KR20190036995A

KR20190036995A - 반도체공장의 격자보 구조물 및 이의 시공 방법

Info

Publication number: KR20190036995A
Application number: KR1020170126554A
Authority: KR
Inventors: 유영기; 김용구; 노현섭; 안상경; 이난희; 이은석; 전병갑; 정재은
Original assignee: 삼성물산 주식회사
Priority date: 2017-09-28
Filing date: 2017-09-28
Publication date: 2019-04-05
Also published as: KR102033671B1; WO2019066136A1

Abstract

반도체 공장 내부에 설치되며, 일정 간격을 따라 종횡으로 세워지는 수직 기둥인 샛기둥과, 인접되는 두 개의 샛기둥 상부에 거치되어 고정됨으로써 샛기둥 상부를 가로질러 연결시키는 일 방향 보와, 일 방향 보로 둘러싸여 형성되는 장방형의 수평면적을 채우는 형태로 설치되는 장방형의 격자보로 구성되되, 일 방향 보의 측면에는 돌출 형태의 단차가 형성되고 격자보의 측면에는 함몰 형태의 단차가 형성되어 격자보 측면 단차의 저면이 일 방향 보 측면 단차의 상면에 거치되는 형태로 격자보가 설치되는 반도체공장의 격자보 구조물로서, 상기 샛기둥 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보 단부 사이의 틈과, 일 방향 보의 측면과 격자보의 측면 사이의 틈에는 몰탈이 주입됨으로써, 일 방향 보가 단부끼리 접합되어 고정되고, 일 방향 보와 격자보가 서로 접합 고정되는 것을 특징으로 함으로써, 콘크리트 타설 및 양생에 소요되는 시간 보다 훨씬 신속하게 결합이 이루어질 수 있는 수단이 갖추어지고, 또한 구조물이 진동에 견딜 수 있게 대형화 된 만큼 격자보와 일 방향 보 및 샛기둥 간의 결합도 더욱 견고해질 수 있는 구조를 가질 수 있는 반도체공장의 격자보 구조물 및 이의 시공 방법을 제공하고자 한다.

Description

반도체공장의 격자보 구조물 및 이의 시공 방법{Grill beam structure of semiconductor factory and the construction method of it}

본 발명은 반도체공장의 분할형 격자보 구조물 및 이의 시공 방법에 관한 것으로 특히 격자보와 샛기둥 및 일방향 보가 PC로 제작되어 현장 조립이 가능하면서도 진동 억제 성능을 강화시키는 접합수단이 적용되는 분할형 격자보 구조물 및 이의 시공 방법에 관한 것이다.

반도체 공장의 클린룸(Clean Room)이란 일정한 실내의 공기 중에 존재하는 먼지 미립자 뿐만 아니라 온도, 습도, 압력, 진동 및 산소의 비율, 기류의 분포와 속도 등을 일정한 범위 내로 유지하기 위하여 환경적으로 제어되는 밀폐된 공간을 말하는데, 산업이 고도화되고 발전될수록 클린룸의 적용분야는 매우 광범위하게 넓어지고 있으며 적용되는 산업분야에 따라 먼지 등 미립자 제어를 대상으로 하는 산업용 클린룸(Industrial Clean Room; ICR)과 세균이나 곰팡이 등의 생물입자를 제어하는 바이오 클린룸(Biological Clean Room; BCR)으로 크게 나눌 수 있다.

그 중에서 산업용 클린룸은 미립자를 주요 제어대상으로 하지만 미립자에 대한 청정도는 물론 온도, 습도, 압력, 진동 등의 환경조건을 제어하고 있으며, 특히, 근래 비약적인 기술 진보가 이루어지고 있는 반도체, 전자, TFT-LCD,우주항공, 정밀기계산업 등은 신기술의 개발로 인하여 제품들을 더욱 경박(輕薄) 단소(短小)화시켜 고품질화하고 있어서 이와 같은 산업의 공장에서는 실내에 떠다니는 미립자가 제품에 부착되거나 진동 등으로 인한 정밀도의 저하는 제품의 불량초래 및 신뢰 성하락과 생산수율에 막대한 영향을 미치게 되므로 공장전체 또는 필요작업장을 청정도가 높은 클린룸으로 형성하고 있다.

