KR20180123960A - Spacing device and spacing method - Google Patents

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Abstract

Provided are a spacing device and a spacing method capable of preventing a non-held region of an adhesive sheet, which is held by a holding member, from being adhered to the holding member. The spacing device includes, on at least one of one surface (AS1) and the other surface (AS2), a plurality of holding means (20) capable of holding an end of an adhesive sheet (AS) attached with a plurality of flaky bodies (CP) or separated flaky bodies (CP) by a holding member, and a spacing means (30) for relatively moving the holding means (20) holding the end of the adhesive sheet (AS) to apply a tension to the adhesive sheet and thus enlarge an interval between the flaky bodies (CP). The adhesive sheet (AS) has an energy applying means (50) for applying desired energy UV to the adhesive sheet, so that an adhesive force thereof is deteriorated. The holding member (22) has one holding member (22A) which abuts against one surface (AS1), and the other holding member (22B) which abuts against the other comes into the other surface (AS2) of the adhesive sheet, so that the end of the adhesive sheet is clamped. The energy applying means (50) applies the desired energy UV to the non-held region of the adhesive sheet (AS) clamped by the one holding member (22A) and the other holding member (22B), before the adhesive sheet is clamped by the holding member (22).

Description

이간 장치 및 이간 방법{SPACING DEVICE AND SPACING METHOD}[0001] SPACING DEVICE AND SPACING METHOD [0002]

본 발명은, 이간 장치 및 이간 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a spacing device and a spacing method.

종래, 접착 시트에 첩부된 복수의 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).BACKGROUND ART [0002] Conventionally, there has been known a separating device for widening a distance between a plurality of adherends attached to an adhesive sheet (see, for example, Patent Document 1).

일본 공개특허공보 2016－127124호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2016-127124

그러나, 특허문헌 1 에 기재된 바와 같은 종래의 이간 장치에서는, 하지지 부재 (22) (유지 부재) 와 상지지 부재 (24) (유지 부재) 로 접착 시트 (AS) (접착 시트) 를 유지하고, 당해 접착 시트에 장력을 부여하여 칩 (CP) (피착체) 의 상호 간격을 넓히는 구성이기 때문에, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 접착면이 당해 유지 부재에 접착되고, 유지 부재로부터 접착 시트를 떼어내기 어려워진다는 문제나, 유지 부재에 부착된 접착제를 제거하기 위한 작업이 필요하게 된다는 문제를 초래한다.However, in the conventional separating apparatus as disclosed in Patent Document 1, the adhesive sheet AS (adhesive sheet) is held by the base material member 22 (holding member) and the upper supporting member 24 (holding member) (Adherend) is widened by applying tensile force to the adhesive sheet, the adhesive surface of the adhesive sheet held by the holding member is adhered to the holding member, and the adhesive sheet is peeled off from the holding member A problem that it is hard to get out and a work for removing the adhesive adhered to the holding member are required.

본 발명의 목적은, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 피유지 영역이 당해 유지 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있는 이간 장치 및 이간 방법을 제공하는 것에 있다.It is an object of the present invention to provide a separating device and a separating method which can prevent the area to be held of an adhesive sheet held by a holding member from being adhered to the holding member.

본 발명은, 청구항에 기재한 구성을 채용했다.The present invention employs the configuration described in the claims.

본 발명에 의하면, 유지 부재로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단이 접착 시트의 피유지 영역에 소정의 에너지를 부여하므로, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되는 접착 시트에 대해, 유지 부재로 유지한 접착 시트의 피유지 영역이 당해 유지 부재에 접착되는 것을 방지할 수 있다.According to the present invention, since the energy imparting means imparts a predetermined energy to the region to be held of the adhesive sheet before being sandwiched by the holding member, the adhesive sheet whose adhesive strength is lowered due to application of a predetermined energy, It is possible to prevent the area to be held of the adhesive sheet from being adhered to the holding member.

또, 에너지 부여 수단이, 제 1 에너지 부여 수단과 제 2 에너지 부여 수단을 구비하면, 제 2 에너지 부여 수단으로 접착 시트의 피유지 영역의 접착력을 중점적으로 저하시킬 수 있어, 피유지 영역이 유지 부재에 접착되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있다.When the energy imparting means includes the first energy applying means and the second energy applying means, the adhesive force of the to-be-held region of the adhesive sheet can be mainly lowered by the second energy applying means, Can be more surely prevented from being adhered.

도 1 의 (A) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 평면도이다. (B) 는, 도 1(A) 의 측면도이다.
도 2 의 (A), (B) 는, 본 발명의 실시 형태에 관련된 이간 장치의 동작 설명이다.
도 3 의 (A), (B) 는, 본 발명의 다른 예의 설명이다.FIG. 1 (A) is a plan view of a spacing device according to an embodiment of the present invention. (B) is a side view of Fig. 1 (A).
2 (A) and 2 (B) are explanatory views of the operation of the separating apparatus according to the embodiment of the present invention.
3 (A) and 3 (B) are explanations of another example of the present invention.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

또한, 본 실시 형태에 있어서의 X 축, Y 축, Z 축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X 축 및 Y 축은, 소정 평면 내의 축으로 하고, Z 축은, 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y 축과 평행한 화살표 BD 방향에서 본 경우를 기준으로 하고, 기준이 되는 도면을 예시하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상」 이 Z 축의 화살표 방향이고 「하」 가 그 역방향, 「좌」 가 X 축의 화살표 방향이고 「우」 가 그 역방향, 「전」 이 Y 축의 화살표 방향이고 「후」 가 그 역방향으로 한다.The X-axis, Y-axis, and Z-axis in the present embodiment are orthogonal to each other, the X-axis and the Y-axis are axes in a predetermined plane, and the Z-axis is an axis perpendicular to the predetermined plane . In the present embodiment, when the reference is taken as an example without reference to the drawing as a reference with reference to the case of viewing in the direction of the arrow BD, which is parallel to the Y axis, the direction of the arrow is the arrow direction of the Z axis, Left "is the arrow direction of the X axis," right "is the reverse direction," front "is the arrow direction of the Y axis, and" backward "is the reverse direction.

본 발명의 이간 장치 (10) 는, 일방의 면 (AS1) 에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지 부재 (22) 로 유지하는 복수의 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30) 과, 피착체 (CP) 의 상호 간격이나 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상 등을 검지 가능한 카메라나 투영기 등의 촬상 수단, 광학 센서나 음파 센서 등의 각종 센서 등의 검지 수단 (40) 과, 접착 시트 (AS) 에 소정의 에너지로서의 자외선 UV 를 부여하는 에너지 부여 수단 (50) 을 구비하고 있다.The spacing device 10 of the present invention comprises a plurality of holding means 20 for holding the end portion of an adhesive sheet AS on which a plurality of adherends CP are pasted on one surface AS1 with a holding member 22, (30) for relatively moving the holding means (20) holding the end portion of the adhesive sheet (AS) to widen the mutual spacing of the adherend (CP) by applying tension to the adhesive sheet (AS) Detecting means 40 such as an image pickup means such as a camera or a projector capable of detecting mutual intervals of the complexes CP and an overall aggregate shape of each adherend CP and various sensors such as an optical sensor and a sound wave sensor, (50) for applying ultraviolet rays UV as a predetermined energy to the light source (AS).

또한, 접착 시트 (AS) 는, 기재 시트의 일방의 면에 자외선 UV 가 부여됨으로써, 그 접착력이 저하되는 접착제층이 적층된 것이 채용되고 있다.The adhesive sheet AS is one obtained by laminating adhesive layers whose ultraviolet rays UV are applied to one surface of a base sheet, thereby lowering the adhesive strength.

유지 수단 (20) 은, 구동 기기로서의 회동 모터 (21) 와, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 유지 부재 (22) 를 구비하고 있다.The holding means 20 includes a rotating motor 21 as a driving device and a holding member 22 for holding an end portion of the adhesive sheet AS.

유지 부재 (22) 는, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측에 맞닿는 일방측 유지 부재 (22A) 및, 이간 수단 (30) 에 지지되고, 접착 시트 (AS) 의 타방의 면 (AS2) 측에 맞닿는 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되어 있다.The holding member 22 has a one-side holding member 22A which is in contact with one side AS1 side of the adhesive sheet AS and one side holding member 22B which is supported by the separating means 30 and which faces the other face AS2 with the other side holding member 22B abutting the side of the adhesive sheet AS.

또한, 일방측 유지 부재 (22A) 는, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 지지된 회동 모터 (21) 의 출력축 (21A) 에 지지되어 있다.The one-side holding member 22A is supported on the output shaft 21A of the rotating motor 21 supported on the other-side holding member 22B.

이간 수단 (30) 은, 구동 기기로서의 리니어 모터 (31) 와, 그 슬라이더 (31A) 에 지지되고, 상면측에서 타방측 유지 부재 (22B) 를 지지하는 유지 아암 (32) 을 구비하고 있다.The spacing means 30 includes a linear motor 31 as a driving device and a holding arm 32 supported by the slider 31A and supporting the other side holding member 22B on the upper surface side.

에너지 부여 수단 (50) 은, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 피착체 접착 영역 (CE) 에 자외선 UV 를 부여하는 제 1 에너지 부여 수단 (51) 과, 유지 부재 (22) 로 유지한 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하는 제 2 에너지 부여 수단 (52) 을 구비하고 있다.The energy applying means 50 includes a first energy applying means 51 for applying ultraviolet UV to an adherend bonding region CE to which a plurality of adherends CP are adhered in the adhesive sheet AS, And second energy imparting means 52 for applying ultraviolet light UV to the area to be held HE of the adhesive sheet AS held by the member 22.

제 1 에너지 부여 수단 (51) 은, 유지 수단 (20) 에 유지된 접착 시트 (AS) 의 하방에 위치하는 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구비하고 있다.The first energy applying means 51 is provided with an ultraviolet light emitting source 51A for an adherend bonding region located below the adhesive sheet AS held by the holding means 20. [

제 2 에너지 부여 수단 (52) 은, 유지 아암 (32) 상에 지지된 스탠드 (52A) 와, 스탠드 (52A) 에 지지되고, 유지 수단 (20) 에 유지된 접착 시트 (AS) 의 단부 상방에 위치하는 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구비하고 있다.The second energy applying means 52 includes a stand 52A supported on the holding arm 32 and a second energy applying means 52A supported on the stand 52A and above the end portion of the adhesive sheet AS held by the holding means 20 And an ultraviolet light-emitting source 52B for the region to be held located.

이상의 이간 장치 (10) 의 동작을 설명한다.The operation of the spacing device 10 will now be described.

먼저, 각 부재가 도 1(A), (B) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에서 대기하고 있는 이간 장치 (10) 에 대해, 당해 이간 장치 (10) 의 사용자 (이하, 간단히 「사용자」 라고 한다) 가 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시되지 않은 조작 수단을 통하여 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그 후, 작업자 또는, 구동 기기나 컨베이어 등의 도시되지 않은 반송 수단이 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 를 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치하면, 유지 부재 (22) 로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단 (50) 이 일방측 유지 부재 (22A) 및 타방측 유지 부재 (22B) 로 끼우는 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여한다. 즉, 접착 시트 (AS) 가 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치되면, 에너지 부여 수단 (50) 이 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구동하고, 도 1(B) 에 나타내는 바와 같이, 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 당해 피유지 영역 (HE) 의 접착력을 저하시킨다.First, the user of the interim device 10 (hereinafter, simply referred to as a "user") is instructed to the intermittent device 10 in which each member stands by at an initial position indicated by a solid line in Figs. 1A and 1B, Inputs a signal of automatic operation start through an operation unit (not shown) such as an operation panel or a personal computer. Thereafter, when the operator or an unshown conveying means such as a driving machine or a conveyor mounts the adhesive sheet AS on which the plurality of adherends CP are pasted on the other side holding member 22B, the holding member 22 The energy applying means 50 applies ultraviolet light UV to the areas to be held HE of the adhesive sheet AS sandwiched between the one side holding member 22A and the other side holding member 22B. That is, when the adhesive sheet AS is placed on the other side holding member 22B, the energy applying unit 50 drives the ultraviolet light emitting source 52B for the area to be subjected to the power supply, , Ultraviolet light UV is applied to the held area HE to lower the adhesive force of the held area HE.

이어서, 유지 수단 (20) 이 각 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 2(A) 에 나타내는 바와 같이, 일방측 유지 부재 (22A) 와 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 후, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 유지 수단 (20) 을 서로 이간시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 이 때, 각 피착체 (CP) 는, 접착 시트 (AS) 의 변형 등에 의해, 상호 간격이 소정의 간격으로 넓어지지 않는 경우가 있다. 그래서, 검지 수단 (40) 의 검지 결과를 기초로 하여, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 각 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 각 유지 수단 (20) 을 개별적으로 이동시킨다.Subsequently, as shown in Fig. 2A, the holding means 20 drives each of the pivoting motors 21 to move the adhesive sheets AS to the one side holding member 22A and the other side holding member 22B, After the ends are held, the separating means 30 drives the respective linear motors 31 and separates the holding means 20 from each other to apply a tensile force to the adhesive sheet AS, . At this time, the adherend CP may not be widened at a predetermined interval due to deformation of the adhesive sheet AS or the like. Thus, based on the detection result of the detection means 40, the spacing means 30 drives each linear motor 31, and each holding means (not shown) 20 are moved individually.

그 후, 에너지 부여 수단 (50) 이 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구동하고, 도 2(B) 에 나타내는 바와 같이, 피착체 접착 영역 (CE) 에 자외선 UV 를 부여하여 피착체 (CP) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킨다. 이어서, 픽업 장치나 반송 장치 등의 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단에 의해, 모든 피착체 (CP) 또는 소정량의 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 이간 수단 (30) 이 각 리니어 모터 (31) 를 구동하고, 각각의 슬라이더 (31A) 를 초기 위치로 복귀시킨 후, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동하고, 일방측 유지 부재 (22A) 를 초기 위치로 복귀시킨다. 그 후, 작업자 또는, 도시되지 않은 반송 수단이, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 제거하고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.Thereafter, the energy applying means 50 drives the ultraviolet light emitting source 51A for the adherend bonding region, and ultraviolet UV is applied to the adherend bonding region CE as shown in Fig. 2 (B) The adhesive strength of the adhesive sheet AS to the pressure-sensitive adhesive sheet CP is lowered. Subsequently, when all of the adherend CP or a predetermined amount of adherend CP is detached from the adhesive sheet AS by an unshown adherend removing means such as a pick-up device or a conveying device, After each of the linear motors 31 is driven to return each of the sliders 31A to the initial position, the holding means 20 drives the pivotal motor 21 to move the one-side holding member 22A to the initial position . Thereafter, the operator or the unillustrated conveying means removes the adhesive sheet AS left on the other side holding member 22B, and then the same operation is repeated.

이상과 같은 이간 장치 (10) 에 의하면, 유지 부재 (22) 로 끼우기 전에, 에너지 부여 수단 (50) 이 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하므로, 자외선 UV 가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되는 접착 시트 (AS) 에 대해, 유지 부재 (22) 로 유지한 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 이 당해 유지 부재 (22) 에 접착되는 것을 방지할 수 있다.According to the above-described spacing device 10, since the energy applying means 50 imparts ultraviolet UV to the region to be held HE of the adhesive sheet AS before the holding member 22 is sandwiched therebetween, It is possible to prevent the area to be held (HE) of the adhesive sheet (AS) held by the holding member (22) from adhering to the holding member (22) with respect to the adhesive sheet (AS)

본 발명에 있어서의 수단 및 공정은, 그들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 전혀 한정되는 일은 없고, 더구나, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 에너지 부여 수단은, 접착 시트에 소정의 에너지를 부여 가능한 것이면, 출원 당초의 기술 상식에 대조하여, 그 기술 범위 내의 것이면 전혀 한정되는 일은 없다 (그 밖의 수단 및 공정도 동일하다).The means and the process according to the present invention are not limited at all as far as they can accomplish the operations, functions or processes described in the means and process. Moreover, There is no limitation at all. For example, the energy imparting means is not limited at all insofar as it can give a predetermined energy to the adhesive sheet, as long as it is in the technical range in contrast with the conventional technical sense of the application (other means and processes are the same).

본 발명의 이간 장치는, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 유지 수단 (20) 과, 접착 시트 (AS) 에 있어서의 피착체 접착 영역 (CE) 보다 외측으로서, 피유지 영역 (HE) 의 내측에서 당해 접착 시트 (AS) 에 맞닿는 맞닿음 수단 (60) 과, 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 이간 수단 (30A) 과, 검지 수단 (40) 과, 에너지 부여 수단 (50) 을 구비한 이간 장치 (10A) 로 해도 된다.3 (A), the separating device of the present invention is characterized in that the retaining means 20 and the adherend adhesion region CE of the adhesive sheet AS are provided outside And the holding means 20 and the abutment means 60 which hold the end portion of the adhesive sheet AS are moved relative to each other by the abutment means 60 abutting on the adhesive sheet AS inside the adhesive sheet AS, The separating device 10A having the separating means 30A for increasing the mutual spacing of the adherends CP by imparting a tensile force to the adherend CP, the detecting means 40 and the energy applying means 50 may be used.

또한, 이간 장치 (10A) 에 있어서, 이간 장치 (10) 와 동등한 구성으로 동등한 기능을 갖는 것은, 당해 이간 장치 (10) 와 동일한 번호를 부여하여 그 구성 설명은 생략하고, 동작 설명은 간략화한다.It is to be noted that, in the discrete device 10A, those having the same configuration as the discrete device 10 and having equivalent functions are given the same reference numerals as those of the discrete device 10, and the description of the configuration is omitted.

맞닿음 수단 (60) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 원통상의 맞닿음 부재 (61) 를 구비하고 있고, 맞닿음 부재 (61) 의 내부의 베이스 플레이트 (BP) 상에 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 이 지지되어 있다.The abutment means 60 is provided with a cylindrical abutment member 61 supported on the base plate BP so that the abutment member 61 is fixed on the base plate BP inside the abutment member 61, Area ultraviolet light source 51A is supported.

이간 수단 (30A) 은, 베이스 플레이트 (BP) 상에 지지된 구동 기기로서의 직동 모터 (33) 와, 그 출력축 (33A) 에 지지되고, 상면측에서 타방측 유지 부재 (22B) 및 스탠드 (52A) 를 지지하는 유지 아암 (34) 을 구비하고 있다.The spacing means 30A includes a linear motor 33 as a driving device supported on the base plate BP and a linear motor 33A supported on the output shaft 33A and supported on the other side holding member 22B and the stand 52A on the upper surface side, And a retaining arm 34 for supporting the retaining arm 34.

이와 같은 이간 장치 (10A) 는, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 가 타방측 유지 부재 (22B) 상에 재치되면, 에너지 부여 수단 (50) 이 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 을 구동하고, 도 3(A) 에 나타내는 바와 같이, 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 피유지 영역 (HE) 의 접착력을 저하시킨다. 그리고, 유지 수단 (20) 이 회동 모터 (21) 를 구동하고, 도 3(B) 에 나타내는 바와 같이, 일방측 유지 부재 (22A) 와 타방측 유지 부재 (22B) 로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지한 후, 이간 수단 (30A) 이 직동 모터 (33) 를 구동하고, 유지 수단 (20) 을 하강시켜 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓힌다. 그 후, 이간 장치 (10) 와 동일하게 하여, 에너지 부여 수단 (50) 이 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 을 구동하고, 피착체 (CP) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킨 후, 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단이 각 피착체 (CP) 를 별도 공정으로 반송한다. 그리고, 도시되지 않은 피착체 꺼냄 수단에 의해, 피착체 (CP) 가 접착 시트 (AS) 로부터 떼어내지면, 각 수단이 각각의 구동 기기를 구동하고, 각 부재를 초기 위치로 복귀시킨 후, 타방측 유지 부재 (22B) 상에 남겨진 접착 시트 (AS) 를 떼어내고, 이후 상기 동일한 동작이 반복된다.When the adhesive sheet AS on which a plurality of adherends CP are pasted is placed on the other side holding member 22B in the same manner as the spacing device 10, 50 drives the ultraviolet light emitting source 52B for the area to be held and ultraviolet light UV is applied to the area to be held HE to lower the adhesive force of the area to be held HE . 3 (B), the holding means 20 drives the pivotal motor 21 so that the one end side holding member 22A and the other end holding member 22B are engaged with the end portion of the adhesive sheet AS The separating means 30A drives the linear motor 33 and the holding means 20 is lowered to move the holding means 20 and the abutting means 60 relative to each other, Thereby widening the mutual spacing of the adherends (CP). Thereafter, the energy applying unit 50 drives the ultraviolet light emitting source 51A for the adherend bonding region and the adhesive force of the adhesive sheet AS to the adherend CP After the pressure is lowered, an adherend removing means (not shown) returns each adherend CP to a separate process. When the adherend CP is detached from the adhesive sheet AS by the not-shown adherend removing means (not shown), each means drives each driving device, returns each member to the initial position, The adhesive sheet AS left on the side holding member 22B is removed, and then the same operation is repeated.

이와 같은 이간 장치 (10A) 에 의해서도, 이간 장치 (10) 와 동일한 효과를 얻을 수 있다.The same effect as that of the spacing device 10 can be obtained also by the spacing device 10A.

유지 수단 (20) 은, 타방의 면 (AS2) 이나, 일방의 면 (AS1) 및 타방의 면 (AS2) 의 양방의 면에 복수의 피착체 (CP) 가 첩부된 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 되고, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롬력, 접착제, 점착제, 자력, 베르누이 흡착, 구동 기기 등으로 접착 시트 (AS) 의 단부를 유지하는 구성이어도 된다.The holding means 20 is provided on one side AS2 of the adhesive sheet AS to which a plurality of adherends CP are attached on both sides of the other side AS2, Or the end of the adhesive sheet AS may be held by gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, a Coulomb force, an adhesive, an adhesive, a magnetic force, a Bernoulli adsorption, a driving device, or the like.

유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10) 의 경우, 예를 들어, 우방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 하고, 좌방으로 이동하는 당해 유지 수단 (20) 을 1 체로 한 2 체로 구성해도 되고, 예를 들어, 우방, 좌방 및 그 밖의 방향으로 이동하는 3 체 이상으로 구성해도 된다.The retaining means 20 is constituted such that the retaining means 20 moving in the right direction is formed as one body and the retaining means 20 moving in the left direction is formed as one body, For example, it may be composed of three or more bodies moving in the right, left, and other directions.

유지 수단 (20) 은, 이간 장치 (10A) 의 경우, 1 체여도 되고 2 체 이상이어도 된다.In the case of the spacing device 10A, the holding means 20 may be one or more than two.

이간 수단 (30, 30A) 은, 복수가 아니고 단수여도 되고, 이 경우, 예를 들어, 이간 장치 (10) 는, 1 체의 리니어 모터의 2 개의 슬라이더로, 유지 수단 (20) 을 각각 1 체씩 지지하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히는 구성으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 1 축 방향 (예를 들어, X 축 방향 또는 Y 축 방향 등) 으로만 넓히는 구성으로 해도 된다.In this case, for example, the spacing device 10 is composed of two sliders of a single linear motor, and the holding means 20 is set to 1 (For example, the X-axis direction or the Y-axis direction or the like) by increasing the distance between the adherend CP and the adherend CP, do.

이간 수단 (30) 은, 상호 간격을 3 축 이상의 방향 (예를 들어, X 축 방향, Y 축 방향 및 그 밖의 축 방향) 으로 넓히는 구성이어도 되고, 예를 들어, X 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 Y 축 방향으로 이동시키는 구성 (Y 축 방향으로 이동시킨 복수의 유지 수단 (20) 을 각각 X 축 방향으로 이동시키는 구성) 으로 하고, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 되고, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록 작동할 수 없는 구성이어도 된다.The spacing means 30 may be configured to widen the mutual spacing in three or more axes directions (for example, X axis direction, Y axis direction and other axis directions), and for example, The holding means 20 is moved in the Y-axis direction (the plurality of holding means 20 moved in the Y-axis direction are respectively moved in the X-axis direction) Or the configuration may be such that the mutual intervals of the adherends CP can not be operated so as to be at a predetermined interval.

이간 수단 (30A) 은, 유지 수단 (20) 을 정지 또는 이동시키면서, 맞닿음 수단 (60) 을 이동시킴으로써, 유지 수단 (20) 및 맞닿음 수단 (60) 을 상대 이동시켜, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하여 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓혀도 된다.The spacing means 30A moves the holding means 20 and the abutment means 60 relative to each other by moving the abutment means 60 while the holding means 20 is stopped or moved, The mutual spacing of the adherends CP may be widened.

이간 수단 (30, 30A) 은, 작업자가 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동해도 되고, 이 경우, 예를 들어, 검지 수단 (40) 에 의한 검지 결과를 모니터나 검출기 등의 표시기에 표시하도록 구성하고, 이 표시기에 표시되는 검지 결과에 의해 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 기의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 작업자가 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동시켜도 된다.The worker may drive the linear motor 31 and the linear motor 33 by operating buttons or levers or the like. In this case, for example, the detection by the detecting means 40 And the resultant is displayed on a display such as a monitor or a detector. The resultant detection result displayed on the display device is used to determine the distance between the adherends (CP) The linear motor 31 and the linear motor 33 may be driven by an operator so as to have a similarity relation to the overall shape of the group.

검지 수단 (40) 은, 작업자의 육안으로 확인해도 되고, 예를 들어, 작업자가 육안 확인에 의해, 피착체 (CP) 의 상호 간격이 소정 간격이 되도록, 또는, 각 피착체 (CP) 의 전체적인 집합 형상이 기의 전체적인 집합 형상에 대해 상사 관계가 되도록, 버튼이나 레버 등을 조작하여, 리니어 모터 (31), 직동 모터 (33) 를 구동하도록 구성해도 되고, 본 발명의 이간 장치 (10, 10A) 에 구비되지 않아도 된다.The detection means 40 may be confirmed with the naked eye of the operator. For example, when the operator visually confirms the distance between the adherend CP and the adherend CP, The linear motor 31 and the linear motor 33 may be driven by operating a button or a lever so that the collective shape has a similarity to the overall shape of the group. .

에너지 부여 수단 (50) 은, 제 1 에너지 부여 수단 (51) 으로서, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방에 자외선 UV 를 부여하는 구성의 것을 채용하고, 이와 같은 구성의 제 1 에너지 부여 수단 (51) 으로 피유지 영역 (HE) 에도 자외선 UV 를 부여하여 일방측 유지 부재 (22A) 나 타방측 유지 부재 (22B) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 되고, 제 1 에너지 부여 수단 (51) 이 없어도 된다.The energy imparting means 50 includes a first energy applying means 51 for applying ultraviolet UV to at least one of the side AS1 and the side AS2 of the adhesive sheet AS And the ultraviolet rays UV are also applied to the areas to be held HE by the first energy applying means 51 having the above-described structure so that the adhesive sheets AS (AS) for the one side holding member 22A and the other side holding member 22B Or the first energy imparting means 51 may be omitted.

에너지 부여 수단 (50) 은, 제 2 에너지 부여 수단 (52) 으로서, 접착 시트 (AS) 의 일방의 면 (AS1) 측 및 타방의 면 (AS2) 측의 적어도 일방의 면측에 자외선 UV 를 부여하는 구성의 것을 채용하고, 이와 같은 구성의 제 2 에너지 부여 수단 (52) 으로 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하여 일방측 유지 부재 (22A) 나 타방측 유지 부재 (22B) 에 대한 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시켜도 된다. 또한, 상기 실시 형태에서 나타낸 이간 장치 (10, 10A) 에서, 타방측 유지 부재 (22B) 측으로부터 에너지 부여 수단 (50) 이 접착 시트 (AS) 의 피유지 영역 (HE) 에 자외선 UV 를 부여하는 경우, 당해 타방측 유지 부재 (22B) 나 유지 아암 (34) 등을 자외선이 투과하는 부재로 구성하면 된다.The energy imparting means 50 is a means for imparting ultraviolet rays UV to at least one surface side of one side AS1 side and the other side AS2 side of the adhesive sheet AS And ultraviolet rays UV are applied to the areas to be held HE by the second energy applying means 52 having the above-described structure to form the adhesive sheets for the one side holding member 22A and the other side holding member 22B The adhesion of the adhesive layer AS may be lowered. The energy applying means 50 applies the ultraviolet rays UV to the areas to be held HE of the adhesive sheet AS from the other side holding member 22B side in the spacers 10, The holding member 22B, the holding arm 34 and the like may be constituted by a member through which ultraviolet rays are transmitted.

에너지 부여 수단 (50) 은, 모든 파장의 전자파 (예를 들어 X 선이나 적외선 등) 를 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 가열 또는 냉각된 기체나 액체 등의 유체 등을 에너지로서 접착 시트 (AS) 에 부여하는 것이어도 되고, 접착 시트 (AS) 의 구성에 따라 당해 접착 시트 (AS) 의 접착력을 저하시킬 수 있는 에너지를 부여 가능한 것이면 무엇이든지 되고, 접착 시트 (AS) 에 전체적 또는 부분적으로 에너지를 부여하는 구성이어도 되고, 피착체 접착 영역용 자외선 발광원 (51A) 이나 피유지 영역용 자외선 발광원 (52B) 으로서, LED (Light Emitting Diode, 발광 다이오드), 고압 수은 램프, 저압 수은 램프, 메탈 할라이드 램프, 크세논 램프, 할로겐 램프 등 무엇을 채용해도 되고, 그것들을 적절히 조합한 것을 채용해도 된다.The energy applying means 50 may apply electromagnetic waves of all wavelengths (for example, X-rays or infrared rays) as energy to the adhesive sheet AS, and may heat the heated or cooled fluid such as gas or liquid, Or may be imparted to the adhesive sheet AS as long as it can impart energy capable of lowering the adhesive force of the adhesive sheet AS according to the structure of the adhesive sheet AS, A light emitting diode (LED), a high-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, or the like may be used as the ultraviolet light emitting source 51A for the adherend bonding region and the ultraviolet light emitting source 52B for the to- Pressure mercury lamp, a low-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, a halogen lamp, or the like.

제 1 에너지 부여 수단 (51) 은, 피착체 (CP) 의 상호 간격을 넓히지 않은 상태로 접착 시트 (AS) 에 자외선 UV 를 조사해도 된다.The first energy applying means 51 may irradiate the adhesive sheet AS with ultraviolet UV in a state in which the adhered members CP are not spaced apart from each other.

맞닿음 수단 (60) 은, 각통상이나 타원 통상 등 외에, 원기둥, 각기둥, 타원 기둥 등의 다른 형상의 맞닿음 부재 (61) 를 채용해도 된다.The abutting member 60 may adopt a different shape of the abutting member 61 such as a cylinder, a prism, or an ellipse, in addition to the normal, elliptical, and other shapes.

본 발명에 있어서의 접착 시트 (AS) 및 피착체 (CP) 의 재질, 종별, 형상 등은, 특별히 한정되는 일은 없다. 예를 들어, 접착 시트 (AS) 는, 에너지가 부여됨으로써, 그 접착력이 저하되는 것이면 전혀 한정되는 일은 없고, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이어도 된다. 또한, 접착 시트 (AS) 나 피착체 (CP) 는, 예를 들어, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이어도 된다. 또, 접착 시트 (AS) 는, 예를 들어, 접착제층만인 단층의 것, 기재와 접착제층의 사이에 중간층을 갖는 것, 기재의 상면에 커버층을 갖는 등 3 층 이상의 것, 나아가서는, 기재를 접착제층으로부터 박리할 수 있는 소위 양면 접착 시트와 같은 것이어도 되고, 그러한 양면 접착 시트는, 단층 또는 복층의 중간층을 갖는 것이나, 중간층이 없는 단층 또는 복층의 것이어도 된다. 또, 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 반도체 칩, 회로 기판, 광 디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물이어도 되고, 그들 2 개 이상으로 형성된 복합물이어도 되고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트 (AS) 는, 기능적, 용도적인 읽는 법으로 바꾸어, 예를 들어, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이어태치 필름, 다이본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이어도 된다.The material, type, shape and the like of the adhesive sheet (AS) and adherend (CP) in the present invention are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS is not limited at all as far as its adhesive force is lowered by the application of energy, and it may be of an adhesive type such as pressure-sensitive adhesive property, heat-sensitive adhesive property and the like. The adhesive sheet AS and the adherend CP may be, for example, circular, elliptical, polygonal such as triangular or rectangular, or other shapes. The adhesive sheet AS may be a single layer having only an adhesive layer, an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, a three or more layer having a cover layer on the upper surface of the substrate, A double-faced adhesive sheet which can peel off the adhesive layer from the adhesive layer. Such a double-faced adhesive sheet may be a single-layered or multi-layered intermediate layer, or a single-layered or multi-layered layer without an intermediate layer. Examples of the adherend (CP) include a semiconductor wafer such as a food, a resin container, a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, an information recording substrate such as a semiconductor chip, a circuit substrate and an optical disk, a glass plate, A single piece such as a wood board or a resin, a combination of two or more of them, or a member or article of any form. Further, the adhesive sheet AS can be replaced with a functionally usable reading method, for example, an information label, a decorative label, a protective sheet, a dicing tape, a diathertic film, a die bonding tape, A film, a tape, or the like.

피착체 (CP) 는, 미리 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하고 있는 것이어도 되고, 이간 수단 (30, 30A), 그 밖의 기구 또는 인력 등으로 외력을 부여한 시점에서 복수로 분할되어, 접착 시트 (AS) 상에 복수 존재하는 것과 같은 분할되어 복수가 되는 것이어도 된다. 이와 같은 분할되어 복수가 되는 피착체 (CP) 로서는, 예를 들어, 반도체 웨이퍼나 기판 등에 레이저를 조사하고, 당해 반도체 웨이퍼나 기반 등에 선상이나 격자상 등의 취약한 취약층을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 반도체 웨이퍼나 기반 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것이나, 예를 들어, 수지나 유리판 등에 커터 날로 절삭하여, 당해 수지나 유리판 등에 선상이나 격자상 등의 표리에 관통하는 일이 없는 절삭이나 미싱눈 등의 절단 예정 라인을 형성해 두고, 접착 시트 (AS) 에 장력을 부여하거나, 수지나 유리판 등에 직접적 또는 간접적으로 외력을 부여하거나 한 시점에서 개편화하여, 복수의 피착체 (CP) 가 되는 것 등, 전혀 한정되는 것은 아니다.A plurality of the adherend CP may be present on the adhesive sheet AS in advance and may be divided into a plurality of portions at the time when an external force is applied by the spacers 30 and 30A, (AS), or a plurality of such divided parts may be provided. As such a plurality of divided adherends (CP), for example, a laser beam is irradiated to a semiconductor wafer or a substrate to form a fragile weak layer such as a line or a lattice on the semiconductor wafer or the base, AS, or an external force may be directly or indirectly applied to a semiconductor wafer or a base, or may be unified at one point to form a plurality of adherends (CP), for example, a cutter blade A line to be cut such as cutting or sewing eyes that does not penetrate the front and back surfaces such as a line or a lattice can be formed on the resin or the glass plate and tension can be given to the adhesive sheet AS, But it is not limited at all by indirectly imparting an external force or fragmentation at a time to form a plurality of adherends (CP).

상기 실시 형태에 있어서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드레스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.The drive device in the above embodiment can adopt an electric device such as a rotary motor, a linear motor, a linear motor, a uniaxial robot, a multi-joint robot, an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder and a rotary cylinder And may employ a direct or indirect combination of them.

10, 10A : 이간 장치
20 : 유지 수단
22 : 유지 부재
22A : 일방측 유지 부재
22B : 타방측 유지 부재
30, 30A : 이간 수단
50 : 에너지 부여 수단
51 : 제 1 에너지 부여 수단
52 : 제 2 에너지 부여 수단
60 : 맞닿음 수단
AS : 접착 시트
AS1 : 일방의 면
AS2 : 타방의 면
CE : 피착체 접착 영역
CP : 피착체
HE : 피유지 영역
UV : 자외선 (소정의 에너지)10, 10A: Dislocation device
20: maintenance means
22: Retaining member
22A: One side holding member
22B: the other side holding member
30, 30A:
50: energy supply means
51: first energizing means
52: second energy imparting means
60: abutment means
AS: Adhesive sheet
AS1: one side
AS2: the other side
CE: adherend adhesion area
CP: adherend
HE: area to be sustained
UV: Ultraviolet ray (predetermined energy)

Claims (5)

일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 부재로 유지하는 복수의 유지 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 수단을 구비하고,
상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
상기 에너지 부여 수단은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.A plurality of holding means for holding an end portion of an adhesive sheet to which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of one surface and the other surface,
And spacing means for relatively moving the holding means holding the end portion of the adhesive sheet to widen the mutual spacing of the adherend by applying a tensile force to the adhesive sheet,
When the adhesive sheet is given a predetermined energy, its adhesive strength is lowered,
And an energy imparting means for imparting the predetermined energy to the adhesive sheet,
The holding member is configured to hold the end portion of the adhesive sheet by a one-side holding member abutting one surface side of the adhesive sheet and another holding member abutting the other surface side of the adhesive sheet,
Wherein the energy imparting means applies the predetermined energy to a region to be held of the adhesive sheet sandwiched between the one-side holding member and the other-side holding member before being fitted into the holding member. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 유지 부재로 유지하는 유지 수단과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 피유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단 및 상기 맞닿음 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 수단을 구비하고,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 수단을 구비하고,
상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
상기 에너지 부여 수단은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 장치.A holding means for holding an end portion of the adhesive sheet to which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface,
An abutment means for abutting the adhesive sheet on the inner side of the region to be held held by the holding means as an outer side of the adherend body adhesion region to which the plurality of adherends are adhered in the adhesive sheet,
And spacing means for spacing the adherend from each other by applying a tension to the adhesive sheet by relatively moving the holding means and the abutting means holding the end portion of the adhesive sheet,
When the adhesive sheet is given a predetermined energy, its adhesive strength is lowered,
And an energy imparting means for imparting the predetermined energy to the adhesive sheet,
The holding member is configured to hold the end portion of the adhesive sheet by a one-side holding member abutting one surface side of the adhesive sheet and another holding member abutting the other surface side of the adhesive sheet,
Wherein the energy imparting means applies the predetermined energy to a region to be held of the adhesive sheet sandwiched between the one-side holding member and the other-side holding member before being fitted into the holding member. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 에너지 부여 수단은, 상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 제 1 에너지 부여 수단과, 상기 유지 부재로 유지한 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 제 2 에너지 부여 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 이간 장치.3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the energy imparting means includes a first energy applying means for applying the predetermined energy to an adherend bonding area to which the plurality of adherends of the adhesive sheet are adhered, And a second energy imparting means for imparting the predetermined energy to the region. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단의 각각의 유지 부재로 유지하는 유지 공정과,
상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지며,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 공정을 가지며,
상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
상기 에너지 부여 공정은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.A holding step of holding an end portion of an adhesive sheet to which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface with each holding member of the plurality of holding means,
And a separating step of relatively moving the holding means holding the end portion of the adhesive sheet to increase the mutual spacing of the adherend by applying tension to the adhesive sheet,
When the adhesive sheet is given a predetermined energy, its adhesive strength is lowered,
And an energy imparting step of imparting the predetermined energy to the adhesive sheet,
The holding member is configured to hold the end portion of the adhesive sheet by a one-side holding member abutting one surface side of the adhesive sheet and another holding member abutting the other surface side of the adhesive sheet,
Wherein the energy imparting step imparts the predetermined energy to a region to be held of the adhesive sheet which is sandwiched between the one-side holding member and the other-side holding member before being sandwiched by the holding member. 일방의 면과 타방의 면 중 적어도 일방에, 복수의 피착체 또는 분할되어 복수가 되는 피착체가 첩부된 접착 시트의 단부를 복수의 유지 수단의 각각의 유지 부재로 유지하는 유지 공정과,
상기 접착 시트에 있어서의 상기 복수의 피착체가 첩부된 피착체 접착 영역보다 외측으로서, 상기 유지 수단이 유지한 피유지 영역의 내측에서 당해 접착 시트에 맞닿는 맞닿음 수단 및, 상기 접착 시트의 단부를 유지한 상기 유지 수단을 상대 이동시켜, 상기 접착 시트에 장력을 부여하여 상기 피착체의 상호 간격을 넓히는 이간 공정을 가지며,
상기 접착 시트는, 소정의 에너지가 부여됨으로써 그 접착력이 저하되고,
상기 접착 시트에 상기 소정의 에너지를 부여하는 에너지 부여 공정을 가지며,
상기 유지 부재는, 상기 접착 시트의 일방의 면측에 맞닿는 일방측 유지 부재 및, 상기 접착 시트의 타방의 면측에 맞닿는 타방측 유지 부재로 상기 접착 시트의 단부를 끼워 유지하는 구성으로 되고,
상기 에너지 부여 공정은, 상기 유지 부재로 끼우기 전에, 상기 일방측 유지 부재 및 타방측 유지 부재로 끼우는 상기 접착 시트의 피유지 영역에 상기 소정의 에너지를 부여하는 것을 특징으로 하는 이간 방법.A holding step of holding an end portion of an adhesive sheet to which a plurality of adherends or divided plural adherends are pasted on at least one of the one surface and the other surface with each holding member of the plurality of holding means,
An abutting means for abutting the adhesive sheet on the inner side of a region to be held held by the holding means as an outer side of the adherend body adhering region to which the plurality of adherends are adhered in the adhesive sheet, And a separating step of relatively moving the one holding means to apply tension to the adhesive sheet to widen the mutual spacing of the adherend,
When the adhesive sheet is given a predetermined energy, its adhesive strength is lowered,
And an energy imparting step of imparting the predetermined energy to the adhesive sheet,
The holding member is configured to hold the end portion of the adhesive sheet by a one-side holding member abutting one surface side of the adhesive sheet and another holding member abutting the other surface side of the adhesive sheet,
Wherein the energy imparting step imparts the predetermined energy to a region to be held of the adhesive sheet which is sandwiched between the one-side holding member and the other-side holding member before being sandwiched by the holding member.
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