KR102313237B1 - Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment - Google Patents

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KR102313237B1 KR1020170049065A KR20170049065A KR102313237B1 KR 102313237 B1 KR102313237 B1 KR 102313237B1 KR 1020170049065 A KR1020170049065 A KR 1020170049065A KR 20170049065 A KR20170049065 A KR 20170049065A KR 102313237 B1 KR102313237 B1 KR 102313237B1
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Abstract

본 발명은 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치에 관한 것으로서, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 주위에 설치되어 복수 개의 노즐을 가열하는 것으로; 상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 각각 위치되어 열을 발생시키는 양측 히터와; 상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 나란히 세워져서 상기 양측 히터의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체와; 상기 양측 외부 지지체의 안쪽에서 상기 외부 지지체와 결합되어 외부 지지체와의 사이에 양측 히터를 지지하는 내부 지지체를 포함하여 구성됨으로써, 전체 노즐은 물론 개별 노즐의 하단에서 상단까지 적정 온도로 가열하는 동시에 물론 온도 균일성을 확보할 수 있고, 이에 따라 증발 물질의 배출이 보다 원활하게 이루어지게 되어 증착 장비의 성능 향상에 기여할 수 있다.The present invention relates to a heating apparatus for an evaporation source nozzle of a deposition equipment, and is installed around a plurality of nozzles arranged in a line to heat the plurality of nozzles; both side heaters respectively positioned on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to generate heat; both side external supports standing side by side on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to support the outside of the both side heaters; By including an internal support that is coupled to the external support from the inside of the both external supports to support the heaters on both sides between the external support and the entire nozzle, as well as heating to an appropriate temperature from the lower end to the upper end of each nozzle, of course Temperature uniformity can be ensured, and thus the evaporation material is more smoothly discharged, thereby contributing to the improvement of the performance of the deposition equipment.

Description

증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치{Nozzle heating device for evaporation source of deposition equipment}Heating device for evaporation source nozzle of deposition equipment

본 발명은 OLED 등을 제조하는 증착 장비에 관한 것으로서, 특히 다수의 노즐을 가열하는 증발원 노즐의 히팅 장치에 관한 것이다.The present invention relates to deposition equipment for manufacturing OLEDs and the like, and more particularly, to a heating apparatus of an evaporation source nozzle that heats a plurality of nozzles.

일반적으로 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 증착 공정은 유기물질을 증발시키고, 이렇게 증발된 유기물질을 기판에 증착시키는 공정이다.In general, an organic light emitting diode (OLED) deposition process is a process of evaporating an organic material and depositing the evaporated organic material on a substrate.

이러한 증착 공정은 글라스 등의 기판을 증착챔버 내에 배치하고, 유기물질이 담긴 증발원(또는 도가니)을 기판에 대향하도록 배치한 후에, 증발원을 가열하여 그 내부에 저장된 유기물질을 증발시켜 기판에 증착시킴으로써 기판 상에 유기 박막을 형성하게 된다.In this deposition process, a substrate such as glass is placed in a deposition chamber, an evaporation source (or crucible) containing an organic material is disposed to face the substrate, and then the evaporation source is heated to evaporate the organic material stored therein and deposit it on the substrate. An organic thin film is formed on the substrate.

최근에는 기판이 대면적화 됨에 따라, 기판에 대면적 박막이 균일하게 형성되도록 점증발원 대신 선형 증발원이 사용되고 있으며, 이러한 선형 증발원은 대면적의 기판에 유기물질이 고르게 분사되도록 도가니의 상부에 다수의 노즐이 구성되어 있다.Recently, as substrates have become larger in area, a linear evaporation source is used instead of a gradual evaporation source to uniformly form a large-area thin film on the substrate. This is composed

이와 같이 선형 증발원은 다수의 노즐이 일렬로 배열되어 구성되는데, 증발 물질이 원활하게 분사될 수 있도록 노즐의 외부에도 가열 장치를 설치하여 노즐을 가열하고 있다.As described above, the linear evaporation source is configured by arranging a plurality of nozzles in a line, and a heating device is installed outside the nozzle so that the evaporation material can be smoothly sprayed to heat the nozzle.

