KR20190001835U

KR20190001835U - Suction hand

Info

Publication number: KR20190001835U
Application number: KR2020180000141U
Authority: KR
Inventors: 히데키 도쿠나가; 아키노리 다시마
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-10
Filing date: 2018-01-10
Publication date: 2019-07-18
Also published as: KR200494783Y1

Abstract

(과제) 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 워크를 이재하는 로봇(4)에 있어서의 상기 워크를 흡착하는 흡착 핸드(7)로서, 로봇(4)의 본체부에 탈착이 자유롭게 형성되는 U자형의 흡착 핸드 본체(71)와, 흡착 핸드 본체(71)의 두갈래 선단에 각각 형성되고, 상기 워크를 흡착하는 흡착 패드(82)를 구비하는 흡착 유닛(72)을 구비한다.An object of the present invention is to provide a suction hand capable of feeding and inputting a glass substrate or a display module simultaneously to each of a plurality of adjacent laser processing machines.
A suction hand (7) for suctioning the work in a robot (4) carrying a work is provided with a U-shaped suction hand body (71) detachably attached to a body portion of the robot (4) And an adsorption unit 72 which is formed respectively at the two ends of the adsorption hand body 71 and which has an adsorption pad 82 for adsorbing the workpiece.

Description

{SUCTION HAND}

본 고안은, 워크(work)의 흡착 핸드, 특히 기판이나 얇은 워크 등을 흡착하여, 핸들링하는 흡착 핸드에 관한 것이다.The present invention relates to an adsorption hand for adsorbing and handling an adsorption hand of a work, particularly a substrate or a thin work.

광학적으로 투명한 기판, 예를 들면 유리 기판의 절단은, 기계적인 절삭에 의해 행해지는 경우가 많다. 예를 들면, 다이아몬드 커터 등의 다이싱 소(dicing saw)를 이용함으로써, 대형의 유리 기판으로부터 복수매의 유리 기판편이 다면취(多面取)된다.The cutting of an optically transparent substrate, for example, a glass substrate, is often performed by mechanical cutting. For example, by using a dicing saw such as a diamond cutter, a plurality of glass substrate pieces are taken out from a large glass substrate into multiple faces.

한편, 광학적으로 투명한 기판의 절단을, 기계적 절삭 가공이 아니라, 레이저광을 사용하여 가공하는 방법이 있다(특허문헌 1 참조). 구체적으로는, 우선, 유리 기판에 극단(極短) 펄스폭의 레이저광을 조사하여, 유리 기판에 점선 형상으로 스크라이브 라인(scribing line)을 형성한다. 그 후, 이 스크라이브 라인을 따라서 분단을 행함으로써, 대형의 유리 기판으로부터 복수매의 유리 기판편이 다면취된다.On the other hand, there is a method of cutting an optically transparent substrate by using laser light instead of mechanical cutting (see Patent Document 1). Specifically, first, a laser beam having an extremely short pulse width is irradiated on a glass substrate to form a scribing line in a dotted line form on the glass substrate. Thereafter, division is carried out along this scribe line to obtain a plurality of glass substrate pieces from the large glass substrate.

일본공개특허공보 2007-260749호Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-260749

최근의 휴대 단말이나 정보 단말의 보급에 수반하여, 각종 제품에 있어서는, 양산성과 비용 절감이 항상 요구된다. 이 때문에, 전술한 레이저광을 사용한 가공 방법에 있어서도, 생산성의 향상, 즉 제품 제조의 사이클 타임의 향상이 과제이다.With the recent spread of portable terminals and information terminals, in various products, it is always required to reduce the mass production cost. For this reason, in the above-described processing method using the laser light, it is a problem to improve the productivity, that is, to improve the cycle time of the product.

본 고안은, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 얻는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to obtain an adsorption hand capable of feeding and inputting a glass substrate or a display module simultaneously to each of a plurality of adjacent laser processing machines.

본 고안의 일 실시 형태에 있어서,In one embodiment of the present invention,

워크를 이재(移載)하는 로봇에 있어서의 상기 워크를 흡착하는 흡착 핸드로서,An adsorption hand for adsorbing a work in a robot for transferring a work,

상기 로봇의 본체부에 탈착이 자유롭게 형성되는 U자형의 흡착 핸드 본체와,A U-shaped suction hand body which is detachably formed on a body portion of the robot,

상기 흡착 핸드 본체의 두갈래 선단에 각각 형성되고, 상기 워크를 흡착하는 흡착 패드를 구비하는 흡착 유닛을 구비한다.And adsorption units each formed at the tip of the two ends of the adsorption hand main body and having an adsorption pad for adsorbing the work.

상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체가 U자형으로서, 그 두갈래 선단의 각각에 흡착 유닛이 형성되어 있다. 이 때문에, 한 번의 작업으로, 복수의 워크를 인접하는 복수대의 레이저 가공기에 이재시킬 수 있다.According to the above configuration, the suction hand body is U-shaped and the suction unit is formed at each of its two ends. Therefore, in a single operation, a plurality of workpieces can be transferred to a plurality of adjacent laser processing machines.

