KR20190012480A - Furnace of Deposition Chamber - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a furnace of a deposition chamber to deposit a deposition substance on a substrate. According to the present invention, the furnace of a deposition chamber, which is installed in the deposition chamber to deposit a deposition substance on a stainless steel, comprises: a storage unit to provide a storage space to store the deposition substance therein; one or a plurality of nozzle units disposed on the upper side of the deposition substance and having a spray hole for spraying the deposition substance evaporated in the storage space; and a guide communicating unit disposed between the storage unit and the nozzle unit to allow the storage unit to communicate with the nozzle unit. The guide communicating unit has flexibility to adjust a position of the spray nozzle, so that a spray position of the spray nozzle is able to be adjusted corresponding to a position change of the substrate, thereby providing a technique capable of securing or increasing deposition uniformity of the deposition substance with respect to a plurality of substrates.

Description

증착챔버용 퍼니스{Furnace of Deposition Chamber}[0001] The present invention relates to a furnace for deposition chamber,

본 발명은 반도체 또는 디스플레이장치 제조공정상 기판에 증착시킬 증착물질을 증발시켜주는 증착챔버에 마련되는 퍼니스(furnace)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 증발된 증착물질이 기판 측으로 분사되는 분사노즐 간격 조절의 용이성을 확보할 수 있는 증착챔버 퍼니스에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a furnace provided in a deposition chamber for evaporating a deposition material to be deposited on a normal substrate of a semiconductor or a display device manufacturing apparatus, and more particularly, The present invention relates to a deposition chamber furnace capable of ensuring ease of use.

유기발광소자 제조에 있어서, 기판 상에 유기막을 형성시키는 공정은 통상 도가니, 분사노즐 및 히터 등을 포함하는 퍼니스(furnace)가 장착된 증착챔버 내에서 이루어지며, 도가니 내부에 증착물질을 내재시키고 히터에 의하여 도가니를 가열시킴으로써 증착물질을 증발시켜서 기판 상에 유기막을 증착시키게 된다.In the production of an organic light emitting device, a process of forming an organic film on a substrate is performed in a deposition chamber equipped with a furnace including a crucible, a spray nozzle, a heater, etc., The evaporation material is evaporated by heating the crucible to deposit the organic film on the substrate.

그리고, 이종의 증착물질을 동시 또는 순차적으로 기판에 증착시키기 위하여 증착챔버의 퍼니스에는 복수개의 도가니가 마련된다. 도가니를 중심으로 히터, 리플렉터, 쿨링플레이트 등이 설치되기 때문에 하나의 도가니의 분사노즐과 다른 도가니의 분사노즐 사이의 간격이 멀어지게 된다.The furnace of the deposition chamber is provided with a plurality of crucibles for simultaneously or sequentially depositing the different types of deposition materials on the substrate. Since a heater, a reflector, a cooling plate, and the like are provided around the crucible, the interval between the injection nozzle of one crucible and the injection nozzle of the other crucible is distant.

따라서, 기판에 증착되는 증착물질의 균일도를 확보하기 위하여 분사노즐은 적정간격 이격된 위치에서 분사시켜주는 것이 중요하다. 따라서 분사노즐의 위치는 기판과의 거리, 증착물질의 분사각도 등 다양한 인자를 고려하여 최적의 위치에 분사노즐이 위치하도록 증착챔버가 설계되고 제조된다.Therefore, it is important to inject the injection nozzle at a position spaced by an appropriate interval in order to ensure the uniformity of the deposition material deposited on the substrate. Accordingly, the deposition chamber is designed and manufactured such that the injection nozzle is located at an optimum position in consideration of various factors such as the distance from the substrate to the substrate, the deposition angle of the deposition material, and the like.

다수의 기판에 대하여 증착공정을 실시하므로 다수의 기판이 증착챔버 내로 인입되고 반출되는 것이 수차례 이루어지며, 증착챔버 내 청결상태를 관리하기 위하여 도가니, 히터 등 퍼니스가 장착과 탈착이 수차례 이루어지게 된다. Since a plurality of substrates are subjected to a deposition process, a plurality of substrates are introduced into and discharged from the deposition chamber several times. In order to manage the cleanliness of the deposition chamber, a furnace such as a crucible or heater is mounted and detached several times do.

