KR20220075621A

KR20220075621A - Point Evaporation Source

Info

Publication number: KR20220075621A
Application number: KR1020200163902A
Authority: KR
Inventors: 안오진
Original assignee: 주식회사 선익시스템
Priority date: 2020-11-30
Filing date: 2020-11-30
Publication date: 2022-06-08

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따르면, 튜브 형상의 리플렉터와; 상기 리플렉터의 내부에 배치되며, 상하 방향으로 골형부와 산형부가 반복적으로 형성되는 링 형태의 제1 열선 고정부와; 상기 리플렉터의 내부에 상기 제1 열선 고정부의 하부에 이격되어 배치되며, 상하 방향으로 골형부와 산형부가 반복적으로 형성되는 링 형태의 제2 열선 고정부와; 상기 제1 열선 고정부의 상기 골형부와 상기 제2 열선 고정부의 산형부 순차적으로 권선하는 열선과; 증발물질이 수용되며 상기 열선 사이에 삽입되는 도가니를 포함하는, 점 증발원이 제공된다.According to an embodiment of the present invention, a tube-shaped reflector; a first heating wire fixing part disposed inside the reflector and having a ring shape in which a trough part and a ridge part are repeatedly formed in the vertical direction; a second heating wire fixing part in the form of a ring disposed inside the reflector and spaced apart from the lower part of the first heating wire fixing part, and in which a trough part and a ridge part are repeatedly formed in the vertical direction; a hot wire for sequentially winding the valley-shaped part of the first hot wire fixing part and the mountain-shaped part of the second hot wire fixing part; A point evaporation source is provided, comprising a crucible in which evaporation material is accommodated and inserted between the heating wires.

Description

Point Evaporation Source

본 발명은 점 증발원에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 상하 방향으로 지그재그로 형성된 열선 고정부가 도가니의 지지플랜지를 지지함으로써 도가니의 지지에 따른 열선의 변형을 방지할 수 있고, 열선 고정부에 권선되는 열선의 권선 밀도를 결정하여 도가니를 효과적으로 가열할 수 있는 점 증발원에 관한 것이다.The present invention relates to a point evaporation source. More specifically, the hot wire fixing part formed in a zigzag in the vertical direction supports the support flange of the crucible, so that deformation of the hot wire according to the support of the crucible can be prevented, and the winding density of the hot wire wound on the hot wire fixing part is determined to remove the crucible. It relates to a point evaporation source capable of heating effectively.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic Light Emitting Diodes (OLEDs) are self-luminous devices that emit light by using the electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. Therefore, it is possible to manufacture a light-weight and thin flat panel display.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착법으로 기판 상에 증착된다.In the organic electroluminescent device, the remaining constituent layers excluding the anode and cathode electrodes, such as a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, are organic thin films, and these organic thin films are formed on a substrate by vacuum thermal evaporation. is deposited

진공열증착법은 진공의 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크(mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발원의 도가니를 가열하여 도가니에서 승화되는 유기물을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. In the vacuum thermal deposition method, a substrate is placed in a vacuum chamber, a mask on which a predetermined pattern is formed is aligned with the substrate, and then the crucible of an evaporation source is heated to deposit an organic material sublimed in the crucible on the substrate.

도가니를 가열하기 위해서 도가니의 외측에는 열선이 고정되어 있는 가열 히터가 마련되는데, 이러한 가열 히터는 도가니 전체를 고온으로 가열할 수 있어야 하며, 증착 과정에서 일정한 발열량이 지속적으로 유지되어야 한다.In order to heat the crucible, a heating heater having a fixed heating wire is provided on the outside of the crucible. This heating heater must be able to heat the entire crucible to a high temperature, and a constant calorific value must be continuously maintained during the deposition process.