따라서 클린룸의 제어대상 조건들 중에서 미립자, 온도, 습도, 압력 등의 환경조건들은 건축물 내부에 ULPA필터, HEPA필터, 에어샤워, 보일러, 냉온수발생기, 흡기/배기덕트, 흡수냉동기 등의 장치를 설치하여 외부와 내부를 격리하므로 무균, 무진, 항온, 항습의 청정공간을 유지하도록 하고 있는데, 상기와 같은 클린룸을 위한 지원설비들을 설치 시공하기 위해서는 건축물의 시공단계에서부터 상기와 같은 지원설비들을 설치하기 위한 공간의 배려가 필요하게 된다.

그래서 클린룸 건축물의 골조 공사는 일반 건축물의 골조 공사와는 다른 특징을 갖게 된다.

클린룸 건축물의 내부 구성을 개략적으로 도시하면 도1에 나타낸 바와 같이 바닥콘크리트(1)에 현장에서 철근을 배근하고 거푸집을 제작한 후 콘크리트를 타설하여 주기둥(main column)(2)과 샛기둥(post)(3)을 시공하고, 샛기둥(3)의 상부와 주기둥(2)의 일측에 접하도록 현장에서 거푸집을 제작한 후 콘크리트를 타설하여 격자형으로 형성한 격자보(Grille Beam)(4)를 시공하고, 상기 주기둥(2)의 상부에 현장에서 거푸집을 제작한 후 콘크리트를 타설하여 보(Girder)(5)와 슬래브(Slab)(6)를 시공함으로 격자보(4)의 하측으로는 배관설비 등과 같은 지원설비들을 시공하는 지원설비층(7)을 형성하게되고, 격자보(4)의 상측으로는 클린룸층(8)을 형성하게 되고, 클린룸층(8)의 상부에는 보(5)와 슬래브(6)의 사이에는 HEPA 필터, 조명 등과 같은 설비가 매입되는 시스템 실링부(9)가 시공 되고, 클린룸층(8)에는 주요한 생산설비를 설치하여 제품을 생산 및 연구개발하게 되며 지원설비층(7)과 시스템실링부(9)에는 클린룸층(8)의 환경조건들을 유지하는 지원설비들이 설치되어 클린룸층(8)을 청정공간으로 유지하게 된다.

뿐만 아니라, 상기와 같은 클린룸을 구비한 생산 및 연구용 건축물들 중에서도 특히 반도체, 전자, TFT-LCD, 우주항공, 정밀기계산업의 생산 장비들은 건축물의 진동에 특히 많은 영향을 받게 되는데 특히 반도체의 경우 진동이 생산수율에 미치는 영향이 막대하므로 건축물의 구조물에 까다로운 진동 억제성능이 요구된다.

따라서 상기와 같은 진동조건 문제를 해결하기 위해서는 골조를 큰 중량을 가지도록 보다 대형화된 구조물로 시공하여 진동의 영향을 최소화시킬 수밖에 없어서 대부분의 반도체를 위한 클린룸 공장 건축물의 모든 골조 공사는 대중량의 골조 구조물을 현장타설 콘크리트로 시공하여 클린룸의 진동조건을 충족시키도록 하고 있다.

그러나 이와 같이 콘크리트를 현장에서 타설하는 시공방법은 현장에서 거푸집을 제작하고 콘크리트를 타설한 후 양생과정을 거처서 다음 구조물을 위한 거푸집을 제작해야함으로 거푸집 제작을 위해서 많은 전문 인력이 동원되어야 하고, 콘크리트 타설 및 양생에 많은 시간이 소요되는 노동집약적이며, 공사기간이 많이 소요되는 공법임이 문제이다.

따라서 제품들의 개발 사이클(cycle)과 소비자들의 선호제품 보유 기간이 계속 단축되고 있어서, 무엇보다도 신제품을 적시에 출시하는 것이 가장 큰 경쟁력 이 되는 타이밍(timing)산업이라고 할 정도로 급변하는 첨단 산업의 생산 및 연구를 위한 클린룸의 시공에 있어서 새로운 제품을 연구 또는 생산하기 위한 새로운 클린룸 건축물의 시공기간 단축에 가장 큰 문제점이 된다.

그러므로 공장에서 미리 제작된 프리캐스트 자재로 반도체 공장 격자보 구조물을 시공하여 현장 콘크리트 타설 및 양생 공정을 줄일 필요가 있다.