이와 같이, 상기 구성에 의하면, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.As described above, according to the above configuration, it is possible to provide an adsorption hand capable of simultaneously feeding and inserting a glass substrate or a display module into each of a plurality of adjacent laser processing machines.

또한, 본 고안의 일 실시 형태에 있어서,Further, in one embodiment of the present invention,

상기 흡착 유닛은,Wherein the adsorption unit comprises:

상기 흡착 핸드 본체에 탈착이 자유롭게 형성되는 흡착 부재와,A suction member detachably attached to the suction hand body,

상기 흡착 부재의 선단측의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되고, 적어도 1개의 상기 흡착 패드를 구비하는 흡착 패드 부재를 구비한다.And a suction pad member which is detachably formed on a bottom surface of the front end side of the suction member and includes at least one suction pad.

상기 흡착 유닛은,Wherein the adsorption unit comprises:

상기 흡착 패드 부재와 적어도 1개의 흡기(吸氣) 라인의 사이에 형성되고, 적어도 1개의 흡기 배관을 구비하는 흡기계 부재를 추가로 구비하고,Further comprising a suction machine member formed between the suction pad member and at least one suction line and having at least one suction pipe,

상기 흡착 패드 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡착 패드에, 적어도 1개의 상기 흡기 배관의 일단측이 접속되고, 적어도 1개의 당해 흡기 배관의 타단 측에, 적어도 1개의 상기 흡기 라인이 접속된다.At least one suction pipe is connected to at least one suction pad of the suction pad member, and at least one suction line is connected to at least one other suction pipe.

상기 흡착 부재는, 상기 흡기계 부재를 장착하기 위한 장착부를 구비하고,Wherein the suction member has a mounting portion for mounting the suction machine member,

상기 장착부에 상기 흡기계 부재가 장착되고, 상기 흡착 패드 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡착 패드와, 당해 흡기계 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡기 배관이 연통(連通)된다.At least one of the suction pads of the suction pad member and at least one of the suction pipes of the suction machine member are communicated with each other.

상기 흡착 패드 부재는,Wherein the adsorption pad member comprises:

상기 흡착 부재의 선단측의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되는 판 형상의 베이스 부재와,A base member in the form of a plate which is detachably attached to a bottom surface of the front end side of the adsorption member;

상기 베이스 부재의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되는 복수의 상기 흡착 패드를 구비한다.And a plurality of the adsorption pads detachably formed on a lower surface of the base member.

상기 흡착 부재는 박판 부재로서, 당해 박판 부재의 근원(根源)측이 상기 흡착 핸드 본체에 체결된다.The adsorption member is a thin plate member, and the root side of the thin plate member is fastened to the adsorption hand body.

상기 장착부는, 상기 흡착 부재를 관통하는 부착구멍이고,The mounting portion is a mounting hole penetrating through the adsorption member,

적어도 1개의 상기 흡착 패드는, 상기 부착구멍을 향하는 위치에 형성된다.At least one of the adsorption pads is formed at a position facing the attachment hole.

상기 장착부는, 상기 흡착 부재를 관통하는 부착구멍과 상기 흡착 부재의 상면에 형성되는 부착홈으로 구성되고,Wherein the mounting portion comprises an attachment hole penetrating the adsorption member and an attachment groove formed on an upper surface of the adsorption member,

본 고안에 의하면, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a suction hand capable of feeding and inputting a glass substrate or a display module simultaneously to each of a plurality of adjacent laser processing machines.

도 1은 가공 장치의 평면 개략도이다.
도 2는 로봇을 나타내는 사시도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 따른 흡착 핸드를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 있어서의 ⅳ-ⅳ선 단면도이다.
도 5는 제2 실시 형태에 따른 흡착 핸드를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 5에 있어서의 ⅵ-ⅵ선 단면도이다.1 is a schematic plan view of a machining apparatus.
2 is a perspective view showing the robot.
3 is a view showing an adsorption hand according to the first embodiment.
Fig. 4 is a sectional view taken along the line iv-iv in Fig. 3;
5 is a view showing an adsorption hand according to the second embodiment.
6 is a cross-sectional view taken along the line vi-vi in Fig.

(고안을 실시하기 위한 형태)(A form for carrying out the design)

이하, 본 고안의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

또한, 본 실시 형태의 설명에서는, 설명의 편의상, 「좌우 방향」, 「전후 방향」, 「상하 방향」에 대해서 적절히 언급한다. 이들 방향은, 각 도면에 있어서 설정된 상대적인 방향이다. 여기에서, 「상하 방향」은, 「상방향」및 「하방향」을 포함하는 방향이다. 「전후 방향」은, 「전방향」 및 「후방향」을 포함하는 방향이다. 「좌우 방향」은, 「좌방향」 및 「우방향」을 포함하는 방향이다.In the description of the present embodiment, for the sake of convenience of explanation, "lateral direction", "longitudinal direction" and "vertical direction" will be appropriately referred to. These directions are relative directions set in the respective drawings. Here, the "vertical direction" is a direction including "upward direction" and "downward direction". Forward direction " is a direction including " forward direction " and " backward direction ". Left direction " is a direction including " left direction " and " right direction ".

<제1 실시 형태>&Lt; First Embodiment >

도 1은, 가공 장치(1)의 평면 개략도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 가공 장치(1)는, 제1 레이저 가공기(2)와, 제2 레이저 가공기(3)와, 로봇(4)과, 레일(5)과, 반출 유닛(12)을 구비한다. 가공 장치(1)는, 워크(6)를 가공한다. 워크(6)는, 예를 들면, 유리 기판이나 LCD나 OLED 등의 디스플레이 모듈이다. 또한, 로봇(4)은, 레일(5)을 따라 주행 가능하게 설치된다. Fig. 1 is a schematic plan view of the machining apparatus 1. Fig. 1, the machining apparatus 1 includes a first laser processing machine 2, a second laser processing machine 3, a robot 4, a rail 5, and a carry-out unit 12 Respectively. The machining apparatus 1 processes the work 6. The work 6 is, for example, a glass substrate or a display module such as an LCD or an OLED. Further, the robot 4 is installed so as to be able to run along the rail 5.

제1 레이저 가공기(2)는, 한 쌍의 가공 유닛(21)을 구비한다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 테이블(20)에 올려 놓여진 각각의 워크(6)에 레이저광에 의한 가공을 실시한다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 인접하여 배치되어 있다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 워크(6)에 동일한 가공을 행하도록 구성되어도 좋고, 상위한 가공을 행하도록 구성되어도 좋다.The first laser machining apparatus 2 is provided with a pair of processing units 21. The pair of the processing units 21 performs laser beam machining on each of the workpieces 6 placed on the table 20. The pair of processing units 21 are disposed adjacent to each other. The pair of machining units 21 may be configured to perform the same machining on the workpiece 6, or may be configured to perform machining different from each other.

제2 레이저 가공기(3)는, 한 쌍의 가공 유닛(31)을 구비한다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 테이블(30)에 올려 놓여진 각각의 워크(6)에 레이저광에 의한 가공을 실시한다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 인접하여 배치되어 있다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 워크(6)에 동일한 가공을 행하도록 구성되어도 좋고, 상위한 가공을 행하도록 구성되어도 좋다.The second laser processing machine 3 includes a pair of processing units 31. [ The pair of processing units 31 performs processing with laser light on each of the work pieces 6 placed on the table 30. The pair of the processing units 31 are disposed adjacent to each other. The pair of machining units 31 may be configured to perform the same machining on the workpiece 6, or may be configured to perform machining different from each other.

반출 유닛(12)은, 제1 레이저 가공기(2) 및 제2 레이저 가공기(3)에 의한 일련의 가공이 행해진 워크(6)를 보관하는 장치이다.The take-out unit 12 is a device for storing a work 6 on which a series of processing by the first laser processing machine 2 and the second laser processing machine 3 is performed.

도시하지 않는 공급 유닛으로부터 공급되는 워크(6)가, 로봇(4)에 의해 제1 레이저 가공기(2), 제2 레이저 가공기(3)의 순으로 공급된다. 각 레이저 가공기(2, 3)에 의해, 복수의 워크(6)는 병행하여 가공된다. 각 레이저 가공기(2, 3)는 서로 번갈아 워크(6)에 가공을 행한다. 구체적으로는, 제1 레이저 가공기(2)에 의한 워크(6)로의 가공이 끝나면, 로봇(4)에 의해 워크(6)가 테이블(20)로부터 취출되어, 반출 유닛(12)으로 반출된다. 그 후, 로봇(4)에 의해 새로운 워크(6)가 제1 레이저 가공기(2)로 공급된다. 잠시 후, 제2 레이저 가공기(3)에 의한 워크(6)로의 가공이 끝나면, 로봇(4)에 의해 워크(6)가 테이블(30)로부터 취출되어, 반출 유닛(12)으로 반출된다. 그 후, 로봇(4)에 의해 새로운 워크(6)가 제2 레이저 가공기(3)로 공급된다. 이를 반복함으로써, 워크(6)의 공급, 가공, 반출이 행해진다.A work 6 supplied from a supply unit (not shown) is supplied to the first laser processing machine 2 and the second laser processing machine 3 by the robot 4 in that order. The plurality of workpieces 6 are processed in parallel by the respective laser processing machines 2, 3. Each of the laser processing machines 2 and 3 alternately processes the work 6. More specifically, when the first laser processing machine 2 finishes processing the workpiece 6, the workpiece 6 is taken out of the table 20 by the robot 4 and is taken out to the carry-out unit 12. Thereafter, a new work 6 is supplied to the first laser machining apparatus 2 by the robot 4. The work 6 is taken out of the table 30 by the robot 4 and is taken out to the carry-out unit 12 after the machining of the work 6 by the second laser processing machine 3 is finished. Thereafter, a new work 6 is supplied to the second laser machining apparatus 3 by the robot 4. By repeating this, the work 6 is supplied, machined, and unloaded.

도 2는, 로봇(4)을 나타내는 사시도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 로봇(4)은, 흡착 핸드(7)와, 스테이지(8)와, 로봇 본체부(9)를 구비한다.Fig. 2 is a perspective view showing the robot 4. Fig. 2, the robot 4 includes a suction hand 7, a stage 8, and a robot main body 9.

스테이지(8)는, 레일(5)에 탑재되어 있고, 레일(5)을 따라서 이동 가능하다. 스테이지(8)는, 도시하지 않는 구동 장치에 의해 레일(5)을 따라서 구동된다. 당해 구동 장치는, 직선 구동 기구이면, 어떠한 것이라도 적용 가능하지만, 발진(發塵)이 적은 구동 기구가 바람직하다. 발진이 적은 구동 기구로서, 예를 들면, 리니어 모터나 볼나사 등을 채용할 수 있다.The stage 8 is mounted on the rail 5 and is movable along the rail 5. The stage 8 is driven along the rail 5 by a driving device (not shown). The driving device may be any linear driving device, but a driving mechanism with less oscillation is preferable. For example, a linear motor, a ball screw, or the like can be used as the driving mechanism with less oscillation.

로봇 본체부(9)는, 스테이지(8) 상에 탑재되어 있다. 로봇 본체부(9)는, 스테이지(8)에 고정된 하부(9A)와, 하부(9A)에 대하여 승강 자재로 형성된 상부(9B)를 구비하고 있다. 또한, 하부(9A)에 흡착 핸드 승강 모터(91)가 형성되고, 상부(9B)에 흡착 핸드 회동 모터(92)가 형성된다. 흡착 핸드 승강 모터(91)의 구동에 의해, 하부(9A)에 대하여 상부(9B)가 상하로 이동된다. 또한, 흡착 핸드 회동 모터(92)의 구동에 의해, 상부(9B)에 있어서의 축체(軸體;9B1)가 상하 방향으로 연장되는 회전축(Az) 주위로 회동된다. 축체(9B1)는 중공체로서, 그 내부에 후술하는 흡기 배관(83)이 삽입 통과된다.The robot main body 9 is mounted on the stage 8. The robot main body 9 has a lower portion 9A fixed to the stage 8 and an upper portion 9B formed as a lift member with respect to the lower portion 9A. A suction hand lifting motor 91 is formed on the lower portion 9A and an adsorption hand rotating motor 92 is formed on the upper portion 9B. The upper portion 9B is moved up and down with respect to the lower portion 9A by driving the suction hand lifting motor 91. [ The shaft 9B1 of the upper portion 9B is rotated around the rotation axis Az extending in the up and down direction by driving the suction hand rotating motor 92. [ The shaft body 9B1 is a hollow body, and an intake pipe 83 described later is inserted into the shaft body 9B1.

도 3은, 제1 실시 형태에 따른 흡착 핸드(7)를 나타내는 도면이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡착 핸드(7)는 흡착 핸드 본체(71)와, 흡착 유닛(72)을 갖고 있다.3 is a view showing the suction hand 7 according to the first embodiment. As shown in Fig. 3, the adsorption hand 7 has an adsorption hand main body 71 and an adsorption unit 72. As shown in Fig.

흡착 핸드 본체(71)는 U자형이다. 흡착 핸드 본체(71)는 선단이 두 갈래로 나뉘어져 있고, 분기된 각 선단부(77)에 흡착 유닛(72)이 각각 형성된다. 흡착 핸드 본체(71)의 근원부에는 부착구멍(74)이 형성된다. 이 부착구멍(74)에 축체(9B1)(도 2 참조)가 끼워 맞춰져있다. 흡착 핸드 본체(71)는 로봇 본체부(9)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 핸드 본체(71)의 각 분기부에는 적절히 발취구멍(75)이 형성된다. 발취구멍(75)은 흡착 핸드 본체(71)의 경량화와 흡기 배관(83)의 통과구멍으로서의 기능을 겸한 것이다. 또한, 흡착 핸드 본체(71)의 각 분기부의 상면에는 적절히 보강 리브(76)가 형성된다. 보강 리브(76)에 의해, 흡착 핸드 본체(71)의 자중(自重) 등에 수반되는 휨을 방지하고 있다. 한 쌍의 보강 리브(76) 간의 거리는, 발취구멍(75)의 직경에 비해 크다. 또한, 본 실시 형태에서는, 보강 리브(76)는 대략 직방체의 판 형상이지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 보강 리브(76)는, 끝이 가늘어지는 형상이라도 좋다.The suction hand main body 71 is U-shaped. The suction hand main body 71 has its tip divided into two branches, and the suction unit 72 is formed at each of the branched tip portions 77. An attaching hole 74 is formed in the base portion of the attracting hand body 71. And a shaft member 9B1 (see Fig. 2) is fitted in the mounting hole 74. Fig. The suction hand main body 71 is free to be detached from the robot main body 9. A discharge hole 75 is formed in each branch of the suction hand body 71 as appropriate. The extraction hole 75 serves also as a lightening-up of the suction hand main body 71 and a function as a through-hole of the intake pipe 83. Further, a reinforcing rib 76 is appropriately formed on the upper surface of each branch of the suction hand body 71. The reinforcing rib 76 prevents warp caused by the self weight of the attracting hand main body 71 and the like. The distance between the pair of reinforcing ribs 76 is larger than the diameter of the discharge hole 75. In the present embodiment, the reinforcing ribs 76 are substantially rectangular parallelepiped plates, but are not limited thereto. For example, the reinforcing rib 76 may have a shape in which the end is tapered.

흡착 유닛(72)은, 흡착 부재(78)와, 흡착 패드 부재(79)를 구비하고 있다. 흡착 패드 부재(79)는, 흡착 부재(78)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 부재(78)는, 박판 부재이다. 흡착 부재(78)는, 흡착 핸드 본체(71)의 두께보다도 얇다. 흡착 부재(78)는, 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 부재(78)는, 대략 직방체로서, 선단부는 끝이 가늘어지는 형상이다. 흡착 부재(78)에는, 상면으로부터 하면으로 관통하는 관통구멍(80)이 형성되어 있다. 관통구멍(80)은, 흡착 부재(78)의 근본측으로부터 선단측으로 연장되는 긴구멍이다. 관통구멍(80)의 선단부는 후술하는 흡착 패드(82)의 열(列) 수에 따라 분기되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡착 패드(82)가 2열로 배치되는 점에서, 관통구멍(80)의 선단부는 두갈래로 나뉘어져 있다. 흡착 부재(78)의 선단부의 하방에는, 흡착 패드 부재(79)의 일부인 베이스 부재(81)가 형성되어 있다. 베이스 부재(81)는 판 형상이다. 베이스 부재(81)는 흡착 부재(78)에 대하여 탈착이 자유롭다. 베이스 부재(81)의 하방에는, 워크(6)를 흡착시키기 위한 흡착 패드(82)가 2열로 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 각 열에 2개, 계(計) 4개의 흡착 패드(82)가, 베이스 부재(81)의 하방에 형성되어 있다. 또한, 흡착 패드(82)의 수, 배열수는 임의이다.The adsorption unit 72 is provided with a suction member 78 and a suction pad member 79. The suction pad member 79 is free to be detached from the suction member 78. The adsorption member 78 is a thin plate member. The suction member (78) is thinner than the thickness of the suction hand body (71). The suction member (78) is freely detachable from the suction hand body (71). The adsorbing member 78 is a substantially rectangular parallelepiped, and its tip has a tapered shape. The suction member (78) is provided with a through hole (80) penetrating from the upper surface to the lower surface. The through hole (80) is an elongated hole extending from the root side to the tip side of the suction member (78). The distal end of the through hole 80 is branched according to the number of rows of the adsorption pad 82 to be described later. In the present embodiment, the distal end portion of the through hole 80 is divided into two branches in that the adsorption pads 82 are arranged in two rows. A base member 81, which is a part of the absorption pad member 79, is formed below the front end of the absorption member 78. The base member 81 is plate-shaped. The base member 81 is freely detachable with respect to the suction member 78. At the lower side of the base member 81, two suction pads 82 for suctioning the work 6 are formed. In the present embodiment, four adsorption pads 82 are provided below the base member 81, two in total and four in total. The number and arrangement number of the adsorption pads 82 are arbitrary.

흡착 패드(82)는, 워크(6)를 흡착시키기 위한 패드이다. 흡착 패드(82)는, 워크(6)와 접촉시켜, 흡인함으로써 워크(6)를 보유지지한다. 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)에 대하여 탈착이 자유롭다.The adsorption pad 82 is a pad for adsorbing the work 6. The adsorption pad 82 is held in contact with the workpiece 6 by suction. The adsorption pad 82 is freely detachable from the base member 81.

흡착 유닛(72)의 근원측은, 볼트 등의 체결 부재에 의해, 흡착 핸드 본체(71)와 체결되어 있고, 흡착 유닛(72)은, 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 착탈 자재이다.The base side of the suction unit 72 is fastened to the suction hand main body 71 by a fastening member such as a bolt and the suction unit 72 is a detachable material for the suction hand main body 71.

도 4는 도 3에 있어서의 ⅳ-ⅳ선 단면도이다. 흡기 배관(83)의 한쪽단은, 축체(9B1)에 삽입 통과되어, 도 4에 도시하는 바와 같이, 흡기 라인(11)을 통하여 펌프(85)에 접속된다. 흡기 배관(83)의 다른 한쪽단은, 흡착 핸드 본체(71)의 상면에 배관되어, 발취구멍(75)에 통과된다. 흡착 핸드 본체(71)의 하면에 통과된 흡기 배관(83)은, 흡착 핸드 본체(71)의 하면에 형성된 조인트(86)에 접속된다. Fig. 4 is a sectional view taken along the line iv-iv in Fig. 3; One end of the intake pipe 83 is inserted into the shaft body 9B1 and connected to the pump 85 through the intake line 11 as shown in Fig. The other end of the intake pipe 83 is connected to the upper surface of the suction hand main body 71 and is passed through the extraction hole 75. The intake pipe 83 passed through the lower surface of the suction hand body 71 is connected to the joint 86 formed on the lower surface of the suction hand body 71.

도 4에 나타내는 바와 같이, 흡착 부재(78)의 상면과 하면에는 시일 부재, 예를 들면, 스테인리스 시일(84)이 접착되어 있다. 관통구멍(80)의 상면과 하면을 스테인리스 시일(84)로 덮음으로써, 관통구멍(80)이 흡기 통로(89)에 형성된다. 흡기 통로(89)에 있어서의 근원측(도 4 중에서는 후측)에 있어서, 흡기 통로(89)와 전술의 조인트(86)의 사이에는, 흡기 배관(83)과 흡기 통로(89)를 연통시키는 연통 부재(87)가 형성된다. 한편, 흡기 통로(89)에 있어서의 선단측(도 4 중에서는 전측)에 있어서, 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)에 형성되는 관통구멍(88)에 삽입 통과되고, 흡기 통로(89)와 연통된다. 이들 구성에 의해, 흡착 패드(82)와 펌프(85)가 연통되어, 워크(6)의 흡착이 가능해진다. 본 실시 형태에서는, 흡기 배관(83), 조인트(86), 연통 부재(87) 및 스테인리스 시일(84)이 흡기계 부재(100)를 구성하고 있다. 또한, 관통구멍(80)이 장착부(200)를 구성하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 시일 부재로서 스테인리스 시일(84)을 예로 들었지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 흡착을 위한 기밀도를 유지할 수 있는 시일 부재라면, 어느 것이라도 좋다.As shown in Fig. 4, a sealing member, for example, a stainless steel seal 84 is bonded to the upper surface and the lower surface of the adsorption member 78. As shown in Fig. The through hole 80 is formed in the intake passage 89 by covering the upper surface and the lower surface of the through hole 80 with the stainless steel seal 84. [ The intake pipe 89 and the intake passage 89 are communicated with each other between the intake passage 89 and the above described joint 86 at the root side of the intake passage 89 A communication member 87 is formed. On the other hand, the suction pad 82 is inserted into the through hole 88 formed in the base member 81 at the front end side (the front side in Fig. 4) of the intake passage 89, 89). With these configurations, the adsorption pad 82 and the pump 85 are communicated with each other, and the work 6 can be adsorbed. In the present embodiment, the intake pipe 83, the joint 86, the communication member 87, and the stainless steel seal 84 constitute the intake machine member 100. In addition, the through hole 80 constitutes the mounting portion 200. In the present embodiment, the stainless steel seal 84 is exemplified as the seal member, but the present invention is not limited thereto, and any seal member may be used as long as it is a seal member capable of maintaining airtightness for adsorption.

펌프(85)가 작동하면, 흡기계 부재(100)의 내부가 감압된다. 이에 따라, 흡착 패드(82)가 워크(6)를 흡착한다. 본 실시의 형태에서는, 복수의 흡착 패드(82)를 이용하여 1개의 워크(6)를 흡착시키고 있기 때문에, 워크(6)를 안정적으로 흡착할 수 있다. When the pump 85 is operated, the inside of the intake system member 100 is depressurized. Thus, the adsorption pad 82 adsorbs the work 6. In this embodiment, since one workpiece 6 is adsorbed by using the plurality of adsorption pads 82, the workpiece 6 can be stably attracted.

상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체(71)는 U자형으로서, 그 두갈래로 분기된 선단부(77)의 각각에 흡착 유닛(72)이 형성되어 있다. 이 때문에, 한 번의 워크 공급으로, 복수매의 워크(6)를 인접하는 가공 유닛(21, 21)(또는 31, 31)에 공급할 수 있다.According to the above configuration, the suction hand main body 71 is U-shaped, and the suction unit 72 is formed on each of the two branched end portions 77 thereof. Therefore, a plurality of workpieces 6 can be supplied to the adjacent processing units 21, 21 (or 31, 31) by one workpiece supply.

이와 같이, 상기 구성에 의하면, 인접하는 가공 유닛의 각각에, 동시에 워크를 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.As described above, according to the above configuration, it is possible to provide an adsorption hand capable of simultaneously feeding and inputting a work to each of adjacent processing units.

또한, 흡착 핸드 본체(71)는, 로봇 본체부(9)에 대하여 탈착이 자유롭기 때문에, 흡착 핸드 본체(71)에 문제가 발생했을 때는, 문제가 발생한 흡착 핸드 본체(71)만 교환하면 좋아, 로봇 본체부(9)채로 교환할 필요가 없다.Since the suction hand main body 71 is detachable with respect to the robot main body 9 when the suction hand main body 71 has a problem, It is not necessary to exchange the robot body 9 with the robot body 9.

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체(71)의 선단부(77)의 각각에, 흡착 유닛(72)이 형성되어 있다. 또한, 흡착 유닛(72)은 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 탈착이 자유롭기 때문에, 흡착 유닛(72)에 문제가 발생했을 때는, 문제가 발생한 흡착 유닛(72)만 교환하면 좋아, 로봇(4)채로 교환할 필요가 없다.Further, according to the above configuration, the suction unit 72 is formed on each of the distal end portions 77 of the suction hand body 71. Since the suction unit 72 is freely attachable and detachable to the suction hand main body 71 when the suction unit 72 has a problem, There is no need to exchange.

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 유닛(72)은, 흡기 배관(83)을 구비하는 흡기계 부재(100)를 구비하고 있고, 흡기 배관(83)의 일단에는, 적어도 1개의 흡착 패드(82)가 접속되고, 흡기 배관(83)의 타단에는, 적어도 1개의 흡기 라인(11)이 접속되어 있다. 이 결과, 흡기 배관(83)은 취급이 용이하기 때문에, 흡착 핸드(7)를 간단하게 조립할 수 있다.The adsorption unit 72 is provided with an intake pipe member 83 having an intake pipe 83. At least one suction pad 82 is provided at one end of the intake pipe 83, At least one intake line 11 is connected to the other end of the intake pipe 83. As a result, since the intake pipe 83 is easy to handle, the suction hand 7 can be easily assembled.

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 패드 부재(79)는 흡착 부재(78)의 하면에 형성되어 있다. 이 때문에, 흡착 패드 부재(79)에 문제가 발생했을 때는, 흡착 패드 부재(79)만을 교환하면 좋아, 흡착 유닛(72)채로 교환할 필요가 없다. 또한, 복수의 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)의 하면에 각각 탈착이 자유롭게 형성되어 있다. 이 때문에, 1개의 흡착 패드(82)에 문제가 발생했을 때는, 당해 흡착 패드(82)만을 교환하면 좋아, 흡착 패드 부재(79)채로 교환할 필요가 없다.According to the above configuration, the suction pad member 79 is formed on the lower surface of the suction member 78. Therefore, when a problem occurs in the adsorption pad member 79, it is good to replace only the adsorption pad member 79, and it is not necessary to exchange it with the adsorption unit 72. [ The plurality of adsorption pads 82 are formed on the lower surface of the base member 81 so as to be detachable. Therefore, when a trouble occurs in one adsorption pad 82, it is good to replace only the adsorption pad 82, and there is no need to exchange it with the adsorption pad member 79.

<제2 실시 형태>&Lt; Second Embodiment >

도 5는, 제2 실시 형태에 따른 흡착 핸드(107)를 나타내는 도면이다. 도 5에 나타내는 흡착 핸드(107)는, 제1 실시 형태에 있어서의 관통구멍(80)이, 부착홈(80A)과 부착구멍(80B)으로 구성되어 있다. 부착홈(80A)은, 흡기 통로(89)에 있어서의 근원측(도 6 중에서는 후측)에, 흡착 부재(178)의 상면측에 개구시켜 형성되어 있다. 부착구멍(80B)은, 흡기 통로(89)에 있어서의 선단측(도 6 중에서는 전측)에, 흡착 부재(178)를 관통하도록 형성되어 있다. 5 is a view showing the suction hand 107 according to the second embodiment. The suction hand 107 shown in Fig. 5 has the through hole 80 in the first embodiment composed of the attachment groove 80A and the attachment hole 80B. The attachment groove 80A is formed at the root side (in FIG. 6, rear side) of the intake passage 89 so as to be open to the upper surface side of the adsorption member 178. [ The attachment hole 80B is formed so as to pass through the suction member 178 at the front end side in the intake passage 89 (front side in FIG. 6).

도 6은, 도 5에 있어서의 ⅵ-ⅵ선 단면도이다. 도 6에 나타내는 흡착 유닛(172)은, 조인트(86A)가 흡착 부재(78)의 선단측에 위치하고 있는 점에서 제1 실시 형태와 상이하다. 흡기 배관(83)의 선단은, 부착구멍(80B)의 내부에 있어서, 조인트(86A)에 접속된다. 이 조인트(86A)에 대하여 분기관(83A)이 복수개 접속된다. 환언하면, 조인트(86A)와 각 분기관(83A)은, 조인트(86A)를 헤더로 하는 집합관 구조를 이루고 있다. 각 분기관(83A)은, 관통구멍(88)을 통하여, 흡착 패드(82)에 접속된다. 이들의 구성에 의해, 흡착 패드(82)와 펌프(85)가 연통되어, 워크(6)의 흡착이 가능해진다.6 is a cross-sectional view taken along the line vi-vi in Fig. The adsorption unit 172 shown in Fig. 6 is different from the first embodiment in that the joint 86A is located at the front end side of the adsorption member 78. Fig. The tip of the intake pipe 83 is connected to the joint 86A inside the attachment hole 80B. A plurality of branch pipes 83A are connected to the joint 86A. In other words, the joint 86A and each branch pipe 83A form a collective pipe structure with the joint 86A as a header. Each branch pipe 83A is connected to the suction pad 82 through the through hole 88. [ With these configurations, the adsorption pad 82 and the pump 85 are communicated with each other, and the work 6 can be adsorbed.

또한, 본 고안은, 전술한 실시 형태에 한정되지 않고, 적절히, 변형, 개량 등이 자유롭다. 그 외, 전술한 실시 형태에 있어서의 각 구성 요소의 재질, 형상, 치수, 수치, 형태, 수, 배치 장소 등은, 본 고안을 달성할 수 있는 것이면 임의이고, 한정되지 않는다.Further, the present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be appropriately modified, improved, and the like. In addition, the material, shape, dimensions, numerical values, shape, number, arrangement place and the like of each constituent element in the above-mentioned embodiments are not limited as long as the present invention can be achieved.

로봇(4)에 의한 반송 대상물은 유리 기판이 아니라, 실리콘 기판이나 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 기판이라도 좋다.The object to be transported by the robot 4 may be a semiconductor substrate such as a silicon substrate or a silicon wafer instead of a glass substrate.

또한, 가공 장치(1)는, 절단 가공 외에, 세정, 에칭 등, 각종 가공을 행하는 것이라도 좋다.In addition to the cutting process, the machining apparatus 1 may perform various processes such as cleaning, etching, and the like.

추가로, 가공 장치(1)는, 레이저를 사용한 절삭 가공 외에, 커터를 사용한 절삭 가공이라도 좋다.Further, the machining apparatus 1 may be a cutting process using a cutter in addition to a cutting process using a laser.

또한, 가공 장치(1)는, 복수의 가공기에 의해, 단일의 가공을 행하는 것이라도, 복수 종류의 가공을 행하는 것이라도 좋다.Further, the machining apparatus 1 may perform a single machining operation or a plurality of types of machining operation with a plurality of machining machines.

1: 가공 장치
2: 제1 레이저 가공기
3: 제2 레이저 가공기
4: 로봇
5: 레일
6: 워크
7: 흡착 핸드
8: 스테이지
9: 로봇 본체부
11: 흡기 라인
12: 반출 유닛1: Processing device
2: First laser processing machine
3: Second laser processing machine
4: Robot
5: Rail
6: Work
7: Adsorption hand
8: Stage
9:
11: Intake line
12: Unloading unit

Claims

An adsorption hand for adsorbing a work in a robot for transferring a work,
A U-shaped suction hand body which is detachably formed on a body portion of the robot,
And a suction unit which is formed on both ends of the suction hand body and has a suction pad for suctioning the workpiece,
Wherein the adsorbing device comprises:

The method according to claim 1,
Wherein the adsorption unit comprises:
A suction member detachably attached to the suction hand body,
And a suction pad member formed on the lower surface of the front end side of the suction member so as to be freely detachable and having at least one suction pad,
Wherein the adsorbing device comprises:

3. The method of claim 2,
Wherein the adsorption unit comprises:
Further comprising a suction machine member formed between the suction pad member and at least one suction line and having at least one suction pipe,
At least one suction pipe is connected to at least one suction pad of the suction pad member and at least one suction line is connected to at least one other suction pipe end,
Wherein the adsorbing device comprises:

The method of claim 3,
Wherein the suction member has a mounting portion for mounting the suction machine member,
Wherein at least one of the suction pads in the suction pad member and at least one of the suction pipes in the suction machine member are in communication with each other,
Wherein the adsorbing device comprises:

3. The method of claim 2,
Wherein the adsorption pad member comprises:
A base member in the form of a plate which is detachably attached to a bottom surface of the front end side of the adsorption member;
And a plurality of the adsorption pads formed on a bottom surface of the base member so as to be freely detachable,
Wherein the adsorbing device comprises:

3. The method of claim 2,
Wherein the suction member is a thin plate member, and a root side of the thin plate member is fastened to the suction hand body,
Wherein the adsorbing device comprises:

5. The method of claim 4,
The mounting portion is a mounting hole penetrating through the adsorption member,
Wherein at least one of the adsorption pads is formed at a position facing the attachment hole,
Wherein the adsorbing device comprises:

5. The method of claim 4,
Wherein the mounting portion comprises an attachment hole penetrating the adsorption member and an attachment groove formed on an upper surface of the adsorption member,
Wherein at least one of the adsorption pads is formed at a position facing the attachment hole,
Wherein the adsorbing device comprises: