KR20190014207A - 기판용 클램프 행거의 지지구조 - Google Patents

기판용 클램프 행거의 지지구조 Download PDF

Info

Publication number
KR20190014207A
KR20190014207A KR1020170096160A KR20170096160A KR20190014207A KR 20190014207 A KR20190014207 A KR 20190014207A KR 1020170096160 A KR1020170096160 A KR 1020170096160A KR 20170096160 A KR20170096160 A KR 20170096160A KR 20190014207 A KR20190014207 A KR 20190014207A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
guide rail
roller
support
supported
plate
Prior art date
Application number
KR1020170096160A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102024835B1 (ko
Inventor
박용순
Original Assignee
주식회사 티케이씨
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 티케이씨 filed Critical 주식회사 티케이씨
Priority to KR1020170096160A priority Critical patent/KR102024835B1/ko
Publication of KR20190014207A publication Critical patent/KR20190014207A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102024835B1 publication Critical patent/KR102024835B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67712—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations the substrate being handled substantially vertically
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Chain Conveyers (AREA)

Abstract

본 발명은 내구성이 향상되고 더욱 안정적으로 구동할 수 있는 기판용 클램프 행거의 지지구조에 관한 것이다. 그의 구성은; 일단은 상기 가이드레일에 지지된 상태에서 타단이 상기 가이드레일에 직각을 이루는 방향으로 연장되며, 타단은 외팔보 형태로 상기 클램프기구를 매달게 되는 클램프 행거에 있어서; 상기 가이드레일에 지지되는 지지부; 일단은 지지부에 연결되고 상기 가이드레일에 대하여 직각으로 연장되며 타단에는 상기 클램프기구가 연결되는 아암;을 포함하되; 상기 지지부는; 수직판과 수평판이 일체형을 이룸으로써 기역(ㄱ)자 형태의 종단면 형태를 가지는 것으로서 주물에 의해 일체형으로 성형되는 지지대; 상기 가이드레일에 지지될 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판용 클램프 행거의 지지구조{Structure For Supporting Clamp Hanger For Base Plate}
본 발명은 기판용 클램프 행거에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 구조를 개선함으로써 내구성이 향상되고 더욱 안정적으로 구동할 수 있는 기판용 클램프 행거의 지지구조에 관한 것이다.
수직연속 도금장치는 인쇄회로기판과 같은 평판 형상의 피도금물을 전기도금하는 장치로서, 이송방향을 따라 기다란 도금조 내에 피도금물을 침지한 후 피도금물의 침지상태를 유지한 채로 연속적으로 이송시켜가면서 전기를 공급하여 도금하는 방식으로 되어있다. 그리고 피도금물은 수직으로 매달린 채로 이송되면서 작업이이루어진다. 도 1은 종래 수직연속 도금장치의 클램프 행거를 위주로 도시한 사시도이고, 도 2는 측면도이다.