그런데 이처럼 프리캐스트 자재가 사용될 경우 프리캐스트로 이루어지는 일 방향 보와 격자보 간의 결합을 위해 종래에는 어쩔 수 없이 콘크리트를 타설하였으므로 역시나 그 이전과 마찬가지로 규모는 작지만 콘크리트 타설과 양생 공정이 불가피한 문제가 있다.

따라서 이러한 콘크리트 타설 이외의 방법으로 일 방향 보와 샛기둥 및 격자보 간의 결합이 견고하게 이루어질 수 있고 또한 콘크리트 타설 및 양생에 소요되는 시간 보다 훨씬 신속하게 결합이 이루어질 수 있는 수단이 필요하다.

또한 구조물이 미진동에 견딜 수 있게 대형화 된 만큼 격자보와 일 방향 보 및 샛기둥 간의 결합 또한 더욱 견고해질 수 있는 구조를 가질 수 있는 기술이 요청된다.

등록실용신안공보 제20-0480639호(등록일자: 2016.06.13.)

이에 본 발명은 종래기술의 문제점을 개선하기 위한 것으로써, 반도체공장에서 콘크리트 타설 이외의 방법으로 일 방향 보와 샛기둥 및 격자보 간의 결합이 견고하게 이루어질 수 있고 또한 콘크리트 타설 및 양생에 소요되는 시간 보다 훨씬 신속하게 결합이 이루어질 수 있는 수단이 갖추어지고, 또한 구조물이 진동에 견딜 수 있게 대형화 된 만큼 격자보와 일 방향 보 및 샛기둥 간의 결합도 더욱 견고해질 수 있는 구조를 가질 수 있는 할 수 있는 반도체 공장의 격자보 구조물 및 이의 시공 방법을 제공하고자 한다.

이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 공장의 격자보 구조물은 반도체 공장 내부에 설치되며, 일정 간격을 따라 종횡으로 세워지는 수직 기둥인 샛기둥과, 인접되는 두 개의 샛기둥 상부에 거치되어 고정됨으로써 샛기둥 상부를 가로질러 연결시키는 일 방향 보와, 일 방향 보로 둘러싸여 형성되는 장방형의 수평면적을 채우는 형태로 설치되는 장방형의 격자보로 구성되되, 일 방향 보의 측면에는 돌출 형태의 단차가 형성되고 격자보의 측면에는 함몰 형태의 단차가 형성되어 격자보 측면 단차의 저면이 일 방향 보 측면 단차의 상면에 거치되는 형태로 격자보가 설치되는 반도체공장의 격자보 구조물로서, 상기 샛기둥 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보 단부 사이의 틈과, 일 방향 보의 측면과 격자보의 측면 사이의 틈에는 몰탈이 주입됨으로써, 일 방향 보가 단부끼리 접합되어 고정되고, 일 방향 보와 격자보가 서로 접합 고정된다.

여기서 상기 샛기둥 내부에는 샛기둥의 길이 방향으로 복수개의 수직근이 장입되되, 수직근의 상단은 바람직하게는 샛기둥의 상면보다 더 돌출되고, 상기 일 방향 보의 단부에 인접된 저면에는 샛기둥의 상면보다 더 돌출된 상기 수직근의 상단이 삽입되는 수직근 삽입 홈이 형성되어, 수직근이 수직근 삽입 홈에 삽입됨으로써 샛기둥과 일 방향 보가 결합된다.

또한 상기 샛기둥 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보 각각은 바람직하게는 단부의 상부 모서리가 단차가 형성되게 절개되고, 상기 두 개의 일 방향 보 단부가 샛기둥 상부에서 일정 간격을 두고 나란하게 인접될 때 상기 단차가 만나면서 형성되는 공간에 몰탈이 주입됨으로써, 몰탈이 상기 공간과, 두 개의 일 방향 보 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격에 몰탈이 채워지면서 응고되어 결합시킨다.

이 경우 상기 수직근 삽입 홈은 바람직하게는 일 방향 보 단부가 절개되어 형성되는 단차의 바닥까지 관통됨으로써, 두 개의 일 방향 보 단부가 인접되면서 형성되는 공간에 채워지는 몰탈이 수직근 삽입 홈 내부까지 채워져서, 수직근 삽입 홈의 내주면과 샛기둥 상부로 돌출된 수직근 외주면 사이가 고정 결합된다.

