KR20190033847A - Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate - Google Patents

Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate Download PDF

Info

Publication number
KR20190033847A
KR20190033847A KR1020170122520A KR20170122520A KR20190033847A KR 20190033847 A KR20190033847 A KR 20190033847A KR 1020170122520 A KR1020170122520 A KR 1020170122520A KR 20170122520 A KR20170122520 A KR 20170122520A KR 20190033847 A KR20190033847 A KR 20190033847A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
clamp
mask sheet
lower clamp
upper clamp
Prior art date
Application number
KR1020170122520A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101980004B1 (en
Inventor
이상민
최명운
박창선
서정국
윤경욱
김영준
유권국
정광호
Original Assignee
주식회사 야스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 야스 filed Critical 주식회사 야스
Priority to KR1020170122520A priority Critical patent/KR101980004B1/en
Publication of KR20190033847A publication Critical patent/KR20190033847A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101980004B1 publication Critical patent/KR101980004B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

The purpose of the present invention is to improve the quality of a large-area panel by minimizing a gap between a mask sheet and a substrate while stably fixing the substrate through a clamp. A mounting clamp of the present invention, having a dual clamp structure, includes: a lower clamp pressing a substrate in direct contact with the substrate; and an upper clamp pressing the substrate overlappingly with the lower clamp. The lower clamp has the same structure as a conventional clamp including an elastic body, the upper clamp laid on the lower clamp is hinged with the lower clamp without an elastic body, and a magnet is installed in the head part of the upper clamp to clamp a substrate and a mask sheet. To clamp the substrate and the mask sheet, the lower clamp presses the substrate and the magnet of the upper clamp is placed in the head part of the lower clamp to pull the mask sheet with magnetic force so that the mask sheet is prevented from sagging from the substrate.

Description

마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛{Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a mask sheet and a substrate fixing unit for minimizing a substrate gap.

본 발명은 대면적 디스플레이 제조 공정에서 사용되는 기판 이송 트래이(트래이)에 관한 것으로, 특히, 마스크 시이트(마스크 시이트)와 기판 사이의 갭(gap)을 최소화 할 수 있는 기판 고정 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer tray used in a large area display manufacturing process, and more particularly, to a substrate holding system capable of minimizing a gap between a mask sheet (mask sheet) and a substrate.

디스플레이 산업에서 기판을 운송하기 위해 다양한 방식이 사용 되고 있다. 척 혹은 트레이 등이 있으며 이 중 척은 점착 척, 마그넷 척, 정전기 척 등으로 분류된다.Various methods are used to transport substrates in the display industry. Chuck, or tray. Among them, the chuck is classified into an adhesive chuck, a magnet chuck, and an electrostatic chuck.

대면적 유리 기판을 생산하기 위해 다양한 운송방식 중 현재 가장 양산화된 기술은 점착 척으로써, 점착 척의 경우 본 출원인(야스)에 의해 출원되어 있다(대한민국 등록 특허 제 10-0541856호 참조).In order to produce a large-area glass substrate, the most mass-produced technology among the various transportation methods is tacky, and the tacky case is filed by the present applicant (Yasu) (see Korean Patent No. 10-0541856).

하지만, 이러한 척 이송 방식은 기판의 처짐을 최소화할 수 있고 다양한 모델의 대면적 기판을 효과적으로 이송할 수 있다는 장점을 갖는 동시에 척에서부터 기판이 드랍(Drop) 될 수 있는 치명적인 단점을 가지고 있다. 이러한 기판 Drop의 발생은 대면적 패널(Panel) 양산에 활용되고 있는 인라인 시스템(inline system)에서 패널 생산을 멈추게 하고 이로 인하여 엄청난 금전적 손실을 발생시킨다. 또한, 기판이 무사히 운송되더라도 디척(De-chuck) 과정에서 기판이 파손되는 일이 발생할 수 있으며 이 역시 생산 라인의 중단을 야기한다. 더불어 이러한 척 시스템은 척으로 인한 추가적인 장비를 필요로 하여 생산 원가를 증가시키는 원인으로 지목되고 있다.However, such a chuck transfer method has the advantage of minimizing deflection of the substrate, effectively transferring large-area substrates of various models, and has a fatal disadvantage that the substrate can be dropped from the chuck. The occurrence of such a substrate drop causes the panel production to be stopped in an inline system used for mass production of a large-area panel (panel), thereby causing a huge financial loss. In addition, even if the substrate is transported safely, the substrate may be damaged in the de-chuck process, which also causes the production line to stop. In addition, these chuck systems require additional equipment due to the chuck, which is attributed to the increase in production costs.

이러한 이유로 인해 척을 이용한 양산보다 트래이를 선호하는 양산의 수요가 꾸준히 발생하고 있다. 트래이를 이용한 반송 방식은 트래이 마스크 위에 기판을 올려 놓고 기판을 클램프를 이용하여 고정하게 되는데 중앙부의 경우는 기판 자중에 의해 기판이 마스크 시이트를 누르게 되고 이로 인해 마스크 시이트와 기판 사이의 접촉이 긴밀해 지지만 가장 자리의 경우 기판이 마스크 시이트에 제대로 접촉되지 않아 갭이 발생하게 된다. 이러한 갭은 증착 시 섀도(Shadow)에 의한 패널 불량을 야기한다.For this reason, there is a steady demand for mass production, which favored trays rather than mass production using chucks. In the transport method using the trays, the substrate is placed on the tray mask, and the substrate is fixed by using a clamp. In the case of the central portion, the substrate presses the mask sheet by the weight of the substrate, thereby making the contact between the mask sheet and the substrate tight In the case of the edge, the substrate does not contact the mask sheet properly and a gap is generated. These gaps cause panel defects due to shadows during deposition.

본 발명의 목적은 클램프를 이용하여 기판을 안정적으로 고정하면서도 마스크 시이트와 기판 사이의 갭을 최소화하고 이를 통해 섀도 발생을 억제하여 대면적 패널의 품질을 향상시는 것이다.It is an object of the present invention to improve the quality of large-area panels by minimizing the gap between the mask sheet and the substrate while suppressing the occurrence of shadows while stably fixing the substrate using a clamp.

상기 목적에 따라 본 발명은 섀도우(Shadow)를 최소화하는 트래이를 구현하기 위해 다음과 같이 구성하였다.According to the above object, the present invention is configured as follows to implement a shadow minimizing shadow.

종래 사용된 트래이는 트래이 마스크 프래임과 마스크 시이트, 그리고 클램프로 구성된다. 마스크 시이트는 트래이 마스크 프래임에 용접 등의 방식으로 고정되고 이렇게 고정된 마스크 시이트 상부에 기판을 올려놓는다. 이때 트래이 마스크의 반송에 의한 기판 슬립, 떨림 등을 최소화하기 위해 클램프를 이용하여 기판의 가장자리 부분을 고정한다. Conventionally used trays consist of a tray mask frame, a mask sheet, and a clamp. The mask sheet is fixed to the tray mask frame by welding or the like, and the substrate is placed on the mask sheet thus fixed. At this time, the edge portion of the substrate is fixed by using a clamp to minimize substrate slip and trembling due to transportation of the tray mask.

