KR20180097731A - 프리즘 회전 조정 메커니즘, 스테퍼 노광 시스템, 및 스테퍼 - Google Patents

프리즘 회전 조정 메커니즘, 스테퍼 노광 시스템, 및 스테퍼 Download PDF

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Abstract

프리즘 회전 조정 메커니즘, 스태퍼 노광 시스템, 및 스태퍼. 프리즘 회전 조정 메커니즘은 프레임(200), 가요성 메커니즘(100) 및 작용 메커니즘을 포함한다. 가요성 메커니즘(100)은 연속으로 유연하게 관절연결되는 고정 요소(110), 작용 요소(120), 연결 요소(130) 및 스윙 요소(140)를 포함한다. 고정 요소(110)는 프레임(200) 상에 고정된다. 작용 메커니즘은 프레임(200)에 고정되게 연결되고, 장용 요소(120)에 연결된다. 프리즘은 스윙 요소(140) 상에 고정된다. 스윙 요소(140)와 고정 요소(110)의 힌지식으로-연결된 샤프트는 프리즘의 회전 중심과 대응한다. 프리즘 회전 조정 메커니즘에서, 사변형 유연하게-관절 연결되는 조립체는 가요성 메커니즘을 이용하게 형성되고; 작용 메커니즘에 의해 장용 요소를 선형으로 구동하도록 형성되며, 선형 운동은 회전 운동으로 변환되어서 회전 운동 제어는 더 정확해지고, 이에 의해 프리즘의 회전 제어 정확도를 개선한다. 또한, 프리즘의 회전 중심은 스윙 요소와 고정 요소 사이 관절의 축이어서, 회전 중심의 위치의 안정성은 보장되고, 회전 조정 처리에서 크로스토크는 피해지며, 이에 의해 프리즘의 회전 제어 정확도를 더 개선한다.

Description

프리즘 회전 조정 메커니즘, 스테퍼 노광 시스템, 및 스테퍼
본 발명은 포토리소그래픽 장비(photolithographic equipment)에 관한 것이며, 특히, 프리즘 회전 조정 메커니즘, 포토리소그래픽 노광 시스템(photolithographic exposure system) 및 포토리소그래픽 툴(photolithography tool)에 관한 것이다.
포토리소그래피는 노광(exposure)의 방식으로 기판(substrate)에 포토마스크(photomask)로부터 패턴(pattern)을 전사(transfer)하는 처리이다. 이러한 처리 동안, 기판은 워크피스 스테이지(workpiece stage) 상에 지지되고 포토리소그래피 툴에 내장되는(incorporated) 노광 장치(exposure apparatus)는 기판의 표면 상으로 포토마스크 패턴의 이미지를 투영(projects)한다. 노광은 포토리소그래피 처리에 중요하며, 접촉, 근접(proximity)투영 또는 직접-기록(direct-write) 박식으로 수행될 수 있다. 투영 노광(Projection exposure)은 포토마스크와 포토레지스트(photoresist) 사이의 집광을 위한 광학 시스템(optical system)으로 수행된다. 투영 포토리소그래피(Projection photolithography)는 크기가-큰 집적회로(scale integrated circuits)의 제작에 큰 의미가 있으며, 이용된 투영 포토리소그래피 툴들의 이미지 전사 능력(image transfer capabilities)은 툴들의 핵심 요소(core component)로써 고려되는 투영 대물렌즈(projection objectives)에 의해 결정된다. 이러한 투영 대물렌즈들은 광학 경로 조작(optical path handling)을 위한 프리즘에 일반적으로 의존한다.
노광 시스템에 의해 수행되는 노광 처리 동안, 바람직한 위치로부터 이미지 면(image plane)의 편차(deviations)는 (중력(gravity)과 클램핑(clamping)으로부터 변화(deformations) 또는 기계 가공의 오류(machining errors)에 의해 야기되는 것을 포함하는) 포토마스크 표면 상의 불규칙성(irregularities)으로부터 발생할 수 있을 뿐만 아니하 분위기의 변화(changes in the ambience)로부터 발생할 수 있다. 이러한 경우에, 이미지 퀄리티(image quality)를 보장하기 위하여 이미지 면의 위치적인 조정은 필요하며, 이는 조정 메커니즘을 이용하는 직각 프리즘(right-angle prism)의 위치를 조정함으로써, 예를 들어, 직각 프리즘을 사용하는 카타디옵트릭 대물렌즈(catadioptric objective)를 위해 달성될 수 있다.