그러나, 종래 기술의 노즐을 가열하는 히터 장치는 각각의 노즐을 개별적으로 가열하거나 도가니 전체를 가열하면서 노즐도 동시에 가열하도록 구성되기 때문에 노즐 가열 장치의 구조가 복잡해지고, 각 노즐들의 분사 특성에 맞게 온도를 조절하는 작업이 쉽지 않을 뿐만 아니라 노즐의 상부, 하부 등 노즐 전체의 온도 균일성을 확보하기도 어려운 문제점이 있다.However, since the heater device for heating nozzles of the prior art is configured to heat each nozzle individually or to simultaneously heat the nozzle while heating the entire crucible, the structure of the nozzle heating device is complicated, and the temperature of the nozzle heating device is suitable for the injection characteristics of each nozzle. Not only is it not easy to control the temperature, but it is also difficult to secure the temperature uniformity of the entire nozzle, such as the top and bottom of the nozzle.

한국 등록특허 10-1578655호Korean Patent Registration No. 10-1578655 한국 등록특허 10-1671757호Korean Patent Registration No. 10-1671757

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 노즐의 양쪽에 노즐 가열 장치를 설치함으로써 노즐들을 적정한 온도로 설정하여 가열할 수 있고, 전체 노즐은 물론 개별 노즐의 하단에서 상단까지 온도 균일성을 확보할 수 있도록 하여 증착 장비의 성능 향상에 기여할 수 있는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치를 제공하는 데 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above problems, and by installing nozzle heating devices on both sides of the nozzles, the nozzles can be set to an appropriate temperature and heated, and the temperature uniformity from the lower end to the upper end of each nozzle as well as the entire nozzle An object of the present invention is to provide a heating device for an evaporation source nozzle of a deposition equipment, which can contribute to improving the performance of the deposition equipment by securing the

상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치는, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 주위에 설치되어 복수 개의 노즐을 가열하는 것으로; 상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 각각 위치되어 열을 발생시키는 양측 히터와; 상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 나란히 세워져서 상기 양측 히터의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체와; 상기 양측 외부 지지체의 안쪽에서 상기 외부 지지체와 결합되어 외부 지지체와의 사이에 양측 히터를 지지하는 내부 지지체를 포함한 것을 특징으로 한다.A heating apparatus for an evaporation source nozzle of a deposition equipment according to the present invention for realizing the above object is installed around a plurality of nozzles arranged in a line to heat the plurality of nozzles; both side heaters respectively positioned on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to generate heat; both side external supports standing side by side on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to support the outside of the both side heaters; It is characterized in that it includes an internal support which is coupled to the external support from the inside of the both external supports to support the heaters on both sides between the external support and the external support.

상기 양측 히터는 각각 전기 열선이 지그재그 방식으로 연속적으로 연결된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the heaters on both sides have a structure in which electric heating wires are continuously connected in a zigzag manner.

상기 양측 외부 지지체는 판형 구조로 형성되고, 그 안쪽면에 각각의 히터가 지지되게 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the both sides of the external support are formed in a plate-like structure, and each heater is installed to be supported on the inner surface thereof.

상기 내부 지지체는 평면 구조가 사다리 모양으로 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the internal support is formed in a ladder shape in a planar structure.

즉, 상기 내부 지지체는, 일렬로 배열된 전체 노즐의 길이 방향으로 길게 형성되어 상기 양측 외부 지지체의 안쪽 면에 각각 조립되는 양쪽 고정바와, 상기 노즐과 노즐 사이에서 상기 양쪽 고정바를 상호 연결하여 지지하는 연결체를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.That is, the inner support is formed long in the longitudinal direction of all the nozzles arranged in a line, and both fixing bars are respectively assembled on the inner surfaces of the both external supports, and the both fixing bars are interconnected between the nozzle and the nozzle to support it. It is preferable to include a connector.

상기 양쪽 고정바는 각각 복수개로 이루어져 각각의 히터를 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the both fixing bars are configured in plurality to support each heater.

