KR20220046981A - Linear Deposition Source - Google Patents

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KR20220046981A
KR20220046981A KR1020200130354A KR20200130354A KR20220046981A KR 20220046981 A KR20220046981 A KR 20220046981A KR 1020200130354 A KR1020200130354 A KR 1020200130354A KR 20200130354 A KR20200130354 A KR 20200130354A KR 20220046981 A KR20220046981 A KR 20220046981A
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문병준
최건훈
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조영수
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엘지전자 주식회사
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Abstract

The present embodiment comprises: a crucible which has a deposition space therein and is long in a transverse direction; an inner plate which is disposed on the deposition space and has a penetration hole; a heater which heats the crucible; a heater frame which supports the heater from the outside of the crucible; and a crucible cap which provides a plurality of nozzles, is coupled with an upper part of the crucible, and comes in contact with the heater frame. A linear evaporator of the present invention minimizes temperature deviation of the crucible.

Description

선형 증발원{Linear Deposition Source}Linear Deposition Source

본 발명은 선형 증발원에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 증착 물질을 피증착물로 증착하는 증착 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a linear evaporation source, and more particularly, to a deposition apparatus for depositing a deposition material as a deposition target.

증착(deposition)이란 기체 상태의 입자를, 금속, 유리(glass) 등과 같은 물체의 표면에 얇은 고체 막을 입히는 방법이다.Deposition is a method of coating gaseous particles with a thin solid film on the surface of an object such as metal or glass.

최근에는 TV, 휴대폰 등과 같은 전자 기기에 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이의 사용이 증가하면서, OLED 디스플레이 패널을 제조하는 장치, 공정 등에 대한 연구가 활발하다. 특히, OLED 디스플레이 패널 제조 공정은 진공 상태에서 유리 기판 등의 기판에 유기 물질을 증착시키는 공정을 포함한다.Recently, as organic light emitting diodes (OLED) displays are increasingly used in electronic devices such as TVs and mobile phones, research on devices and processes for manufacturing OLED display panels is active. In particular, the OLED display panel manufacturing process includes a process of depositing an organic material on a substrate such as a glass substrate in a vacuum state.

구체적으로, 증착 공정은 유기/무기 물질이 수용된 도가니(crucible)를 가열하여 유기/무기 물질을 기체 상태로 증발시키는 공정과, 기체 상태의 유기 물질이 노즐(nozzle)을 통과하여 기판에 증착되는 공정을 포함한다.Specifically, the deposition process includes a process of heating a crucible containing an organic/inorganic material to evaporate the organic/inorganic material into a gaseous state, and a process in which the gaseous organic material passes through a nozzle and is deposited on the substrate includes

이 때, 우수한 박막 특성 확보를 위해서는 기체 상태의 유기 물질은 기판에 균일하게 증착되어야 한다. 따라서, 증착 장치는 복수개 노즐을 통과한 기체 상태의 유기 물질을 기판의 각 영역으로 균일하게 안내해야 한다.At this time, in order to secure excellent thin film properties, the gaseous organic material should be uniformly deposited on the substrate. Accordingly, the deposition apparatus must uniformly guide the gaseous organic material passing through the plurality of nozzles to each region of the substrate.

만약, 복수개 노즐을 통과한 기체 상태의 유기 물질을 알맞게 안내하지 못하면, 표면이 불균일한 박막이 형성된다. If the gaseous organic material passing through the plurality of nozzles is not properly guided, a thin film with a non-uniform surface is formed.

대한민국 공개특허공보 10-2012-0015387(2012년02월21일 공개)에는 도가니가 지지대에 의해 지지되는 증착 장치가 개시되고, 증착 장치는 몸체 및 상기 몸체의 일측에 형성된 개구와 연결된 노즐을 포함하는 도가니; 상기 도가니에 인접하게 배치되는 히터; 및 상기 도가니 및 상기 히터를 수용하는 하우징; 을 포함하는 유기물 증발원을 포함하며, 상기 지지대는 도가니와 히터 프레임을 연결하는 제 1 지지대 및 히터 프레임과 하우징을 연결하는 제 2지지대를 포함한다.Republic of Korea Patent Publication No. 10-2012-0015387 (published on February 21, 2012) discloses a deposition apparatus in which a crucible is supported by a support, the deposition apparatus including a body and a nozzle connected to an opening formed on one side of the body Crucible; a heater disposed adjacent to the crucible; and a housing accommodating the crucible and the heater. and an organic material evaporation source comprising a, wherein the support includes a first support connecting the crucible and the heater frame, and a second support connecting the heater frame and the housing.

대한민국 공개특허공보 10-2012-0015387(2012년02월21일 공개)Korean Patent Publication No. 10-2012-0015387 (published on February 21, 2012)

종래 기술에 따른 유기물 증발원은 히터의 열이 지지대를 통해 열전달이 일어나는 경우 도가니의 온도 편차를 야기하여 유기물의 차등적인 소진 또는 유기물의 변성 등의 문제점이 있다.The organic material evaporation source according to the prior art causes a temperature deviation of the crucible when the heat of the heater is transferred through the support, so there is a problem such as differential exhaustion of the organic material or the denaturation of the organic material.