이와 같이 인입과 반출이 빈번히 일어나는 과정에서 기판의 정착위치 등이 오차로 인하여 소폭 변동될 수 있으며, 도가니의 재장착과정에서도 오차로 인하여 소폭 위치변동이 발생된다. In the process of frequent pulling and unloading, the fixing position of the substrate may be slightly changed due to the error, and slight position fluctuation occurs due to errors in the re-mounting process of the crucible.

따라서, 기판에 증착물질을 증착시키기 위한 최적의 위치에서 소폭 벗어날 수 밖에 없는데, 소폭이라해도 증착균일도에는 큰 영향을 주게되며 이로 인해 제품의 품질이 저하될 수 밖에 없는 문제점이 발생하기도 한다. Therefore, it is only necessary to slightly deviate from the optimal position for depositing the evaporation material on the substrate. However, even if the evaporation amount is small, the uniformity of deposition is greatly affected and the quality of the product is inevitably deteriorated.

따라서, 증착챔버를 중지시키지 않고 분사노즐의 위치를 조정하여 줌으로써 기판의 증착균일도를 유지 또는 증대시킬 수 있을 것이 요구되고 있었다.Accordingly, there has been a demand for maintaining or increasing the deposition uniformity of the substrate by adjusting the position of the injection nozzle without stopping the deposition chamber.

대한민국 공개특허 제10-2016-0005877호Korean Patent Publication No. 10-2016-0005877 대한민국 등록특허 제10-1528709호Korean Patent No. 10-1528709

본 발명의 목적은 상기한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 분사노즐 간의 간격을 조정하여 기판에 증착되는 증착물질의 증착균일도를 증진시킬 수 있는 증착챔버용 퍼니스를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a furnace for a deposition chamber capable of improving uniformity of deposition of an evaporation material deposited on a substrate by adjusting an interval between the injection nozzles.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스는 기판에 증착물질을 증착시켜주기 위한 증착챔버에 마련되는 증착챔버용 퍼니스(furnace)에 있어서, 증착물질이 수용되는 수용공간을 제공하는 수용부; 상기 수용부의 상측에 위치하며, 상기 수용공간 내에서 증발되는 상기 증착물질이 분사되는 분사구를 형성하는 분사노즐이 하나 또는 다수 포함된 노즐부; 및 상기 수용부와 상기 노즐부 사이에 배치되어 상기 수용부와 상기 노즐부 사이를 연통시켜주는 가이드연통부; 를 포함하되, 상기 가이드연통부는 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 유연성을 갖춘 것을 하나의 특징으로 할 수도 있다. According to another aspect of the present invention, there is provided a furnace for a deposition chamber provided in a deposition chamber for depositing a deposition material on a substrate, A receptacle for providing space; A nozzle unit positioned above the accommodation unit and including one or more injection nozzles for forming an injection port through which the evaporation material evaporated in the accommodation space is injected; And a guide communicating portion disposed between the accommodating portion and the nozzle portion and communicating between the accommodating portion and the nozzle portion; And the guide communicating portion may have a flexibility so that the position of the injection nozzle can be adjusted.

여기서, 상기 증착물질이 상기 수용공간 내에서 증발되어 상기 기판 측으로 이동될 수 있도록 상기 수용부, 상기 노즐부 및 상기 가이드연통부 중 적어도 어느 하나 측으로 열을 공급하는 히터부; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. A heater unit for supplying heat to at least one of the accommodating unit, the nozzle unit, and the guide communication unit so that the evaporation material can be evaporated in the accommodation space and moved to the substrate side; May be further included.

나아가, 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되는 증착균일도를 유지 또는 향상시키기 위하여 상기 노즐부의 위치를 조정하기 위한 위치조정수단을 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. It is another feature of the present invention to further include position adjusting means for adjusting the position of the nozzle portion in order to maintain or improve the deposition uniformity of the deposition material deposited on the substrate.

더 나아가, 상기 가이드연통부는, 상측단에 상기 분사노즐이 위치하고 있고, 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 유연하게 휘어지거나 꺾어질 수 있으며, 상기 수용공간에서 증발되어 상기 기판 측으로 향하는 상기 증착물질의 이동을 가이드 하는 플렉서블(flexible)튜브를 하나 또는 다수 포함하고 있는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. Further, the guide communication portion may be bent or bent so that the injection nozzle is located at the upper end thereof, the position of the injection nozzle may be adjusted, and the vaporization material evaporated in the accommodation space, And one or a plurality of flexible tubes for guiding movement may be included as another feature.

