KR20180085703A - 에너지 검출기 코어 보호장치와 액정화면 광배향 장비 분석모듈 - Google Patents

에너지 검출기 코어 보호장치와 액정화면 광배향 장비 분석모듈 Download PDF

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KR20180085703A
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Abstract

본 발명은 에너지 검출기 코어 보호장치 및 액정화면 광배향 장비 분석모듈을 제공하다. 상기 에너지 검출기 코어 보호장치는 지지부재, 코어 커버와 에너지 검출기 코어 온도를 검측하는 온도검출기를 포함하고, 상기 지지부재와 코어 커버는 상기 에너지 검출기 코어를 수용하고 고정하는 설치본체에 공동으로 형성되고, 상기 설치본체내에 방열통로가 설치되어 있고, 상기 코어 커버의 중심에는 원추형 구멍이 있으며, 상기 원추형 구멍의 중심과 상기 에너지 검출기 코어의 중심은 정렬되어있다. 본 발명의 에너지 검출기 코어 보호장치 내부에 방열통로가 설치되어 있고, 에너지 검출기 코어가 강한 빛의 조건에서 열안정 상태에 신속하게 도달하는 것을 확보하여 측량효율 및 정확성을 향상시킨다. 본 발명은 코어 커버와 핀홀 판의 협동을 통하여 투광면적이 작게 하여 서로 다른 핀홀 판을 바꾸어 사용하여 투광면적이 직경 1mm 및 그 이하로 감소하게 할 수 있다. 또한 서로 다른 테이퍼의 코어 커버를 바꾸어 사용하는 것을 통하여 일정한 입사각 범위내의 빛의 세기의 측량 정확성을 향상시킬 수 있다.

Description

에너지 검출기 코어 보호장치와 액정화면 광배향 장비 분석모듈{ENERGY DETECTOR CORE PROTECTION APPARATUS AND INSPECTION MODULE FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY OPTICAL ALIGNMENT APPARATUS}
본 발명은 합성회로 제조영역에 관한 것이고, 특히 에너지 검출기 코어 보호장치와 액정화면 광배향 장비 분석모듈에 관한 것이다.
고출력, 강한 빛을 이용한 광원장비에서, 보통 일부 관심구역 또는 관심포인트의 구체적인 빛의 세기에 대하여 검측이 필요하고, 예를 들면 액정화면 광배향 장비이다. 빛에 대한 검측은 일반적으로 직접 외부에서 구매한 에너지 검출기(Energy Detector, ED)를 이용하고, 강한 빛의 조건을 고려하여 ED의 작업환경온도는 비교적 높고, ED코어에 직접 비추는 빛의 면적이 너무 커, 강한 빛의 상기 검출기에 대하여 측정범위를 쉽게 만족할 수 있지만 측량정확도에 영향주고 공선입사각 범위가 너무 크다.
액정화면 광배향 장비 내의 키 검측장비는 분석모듈이고, 분석모듈 내의 핵심부재는 ED이며, 상기 장비가 검측할 것은 고출력, 원자외선 편광이다. 기존의 코어 보호장치는 내부에 방열설계가 없고, 분석모듈이 작업할 때, 빛이 비추는 표면온도는 약 100 내지 200℃에 달하고, 온도가 너무 높으면 ED의 온도파동이 비교적 큰 것을 초래하여 측량안정에 도달하는데 시간이 길게 수요되어 분석모듈의 측량 정확성 및 전체 생산율을 엄중히 영향준다.
본 발명은 ED코어 보호장치와 액정화면 광배향 장비 분석모듈을 제공하여 기존기술 중의 ED코어에서 광선 입사각 범위가 너무 크고, 내부 방열설계가 없으며, 강한 빛 작업조건에 대한 온도 파동성이 큰 문제를 해결하였다.