종래 기술에 따른 유기물 증발원은 히터에서 도가니로 전달되는 열의 열전달 경로가 짧아, 유기물의 차등적인 소진 또는 유기물의 변성이 가속될 수 있다. In the organic material evaporation source according to the prior art, the heat transfer path of heat transferred from the heater to the crucible is short, so that the differential exhaustion of the organic material or the degradation of the organic material may be accelerated.

본 발명의 목적은 도가니의 온도 편차를 최소화한 선형 증발원을 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a linear evaporation source that minimizes the temperature deviation of the crucible.

본 발명의 다른 목적은 도가니를 지지하는 별도의 지지대가 필요 없고, 히터 프레임과 도가니의 열전달 경로가 멀어, 유기물의 차등적인 소진 또는 유기물의 변성을 최소화할 있다.Another object of the present invention is that there is no need for a separate support for supporting the crucible, and the heat transfer path between the heater frame and the crucible is far away, so that differential exhaustion of organic matter or degradation of organic matter can be minimized.

본 발명의 또 다른 목적은 히터의 열이 히터 프레임과 도가니 캡을 통해 노즐로 신속하게 전달될 수 있어, 노즐의 클로깅 발생을 최소화할 수 있는 선형 증발원을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a linear evaporation source that can minimize the clogging of the nozzle by allowing heat of the heater to be rapidly transferred to the nozzle through the heater frame and the crucible cap.

본 발명의 실시 예에 따른 선형 증발원은 내부에 증착 공간이 형성되고 좌우 방향으로 긴 도가니; 증착 공간에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트; 도가니를 가열하는 히터; 도가니의 외측에서 상기 히터를 지지하는 히터 프레임 및 복수개의 노즐이 제공되며, 도가니의 상부가 결합되고, 히터 프레임에 접촉되는 도가니 캡을 포함할 수 있다.The linear evaporation source according to an embodiment of the present invention includes a crucible having a deposition space formed therein and having a long left and right direction; an inner plate disposed in the deposition space and having a through hole formed therein; a heater to heat the crucible; A heater frame and a plurality of nozzles for supporting the heater are provided from the outside of the crucible, and an upper portion of the crucible is coupled thereto and may include a crucible cap in contact with the heater frame.

도가니는 히터 프레임과 이격되게 도가니 캡에 체결될 수 있다.The crucible may be coupled to the crucible cap to be spaced apart from the heater frame.

도가니 캡에는 히터 프레임에 면접촉되는 면접촉부가 하측 방향으로 돌출 형성될 수 있다.A surface contact portion for surface contact with the heater frame may be formed to protrude downwardly in the crucible cap.

도가니 캡은 직사각형 형상일 수 있다. The crucible cap may have a rectangular shape.

면접촉부의 일 예는 복수개의 노즐 중 중앙측 노즐 보다 외곽측 노즐에 더 근접할 수 있다.An example of the surface contact portion may be closer to the outer nozzle than the central nozzle among the plurality of nozzles.

면접촉부의 다른 예는 도가니 캡의 저면에 도가니 캡의 외둘레면을 따라 띠 형상으로 형성될 수 있다.Another example of the surface contact part may be formed in a band shape along the outer circumferential surface of the crucible cap on the bottom surface of the crucible cap.

도가니는 상부에 도가니 캡에 체결부재로 체결되는 체결 바디가 돌출될 수 있다.The crucible may have a fastening body fastened to the crucible cap by a fastening member on the upper portion of the crucible to protrude.

도가니 캡의 저면에는 체결 바디가 수용되는 체결 바디 수용홈이 함몰 형성될 수 있다.A fastening body receiving groove in which the fastening body is accommodated may be recessed in the lower surface of the crucible cap.

도가니 캡은 상기 체결바디 수용홈에 내측에 위치하는 내측 영역과, 체결바디 수용홈의 외측에 위치하는 외측 영역을 포함할 수 있다.The crucible cap may include an inner region positioned inside the fastening body accommodating groove and an outer region positioned outside the fastening body accommodating groove.

복수개 노즐은 내측 영역에 제공될 수 있다.A plurality of nozzles may be provided in the inner region.

면접촉부는 외측 영역에서 돌출될 수 있다.The surface contact portion may protrude from the outer region.

면접촉부는 도가니 캡의 저면에 도가니 캡의 외둘레면을 따라 띠 형상으로 형성될 수 있다. The surface contact portion may be formed in a band shape along the outer circumferential surface of the crucible cap on the bottom surface of the crucible cap.

선형 증발원은 히터 프레임의 외측에서 히터 프레임을 둘러싸는 쿨링 블록 및 쿨링 블록의 상부에 배치된 어퍼 리플렉터를 더 포함할 수 있다.The linear evaporation source may further include a cooling block surrounding the heater frame from the outside of the heater frame and an upper reflector disposed on the cooling block.

선형 증발원은 히터 프레임을 지지하는 하부 플레이트; 히터 프레임의 외측에 배치된 사이드 리플렉터; 및 도가니 및 히터의 하측에 위치되도록 히터 프레임에 배치된 로어 리플텍터를 더 포함할 수 있다.The linear evaporation source includes a lower plate supporting the heater frame; a side reflector disposed on the outside of the heater frame; and a lower reflector disposed on the heater frame to be positioned below the crucible and the heater.

