KR20150017509A - Heater block for evaporation source - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 증발원용 히터블록에 관한 것으로, 보다 상세하게는 조립이 용이하며 가공 후에도 변형을 최소화할 수 있는 구조를 가진 증발원용 히터블록에 관한 것이다.The present invention relates to a heater block for an evaporation source, and more particularly, to a heater block for an evaporation source having a structure that is easy to assemble and minimizes deformation even after processing.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.BACKGROUND ART Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-light emitting devices that emit light by using an electroluminescent phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound. A backlight for applying light to a non- Therefore, a lightweight thin flat panel display device can be manufactured.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and is emerging as a next generation display device. Particularly, since the manufacturing process is simple, it is advantageous in that the production cost can be saved more than the conventional liquid crystal display device.
유기 전계 발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열 증착방법으로 기판 상에 증착된다.The organic electroluminescent device comprises an organic thin film such as a hole injecting layer, a hole transporting layer, a light emitting layer, an electron transporting layer, and an electron injecting layer which are the remaining constituent layers except for the anode and the cathode. / RTI >
진공열 증착방법은 진공 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)를 기판에 정렬시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. 증발원은 통상 도가니와 그 위에 연결되는 노즐부로 이루어지는데, 가열되어 이동하던 증발입자가 노즐부의 내벽에 증착되는 문제와, 증발입자의 이동에 영향을 미치는 노즐부 내부의 열분포 문제 등을 해결하기 위하여 노즐부에 대해서도 가열이 이루어질 필요가 있다.In the vacuum thermal deposition method, a substrate is disposed in a vacuum chamber, a shadow mask having a predetermined pattern is aligned on a substrate, heat is applied to an evaporation source containing the evaporation material, Evaporation. The evaporation source is usually composed of a crucible and a nozzle part connected to the crucible. In order to solve the problem that evaporated particles which are heated and moved are deposited on the inner wall of the nozzle part and the thermal distribution problem inside the nozzle part, It is necessary to perform heating also for the parts.
종래에는 이를 위하여 피복 타입의 히터를 노즐부의 표면에 부착하는 접촉식 가열방법을 이용하였으나, 이는 제작 재현성이 낮고, 전기적 절연체로 산화마그네슘(MgO)을 사용하게 됨으로써 진공 챔버 내 불순물이 발생하게 되는 문제가 있었다.Conventionally, a contact type heating method in which a coating type heater is attached to the surface of a nozzle portion has been used for this purpose. However, since the manufacturing reproducibility is low and magnesium oxide (MgO) is used as an electrical insulator, impurities in the vacuum chamber are generated .
따라서, 본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 조립이 용이하며 가공 후에도 변형을 최소화할 수 있는 구조를 가진 증발원용 히터블록을 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a heater block for an evaporation source having a structure that is easy to assemble and can minimize deformation even after processing.
본 발명의 다른 목적은 열선에 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있는 구조를 가진 증발원용 히터블록을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a heater block for an evaporation source having a structure capable of preventing a short circuit from occurring in a hot line.
본 발명의 또 다른 목적은 열선에서 발생하는 열이 노즐부로 집중될 수 있는 구조를 가진 증발원용 히터블록을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a heater block for an evaporation source having a structure in which heat generated from a heat line can be concentrated to a nozzle portion.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명은 가열된 증발물질이 통과하는 노즐부; 상기 노즐부를 감싸도록 설치되는 열선; 및 상기 열선을 감싸도록 설치되는 반사판을 포함하고, 상기 노즐부와 열선의 사이에는 제1 절연블록이 설치되고, 상기 열선과 반사판의 사이에는 제2 절연블록이 설치될 수 있다. According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a semiconductor device including a nozzle unit through which heated evaporation material passes; A heating wire installed to surround the nozzle unit; And a reflection plate installed to surround the heating wire. A first insulation block is provided between the nozzle unit and the heating wire, and a second insulation block is provided between the heating wire and the reflection plate.
상기 반사판의 외면은 다각면 구조일 수 있다. The outer surface of the reflection plate may have a polyhedral structure.
상기 반사판의 외면은 팔각면 구조일 수 있다. The outer surface of the reflection plate may have an octagonal surface structure.
상기 반사판은, 제1 반사판 및; 상기 제1 반사판을 감싸도록 설치되는 제2 반사판을 포함할 수 있다. The reflection plate includes: a first reflection plate; And a second reflector installed to surround the first reflector.
상기 제2 반사판의 외면은 다각면 구조일 수 있다.The outer surface of the second reflector may have a polygonal surface.
상기 제2 반사판의 외면은 팔각면 구조일 수 있다. The outer surface of the second reflection plate may have an octagonal surface structure.
상기 열선, 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록은 한 쌍으로 구성되고, 각각의 열선, 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록이 결합된 상태에서 상기 노즐부를 중심으로 양측에서 결합될 수 있다. The heat ray, the reflection plate, the first insulation block, and the second insulation block are formed in a pair, and the heat ray, the reflection plate, the first insulation block, and the second insulation block are coupled to each other, .
상기 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록에는 각각 체결공이 형성되어 상기 노즐부에 체결될 수 있다. The reflection plate, the first insulation block, and the second insulation block may each have a fastening hole to be fastened to the nozzle unit.
본 발명에 의하면, 절연블록, 열선, 반사판이 하나의 어셈블리로 조립된 상태에서 노즐부에 결합되도록 하여 조립이 용이하며, 반사판의 외면을 다각면 구조로 구성하여 가공 시 반사판의 위치 정밀도를 높이고 가공 후 변형이 발생하는 것을 최소화할 수 있다. According to the present invention, it is possible to assemble an insulating block, a heat ray, and a reflector in a state where they are assembled with one assembly and to be assembled to the nozzle portion, and the outer surface of the reflector is formed into a polygonal surface structure, It is possible to minimize the occurrence of post-warpage.
또한, 제1 절연블록이 노즐부와 열선 사이에 배치되고 제2 절연블록이 열선과 반사판 사이에 배치됨으로써, 열선에 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다.Further, the first insulating block is disposed between the nozzle portion and the hot wire, and the second insulating block is disposed between the hot wire and the reflector, thereby preventing a short circuit from occurring in the hot wire.
또한, 반사판을 두 개로 구성하고 각각에서 반사가 이루어질 수 있도록 하여 열선에서 발생하는 열이 노즐부로 보다 집중될 수 있다.In addition, two reflectors are provided and the reflection can be made in each of them, so that the heat generated from the heat ray can be more concentrated into the nozzle portion.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 히터블록의 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 히터블록의 단면도.1 is a perspective view of a heater block for an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
2 is a sectional view of a heater block for an evaporation source according to an embodiment of the present invention;
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.While the invention is susceptible to various modifications and alternative forms, specific embodiments thereof are shown by way of example in the drawings and will herein be described in detail. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular embodiments, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof.
이하에서는 본 발명에 의한 증발원용 히터블록의 일 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a heater block for an evaporation source according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 히터블록의 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 증발원용 히터블록의 단면도이다.FIG. 1 is a perspective view of a heater block for an evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a sectional view of a heater block for an evaporation source according to an embodiment of the present invention.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 증발원용 히터블록은 가열된 증발물질이 통과하는 노즐부(1)를 중심으로 제1 절연블록(10), 열선(20), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)이 차례로 결합된다. 본 실시예에서는 제1 절연블록(10), 열선(20), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)이 한 쌍으로 구성되어 노즐부(1)를 중심으로 양측에서 결합될 수 있다. 보다 구체적으로 제1 절연블록(10), 열선(20), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)은 하프 파이프(Half-pipe) 형상으로 형성되어 서로 결합될 수 있다.The heater block for an evaporation source according to the present invention includes a
노즐부(1)의 하단에는 도가니(미도시)가 연결되어 있다. 따라서, 도가니에서 증발물질이 가열되어 노즐부(1)로 유입된다. 노즐부(1)는 대략 'T'자 형상으로 형성되며, 상단에 다수의 노즐이 소정의 간격을 가지고 배치될 수 있다.A crucible (not shown) is connected to the lower end of the
제1 절연블록(10)은 노즐부(1)를 감싸도록 설치되며, 노즐부(1)와 열선(20) 사이에 배치된다. 이와 같이 제1 절연블록(10)이 노즐부(1)와 열선(20) 사이에 배치됨으로써, 열선(20)에 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The
열선(20)은 소정의 패턴으로 수회 절곡되는 형상을 가지며, 열선(20)의 양단을 통해 인가되는 전원에 의해 열선(20)에서는 열이 발생하게 된다. 그리고, 제2 절연블록(30)은 열선(20)을 감싸도록 설치되며, 열선(20)과 반사판(40) 사이에 배치됨으로써 열선(20)에 쇼트가 발생하는 것을 방지할 수 있다. The
다음으로, 반사판(40)은 히터블록을 보호하는 하우징으로서, 탄탈륨(Ta, tantalum)과 같은 소재로 만들어질 수 있다. 반사판(40)의 내측면은 열선(20)에서 발생하는 열을 반사시켜 노즐부(1) 방향으로 집중시키는 역할을 수행한다. Next, the
본 실시예에서 반사판(40)은 제1 반사판(42) 및 제1 반사판(42)을 감싸도록 설치되는 제2 반사판(44)을 포함할 수 있다. 이와 같이 본 실시예에서는 반사판(40)을 두 개로 구성하고 각각에서 반사가 이루어질 수 있도록 하여 열선(20)에서 발생하는 열이 노즐부(1)로 보다 집중될 수 있도록 하였다. In this embodiment, the
또한, 최외곽에 위치한 제2 반사판(44)은 본 실시예에서 외면이 다각면 구조를 가진다. 즉, 도 2를 참조할 때, 제2 반사판(44)은 2개가 결합된 상태에서 팔각면 구조를 가질 수 있다. 본 실시예에서 제2 반사판(44)의 외면을 다각면 구조로 한 것은 가공 시 제2 반사판(44)의 위치 정밀도를 높이고 가공 후 변형이 발생하는 것을 최소화하기 위한 것이다. In addition, the
보다 구체적으로 설명하면, 예를 들어 제2 반사판(44)의 외면을 원형으로 할 경우 제작 과정에서 변형에 의해 치수공차가 커질 수 있다. 즉, 제2 반사판(44)의 외면이 하나의 원형으로 이루어져 있기 때문에 변형이 발생할 수 있는 것이다. 따라서, 2개로 구성된 제2 반사판(44)의 결합 시 결합 위치가 틀어지는 문제가 발생할 수 있다. 하지만, 본 실시예에서와 같이 제2 반사판(44)의 외면을 다각면 구조로 하게 되면 다각면 각각에서 약간의 변형이 발생하여도 전체적인 변형에 큰 영향을 끼치지 않기 때문에 치수공차를 최소화할 수 있게 되고, 결과적으로 제2 반사판(44)의 결합 시 결합 위치가 정밀하게 설정될 수 있다. 또한, 제2 반사판(44)의 결합 후에도 변형을 최소화할 수 있는 장점이 있다. More specifically, for example, when the outer surface of the
한편, 본 실시예에서는 조립성을 높이기 위해서 제1 절연블록(10), 열선(20), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)을 하나로 조립한 후에 노즐부(1)에 결합시키는 것이 바람직하다. 즉, 상기 구성을 하나로 조립한 조립체 2개를 노즐부(1)를 중심으로 양측에서 결합시키는 것이다. 이를 위해 제1 절연블록(10), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)에는 각각 체결공(12,32,43,45)을 형성하고 볼트, 너트와 같은 체결수단을 이용하여 하나로 결합할 수 있다. 이때, 열선(20)에는 체결공을 형성하지 않고 제1 절연블록(10), 제2 절연블록(30)의 사이에서 결합될 수 있도록 한다. In this embodiment, the
이와 같이 제1 절연블록(10), 열선(20), 제2 절연블록(30) 및 반사판(40)을 하나의 어셈블리로 결합한 상태에서 중앙에 위치한 노즐부(1)에 양측에서 각각 결합시키면, 전체적으로 히터블록의 조립성이 향상될 수 있다. 또한, 노즐부(1)에서 상기 어셈블리만 분리하면 쉽게 유지보수가 가능한 장점이 있다. When the first insulating
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 다양한 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It belongs to the scope of right.
1 : 노즐부 10 : 제1 절연블록
12 : 체결공 20 : 열선
30 : 제2 절연블록 32 : 체결공
40 : 반사판 42: 제1 반사판
43 : 체결공 44 : 제2 반사판
45 : 체결공1: nozzle unit 10: first insulating block
12: fastening hole 20: hot wire
30: second insulation block 32: fastening hole
40: reflector 42: first reflector
43: fastening hole 44: second reflector
45: fastening ball
Claims (8)
상기 노즐부를 감싸도록 설치되는 열선; 및
상기 열선을 감싸도록 설치되는 반사판을 포함하고,
상기 노즐부와 열선의 사이에는 제1 절연블록이 설치되고, 상기 열선과 반사판의 사이에는 제2 절연블록이 설치되는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.A nozzle portion through which the heated evaporated material passes;
A heating wire installed to surround the nozzle unit; And
And a reflector installed to surround the hot wire,
Wherein a first insulating block is provided between the nozzle unit and the hot wire, and a second insulating block is provided between the hot wire and the reflector.
상기 반사판의 외면은 다각면 구조인 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.The method according to claim 1,
Wherein an outer surface of the reflector has a polygonal surface structure.
상기 반사판의 외면은 팔각면 구조인 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.3. The method of claim 2,
And the outer surface of the reflection plate is an octagonal surface structure.
제1 반사판 및;
상기 제1 반사판을 감싸도록 설치되는 제2 반사판을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.The liquid crystal display according to claim 1,
A first reflector;
And a second reflector installed to surround the first reflector.
상기 제2 반사판의 외면은 다각면 구조인 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.5. The method of claim 4,
And the outer surface of the second reflector has a polygonal surface structure.
상기 제2 반사판의 외면은 팔각면 구조인 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.6. The method of claim 5,
Wherein an outer surface of the second reflector has an octagonal surface structure.
상기 열선, 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록은 한 쌍으로 구성되고, 각각의 열선, 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록이 결합된 상태에서 상기 노즐부를 중심으로 양측에서 결합되는 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.The method according to claim 1,
The heat ray, the reflection plate, the first insulation block, and the second insulation block are constituted by a pair, and the heat ray, the reflection plate, the first insulation block and the second insulation block are coupled to each other at both sides of the nozzle portion Wherein the heater block is provided with a plurality of heaters.
상기 반사판, 제1 절연블록 및 제2 절연블록에는 각각 체결공이 형성되어 상기 노즐부에 체결되는 것을 특징으로 하는 증발원용 히터블록.
8. The method of claim 7,
Wherein the reflection plate, the first insulation block, and the second insulation block are respectively fastened to the nozzle unit with fastening holes formed therein.
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- 2013-08-07 KR KR1020130093515A patent/KR102096946B1/en active IP Right Grant
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