KR101725263B1 - Support bar and substrate loading cassette having the same - Google Patents

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KR101725263B1
KR101725263B1 KR1020150144924A KR20150144924A KR101725263B1 KR 101725263 B1 KR101725263 B1 KR 101725263B1 KR 1020150144924 A KR1020150144924 A KR 1020150144924A KR 20150144924 A KR20150144924 A KR 20150144924A KR 101725263 B1 KR101725263 B1 KR 101725263B1
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이상열
한상엽
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(주)상아프론테크
소주상아전자유한공사
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    • G02F2001/1316—

Abstract

A support bar is provided. The support bar includes a body which includes a body which is installed in a cassette for loading a substrate, includes a hollow part inside to support the substrate, and supports the substrate on one side thereof, and a tip member which is combined with one side of the body and absorbs an impact applied to the body by the substrate. Accordingly, the present invention can prevent water from flowing into the support bar by including the tip member.

Description

서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트{Support bar and substrate loading cassette having the same}Technical Field [0001] The present invention relates to a support bar and a cassette for supporting the same,

본 발명은 서포트 바 및 이를 구비한 기판 적재용 카세트에 관한 것이다.The present invention relates to a support bar and a cassette for loading a substrate having the support bar.

일반적으로, 액정표시장치의 액정패널은 게이트 배선 및 데이터 배선에 의해 정의된 화소 영역에 박막 트랜지스터와 화소 전극을 구비한 박막 트랜지스터 기판과, 컬러필터층과 공통전극을 구비한 컬러필터 기판과, 상기 두 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.In general, a liquid crystal panel of a liquid crystal display device includes a thin film transistor substrate having a thin film transistor and a pixel electrode in a pixel region defined by a gate wiring and a data wiring, a color filter substrate having a color filter layer and a common electrode, And a liquid crystal layer interposed between the substrates.

이와 같이 구성된 액정표시장치의 제조공정은 기판 제조공정, 셀 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나눌 수 있다.The manufacturing process of the liquid crystal display device having such a structure can be divided into three processes: a substrate manufacturing process, a cell manufacturing process, and a module process.

먼저, 기판 제조공정은 박막 트랜지스터 제작공정과 컬러필터 제작 공정으로 세분화 된다. 박막 트랜지스터 제작공정은 하부 기판상에 복수의 박막 트랜지스터와 화소전극을 제작하는 공정을 말하는 것이며, 컬러필터 제작공정은 블랙 매트릭스가 형성된 상부 기판상에 염료나 안료를 사용하여 R, G, B 색상의 컬러 필터층을 형성하고 공통전극을 형성하는 공정을 일컫는다.First, the substrate manufacturing process is divided into a thin film transistor fabrication process and a color filter fabrication process. The thin film transistor fabrication process refers to a process for fabricating a plurality of thin film transistors and pixel electrodes on a lower substrate. In the color filter fabrication process, a dye or a pigment is applied to an upper substrate on which a black matrix is formed to form R, G, Forming a color filter layer and forming a common electrode.

또한, 셀 공정은 박막 트랜지스터 공정이 완료된 하부 기판과 컬러필터 공정이 완료된 상부 기판의 두 기판 사이에 일정한 간격이 유지되도록 스페이서를 산포하여 합착하고 액정을 주입하여 액정표시장치의 셀을 제조하는 공정을 말한다.In addition, the cell process is a process of manufacturing a cell of a liquid crystal display device by dispersing spacers such that spacers are spaced apart from each other and injecting liquid crystals so as to maintain a constant gap between the lower substrate on which the thin film transistor process is completed and the upper substrate on which the color filter process is completed It says.

마지막으로, 모듈 공정은 신호 처리를 위한 회로부를 제작하고 액정표시장치 패널과 신호처리 회로부를 연결시켜 모듈을 제작하는 공정을 말한다.Finally, the module process refers to a process for manufacturing a module for signal processing and a module for connecting a liquid crystal display panel and a signal processing circuit portion.

이와 같은 액정표시장치의 제조 공정은 각각의 공정을 수행하기 위해 해당 공정 장비로 기판을 이송 받고 다음 공정 장비로 기판을 이송할 때 상기 기판을 일시 저장할 수 있는 수단을 필요로 한다.The manufacturing process of the liquid crystal display device requires a means for temporarily storing the substrate when the substrate is transferred to the corresponding process equipment to transfer the substrate to the next process equipment.

이에 부합되는 수단으로서 카세트(Cassette)가 주로 사용되는데, 이를 통해 다수의 기판은 각각 낱장으로 적재되어 한꺼번에 이송될 수 있다. 이때, 카세트에는 다수의 서포트 바가 높이방향으로 부설되어 다수의 기판이 상호 이격된 형태로 적재될 수 있도록 한다. A cassette is mainly used as a means to cope with this, by which a plurality of substrates can be stacked one by one and transported at a time. At this time, a plurality of support bars are attached to the cassette in a height direction so that a plurality of substrates can be stacked in a spaced apart form.