상술한 기술문제를 해결하기 위하여 본 발명은 ED코어 보호장치를 제공하였고, 지지부재, 코어 커버와 에너지 검출기 코어 온도를 검측하는 온도검출기를 포함하고, 상기 지지부재와 코어 커버는 상기 에너지 검출기 코어를 수용하고 고정하는 설치본체에 공동으로 형성되고, 상기 설치본체내에 방열통로가 설치되어 있고, 상기 코어 커버의 중심에는 원추형 구멍이 있으며, 상기 원추형 구멍의 중심과 상기 에너지 검출기 코어의 중심은 정렬된다.
바람직하게, 상기 방열통로는 상기 지지부재내에 설치한 코어접선 캐비티와 상기 코어 커버에 개설되고 상기 코어접선 캐비티와 연통하는 기공을 포함하고, 상기 코어접선 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통된다.
바람직하게, 상기 코어 커버에 상기 에너지 검출기 코어와 매칭되는 원주위치 돌출플랫폼을 설치하고, 상기 에너지 검출기 코어는 상기 지지부재 표면과 상기 원주위치 돌출플랫폼이 공동으로 형성한 수용 캐비티 내에 고정된다.
바람직하게, 상기 방열통로는 상기 코어 커버내에 설치한 코어접선 캐비티와 상기 지지부재 내에 개설되고 상기 코어접선 캐비티와 연통하는 공기진입 캐비티을 포함하고, 상기 공기진입 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통된다.
바람직하게, 상기 파이프 연결관은 상기 지지부재의 밑부분 또는 측면에 설치된다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 밑판을 더 포함하고, 상기 밑판은 상기 지지부재 밑부분에 고정되고, 상기 지지부재와 공기진입 캐비티를 공동으로 형성하며 상기 공기진입 캐비티는 상기 코어접선 캐비티와 파이프 연결관과 각각 연통된다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 기강 커버를 더 포함하고, 상기 기강 커버와 상기 코어 커버는 기강 커버 캐비티를 공동으로 형성하고, 상기 기강 커버 캐비티와 상기 코어접선 캐비티는 연통된다.
바람직하게, 상기 에너지 검출기 코어는 댐퍼로 지지되어 상기 코어 커버에 고정된다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 핀홀 판과 핀홀 압축판을 더 포함하고, 상기 핀홀 판은 상기 핀홀 판을 상기 코어 커버의 원추형 구멍의 밑부분에 압축 설치한다.
바람직하게, 상기 핀홀 판의 핀홀의 홀직경은 100 μm보다 작거나 같고, 상기 원추형 구멍의 중심과 상기 핀홀의 중심은 정렬된다.
바람직하게, 상기 코어 커버 밑부분에 상기 핀홀 판과 매칭되는 블라인드 홀이 설치되어 있고, 상기 블라인드 홀과 상기 원추형 구멍의 밑부분은 연통된다.
바람직하게, 상기 핀홀 압축판은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하여 제작되고, 상기 알루미늄 또는 알루미늄 합금표면은 양극 블랙 또는 흑색 마이크로아크 산화공법으로 처리한다.
바람직하게, 상기 원추형 밑부분의 원홀의 홀직경은 3mm보다 크지 않다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 필터링 플레이트를 더 포함하고, 상기 필터링 플레이트는 상기 코어 커버 표면에 설치된다.
바람직하게, 상기 방열통로내에 방열기체 또는 냉각액체가 있다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 밑판을 더 포함하고, 상기 밑판은 상기 지지부재 밑부분에 고정된다.
바람직하게, 상기 방열통로는 상기 밑판과 지지부재가 연합하여 형성한 공기진입 캐비티와 상기 지지부재에 설치한 코어접선 캐비티를 포함하고, 상기 공기진입 캐비티와 상기 코어접선 캐비티 사이는 상기 지지부재 밑부분에 개설한 몇 개의 구멍을 통하여 연통되고, 상기 공기진입 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통되며, 상기 지지부재의 측면에 몇 개의 배출구멍이 있고, 냉각물질은 상기 파이프 연결관에서 상기 공기진입 캐비티와 고어접선 캐비티에 유입한 후, 지지부재의 측면의 배출구멍에서 유출된다.
바람직하게, 상기 지지부재, 코어 커버와 밑판은 모두 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용한다.
