KR20190124420A - Support bar and substrate loading cassette having the same - Google Patents

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KR20190124420A
KR20190124420A KR1020180048356A KR20180048356A KR20190124420A KR 20190124420 A KR20190124420 A KR 20190124420A KR 1020180048356 A KR1020180048356 A KR 1020180048356A KR 20180048356 A KR20180048356 A KR 20180048356A KR 20190124420 A KR20190124420 A KR 20190124420A
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이상열
이영진
김두영
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(주)상아프론테크
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Abstract

Provided is a support bar. The support bar, which is installed on a substrate loading cassette to support a substrate, includes: a body having a hollow in a bar shape therein and having a tip inserting groove on one surface supporting the substrate; a tip member pressed and coupled to the tip inserting groove; and an adhering member positioned between the tip member and the body and allowing one surface of the body to adhere to the tip member.

Description

서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트 {Support bar and substrate loading cassette having the same}Support bar and substrate loading cassette having same {Support bar and substrate loading cassette having the same}

본 발명은 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a support bar and a substrate loading cassette having the same.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.In general, a liquid crystal panel of a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode in a pixel region defined by a gate wiring and a data wiring, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode; It consists of a liquid crystal layer interposed between board | substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다. The manufacturing process of the liquid crystal display device configured as described above may be divided into three processes, a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화 된다. 박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.First, the substrate manufacturing process is subdivided into a thin film transistor manufacturing process and a color filter manufacturing process. The thin film transistor manufacturing process refers to a process of manufacturing a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on the lower substrate, and the color filter manufacturing process uses dyes or pigments on the upper substrate on which the black matrix is formed to produce R, G, and B colors. The process of forming a color filter layer and forming a common electrode is referred to.

또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.In addition, the cell process is a process of manufacturing a cell of a liquid crystal display by dispersing and bonding spacers and injecting liquid crystals so that a constant distance is maintained between two substrates of a lower substrate on which a thin film transistor process is completed and an upper substrate on which a color filter process is completed. Say.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다.Lastly, the module process refers to a process of manufacturing a module by manufacturing a circuit unit for signal processing and connecting a liquid crystal display panel and a signal processing circuit unit.

이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.Such a manufacturing process of the liquid crystal display device requires a means for temporarily storing the substrate when the substrate is transferred to the corresponding process equipment and the substrate is transferred to the next process equipment to perform each process.

이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 다수의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 다수의 서포트바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다.As a means for this, a cassette is mainly used, which allows a plurality of substrates to be stacked on a single sheet and transferred at once. In this case, a plurality of support bars are laid in the height direction in the cassette so that the plurality of substrates can be stacked in a spaced form.

종래의 서포트바는 기판 생산라인에서 일정주기마다 카세트에 대한 정기적인 세정이 실시되는데, 세정 과정에서 사용되는 물이 이후 과정에서 팁이 결합된 부분을 통해 서포트바 내부로 침투하게 되며 이 때문에 서포트바 아래에 적재된 기판 위로 물이 떨어지게 되어 기판의 불량을 일으킬 수 있다.In the conventional support bar, the cleaning of the cassette is carried out at regular intervals in the substrate production line, and the water used in the cleaning process penetrates into the support bar through the portion where the tip is bonded in the subsequent process. Water may fall on the substrate loaded below, which may cause a defect of the substrate.

또한, 종래의 서포트바는 이러한 팁 부재와 몸체를 결합하기 위해 액상 형태의 접착제를 사용했는데, 액상 형태의 특성상 팁 부재를 서포트바에 결합하는 과정에서 과량의 접착제가 팁 부재의 외면으로 빠져나가 서포트바 및 기판을 오염시킬 가능성 또한 상시 존재하였다.In addition, in the conventional support bar, a liquid adhesive is used to bond the tip member and the body. Due to the nature of the liquid form, an excess adhesive is released to the outer surface of the tip member in the process of bonding the tip member to the support bar. And the possibility of contaminating the substrate was also present at all times.

상기와 같은 기술적 배경을 바탕으로 안출된 것으로, 본 발명은 세정 과정에서 물이 서포트바 내부로 유입되지 않도록 하는 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하는데 그 목적이 있다.It is an object of the present invention to provide a support bar and a substrate stacking cassette having the support bar to prevent water from flowing into the support bar during the cleaning process.

