KR20180112741A - 모듈 통합형 소형검사기 - Google Patents

모듈 통합형 소형검사기 Download PDF

Info

Publication number
KR20180112741A
KR20180112741A KR1020180099146A KR20180099146A KR20180112741A KR 20180112741 A KR20180112741 A KR 20180112741A KR 1020180099146 A KR1020180099146 A KR 1020180099146A KR 20180099146 A KR20180099146 A KR 20180099146A KR 20180112741 A KR20180112741 A KR 20180112741A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
small
stage
case
rod
disposed
Prior art date
Application number
KR1020180099146A
Other languages
English (en)
Inventor
이흥근
Original Assignee
(주)엘이티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)엘이티 filed Critical (주)엘이티
Priority to KR1020180099146A priority Critical patent/KR20180112741A/ko
Publication of KR20180112741A publication Critical patent/KR20180112741A/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/0002Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • G06T7/0008Industrial image inspection checking presence/absence
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • G01N2021/945Liquid or solid deposits of macroscopic size on surfaces, e.g. drops, films, or clustered contaminants

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명에 따른 모듈 통합형 소형검사기는,
2개의 막대형 프레임;
상기 2개의 막대형 프레임 사이에 삽입되는 스테이지;
상기 2개의 막대형 프레임 위에 놓여지며, 하면이 뚫려 있는 소형 케이스;
상기 소형 케이스의 외부에 설치된 터치식 모니터;
상기 스테이지의 상측에 위치되며, 상기 가로와 세로 길이가 짧은 소형 케이스의 내부에 설치될 수 있도록, 상기 소형 케이스의 내주면 둘레를 따라 설치된 막대형 조명;
상기 높이가 낮은 소형케이스 내부에서, 상기 스테이지의 상면을 나누어 촬영할 수 있게, 상기 막대형 조명의 상측에 위치된 2대의 AREA 카메라; 및
상기 소형 케이스 내의 상기 카메라의 상측 좁은 공간에 설치된, 안드로이드 또는 리눅스 운영체제에서 운영될 수 있는 저사양의 부피가 작은 단일보드형 컴퓨터;를 포함하여,
상기 저사양의 부피가 작은 단일보드형 컴퓨터의 처리능력을 감안하여, 상기 스테이지 상면의 스크레치 또는 얼룩은 검사하지 않고, 상기 스테이지 상면 표면의 70㎛ 이상의 이물질만 검사하는 것을 특징으로 한다.

Description

모듈 통합형 소형검사기{SIMPLE MODULAR INSPECTION DEVICE}
본 발명은 모듈 통합형 소형검사기에 관한 것이다.
도 1에 도시된 스테이지(G)의 상면에는 OLED 패널이 놓인다.
스테이지(G)의 이물질이 있으면, OLED 패널이 스테이지(G)의 상면에 진공 흡착될 때, 이물질에 의해 손상될 수 있다. 이를 방지하기 위해, 스테이지(G)의 상면에 이물질이 있는지를 검사해야 한다.
스테이지(G) 상면의 이물질을 검사하는 장비는, 종래에 많이 나와 있다.
종래 이물질 검사 장비는, 모니터, 카메라, 조명, 조명컨트롤러, 컴퓨터, 전원공급장치 등 여러 가지 모듈들로 구성된다.
이러한 모듈들은 고성능으로 그 크기가 크다. 이로 인해, 이물질 검사 장비를 작게 만들기 어렵고, 이물질 검사 장비를 설치하는 자리를 현장에 충분히 확보해야 했다.
또한, 종래 이물질 검사 장비는, 카메라, 조명, 조명컨트롤러, 컴퓨터를 하나하나 개별적으로 현장으로 운반한 후, 현장에서 개별적으로 설치해야 했다.
설치가 끝난 다음에는, 카메라, 조명, 조명컨트롤러, 컴퓨터, 전원공급부가 제대로 작동하는지 현장에서 테스트해야 했다.
이로 인해, 현장에서, 이물질 검사 장비를 현장에 설치하기 위해, 제품 생산을 중단해야 하는 시간을 단축시키기 어려웠다.
한국공개특허(10-2007-0028004)
본 발명의 목적은, 스테이지 상면의 이물질을 검사하는 이물질 검사기를 구성하는 여러 가지 모듈들의 크기를 줄여, 하나의 케이스에 통합적으로 설치함으로써, 현장설치시간을 현저하게 단축시킬 수 있는 모듈 통합형 소형검사기를 제공하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 모듈 통합형 소형검사기는,
스테이지의 상측에 위치될 수 있게 현장에 있는 프레임에 고정되며, 상기 스테이지 상면의 이물질을 검사하기 위해 하면이 뚫린 케이스;
상기 케이스의 외부에 설치된 모니터;
상기 케이스의 내부에 설치되며, 상기 스테이지의 상측에 위치되도록, 상기 케이스의 내주면 둘레를 따라 설치된 조명;
상기 케이스의 내부에 설치되며, 상기 조명의 상측에 위치되어, 상기 스테이지 상면의 이물질을 촬영하는 2대의 카메라; 및
상기 카메라의 상측에 마련된 공간에 설치된, 컴퓨터, 조명컨트롤러, 전원공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적은,
스테이지의 상측에 위치될 수 있게 현장에 있는 프레임에 고정되며, 상기 스테이지 상면의 이물질을 검사하기 위해 하면이 뚫린 케이스;
상기 케이스의 외부에 설치된 터치식 모니터;
상기 케이스의 내부에 설치되며, 상기 스테이지의 상측에 위치되도록, 상기 케이스의 내주면 둘레를 따라 설치된 막대형 조명;
상기 케이스의 내부에 설치되며, 상기 조명의 상측에 위치되어, 상기 스테이지 상면의 이물질을 촬영하는 2대의 AREA 카메라; 및
상기 카메라의 상측에 마련된 공간에 설치된, 안드로이드 또는 리눅스 운영체제에서 운영될 수 있는 단일보드형 컴퓨터, 조명컨트롤러, 전원공급부;를 포함하여,
상기 스테이지 상면의 스크레치 또는 얼룩은 검사하지 않고, 상기 스테이지 상면 표면의 70㎛이상의 이물질만 검사하며,
상기 스테이지의 영역을 검사영역과 비검사영역으로 나누어, 상기 검사영역에 대해서만 이물질 검사를 하는 것을 특징으로 하는 모듈 통합형 소형검사기에 의해 달성된다.
본 발명은 스테이지 상면의 이물질을 검사하는 검사기를 구성하는 여러 가지 모듈들(모니터, 조명, 2대의 카메라, 단일보드형 컴퓨터, 조명컨트롤러, 전원공급부) 모두를 케이스 하나에 통합적으로 설치한다.
본 발명은 스테이지 상면의 이물질을 신속하게 검사하기 위해서, 스테이지 상면의 스크레치 또는 얼룩은 검사하지 않고, 스테이지 상면 표면의 이물질만을 검사한다. 또한, 이물질도 70㎛ 이상의 크기만 검사한다. 또한, 스테이지의 영역을 검사영역과 비검사영역으로 나누어, 검사영역에 대해서만 이물질 검사를 한다.
본 발명은 종래 조명을 막대형 조명으로 바꾸어, 케이스의 내주면 둘레를 따라 설치함으로써, 검사기에서 조명이 차지하는 부피를 최소화시켰다.
본 발명은 종래 윈도우 운영체제에서 작동되는 고성능 컴퓨터를 안드로이드 또는 리눅스 운영체제에서 작동될 수 있는 단일보드형 컴퓨터로 바꾸었다. 이로 인해, 컴퓨터의 크기를 종래에 비해 현저하게 줄일 수 있었다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 이물질 검사기를 구성하는 여러 가지 모듈을 소형화시킴으로 인해, 하나의 케이스에 여러 가지 모듈을 통합적으로 설치할 수 있어, 결과적으로 이물질 검사기를 작게 만들 수 있다.
또한, 여러 가지 모듈을 묶어서 하나의 케이스에 통합적으로 넣음으로써, 이물질 검사기를 구성하는 모듈 하나하나를 현장에서 개별적으로 설치할 필요가 전혀 없다. 이로 인해, 모듈 통합형 소형검사기에 대한 테스트를 현장 설치 전에 미리 할 수 있어, 현장 설치 후에, 카메라, 조명, 조명컨트롤러, 컴퓨터, 전원공급부가 제대로 작동하는지 여부를 최종 테스트하는 데는 시간이 크게 걸리지 않는다.
따라서, 현장에서, 이물질 검사기 설치로 인해, 제품 생산을 중단해야하는 시간을 크게 단축시킬 수 있다.
도 1은 이물질 검사가 진행될 스테이지를 찍은 사진이다.
도 2는 2개의 프레임에 놓여 진 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형 검사기와, 2개의 프레임 사이에 놓여 질 스테이지를 찍은 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형 검사기를 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형 검사기를 구성하는 막대형 조명을 찍은 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형 검사기를 구성하는 단일보드형 컴퓨터를 찍은 사진이다.
도 6은 스테이지의 검사영역과 스테이지의 검사제외영역을 표시한 사진이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형검사기를 자세히 설명한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형검사기(1)는, 케이스(10), 모니터(20), 조명(30), 카메라(40), 컴퓨터(50), 조명컨트롤러(60), 전원공급부(70)로 구성된다.
케이스(10)는 일정간격으로 벌어진 2개의 프레임(F) 위에 놓여진다. 프레임(F)의 크기와 개수는 모듈 통합형 검사기(1)가 설치되는 현장 상황에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
2개의 프레임(F) 사이로 스테이지(G)가 놓여진다. 스테이지(G)는 가로65mm×세로145mm이다. 물론, 스테이지(G)의 크기와 형상은 다양할 수 있다.
스테이지(G)의 상면을 검사하기 위하여, 케이스(10)의 하면은 뚫려 있다.
케이스(10)의 크기는 가로260mm×세로210mm×높이403.5mm로, 종래 이물질 검사기에 대해 현저히 작다.
모니터(20)는 케이스(10)의 전면에 설치된다.
모니터(20)는 7인치 터치식 모니터이다.
조명(30)은 케이스(10)의 내부에 설치된다.
도 4에 도시된 바와 같이, 조명(30)은 막대형 조명이다.
조명(30)은 케이스(10)의 내주면의 둘레를 따라 설치된다.
조명(30)의 크기는 길이200×높이80mm이다.
조명(30)은 스테이지(G)의 상측에서 10~20mm 떨어지게 설치된다.
조명(30)은 빛을 스테이지(G)의 측면 방향으로 쏜다.
종래 위에서 아래로 빛을 비추는 조명(30)을 막대형 조명(30)으로 바꾸어, 케이스(10)의 내면 둘레에 설치함으로써, 케이스(10) 내에서 조명(30)이 차지하는 공간을 최소화시킬 수 있다. 또한, 카메라(40)와의 간섭도 피할 수 있다.
카메라(40)는 조명(30)의 상측에 2대가 설치된다. 카메라(40)는 AREA 카메라다. 카메라(40)는 스테이지(G)의 상면을 촬영한다.
도 3에 도시된 바와 같이,
컴퓨터(50)는 카메라(40)의 상측에 마련된 공간(S)에 설치된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 컴퓨터(50)는 안드로이드 운영체제 또는 리룩스 운영체제로 운영되는 단일보드형컴퓨터(50)이다.
컴퓨터(50)는 카메라(50)로부터 촬영된 영상을 처리하여, 스테이지(G) 상면의 이물질을 검사한 결과를 모니터(20)로 출력한다.
컴퓨터(50)는 외부 서버, 스마트폰 등과 통신할 수 있는 통신부를 구비한다.
도 3에 도시된 바와 같이,
조명컨트롤러(60)는 카메라(40)의 상측에 마련된 공간(S)에 설치된다.
조명컨트롤러(60)는 조명(30)을 제어한다.
도 3에 도시된 바와 같이,
전원공급부(70)는 카메라(40)의 상측에 마련된 공간(S)에 설치된다.
전원공급부(70)는 모니터(20), 막대형 조명(30), 2대의 카메라(40), 단일보드형 컴퓨터(50), 조명컨트롤러(60) 각각에 전원을 공급한다.
상술한 바와 같이, 통합 모듈형 소형검사기(1)의 크기를 최대한 줄이기 위하여, 종래 위에서 아래로 빛을 비추는 조명(30)을 막대형 조명(30)으로 바꾸어, 케이스(10)의 내면 둘레에 설치하고, 카메라(40)의 상측에 공간(S)을 마련하여 단일보드형 컴퓨터(50), 조명컨트롤러(60), 전원공급부(70) 모두를 카메라(40)의 상측 공간(S)에 배치시킨 것은 본 발명만의 중요한 특징이 된다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형검사기(1)를 현장에 설치하는 방법을 설명한다.
현장에 가기 전에, 모니터(20), 조명(30), 2대의 카메라(40), 컴퓨터(50), 조명컨트롤러(60), 전원공급부(70) 모두를 케이스(10) 하나에 통합적으로 설치하여, 모듈 통합형 소형검사기(1)를 완성한다.
모듈 통합형 소형검사기(1)에 대한 성능 테스트를, 모듈 통합형 소형검사기(1)를 현장에 설치하기 전에 충분히 마친다.
현장에 있는 프레임에 모듈 통합형 소형검사기(1)를 올려놓고, 프레임에 고정한다. 그러면, 현장에 모듈 통합형 소형검사기(1)의 설치가 완료된다.
따라서, 종래와 같이 현장에서 이물질 검사기를 구성하는 여러 가지 모듈을 개별적으로 하나하나씩 설치할 필요가 전혀 없다.
이로 인해, 모듈 통합형 소형검사기에 대한 테스트를 현장 설치 전에 미리 할 수 있어, 현장 설치 후에, 카메라, 조명, 조명컨트롤러, 컴퓨터, 전원공급부가 제대로 작동하는지 여부를 최종 테스트하는 데는 시간이 크게 걸리지 않는다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 모듈 통합형 소형검사기(1)로, 스테이지(G) 상면의 이물질을 검사하는 방법을 설명한다.
모듈 통합형 소형검사기(1)의 아래로 스테이지(G)를 놓는다.
모듈 통합형 소형검사기(1)로 스테이지(G) 상면의 이물질 검사를 한다.
이물질의 종류에는 금속성 이물, 플라스틱(black, white), 부유성 이물, 물, 끈끈이 등이 있다.
스테이지(G) 상면의 이물질을 신속하게 검사하기 위해서, 모듈 통합형 소형검사기(1)는 70㎛ 이상의 이물질만 검사한다.
한편, 본 발명의 카메라(30)에서 촬영된 영상을 컴퓨터(50)가 영상처리하여, 스테이지(G) 상면의 이물질을 검사해 내는 방법은, 공지된 기술을 이용하여 다양하게 구현 가능하므로, 자세한 설명은 생략한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 모듈 통합형 소형검사기(1)는, 스테이지(G)의 영역을 검사영역(Y, 노란색 사각형안)과 비검사영역(N, 빨간색 원형안)으로 나누어, 검사영역에 대해서만 이물질 검사를 한다. 이로 인해, 이물질 검사를 신속하게 할 수 있다.
1: 모듈 통합형 소형검사기 10: 케이스
20: 모니터 30: 조명
40: 카메라 50: 컴퓨터
60: 조명컨트롤러 70: 전원공급부

Claims (1)

  1. 2개의 막대형 프레임;
    상기 2개의 막대형 프레임 사이에 삽입되는 스테이지;
    상기 2개의 막대형 프레임 위에 놓여지며, 하면이 뚫려 있는 소형 케이스;
    상기 소형 케이스의 외부에 설치된 터치식 모니터;
    상기 스테이지의 상측에 위치되며, 상기 가로와 세로 길이가 짧은 소형 케이스의 내부에 설치될 수 있도록, 상기 소형 케이스의 내주면 둘레를 따라 설치된 막대형 조명;
    상기 높이가 낮은 소형케이스 내부에서, 상기 스테이지의 상면을 나누어 촬영할 수 있게, 상기 막대형 조명의 상측에 위치된 2대의 AREA 카메라; 및
    상기 소형 케이스 내의 상기 카메라의 상측 좁은 공간에 설치된, 안드로이드 또는 리눅스 운영체제에서 운영될 수 있는 저사양의 부피가 작은 단일보드형 컴퓨터;를 포함하여,
    상기 저사양의 부피가 작은 단일보드형 컴퓨터의 처리능력을 감안하여, 상기 스테이지 상면의 스크레치 또는 얼룩은 검사하지 않고, 상기 스테이지 상면 표면의 70㎛ 이상의 이물질만 검사하는 것을 특징으로 하는 모듈 통합형 소형검사기.
KR1020180099146A 2018-08-24 2018-08-24 모듈 통합형 소형검사기 KR20180112741A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180099146A KR20180112741A (ko) 2018-08-24 2018-08-24 모듈 통합형 소형검사기

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020180099146A KR20180112741A (ko) 2018-08-24 2018-08-24 모듈 통합형 소형검사기

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170043641 Division 2017-04-04

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180112741A true KR20180112741A (ko) 2018-10-12

Family

ID=63876589

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180099146A KR20180112741A (ko) 2018-08-24 2018-08-24 모듈 통합형 소형검사기

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20180112741A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101949257B1 (ko) 디스플레이 모듈 검사장치 및 검사방법
KR101245148B1 (ko) 영상 선명도가 개선된 비전검사장치
JP2019505802A5 (ko)
KR101295760B1 (ko) 다중 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
KR101630596B1 (ko) 차량하부 촬영장치 및 이를 운용하는 차량하부 촬영방법
CN103076344A (zh) 显示面板的缺陷检测方法及其检测装置
CN104102029A (zh) 液晶面板检查装置
JP7223840B2 (ja) ビジョンベース検査システムの光学構成要素の自律診断検証のためのシステム、方法、および装置
RU2746932C2 (ru) Устройство для оптического обнаружения дефектов зеркальной поверхности плоских объектов, в частности дисплеев мобильных телефонов и/или смартфонов
TWI495867B (zh) Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method
KR101245622B1 (ko) 스테레오 비전과 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
KR20170122540A (ko) 자동 비전 검사 시스템
WO2015126111A1 (ko) 그래핀의 전도성 검사 장치 및 검사 방법
KR101496993B1 (ko) 디스플레이 패널 검사방법
KR101410037B1 (ko) Led어레이의 검사방법
KR20180112741A (ko) 모듈 통합형 소형검사기
KR101245623B1 (ko) 가시광선의 격자무늬와 자외선 또는 적외선 격자 무늬를 이용한 비전검사장치
KR20190079200A (ko) 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치
WO2016024648A1 (ko) 대면적 평면 검사 장치
JP6792283B2 (ja) 外観検査装置
KR20110130572A (ko) 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사장치, 및 이를 이용한 프로브 유닛의 블럭 베이스 검사방법
CN110514670B (zh) Ic料带检查装置
KR101351000B1 (ko) 복수 개의 검사 모드를 가지는 인라인 카메라 검사 장치
KR101745764B1 (ko) 광학식 판재 표면검사장치 및 판재 표면검사방법
KR101470423B1 (ko) 렌즈 검사 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X601 Decision of rejection after re-examination
J201 Request for trial against refusal decision
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL NUMBER: 2020101003081; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20201221

Effective date: 20210630