바람직하게, 상기 알루미늄 또는 알루미튬 합금표면은 양극 블랙 또는 흑색 마이크로아크 산화공법으로 처리한다.
바람직하게, 상기 온도 검출기는 상기 코어 커버, 지지부재와 밑판에 설치한다.
본 발명은 액정화면 광배향 장비 분석모듈을 더 제공하고 상기 ED코어 보호장치를 포함한다.
바람직하게, 상기 ED코어 보호장치는 복수개가 있고, 각각 분석모듈의 설치대와 설치기둥에 고정된다.
기존기술과 비교하면 본 발명은 아래와 같은 장점이 있다.
1. ED코어 보호장치 내부에 방열통로를 설치하고, ED코어가 강한 빛의 조건에서 열안정 상태에 신속하게 도달하는 것을 보증하여 측량효율 및 정확성을 향상시킨다.
2. 본 발명은 코어 커버와 핀홀 판의 배합사용을 통하여 투광면적이 작게 하여 서로 다른 핀홀 판(110)을 바꾸어 사용하여 투광면적이 직경 1mm 및 그 이하로 감소하게 할 수 있다.
3. 본 발명은 서로 다른 테이퍼의 코어 커버를 바꾸어 사용하는 것을 통하여 일정한 입사각 범위내의 빛의 세기의 측량 정확성을 향상시킬 수 있다.
4. 본 발명은 ED코어 보호장치는 전체 설치되고, 코어 커버와 기강 커버의 조립은 모두 위에서 아래로 조작하여 탈착 및 유지보수에 간편하다.
5. 본 발명의 온도 검출기를 설치하여 실시간으로 ED코어의 작업상태를 장악할 수 있다.
6. 본 발명의 ED코어 보호장치는 강한 빛, 원자외선 또는 고온작업 환경의 장비에 광범위하게 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 액정화면 광배향 장비 분석모듈의 구조 설명도이다.
도 2는 도 1의 A-A 단면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예 1에서 ED코어 보호장치의 입체구조 설명도이다.
도 4는 본 발명의 실시예 1에서 ED코어 보호장치의 조립도이다.
도 5는 본 발명의 실시예 1에서 ED코어 보호장치의 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예 2에서 ED코어 보호장치의 입체구조 설명도이다.
도 7은 본 발명의 실시예 2에서 ED코어 보호장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 실시예 3에서 ED코어 보호장치의 입체구조 설명도이다.
도 9는 본 발명의 실시예 3에서 ED코어 보호장치의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 실시예 3에서 ED코어 보호장치의 조립도이다.
도 11은 본 발명의 실시예 1과 실시예 3의 ED코어 빛의 세기를 측량하는 안정 경향도이다.
본 발명의 상술한 목적, 특징과 장점이 더 명확하고 쉽게 이해하게 하기 위하여 아래에 첨부도면을 결합하여 본 발명의 구체적인 실시방식에 대하여 상세한 설명을 한다. 설명할 것은 본 발명의 첨부도는 모두 간략화 형식을 사용하고, 모두 정확하지 않은 비례를 사용하기에 본 발명의 실시예를 간편하고, 명확하게 보조설명하는 목적으로만 사용된다.
도 1과 도 2와 같이, 본 발명의 액정화면 광배향 장비의 분석모듈(100)은 설치기둥(105)와 설치대(104)를 포함하고, 상기 설치기둥(105)와 설치대(104)에 각각 제1 내지 제3ED코어 보호장치(101, 102, 103)을 설치하고, 상기 제1 내지 제3ED코어 보호장치(101, 102, 103)는 분석모듈(100)에서의 위치는 다르며, 서로 다른 기능을 실현할 수 있고, 서로 다른 효과를 실현하기 위하여 코어 보호장치의 내부구조에 대하여 조절할 수 있으며, 각자 기능을 더 좋게 실현한다. 비록 도에서 세개의 ED코어 보호장치를 도시하였지만 본 발명은 이에 한정되지 않고, 실제수요에 따라 ED코어 보호장치의 개수 및 설치위치를 개변할 수 있으며 상응한 ED코어에 대하여 보호작용을 한다.