또한 본 발명은 제조 과정에서 액상의 접착제 대신 접착 테이프를 사용하여 접착제에 의해 표면이 오염되지 아니하는 서포트바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트를 제공하는데 그 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a support bar and a substrate stacking cassette having the support bar, which are not contaminated by the adhesive using an adhesive tape instead of the liquid adhesive in the manufacturing process.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트바로서, 바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상기 기판을 지지하는 일면에 팁 삽입홈이 형성된 몸체; 상기 팁 삽입홈에 압입 결합되는 팁 부재 및 상기 팁 부재 및 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 팁 부재와 상기 몸체의 일면이 접착되도록 하는 접착부재를 포함하는 서포트바를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a support bar installed in a cassette for loading a substrate to support a substrate, wherein a hollow portion is formed in a bar shape and a tip insertion groove is formed on one surface of the substrate supporting the substrate. ; A support bar includes a tip member press-fitted to the tip insertion groove and an adhesive member positioned between the tip member and the body to bond the tip member to one surface of the body.

또한, 상기 팁 부재는 상기 팁 삽입홈에 결합되는 기둥부 및 상기 기둥부의 일단부에 연결되고 일면은 상기 팁 삽입홈을 덮도록 형성되며 타면은 상기 기판을 지지하도록 형성된 머리부를 포함할 수 있다.In addition, the tip member may be connected to the pillar portion coupled to the tip insertion groove and one end of the pillar portion, one surface may be formed to cover the tip insertion groove, and the other surface may include a head portion formed to support the substrate.

또한, 상기 기둥부는 외측면에 외측방향으로 돌출 형성된 압입부를 포함할 수 있다.In addition, the pillar portion may include a press-fit portion protruding outwardly on the outer surface.

또한, 상기 압입부는 복수개로 형성되고, 상기 복수개의 압입부는 상기 기둥부의 외측면에 둘레를 따라 이격 배치될 수 있다.The press-fitting part may be formed in plural, and the plurality of press-fitting parts may be spaced apart from each other on the outer surface of the pillar part.

또한, 상기 압입부의 일단부는 테이퍼진 형상으로 형성될 수 있다.In addition, one end of the press-fit portion may be formed in a tapered shape.

또한, 상기 압입부의 외측면에 돌출 형성되어 상기 팁 삽입홈의 내측면을 가압하여 압입력을 증가시키는 가압부를 포함할 수 있다.In addition, it may include a pressing portion protruding to the outer surface of the pressing portion to increase the pressure input by pressing the inner surface of the tip insertion groove.

또한, 상기 가압부는 외측방향으로 갈수록 단면적이 점차 작아지도록 형성될 수 있다.In addition, the pressing portion may be formed such that the cross-sectional area gradually decreases toward the outer direction.

또한, 상기 접착부재는 테이프 형상으로 형성되어 상기 머리부의 일면과 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 머리부와 접하는 상기 몸체의 일면이 접착되도록 형성되고 동시에 상기 머리부와 상기 몸체 사이의 간극을 밀봉하도록 형성될 수 있다.In addition, the adhesive member is formed in the shape of a tape is located between one side of the head and the body is formed so that the one surface of the body in contact with the head is bonded and formed to seal the gap between the head and the body at the same time. Can be.

또한, 상기 접착부재는 겔 또는 고체형상으로 형성될 수 있다.In addition, the adhesive member may be formed in a gel or solid shape.

본 발명의 다른 측면에 따르면 상부 프레임; 하부 프레임; 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하 방향으로 연결하기 위해 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대; 상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 전술한 서포트바 및 상기 지지대의 일측에 결합되고, 상기 서포트바의 내부로 삽입되어 상기 지지대에 상기 서포트바를 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 적재용 카세트를 제공한다.According to another aspect of the invention the upper frame; Lower frame; A support coupled to one side of the upper frame and the lower frame in a vertical direction to connect the upper frame and the lower frame in a vertical direction; A substrate stacking cassette including a support bar connected in a vertical direction to the support to support the substrate and coupled to one side of the support and inserted into the support bar to secure the support bar to the support; to provide.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 팁 부재를 구비하여 서포트바 내부로 물이 침투하는 것을 방지하고 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량을 방지할 수 있다.The support bar according to an embodiment of the present invention may be provided with a tip member to prevent water from penetrating into the support bar and to prevent a substrate defect due to leakage of water introduced during the cleaning process.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 접착 테이프 형태의 접착부재를 구비하여 기판이 접착제로 오염되는 걸 방지하여 미관상 이점을 가지는 한편 서포트바 제작 과정이나 유리 기판을 적재 및 운송하면서 생기는 불량율을 낮출 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention is provided with an adhesive member in the form of an adhesive tape to prevent the substrate from being contaminated with an adhesive, thereby having an aesthetic benefit, and a defect rate that occurs while loading and transporting a support bar manufacturing process or a glass substrate. Can be lowered.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 구비한 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 팁 부재를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 몸체에 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바와 팁 부재의 결합 상태를 도시한 단면도이다.1 is a perspective view showing a substrate loading cassette having a support bar according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a substrate loaded on a substrate loading cassette having a support bar according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a perspective view showing the tip member of the support bar according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a cross-sectional view showing a state in which the tip member is coupled to the body of the support bar according to an embodiment of the present invention.
Figure 6 is a cross-sectional view showing a coupling state of the support bar and the tip member according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art may easily implement the present invention. As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various different ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and like reference numerals designate like elements throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. In this specification, terms such as "comprise" or "have" are intended to indicate that there is a feature, number, step, action, component, part, or combination thereof described on the specification, and one or more other features. It is to be understood that the present invention does not exclude the possibility of the presence or the addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이며, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 구비한 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.1 is a perspective view showing a substrate loading cassette having a support bar according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a substrate loading cassette having a support bar according to an embodiment of the present invention It is a top view shown.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직 프레임(8), 봉 부재(9) 및 서포트바(10)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1, a substrate stacking cassette 1 having a support bar 10 according to an embodiment of the present invention includes an upper frame 2, a lower frame 3, a support 7, and a vertical frame ( 8), the rod member 9 and the support bar 10 may be included.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 기판(5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.Through this, the substrate loading cassette 1 having the support bar 10 according to an embodiment of the present invention stably loads the substrate during the process of carrying out the loading of the substrate 5 and reloading the loaded substrate. This prevents substrate defects during a series of production processes.

