KR20190009514A - 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바 - Google Patents

기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바 Download PDF

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Abstract

기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바가 개시된다. 개시된 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 이송계의 기하학적 오차를 측정하는 기능이 구비된 볼바에 있어서, 하나 이상의 파이프로 형성되며 절첩가능하도록 결합되어 길이 조절이 가능한 바아; 상기 바아의 일단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제1 프로브; 상기 바아의 타단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제2 프로브; 상기 바아의 내부에 장착되어 상기 제1 프로브와 제2 프로부 사이의 상대거리를 측정하는 센서; 상기 센서의 측정신호를 전송받아 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 제어부; 및 상기 센서에 의해 측정된 데이터 및 상기 제어부에서 계산된 데이터를 표시하는 디스플레이부;를 포함하며, 측정대상 이송계의 주축이 정사면체 네 꼭지점의 위치로 순차적으로 이동하는 상태에서, 상기 제어부는 상기 센서에 의해 측정된 상기 네 꼭지점 사이의 거리에 대한 여섯 개 데이터로부터 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 것을 특징으로 한다.

Description

기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바{Ball bar with geometric error measuring function}
본 발명은 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가상의 정사면체를 형성하고 이송체의 주축을 형성된 정사면체의 네 꼭지점으로 순자적으로 이동시킨 후, 네 꼭지점 사이의 거리를 볼바로 측정하고, 측정된 정사면체의 네 꼭지점 사이의 거리에 대한 여섯 개 데이터로부터 이송체의 기하학적 오차를 산출하는 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바에 관한 것이다.
일반적으로 정밀 이송계는 2개 이상의 이송축을 포함하는 기계 장치를 의미하는 것으로, 다축 공작기계, 다축 관절 로봇, CMM 등을 예로 들 수 있다. 이러한 이송계는 일반적으로 하나 이상의 직선축과 하나 이상의 회전축을 포함한다. 대표적인 예로써, 5축 공작 기계를 들 수 있는데, 보통 5축 공작 기계는 3개의 직선축과 2개의 회전축으로 구성되어 복잡한 곡면이나 형상의 가공을 수행한다.
그러나 이러한 정밀 이송계는 부품의 가공오차와 조립 오차 등에 의해 이송축에 필연적으로 기하학적 오차가 동반되게 된다. 따라서 현장에서는 이송축의 기하학적 오차를 주기적으로 측정하여 보정함으로써(calibration) 생산제품의 정밀도를 확보하고 있다.
도 1은 전형적인 3축 공작기계의 사시도이다. 3축 공작기계에는 세 방향의 이송축이 존재한다. 3 축 공작기계를 예로 들어 이송축의 기하학적 오차를 설명한다.
도 2는 이송축 오차를 설명하는 도면이고, 도 3은 이송축 사이 오차를 설명하는 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.
R은 표준좌표계를 나타내며, X는 설계상 x방향 이송축에 고정된 좌표계이고, X'는 실제 x방향 이송축에 고정된 좌표계를 나타낸다.
이송축에 대한 기하학적 오차는 이송축 오차와 이송축 사이의 오차(squareness error)로 구분된다. 이송축 오차는 해당 이송축의 설계상 위치와 실제 위치 사이의 오차를 의미하는 것으로서, 도 2는 x방향 이송축에 대한 이송축 오차를 나타낸다. 이송축 오차는 위치 오차 3개와 각도 오차 3개가 있다.
한편 이송축 사이의 오차는 이송축 사이의 각도에 있어서의 오차를 의미한다. 3 축 공작기계의 경우 이송축 사이의 오차는 3개가 있다.
따라서 3축 공작기계의 경우 이송축에 대한 기하학적 오차는 이송축 오차 18개와 이송축 사이의 오차 3개를 합하여 총 21개가 된다.
종래 생산 현장에서는 레이져 간섭계 등을 사용하여 이송계에 대한 21개의 기하학적 오차를 측정한 후 이송계를 재조립하였다. 그러나 이는 매우 긴 시간이 소요되어 모든 이송계에 대한 보정작업이 현실적으로 불가능한 상황이며, 생산성을 떨어뜨리는 요인으로 지적되어 왔다.