아래에 구체적인 실시예를 통하여 본 발명의 ED코어 보호장치에 대하여 상세한 설명을 하고, 해당 기술영역에서 통상의 지식을 가진 자는 아래의 임의의 ED코어 보호장치가 모두 도 1과 도 2와 같은 액정화면 광배향 장비의 분석모듈(100)에 응용할 수 있다고 이해해야 한다.
실시예 1
도 3 내지 도 5와 같이, 본 실시예의 ED코어 보호장치는 파이프 연결관(106), 지지부재(107), 온도검출기(108), ED코어(109), 코어 커버(114), 기강 커버(115)과 탑 스크루(113)를 포함한다.
계속하여 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 지지부재(107)에 코어접선 캐비티(118), 선출력 구멍과 파이프 연결관 설치구가 설치되어 있다. 구체적으로, 상기 파이프 연결관(106)은 상기 파이프 연결관을 통하여 설치구와 상기 지지부재(107)을 고정연결하여 외부의 압축기체 또는 기타 냉각기체를 상기 코어접선 캐비티(118)에 넣고, 상기 ED코어(109)는 상기 지지부재(107) 표면에 설치되고, 그 위에 코어 보호 플라스틱 케이스와 보호유리를 자체적으로 갖고 있다. 상기 코어 커버(114)에 원주위치 돌출플랫폼이 설치되어 있고, 상기 원주위치 돌출플랫폼과 원주위치 돌출프?E폼 주위에 설치된 탑 스크루(113)은 배합하고, ED코어(109)에 대하여 포지셔닝 하여 ED코어(109)의 중심과 코어 커버(114)의 원추형 구멍중심은 정렬되게 하며, 본 실시예에서 원추형 중심과 ED코어(109) 중심의 정렬편차는 0.1mm 및 그 이하로 제어할 수 있어 입사광 범위를 진일보로 감소할 수 있다.
바람직하게, 투광면적을 감소하기 위하여 상기 코어 커버(114)의 원추형 구멍 밑부분의 최소원 구멍의 직경은 보통 3mm보다 작거나 같고, 바람직하게, 본 실시예에서 1mm 직경의 원 구멍이다. 강한 빛이 비추는 조건에서 코어 커버(114)의 원추형 구멍 밑부분에 1mm직경의 원 구멍을 사용하더라도, ED코어(109)에 비추는 에너지가 너무 커, 측량의 정확성을 엄중하게 영향주고, 따라서 본 실시예의 ED코어 보호장치는 원추형 구멍 아래에 위치한 핀홀 판(110)과 상기 핀홀 판(110)의 제1핀홀 압축판(111)과 제2핀홀 압축판(112)을 더 포함하고, 상기 핀홀 판(110)에 개설한 핀홀의 중심과 상기 원추형 구멍의 중심은 정렬되고, 상기 핀홀 직경은 100 μm보다 작거나 같고, 이로써 진일보로 투광범위를 감소할 수 있다. 진일보로, 상기 코어 커버(114)의 밑부분 중심에는 블라인트 구멍이 개설되어 있고, 상기 핀홀 판(110)을 놓는데 사용되고, 상기 블라인드 구멍과 상기 원추형 구멍은 연통된다.
진일보로, 상기 코어 커버(114) 중심의 원추형 구멍의 테이퍼를 실제에서 응용할 때, 입사각의 수요가 다름에 따라 선택하여 필요한 입사각 범위의 광선을 선별하여 빛의 세기 측량을 한다. 마찬가지로, 상기 핀홀 판(110)도 실제 수요에 따라 선택하여 사용할 수 있다. 예를 들면, 만약에 입사각인 45°보다 작은 광선의 빛의 세기가 필요하면, 코어 커버(114)에서 가공한 원추형 구멍의 테이퍼는 90°이고, 즉 원추형 구멍의 축선은 ED코어(109)의 측량면의 노멀과 중합되고, 원추형 구멍의 원추정점은 핀홀의 중심과 정렬되고, 광선이 ED코어(109)에 비추기전에 경과한 모든 부속품은 입사각이 ≤45°인 광선에 대하여 가리지 않는 것을 보증한다.
설명할 것은 ED코어 보호장치는 실제 사용요구에 따라 코어 커버(114) 및 핀홀 판(110)을 변환할 수 있기에, 본 실시예는 ED코어(109), 코어 커버(114) 및 기강 커버(115)를 모두 위에서 아래로 설치방식을 설정한다. 기강 커버(115) 및 코어 커버(114)이 내부 스크루(116)를 통하여 동시에 지지부재(107)에 고정하는 것을 통하여 스크루를 설치기둥(105)에 고정한다.
계속하여 도 3 내지 도 5를 참조하면, 상기 온도 검출기(108)는 상기 코어 커버(114) 또는 지지부재(107)의 측면에 설치되어 실시간으로 ED코어(109)의 작업상태를 장악하여 불안정 상태 또는 비정상 작업에서 계속 작업하는 것을 방지하여 불필요한 손실을 조성한다.
상기 기강 커버(115)는 상기 코어 커버(114)의 정점부에 설치한다. 구체적으로 상기 기강 커버(115)와 상기 코어 커버(114)은 내부 스크루(116)과 외부 스크루(117)에 의하여 상기 지지부재(107)에 공동으로 고정된다. 상기 기강 커버(115)은 일부분의 불필요한 빛을 가릴 수 있고, 동시에 코어 커버(114)를 배합하여 기강 커버 캐비티(119)를 형성하고, 상기 기강 커버(115)의 중심에 원구멍이 개설되어 있다.
바람직하게, 상기 코어 커버(114)에 몇 개의 기공이 설치되어 있고, 상기 기공은 각각 상기 코어접선 캐비티(118) 및 기강 커버 캐비티(119)와 연통된다. 다시 말해서, 상기 코어접선 캐비티(118), 기강 커버 캐비티(119) 및 상기 기공은 공동으로 본 실시예의 ED코어 보호장치 중의 방열통로를 구성한다. 방열기체는 상기 파이프 연결관(106)에서 코어접선 캐비티(118)에 진입하고, 코어 커버(114)의 기공에 의하여 기강 커버 캐비티(119)에 유입되고, 최종적으로 기강 캐비티(115)의 중심 원구멍에서 분출되어 ED코어 보호장치 내부의 모든 구조에 대한 방열을 실현한다.
진일보로, 본 실시예의 ED코어 보호장치에서, 상기 파이프 연결관(106), ED코어(109), 핀홀 판(110)과 온도 검출기(108) 외에, 기타 부재는 모두 열전도율이 비교적 높은 금속재료를 사용하여 제작하였고, 예를 들면 알루미늄 또는 알루미늄 합금이고, 진일보로 장치의 방열능력을 향상시키고, 동시에 상기 금속은 표면 블랙(양극 블랙 또는 흑색 마이크로아크 산화) 처리를 통하여 벗어나는 빛의 생성을 감소한다.
종합하면, 본 실시예의 ED코어 보호장치의 장점은 아래와 같다.
1. ED코어 보호장치 내부에 방열통로를 설치하고, ED코어(109)가 강한 빛의 조건에서 열안정 상태에 신속하게 도달하는 것을 보증하여 측량효율 및 정확성을 향상시킨다.
2. 코어 커버(114)와 핀홀 판(110)의 배합사용을 통하여 투광면적이 작게 하여 서로 다른 핀홀 판(110)을 바꾸어 사용하여 투광면적이 직경 1mm 및 그 이하로 감소하게 할 수 있다.
3. 서로 다른 테이퍼의 코어 커버(114)를 바꾸어 사용하는 것을 통하여 일정한 입사각 범위내의 빛의 세기의 측량 정확성을 향상시킬 수 있다.
4. ED코어 보호장치는 전체 설치되고, 코어 커버(114)와 기강 커버(115)의 조립은 모두 위에서 아래로 조작하여 탈착 및 유지보수에 간편하다.
5. 온도 검출기(108)을 설치하여 실시간으로 ED코어(109)의 작업상태를 장악할 수 있다.