도 1에는 종래 기술에 따른 점 증발원의 도가니 가열 히터가 도시되어 있다. 종래 기술에 따른 도가니 가열 히터는, 상하로 이격되어 있는 링 상의 절연판(12)과, 상하로 이격되어 있는 링 상의 절연판(12)에 도가니의 외주를 따라 상하로 지그재그 형태로 배치되는 열선(14)으로 구성된다. 링 상의 절연판(12)은 세라믹과 같은 내열 절연체로 이루어지며, 링 상의 절연판(12)에 열선(14)을 지그재그 형태로 배치하기 위해 링 상의 절연판(12)에는 일정 간격으로 홀이 형성된다. 가열 히터의 내부에는 도가니가 안착되어 가열되는데, 도가니 상단의 지지플랜지가 가열 히터 상단의 열선에 지지되면서 도가니가 가열 히터 내부에 안착된다. 1 shows a crucible heating heater of a point evaporation source according to the prior art. Crucible heating heater according to the prior art, a ring-shaped insulating plate 12 spaced up and down, and a ring-shaped insulating plate 12 spaced up and down along the outer periphery of the crucible in a zigzag form up and down the heating wire (14) is composed of The ring-shaped insulating plate 12 is made of a heat-resistant insulator such as ceramic, and holes are formed at regular intervals in the ring-shaped insulating plate 12 to arrange the heating wires 14 on the ring-shaped insulating plate 12 in a zigzag form. The crucible is seated and heated inside the heating heater, and the crucible is seated inside the heating heater while the support flange of the top of the crucible is supported by the heating wire of the top of the heating heater.

그런데, 도가니의 안착 시 도가니의 지지플랜지가 가열 히터의 상단 열선(14)을 가압함에 따라 가열 히터의 열선(14)이 변형되어 그 위치가 틀어져 정밀한 가열 온도의 제어가 어려운 문제가 있다.However, when the crucible is seated, as the support flange of the crucible presses the upper heating wire 14 of the heating heater, the heating wire 14 of the heating heater is deformed and its position is shifted, so it is difficult to precisely control the heating temperature.

한편, 도가니를 고온의 열로 가열하기 위해서는 가열 히터의 열선(14)이 서로 밀착되어 배치되어야 하고, 이에 따라 절연판(12)의 홀 또한 서로 밀착되게 형성할 필요가 있다. 이 경우, 홀 형성 과정에서 얇은 세라믹이 파손될 우려가 있어 링 상의 절연판(12)에 열선(14)의 밀도를 높이는데 한계가 있다.Meanwhile, in order to heat the crucible with high-temperature heat, the heating wires 14 of the heating heater must be arranged in close contact with each other, and accordingly, the holes of the insulating plate 12 need to be formed in close contact with each other. In this case, there is a risk that the thin ceramic may be damaged during the hole formation process, so there is a limit in increasing the density of the hot wire 14 in the ring-shaped insulating plate 12 .

대한민국 공개특허공보 제10-2007-0118917호 (2007년12월18일 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007-0118917 (published on December 18, 2007)

본 발명은 상하 방향으로 지그재그로 형성된 열선 고정부가 도가니의 지지플랜지를 지지함으로써 도가니의 지지에 따른 열선의 변형을 방지할 수 있고, 열선 고정부에 권선되는 열선의 권선 밀도를 결정하여 도가니를 효과적으로 가열할 수 있는 점 증발원을 제공하는 것이다.The present invention can prevent deformation of the hot wire according to the support of the crucible by the hot wire fixing part formed in a zigzag in the vertical direction by supporting the support flange of the crucible, and effectively heats the crucible by determining the winding density of the hot wire wound on the hot wire fixing part What can be done is to provide a point evaporation source.

상기 제1 열선 고정부의 골형부의 깊이는 상기 열선의 두께보다 크게 형성될 수 있다. A depth of the bone-shaped portion of the first hot wire fixing part may be formed to be greater than a thickness of the hot wire.

상기 도가니는, 상기 증발물질의 수용되는 도가니 본체와; 상기 도가니 본체의 상단의 외주를 따라 외측으로 연장되어 형성되는 지지플랜지를 포함할 수 있고, 상기 도가니의 상기 지지플랜지가 상기 제1 열선 고정부의 산형부에 지지될 수 있다.The crucible includes: a crucible body in which the evaporation material is accommodated; It may include a support flange extending outwardly formed along the outer periphery of the upper end of the crucible body, the support flange of the crucible may be supported by the umbel of the first hot wire fixing part.

상기 제1 열선 고정부 및 제2 열선 고정부 중 어느 하나 이상의 골형부와 산형부의 피치(pitch) 간격에 따라 열선을 권선 밀도를 조절할 수 있다.The density of winding the hot wire may be adjusted according to a pitch interval of at least one of the first and second hot wire fixing parts and the ridge part and the ridge part.

상기 제1 열선 고정부와 상기 제2 열선 고정부는 절연질의 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.The first hot wire fixing part and the second hot wire fixing part may be made of an insulating ceramic material.

상기 제1 열선 고정부와 상기 제2 열선 고정부가 상기 리플렉터의 내측에 서로 이격되어 고정되도록 상기 리플렉터의 내면에는 상기 제1 열선 고정부와 상기 제2 열선 고정부를 지지하는 고정돌기가 형성될 수 있다.A fixing protrusion for supporting the first heating wire fixing part and the second heating wire fixing part may be formed on the inner surface of the reflector so that the first hot wire fixing part and the second heating wire fixing part are spaced apart from each other and fixed inside the reflector have.

본 발명의 실시예에 따르면, 상하 방향으로 지그재그로 형성된 열선 고정부가 도가니의 지지플랜지를 지지함으로써 도가니의 지지에 따른 열선의 변형을 방지할 수 있고, 열선 고정부에 권선되는 열선의 권선 밀도를 결정하여 도가니를 효과적으로 가열할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the hot wire fixing unit formed in a zigzag in the vertical direction supports the support flange of the crucible, thereby preventing deformation of the hot wire according to the support of the crucible, and determining the winding density of the hot wire wound on the hot wire fixing unit Thus, the crucible can be effectively heated.

도 1은 종래 기술에 따른 점 증발원의 가열 히터를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 분해된 상태를 도시한 도면
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 결합된 상태를 도시한 도면.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 가열 히터의 구성을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 열선 고정부를 도시한 도면.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 가열 히터의 조립 상태를 설명하기 위한 도면.1 is a view showing a heating heater of a point evaporation source according to the prior art.
2 is a view showing a decomposed state of a point evaporation source according to an embodiment of the present invention;
Figure 3 is a view showing a coupled state of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining the configuration of a heating heater of a point evaporation source according to an embodiment of the present invention.
5 is a view showing a fixing part of the hot wire of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention.
6 is a view for explaining the assembly state of the heating heater of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known technology may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "have" are intended to designate that a feature, number, step, operation, component, part, or a combination thereof described in the specification exists, but one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 본 발명에 의한 점 증발원을 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, the point evaporation source according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. do it with

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 분해된 상태를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 결합된 상태를 도시한 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 가열 히터의 구성을 설명하기 위한 도면이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 열선 고정부를 도시한 도면이며, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 점 증발원의 가열 히터의 조립 상태를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 2 is a view showing a decomposed state of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a view showing a combined state of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention. 4 is a view for explaining the configuration of a heating heater of a point evaporation source according to an embodiment of the present invention, 6 is a view for explaining an assembly state of the heating heater of the point evaporation source according to an embodiment of the present invention.

