KR101725264B1 - Support bar and substrate loading cassette having the same - Google Patents

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KR101725264B1
KR101725264B1 KR1020150144927A KR20150144927A KR101725264B1 KR 101725264 B1 KR101725264 B1 KR 101725264B1 KR 1020150144927 A KR1020150144927 A KR 1020150144927A KR 20150144927 A KR20150144927 A KR 20150144927A KR 101725264 B1 KR101725264 B1 KR 101725264B1
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이상열
한상엽
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(주)상아프론테크
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Abstract

Provided is a support bar which prevents water used for a cleaning process from being flowed inside the support bar by releasing a difference between outer pressure and inner pressure of a support bar generated during a drying process after the cleaning process. The support bar comprises: a body installed in a substrate loading cassette, having a hollow unit formed inside the body to support a substrate, and support the substrate on one surface; and a pressure releasing unit formed on the other surface of the body to reduce a difference between inner pressure and outer pressure of the body by connecting the hollow unit of the body to the outside.

Description

서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트{Support bar and substrate loading cassette having the same}Technical Field [0001] The present invention relates to a support bar and a cassette for supporting the same,

본 발명은 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a support bar and a cassette for loading a substrate having the support bar.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.In general, a liquid crystal panel of a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode in a pixel region defined by a gate wiring and a data wiring, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode, And a liquid crystal layer interposed between the substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device having such a structure can be divided into three processes: a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화 된다. 박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.First, the substrate manufacturing process is divided into a thin film transistor fabrication process and a color filter fabrication process. The thin film transistor fabrication process refers to a process for fabricating a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on a lower substrate. In the color filter fabrication process, a dye or a pigment is applied to an upper substrate on which a black matrix is formed to form R, G, Forming a color filter layer and forming a common electrode.

또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.In addition, the cell process is a process of manufacturing a cell of a liquid crystal display device by dispersing spacers such that spacers are spaced apart from each other and injecting liquid crystals so as to maintain a constant gap between the lower substrate on which the thin film transistor process is completed and the upper substrate on which the color filter process is completed It says.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다.Finally, the module process refers to a process for manufacturing a module for signal processing and a module for connecting a liquid crystal display panel and a signal processing circuit portion.

이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.The manufacturing process of the liquid crystal display device requires a means for temporarily storing the substrate when the substrate is transferred to the corresponding process equipment to transfer the substrate to the next process equipment.

이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 다수의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 다수의 서포트 바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다. A cassette is mainly used as a means to cope with this, by which a plurality of substrates can be stacked one by one and transported at a time. At this time, a plurality of support bars are attached to the cassette in a height direction so that a plurality of substrates can be stacked in a spaced apart form.

종래의 서포트 바는 기판 생산라인에서 일정주기마다 카세트에 대한 정기적인 세정이 실시되는데, 세정 과정에서 사용되는 물이 이후 건조과정에서 서포트 바 내부와 외부의 압력차가 생겨 서포트 바 내부로 침투하게 되며 이 때문에 서포트 바 아래에 적재된 기판 위로 물이 떨어지게 되어 기판의 불량을 일으킬 수 있다.In the conventional support bar, the cassette is periodically cleaned at regular intervals in the substrate production line. During the drying process, water used in the cleaning process penetrates into the support bar due to a pressure difference between the inside and the outside of the support bar. As a result, water may fall onto the substrate placed under the support bar, which may cause defective substrates.

본 발명의 일 실시예는 세정 과정 후 건조과정에서 발생하는 서포트 바 외부와 내부의 압력차를 완화시켜 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않도록 하는 서포트 바를 제공하고자 한다.One embodiment of the present invention is to provide a support bar that relieves a pressure difference between the outside and inside of a support bar generated during a drying process after a cleaning process so that water used during a cleaning process is prevented from flowing into a support bar.

본 발명의 일 측면에 따르면 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하기 위해서 바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상부면에 상기 기판을 지지되고 하부면에 결합홀이 형성된 몸체; 상기 결합홀에 결합되고, 상기 중공부와 외부를 연통시키는 제1 연통홀이 형성된 결합바디 및 상기 제1 연통홀을 덮도록 상기 결합바디의 일측에 결합되는 다공성 재질의 커버부를 포함하여 상기 몸체 내부와 외부의 압력차를 완화시켜 상기 몸체 내부로 물이 유입되는 것을 방지하거나 상기 몸체 내부의 공기가 물로 되는 것을 방지하는 압력 완화부를 포함하는 서포트 바를 제공한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cassette for mounting a substrate, comprising: a body formed in a bar shape to support a substrate, the hollow being formed in an inner surface of the cassette; A coupling body coupled to the coupling hole and having a first communication hole for communicating the hollow portion with the outside and a cover portion of a porous material coupled to one side of the coupling body to cover the first communication hole, And a pressure relieving part for relieving pressure difference between the outside and the outside of the body to prevent water from flowing into the inside of the body or preventing the air inside the body from becoming water.

이때, 상기 커버부는 상기 제1 연통홀과 연통되도록 일면이 상기 제1 연통홀을 커버하는 제1 커버부재 및 상기 제1 커버부재의 타면에 배치되어 상기 제1 커버부재와 연통되는 제2 커버부재 중 적어도 하나를 포함하여 공기는 투과하고, 물의 투과를 방지할 수 있다.At this time, the cover portion may include a first cover member that covers one side of the first communication hole so as to communicate with the first communication hole, and a second cover member that is disposed on the other side of the first cover member and communicates with the first cover member, The air can be permeated and the permeation of water can be prevented.