특히 상기 일 방향 보에서 측면의 돌출 형태의 단차 상면에는 바람직하게는 일정 길이만큼 높이가 낮아지는 단차 형태의 트렌치 홈이 일 방향 보의 길이 방향을 따라 복수개가 형성되어, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 주입된 몰탈이 트렌치 홈에 채워짐으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 된다.

또는 바람직하게는 상기 격자보에서 측면의 함몰 형태의 단차 저면에는 일정 길이만큼 높이가 높아지는 단차 형태의 트렌치 홈이 격자보의 면을 따라 복수개가 형성되어, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 주입된 몰탈이 트렌치 홈에 채워짐으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 된다.

한편 상기 구성으로 이루어지는 반도체 공장의 격자보 구조물의 시공 방법은 상기 격자보와 일 방향 보를 프리캐스트로 제작하는 제1단계와, 샛기둥을 일정 간격을 따라 종횡으로 배치되게 설치하되, 샛기둥용 거푸집 높이보다 상부로 더 높게 돌출되게 수직근을 배근하는 제2단계와, 프리캐스트 보인 일 방향 보를 인접되는 두 개의 샛기둥 상부를 가로질러 연결시키는 형태로 설치하되, 제1단계에서 일 방향 보를 제작하면서 상기 수직근 상단이 삽입될 수 있는 수직근 삽입 홈을 형성하여 수직근 삽입 홈에 수직근 상단을 삽입하면서 일 방향 보를 샛기둥 상부에 거치하여 설치하는 제3단계와, 상기 일 방향 보를 종횡으로 설치된 샛기둥을 연결시키는 형태로 설치하여 일 방향 보로 둘러싸이는 공간에 격자형태의 프리캐스트 슬라브인 격자보를 설치하되, 격자보의 측면 단차 저면이 일 방향 보의 측면 단차 상면에 거치되게 설치하는 제4단계 및, 서로 나란하게 인접되는 일 방향 보 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격에 몰탈을 주입하여 응고시켜서 일 방향 보를 서로 연결시킴과 함께 격자보와 일 방향 보를 서로 고정 연결시키는 제5단계로 구성된다.

여기서 상기 제1단계에서는 바람직하게는 일 방향 보의 양측 단부에서 상부 모서리를 절개하여 단차를 형성함으로써, 제4단계에서 서로 나란하게 인접되는 격자보 사이에 단차 형성을 위해 절개된 만큼의 공간이 형성된다.

이 경우 상기 제1단계에서는 바람직하게는 수직근 삽입 홈이 일 방향 보의 양측 단부에 형성되는 상기 단차 바닥면부터 일 방향 보의 저면까지 관통되게 형성하고, 상기 제5단계에서는 일 방향 보의 양측 단부가 서로 나란하게 인접되어 형성되는 상기 공간에 몰탈을 주입함으로써, 몰탈이 일 방향 보의 상부로 넘치지 않고 인접되는 두 개의 일 방향 보의 단부 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격과, 수직근 삽입 홈 내주면과 수직근 외주면 사이 틈으로 몰탈이 주입하여 응고한다.

특히 상기 제1단계에서는 바람직하게는 상기 일 방향 보에서 측면의 돌출 형태의 단차 상면에 일정 길이만큼 높이가 낮아지는 단차 형태의 트렌치 홈을 일 방향 보의 길이 방향을 따라 복수개로 형성하여, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 몰탈을 주입하여 트렌치 홈에 채움으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 된다.

본 발명에 따른 반도체 공장의 격자보 구조물 및 이의 시공방법에 따르면, 반도체공장에서 콘크리트 타설 이외의 방법으로 일 방향 보와 샛기둥 및 격자보 간의 결합이 견고하게 이루어질 수 있고 또한 콘크리트 타설 및 양생에 소요되는 시간 보다 훨씬 신속하게 결합이 이루어질 수 있는 수단이 갖추어지고, 또한 구조물이 진동에 견딜 수 있게 대형화 된 만큼 격자보와 일 방향 보 및 샛기둥 간의 결합도 더욱 견고해질 수 있는 구조를 가질 수 있는 효과가 있다.

도 1은 반도체 공장의 내부 단면 사시도,
도 2는 본 발명에 따른 격자보 구조물의 분해 사시도,
도 3은 본 발명에 따른 격자보 구조물에서 격자보의 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 격자보 구조물에서 일 방향 보의 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 격자보 구조물에서 샛기둥의 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 격자보 구조물의 평단면도,
도 7은 도 6에서 A로 표시된 영역의 부분 확대도
도 8은 일 방향 보의 정단면도,
도 9는 일 방향 보의 측단면도,

본 발명의 실시예에서 제시되는 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있다. 또한 본 명세서에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경물, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.

본 발명에 따른 반도체 공장의 격자보 구조물은 도 2에 도시된 바와 같이 반도체 공장 내부에 설치되며, 일정 간격을 따라 종횡으로 세워지는 수직 기둥인 샛기둥(10)과, 인접되는 두 개의 샛기둥(10) 상부에 거치되어 고정됨으로써 샛기둥(10) 상부를 가로질러 연결시키는 일 방향 보(30)와, 일 방향 보(30)로 둘러싸여 형성되는 장방형의 수평면적을 채우는 형태로 설치되는 장방형의 격자보(20)로 구성된다.

여기서 일 방향 보(30)의 측면에는 도 4에 도시된 것처럼 돌출 형태의 단차가 형성되고, 격자보(20)의 측면에는 도 3에 도시된 것처럼 함몰 또는 후퇴 형태의 단차가 형성되어 격자보(20) 측면 단차의 저면이 일 방향 보(30) 측면 단차의 상면에 거치되는 형태로 격자보(20)가 설치된다.

참고로 도 4에 도시된 일 방향 보(30)의 측면 단차의 상면을 '돌출 단차 상면(33)'이라 하고 도 3에 도시된 격자보(20) 측면의 단차 저면을 '후퇴 단차 저면(23)'이라 칭하기로 한다.

본 발명에서는 상기와 같이 구성된 샛기둥(10), 격자보(20), 일 방향 보(30)의 결합을 위해 몰탈(40)이 마련된다. 몰탈(40)은 샛기둥(10) 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보(30) 단부 사이의 틈과, 일 방향 보(30)의 측면과 격자보(20)의 측면 사이의 틈에 주입되어, 일 방향 보(30)가 단부끼리 접합되어 고정되고, 일 방향 보(30)와 격자보(20)가 서로 접합 고정된다.

샛기둥(10)은 도 2의 분해사시도에는 도시되지 않았으나, 도 6에 도시된 바와 같이 두 개의 일 방향 보(30)가 나란하게 연결되는 지점과, 네 개의 격자보(20)가 모두 결합되는 모서리 지점의 하부에 설치되어 전체 구조물을 지지한다.

샛기둥(10) 내부에는 도 5에 도시된 바와 같이 샛기둥(10)의 길이 방향으로 복수개의 수직근(12)이 장입되되, 수직근(12)의 상단은 샛기둥(10)의 상면보다 더 돌출되고, 도 8과 도 9에 도시된 바와 같이 일 방향 보(30)의 단부에 인접된 일 방향 보(30)의 저면에는 수직근(12)의 상단이 삽입되는 수직근 삽입 홈(36)이 형성되어 일 방향 보(30)의 단부 근처의 저면이 샛기둥(10)의 상면에 안착될 때 까지 수직근(12)이 수직근 삽입 홈(36)에 삽입된다.

이로써 샛기둥(10)과 일 방향 보(30)는 진동이 발생되어도 서로 분리되지 않고 견고하게 결합된다.

그리고 샛기둥(10) 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보(30) 각각은 단부의 상부 모서리가 단차가 형성되게 절개되고, 두 개의 일 방향 보(30) 단부가 샛기둥(10) 상부에서 일정 간격을 두고 나란하게 인접될 때 각각 형성되어 마주보는 두 측단 상부 단차(32)가 만나면서 도 8에 도시된 바와 같이 용기 모양으로 형성되는 공간에 몰탈(40)이 주입됨으로써, 몰탈(40)이 상기 용기 모양으로 형성되는 공간과, 두 개의 일 방향 보(30) 단부 사이 간격(d2)과, 일 방향 보(30)와 격자보(20) 간격(d1)에 몰탈(40)이 채워지면서 응고되어 결합시킨다.

몰탈(40)은 콘크리트에 비해 배합이 간단하고 내구성이 좋을 뿐만 아니라 모래나 자갈이 섞이지 않았으므로 좁은 틈새로 침투가 가능하여 콘크리트로 격자보(20)와 일 방향 보(30) 및 샛기둥(10)을 결합시키는 방법에 비해 훨씬 간편하고 효율적이다. 또한 건조되면서 수축이 발생되는 점이 이용될 수 있어 두 개의 일 방향 보(30) 단부 사이 간격(d2)과, 일 방향 보(30)와 격자보(20) 간격(d1)에 몰탈(40)이 침투된 후 건조되면서 간격이 좁혀저 더욱 긴밀한 구성간의 결합이 가능하다.

특히 본 발명에서는 일 방향 보(30)의 단부에 측단 상부 단차(32)를 둠으로써, 나란하게 이어지는 두 개의 일 방향 보(30)와, 일 방향 보(30)의 측면에 결합되는 네 개의 격자보(20)가 만나면서 용기 모양으로 형성되는 공간이 생겨 몰탈(40)을 주입 할 때 몰탈(40)이 일 방향 보(30)의 상부로 넘치는 현상이 방지될 뿐만 아니라 용기 모양으로 형성되는 공간에 채워진 몰탈(40)의 하중으로 인하여 몰탈(40)이 일 방향 보(30) 단부 사이 간격(d2)과, 일 방향 보(30)와 격자보(20) 간격(d1)에 훨씬 용이하게 침투될 수 있다.

그리고 앞서 설명된 수직근 삽입 홈(36)은 측단 상부 단차(32)의 상면부터 일 방향 보(30)의 저면까지 완전히 관통하는 형태로 일 방향 보(30)가 제작됨으로써, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 측단 상부 단차(32)를 통해 주입되는 몰탈(40)은 수직근 삽입 홈(36) 내부로도 주입되어 수직근(12)이 수직근 삽입 홈(36) 내부에 견고하게 부착되어 진동이 발생되더라도 일 방향 보(30)가 샛기둥(10) 상면으로부터 분리되는 현상이 방지될 수 있다.

특히 본 발명에서는 일 방향 보(30)의 측면에 형성되는 돌출 단차 상면(33)에 도 4에 도시된 바와 같이 일정한 길이만큼 높이가 낮아지는 일명 '트렌치 홈(34)'이 형성된다.

종래에는 일 방향 보(30)의 측면 돌출 단차 상면(33)에 격자보(20) 측면의 후퇴 단차 저면(23)이 안착되게 거치되며 이때 격자보(20)의 하중으로 인하여 몰탈(40)이든 콘크리트든 어떠한 결합 부재도 침투될 수 없는 문제가 있다.

또한 이러한 문제를 해결하게 위해서 격자보(20)를 상부로 인양하여 일 방향 보(30)의 측면 돌출 단차 상면(33)에 콘크리트를 타설하면 격자보(20)의 수평을 조절하기 곤란하여 수평이 맞지 않거나 또는 격자보(20)가 설계 수치보다 더 부상하여 전체 구조물의 건전성이 저하되는 문제가 있다.

이때 트렌치 홈(34)이 형성되면 일 방향 보(30)의 측면 돌출 단차 상면(33)에 거치되는 격자보(20) 측면의 후퇴 단차 저면(23)과 돌출 단차 상면(33) 사이에 공간이 형성되는데, 일 방향 보(30)의 측단 상부 단차(32)로 형성되는 공간에 주입되는 몰탈(40)이 일 방향 보(30)와 격자보(20) 간격(d1) 사이로 흘러내리다가 트렌치 홈(34)에 채워짐으로써, 일 방향 보(30)와 격자보(20)의 측면뿐만 아니라 일 방향 보(30)의 측면 돌출 단차 상면(33)과 격자보(20)의 측면 후퇴 단차 저면(23) 사이에도 트렌치 홈(34) 부위에 몰탈(40)이 채워져서 결합이 이루어질 수 있다.

이로써 본 발명에서는 일 방향 보(30)와 격자보(20) 및 샛기둥(10)이 서로 간단한 공정으로 조립 가능하면서도 또한 견고한 결합이 이루어질 수 있다.

이러한 결합의 견고성은 특히 종래보다 큰 사이즈의 격자보(20)가 설치될 때 큰 사이즈로 인한 증가된 중량의 효과와 함께 더욱 진동에 견디는 탁월한 효과가 발휘된다.

이러한 효과는 일 방향 보(30)의 양단에 형성되는 측단 상부 단차(32)로 인한 용이한 몰탈(40)의 주입 및 몰탈(40) 중량으로 인한 몰탈(40)의 침투성 증가와 더불어 수직근(12)이 일 방향 보(30)에 삽입 형태로 설치되되 수직근 삽입 홈(36)에 몰탈(40)이 주입되는 구조를 가짐으로써 가능하며, 특히 트렌치 홈(34)의 형성으로 인하여 측면 결합 뿐만 아니라 상하 결합도 가능해지므로 결국 전체 구성의 유기적인 결합으로 인해 가능하게 된다.

참고로 트렌치 홈은 일 방향 보(30)의 측단 상부 단차(32)뿐만 아니라 격자보(20)의 측면에 형성되는 후퇴 단차 저면(23)에 형성될 수도 있다.(미도시)

또한 본 발명에서 트렌치 홈(34)이 도 4 및 도 8에 도시된 바와 같이 상부로 갈수록 넓어지는 형태로 형성되면, 트렌치 홈(34)에 몰탈(40)이 채워지다가 트렌치 홈(34) 전체에 몰탈(40)이 가득 채워지는 순간에 트렌치 홈(34)의 측면과 격자보(20) 측면의 후퇴 단차 저면(23)이 이루는 각이 90도 이하의 예각이 되므로 몰탈(40)이 모세관 효과로 인하여 돌출 단차 상면(33)과 후퇴 단차 저면(23) 사이로 침투되어 결국 일 방향 보(30)와 격자보(20)의 결합은 더욱 견고해질 수 있는 효과도 발생된다.

한편, 본 발명에 따른 반도체 공장의 격자보(20) 구조물 시공 방법은 상기 설명과 모두 중복되는 내용이므로 불필요한 중복을 피하기 위하여 반복 설명은 생략하기로 한다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

d1 : 일 방향 보와 격자보 간격 d2 : 일 방향 보 단부 사이 간격
10 : 샛기둥 12 : 수직근
20 : 격자보 22 : 중공
23 : 후퇴 단차 저면 30 : 일 방향 보
32 : 측단 상부 단차 33 : 돌출 단차 상면
34 : 트렌치 홈 35 : 상부근
36 : 수직근 삽입 홈 37 : 상부근 결속구
40 : 몰탈