한편 레이져 간섭계와 같은 측정장비는 매우 고가이어서 다수의 이송계를 구비한 현장에서 충분한 수량의 측정장비를 갖추기는 현실적으로 어려운 실정이다.
따라서 이러한 생산현장의 현실을 반영하여 저가의 측정장치만으로 이송계에 대한 주요한 기하학적 오차를 신속하게 측정할 수 있는 보다 실용적인 측정장치의 개발이 절실히 요청되며, 이러한 실용적 측정장치가 개발된다면 이송계의 주기적 검사에 널리 활용되어 정밀 보정대상 이송계의 판정을 위한 유용한 도구가 될 것이다.
한국등록특허공보 10-1593330호
본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 볼바(ball bar)만으로 이송계의 주요 기하학적 오차를 측정하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 가상 표준 사면체를 사용하여 일관성 있는 측정결과를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 가상 표준 사면체의 크기 및 볼바의 길이를 변경하여 다양한 크기의 이송체에 유연하게 적용가능하도록 하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 이송계의 기하학적 오차를 측정하는 기능이 구비된 볼바에 있어서, 하나 이상의 파이프로 형성되며 절첩가능하도록 결합되어 길이 조절이 가능한 바아; 상기 바아의 일단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제1 프로브; 상기 바아의 타단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제2 프로브; 상기 바아에 장착되어 상기 제1 프로브와 제2 프로부 사이의 상대거리를 측정하는 센서; 상기 센서의 측정신호를 전송받아 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 제어부; 및 상기 센서에 의해 측정된 데이터 및 상기 제어부에서 계산된 데이터를 표시하는 디스플레이부;를 포함하며, 측정대상 이송계의 주축이 정사면체 네 꼭지점의 위치로 순차적으로 이동하는 상태에서, 상기 제어부는 상기 센서에 의해 측정된 상기 네 꼭지점 사이의 거리에 대한 여섯 개 데이터로부터 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 것을 특징으로 하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바를 제공한다.
또한 본 발명의 상기 기하학적 오차는 이송축 방향으로의 거리 오차를 정의하는 스케일 오차(scale error) 및, 이송축 사이의 각도 오차를 정의하는 직각도 오차(squareness error)인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 상기 제어부는, 상기 정사면체의 꼭지점 좌표가 저장된 표준 데이터 저장부; 상기 센서에 의해 측정된 정사면체 꼭지점 사이의 거리로부터 측정된 정사면체의 네 개의 꼭지점 좌표를 산출하는 측정 좌표 산출부; 상기 표준 데이터 저장부에 저장된 정사면체의 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차와 기하학적 오차 사이의 관계에 최소자승법을 적용하여 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 기하학적 오차 산출부;를 포함한다.
또한 본 발명의 상기 가상의 정사면체 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차와 기하학적 오차 사이의 관계는 아래의 수학식 1에 의해 정의되는 것을 특징으로 한다.
[수학식 1]
Figure pat00001
여기서,
ci: 이송축 오차 (i = X, Y, Z)
sij: 이송축 사이 오차(i, j = X, Y, Z)
xi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
yi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 y 좌표(i = 1, 2, 3, 4)
zi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
xi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
yi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 y 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
zi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
한다.
또한 본 발명의 상기 제1 프로브 및 제2 프로브는 볼 또는 3점 지지소켓인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 상기 제어부는 상기 산출된 기하학적 오차가 기설정된 상기 이송계의 보정대상 기준에 충족되는지 여부를 판단하는 보정판단부;를 더 포함한다.
본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 레이져 간섭계 등의 전통적인 오차측정장비에 비해 상대적으로 저가인 볼바만으로 이송계의 주요 기하학적 오차를 측정하는 효과가 있다.
또한 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 가상 표준 사면체를 사용하여 반복적인 측정에도 일관성 있는 측정결과를 제공하는 효과가 있다.
또한 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 다양한 크기의 이송체에 유연하게 적용가능한 효과가 있다.
또한 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바는 추가적인 도구없이 3차원 좌표 측정기에 적용가능한 효과가 있다.
상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.
도 1은 전형적인 3축 공작기계의 사시도이다.
도 2는 이송축 오차를 설명하는 도면이다.
도 3은 이송축 사이 오차를 설명하는 도면이다.
도 4는 주요 기하학적 오차를 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바를 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 이송체의 주축을 정사면체의 꼭지점 위치로 순차적으로 이동하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 볼바로 정사면체의 꼭지점 사이의 거리를 측정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바의 블럭도이다.
이하, 본 문서의 다양한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 기재된다. 그러나 이는 본 문서에 기재된 기술을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 문서의 실시예의 다양한 변경(modifications), 균등물(equivalents), 및/또는 대체물(alternatives)을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면의 설명과 관련하여, 유사한 구성요소에 대해서는 유사한 참조 부호가 사용될 수 있다.
또한, 본 문서에서 사용된 "제1," "제2," 등의 표현들은 다양한 구성요소들을, 순서 및/또는 중요도에 상관없이 수식할 수 있고, 한 구성요소를 다른 구성요소와 구분하기 위해 사용될 뿐 해당 구성요소들을 한정하지 않는다. 예를 들면, '제1 부분'과 '제2 부분'은 순서 또는 중요도와 무관하게, 서로 다른 부분을 나타낼 수 있다. 예를 들면, 본 문서에 기재된 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 바꾸어 명명될 수 있다.
또한, 본 문서에서 사용된 용어들은 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 다른 실시예의 범위를 한정하려는 의도가 아닐 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 용어들은 본 문서에 기재된 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가질 수 있다. 본 문서에 사용된 용어들 중 일반적인 사전에 정의된 용어들은, 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 동일 또는 유사한 의미로 해석될 수 있으며, 본 문서에서 명백하게 정의되지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 경우에 따라서, 본 문서에서 정의된 용어일지라도 본 문서의 실시예들을 배제하도록 해석될 수 없다.
도 4는 주요 기하학적 오차를 설명하는 도면이다. 도 4(a)는 스케일 오차를 설명하는 도면이고, 도 4(b)는 직각도 오차를 설명하는 도면이다.
스케일 오차(ci, i = X, Y, Z)는 이송축의 이송축 방향으로의 거리오차를 의미한다. 즉 Cx는 x 방향 스케일 오차를 의미하는 것이다. 이송축 사이의 오차, 즉 직각도 오차(sij , i, j = X, Y, Z)는 두 이송축 사이의 각도 오차를 의미한다. 즉 s yz는 y축과 z축 사이의 각도 오차를 의미하는 것이다.
이러한 스케일 오차와 직각도 오차는 이송계의 성능에 중요한 영향을 미치는 기하학적 오차로 인정된다.
따라서 종래에는 공작기계나 3 차원 좌표 측정기에 터치 프로브(touch probe)를 장착한 후 표준 정사면체의 꼭지점을 측정하여 스케일 오차와 직각도 오차를 산출하였다.
그러나 터치 프로브와 표준 정사면체의 가격이 매우 고가이어서 모든 이송계에 적용하기 어려운 문제점이 있었다.
이에 본 발명에서는 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바를 개발하게 되었다.
도 5는 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바를 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 볼바는 바아(100), 제1 프로브(200), 제2 프로브(210), 센서(도면 미도시), 제어부(300), 디스플레이부(400)를 포함한다.
바아(100)는 하나 이상의 파이프로 형성되며 절첩가능하도록 결합되어 길이 조절이 가능하다.
제1 프로브(200)는 바아(100)의 일단에 결합되어 측정대상에 접촉하며, 제2 프로브(210)는 바아(100)의 타단에 결합되어 측정대상에 접촉한다.
제1 프로브(200) 및 제2 프로브(210)는 통상 볼 또는 3점 지지소켓이 사용된다. 도 5에는 바아(100)의 양단에 볼이 장착되어 있는 경우이다.
센서는 바아(100)의 내부에 장착되어 상기 제1 프로브(200)와 제2 프로부 사이의 상대거리를 측정한다. 센서는 LVDT 등 다양한 종류의 센서가 채택될 수 있다.
디스플레이부(400)는 센서에 의해 측정된 데이터 및 상기 제어부(300)에서 계산된 데이터를 표시한다. 디스플레이부(400)는 바아(100)에 장착될 수 있으나, 바아(100)로부터 소정 거리 이격된 원격에 설치되어 데이터를 무선으로 전송받아 디스플레이할 수도 있다.
제어부(300)는 센서에 의해 측정된 데이터로부터 이송계의 기하학적 오차를 산출한다.
본 발명에 따른 제어부(300)가 기하학적 오차를 산출하는 방법에 대해 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명에 따른 이송체의 주축을 정사면체의 꼭지점 위치로 순차적으로 이동하는 방법을 설명하는 도면이고, 도 7은 본 발명에 따른 볼바로 정사면체의 꼭지점 사이의 거리를 측정하는 방법을 설명하는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.
본 발명은 표준 정사면체를 사용하는 대신 가상의 정사면체를 이용한다.
측정대상 이송계의 가공체적을 고려하여 적절한 크기의 가상 정사면체를 형성한다.
종래의 표준 정사면체를 사용하는 경우에는 크기가 정해져 있어 다양한 크기의 이송계에 유연하게 대응할 수 없었다. 그러나 가상의 정사면체를 사용함으로써 이러한 문제는 일시에 해결되었다.
이 뿐 아니라 종래의 표준 정사면체는 반복적인 사용으로 인한 마모 등으로 시간의 경과에 따른 일관성 있는 측정결과를 보장해주지 못하였으나, 가상 정사면체를 이용하게 되면 반복적인 사용에도 일관성 있는 측정결과를 제공할 수 있는 것이다.
다음으로는 형성된 가상 정사면체를 이루는 네 꼭지점의 좌표를 측정대상 이송계에 입력한다.
이송계의 주축 단부에 꼭지점의 위치를 나타내기 위해 위치 지시체를 장착한다. 이 때 위치 지시체로는 통상 툴 볼(tool ball) 또는 3점 지지소켓이 사용된다.
툴 볼과 3점 지지소켓은 자력(magnetic force)에 의해 주축에 결합되거나 볼트 체결을 통해 결합된다. 도 6에서는 주축에 툴 볼이 장착된 경우가 도시되어 있다.
툴 볼이 장착된 주축을 입력된 네 꼭지점의 위치로 순차적으로 이동시킨다. 이 때 입력된 꼭지점의 위치를 표시하기 위해 주축을 꼭지점의 위치로 이동시킨 상태에서 꼭지점에 접촉하도록 센터 마운트(center mount)를 장착한다. 결과적으로 센터 마운트는 입력된 꼭지점의 위치를 나타내는 것이다.
도 6 및 도 7에서 P는 정사면체 꼭지점의 위치를 나타낸다.
센터 마운트는 주축이 이동된 네 번째 꼭지점을 제외한 세 꼭지점의 위치 각각에 장착된다.
결과적으로 세 개의 센터 마운트 및 주축 단부에 장착된 툴 볼은 입력된 정사면체의 네 꼭지점의 위치를 나타낸다.
볼바(ball bar)를 사용하여 네 꼭지점의 위치를 나타내는 세 개의 센터 마운트 및 주축 단부에 장착된 툴 볼 사이의 거리를 측정한다. 총 6개의 거리가 측정된다. 도 7에서 L은 두 꼭지점 사이의 측정된 거리를 나타낸다.
최종적으로 제어부(300)는 측정된 네 꼭지점 사이의 거리로부터 이송계의 기하학적 오차를 산출한다. 여기서 기하학적 오차는 이송축의 스케일 오차 및 직각도 오차를 의미한다.
측정된 정사면체 꼭지점 사이의 거리로부터 기하학적 오차를 산출하는 과정을 설명한다.
본 발명에 따른 제어부(300)는 표준 데이터 저장부, 측정 좌표 산출부, 기하학적 오차 산출부를 포함한다.
표준 데이터 저장부에는 가상의 정사면체에 대한 꼭지점 좌표가 저장되어 있다.
