KR20190023224A - 웨이퍼 수용 용기 저장 장치 - Google Patents

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이호근
안은모
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크린팩토메이션 주식회사
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Abstract

본 발명은, 웨이퍼 수용 용기가 적재되는 선반을 구비하는 보관 하우징; 상기 웨이퍼 수용 용기 내의 웨이퍼의 분류를 위한 공간을 제공하는 분류 하우징; 상기 보관 하우징과 상기 분류 하우징에 걸쳐 배치되는 로드 포트; 상기 보관 하우징 내에서 주행하도록 구성되어, 상기 선반으로부터 상기 웨이퍼 수용 용기를 옮겨 상기 로드 포트에 로딩하는 랙 마스터; 및 상기 분류 하우징 내에 위치하며, 상기 로드 포트에 의해 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어가 개방되면 상기 웨이퍼를 분류하는 핸들링 로봇을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치를 제공한다.

Description

웨이퍼 수용 용기 저장 장치{APPARATUS FOR STORING WAFER ACCOMODATING VESSEL}
본 발명은 웨이퍼 수용 용기 저장 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정에서는 웨이퍼를 생산하고, 생산된 웨이퍼를 이후의 증착, 식각 등의 가공 단계로 이송하여 반도체 패키지를 제조하게 된다.
이때, 생산된 웨이퍼는 바로바로 이후 단계에 사용되지 못하고 일정 시간 대기한 후에 필요에 따라 순차적으로 다음 단계로 보내진다. 그에 따라 웨이퍼의 보관을 위한 설비가 필요하다.
위의 보관을 위한 설비는 반도체 공장의 지상에 설치되거나 천장에 매달리도록 설치될 수 있다. 어떤 방식에서건, 웨이퍼는 보관 설비에 그대로 보관될 뿐이어서, 그 보관하는 시간 동안에 단순히 시간을 흘려보내기만 하게 된다.
본 발명의 일 목적은, 웨이퍼를 보관하는 중에 웨이퍼 수용 용기 내의 웨이퍼를 정렬하는 이중적인 기능을 달성하게 하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 웨이퍼 보관 및 정렬의 이중적인 기능 수행 간에 발생할 수 있는 웨이퍼 수용 용기의 반송에 의한 시간 손실을 없앨 수 있는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치를 제공하는 것이다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 수용 용기 저장 장치은, 웨이퍼 수용 용기가 적재되는 선반을 구비하는 보관 하우징; 상기 웨이퍼 수용 용기 내의 웨이퍼의 분류를 위한 공간을 제공하는 분류 하우징; 상기 보관 하우징과 상기 분류 하우징에 걸쳐 배치되는 로드 포트; 상기 보관 하우징 내에서 주행하도록 구성되어, 상기 선반으로부터 상기 웨이퍼 수용 용기를 옮겨 상기 로드 포트에 로딩하는 랙 마스터; 및 상기 분류 하우징 내에 위치하며, 상기 로드 포트에 의해 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어가 개방되면 상기 웨이퍼를 분류하는 핸들링 로봇을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 로드 포트는, 상기 분류 하우징 측에 위치하고, 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어를 개방하도록 구성되는 도어 오프너; 상기 보관 하우징 측에 위치하고, 상기 랙 마스터에 의해 로딩된 상기 웨이퍼 수용 용기를 지지하는 워크 테이블; 및 상기 워크 테이블을 구동하여, 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어가 상기 도어 오프너를 대면하게 하도록 구성되는 구동 모듈을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈은, 상기 워크 테이블을 상기 웨이퍼 수용 용기의 중심축을 중심으로 선회시키도록 구성되는 선회 유닛을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 선회 유닛은, 하부 하우징; 상기 하부 하우징에 결합되는 선회 모터; 및 상기 하부 하우징 상에 배치되고, 상기 선회 모터의 회전력에 의해 회전되며, 상기 워크 테이블이 설치되는 상부 하우징을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 선회 유닛은, 상기 하부 하우징에 지지되며, 상기 선회 모터의 출력축에 연동되어 회전되는 선회 기어; 및 상기 하부 하우징에 지지되며, 상기 선회 기어보다 높은 높이를 갖는 지지 베어링을 더 포함하고, 상기 상부 하우징은, 상기 지지 베어링에 회전 가능하게 지지되며, 상기 선회 기어에 결합될 수 있다.