6. 본 실시예의 ED코어 보호장치는 강한 빛, 원자외선 또는 고온작업 환경의 장비에 광범위하게 사용될 수 있다.
실시예 2
본 실시예에서 실시예 1과 같은 부재는 모두 같은 기능 및/또는 구조를 구비하고, 같은 첨부도로 표기되며, 여기서 일일이 중복하여 설명하지 않는다. 본 실시예와 실시예 1의 주요구별점은 ED코어 보호장치내의 방열통로의 구조가 다른 것이고, 아래에 본 실시예와 실시예 1의 구별에 대하여 중점으로 설명한다.
도 6-7과 같이, 본 실시예의 ED코어 보호장치는 위에서 아래로 순차적으로 설치한 기강 커버(115), 코어 커버(114)와 지지부재(107)를 포함하고, 상기 ED코어(109)는 상기 코어 커버(114)에 설치되고, 코어 커버(114)와 배합한 제1댐핑(121), 제2댐핑(122)으로 수평지지를 하고, 상기 파이프 연결관(106)은 상기 지지부재(107)의 측면에 설치되고, 상기 지지부재(107) 내부에 설치한 공기진입 캐비티(123)와 연통되며, 진일보로, 상기 코어 커버(114)에 상기 공기진입 캐비티(123)와 연통된 코어접선 캐비티(118)가 설치되어 있다.
따라서, 본 실시예에서 방열기체가 방열통로에서 기류방향은 압축기체 또는 기타 냉각기체가 상기 파이프 연결관(106)을 통하여 상기 기체진입 캐비티(123)에 진입하고, 기체진입 캐비티(123)에 의하여 상기 코어접선 캐비티(118)에 진입하고, 다시 상기 코어접선 캐비티(118)로 코어 커버(114)와 기강 커버(115) 사이의 상기 기강 커버 캐비티(119)에 진입하여 최종적으로 기강 커버(115) 중심 원 구멍으로 분출하여 ED코어 보호장치 내부의 모든 구조에 대한 방열을 실현한다. 본 실시예에 기체진입 캐비티(123)을 증가설치 하였기에 방열통로내부의 기강체적을 증대하였고, ED코어 보호장치의 방열기능을 증강시켰다.
진일보로, 도 6-7과 같이, 본 실시예의 ED코어 보호장치는 코어 커버(14)와 기강 커버(115)사이에 설치한 필터링 플레이트(120)를 더 포함하고, 상기 필터링 플레이트(120)는 실제수요에 따라 특정파장을 선택하여 관심을 받지 못하는 파장의 광선을 필터링하여 특정파장 광선에 대한 측량 정확성을 향상시킨다.
실시예 3
본 실시예에서, 실시예 1또는 2와 같은 부재는 같은 기능 및/또는 구조를 가지고, 같은 첨부도로 표기되며, 여기서 일일이 중복하여 설명하지 않는다. 본 실시예와 실시예 1과 2의 주요구별점은 ED코어 보호장치내의 방열통로의 구조가 다른 것이고, 아래에 본 실시예와 실시예 1과 2의 구별에 대하여 중점으로 설명한다.
도 8 내지 도 10과 같이, 본 실시예의 ED코어 보호장치는 위로부터 아래로 순차적으로 설치한 코어 커버(114), 지지부재(107)과 밑판(124)를 포함하고, 그 중에서, 상기 ED코어(109)는 상기 지지부재(107)표면에 설치되고, 상기 코어 커버(114)에 의하여 고정되며, 상기 파이프 연결관(106)은 상기 밑판(124)의 밑부분에 설치되고, 상기 온도 검출기(108)는 상기 밑판(124), 지지부재(107) 또는 코어 커버(114) 중의 임의의 측면에 설치된다.