도 2 내지 도 6에는, 도가니(12), 도가니 본체(14), 지지플랜지(16), 리플렉터(17), 골형부(18), 산형부(19), 제1 열선 고정부(20), 제2 열선 고정부(22), 열선(24), 전원선(25), 하우징(26), 가열 히터(27), 상부덮개(28), 하부덮개(30), 고정돌기(32)가 도시되어 있다. 2 to 6, the crucible 12, the crucible body 14, the support flange 16, the reflector 17, the bone-shaped portion 18, the mountain-shaped portion 19, the first hot wire fixing portion 20, A second heating wire fixing part 22, a heating wire 24, a power wire 25, a housing 26, a heating heater 27, an upper cover 28, a lower cover 30, and a fixing protrusion 32 are shown. has been

본 실시예에 따른 점 증발원은, 튜브 형상의 리플렉터(17)와; 리플렉터(17)의 내부에 배치되며, 상하 방향으로 골형부(18)와 산형부(19)가 반복적으로 형성되는 링 형태의 제1 열선 고정부(20)와; 리플렉터(17)의 내부에 제1 열선 고정부(20)의 하부에 이격되어 배치되며, 상하 방향으로 골형부(18)와 산형부(19)가 반복적으로 형성되는 링 형태의 제2 열선 고정부(22)와; 제1 열선 고정부(20)의 골형부(18)의 상단과 제2 열선 고정부(22)의 산형부(19)의 하단을 순차적으로 권선하는 열선(24)과; 증발물질이 수용되며 열선(24) 사이에 삽입되는 도가니(12)를 포함한다.The point evaporation source according to the present embodiment, the tube-shaped reflector 17 and; It is disposed inside the reflector 17, and the first hot wire fixing part 20 in the form of a ring in which the valley part 18 and the ridge part 19 are repeatedly formed in the vertical direction; A second hot wire fixing part in a ring shape which is spaced apart from the lower part of the first hot wire fixing part 20 inside the reflector 17 and in which the trough 18 and the ridge 19 are repeatedly formed in the vertical direction. (22) and; a hot wire 24 for sequentially winding the upper end of the trough portion 18 of the first hot wire fixing unit 20 and the lower end of the ridge 19 of the second hot wire fixing unit 22; The evaporation material is accommodated and includes a crucible (12) inserted between the heating wire (24).

본 실시예에 따른 점 증발원을 설명하기 전에, 증발물질의 증발을 일으키는 도가니(12)에 대해 설명한다. 도가니(12)에는 증발물질이 내부에 수용되며 가열 히터(27)의 가열에 따라 기체 상태의 증발물질이 도가니(12)에서 증발된다. Before describing the point evaporation source according to the present embodiment, the crucible 12 causing evaporation of the evaporation material will be described. The crucible 12 contains an evaporation material therein, and the evaporation material in a gaseous state is evaporated in the crucible 12 according to the heating of the heating heater 27 .

도 2를 참조하면, 도가니(12)는 점 증발원의 형태에 맞게 증발물질이 수용되는 용기 형상의 도가니 본체(14)와, 도가니 본체(14)의 상단에서 외주를 따라 외측으로 연장되는 지지플랜지(16)를 포함한다. 지지플랜지(16)는 점 증발원에 도가니(12)를 안착할 때 열선 고정부(20)에 지지되면서 도가니(12)의 제 위치를 설정할 수 있다.2, the crucible 12 is a crucible body 14 in the shape of a container in which evaporation materials are accommodated according to the shape of the point evaporation source, and a support flange extending outward along the outer periphery from the top of the crucible body 14 ( 16) is included. The support flange 16 may set the position of the crucible 12 while being supported by the hot wire fixing unit 20 when the crucible 12 is seated on the point evaporation source.

리플렉터(17)는, 상하단이 개방된 튜브 형상의 부재로서, 내부에 도가니(12)가 배치되도록 도가니(12)의 외주면을 둘러싸게 된다. 리플렉터(17)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 상단부와 하단부가 개방된 형태의 튜브 형상으로서, 리플렉터(17)의 내부에는 열선(24)이 권선되는 열선 고정부(20, 22)가 위치한다. The reflector 17 is a tube-shaped member with upper and lower ends open, and surrounds the outer circumferential surface of the crucible 12 so that the crucible 12 is disposed therein. As shown in FIG. 2 , the reflector 17 is a tube shape with an open upper end and a lower end, and the hot wire fixing parts 20 and 22 on which the hot wire 24 is wound are located inside the reflector 17 . do.