여기서, 상기 선회 기어는, 링 타입의 기어이고, 상기 지지 베어링은, 상기 선회 기어의 내측에 배치되는 크로스 롤러 베어링을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈은, 상기 선회 유닛을 수평 방향으로 이동시키도록 구성되는 이동 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 이동 유닛은, 상기 하부 하우징에 연결되는 프레임; 상기 프레임이 이동 가능하게 지지되는 베이스; 및 상기 프레임과 상기 베이스에 설치되어, 상기 프레임을 상기 베이스에 대해 상대 이동시키는 이동 볼스크류를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈을 제어하는 제어기를 더 포함하고, 상기 제어기는, 상기 워크 테이블에 상기 웨이퍼 수용 용기가 안착되면, 상기 이동 볼스크류를 작동시켜 상기 워크 테이블이 1차로 상기 분류 하우징 측으로 이동하게 하고, 상기 선회 모터를 작동시켜 상기 워크 테이블이 선회하게 한 후에, 상기 이동 볼스크류를 추가 작동시켜 상기 워크 테이블이 2차로 상기 분류 하우징 측으로 이동하게 하도록 구성될 수 있다.
여기서, 상기 구동 모듈은, 상기 선회 유닛을 수직 방향으로 승강시키도록 구성되는 승강 유닛을 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 승강 유닛은, 상기 프레임에 대해 승강 가능하게 결합되고, 상기 하부 하우징을 지지하는 승강 몸체; 상기 승강 몸체에 연결되는 승강 볼스크류; 및 상기 승강 볼스크류와 연동되어, 상기 승강 볼스크류에 회전력을 제공하는 승강 모터를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 워크 테이블은, 상기 웨이퍼 수용 용기을 지지하는 지지 플레이트; 및 상기 지지 플레이트를 상기 상부 하우징에 대해 이격되게 지지하는 포스트를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 지지 플레이트는, 상기 랙 마스터가 진입 가능한 사이즈를 갖는 전면 개방부를 포함할 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 관련된 웨이퍼 수용 용기 저장 장치에 의하면, 웨이퍼를 보관하는 중에 웨이퍼 수용 용기 내의 웨이퍼를 정렬하는 이중적인 기능을 달성할 수 있다.
또한, 웨이퍼 보관 및 정렬의 이중적인 기능 수행 간에 발생할 수 있는 웨이퍼 수용 용기의 반송에 의한 시간 손실을 없앨 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 저장 장치(100)에 대한 개념적 평면도이다.
도 2는 도 1의 로드 포트(150) 및 랙 마스터(170)를 보인 개념적 단면도이다.
도 3은 도 2의 로드 포트(150)의 구동 모듈(155)을 보인 조립 사시도이다.
도 4는 도 3의 구동 모듈(155)의 부분 분해 사시도이다.
도 5는 랙 마스터(170)가 로드 포트(150)의 워크 테이블(153)에 웨이퍼 수용 용기(F)가 얹힌 상태를 보인 개념적 평면도이다.
도 6은 도 5의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 1차 슬라이드된 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
도 7은 도 6의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 선회된 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
도 8은 도 7의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 2차 슬라이드 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 저장 장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 명세서에서는 서로 다른 실시예라도 동일·유사한 구성에 대해서는 동일·유사한 참조번호를 부여하고, 그 설명은 처음 설명으로 갈음한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 수용 용기 저장 장치(100)에 대한 개념적 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치(100)는, 보관 하우징(110), 분류 하우징(130), 로드 포트(150), 랙 마스터(170), 및 핸들링 로봇(190)을 포함할 수 있다.
보관 하우징(110)은 웨이퍼 수용 용기(F)를 보관하는 공간을 제공하는 구성이다. 보관 하우징(110)은 크게 세 구역으로 구분될 수 있다. 도면상 상부와 하부에는 선반(111)이 설치된다. 이러한 선반(111)은 웨이퍼 수용 용기(F)가 적재되는 구성이다. 도면상 중앙부는 빈 공간으로서, 랙 마스터(170)가 주행하기 위한 영역이 된다. 상기 하부와 관련하여, 상기 하부의 좌측에는 선반(111)이 설치되나, 우측에는 로드 포트(150)의 일 부분, 구체적으로 지지대(151, 도 2)가 배치될 수 있다. 이상에서, 웨이퍼 수용 용기(F)는 수직적으로 적층된 수 장 내지 수십 장의 웨이퍼를 수용하는 용기이다.
분류 하우징(130)은 보관 하우징(110)에 연결되어, 보관 하우징(110)과 접하여 배치된다. 분류 하우징(130) 내에는 로드 포트(150)의 나머지 부분, 예를 들어 도어 오프너(152, 도 2)이 배치될 수 있다. 분류 하우징(130) 내에는 또한 정렬기(131)가 배치될 수 있다.
로드 포트(150)는 보관 하우징(110)과 분류 하우징(130)에 걸쳐 배치되는 구성이다. 로드 포트(150)에는 보관 하우징(110)에 보관된 웨이퍼 수용 용기(F)가 얹혀질 수 있다. 이러한 로드 포트(150)에 의해, 보관 하우징(110)에 위치하는 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼는 분류 하우징(130) 측에 위치하는 핸들링 로봇(190)에 의해 핸들링될 수 있다.
랙 마스터(170)는 보관 하우징(110) 내에서 주행하면서, 외부의 웨이퍼 수용 용기(F)를 보관 하우징(110) 내의 선반(111)에 적재하게 된다. 또한, 랙 마스터(170)는 선반(111)에 적재된 웨이퍼 수용 용기(F)를 외부로 반출하거나, 로드 포트(150)에 로딩할 수도 있다.
핸들링 로봇(190)은 분류 하우징(130) 내에 위치하며, 로드 포트(150)에 로딩된 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼를 분류하게 된다. 핸들링 로봇(190)은 하나의 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼들의 위치를 재조정하거나, 복수의 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼들을 하나의 웨이퍼 수용 용기(F) 내로 옮기는 등의 분류 작업을 하게 된다. 핸들링 로봇(190)은 웨이퍼를 위와 같이 핸들링함에 있어서, 웨이퍼의 방향을 설정하기 위해 정렬기(131)를 이용할 수 있다.
이러한 구성에 의하면, 저장 장치(100)는, 보관 하우징(110) 내에 웨이퍼 수용 용기(F)를 보관함에 그치지 않고, 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼에 대한 분류(정렬) 작업까지 수행할 수 있다.
구체적으로, 선반(111)에 적재된 웨이퍼 수용 용기(F)를 랙 마스터(170)가 로드 포트(150)로 옮기면, 로드 포트(150)에 의해 웨이퍼 수용 용기(F)의 도어(D)가 개방된다. 이때, 핸들링 로봇(190)은 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼를 정리(분류, 정리)할 수 있다.
이러한 분류 작업은, 웨이퍼 수용 용기(F)가 보관 하우징(110) 내에 적재되는 중에 추가적인 작업으로 이루어짐에 따라, 웨이퍼 수용 용기(F)를 다른 곳으로 옮겨서 분류 작업을 하는 것에 비해 공정 시간을 줄일 수 있게 한다.
이제, 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지하여 핸들링 로봇(190)이 취급할 수 있도록 하는 로드 포트(150)에 대해 좀 더 구체적으로 설명한다.
도 2는 도 1의 로드 포트(150) 및 랙 마스터(170)를 보인 개념적 단면도이다.
본 도면을 참조하면, 로드 포트(150)는, 지지대(151), 도어 오프너(152), 워크 테이블(153), 및 구동 모듈(155)을 포함할 수 있다.
지지대(151)는 보관 하우징(110) 측에 위치하며, 랙 마스터(170)에 의해 옮겨진 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지하게 된다. 지지대(151)는 랙 마스터(170) 및 핸들링 로봇(190)의 높이에 맞추어 지상에서 이격된 높이에 위치하게 된다.
도어 오프너(152)는 분류 하우징(130) 측에 위치하며, 웨이퍼 수용 용기(F)의 도어(D)를 개방시키는 구성이다. 이를 위해, 웨이퍼 수용 용기(F)의 도어(D)는 도어 오프너(152)를 대면한 상태가 되어야 한다.
워크 테이블(153)은 지지대(151)에 설치되어, 웨이퍼 수용 용기(F)가 얹혀지는 구성이다. 구체적으로, 랙 마스터(170)는 선반(111, 도 1)에 얹혀진 웨이퍼 수용 용기(F)를 옮겨서 워크 테이블(153)에 내려 놓게 된다.
