KR20190079200A

KR20190079200A - 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치

Info

Publication number: KR20190079200A
Application number: KR1020170181236A
Authority: KR
Inventors: 어욱선
Original assignee: 인베니아 주식회사
Priority date: 2017-12-27
Filing date: 2017-12-27
Publication date: 2019-07-05

Abstract

마스크에 부착된 이물질의 정밀한 검사가 가능하며, 마스크에 형성된 패턴홀과 이물질을 명확하게 식별할 수 있도록 한 본 발명에 따른 마스크 검사용 조명 장치는 마스크를 향해 복수의 제1광을 방출하는 복수의 제1광원과 상기 복수의 상기 제1광을 상기 마스크에 집광하는 제1미러를 포함하는 제1조명 및 상기 마스크를 향해 상기 제1광과 동축을 가지는 제2광을 방출하는 제2조명을 포함하므로 이물질 종류에 따른 이물질의 정밀한 검사를 바탕으로 이물질을 원활하게 제거할 수 있으며, 마스크 검사 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

Description

마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치 {Apparatus for processing mask and method of processing mask using the same}

본 발명은 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 소정의 패턴을 형성하는 데 사용하는 마스크에 이물질 부착 여부를 검사하는 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치에 관한 것이다.

패턴 형성 공정에는 사진 식각 공정이 포함되며, 사진 식각 공정은 세정 공정, 표면 처리 공정, 포토 레지스트막 형성 공정, 정렬/노광 공정, 현상 공정, 및 검사 공정 등의 일련의 과정을 포함하고 있다.

한편, 패턴 형성 공정시 정확한 패턴 형성을 위해서는 패턴의 원판에 해당하는 마스크의 사용이 필수적이다. 패턴 형성 과정에서 마스크에는 여러가지 이유로 인해 이물질(파티클, 유기물, 포토 레지스트 잔류물 등)이 남게 마련이다.

특히 반도체 및 평판 디스플레이를 이루는 소자와 배선은 극도로 미세하기 때문에, 이물질이 마스크에 묻어 있는 상태에서 패턴을 형성하게 되면 정상적인 소자나 배선의 형성이 방해되고 이로 인해 반도체 및 평판 디스플레이의 불량이 발생되므로, 마스크에는 이물질이 부착되지 않도록 하는 것이 중요하다.

따라서 마스크의 사용 전, 후에는 마스크의 이물질 부착여부를 검사하는 마스크 검사 장치가 개발된 바 있다. 마스크 검사 장치는 카메라를 이용하여 마스크의 표면을 촬영하고 촬영된 마스크의 표면에 이물질의 부착 여부를 판단한다. 이때, 카메라가 마스크의 표면을 원활하게 촬영하기 위하여 마스크에 광을 조사하면서 마스크 검사 공정을 수행한다.

하지만 종래의 마스크 검사 장치는 단일 조명을 이용하여 마스크에 광을 조사한다. 따라서 종래의 마스크 검사 장치는 이물질의 종류에 따른 정밀한 분석이 곤란하고 해당 이물질의 종류에 따른 제거 방법이 선택되지 못하여 마스크에 부착된 이물질의 제거가 곤란한 문제점이 있다. 뿐만 아니라, 단일 조명을 사용하여 이물질을 검사하는 경우, 마스크에 형성된 패턴홀과 이물질이 혼동되는 경우도 발생하여 이물질 검사 공정의 신뢰도가 저하되는 문제점이 있다.

대한민국 공개특허 제2017-0023327호 (2017. 03. 03. 공개)

본 발명의 목적은 마스크에 부착된 이물질의 정밀한 분석이 가능하며, 마스크에 형성된 패턴홀과 이물질을 명확하게 식별할 수 있도록 한 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명에 따른 마스크 검사용 조명 장치는 마스크를 향해 복수의 제1광을 방출하는 복수의 제1광원과 상기 복수의 상기 제1광을 상기 마스크에 집광하는 제1미러를 포함하는 제1조명 및 상기 마스크를 향해 상기 제1광과 동축을 가지는 제2광을 방출하는 제2조명을 포함한다.

상기 제1미러는 상기 마스크를 향해 오목한 오목면을 가지고 상기 오목면으로 입사되는 복수의 제1광을 상기 마스크로 반사시켜 상기 복수의 제1광이 상기 마스크에 집광시킬 수 있다.

상기 제2조명은 상기 제1광의 광축의 일측방에 배치되는 제2광원 및 상기 제1광의 광축의 연장선 상에 배치되어 상기 제2광을 상기 마스크로 안내하는 제2미러를 포함할 수 있다.

상기 제1미러와 상기 제2미러는 상기 마스크로부터 반사되는 반사광을 투과시킬 수 있다.

상기 마스크 검사용 조명 장치는 상기 제1조명과 대향하여 상기 마스크를 향해 제3광을 방출하는 제3조명을 더 포함할 수 있다.

상기 제3조명은 상기 제3광을 선형으로 방출하는 제3광원을 포함할 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 마스크 검사 장치는 마스크를 지지하는 마스크 지지부, 상기 마스크의 표면을 촬영하여 상기 마스크의 이물질 부착 여부를 검사하는 검사부를 포함하되, 상기 검사부는 상기 마스크의 표면을 촬영하는 카메라, 상기 마스크를 향해 복수의 제1광을 방출하는 복수의 제1광원과 상기 복수의 상기 제1광을 상기 마스크에 집광하는 제1미러를 포함하는 제1조명 및 상기 마스크를 향해 상기 제1광과 동축을 가지는 제2광을 방출하는 제2조명을 포함한다.

상기 마스크 지지부는 상기 검사부에 대하여 상기 마스크를 일측 방향으로 이송하는 제1이송유닛을 포함할 수 있다.

상기 검사부는 상기 카메라, 상기 제1조명 및 상기 제2조명이 단위 검사조를 구성할 수 있다.

상기 단위 검사조는 복수로 마련되며, 복수의 상기 단위 검사조는 상기 마스크가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 배치될 수 있다.

상기 검사부는 상기 단위 검사조를 상기 마스크가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 이송하는 제2이송유닛을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치는 마스크에 부착된 이물질의 정밀한 검사가 가능하며, 마스크에 형성된 패턴홀과 이물질을 명확하게 식별할 수 있으므로, 이물질 종류에 따른 이물질의 정밀한 검사를 바탕으로 이물질을 원활하게 제거할 수 있으며, 마스크 검사 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치를 나타낸 정면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 승강유닛을 간략하게 나타낸 측면도이다.
도 4는 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 지지유닛과 정렬유닛을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 정렬유닛과 프레임을 나타낸 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 검사부를 나타낸 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 제 1조명과 제2조명을 나타낸 단면도이다.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이하, 본 발명에 따른 마스크 검사 장치에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치를 나타낸 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치를 나타낸 정면도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치(이하, '마스크 검사 장치'라 함.)는 OLED 제조에 사용하는 마스크(10)의 이물질을 검사하는 데 사용할 수 있다. 마스크(10)는 사각형의 판재로 이루어지고, 소정의 패턴 홀이 형성될 수 있다. 이러한 마스크(10)를 처리하기 위한 마스크 검사 장치는 마스크 지지부(100) 및 검사부(200)를 포함할 수 있다.

마스크 지지부(100)는 스테이지(110), 승강유닛(120), 지지유닛(130), 정렬유닛(140), 촬영유닛(150) 및 제1이송유닛(160)을 포함할 수 있다.

스테이지(110)는 마스크(10) 검사의 신뢰성을 확보하기 위해 평탄면을 제공한다. 스테이지(110)는 마스크(10)의 검사시 마스크(10)가 직선으로 이송할 수 있는 거리를 확보하기 위하여 장변과 단변을 가지는 직사각형의 정반으로 마련될 수 있다.

상술한 바와 같은 마스크(10)의 이물질 검사 공정 중에는 많은 구동계가 작동한다. 구동계의 작동에 따라 발생되는 이물질이 마스크 검사 장치의 내부에 잔존하게 되면 마스크(10)의 검사 공정이 원활하게 이루어지기 곤란한다. 따라서 마스크(10)의 검사 공정 중에 발생될 수 있는 이물질을 외부로 배출하기 위하여, 마스크 검사 장치의 구성요소 중 하부에 배치되는 스테이지(110)에는 이물질을 수집하는 수집홈(111)과, 수집홈(111)을 향해 개방되는 배출구(113)가 형성될 수 있다. 물론, 도시되지 않았지만 배출구(113)에는 이물질을 외부로 배출하는데 필요한 압력을 형성하는 배출펌프가 연결될 수 있다.

승강유닛(120)은 외부로부터 반입된 마스크(10)를 지지유닛(130)으로 전달한다.

도 3은 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 승강유닛을 간략하게 나타낸 측면도이다.

도 3을 참조하면, 승강유닛(120)은 지지대(121), 승강축(123), 동력전달축(124) 및 승강모터(125)를 포함할 수 있다. 지지대(121)와 승강축(123)은 마스크(10)를 평탄하고 안정적으로 지지하기 위하여 마스크(10)의 각 모서리부를 함께 지지하도록 복수로 마련될 수 있다. 지지대(121)는 외부로부터 로딩된 마스크(10)를 지지하기 위해 마스크(10)를 향해 돌출되고, 마스크(10)를 하강하여 후술될 지지유닛(130)에 전달한 후에는 마스크(10)의 외측으로 이탈되도록 슬라이딩 구동될 수 있다. 동력전달축(124)은 간편한 구성으로, 복수의 승강축(123)이 동일한 승강거리를 가지며 함께 승강시킬 수 있도록 승강모터(125)와 복수의 승강축(123)을 연결한다. 승강모터(125)는 마스크(10)의 승강을 위한 동력을 제공한다. 각 승강축(123)의 외경부에는 승강축(123)의 승강 구동에 따라 발생될 수 있는 이물질의 비산되는 것을 방지하기 위한 방진커버(126)가 설치될 수 있다. 방진커버(126)로는 승강축(123)의 승강 구동에 간섭하지 않으면서, 승강축(123)의 외경부를 감싸는 벨로우즈를 사용할 수 있다. 또한 승강축(123)과 동력전달축(124)의 사이에는 수평과 수직의 두 축을 연결하는 베벨기어와 같은 동력전달요소(127)가 설치되는데, 동력전달요소(127)를 구성하는 하우징에는 그 주변에서 비산되는 이물질을 흡입하여 외부로 배출하기 위한 다수의 흡입구(128)가 마련될 수 있다.

지지유닛(130)은 승강유닛(120)으로부터 전달되는 마스크(10)를 지지한다.

도 4는 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 지지유닛과 정렬유닛을 나타낸 사시도이며, 도 5는 본 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 정렬유닛과 프레임을 나타낸 평면도이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, 지지유닛(130)은 베이스(131), 자유축(132) 및 프레임(133)을 포함할 수 있다.

베이스(131)는 스테이지(110)에 지지된다. 베이스(131)는 지지판(131a)과 한쌍의 측벽(131b)으로 이루어질 수 있다. 지지판(131a)은 후술될 제3조명(240)이 마스크(10)를 향해 조명을 조사할 수 있도록 그 중앙부가 관통되는 사각틀 형태로 마련될 수 있다. 후술될 제1이송유닛(160)에 의해 마스크(10)의 이송이 가능하며, 지지판(131a)의 하측에 제3조명(240)의 설치가 가능하도록 한쌍의 측벽(131b)은 지지판(131a)을 스테이지(110)로부터 이격되도록 한다.

자유축(132)은 베이스(131)에 지지된다. 자유축(132)은 복수로 마련되며, 복수의 자유축(132)은 프레임(133)의 테두리부에 대응하는 위치에 분산 배치될 수 있다. 복수의 자유축(132)은 마스크(10)가 안착된 프레임(133)의 하중을 균일하게 분산시킨다. 이와 같이 프레임(133)을 지지하는 자유축(132)은 디스크(132a)와, 디스크(132a)의 하부에 배치되어 디스크(132a)를 구속하는 하우징(132b)으로 구성될 수 있다. 디스크(132a)는 하부면으로터 연장된 로드가 하우징(132b)의 내부에 구속되어 평면 방향으로 전방위 자유롭게 회전이 가능하고, 승강 구동이 가능하게 하우징(132b)에 구속될 수 있다. 하우징(132b)의 내부에는 공압을 공급함에 따라 디스크(132a)의 위치를 고정시키는 브레이크(미도시)가 설치될 수 있다.

프레임(133)은 마스크(10)를 지지한다. 프레임(133)은 마스크(10)를 평탄하고 안정적으로 지지하기 위해, 마스크(10)의 테두리부를 함께 지지할 수 있는 사각형 틀 형태로 마련될 수 있다. 프레임(133)은 마스크(10)를 정렬 공정 중에, 마스크(10)를 정렬하기 위한 구성요소, 예를 들어 자유축(132), 후술될 롤러(141a), 스톱퍼(142) 등과 같은 구성요소가 마스크(10)에 직접 접촉함에 따라 마스크(10)가 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한다.

정렬유닛(140)은 지지유닛(130)에 지지된 마스크(10)를 기 설정된 위치에 정렬한다. 정렬유닛(140)은 베이스(131)에 지지된다. 정렬유닛(140)은 모서리 가압기(141)를 포함할 수 있다. 모서리 가압기(141)는 프레임(133)에 안착된 마스크(10)를 기 설정된 위치에 정렬하기 위하여, 프레임(133)의 모서리를 가압한다. 즉, 모서리 가압기(141)는 프레임(133)의 모서리에 구름 접촉하는 롤러(141a)와, 롤러(141a)를 가압하는 모서리 가압용 실린더(141b)를 포함할 수 있다. 모서리 가압기(141)는 마스크(10)의 한 모서리에 대응하여 두 개씩 배치될 수 있다. 즉, 모서리 가압기(141)는 서로 이웃하는 프레임(133)의 이웃하는 두 변을 각각 가압하도록 배치될 수 있다.

다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 촬영유닛(150)은 마스크(10)에 마련된 정렬마크(11)를 촬영한다. 촬영유닛(150)은 스테이지(110)의 상측에 배치될 수 있다. 촬영유닛(150)에 의한 정렬마크(11)의 촬영 전, 정렬유닛(140)은 기 설정된 값에 따라 프레임(133)의 네 모서리를 가압하여 마스크(10)의 위치를 개략적으로 정렬하며, 촬영유닛(150)에 의한 정렬마크(11)의 촬영 후, 정렬유닛(140)은 정렬마크(11)의 촬영 결과에 따라 한 번 더 프레임(133)의 네 모서리를 가압하여 마스크(10)의 위치를 정밀하게 정렬할 수 있다.

이와 같이 마스크(10)의 개략 정렬 및 정렬 후에는, 정렬 상태를 유지해야 한다. 따라서 정렬유닛(140)은 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같은 스톱퍼(142)를 더 포함할 수 있다. 마스크(10)의 서로 대향하는 두 변에 대응하도록, 프레임(133)의 서로 대항하는 두 변의 외측에 각각 배치될 수 있다. 스톱퍼(142)는 프레임(133)의 외측벽을 가압하는 가압판(142a)과, 가압판(142a)을 가압하는 스톱퍼용 실린더(142b)를 포함할 수 있다.

제1이송유닛(160)은 지지유닛(130)을 일측 방향으로 이송한다. 제1이송유닛(160)은 스테이지(110)의 길이 방향으로 배치되는 레일(161)을 이용하여 지지유닛(130)을 직선 이송하는 리니어 액츄에이터(예를 들어, 랙 앤 피니온과 모터의 조합, 볼 스크류와 모터의 조합 등)의 형태로 마련될 수 있다.

한편, 스테이지(110)의 상측에는 갠트리(115)가 배치될 수 있다. 검사부(200)는 갠트리(115)에 지지된다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 검사부를 나타낸 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사 장치의 제 1조명과 제2조명을 나타낸 단면도이다.

도 6 및 도 7을 참조하면, 검사부(200)는 제1이송유닛(160)에 의해 이송되는 마스크(10)를 검사한다. 검사부(200)는 카메라(210), 제1조명(220), 제2조명(230), 제3조명(240) 및 제2이송유닛(250)을 포함할 수 있다.

카메라(210)는 마스크(10)의 표면을 촬영하여 마스크(10)의 표면에 대한 이미지를 획득한다. 카메라(210)로는 CCD(Charge Coupled Device) 촬상 소자를 사용할 수 있다.

제1조명(220)은 제1광원(221) 및 제1미러(212)를 포함할 수 있다. 제1미러(212)는 마스크(10)를 향해 오목한 오목면(212a)을 가지는 돔 구조를 가질 수 있다. 제1광원(221)은 제1미러(212)의 테두리부에 배치되어 오목면(212a)을 향해 제1광(L1)을 방출한다. 제1광(L1)은 오목면(212a)에 반사되어 마스크(10)로 입사될 수 있다. 이러한 제1조명(220)은 다수의 제1광원(221)이 방출하는 다수의 제1광(L1)을 마스크(10)에 집광할 수 있다. 따라서 제1조명(220)은 비교적 많은 광량, 또는 비교적 큰 광세기를 필요로 하는 경우(예를 들어 제2조명(220)으로는 이물질 판별이 애매한 경우)에 유용하게 사용할 수 있다.

제2조명(230)은 제1조명(220)의 상측에 배치된다. 제2조명(230)은 제2광원(231) 및 제2미러(232)를 포함할 수 있다. 제2광원(231)은 제2미러(232)의 일측방에 배치된다. 제2미러(232)는 제1광(L1)의 광축의 연장선 상에 배치될 수 있다. 제2미러(232)는 제2광원(231)으로부터 방출되는 제2광(L2)을 제1광(L1)과 동축 상에서 마스크(10)에 입사되도록 마스크(10)로 안내한다.

이와 같이 제1, 2광(L1, L2)은 마스크(10)로부터 반사되어 카메라(210)로 입사된다. 따라서 제1미러(212)와 제2미러(232)는 제1광원(221)과 제2광원(231)으로부터 방출되는 제1, 2광(L1, L2)은 반사시키고, 마스크(10)로부터 반사되는 반사광(RL)은 투과하는 광학미러를 사용할 수 있다.

하나의 카메라(210)와, 카메라(210)의 하측에 배치되는 하나의 제2조명(230) 및 제2조명(230)의 하측에 배치되는 하나의 제1조명(220)은 단위 검사조를 구성한다. 단위 검사조는 복수로 마련되며, 복수의 검사조는 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 배치될 수 있다. 복수의 검사조는 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향의 길이에 대응하는 영역을 한번에 촬영하여 검사 시간을 단축할 수 있도록 한다.

제3조명(240)은 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향의 길이를 가지는 선형의 제3광원(241)을 포함한다. 제3조명(240)은 지지유닛(130)의 하측에 배치되어 제1이송유닛(160)에 의해 이송되는 마스크(10)를 향해 선형의 제3광을 마스크(10)를 향해 조사한다. 제3광(L3)은 마스크(10)의 패턴 중 개구된 부위를 통과하며, 복수개의 검사조에 배치된 복수의 카메라(210)에 입사될 수 있다. 이러한 제3조명(240)은 패턴홀이 형성된 마스크(10)에서 이물질과 패턴홀의 판별시, 유용하게 사용할 수 있다. (도 2 참조.)

제2이송유닛(250)은 다양한 마스크(10)의 크기에 대응하기 위하여 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 검사부(200)를 이송한다. 제2이송유닛(250)은 레일의 역할을 하는 갠트리(115)의 수평 프레임과, 수평 프레임을 따라 이송가능하게 설치되는 리니어블럭(251)을 포함하며, 리니어블럭(251)을 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 직선 이송하는 포함하는 리니어 액츄에이터(예를 들어, 랙 앤 피니온과 모터의 조합, 볼 스크류와 모터의 조합 등)의 형태로 마련될 수 있다.

이와 같이 검사부(200)는 제1, 2, 3조명(220, 230, 240)을 포함하므로, 마스크(10)의 이물질의 종류에 따라 다른 광을 사용하여 마스크(10)의 정밀한 검사가 가능하다.

이하, 본 발명에 따른 마스크 검사 장치의 작용에 대해 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다.

도 8을 참조하면, 마스크(10)는 로봇암(미도시)에 지지되어 마스크 검사 장치로 로딩될 수 있다. 승강유닛(120)은 지지대(121)를 상승시켜 로봇암(미도시)으로부터 마스크(10)를 전달받는다. 마스크(10)가 지지대(121)에 지지되면, 로봇암(미도시)은 외부로 빠져나간다. 승강유닛(120)은 지지대(121)를 하강시킨다. 지지대(121)가 하강함에 따라 마스크(10)는 프레임(133)에 지지된다.

이때, 프레임(133)은 자유축(132)에 지지되므로, 마스크(10)는 평면 방향으로 전방위 자유롭게 회전가능하며, 승강 구동이 가능한 상태이다. 정렬유닛(140)은 모서리 가압기(141)를 구동시키고, 모서리 가압기(141)는 프레임(133)의 모서리를 가압하여 마스크(10)를 개략 정렬한다. 촬영유닛(150)은 마스크(10)에 마련된 정렬마크(11)를 촬영한다. 정렬유닛(140)은 정렬마크(11)의 촬영결과에 따라, 모서리 가압기(141)를 구동시키고, 모서리 가압기(141)는 프레임(133)의 모서리를 다시 한번 가압하여 마스크(10)를 정밀 정렬한다. 이와 같이 마스크(10)의 정밀 정렬이 수행되면, 스톱퍼(142)는 마스크(10)를 가압하여 마스크(10)가 지지유닛(130)에 견고하게 지지되는 상태를 유지시킨다.

제1이송유닛(160)은 마스크(10)를 일측 방향으로 이송한다. 제1이송유닛(160)이 마스크(10)를 이송함에 따라 마스크(10)는 검사부(200)의 하측을 통과하며, 검사부(200)는 마스크(10)의 표면을 촬영한다.

이때, 마스크(10) 검사에 사용하는 조명은 제2조명(230)을 기본으로 설정할 수 있다. 제2조명(230)을 사용하여 마스크(10)의 검사 결과, 마스크(10)에 이물질이 부착된 것으로 판단되면 제1조명(220)을 사용하여 해당 위치에 집중광을 입사하여, 이물질의 재질, 종류 등과 같이 보다 정밀한 검사가 가능하다. 또한 마스크(10)에 패턴홀이 형성됨에 따라 반사광(RL)만으로 이물질의 판단이 불분명한 경우에는 제3조명(240)을 사용하여 이물질을 보다 명확하게 판단할 수 있다.

물론, 상술한 바와 같이 제1조명(220), 제2조명(230) 및 제3조명(240) 중 어느 하나의 조명만을 사용하여 마스크(10) 검사를 수행할 수 있으나, 필요에 따라 복수의 조명을 함께 선택하여 마스크(10)를 향해 광을 조사할 수 있다. 이와 같이 마스크(10)로부터 반사되거나 마스크(10)를 투과하는 광은 카메라(210)에 입사되고 카메라(210)는 마스크(10)의 표면을 촬영할 수 있다.

이때, 마스크(10)가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 배치된 복수의 검사조만으로 마스크(10)의 전면적에 대한 촬영이 가능하다면, 제2이송유닛(250)은 복수의 검사조를 이송하지 않아도 좋다. 다만, 복수의 검사조만으로 마스크(10)의 전면적에 대한 촬영이 부족한 경우, 제1이송유닛(160)은 마스크(10)의 이송동작을 간헐적으로 수행하며, 제2이송유닛(250)은 복수의 검사조를 마스크가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 이송하면서 마스크(10)의 전면적에 대한 촬영을 수행할 수 있다.

이와 같이 마스크(10)의 전면적에 대한 촬영이 완료되고 마스크(10)의 표면에 이물질이 검출되면, 도시되지 않은 리페어 장치를 이용하여 이물질을 연소시키거나, 분쇄하여 마스크(10)의 표면으로부터 이물질을 제거할 수 있다.

상술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 검사용 조명 장치 및 이를 이용한 마스크 검사 장치는 마스크에 부착된 이물질의 정밀한 검사가 가능하며, 마스크에 형성된 패턴홀과 이물질을 명확하게 식별할 수 있으므로, 이물질 종류에 따른 이물질의 정밀한 검사를 바탕으로 이물질을 원활하게 제거할 수 있으며, 마스크 검사 공정의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.

앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.

10 : 마스크 11 : 정렬마크
100 : 마스크 지지부 110 : 스테이지
111 : 수집홈 113 : 배출구
115 : 갠트리 120 : 승강유닛
121 : 지지대 123 : 승강축
124 : 동력전달축 125 : 승강모터
126 : 방진커버 127 : 동력전달요소
128 : 흡입구 130 : 지지유닛
131 : 베이스 131a : 지지판
131b : 측벽 132 : 자유축
132a : 디스크 132b : 하우징
133 : 프레임 140 : 정렬유닛
141 : 모서리 가압기 141a : 롤러
141b : 모서리 가압용 실린더 142 : 스톱퍼
142a : 가압판(142a) 142b : 스톱퍼용 실린더
150 : 촬영유닛 160 : 제1이송유닛
161 : 레일 200 : 검사부
210 : 카메라 220 : 제1조명
211 : 제1광원 212 : 제1미러
212a : 오목면 230 : 제2조명
231 : 제2광원 232 : 제2미러
240 : 제3조명 241 : 제3광원
250 : 제2이송유닛 251 : 리니어블럭
L1 : 제1광 L2 : 제2광
L3 : 제3광 RL : 반사광

Claims

마스크를 향해 복수의 제1광을 방출하는 복수의 제1광원과, 상기 복수의 상기 제1광을 상기 마스크에 집광하는 제1미러를 포함하는 제1조명;및
상기 마스크를 향해 상기 제1광과 동축을 가지는 제2광을 방출하는 제2조명;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1미러는
상기 마스크를 향해 오목한 오목면을 가지고 상기 오목면으로 입사되는 복수의 제1광을 상기 마스크로 반사시켜 상기 복수의 제1광이 상기 마스크에 집광시키는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
제2항에 있어서,
상기 제2조명은
상기 제1광의 광축의 일측방에 배치되는 제2광원;및
상기 제1광의 광축의 연장선 상에 배치되어 상기 제2광을 상기 마스크로 안내하는 제2미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
제3항에 있어서,
상기 제1미러와 상기 제2미러는 상기 마스크로부터 반사되는 반사광을 투과시키는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1조명과 대향하여 상기 마스크를 향해 제3광을 방출하는 제3조명을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
제5항에 있어서,
상기 제3조명은
상기 제3광을 선형으로 방출하는 제3광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사용 조명 장치.
마스크를 지지하는 마스크 지지부;
상기 마스크의 표면을 촬영하여 상기 마스크의 이물질 부착 여부를 검사하는 검사부;를 포함하되,
상기 검사부는
상기 마스크의 표면을 촬영하는 카메라;
상기 마스크를 향해 복수의 제1광을 방출하는 복수의 제1광원과 상기 복수의 상기 제1광을 상기 마스크에 집광하는 제1미러를 포함하는 제1조명;및
상기 마스크를 향해 상기 제1광과 동축을 가지는 제2광을 방출하는 제2조명;을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1미러는
상기 마스크를 향해 오목한 오목면을 가지고 상기 오목면으로 입사되는 복수의 제1광을 상기 마스크로 반사시켜 상기 복수의 제1광이 상기 마스크에 집광시키는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제8항에 있어서,
상기 제2조명은
상기 제1광의 광축의 일측방에 배치되는 제2광원;및
상기 제1광의 광축의 연장선 상에 배치되어 상기 제2광을 상기 마스크로 안내하는 제2미러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제9항에 있어서,
상기 제1미러와 상기 제2미러는 상기 마스크로부터 반사되는 반사광을 투과시키는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1조명과 대향하여 상기 마스크를 향해 제3광을 방출하는 제3조명을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제11항에 있어서,
상기 제3조명은
상기 제3광을 선형으로 방출하는 제3광원을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제11항에 있어서,
상기 마스크 지지부는 상기 검사부에 대하여 상기 마스크를 일측 방향으로 이송하는 제1이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제13항에 있어서,
상기 검사부는 상기 카메라, 상기 제1조명 및 상기 제2조명이 단위 검사조를 구성하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제14항에 있어서,
상기 단위 검사조는 복수로 마련되며,
복수의 상기 단위 검사조는 상기 마스크가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.
제14항에 있어서,
상기 검사부는
상기 단위 검사조를 상기 마스크가 이송하는 방향에 교차하는 방향으로 이송하는 제2이송유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 마스크 검사 장치.