상기 양쪽 고정바는 상기 히터가 통과하는 면에 히터 통과홈이 각각 구성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the both fixing bars have heater passage grooves formed on the surface through which the heater passes.

상기 노즐은 증발원을 구성하는 분배관의 상측에 형성될 때, 상기 외부 지지체와 내부 지지체 중 적어도 어느 한쪽은 고정 브래킷을 통해 상기 노즐 또는 분배관에 고정되게 설치되는 것이 바람직하다.When the nozzle is formed above the distribution pipe constituting the evaporation source, it is preferable that at least one of the external support and the internal support is fixedly installed to the nozzle or the distribution pipe through a fixing bracket.

상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.The main problem solving means of the present invention as described above will be described more specifically and clearly through examples such as 'specific contents for the implementation of the invention' or the accompanying 'drawings' to be described below, at this time In addition to the main problem solving means as described above, various problem solving means according to the present invention will be further presented and described.

본 발명에 따른 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치는 일렬로 배열된 노즐의 양측에 히터 및 이를 지지하는 장치가 설치되어 구성되기 때문에 전체 노즐은 물론 개별 노즐의 하단에서 상단까지 적정 온도로 가열하는 동시에 온도 균일성을 확보할 수 있고, 이에 따라 증발 물질의 배출이 보다 원활하게 이루어지게 되어 증착 장비의 성능 향상에 기여할 수 있는 효과가 있다.Since the heating device of the evaporation source nozzle of the deposition equipment according to the present invention is configured by installing a heater and a device supporting the same on both sides of the nozzles arranged in a line, the entire nozzle as well as the individual nozzles are heated to an appropriate temperature from the lower end to the upper end at the same time. Temperature uniformity can be ensured, and thus the evaporation material is more smoothly discharged, thereby contributing to the improvement of the performance of the deposition equipment.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 주요부 확대 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원의 측면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 도시된 주요부 평면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 도시된 분해 사시도이다.1 is an overall perspective view of an evaporation source including a heating device of a nozzle according to an embodiment of the present invention.
2 is an enlarged perspective view of a main part of an evaporation source including a heating device of a nozzle according to an embodiment of the present invention.
3 is a side configuration view of an evaporation source including a heating device of a nozzle according to an embodiment of the present invention.
4 is a plan view of a main part showing a heating apparatus of a nozzle according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view illustrating a heating apparatus of a nozzle according to an embodiment of the present invention.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 내지 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐의 히팅 장치가 포함된 증발원이 도시된 도면으로서, 도 1은 전체 사시도, 도 2는 주요부 확대 사시도, 도 3은 측면 구성도, 도 4는 히팅 장치의 주요부 평면도, 도 5는 히팅 장치의 분해 사시도이다.1 to 5 are views showing an evaporation source including a heating device of a nozzle according to an embodiment of the present invention, FIG. 1 is an overall perspective view, FIG. 2 is an enlarged perspective view of main parts, FIG. 3 is a side view, FIG. 4 is a plan view of the main part of the heating device, Figure 5 is an exploded perspective view of the heating device.

이들 도면을 참조하면, 증발원(10)은 증발물질이 저장된 상태에서 가열하는 도가니(20), 좌우로 길게 배치되어 도가니(20)에서 증발된 물질을 다수의 노즐(50)로 균일하게 제공하는 분배관(30), 일렬로 배열되어 증발물질이 분사되는 다수의 노즐(50)로 이루어진다.Referring to these drawings, the evaporation source 10 is a crucible 20 heated in a state in which the evaporation material is stored, and is disposed long left and right to uniformly provide the material evaporated from the crucible 20 to a plurality of nozzles 50 The pipe 30, arranged in a line, consists of a plurality of nozzles 50 to which the evaporation material is sprayed.

도 1에 도시된 증발원(10)은 선형 증발원 구조를 가진 것으로, 2개의 도가니(20)가 좌우에 구성되고, 도가니(20) 상측에 수평 방향으로 분배관(30)이 연결되며, 분배관(30) 상측에 다수의 노즐(50)들이 일렬로 배열된 구조로 이루어진다. 이러한 증발원(10) 구조는 하나의 예시이며, 실시 조건에 따라 공지의 증발원을 이용하여 다양하게 변형하여 실시할 수 있음은 물론이다.The evaporation source 10 shown in FIG. 1 has a linear evaporation source structure, and two crucibles 20 are configured on the left and right, and the distribution pipe 30 is connected to the upper side of the crucible 20 in the horizontal direction, and the distribution pipe ( 30) It has a structure in which a plurality of nozzles 50 are arranged in a line on the upper side. The structure of the evaporation source 10 is an example, and it goes without saying that various modifications may be made using a known evaporation source according to the implementation conditions.

증발원(10)의 외측 둘레에는 증발물질을 원활하게 증발시켜 분사할 수 있도록 히팅 장치들이 설치된다. 즉, 도가니(20)를 가열하는 도가니 히팅 장치(25), 분배관(30)을 가열하는 분배관 히팅 장치(40), 노즐(50)을 가열하는 노즐 히팅 장치(60)가 설치된다.Heating devices are installed around the outer circumference of the evaporation source 10 so that the evaporation material can be smoothly evaporated and sprayed. That is, the crucible heating device 25 for heating the crucible 20 , the distribution pipe heating device 40 for heating the distribution pipe 30 , and the nozzle heating device 60 for heating the nozzle 50 are installed.

도가니 히팅 장치(25)는 공지의 도가니를 가열하는 히팅 장치를 이용하여 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략하고, 이하에서는 분배관 히팅 장치(40) 및 노즐 히팅 장치(60)에 대하여 자세히 설명한다.Since the crucible heating device 25 can be configured by using a known heating device for heating a crucible, a detailed description will be omitted, and the distribution pipe heating device 40 and the nozzle heating device 60 will be described in detail below.

먼저, 분배관 히팅 장치(40)에 대하여 설명한다.First, the distribution pipe heating device 40 will be described.

분배관 히팅 장치(40)는 도 3에서와 같이 측면에서 보았을 때 분배관(30)의 외측 둘레를 따라 호형상 구조로 배치되는 분배관 히터(42)와, 이 분배관 히터(42)를 분배관(30)으로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하는 히터 지지수단(45)으로 이루어진다.The distribution tube heating device 40 divides the distribution tube heater 42 and the distribution tube heater 42 disposed in an arc-shaped structure along the outer periphery of the distribution tube 30 when viewed from the side as shown in FIG. 3 . It consists of a heater support means 45 for supporting in a state spaced apart from the pipe 30 at a predetermined interval.

분배관 히터(42)는 전기 열선을 포함한 구성으로 이루어질 수 있으며, 이 전기 열선이 분배관(30)의 길이 방향으로 지그재그 형상 또는 U자형 구조로 연속적으로 연결되게 구성될 수 있다. 도면에 예시하지는 않았지만, 전기 열선에 전기를 인가하는 전기 인가장치 및 히터를 제어하는 수단이 추가로 구성되는 것이 바람직하고, 이러한 히팅 장치의 추가 구성 요소는 공지의 히터와 동일 또는 유사하게 구성할 수 있다.The distribution tube heater 42 may be configured to include an electric heating wire, and the electric heating wire may be continuously connected in a zigzag or U-shaped structure in the longitudinal direction of the distribution tube 30 . Although not illustrated in the drawings, it is preferable that an electric application device for applying electricity to the electric heating wire and a means for controlling the heater are additionally configured, and the additional components of this heating device can be configured the same or similar to known heaters. have.