구동 모듈(155)은 워크 테이블(153)을 구동하도록 지지대(151)에 설치될 수 있다. 구동 모듈(155)은, 구체적으로, 웨이퍼 수용 용기(F)의 도어(D)가 도어 오프너(152)를 바라보지 않는 방향에서 도어 오프너(152)를 바라보는 방향으로 선회되도록 구동하는 구성이다.
이러한 구동 모듈(155)의 구체적 구성은 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한다.
도 3은 도 2의 로드 포트(150)의 구동 모듈(155)을 보인 조립 사시도이다.
본 도면을 참조하면, 일단, 워크 테이블(153)은, 지지 플레이트(153a)와, 포스트(153b)를 가질 수 있다.
지지 플레이트(153a)는 웨이퍼 수용 용기(F)가 직접적으로 얹혀지는 부분이다. 지지 플레이트(153a)의 중앙 부분은 전면 개방부(153a')에 의해 개방된다. 이러한 전면 개방부(153a')로는 랙 마스터(170) 중 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지하는 부분이 진입될 수 있다. 포스트(153b)는 지지 플레이트(153a)에서 하방으로 연장되어 선회 유닛(156)의 상부 하우징(157f)에 결합된다. 이러한 포스트(153b)에 의해 지지 플레이트(153a)는 상부 하우징(157f)으로부터 이격되고, 그 이격된 공간은 랙 마스터(170)의 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지하는 부분이 진입하는 것을 허용한다.
다시, 구동 모듈(155)은, 앞선 언급한 선회 유닛(156)을 가질 수 있다. 선회 유닛(156)은 워크 테이블(153)을 웨이퍼 수용 용기(F)의 중심축을 중심으로 선회시키도록 구성된다. 그러한 선회에 의해, 웨이퍼 수용 용기(F)의 도어(D)는, 도면상 2시 방향을 바라보다가 8시 방향을 바라보게 될 수 있다. 이러한 선회 유닛(156)의 구체적 구성은 도 4를 참조하여 설명한다.
다시 도 3을 참조하면, 구동 모듈(155)은, 선회 유닛(156)에 더하여, 이동 유닛(159)을 포함할 수 있다. 이동 유닛(159)은 선회 유닛(156)을 수평 방향(H)으로 이동시키는 구성이다. 이러한 이동 유닛(159)에 의해, 워크 테이블(153)[및 그에 얹혀진 웨이퍼 수용 용기(F)]은 도어 오프너(152, 도 2)에서 먼 위치에서 가까운 위치 간에 수평적으로 이동될 수 있다.
이동 유닛(159)은, 프레임(159a), 베이스(159b), 이동 볼스크류를 포함할 수 있다.
프레임(159a)은 선회 유닛(156)의 하부 하우징(157a, 도 4)에 연결되는 부분이다. 베이스(159b)는 프레임(159a)을 이동 가능하게 지지하는 부분이다. 프레임(159a)의 일 부분은 베이스(159b)의 일 부분과 평행하게 배치될 수 있다. 상기 이동 볼스크류는, 이동 모터(159c), 스크류(159d), 및 너트(159e)를 포함할 수 있다. 이동 모터(159c)는 베이스(159b)에 설치되어 회전력을 발생시킨다. 스크류(159d)는 이동 모터(159c)의 출력축에 연결되어 상기 회전력에 의해 회전된다. 너트(159e)는 프레임(159a)에 설치되고, 스크류(159d)와 나사 결합된다.
이러한 이동 유닛(159)의 구성에 의하여, 이동 모터(159c)가 작동되면, 그에 연결된 스크류(159d)가 회전된다. 스크류(159d)의 회전은 너트(159e)가 수평 방향(H)으로 이동되게 하는 힘을 너트(159e)에 전달한다. 그 힘에 의해, 너트(159e)에 연결된 프레임(159a)은 수평 방향(H)으로 이동하게 된다.
결과적으로, 베이스(159b)는 지지대(151, 도 2)에 고정된 상태에서, 상기 이동 볼스크류의 작동에 의해, 프레임(159a) 및 선회 유닛(156), 나아가 워크 테이블(153)은 수평 방향(H)으로 이동하게 된다.
이상의 선회 유닛(156), 나아가 승강 유닛(161)에 대해 도 4를 참조하여 설명한다.
도 4는 도 3의 구동 모듈(155)의 부분 분해 사시도이다. 도 4는 도 3의 반대 방향에서 구동 모듈(155)을 바라본 도면이다. 도 4에서는 도 3의 워크 테이블(153)과, 프레임(159a)의 일부는 생략되었다.
본 도면을 참조하면, 먼저, 선회 유닛(156)은, 하부 하우징(157a), 선회 모터(157b), 연동 기어(157c), 선회 기어(157d), 지지 베어링(157e), 및 상부 하우징(157f)을 포함할 수 있다.
하부 하우징(157a)은 프레임(159a)에 연결되는 부분으로서, 대체로 링 형태의 수용 공간을 갖는다. 이를 위해, 하부 하우징(157a)은 중공형 도넛에서 상부가 제거된 형태를 가질 수 있다.
선회 모터(157b)는 하부 하우징(157a)의 가장자리 측에 결합되어 회전력을 발생시킨다. 연동 기어(157c)는 선회 모터(157b)의 출력축에 연동되어, 상기 회전력을 선회 기어(157d)로 전달하게 된다.
선회 기어(157d)는 하부 하우징(157a)의 링형 수용 공간에 배치되고, 연동 기어(157c)와 외접하게 된다. 선회 기어(157d)는 연동 기어(157c)에 연동되어 회전하게 된다. 선회 기어(157d)의 내측에는 지지 베어링(157e)이 배치될 수 있다. 지지 베어링(157e)은 선회 기어(157d)보다 높은 높이를 갖으며, 하부 하우징(157a)에 지지된다. 여기서, 선회 기어(157d)가 링 타입의 기어일 때, 지지 베어링(157e)은 선회 기어(157d)의 내측 공간에 배치되는 크로스 롤러 베어링일 수 있다.
상부 하우징(157f)은 선회 기어(157d)와 결합되어, 선회 기어(157d)의 회전 시에 함께 회전된다. 상부 하우징(157f)은 또한 워크 테이블(153)에 결합되어 있으므로, 선회 기어(157d)의 회전 시에 워크 테이블(153) 및 그에 얹혀진 웨이퍼 수용 용기(F)도 회전하게 된다.
구동 모듈(155)은, 이상의 선회 유닛(156)에 더하여, 승강 유닛(159)을 더 포함할 수 있다. 승강 유닛(159)은 선회 유닛(156)을 수직 방향(V)으로 승강시키는 구성이다. 승강 유닛(159)에 의해, 워크 테이블(153)에 얹혀진 웨이퍼 수용 용기(F)는 지지대(151, 도 2)로부터 이격된 높이가 조절될 수 있다.
승강 유닛(159)은, 구체적으로, 승강 몸체(161a), 승강 볼스크류, 및 승강 모터(161f)를 포함할 수 있다.
승강 몸체(161a)는 프레임(159a)에 대해 수직 방향(V)으로 이동 가능하게 결합된 구성이다. 이를 위해, 승강 몸체(161a)는 프레임(159a)에 수직 방향(V)을 따라 결합된 승강 가이드(161g)에 슬라이드 가능하게 결합될 수 있다. 승강 몸체(161a)는 또한 선회 유닛(156)의 하부 하우징(157a)에 연결되어, 하부 하우징(157a), 나아가 선회 유닛(156)을 지지하게 된다. 그에 의해, 선회 유닛(156)은 승강 몸체(161a)를 매개로 프레임(159a)에 결합되는 것이다.
상기 승강 볼스크류는, 너트(161b), 스크류(161c), 풀리(161d), 및 벨트(161e)를 포함할 수 있다. 너트(161b)는 승강 몸체(161a)에 결합되며, 내면에 암나사산이 형성된 중공부를 가진다. 스크류(161c)는 너트(161b)의 중공부에 삽입되고, 상기 암나사간과 나사 결합되는 수나사산을 가진다. 풀리(161d)는 스크류(161c)의 일 단에 연결된다. 벨트(161e)는 풀리(161d)와 승강 모터(161f)를 연동시키는 구성이다.
승강 모터(161f)는 프레임(159a)에 설치되고, 작동 시에 회전력을 발생시킨다. 상기 회전력은 승강 모터(161f)에 연동된 풀리(161d)를 통해 스크류(161c)에 전달되어, 스크류(161c)가 회전하게 된다.
이러한 스크류(161c)의 회전에 의해, 스크류(161c)와 나사 결합되는 너트(161b)는 수직 방향(V)으로 이동되는 힘을 받게 된다. 그에 의해, 너트(161b)에 결합되어 있는 승강 몸체(161a)는 승강 가이드(161g)를 따라 수직 방향(V)으로 상승하거나, 하강하게 된다. 승강 몸체(161a)의 상승, 하강에 의해, 승강 몸체(161a)에 연결된 선회 유닛(156) 및 워크 테이블(153) 역시 수직 방향(V)으로 상승, 하강하게 된다.
이상의 구동 모듈(155)의 작용에 의한 웨이퍼 수용 용기(F)의 상태 변화에 대해 도 5 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 5는 랙 마스터(170)가 로드 포트(150)의 워크 테이블(153)에 웨이퍼 수용 용기(F)가 얹힌 상태를 보인 개념적 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 먼저, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치(100)는 구동 모듈(155)을 제어하는 제어기(미도시)를 더 포함할 수 있다. 상기 제어기는 구동 모듈(155)의 주요 전동 장비, 예를 들어 선회 모터(157b), 이동 모터(159c), 및 승강 모터(161f)의 작동을 제어하는 구성이다.
구체적으로, 랙 마스터(170)는 선반(111, 도 1)에서 웨이퍼 수용 용기(F)를 옮겨서 워크 테이블(153)에 얹고, 로드 포트(150)로부터 후퇴하게 된다. 이때, 워크 테이블(153)은 로드 포트(150)의 도어 오프너(152)로부터 최대한 멀어진 위치에 위치하게 된다.
다음으로, 도 6은 도 5의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 1차 슬라이드된 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 웨이퍼 수용 용기(F)가 워크 테이블(153)에 안착되면, 상기 제어기는 이동 모터(159c)를 작동시켜 워크 테이블(153)이 도어 오프너(152) 측으로 1차로 슬라이드되게 한다. 이는 워크 테이블(153)의 다음 동작인 선회 동작시, 웨이퍼 수용 용기(F)가 주행하는 랙 마스터(170)와 간섭되지 않게 하기 위함이다.
다음으로, 도 7은 도 6의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 선회된 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 상기 제어기는 1차 슬라이드된 워크 테이블(153)을 선회시키기 위해 선회 모터(157b)를 작동시킨다. 그에 의해, 웨이퍼 수용 용기(F)는 그의 중심축을 중심으로 선회되어, 도어(D)가 랙 마스터(170) 측을 바라보는 상태에서 도어 오프너(152)를 바라보는 상태가 된다.
다음으로, 도 8은 도 7의 워크 테이블(153)이 웨이퍼 수용 용기(F)를 지지한 채로 2차 슬라이드 상태를 보인 개념적인 평면도이다.
본 도면을 참조하면, 상기 제어기는 이동 모터(159c)를 추가 작동시켜서, 워크 테이블(153)이 도어 오프너(152)를 향해 2차로 슬라이딩되게 할 수 있다. 그에 의해, 웨이퍼 수용 용기(F)는 그의 도어(D)가 도어 오프너(152)와 대면한 채로 도어 오프너(152)가 도어(D)를 개방시킬 수 있는 위치에 자리잡게 된다.
이 상태에서, 도어 오프너(152)가 도어(D)를 개방하면, 핸들링 로봇(190, 도 1)은 웨이퍼 수용 용기(F) 내의 웨이퍼에 접근하여 그 웨이퍼를 분류하게 된다. 분류 작업이 완료된 웨이퍼 수용 용기(F)는 도 5 내지 도 8을 통해 순차로 설명한 단계가 반대로 실행됨에 의해 랙 마스터(170)에 의해 선반(111)으로 옮겨질 수 있다.
이러한 작업 중에, 상기 제어기는 필요에 따라 승강 모터(161f)를 작동시켜, 워크 테이블(153) 및 웨이퍼 수용 용기(F)이 수직 방향으로 상승하거나 하강되게 할 수도 있다.
상기와 같은 웨이퍼 수용 용기 저장 장치는 위에서 설명된 실시예들의 구성과 작동 방식에 한정되는 것이 아니다. 상기 실시예들은 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 구성될 수도 있다.