또한, 본 발명의 일 실시예에서, 상부 프레임(2)과 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.In addition, in one embodiment of the present invention, the upper frame 2 and the lower frame 3 may each be formed in a plate shape. In this case, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed similarly to the substrate 5, respectively, to stably support the substrate.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.That is, as shown in FIG. 1, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed in a rectangular shape. In addition, in order to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, a plurality of supports 7 may be coupled to both sides of the upper frame and the lower frame in the vertical direction.

이때 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉 부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다.In this case, the plurality of supports 7 may be formed in a bar shape and arranged to be spaced side by side in the lateral direction of the upper frame 2 and the lower frame 3. In addition, the plurality of support members 7 are provided with a plurality of rod members 9 at regular intervals along the vertical direction to support the peripheral portion of the substrate 5 having a rectangular shape.

도 2를 참고하면, 봉 부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임 및 하부 프레임과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the rod member 9 protrudes in an inward direction of the upper frame 2 and the lower frame 3 in a rod shape, and a plurality of rod members 9 are installed in parallel with the upper frame and the lower frame. Can support

이때 봉 부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판을 지지할 수 있다.In this case, the rod member 9 may be disposed perpendicular to the side surface of the substrate 5 to support the substrate.

한편 도 1을 참고하면, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 방향으로 연결하고 서포트바(10)을 설치하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 후면에 복수개의 수직 프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 1, in order to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction and install the support bar 10, a plurality of vertical frames 8 are perpendicular to the rear of the upper frame and the lower frame. Direction can be combined.

이때 수직 프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트바(10)의 체결부재(21)와 결합될 수 있다.At this time, the vertical frame 8 is formed in the H-shaped longitudinal section may be coupled to the fastening member 21 of the support bar 10 to be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 몸체(11), 체결부(20) 및 팁 부재(14)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 서포트바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.Support bar 10 according to an embodiment of the present invention may include a body 11, fastening portion 20 and the tip member (14). In one embodiment of the present invention, the support bar 10 may be installed at regular intervals along the vertical direction of the plurality of vertical frames 8 to support the substrate 5.

도 2를 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉 부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판의 중앙부가 아래로 처져 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트바(10)를 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the support bar 10 according to the exemplary embodiment of the present invention may be disposed between the plurality of rod members 9. This is because when supporting both ends of the substrate 5 with the rod member 9 alone, the center portion of the substrate may be drooped down and the substrate may collide with the robot or the like that loads or unloads the substrate into the cassette 1. ) May be disposed between the plurality of rod members 9 to prevent this risk.

이때, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 서포트바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉 부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉 부재(9)와 함께 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.In this case, as shown in FIGS. 1 and 2, the support bar 10 is disposed at the same height as the rod member 9 supporting the substrate 5 so that the substrate is parallel with the rod member 9 without being bent downward. Can be loaded.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 내부에 중공부가 형성된 바 형상의 몸체(11)로 형성될 수 있다. 몸체(11) 내부에 중공부가 형성되어 원자재를 절감할 수 있고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.Meanwhile, referring to FIGS. 1 and 3, the support bar 10 according to the exemplary embodiment of the present invention may be formed as a bar-shaped body 11 having a hollow part formed therein. Hollow portion is formed inside the body 11 can reduce the raw material, reduce the overall weight and can be easy to manufacture.

이때, 몸체(11)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다.In this case, the body 11 may be formed in a square pillar shape having a cross section of a rectangular shape, but is not limited thereto. The body 11 may be formed in a circle, an ellipse, a polygon, or the like.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the body 11 may be formed of a single layer or multiple layers of carbon fiber reinforced plastic (CFRP), carbon film, glass reinforced film, aramid film and metal thin film.

이때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.At this time, the carbon fiber reinforced plastic (CFRP) is a hardened by impregnating an epoxy resin in a fabric or sheet made of carbon fibers known to have excellent specific strength, rigidity, and rupture strength.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 몸체를 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합하기 위해서 체결부(20)가 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, one end of the body 11, for example, at the rear end of the body as shown in FIG. 3, a fastening portion for coupling the body to the vertical frame 8 of the cassette 1 20 can be formed.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 서포트바(10)를 지지대(7)에 고정시켜 서포트바의 상부면에 기판(5)을 적재할 수 있도록 한다. 이때 서포트바(10)는 체결부(20)와 일체로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 체결부와 별도로 결합될 수 있다.Through this, in one embodiment of the present invention, the support bar 10 is fixed to the support 7 so that the substrate 5 can be loaded on the upper surface of the support bar. In this case, the support bar 10 may be integrally formed with the fastening part 20, but is not limited thereto.

한편 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(20)는 체결부재(21) 및 돌출부(23)를 구비할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(21)는 단면이 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 3, in one embodiment of the present disclosure, the fastening part 20 may include a fastening member 21 and a protrusion 23. As shown in FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the fastening member 21 may have a hexagonal cross section and be made of a nonferrous metal such as an aluminum alloy or a stainless alloy.

또한, 도 1을 참고하면 체결부재(21)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(22)이 형성될 수 있다.In addition, referring to FIG. 1, a plurality of bolt insertion holes 22 may be formed at both side surfaces and the rear surface of the fastening member 21 to be screwed with the vertical frame 8.

이때, 체결부재(21)의 볼트 삽입홀(22)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때 수직 프레임(8)은 체결부재(21)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(22)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.At this time, the bolt is fastened to the bolt insertion hole 22 of the fastening member 21 may be coupled to the vertical frame (8). In this case, when the vertical frame 8 is coupled with the fastening member 21, a bolt hole (not shown) may be formed at a position corresponding to the bolt insertion hole 22 of the fastening member.

도 3을 참고하면, 체결부재(21)의 전면에는 돌출부(23)가 전방측으로 돌출 형성될 수 있다. 이때 돌출부(23)는 바 형상으로 단면이 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 3, the protrusion 23 may protrude forward from the front side of the fastening member 21. In this case, the protrusion 23 may have a rectangular cross section, but is not limited thereto.

한편, 몸체(11)는 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 삽입구(12)가 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 삽입구(12)는 돌출부(23)의 외측면과 대응되도록 형성되어 돌출부가 삽입구에 삽입되어 체결부재(21)와 몸체(11)가 결합될 수 있다.On the other hand, the body 11 has one end, for example, the insertion hole 12 may be formed at the rear end of the body as shown in FIG. In this case, in one embodiment of the present invention, the insertion hole 12 is formed to correspond to the outer surface of the protrusion 23 so that the protrusion is inserted into the insertion hole so that the fastening member 21 and the body 11 may be coupled.

도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(23)는 상부 양 측면에 삽입홈(23a)이 형성될 수 있다. 이때 삽입홈(23a)는 돌출부(23)의 수평방향으로 연장 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the protrusion 23 may have insertion grooves 23a formed at both upper sides thereof. In this case, the insertion groove 23a may extend in the horizontal direction of the protrusion 23.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)의 삽입구(12)에 돌출부(23)가 삽입되어 결합될 때 삽입홈(23a)에 의해 서포트바의 팁 부재(14)가 돌출부에 간섭되지 않고 결합될 수 있다.As a result, when the protrusion 23 is inserted into the insertion hole 12 of the support bar 10 according to the exemplary embodiment of the present invention, the tip member 14 of the support bar interferes with the protrusion by the insertion groove 23a. Can be combined without.

또한 이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)가 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합되어 고정될 수 있다.In addition, through this, in one embodiment of the present invention, the body 11 may be coupled to and fixed to the vertical frame 8 of the cassette 1.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 타단부 예를 들어 전방측 단부에는 몸체를 밀봉하기 위해 밀봉부재(미도시)와 결합될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the other end of the body 11 may be coupled to a sealing member (not shown) to seal the body, but is not limited thereto.

이때, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 중공부는 외부로부터 밀폐되기 때문에, 평판 디스플레이 제조 공정에 사용될 때, 내부로 공기가 유입되거나 세정 시 물이 채워질 수 없으며, 세정 후 건조과정에서의 내부공기 팽창으로 인한 몸체(11)의 크랙(crack) 발생 등과 같은 파손 위험은 물론, 세정 이후의 기판 적재 과정에서 내부로부터 새어 나온 물이 기판의 불량을 야기하는 것을 방지할 수 있다.At this time, in one embodiment of the present invention, since the hollow part of the body 11 is sealed from the outside, when used in a flat panel display manufacturing process, air cannot be introduced into the inside or filled with water during cleaning, In addition to the risk of damage such as cracking of the body 11 due to internal air expansion, water leaking from the inside of the substrate loading process after cleaning can be prevented from causing a defect of the substrate.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 팁 부재를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바의 몸체에 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.Figure 4 is a perspective view showing the tip member of the support bar according to an embodiment of the present invention. Figure 5 is a cross-sectional view showing a state in which the tip member is coupled to the body of the support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 4 및 도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일면 예를 들어 상부면에는 기판(5) 적재 시 기판에 의해 가해지는 충격을 흡수하고 기판에 발생되는 스크래치를 방지하기 위한 팁 부재(14)가 결합될 수 있다.Meanwhile, referring to FIGS. 4 and 5, in one embodiment of the present invention, one surface of the body 11, for example, an upper surface, absorbs a shock applied by the substrate when the substrate 5 is loaded and scratches generated on the substrate. Tip member 14 to prevent the may be coupled.

이때 몸체(11)는 바 형상으로 형성될 수 있다. 또한 몸체(11)의 일면 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 상부면에는 팁 부재(14)가 결합될 수 있도록 팁 삽입홈(16)이 형성될 수 있다.At this time, the body 11 may be formed in a bar shape. In addition, a tip insertion groove 16 may be formed on one surface of the body 11, for example, as shown in FIG. 3, so that the tip member 14 may be coupled to the upper surface of the body 11.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 내부로 물이 침투하는 것을 방지하여 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량을 방지할 수 있다. Through this, the support bar 10 according to the exemplary embodiment of the present invention may prevent the water from penetrating into the substrate, thereby preventing a substrate defect due to leakage of water introduced during the cleaning process.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 공기 및 세척에 사용하는 물과 외부 공기 등 이물질이 침입할 수 없게 함으로써 세척 후 잔류한 물로 인해 기판(5)이 오염되거나 건조 과정에서 온도 변화로 인해 중공부의 공기가 팽창 및 수축하며 몸체(11)에 압력을 강해 몸체(11)의 벽이 갈라지는 등의 파손을 막는 것이 가능하다.In addition, the support bar 10 according to an exemplary embodiment of the present invention prevents foreign substances such as water and external air used for air and cleaning from invading, thereby contaminating the substrate 5 due to the water remaining after cleaning or in the drying process. Due to the change in temperature, the air of the hollow part expands and contracts, and the pressure of the body 11 is increased to prevent breakage such as cracking of the wall of the body 11.

이때 팁 삽입홈(16)은 몸체(11)의 길이방향을 따라 복수개로 형성되고 복수개의 팁 부재가(14)가 팁 삽입홈에 결합되어 기판(5)을 효율적으로 지지할 수 있다.In this case, the tip insertion groove 16 may be formed in plural along the longitudinal direction of the body 11, and the plurality of tip members 14 may be coupled to the tip insertion groove to efficiently support the substrate 5.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 팁 부재(14)는 외주면이 팁 삽입홈(16)에 대응되도록 형성되어 팁 삽입홈에 압입되어 결합될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the tip member 14 may have an outer circumferential surface formed to correspond to the tip insertion groove 16 to be press-fitted into the tip insertion groove.

도 4를 참고하면, 팁 부재(14)는 플라스틱 재질로 형성될 수 있고 머리부(14a), 기둥부(14b), 압입부(14c) 및 가압부(14d)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 4, the tip member 14 may be formed of a plastic material and may include a head portion 14a, a pillar portion 14b, a press-fit portion 14c, and a pressing portion 14d.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 머리부(14a)는 반 구 형상과 유사할 수 있으나 기판(5)이 지지되는 머리부의 상부면은 기판을 용이하게 지지할 수 있도록 평면으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the head portion 14a may be similar to a hemispherical shape, but the upper surface of the head portion on which the substrate 5 is supported may be formed in a plane so as to easily support the substrate.

또한 머리부(14a)의 일면과 타면이 평행하게 형성될 수 있다. 즉 머리부(14a)의 상부면과 하부면은 평행하게 형성되어 머리부의 상부면은 기판을 지지할 수 있고 머리부의 하부면은 팁 삽입홈(16)을 덮도록 형성될 수 있다.In addition, one surface and the other surface of the head 14a may be formed in parallel. That is, the upper surface and the lower surface of the head 14a may be formed in parallel so that the upper surface of the head may support the substrate and the lower surface of the head may cover the tip insertion groove 16.

이는 머리부(14a)의 하부면과 팁 삽입홈(16)을 통해 물이 서포트바(10) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위함이다. 한편 머리부(14a)의 일단 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 머리부(14a)의 하단부에는 기둥부(14b)가 결합될 수 있다.This is to prevent water from flowing into the support bar 10 through the lower surface of the head 14a and the tip insertion groove 16. Meanwhile, as shown in FIG. 4, for example, the pillar portion 14b may be coupled to the lower end of the head portion 14a.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 기둥부(14b)는 원기둥 또는 사각기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 또한 기둥부(14b)의 외측면에는 외측 방향으로 돌출된 압입부(14c)가 형성될 수 있다. On the other hand, in one embodiment of the present invention, the pillar portion 14b may be formed in a cylindrical or square column shape, but is not limited thereto. In addition, the indentation portion 14c protruding in the outward direction may be formed on the outer surface of the pillar portion 14b.

이때 압입부(14c)의 일측은 기둥부(14b)와 연결되고 타측은 팁 삽입홈(16)의 내측면에 접하도록 형성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 압입부(14c)를 통해서 팁 부재(14)가 팁 삽입홈(16)에 강제 압입되어 팁 삽입홈의 내부에 끼워질 수 있다.In this case, one side of the press-fit portion 14c may be connected to the pillar portion 14b and the other side may be formed to contact the inner surface of the tip insertion groove 16. As a result, the support bar 10 according to the exemplary embodiment of the present invention may be forcibly pressed into the tip insertion groove 16 by inserting the tip member 14 into the tip insertion groove 16 through the pressing portion 14c.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 압입부(14c)를 구비함으로써 팁 부재(14)를 몸체(11)의 팁 삽입홈(16)에 결합하는데 용이할 뿐만 아니라 압입부를 통해 팁 삽입홈의 내측면에 압력을 가함으로써 결합력을 증가시킬 수 있다.That is, the support bar 10 according to the embodiment of the present invention is provided with a press-fitting portion 14c to facilitate the coupling of the tip member 14 to the tip insertion groove 16 of the body 11 as well as the press-fitting portion. By applying pressure to the inner surface of the tip insertion groove through the coupling force can be increased.

본 발명의 일 실시예에서 압입부(14c)는 복수개로 형성될 수 있다. 이때 복수개의 압입부(14c)는 기둥부(14b)의 외측면에 둘레를 따라 이격 배치됨으로써 압입부와 기둥부는 'ㄱ'자 형상 또는 십자 형상으로 형성될 수 있다.In one embodiment of the present invention, the press-fit portion 14c may be formed in plural. In this case, the plurality of press-fit parts 14c may be spaced apart along the circumference of the pillar part 14b so that the press-fit part and the pillar part may be formed in a '-' shape or cross shape.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 압입부(14c)의 외측면에는 외측방향으로 돌출된 가압부(14d)가 형성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 가압부(14d)를 구비함으로써 팁 부재(14)를 몸체(11)의 팁 삽입홈(16)에 결합할 때 가압부를 통해 팁 삽입홈의 내측면에 집중적인 압력을 가함으로써 압입력 및 결합력을 증가시킬 수 있다.On the other hand, in one embodiment of the present invention may be formed on the outer surface of the press-in portion 14c the pressing portion 14d protruding in the outward direction. Through this, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention includes a pressing portion 14d so that the tip member 14 is inserted into the tip through the pressing portion when the tip member 14 is coupled to the tip insertion groove 16 of the body 11. By applying intensive pressure to the inner surface of the groove, it is possible to increase the pushing force and the coupling force.

이때 가압부(14d)는 외측면이 볼록한 라운드 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고, 가압부(14d)가 팁 삽입홈(16)의 내측면에 집중적인 압력을 가할 수 있도록 가압부의 외측방향으로 갈수록 단면적이 점차 작아지도록 형성될 수 있다.At this time, the pressing portion 14d may be formed in a rounded shape with an outer surface convex, but is not limited thereto, and the pressing portion 14d may apply the concentrated pressure to the inner surface of the tip insertion groove 16 so as to be outward. It may be formed such that the cross-sectional area is gradually smaller toward.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 가압부(14d)의 일단부 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이 가압부의 하단부는 테이퍼진 형상으로 형성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 팁 부재(14)가 팁 삽입홈(16)에 용이하게 끼워질 수 있다.On the other hand, in one embodiment of the present invention, one end of the pressing portion 14d, for example, as shown in Figure 4 may be formed in a tapered shape. Through this, the support bar 10 according to the embodiment of the present invention can be easily fitted to the tip member 14, the tip insertion groove 16.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바와 팁 부재의 결합 상태를 도시한 단면도이다.Figure 6 is a cross-sectional view showing a coupling state of the support bar and the tip member according to an embodiment of the present invention.

도 6을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 접착부재(15)는 머리부(14a)의 하부면과 몸체(11) 사이에 형성될 수 있다. 이때 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 접착부재(15)를 통해서 몸체(11)에 팁 부재(14)가 접착되도록 하고 몸체와 팁 부재 사이의 간극을 밀봉하여 서포트바 내부로 물이 유입되지 않도록 할 수 있다.Referring to FIG. 6, in one embodiment of the present invention, the adhesive member 15 may be formed between the lower surface of the head 14a and the body 11. In this case, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention allows the tip member 14 to be bonded to the body 11 through the adhesive member 15 and seals the gap between the body and the tip member to support the inside of the support bar. You can prevent water from entering.

한편, 접착부재(15)는 시트 형상 또는 접착 테이프 형상으로 형성될 수 있다. 이때 접착부재(15)는 에폭시 계열이나 우레탄 계열 또는 실리콘 재질 등 접착성을 가진 시트 형태의 테이프일 수 있다. Meanwhile, the adhesive member 15 may be formed in a sheet shape or an adhesive tape shape. At this time, the adhesive member 15 may be a tape in the form of a sheet having an adhesive such as epoxy-based, urethane-based or silicone material.

또한, 접착부재(15)는 에폭시, 경화제 및 바인더를 포함할 수 있다. 이때 경화제는 잠재성 경화제가 사용이 되어 상온에서는 경화반응이 진행되지 않을 수 있다. 이때 잠재성 경화제로는 디시안디아미드(Dicyandiamide)일 수 있다. In addition, the adhesive member 15 may include an epoxy, a curing agent, and a binder. At this time, the curing agent is a latent curing agent may be used, the curing reaction may not proceed at room temperature. In this case, the latent curing agent may be dicyandiamide.

한편, 기존의 액상의 에폭시 수지는 형태가공이 불가능한 반면에 본 발명의에폭시 일 실시예에서 접착부재(15)는 시트 형상으로서 미리 형태가공이 가능하여 사용상 간편하고 다양한 모양의 접착에 적용될 수 있다.On the other hand, while the conventional liquid epoxy resin is impossible to form, while in the epoxy embodiment of the present invention, the adhesive member 15 is a sheet shape can be processed in advance in the form of a simple and easy to use and can be applied to various shapes of adhesion.

본 발명의 일 실시예에서 접착부재(15)는 고체에 가까운 겔 형상으로 형성될 수 있다. 이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바(10)는 접착부재(15)를 구비하며 종래의 액상 에폭시에 비해 상대적으로 에폭시가 묻어나는 현상과 에폭시 튐 현상이 없으며　이는 서포트바의 에폭시 오염 가능성을 낮출 수 있다.In one embodiment of the present invention, the adhesive member 15 may be formed in a gel shape close to a solid. Through this, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention has an adhesive member 15 and has no phenomenon of epoxy bubbling and epoxy 튐 phenomenon compared to the conventional liquid epoxy, and the possibility of epoxy contamination of the support bar. Can be lowered.

또한, 도 6을 참고한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트바는 액상 형태의 접착제 대신 접착 테이프 형태의 접착부재(15)를 사용함으로써 기판이 접착제로 오염되는 걸 방지하여 미관상 이점을 가지는 한편 서포트바 제작 과정이나 유리 기판을 적재 및 운송하면서 생기는 불량율을 낮출 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention with reference to FIG. 6 has an aesthetic benefit by preventing the substrate from being contaminated with the adhesive by using the adhesive member 15 in the form of an adhesive tape instead of the liquid adhesive. It is possible to lower the defect rate caused by the bar manufacturing process or loading and transporting the glass substrate.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described through the preferred embodiments as described above, the present invention is not limited thereto and various modifications and variations are possible without departing from the spirit and scope of the claims set out below. Those in the technical field to which they belong will easily understand.

1 : 기판 적재용 카세트
2 : 상부 프레임 3 : 하부 프레임
5 : 유리 기판 7 : 지지대
8 : 수직 프레임 9 : 봉 부재
10 : 서포트바 11 : 몸체
12 : 삽입구 13 : 결합홀
14 : 팁 부재 14a : 머리부
14b : 기둥부 14c : 압입부
14d : 가압부 15 : 접착부재
16 : 팁 삽입홈 20 : 체결부
21: 체결부재 22 : 볼트 삽입홀
23 : 돌출부 23a : 삽입홈1: substrate loading cassette
2: upper frame 3: lower frame
5 glass substrate 7 support stand
8: vertical frame 9: rod member
10: support bar 11: body
12: insertion hole 13: coupling hole
14: tip member 14a: head
14b: pillar portion 14c: press-fit portion
14d: pressure portion 15: adhesive member
16: tip insertion groove 20: fastening portion
21: fastening member 22: bolt insertion hole
23: protrusion 23a: insertion groove

Claims (10)

기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트바로서,
바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상기 기판을 지지하는 일면에 팁 삽입홈이 형성된 몸체;
상기 팁 삽입홈에 압입 결합되는 팁 부재 및
상기 팁 부재 및 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 팁 부재와 상기 몸체의 일면이 접착되도록 하는 접착부재를 포함하는 서포트바.A support bar installed in a cassette for loading a substrate to support a substrate,
A hollow portion formed inside the bar shape and a tip insertion groove formed on one surface of the substrate supporting the substrate;
A tip member press-fitted to the tip insertion groove and
And a bonding member positioned between the tip member and the body to bond the tip member and one surface of the body to each other. 제 1항에 있어서,
상기 팁 부재는
상기 팁 삽입홈에 결합되는 기둥부 및
상기 기둥부의 일단부에 연결되고 일면은 상기 팁 삽입홈을 덮도록 형성되며 타면은 상기 기판을 지지하도록 형성된 머리부를 포함하는 서포트바.The method of claim 1,
The tip member is
A pillar portion coupled to the tip insertion groove;
The support bar is connected to one end of the pillar portion and one surface is formed to cover the tip insertion groove and the other surface includes a head portion formed to support the substrate. 제 2항에 있어서,
상기 기둥부는 외측면에 외측방향으로 돌출 형성된 압입부를 포함하는 서포트바.The method of claim 2,
The pillar portion includes a support bar including a press-in portion formed to protrude outward on an outer surface. 제 3항에 있어서,
상기 압입부는 복수개로 형성되고,
상기 복수개의 압입부는 상기 기둥부의 외측면에 둘레를 따라 이격 배치되는 서포트바.The method of claim 3, wherein
The press-fit portion is formed in plural,
The plurality of press-in portion support bar is spaced apart along the periphery on the outer surface of the pillar. 제 3항에 있어서,
상기 압입부의 일단부는 테이퍼진 형상으로 형성되는 서포트바.The method of claim 3, wherein
One end portion of the press-fit portion is formed in a tapered shape. 제 3항에 있어서,
상기 압입부의 외측면에 돌출 형성되어 상기 팁 삽입홈의 내측면을 가압하여 압입력을 증가시키는 가압부를 포함하는 서포트바.The method of claim 3, wherein
A support bar protruding from the outer surface of the press-in part to press the inner surface of the tip insertion groove to increase the pressure input. 제 6항에 있어서,
상기 가압부는 외측방향으로 갈수록 단면적이 점차 작아지도록 형성되는 서포트바.The method of claim 6,
The pressing portion is formed in the support bar is formed such that the cross-sectional area is gradually smaller toward the outside direction. 제 1항에 있어서,
상기 접착부재는 테이프 형상으로 형성되어 상기 머리부의 일면과 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 머리부와 접하는 상기 몸체의 일면이 접착되도록 형성되고 동시에 상기 머리부와 상기 몸체 사이의 간극을 밀봉하도록 형성된 서포트바.The method of claim 1,
The adhesive member is formed in a tape shape and is positioned between one side of the head and the body so that one side of the body in contact with the head is bonded and formed at the same time to seal the gap between the head and the body. . 제 1항에 있어서,
상기 접착부재는 겔 또는 고체 형상으로 형성되는 서포트바.The method of claim 1,
The adhesive member is formed in a gel or solid support bar. 상부 프레임;
하부 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하 방향으로 연결하기 위해 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대;
상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 제 1항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 서포트바 및
상기 지지대의 일측에 결합되고, 상기 서포트바의 내부로 삽입되어 상기 지지대에 상기 서포트바를 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 적재용 카세트.Upper frame;
Lower frame;
A support coupled to one side of the upper frame and the lower frame in a vertical direction to connect the upper frame and the lower frame in a vertical direction;
The support bar according to any one of claims 1 to 9 connected to the support in a vertical direction to support the substrate and
Is coupled to one side of the support, the substrate loading cassette including a fastening portion inserted into the support bar to secure the support bar to the support.
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