본 발명의 경우, 장착 클램프는 일반적인 집게 방식의 클램프가 아닌 자석을 포함하는 이중 구조를 가진다. 상부 클램프는 중앙의 축에 스프링과 같은 탄성체를 포함하지 않는다. 상부 클램프의 한쪽 끝에는 자석이 장착되어 있다. 클램프가 기판을 고정하였을 때 이 자석은 하부 클램프의 뒷면에 위치하여 마스크 시이트를 잡아당겨 기판과 마스크 시이트의 결합을 밀접하게 하는 역할을 한다. 클램프의 클램핑을 해제하기 위해 상부 클램프의 누름판을 누르면 그 힘에 의해 상부 클램프의 자석부가 하부 클램프의 헤드(head) 부에서 떨어져 젖혀지게 된다. 이때 마스크 시이트를 붙잡고 있던 자력(Magnetic force)이 사라져 마스크 시이트는 다시 처지게 된다. 상부 클램프의 자석부가 젖혀지고 나서 일정 스트로크(stroke)만큼 추가적으로 누르게 되면 상부 클램프의 누름판이 하부 클램프의 누름판을 누르게 된다. 이렇게 눌러지는 힘에 의해 기판을 잡고 있던 하부 클램프의 헤드부가 젖혀지게 되고 기판과 클램프가 분리되어 기판이 트래이 마스크로부터 이동하게 된다. 이때 하부 클램프는 일반적인 형태의 클램프와 같이 중앙부에 스프링(Spring)과 같은 탄성체를 포함한다. 상기의 클램프 방식은 기판이 없는 상황에서 상부 클램프를 젖히게 되어도 하부 클램프로 인하여 마스크 시이트에 손상(damage) 없이 클램프를 젖힐 수 있는 장점을 가진다.In the case of the present invention, the mounting clamp has a dual structure including a magnet rather than a general clamping clamp. The upper clamp does not include a spring-like elastic body on the central axis. One end of the upper clamp is equipped with a magnet. When the clamp fixes the substrate, the magnet is positioned on the backside of the lower clamp and pulls the mask sheet to closely align the substrate with the mask sheet. When the pressing plate of the upper clamp is pressed to release the clamping of the clamp, the magnet portion of the upper clamp is released from the head portion of the lower clamp by the force. At this time, the magnetic force holding the mask sheet disappears and the mask sheet is sagged again. When the magnet portion of the upper clamp is further pushed by a certain stroke after the magnet portion is tilted, the pressing plate of the upper clamp presses the pressing plate of the lower clamp. The pressing force causes the head portion of the lower clamp holding the substrate to be tilted, and the substrate and the clamp are separated to move the substrate from the tray mask. At this time, the lower clamp includes an elastic body such as a spring at the center as a general type of clamp. The above clamping method has an advantage that the clamp can be tilted without damaging the mask sheet due to the lower clamp even when the upper clamp is tilted in a state where there is no substrate.

본 발명에 따르면 자석을 포함한 이중 방식의 클램프에 의해 기판과 마스크 시이트 사이에서 발생할 수 있는 갭이 제거되어 섀도 효과를 방지할 수 있다. According to the present invention, a gap that may occur between the substrate and the mask sheet is removed by the double-type clamp including the magnet, thereby preventing the shadow effect.

즉, 자석을 구비한 상부 클램프와 탄성체를 구비한 하부 클램프가 기판과 마스크 시이트를 각각 자력과 탄성력으로 고정하며, 상부 클램프의 자석은 기판 아래에 있는 마스크 시이트를 자력으로 당겨 기판과 마스크 시이트 사이에 생길 수 있는 갭을 없애준다.That is, the upper clamp having the magnet and the lower clamp having the elastic body fix the substrate and the mask sheet respectively by the magnetic force and the elastic force, and the magnet of the upper clamp pulls the mask sheet under the substrate by the magnetic force, Eliminates gaps that can occur.

또한, 상기와 같은 이중 방식의 클램프에 의해 기판과 마스크의 고정은 안정적으로 이루어지며, 상부 클램프의 구동은 하부 클램프가 있어 자유롭게 실시될 수 있다. 즉, 기판이 없는 상황에서 상부 클램프를 젖히게 되어도 하부 클램프가 마스크 시이트를 덮고 있는 상태를 유지하여 마스크 시이트에 손상(damage)이 없다. Also, the fixing of the substrate and the mask can be stably performed by the double clamping method as described above, and the driving of the upper clamp can be freely performed by using the lower clamp. That is, even if the upper clamp is tilted in a state where there is no substrate, the lower clamp keeps covering the mask sheet, and there is no damage to the mask sheet.

도 1은 본 발명에서 제안하는 이중 방식의 클램프가 기판과 마스크 시이트를 고정하고 있는 상태를 보여주는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 이중 방식의 클램프의 동작을 보여주는 순서도이다. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a state in which a double-type clamp proposed in the present invention fixes a substrate and a mask sheet.
Figure 2 is a flow chart illustrating the operation of the dual clamp of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에는 본 발명의 이중 방식 클램프의 구성이 나와있다.Fig. 1 shows the construction of a double-acting clamp of the present invention.

마스크 프래임(101)에 용접고정된 마스크 시이트(102) 위에 놓인 기판(400)을 마스크 시이트(102)와 함께 안정적으로 고정하기 위해 기판(400) 위에서 눌러주는 클램프는 상기 마스크 프래임(101)에 본체를 고정시킨다. A clamp that presses the substrate 400 on the substrate 400 in order to stably fix the substrate 400 placed on the mask sheet 102 welded to the mask frame 101 together with the mask sheet 102 is provided on the mask frame 101, .

본 발명의 클램프는 종래의 것과 달리 상부 클램프(200)와 하부 클램프(300)를 구비한 이중 방식으로 구성된다. The clamp of the present invention is configured in a dual mode with the upper clamp 200 and the lower clamp 300 unlike the conventional clamp.

하부 클램프(300)는 종래의 클램프와 동일하게 스프링과 같은 탄성 부재에 의해 구동되며, 본체부(305)는 마스크 프래임(101)에 고정된다. 하부 클램프(300)는 탄성부재를 중심으로 한 회동부의 후단에 누름판(302)를 구비하며, 상기 누름판(302)을 누르면 기판을 누르는 헤드부(301)가 상승하여 기판을 누르지 않게 된다. 상기 누름판(302)은 하부 클램프의 본체 중앙에 감긴 탄성체의 후단이거나 이와 연동된 부분일 수 있고, 누름판(302)은 수평 또는 수평으로부터 상승되는 각도로 펼쳐질 수 있다. The lower clamp 300 is driven by an elastic member such as a spring like the conventional clamp, and the main body 305 is fixed to the mask frame 101. The lower clamp 300 includes a pushing plate 302 at the rear end of the pivoting portion about the elastic member. When the pushing plate 302 is pressed, the head 301 pushing the substrate rises and does not press the substrate. The presser plate 302 may be a rear end or an interlocking portion of an elastic body wound around the center of the lower clamp, and the presser plate 302 may be unfolded at an angle rising from horizontal or horizontal.

상기 헤드부(301)는 계단형으로 형성되어 낮아진 부분에 상부 클램프(200)의 헤드부에 있는 자석(201)이 안착 된다. 상기 하부 클램프의 누름판(302)은 상부 클램프의 누름판(202)이 먼저 압박되면서 클램프의 누름판(202)에 의해 2차적으로 압박된다. 또한, 헤드부(301)의 이면은 고무, 실리콘, 바이톤 등의 연성 소재가 부착되어 기판을 누를 때 파손되지 않게 하는 것이 바람직하다. The head portion 301 is formed in a stepped shape, and a magnet 201 in the head portion of the upper clamp 200 is seated in a lowered portion. The press plate 302 of the lower clamp is pressed secondarily by the press plate 202 of the clamp while the press plate 202 of the upper clamp is pressed first. It is preferable that the back surface of the head portion 301 is made of a soft material such as rubber, silicone, or viton so that it is not damaged when the substrate is pressed.

상부 클램프(200)는 하부 클램프(300)와 경첩과 같이 회동 되는 구동부를 공유하며, 하부 클램프 위에 중첩적으로 배치되는 상부 클램프(200)는 헤드부에 영구자석(201)을 구비한다. 그러나 상부 클램프(200)는 하부 클램프(300)의 탄성체에 의한 탄성에 의해 구동되지 않으며, 단지 하부 클램프(300)의 회동부에 경첩과 같은 형태로 결합 되어 탄성에 의한 구속력 없이 자유롭게 회동 된다. The upper clamp 200 shares a driving part rotated with the lower clamp 300 such that the lower clamp 300 and the upper clamp 200 overlap the lower clamp 300. The upper clamp 200 includes a permanent magnet 201 at the head. However, the upper clamp 200 is not driven by elasticity of the elastic body of the lower clamp 300, but is coupled to the rotary portion of the lower clamp 300 in the form of a hinge and freely rotates without restraint by elasticity.

상부 클램프(200)는 자석(201)이 이면에 구비된 헤드부와 상기 헤드부로부터 뻗어 하부 클램프(300)의 회동부에 경첩식으로 접속되며, 후단에 누름판(202)을 구비한 본체부(205)를 구비한다. 헤드부와 본체부는 조립식 또는 일체형으로 구성될 수 있다. The upper clamp 200 includes a head portion provided on the back surface of the magnet 201 and a body portion extending from the head portion and hingedly connected to the turning portion of the lower clamp 300, 205). The head portion and the main body portion may be configured to be assembled or integrated.

상부 클램프(200)는 탄성의 구속력은 받지 않으나 헤드부에 있는 자석(201)이 자성체로 된 마스크 시이트(102)에 미치는 자력에 의해 구속되어 자력에 해당하는 힘을 누름판(202)에 가하여야 기판으로부터 이탈된다. The upper clamp 200 does not receive the restraining force of the elasticity but the magnet 201 in the head portion is restrained by the magnetic force applied to the mask sheet 102 made of magnetic material and applies a force corresponding to the magnetic force to the pressing plate 202, .

상부 클램프(200)는 직접적으로 기판에 접하지 않고 하부 클램프(300)의 헤드부(310)에 착지하게 된다. 상기 영구자석(201)은 하부 클램프 헤드(301)에 착지되어 자력으로 기판(400) 아래에 처져있는 마스크 시이트(102)를 당겨 올려 기판(400)과 마스크 시이트(102) 사이의 갭을 없앤다. The upper clamp 200 directly lands on the head 310 of the lower clamp 300 without touching the substrate. The permanent magnet 201 is placed on the lower clamp head 301 and pulls up the mask sheet 102 which is magnetically beneath the substrate 400 to remove the gap between the substrate 400 and the mask sheet 102.

한편, 본 발명의 이중 방식의 클램프에 의해 기판과 마스크 시이트를 클램핑하고 클램핑된 상태를 해제하는 동작을 실시함에 있어서, 상부 클램프(200)의 누름판(202) 단부가 회전할 때 마스크 프래임의 상면이 간섭하지 않도록 클램프가 설치된 마스크 프래임(101)에 오목부(120)를 형성한다. When the end of the pressure plate 202 of the upper clamp 200 rotates, the upper surface of the mask frame is moved to the upper side of the clamp plate 200, The concave portion 120 is formed in the mask frame 101 provided with the clamp so as not to interfere.

본 발명의 이중 방식의 클램프는 다음과 같이 동작시킨다.The double clamp of the present invention operates as follows.

하부 클램프의 누름판(302)와 상부 클램프의 누름판(202)을 차례로 모두 상승시켜 하부 클램프의 헤드부(301)는 기판(400)을 누르고, 상부 클램프의 헤드부에 있는 자석(201)이 하부 클램프의 헤드부(301)를 누른다. 상술한 바와 같이 이때 자석(201)의 자력이 기판(400) 아래에 쳐저있는 마스크 시이트(102)를 당겨 쳐짐 현상을 없애준다. The presser plate 302 of the lower clamp and the presser plate 202 of the upper clamp are sequentially lifted in order so that the head portion 301 of the lower clamp presses the substrate 400 and the magnet 201 in the head portion of the upper clamp is moved to the lower clamp The head unit 301 of FIG. As described above, the magnetic force of the magnet 201 at this time eliminates the phenomenon of pulling the mask sheet 102 stuck under the substrate 400.

도 2에는 클램프에 의해 틀램핑 된 상태를 다시 해제하는 과정을 순서대로 보여준다.FIG. 2 shows a process of releasing the state of clamping by the clamp in order.

클램프의 해제는 진공 챔버에서 실시될 수 있으며, 상하 구동되는 바에 의해 실시된다. Release of the clamp can be carried out in a vacuum chamber and is carried out by a vertically driven bar.