우선 측정 좌표 산출부는 측정된 정사면체의 꼭지점 사이의 거리로부터 측정된 정사면체의 네 꼭지점의 좌표를 산출한다.
그리고 기하학적 오차 산출부는 가상의 정사면체 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차를 산출한다.
또한 기하학적 오차 산출부는 이 좌표값 차와 기하학적 오차 사이의 관계를 정의한다.
아래 식 1은 기하학적 오차 산출부가 가상의 정사면체 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차와 기하학적 오차 사이의 관계를 정의하는 식이다.
[수학식 1]
Figure pat00002
여기서,
ci: 스케일 오차 (i = X, Y, Z)
sij: 직각도 오차(i, j = X, Y, Z)
xi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
yi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 y 좌표(i = 1, 2, 3, 4)
zi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
xi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
yi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 y 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
zi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
최종적으로 기하학적 오차 산출부는 최소자승법을 수학식 1에 적용하여 기하학적 오차를 산출한다.
도 8은 본 발명에 따른 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바의 블럭도이다. 이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 특정의 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 이러한 변형 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어서는 안 될 것이다.
바아 100
제1 프로브 200
제2 프로브 210
제어부 300
디스플레이부 400
주축 500
위치 지시체 510
센터 마운트 520

Claims (6)

  1. 이송계의 기하학적 오차를 측정하는 기능이 구비된 볼바에 있어서,
    하나 이상의 파이프로 형성되며 절첩가능하도록 결합되어 길이 조절이 가능한 바아;
    상기 바아의 일단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제1 프로브;
    상기 바아의 타단에 결합되어 측정대상에 접촉하는 제2 프로브;
    상기 바아에 장착되어 상기 제1 프로브와 제2 프로부 사이의 상대거리를 측정하는 센서;
    상기 센서의 측정신호를 전송받아 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 제어부; 및
    상기 센서에 의해 측정된 데이터 및 상기 제어부에서 계산된 데이터를 표시하는 디스플레이부;를 포함하며,
    측정대상 이송계의 주축이 정사면체 네 꼭지점의 위치로 순차적으로 이동하는 상태에서, 상기 제어부는 상기 센서에 의해 측정된 상기 네 꼭지점 사이의 거리에 대한 여섯 개 데이터로부터 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 것을 특징으로 하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기하학적 오차는 이송축 방향으로의 거리 오차를 정의하는 스케일 오차(scale error) 및, 이송축 사이의 각도 오차를 정의하는 직각도 오차(squareness error)인 것을 특징으로 하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 정사면체의 꼭지점 좌표가 저장된 표준 데이터 저장부;
    상기 센서에 의해 측정된 정사면체 꼭지점 사이의 거리로부터 측정된 정사면체의 네 개의 꼭지점 좌표를 산출하는 측정 좌표 산출부;
    상기 표준 데이터 저장부에 저장된 정사면체의 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차와, 기하학적 오차 사이의 관계에 최소자승법을 적용하여 상기 이송계의 기하학적 오차를 산출하는 기하학적 오차 산출부;를 포함하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가상의 정사면체 꼭지점 좌표 및 측정된 정사면체의 꼭지점 좌표 사이의 차와 기하학적 오차 사이의 관계는 아래 수학식 1에 의해 정의되는 것을 특징으로 하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
    [수학식 1]
    Figure pat00003

    여기서,
    ci: 이송축 오차 (i = X, Y, Z)
    sij: 이송축 사이 오차(i, j = X, Y, Z)
    xi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
    yi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 y 좌표(i = 1, 2, 3, 4)
    zi: 가상의 정사면체의 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
    xi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 x 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
    yi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 y 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
    zi,m: 측정된 정사면체 꼭지점의 z 좌표 (i = 1, 2, 3, 4)
  5. 제1항에 있어서
    상기 제1 프로브 및 제2 프로브는 볼 또는 3점 지지소켓인 것을 특징으로 하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
  6. 제3항에 있어서
    상기 제어부는 상기 산출된 기하학적 오차가 기설정된 상기 이송계의 보정대상 기준에 충족되는지 여부를 판단하는 보정판단부;를 더 포함하는, 기하학적 오차 측정기능이 구비된 볼바.
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