히터 지지수단(45)은, 분배관(30)의 둘레 방향으로 이어지는 분배관 히터(42)의 전기 열선을 지지하기 위해 분배관(30)의 길이 방향으로 길게 설치되고, 분배관 히터(42)를 안정적으로 지지하기 위해 분배관(30)의 원주 방향으로 복수개가 구성되는 것이 바람직하다. 도 3을 참조하면, 히터 지지수단(45)은 좌측에 배치되는 분배관 히터(42)를 지지하기 위해 3열, 우측에 배치되는 분배관 히터(42)를 지지하기 위해 4열 구조로 설치된 구성을 보여준다.The heater support means 45 is installed long in the longitudinal direction of the distribution pipe 30 to support the electric heating wire of the distribution pipe heater 42 extending in the circumferential direction of the distribution pipe 30, and the distribution pipe heater 42 In order to stably support the distribution pipe 30, it is preferable that a plurality are configured in the circumferential direction. Referring to FIG. 3 , the heater support means 45 is installed in three rows to support the distribution pipe heater 42 disposed on the left side, and four rows to support the distribution pipe heater 42 disposed on the right side. shows

이러한 히터 지지수단(45)은, 분배관(30)에서 돌출되는 마운팅 리브(32)와, 이 마운팅 리브(32)에 고정되어 상기 분배관 히터(42)를 지지하는 히터 지지체(46)와, 히터 지지체(46)와 체결 수단(49)으로 조립되어 상기 히터 지지체(46)와의 사이에 분배관 히터(42)를 고정하는 히터 고정체(48)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.The heater support means 45 includes a mounting rib 32 protruding from the distribution pipe 30, and a heater support 46 fixed to the mounting rib 32 to support the distribution pipe heater 42, It is preferable to include a heater fixture 48 assembled with the heater support 46 and the fastening means 49 to fix the distribution pipe heater 42 between the heater support 46 and the heater support 46 .

마운팅 리브(32)는 분배관(30)의 외면에서 반경 방향으로 돌출되는 구조로 형성되고, 분배관(30)의 길이를 따라 길게 형성되는 것이 바람직하다.The mounting rib 32 is formed to protrude in a radial direction from the outer surface of the distribution pipe 30 , and is preferably formed to be long along the length of the distribution pipe 30 .

히터 지지체(46)는 긴 사각 플레이트 구조로 형성되어 뒷면에 상기 마운팅 리브(32)에 끼워져 고정될 수 있도록 리브 삽입홈(46a)을 갖도록 구성할 수 있다. 히터 지지체(46)를 마운팅 리브(32)에 고정하는 방법은 억지 끼움, 나사 고정, 부착 고정 등 다양한 방법을 이용할 수 있다.The heater support 46 is formed in a long rectangular plate structure and may be configured to have a rib insertion groove 46a on the rear side thereof to be fitted and fixed to the mounting rib 32 . As a method of fixing the heater support 46 to the mounting rib 32 , various methods such as press fit, screw fixation, and attachment fixation may be used.

그리고 히터 지지체(46)의 상면에 분배관 히터(42)가 지나가는 면은 히터 설치홈(46b)이 형성될 수 있다.In addition, a heater installation groove 46b may be formed on a surface through which the distribution pipe heater 42 passes on the upper surface of the heater support 46 .

히터 고정체(48)도 긴 사각 플레이트 구조로 형성되고 히터 지지체(46)와 마주하는 면에 분배관 히터(42)가 통과하는 히터 설치홈(48b)이 형성될 수 있다.The heater fixing body 48 is also formed in a long rectangular plate structure, and a heater installation groove 48b through which the distribution pipe heater 42 passes may be formed on a surface facing the heater support 46 .

히터 고정체(48)를 히터 지지체(46)에 고정하는 체결 수단(49)은 볼트나 나사 등을 이용하여 구성할 수 있다.The fastening means 49 for fixing the heater fixing body 48 to the heater support body 46 may be configured using bolts, screws, or the like.

이러한 히터 지지체(46)와 히터 고정체(48)는 절연성을 가지면서 열전도도가 있는 AlN 등의 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.The heater support 46 and the heater fixture 48 are preferably made of a ceramic material such as AlN having thermal conductivity while having insulation.

다음, 노즐 히팅 장치(60)에 대하여 설명한다.Next, the nozzle heating device 60 will be described.

노즐 히팅 장치(60)는, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐(50) 양측에 각각 위치되어 열을 발생시키는 양측 노즐 히터(62)와, 일렬로 배열된 복수 개의 노즐(50) 양측에 나란히 세워져서 양측 노즐 히터(62)의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체(64)와, 이 양측 외부 지지체(64)의 안쪽에서 상기 외부 지지체(64)와 체결 수단(65)으로 결합되어 외부 지지체(64)와의 사이에 양측 노즐 히터(62)를 고정하는 내부 지지체(66)를 포함하여 구성된다.The nozzle heating device 60 is positioned on both sides of a plurality of nozzles 50 arranged in a line, respectively, to generate heat, and both nozzle heaters 62 and a plurality of nozzles 50 arranged in a line stand side by side on both sides. The external supports 64 on both sides supporting the outside of the nozzle heater 62 on both sides, and the external support 64 and the fastening means 65 on the inside of the both sides of the external support 64 are coupled to the external support 64 It is configured to include an internal support 66 for fixing the nozzle heater 62 on both sides between the and.

상기 양측 노즐 히터(62)는 앞서 설명한 분배관 히터(42)와 마찬가지로 각각의 전기 열선이 지그재그 방식으로 연속적으로 연결된 구조로 이루어지는 것이 바람직하다.It is preferable that the both nozzle heaters 62 have a structure in which each electric heating wire is continuously connected in a zigzag manner, similarly to the distribution tube heater 42 described above.

상기 양측 외부 지지체(64)는 판형 구조로 이루어지고, 그 안쪽면에 각 노즐 히터(62)가 지지될 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다. It is preferable that the both external supports 64 have a plate-like structure, and are configured so that each nozzle heater 62 can be supported on the inner surface thereof.

이러한 외부 지지체(64)는 각 노즐 히터(62)의 상하 높이보다 더 크게 형성되어 노즐 히터(62)가 바깥쪽으로 노출되지 않도록 함으로써 안정적으로 지지함과 아울러 외부로 전달되는 열을 차단할 수 있도록 이루어진다.This external support 64 is formed to be larger than the vertical height of each nozzle heater 62 so that the nozzle heater 62 is not exposed to the outside, thereby stably supporting it and blocking heat transmitted to the outside.

상기 내부 지지체(66)는 도 4에 도시된 바와 같이 평면 구조가 사다리 모양으로 연결되게 구성되고, 구조물 안쪽에 각각의 노즐(50)이 위치되도록 구성되는 것이 바람직하다.The inner support 66 is preferably configured to be connected in a ladder shape in a planar structure as shown in FIG. 4, and each nozzle 50 is positioned inside the structure.

즉, 내부 지지체(66)는, 일렬로 배열된 전체 노즐(50)의 길이 방향으로 길게 형성되어 상기 양측 외부 지지체(64)의 안쪽 면에 각각 조립되는 양쪽 고정바(67)와, 상기 노즐(50)과 노즐(50) 사이에서 양쪽 고정바(67)를 상호 연결하여 지지하는 연결체(68)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.That is, the inner support 66 is formed to be elongated in the longitudinal direction of all nozzles 50 arranged in a line, and both fixing bars 67 are assembled on the inner surfaces of the both outer supports 64, respectively, and the nozzle ( It is preferable to include a connecting body 68 for interconnecting and supporting both fixing bars 67 between the 50 and the nozzle 50 .

양쪽 고정바(67)와 연결체(68)는 일체로 형성하여 구성하는 것도 가능하고, 각각 형성하여 나사 조립, 접착 등의 방법으로 조립하여 구성하는 것도 가능하다.Both the fixing bars 67 and the connecting body 68 may be integrally formed and configured, respectively, and may be configured by assembling them by means of screw assembly, bonding, or the like.

그리고, 양쪽 고정바(67)는 각각 복수개로 이루어져 각 노즐 히터(62)를 상하에서 안정적으로 지지하도록 구성되는 것이 바람직하다. 본 실시예의 도면에서는 한쪽에 두 개의 고정바(67)가 일정 높이를 두고 설치되는 구조를 도시하였다.In addition, it is preferable that both fixing bars 67 are configured to stably support each nozzle heater 62 from the top and bottom, respectively. In the drawings of this embodiment, the structure in which two fixing bars 67 are installed at a predetermined height on one side is shown.