종래의 서포트 바는 기판 생산라인에서 일정주기마다 카세트에 대한 정기적인 세정이 실시되는데, 세정 과정에서 사용되는 물이 이후 과정에서 팁이 결합된 부분을 통해 서포트 바 내부로 침투하게 되며 이 때문에 서포트 바 아래에 적재된 기판 위로 물이 떨어지게 되어 기판의 불량을 일으킬 수 있다.In the conventional support bar, the cassette is periodically cleaned at regular intervals in the substrate production line. Water used in the cleaning process penetrates into the support bar through the portion where the tips are coupled in the following process. Water may fall onto the substrate placed below and cause defective substrates.

본 발명의 일 실시예는 세정 과정 중 사용되는 물이 서포트 바 내부로 유입되지 않도록 하는 서포트 바를 제공하고자 한다.An embodiment of the present invention is to provide a support bar that prevents water used during a cleaning process from flowing into a support bar.

본 발명의 일 측면에 따르면 기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하기 위해서 바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상기 기판을 지지하는 일면에 팁 삽입홀이 형성된 몸체; 상기 팁 삽입홀에 결합되는 기둥부 및 상기 기둥부의 일단부에 연결되고 일면은 상기 팁 삽입홀을 덮도록 형성되며, 타면은 상기 기판을 지지하도록 형성된 머리부를 포함하여 상기 기판에 의해 상기 몸체에 가해지는 충격을 흡수하고, 상기 기판에 발생되는 스크래치를 방지하기 위해 형성된 팁 부재 및 상기 머리부의 일면과 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 머리부와 상기 몸체 사이의 간극을 밀봉하도록 형성되어 상기 몸체 내부로 물이 유입되는 것을 방지하기 위한 실링 부재를 포함하는 서포트 바를 제공한다. According to one aspect of the present invention, there is provided a cassette for mounting a substrate, comprising: a body having a hollow portion formed therein in a bar shape and supporting a substrate; And a head portion connected to one end of the column portion and having one surface formed to cover the tip insertion hole and the other surface configured to support the substrate, A tip member formed to absorb a shock caused by the impact on the substrate and to prevent scratches generated on the substrate and a tip member formed between one surface of the head and the body to seal the gap between the head and the body, And a sealing member for preventing the inflow of the gas.

이때, 상기 팁 삽입홀은 상기 몸체의 길이 방향을 따라 복수개가 형성되어 상기 팁 부재와 결합될 수 있다.At this time, a plurality of the tip insertion holes may be formed along the longitudinal direction of the body so as to be coupled with the tip member.

삭제delete

이때, 상기 기둥부는 원기둥 형상으로 형성되되, 상기 기둥부의 외주면에는 나사산이 형성되고 상기 팁 삽입홀에는 상기 나사산에 대응되도록 형성될 수 있다.At this time, the column portion may be formed in a columnar shape, and a thread may be formed on the outer peripheral surface of the column portion, and the tip insertion hole may be formed to correspond to the thread.

이때, 상기 머리부의 일면 및 타면이 평면으로 형성될 수 있다.At this time, one surface and the other surface of the head portion may be formed as a flat surface.

이때, 상기 실링 부재는 링 형상이거나 원반 형상으로 형성될 수 있다.At this time, the sealing member may be ring-shaped or disc-shaped.

삭제delete

이때, 상기 기둥부의 외주면과 접하는 상기 팁 삽입홀의 내주면 및 상기 머리부의 타면과 접하는 상기 몸체의 일면이 접착제로 접착될 수 있다.At this time, the inner circumferential surface of the tip insertion hole, which is in contact with the outer circumferential surface of the column portion, and the one surface of the body, which is in contact with the other surface of the head portion, may be adhered with an adhesive.

이때, 상기 접착제는 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.At this time, the adhesive may be formed of a urethane-based material or a silicon material.

이때, 상기 팁 부재는 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.At this time, the tip member may be formed of a plastic material.

본 발명의 다른 측면에 따르면 상부 프레임, 하부 프레임, 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대; 상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 전술한 서포트 바; 및 상기 지지대의 일측에 결합되고, 상기 서포트 바의 내부로 삽입되어 상기 지지대에 상기 서포트 바를 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 적재용 카세트를 제공한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a support structure comprising: an upper frame; a lower frame; a support vertically coupled to one side of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame and the lower frame; A support bar connected to the support vertically and supporting the substrate; And a coupling part coupled to one side of the support bar and inserted into the support bar to fix the support bar to the support bar.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 팁 부재를 구비하여 서포트 바 내부로 물이 유입되지 않도록 한다. The support bar according to an embodiment of the present invention includes a tip member to prevent water from flowing into the support bar.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량 발생을 예방할 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the occurrence of substrate defects due to leakage of water introduced in the cleaning process.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트는 카세트의 세정 후 건조과정에서 남아있는 물이 기판에 유입되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.Further, the cassette for mounting a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the remaining water from flowing into the substrate during the drying process after the cleaning of the cassette, stabilizing the manufacturing process of the flat panel display device, Products can be produced.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 몸체에 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재에 결합된 실링 부재를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재에 결합된 실링 부재의 변형예를 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a substrate loaded on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.
3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view illustrating a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention.
5 is a cross-sectional view illustrating a state where a tip member is coupled to a body of a support bar according to an embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view illustrating a sealing member coupled to a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing a modified example of a sealing member coupled to a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view illustrating a pressure relief unit of a support bar according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, which will be readily apparent to those skilled in the art to which the present invention pertains. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "아래에" 있다고 할 경우, 이는 다른 부분 "바로 아래에" 있는 경우뿐만 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다.In this specification, the terms "comprises" or "having" and the like refer to the presence of stated features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, parts, or combinations thereof. Also, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, or the like is referred to as being "on" another section, it includes not only the case where it is "directly on" another part but also the case where there is another part in between. On the contrary, where a section such as a layer, a film, an area, a plate, etc. is referred to as being "under" another section, this includes not only the case where the section is "directly underneath"

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트를 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비반 기판 적재용 카세트에 기판이 적재된 것을 도시한 평면도이다.1 is a perspective view illustrating a cassette for loading a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view showing a substrate mounted on a cassette for mounting a half-board with a support bar according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 상부 프레임(2), 하부 프레임(3), 지지대(7), 수직 프레임(8), 봉 부재(9) 및 서포트 바(10)를 포함할 수 있다.1, a cassette 1 for loading a substrate with a support bar 10 according to an embodiment of the present invention includes an upper frame 2, a lower frame 3, a support frame 7, 8, a rod member 9, and a support bar 10.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)를 구비한 기판 적재용 카세트(1)는 기판(5)을 반입하여 적재해두고 적재된 기판을 다시 반출하는 과정 동안 기판을 안정적으로 적재해 두고 일련의 생산 과정 동안 기판의 불량을 발생시키는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, the cassette 1 for loading a substrate with the support bar 10 according to the embodiment of the present invention can be used for loading and unloading the substrate 5 and stably loading the substrate during the process of re- Thereby preventing the substrate from being defective during a series of production processes.

도 1을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 판 형상으로 형성될 수 있다. 이때, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 각각 기판(5)과 유사하게 형성되어 기판을 안정적으로 지지할 수 있다.Referring to FIG. 1, in an embodiment of the present invention, the upper frame 2 and the lower frame 3 may each be formed in a plate shape. At this time, the upper frame 2 and the lower frame 3 are formed similarly to the substrate 5, and can stably support the substrate.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)은 직사각형 형상으로 형성될 수 있다. 또한 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하방향으로 연결하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 양 측면에 복수개의 지지대(7)가 수직 방향으로 결합될 수 있다.That is, as shown in FIG. 1, the upper frame 2 and the lower frame 3 may be formed in a rectangular shape. In order to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, a plurality of supports 7 may be vertically coupled to both sides of the upper frame and the lower frame.

이때 복수개의 지지대(7)는 바 형상으로 형성되고, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 횡 방향으로 나란하게 이격되도록 배치될 수 있다.At this time, the plurality of supports 7 are formed in a bar shape and can be arranged to be spaced apart in the lateral direction of the upper frame 2 and the lower frame 3.

또한 복수개의 지지대(7)에는 상하 방향을 따라 일정 간격으로 복수개의 봉 부재(9)가 설치되어 직사각형 형상인 기판(5)의 주변부를 지지할 수 있다. Further, a plurality of support members 7 may be provided with a plurality of bar members 9 at regular intervals along the vertical direction to support a peripheral portion of the substrate 5 having a rectangular shape.

도 2를 참고하면, 봉 부재(9)는 봉 형상으로 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)의 내측 방향으로 돌출 형성되고, 상부 프레임 및 하부 프레임과 나란하게 복수개가 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.2, the rod member 9 is protruded in the inner direction of the upper frame 2 and the lower frame 3 in the form of a bar, and a plurality of the rod members 9 are arranged in parallel with the upper frame and the lower frame, . ≪ / RTI >

이때 봉 부재(9)는 기판(5)의 측면과 수직하게 배치되어 기판을 지지할 수 있다.At this time, the rod member 9 can be disposed perpendicular to the side surface of the substrate 5 to support the substrate.

한편 도 1을 참고하면, 상부 프레임(2) 및 하부 프레임(3)을 상하 방향으로 연결하고 서포트 바(10)을 설치하기 위하여 상부 프레임 및 하부 프레임의 후면에 복수개의 수직 프레임(8)이 수직 방향으로 결합될 수 있다.1, a plurality of vertical frames 8 are vertically arranged on the rear surfaces of the upper frame and the lower frame so as to connect the upper frame 2 and the lower frame 3 in the vertical direction, Lt; / RTI >

이때 수직 프레임(8)은 종단면이 H자 형상으로 형성되어 후술할 서포트 바(10)의 체결부재(21)와 결합될 수 있다.At this time, the vertical frame 8 is formed in an H-shaped vertical section and can be coupled to the fastening member 21 of the support bar 10 to be described later.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 몸체(11), 팁 부재(14), 체결부(20) 및 압력 완화부(30)를 포함할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)는 복수개의 수직프레임(8)의 상하방향을 따라 일정 간격으로 설치되어 기판(5)을 지지할 수 있다.The support bar 10 may include a body 11, a tip member 14, a fastening portion 20, and a pressure relief portion 30. [ In one embodiment of the present invention, the support bars 10 may be provided at regular intervals along the vertical direction of the plurality of vertical frames 8 to support the substrate 5.

도 2를 참고하면 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치될 수 있다. 이는 봉 부재(9) 만으로 기판(5)의 양 단부를 지지하는 경우 기판의 중앙부가 아래로 처져 카세트(1)에 기판을 적재 또는 반출하는 로봇 등과 기판이 충돌될 수 있으므로 복수개의 서포트 바(10)를 복수개의 봉 부재(9) 사이에 배치하여 이러한 위험을 방지할 수 있다.Referring to FIG. 2, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be disposed between the plurality of bar members 9. This is because when the both ends of the substrate 5 are supported by only the rod member 9, the central portion of the substrate is lowered and the substrate may collide with the robot or the like which loads or unloads the substrate to or from the cassette 1, Can be disposed between the plurality of bar members 9 to prevent such a danger.

이때, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 서포트 바(10)는 기판(5)을 지지하는 봉 부재(9)와 동일한 높이에 배치되어 봉 부재(9)와 함께 기판이 아래로 휘지 않고 평행하게 적재되도록 할 수 있다.1 and 2, the support bar 10 is disposed at the same height as the rod member 9 supporting the substrate 5 so that the substrate together with the rod member 9 is parallel And the like.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 도시한 사시도이다.3 is a perspective view illustrating a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 1 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 내부에 중공부가 형성된 바 형상의 몸체(11)로 형성될 수 있다. 몸체(11) 내부에 중공부가 형성되어 원자재를 절감할 수 있고, 전체적인 무게를 경감시킬 수 있으며 제작이 용이할 수 있다.1 and 3, the support bar 10 according to an embodiment of the present invention may be formed of a bar-shaped body 11 having a hollow portion formed therein. A hollow portion is formed inside the body 11 to save the raw material, the overall weight can be reduced, and the production can be facilitated.

이때, 몸체(11)는 단면이 사각형 형상인 사각 기둥 형상으로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 단면이 원형, 타원형, 다각형 등으로 형성될 수 있다.At this time, the body 11 may be formed in a rectangular column shape having a rectangular cross section, but not limited thereto, and the cross section may be formed in a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, or the like.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)는 탄소 섬유 강화플라스틱(carbon fiber reinforced plastic, CFRP), 카본 필름, 유리강화필름, 아라미드 필름 및 금속 박막으로 단층 또는 다층으로 형성될 수 있다.Meanwhile, in one embodiment of the present invention, the body 11 may be formed as a single layer or a multilayer of a carbon fiber reinforced plastic (CFRP), a carbon film, a glass reinforced film, an aramid film and a metal film.

이때, 탄소 섬유 강화플라스틱(CFRP)이란 비강도(specific strength), 강성(rigidity), 파단강도(rupture strength)가 매우 우수한 것으로 알려진 탄소섬유로 이루어진 직물 또는 시트에 에폭시 수지를 함침시켜 경화시킨 것이다.The carbon fiber reinforced plastic (CFRP) is a fabric or sheet made of carbon fiber, which is known to have excellent specific strength, rigidity and rupture strength, and is cured by impregnating an epoxy resin.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 몸체를 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합하기 위해서 체결부(20)가 형성될 수 있다. 3, in order to engage the body with the vertical frame 8 of the cassette 1, at a rear end of the body, for example, at one end of the body 11, (20) may be formed.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 서포트 바(10)를 지지대(7)에 고정시켜 서포트 바의 상부면에 기판(5)을 적재할 수 있도록 한다. 이때 서포트 바(10)는 체결부(20)와 일체로 형성될 수 있으나 이에 한정되지 않고 체결부와 별도로 결합될 수 있다.Thus, in one embodiment of the present invention, the support bar 10 is fixed to the support 7 so that the substrate 5 can be loaded on the upper surface of the support bar. At this time, the support bar 10 may be integrally formed with the fastening part 20, but it is not limited thereto and may be separately connected to the fastening part.

한편 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 체결부(20)는 체결부재(21) 및 돌출부(23)를 구비할 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에서 체결부재(21)는 단면이 육각형으로 형성되고 알루미늄 합금, 스테인리스 합금과 같은 비철금속으로 이루어질 수 있다.3, the fastening portion 20 may include a fastening member 21 and a protruding portion 23 in an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 3, in an embodiment of the present invention, the fastening member 21 is formed in a hexagonal shape in cross section and may be made of a non-ferrous metal such as an aluminum alloy or a stainless steel alloy.

또한, 도 1을 참고하면 체결부재(21)의 양 측면 및 후면에는 수직 프레임(8)과 나사 결합될 수 있도록 복수개의 볼트 삽입홀(22)이 형성될 수 있다.1, a plurality of bolt insertion holes 22 may be formed on both side surfaces and rear surface of the fastening member 21 so as to be screwed with the vertical frame 8.