체인컨베이어(101)는 피도금물(W)의 이송경로(D)를 따라 설치되어 구동모터에 의해 무한궤도 방식으로 기동된다. 랙기어(103)는 체인컨베이어(101)에 연결되어 체인컨베이어(101)와 동일한 궤도로 기동되고 가이드레일(105)에 의해 가이드된다.
행거(107)는 통상 인쇄회로기판으로 되어 있는 피도금물(W)을 클램프기구(109)를 이용하여 수직으로 매단 상태에서 가이드레일(105)을 따라 기동 가능하게 설치된다. 체인(101a)에 전달되는 구동력으로 행거(103)에 전달하기 위한 수단으로서 행거(107)에는 래칫(111)이 설치된다. 래칫(111)은 랙기어(103)에 치합되어 이송경로(D)를 따라 이동하게 된다.
행거(107)는 지지부(113)와, 도금조가 설치된 방향으로 연장되는 아암(115, arm)과, 아암(115)에 매달리는 방식으로 설치되는 클램프바(117)와, 클램프바(117)를 따라 장착되는 수개의 클램프(119)를 포함한다.
행거의 지지부(113)는 상판(121)과 하판(123) 및 상판(121)과 하판(123)을 연결하는 세로판(125)이 볼트로써 조립된 구조를 가진다. 상판(121)과 하판(123)에는 각각 가이드레일(105)의 양측면과 접촉하여 구름운동을 하게 되는 롤러(127,129)가 설치된다. 아암(125)은 외팔보 형태로 클램프기구(109)를 지지하게 되어 있다.
위와 같은 종래의 행거 설치구조에 있어서, 처짐을 방지하기 위하여 롤러(127,129)를 설치하고 있는데, 이 롤러(127,129)의 규격이 서로 다르고, 하중을 지지하다보니 큰 규격의 것이 사용되어야 한다. 그리고 오랜 사용시 롤러가 마모되는 문제가 생겨 교체를 해주어야 하기도 했다.
피도금물(W)의 대면적인 경우에는 클램프기구 및 행거에 가해지는 수직하중(R1)과 굽힘하중(R2)이 더 커지게 된다. 이러한 하중의 증가는 롤러(127,129)에 더 큰 부담을 주게 되며 클램프가 상하로 출렁거리는 것을 막기는 더 어려워진다.
대한민국 특허출원 제10-2010-0004970호 대한민국 특허출원 제10-2012-0152302호
위와 같은 문제에 대한 본 발명의 목적은 도금 기타 화학적 처리를 연속적으로 시행하기 위하여 처리조 내부에 침지한 상태로 기판을 매달고 이송시키기 위한 클램프 행거에 있어서 수직하중 및 굽힘하중을 동시에 받는 지지부의 구조를 개선함으로써 처짐을 최소화 내지 방지하고 기판의 무게가 증가하는 경우에도 안정적으로 지지할 수 있게 하는 기판용 클램프 행거의 지지구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 행거의 지지부의 구조를 간단히 하여 조립공수를 줄이며, 이물질 발생의 우려를 감소시키며 내구성을 증진시켜 유지 및 관리비용을 절감하는 것을 목적으로 한다.
위와 같은 목적은, 인쇄회로기판과 같은 기판을 수직으로 파지하기 위한 클램핑기구; 상기 처리조의 연장방향을 따라 고정 설치되는 가이드레일; 상기 처리조의 연장방향을 따라 무한궤도식으로 기동하게끔 상기 가이드레일과 평행을 이루도록 설치되는 랙기어; 상기 랙기어를 구동하는 구동부;를 포함하는 기판 처리장치에 사용되는 것으로서;
일단은 상기 가이드레일에 지지된 상태에서 타단이 상기 가이드레일에 직각을 이루는 방향으로 연장되며, 타단은 외팔보 형태로 상기 클램프기구를 매달게 되는 클램프 행거에 있어서;
상기 가이드레일에 지지되는 지지부; 일단은 지지부에 연결되고 상기 가이드레일에 대하여 직각으로 연장되며 타단에는 상기 클램프기구가 연결되는 아암;을 포함하되;
상기 지지부는; 수직판과 수평판이 일체형을 이룸으로써 기역(ㄱ)자 형태의 종단면 형태를 가지는 것으로서 주물에 의해 일체형으로 성형되는 지지대;
상기 가이드레일에 지지될 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 클램프 행거에 의해 달성된다.
본 발명의 특징에 의하면, 수직으로 직립되어 있는 판재 형태의 가이드레일에 적용되는 것으로서;