나아가, 상기 수용부는,상기 증착물질을 수용하는 도가니를 하나 또는 다수 포함하며, 상기 도가니의 상측에는 하나 또는 다수의 상기 플렉서블튜브가 결합된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. Furthermore, the receiving part may include one or more crucibles that accommodate the deposition material, and one or more flexible tubes may be coupled to the crucible.

나아가, 하나 또는 다수의 상기 분사노즐을 홀딩하여 주며, 상기 위치조정수단에 의하여 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 상기 위치조정수단과 역학적으로 연결된 노즐지그 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. The apparatus may further include a nozzle jig that holds one or a plurality of the injection nozzles and is mechanically connected to the position adjusting means so that the position of the injection nozzle can be adjusted by the position adjusting means It is possible.

나아가, 상기 노즐지그는 하나 또는 다수 마련된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. Furthermore, one or more of the nozzle jigs may be provided.

더 나아가, 상기 플렉서블튜브의 외주면 상에 배치되어 상기 플렉서블튜브의 내측을 통해 상기 분사구 측으로 이동되는 상기 증착물질이 상기 분사구를 통해 분사될 수 있도록 열을 가해주는 튜브히터를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. And a tube heater disposed on an outer circumferential surface of the flexible tube and applying heat to the evaporation material moving through the inside of the flexible tube toward the ejection port so as to be injected through the ejection port, .

더 나아가, 하나의 상기 노즐지그에는, 각기 별개로 독립된 상기 도가니에 각기 별개로 연결된 다수의 상기 플렉서블튜브 및 상기 분사노즐이 하나의 상기 노즐지그에 대응되어 결합된 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. Furthermore, another feature of the present invention is that a plurality of the flexible tubes and the spray nozzles, which are separately connected to the crucibles independently of each other, are coupled to one nozzle jig so as to correspond to one nozzle jig .

나아가 상기 플렉서블튜브는 금속재질로서 외주면에 주름이 다수 형성된 것을 특징으로 하는 것을 또 하나의 특징으로 할 수도 있다. Further, the flexible tube may be made of a metal material, and a plurality of wrinkles may be formed on the outer circumferential surface of the flexible tube.

본 발명에 따른 증착챔버 퍼니스는 도가니로부터 증발되는 증착물질이 분사되는 분사노즐의 위치조정이 가능하므로 미세한 기판 위치의 변화 등에 대응하여 분사노즐의 분사위치가 조절될 수 있다. 따라서, 다수의 기판에 대하여 수차례 증착공정이 이루어지더라도 기판에 대한 증착물질의 증착균일도를 확보할 수 있는 효과가 있다. The deposition chamber furnace according to the present invention can adjust the position of the injection nozzle from which the evaporation material evaporated from the crucible is injected, so that the injection position of the injection nozzle can be adjusted in response to a change in the position of the fine substrate. Therefore, even when a plurality of substrates are subjected to several deposition processes, uniform deposition of the deposition material on the substrate can be ensured.

도 1의 본 방명에 따른 증착챔버용 퍼니스에서의 도가니 및 분사노즐의 위치관계를 개략적으로 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스에서 도가니와 분사튜브 등을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스에서 도가니, 분사튜브 및 노즐지그 등을 개략적으로 나타낸 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스의 일부 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 1 is a front view schematically showing a positional relationship of a crucible and an injection nozzle in a furnace for a deposition chamber according to the present invention shown in Fig. 1; Fig.
2 is a side cross-sectional view schematically showing a crucible, a spray tube, and the like in a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention.
3 is a side cross-sectional view schematically showing a crucible, a spray tube, a nozzle jig, and the like in a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view schematically showing a part of a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명에 대하여 보다 구체적으로 이해할 수 있도록 첨부된 도면을 참조한 바람직한 실시 예를 들어 설명하기로 한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1의 본 방명에 따른 증착챔버용 퍼니스에서의 도가니 및 분사노즐의 위치관계를 개략적으로 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스에서 도가니와 분사튜브 등을 개략적으로 나타낸 측단면도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스에서 도가니, 분사튜브 및 노즐지그 등을 개략적으로 나타낸 측단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스의 일부 부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다. 1 is a front view schematically showing a positional relationship between a crucible and an injection nozzle in a furnace for a deposition chamber according to the present invention shown in Fig. 1, Fig. 2 schematically shows a crucible and an injection tube, etc. in a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention 3 is a side cross-sectional view schematically showing a crucible, a spray tube, a nozzle jig, and the like in a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention, and Fig. 4 is a cross-sectional view of the furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention. And Fig.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 증착챔버용 퍼니스는 기판에 증착물질을 증착시켜주기 위한 증착챔버에 마련되는 퍼니스(furnace)로서, 수용부, 노즐부 및 가이드연통부를 포함하며, 바람직하게는 히터부와 위치조정수단을 더 포함하여 이루어질 수도 있다.1 to 4, a furnace for a deposition chamber according to an embodiment of the present invention is a furnace provided in a deposition chamber for depositing an evaporation material on a substrate. The furnace includes a housing portion, a nozzle portion, And may further include a heater unit and a position adjusting unit.