이때, 체결부재(21)의 볼트 삽입홀(22)에 볼트가 체결되어 수직 프레임(8)에 결합될 수 있다. 이때 수직 프레임(8)은 체결부재(21)와 결합 시 체결부재의 볼트 삽입홀(22)과 대응되는 위치에 볼트홀(미도시)이 형성될 수 있다.At this time, the bolt is fastened to the bolt insertion hole 22 of the fastening member 21 and can be coupled to the vertical frame 8. At this time, the vertical frame 8 may be formed with a bolt hole (not shown) at a position corresponding to the bolt insertion hole 22 of the fastening member when engaged with the fastening member 21.

도 3을 참고하면, 체결부재(21)의 전면에는 돌출부(23)가 전방측으로 돌출 형성될 수 있다. 이때 돌출부(23)는 바 형상으로 단면이 사각형일 수 있으나 이에 한정되지는 않는다.Referring to FIG. 3, protrusions 23 may protrude forward from the front surface of the fastening member 21. At this time, the projecting portion 23 may be bar-shaped and have a rectangular cross section, but the present invention is not limited thereto.

한편, 몸체(11)는 일단부 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 후방측 단부에는 삽입구(12)가 형성될 수 있다. 이때, 본 발명의 일 실시예에서 삽입구(12)는 돌출부(23)의 외측면과 대응되도록 형성되어 돌출부가 삽입구에 삽입되어 체결부재(21)와 몸체(11)가 결합될 수 있다. Meanwhile, the body 11 may have an insertion port 12 formed at one end portion, for example, as shown in FIG. 3, at a rear side end portion of the body. In this case, in the embodiment of the present invention, the insertion port 12 is formed so as to correspond to the outer surface of the protrusion 23, and the protrusion can be inserted into the insertion port so that the coupling member 21 and the body 11 can be coupled.

도 3을 참고하면 본 발명의 일 실시예에서 돌출부(23)는 상부 양 측면에 삽입홈(23a)이 형성될 수 있다. 이때 삽입홈(23a)는 돌출부(23)의 수평방향으로 연장 형성될 수 있다.Referring to FIG. 3, in one embodiment of the present invention, the projecting portion 23 may have an insertion groove 23a formed on both upper and lower sides thereof. At this time, the insertion groove 23a may be formed to extend in the horizontal direction of the protrusion 23.

이를 통해 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)의 삽입구(12)에 돌출부(23)가 삽입되어 결합될 때 삽입홈(23a)에 의해 서포트 바의 팁 부재(14)가 돌출부에 간섭되지 않고 결합될 수 있다. As a result, when the protrusion 23 is inserted into the insertion port 12 of the support bar 10 according to the embodiment of the present invention, the tip member 14 of the support bar is interfered with the protrusion by the insertion groove 23a But can be combined.

또한 이를 통해 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)가 카세트(1)의 수직 프레임(8)에 결합되어 고정될 수 있다. Also, the body 11 can be fixedly coupled to the vertical frame 8 of the cassette 1 according to an embodiment of the present invention.

도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 타단부 예를 들어 전방측 단부에는 몸체를 밀봉하기 위해 밀봉부재(미도시)와 결합될 수 있으나 이에 한정되지 않는다.Referring to FIG. 3, in the embodiment of the present invention, the other end of the body 11, for example, the front end, may be coupled with a sealing member (not shown) to seal the body.

이때, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 중공부는 외부로부터 밀폐되기 때문에, 평판 디스플레이 제조 공정에 사용될 때, 내부로 공기가 유입되거나 세정 시 물이 채워질 수 없으며, 세정 후 건조과정에서의 내부공기 팽창으로 인한 몸체(11)의 크랙(crack) 발생 등과 같은 파손 위험은 물론, 세정 이후의 기판 적재 과정에서 내부로부터 새어 나온 물이 기판의 불량을 야기하는 것을 방지할 수 있다.At this time, in the embodiment of the present invention, since the hollow portion of the body 11 is sealed from the outside, when it is used in a flat panel display manufacturing process, air can not be introduced into the interior or can not be filled with water during cleaning, It is possible to prevent the breakage of the body 11 due to internal air expansion and the like as well as the water leaking from the inside in the course of substrate loading after cleaning to cause the substrate to be defective.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재를 도시한 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 몸체에 팁 부재가 결합된 상태를 도시한 단면도이다.4 is a perspective view illustrating a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention. 5 is a cross-sectional view illustrating a state where a tip member is coupled to a body of a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 4 및 도 5를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에서 몸체(11)의 일면 예를 들어 상부면에는 기판(5) 적재 시 기판에 의해 가해지는 충격을 흡수하고 기판에 발생되는 스크래치를 방지하기 위한 팁 부재(14)가 결합될 수 있다. 4 and 5, in one embodiment of the present invention, on one side of the body 11, for example, the upper surface may absorb the impact applied by the substrate when the substrate 5 is loaded, The tip member 14 may be coupled to prevent the tip member 14 from being damaged.