상기 롤러는 상기 수직판 하단에 설치되는 것으로서, 상기 수평판 저면에 설치되는 것으로서, 상기 가이드레일의 후면에 구름운동 가능하게 지지되는 제1롤러; 상기 가이드레일의 전면에 구름운동 가능하게 지지되는 제2롤러;를 포함할 수 있다.
본 발명의 특징에 의하면, 상기 제1,2롤러는 규격이 같은 것으로 되어 있어 혼용이 가능하게 되어 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 상판의 중앙 상면에는 제3롤러설치대가 조립 방식으로 설치되며; 상기 제3롤러설치대에는 구름면이 기판의 이송방향과 일치되도록 상기 제1,2롤러와 같은 규격을 가지는 제3롤러가 설치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 기판을 매달고 이송시키기 위한 클램프 행거에 있어서, 일체형 지지대로 하여금 수직하중 및 굽힘하중을 동시에 받는 지지부를 구성하도록 함으로써 처짐을 최소화 또는 방지할 수 있어 대면적 기판을 안정적으로 사용할 수 있는 클램프 행거의 구조가 제공된다.
본 발명의 특징에 의하면, 지지대를 조립식이 아니 일체형으로 구성함으로써 조립공수가 크게 감소되며 내구성이 증진되는 효과를 얻을 수 있게 된다. 또한 롤러의 규격을 일치시키고 담당하는 하중을 줄임으로써 내구성을 높일 수 있게 된다.
도 1은 종래기술에 의한 클램프 행거의 사시도이다.
도 2는 종래기술에 의한 클램프 행거의 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프 행거의 일부 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프 행거의 주요부의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프 행거의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프 행거의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 의한 기판용 클램프 행거의 지지대의 저면 사시도이다.
이하, 첨부된 도 3 내지 도 7을 동시에 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다.
본 발명에 의한 기판용 클램프 행거는 인쇄회로기판과 같은 기판(W)을 파지한 채로 처리조에 침지시킨 상태에서 처리조를 따라 이송시키기 위한 클램핑기구(109)를 외팔보 형태로 지지하기 위한 장치를 말한다. 처리조에는 도금, 에칭, 세척 등의 작업을 위한 처리액이 담겨 있으며 작업 목적에 따라 여러 부수장치가 설치될 수도 있다.
클램핑기구(109)는 기판(W)을 수직으로 파지하기 위한 것으로서 기판(W)의 두께가 얇아지는 추세에 따라 기판(W)의 상단과 하단을 모두 클램핑하는 방식을 취한다. 이를 위해 클램핑기구(109)는 세로대에 의해 연결된 클램프바(117)와 클램프바(117)에 고정 설치되는 클램프(119)를 포함한다. 클래프바(117)는 하부에도 설치될 수 있으며, 각 클램프바에는 복수 개의 클램프(119)가 설치된다. 기판(W)이 얇아서 여러 지점을 파지해야 하기 때문이다.
가이드레일(105)이 처리조의 연장방향을 따라 처리조의 일측 상부에 고정 설치된다. 가이드레일(105)은 기판(W)의 이송방향을 안내하기 위한 것으로서 세로로 직립된 판재 형태로 되어 있다. 가이드레일(105) 옆에는 체인컨베이어(101)가 설치된다. 체인컨베이어(101)는 체인(101a), 체인과 연결되어 그와 함께 기동하는 랙기어(103)를 포함한다. 랙기어(103)의 이빨은 위쪽을 향하고 있다. 구동부는 체인컨베이어(101)를 통해 랙기어(103)를 처리조의 연장방향을 따라 무한궤도식으로 기동하게끔 한다.
클램프 행거는 일단은 가이드레일(105)에 지지된 상태에서 타단이 가이드레일에 직각을 이루는 방향으로 연장되도록 설치된다. 클램프 행거는 외팔보 형태로 클램프기구(109)를 매달고 처리조(미도시됨)를 따라 이송하게끔 되어 있다.