상기 ED코어 보호장치의 방열통로는 상기 밑판(124)과 지지부재(107)가 연합으로 형성한 기체진입 캐비티(123), 및 상기 지지부재(107)에 설치한 코어접선 캐비티(118)를 포함하고, 상기 기체진입 캐비티(123)와 상기 코어접선 코어(118) 사이는 상기 지지부재(107) 밑부분의 몇 개 통구멍(도 10 참고)을 통하여 연통되며, ED코어(109) 밑부분의 방열 균일성을 확보할 수 있다. 상기 기체진입 캐비티(123)는 파이프 연결관(106)과 외부를 통하여 연통되고, 상기 지지부재(107) 측면에 몇 개의 배출구멍을 개설하며, 냉각기체는 상기 파이프 연결관(106)에서 상기 기체진입 캐비티(123)와 코어접선 캐비티(118)에 흘러 들어간 후, 지지부재(107) 측면의 배출구멍에서 유출된다. 따라서, 방열설계를 하였기에 본 실시예의 ED코어 보호장치의 방열성능은 기존기술의 ED코어 보호장치보다 현저하게 우수하다.
구체적으로, 실시예 1과 실시예 3의 ED코어(109)를 같은 작업환경의 기계에 설치하여 빛의 세기 측량검측을 하고, 도 11에서 알 수 있듯이, 실시예 3의 ED코어(109)는 숫자파동(빛의 세기 최대값에서 최소값을 감하기)은 약 0.122이고, ED코어(109) 측량은 약 제200개 수집포인트에서 평행안정상태에 도달한다. 실시예 1의 측량 숫자파동은 약 0.05이고, ED코어(109)의 측량 형행 시작점은 약 제100개 수집포인트에 있다. 따라서, 실시예 3과 비교하면, 실시예 1의 ED코어 보호장치는 강한 빛의 세기 환경에서 ED코어(109)의 측량수치의 파동범위를 약 60%감소할 수 있고, ED코어(109)가 안정한 작업상태에 도달하는데 수요시간을 약 50%단축할 수 있고, 실시예 1의 냉각효과는 실시예 3에 비해 더 좋다.
실시예 4
본 실시예와 실시예 1 내지 3의 주요구별특점은 실시예 1 내지 3에서 냉각기체를 사용하여 주요한 냉각매질로 하고, 본 실시예에서 냉각액체를 사용하여 냉각매질로 한다.
따라서, 본 실시예는 실시예 1 내지 3의 기초상에 지지부재(107), 코어 커버(114) 및 기강 커버(115) 등 전부 또는 부분부재에 수로 또는 가공수로를 배치하여 사용시 냉각액체로 ED검출기에 대하여 냉각한다.
당연히 해당 기술영역에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 상황에서 발명에 대하여 각종 수정과 변형을 할 수 있다. 본 발명의 이런 수정과 변형이 본 발명의 청구항 및 동등한 기술의 범위내에 속하고, 본 발명도 이런 수정과 변형을 포함하고 있음을 의도한다.
도에서:
100-분석모듈; 101~103-제1~제3ED코어 보호장치; 104-설치대; 105-설치기둥;
106-파이프 연결관; 107-지지부재; 108-온도검출기; 109-ED코어; 10-핀홀 판; 111-제1핀홀 압축판; 112-제2핀홀 압축판; 113-탑 스크루; 114-코어 커버; 115-기강 커버; 116-내부 스크루; 117-외부연결 스크루; 118-코어접선 캐비티; 119-기강 커버 캐비티;
120-필터링 플레이트; 121-제1댐핑; 122-제2댐핑; 123-기체진입 캐비티; 124-밑판.

Claims (22)

  1. 지지부재, 코어 커버와 에너지 검출기 코어 온도를 검측하는 온도검출기를 포함하고,
    상기 지지부재와 코어 커버는 상기 에너지 검출기 코어를 수용하고 고정하는 설치본체에 공동으로 형성되고,
    상기 설치본체내에 방열통로가 설치되어 있고, 상기 코어 커버의 중심에는 원추형 구멍이 있으며,
    상기 원추형 구멍의 중심과 상기 에너지 검출기 코어의 중심은 정렬되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 방열통로는
    상기 지지부재내에 설치한 코어접선 캐비티와 상기 코어 커버에 개설되고 상기 코어접선 캐비티와 연통하는 기공을 포함하고,
    상기 코어접선 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 코어 커버에 상기 에너지 검출기 코어와 매칭되는 원주위치 돌출플랫폼을 설치하고, 상기 에너지 검출기 코어는 상기 지지부재 표면과 상기 원주위치 돌출플랫폼이 공동으로 형성한 수용 캐비티 내에 고정되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 방열통로는
    상기 코어 커버내에 설치한 코어접선 캐비티와 상기 지지부재 내에 개설되고 상기 코어접선 캐비티와 연통하는 공기진입 캐비티을 포함하고,
    상기 공기진입 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  5. 제2항 또는 제4항에 있어서,
    상기 파이프 연결관은 상기 지지부재의 밑부분 또는 측면에 설치되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  6. 제2항 또는 제4항에 있어서,
    밑판을 더 포함하고,
    상기 밑판은 상기 지지부재 밑부분에 고정되고, 상기 지지부재와 공기진입 캐비티를 공동으로 형성하며 상기 공기진입 캐비티는 상기 코어접선 캐비티와 파이프 연결관과 각각 연통되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  7. 제2항 또는 제4항에 있어서,
    기강 커버를 더 포함하고,
    상기 기강 커버와 상기 코어 커버는 기강 커버 캐비티를 공동으로 형성하고, 상기 기강 커버 캐비티와 상기 코어접선 캐비티는 연통되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 에너지 검출기 코어는 댐퍼로 지지되어 상기 코어 커버에 고정되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  9. 제1항에 있어서,
    핀홀 판과 핀홀 압축판을 더 포함하고,
    상기 핀홀 판은 상기 핀홀 판을 상기 코어 커버의 원추형 구멍의 밑부분에 압축 설치하는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 핀홀 판의 핀홀의 홀직경은 100 μm보다 작거나 같고, 상기 원추형 구멍의 중심과 상기 핀홀의 중심은 정렬되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 코어 커버 밑부분에 상기 핀홀 판과 매칭되는 블라인드 홀이 설치되어 있고, 상기 블라인드 홀과 상기 원추형 구멍의 밑부분은 연통되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 핀홀 압축판은 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하여 제작되고, 상기 알루미늄 또는 알루미늄 합금표면은 양극 블랙 또는 흑색 마이크로아크 산화공법으로 처리하는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 원추형 밑부분의 원홀의 홀직경은 3mm보다 크지 않는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  14. 제1항에 있어서,
    필터링 플레이트를 더 포함하고,
    상기 필터링 플레이트는 상기 코어 커버 표면에 설치되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 방열통로내에 방열기체 또는 냉각액체가 있는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  16. 제1항에 있어서,
    밑판을 더 포함하고,
    상기 밑판은 상기 지지부재 밑부분에 고정되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 방열통로는
    상기 밑판과 지지부재가 연합하여 형성한 공기진입 캐비티와 상기 지지부재에 설치한 코어접선 캐비티를 포함하고,
    상기 공기진입 캐비티와 상기 코어접선 캐비티 사이는 상기 지지부재 밑부분에 개설한 몇 개의 구멍을 통하여 연통되고,
    상기 공기진입 캐비티는 파이프 연결관을 통하여 외부와 연통되며,
    상기 지지부재의 측면에 몇 개의 배출구멍이 있고, 냉각물질은 상기 파이프 연결관에서 상기 공기진입 캐비티와 고어접선 캐비티에 유입한 후, 지지부재의 측면의 배출구멍에서 유출되는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 지지부재, 코어 커버와 밑판은 모두 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 알루미늄 또는 알루미튬 합금표면은 양극 블랙 또는 흑색 마이크로아크 산화공법으로 처리하는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  20. 제16항에 있어서,
    상기 온도 검출기는 상기 코어 커버, 지지부재와 밑판에 설치하는
    에너지 검출기 코어 보호장치.
  21. 제1항 내지 제20항 중 어느 한 항에 따른 에너지 검출기 코어 보호장치를 포함하는 액정화면 광배향 장비 분석모듈.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 에너지 검출기 코어 보호장치는 복수개가 있고, 각각 분석모듈의 설치대와 설치기둥에 고정되는
    액정화면 광배향 장비 분석모듈.
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