이때 몸체(11)는 바 형상으로 형성될 수 있다. 또한 몸체(11)의 일면 예를 들어 도 3에 도시된 바와 같이 몸체의 상부면에는 팁 부재(14)가 결합될 수 있도록 팁 삽입홀(16)이 형성될 수 있다.At this time, the body 11 may be formed into a bar shape. 3, a tip insertion hole 16 may be formed on the upper surface of the body 11 to allow the tip member 14 to be coupled thereto.

이때 팁 삽입홀(16)은 몸체(11)의 길이방향을 따라 복수개로 형성되고 복수개의 팁 부재가(14)가 팁 삽입홀에 결합되어 기판(5)을 효율적으로 지지할 수 있다.At this time, a plurality of tip insertion holes 16 are formed along the longitudinal direction of the body 11, and a plurality of tip members 14 are coupled to the tip insertion holes to efficiently support the substrate 5.

한편 팁 부재(14)는 외주면이 팁 삽입홀(16)에 대응되도록 형성되어 팁 삽입홀에 나사결합 또는 끼움 결합될 수 있다.On the other hand, the tip member 14 is formed so that its outer circumferential surface corresponds to the tip insertion hole 16 and can be screwed or fitted to the tip insertion hole.

도 4를 참고하면, 팁 부재(14)는 플라스틱 재질로 형성될 수 있고 기둥부(14b) 및 머리부(14a)를 포함할 수 있다. 4, the tip member 14 may be formed of a plastic material and may include a post 14b and a head 14a.

기둥부(14b)는 원기둥 형상으로 형성될 수 있다. 또한 기둥부(14b)의 외주면에는 나사산(18)이 형성되고 팁 삽입홀(16)의 내주면은 나사산에 대응되도록 형성되어 기둥부가 팁 삽입홀에 나사 결합될 수 있다.The columnar portion 14b may be formed in a columnar shape. In addition, a thread 18 is formed on the outer peripheral surface of the post 14b and an inner circumferential surface of the tip insert hole 16 is formed to correspond to the thread, so that the post can be screwed into the tip insertion hole.

한편 기둥부의 일단 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이, 기둥부의 상단부에는 머리부(14a)가 결합될 수 있다.Meanwhile, as shown in FIG. 4, the head portion 14a may be coupled to the upper end of the column portion.

도 4를 참고하면, 머리부(14a)는 반 구 형상과 유사할 수 있으나 기판(5)이 지지되는 머리부의 상부면은 기판을 용이하게 지지할 수 있도록 평면으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 4, the head 14a may be similar to the hemispherical shape, but the upper surface of the head, on which the substrate 5 is supported, may be planarized to facilitate supporting the substrate.

또한 머리부(14a)의 일면과 타면이 평행하게 형성될 수 있다. 즉 머리부(14a)의 상부면과 하부면은 평행하게 형성되어 머리부의 상부면은 기판을 지지할 수 있고 머리부의 하부면은 팁 삽입홀(16)을 덮도록 형성될 수 있다.Further, one surface of the head 14a may be formed parallel to the other surface. That is, the upper surface and the lower surface of the head portion 14a are formed in parallel so that the upper surface of the head portion can support the substrate and the lower surface of the head portion can be formed to cover the tip insertion hole 16.

이는 머리부(14a)의 하부면과 팁 삽입홀(16)을 통해 물이 서포트 바(10) 내부로 유입되는 것을 방지하기 위함이다. This is to prevent water from flowing into the support bar 10 through the lower surface of the head 14a and the tip insertion hole 16. [

도 5를 참고하면, 팁 부재(14)의 외주면과 팁 삽입홀(16)의 내주면이 접착제로 접착될 수 있다. 즉, 팁 부재(14)의 기둥부(14b)의 외주면과 접하는 팁 삽입홀(16)의 내주면 및 머리부(14a)의 하부면과 접하는 몸체(11)의 상부면은 접착제로 접착될 수 있다. 5, the outer circumferential surface of the tip member 14 and the inner circumferential surface of the tip insertion hole 16 can be bonded with an adhesive. That is, the inner peripheral surface of the tip insertion hole 16, which is in contact with the outer peripheral surface of the columnar portion 14b of the tip member 14, and the upper surface of the body 11 that contacts the lower surface of the head 14a, .

이를 통해 본 발명이 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 팁 부재(14)와 팁 삽입홀(16) 사이에 형성된 간극을 막아 서포트 바 내부로 물이 유입되지 않도록 할 수 있다. Accordingly, the support bar 10 according to the embodiment of the present invention can prevent the water from flowing into the support bar by blocking the gap formed between the tip member 14 and the tip insertion hole 16.

이때 본 발명의 일 실시예에서 접착제는 에폭시, 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성될 수 있다.At this time, the adhesive may be formed of epoxy, urethane or silicone material according to an embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재에 결합된 실링 부재를 도시한 단면도이다. 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 팁 부재에 결합된 실링 부재의 변형예를 도시한 단면도이다.6 is a cross-sectional view illustrating a sealing member coupled to a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention. 7 is a cross-sectional view showing a modified example of a sealing member coupled to a tip member of a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편 본 발명의 일 실시예에서 팁 부재(14)가 팁 삽입홀(16)에 결합된 상태에서 팁 부재와 몸체 사이를 밀봉하기 위하여 팁 부재의 외주면에 실링 부재(15)가 형성될 수 있다. Meanwhile, in an embodiment of the present invention, a sealing member 15 may be formed on the outer circumferential surface of the tip member to seal between the tip member and the body in a state where the tip member 14 is coupled to the tip insertion hole 16.

이때 도 6을 참고하면 실링 부재(15a)는 링 형상으로 형성되어 기둥부의 외주면과 팁 삽입홀(16) 사이를 밀봉하여 기둥부의 외주면과 팁 삽입홀의 간극을 통해 물이 서포트 바(10) 내부로 유입되지 않도록 할 수 있다. 6, the sealing member 15a is formed in a ring shape to seal between the outer circumferential surface of the column portion and the tip insertion hole 16, so that water flows into the support bar 10 through the gap between the outer circumferential surface of the column portion and the tip insertion hole It can be prevented from flowing.

또한, 도 7를 참고하면 실링 부재(15b)는 원반 형상으로 형성되어 머리부(14a)의 하부면과 몸체(11) 상부면을 밀봉하여 머리부의 하부면과 몸체 상부면 의 간극을 통해 물이 유입되지 않도록 할 수 있다.7, the sealing member 15b is formed in a disc shape so that the lower surface of the head portion 14a and the upper surface of the body 11 are sealed so that water can flow through the gap between the lower surface of the head portion and the upper surface of the body. It can be prevented from flowing.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바의 압력 완화부를 도시한 사시도이다. 8 is a perspective view illustrating a pressure relief unit of a support bar according to an embodiment of the present invention.

한편, 도 8를 참고하면, 몸체(11)의 타면 예를 들어 하부면에는 압력 완화부(30)가 결합될 수 있다. 이때 몸체(11)의 하부면에는 압력 완화부(30)가 삽입되어 고정될 수 있도록 결합홀(13)이 형성될 수 있다. On the other hand, referring to FIG. 8, the pressure relief portion 30 may be coupled to the lower surface of the body 11, for example. At this time, a coupling hole 13 may be formed on the lower surface of the body 11 so that the pressure relief portion 30 can be inserted and fixed.

이때, 결합홀(13)은 단면이 원형일 수 있으나 설치되는 압력 완화부(30)에 따라 압력 완화부와 대응되도록 형성될 수 있다.At this time, the coupling hole 13 may be circular in cross section, but may be formed to correspond to the pressure relief portion according to the installed pressure relief portion 30.

세정 후 건조 과정에서 내부 공기가 팽창된 후 상온에서 식으면서 수축함에 따라 발생하는 서포트 바(10) 내부와 외부의 압력차로 인해서 세정 과정에서 남아있던 물이 서포트 바 내부로 유입될 수 있는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바(10)는 압력 완화부(30)를 구비하여 서포트 바(10)의 내부와 외부의 압력차를 완화하여 서포트 바 내부로 물이 유입되는 것을 방지할 수 있다.The water remaining in the cleaning process may flow into the support bar due to the pressure difference between the inside and the outside of the support bar 10 which is generated as the inside air is expanded in the drying process after the cleaning process and then shrinks while being cooled at room temperature. The support bar 10 according to the embodiment of the present invention is provided with the pressure relieving portion 30 to relieve the pressure difference between the inside and the outside of the support bar 10 to prevent water from flowing into the support bar.

이때 도 5를 참고하면 압력 완화부(30)는 몸체(11)의 결합홀(13)에 결합되어 몸체 내부와 외부를 연통하여 몸체 내부와 외부의 압력차를 완화할 수 있다.Referring to FIG. 5, the pressure relief portion 30 is coupled to the coupling hole 13 of the body 11 to communicate with the inside and outside of the body, thereby relieving the pressure difference between the inside and the outside of the body.

본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 팁 부재를 구비하여 서포트 바 내부로 물이 유입되지 않도록 한다. The support bar according to an embodiment of the present invention includes a tip member to prevent water from flowing into the support bar.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바는 세정 과정에서 유입된 물의 누수로 인한 기판 불량 발생을 예방할 수 있다.In addition, the support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the occurrence of substrate defects due to leakage of water introduced in the cleaning process.

또한 본 발명의 일 실시예에 따른 서포트 바를 구비한 기판 적재용 카세트는 카세트의 세정 후 건조과정에서 남아있는 물이 기판에 유입되는 것을 방지하여 평판 디스플레이 장치의 제조 공정을 안정화시킬 수 있고, 고품질의 제품을 생산할 수 있다.Further, the cassette for mounting a substrate having a support bar according to an embodiment of the present invention can prevent the remaining water from flowing into the substrate during the drying process after the cleaning of the cassette, stabilizing the manufacturing process of the flat panel display device, Products can be produced.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

1 : 기판 적재용 카세트 2 : 상부 프레임
3 : 하부 프레임 5 : 기판
7 : 지지대 9 : 봉 부재
10 : 서포트 바 11 : 몸체
12 : 삽입구 13 : 결합홀
14 : 팁 부재 14a : 머리부
14b : 기둥부 15 : 실링부재
16 : 팁 삽입홀 20 : 체결부
21 : 체결부재 22 : 볼트 삽입홀
23 : 돌출부 30 : 압력 완화부1: Cassette for loading substrates 2: Upper frame
3: lower frame 5: substrate
7: Support member 9: Rod member
10: Support bar 11: Body
12: insertion hole 13: coupling hole
14: tip member 14a:
14b: column portion 15: sealing member
16: a tip insertion hole 20:
21: fastening member 22: bolt insertion hole
23: protruding portion 30: pressure relief portion

Claims (11)

기판 적재용 카세트에 설치되어 기판을 지지하는 서포트 바로서,
바 형상으로 내부에 중공부가 형성되고, 상기 기판을 지지하는 일면에 팁 삽입홀이 형성된 몸체;
상기 팁 삽입홀에 결합되는 기둥부 및 상기 기둥부의 일단부에 연결되고 일면은 상기 팁 삽입홀을 덮도록 형성되며, 타면은 상기 기판을 지지하도록 형성된 머리부를 포함하여 상기 기판에 의해 상기 몸체에 가해지는 충격을 흡수하고, 상기 기판에 발생되는 스크래치를 방지하기 위해 형성된 팁 부재 및
상기 머리부의 일면과 상기 몸체 사이에 위치하여 상기 머리부와 상기 몸체 사이의 간극을 밀봉하도록 형성되어 상기 몸체 내부로 물이 유입되는 것을 방지하기 위한 실링 부재를 포함하는 서포트 바. A support bar provided in the cassette for substrate loading and supporting the substrate,
A body having a bar-shaped hollow portion formed therein and having a tip insertion hole formed in one surface thereof for supporting the substrate;
And a head portion connected to one end of the column portion and having one surface formed to cover the tip insertion hole and the other surface configured to support the substrate, A tip member formed to absorb a shock which is generated and prevent scratches generated in the substrate,
And a sealing member disposed between one side of the head and the body to seal a gap between the head and the body to prevent water from flowing into the body. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 팁 삽입홀은 상기 몸체의 길이 방향을 따라 복수개가 형성되어 상기 팁 부재와 결합되는 서포트 바.The method according to claim 1,
Wherein a plurality of tip insertion holes are formed along the longitudinal direction of the body and are engaged with the tip member. 제3 항에 있어서,
상기 기둥부는 원기둥 형상으로 형성되되, 상기 기둥부의 외주면에는 나사산이 형성되고 상기 팁 삽입홀에는 상기 나사산에 대응되도록 형성되는 서포트 바. The method of claim 3,
Wherein the column portion is formed in a cylindrical shape, wherein a thread is formed on an outer peripheral surface of the column portion, and the tip insertion hole is formed to correspond to the thread. 제1 항에 있어서,
상기 머리부의 일면 및 타면이 평면으로 형성된 서포트 바.The method according to claim 1,
Wherein one side and the other side of the head are formed in a flat surface. 삭제delete 제1 항에 있어서,
상기 실링 부재는 링 형상이거나 원반 형상으로 형성된 서포트 바.The method according to claim 1,
Wherein the sealing member is ring-shaped or disc-shaped. 제1 항에 있어서,
상기 기둥부의 외주면과 접하는 상기 팁 삽입홀의 내주면 및 상기 머리부와 접하는 상기 몸체의 일면이 접착제로 접착되는 서포트 바.The method according to claim 1,
An inner circumferential surface of the tip insertion hole contacting the outer circumferential surface of the column portion and a surface of the body contacting the head portion are adhered with an adhesive. 제8 항에 있어서,
상기 접착제는 우레탄 계열 또는 실리콘 재질로 형성된 서포트 바.9. The method of claim 8,
Wherein the adhesive agent is formed of a urethane-based or silicone material. 제1 항에 있어서,
상기 팁 부재는 플라스틱 재질로 형성된 서포트 바.The method according to claim 1,
Wherein the tip member is formed of a plastic material. 상부 프레임;
하부 프레임;
상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임을 상하방향으로 연결하기 위하여 상기 상부 프레임 및 상기 하부 프레임의 일측면에 수직 방향으로 결합되는 지지대; 및
상기 지지대에 수직 방향으로 연결되어 기판을 지지하는 제1 항, 제3 항 내지 제5 항, 제7 항 내지 제10 항 중 어느 한 항에 따른 서포트 바; 및
상기 지지대의 일측에 결합되고, 상기 서포트 바의 내부로 삽입되어 상기 지지대에 상기 서포트 바를 고정시키는 체결부를 포함하는 기판 적재용 카세트.An upper frame;
A lower frame;
A support vertically coupled to one side surface of the upper frame and the lower frame to vertically connect the upper frame and the lower frame; And
10. A support bar according to any one of claims 1, 3, 4, 5 and 7 to 10, which is connected to the support vertically to support the substrate. And
And a fastening portion coupled to one side of the support bar and inserted into the support bar to fix the support bar to the support bar.
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