선형 증발원은 도가니 캡의 위치를 고정하는 히터 프레임 핀을 더 포함할 수 있다.The linear evaporation source may further include a heater frame pin for fixing the position of the crucible cap.

본 발명의 실시 예에 따르면, 도가니가 도가니 캡에 결합되고, 도가니 캡이 히터 프레임에 접촉되어, 히터 프레임이 도가니와 직접 접촉되지 않고, 도가니의 국부적인 가열을 최소화할 수 있고, 도가니 내의 불균일한 온도 분포를 최소화할 수 있고, 증착 물질의 변성을 최소화할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the crucible is coupled to the crucible cap, and the crucible cap is in contact with the heater frame, so that the heater frame is not in direct contact with the crucible, it is possible to minimize the local heating of the crucible, and the non-uniformity in the crucible It is possible to minimize the temperature distribution and to minimize the denaturation of the deposition material.

또한, 도가니가 히터 프레임에 제공된 지지대에 지지되지 않기 때문에, 지지대를 통한 도가니의 국부적인 가열을 최소화할 수 있고, 히터 프레임의 구조가 간단하다.In addition, since the crucible is not supported on the support provided on the heater frame, local heating of the crucible through the support can be minimized, and the structure of the heater frame is simple.

또한, 히터의 열이 히터 프레임과 면접촉부를 통해 도가니 캡을 신속하게 전달될 수 있고, 도가니 캡에 구비된 복수개 노즐의 클로깅을 최소화할 수 있다. In addition, heat from the heater may be rapidly transferred to the crucible cap through the heater frame and the surface contact portion, and clogging of the plurality of nozzles provided in the crucible cap may be minimized.

또한, 면접촉부가 중앙측 노즐 보다 외곽측 노즐에 더 근접하여, 외곽측 노즐의 클로깅을 최소화할 수 있다.In addition, since the surface contact portion is closer to the outer nozzle than the center nozzle, clogging of the outer nozzle can be minimized.

또한, 띠 형상의 면접촉부가 중앙측 노즐과 외곽측 노즐에 균일하게 열 전달할 수 있어, 중앙측 노즐과 외곽측 노즐 모두의 클로깅을 최소화할 수 있다. In addition, since the belt-shaped surface contact portion can uniformly transfer heat to the center nozzle and the outer nozzle, clogging of both the center nozzle and the outer nozzle can be minimized.

또한, 체결 바디에 의한 도가니와 도가니 캡의 접촉에 의해 증착 물질의 누출을 방지할 수 있다. In addition, leakage of the deposition material may be prevented by the contact between the crucible and the crucible cap by the fastening body.

또한, 히터 프레임 핀에 의해 도가니 캡의 흔들림을 최소화할 수 있다.In addition, it is possible to minimize the shaking of the crucible cap by the heater frame pin.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 단면도,
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 선형 증발원의 일부 절결 사시도,
도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 캡 일 예의 저면도,
도 4은 도 2의 A-A선 단면도
도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 다른 일 예의 저면도이다.1 is a cross-sectional view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention;
2 is a partially cut-away perspective view of a linear evaporation source according to an embodiment of the present invention;
3 is a bottom view of an example of a crucible cap according to an embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
5 is a bottom view of another example of a crucible according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 증착 장치의 단면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 선형 증발원의 일부 절결 사시도이며, 도 3는 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 캡의 저면도이다.1 is a cross-sectional view of a deposition apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a partially cut-away perspective view of a linear evaporation source according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a bottom view of a crucible cap according to an embodiment of the present invention .

증착 장치는 하우징(1)와, 기판 지지대(2) 및 선형 증발원(3)을 포함할 수 있다. The deposition apparatus may include a housing 1 , a substrate support 2 and a linear evaporation source 3 .

하우징(1)의 내부에는 공간(11)이 형성될 수 있다. 하우징(1)은 선형 증발원(3)에 의해 증착 물질을 기판(21)을 증착할 때, 공간(11)에 진공을 형성하는 진공 챔버일 수 있다. A space 11 may be formed inside the housing 1 . The housing 1 may be a vacuum chamber that forms a vacuum in the space 11 when a deposition material is deposited on the substrate 21 by the linear evaporation source 3 .

기판 지지대(2)는 선형 증발원(3)과 함께 하우징(1) 내부의 공간(11)에 함께 수용될 수 있다. The substrate support 2 may be accommodated together in the space 11 inside the housing 1 together with the linear evaporation source 3 .

기판 지지대(2)는 공간(11) 중 상측에 위치될 수 있다. 기판 지지대(2)에는 피증착물인 기판(21)이 지지될 수 있다. 기판(21)은 사각형 형상일 수 있다. The substrate support 2 may be located above the space 11 . A substrate 21 , which is a deposition target, may be supported on the substrate support 2 . The substrate 21 may have a rectangular shape.

