KR200494783Y1

KR200494783Y1 - Suction hand

Info

Publication number: KR200494783Y1
Application number: KR2020180000141U
Authority: KR
Inventors: 히데키 도쿠나가; 아키노리 다시마
Original assignee: 히라따기꼬오 가부시키가이샤
Priority date: 2018-01-10
Filing date: 2018-01-10
Publication date: 2021-12-24
Also published as: KR20190001835U

Abstract

(과제) 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(해결 수단) 워크를 이재하는 로봇(4)에 있어서의 상기 워크를 흡착하는 흡착 핸드(7)로서, 로봇(4)의 본체부에 탈착이 자유롭게 형성되는 U자형의 흡착 핸드 본체(71)와, 흡착 핸드 본체(71)의 두갈래 선단에 각각 형성되고, 상기 워크를 흡착하는 흡착 패드(82)를 구비하는 흡착 유닛(72)을 구비한다.(Project) It aims at providing the suction hand which can supply and inject|throw a glass substrate and a display module simultaneously to each of several adjacent laser processing machines.
(Solution Means) A suction hand 7 for sucking the workpiece in the robot 4 for transferring a workpiece, the U-shaped suction hand body 71 being detachably formed in the body part of the robot 4; , a suction unit (72) formed at the bifurcated front end of the suction hand body (71), respectively, and provided with a suction pad (82) for adsorbing the workpiece.

Description

Suction Hand {SUCTION HAND}

본 고안은, 워크(work)의 흡착 핸드, 특히 기판이나 얇은 워크 등을 흡착하여, 핸들링하는 흡착 핸드에 관한 것이다.The present invention relates to a suction hand for work, particularly a suction hand for handling by adsorbing a substrate, a thin work, or the like.

광학적으로 투명한 기판, 예를 들면 유리 기판의 절단은, 기계적인 절삭에 의해 행해지는 경우가 많다. 예를 들면, 다이아몬드 커터 등의 다이싱 소(dicing saw)를 이용함으로써, 대형의 유리 기판으로부터 복수매의 유리 기판편이 다면취(多面取)된다.Cutting of an optically transparent substrate, for example, a glass substrate, is performed by mechanical cutting in many cases. For example, by using a dicing saw such as a diamond cutter, a plurality of glass substrate pieces are pluralized from a large glass substrate.

한편, 광학적으로 투명한 기판의 절단을, 기계적 절삭 가공이 아니라, 레이저광을 사용하여 가공하는 방법이 있다(특허문헌 1 참조). 구체적으로는, 우선, 유리 기판에 극단(極短) 펄스폭의 레이저광을 조사하여, 유리 기판에 점선 형상으로 스크라이브 라인(scribing line)을 형성한다. 그 후, 이 스크라이브 라인을 따라서 분단을 행함으로써, 대형의 유리 기판으로부터 복수매의 유리 기판편이 다면취된다.On the other hand, there exists a method of processing the cutting|disconnection of an optically transparent board|substrate using a laser beam instead of a mechanical cutting process (refer patent document 1). Specifically, first, a laser beam having an extreme pulse width is irradiated to a glass substrate to form a scribing line in a dotted line shape on the glass substrate. Then, by performing a division along this scribe line, a plurality of glass substrate pieces are multi-faceted from a large sized glass substrate.

일본공개특허공보 2007-260749호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2007-260749

최근의 휴대 단말이나 정보 단말의 보급에 수반하여, 각종 제품에 있어서는, 양산성과 비용 절감이 항상 요구된다. 이 때문에, 전술한 레이저광을 사용한 가공 방법에 있어서도, 생산성의 향상, 즉 제품 제조의 사이클 타임의 향상이 과제이다.With the recent spread of portable terminals and information terminals, in various products, mass productivity and cost reduction are always required. For this reason, also in the processing method using the above-mentioned laser beam, the improvement of productivity, ie, improvement of the cycle time of product manufacturing, is a subject.

본 고안은, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 얻는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to obtain a suction hand capable of supplying and injecting a glass substrate and a display module to each of a plurality of adjacent laser processing machines at the same time.

본 고안의 일 실시 형태에 있어서,In one embodiment of the present invention,

워크를 이재(移載)하는 로봇에 있어서의 상기 워크를 흡착하는 흡착 핸드로서,A suction hand for adsorbing the work in a robot for transferring the work, comprising:

상기 로봇의 본체부에 탈착이 자유롭게 형성되는 U자형의 흡착 핸드 본체와,a U-shaped suction hand body that is detachably formed in the body part of the robot;

상기 흡착 핸드 본체의 두갈래 선단에 각각 형성되고, 상기 워크를 흡착하는 흡착 패드를 구비하는 흡착 유닛을 구비한다.and a suction unit formed at the bifurcated front end of the suction hand body, respectively, and having a suction pad for sucking the work.

상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체가 U자형으로서, 그 두갈래 선단의 각각에 흡착 유닛이 형성되어 있다. 이 때문에, 한 번의 작업으로, 복수의 워크를 인접하는 복수대의 레이저 가공기에 이재시킬 수 있다.According to the above configuration, the suction hand main body is U-shaped, and the suction unit is formed at each of its bifurcated tips. For this reason, by one operation|work, a some work can be transferred to several adjacent laser processing machines.

이와 같이, 상기 구성에 의하면, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.Thus, according to the said structure, a glass substrate and a display module are simultaneously supplied to each of several adjacent laser processing machines, and the suction hand which can inject|throw-in can be provided.

또한, 본 고안의 일 실시 형태에 있어서,In addition, in one embodiment of the present invention,

상기 흡착 유닛은,The adsorption unit is

상기 흡착 핸드 본체에 탈착이 자유롭게 형성되는 흡착 부재와,an adsorption member which is freely formed on and detachably from the adsorption hand body;

상기 흡착 부재의 선단측의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되고, 적어도 1개의 상기 흡착 패드를 구비하는 흡착 패드 부재를 구비한다.and a suction pad member which is formed freely on a lower surface on the tip side of the suction member and includes at least one suction pad.

상기 흡착 유닛은,The adsorption unit is

상기 흡착 패드 부재와 적어도 1개의 흡기(吸氣) 라인의 사이에 형성되고, 적어도 1개의 흡기 배관을 구비하는 흡기계 부재를 추가로 구비하고,an intake system member formed between the suction pad member and at least one intake line and having at least one intake pipe;

상기 흡착 패드 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡착 패드에, 적어도 1개의 상기 흡기 배관의 일단측이 접속되고, 적어도 1개의 당해 흡기 배관의 타단 측에, 적어도 1개의 상기 흡기 라인이 접속된다.One end of at least one intake pipe is connected to at least one of the suction pads in the suction pad member, and at least one intake line is connected to the other end of the at least one intake pipe.

상기 흡착 부재는, 상기 흡기계 부재를 장착하기 위한 장착부를 구비하고,The adsorption member includes a mounting portion for mounting the intake system member;

상기 장착부에 상기 흡기계 부재가 장착되고, 상기 흡착 패드 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡착 패드와, 당해 흡기계 부재에 있어서의 적어도 1개의 상기 흡기 배관이 연통(連通)된다.The said intake system member is attached to the said attachment part, and at least one said suction pad in the said suction pad member communicates with at least one said intake pipe in the said intake system member.

상기 흡착 패드 부재는,The suction pad member,

상기 흡착 부재의 선단측의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되는 판 형상의 베이스 부재와,a plate-shaped base member freely formed on the lower surface of the front end side of the adsorption member;

상기 베이스 부재의 하면에 탈착이 자유롭게 형성되는 복수의 상기 흡착 패드를 구비한다.A plurality of adsorption pads that are freely detachably formed on a lower surface of the base member are provided.

상기 흡착 부재는 박판 부재로서, 당해 박판 부재의 근원(根源)측이 상기 흡착 핸드 본체에 체결된다.The suction member is a thin plate member, and the root side of the thin plate member is fastened to the suction hand body.

상기 장착부는, 상기 흡착 부재를 관통하는 부착구멍이고,The mounting portion is an attachment hole penetrating the suction member,

적어도 1개의 상기 흡착 패드는, 상기 부착구멍을 향하는 위치에 형성된다.At least one said suction pad is formed in the position which faces the said attachment hole.

상기 장착부는, 상기 흡착 부재를 관통하는 부착구멍과 상기 흡착 부재의 상면에 형성되는 부착홈으로 구성되고,The mounting portion is composed of an attachment hole passing through the suction member and an attachment groove formed on an upper surface of the suction member,

본 고안에 의하면, 인접하는 복수대의 레이저 가공기의 각각에, 동시에 유리 기판이나 디스플레이 모듈을 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a suction hand capable of simultaneously supplying and throwing a glass substrate and a display module to each of a plurality of adjacent laser processing machines.

도 1은 가공 장치의 평면 개략도이다.
도 2는 로봇을 나타내는 사시도이다.
도 3은 제1 실시 형태에 따른 흡착 핸드를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3에 있어서의 ⅳ-ⅳ선 단면도이다.
도 5는 제2 실시 형태에 따른 흡착 핸드를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 5에 있어서의 ⅵ-ⅵ선 단면도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a top schematic diagram of a processing apparatus.
2 is a perspective view showing a robot.
It is a figure which shows the suction hand which concerns on 1st Embodiment.
4 is a cross-sectional view taken along line iv-iv in FIG. 3 .
It is a figure which shows the suction hand which concerns on 2nd Embodiment.
Fig. 6 is a cross-sectional view taken along the line vi-vi in Fig. 5 .

(고안을 실시하기 위한 형태)(form to implement design)

이하, 본 고안의 실시 형태에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

또한, 본 실시 형태의 설명에서는, 설명의 편의상, 「좌우 방향」, 「전후 방향」, 「상하 방향」에 대해서 적절히 언급한다. 이들 방향은, 각 도면에 있어서 설정된 상대적인 방향이다. 여기에서, 「상하 방향」은, 「상방향」및 「하방향」을 포함하는 방향이다. 「전후 방향」은, 「전방향」 및 「후방향」을 포함하는 방향이다. 「좌우 방향」은, 「좌방향」 및 「우방향」을 포함하는 방향이다.In addition, in the description of this embodiment, for convenience of description, "left-right direction", "front-back direction", and "up-down direction" are mentioned suitably. These directions are relative directions set in each figure. Here, the "up and down direction" is a direction including "upward" and "downward". A "front-back direction" is a direction including a "forward direction" and a "rear direction". The "left and right direction" is a direction including "left direction" and "right direction".

<제1 실시 형태><First embodiment>

도 1은, 가공 장치(1)의 평면 개략도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 가공 장치(1)는, 제1 레이저 가공기(2)와, 제2 레이저 가공기(3)와, 로봇(4)과, 레일(5)과, 반출 유닛(12)을 구비한다. 가공 장치(1)는, 워크(6)를 가공한다. 워크(6)는, 예를 들면, 유리 기판이나 LCD나 OLED 등의 디스플레이 모듈이다. 또한, 로봇(4)은, 레일(5)을 따라 주행 가능하게 설치된다. 1 is a plan schematic view of a processing apparatus 1 . As shown in FIG. 1 , the processing apparatus 1 includes a first laser processing machine 2 , a second laser processing machine 3 , a robot 4 , a rail 5 , and a carrying unit 12 . be prepared The processing apparatus 1 processes the workpiece|work 6 . The work 6 is a display module, such as a glass substrate, LCD, and OLED, for example. In addition, the robot 4 is installed along the rail 5 so that traveling is possible.

제1 레이저 가공기(2)는, 한 쌍의 가공 유닛(21)을 구비한다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 테이블(20)에 올려 놓여진 각각의 워크(6)에 레이저광에 의한 가공을 실시한다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 인접하여 배치되어 있다. 한 쌍의 가공 유닛(21)은, 워크(6)에 동일한 가공을 행하도록 구성되어도 좋고, 상위한 가공을 행하도록 구성되어도 좋다.The first laser processing machine 2 includes a pair of processing units 21 . The pair of processing units 21 process each workpiece 6 placed on the table 20 with a laser beam. The pair of processing units 21 are arranged adjacent to each other. The pair of processing units 21 may be configured to perform the same processing on the work 6 or may be configured to perform different processing.

제2 레이저 가공기(3)는, 한 쌍의 가공 유닛(31)을 구비한다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 테이블(30)에 올려 놓여진 각각의 워크(6)에 레이저광에 의한 가공을 실시한다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 인접하여 배치되어 있다. 한 쌍의 가공 유닛(31)은, 워크(6)에 동일한 가공을 행하도록 구성되어도 좋고, 상위한 가공을 행하도록 구성되어도 좋다.The second laser processing machine 3 includes a pair of processing units 31 . A pair of processing units 31 processes each workpiece|work 6 mounted on the table 30 by a laser beam. The pair of processing units 31 are arranged adjacent to each other. The pair of processing units 31 may be configured to perform the same processing on the work 6 or may be configured to perform different processing.

반출 유닛(12)은, 제1 레이저 가공기(2) 및 제2 레이저 가공기(3)에 의한 일련의 가공이 행해진 워크(6)를 보관하는 장치이다.The carrying-out unit 12 is an apparatus which stores the workpiece|work 6 which a series of processing by the 1st laser processing machine 2 and the 2nd laser processing machine 3 was performed.

도시하지 않는 공급 유닛으로부터 공급되는 워크(6)가, 로봇(4)에 의해 제1 레이저 가공기(2), 제2 레이저 가공기(3)의 순으로 공급된다. 각 레이저 가공기(2, 3)에 의해, 복수의 워크(6)는 병행하여 가공된다. 각 레이저 가공기(2, 3)는 서로 번갈아 워크(6)에 가공을 행한다. 구체적으로는, 제1 레이저 가공기(2)에 의한 워크(6)로의 가공이 끝나면, 로봇(4)에 의해 워크(6)가 테이블(20)로부터 취출되어, 반출 유닛(12)으로 반출된다. 그 후, 로봇(4)에 의해 새로운 워크(6)가 제1 레이저 가공기(2)로 공급된다. 잠시 후, 제2 레이저 가공기(3)에 의한 워크(6)로의 가공이 끝나면, 로봇(4)에 의해 워크(6)가 테이블(30)로부터 취출되어, 반출 유닛(12)으로 반출된다. 그 후, 로봇(4)에 의해 새로운 워크(6)가 제2 레이저 가공기(3)로 공급된다. 이를 반복함으로써, 워크(6)의 공급, 가공, 반출이 행해진다.The workpiece 6 supplied from a supply unit (not shown) is supplied by the robot 4 to the first laser processing machine 2 and the second laser processing machine 3 in this order. The plurality of workpieces 6 are processed in parallel by the respective laser processing machines 2 and 3 . Each of the laser processing machines 2 and 3 processes the workpiece 6 alternately with each other. When the processing to the workpiece|work 6 by the 1st laser processing machine 2 ends specifically, the workpiece|work 6 is taken out from the table 20 by the robot 4, and it is carried out to the carrying out unit 12. Thereafter, a new workpiece 6 is fed to the first laser processing machine 2 by the robot 4 . After a while, when the processing to the workpiece|work 6 by the 2nd laser processing machine 3 is finished, the workpiece|work 6 is taken out from the table 30 by the robot 4, and it is carried out to the carrying-out unit 12. Thereafter, a new workpiece 6 is supplied to the second laser processing machine 3 by the robot 4 . By repeating this, supply, processing, and discharging of the work 6 are performed.

도 2는, 로봇(4)을 나타내는 사시도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 로봇(4)은, 흡착 핸드(7)와, 스테이지(8)와, 로봇 본체부(9)를 구비한다.2 is a perspective view showing the robot 4 . As shown in FIG. 2 , the robot 4 includes a suction hand 7 , a stage 8 , and a robot body 9 .

스테이지(8)는, 레일(5)에 탑재되어 있고, 레일(5)을 따라서 이동 가능하다. 스테이지(8)는, 도시하지 않는 구동 장치에 의해 레일(5)을 따라서 구동된다. 당해 구동 장치는, 직선 구동 기구이면, 어떠한 것이라도 적용 가능하지만, 발진(發塵)이 적은 구동 기구가 바람직하다. 발진이 적은 구동 기구로서, 예를 들면, 리니어 모터나 볼나사 등을 채용할 수 있다.The stage 8 is mounted on the rail 5 and is movable along the rail 5 . The stage 8 is driven along the rail 5 by a driving device not shown. As long as the said drive device is a linear drive mechanism, although any can be applied, A drive mechanism with little oscillation is preferable. As a drive mechanism with little oscillation, a linear motor, a ball screw, etc. are employable, for example.

로봇 본체부(9)는, 스테이지(8) 상에 탑재되어 있다. 로봇 본체부(9)는, 스테이지(8)에 고정된 하부(9A)와, 하부(9A)에 대하여 승강 자재로 형성된 상부(9B)를 구비하고 있다. 또한, 하부(9A)에 흡착 핸드 승강 모터(91)가 형성되고, 상부(9B)에 흡착 핸드 회동 모터(92)가 형성된다. 흡착 핸드 승강 모터(91)의 구동에 의해, 하부(9A)에 대하여 상부(9B)가 상하로 이동된다. 또한, 흡착 핸드 회동 모터(92)의 구동에 의해, 상부(9B)에 있어서의 축체(軸體;9B1)가 상하 방향으로 연장되는 회전축(Az) 주위로 회동된다. 축체(9B1)는 중공체로서, 그 내부에 후술하는 흡기 배관(83)이 삽입 통과된다.The robot body 9 is mounted on the stage 8 . The robot body part 9 is provided with the lower part 9A fixed to the stage 8, and the upper part 9B formed with respect to the lower part 9A which can be moved up and down freely. Moreover, the adsorption|suction hand raising/lowering motor 91 is provided in the lower part 9A, and the adsorption|suction hand rotation motor 92 is provided in the upper part 9B. The upper part 9B is moved up and down with respect to the lower part 9A by the drive of the adsorption|suction hand raising/lowering motor 91. Moreover, by the drive of the adsorption|suction hand rotation motor 92, the shaft body 9B1 in the upper part 9B rotates around the rotating shaft Az extended in an up-down direction. The shaft body 9B1 is a hollow body, and an intake pipe 83 to be described later is inserted thereinto.

도 3은, 제1 실시 형태에 따른 흡착 핸드(7)를 나타내는 도면이다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 흡착 핸드(7)는 흡착 핸드 본체(71)와, 흡착 유닛(72)을 갖고 있다.3 : is a figure which shows the suction hand 7 which concerns on 1st Embodiment. As shown in FIG. 3 , the suction hand 7 has a suction hand main body 71 and a suction unit 72 .

흡착 핸드 본체(71)는 U자형이다. 흡착 핸드 본체(71)는 선단이 두 갈래로 나뉘어져 있고, 분기된 각 선단부(77)에 흡착 유닛(72)이 각각 형성된다. 흡착 핸드 본체(71)의 근원부에는 부착구멍(74)이 형성된다. 이 부착구멍(74)에 축체(9B1)(도 2 참조)가 끼워 맞춰져있다. 흡착 핸드 본체(71)는 로봇 본체부(9)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 핸드 본체(71)의 각 분기부에는 적절히 발취구멍(75)이 형성된다. 발취구멍(75)은 흡착 핸드 본체(71)의 경량화와 흡기 배관(83)의 통과구멍으로서의 기능을 겸한 것이다. 또한, 흡착 핸드 본체(71)의 각 분기부의 상면에는 적절히 보강 리브(76)가 형성된다. 보강 리브(76)에 의해, 흡착 핸드 본체(71)의 자중(自重) 등에 수반되는 휨을 방지하고 있다. 한 쌍의 보강 리브(76) 간의 거리는, 발취구멍(75)의 직경에 비해 크다. 또한, 본 실시 형태에서는, 보강 리브(76)는 대략 직방체의 판 형상이지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 보강 리브(76)는, 끝이 가늘어지는 형상이라도 좋다.The suction hand body 71 is U-shaped. The suction hand body 71 has a tip divided into two, and a suction unit 72 is formed on each branched tip 77 . An attachment hole 74 is formed at the base of the suction hand body 71 . A shaft body 9B1 (refer to Fig. 2) is fitted into this attachment hole 74. As shown in Figs. The suction hand body 71 is freely detachable from the robot body 9 . Each branch portion of the suction hand main body 71 is appropriately provided with a extraction hole 75 . The extraction hole 75 serves as a weight reduction of the suction hand main body 71 and a function as a passage hole for the intake pipe 83 . Further, a reinforcing rib 76 is appropriately formed on the upper surface of each branch of the suction hand body 71 . The reinforcing ribs 76 prevent bending due to the weight of the suction hand main body 71 or the like. The distance between the pair of reinforcing ribs 76 is larger than the diameter of the extraction hole 75 . In addition, in this embodiment, although the reinforcing rib 76 is plate shape of a substantially rectangular parallelepiped, it is not limited to this. For example, the reinforcing rib 76 may have a tapered shape.

흡착 유닛(72)은, 흡착 부재(78)와, 흡착 패드 부재(79)를 구비하고 있다. 흡착 패드 부재(79)는, 흡착 부재(78)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 부재(78)는, 박판 부재이다. 흡착 부재(78)는, 흡착 핸드 본체(71)의 두께보다도 얇다. 흡착 부재(78)는, 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 탈착이 자유롭다. 흡착 부재(78)는, 대략 직방체로서, 선단부는 끝이 가늘어지는 형상이다. 흡착 부재(78)에는, 상면으로부터 하면으로 관통하는 관통구멍(80)이 형성되어 있다. 관통구멍(80)은, 흡착 부재(78)의 근본측으로부터 선단측으로 연장되는 긴구멍이다. 관통구멍(80)의 선단부는 후술하는 흡착 패드(82)의 열(列) 수에 따라 분기되어 있다. 본 실시 형태에서는, 흡착 패드(82)가 2열로 배치되는 점에서, 관통구멍(80)의 선단부는 두갈래로 나뉘어져 있다. 흡착 부재(78)의 선단부의 하방에는, 흡착 패드 부재(79)의 일부인 베이스 부재(81)가 형성되어 있다. 베이스 부재(81)는 판 형상이다. 베이스 부재(81)는 흡착 부재(78)에 대하여 탈착이 자유롭다. 베이스 부재(81)의 하방에는, 워크(6)를 흡착시키기 위한 흡착 패드(82)가 2열로 형성되어 있다. 본 실시 형태에서는, 각 열에 2개, 계(計) 4개의 흡착 패드(82)가, 베이스 부재(81)의 하방에 형성되어 있다. 또한, 흡착 패드(82)의 수, 배열수는 임의이다.The adsorption unit 72 includes an adsorption member 78 and an adsorption pad member 79 . The suction pad member 79 is freely detachable from the suction member 78 . The adsorption member 78 is a thin plate member. The suction member 78 is thinner than the thickness of the suction hand main body 71 . The suction member 78 is freely detachable from the suction hand main body 71 . The adsorption member 78 is a substantially rectangular parallelepiped, and the tip part has a tapered shape. The suction member 78 is provided with a through hole 80 penetrating from the upper surface to the lower surface. The through hole 80 is an elongated hole extending from the base side to the tip side of the suction member 78 . The tip of the through hole 80 is branched according to the number of rows of suction pads 82, which will be described later. In this embodiment, since the suction pads 82 are arranged in two rows, the tip of the through hole 80 is divided into two. A base member 81 that is a part of the suction pad member 79 is formed below the tip of the suction member 78 . The base member 81 is plate-shaped. The base member 81 is freely detachable from the adsorption member 78 . Below the base member 81, suction pads 82 for adsorbing the workpiece 6 are formed in two rows. In this embodiment, two and a total of four suction pads 82 are provided in each row below the base member 81 . In addition, the number of suction pads 82 and the number of arrangement|sequences are arbitrary.

흡착 패드(82)는, 워크(6)를 흡착시키기 위한 패드이다. 흡착 패드(82)는, 워크(6)와 접촉시켜, 흡인함으로써 워크(6)를 보유지지한다. 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)에 대하여 탈착이 자유롭다.The suction pad 82 is a pad for adsorbing the work 6 . The suction pad 82 holds the work 6 by making it contact with the work 6 and sucking it. The suction pad 82 is freely detachable from the base member 81 .

흡착 유닛(72)의 근원측은, 볼트 등의 체결 부재에 의해, 흡착 핸드 본체(71)와 체결되어 있고, 흡착 유닛(72)은, 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 착탈 자재이다.The root side of the suction unit 72 is fastened to the suction hand main body 71 by a fastening member such as a bolt, and the suction unit 72 is detachable from the suction hand main body 71 .

도 4는 도 3에 있어서의 ⅳ-ⅳ선 단면도이다. 흡기 배관(83)의 한쪽단은, 축체(9B1)에 삽입 통과되어, 도 4에 도시하는 바와 같이, 흡기 라인(11)을 통하여 펌프(85)에 접속된다. 흡기 배관(83)의 다른 한쪽단은, 흡착 핸드 본체(71)의 상면에 배관되어, 발취구멍(75)에 통과된다. 흡착 핸드 본체(71)의 하면에 통과된 흡기 배관(83)은, 흡착 핸드 본체(71)의 하면에 형성된 조인트(86)에 접속된다. 4 is a cross-sectional view taken along line iv-iv in FIG. 3 . One end of the intake pipe 83 is inserted through the shaft 9B1 and is connected to the pump 85 via the intake line 11 as shown in FIG. 4 . The other end of the intake pipe (83) is piped on the upper surface of the suction hand body (71) and passes through the extraction hole (75). The intake pipe 83 passed through the lower surface of the suction hand body 71 is connected to a joint 86 formed on the lower surface of the suction hand body 71 .

도 4에 나타내는 바와 같이, 흡착 부재(78)의 상면과 하면에는 시일 부재, 예를 들면, 스테인리스 시일(84)이 접착되어 있다. 관통구멍(80)의 상면과 하면을 스테인리스 시일(84)로 덮음으로써, 관통구멍(80)이 흡기 통로(89)에 형성된다. 흡기 통로(89)에 있어서의 근원측(도 4 중에서는 후측)에 있어서, 흡기 통로(89)와 전술의 조인트(86)의 사이에는, 흡기 배관(83)과 흡기 통로(89)를 연통시키는 연통 부재(87)가 형성된다. 한편, 흡기 통로(89)에 있어서의 선단측(도 4 중에서는 전측)에 있어서, 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)에 형성되는 관통구멍(88)에 삽입 통과되고, 흡기 통로(89)와 연통된다. 이들 구성에 의해, 흡착 패드(82)와 펌프(85)가 연통되어, 워크(6)의 흡착이 가능해진다. 본 실시 형태에서는, 흡기 배관(83), 조인트(86), 연통 부재(87) 및 스테인리스 시일(84)이 흡기계 부재를 구성하고 있다. 또한, 관통구멍(80)이 장착부(200)를 구성하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 시일 부재로서 스테인리스 시일(84)을 예로 들었지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 흡착을 위한 기밀도를 유지할 수 있는 시일 부재라면, 어느 것이라도 좋다.As shown in FIG. 4 , a sealing member, for example, a stainless steel seal 84 is adhered to the upper and lower surfaces of the adsorption member 78 . By covering the upper and lower surfaces of the through hole 80 with the stainless seal 84 , the through hole 80 is formed in the intake passage 89 . In the source side (rear side in FIG. 4) of the intake passage 89, between the intake passage 89 and the aforementioned joint 86, the intake pipe 83 and the intake passage 89 are communicated. A communication member 87 is formed. On the other hand, on the tip side (front side in FIG. 4) of the intake passage 89, the suction pad 82 is inserted through a through hole 88 formed in the base member 81, and the intake passage ( 89) is connected. With these structures, the suction pad 82 and the pump 85 communicate with each other, and the work 6 can be adsorbed. In this embodiment, the intake pipe 83 , the joint 86 , the communication member 87 , and the stainless steel seal 84 constitute an intake system member. In addition, the through hole 80 constitutes the mounting portion 200 . In addition, in this embodiment, although the stainless steel seal 84 was mentioned as an example as a sealing member, it is not limited to this, As long as it is a sealing member which can maintain the airtightness for adsorption|suction, any may be sufficient.

펌프(85)가 작동하면, 흡기계 부재의 내부가 감압된다. 이에 따라, 흡착 패드(82)가 워크(6)를 흡착한다. 본 실시의 형태에서는, 복수의 흡착 패드(82)를 이용하여 1개의 워크(6)를 흡착시키고 있기 때문에, 워크(6)를 안정적으로 흡착할 수 있다. When the pump 85 operates, the inside of the intake system member is depressurized. Thereby, the suction pad 82 adsorb|sucks the workpiece|work 6 . In this embodiment, since one workpiece|work 6 is adsorbed using the some suction pad 82, the workpiece|work 6 can be adsorb|sucked stably.

상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체(71)는 U자형으로서, 그 두갈래로 분기된 선단부(77)의 각각에 흡착 유닛(72)이 형성되어 있다. 이 때문에, 한 번의 워크 공급으로, 복수매의 워크(6)를 인접하는 가공 유닛(21, 21)(또는 31, 31)에 공급할 수 있다.According to the above configuration, the suction hand main body 71 is U-shaped, and the suction unit 72 is formed at each of the bifurcated tip portions 77 . For this reason, a plurality of workpieces 6 can be supplied to the adjacent processing units 21 and 21 (or 31 and 31 ) by one workpiece supply.

이와 같이, 상기 구성에 의하면, 인접하는 가공 유닛의 각각에, 동시에 워크를 공급, 투입 가능한 흡착 핸드를 제공할 수 있다.Thus, according to the said structure, the suction hand which can supply and inject|throw-in a workpiece|work to each adjacent processing unit at the same time can be provided.

또한, 흡착 핸드 본체(71)는, 로봇 본체부(9)에 대하여 탈착이 자유롭기 때문에, 흡착 핸드 본체(71)에 문제가 발생했을 때는, 문제가 발생한 흡착 핸드 본체(71)만 교환하면 좋아, 로봇 본체부(9)채로 교환할 필요가 없다.In addition, since the suction hand body 71 is freely detachable from the robot body 9, when a problem occurs in the suction hand body 71, only the suction hand body 71 in which the problem occurs is replaced. There is no need to replace the robot body 9 as it is.

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 핸드 본체(71)의 선단부(77)의 각각에, 흡착 유닛(72)이 형성되어 있다. 또한, 흡착 유닛(72)은 흡착 핸드 본체(71)에 대하여 탈착이 자유롭기 때문에, 흡착 유닛(72)에 문제가 발생했을 때는, 문제가 발생한 흡착 유닛(72)만 교환하면 좋아, 로봇(4)채로 교환할 필요가 없다.Moreover, according to the said structure, the adsorption|suction unit 72 is formed in each of the front-end|tip part 77 of the adsorption|suction hand main body 71. As shown in FIG. In addition, since the adsorption unit 72 is freely detachable from the adsorption hand body 71, when a problem occurs in the adsorption unit 72, only the adsorption unit 72 in which the problem occurs is replaced, and the robot 4 There is no need to exchange

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 유닛(72)은, 흡기 배관(83)을 구비하는 흡기계 부재를 구비하고 있고, 흡기 배관(83)의 일단에는, 적어도 1개의 흡착 패드(82)가 접속되고, 흡기 배관(83)의 타단에는, 적어도 1개의 흡기 라인(11)이 접속되어 있다. 이 결과, 흡기 배관(83)은 취급이 용이하기 때문에, 흡착 핸드(7)를 간단하게 조립할 수 있다.Moreover, according to the said structure, the adsorption|suction unit 72 is provided with the intake system member provided with the intake pipe 83, and at least one suction pad 82 is connected to one end of the intake pipe 83, , at least one intake line 11 is connected to the other end of the intake pipe 83 . As a result, since the intake pipe 83 is easy to handle, the suction hand 7 can be easily assembled.

또한, 상기 구성에 의하면, 흡착 패드 부재(79)는 흡착 부재(78)의 하면에 형성되어 있다. 이 때문에, 흡착 패드 부재(79)에 문제가 발생했을 때는, 흡착 패드 부재(79)만을 교환하면 좋아, 흡착 유닛(72)채로 교환할 필요가 없다. 또한, 복수의 흡착 패드(82)는, 베이스 부재(81)의 하면에 각각 탈착이 자유롭게 형성되어 있다. 이 때문에, 1개의 흡착 패드(82)에 문제가 발생했을 때는, 당해 흡착 패드(82)만을 교환하면 좋아, 흡착 패드 부재(79)채로 교환할 필요가 없다.Moreover, according to the said structure, the suction pad member 79 is formed in the lower surface of the suction member 78. As shown in FIG. For this reason, when a problem arises in the suction pad member 79, only the suction pad member 79 needs only to be replaced|exchanged, and there is no need to replace|exchange with the suction unit 72 state. In addition, the plurality of suction pads 82 are each freely formed on the lower surface of the base member 81 to be detachably attached. For this reason, when a problem arises in one suction pad 82, only the said suction pad 82 needs only to be replaced|exchanged, and there is no need to replace|replace with the suction pad member 79.

<제2 실시 형태><Second embodiment>

도 5는, 제2 실시 형태에 따른 흡착 핸드(107)를 나타내는 도면이다. 도 5에 나타내는 흡착 핸드(107)는, 제1 실시 형태에 있어서의 관통구멍(80)이, 부착홈(80A)과 부착구멍(80B)으로 구성되어 있다. 부착홈(80A)은, 흡기 통로(89)에 있어서의 근원측(도 6 중에서는 후측)에, 흡착 부재(178)의 상면측에 개구시켜 형성되어 있다. 부착구멍(80B)은, 흡기 통로(89)에 있어서의 선단측(도 6 중에서는 전측)에, 흡착 부재(178)를 관통하도록 형성되어 있다. 5 : is a figure which shows the suction hand 107 which concerns on 2nd Embodiment. As for the suction hand 107 shown in FIG. 5, the through-hole 80 in 1st Embodiment is comprised by 80 A of attachment grooves and the attachment hole 80B. The attachment groove 80A is formed on the base side (rear side in FIG. 6) of the intake passage 89 by opening it to the upper surface side of the suction member 178. As shown in FIG. The attachment hole 80B is formed on the front end side of the intake passage 89 (the front side in FIG. 6 ) so as to penetrate the suction member 178 .

도 6은, 도 5에 있어서의 ⅵ-ⅵ선 단면도이다. 도 6에 나타내는 흡착 유닛(172)은, 조인트(86A)가 흡착 부재(78)의 선단측에 위치하고 있는 점에서 제1 실시 형태와 상이하다. 흡기 배관(83)의 선단은, 부착구멍(80B)의 내부에 있어서, 조인트(86A)에 접속된다. 이 조인트(86A)에 대하여 분기관(83A)이 복수개 접속된다. 환언하면, 조인트(86A)와 각 분기관(83A)은, 조인트(86A)를 헤더로 하는 집합관 구조를 이루고 있다. 각 분기관(83A)은, 관통구멍(88)을 통하여, 흡착 패드(82)에 접속된다. 이들의 구성에 의해, 흡착 패드(82)와 펌프(85)가 연통되어, 워크(6)의 흡착이 가능해진다.FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line vi-vi in FIG. 5 . The adsorption unit 172 shown in FIG. 6 differs from 1st Embodiment in that the joint 86A is located in the front-end|tip side of the adsorption|suction member 78. As shown in FIG. The tip of the intake pipe 83 is connected to a joint 86A inside the attachment hole 80B. A plurality of branch pipes 83A are connected to this joint 86A. In other words, the joint 86A and each branch pipe 83A have a collective pipe structure with the joint 86A as a header. Each branch pipe 83A is connected to the suction pad 82 through the through hole 88 . With these structures, the suction pad 82 and the pump 85 communicate with each other, and the work 6 can be adsorbed.

또한, 본 고안은, 전술한 실시 형태에 한정되지 않고, 적절히, 변형, 개량 등이 자유롭다. 그 외, 전술한 실시 형태에 있어서의 각 구성 요소의 재질, 형상, 치수, 수치, 형태, 수, 배치 장소 등은, 본 고안을 달성할 수 있는 것이면 임의이고, 한정되지 않는다.In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A deformation|transformation, improvement, etc. are free as appropriate. In addition, the material, shape, dimension, numerical value, form, number, arrangement location, etc. of each component in the above-mentioned embodiment are arbitrary as long as the present invention can be achieved, and are not limited.

로봇(4)에 의한 반송 대상물은 유리 기판이 아니라, 실리콘 기판이나 실리콘 웨이퍼 등의 반도체 기판이라도 좋다.The object to be transported by the robot 4 is not a glass substrate, but may be a semiconductor substrate such as a silicon substrate or a silicon wafer.

또한, 가공 장치(1)는, 절단 가공 외에, 세정, 에칭 등, 각종 가공을 행하는 것이라도 좋다.In addition, the processing apparatus 1 may perform various processes, such as washing|cleaning and etching, other than a cutting process.

추가로, 가공 장치(1)는, 레이저를 사용한 절삭 가공 외에, 커터를 사용한 절삭 가공이라도 좋다.In addition, the processing apparatus 1 may be cutting using a cutter other than cutting using a laser.

또한, 가공 장치(1)는, 복수의 가공기에 의해, 단일의 가공을 행하는 것이라도, 복수 종류의 가공을 행하는 것이라도 좋다.In addition, the processing apparatus 1 may perform single processing with a plurality of processing machines, or may perform multiple types of processing.

1: 가공 장치
2: 제1 레이저 가공기
3: 제2 레이저 가공기
4: 로봇
5: 레일
6: 워크
7: 흡착 핸드
8: 스테이지
9: 로봇 본체부
11: 흡기 라인
12: 반출 유닛1: processing device
2: First laser processing machine
3: Second laser processing machine
4: Robot
5: rail
6: Walk
7: Suction Hand
8: Stage
9: Robot body
11: intake line
12: take out unit

Claims

A suction hand for adsorbing the work in a robot for transferring the work, comprising:
a U-shaped suction hand body that is detachably formed in the body part of the robot;
A first adsorption unit and a second adsorption unit each having adsorption pads respectively formed at the bifurcated ends of the adsorption hand body and adsorbing the workpiece
is provided,
Each of the first adsorption unit and the second adsorption unit,
an adsorption member which is freely formed on and detachably from the adsorption hand body;
and a suction pad member which is freely formed on a lower surface of the front end of the suction member and includes at least one suction pad,
The object adsorbed to the first adsorption unit and the object adsorbed to the second adsorption unit are separate works,
The adsorption unit is
and an intake system member formed between the suction pad member and at least one intake line and having at least one intake pipe,
One end of at least one intake pipe is connected to at least one of the suction pads in the suction pad member, and at least one of the intake lines is connected to the other end of at least one of the intake pipes,
The adsorption member includes a mounting portion for mounting the intake system member;
the intake system member is attached to the mounting portion, and at least one suction pad in the suction pad member communicates with at least one intake pipe in the intake system member;
The mounting portion is a through hole that completely penetrates the suction member up and down,
An upper surface of the through hole is covered with a thin plate-shaped first sealing member thinner than the suction member, and a lower surface of the through hole is covered with a thin plate-shaped second sealing member thinner than the suction member,
A first opening connected to the intake pipe to ventilate and a second opening connected to the suction pad to ventilate and separate from the first opening are formed in the second sealing member;
The space formed by the through hole and the first sealing member and the second sealing member forms an intake passage connecting the intake pipe and the suction pad to ventilate without a separate pipe therein.
Suction hand, characterized in that.

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According to claim 1,
The suction pad member,
a plate-shaped base member freely formed on the lower surface of the front end side of the adsorption member;
A plurality of adsorption pads that are freely formed on a lower surface of the base member are provided,
Suction hand, characterized in that.

According to claim 1,
The suction member is a thin plate member, and the base side of the thin plate member is fastened to the suction hand body,
Suction hand, characterized in that.

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