수용부는 기판(미도시)에 증착시킬 증착물질이 수용되는 공간을 제공한다. The receiving portion provides a space for accommodating a deposition material to be deposited on a substrate (not shown).

이러한 수용부는 하나 또는 다수의 도가니(110)를 포함하여 이루어진다. 여기서 도가니(110)에는 기판에 증착시킬 증착물질(130)이 수용되고, 증착물질(130)이 증발되도록 열을 증착물질(130)로 전달하는 것으로서 하나의 도가니(110)에는 한 종류의 증착물질(130)이 수용되는 것이 바람직하다. 수용부는 이러한 도가니(110)를 적어도 하나 이상 포함한다. Such receptacles comprise one or more crucibles (110). Here, the crucible 110 is provided with a deposition material 130 to be deposited on a substrate, and heat is transferred to the deposition material 130 so that the deposition material 130 is evaporated. In one crucible 110, (130) is received. The receiving portion includes at least one or more of these crucibles 110.

따라서, 기판에 증착시킬 증착물질(130)의 종류 등을 고려하여 수용부에 포함되는 도가니(110)의 개수가 정해질 수 있다. Accordingly, the number of the crucibles 110 included in the receiving portion can be determined in consideration of the kind of the evaporation material 130 to be deposited on the substrate.

증착챔버 내 증착공간에 위치한 기판 측으로 증착물질(130)을 증발시키기 위하여 도면에서 참조되는 바와 같이 도가니(110)는 일측에서 타측으로 긴 형태일 수도 있다. 이러한 도가니(110)의 내측에는 한 종류의 증착물질(130)을 수용할 수 있는 수용공간(120)이 마련되어 있다. 그리고 후술할 히터부의 베이스히터(520) 등으로부터 열을 받아서 가열되어 증착물질(130)을 증발시킨다. In order to evaporate the deposition material 130 toward the substrate located in the deposition space in the deposition chamber, the crucible 110 may be elongated from one side to the other side as shown in the figure. Inside the crucible 110, a receiving space 120 for accommodating one kind of evaporation material 130 is provided. And receives heat from the base heater 520 or the like of a heater to be described later and is heated to evaporate the evaporation material 130.

그리고 이러한 도가니(110)의 상측에는 하나 또는 다수의 플렉서블튜브(210)가 결합되어 있는 것이 바람직하다. 플렉서블튜브(210)에 관련하여서는 후술하기로 한다. It is preferable that one or more flexible tubes 210 are coupled to the upper side of the crucible 110. The flexible tube 210 will be described later.

노즐부는 수용부의 상측에 위치한다. 그리고, 노즐부는 수용부 측에서 증발된 증착물질이 기판 측으로 이동될 수 있도록 분사시켜준다. The nozzle portion is located on the upper side of the accommodating portion. The nozzle unit injects the evaporated evaporated material to the substrate side so that it can be moved toward the substrate side.

이러한 노즐부에는 분사노즐(310)이 하나 또는 다수 포함된다. 분사노즐(310)은 도가니(110) 내 수용공간(120)에서 증발되는 증착물질(130)이 분사되는 분사구(320)를 형성한다. 이러한 분사노즐(310)은 후술할 가이드연통부에 포함되는 플렉서블튜브(210)의 상단에 마련된다. One or more injection nozzles 310 are included in the nozzle portion. The injection nozzle 310 forms an injection hole 320 through which the evaporation material 130 evaporated in the accommodation space 120 in the crucible 110 is injected. The injection nozzle 310 is provided at the upper end of the flexible tube 210 included in the guide communication portion to be described later.

가이드연통부는 수용부와 노즐부 사이에 배치되어 수용부와 노즐부 사이를 연통시켜준다. 이러한 가이드연통부는 노즐부의 분사노즐(310)의 위치가 조정될 수 있도록 유연성을 갖춘 것이 바람직하다. The guide communicating portion is disposed between the accommodating portion and the nozzle portion to allow communication between the accommodating portion and the nozzle portion. It is preferable that the guide communication portion has flexibility so that the position of the injection nozzle 310 of the nozzle portion can be adjusted.

이러한 가이드연통부는 하나 또는 다수의 플렉서블(flexible)튜브(210)를 포함하여 이루어진다.The guide communication portion includes one or a plurality of flexible tubes 210.

플렉서블튜브(210)의 상측단에는 분사노즐(310)이 위치하고 있으며, 플렉서블튜브(210)의 하단측은 도가니(110)와 연통되도록 연결되어 있다. 그리고, 분사노즐(310)의 위치가 조정될 수 있도록 플렉서블튜브(210)가 유연하게 휘어지거나 꺾어질 수 있으며, 도가니(110)의 수용공간(120)에서 증발되어 기판 측으로 향하는 증착물질(130)의 이동을 가이드한다. The injection nozzle 310 is located at the upper end of the flexible tube 210 and the lower end of the flexible tube 210 is connected to the crucible 110. The flexible tube 210 may be flexibly bent or bent so that the position of the injection nozzle 310 may be adjusted and the evaporation material 130 which is evaporated in the accommodation space 120 of the crucible 110 and directed to the substrate side Guide the movement.

이러한 플렉서블튜브(210)는 금속재질로 이루어지되 유연하게 휘어지거나 꺾어질 수 있도록 도면에서 참조되는 바와 같이 플렉서블튜브(210)의 외주면에 주름이 다수 형성되어 있는 것도 바람직하다. It is preferable that the flexible tube 210 is formed of a metal material and has a plurality of corrugations formed on the outer circumferential surface of the flexible tube 210 as shown in the figure so that the flexible tube 210 can be flexed or bent.

히터부는 증착물질(130)이 도가니(110)의 수용공간(120) 내에서 증발되어 기판 측으로 이동될 수 있도록 수용부, 노즐부 및 가이드연통부 중 적어도 어느 하나 측으로 열을 공급하여준다. The heater unit supplies heat to at least one of the accommodation unit, the nozzle unit, and the guide communication unit so that the evaporation material 130 evaporates in the accommodation space 120 of the crucible 110 and can be moved to the substrate side.

이러한 히터부는 튜브히터(510)를 포함하는 것이 바람직하다. 튜브히터(510)는 플렉서블튜브(210)의 외주면 상에 배치되며, 플렉서블튜브(210)의 내측을 통해 분사구(320) 측으로 이동되는 증착물질(130)이 분사구(320)를 통해 분사될 수 있도록 플렉서블튜브(210)에 열을 가하여 준다. Such a heater portion preferably includes a tube heater 510. [ The tube heater 510 is disposed on the outer circumferential surface of the flexible tube 210 so that the evaporation material 130 moving toward the injection port 320 side through the inside of the flexible tube 210 can be injected through the injection port 320 And applies heat to the flexible tube 210.

여기서 튜브히터(510)는 도면에 개략적으로 도시된 바와 같이 외주면을 와이어로 된 히터선이 플렉서블튜브(210)를 외측에서 감는 형태로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이러한 튜브히터(510)에 의하여 플렉서블튜브(210)가 가열되므로 플렉서블튜브(210)의 내측에 증착물질이 붙는 것이 억제될 수 있다. Here, the tube heater 510 is preferably disposed in such a manner that a heater wire having an outer circumferential surface is wound around the flexible tube 210 from outside as schematically shown in the drawing. Since the flexible tube 210 is heated by the tube heater 510, adhesion of the evaporation material to the inside of the flexible tube 210 can be suppressed.

또한, 튜브히터(510)가 코일스프링의 형태를 갖추도록 하여 유연성이 있는 플렉서블튜브(210)를 탄력있게 지지 또는 받쳐줄 수 있는 역할 또한 할 수 있는 것도 바람직하다.In addition, it is also preferable that the tube heater 510 has a shape of a coil spring so that the flexible tube 210 can flexibly support or support the flexible tube 210.

한편, 히터부에는 증착물질이 증발되도록 도가니(110) 자체를 가열시켜주는 베이스히터(520) 또한 포함된다.The heater unit includes a base heater 520 for heating the crucible 110 itself to evaporate the evaporation material.

위치조정수단은 증착물질이 기판에 증착되는 증착균일도를 유지 또는 향상시키기 위하여 노즐부의 위치를 조정한다.The position adjusting means adjusts the position of the nozzle portion to maintain or improve the deposition uniformity in which the deposition material is deposited on the substrate.

위치조정수단에 의하여 노즐부의 위치가 조정될 수 있도록 노즐지그(410)가 마련된 것이 바람직하다. It is preferable that the nozzle jig 410 is provided so that the position of the nozzle portion can be adjusted by the position adjusting means.

노즐지그(410)는 하나 또는 다수의 분사노즐(310)을 홀딩하여 준다. 이를 위하여 노즐지그(410)는 도면에서 참조되는 바와 같이 분사노즐(310)이 끼워져서 홀딩될 수 있는 하나 이상의 홀딩홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다. 이 홀딩홈에 분사노즐(310)이 삽입되어 끼워져서 노즐지그(410)에 의하여 분사노즐(310)이 홀딩될 수 있게 된다. The nozzle jig 410 holds one or more injection nozzles 310. For this purpose, it is preferable that the nozzle jig 410 is formed with one or more holding grooves through which the injection nozzle 310 can be fitted and held, as shown in the figure. The injection nozzle 310 is inserted into the holding groove, and the injection nozzle 310 can be held by the nozzle jig 410.

그리고 노즐지그(410)는 위치조정수단에 의하여 분사노즐(310)의 위치가 조정될 수 있도록 위치조정수단과 역학적으로 연결되어 있다. 여기서 역학적 연결이라 함은 동력전달이 이루어지는 연결을 의미하며, 맞물린 기어의 회전, 컨베이어 벨트를 매개로한 두 회전축의 회전 등과 같이 힘을 전달받아서 어떠한 이동을 하거나 회전을 할 수 있는 기계적 동력 연결관계를 말한다. The nozzle jig 410 is mechanically connected to the position adjusting means so that the position of the injection nozzle 310 can be adjusted by the position adjusting means. Here, mechanical connection refers to a connection in which power transmission is performed, and a mechanical power connection relationship capable of performing any movement or rotation, such as rotation of a gear engaged, rotation of two rotary shafts via a conveyor belt, It says.

그리고, 이러한 노즐지그(410)는 하나 또는 다수 마련된 것이 바람직하다. It is preferable that one or a plurality of such nozzle jigs 410 are provided.

이처럼 위치조정수단에 의해 노즐지그(410)가 전후좌우로 소정의 거리만큼 이동되면, 노즐지그(410)에 홀딩된 분사노즐(310)도 노즐지그(410)와 함께 이동이 되므로 분사노즐(310)의 위치이동이 이루어지게 된다. When the nozzle jig 410 is moved by a predetermined distance in the front, rear, left, and right directions by the position adjusting means, the injection nozzle 310 held by the nozzle jig 410 moves with the nozzle jig 410, Is moved.

그리고 도면에서 참조되는 바와 같이,하나의 노즐지그(410)에는 각기 별개로서 독립된 도가니(110)에 각기 별개로 연결된 다수의 플렉서블튜브(210)의 분사노즐(310)이 하나의 노즐지그(410)에 대응되어 결합된 것도 바람직하다. The injection nozzles 310 of the plurality of flexible tubes 210 individually connected to the respective crucibles 110 are connected to one nozzle jig 410, It is preferable that they are combined with each other.

그리고, 노즐지그(410) 각각은 도 4에서 참조되는 바와 같이 서로 독립적으로 위치조정수단에 의하여 분사노즐(310)의 위치를 조절시켜줄 수 있는 것이 바람직하다. 4, each of the nozzle jigs 410 may independently adjust the position of the injection nozzle 310 by the position adjusting means.

하나의 노즐지그(410)에 홀딩되는 다수의 분사노즐(310)이 하나의 분사노즐조(crew)를 이룬다고 할 수 있다. 여기서 하나의 분사노즐조에 속하는 다수의 분사노즐(310)은 각기 상대적 위치가 노즐지그(410)에 의해 고정된다. It can be said that a plurality of injection nozzles 310 held by one nozzle jig 410 forms a single jet nozzle crew. Here, the plurality of injection nozzles 310 belonging to one injection nozzle group are fixed by the nozzle jig 410, respectively.

그리고 하나의 분사노즐조에 속하는 다수의 분사노즐(310)들은 하나의 노즐지그(410)에 의해 함께 위치조정된다. 이웃하는 다른 분사노즐조에 속하는 다수의 분사노즐(310)들 다시 말해서, 이웃하는 다른 노즐지그(410)에 홀딩된 다수의 분사노즐(310)들은 이웃하는 노즐지그(410)에 홀딩된 다수의 분사노즐(310)들에 대하여 상대적 위치가 변동되도록 위치가 조정된다. 즉, 노즐지그(410) 간의 간격이 좁아지면 분사노즐(310)들의 간격이 좁아지고, 노즐지그(410) 간의 간격이 넓어지면 분사노즐(310)들의 간격 또한 넓어지게 된다. And a plurality of injection nozzles 310 belonging to one injection nozzle group are aligned together by one nozzle jig 410. A plurality of injection nozzles 310 belonging to another neighboring nozzle jig 310. In other words, a plurality of injection nozzles 310 held by another neighboring nozzle jig 410 are connected to a plurality of injection jets 310 held in the neighboring nozzle jig 410, The position is adjusted so that the relative position with respect to the nozzles 310 is varied. That is, if the interval between the nozzle jigs 410 is narrowed, the interval between the injection nozzles 310 becomes narrow, and when the interval between the nozzle jigs 410 becomes wider, the interval between the injection nozzles 310 becomes wider.

이처럼 분사노즐(310)들 간의 거리가 변동될 수 있도록 플렉서블튜브(210)는 유연성있게 휘어지거나 꺾어질 수 있다. The flexible tube 210 may be flexibly bent or bent so that the distance between the injection nozzles 310 may vary.

이와 같이 기판에 대한 증착균일도를 향상시키기 위하여 분사노즐이 적절하게 위치조정될 수 있는 것이 바람직하다. In this way, it is preferable that the injection nozzle can be appropriately positioned so as to improve the uniformity of deposition on the substrate.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 증착챔버용 퍼니스는 도가니로부터 증발되는 증착물질이 분사되는 분사노즐의 위치조정이 가능하므로 미세한 기판 위치의 변화 등에 대응하여 분사노즐의 분사위치가 조절될 수 있다. 따라서, 다수의 기판에 대하여 수차례 증착공정이 이루어지더라도 기판에 대한 증착물질의 증착균일도를 확보 또는 증진시켜줄 수 있는 장점이 있다. As described above, since the position of the spray nozzle for spraying the deposition material evaporated from the crucible can be adjusted, the spray position of the spray nozzle can be adjusted in accordance with the change of the position of the fine substrate. Accordingly, even if a plurality of substrates are subjected to several deposition processes, the deposition uniformity of the deposition material on the substrate can be secured or improved.

이상에서 설명된 바와 같이, 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시 예들에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시 예들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시 예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다. While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, It is to be understood that the scope of the present invention is to be construed as being limited only by the embodiments, and the scope of the present invention should be understood as the following claims and their equivalents.

110 : 도가니 120 : 수용공간
130 : 증착물질 210 : 플렉서블튜브
310 : 분사노즐 320 : 분사구
410 : 노즐지그 510 : 튜브히터
520 : 베이스히터110: crucible 120: accommodation space
130: Deposited material 210: Flexible tube
310: jet nozzle 320: jet nozzle
410: nozzle jig 510: tube heater
520: Base heater

Claims (10)

기판에 증착물질을 증착시켜주기 위한 증착챔버에 마련되는 증착챔버용 퍼니스(furnace)에 있어서,
증착물질이 수용되는 수용공간을 제공하는 수용부;
상기 수용부의 상측에 위치하며, 상기 수용공간 내에서 증발되는 상기 증착물질이 분사되는 분사구를 형성하는 분사노즐이 하나 또는 다수 포함된 노즐부; 및
상기 수용부와 상기 노즐부 사이에 배치되어 상기 수용부와 상기 노즐부 사이를 연통시켜주는 가이드연통부; 를 포함하되,
상기 가이드연통부는 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 유연성을 갖춘 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
1. A furnace for a deposition chamber provided in a deposition chamber for depositing a deposition material on a substrate,
A receiving portion for providing a receiving space in which the deposition material is accommodated;
A nozzle unit positioned above the accommodation unit and including one or more injection nozzles for forming an injection port through which the evaporation material evaporated in the accommodation space is injected; And
A guide communicating portion disposed between the accommodating portion and the nozzle portion and communicating between the accommodating portion and the nozzle portion; , ≪ / RTI &
Wherein the guide communicating portion is flexible so that the position of the injection nozzle can be adjusted.
제 1항에 있어서,
상기 증착물질이 상기 수용공간 내에서 증발되어 상기 기판 측으로 이동될 수 있도록 상기 수용부, 상기 노즐부 및 상기 가이드연통부 중 적어도 어느 하나 측으로 열을 공급하는 히터부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
The method according to claim 1,
A heater unit for supplying heat to at least one of the accommodating unit, the nozzle unit, and the guide communication unit so that the evaporation material can be evaporated in the accommodation space and moved to the substrate side; Further comprising: a gas supply line for supplying the gas to the deposition chamber.
제 2항에 있어서,
상기 증착물질이 상기 기판에 증착되는 증착균일도를 유지 또는 향상시키기 위하여 상기 노즐부의 위치를 조정하기 위한 위치조정수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
3. The method of claim 2,
Further comprising position adjusting means for adjusting a position of the nozzle portion in order to maintain or improve the uniformity of deposition in which the deposition material is deposited on the substrate.
제 3항에 있어서,
상기 가이드연통부는,
상측단에 상기 분사노즐이 위치하고 있고, 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 유연하게 휘어지거나 꺾어질 수 있으며, 상기 수용공간에서 증발되어 상기 기판 측으로 향하는 상기 증착물질의 이동을 가이드 하는 플렉서블(flexible)튜브를 하나 또는 다수 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
The method of claim 3,
The guide-
A flexible nozzle which is located at an upper end of the nozzle and is capable of flexing or bending so as to adjust the position of the nozzle, and which guides the movement of the evaporation material evaporated in the accommodation space toward the substrate, Wherein the one or more tubes comprise one or more tubes.
제 4항에 있어서,
상기 수용부는,
상기 증착물질을 수용하는 도가니를 하나 또는 다수 포함하며, 상기 도가니의 상측에는 하나 또는 다수의 상기 플렉서블튜브가 결합된 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
5. The method of claim 4,
The receiving portion includes:
Wherein one or more crucibles for accommodating the deposition material are included, and one or a plurality of the flexible tubes are coupled to an upper side of the crucible.
제 5항에 있어서,
하나 또는 다수의 상기 분사노즐을 홀딩하여 주며, 상기 위치조정수단에 의하여 상기 분사노즐의 위치가 조정될 수 있도록 상기 위치조정수단과 역학적으로 연결된 노즐지그 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
6. The method of claim 5,
Further comprising a nozzle jig which holds one or a plurality of the injection nozzles and is dynamically connected to the position adjusting means so that the position of the injection nozzle can be adjusted by the position adjusting means.
제 6항에 있어서,
상기 노즐지그는 하나 또는 다수 마련된 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
상설?! : 노즐지그 각각은 서로 독립적으로 상기 위치조정수단에 의하여 상기 분사노즐의 위치를 조절시켜주는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
The method according to claim 6,
Wherein one or more of the nozzle jigs are provided.
permanent establishment?! : Each of the nozzle jigs independently adjusts the position of the injection nozzle by the position adjusting means.
제 7항에 있어서,
상기 히터부는,
상기 플렉서블튜브의 외주면 상에 배치되어 상기 플렉서블튜브의 내측을 통해 상기 분사구 측으로 이동되는 상기 증착물질이 상기 분사구를 통해 분사될 수 있도록 열을 가해주는 튜브히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
8. The method of claim 7,
The heater unit includes:
And a tube heater disposed on an outer circumferential surface of the flexible tube to apply heat to the evaporation material moving through the inside of the flexible tube toward the injection port so that the evaporation material can be injected through the injection port. .
제 8항에 있어서,
하나의 상기 노즐지그에는,
각기 별개로 독립된 상기 도가니에 각기 별개로 연결된 다수의 상기 플렉서블튜브 및 상기 분사노즐이 하나의 상기 노즐지그에 대응되어 결합된 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
9. The method of claim 8,
In one of the nozzle jigs,
Wherein the plurality of flexible tubes and the injection nozzles, which are separately connected to the crucibles independently of each other, are coupled to one of the nozzle jigs.
제 9항에 있어서,
상기 플렉서블튜브는 금속재질로서 외주면에 주름이 다수 형성된 것을 특징으로 하는 증착챔버용 퍼니스.
10. The method of claim 9,
Wherein the flexible tube is made of a metal material and has a plurality of corrugations on the outer circumferential surface thereof.
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