리플렉터(17)는, 그 내부에 위치한 열선(24)에서 방출되는 복사열을 도가니(12) 측으로 반사하는데, 이를 통해, 열선(24)에서 방출되는 복사열 에너지의 낭비를 최소화할 수 있으며, 복사열 에너지가 도가니(12)를 향해 집중적으로 방출됨으로써 도가니(12) 내 유기물의 증발 작용을 보다 촉진할 수 있다.The reflector 17 reflects the radiant heat emitted from the heating wire 24 located therein toward the crucible 12, and through this, it is possible to minimize the waste of radiant energy emitted from the heating wire 24, and the radiant heat energy By being intensively discharged toward the crucible 12 , the evaporation of organic matter in the crucible 12 may be further promoted.

본 실시예의 경우, 튜브 형상의 리플렉터(17)는, 예를 들어 사각형 금속판을 둥글게 말아서 상호 접하는 양단부를 용접 등의 방법으로 접합시키는 방식으로 제작될 수 있다.In the present embodiment, the tube-shaped reflector 17 may be manufactured, for example, by rolling a rectangular metal plate in a circle and joining both ends in contact with each other by welding or the like.

제1 열선 고정부(20)와 제2 열선 고정부(22)는, 열선(24)이 권선되어 도가니(12)를 가열하는 가열 히터(27)를 구성한다. 제1 열선 고정부(20)와 제2 열선 고정부(22)는, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 상하 방향으로 골형부(18)와 산형부(19)가 반복적으로 형성되는 링 형태의 부재로서, 리플렉터(17)의 내부에 서로 이격되어 상하부에 각각 위치하며, 후술할 열선(24)이 골형부(18)와 산형부(19)에 권선된다.The first heating wire fixing part 20 and the second heating wire fixing part 22 constitute a heating heater 27 in which the heating wire 24 is wound to heat the crucible 12 . As shown in FIGS. 2 and 4 , the first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 is a ring in which the trough 18 and the ridge 19 are repeatedly formed in the vertical direction. As a member of the shape, they are spaced apart from each other inside the reflector 17 , respectively, and are located at the upper and lower parts, and a hot wire 24 to be described later is wound around the trough 18 and the ridge 19 .

열선(24)은, 제1 열선 고정부(20)의 골형부(18)와 제2 열선 고정부(22)의 산형부(19)의 하단을 순차적으로 권선하여 원통 형상을 형성하며, 원통 형상의 열선(24) 내부에 도가니(12)가 삽입된다.The hot wire 24 sequentially winds the lower end of the valley part 18 of the first hot wire fixing part 20 and the ridge part 19 of the second hot wire fixing part 22 to form a cylindrical shape, and has a cylindrical shape. The crucible 12 is inserted into the heating wire 24 of the.

도 4를 참조하면, 상하에 배치되는 제1 열선 고정부(20)와 제2 열선 고정부(22)에 대해, 열선(24)이 상부에 위치하는 제1 열선 고정부(20)의 골형부(18)와 하부에 위치하는 제2 열선 고정부(22)의 산형부(19)를 순차적으로 지그재그 형태로 감아 도가니(12)를 가열하는 가열 히터(27)를 구성하게 된다. Referring to FIG. 4 , with respect to the first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 disposed up and down, the bone-shaped part of the first hot wire fixing part 20 in which the hot wire 24 is located on the upper part (18) and the ridge part 19 of the second heating wire fixing part 22 located at the lower part is sequentially wound in a zigzag form to constitute a heating heater 27 for heating the crucible 12.

이때, 제1 열선 고정부(20)의 골형부(18)의 깊이를 열선(24)의 두께 보다 크게 형성하여 권선되는 열선(24)의 상단이 제1 열선 고정부(20)의 산형부(19) 위로 노출되지 않도록 구성할 수 있다. 이에 따라 도가니(12)가 원통 형상의 가열 히터(27)에 삽입될 때 도가니(12)의 지지플랜지(16)가 제1 열선 고정부(20)의 최상단의 산형부(19)에 지지되어 열선(24)이 도가니(12)의 지지플랜지(16)에 닿지 않게 되어 도가니(12)를 가열하는 열선(24)의 변형이 방지된다.At this time, the upper end of the hot wire 24 wound by forming the depth of the trough 18 of the first hot wire fixing part 20 to be greater than the thickness of the hot wire 24 is the mountain-shaped part of the first hot wire fixing part 20 ( 19) It can be configured not to be exposed upwards. Accordingly, when the crucible 12 is inserted into the heating heater 27 having a cylindrical shape, the support flange 16 of the crucible 12 is supported by the umbel 19 of the uppermost end of the first heating wire fixing part 20, the heating wire (24) does not come into contact with the support flange (16) of the crucible (12), the deformation of the heating wire (24) for heating the crucible (12) is prevented.

한편, 제1 열선 고정부(20) 및 제2 열선 고정부(22) 중 어느 하나 이상의 골형부(18)와 산형부(19)의 피치(pitch) 간격에 따라 열선(24)을 권선 밀도를 조절할 수 있다. 열선 고정부(20, 22)가 골형부(18)와 산형부(19)가 반복적으로 형성되는 지그재그 형태일 때, 한 골형부(18)와 다음 골형부(18)까지의 간격 또는 한 산형부(19)와 다음 산형부(19)까지의 간격을 피치 간격이라고 할 수 있는데, 피치 간격에 따라 권선되는 열선(24)의 권선 밀도가 달라질 수 있다. 예컨대, 피치 간격이 작을 때는 권선되는 열선(24)의 간격 또한 작아져 열선(24)의 권선 밀도가 증가하게 되고, 피치 간격이 클 때는 권선되는 열선(24)의 간격 또한 커져서 권선 밀도가 증가한다. 이에 따라 도가니(12)의 크기, 열적 성질에 따라 도가니(12) 내부의 증발물질을 적절하게 가열할 수 있도록 열선 고정부(20, 22)의 피치 간격을 결정하여 열선(24)의 권선 밀도를 조절할 수 있다.On the other hand, the winding density of the hot wire 24 according to the pitch interval of the trough 18 and the ridge 19 of any one or more of the first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 is determined. can be adjusted When the hot wire fixing parts 20 and 22 are in a zigzag form in which the trough 18 and the ridge 19 are repeatedly formed, the interval between one trough 18 and the next trough 18 or one ridge The interval between (19) and the next angular portion 19 may be referred to as a pitch interval, and the winding density of the hot wire 24 to be wound may vary according to the pitch interval. For example, when the pitch interval is small, the spacing of the hot wires 24 wound is also small, so that the winding density of the hot wires 24 is increased. . Accordingly, according to the size and thermal properties of the crucible 12, the pitch spacing of the heating wire fixing parts 20 and 22 is determined so that the evaporation material inside the crucible 12 can be appropriately heated to determine the winding density of the heating wire 24. can be adjusted

열선(24)이 권선되는 제1 열선 고정부(20) 및 제2 열선 고정부(22)는 고열에 강한 절연질의 세라믹 재질로 이루어질 수 있다. 제1 열선 고정부(20)와 제2 열선 고정부(22)를 고열에 강한 절연질의 세라믹 재질을 사용함으로써 리플렉터(17)로 전달되는 것을 최소화할 수 있으며, 열선(24)을 따라 흐르는 전류가 리플렉터(17)의 외부로 흐르는 것을 차단하여 안전 사고를 예방할 수 있다. The first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 on which the hot wire 24 is wound may be made of an insulating ceramic material resistant to high heat. By using an insulating ceramic material strong against high heat for the first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 , it is possible to minimize transmission to the reflector 17 , and the current flowing along the hot wire 24 is It is possible to prevent a safety accident by blocking the flow to the outside of the reflector (17).

도 6에는 본 실시예에 따른 점 증발원의 가열 히터의 조립 상태가 도시되어 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 열선 고정부(20)와 제2 열선 고정부(22)가 리플렉터(17)의 내측에 각각 서로 이격되어 고정될 수 있도록, 리플렉터(17)의 내면에는 고정돌기(32)가 형성될 수 있다. 6 shows an assembly state of the heating heater of the point evaporation source according to the present embodiment. As shown in FIG. 6 , the first hot wire fixing part 20 and the second hot wire fixing part 22 are fixed to the inner surface of the reflector 17 so that they can be fixedly spaced apart from each other inside the reflector 17 , respectively. A protrusion 32 may be formed.

고정돌기(32)는, 리플렉터(17)에 서로 교차하는 십(十) 형태의 슬릿을 형성하고, 서로 교차하는 슬릿이 형성하는 모서리를 리플렉터(17)의 내측으로 가압함으로써 고정돌기(32)가 형성될 수 있다.The fixing protrusion 32 forms a slit in the form of ten intersecting each other in the reflector 17, and pressing the corners formed by the intersecting slits to the inside of the reflector 17, so that the fixing protrusion 32 is can be formed.

이러한 고정돌기(32)는 리플렉터(17)의 내주면 상에 상하방향으로 이격되어 설치되는 열선 고정부의 개수에 상응하여 복수 개가 리플렉터(17) 상에 형성될 수 있다.A plurality of fixing protrusions 32 may be formed on the reflector 17 to correspond to the number of heating wire fixing parts installed to be vertically spaced apart from each other on the inner circumferential surface of the reflector 17 .

한편, 본 실시예에 따른 점 증발원은, 내부에 리플렉터(17)가 삽입되는 튜브 형상의 하우징(26)과, 하우징(26)의 상단을 커버하는 상부 덮개 및 하부 덮개를 포함한다.Meanwhile, the point evaporation source according to the present embodiment includes a tube-shaped housing 26 into which the reflector 17 is inserted, and an upper cover and a lower cover that cover the upper end of the housing 26 .

하우징(26)은, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 리플렉터(17)의 외주면을 둘러싸도록 리플렉터(17)와 마찬가지로 상단부와 하단부가 개방된 형태의 튜브 형상을 가질 수 있다. As shown in FIGS. 2 and 3 , the housing 26 may have a tube shape in which the upper end and the lower end are open like the reflector 17 so as to surround the outer circumferential surface of the reflector 17 .

이와 같이, 하우징(26)이 리플렉터(17)를 둘러싸는 형태로 배치됨으로써, 도가니(12)를 둘러싸는 이중 구조의 하우징(26) 몸체를 형성할 수 있다. 이렇게 이중 구조의 하우징(26) 몸체를 형성함으로써, 열선(24)에서 제공되는 복사열이 외부로 흘려가지 않고 내부에 위치한 도가니(12)로 보다 집중될 수 있다.As described above, the housing 26 is disposed in a shape surrounding the reflector 17 , thereby forming the housing 26 body having a dual structure surrounding the crucible 12 . By forming the housing 26 body of the double structure in this way, the radiant heat provided from the heating wire 24 can be more concentrated to the crucible 12 located inside without flowing to the outside.

그리고, 단열효과를 더 높이기 위해 리플렉터(17)와 하우징(26) 사이에는 보온 시트(미도시)가 개재될 수 있으며, 이에 따라 리플렉터(17)를 통과한 열이 리플렉터(17)와 하우징(26) 사이의 보온 시트 상에 머물게 함으로써 단열효과를 더 높일 수 있다.In addition, a heat insulating sheet (not shown) may be interposed between the reflector 17 and the housing 26 in order to further enhance the insulation effect, and accordingly, the heat passing through the reflector 17 is transferred to the reflector 17 and the housing 26 . ), the insulation effect can be further enhanced by staying on the insulation sheet between the

상부덮개(28)는 리플렉터(17)와 하우징(26) 사이의 상단을 커버하기 위해 링 형상으로 형성될 수 있으며, 하부덮개(30)는 리플렉터(17)와 하우징(26) 사이와 리플렉터(17)의 하단을 커버하여 열이 하부로 방출되는 것을 최소화하기 위해 판 형태로 형성될 수 있다. The upper cover 28 may be formed in a ring shape to cover the upper end between the reflector 17 and the housing 26 , and the lower cover 30 is formed between the reflector 17 and the housing 26 and the reflector 17 . ) can be formed in a plate shape to cover the lower end of the plate to minimize heat dissipation to the lower part.

가열 히터(27)의 열선(24)에 전원 공급하기 위해 열선(24)의 전원선(25)이 하부덮개(30)를 통과하여 하우징(26)의 외측으로 연장될 수 있으며, 연장된 열선(24)에 전원을 연결하여 히터에 전원을 공급할 수 있다.In order to supply power to the heating wire 24 of the heating heater 27, the power wire 25 of the heating wire 24 may pass through the lower cover 30 and extend to the outside of the housing 26, and the extended heating wire ( 24) can be connected to supply power to the heater.

상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to specific embodiments of the present invention, those of ordinary skill in the art may vary the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. It will be understood that modifications and changes can be made to

12: 도가니 14: 도가니 본체
16: 지지플랜지 17: 리플렉터
18: 골형부 19: 산형부
20: 제1 열선 고정부 22: 제2 열선 고정부
24: 열선 25: 전원선
26: 하우징 27: 가열 히터
28: 상부덮개 30: 하부덮개
32: 고정돌기12: crucible 14: crucible body
16: support flange 17: reflector
18: bone part 19: umbel part
20: first hot wire fixing part 22: second hot wire fixing part
24: hot wire 25: power wire
26: housing 27: heating heater
28: upper cover 30: lower cover
32: fixing protrusion

Claims

a tube-shaped reflector;
a first heating wire fixing part disposed inside the reflector and having a ring shape in which a trough part and a ridge part are repeatedly formed in the vertical direction;
a second hot wire fixing part in the form of a ring disposed inside the reflector and spaced apart from the lower part of the first heating wire fixing part, and in which a trough part and a ridge part are repeatedly formed in the vertical direction;
a hot wire for sequentially winding the valley-shaped part of the first hot wire fixing part and the mountain-shaped part of the second hot wire fixing part;
A point evaporation source comprising a crucible in which the evaporation material is accommodated and is inserted between the heating wires.

According to claim 1,
A point evaporation source, characterized in that the depth of the bone-shaped portion of the first hot wire fixing portion is formed to be greater than the thickness of the hot wire.

3. The method of claim 2,
The crucible is
a crucible body in which the evaporation material is accommodated;
and a support flange extending outwardly along the outer periphery of the upper end of the crucible body,
The point evaporation source, characterized in that the support flange of the crucible is supported by the ridge portion of the first hot wire fixing part.

According to claim 1,
A point evaporation source, characterized in that the winding density of the hot wire is adjusted according to a pitch interval of at least one of the first hot wire fixing part and the second hot wire fixing part.

According to claim 1,
The first hot wire fixing part and the second hot wire fixing part are made of an insulating ceramic material, a point evaporation source.

According to claim 1,
A fixing protrusion for supporting the first heating wire fixing part and the second heating wire fixing part is formed on the inner surface of the reflector so that the first hot wire fixing part and the second heating wire fixing part are spaced apart from each other and fixed inside the reflector Characterized by a point evaporation source.