종래의 대물렌즈 조정 메커니즘은 프리즘의 회전과 이동(translation)을 허용하는 동안 대물렌즈 프리즘들과 바로 연결하는 압전 세라믹 모터들(piezoelectric ceramic motors)에 의존한다. 이러한 기술에서, 대물렌즈 조정 메커니즘의 프리즘 제어 정확성(prism control accuracy)은 압전 세라믹 모터의 제어 정확성에 의존되고, 이에 따라 제한된다. 또한, 프리즘의 크로스토크-프리 회전 조정(crosstalk-free rotation adjustments)은 두 개의 압전 세라믹 모터들에 의한 동시 작용(simultaneous actuation)을 필요로 한다.
본 발명의 목적은 포토리소그래픽 노광 시스템과 포토리소그래피 툴뿐만 아니라, 회전 동안 크로스토크의 프리 및 높은 프리즘 회전 조정 정확성을 구비하는 프리즘 회전 조정 메커니즘을 제공하는 것이다.
이를 위해, 본 발명의 주제(subject matter)는 프레임, 가요성 메커니즘 및 작용 메커니즘을 포함하는 프리즘 회전 조정 메커니즘에 있고, 가요성 메커니즘은 연속으로 유연하게 관절연결되는 고정 요소(fixing component), 작용 요소(actuating component), 연결 요소(connecting component) 및 스윙 요소(swinging component)를 포함하며, 고정 요소는 프레임에 고정되고, 작용 메커니즘은 프레임에 고정되며 작용 요소에 결합되고, 스윙 요소는 프리즘을 구속하도록 구성되며, 스윙 요소와 고정 요소 사이 관절의 축은 프리즘의 회전 중심에 대응한다.
바람직하게 고정 요소는 일 단부에서, 작용 요소의 중간 부분과 가요성 관절(flexible articulation)로 이루어지며, 여기서 작용 요소의 일 단부는 연결 요소의 일 단부와 가요성 관절로 이루어지고 작용 요소의 다른 단부는 자유 단부이며, 여기서 연결 요소는, 다른 단부에서, 스윙 요소와 가요성 관절로 이루어지고, 여기서 스윙 요소는 고정 요소에, 그것의 중간 부분이, 가요성 관절로 이루어진다.
또한, 작용 메커니즘은 자유 단부에 결합될 수 있다.
또한, 프리즘 회전 조정 메커니즘은 자유 단부에 고정되는 다른 단부와 고정 요소에 대하여 접하는 일 단부를 갖는 프리텐션 유닛(pretension unit)을 더 포함할 수 있다.
또한, 프리텐션 유닛은 일 단부로 고정 요소에 대하여 접하고 다른 단부에서 자유 단부에 고정되는 스프링(spring)으로써 구현될 수 있다.
바람직하게 프리즘 회전 조정 메커니즘은 검출 유닛(detection unit)과 그것의 대응하는 검출 브라켓(corresponding detection bracket)을 더 포함할 수 있고, 검출 브라켓은 스윙 요소에 수직으로 결합되며, 검출 유닛은 프레임에 고정되며 작용 메커니즘과 함께 폐쇄-루프 제어 시스템(closed-loop control system)을 구성한다.
바람직하게, 검출 브라켓은 고정 요소를 관통한 후에 검출 유닛과 정렬될 수 있다.
바람직하게 작용 메커니즘은 엑추에이터 지지대(actuator support)와 엑추에이터 지지대 상에 장착되는 엑추에이터 유닛(actuator unit)을 포함할 수 있고, 엑추에이터 지지대는 프레임과 고정된 연결에 있으며, 엑추에이터 유닛은 작용 요소와 결합된다.
또한, 엑추에이터 유닛은 압전 세라믹 모터로 구현될 수 있다.
바람직하게, 고정 요소, 작용 요소, 연결 요소 및 스윙 요소는 모두 블록-모양(block-shaped)일 수 있다.
바람직하게, 고정 요소, 작용 요소, 연결 요소 및 스윙 요소는 한 조각으로 형성될 수 있다.