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이때, 상기 결합바디는 원통 형상으로 형성되되, 상기 결합바디의 외주면은 상기 결합홀과 대응되도록 형성되어 상기 결합바디가 상기 결합홀에 결합될 수 있다.At this time, the coupling body is formed in a cylindrical shape, and the outer peripheral surface of the coupling body is formed to correspond to the coupling hole, so that the coupling body can be coupled to the coupling hole.

이때, 상기 결합바디의 외주면과 상기 결합홀의 내주면은 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착될 수 있다.At this time, the outer circumferential surface of the coupling body and the inner circumferential surface of the coupling hole may be bonded by at least one of thermal fusion, ultrasonic fusion, and adhesive.

이때, 상기 결합바디는 일면에 내측방향으로 함몰된 체결홈이 형성되고, 상기 체결홈의 중심부에는 상기 제1 연통홀이 형성되되, 상기 체결홈의 단면적은 상기 제1 연통홀의 단면적보다 커서 상기 커버부를 지지할 수 있다.At this time, the coupling body is formed with a coupling groove recessed inwardly on one surface thereof, and the first communication hole is formed in the central portion of the coupling groove, and the cross-sectional area of the coupling groove is larger than the cross-sectional area of the first communication hole, We can support wealth.

이때, 상기 체결홈을 덮도록 결합되어 상기 제1 커버부재 및 상기 제2 커버부재를 상기 체결홈에 고정시키는 덮개부재를 포함하되, 상기 덮개부재에는 상기 제1 연통홀, 제1 커버부재 및 상기 제2 커버부재와 연통되도록 제2 연통홀이 형성될 수 있다.The lid member includes a first communication hole, a first cover member, and a second cover member. The first communication hole, the first cover member, and the second cover member are coupled to each other so as to cover the fastening groove to fix the first cover member and the second cover member to the fastening groove. And a second communication hole may be formed to communicate with the second cover member.

이때, 상기 제1 커버부재는 부직포로서 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.At this time, the first cover member may be formed of a plastic material as a nonwoven fabric.

이때, 상기 제1 커버부재의 두께는 50 내지 150 ㎛일 수 있다.At this time, the thickness of the first cover member may be 50 to 150 탆.

이때, 상기 제2 커버부재는 다공성의 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.At this time, the second cover member may be formed of a porous plastic material.

이때, 상기 제2 커버 부재의 두께는 10 내지 200 ㎛이고, 기공 사이즈는 0.01 내지 1.0 ㎛일 수 있다.At this time, the thickness of the second cover member may be 10 to 200 탆 and the pore size may be 0.01 to 1.0 탆.

본 발명의 다른 측면에 따르면 상부 프레임, 하부 프레임, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 복수개의 지지대 및 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하고 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 타측면에 수직 방향으로 결합되어 수직 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판을 지지하는 전술한 서포트 바를 포함하는 기판 적재용 카세트가 제공된다.According to another aspect of the present invention, there is provided an upper frame, a lower frame, a plurality of supports vertically coupled to one side of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame, the lower frame, And a support bar connected to the lower frame in the vertical direction and vertically coupled to the other sides of the upper frame and the lower frame to be spaced apart from each other at regular intervals along the vertical direction to support the substrate. / RTI >

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 압력 완화부를 포함하여 서포트 바 외부와 내부의 압력차를 완화시켜 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않도록 한다. The support bar according to an embodiment of the present invention includes a pressure relieving part to relieve a pressure difference between the outside and inside of the support bar so that water does not flow into the support bar.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 내부의 압력과 외부의 압력의 차를 줄여 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량 발생과, 세정 후 건조과정에서 내부공기 팽창으로 인한 서포트 바의 파손을 사전에 차단시킬 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention reduces the difference between the internal pressure and the external pressure to cause substrate failure due to leakage of water introduced in the cleaning process, Can be prevented in advance.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트는 카세트의 세정 후 건조과정에서 남아있는 물이 기판에 유입되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.Further, the cassette for mounting a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the remaining water from flowing into the substrate during the drying process after the cleaning of the cassette, stabilizing the manufacturing process of the flat panel display device, Products can be produced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부가 결합된 것을 도시한 단면 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 결합바디를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 덮개부재를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a substrate mounted on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a pressure relief unit of a support bar according to an embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a cross-sectional perspective view illustrating the pressure relief portion of the support bar coupled to an embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a perspective view showing a coupling body of a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG.
7 is a perspective view showing a lid member of a support bar according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof. Also, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, or the like is referred to as being "on" another section, it includes not only the case where it is "directly on" another part but also the case where there is another part in between. On the contrary, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, etc. is referred to as being "under" another section, this includes not only the case where the section is "directly underneath"

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing a substrate mounted on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재용 카세트를 설명함에 있어, 본 명세서에서 카세트에 기판이 적재되는 방향을 카세트의 전방이라 하고, 그 반대 방향을 후방이라고 규정하여 설명한다.In describing the cassette for carrying a substrate according to an embodiment of the present invention, the direction in which the substrate is loaded on the cassette is referred to as the front of the cassette and the opposite direction is defined as the rear.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직 프레임(8), 봉 부재(9) 및 서포트 바(10)를 포함할 수 있다.1, a cassette 1 for loading a substrate with a support bar 10 according to an embodiment of the present invention includes an upper frame 2, a lower frame 3, a support frame 7, 8, a rod member 9, and a support bar 10.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 기판(5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the cassette 1 for loading a substrate with the support bar 10 according to the embodiment of the present invention can be used for loading and unloading the substrate 5 and stably loading the substrate during the process of re- Thereby preventing the substrate from being defective during a series of production processes.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.Referring to FIG. 1, in an embodiment of the present invention, the upper frame 2 and the lower frame 3 may each be formed in a plate shape. At this time, the upper frame 2 and the lower frame 3 are formed similarly to the substrate 5, and can stably support the substrate.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.That is, as shown in FIG. 1, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed in a rectangular shape. In order to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, a plurality of supports 7 may be vertically coupled to both sides of the upper frame and the lower frame.

이때 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다.At this time, the plurality of supports 7 are formed in a bar shape and can be arranged to be spaced apart in the lateral direction of the upper frame 2 and the lower frame 3.

또한 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉 부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다. Further, a plurality of support members 7 may be provided with a plurality of bar members 9 at regular intervals along the vertical direction to support a peripheral portion of the substrate 5 having a rectangular shape.

도 2를 참고하면, 봉 부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임 및 하부 프레임과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.2, the rod member 9 is protruded in the inner direction of the upper frame 2 and the lower frame 3 in the form of a bar, and a plurality of the rod members 9 are arranged in parallel with the upper frame and the lower frame, . ≪ / RTI >

이때 봉 부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판을 지지할 수 있다.At this time, the rod member 9 can be disposed perpendicular to the side surface of the substrate 5 to support the substrate.

한편 도 1을 참고하면, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 "?향으?? 연결하고 서포트 바(10)을 설치하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 후면에 복수개의 수직 프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.1, the upper frame 2 and the lower frame 3 are vertically connected to each other and a plurality of vertical frames 8 (see FIG. 1) Can be coupled in the vertical direction.

이때 수직 프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트 바(10)의 체결부재(21)와 결합될 수 있다.At this time, the vertical frame 8 is formed in an H-shaped vertical section and can be coupled to the fastening member 21 of the support bar 10 to be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 몸체(11), 팁 부재(14), 체결부(20) 및 압력 완화부(30)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.The support bar 10 may include a body 11, a tip member 14, a fastening portion 20, and a pressure relief portion 30. [ In one embodiment of the present invention, the support bars 10 may be provided at regular intervals along the vertical direction of the plurality of vertical frames 8 to support the substrate 5.

도 2를 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉 부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판의 중앙부가 아래로 처져 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트 바(10)를 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be disposed between the plurality of bar members 9. This is because when the both ends of the substrate 5 are supported by only the rod member 9, the central portion of the substrate is lowered and the substrate may collide with the robot or the like which loads or unloads the substrate to or from the cassette 1, Can be disposed between the plurality of bar members 9 to prevent such a danger.

이때, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 서포트 바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉 부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉 부재(9)와 함께 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.1 and 2, the support bar 10 is disposed at the same height as the rod member 9 supporting the substrate 5 so that the substrate together with the rod member 9 is parallel And the like.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 내부에 중공부가 형성된 바 형상의 몸체(11)로 형성될 수 있다. 몸체(11) 내부에 중공부가 형성되어 원자재를 절감할 수 있고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.1 and 3, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be formed of a bar-shaped body 11 having a hollow portion formed therein. A hollow portion is formed inside the body 11 to save the raw material, the overall weight can be reduced, and the production can be facilitated.

이때, 몸체(11)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다.At this time, the body 11 may be formed in a rectangular column shape having a rectangular cross section, but not limited thereto, and the cross section may be formed in a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, or the like.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the body 11 may be formed as a single layer or a multilayer of a carbon fiber reinforced plastic (CFRP), a carbon film, a glass reinforced film, an aramid film and a metal film.

이때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.The carbon fiber reinforced plastic (CFRP) is a fabric or sheet made of carbon fiber, which is known to have excellent specific strength, rigidity and rupture strength, and is cured by impregnating an epoxy resin.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 몸체를 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합하기 위해서 체결부(20)가 형성될 수 있다. 3, in order to engage the body with the vertical frame 8 of the cassette 1, at a rear end of the body, for example, at one end of the body 11, (20) may be formed.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)를 지지대(7)에 고정시켜 서포트 바의 상부면에 기판(5)을 적재할 수 있도록 한다. 이때 서포트 바(10)는 체결부(20)와 일체로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 체결부와 별도로 결합될 수 있다.Thus, in one embodiment of the present invention, the support bar 10 is fixed to the support 7 so that the substrate 5 can be loaded on the upper surface of the support bar. At this time, the support bar 10 may be integrally formed with the fastening part 20, but it is not limited thereto and may be separately connected to the fastening part.

한편 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(20)는 체결부재(21) 및 돌출부(23)를 구비할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(21)는 단면이 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.3, the fastening portion 20 may include a fastening member 21 and a protruding portion 23 in an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, in an embodiment of the present invention, the fastening member 21 is formed in a hexagonal shape in cross section and may be made of a non-ferrous metal such as an aluminum alloy or a stainless steel alloy.

또한, 도 1을 참고하면 체결부재(21)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(22)이 형성될 수 있다.1, a plurality of bolt insertion holes 22 may be formed on both side surfaces and rear surface of the fastening member 21 so as to be screwed with the vertical frame 8.

이때, 체결부재(21)의 볼트 삽입홀(22)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때 수직 프레임(8)은 체결부재(21)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(22)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.At this time, the bolt is fastened to the bolt insertion hole 22 of the fastening member 21 and can be coupled to the vertical frame 8. At this time, the vertical frame 8 may be formed with a bolt hole (not shown) at a position corresponding to the bolt insertion hole 22 of the fastening member when engaged with the fastening member 21.

도 3을 참고하면, 체결부재(21)의 전면에는 돌출부(23)가 전방측으로 돌출 형성될 수 있다. 이때 돌출부(23)는 바 형상으로 단면이 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 3, protrusions 23 may protrude forward from the front surface of the fastening member 21. At this time, the projecting portion 23 may be bar-shaped and have a rectangular cross section, but the present invention is not limited thereto.

한편, 몸체(11)는 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 삽입구(12)가 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 삽입구(12)는 돌출부(23)의 외측면과 대응되도록 형성되어 돌출부가 삽입구에 삽입되어 체결부재(21)와 몸체(11)가 결합될 수 있다. Meanwhile, the body 11 may have an insertion port 12 formed at one end portion, for example, as shown in FIG. 3, at a rear side end portion of the body. In this case, in the embodiment of the present invention, the insertion port 12 is formed so as to correspond to the outer surface of the protrusion 23, and the protrusion can be inserted into the insertion port so that the coupling member 21 and the body 11 can be coupled.

도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(23)는 상부 양 측면에 삽입홈(23a)이 형성될 수 있다. 이때 삽입홈(23a)는 돌출부(23)의 수평방향으로 연장 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the projecting portion 23 may have an insertion groove 23a formed on both upper and lower sides thereof. At this time, the insertion groove 23a may be formed to extend in the horizontal direction of the protrusion 23.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)의 삽입구(12)에 돌출부(23)가 삽입되어 결합될 때 삽입홈(23a)에 의해 서포트 바의 팁 부재(14)가 돌출부에 간섭되지 않고 결합될 수 있다. As a result, when the protrusion 23 is inserted into the insertion port 12 of the support bar 10 according to the embodiment of the present invention, the tip member 14 of the support bar is interfered with the protrusion by the insertion groove 23a But can be combined.

또한 이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)가 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합되어 고정될 수 있다. Also, the body 11 can be fixedly coupled to the vertical frame 8 of the cassette 1 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 타단부 예를 들어 전방측 단부에는 몸체를 밀봉하기 위해 밀봉부재(미도시)와 결합될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, in the embodiment of the present invention, the other end of the body 11, for example, the front end, may be coupled with a sealing member (not shown) to seal the body.

이때, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 중공부는 외부로부터 밀폐되기 때문에, 평판 디스플레이 제조 공정에 사용될 때, 내부로 공기가 유입되거나 세정 시 물이 채워질 수 없으며, 세정 후 건조과정에서의 내부공기 팽창으로 인한 몸체(11)의 크랙(crack) 발생 등과 같은 파손 위험은 물론, 세정 이후의 기판 적재 과정에서 내부로부터 새어 나온 물이 기판의 불량을 야기하는 것을 방지할 수 있다.At this time, in the embodiment of the present invention, since the hollow portion of the body 11 is sealed from the outside, when it is used in a flat panel display manufacturing process, air can not be introduced into the interior or can not be filled with water during cleaning, It is possible to prevent the breakage of the body 11 due to internal air expansion and the like as well as the water leaking from the inside in the course of substrate loading after cleaning to cause the substrate to be defective.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일면 예를 들어 상부면에는 기판(5) 적재 시 몸체에 발생하는 충격을 흡수하고 기판에 발생하는 스크래치를 방지하기 위한 팁 부재(14)가 결합될 수 있다. 이때 몸체의 상부면에는 팁 부재가 결합될 수 있도록 팁 삽입홀(16)이 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, a tip member 14 for absorbing impact generated in the body when the substrate 5 is loaded and preventing scratches on the substrate is formed on one surface of the body 11, for example, Can be combined. At this time, a tip insertion hole 16 may be formed on the upper surface of the body so that a tip member can be coupled.

이때, 팁 부재(14)는 원기둥의 돌기 형상으로 플라스틱 재질로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. 또한 팁 부재(14)는 외주면이 팁 삽입홀(16)에 대응되도록 형성되어 팁 삽입홀에 나사결합 또는 끼움 결합될 수 있다.At this time, the tip member 14 may be a cylindrical protrusion, but it is not limited thereto. Further, the tip member 14 may be formed so that its outer circumferential surface corresponds to the tip insertion hole 16, and may be screwed or fitted to the tip insertion hole.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부가 결합된 것을 도시한 단면 사시도이다.4 is a perspective view illustrating a pressure relief unit of a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG. 5 is a cross-sectional perspective view illustrating the pressure relief portion of the support bar coupled to an embodiment of the present invention.

한편, 도 4를 참고하면, 몸체(11)의 타면 예를 들어 하부면에는 압력 완화부(30)가 결합될 수 있다. 이때 몸체(11)의 하부면에는 압력 완화부(30)가 삽입되어 고정될 수 있도록 결합홀(13)이 형성될 수 있다. Referring to FIG. 4, the pressure relief portion 30 may be coupled to the lower surface of the body 11, for example. At this time, a coupling hole 13 may be formed on the lower surface of the body 11 so that the pressure relief portion 30 can be inserted and fixed.

이때, 결합홀(13)은 단면이 원형일 수 있으나 설치되는 압력 완화부(30)에 따라 압력 완화부와 대응되도록 형성될 수 있다.At this time, the coupling hole 13 may be circular in cross section, but may be formed to correspond to the pressure relief portion according to the installed pressure relief portion 30.

도 4를 참고하면, 압력 완화부(30)는 결합바디(31), 커버부(36) 및 덮개부재(41)를 포함할 수 있고, 또한 커버부(36)는 제1 커버부재(37) 및 제2 커버부재(39) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.4, the pressure relief portion 30 may include a coupling body 31, a cover portion 36 and a cover member 41, and the cover portion 36 may include a first cover member 37, And a second cover member (39).

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 압력 완화부(30)가 구비되어 세정 후 건조 과정에서 내부 공기가 팽창된 후 상온에서 식으면서 수축함에 따라 발생하는 서포트 바(10) 내부의 중공부와 외부의 압력차를 완화하여 세정 과정에서 남아있던 물이 서포트 바 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.The support bar 10 according to an embodiment of the present invention is provided with the pressure relieving portion 30 to prevent the inside of the support bar 10, which is generated as the inside air is expanded in the drying process after cleaning, The pressure difference between the hollow portion and the outside can be mitigated to prevent the water that has remained in the cleaning process from flowing into the support bar.

도 5를 참고하면 압력 완화부(30)는 몸체(11)의 결합홀(13)에 결합되어 몸체 내부와 외부를 연통시켜 몸체 내부와 외부의 압력차를 줄일 수 있다.5, the pressure relief portion 30 is coupled to the coupling hole 13 of the body 11 so as to communicate the inside of the body with the outside, thereby reducing the pressure difference between the inside and the outside of the body.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 결합바디를 도시한 사시도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 결합바디를 도시한 단면 사시도이다.FIG. 6 is a perspective view showing a coupling body of a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional perspective view showing a coupling body of a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 6 및 도 7을 참고하면 결합바디(31)는 원통 형상으로 몸체(11)의 결합홀(13)에 나사 결합될 수 있도록 결합바디의 외주면에는 나사산(31a)이 형성될 수 있다.6 and 7, a thread 31a may be formed on the outer peripheral surface of the coupling body 31 so that the coupling body 31 can be screwed into the coupling hole 13 of the body 11 in a cylindrical shape.

이때 결합바디(31)의 외주면과 결합홀(13)의 내주면은 나사 결합될 수 있도록 대응되게 형성될 수 있다. 또한 결합바디(31)의 외주면과 결합홀(13)의 내주면이 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착되어 물이 서포트 바(10) 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있다.At this time, the outer circumferential surface of the coupling body 31 and the inner circumferential surface of the coupling hole 13 may be formed to correspond to each other so as to be screwed together. Also, the outer circumferential surface of the coupling body 31 and the inner circumferential surface of the coupling hole 13 are bonded by at least one of heat fusion, ultrasonic fusion, and adhesive to prevent water from flowing into the support bar 10.

이때, 접착제는 에폭시일 수 있으나 이에 한정되지 않고 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.In this case, the adhesive may be epoxy, but not limited thereto, and may be formed of a urethane-based material or a silicon material.

도 6을 참고하면, 결합바디(31)의 중심부에는 내측으로 함몰된 체결홈(33)이 형성될 수 있다. 이때, 체결홈(33)은 단면이 원형 형상으로 이루어질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 6, an engaging recess 33 may be formed at the center of the engaging body 31. At this time, the coupling groove 33 may have a circular shape in cross section, but is not limited thereto.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 제1 커버부재(37), 제2 커버부재(39) 및 덮개부재(41)는 체결홈(33)에 삽입되어 결합될 수 있다. 또한, 본 발명의 일 실시예에서 체결홈(33)의 내주면에는 덮개부재(41)와 나사 결합될 수 있도록 나사산(33a)이 형성될 수 있다.In the embodiment of the present invention, the first cover member 37, the second cover member 39 and the lid member 41 may be inserted into the engaging groove 33 to be engaged with each other. In an embodiment of the present invention, a screw thread 33a may be formed on the inner circumferential surface of the coupling groove 33 so as to be screwed with the lid member 41. [

도 6을 참고하면, 체결홈(33)의 중심부에는 몸체(11)의 중공부와 외부가 연통될 수 있도록 제1 연통홀(35)이 결합바디(31)의 수직 방향으로 관통 형성될 수 있다. 6, a first communication hole 35 may be formed in the central portion of the coupling groove 33 in a vertical direction of the coupling body 31 so that the hollow portion of the body 11 can communicate with the outside .

이때, 제1 연통홀(35)은 단면이 원형으로 제1 연통홀의 단면적은 체결홈(33)의 단면적보다 작아 체결홈에는 커버부(36)를 지지할 수 있다. 즉 체결홈(33)에 제1 커버부재, 제2 커버부재(39) 및 덮개부재가 삽입되어 결합될 수 있다.At this time, the first communication hole 35 is circular in cross section and the cross-sectional area of the first communication hole is smaller than the cross-sectional area of the coupling groove 33, so that the coupling groove can be supported in the coupling groove. That is, the first cover member, the second cover member 39, and the cover member can be inserted and coupled to the coupling groove 33.

한편, 결합바디(31)의 일면 예를 들어 도 6을 참고하면 결합바디의 상부면에는 결합바디를 회전시켜 결합바디의 나사산(31a)이 결합홀(13)에 결합되도록 회전할 수 있도록 복수개의 제1 고정홈(32)이 형성될 수 있다. 6, the coupling body is rotated on the upper surface of the coupling body 31 to rotate the coupling body so that the thread 31a of the coupling body can be coupled to the coupling hole 13, The first fixing groove 32 may be formed.

이때, 회전부재(미도시)를 제1 고정홈(32)에 삽입하여 고정시켜 결합바디(31)를 회전시켜 몸체(11)의 결합홀(13)에 결합시키거나 분해시킬 수 있다.At this time, the rotary body (not shown) may be inserted into the first fixing groove 32 to fix the coupling body 31 to the coupling hole 13 of the body 11.

한편, 제1 커버부재(37)는 몸체(11)의 내부와 외부가 연통되어 제2 커버부재(39)를 보강할 수 있도록 부직포로서 플라스틱 재질로 형성될 수 있다. The first cover member 37 may be formed of a plastic material as a nonwoven fabric so that the inside and the outside of the body 11 communicate with each other to reinforce the second cover member 39.

또한, 제2 커버부재(39)는 몸체(11)의 내부와 외부가 연통될 수 있도록 다공성의 플라스틱 재질일 수 있고 이때, 제2 커버부재의 기공 사이즈(Pore size)는 0.01 내지 1.0 ㎛일 수 있다. 또한, 제2 커버부재(39)는 다공성 재질 중에서도 건조공정에서 가열 온도를 충분히 견딜 수 있는 내열성을 갖는 재질일 수 있다.The second cover member 39 may be made of a porous plastic material so that the inside and the outside of the body 11 can communicate with each other. At this time, the pore size of the second cover member may be 0.01 to 1.0 탆 have. The second cover member 39 may be made of a porous material having heat resistance enough to withstand the heating temperature in the drying process.

도 4 및 도 5를 참고하면, 제1 커버부재(37) 및 제2 커버부재(39)는 원판 형상으로서 결합바디(31)의 체결홈(33)의 단면적보다 작아 체결홈에 삽입되어 안착될 수 있다. 4 and 5, the first cover member 37 and the second cover member 39 are formed in a circular plate shape and smaller than the cross-sectional area of the coupling groove 33 of the coupling body 31, .

한편, 제1 커버부재(37)는 내열성 및 수분에 강한 합성섬유로 구성될 수 있으며 PET(폴리에틸렌 테레프탈레이트), PP(폴리프로필렌), PC(폴리카보네이트) 및 PE(폴리에틸렌)로 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않고, 플라스틱 재질로 시트 형식으로 형성될 수 있다.The first cover member 37 may be made of synthetic fibers resistant to heat and moisture and may be formed of PET (polyethylene terephthalate), PP (polypropylene), PC (polycarbonate), and PE (polyethylene) But it is not limited thereto, and it may be formed in a sheet form of a plastic material.

이때, 제1 커버부재(37)의 두께는 50 내지 150 ㎛로서 공기 투과성이 우수할 수 있다.At this time, the thickness of the first cover member 37 is 50 to 150 占 퐉 and the air permeability can be excellent.

한편, 제2 커버부재(39)는 내열성 및 수분에 강한 합성섬유로 구성될 수 있으며 PTFE(폴리테트라플루오로에틸렌, polytetrafluoroethylene)일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다. On the other hand, the second cover member 39 may be made of synthetic fibers resistant to heat and moisture, and may be PTFE (polytetrafluoroethylene), but is not limited thereto.

한편, 제2 커버부재(39)의 두께는 10 내지 200 ㎛로서 공기 투과성이 우수할 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 제2 커버부재(39)를 통한 유체의 유동은 압력 P = 0.01 MPa일 때 1000 m3/m2.24hr 일 수 있다.On the other hand, the thickness of the second cover member 39 is 10 to 200 占 퐉 and the air permeability can be excellent. At this time, in one embodiment of the present invention, the flow of the fluid through the second cover member 39 may be 1000 m 3 / m 2 .24 hr when the pressure P = 0.01 MPa.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 덮개부재를 도시한 사시도이다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 덮개부재를 도시한 단면 사시도이다.8 is a perspective view showing a lid member of a support bar according to an embodiment of the present invention. 9 is a cross-sectional perspective view illustrating a lid member of a support bar according to an embodiment of the present invention.

도 8 및 도 9를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 덮개부재(41)는 원통 형상으로 결합바디(31)의 체결홈(33)에 나사 결합될 수 있도록 덮개부재의 외주면에는 나사산(41a)이 형성될 수 있다.8 and 9, in an embodiment of the present invention, the lid member 41 is threaded on the outer peripheral surface of the lid member so as to be screwed into the engagement groove 33 of the coupling body 31 in a cylindrical shape. May be formed.

이때 덮개부재(41)의 외주면과 체결홈(33)의 내주면은 나사 결합될 수 있도록 대응되게 형성될 수 있다. 덮개부재(41)는 제1 커버부재(37), 제2 커버부재(39)를 덮어 제1 커버부재 및 제2 커버부재를 체결홈(33)에 고정시킬 수 있다.At this time, the outer circumferential surface of the lid member 41 and the inner circumferential surface of the engaging groove 33 may be formed so as to be screwed together. The lid member 41 can cover the first cover member 37 and the second cover member 39 and fix the first cover member and the second cover member to the engaging groove 33. [

도 8을 참고하면, 덮개부재(41)의 중심부에는 내측으로 함몰된 제2 고정홈(43)이 형성될 수 있다. 이때 제2 고정홈(43)은 단면이 육각형 형상으로서 형성될 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 8, a second fixing groove 43, which is recessed inward, may be formed at the center of the lid member 41. At this time, the second fixing groove 43 may have a hexagonal cross section, but the present invention is not limited thereto.

또한 본 발명의 일 실시예에서 회전부재(미도시)를 제2 고정홈(43)에 삽입하여 고정시켜 덮개부재(41)를 회전시켜 체결홈(33)에 결합시키거나 분해시킬 수 있다.In an embodiment of the present invention, the rotary member (not shown) may be inserted into the second fixing groove 43 to fix the lid member 41 to the coupling groove 33 or to disassemble the rotary member.

한편, 도 6을 참고하면, 제2 고정홈(43)의 중심부에는 제1 커버부재(37), 제2 커버부재(39), 제1 연통홀(35) 및 몸체(11)의 중공부와 연통될 수 있도록 복수개의 제2 연통홀(45)이 덮개부재(41)의 길이 방향으로 관통 형성될 수 있다.6, the first cover member 37, the second cover member 39, the first communication hole 35, and the hollow portion of the body 11 are formed in the central portion of the second fixing groove 43, A plurality of second communication holes 45 may be formed in the longitudinal direction of the lid member 41 so as to communicate with each other.

이때, 복수개의 제2 연통홀(45)은 단면이 사각형으로 제2 연통홀의 단면적은 제2 고정홈(43)의 단면적보다 작을 수 있다.At this time, the plurality of second communication holes 45 may have a rectangular cross-section and a cross-sectional area of the second communication hole may be smaller than a cross-sectional area of the second fixing groove 43.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 압력 완화부를 구비하여 서포트 바 외부와 내부의 압력차를 완화시켜 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않도록 한다. The support bar according to an embodiment of the present invention includes a pressure relieving part to relieve a pressure difference between the outside and inside of the support bar so that water does not flow into the support bar.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 내부의 압력과 외부의 압력의 차를 줄여 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량 발생과, 세정 후 건조과정에서 내부공기 팽창으로 인한 서포트 바의 파손을 사전에 차단시킬 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention reduces the difference between the internal pressure and the external pressure to cause substrate failure due to leakage of water introduced in the cleaning process, Can be prevented in advance.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트는 카세트의 세정 후 건조과정에서 남아있는 물이 기판에 유입되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.Further, the cassette for mounting a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the remaining water from flowing into the substrate during the drying process after the cleaning of the cassette, stabilizing the manufacturing process of the flat panel display device, Products can be produced.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 5 : 기판
7 : 지지대 9 : 봉 부재
10 : 서포트 바 11 : 몸체
12 : 삽입구 13 : 결합홀
14 : 팁 부재 16 : 팁 삽입홀
20 : 체결부 21 : 체결부재
22 : 볼트 삽입홀 23 : 돌출부
30 : 압력 완화부 31 : 결합바디
31a, 33a, 41a : 나사산 32 : 제1 고정홈
33 : 체결홈 35 : 제1 연통홀
36 : 커버부 37 : 제1 커버부재
39 : 제2 커버부재 41 : 덮개부재
43 : 제2 고정홈 45 : 제2 연통홀1: Cassette for loading substrates 2: Upper frame
3: lower frame 5: substrate
7: Support member 9: Rod member
10: Support bar 11: Body
12: insertion hole 13: coupling hole
14: tip member 16: tip insert hole
20: fastening part 21: fastening member
22: bolt insertion hole 23:
30: Pressure relief 31: Coupling body
31a, 33a, 41a: thread 32: first fixing groove
33: fastening groove 35: first communication hole
36: cover part 37: first cover member
39: second cover member 41: cover member
43: second fixing groove 45: second communication hole

Claims (12)

기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트 바로서,
바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상부면에 상기 기판을 지지되고 하부면에 결합홀이 형성된 몸체;
상기 결합홀에 결합되고, 상기 중공부와 외부를 연통시키는 제1 연통홀이 형성된 결합바디 및 상기 제1 연통홀을 덮도록 상기 결합바디의 일측에 결합되는 다공성 재질의 커버부를 포함하여 상기 몸체 내부와 외부의 압력차를 완화시켜 상기 몸체 내부로 물이 유입되는 것을 방지하거나 상기 몸체 내부의 공기가 물로 되는 것을 방지하는 압력 완화부를 포함하는 서포트 바.A support bar provided in the cassette for substrate loading and supporting the substrate,
A body formed in a bar shape and having a hollow portion formed therein, the substrate being supported on an upper surface thereof and having a coupling hole formed in a lower surface thereof;
A coupling body coupled to the coupling hole and having a first communication hole for communicating the hollow portion with the outside and a cover portion of a porous material coupled to one side of the coupling body to cover the first communication hole, And a pressure relief portion for relieving pressure difference between the outside and the outside of the body to prevent water from flowing into the inside of the body or to prevent air inside the body from becoming water. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 커버부는
상기 제1 연통홀과 연통되도록 일면이 상기 제1 연통홀을 커버하는 제1 커버부재 및
상기 제1 커버부재의 타면에 배치되어 상기 제1 커버부재와 연통되는 제2 커버부재 중 적어도 하나를 포함하여 공기는 투과하고, 물의 투과를 방지하는 서포트 바.The method according to claim 1,
The cover
A first cover member which covers one side of the first communication hole so as to communicate with the first communication hole and
And a second cover member disposed on the other surface of the first cover member and communicating with the first cover member, the air being permeable to prevent permeation of water. 제3 항에 있어서,
상기 결합바디는 원통 형상으로 형성되되,
상기 결합바디의 외주면은 상기 결합홀과 대응되도록 형성되어 상기 결합바디가 상기 결합홀에 결합되는 서포트 바.The method of claim 3,
The coupling body is formed in a cylindrical shape,
Wherein the outer peripheral surface of the coupling body is formed to correspond to the coupling hole, and the coupling body is coupled to the coupling hole. 제4 항에 있어서,
상기 결합바디의 외주면과 상기 결합홀의 내주면은 열 융착, 초음파 융착, 접착제 중 적어도 하나로 접착되는 서포트 바.5. The method of claim 4,
Wherein the outer peripheral surface of the coupling body and the inner peripheral surface of the coupling hole are bonded by at least one of thermal fusion, ultrasonic fusion, and adhesive. 제5 항에 있어서,
상기 결합바디는 일면에 내측방향으로 함몰된 체결홈이 형성되고, 상기 체결홈의 중심부에는 상기 제1 연통홀이 형성되되,
상기 체결홈의 단면적은 상기 제1 연통홀의 단면적보다 커서 상기 커버부를 지지하는 서포트 바.6. The method of claim 5,
Wherein the coupling body is formed with a coupling groove recessed inwardly on one surface thereof, the first communication hole is formed in a center portion of the coupling groove,
And the cross-sectional area of the coupling groove is larger than the cross-sectional area of the first communication hole, thereby supporting the cover. 제6 항에 있어서,
상기 체결홈을 덮도록 결합되어 상기 제1 커버부재 및 상기 제2 커버부재를 상기 체결홈에 고정시키는 덮개부재를 포함하되,
상기 덮개부재에는 상기 제1 연통홀, 제1 커버부재 및 상기 제2 커버부재와 연통되도록 제2 연통홀이 형성된 서포트 바.The method according to claim 6,
And a cover member coupled to cover the coupling groove to fix the first cover member and the second cover member to the coupling groove,
Wherein the cover member is formed with a second communication hole to communicate with the first communication hole, the first cover member, and the second cover member. 제3 항에 있어서,
상기 제1 커버부재는 부직포로서 플라스틱 재질로 형성된 서포트 바.The method of claim 3,
Wherein the first cover member is formed of a plastic material as a nonwoven fabric. 제8 항에 있어서,
상기 제1 커버부재의 두께는 50 내지 150 ㎛인 서포트 바.9. The method of claim 8,
And the thickness of the first cover member is 50 to 150 탆. 제3 항에 있어서,
상기 제2 커버부재는 다공성의 플라스틱 재질로 형성된 서포트 바.The method of claim 3,
And the second cover member is formed of a porous plastic material. 제10 항에 있어서,
상기 제2 커버 부재의 두께는 10 내지 200 ㎛이고, 기공 사이즈는 0.01 내지 1.0 ㎛인 서포트 바.11. The method of claim 10,
Wherein the thickness of the second cover member is 10 to 200 占 퐉 and the pore size is 0.01 to 1.0 占 퐉. 상부 프레임;
하부 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 복수개의 지지대; 및
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하고 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 타측면에 수직 방향으로 결합되어 수직 방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판을 지지하는 제1 항, 제3 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 서포트 바;를 포함하는 기판 적재용 카세트.An upper frame;
A lower frame;
A plurality of supports vertically coupled to one side surface of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame and the lower frame; And
Wherein the upper frame and the lower frame are connected to each other in the vertical direction and are vertically coupled to the other side surfaces of the upper frame and the lower frame to be spaced apart from each other at regular intervals along the vertical direction to support the substrate. A cassette for mounting a substrate, comprising a support bar according to any one of claims 11 to 20.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170002536U (en) * 2017-06-21 2017-07-12 이이원 Cassette for carrying glass substrate
KR101944718B1 (en) * 2018-07-05 2019-02-01 (주)상아프론테크 Insert structure and cassette for loading substrate with the same

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101738003B1 (en) * 2016-08-18 2017-05-22 (주)상아프론테크 Insert structure for supporting a support bar and substrate loading cassette having the same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100000687U (en) * 2008-07-14 2010-01-22 안병홍 storage case for photomask
KR20100046431A (en) * 2008-10-27 2010-05-07 (주)케이엠 A support bar for the substrate-loading cassette and the manufacturing method thereof

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000142876A (en) * 1999-01-01 2000-05-23 Sharp Corp Base storage cassette
KR100870661B1 (en) * 2002-03-15 2008-11-26 엘지디스플레이 주식회사 Cassette for accepting substrate
KR100575160B1 (en) * 2004-08-30 2006-04-28 삼성전자주식회사 Cassette for carrying panel
KR100600515B1 (en) * 2005-01-20 2006-07-13 (주)상아프론테크 Cassette having a connector for installing the cross-bar

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20100000687U (en) * 2008-07-14 2010-01-22 안병홍 storage case for photomask
KR20100046431A (en) * 2008-10-27 2010-05-07 (주)케이엠 A support bar for the substrate-loading cassette and the manufacturing method thereof

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20170002536U (en) * 2017-06-21 2017-07-12 이이원 Cassette for carrying glass substrate
KR200487579Y1 (en) * 2017-06-21 2018-11-28 이이원 Cassette for carrying glass substrate
KR101944718B1 (en) * 2018-07-05 2019-02-01 (주)상아프론테크 Insert structure and cassette for loading substrate with the same

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