클램프의 클램핑을 해제하기 위해 상부 클램프(200)의 누름판(202)을 누르면 그 힘에 의해 상부 클램프의 자석(201)이 하부 클램프의 헤드부(301)에서 떨어져 젖혀지게 된다(도 2의 세 번째 그림). 이때 마스크 시이트(102)를 붙잡고 있던 자력(Magnetic force)이 사라져 마스크 시이트(102)는 다시 처지게 된다. 상부 클램프의 자석(201)이 젖혀지고 나서 바가 일정 스트로크(stroke)만큼 추가적으로 상부 클램프(200)의 누름판(202)을 누르게 되면 상부 클램프의 누름판(202)이 하부 클램프의 누름판(302)을 누르게 된다. 이렇게 눌러지는 힘에 의해 기판을 잡고 있던 하부 클램프의 헤드부(301)가 젖혀지게 되고(도 2의 네 번째 그림), 기판(400)과 클램프가 분리되어 기판이 트래이 마스크로부터 이동하게 된다. 이때 상부 클램프(200)의 누름판(202) 단부가 마스크 프래임의 오목부(120)에 들어가 동작의 간섭을 일으키지 않는다. 이와 같이 충분한 회동을 위해, 그리고 오목부(120)의 단면적을 최소화하기 위해, 상부 클램프의 누름판(202)의 형상은 상부 클램프 본체로부터 각도를 갖고 상승하다 수평하게 각진 부분을 구비하게 하였다. 수평하게 각진 부분은 상승각도를 상대적으로 낮추는 정도로 형성할 수도 있다. 이러한 구성은 오목부(120)의 단면적을 넓게 형성하지 않아도 회동시 간섭이 일어나지 않게 할 수 있다. When the pressing plate 202 of the upper clamp 200 is pressed to release the clamping of the clamp, the magnet 201 of the upper clamp is tilted away from the head 301 of the lower clamp by the force thereof Drawing). At this time, the magnetic force holding the mask sheet 102 disappears and the mask sheet 102 is sagged again. When the magnet 201 of the upper clamp is tilted and the bar further presses the pressing plate 202 of the upper clamp 200 by a predetermined stroke, the pressing plate 202 of the upper clamp presses the pressing plate 302 of the lower clamp . By this pressing force, the head part 301 of the lower clamp holding the substrate is tilted (fourth figure in Fig. 2), and the substrate 400 and the clamp are separated and the substrate is moved from the tray mask. At this time, the end of the pressure plate 202 of the upper clamp 200 enters the concave portion 120 of the mask frame and does not interfere with the operation. In order to provide sufficient pivoting and to minimize the cross-sectional area of the recess 120, the shape of the pressure plate 202 of the upper clamp is such that it has an angularly rising, horizontally angled portion from the upper clamp body. The horizontally angled portion may be formed to a degree that relatively lowers the rising angle. Such a configuration can prevent the interference in rotation when the cross-sectional area of the recess 120 is not wide.

한편, 하부 클램프(300)는 일반적인 형태의 클램프와 같이 중앙부에 스프링(Spring)과 같은 탄성체를 포함한다. 상기 탄성체의 단부가 누름판(302) 자체가 될 수 있다. On the other hand, the lower clamp 300 includes an elastic body such as a spring at the center as a general type of clamp. The end of the elastic body may be the push plate 302 itself.

상기의 클램프 구조 및 동작 방식은 기판이 없는 상황에서 상부 클램프(200)를 젖히게 되어도 하부 클램프(300)로 인하여 마스크 시이트에 손상(damage) 없이 클램프를 젖힐 수 있는 장점을 지닌다. The clamp structure and the operation method have an advantage that the clamp can be tilted without damaging the mask sheet due to the lower clamp 300 even if the upper clamp 200 is tilted in a state where there is no substrate.

본 발명의 권리는 위에서 설명된 실시예에 한정되지 않고 청구범위에 기재된 바에 의해 정의되며, 본 발명의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 청구범위에 기재된 권리범위 내에서 다양한 변형과 개작을 할 수 있다는 것은 자명하다.It is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiment, but is capable of many modifications and variations within the scope of the appended claims. It is self-evident.

101: 마스크 프래임
102: 마스크 시이트
200: 상부 클램프
201: 상부 클램프 자석
202: 상부 클램프 누름판
300: 하부 클램프
301: 하부 클램프 헤드부
302: 하부 클램프 누름판
400: 기판101: mask frame
102: mask sheet
200: upper clamp
201: upper clamp magnet
202: upper clamp presser plate
300: Lower clamp
301: Lower clamp head
302: Lower clamp plate
400: substrate

Claims (2)

마스크 프레임에 설치되어 기판과 마스크 시이트를 눌러 고정하는 기판고정유닛으로서,
기판 위에 직접 닿아 기판을 누르는 하부 클램프; 및
상기 하부 클램프와 중첩적으로 기판을 누르는 상부 클램프;를 포함하고,
상기 하부 클램프는,
기판을 누르는 헤드부;
상기 헤드부로부터 연장된 본체부; 및
탄성에 의해 클램핑하고 클램핑을 해제할 수 있도록 본체 중앙부에 설치된 탄성체를 구비한 회동부를 구비하되, 상기 탄성체의 단부는 눌려질 수 있는 누름판으로 작용하고,
상기 상부 클램프는,
상기 하부 클램프의 헤드부에 안착되는 자석을 구비한 헤드부; 및
상기 헤드부로부터 연장되어 상기 하브 클램프의 회동부에 경첩식으로 연결된 본체부를 구비하며, 상기 본체부의 단부는 눌려질 수 있는 누름판을 구비하여,
기판과 마스크 시이트를 클램핑함에 있어서, 상기 하부 클램프가 기판을 누르고 상기 상부 클램프의 자석이 상기 하부 클램프의 헤드부에 안착되어 마스크 시이트를 자기력으로 당겨올려 마스크 시이트가 기판으로부터 처지는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.A substrate fixing unit installed in a mask frame for pressing and fixing a substrate and a mask sheet,
A lower clamp directly contacting the substrate to press the substrate; And
And an upper clamp for pressing the substrate in superposition with the lower clamp,
The lower clamp,
A head portion for pressing the substrate;
A main body extending from the head portion; And
And a pivoting portion provided with an elastic body provided at a central portion of the main body so as to be clamped by the elasticity and to be able to release the clamping. The end portion of the elasticity acts as a pressing plate,
Wherein the upper clamp comprises:
A head portion having a magnet mounted on a head portion of the lower clamp; And
And a body portion extending from the head portion and hingedly connected to the rotary portion of the hub clamp. The end portion of the body portion includes a press plate that can be pressed,
Wherein the lower clamp presses the substrate and the magnet of the upper clamp is seated on the head of the lower clamp so as to pull up the mask sheet by magnetic force to prevent the mask sheet from sagging from the substrate when clamping the substrate and the mask sheet, And a substrate holding unit. 제1항에 있어서, 상기 마스크 프래임은 오목부를 구비하여 클램핑을 해제하기 위해 상기 상부 클램프의 누름판이 회동될 때 상기 오목부에 상부 클램프의 누름판의 단부가 상기 오목부에 들어가는 것을 특징으로 하는 기판 고정 유닛.


2. The substrate clamping apparatus according to claim 1, wherein the mask frame has a concave portion, and when the pressure plate of the upper clamp is rotated to release the clamping, the end of the pressure plate of the upper clamp enters the concave portion into the concave portion. unit.


KR1020170122520A 2017-09-22 2017-09-22 Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate KR101980004B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170122520A KR101980004B1 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170122520A KR101980004B1 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190033847A true KR20190033847A (en) 2019-04-01
KR101980004B1 KR101980004B1 (en) 2019-08-28

Family

ID=66104759

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170122520A KR101980004B1 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101980004B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110172667A (en) * 2019-06-20 2019-08-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 A kind of clamping device and sputtering equipment applied in sputtering equipment
US20210090925A1 (en) * 2019-09-19 2021-03-25 Lg Electronics Inc. Device for self-assembling semiconductor light-emitting diodes
CN113270359A (en) * 2020-02-17 2021-08-17 Lg电子株式会社 Substrate chuck for self-assembled semiconductor light emitting diode

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060014390A (en) * 2003-06-04 2006-02-15 가부시키가이샤 니콘 Stage apparatus, fixation method, exposure apparatus, exposure method, and device producing method
KR20140127101A (en) * 2013-04-24 2014-11-03 주식회사 선익시스템 Apparatus for clamping substrate
KR20150070379A (en) * 2012-10-22 2015-06-24 캐논 아네르바 가부시키가이샤 Substrate processing apparatus
KR101833606B1 (en) * 2016-02-03 2018-04-16 주식회사 야스 Adhesive chuck with clamping units

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060014390A (en) * 2003-06-04 2006-02-15 가부시키가이샤 니콘 Stage apparatus, fixation method, exposure apparatus, exposure method, and device producing method
KR20150070379A (en) * 2012-10-22 2015-06-24 캐논 아네르바 가부시키가이샤 Substrate processing apparatus
KR20140127101A (en) * 2013-04-24 2014-11-03 주식회사 선익시스템 Apparatus for clamping substrate
KR101833606B1 (en) * 2016-02-03 2018-04-16 주식회사 야스 Adhesive chuck with clamping units

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110172667A (en) * 2019-06-20 2019-08-27 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 A kind of clamping device and sputtering equipment applied in sputtering equipment
CN110172667B (en) * 2019-06-20 2021-06-01 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 Clamping device applied to sputtering equipment and sputtering equipment
US20210090925A1 (en) * 2019-09-19 2021-03-25 Lg Electronics Inc. Device for self-assembling semiconductor light-emitting diodes
CN113270359A (en) * 2020-02-17 2021-08-17 Lg电子株式会社 Substrate chuck for self-assembled semiconductor light emitting diode
US20210252671A1 (en) * 2020-02-17 2021-08-19 Lg Electronics Inc. Substrate chuck for self-assembling semiconductor light emitting diodes
CN113270359B (en) * 2020-02-17 2023-08-11 Lg电子株式会社 Substrate chuck for self-assembled semiconductor light emitting diode
US11794310B2 (en) * 2020-02-17 2023-10-24 Lg Electronics Inc. Substrate chuck for self-assembling semiconductor light emitting diodes

Also Published As

Publication number Publication date
KR101980004B1 (en) 2019-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7771789B2 (en) Method of forming mask and mask
KR20190033847A (en) Substrate Fitting Unit For Minimizing Gap Between Mask Sheet and the Substrate
KR101182172B1 (en) Apparatus for fabricating flexible liquid crystal display
KR102317159B1 (en) Bonding appratus and method of manufacturing display device using the same
KR20190079024A (en) System for attaching functional film
JP2016197623A (en) Sucking/holding jig, sucking/holding device equipped with this jig, sucking/holding method, processing method of substrate, and film formation method of substrate
KR101844643B1 (en) Combining unit of substrate and mask for improving substrate hangning
JP2008191438A (en) Method of sticking optical film, apparatus of sticking optical film and method of manufacturing display panel
KR101606553B1 (en) Chuck system having member with adhesive strength based on Van der Waals' Force
KR101809803B1 (en) Align system with substrate tightening plate for stabilizing substrate
KR20180027683A (en) Apparatus for removing glass dummy
JP2002357817A (en) Polarizing plate sticking device
EP3467868B1 (en) Support apparatus and support method
CN105765645B (en) Flexible substrates joint method
JPH08114796A (en) Polarizing plate sticking device
JP2006039238A (en) Sticking device for functional film such as polarizing plate and ar film
JP4307653B2 (en) Substrate support device and substrate transfer mechanism
KR101403850B1 (en) System for holding large scale substrate
KR101914882B1 (en) Align system with substrate tightening plate for stabilizing substrate
JPH0215934A (en) Holding device
JP2002270486A (en) Substrate exposure apparatus and method of using the same
TWI788151B (en) Flim tearing device
KR101362298B1 (en) Apparatus and method of bonding substrates using jig-type flexible pad
JP7417246B2 (en) Pasting device and method
KR102600430B1 (en) Substrate Holding Apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant