a plurality of nozzles,
A heater disposed in a circular shape when viewed from the side of the distribution pipe along the outer periphery of the distribution pipe and divided into a plurality of sets in a circumferential direction;
A hinge body connected to the plurality of divided heaters and configured to be opened when the heaters are separated from the distribution pipe;
And a fixing means for preventing the heater from being opened when the heater is mounted on the distribution pipe. 청구항 1에 있어서,
상기 힌지체는, 힌지 축과, 상기 힌지 축을 중심으로 양쪽에 구성되어 분할된 양쪽 히터 세트를 연결하면서 지지하는 히터 연결대를 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the hinge member includes a hinge shaft and a heater connecting rod which connects both heater sets formed on both sides of the hinge shaft and connected to each other. 청구항 1에 있어서,
상기 장착 고정수단은 상기 분배간의 둘레에서 상기 힌지체로 연결되지 아니한 히터 세트의 끝부분을 상호 연결하도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the mounting and fixing means is configured to mutually connect the ends of the heater set not connected to the hinge body at the periphery of the distribution. 청구항 3에 있어서,
상기 장착 고정수단은 상호 체결 및 분리되게 이루어진 클램프형 구조로 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method of claim 3,
And the mounting and fixing means are constituted by a clamp type structure which is mutually fastened and separated. 청구항 1에 있어서,
상기 장착 고정수단은 상기 히터가 상기 분배관에 결합되어 고정되도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the mounting and fixing means is configured such that the heater is coupled to and fixed to the distribution pipe. 청구항 1에 있어서,
상기 장착 고정수단은 상기 힌지체에 설치되어 상기 히터가 분배관에 장착되는 방향으로 탄성력을 제공하는 탄성체로 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method according to claim 1,
Wherein the mounting and fixing means comprises an elastic body provided on the hinge body to provide an elastic force in a direction in which the heater is mounted on the distribution pipe. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 분배관의 외측에 구비되어 상기 히터를 상기 분배관에서 일정 간격 이격되게 지지하는 히터 지지수단을 포함한 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method according to any one of claims 1 to 6,
And a heater supporting means provided on the outer side of the distribution pipe to support the heater at a predetermined distance in the distribution pipe. 청구항 7에 있어서,
상기 히터 지지수단은, 상기 분배관에서 돌출되는 마운팅 리브와, 상기 마운팅 리브에 결합되어 상기 히터를 지지하는 히터 지지체와, 상기 히터 지지체와 체결 수단으로 조립되어 상기 히터 지지체와의 사이에 히터를 고정하는 히터 고정체를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 분배관의 히팅 장치.The method of claim 7,
The heater support means includes a mounting rib protruding from the distribution pipe, a heater support coupled to the mounting rib to support the heater, and a heater fixed to the heater support by being assembled with the heater support and the fastening means. Wherein the heating station comprises a heater fixed to the evaporation source distribution pipe.
KR1020170137591A 2017-10-23 2017-10-23 Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment KR102036656B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170137591A KR102036656B1 (en) 2017-10-23 2017-10-23 Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170137591A KR102036656B1 (en) 2017-10-23 2017-10-23 Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190044946A true KR20190044946A (en) 2019-05-02
KR102036656B1 KR102036656B1 (en) 2019-11-26

Family

ID=66581641

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170137591A KR102036656B1 (en) 2017-10-23 2017-10-23 Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102036656B1 (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130117902A (en) * 2012-04-10 2013-10-29 주식회사 탑 엔지니어링 Vapor deposition apparatus comprising heat elements assembly for easily assembling and dismantling
KR20160005875A (en) 2014-07-07 2016-01-18 주식회사 선익시스템 Thin Film Deposition Apparatus with Evaporation Source Installed Multi-Crucible
KR101671757B1 (en) 2015-06-08 2016-11-02 주식회사 선익시스템 Evaporation source for deposition apparatus

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20130117902A (en) * 2012-04-10 2013-10-29 주식회사 탑 엔지니어링 Vapor deposition apparatus comprising heat elements assembly for easily assembling and dismantling
KR20160005875A (en) 2014-07-07 2016-01-18 주식회사 선익시스템 Thin Film Deposition Apparatus with Evaporation Source Installed Multi-Crucible
KR101671757B1 (en) 2015-06-08 2016-11-02 주식회사 선익시스템 Evaporation source for deposition apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR102036656B1 (en) 2019-11-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4454606B2 (en) Evaporation source
US8591223B2 (en) Evaporator for organic materials and method for evaporating organic materials
JP4440837B2 (en) Evaporation source and vapor deposition apparatus employing the same
KR100712311B1 (en) Vapor deposition device
CN105296934A (en) Linear evaporation source and evaporation plating device
CN1924079B (en) Linear type deposition source
KR101481094B1 (en) Heating device of evaporation source
US20190148642A1 (en) Methods of operating a deposition apparatus, and deposition apparatus
JP2017509796A5 (en)
KR101982092B1 (en) Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment
KR101671757B1 (en) Evaporation source for deposition apparatus
KR20140085092A (en) Heating device of evaporation source
KR20190044946A (en) Distribution-tube heating device for evaporation source of deposition equipment
KR102036657B1 (en) Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR102313237B1 (en) Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment
KR101969551B1 (en) Heating device of distribution-tube and deposition equipment with it
KR20180125835A (en) Evaporation source with non-heating zone of deposition equipment
KR20180078486A (en) Heating unit, evaporation source having the same and method for assembling the same
KR102363040B1 (en) OLED Deposition Source
KR102136371B1 (en) Linear source and deposition apparatus having the same
KR101456657B1 (en) Heating device of evaporation source
KR20220046981A (en) Linear Deposition Source
US5444813A (en) Infrared lamp mounting arrangement using spaced mounting holes enabling desired positioning thereof
KR20170031560A (en) Apparatus for depositing organic material
CN113853446A (en) Deposition apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant