KR20180099264A - Support bar and substrate loading cassette having the same - Google Patents

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Abstract

A support bar is provided. The support bar is installed in a substrate loading cassette to support a substrate, and comprises: a body of which a hollow portion is formed in the inside, and a substrate is supported on one surface; and a honeycomb structure arranged in the body to increase rigidity of the body.

Description

서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트{Support bar and substrate loading cassette having the same}Technical Field [0001] The present invention relates to a support bar and a cassette for supporting the same,

본 발명은 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a support bar and a cassette for loading a substrate having the support bar.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.In general, a liquid crystal panel of a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode in a pixel region defined by a gate wiring and a data wiring, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode, And a liquid crystal layer interposed between the substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device having such a structure can be divided into three processes: a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화 된다. 박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.First, the substrate manufacturing process is divided into a thin film transistor fabrication process and a color filter fabrication process. The thin film transistor fabrication process refers to a process for fabricating a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on a lower substrate. In the color filter fabrication process, a dye or a pigment is applied to an upper substrate on which a black matrix is formed to form R, G, Forming a color filter layer and forming a common electrode.

또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.In addition, the cell process is a process of manufacturing a cell of a liquid crystal display device by dispersing spacers such that spacers are spaced apart from each other and injecting liquid crystals so as to maintain a constant gap between the lower substrate on which the thin film transistor process is completed and the upper substrate on which the color filter process is completed It says.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다.Finally, the module process refers to a process for manufacturing a module for signal processing and a module for connecting a liquid crystal display panel and a signal processing circuit portion.

이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.The manufacturing process of the liquid crystal display device requires a means for temporarily storing the substrate when the substrate is transferred to the corresponding process equipment to transfer the substrate to the next process equipment.

이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 다수의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 다수의 서포트 바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다. A cassette is mainly used as a means to cope with this, by which a plurality of substrates can be stacked one by one and transported at a time. At this time, a plurality of support bars are attached to the cassette in a height direction so that a plurality of substrates can be stacked in a spaced apart form.

종래의 서포트 바는 기판의 적재시 그 구조, 구성 상의 한계에 기인하여 길이방향으로 과도한 처짐 현상이 발생하고, 이로 인해 표면이 균열 및 파단되어 기판을 손상시키게 되는 문제점이 있으며, 처짐 현상에 의해 하단에 위치한 다른 기판을 훼손시키는 문제점이 있었다.The conventional support bar has a problem that excessive sagging occurs in the longitudinal direction due to the structure and configuration of the substrate when the substrate is stacked and the surface is cracked and broken to damage the substrate, The other substrate located in the substrate is damaged.

또한, 처짐 현상을 방지하기 위해서 종래의 서포트바는 탄소섬유 강화플라스틱(Carbon Fiber Reinforced Plastics, CFRP) 층을 여러 겹 감았으나, 이렇게 탄소섬유 강화플라스틱을 여러 겹 감는 것은 서포트 바의 원가를 상승시키는 원인이 된다.In order to prevent sagging, a conventional support bar is made of multiple layers of carbon fiber reinforced plastics (CFRP) layers. However, such multiple folding of carbon fiber reinforced plastics may cause the support bar to increase in cost .

본 발명의 일 실시예는 처짐 현상을 방지하기 위해 강성을 증가시키는 동시에 고가의 탄소섬유 강화플라스틱(Carbon Fiber Reinforced Plastics, CFRP) 층을 감소시킬 수 있는 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention provides a support bar capable of reducing the number of expensive carbon fiber reinforced plastics (CFRP) layers while increasing rigidity to prevent sagging, and a cassette for loading a substrate with the support bar I want to.

본 발명의 일 측면에 따르면 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트 바로서, 내부에 중공부가 형성되고 일면에 상기 기판을 지지하는 몸체; 및 상기 몸체의 내부에 배치되어 상기 몸체의 강성을 증가시키기 위한 허니컴 구조체를 포함하는 서포트 바를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a support bar for supporting a substrate, the support bar being installed in a cassette for mounting a substrate, having a hollow portion formed therein and supporting the substrate on one surface thereof; And a honeycomb structure disposed inside the body to increase the rigidity of the body.

이때, 상기 허니컴 구조체는 중심부에 관통홀이 형성된 기둥부가 복수개로 구비되고, 상기 복수개의 기둥부가 서로 나란하게 연결될 수 있다. At this time, the honeycomb structure may have a plurality of pillar portions having a through hole at the central portion thereof, and the plurality of pillar portions may be connected to each other in parallel.

이때, 상기 허니컴 구조체는 상기 복수개의 기둥부의 상부면에 결합되는 상부 플레이트 및 상기 복수개의 기둥부의 하부면에 결합되는 하부 플레이트 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.At this time, the honeycomb structure may include at least one of an upper plate coupled to an upper surface of the plurality of posts and a lower plate coupled to a lower surface of the plurality of posts.

이때, 상기 복수개의 기둥부 각각은 6각형 또는 원형으로 이루어질 수 있다. At this time, each of the plurality of pillars may be hexagonal or circular.

이때, 상기 몸체의 외측면에는 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층으로 적층될 수 있다.At this time, the outer surface of the body may be laminated with a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer.

이때, 상기 몸체의 외측면에는 유리섬유 강화플라스틱(GFRP) 층 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층이 순차적으로 적층되되, 상기 유리섬유 강화플라스틱(GFRP) 층의 두께는 상기 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층의 두께보다 작을 수 있다.At this time, a glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer and a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer are sequentially laminated on the outer side of the body, and the thickness of the glass fiber reinforced plastic (GFRP) ) Layer. ≪ / RTI >

이때, 상기 복수개의 기둥부는 상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트와 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착될 수 있다.At this time, the plurality of pillars may be bonded to at least one of the upper plate and the lower plate by thermal fusion, ultrasonic fusion, or an adhesive.

본 발명의 다른 측면에 따르면 상부 프레임; 하부 프레임; 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 복수개의 지지대 및 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하고 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 타측면에 수직 방향으로 결합되어 수직 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판을 지지하는 전술한 서포트 바;를 포함하는 기판 적재용 카세트를 제공한다.According to another aspect of the present invention, A lower frame; A plurality of supports vertically coupled to one side surface of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame and the lower frame, And the above-described support bar which is vertically coupled to the other side of the lower frame and installed at regular intervals along the vertical direction to support the substrate.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 허니컴 구조체를 포함하여 서포트 바의 강성을 증가시킴과 동시에 고가의 탄소섬유 강화플라스틱 층을 감소시켜서 원가를 절감할 수 있고 하중을 분산시켜 처짐 현상을 방지함으로써 기판의 손상을 방지할 수 있다.The support bar and the cassette for mounting the substrate having the support bar according to the embodiment of the present invention include the honeycomb structure to increase the rigidity of the support bar and reduce the cost of the expensive carbon fiber reinforced plastic layer, It is possible to prevent the substrate from being damaged by preventing the deflection phenomenon.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트는 허니컴 구조체를 포함하여 서포트 바의 두께를 감소시키고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.In addition, the support bar according to the embodiment of the present invention and the cassette for mounting the substrate having the support bar according to an embodiment of the present invention can reduce the thickness of the support bar including the honeycomb structure, reduce the overall weight, and can be easily manufactured.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 허니컴 구조체를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 기둥부 및 하부 플레이트를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a substrate loaded on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a honeycomb structure of a support bar according to an embodiment of the present invention.
5 is a perspective view illustrating a column and a lower plate of a support bar according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof. Also, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, or the like is referred to as being "on" another section, it includes not only the case where it is "directly on" another part but also the case where there is another part in between. On the contrary, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, etc. is referred to as being "under" another section, this includes not only the case where the section is "directly underneath"

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing a substrate mounted on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 설명함에 있어, 본 명세서에서 카세트에 기판이 적재되는 방향을 카세트의 전방이라 하고, 그 반대 방향을 후방이라고 규정하여 설명한다.In describing the cassette for carrying a substrate according to an embodiment of the present invention, the direction in which the substrate is loaded on the cassette is referred to as the front of the cassette and the opposite direction is defined as the rear.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직 프레임(8), 봉 부재(9), 허니컴 구조체(30) 및 서포트 바(10)를 포함할 수 있다.1, a cassette 1 for loading a substrate with a support bar 10 according to an embodiment of the present invention includes an upper frame 2, a lower frame 3, a support frame 7, 8, a rod member 9, a honeycomb structure 30, and a support bar 10.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 기판(5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the cassette 1 for loading a substrate with the support bar 10 according to the embodiment of the present invention can be used for loading and unloading the substrate 5 and stably loading the substrate during the process of re- Thereby preventing the substrate from being defective during a series of production processes.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.Referring to FIG. 1, in an embodiment of the present invention, the upper frame 2 and the lower frame 3 may each be formed in a plate shape. At this time, the upper frame 2 and the lower frame 3 are formed similarly to the substrate 5, and can stably support the substrate.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.That is, as shown in FIG. 1, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed in a rectangular shape. In order to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, a plurality of supports 7 may be vertically coupled to both sides of the upper frame and the lower frame.

이때 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다. 또한 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉 부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다. At this time, the plurality of supports 7 are formed in a bar shape and can be arranged to be spaced apart in the lateral direction of the upper frame 2 and the lower frame 3. Further, a plurality of support members 7 may be provided with a plurality of bar members 9 at regular intervals along the vertical direction to support a peripheral portion of the substrate 5 having a rectangular shape.

도 2를 참고하면, 봉 부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임 및 하부 프레임과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다. 이때 봉 부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판을 지지할 수 있다.2, the rod member 9 is protruded in the inner direction of the upper frame 2 and the lower frame 3 in the form of a bar, and a plurality of the rod members 9 are arranged in parallel with the upper frame and the lower frame, . ≪ / RTI > At this time, the rod member 9 can be disposed perpendicular to the side surface of the substrate 5 to support the substrate.

한편 도 1을 참고하면, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 방향으로연결하고 서포트 바(10)을 설치하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 후면에 복수개의 수직 프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.1, a plurality of vertical frames 8 are vertically arranged on the rear surfaces of the upper frame and the lower frame so as to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, Lt; / RTI >

이때 수직 프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트 바(10)의 체결부재(21)와 결합될 수 있다.At this time, the vertical frame 8 is formed in an H-shaped vertical section and can be coupled to the fastening member 21 of the support bar 10 to be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 몸체(11), 체결부(20) 및 허니컴 구조체(30)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.The support bar 10 according to an embodiment of the present invention may include a body 11, a fastening portion 20, and a honeycomb structure 30. In one embodiment of the present invention, the support bars 10 may be provided at regular intervals along the vertical direction of the plurality of vertical frames 8 to support the substrate 5.

도 2를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉 부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판의 중앙부가 아래로 처져 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트 바(10)를 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be disposed between a plurality of the rod members 9. This is because when the both ends of the substrate 5 are supported by only the rod member 9, the central portion of the substrate is lowered and the substrate may collide with the robot or the like which loads or unloads the substrate to or from the cassette 1, Can be disposed between the plurality of bar members 9 to prevent such a danger.

이때, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 서포트 바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉 부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉 부재(9)와 함께 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.1 and 2, the support bar 10 is disposed at the same height as the rod member 9 supporting the substrate 5 so that the substrate together with the rod member 9 is parallel And the like.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 허니컴 구조체를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 기둥부 및 하부 플레이트를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention. 4 is a perspective view illustrating a honeycomb structure of a support bar according to an embodiment of the present invention. 5 is a perspective view illustrating a column and a lower plate of a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 내부에 중공부가 형성된 바 형상의 몸체(11)를 포함할 수 있다. 이때, 몸체(11) 내부에 중공부가 형성되어 원자재를 절감할 수 있고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.1 and 3, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may include a bar-shaped body 11 having a hollow portion formed therein. At this time, a hollow portion is formed inside the body 11, so that the raw material can be saved, the overall weight can be reduced, and the manufacturing can be facilitated.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다.In addition, the body 11 may be formed in a rectangular column shape having a rectangular cross section, but is not limited thereto, and may be formed in a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, or the like.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 외측면에는 유리섬유 강화플라스틱(Glass Fiber Reinforced Plastic, GFRP)층, 탄소섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP)층 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, a glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer, a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer, and a metal thin film are laminated on the outer surface of the body 11 And may be formed in multiple layers.

또한, 본 발명의 일 실시에에서 몸체(11)의 외측면은 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층 만으로 형성될 수도 있고, 유리섬유 강화플라스틱(GFRP)층 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층으로 형성될 수 있다.The outer surface of the body 11 may be formed of a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer, a glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer and a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer. .

이때, 본 발명의 일 실시에에서 몸체(11)의 외측면이 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층으로 구비되는 경우 몸체 내부에 허니컴 구조체(30)가 배치됨으로써 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께는 종래의 서포트 바에 비해서 감소될 수 있다.In this case, when the outer surface of the body 11 is formed of a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer, the honeycomb structure 30 is disposed inside the body, Can be reduced as compared to a conventional support bar.

즉, 종래의 서포트 바에 사용되는 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께가 3t인 경우 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(20)에 사용되는 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께는 1.5t 내지 2.0t일 수 있다. 이때, 두께를 나타내는 t값은 서포트 바가 지지하는 제품마다 달라질 수 있다.That is, when the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer used in the conventional support bar is 3t, the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer used in the support bar 20 according to the embodiment of the present invention is 1.5 t to 2.0t. At this time, the t value indicating the thickness may be different for each product supported by the support bar.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 허니컴 구조체(30)가 내부에 배치됨으로써 종래의 서포트 바에 비해서 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께를 감소시키면서도 단면계수(section modulus)값을 높여서 처짐 현상을 방지할 수 있다.In addition, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention has a honeycomb structure 30 in which the section bar modulus is reduced while reducing the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer as compared with the conventional support bar, It is possible to prevent the deflection phenomenon by increasing the value.

이때, 본 발명의 일 실시에에서 몸체(11)의 외측면이 유리섬유 강화플라스틱(GFRP)층 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층으로 구비되는 경우 유리섬유 강화플라스틱(GFRP)층의 두께는 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께보다 얇을 수 있다.In this case, when the outer surface of the body 11 is formed of a glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer and a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer, the thickness of the glass fiber reinforced plastic (GFRP) May be thinner than the thickness of the fiber reinforced plastic (CFRP) layer.

즉, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 외측면은 유리섬유 강화플라스틱(GFRP)층의 두께가 0.25t 내지 0.5t이면, 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께는 1.5t 내지 3.5t일 수 있다. 이때, 두께를 나타내는 t값은 서포트 바가 지지하는 제품마다 달라질 수 있다.That is, in an embodiment of the present invention, if the thickness of the glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer is 0.25 t to 0.5 t, the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer is 1.5 to 3.5 t. At this time, the t value indicating the thickness may be different for each product supported by the support bar.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 허니컴 구조체(30)가 내부에 배치됨으로써 종래의 서포트 바에 비해서 유리섬유 강화플라스틱(GFRP)층의 두께 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP)층의 두께를 감소시키면서도 단면계수(section modulus)값을 높여서 처짐 현상을 방지할 수 있다.The support bar 10 according to the embodiment of the present invention can reduce the thickness of the glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer and the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer compared to the conventional support bar by arranging the honeycomb structure 30 inside. The section modulus value can be increased to prevent the deflection phenomenon.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 몸체를 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합하기 위해서 체결부(20)가 형성될 수 있다. 3, in order to engage the body with the vertical frame 8 of the cassette 1, at a rear end of the body, for example, at one end of the body 11, (20) may be formed.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)를 지지대(7)에 고정시켜 서포트 바의 상부면에 기판(5)을 적재할 수 있도록 한다. 이때 서포트 바(10)는 체결부(20)와 일체로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 체결부와 별도로 결합될 수 있다.Thus, in one embodiment of the present invention, the support bar 10 is fixed to the support 7 so that the substrate 5 can be loaded on the upper surface of the support bar. At this time, the support bar 10 may be integrally formed with the fastening part 20, but it is not limited thereto and may be separately connected to the fastening part.

한편, 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(20)는 체결부재(21) 및 돌출부(23)를 구비할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(21)는 단면이 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.3, the fastening portion 20 may include a fastening member 21 and a protruding portion 23 in one embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, in an embodiment of the present invention, the fastening member 21 is formed in a hexagonal shape in cross section and may be made of a non-ferrous metal such as an aluminum alloy or a stainless steel alloy.

또한, 도 1을 참고하면 체결부재(21)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(22)이 형성될 수 있다.1, a plurality of bolt insertion holes 22 may be formed on both side surfaces and rear surface of the fastening member 21 so as to be screwed with the vertical frame 8.

이때, 체결부재(21)의 볼트 삽입홀(22)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때 수직 프레임(8)은 체결부재(21)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(22)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.At this time, the bolt is fastened to the bolt insertion hole 22 of the fastening member 21 and can be coupled to the vertical frame 8. At this time, the vertical frame 8 may be formed with a bolt hole (not shown) at a position corresponding to the bolt insertion hole 22 of the fastening member when engaged with the fastening member 21.

도 3을 참고하면, 체결부재(21)의 전면에는 돌출부(23)가 전방측으로 돌출 형성될 수 있다. 이때 돌출부(23)는 바 형상으로 단면이 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 3, protrusions 23 may protrude forward from the front surface of the fastening member 21. At this time, the projecting portion 23 may be bar-shaped and have a rectangular cross section, but the present invention is not limited thereto.

한편, 몸체(11)는 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 삽입구(12)가 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 삽입구(12)는 돌출부(23)의 외측면과 대응되도록 형성되어 돌출부가 삽입구에 삽입되어 체결부재(21)와 몸체(11)가 결합될 수 있다. Meanwhile, the body 11 may have an insertion port 12 formed at one end portion, for example, as shown in FIG. 3, at a rear side end portion of the body. In this case, in the embodiment of the present invention, the insertion port 12 is formed so as to correspond to the outer surface of the protrusion 23, and the protrusion can be inserted into the insertion port so that the coupling member 21 and the body 11 can be coupled.

도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(23)는 상부 양 측면에 삽입홈(23a)이 형성될 수 있다. 이때 삽입홈(23a)는 돌출부(23)의 수평방향으로 연장 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the projecting portion 23 may have an insertion groove 23a formed on both upper and lower sides thereof. At this time, the insertion groove 23a may be formed to extend in the horizontal direction of the protrusion 23.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)의 삽입구(12)에 돌출부(23)가 삽입되어 결합될 때 삽입홈(23a)에 의해 서포트 바의 팁 부재(14)가 돌출부에 간섭되지 않고 결합될 수 있다. As a result, when the protrusion 23 is inserted into the insertion port 12 of the support bar 10 according to the embodiment of the present invention, the tip member 14 of the support bar is interfered with the protrusion by the insertion groove 23a But can be combined.

또한 이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)가 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합되어 고정될 수 있다. Also, the body 11 can be fixedly coupled to the vertical frame 8 of the cassette 1 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 타단부 예를 들어 전방측 단부에는 몸체를 밀봉하기 위해 밀봉부재(미도시)와 결합될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, in the embodiment of the present invention, the other end of the body 11, for example, the front end, may be coupled with a sealing member (not shown) to seal the body.

한편, 도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 허니컴 구조체(30)는 서포트 바(10)의 몸체(11) 내부에 형성된 중공부에 배치될 수 있다. 이때, 허니컴 구조체(30)는 상부 플레이트(33), 하부 플레이트(35) 및 기둥부(31)를 포함할 수 있다. 3, the honeycomb structure 30 may be disposed in a hollow portion formed inside the body 11 of the support bar 10 in an embodiment of the present invention. At this time, the honeycomb structure 30 may include an upper plate 33, a lower plate 35, and a column 31.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 허니컴 구조체(30)가 배치됨으로써 서포트 바의 강성을 증가시킴과 동시에 탄소섬유강화플라스틱 층을 감소시켜서 원자재를 절감할 수 있고, 하중을 분산시켜 처짐 현상을 방지함으로써 기판의 손상을 방지할 수 있다. The support bar 10 according to the embodiment of the present invention can increase the rigidity of the support bar and reduce the carbon fiber reinforced plastic layer by arranging the honeycomb structure 30 so that the raw material can be saved and the load can be dispersed It is possible to prevent the substrate from being damaged by preventing the deflection phenomenon.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 허니컴 구조체(30)를 포함하여 서포트 바의 두께를 감소시키고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.In addition, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may include the honeycomb structure 30 to reduce the thickness of the support bar, to reduce the overall weight, and to facilitate fabrication.

도 3 내지 도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35)는 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35)는 몸체(11)의 중공부와 대응되게 형성되어 몸체(11)의 내부에 용이하게 안착될 수 있다.3 to 5, in an embodiment of the present invention, the upper plate 33 and the lower plate 35 may be formed in a plate shape. In this case, the upper plate 33 and the lower plate 35 may be formed to correspond to the hollow portion of the body 11 and be easily seated in the body 11 in an embodiment of the present invention.

또한, 본 발명의 일 실시예에서 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35)는 각각 몸체(11) 내부에서 배치되어 기둥부(31)를 안정적으로 지지할 수 있다.In the embodiment of the present invention, the upper plate 33 and the lower plate 35 may be disposed inside the body 11 to stably support the column 31.

도 4에 도시된 바와 같이 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35)는 직사각형 형상으로 형성될 수 있으나 몸체(11)의 내부에 형성된 중공부에 대응되도록 형성되어 몸체 내부에 안착될 수 있다면 이에 한정되지 않는다. 또한 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35) 사이에는 기둥부(31)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.As shown in FIG. 4, the upper plate 33 and the lower plate 35 may have a rectangular shape. However, the upper plate 33 and the lower plate 35 may be formed to correspond to hollows formed inside the body 11, It does not. The column portion 31 may be vertically coupled between the upper plate 33 and the lower plate 35.

도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 기둥부(31)는 기둥형상으로 단면이 육각형, 원형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 기둥부(31)는 중심부에 상하방향으로 관통되는 관통홀(31a)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 5, in one embodiment of the present invention, the columnar portion 31 may have a columnar shape and a hexagonal cross-section, but is not limited thereto. At this time, in the embodiment of the present invention, the columnar portion 31 may have a through hole 31a penetrating through the center portion in the vertical direction.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 기둥부(31)에 관통홀(31a)이 형성됨으로써 서포트 바의 제작과정 중 사용되는 레진 등이 압축 시 관통홀(31a)에 스며들어 전체적인 서포트 바의 두께를 감소시킬 수 있다.The support bar 10 according to the embodiment of the present invention has the through hole 31a formed in the pillar 31 so that the resin used during the manufacturing process of the support bar permeates the through hole 31a during compression, The thickness of the support bar can be reduced.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 허니컴 구조체(30)를 포함하여 몸체(11)의 외측면에 다층으로 형성된 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층으로 형성되거나 유리섬유 강화플라스틱 (GFRP)층 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층으로 형성될 수 있다.The support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be formed of a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer formed on the outer surface of the body 11 including the honeycomb structure 30, (GFRP) layer and a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 기둥부(31)는 복수 개로 형성될 수 있고, 복수 개의 기둥부(31)가 서로 측 방향으로 나란하게 연결되어 격자 형태로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the columnar portions 31 may be formed in a plurality of columns, and the plurality of columnar portions 31 may be formed in a lattice shape by being connected to each other in a lateral direction.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 강성을 증가시킴과 동시에 탄소섬유강화플라스틱 층을 감소시켜서 원자재를 절감할 수 있고, 하중을 분산시켜 처짐 현상을 방지함으로써 기판의 손상을 방지할 수 있다. As a result, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention increases the rigidity and reduces the carbon fiber-reinforced plastic layer, thereby reducing the raw material, and by preventing the sagging phenomenon by distributing the load, .

또한, 본 발명의 일 실시예에서 복수개의 기둥부(31)의 상부측 및 하부측에는 각각 상부 플레이트(33) 및 하부 플레이트(35)가 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착되어 기둥부(31)를 상부 플레이트 및 하부 플레이트 사이에서 안정적으로 지지할 수 있다.In an embodiment of the present invention, the upper plate 33 and the lower plate 35 are adhered to each other by at least one of heat sealing, ultrasonic sealing and adhesive on the upper side and the lower side of the plural column portions 31, 31) can be stably supported between the upper plate and the lower plate.

이때, 접착제는 에폭시일 수 있으나 이에 한정되지 않고 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.In this case, the adhesive may be epoxy, but not limited thereto, and may be formed of a urethane-based material or a silicon material.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 5 : 기판
7 : 지지대 8 : 수직 프레임
9 : 봉 부재 10 : 서포트 바
11 : 몸체 12 : 삽입구
20 : 체결부 21 : 체결부재
22 : 볼트 삽입홀 23 : 돌출부
30 : 허니컴 구조체 31 : 기둥부
31a : 관통홀 33 : 상부 플레이트
35 : 하부 플레이트1: Cassette for loading substrates 2: Upper frame
3: lower frame 5: substrate
7: Support frame 8: Vertical frame
9: Rod member 10: Support bar
11: Body 12:
20: fastening part 21: fastening member
22: bolt insertion hole 23:
30: Honeycomb structure 31:
31a: through hole 33: upper plate
35: Lower plate

Claims (8)

기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트 바로서,
내부에 중공부가 형성되고 일면에 상기 기판을 지지하는 몸체; 및
상기 몸체의 내부에 배치되어 상기 몸체의 강성을 증가시키기 위한 허니컴 구조체를 포함하는 서포트 바.A support bar provided in the cassette for substrate loading and supporting the substrate,
A body having a hollow portion formed therein and supporting the substrate on one surface thereof; And
And a honeycomb structure disposed inside the body to increase rigidity of the body. 제1 항에 있어서,
상기 허니컴 구조체는
중심부에 관통홀이 형성된 기둥부가 복수개로 구비되고, 상기 복수개의 기둥부가 서로 나란하게 연결되는 서포트 바.The method according to claim 1,
The honeycomb structure
A support bar having a plurality of pillar portions formed with through holes at the center thereof and the plurality of pillar portions being connected to each other in parallel. 제2 항에 있어서,
상기 허니컴 구조체는
상기 복수개의 기둥부의 상부면에 결합되는 상부 플레이트 및
상기 복수개의 기둥부의 하부면에 결합되는 하부 플레이트 중 적어도 하나를 포함하는 서포트 바. 3. The method of claim 2,
The honeycomb structure
An upper plate coupled to an upper surface of the plurality of posts,
And a lower plate coupled to a lower surface of the plurality of posts. 제2 항에 있어서,
상기 복수개의 기둥부 각각은 6각형 또는 원형으로 이루어지는 서포트 바.3. The method of claim 2,
Wherein each of the plurality of pillars has a hexagonal or circular shape. 제1 항에 있어서,
상기 몸체의 외측면에는 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층으로 형성되는 서포트 바.The method according to claim 1,
And a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer is formed on the outer surface of the body. 제1 항에 있어서,
상기 몸체의 외측면에는 유리섬유 강화플라스틱(GFRP) 층 및 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층이 순차적으로 적층되고,
상기 유리섬유 강화플라스틱(GFRP) 층의 두께는 상기 탄소섬유 강화플라스틱(CFRP) 층의 두께보다 작은 서포트 바.The method according to claim 1,
A glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer and a carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer are sequentially laminated on the outer side of the body,
Wherein the thickness of the glass fiber reinforced plastic (GFRP) layer is less than the thickness of the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) layer. 제2 항에 있어서,
상기 복수개의 기둥부는
상기 상부 플레이트 및 상기 하부 플레이트와 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착되는 서포트 바.3. The method of claim 2,
The plurality of pillars
Wherein the support bar is adhered to at least one of the upper plate and the lower plate by thermal fusion, ultrasonic fusion, or an adhesive. 상부 프레임;
하부 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 복수개의 지지대; 및
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하고 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 타측면에 수직 방향으로 결합되어 수직 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판을 지지하는 제1 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 따른 서포트 바;를 포함하는 기판 적재용 카세트.An upper frame;
A lower frame;
A plurality of supports vertically coupled to one side surface of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame and the lower frame; And
The apparatus of any one of claims 1 to 7, wherein the upper frame and the lower frame are vertically connected to each other and are vertically coupled to the other side surfaces of the upper frame and the lower frame, A support bar according to any one of the preceding claims.
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