기판(21)과 선형 증발원(3)의 사이에는 선형 증발원(3)에서 기화된 증착 물질이 고르게 기판(21)으로 유도되도록 마스크(22)가 배치될 수 있다. 마스크(22)는 기판(21)의 하측에 배치될 수 있다. 마스크(22)에는 기화된 증착 물질(42)이 통과하는 통공이 형성될 수 있다.A mask 22 may be disposed between the substrate 21 and the linear evaporation source 3 so that the deposition material vaporized in the linear evaporation source 3 is uniformly guided to the substrate 21 . The mask 22 may be disposed below the substrate 21 . A hole through which the vaporized deposition material 42 passes may be formed in the mask 22 .

선형 증발원(3)은 하우징(2) 내에 배치되어 기판(21)에 증착 물질(42)을 기화시킬 수 있다.The linear evaporation source 3 may be disposed within the housing 2 to vaporize the deposition material 42 on the substrate 21 .

선형 증발원(3)은 도가니(4)와, 이너 플레이트(5)와, 히터(6)와, 히터 프레임(7) 및 도가니 캡(8)을 포함할 수 있다.The linear evaporation source 3 may include a crucible 4 , an inner plate 5 , a heater 6 , a heater frame 7 , and a crucible cap 8 .

도가니(4)는 내부에 증착 공간(41)이 형성되고 좌우 방향으로 길게 형성될 수 있다. 도가니(4)는 전후 방향(X)의 폭 보다 좌우 방향의 길이가 긴 형상일 수 있다. 도가니(4)는 상면이 개방된 용기 형상일 수 있다. The crucible 4 has a deposition space 41 formed therein and may be formed long in the left and right directions. The crucible 4 may have a shape in which the length in the left and right direction is longer than the width in the front and rear direction (X). The crucible 4 may have a container shape with an open upper surface.

증착 공간(41)에는 증착 물질(42)이 수용될 수 있다. 증착 물질(42)의 일 예는 유기물일 수 있다.A deposition material 42 may be accommodated in the deposition space 41 . An example of the deposition material 42 may be an organic material.

도가니(4)는 히터 프레임(7)에 이격되게 도가니 캡(8)에 체결될 수 있다.The crucible 4 may be coupled to the crucible cap 8 to be spaced apart from the heater frame 7 .

도가니(4)는 상부에 도가니 캡(8)에 스크류 등의 체결부재(43)로 체결되는 체결 바디(44)가 돌출될 수 있다.The crucible 4 has a fastening body 44 that is fastened to the crucible cap 8 with a fastening member 43 such as a screw on the upper portion may protrude.

도가니(4)는 도가니 캡(8)를 관통한 후 체결 바디(44)에 체결되는 체결부재The crucible 4 is a fastening member fastened to the fastening body 44 after passing through the crucible cap 8 .

(43)에 체결될 수 있고, 도가니 캡(8)의 하부에 고정될 수 있다. 도가니(4)는 도가니 캡(8)에 매달린 상태로 도가니 캡(8)과 일체화될 수 있다.It can be fastened to (43), it can be fixed to the lower part of the crucible cap (8). The crucible 4 may be integrated with the crucible cap 8 while being suspended from the crucible cap 8 .

이너 플레이트(5)는 증착 공간(41)에 배치되고 통공(51)이 형성될 수 있다.The inner plate 5 may be disposed in the deposition space 41 and a through hole 51 may be formed therein.

통공(51)은 복수개 형성될 수 있다.A plurality of through holes 51 may be formed.

이너 플레이트(5)는 도가니(4) 내부에 복수개 제공될 수 있다. 복수개 이너 플레이트(5)는 상하 방향(Z)으로 이격될 수 있다.A plurality of inner plates 5 may be provided inside the crucible 4 . The plurality of inner plates 5 may be spaced apart from each other in the vertical direction (Z).

이너 플레이트(5)는 이너 플레이트 장착 바디(52)에 배치되거나 도가나(4)에 직접 배치될 수 있다. The inner plate 5 may be disposed on the inner plate mounting body 52 or may be disposed directly on the crucible 4 .

이너 플레이트(5)가 이너 플레이트 장착 바디(52)에 배치되는 경우, 이너 플레이트 장착 바디(52)의 상부에는 안착부(53)가 형성되고, 안착부(53)는 도가니(4)의 상부 내둘레에 형성된 걸림턱(45)에 안착될 수 있다.When the inner plate 5 is disposed on the inner plate mounting body 52 , a seating part 53 is formed on an upper portion of the inner plate mounting body 52 , and the seating part 53 is disposed in the upper part of the crucible 4 . It may be seated on the clasp 45 formed around it.

복수개 이너 플레이트(5)는 이너 플레이트 장착 바디(52)에 이격되게 지지될 수 있다.The plurality of inner plates 5 may be supported to be spaced apart from the inner plate mounting body 52 .

