KR102363040B1 - OLED Deposition Source - Google Patents

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KR102363040B1
KR102363040B1 KR1020190172246A KR20190172246A KR102363040B1 KR 102363040 B1 KR102363040 B1 KR 102363040B1 KR 1020190172246 A KR1020190172246 A KR 1020190172246A KR 20190172246 A KR20190172246 A KR 20190172246A KR 102363040 B1 KR102363040 B1 KR 102363040B1
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김기수
이시현
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Abstract

본 발명은 오엘이디 증착원을 개시한다. 개시된 오엘이디 증착원은 상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징과, 상기 크루시블을 가열하도록 상기 하우징에 탈착되는 가열부와, 상기 가열부를 외부의 제어기기와 연결하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부를 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은 각 부품들을 상호 조립할 수 있도록 하여 제작이 간편하고, 유지보수 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 안전성을 향상킬 수 있다.The present invention discloses an OLED deposition source. The disclosed OLED deposition source includes a housing in which a crucible for accommodating a deposition material is seated on an upper end thereof, a heating unit detachable from the housing to heat the crucible, and a main flange to connect the heating unit to an external controller. It is provided in, characterized in that it has a thermocouple connection portion to which the thermocouple of the housing is connected. Therefore, according to the present invention, each part can be assembled with each other, so that manufacturing is simple, maintenance performance can be improved, and safety can be improved.

Description

오엘이디 증착원{OLED Deposition Source}OLED Deposition Source

본 발명은 오엘이디 증착원에 관한 것으로, 보다 상세하게는 각 부품들을 상호 조립할 수 있도록 하여 제작이 간편하고, 유지보수 성능을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 수명을 연장하고 안전성을 향상시킬 수 있는 오엘이디 증착원 가열장치에 관한 것이다.The present invention relates to an OLED deposition source, and more particularly, to an OLED deposition source, which can be easily manufactured by allowing each part to be assembled with each other, can improve maintenance performance, and can extend lifespan and improve safety. It relates to an LED evaporation source heating device.

일반적으로 OLED는 포스트 엘시디(Post LCD) 디스플레이로서 뿐만 아니라 고해상도 디스플레이용 자체 면발광 장치로서 그 에너지성과 시장성이 입증되어 세계적으로 각광받고 있다. 특히 최근 들어서, VR(virtual reality)시장이 커지면서, VR 제품에 사용되는 고해상도의 OLED의 필요성도 부각되고 있고, 이로 인하여 OLED의 유기 및 무기 박막의 패턴을 더욱 미세하게 제조하는 기술이 필요하다.In general, OLED is attracting attention worldwide as its energy and marketability have been proven not only as a post LCD display but also as a surface light emitting device for high-resolution displays. In particular, in recent years, as the virtual reality (VR) market grows, the need for high-resolution OLEDs used in VR products has also been highlighted, and for this reason, a technique for manufacturing organic and inorganic thin film patterns of OLEDs is required more finely.

OLED 제조공정 중의 하나로 유기물과 무기물 발광 재료를 고진공 상태에서 기체로 증발하여 실리콘 웨이퍼(기판) 상에 유기물, 무기물을 증착하는 열 증발 증착 공정(thermal evaporation deposition)이 주로 사용되고 있는데, 이러한 열 증발 증착 공정은 증착 소스(Source) 유기물 분사구가 점형 또는 선형으로 제작되어 대면적 OLED소자를 제작하는데 사용하고 있다.As one of the OLED manufacturing processes, thermal evaporation deposition, in which organic and inorganic light emitting materials are evaporated into gas in a high vacuum to deposit organic and inorganic materials on a silicon wafer (substrate), is mainly used. The silver deposition source organic material injection hole is produced in a dotted or linear shape and is used to manufacture large-area OLED devices.

한편, 크루시블(CRUCIBLE)은 OLED을 이용한 디스플레이 제조공정에서 디스플레이 패널 등을 생산할 때 패널의 표면에 증착되는 증착 물질이 공급되도록 증착 물질을 가열을 통해 상태 변화시키고, 기체 상태의 증착 물질을 패널의 표면으로 전달하기 위한 수단으로도 활용되고 있다.On the other hand, CRUCIBLE changes the state of the deposition material through heating so that the deposition material deposited on the surface of the panel is supplied when the display panel is produced in the display manufacturing process using OLED, and the vapor deposition material is converted into a panel. It is also used as a means to deliver to the surface of

이러한 크루시블은 증착재료를 수용하는 용기인 증착원(deposition source)이 전기적 저항 방식에 가열되어 증착재료를 가열하게 된다. 이때, 증착원에 전류가 인가되면 내부의 증착 재료가 증착원의 벽으로부터 발생하는 방사열과 벽과의 접촉으로부터 발생하는 전도열에 의하여 가열된다.In this crucible, a deposition source, which is a container for accommodating the deposition material, is heated in an electrical resistance method to heat the deposition material. At this time, when a current is applied to the deposition source, the deposition material inside is heated by radiant heat generated from the wall of the deposition source and conductive heat generated from contact with the wall.

또한 증착원은 외형의 형상에 따라 포인트 증착원(point deposition source)과 선형 증착원(linear deposition source)으로 구분되며, 포인트 증착원과 선형 증착원은 증착공정의 조건, 기판의 조건 또는 형성될 증착막의 형태등을 고려하여 그 사용이 결정된다.In addition, the deposition source is divided into a point deposition source and a linear deposition source according to the external shape, and the point deposition source and the linear deposition source are the conditions of the deposition process, the conditions of the substrate, or the deposition film to be formed. Its use is decided in consideration of the form of

이러한 포인트 증착원은 케이스와, 케이스의 내부 공간에 구비되며 박막 형성용 물질이 담기는 도가니와, 도가니의 측면에 위치되어 도가니를 가열하는 히터와, 케이스의 내면에 구비되어 히터의 열을 도가니로 반사시키는 반사판으로 이루어진다.These point deposition sources include a case, a crucible provided in the inner space of the case and containing a material for forming a thin film, a heater positioned on the side of the crucible to heat the crucible, and an inner surface of the case to transfer the heat of the heater to the crucible It consists of a reflective plate.

그런데, 상기와 같은 종래 기술의 포인트 증착원은, 히터를 고정하기 위하여 반사판의 내부에 지지핀을 형성하게 되는데, 히터를 유지보수하거나 교체할 때 분리가 어렵고, 지지핀의 파손으로 히터가 움직이는 문제점이 발생하게 된다.However, in the point deposition source of the prior art as described above, a support pin is formed inside the reflector to fix the heater, but it is difficult to separate when maintaining or replacing the heater, and the heater moves due to the breakage of the support pin. this will happen

또한 종래 기술의 포인트 증착원은, 케이스와 반사판이 용접을 통해 결합되므로, 파손시 전체를 교체하여야 하는 문제점이 있다.In addition, since the point deposition source of the prior art is coupled to the case and the reflector through welding, there is a problem in that the whole must be replaced when damaged.

또한, 종래 기술의 포인트 증착원은, 온도를 감지하기 위하여 설치되는 열전대 온도센서의 설치가 어렵고, 배선 안전상태가 매우 복잡하여 취약하여 안전사고가 발생하는 문제점이 있다.In addition, the point deposition source of the prior art has problems in that it is difficult to install a thermocouple temperature sensor installed to sense the temperature, and the wiring safety state is very complicated and weak, so that a safety accident occurs.

따라서, 이를 개선할 필요성이 요청된다.Therefore, there is a need to improve it.

한편, 국내 등록특허 제10-1752277호(등록일:2017.06.23)에는 "ＯＬＥＤ 증착용 히터의 소스 누출 방지 구조"이 개시되어 있다.On the other hand, Korean Patent Registration No. 10-1752277 (registration date: June 23, 2017) discloses "a structure for preventing leakage of a source of a heater for OLD deposition".

본 발명은 상기와 같은 필요성에 의해 창출된 것으로서, 각 부품들을 상호 조립할 수 있도록 하여 제작이 간편하고, 유지보수 성능을 향상시키면서 유지보수 비용을 줄일 수 있으며, 수명을 연장하고 안전성, 단열성을 향상시킬 수 있는 오엘이디 증착원 가열장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention was created by the above necessity, and it is easy to manufacture by allowing each part to be mutually assembled, and it is possible to reduce maintenance costs while improving maintenance performance, and to extend lifespan and improve safety and insulation properties. An object of the present invention is to provide an OLED evaporation source heating device that can

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 오엘이디 증착원은, 상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징과, 상기 크루시블을 가열하도록 상기 크루시블과 상기 하우징 사이에 위치하며, 상기 하우징의 내면에 탈착되는 가열부와, 상기 가열부로 전원을 공급하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, an OLED deposition source according to an aspect of the present invention includes a housing in which a crucible accommodating a deposition material is seated on an upper end thereof, and the crucible and the crucible to heat the crucible. It characterized in that it comprises a heating part located between the housing and detachable from the inner surface of the housing, and a thermocouple connection part provided on the main flange to supply power to the heating part, to which the thermocouple of the housing is connected.

또한 본 발명에서 상기 하우징은, 상기 메인 플랜지에 고정되며, 상기 열전대가 결합되는 하우징 지지대와, 상기 하우징 지지대에 안착되어 결합되며, 내면에 상기 가열부가 삽입되어 고정되도록 중공형으로 형성되는 내부 리플렉터와, 상기 가열부를 지지하도록 상기 내부 리플렉터에 구비되는 히터탈착 지지부와, 상기 내부 리플렉터를 커버하도록 중공형으로 형성되어 상기 하우징 지지대에 안착되며, 하단부가 상기 내부 리플렉터에 조립되어 고정되는 외부 리플렉터를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the housing is fixed to the main flange, a housing support to which the thermocouple is coupled, is seated and coupled to the housing support, and an inner reflector formed in a hollow shape so that the heating part is inserted and fixed to the inner surface of the housing; , A heater detachable support provided in the internal reflector to support the heating part, and an external reflector that is formed in a hollow shape to cover the internal reflector and is seated on the housing support, and the lower end is assembled to the internal reflector and fixed characterized in that

또한 본 발명에서 상기 히터탈착 지지부는, 상기 내부 리플렉터에 관통 형성되는 탈착홀부와, 상기 탈착홀부를 통해 삽입되어 상기 내부 리플렉터의 내부에 위치하는 상기 가열부를 지지하도록 상기 내부 리플렉터에 탈착되는 히터지지 브래킷을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the heater detachable support unit includes a detachable hole formed through the inner reflector, and a heater support bracket that is inserted through the detachable hole and detached from the inner reflector to support the heating unit positioned inside the inner reflector. It is characterized in that it includes.

또한 본 발명에서 상기 히터지지 브래킷은, 상기 탈착홀부를 통해 삽입되어 상기 가열부를 지지하는 히터 지지판과, 상기 히터 지지판에서 연장 형성되어 상기 외부 리플렉터의 외면에 걸림 지지되는 하우징 지지판을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the heater support bracket includes a heater support plate inserted through the detachable hole to support the heating unit, and a housing support plate extending from the heater support plate to be caught and supported on the outer surface of the external reflector. do.

또한 본 발명에서 상기 히터지지 브래킷은, 상기 가열부가 삽입되어 고정되도록 히터 조립홈부가 형성되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the heater support bracket is characterized in that the heater assembly groove is formed so that the heating part is inserted and fixed.

또한 본 발명에서 상기 하우징 지지대는, 상기 내부 리플렉터와 상기 외부 리플렉터의 하단부에 각각 삽입되어 결합되는 리플렉터 조립단차부가 형성되며, 상면에 단열공간부를 구비하는 하부 리플렉터가 결합되는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the housing support is formed with a reflector assembly step that is inserted and coupled to the lower ends of the internal reflector and the external reflector, respectively, and a lower reflector having a heat insulating space on the upper surface is coupled thereto.

또한 본 발명에서 상기 하부 리플렉터는, 상기 하우징 지지대에 상하로 이격되게 배치되는 리플렉터판과, 상기 리플렉터판 사이에 상기 단열공간부가 형성되도록 상기 리플렉터판 사이에 결합되어 상기 리플렉터판을 이격시키는 간격유지링과, 상기 하우징 지지대에 결합되어 상기 리플렉터 및 상기 간격유지링을 상기 하우징 지지대에 고정하는 체결부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the lower reflector is coupled between the reflector plate disposed to be vertically spaced apart from the housing support, and the reflector plate so that the heat insulating space is formed between the reflector plate, and a gap maintaining ring separating the reflector plate and a fastening member coupled to the housing support to fix the reflector and the spacing ring to the housing support.

또한 본 발명에서 상기 열전대는, 상기 하우징에 고정되어 온도를 감지하는 열감지센서와, 상기 열감지센서에서 연장되어 상기 열전대 접속부에 접속되는 복수의 접속와이어를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the thermocouple, it is characterized in that it comprises a heat sensor for detecting the temperature fixed to the housing, and a plurality of connection wires extending from the heat sensor and connected to the thermocouple connector.

또한 본 발명에서 상기 열전대 접속부는, 상기 메인 플랜지를 통과하는 복수의 단자선이 하단부에 접속 고정되고, 상단부에 상기 접속와이어가 접속 고정되는 통전부재와, 상기 통전부재를 커버하도록 상기 메인 플랜지에 결합되어 상기 통전부재를 보호하는 보호커버와, 상기 통전부재를 상기 메인 플랜지 및 상기 보호커버와 절연시키도록 상기 보호커버의 내부에 구비되며, 상기 통전부재를 지지하는 절연부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the thermocouple connection part includes a conductive member to which a plurality of terminal wires passing through the main flange are connected and fixed to a lower end portion, and the connection wire is connected and fixed to an upper end portion, and the main flange is coupled to the main flange to cover the conducting member. and a protective cover for protecting the conducting member, and an insulating member provided inside the protective cover to insulate the conducting member from the main flange and the protective cover, and supporting the conducting member. .

또한 본 발명에서 상기 절연부재는, 상기 단자선이 관통하는 단자 삽입공이 형성되어 상기 메인 플랜지에 안착되며, 상기 통전부재가 올려지는 제1절연판과, 상기 접속와이어가 관통하는 와이어 삽입공이 형성되어 상기 통전부재의 상단에 위치하는 제2절연판과, 상기 통전부재의 접촉을 방지하도록 상기 제1절연판과 상기 제2절연판 사이에 구비되는 간격유지판을 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, in the present invention, the insulating member has a terminal insertion hole through which the terminal wire passes and is seated on the main flange, a first insulating plate on which the conducting member is mounted, and a wire insertion hole through which the connection wire passes are formed. It characterized in that it comprises a second insulating plate located on the upper end of the conducting member, and a spacing plate provided between the first insulating plate and the second insulating plate to prevent contact with the conducting member.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 오엘이디 증착원은 종래 기술과 달리 하우징 및 가열부를 유지보수할 때 가열부와 하우징의 파손이나 변형을 방지하면서 분리 또는 조립할 수 있는 효과를 가진다.As described above, the OLED deposition source according to the present invention has the effect of being able to separate or assemble the heating unit and the housing while preventing damage or deformation when maintaining the housing and the heating unit, unlike the prior art.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원은, 내부 리플렉터와 외부 리플렉터를 하우징 지지대에 조립식으로 결합하므로, 불량이 발생하는 해당 부품만을 교체할 수 있어 유지보수 비용을 줄일 수 있는 효과를 가진다.In addition, since the OLED deposition source according to the present invention combines the internal reflector and the external reflector to the housing support in a prefabricated manner, only the defective parts can be replaced, thereby reducing maintenance costs.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원은, 열전대 접속부를 이용하여 열전대의 접속을 간편하게 진행할 수 있고, 열전대의 접속와이어가 숏트되는 것을 방지하므로, 안전성을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.In addition, the OLED deposition source according to the present invention can easily connect a thermocouple by using the thermocouple connection part, and prevent the connection wire of the thermocouple from being shorted, so that safety can be improved.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원은, 열전대의 접속와이어가 접속되는 통전부재가 외부로 노출되는 것이 방지되므로, 이물질에 의한 통전부재가 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과를 가진다.In addition, the OLED deposition source according to the present invention prevents the conducting member to which the connection wire of the thermocouple is connected from being exposed to the outside, and thus has the effect of preventing the conducting member from being contaminated by foreign substances.

또한, 본 발명에 따른 오엘이디 증착원은, 하부 리플렉터에 단열공간부가 형성되므로, 하우징의 단열성이 향상되어 열효율을 높일 수 있는 효과를 가진다.In addition, in the OLED deposition source according to the present invention, since the heat insulating space is formed in the lower reflector, the heat insulating property of the housing is improved, thereby increasing the thermal efficiency.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 2은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 결합단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 하우징 지지대와 하부 리플렉터를 설명하기 위한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 하우징 지지대와 하부 리플렉터를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 6은 도 4의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가열부와 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 요부확대 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 요부확대 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 사시도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 분해 사시도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 단면도이다.
도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 통전부재와 절연부재를 설명하기 위한 분해 사시도이다.1 is an exploded perspective view illustrating an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention.
2 is a partially cut-away perspective view illustrating an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention.
3 is a cross-sectional view illustrating an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a housing support and a lower reflector according to an embodiment of the present invention.
5 is an exploded perspective view illustrating a housing support and a lower reflector according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view of FIG. 4 .
7 is a perspective view for explaining the heating unit and the heater detachable support according to an embodiment of the present invention.
8 is an enlarged perspective view of a main part for explaining a heater detachable support according to an embodiment of the present invention.
9 is an enlarged cross-sectional view illustrating a heater detachable support unit according to an embodiment of the present invention.
10 is a perspective view illustrating a thermocouple connection unit according to an embodiment of the present invention.
11 is an exploded perspective view illustrating a thermocouple connection unit according to an embodiment of the present invention.
12 is a cross-sectional view illustrating a thermocouple connection unit according to an embodiment of the present invention.
13 is an exploded perspective view illustrating a conducting member and an insulating member according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 오엘이디 증착원의 바람직한 실시예를 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 선들의 두께나 구성요소의 크기 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시되어 있을 수 있다.Hereinafter, a preferred embodiment of an OLED deposition source according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. In this process, the thickness of the lines or the size of the components shown in the drawings may be exaggerated for clarity and convenience of explanation.

또한, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In addition, the terms to be described later are terms defined in consideration of functions in the present invention, which may vary according to the intention or custom of the user or operator. Therefore, definitions of these terms should be made based on the content throughout this specification.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 2은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 부분 절개 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원을 설명하기 위한 결합단면도이다.1 is an exploded perspective view illustrating an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially cut-away perspective view illustrating an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is It is a coupling cross-sectional view for explaining an OLED deposition source according to an embodiment of the present invention.

또한 도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 하우징 지지대와 하부 리플렉터를 설명하기 위한 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 하우징 지지대와 하부 리플렉터를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 6은 도 4의 단면도이다.In addition, Figure 4 is a perspective view for explaining the housing support and the lower reflector according to an embodiment of the present invention, Figure 5 is an exploded perspective view for explaining the housing support and the lower reflector according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view of FIG. 4 .

또한 도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가열부와 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 요부확대 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시 예에 따른 히터탈착 지지부를 설명하기 위한 요부확대 단면도이다.In addition, Figure 7 is a perspective view for explaining the heating unit and the heater detachable support according to an embodiment of the present invention, Figure 8 is an enlarged perspective view of the main part for explaining the heater detachable support according to an embodiment of the present invention, Figure 9 is an enlarged cross-sectional view for explaining the heater detachable support according to an embodiment of the present invention.

또한 도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 사시도이고, 도 11은 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 분해 사시도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시 예에 따른 열전대 접속부를 설명하기 위한 단면도이고, 도 13은 본 발명의 일 실시 예에 따른 통전부재와 절연부재를 설명하기 위한 분해 사시도이다.Also, FIG. 10 is a perspective view for explaining a thermocouple connector according to an embodiment of the present invention, FIG. 11 is an exploded perspective view for explaining a thermocouple connector according to an embodiment of the present invention, and FIG. 12 is an embodiment of the present invention It is a cross-sectional view for explaining a thermocouple connection part according to an example, and FIG. 13 is an exploded perspective view for explaining a conducting member and an insulating member according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원(100)은 유기발광다이오드(OLED) 제조공정에서 표면처리 또는 박막 형성을 위하여 액상의 증착 물질을 가열하여 기화시키는 습식 증착 기술에 적용된다.1 to 3, the OLED deposition source 100 according to an embodiment of the present invention heats and vaporizes a liquid deposition material for surface treatment or thin film formation in an organic light emitting diode (OLED) manufacturing process. Applied to wet deposition technology.

또한 본 실시 예에 따른 오엘이디 증착원(100)은 고진공 상태에서 사용되며, 액상 및 고체의 증착 물질이 기화되어 발생하는 기체 상태의 처리 대상물로 배출하게 된다. 이러한, 오엘이디 증착원(100)은 메인 플랜지(101)에 고정되어 진공챔버에 설치된다.In addition, the OLED deposition source 100 according to the present embodiment is used in a high vacuum state, and is discharged as a gaseous treatment target generated by vaporizing liquid and solid deposition materials. The OLED deposition source 100 is fixed to the main flange 101 and installed in the vacuum chamber.

본 실시 예에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 가열을 위한 크루시블(103)이 안착되는 하우징(110)과, 크루시블(103)을 가열하도록 하우징에 탈착되는 가열부(120)와, 열전대(105)를 접속하도록 메인 플랜지(101)에 구비되는 열전대 접속부(130)를 포함한다.The OLED deposition source 100 according to the present embodiment includes a housing 110 on which the crucible 103 for heating is seated, and a heating unit 120 detachable from the housing to heat the crucible 103 . and a thermocouple connection part 130 provided on the main flange 101 to connect the thermocouple 105 .

이러한 본 실시 예에 따른 오엘이디 증착원(100)은 하우징(110)에 가열부(120)가 조립식으로 탈착되므로, 유지보수시에 가열부(120)와 하우징(110)의 손상을 방지하면 간편하게 분해 또는 조립할 수 있으며, 열전대 접속부(130)를 이용하여 열전대(105)의 숏트를 방지할 수 있고, 열전대(105)의 교체를 간편하게 진행할 수 있게 된다.Since the heating unit 120 is prefabricated and detached from the housing 110 in the OLED deposition source 100 according to this embodiment, it is convenient to prevent damage to the heating unit 120 and the housing 110 during maintenance. It can be disassembled or assembled, and the thermocouple 105 can be prevented from being shorted by using the thermocouple connection part 130 , and the thermocouple 105 can be easily replaced.

하우징(110)은 원통형으로 형성되어 상단부에 크루시블(103)이 안착되며, 크루시블(103)의 외측으로 가열부(120)가 위치하여 가열부(120)에서 발열되는 열이 외부로 방출되는 것이 최소화 하여 우수한 단열성능을 가진다.The housing 110 is formed in a cylindrical shape, and the crucible 103 is seated on the upper end, and the heating unit 120 is positioned outside the crucible 103 so that the heat generated by the heating unit 120 is discharged to the outside. It has excellent thermal insulation performance by minimizing emission.