100: 웨이퍼 수용 용기 저장 장치 110: 보관 하우징
130: 분류 하우징 150: 로드 포트
151: 지지대 153: 워크 테이블
155: 구동 모듈 156: 선회 유닛
159: 이동 유닛 161: 승강 유닛

Claims (13)

  1. 웨이퍼 수용 용기가 적재되는 선반을 구비하는 보관 하우징;
    상기 웨이퍼 수용 용기 내의 웨이퍼의 분류를 위한 공간을 제공하는 분류 하우징;
    상기 보관 하우징과 상기 분류 하우징에 걸쳐 배치되는 로드 포트;
    상기 보관 하우징 내에서 주행하도록 구성되어, 상기 선반으로부터 상기 웨이퍼 수용 용기를 옮겨 상기 로드 포트에 로딩하는 랙 마스터; 및
    상기 분류 하우징 내에 위치하며, 상기 로드 포트에 의해 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어가 개방되면 상기 웨이퍼를 분류하는 핸들링 로봇을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 로드 포트는,
    상기 분류 하우징 측에 위치하고, 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어를 개방하도록 구성되는 도어 오프너;
    상기 보관 하우징 측에 위치하고, 상기 랙 마스터에 의해 로딩된 상기 웨이퍼 수용 용기를 지지하는 워크 테이블; 및
    상기 워크 테이블을 구동하여, 상기 웨이퍼 수용 용기의 도어가 상기 도어 오프너를 대면하게 하도록 구성되는 구동 모듈을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동 모듈은,
    상기 워크 테이블을 상기 웨이퍼 수용 용기의 중심축을 중심으로 선회시키도록 구성되는 선회 유닛을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치
  4. 제3항에 있어서,
    상기 선회 유닛은,
    하부 하우징;
    상기 하부 하우징에 결합되는 선회 모터; 및
    상기 하부 하우징 상에 배치되고, 상기 선회 모터의 회전력에 의해 회전되며, 상기 워크 테이블이 설치되는 상부 하우징을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 선회 유닛은,
    상기 하부 하우징에 지지되며, 상기 선회 모터의 출력축에 연동되어 회전되는 선회 기어; 및
    상기 하부 하우징에 지지되며, 상기 선회 기어보다 높은 높이를 갖는 지지 베어링을 더 포함하고,
    상기 상부 하우징은, 상기 지지 베어링에 회전 가능하게 지지되며, 상기 선회 기어에 결합되는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 선회 기어는, 링 타입의 기어이고,
    상기 지지 베어링은, 상기 선회 기어의 내측에 배치되는 크로스 롤러 베어링을 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  7. 제4항에 있어서,
    상기 구동 모듈은,
    상기 선회 유닛을 수평 방향으로 이동시키도록 구성되는 이동 유닛을 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이동 유닛은,
    상기 하부 하우징에 연결되는 프레임;
    상기 프레임이 이동 가능하게 지지되는 베이스; 및
    상기 프레임과 상기 베이스에 설치되어, 상기 프레임을 상기 베이스에 대해 상대 이동시키는 이동 볼스크류를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동 모듈을 제어하는 제어기를 더 포함하고,
    상기 제어기는,
    상기 워크 테이블에 상기 웨이퍼 수용 용기가 안착되면, 상기 이동 볼스크류를 작동시켜 상기 워크 테이블이 1차로 상기 분류 하우징 측으로 이동하게 하고, 상기 선회 모터를 작동시켜 상기 워크 테이블이 선회하게 한 후에, 상기 이동 볼스크류를 추가 작동시켜 상기 워크 테이블이 2차로 상기 분류 하우징 측으로 이동하게 하도록 구성되는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 구동 모듈은,
    상기 선회 유닛을 수직 방향으로 승강시키도록 구성되는 승강 유닛을 더 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 승강 유닛은,
    상기 프레임에 대해 승강 가능하게 결합되고, 상기 하부 하우징을 지지하는 승강 몸체;
    상기 승강 몸체에 연결되는 승강 볼스크류; 및
    상기 승강 볼스크류와 연동되어, 상기 승강 볼스크류에 회전력을 제공하는 승강 모터를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  12. 제4항에 있어서,
    상기 워크 테이블은,
    상기 웨이퍼 수용 용기을 지지하는 지지 플레이트; 및
    상기 지지 플레이트를 상기 상부 하우징에 대해 이격되게 지지하는 포스트를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는,
    상기 랙 마스터가 진입 가능한 사이즈를 갖는 전면 개방부를 포함하는, 웨이퍼 수용 용기 저장 장치.
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