종래의 기술과 비교하여, 본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘의 가요성 메커니즘은 사변형 유연하게-관절연결된 조립체(quadrilateral flexibly-articulated assembly)이며, 작용 요소는 고정 요소와 연결 요소의 기계적인 전달(mechanical transmission)을 통해 스윙 요소의 스윙(swinging)으로 따라서 스윙 요소 상의 프리즘들의 회전으로 작용 메커니즘의 병진 운동을 변환할 수 있다. 이는 회전적인 운동의 제어를 더 정확하게 하여 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하는 것을 허용한다. 또한, 스윙 요소와 고정 요소 사이의 관절 축은 그 때 회전하는 프리즘을 위한 안정 축(stable axis)을 제공하며, 따라서, 회전 동안 크로스토크의 회피(avoidance)를 보장하고 프리즘 회전 제어 정확성을 추가로 개선한다.
상기 목표는 또한, 본 발명에서 제공되는 포토리소그래픽 노광에 의해 달성되며, 이는 위에서 정의된 바와 같은 프리즘 회전 조정 메커니즘과 투영 볼록렌즈를 포함한다. 투영 볼록렌즈는 프리즘 회전 조정 메커니즘에 고정되게 부착되는 다수의 프리즘들을 포함한다.
종래의 기술과 비교하여, 본 발명의 포토리소그래픽 노광 시스템 내의 프리즘 회전 조정 메커니즘은 더 정확하게 회전 이동을 제어하는 것을 하용하고 이에 따라 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하는, 회전 운동으로 병진 운동(translational movement)을 변환할 수 있다. 따라서, 스윙 요소와 고정 요소 사이 관절의 축은, 회전 동안 크로스토크의 회피를 보정하고 따라서 프리즘 회전 제어 정확성을 추가적으로 개선하는 안정적으로 회전하도록 프리즘을 위한 안정 축을 제공한다.
상기 목적은 또한, 위에서 정의된 바와 같은 포토리소그래픽 노광 시스템을 포함하는, 본 발명에서 제공되는 포토리소그래피 툴에 의해 달성된다.
종래의 기술과 비교하여, 본 발명의 포토리소그래피 툴 내의 프리즘 회전 조정 메커니즘은 더 정확하게 회전 운동의 제어를 허용하고 따라서 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하게, 회전 운동으로 병진 운동을 변환할 수 있다. 또한, 스윙 요소와 고정 요소 사이 관절의 축은 회전 동안 크로스토크의 회피를 보장하고 프리즘 회전 제어 정확성을 추가적으로 개선하여, 그 때 회전하는 프리즘들을 위해 안정 축을 제공한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프리즘 회전 조정 메커니즘의 구조적인 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 메커니즘의 구조적인 개략도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 메커니즘 내의 가요성 관절의 축을 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 프리즘 회전 조정 메커니즘이 어떻게 작동하는 지를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 프리즘 조정 메커니즘의 측정된 제어 정확도를 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프리즘 회전 조정 메커니즘 상에서 수행되는 모달 테스트(modal test)의 결과를 도시한다.
본 발명은 첨부된 도면을 참조로하여 상세하게 기술될 것이다.
도 1 내지 도 3에서 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 프리즘 회전 조정 메커니즘은 프레임(200), 가요성 메커니즘(100) 및 작용 메커니즘을 포함한다. 가요성 메커니즘(100)은 고정 요소(110), 작용 요소(120), 연결 요소(130) 및 스윙 요소(140)를 포함하고, 이는 유연하게 연속적으로 함께 관절연결(articulated)된다. 고정 요소(110), 작용 요소(120), 연결 요소(130) 및 스윙 요소(140)는 모두 블록 모양이다. 고정 요소(110)는 프레임(200)에 고정된다. 작용 메커니즘은 엑투에이터 지지대(300) 및 엑추에이터 지지대(300) 상에 장착되는 엑추에이터 유닛(400)을 포함한다. 엑추에이터 지지대(300)는 프레임(200)에 고정되고, 엑추에이터 유닛(400)은 엑추에이터 요소(120)에 연결된다. 엑투에이터 유닛(400)은 압전 세라믹 모터로 구형된다. 고정 요소(110)의 일 단부는 작용 요소(120)의 중간 부분과 가요성 관절연결(flexible articulation)에 있다. 작용 요소(120)의 일 단부는 연결 요소(1300의 일 단부와 가요성 관절연결에 있고, 작용 요소의 다른 단부는 자유 단부이다. 연결 요소(130)는, 다른 단부에서, 스윙 요소(140)과 가요성 관절연결에 있다. 스윙 요소(140)는 고정 요소(110)로, 중간에서, 가요성 관절연결된다. 스윙 요소(140) 상에는, 고정 요소(110)와 스윙 요소(140) 사이 관절의 축에 대하여 회전 가능한 프리즘이 제공된다.
본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘의 가요성 메커니즘(100)은 사변형의 유연하게-관절연결되는 조립체이고, 작용 요소(120)는 고정 요소(110)와 연결 요소(130)의 기계적인 전달을 통한 스윙 요소(140)의 스윙으로 따라서 스윙 요소 상의 프리즘들의 회전으로 작용 메커니즘의 병진 운동을 변환할 수 있다. 이는 더 정확한 회전 운동의 제어를 허용하여 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하게 한다. 또한, 스윙 요소(140)와 고정 요소(110) 사이의 관절 축은 그 대에 회전하는 프리즘들을 위한 안정 축을 제공하고, 따라서 회전 동안 크로스토크의 회피를 보장하며 프리즘 회전 제어 정확성을 추가적으로 개선한다. 또한, 가요성 메커니즘(100) 내의 가요성 관절들은, 예를 들어 장착시의 갭들 또는 부자유(inconvenience)와 같은, 기계적인 관절의 이용으로부터 발생하는 문제들 없이 사변형 조립체의 스윙을 허용하고, 이는 제어 정확성을 더 개선하는 결과를 야기할 수 있다.
작용 메커니즘 내의 엑추에이터 유닛(400)은 조타 구조(steering structure)의 방식으로 또는 직접 접촉 방식으로 작용 요소(120)에 연결될 수 있어서, 엔추에이터 유닛(400)의 병진(translation)은 작용 요소(120)의 스윙으로 변환될 수 있다. 이전의 경우에, 스윙 요소 상의 프리즘들의 회전에 대한 제어는 엑추에이터 유닛(400)의 스트로크(stroke)에 의해 달성되고, 이는 차례로 작용 요소(120)의 스윙의 각도를 제어한다.
특히 도 4를 참조하여, 고정 요소(110)와 작용 요소(120) 사이 관절의 축은 제1 관절의 축(K1)으로 정의될 수 있고, 작용 요소(120)와 연결 요소(130) 사이 관절의 축은 제2 관절의 축(K2)이며, 연결 요소(130)와 스윙 요소(140) 사이 관절의 축은 제3 관절의 축(K3)이며 스윙 요소(140)와 고정 요소(110) 사이 관절의 축은 제4 관절의 축(K4)이다. 제1, 제2, 제3 및 제4 관절의 축(K1, K2, K3, K4)는 슬롯형성(slotting)에 의해 형성될 수 있다. 특히, 제1 관절의 축(K1)은 슬롯형성, 즉 제1 관절의 축(K1)의 부분을 제외하고 작용 요소(120)와 고정 요소(110) 사이의 물질(materials)을 제거함으로써 형성될 수 있다. 제2, 제3 및 제4 관절의 축들(K2, K3, K4)은 동일한 방식으로 형성될 수 있다.
또한, 고정 요소(110), 작용 요소(120), 연결 요소(130) 및 스윙 요소(140)는 미리결정된 위치들에서 제1, 제2, 제3 및 제4 관절의 축들(K1, K2, K3 및 K4)을 확립하도록 슬롯형성을 통해 단일 부재로 형성될 수 있다.
작용 요소(120)의 자유 단부가 엑추에이터 유닛(400)에 의해 가해지는 힘(F)을 받을 때, 작용 요소(120)는 연결 요소(130)와 관절 연결에 있는 단부에서 각도(α)로 선회하고, 스윙 요소(140)가 연결 요소(130)의 기계적인 전달을 통해 각도(β)로 선회를 야기한다. 프리즘들이 고정 요소(110)와 스윙 요소(140) 사이의 관절의 축에 대하여 회전 가능하고 스윙 요소(140) 상에 배치되기 때문에, 이는 스윙 요소(140)의 선회와 동일한 각도(β)로 회전한다. 이러한 방식으로, 프리즘들의 회전은 스윙 요소의 선회 각도(β)를 조정하는 것을 통해 정확하게 제어될 수 있다.
바람직하게, 도 1을 참조하여, 프리즘 회전 조정 메커니즘은 검출 유닛(600) 및 검출 유닛의 대응하는 검출 브라켓(700)을 더 포함한다. 검출 브라켓(700)은 스윙 요소(140)에 수직으로 결합된다. 검출 브라켓(700)은 고정 요소(110) 내의 통과 홀(111)을 통과하고 검출 유닛(600)과 정렬된다. 검출 유닛(600)은 프레임(200)에 고정되고 작용 메커니즘과 함께 폐쇄-루프 제어 시스템을 구성한다.
이러한 배열에서, 폐쇄-루프 제어 시스템은 검출 유닛(600)으로 구성되고 작용 메커니즘은 프리즘들의 각 변위(angular displacement)에 대한 실시간 피드백 제어(real-time feedback control)를 발휘할 수 잇다. 작용 메커니즘으로 제공되는 각 변위 데이터(angular displacement data)를 기반으로, 본 발명의 작용 메커니즘과 따라서 프리즘 회전 조정 메커니즘은 강화된 정확성으로 제어를 수행할 수 있다.
바람직하게, 프리즘 회전 조정 메커니즘은 일 단부에서 고정 요소(110)에 대하여 접하고, 다른 단부에서, 자유 단부에 고정되고 작용 요소(120) 내에 통과 홀(121)을 통해 삽입되는 스프링으로 구형되는 프리텐션 유닛(pretension unit; 500)을 더 포함한다.
프리텐션 유닛(500)은, 더 넓은 프리즘 회전 조정 범위를 허용하는, 그것의 초기 위치에서 스윙 요소(140)와 작용 요소(120)에 역 프리텐션 힘(reverse pretension force)을 제공할 수 있을 뿐만 아니라, 프리즘 회전 조정 메커니즘의 구조 모드(structural mode)의 수 및 강성을 증가시킬 수 있다.
도 5는 레이저 간섭계로 측정되는 본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘의 제어 정확성을 도시한다. 도면에서, 횡축(abscissa)은 검출기의 변위를 나타내고, 반면에 종축(ordinate)은 회전 제어 정확도 오류를 나타낸다. 도 5에서 도시될 수 있는 바와 같이, 에러의 범위는 0.34 μrad이하이며, 본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘의 제어 정확성이 종래의 대물렌즈 조정 메커니즘의 것보다 더 큼을 증명한다. 이러한 현저한 향상의 이유 중 하나는 더 긴 작업 아암(longer effort arm) 및 그보다 더 큰 작업 아암의 길이/로드 아암의 길이 비율로부터 기인 한 엑추에이터 유닛(400)의 미세한 제어 입상(granularity)이다.
도 6은 모달 실험 장치(modal testing instrument)를 구비하는 본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘 상에서 수행되는 모달 테스트의 결과를 도시한다. 고면에서, 횡축은 주파수(frequency)를 나타내고, 반면에, 종축은 응답 진폭(response amplitude)을 나타낸다. 도 5에서 도시되는 바와 같이, 프리즘 회전 조정 메커니즘은 고차 모드 구조(high order mode structure)와 655Hz의 1차 모드 주파수(first-order mode frequency) 갖는 것으로 측정된다. 따라서, 본 발명의 프리즘 회전 조정 메커니즘은 강화된 회전 제어 정확도와 개선된 진동 응답 특성(vibration response characteristics)을 구비하는 고차 모드 구조이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명은 또한 위에서 정의된 바와 같은 프리즘 회전 조정 메커니즘과 투영 대물렌즈(미 도시된)를 포함하는 포토리소그래픽 노광 시스템을 제공한다. 투영 대물렌즈는 더 정확한 회전 운동의 제어를 허용하고 따라서 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하는, 회전 운동으로 병진 운동을 변환할 수 있는 프리즘 회전 조정 메커니즘에 고정되게 부착되는 다수의 프리즘들을 포함한다. 따라서, 스윙 요소(140)와 고정 요소(110) 사이 관절의 축은, 회전 동안 크로스토크의 회피를 보장하고, 추가적으로 프리즘 회전 제어 정확성을 개선하는, 그 주변을 회전하는 프리즘들을 위한 안정 축을 제공한다.
도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명은 또한 위에서 정의된 바와 같은 포토리소그래픽 노광 시스템을 포함하는 포토리소그래피 툴을 제공하며, 프리즘 회전 조정 메커니즘은 더 정확한 회전 운동의 제어를 허용하고 따라서 프리즘들의 회전 제어 정확성을 개선하는 회전 운동으로 병진 운동을 변환할 수 있다. 따라서, 스윙 요소(140)와 고정 요소(110) 사이 관절의 축은 회전 동안 크로스토크의 회피를 보장하고 따라서 프리즘 회전 제어 정확성을 추가적으로 개선하는, 그 주변을 회전하는 프리즘들을 위한 안정 축을 제공한다.
β
100 : 가요성 메커니즘
110 : 고정 요소
111 : 고정 요소 내의 통과 홀
120 : 작용 요소
121 : 작용 요소 내의 통과 홀
130 : 연결 요소
140 : 스윙 요소
200 : 프레임
300 : 엑추에이터 지지대
400 : 엑투에이터 유닛
500 : 프리텐션 유닛
600 : 검출 유닛
700 : 검출 브라켓
K1 : 제1 관절 축
K2 : 제2 관절 축
K3 : 제3 관절 축
K4 : 제4 관절 축
α : 작용 요소의 처짐 각(angle of deflection)
β : 스윙 요소의 처짐 각

Claims (13)

  1. 프레임, 가요성 메커니즘 및 작용 메커니즘을 포함하고,
    상기 가요성 메커니즘은 연속적으로 유연하게 관절 연결되는 고정 요소, 작용 요소, 연결 요소 및 스윙 요소를 포함하며,
    상기 고정 요소는 상기 프레임에 고정되고, 상기 작용 메커니즘은 상기 프레임에 고정되며 상기 작용 요소에 결합되고 상기 스윙 요소는 프리즘을 구속하도록 구성되고,
    상기 스윙 요소와 상기 고정 요소 사이 관절의 축은 상기 프리즘의 회전 중심과 대응하는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 고정 요소는, 일 단부에서, 상기 작용 요소의 중간 부분과 가요성 관절연결에 있고, 상기 작용 요소의 일 단부는 상기 연결 요소의 일 단부와 가요성 관절연결에 있으며 상기 작용 요소의 다른 단부는 자유 단부이고,
    상기 연결 요소는, 다른 단부에서, 상기 스윙 요소와 가요성 관절연결에 있고,
    상기 스윙 요소는 상기 고정 요소로, 중간 부분에서, 유연하게 관절연결되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 작용 메커니즘은 상기 자유 단부에 결합되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 고정 요소에 대하여 접하는 일 단부와 상기 자유 단부와 고정되는 다른 단부를 갖는 프리텐션 유닛을 더 포함하는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 프리텐션 유닛은 다른 단부에서 상기 자유 단부와 고정되고 일 단부에서 상기 고정 요소에 대하여 접하는 스프링으로 구현되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  6. 제 1항에 있어서,
    검출 유닛과 상기 검출 유닛의 대응하는 검출 브라켓을 더 포함하고,
    상기 검출 브라켓은 상기 스윙 요소에 수직하게 결합되며, 상기 검출 유닛은 상기 작용 메커니즘과 함께 폐쇄-루프 제어 시스템을 구성하며 상기 프레임에 고정되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 검출 브라켓은 상기 고정 요소를 관통한 후에 상기 검출 유닛과 정렬되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 작용 메커니즘은 엑추에이터 지지대와 상기 엑추에이터 지지대 상에 장착되는 엑추에이터 유닛을 포함하고, 상기 엑추에이터 지지대는 상기 프레임과 고정된 연결에 있으며, 상기 엑추에이터 유닛은 상기 작용 요소에 결합되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 엑추에이터 유닛은 압전 세라믹 모터로 구현되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 고정 요소, 상기 작용 요소, 상기 연결 요소 및 상기 스윙 요소는 모두 블록-모양인, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  11. 제 1항 또는 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 요소, 상기 작용 요소, 상기 연결 요소 및 상기 스윙 요소는 한 조각으로 형성되는, 프리즘 회전 조정 메커니즘.
  12. 청구항 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에서 정의되는 상기 프리즘 회전 조정 메커니즘과 투영 대물렌즈를 포함하며, 상기 투영 대물렌즈는 상기 프리즘 회전 조정 메커니즘에 유연하게 부착되는 다수의 프리즘을 포함하는, 포토리소그래픽 노광 시스템.
  13. 청구항 제 12항에서 정의되는 상기 포토리소그래픽 노광 시스템을 포함하는, 포토리소그래피 툴.
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