클램프 행거는 가이드레일(105)에 지지되는 지지부와, 일단은 지지부에 연결되고 타단은 가이드레일에 대하여 직각으로 연장되는 아암(29)을 포함한다. 본 실시예에 의하면 아암(29)은 평행하게 이격 설치되는 2개의 단위아암으로 구성된다. 아암은 각파이프(31)와 그의 양측에 용접으로 설치되는 브래킷(33)으로 구성될 수 있다.
본 발명의 핵심은 지지부에 있다. 지지부는 주물에 의해 일체형으로 성형되는 지지대(1)를 포함한다. 지지대(1)는 수평판(3)과 수직판(5)이 일체를 이룸으로써 종단면이 기역(ㄱ)자 형태로 되어 있다.
롤러(4,12)가 가이드레일에 지지될 수 있도록 지지대에 설치된다. 롤러(4,12)는 수평판(3) 하단에 설치되는 것으로서 가이드레일(105)의 후면에 구름운동 가능하게 지지되는 제1롤러(4)와, 상기 수직판(5) 저면에 설치되는 것으로서 가이드레일(105)의 전면(기판(W)을 향한 면)에 구름운동 가능하게 지지되는 제2롤러(12)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면, 제1,2롤러(4,12)는 규격이 같은 것으로 되어 있어 혼용이 가능하게 되어 있다. 그리고 제1,2롤러(4,12)는 종래기술에 의한 롤러(도 1 내지 도 2에서의 도면부호 127 참조)보다 직경이 작아도 무방하다. 이것은 클램프 행거에 가해지는 하중을 롤러(4,12)에만 의지하지 않는 구조이기 때문이다.
본 발명의 클램프 행거는 지지대(1) 상부에 설치되는 제3롤러(22)를 더 포함할 수 있다. 지지대(1)의 상판의 중앙 상면에는 제3롤러설치대(15)가 조립 방식으로 설치된다. 제3롤러(22)는 보조가이드레일(106)의 저면에 구름접촉함으로써 구름면이 기판(W)의 이송면과 일치되도록 설치된다. 제3롤러(22)가 보조가이드레일(106)의 저면에 지지됨으로써 지지대(1)는 수평을 유지하는 방향으로 지지되는 것이다.
제3롤러(22)는 제1,2롤러(4,12)와 같은 규격을 가진다. 제3롤러설치대(15) 역시 주물에 의해 제작된다. 제3롤러설치대(15)는 바닥판(17), 직립판(19) 및 이들의 강성을 높이기 위한 것으로서 일측은 바닥판(17)에 타측은 직립판(19)에 연결되는 삼각 형태의 버팀대(21)로 구성된다.
지지대(1)에는 제1,2롤러(4,12)를 설치하기 위한 롤러설치면(13)을 마련된다. 롤러설치면(13)에는 탭공이 마련된다. 제1,2롤러(4,12)는 볼트(12a)에 의해 탭공에 고정 설치된다. 탭공은 지지대(1)를 주물에 의해 성형시 마련되는 구멍에 탭가공을 함으로써 마련된다. 아암(29)은 수직판(5)의 전면 양측에 마련된 아암안착면(7)에 볼트로써 결합된다. 아암안착면(7)에는 2개 이상의 볼트공(9)이 마련된다.
지지대(1)의 상판 중앙에는 멈춤돌기(11)가 일체형으로 돌출 형성된다. 지지대(1)의 상판 후단에는 래칫설치대(16)가 일체형으로 더 연장된다. 래칫설치대(16)의 측면에는 길이방향을 따라 복수 개의 래칫(27)이 설치된다.
래칫설치대(16)의 상면에는 가림판(25)이 볼트로써 고정 설치된다. 가림판(25)은 래칫(27) 및 랙기어(103)의 상면을 가려 이물질이 그 위로 떨어지는 것을 방지하기 위한 것이며, 그로부터 발생되는 이물질이 외부로 방산되지 않도록 하기 위한 것이기도 하다. 가림판(25)은 볼트로써 지지대(1)에 결합되는 횡판(25a)과 횡판에 직각으로 연결되는 종판(25b)로 구성된다. 가림판(25)은 수평판(3)의 후단에서 돌출 연장되는 가림판안착대(23)의 상면에 볼트로써 고정 설치된다.
위에 도시 및 설명된 구성은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 바람직한 실시예에 지나지 아니한다. 당업자는 통상의 기술적 상식을 바탕으로 다양한 변경실시를 할 수 있을 것이지만 이는 본 발명의 보호범위에 포함될 수 있음을 주지해야 할 것이다.
1 : 지지대 3 : 수평판
4,12,22 : 제1,2,3롤러 5 : 수직판
15 : 제3롤러설치대 25 : 가림판
27 : 래칫 29 : 아암
103 : 랙기어 105 : 가이드레일
109 : 클램핑기구 111 : 래칫
119 : 클램프

Claims (4)

  1. 인쇄회로기판과 같은 기판을 수직으로 파지하기 위한 클램핑기구; 상기 처리조의 연장방향을 따라 고정 설치되는 가이드레일; 상기 처리조의 연장방향을 따라 무한궤도식으로 기동하게끔 상기 가이드레일과 평행을 이루도록 설치되는 랙기어; 상기 랙기어를 구동하는 구동부;를 포함하는 기판 처리장치에 사용되는 것으로서,
    일단은 상기 가이드레일에 지지된 상태에서 타단이 상기 가이드레일에 직각을 이루는 방향으로 연장되며, 타단은 외팔보 형태로 상기 클램프기구를 매달게 되는 클램프 행거에 있어서;
    상기 가이드레일에 지지되는 지지부; 일단은 지지부에 연결되고 상기 가이드레일에 대하여 직각으로 연장되며 타단에는 상기 클램프기구가 연결되는 아암;을 포함하되;
    상기 지지부는; 수직판과 수평판이 일체형을 이룸으로써 기역(ㄱ)자 형태의 종단면 형태를 가지는 것으로서 주물에 의해 일체형으로 성형되는 지지대;
    상기 가이드레일에 지지될 수 있도록 상기 지지대에 설치되는 롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 클램프 행거.
  2. 제1항에 있어서, 수직으로 직립되어 있는 판재 형태의 가이드레일에 적용되는 것으로서;
    상기 롤러는 상기 수직판 하단에 설치되는 것으로서, 상기 수평판 저면에 설치되는 것으로서, 상기 가이드레일의 후면에 구름운동 가능하게 지지되는 제1롤러; 상기 가이드레일의 전면에 구름운동 가능하게 지지되는 제2롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 클램프 행거.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1,2롤러는 규격이 같은 것으로 되어 있어 혼용이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 클램프 행거.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 상판의 중앙 상면에는 제3롤러설치대가 조립 방식으로 설치되며;
    상기 제3롤러설치대에는 구름면이 상기 기판의 이송방향과 일치되도록 상기 롤러와 같은 규격을 가지는 제3롤러가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 지지용 클램프 행거.
KR1020170096160A 2017-07-28 2017-07-28 기판 지지용 클램프 행거 KR102024835B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170096160A KR102024835B1 (ko) 2017-07-28 2017-07-28 기판 지지용 클램프 행거

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170096160A KR102024835B1 (ko) 2017-07-28 2017-07-28 기판 지지용 클램프 행거

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190014207A true KR20190014207A (ko) 2019-02-12
KR102024835B1 KR102024835B1 (ko) 2019-09-25

Family

ID=65369283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170096160A KR102024835B1 (ko) 2017-07-28 2017-07-28 기판 지지용 클램프 행거

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102024835B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102119630B1 (ko) * 2019-08-27 2020-06-05 손명식 인쇄회로기판용 클램프 장치
KR102380767B1 (ko) * 2022-01-12 2022-04-01 (주)네오피엠씨 도금용 행거의 클램핑 이송장치
CN116334726A (zh) * 2023-02-22 2023-06-27 深圳市铤创利电子科技有限公司 一种提升稳定性减少误差的履带式镀金设备