이를 위하여 하우징(110)은 메인 플랜지(101)에 결합되는 하우징 지지대(111)와, 하우징 지지대(111)에 결합되는 내부 리플렉터(113)와, 가열부(120)를 탈착할 수 있도록 내부 리플렉터(113)에 구비되는 히터탈착 지지부(115)와, 내부 리플렉터(113)를 커버하도록 하우징 지지대(111)에 결합되는 외부 리플렉터(117)와, 하우징 지지대(111)에 결합되는 하부 리플렉터(119)를 포함한다. 이때, 하우징(110)은 가열부(120)의 내부로 삽입되는 크루시블(103)을 가열하게 된다.To this end, the housing 110 includes a housing support 111 coupled to the main flange 101, an internal reflector 113 coupled to the housing support 111, and an internal reflector ( The heater detachable support 115 provided in 113, the external reflector 117 coupled to the housing support 111 to cover the internal reflector 113, and the lower reflector 119 coupled to the housing support 111. include At this time, the housing 110 heats the crucible 103 inserted into the heating unit 120 .

이러한 하우징(110)은 히터탈착 지지부(115)에 의해 내부 리플렉터(113)에 가열부(120)가 고정되므로, 가열부(120)를 분해 및 조립할 때 내부 리플렉터(113) 및 가열부(120)의 파손이나 변형을 방지하면서 간편하게 진행할 수 있게 된다.Since the heating unit 120 is fixed to the internal reflector 113 by the heater detachable support unit 115 in the housing 110 , when disassembling and assembling the heating unit 120 , the internal reflector 113 and the heating unit 120 ) It is possible to proceed easily while preventing damage or deformation of the

또한 하우징(110)은 하우징 지지대(111)에 하부 리플렉터(119), 내부 리플렉터(113), 외부 리플렉터(117)가 차례로 조립되어 결합되므로, 유지보수시에 변형이나 파손이 발생한 특정 부품만을 간편하게 교체할 수 있게 된다.In addition, in the housing 110, since the lower reflector 119, the inner reflector 113, and the outer reflector 117 are sequentially assembled and coupled to the housing support 111, only specific parts that are deformed or damaged during maintenance are easily replaced. be able to do

도 4 내지 도 9를 참조하면, 하우징 지지대(111)는 고정축(111a)에 의해 메인 플랜지(101)에 결합되는 베이스부(111b)를 구비한다.4 to 9 , the housing support 111 includes a base portion 111b coupled to the main flange 101 by a fixed shaft 111a.

고정축(111a)은 상단부에 수나사부가 형성되어 베이스부(111b)의 하면에 형성되는 암나사홈에 체결 고정되고, 메인 플랜지(101)의 하측에서 축방향으로 체결되는 볼트에 의해 메인 플랜지(101)에 결합된다. 이때, 메인 플랜지(101)의 상면에는 고정축(111a)이 보다 안정되게 고정되도록 안착홈(101a)이 형성되고, 안착홈(101a)에 고정축(111a)의 하단이 삽입되어 지지된다.The fixed shaft 111a has a male screw portion formed on the upper end portion and is fastened and fixed to the female screw groove formed on the lower surface of the base portion 111b, and the main flange 101 by a bolt fastened in the axial direction from the lower side of the main flange 101. is coupled to At this time, a seating groove 101a is formed on the upper surface of the main flange 101 so that the fixing shaft 111a is more stably fixed, and the lower end of the fixing shaft 111a is inserted and supported in the seating groove 101a.

본 실시 예에 따른 고정축(111a)은 베이스부(111b)를 견고하고 안정되게 고정하도록 3개가 구비되며, 필요에 따라 4개 이상 구비될 수도 있다.Three fixed shafts 111a according to the present embodiment are provided to firmly and stably fix the base portion 111b, and four or more may be provided as needed.

베이스부(111b)는 상면에 하부 리플렉터(119)가 결합되고, 테두리부를 따라 내부 리플렉터(113)와 외부 리플렉터(117)를 결합하기 위한 리플렉터 조립단부(111c)가 단차지게 형성된다. 이러한 베이스부(111b)는 리플렉터 조립단부(111c)에 내부 리플렉터(113)와 외부 리플렉터(117)의 하단부가 조립식으로 결합되고, 외부 리플렉터(117)를 더욱 견고하게 고정할 수 있도록 리플렉터 조립단부(111c) 외면에 나사홈(111d)이 형성된다.The base portion 111b has a lower reflector 119 coupled to the upper surface, and a reflector assembly end 111c for coupling the inner reflector 113 and the outer reflector 117 along the edge is formed to be stepped. The base portion 111b is a reflector assembly end portion ( 111c) A screw groove 111d is formed on the outer surface.

또한 베이스부(111b)는 중앙부에 열전대(105)가 삽입되어 고정되는 센서조립홀(111e)이 형성되고, 하부 리플렉터(119)의 결합을 위한 볼트체결홈부(111f)가 형성된다.In addition, the base portion 111b has a sensor assembly hole 111e into which the thermocouple 105 is inserted and fixed in the central portion, and a bolt fastening groove portion 111f for coupling the lower reflector 119 is formed.

내부 리플렉터(113)는 원통형으로 형성되어 하단부 내면에 리플렉터 조립단부(111c)가 삽입되어 리플렉터 조립단부(111c)에 결합되며, 내부에 삽입되는 가열부(120)가 히터탈착 지지부(115)에 의해 고정된다. 이러한 내부 리플렉터(113)는 외부 리플렉터(117)에 의해 커버되어 외부 리플렉터(117)와의 사이에 단열공간을 형성하므로, 하우징(110)의 가열효과 와 단열성능을 향상시키게 된다.The internal reflector 113 is formed in a cylindrical shape, and the reflector assembly end 111c is inserted into the inner surface of the lower end and is coupled to the reflector assembly end 111c, and the heating unit 120 inserted therein is formed by the heater detachable support unit 115. is fixed This internal reflector 113 is covered by the external reflector 117 to form an insulating space between the internal reflector 117 and the external reflector 117, so that the heating effect and thermal insulation performance of the housing 110 are improved.

히터탈착 지지부(115)는 내부 리플렉터(113)에 가열부(120)를 조립할 수 있도록 내부 리플렉터(113)에 결합되어 가열부(120)를 지지하게 된다. 이러한 히터탈착 지지부(115)는 가열부(120)를 용이하게 분해 및 조립 가능하도록 탈착홀부(115a)와 히터지지 브래킷(115b)으로 이루어진다.The heater detachable support part 115 is coupled to the internal reflector 113 to support the heating part 120 so that the heating part 120 can be assembled to the internal reflector 113 . The heater detachable support part 115 includes a detachable hole part 115a and a heater support bracket 115b so that the heating part 120 can be easily disassembled and assembled.

탈착홀부(115a)는 내부 리플렉터(113)에 관통 형성되며, 원주 및 길이방향으로 이격되게 복수개 형성된다. 이때 탈착홀부(115e)는 가로 3mm, 세로 6mm의 사각형태로 형성될 수 있다.The detachable hole portion 115a is formed through the inner reflector 113, and a plurality of portions are formed to be spaced apart from each other in the circumferential and longitudinal directions. In this case, the detachable hole 115e may be formed in a rectangular shape having a width of 3 mm and a length of 6 mm.

본 실시 예에서는 탈착홀부(115e)가 사각형태로 형성되는 것을 예를 들어 설명하고 있지만 탈착홀부(115e)를 삼각형태 또는 5각형 이상의 다각형으로 형성할 수도 있고, 원형 또는 타원형으로 형성할 수도 있다.In this embodiment, although it is described that the detachable hole portion 115e is formed in a rectangular shape as an example, the detachable hole portion 115e may be formed in a triangular shape or a pentagonal or more polygonal shape, or may be formed in a circular or oval shape.

히터지지 브래킷(115b)은 탈착홀부(115a)를 통해 삽입되어 내부 리플렉터(113)의 내부에 위치하는 가열부(120)를 지지하도록 탈착홀부(115a)에 결합된다.The heater support bracket 115b is inserted through the detachable hole 115a and is coupled to the detachable hole 115a to support the heating unit 120 positioned inside the internal reflector 113 .

이러한 히터지지 브래킷(115b)은 탈착홀부(115a)로 삽입되어 가열부(120)를 지지하는 히터 지지판(115c)과, 히터 지지판(115c)에서 연장 형성되어 내부 리플렉터(113)의 외면에 걸림 지지되는 하우징 지지판(115d)을 포함한다.This heater support bracket 115b is inserted into the detachable hole 115a to support the heater support plate 115c for supporting the heating unit 120, and to extend from the heater support plate 115c to support being caught on the outer surface of the internal reflector 113. and a housing support plate 115d that is

히터 지지판(115c)은 가열부(120)가 삽입되어 안정되게 고정됨은 물론 고정된 가열부(120)의 이탈이 방지되도록 히터 조립홈부(115e)가 형성된다. 본 실시 예에 따른 히터 지지판(115c)은 1~5mm의 두께로 탄성을 가지도록 반원 형태로 형성된다. 이러한 히터 지지판(115c)은 반원 형태로 형성되므로, 탈착홀부(115a)에 용이하게 삽입될 수 있으며, 탄성을 통해 탈착홀부(115a)에 결합된 상태가 안정되게 유지될 수 있다.In the heater support plate 115c, the heater assembly groove 115e is formed so that the heating part 120 is inserted and stably fixed as well as the separation of the fixed heating part 120 is prevented. The heater support plate 115c according to the present embodiment is formed in a semicircular shape to have elasticity with a thickness of 1 to 5 mm. Since the heater support plate 115c is formed in a semicircular shape, it can be easily inserted into the detachable hole 115a, and the state coupled to the detachable hole 115a through elasticity can be stably maintained.

하우징 지지판(115d)은 히터 지지판(115c)의 양 끝단에서 절곡 형성되어 내부 리플렉터(113)에 접촉되면서 탈착홀부(115a)에 결합되는 히터지지 브래킷(115b)의 고정상태를 안정적으로 유지시킨다.The housing support plate 115d is bent at both ends of the heater support plate 115c and is in contact with the internal reflector 113 while stably maintaining the fixed state of the heater support bracket 115b coupled to the detachable hole 115a.

본 실시 예에 따른 히터지지 브래킷(115b)은 외부 리플렉터(117)에 의해 외부로 노출되는 것이 방지된다.The heater support bracket 115b according to the present embodiment is prevented from being exposed to the outside by the external reflector 117 .

외부 리플렉터(117)의 하단부 내면에 리플렉터 조립단부(111c)가 삽입되도록 베이스부(111b)에 결합되어 내부 리플렉터(113)의 단열성을 향상시키며, 히터지지 브래킷(115b)의 이탈을 완전하게 방지하게 된다. 이러한 외부 리플렉터(117)는 베이스부(111b)에 용이하게 분해 및 조립되도록 나사홈(111d)에 정렬되는 나사 체결공(117a)이 형성되며, 나사 체결공(117a)을 통해 나사홈(111d)에 결합되는 나사를 통해 베이스부(111b)에 안정되게 고정된다.It is coupled to the base part 111b so that the reflector assembly end 111c is inserted into the inner surface of the lower end of the external reflector 117 to improve the thermal insulation of the internal reflector 113, and to completely prevent the detachment of the heater support bracket 115b. do. This external reflector 117 is formed with a screw fastening hole 117a aligned with the screw groove 111d so as to be easily disassembled and assembled in the base portion 111b, and the screw groove 111d through the screw fastening hole 117a. It is stably fixed to the base portion 111b through a screw coupled to the.

본 실시 예에 따른 외부 리플렉터(117)는 원통형으로 형성될 수 있다.The external reflector 117 according to the present embodiment may be formed in a cylindrical shape.

하부 리플렉터(119)는 베이스부(111b)의 상면에 결합되며, 하우징(110)의 하부 단열성을 향상시킬 수 있도록 단열공간부(119a)를 형성하게 된다.The lower reflector 119 is coupled to the upper surface of the base portion 111b, and forms a thermal insulation space portion 119a to improve lower thermal insulation of the housing 110 .

이를 위하여 하부 리플렉터(119)는 단열공간부(119a)의 형성을 위하여 베이스부(111b)에 상하로 이격되게 배치되는 리플렉터판(119b)과, 리플렉터판(119b) 사이에 구비되어 리플렉터판(119b)을 상호 이격시키는 간격유지링(119c)과, 베이스부(111b)의 볼트체결홈부(111f)에 결합되어 리플렉터판(119b)과 간격유지링(119c)을 베이스부(111b)에 고정하는 체결부재(119d)를 포함한다.To this end, the lower reflector 119 is provided between the reflector plate 119b and the reflector plate 119b disposed to be vertically spaced apart from the base part 111b to form the insulating space 119a, and the reflector plate 119b ) is coupled to the spacing ring 119c to space them apart from each other, and the bolt fastening groove 111f of the base portion 111b to fix the reflector plate 119b and the spacing ring 119c to the base portion 111b. member 119d.

간격유지링(119c)은 0.1~2.0mm의 두께를 가지도록 형성되어 리플렉터판(119b)의 간격을 유지시킨다.The spacing ring (119c) is formed to have a thickness of 0.1 ~ 2.0mm to maintain the spacing of the reflector plate (119b).

본 실시 예에 따른 하부 리플렉터(119)는 리플렉터판(119b)이 원판 형태로 형성되며, 리플렉터판(119b)의 외주면이 내부 리플렉터(113)의 내면에 접촉되어 단열공간부(119a)에 의한 단열성을 더욱 향상시키게 된다.In the lower reflector 119 according to this embodiment, the reflector plate 119b is formed in the form of a disk, and the outer peripheral surface of the reflector plate 119b is in contact with the inner surface of the inner reflector 113, so that the insulating space portion 119a has thermal insulation properties. will further improve

또한, 하부 리플렉터(119)는 중앙부에 열전대(105)가 관통하는 센서관통홀이 형성된다.In addition, the lower reflector 119 has a sensor through hole through which the thermocouple 105 passes is formed in the central portion.

한편, 가열부(120)는 내부 리플렉터(113)에 삽입된 상태에서 탈착홀부(115a)로 결합되는 히터지지 브래킷(115b)에 의해 내부 리플렉터(113)에 안정되게 고정되며, 유지보수를 위한 분해 및 조립이 간편하게 이루어진다.On the other hand, the heating unit 120 is stably fixed to the internal reflector 113 by the heater support bracket 115b coupled to the detachable hole 115a in the state inserted into the internal reflector 113, and disassembly for maintenance and easy assembly.

이러한 가열부(120)는 크루시블(103)의 가열을 위한 열선부재(121)와, 열선부재(121)를 고정하며, 히터지지 브래킷(115b)에 걸림 고정되는 열선고정링부재(123)를 포함한다.The heating unit 120 includes a heating wire member 121 for heating the crucible 103 and a heating wire fixing ring member 123 fixed to the heater support bracket 115b and fixed to the heating wire member 121 . includes

열선고정링부재(123)는 그 직경이 내부 리플렉터(113)의 내경과 동일하거나 작게 형성되며, 열선부재(121)의 결합을 위한 장홀이 형성된다.The hot wire fixing ring member 123 has a diameter equal to or smaller than the inner diameter of the inner reflector 113 , and a long hole for coupling the hot wire member 121 is formed.

또한, 열선고정링부재(123)는 외주면이 탈착홀부(115a)에 위치하도록 내부 리플렉터(113)의 길이방향을 따라 이격되게 복수개 배치되며, 히터 지지판(115c)이 탈착홀부(115a)로 결합됨에 따라 테두리부위가 히터 조립홈부(115e)에 삽입되어 걸림 고정된다. 이를 통해 가열부(120)가 내부 리플렉터(113)의 길이방향으로 움직이는 것을 방지할 수 있다.In addition, a plurality of heat wire fixing ring members 123 are disposed to be spaced apart along the longitudinal direction of the inner reflector 113 so that the outer peripheral surface is located in the detachable hole portion 115a, and the heater support plate 115c is coupled to the detachable hole portion 115a. Accordingly, the edge portion is inserted into the heater assembly groove portion 115e and locked. Through this, it is possible to prevent the heating unit 120 from moving in the longitudinal direction of the internal reflector 113 .

하우징(110)의 온도를 감지하는 열전대(105)는 하우징(110)에 고정되어 하우징(110) 내부의 온도를 감지하도록 베이스부(111b)의 센서조립홀(111e)에 설치되며, 신호 송수신을 위하여 열전대 접속부(130)에 접속된다. 이때, 열전대 접속부(130)에는 메인 플랜지(101)에 구비되는 접속 커넥터(101b)가 접속된다.The thermocouple 105 for sensing the temperature of the housing 110 is fixed to the housing 110 and is installed in the sensor assembly hole 111e of the base part 111b to sense the temperature inside the housing 110, and transmits and receives signals. It is connected to the thermocouple connection unit 130 for this purpose. At this time, the connection connector 101b provided in the main flange 101 is connected to the thermocouple connection part 130 .

이러한 열전대(105)는 하부 리플렉터(119)의 상측으로 노출하도록 센서조립홀(111e)에 결합되는 열감지센서(105a)와, 열감지센서(105a)에서 연장되어 열전대 접속부(130)에 접속되어 신호를 송수신 하는 복수의 접속와이어(105b)를 포함한다. 이러한 열열전대(105)는 접속와이어(105b)가 열전대 접속부(130)를 통해 접속 커넥터(101b)에 접속된다.The thermocouple 105 includes a thermal sensor 105a coupled to the sensor assembly hole 111e so as to be exposed to the upper side of the lower reflector 119, and a thermocouple connector 130 extending from the thermal sensor 105a. It includes a plurality of connection wires (105b) for transmitting and receiving signals. The thermo-thermocouple 105 has a connection wire 105b connected to the connection connector 101b through the thermocouple connection unit 130 .

접속 커넥터(101b)는 메인 플랜지(101)에 결합되며, 열전대 접속부(130)에 접속되는 단자선(101b')을 구비한다.The connection connector 101b is coupled to the main flange 101 , and includes a terminal wire 101b ′ connected to the thermocouple connection part 130 .

도 6, 도 10 내지 도 13을 참조하면, 열전대 접속부(130)는 열전대(105)와 접속 커넥터(101b)를 상호 접속시키며, 열전대(105)를 용이하게 교체 가능하고, 접속와이어(105b)의 숏트를 방지하도록 메인 플랜지(101)에 결합된다.6 and 10 to 13 , the thermocouple connection unit 130 interconnects the thermocouple 105 and the connection connector 101b, and the thermocouple 105 can be easily replaced, and the connection wire 105b It is coupled to the main flange 101 to prevent a short.

이러한 열전대 접속부(130)는 접속와이어(105b)와 단자선(101b')이 각각 접속 고정되는 통전부재(131)와, 통전부재(131)를 절연시키기 위한 절연부재(133)와, 절연부재(133)의 유동을 방지도록 메인 플랜지(101)에 결합되는 보호커버(135)를 포함한다. 이러한 열전대 접속부(130)는 통전부재(131), 절연부재(133) 및 보호커버(135)가 조립식으로 제공되어 간편한 유지보수가 가능하고, 통전부재(131)가 외부로 노출되는 것이 방지되어 증착물질이나 다른 이물질에 의해 오염되는 것이 방지된다.The thermocouple connection unit 130 includes a conducting member 131 to which the connecting wire 105b and the terminal wire 101b ′ are respectively connected and fixed, an insulating member 133 for insulating the conducting member 131, and an insulating member ( It includes a protective cover 135 coupled to the main flange 101 to prevent the flow of 133). The thermocouple connection unit 130 is provided with a conducting member 131, an insulating member 133, and a protective cover 135 in a prefabricated manner, so that easy maintenance is possible, and the conducting member 131 is prevented from being exposed to the outside and deposited Contamination by substances or other foreign matter is prevented.

통전부재(131)는 절연부재(133)에 의해 상단 및 하단이 커버되어 메인 플랜지(101) 및 보호커버(135)와 절연되며, 상단부에 접속와이어(105b)가 접속 고정되고 하단부에 단자선(101b')이 접속 고정된다. 이때, 통전부재(131)는 복수의 접속와이어(105b)와 단자선(101b')을 접속할 수 있도록 이격되게 복수개 예를 들어 4개가 구비될 수 있다.The conducting member 131 is insulated from the main flange 101 and the protective cover 135 by covering the upper and lower ends by the insulating member 133, the connection wire 105b is fixed to the upper end, and the terminal wire ( 101b') is connected and fixed. In this case, a plurality of, for example, four conducting members 131 may be provided to be spaced apart so as to connect the plurality of connection wires 105b and the terminal wires 101b ′.

또한 통전부재(131)는 접속와이어(105b)와 단자선(101b')이 삽입되는 접속홈이 상단부 및 하단부에 각각 형성되고, 상단부 및 하단부에 선고정볼트가 체결되어 접속홈으로 삽입되는 접속와이어(105b)와 단자선(101b')을 고정하게 된다.In addition, in the current conducting member 131, connection grooves into which the connection wire 105b and the terminal wire 101b' are inserted are formed at the upper end and the lower end, respectively, and the high wire fixing bolts are fastened to the upper end and the lower end to be inserted into the connection groove. 105b and the terminal wire 101b' are fixed.

이러한 통전부재(131)는 절연부재(133)에 의해 이격된 상태가 안정되게 유지되면서 절연된다.The conducting member 131 is insulated while being stably maintained in a spaced apart state by the insulating member 133 .

절연부재(133)는 통전부재(131)를 메인 플랜지(101) 및 보호커버(135)와 절연시키도록 보호커버(135)의 내부에 구비되며, 통전부재(131)를 이격되게 지지하게 된다.The insulating member 133 is provided inside the protective cover 135 to insulate the energizing member 131 from the main flange 101 and the protective cover 135 , and supports the energizing member 131 to be spaced apart.

이를 위하여 절연부재(133)는 통전부재(131)의 하단을 절연하는 제1절연판(133a)과, 통전부재(131)의 상단을 절연하는 제2절연판(133b)과, 통전부재(131)를 이격되게 절연하는 간격유지판(133c)을 포함한다.To this end, the insulating member 133 includes a first insulating plate 133a that insulates the lower end of the conducting member 131 , a second insulating plate 133b that insulates the upper end of the conducting member 131 , and the conducting member 131 . It includes a spacing plate (133c) to be insulated to be spaced apart.

제1절연판(133a)은 통전부재(131)와 메인 플랜지(101) 사이를 절연하도록 메인 플랜지(101)의 상면에 안착되며, 접속 커넥터(101b)의 단자선(101b')이 관통하는 단자 삽입공(133a')이 이격되게 형성된다. 이러한 제1절연판(133a)은 상면에 통전부재(131)가 올려지며, 보호커버(135)에 의해 메인 플랜지(101)에서 움직이는 것이 방지된다.The first insulating plate 133a is seated on the upper surface of the main flange 101 to insulate between the conducting member 131 and the main flange 101, and the terminal wire 101b' of the connection connector 101b penetrates through the terminal insert. The balls 133a' are formed to be spaced apart. The first insulating plate 133a has a energizing member 131 mounted on its upper surface, and is prevented from moving on the main flange 101 by the protective cover 135 .

본 실시 예에서는 제1절연판(133a)의 단자 삽입공(133a')이 2~10mm의 간격으로 4개 형성되는 것이 도시되어 있지만, 단자 삽입공(133a')을 1~5개에서 선택적으로 형성할 수도 있다.In this embodiment, it is shown that four terminal insertion holes 133a' of the first insulating plate 133a are formed at intervals of 2 to 10 mm, but 1 to 5 terminal insertion holes 133a' are selectively formed. You may.

제2절연판(133b)은 통전부재(131)의 상단이 보호커버(135)를 통해 외부로 노출하는 것을 방지하도록 통전부재(131)의 상단에 올려지며, 보호커버(135)에 접촉되어 지지된다. 이러한 제2절연판(133b)은 접속와이어(105b)가 관통하는 와이어 삽입공(133b')이 형성된다. 이때 제2절연판(133b)의 상면에는 와이어 삽입공(133b')을 통해 통전부재(131)에 접촉되는 접속와이어(105b)를 보호하는 절연튜브(133d)가 더 구비될 수 있다.The second insulating plate 133b is mounted on the upper end of the conducting member 131 to prevent the upper end of the conducting member 131 from being exposed to the outside through the protective cover 135 , and is supported in contact with the protective cover 135 . . The second insulating plate 133b has a wire insertion hole 133b ′ through which the connection wire 105b passes. In this case, an insulating tube 133d for protecting the connection wire 105b in contact with the current conducting member 131 through the wire insertion hole 133b ′ may be further provided on the upper surface of the second insulating plate 133b .

간격유지판(133c)은 제1절연판(133a)과 제2절연판(133b) 사이에 구비되어 통전부재(131)를 상호 이격되게 지지한다. 이러한 간격유지판(133c)은 통전부재(131)가 이격되게 관통하는 이격홀부(133c')가 형성된다. 이를 통해 통전부재(131)가 서로 접촉하여 숏트되는 것을 방지하게 된다.The spacing plate 133c is provided between the first insulating plate 133a and the second insulating plate 133b to support the conducting member 131 to be spaced apart from each other. The spacing plate (133c) is formed with a spacing hole (133c') through which the conducting member 131 is spaced apart. Through this, the conduction members 131 are prevented from being shorted by contacting each other.

또한 간격유지판(133c)은 통전부재(131)의 상단부 및 하단부에 각각 결합되는 선고정볼트 사이에 위치되어 선고정볼트에 선택적으로 걸리면서 통전부재(131)가 이탈되는 것을 방지하게 된다.In addition, the spacing plate 133c is positioned between the high-row aligning bolts respectively coupled to the upper and lower ends of the energizing member 131 to selectively engage the high-row aligning bolts to prevent the energizing member 131 from being separated.

보호커버(135)는 내부에 절연부재(133)가 배치되도록 메인 플랜지(101)에 결합되어 절연부재(133)의 외면에 접촉되어 통전부재(131)와 절연부재(133)의 유동을 방지하게 된다. 이러한 보호커버(135)는 제2절연판(133b)의 상면이 외부로 노출하도록 판노출부가 형성된다.The protective cover 135 is coupled to the main flange 101 so that the insulating member 133 is disposed therein and is in contact with the outer surface of the insulating member 133 to prevent the flow of the current conducting member 131 and the insulating member 133 . do. The protective cover 135 has a plate exposed portion so that the upper surface of the second insulating plate 133b is exposed to the outside.

또한 보호커버(135)는 그 내부에 절연부재(133)를 용이하게 삽입하여 조립할 수 있도록 분할 형성될 수 있다. 이를 통해 접속와이어(105b)를 통전부재(131)에 접속한 상태에서 보호커버(135)를 메인 플랜지(101)에 간편하게 결합할 수 있다.In addition, the protective cover 135 may be divided so that the insulating member 133 can be easily inserted and assembled therein. Through this, the protective cover 135 can be easily coupled to the main flange 101 in a state in which the connecting wire 105b is connected to the energizing member 131 .

상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시 예에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 하우징 지지대(111)의 베이스부(111b)에 내부 리플렉터(113) 및 외부 리플렉터(117)가 나사 체결방식을 통해 조립 및 분리가능하므로, 유지보수 작업을 용이하게 진행할 수 있을 뿐만 아니라, 파손이 발생하지 않은 부품을 다른 제품에 재사용할 수 있어 유지보수 비용을 현저하게 절감할 수 있게 된다.In the OLED deposition source 100 according to an embodiment of the present invention configured as described above, the internal reflector 113 and the external reflector 117 are screwed to the base portion 111b of the housing support 111 in a screw fastening method. Since it can be assembled and disassembled through the system, not only can maintenance work be carried out easily, but also parts that have not been damaged can be reused for other products, thereby significantly reducing maintenance costs.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 내부 리플렉터(113)의 내부에 삽입되는 가열부(120)를 내부 리플렉터(113)의 외부에서 조립되는 히터지지 브래킷(115b)을 이용하여 고정할 수 있으므로, 가열부(120)의 분해 및 조립시에 내부 리플렉터(113)와 가열부(120)의 파손을 방지하면서 교체할 수 있으며, 가열부(120) 또는 내부 리플렉터(113)만을 개별적으로 교체할 수 있게 된다.In addition, in the OLED deposition source 100 according to the present invention, the heating unit 120 inserted into the inner reflector 113 is fixed using a heater support bracket 115b assembled from the outside of the inner reflector 113 . Therefore, when disassembling and assembling the heating unit 120, the internal reflector 113 and the heating unit 120 can be replaced while preventing damage, and only the heating unit 120 or the internal reflector 113 can be individually replaced. can be replaced.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 메인 플랜지(101)에 구비되는 열전대 접속부(130)를 이용하여 열전대(105)의 접속와이어(105b)와 접속 커넥터(101b)의 단자선(101b')을 각각 간편하게 접속할 수 있으므로, 열전대(105)의 접속 작업을 간편하게 진행할 수 있을 뿐만 아니라, 열전대(105)의 접속와이어(105b)가 열전대 접속부(130)에 접속된 상태가 안정되게 유지되므로, 접속와이어(105b)의 숏트를 방지할 수 있게 된다. 따라서, 수명을 연장할 수 있고, 안전성을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, the OLED deposition source 100 according to the present invention uses the thermocouple connection part 130 provided in the main flange 101 to the connection wire 105b of the thermocouple 105 and the terminal wire of the connection connector 101b ( 101b') can be easily connected to each other, so not only can the connection operation of the thermocouple 105 be easily performed, but also the state in which the connection wire 105b of the thermocouple 105 is connected to the thermocouple connection part 130 is stably maintained. , it is possible to prevent shorting of the connection wire 105b. Accordingly, life can be extended and safety can be further improved.

또한 본 발명에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 열전대(105)의 접속와이어(105b)가 접속되는 통전부재(131)가 절연부재(133)와 보호커버(135)의 내부에 위치하므로, 통전부재(131)의 외부로 노출을 방지하여 사용중 이물질에 의한 통전부재(131)의 오염을 방지할 수 있다.In addition, in the OLED deposition source 100 according to the present invention, the conducting member 131 to which the connection wire 105b of the thermocouple 105 is connected is located inside the insulating member 133 and the protective cover 135, By preventing exposure of the conducting member 131 to the outside, it is possible to prevent contamination of the conducting member 131 by foreign substances during use.

또한, 본 발명에 따른 오엘이디 증착원(100)은, 리플렉터판(119b) 사이에 간격유지링(119c)이 결합되어 리플렉터판(119b) 사이에 단열공간부(119a)가 형성되므로, 하부 리플렉터(119)와 하우징(110)의 단열성을 향상시킬 수 있다.In addition, in the OLED deposition source 100 according to the present invention, since the gap maintaining ring 119c is coupled between the reflector plates 119b to form the insulating space 119a between the reflector plates 119b, the lower reflector Thermal insulation properties of the 119 and the housing 110 may be improved.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 하여 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiment shown in the drawings, this is merely an example, and those skilled in the art to which various modifications and equivalent other embodiments are possible. will understand

따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 특허청구범위에 의해서 정하여져야 할 것이다.Accordingly, the true technical protection scope of the present invention should be defined by the claims.

100 : 오엘이디 증착원 101 : 메인 플랜지
103 : 크루시블 105 : 열전대
105a : 열감지센서 105b : 접속와이어
110 : 하우징 111 : 하우징 지지대
111a : 고정축 111b : 베이스부
113 : 내부 리플렉터 115 : 히터탈착 지지부
115a : 탈착홀부 115b : 히터지지 브래킷
117 : 외부 리플렉터 119 : 하부 리플렉터
119a : 단열공간부 119b : 리플렉터판
119d : 간격유지링 119d : 체결부재
120 : 가열부 121 : 열선부재
123 : 열선고정링부재 130 : 열전대 접속부
131 : 통전부재 133 : 절연부재
133a : 제1절연판 133b : 제2절연판
133c : 간격유지판 135 : 보호커버100: OLED evaporation source 101: main flange
103: Crucible 105: thermocouple
105a: thermal sensor 105b: connection wire
110: housing 111: housing support
111a: fixed shaft 111b: base part
113: internal reflector 115: heater detachable support
115a: detachable hole 115b: heater support bracket
117: external reflector 119: lower reflector
119a: insulating space portion 119b: reflector plate
119d: spacing ring 119d: fastening member
120: heating unit 121: heating wire member
123: hot wire fixing ring member 130: thermocouple connection part
131: conducting member 133: insulating member
133a: first insulating plate 133b: second insulating plate
133c: spacing plate 135: protective cover

Claims (9)

상단부에 증착물질을 수용하는 크루시블이 안착되는 하우징; 상기 크루시블을 가열하도록 상기 하우징에 탈착되는 가열부; 및 상기 가열부를 외부의 제어기기와 연결하도록 메인 플랜지에 구비되며, 상기 하우징의 열전대가 접속되는 열전대 접속부;를 포함하며,
상기 열전대는, 상기 하우징에 고정되어 온도를 감지하는 열감지센서; 및 상기 열감지센서에서 연장되어 상기 열전대 접속부에 접속되는 복수의 접속와이어;를 포함하며,
상기 열전대 접속부는, 상기 메인 플랜지를 통과하는 복수의 단자선이 하단부에 접속 고정되고, 상단부에 상기 접속와이어가 접속 고정되는 통전부재; 상기 통전부재를 절연하도록 상기 통전부재를 지지하는 절연부재; 및 상기 통전부재를 커버하도록 상기 메인 플랜지에 결합되며, 상기 통전부재와 상기 절연부재의 유동을 방지하는 보호커버;를 포함하고, 상기 절연부재는, 상기 단자선이 관통하는 단자 삽입공이 형성되어 상기 메인 플랜지에 안착되며, 상기 통전부재가 올려지는 제1절연판; 상기 접속와이어가 관통하는 와이어 삽입공이 형성되어 상기 통전부재의 상단에 위치하며, 상기 접속와이어가 관통하는 와이어 삽입공이 형성되는 제2절연판; 상기 통전부재의 접촉을 방지하도록 상기 제1절연판과 상기 제2절연판 사이에 구비되는 간격유지판; 및 상기 와이어 삽입공을 통해 통전부재에 접촉되는 상기 접속와이어를 보호하는 절연튜브;를 포함하고,
상기 하우징은, 상기 메인 플랜지에 고정되며, 상기 열전대가 결합되는 하우징 지지대; 상기 하우징 지지대에 안착되어 결합되며, 내면에 상기 가열부가 삽입되어 고정되도록 중공형으로 형성되는 내부 리플렉터; 상기 가열부를 지지하도록 상기 내부 리플렉터에 구비되는 히터탈착 지지부; 및 상기 내부 리플렉터를 커버하도록 중공형으로 형성되어 상기 하우징 지지대에 안착되며, 하단부가 상기 내부 리플렉터 측면에 볼트로 조립되어 고정되는 외부 리플렉터;를 포함하고,
상기 하우징 지지대는, 고정축에 의해 상기 메인 플랜지에 결합되고, 상기 내부 리플렉터와 상기 외부 리플렉터의 하단부에 각각 삽입되어 결합되는 리플렉터 조립단차부가 형성되며, 상면에 단열공간부를 구비하는 하부 리플렉터가 결합되며,
상기 하부 리플렉터는, 상기 하우징 지지대에 상하로 이격되게 배치되는 리플렉터판; 상기 리플렉터판 사이에 상기 단열공간부가 형성되도록 상기 리플렉터판 사이에 결합되어 상기 리플렉터판을 이격시키는 간격유지링; 및 상기 하우징 지지대에 결합되어 상기 리플렉터 및 상기 간격유지링을 상기 하우징 지지대에 고정하는 체결부재;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 증착원.
a housing on which the crucible for accommodating the deposition material is seated on the upper end; a heating unit detachable from the housing to heat the crucible; and a thermocouple connection part provided on the main flange to connect the heating part to an external controller, and to which a thermocouple of the housing is connected;
The thermocouple includes a thermal sensor fixed to the housing to sense a temperature; and a plurality of connection wires extending from the thermal sensor and connected to the thermocouple connection unit.
The thermocouple connection unit may include: a conducting member to which a plurality of terminal wires passing through the main flange are connected and fixed to a lower end portion, and the connecting wire is connected and fixed to an upper end portion; an insulating member supporting the conducting member to insulate the conducting member; and a protective cover coupled to the main flange to cover the conducting member and preventing flow of the conducting member and the insulating member, wherein the insulating member has a terminal insertion hole through which the terminal wire passes, a first insulating plate seated on the main flange and on which the conducting member is mounted; a second insulating plate having a wire insertion hole through which the connection wire passes and positioned at an upper end of the conducting member, and having a wire insertion hole through which the connection wire passes; a spacing plate provided between the first insulating plate and the second insulating plate to prevent contact of the conducting member; and an insulating tube for protecting the connection wire in contact with the conducting member through the wire insertion hole.
The housing may include a housing support fixed to the main flange and coupled to the thermocouple; an inner reflector seated and coupled to the housing support and formed in a hollow shape so that the heating unit is inserted into and fixed to the inner surface; a heater detachable support part provided in the internal reflector to support the heating part; and an external reflector which is formed in a hollow shape to cover the internal reflector and is seated on the housing support, and the lower end is assembled to the side of the internal reflector with bolts and fixed.
The housing support is coupled to the main flange by a fixed shaft, and a reflector assembly step that is inserted into and coupled to the lower ends of the inner reflector and the outer reflector, respectively, is formed, and a lower reflector having an insulating space on the upper surface is coupled. ,
The lower reflector may include a reflector plate disposed to be vertically spaced apart from the housing support; a gap maintaining ring coupled between the reflector plates to space the reflector plates apart so that the heat insulating space is formed between the reflector plates; and a fastening member coupled to the housing support to fix the reflector and the spacing ring to the housing support.
OLED evaporation source comprising a.
 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 히터탈착 지지부는, 상기 내부 리플렉터에 관통 형성되는 탈착홀부; 및
상기 탈착홀부를 통해 삽입되어 상기 내부 리플렉터의 내부에 위치하는 상기 가열부를 지지하도록 상기 내부 리플렉터에 탈착되는 히터지지 브래킷;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 증착원.
The method of claim 1,
The heater detachable support portion, a detachable hole formed through the internal reflector; and
a heater support bracket inserted through the detachable hole and detachable from the inner reflector to support the heating unit positioned inside the inner reflector;
OLED evaporation source comprising a.
 제 3 항에 있어서,
상기 히터지지 브래킷은, 상기 탈착홀부를 통해 삽입되어 상기 가열부를 지지하는 히터 지지판; 및
상기 히터 지지판에서 연장 형성되어 상기 외부 리플렉터의 외면에 걸림 지지되는 하우징 지지판;
을 포함하는 것을 특징으로 하는 오엘이디 증착원.
4. The method of claim 3,
The heater support bracket may include a heater support plate inserted through the detachable hole to support the heating unit; and
a housing support plate extending from the heater support plate and supported by being caught on the outer surface of the external reflector;
OLED evaporation source comprising a.
 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 히터지지 브래킷은, 상기 가열부가 삽입되어 고정되도록 히터 조립홈부가 형성되는 것을 특징으로 하는 오엘이디 증착원.
5. The method according to claim 3 or 4,
The heater support bracket, OLED deposition source, characterized in that the heater assembly groove is formed so that the heating part is inserted and fixed.
 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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