이너 플레이트(5)가 도가나(4)에 직접 배치되는 경우, 도가니(4)의 내둘레에는 이너 플레이트(5)가 안착되는 안착홈(또는 단턱부)가 형성될 수 있다. 안착홈은 복수개 제공될 수 있고, 복수개 안착홈은 도가니(4)의 내둘레에 이격되게 형성될 수 있다. 복수개의 이너 플레이트(5)는 도가니(4)의 내둘레에 서로 이격되게 안착될 수 있다. When the inner plate 5 is directly disposed on the crucible 4 , a seating groove (or stepped portion) in which the inner plate 5 is seated may be formed on the inner circumference of the crucible 4 . A plurality of seating grooves may be provided, and the plurality of seating grooves may be formed to be spaced apart from the inner circumference of the crucible (4). The plurality of inner plates 5 may be spaced apart from each other on the inner circumference of the crucible 4 .

히터(6)는 도가니(4)를 가열할 수 있다. 히터(6)는 전기 히터를 포함할 수 있다. 히터(6)는 도가니(4)의 외둘레면을 둘러 쌀 수 있다. 히터(6)는 도가니(4)의 외측 주변에서 도가니(4)를 가열할 수 있다.The heater 6 can heat the crucible 4 . The heater 6 may include an electric heater. The heater 6 may surround the outer circumferential surface of the crucible 4 . The heater 6 may heat the crucible 4 at the outer periphery of the crucible 4 .

히터(6)은 도가니(4)의 외측에 배치되고 도가니(4)의 전,후,좌,우 네 면을 둘러쌀 수 있다.The heater 6 may be disposed on the outside of the crucible 4 and surround the front, rear, left, and right four sides of the crucible 4 .

히터 프레임(7)은 도가니(4)의 외측에서 히터(6)를 지지할 수 있다.The heater frame 7 may support the heater 6 from the outside of the crucible 4 .

히터 프레임(7)은 내측에 히터(6)가 설치된 프레임(71)과, 프레임(71)의 하측에 제공되어 프레임(71)을 지지하는 프레임 지지대(72)를 포함할 수 있다.The heater frame 7 may include a frame 71 having a heater 6 installed therein, and a frame support 72 provided below the frame 71 to support the frame 71 .

도가니 캡(8)은 증착 공간(41)을 덮도록 도가니(4)의 상부에 배치될 수 있다. 도가니 캡(8)은 판 형상일 수 있고, 도가니(4)의 상단 위에 배치된 도가니 플레이트일 수 있다. The crucible cap 8 may be disposed on the crucible 4 to cover the deposition space 41 . The crucible cap 8 may be plate-shaped, and may be a crucible plate disposed on top of the crucible 4 .

도가니 캡(8)의 상면(81)은 기판(21)과 나란할 수 있다. 도가니 캡(8)의 상면(81)은 수평할 수 있다. 도가니 캡(8)의 하면은 도가니(4)을 향할 수 있다. The upper surface 81 of the crucible cap 8 may be parallel to the substrate 21 . The upper surface 81 of the crucible cap 8 may be horizontal. The lower surface of the crucible cap (8) may face the crucible (4).

도가니 캡(8)에는 도가니(4)의 상부가 결합될 수 있다. 도가니 캡(8)은 도가니(4)와 함께 도가니 어셈블리를 구성할 수 있다.An upper portion of the crucible 4 may be coupled to the crucible cap 8 . The crucible cap 8 may constitute a crucible assembly together with the crucible 4 .

도가니 캡(8)에는 도 3에 도시된 바와 같이, 복수개의 노즐(82,83,84)이 제공될 수 있다.As shown in FIG. 3 , the crucible cap 8 may be provided with a plurality of nozzles 82 , 83 , and 84 .

도 3을 참조하면, 노즐(82,83,84)는 외곽측 노즐(82,84)와, 외곽측 노즐(82,84) 사이에 위치하는 중앙측 노즐(83)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 3 , the nozzles 82 , 83 , and 84 may include outer nozzles 82 and 84 and a center nozzle 83 positioned between the outer nozzles 82 and 84 .

외곽측 노즐(82,84)는 좌측 노즐(82)와 우측 노즐(84)를 포함할 수 있고, 좌측 노즐(82)와 우측 노즐(84) 각각은 2 내지 4 개의 노즐을 포함할 수 있다. The outer nozzles 82 and 84 may include a left nozzle 82 and a right nozzle 84 , and each of the left nozzle 82 and the right nozzle 84 may include 2 to 4 nozzles.

중앙측 노즐(83)은 8 내지 12개의 노즐을 포함할 수 있다.The central nozzle 83 may include 8 to 12 nozzles.

도가니 캡(8)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 히터 프레임(7)에 접촉될 수 있고, 히터 프레임(7)에 지지될 수 있다. 도가니 캡(8)은 히터 프레임(7)에 안착될 수 있다.The crucible cap 8 may be in contact with the heater frame 7 and may be supported by the heater frame 7 as shown in FIGS. 1 and 2 . The crucible cap 8 may be seated on the heater frame 7 .

도가니 캡(8)은 직사각형 형상일 수 있다. The crucible cap 8 may have a rectangular shape.

도가니 캡(8)에는 히터 프레임(7)에 면접촉되는 면접촉부(85, 도 1 내지 도 3 참조)가 하측 방향으로 돌출 형성될 수 있다.A surface contact portion 85 (refer to FIGS. 1 to 3 ) that is in surface contact with the heater frame 7 may be formed in the crucible cap 8 to protrude downward.