Claims

반도체 공장 내부에 설치되며, 일정 간격을 따라 종횡으로 세워지는 수직 기둥인 샛기둥과, 인접되는 두 개의 샛기둥 상부에 거치되어 고정됨으로써 샛기둥 상부를 가로질러 연결시키는 일 방향 보와, 일 방향 보로 둘러싸여 형성되는 장방형의 수평면적을 채우는 형태로 설치되는 장방형의 격자보로 구성되되, 일 방향 보의 측면에는 돌출 형태의 단차가 형성되고 격자보의 측면에는 함몰 형태의 단차가 형성되어 격자보 측면 단차의 저면이 일 방향 보 측면 단차의 상면에 거치되는 형태로 격자보가 설치되는 반도체공장의 격자보 구조물로서,
상기 샛기둥 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보 단부 사이의 틈과, 일 방향 보의 측면과 격자보의 측면 사이의 틈에는 몰탈이 주입됨으로써, 일 방향 보가 단부끼리 접합되어 고정되고, 일 방향 보와 격자보가 서로 접합 고정되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제1항에 있어서,
상기 샛기둥 내부에는 샛기둥의 길이 방향으로 복수개의 수직근이 장입되되, 수직근의 상단은 샛기둥의 상면보다 더 돌출되고,
상기 일 방향 보의 단부에 인접된 저면에는 샛기둥의 상면보다 더 돌출된 상기 수직근의 상단이 삽입되는 수직근 삽입 홈이 형성되어,
수직근이 수직근 삽입 홈에 삽입됨으로써 샛기둥과 일 방향 보가 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제2항에 있어서,
상기 샛기둥 상부에서 만나는 두 개의 일 방향 보 각각은 단부의 상부 모서리가 단차가 형성되게 절개되고, 상기 두 개의 일 방향 보 단부가 샛기둥 상부에서 일정 간격을 두고 나란하게 인접될 때 상기 단차가 만나면서 형성되는 공간에 몰탈이 주입됨으로써, 몰탈이 상기 공간과, 두 개의 일 방향 보 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격에 몰탈이 채워지면서 응고되어 결합시키는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제3항에 있어서,
상기 수직근 삽입 홈은 일 방향 보 단부가 절개되어 형성되는 단차의 바닥까지 관통됨으로써, 두 개의 일 방향 보 단부가 인접되면서 형성되는 공간에 채워지는 몰탈이 수직근 삽입 홈 내부까지 채워져서, 수직근 삽입 홈의 내주면과 샛기둥 상부로 돌출된 수직근 외주면 사이가 고정 결합되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제3항에 있어서,
상기 일 방향 보에서 측면의 돌출 형태의 단차 상면에는 일정 길이만큼 높이가 낮아지는 단차 형태의 트렌치 홈이 일 방향 보의 길이 방향을 따라 복수개가 형성되어, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 주입된 몰탈이 트렌치 홈에 채워짐으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제3항에 있어서,
상기 격자보에서 측면의 함몰 형태의 단차 저면에는 일정 길이만큼 높이가 높아지는 단차 형태의 트렌치 홈이 격자보의 면을 따라 복수개가 형성되어, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 주입된 몰탈이 트렌치 홈에 채워짐으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.
제5항으로 이루어지는 반도체 공장의 격자보 구조물의 시공 방법으로서,
상기 격자보와 일 방향 보를 프리캐스트로 제작하는 제1단계;
샛기둥을 일정 간격을 따라 종횡으로 배치되게 설치하되, 샛기둥용 거푸집 높이보다 상부로 더 높게 돌출되게 수직근을 배근하는 제2단계;
프리캐스트 보인 일 방향 보를 인접되는 두 개의 샛기둥 상부를 가로질러 연결시키는 형태로 설치하되, 제1단계에서 일 방향 보를 제작하면서 상기 수직근 상단이 삽입될 수 있는 수직근 삽입 홈을 형성하여 수직근 삽입 홈에 수직근 상단을 삽입하면서 일 방향 보를 샛기둥 상부에 거치하여 설치하는 제3단계;
상기 일 방향 보를 종횡으로 설치된 샛기둥을 연결시키는 형태로 설치하여 일 방향 보로 둘러싸이는 공간에 격자형태의 프리캐스트 슬라브인 격자보를 설치하되, 격자보의 측면 단차 저면이 일 방향 보의 측면 단차 상면에 거치되게 설치하는 제4단계;
서로 나란하게 인접되는 일 방향 보 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격에 몰탈을 주입하여 응고시켜서 일 방향 보를 서로 연결시킴과 함께 격자보와 일 방향 보를 서로 고정 연결시키는 제5단계;로 구성되는 반도체 공장의 격자보 구조물 시공방법.
제7항에 있어서,
상기 제1단계에서는 일 방향 보의 양측 단부에서 상부 모서리를 절개하여 단차를 형성함으로써, 제4단계에서 서로 나란하게 인접되는 격자보 사이에 단차 형성을 위해 절개된 만큼의 공간이 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물 시공방법.
제8항에 있어서,
상기 제1단계에서는 수직근 삽입 홈이 일 방향 보의 양측 단부에 형성되는 상기 단차 바닥면부터 일 방향 보의 저면까지 관통되게 형성하고,
상기 제5단계에서는 일 방향 보의 양측 단부가 서로 나란하게 인접되어 형성되는 상기 공간에 몰탈을 주입함으로써, 몰탈이 일 방향 보의 상부로 넘치지 않고 인접되는 두 개의 일 방향 보의 단부 사이 간격과, 일 방향 보와 격자보 사이 간격과, 수직근 삽입 홈 내주면과 수직근 외주면 사이 틈으로 몰탈이 주입하여 응고하는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물 시공방법.
제9항에 있어서,
상기 제1단계에서는 상기 일 방향 보에서 측면의 돌출 형태의 단차 상면에 일정 길이만큼 높이가 낮아지는 단차 형태의 트렌치 홈을 일 방향 보의 길이 방향을 따라 복수개로 형성하여, 일 방향 보와 격자보 사이 간격으로 몰탈을 주입하여 트렌치 홈에 채움으로써, 일 방향 보와 격자보 간에는 측면 및 저면이 모두 몰탈이 응고되어 접착 결합 되는 것을 특징으로 하는 반도체 공장의 격자보 구조물.