각 고정바(67)는 노즐 히터(62)가 고정되는 부분에 노즐 히터(62)가 통과하는 히터 통과홈(67a)이 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that each fixing bar 67 has a heater passage groove 67a through which the nozzle heater 62 passes in a portion to which the nozzle heater 62 is fixed.

이와 같은 외부 지지체(64)와 내부 지지체(66)는 서로 볼트 등의 체결 수단(65)으로 조립되어 구성되는 것이 바람직하다. 그리고 상호 조립된 외부 지지체(64)와 내부 지지체(66)는 고정 브래킷(69)을 통해 노즐(50)의 하단부 또는 분배관(30)의 상측에 고정되게 설치되는 것이 바람직하다.It is preferable that the external support 64 and the internal support 66 are assembled with each other by fastening means 65 such as bolts. And it is preferable that the mutually assembled external support 64 and the internal support 66 are fixedly installed on the lower end of the nozzle 50 or on the upper side of the distribution pipe 30 through the fixing bracket 69 .

고정 브래킷(69)은 상호 조립된 외부 지지체(64)와 내부 지지체(66)를 노즐(50) 또는 분배관(30) 쪽에 고정할 수 있는 구조이면 실시 조건에 따라 다양하게 설계하여 실시할 수 있음은 물론이다.The fixing bracket 69 can be designed and implemented in various ways depending on the implementation conditions as long as it has a structure that can fix the mutually assembled external support 64 and the internal support 66 to the nozzle 50 or distribution pipe 30 side. is of course

한편, 외부 지지체(64)와 내부 지지체(66)는 절연성을 가지면서 열전도도가 있는 AlN 등의 세라믹 소재로 이루어지는 것이 바람직하다.On the other hand, it is preferable that the outer support 64 and the inner support 66 are made of a ceramic material such as AlN having thermal conductivity while having insulation.

상기한 바와 같이 도가니 히팅 장치(25), 분배관 히팅 장치(40), 노즐(50) 히팅 장치(60)가 설치된 상태에서 증발원(10)의 외곽에는 각각의 히팅 장치에서 발생된 열을 냉각하기 위한 냉각 플레이트(70)가 구비되고, 이 냉각 플레이트(70)의 안쪽에는 상기 분배관 히터(42) 및 노즐 히터(62) 쪽에서 전달된 열을 분배관(30) 및 노즐(50) 쪽으로 반사시키는 리플렉터(80)가 설치될 수 있다.As described above, in the state where the crucible heating device 25, the distribution pipe heating device 40, and the nozzle 50 heating device 60 are installed, on the outside of the evaporation source 10, the heat generated by each heating device is cooled. A cooling plate 70 is provided for A reflector 80 may be installed.

냉각 플레이트(70) 및 리플렉터(80)는 공지의 구조를 이용하여 용이하게 구성할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다.Since the cooling plate 70 and the reflector 80 can be easily configured using a known structure, a detailed description thereof will be omitted.

상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.As described above, the technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently or in combination with each other. In addition, although the present invention has been described through the embodiments described in the drawings and detailed description of the invention, these are merely exemplary, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains may make various modifications and equivalent other embodiments therefrom. possible. Accordingly, the technical protection scope of the present invention should be defined by the appended claims.

10 : 증발원 20 : 도가니
25 : 도가니 히팅 장치 30 : 분배관
32 : 마운팅 리브 40 : 분배관 히팅 장치
42 : 분배관 히터 45 : 히터 지지수단
46 : 히터 지지체 48 : 히터 고정체
49 : 체결 수단 50 : 노즐
60 : 노즐 히팅 장치 62 : 노즐 히터
64 : 외부 지지체 66 : 내부 지지체
67 : 고정바 68 : 연결체
69 : 고정 브래킷 70 : 냉각 플레이트
80 : 리플렉터10: evaporation source 20: crucible
25: crucible heating device 30: distribution pipe
32: mounting rib 40: distribution pipe heating device
42: distribution pipe heater 45: heater support means
46: heater support 48: heater fixture
49: fastening means 50: nozzle
60: nozzle heating device 62: nozzle heater
64: external support 66: internal support
67: fixed bar 68: connector
69: fixing bracket 70: cooling plate
80: reflector

Claims (8)

일렬로 배열된 복수 개의 노즐을 가열하는 것으로;
상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 각각 위치되어 열을 발생시키는 양측 히터와;
상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐 양측에 나란히 세워져서 상기 양측 히터의 바깥쪽을 지지하는 양측 외부 지지체와;
상기 양측 외부 지지체의 안쪽에서 상기 외부 지지체와 결합되어 외부 지지체와의 사이에 양측 히터를 지지하는 내부 지지체를 포함하고,
상기 양측 외부 지지체는 일렬로 배열된 전체 노즐의 길이 방향으로 길게 형성된 판형 구조를 가지고 안쪽 면에 각 히터가 지지되게 설치되며,
상기 내부 지지체는, 일렬로 배열된 전체 노즐의 길이 방향으로 길게 형성되어 상기 양측 외부 지지체의 안쪽 면에 각각 조립되는 양쪽 고정바와; 상기 노즐과 노즐 사이 각각에서 상기 양쪽 고정바를 상호 연결하여 지지하고 상기 양쪽 고정바 사이를 일렬로 배열된 전체 노즐의 길이 방향을 따라 복수의 공간으로 구획하는 복수의 연결체를 포함함으로써,
상기 일렬로 배열된 복수 개의 노즐이 구획된 상기 복수의 공간에 개별적으로 배치된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.By heating a plurality of nozzles arranged in a line;
both side heaters respectively positioned on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to generate heat;
both side external supports standing side by side on both sides of the plurality of nozzles arranged in a line to support the outside of the both side heaters;
It includes an internal support that is coupled to the external support from the inside of the both external supports to support the heaters on both sides between the external support,
The external supports on both sides have a plate-shaped structure formed long in the longitudinal direction of all nozzles arranged in a line and are installed to support each heater on the inner surface,
The inner support includes both fixing bars formed to be elongated in the longitudinal direction of all nozzles arranged in a line and assembled on inner surfaces of the both outer supports; By including a plurality of connecting bodies that support each other by interconnecting both fixing bars between the nozzle and the nozzles and partition between the both fixing bars into a plurality of spaces along the longitudinal direction of all nozzles arranged in a line,
The heating apparatus of the evaporation source nozzle of the deposition equipment, characterized in that the plurality of nozzles arranged in a line are individually arranged in the plurality of partitioned spaces. 청구항 1에 있어서,
상기 양측 히터는 각각 전기 열선이 지그재그 방식으로 연속적으로 연결된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to claim 1,
The heating apparatus of the evaporation source nozzle of the deposition equipment, characterized in that each of the heaters has a structure in which electric heating wires are continuously connected in a zigzag manner. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 양쪽 고정바는 각각 복수개로 이루어져 각각의 히터를 지지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to claim 1 or 2,
The heating apparatus of the evaporation source nozzle of the deposition equipment, characterized in that each of the two fixing bars is configured to support each heater made of a plurality. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 양쪽 고정바는 상기 히터가 통과하는 면에 히터 통과홈이 각각 구성된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to claim 1 or 2,
The heating apparatus of the evaporation source nozzle of the deposition equipment, characterized in that the both fixing bars are each configured with a heater passage groove on the surface through which the heater passes. 청구항 1에 있어서,
상기 노즐은 증발원을 구성하는 분배관의 상측에 형성될 때,
상기 외부 지지체와 내부 지지체 중 적어도 어느 한쪽은 고정 브래킷을 통해 상기 노즐 또는 분배관에 고정되게 설치된 것을 특징으로 하는 증착 장비의 증발원 노즐의 히팅 장치.The method according to claim 1,
When the nozzle is formed on the upper side of the distribution pipe constituting the evaporation source,
At least one of the external support and the internal support is fixedly installed to the nozzle or the distribution pipe through a fixing bracket.
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