면접촉부(85)는 히터 프레임(7)의 상단에 안착될 수 있다.The surface contact part 85 may be seated on the upper end of the heater frame 7 .

면접촉부(85)는 복수개의 노즐(82,83,84) 중 중앙측 노즐(83) 보다 외곽측 노즐(82)(84)에 더 근접할 수 있다.The surface contact portion 85 may be closer to the outer nozzles 82 and 84 than the central nozzle 83 among the plurality of nozzles 82 , 83 , and 84 .

도가니(4)가 좌우 방향으로 긴 직육면체 형상일 경우, 도가니 캡(8)은 좌우 방향으로 긴 직사각형 형상일 수 있다.When the crucible 4 has a rectangular parallelepiped shape long in the left-right direction, the crucible cap 8 may have a rectangular shape long in the left-right direction.

면접촉부(85)가 외곽측 노즐(82)(84)에 더 근접할 경우, 히터(6)에서 히터 프레임(7)으로 전달된 열은 면접촉부(85)를 통해 도가니 캡(8)으로 전달될 수 있고, 면접촉부(85)와 근접한 외곽측 노즐(82,84)의 클로깅은 최소화될 수 있다.When the surface contact portion 85 is closer to the outer nozzles 82 and 84 , the heat transferred from the heater 6 to the heater frame 7 is transferred to the crucible cap 8 through the surface contact portion 85 . and clogging of the outer nozzles 82 and 84 close to the surface contact portion 85 may be minimized.

도가니 캡(8)은 면접촉부(85) 이외가 히터 프레임(7)과 이격될 수 있고, 도가니 캡(8)과 히터 프레임(7)의 사이에는 갭(G)이 형성될 수 있다.The crucible cap 8 may be spaced apart from the heater frame 7 except for the surface contact portion 85 , and a gap G may be formed between the crucible cap 8 and the heater frame 7 .

도가니 캡(8)의 저면에는 체결 바디(44)가 수용되는 체결 바디 수용홈(86)이 함몰 형성될 수 있다.A fastening body receiving groove 86 in which the fastening body 44 is accommodated may be recessed in the lower surface of the crucible cap 8 .

도가니 캡(8)은 체결바디 수용홈(86)에 내측에 위치하는 내측 영역(A1)과, 체결바디 수용홈(86)의 외측에 위치하는 외측 영역(A2)을 포함할 수 있다.The crucible cap 8 may include an inner region A1 positioned inside the fastening body accommodating groove 86 and an outer region A2 positioned outside the fastening body accommodating groove 86 .

복수개 노즐(82)(83)(84)은 내측 영역(A1)에 제공될 수 있다.The plurality of nozzles 82 , 83 , and 84 may be provided in the inner region A1 .

면접촉부(85)는 외측 영역(A2)에서 돌출될 수 있다. The surface contact portion 85 may protrude from the outer region A2 .

선형 증발원(3)은 쿨링 블록(90)을 더 포함할 수 있다.The linear evaporation source 3 may further include a cooling block 90 .

쿨링 블록(90)은 히터 프레임(7)의 외측에서 히터 프레임(7)을 둘러쌀 수 있다. 쿨링 블록(90)은 내부에 공간(91)이 형성될 수 있다. 도가니(4)와 히터(6)와 히터 프레임(7) 및 도가니 캡(8)은 공간(91)에 수용될 수 있다.The cooling block 90 may surround the heater frame 7 from the outside of the heater frame 7 . The cooling block 90 may have a space 91 formed therein. The crucible 4 , the heater 6 , the heater frame 7 , and the crucible cap 8 may be accommodated in the space 91 .

쿨링 블록(90)은 상면이 개방될 수 있다. 쿨링 블록(90)은 직육면체 형상일 수 있다.The cooling block 90 may have an open top surface. The cooling block 90 may have a rectangular parallelepiped shape.

쿨링 블록(90)은 히터(6)가 방출하는 열이 외부로 방출되지 않도록 차단할 수 있다.The cooling block 90 may block the heat emitted by the heater 6 from being emitted to the outside.

쿨링 블록(90)는 냉각수 등의 냉매가 통과하는 냉매 튜브 또는 냉매 채널을 포함할 수 있다. 쿨링 블록(90)는 냉매 튜브 또는 냉매 채널을 포함하는 냉각수 블록을 포함한다.The cooling block 90 may include a refrigerant tube or a refrigerant channel through which a refrigerant such as cooling water passes. The cooling block 90 includes a coolant block including a coolant tube or coolant channel.

선형 증발원(3)은 어퍼 리플렉터(92)를 포함할 수 있다. 어퍼 리플렉터(92)는 쿨링 블록(90)의 상부에 배치될 수 있다. 어퍼 리플렉터(92)에는 개구부(93)가 형성될 수 있다. 개구부(93)은 직사각형 형상일 수 있다.The linear evaporation source 3 may include an upper reflector 92 . The upper reflector 92 may be disposed on the cooling block 90 . An opening 93 may be formed in the upper reflector 92 . The opening 93 may have a rectangular shape.

선형 증발원(3)은 하부 플레이트(94)와, 사이드 리플렉터(96)를 포함할 수 있다. The linear evaporation source 3 may include a lower plate 94 and a side reflector 96 .

하부 플레이트(94)는 히터 프레임(7)을 지지할 수 있다. 하부 플레이터(94)는 쿨링 블록(90)을 지지할 수 있다.The lower plate 94 may support the heater frame 7 . The lower plater 94 may support the cooling block 90 .

히터 프레임(7)의 하단과, 쿨링 블록(90)의 하단은 하부 플레이트(94)에 놓여질 수 있다.The lower end of the heater frame 7 and the lower end of the cooling block 90 may be placed on the lower plate 94 .

사이드 리플렉터(96)는 히터 프레임(7)의 외측에 배치될 수 있다. 사이드 리플렉터(96)는 히터(6)의 주변으로 퍼지는 열을 도가니(4)의 방향으로 반사시킬 수 있다. The side reflector 96 may be disposed outside the heater frame 7 . The side reflector 96 may reflect the heat spread to the periphery of the heater 6 in the direction of the crucible 4 .

선형 증발원(3)은 로어 리플텍터(98)를 더 포함할 수 있다.The linear evaporation source 3 may further include a lower reflector 98 .

로어 리플렉터(98)은 도가니(4) 및 히터(6)의 하측에 위치되도록 히터 프레임(7)에 배치될 수 있다. 로어 리플렉터(98)는 도가니(4)의 하단과 이격되게 히터 프레임(7)의 내측에 위치될 있다. 로어 리플렉터(98)는 히터(6)의 하측으로 퍼지는 열을 도가니(4)의 방향으로 반사시킬 수 있다.The lower reflector 98 may be disposed on the heater frame 7 to be positioned below the crucible 4 and the heater 6 . The lower reflector 98 may be positioned inside the heater frame 7 to be spaced apart from the lower end of the crucible 4 . The lower reflector 98 may reflect the heat spreading downward of the heater 6 in the direction of the crucible 4 .

도 4은 도 2의 A-A선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG. 2 .

선형 증발원(3)는 도가니 캡(8)의 위치를 고정하는 히터 프레임 핀(88, 도 2 및 도 4 참조)를 포함할 수 있다. The linear evaporation source 3 may include a heater frame fin 88 (see FIGS. 2 and 4 ) for fixing the position of the crucible cap 8 .

도가니 캡(8)에는 히터 프레임 팬(88)이 관통되는 관통공(89)에 형성될 수 있다. 관통공(89)은 도가니 캡(8) 중 히터 프레임(7)의 상단을 향하는 영역에 형성될 수 있다.The crucible cap 8 may be formed in a through hole 89 through which the heater frame fan 88 passes. The through hole 89 may be formed in a region facing the upper end of the heater frame 7 of the crucible cap 8 .

히터 프레임(7)에는 핀 삽입부(79)이 형성될 수 있다.A pin insertion part 79 may be formed in the heater frame 7 .

핀 삽입부(79)에는 히터 프레임 핀(88)이 안착될 수 있고, 히터 프레임 핀(88)의 수평방향 이동을 제한할 수 있다. 프레임 핀(88)의 하단은 핀 삽입부(79)에 삽입될 수 있다.The heater frame pin 88 may be seated in the pin insertion part 79 , and horizontal movement of the heater frame pin 88 may be restricted. The lower end of the frame pin 88 may be inserted into the pin insertion unit 79 .

핀 삽입부(79)는 히터 프레임(7) 상단에 함몰 형성될 수 있다.The pin insertion part 79 may be recessed in the upper part of the heater frame 7 .

도 5는 본 발명의 실시 예에 따른 도가니 다른 일 예의 저면도이다.5 is a bottom view of another example of a crucible according to an embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 면접촉부(85')는 도가니 캡(8)의 둘레면 주변을 따라 돌출될 수 있고, 그 전체가 히트 프레임(7)과 접촉되는 것도 가능하다. As shown in FIG. 5 , the surface contact portion 85 ′ may protrude along the periphery of the circumferential surface of the crucible cap 8 , and it is also possible that the entirety of the surface contact portion 85 ′ comes into contact with the heat frame 7 .

면접촉부(85')는 도가니 캡(8)의 저면에 띠 형상으로 형성될 수 있다. 도가니 캡(8)의 저면과, 히터 프레임(7) 사이에는 갭(G)이 형성되지 않을 있고, 도가니 캡(8)은 전체 영역에 걸쳐 면접촉부(85')가 히터 프레임(7)과 접촉될 수 있다. The surface contact portion 85 ′ may be formed in a band shape on the bottom surface of the crucible cap 8 . A gap G is not formed between the bottom surface of the crucible cap 8 and the heater frame 7 , and the surface contact portion 85 ′ of the crucible cap 8 is in contact with the heater frame 7 over the entire area. can be

이 경우, 히터 프레임(7)에서 전달된 열을 면접촉부(85')를 통해 도가니 캡(8)에 고르게 전달될 수 있고, 외곽측 노즐(82,84)와, 중앙측 노즐(83) 모두에 고르게 전달 될 수 있다. In this case, the heat transferred from the heater frame 7 may be uniformly transferred to the crucible cap 8 through the surface contact portion 85 ′, and both the outer nozzles 82 and 84 and the central nozzle 83 . can be transmitted evenly to

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The above description is merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and various modifications and variations will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The protection scope of the present invention should be construed by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

4: 도가니 5: 이너 플레이트
6: 히터 7: 히터 프레임
8: 도가니 캡 41: 증착 공간
51: 통공 82,83,84: 노즐4: Crucible 5: Inner plate
6: Heater 7: Heater frame
8: crucible cap 41: deposition space
51: through hole 82, 83, 84: nozzle

Claims (10)

내부에 증착 공간이 형성되고 좌우 방향으로 긴 도가니;
상기 증착 공간에 배치되고 통공이 형성된 이너 플레이트;
도가니를 가열하는 히터;
상기 도가니의 외측에서 상기 히터를 지지하는 히터 프레임 및
복수개의 노즐이 제공되며, 상기 도가니의 상부가 결합되고, 상기 히터 프레임에 접촉되는 도가니 캡을 포함하는 선형 증발원.a crucible with a deposition space formed therein and long in the left and right directions;
an inner plate disposed in the deposition space and having a through hole;
a heater to heat the crucible;
a heater frame supporting the heater from the outside of the crucible; and
A plurality of nozzles are provided, the upper portion of the crucible is coupled, the linear evaporation source comprising a crucible cap in contact with the heater frame. 제 1 항에 있어서,
상기 도가니는 상기 히터 프레임에 이격되게 상기 도가니 캡에 체결된 선형 증발원The method of claim 1,
The crucible is a linear evaporation source coupled to the crucible cap to be spaced apart from the heater frame 제 1 항에 있어서,
상기 도가니 캡에는 상기 히터 프레임에 면접촉되는 면접촉부가 하측 방향으로 돌출 형성된 선형 증발원.The method of claim 1,
A linear evaporation source in which a surface contact portion for surface contact with the heater frame is formed in the crucible cap to protrude downward. 제 3항에 있어서,
상기 도가니 캡은 직사각형 형상이고,
상기 면접촉부는 복수개의 노즐 중 중앙측 노즐 보다 외곽측 노즐에 더 근접한 선형 증발원.4. The method of claim 3,
The crucible cap has a rectangular shape,
The surface contact portion is a linear evaporation source closer to the outer nozzle than the central nozzle among the plurality of nozzles. 제 3 항에 있어서,
상기 면접촉부는 상기 도가니 캡의 저면에 상기 도가니 캡의 외둘레면을 따라 띠 형상으로 형성된 선형 증발원.4. The method of claim 3,
The surface contact portion is a linear evaporation source formed in a band shape along the outer circumferential surface of the crucible cap on the bottom surface of the crucible cap. 제 3 항에 있어서,
상기 도가니는 상부에 상기 도가니 캡에 체결부재로 체결되는 체결 바디가 돌출되고,
상기 도가니 캡의 저면에는 상기 체결 바디가 수용되는 체결 바디 수용홈이 함몰 형성된 선형 증발원.4. The method of claim 3,
The crucible has a fastening body fastened to the crucible cap with a fastening member on the upper portion protrudes,
A linear evaporation source in which a fastening body accommodating groove in which the fastening body is accommodated is recessed in the lower surface of the crucible cap. 제 6 항에 있어서,
상기 도가니 캡은 상기 체결바디 수용홈에 내측에 위치하는 내측 영역과, 상기 체결바디 수용홈의 외측에 위치하는 외측 영역을 포함하고,
상기 복수개 노즐은 상기 내측 영역에 제공되고,
상기 면접촉부는 상기 외측 영역에서 돌출된 선형 증발원.7. The method of claim 6,
The crucible cap includes an inner region positioned inside the fastening body accommodating groove, and an outer region positioned outside the fastening body accommodating groove,
The plurality of nozzles are provided in the inner region,
The surface contact portion is a linear evaporation source protruding from the outer region. 제 1 항에 있어서,
상기 히터 프레임의 외측에서 히터 프레임을 둘러싸는 쿨링 블록 및
상기 쿨링 블록의 상부에 배치된 어퍼 리플렉터를 더 포함하는 선형 증발원.The method of claim 1,
a cooling block surrounding the heater frame from the outside of the heater frame; and
Linear evaporation source further comprising an upper reflector disposed on the cooling block. 제 1 항에 있어서,
상기 히터 프레임을 지지하는 하부 플레이트;
상기 히터 프레임의 외측에 배치된 사이드 리플렉터; 및
상기 도가니 및 히터의 하측에 위치되도록 상기 히터 프레임에 배치된 로어 리플텍터를 더 포함하는 선형 증발원.The method of claim 1,
a lower plate supporting the heater frame;
a side reflector disposed outside the heater frame; and
Linear evaporation source further comprising a lower reflector disposed on the heater frame so as to be positioned below the crucible and the heater. 제 1 항에 있어서,
상기 도가니 캡의 위치를 고정하는 히터 프레임 핀을 더 포함하는 선형 증발원.The method of claim 1,
Linear evaporation source further comprising a heater frame pin for fixing the position of the crucible cap.
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