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0152302B1 (ko) 1993-10-15 1998-12-15 서평원 한국어 합성 장치
KR20070114259A (ko) * 2007-11-08 2007-11-30 (주)포인텍 표면처리조내로 피처리물을 안내하는 피처리물 안내장치
JP2009293064A (ja) * 2008-06-03 2009-12-17 C Uyemura & Co Ltd めっき処理用ワーク保持治具及びワーク搬送装置
KR20100004970A (ko) 2007-02-04 2010-01-13 김기형 무선 센서 네트워크에서의 패밀리-기반 주소 부여 방법과, 이를 이용한 계층적 라우팅 경로설정 방법
KR20120030308A (ko) * 2010-09-17 2012-03-28 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤 표면처리장치
KR20130124791A (ko) * 2012-05-07 2013-11-15 삼성전기주식회사 기판의 에어 탈포장치

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0152302B1 (ko) 1993-10-15 1998-12-15 서평원 한국어 합성 장치
KR20100004970A (ko) 2007-02-04 2010-01-13 김기형 무선 센서 네트워크에서의 패밀리-기반 주소 부여 방법과, 이를 이용한 계층적 라우팅 경로설정 방법
KR20070114259A (ko) * 2007-11-08 2007-11-30 (주)포인텍 표면처리조내로 피처리물을 안내하는 피처리물 안내장치
JP2009293064A (ja) * 2008-06-03 2009-12-17 C Uyemura & Co Ltd めっき処理用ワーク保持治具及びワーク搬送装置
KR20120030308A (ko) * 2010-09-17 2012-03-28 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤 표면처리장치
KR20130124791A (ko) * 2012-05-07 2013-11-15 삼성전기주식회사 기판의 에어 탈포장치

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102119630B1 (ko) * 2019-08-27 2020-06-05 손명식 인쇄회로기판용 클램프 장치
KR102380767B1 (ko) * 2022-01-12 2022-04-01 (주)네오피엠씨 도금용 행거의 클램핑 이송장치
CN116334726A (zh) * 2023-02-22 2023-06-27 深圳市铤创利电子科技有限公司 一种提升稳定性减少误差的履带式镀金设备
CN116334726B (zh) * 2023-02-22 2024-05-17 深圳市铤创利电子科技有限公司 一种提升稳定性减少误差的履带式镀金设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR102024835B1 (ko) 2019-09-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20190014207A (ko) 기판용 클램프 행거의 지지구조
JP5340642B2 (ja) めっき処理用ワーク保持治具
CA1329792C (en) Device for the electrolytic treatment of board-shaped objects
JP5264341B2 (ja) 縦型搬送式めっき装置
KR101230433B1 (ko) 전기도금설비의 지그 스윙장치
TWI750378B (zh) 搬運支架及使用該搬運支架的表面處理裝置
JP5829385B2 (ja) 表面処理装置
CN207904406U (zh) 一种电路板电镀生产线
KR101434414B1 (ko) 도금장치의 행거 이송기구
JP5457167B2 (ja) 塗装ハンガ及び塗装ハンガを用いた塗装装置
KR101074362B1 (ko) 평판용 수직연속 도금장치의 행어 이송기구
JP4190413B2 (ja) 非常に薄く平らな被処理物の搬送並びに湿式化学的又は電解的処理のための装置
JP2008013822A (ja) 揺動式めっき装置
JP3164511U (ja) ハンガー交換装置
KR930701641A (ko) 습식 화학 처리 즉, 아연 도금 동안 보어를 가진 물품을 이동시키는 방법 및 상기 방법을 실시하기 위한 장치
CN201485527U (zh) 一种电镀挂架
KR20060025361A (ko) 도금장치의 행거구조
JP5564078B2 (ja) めっき方法
KR101543620B1 (ko) 행거 이송 장치
CN109930141B (zh) 一种化镍金线
CN210176952U (zh) 一种化学镀槽以及化镍金线
CN112048756A (zh) 一种运输结构及工件的处理系统
KR101083464B1 (ko) 도금설비의 크리너조 에어 탈포장치
KR20090116480A (ko) 도금장치의 피도금물 캐리어
CN215050822U (zh) 印刷线路板电镀装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant