CN114543988B - 一种激光功率计 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种激光功率计，吸收组件中循环流动的冷却介质能够对第一子光束进行直接吸收，冷却介质处于循环流动状态，能够连续持久的吸收第一子光束的能量；同时对较小功率的第二子光束进行功率检测，若入射激光的功率增大，可通过调节冷却介质的循环流速对吸收能量的速率进行调节，吸收能量的效率更高，因此提高了被检测入射激光功率的上限；同时未被吸收的另一光束功率远远小于入射激光的光束，更容易被检测，可通过对子光束进行功率检测，进而得到入射激光的功率。

Description

一种激光功率计

技术领域

本发明涉及激光检测技术领域，尤其涉及一种激光功率计。

背景技术

随着激光技术的不断发展，激光器的功率需求也越来越大，需要采用专门的激光功率计对超大功率的激光器进行检测。

在相关技术中，高功率激光功率计主要为热电堆型，热电堆型的功率计是由热电偶组成，功率计探头表面涂有热电材料，热电材料将激光吸收转化为热量，热量向热电偶传递并形成温度梯度场，探头内外两个节点由于温度差产生温度电动势，每对内外节点产生的温差电动势串联起来的总电压与入射光被膜吸收转化的热量成比例；若激光功率越大，需要的探头直径也更大，相应的也需要体积更大的功率计。目前的高功率激光功率计的体积就限制了对激光功率测量的上限值，测量高功率激光时非常不方便。

在相关技术中，也有通过对激光进行衰减，然后再对衰减后的激光进行功率检测，通常采用分光镜对激光进行分光，一束较弱的激光射入检测装置中进行功率检测，另一束较强的激光射入吸收装置中被吸收，但是对于超大功率激光而言，分光出来的激光仍然具有数十千瓦甚至上百千瓦的功率，常规的吸收装置难以吸收如此高功率的激光，因此，也限制了能够测量激光功率的上限。

因此，如何提高测量激光功率的上限成为了现有技术中亟需改进的问题。

发明内容

本申请旨在提供一种激光功率计，以解决如何提高测量激光功率的上限。

而本申请为解决上述技术问题所采用的方案为：

第一方面，本申请提供一种激光功率计，包括：

分光镜，具有将入射激光分为至少两条子光束的第一位置，所述子光束包括第一子光束和第二子光束，所述第一子光束和第二子光束分别位于所述分光镜的两侧；

吸收组件，包括吸收腔，所述吸收腔内设置有冷却介质，所述吸收腔上还设置有用于使所述冷却介质循环流动的第一介质进口和第一介质出口；且当所述分光镜处于第一位置时，所述第一子光束射入所述冷却介质中。

在本申请的部分实施例中，所述分光镜至少部分与所述冷却介质形成物理接触。

在本申请的部分实施例中，所述吸收腔上设置有第一开口，所述分光镜设置在所述第一开口上并封闭所述第一开口。

在本申请的部分实施例中，所述第一介质进口设置在所述吸收腔远离所述分光镜的一端。

在本申请的部分实施例中，所述吸收腔靠近所述第一介质进口的一侧设置有分水板，所述分水板上设置有多个分水孔，所述分水孔用于分流所述第一介质进口流出的介质。

在本申请的部分实施例中，所述吸收腔还包括第二介质进口，所述第二介质进口设置在所述吸收腔靠近所述分光镜的一端，所述第一介质出口设置在所述第二介质进口和所述第一介质进口之间。

在本申请的部分实施例中，所述吸收腔外靠近所述第一介质进口的一侧还设置有外接管道，所述外接管道一端连通所述第二介质进口、另一端连接有进水组件。

在本申请的部分实施例中，所述第一位置包括将所述分光镜朝着远离所述吸收腔的一侧倾斜设置，且所述第二介质进口设置在所述分光镜的上方，以使所述分光镜至少部分暴露在所述第二介质进口处。

在本申请的部分实施例中，所述分光镜与入射激光之间设置有第一夹角，所述第一夹角为45°-80°。

在本申请的部分实施例中，所述分光镜远离所述吸收组件的一侧还设置有吹气组件，所述吹气组件用于在所述分光镜表面形成流动气帘。

在本申请的部分实施例中，所述第一子光束为入射激光的折射光束，所述第二子光束为入射激光的反射光束，所述吸收组件和所述第一子光束设置在所述分光镜的同一侧。

在本申请的部分实施例中，所述激光功率计还包括入射组件和检测组件，所述入射组件一端连接激光模组、另一端连通所述分光镜；所述检测组件一端连通所述分光镜、另一端设置有用于对第一子光束进行功率检测的功率计组件。

在本申请的部分实施例中，所述激光功率计包括连接块，所述连接块上设置有相互连通的第二开口、第三开口和第四开口，所述第二开口连通所述入射组件，所述第三开口连通所述检测组件，所述第四开口与所述分光镜连接。

本申请所提供的激光功率计，吸收组件中循环流动的冷却介质能够对第一子光束进行直接吸收，冷却介质处于循环流动状态，能够连续持久的吸收第一子光束的能量，同时对较小功率的第二子光束进行功率检测；若入射激光的功率增大，可通过调节冷却介质的循环流速对吸收能量的速率进行调节，吸收能量的效率更高，因此提高了被检测入射激光功率的上限；同时未被吸收的另一光束功率远远小于入射激光的光束，更容易被检测，可通过对子光束进行功率检测，进而得到入射激光的功率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的激光功率计的侧视图；

图2为本发明的激光功率计的截面图；

图3为本发明的连接块结构图；

图4为本发明的激光功率计的俯视图；

图5为本发明的冷却装置局部爆炸图；

图6为本发明的图5的局部A放大图；

图7为本发明的冷却装置的侧视图。

元素符号说明：

1-吸收组件，2-分光镜，3-连接块，4-入射组件，5-检测组件，6-吹气组件，7-准直组件，11-出水管道，12-第一介质进口，13-第二介质进口，14-吸收腔，15-分水板，16-第一介质出口，17-外层结构，31-第二开口，32-第三开口，33-第四开口，61-第一气封板，62-第一气座，611-进气孔，621-引流曲面。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在申请中，“示例性”一词用来表示“用作例子、例证或说明”。本申请中被描述为示例性”的任何实施例不一定被解释为比其它实施例更优选或更具优势。为使本领域任何技术人员能够实现和使用本发明，给出了以下描述。在以下描述，为了解释的目的而列出了细节。应当明白的是，本领域普通技术人员可以认到，在不使用这些特定细节的情况下也可以实现本发明。在其它实例中，不会对已知的结构和过程进行详细阐述，以避免不必要的细节使本发明的描述变得晦涩。因此，本发明并非旨在限于所示的实施例，而是与符合本申请所公开的原理的最广范围相一致。

随着激光技术的不断发展，激光器的应用场景不断扩大，被广泛的应用于工业、生物医药、航空航天等领域。激光器的功率也不断的提升，激光功率计作为检测激光器连续输出功率的专用仪器，在高功率激光器的研发、生产、测试、售后等过程中广泛的运用，是激光检测设备技术领域不可缺少的一部分。目前的高功率激光功率计依赖进口，越是功率高，所用的热电材料成本也就越高，功率计的价格也就越高。特别是超高功率的激光功率计售价更是昂贵，购买周期时间长，而且维护不便。

请参阅图1至图7，本实施例的主体是一种激光功率计，包括：分光镜2，具有将入射激光分为至少两条子光束的第一位置，所述子光束包括第一子光束和第二子光束，所述第一子光束和第二子光束分别位于所述分光镜2的两侧；吸收组件1，包括吸收腔14，所述吸收腔14内设置有冷却介质，所述吸收腔14上还设置有用于使所述冷却介质循环流动的第一介质进口12和第一介质出口16；且当所述分光镜2处于第一位置时，所述第一子光束射入所述冷却介质中。分光镜2和吸收组件1形成冷却装置。

吸收组件1中循环流动的冷却介质能够对第一子光束进行直接吸收，冷却介质处于循环流动状态，能够连续持久的吸收第一子光束的能量；同时对较小功率的第二子光束进行功率检测，若入射激光的功率增大，可通过调节冷却介质的循环流速对吸收能量的速率进行调节，吸收能量的效率更高，因此提高了被检测入射激光功率的上限；同时未被吸收的另一光束功率远远小于入射激光的光束，更容易被检测，可通过对子光束进行功率检测，进而得到入射激光的功率。

在一些实施例中，冷却介质为水，且水中的杂质不能太多，透光率不能太低，水中若存在较多的杂质，分光镜2的镜面上吸附一些杂质，在进行激光冷却过程中，杂质吸收激光能量，会导致分光镜2出现烧点，降低分光镜2的透射率，影响第二子光束测量的准确性，甚至会导致分光镜2烧坏。

会阻碍激光的传输，能量大多数都被前半部分冷却介质吸收，降低后半部分冷却介质的换热效果，进而降低了整体的吸热效果；可选冷却介质为纯净水，一般来说10mm的冷却介质能够吸收掉10％。

在一些实施例中，请参阅图7，所述第一位置可以理解为分光镜2与入射激光的夹角不为0和90°，分光镜2能够将入射激光分为反射光束和折射光束，折射光束直接射入冷却介质中，冷却介质对折射光束进行快速吸能，反射光束反射到功率计中进行测量，具体的可以设置反射光束和折射光束的能量比为1:99。入射激光为100KW，被检测的反射光束的功率也只有1KW，采用小型的功率计即可对其进行检测，检测后再算出入射激光的功率即可。

在本申请的部分实施例中，请参阅图2，所述分光镜2至少部分与所述冷却介质形成物理接触。冷却介质直接和分光镜2形成物理接触，形成接触热传导，能够对分光镜2进行降温。需要说明的是，分光镜2远离入射激光的一侧一般设置有增透膜，高功率激光入射到分光镜2上，绝大部分激光透过分光镜2片，直接入射到冷却介质中，增透膜会吸收折射光束的一部分能量，在入射激光的功率极高的情况下，容易烧坏分光镜2以及增透膜，影响分光镜2的功能，因此通过冷却介质直接对分光镜2进行降温，能够对分光镜2进行保护。

在本申请的部分实施例中，请参阅图2，所述吸收组件1包括用于容置冷却介质的吸收腔14，所述吸收腔14上设置有第一开口，所述分光镜2设置在所述第一开口上并封闭所述第一开口。具体的，吸收腔14可以设置为多层结构，其中多层结构可在中间增设一层冷却层，冷却层内可填充循环的冷却介质。具体的，吸收腔14设置为两层结构，第一介质出口16设置在内层结构上，且优选的设置第一介质出口16远离第一介质进口12，在外层结构17上设置出水管道11，所述出水管道11和第一介质进口12的进水管道设置同向，方便连接水冷机。外层结构17和内层结构之间形成空腔，冷却介质由进水管道、第一介质进口12、吸收腔14、第一介质出口16、空腔、出水管道11进行流动。便于充分利用冷却介质对热量进行吸收。

具体的，第一介质出口16可设置为多个，且多个第一介质出口16沿吸收腔14的环线方向间隔设置。

在本申请的部分实施例中，请参阅图1和图2，所述吸收腔14上设置有第一介质进口12和第一介质出口16，所述第一介质进口12设置在所述吸收腔14远离所述分光镜2的一端。通过第一介质进口12进水，第一介质出口16出水，实现对吸收腔14内部的冷却介质进行流动循环。具体的，第一介质进口12和第二介质进口13可分设在吸收腔14的不同表面，且可以通过增大第一介质进口12和第二介质进口13的间距，促进吸收腔14内循环，考虑到装置整体安装后的可操作性，可将第一介质进口12设置在吸收腔14远离分光镜2的一端，第一介质出口16设置在吸收腔14的侧面上。

在一些实施例中，所述吸收腔外靠近所述第一介质进口的一侧还设置有外接管道，所述外接管道一端连通所述第二介质进口、另一端连接有进水组件。外接管道和第一介质进口的进水位置接近，方便与外接进水组件连接。

在本申请的部分实施例中，请参阅图2，所述吸收腔14靠近所述第一介质进口12的一侧设置有分水板15，所述分水板15上设置有多个分水孔，所述分水孔用于分流所述第一介质进口12流出的介质。在一些实施例中，吸收腔14设置有第一介质进口12的一侧可以设置为内空的锥形结构，相应的分水板15也设置为锥形结构，分水板15引导第一介质进口12的水流均布在分水板15的锥面结构上，并通过锥面上的分水孔进入到吸收腔14内部。

在本申请的部分实施例中，请参阅图2，所述吸收腔14还包括第二介质进口13，所述第二介质进口13设置在所述吸收腔14靠近所述分光镜2的一端。设置第二介质进口13可以避免单一进口导致远端水水流速较低，甚至形成死水区的问题，保证水快速流通和冷却水的高效散热效果；同时第二介质进口13进水，还能够降低分光镜2附近的温度，进而对分光镜2进行降温，防止分光镜2被烧坏；在一些实施例中，可将第一介质出口16设置在第一介质进口12和第二介质进口13之间合适的中间位置；促进两侧的水循环。

在本申请的部分实施例中，请继续参阅图2，所述第一位置包括将所述分光镜2朝着远离所述吸收腔14的一侧倾斜设置，且所述第二介质进口13设置在所述分光镜2的上方，以使所述分光镜2至少部分暴露在所述第二介质进口13处。分光镜2倾斜设置，使得第二介质进口13的低温进水能够流动到分光镜2上，并且增大了分光镜2附近冷却介质的体积，能够提高冷却介质对分光镜2的吸热效率。

在一些实施例中，在本申请的部分实施例中，所述分光镜2与入射激光之间设置有第一夹角，所述第一夹角为45°-80°。更为优选的，可以设置第一夹角为60°，若第一夹角太小，分光镜2坡度较缓，分光镜2和吸收腔14形成较为狭长的冷却空间，在冷却空间中的冷却介质容易形成不易流动的死水区；若第一夹角太大，分光镜2坡度较大，冷却介质在分光镜2上流动过快，在分光镜2上停留时间太少，会影响冷却介质对分光镜2的冷却效果。

在一些实施例中，第二介质进口13的数量可以为多个，能够降低某一区域形成死水区的可能性；同时第一介质出口16也可以设置有多个，可通过热力分析出最易升温的区域，在对应的区域设置第一介质出口16，提高冷却介质的循环速度。也可以在第二介质进口13处设置分水阀，分水阀将水路分为多路，并从多个位置进入到吸收腔14内，能够将高温水迅速带走。

在本申请的部分实施例中，请参阅图2、图5和图6，所述分光镜2远离所述吸收组件1的一侧还设置有吹气组件6，所述吹气组件6用于在所述分光镜2表面形成流动气帘。流动气帘能够对分光镜2进行风冷，同时能够去除分光镜2上的杂质；若分光镜2上的杂质过多，其吸收了入射激光更多的能量，容易导致烧坏分光镜2表面。

在一些实施例中，请参阅图6，吹气组件6包括第一气封板61和第一气座62，第一气座62一端固定有分光镜2、另一端固定第一气封板61，第一气封板61和第一气座62上均设置有通光孔，第一气座62上还设置有进气孔611，第一气封板61的通光孔位置设置有引流曲面621，所述引流曲面621将进气孔611通入的气流均匀引导至分光镜2上。

在本申请的部分实施例中，所述第一子光束为入射激光的折射光束，所述第二子光束为入射激光的反射光束，所述吸收组件1和所述第一子光束设置在所述分光镜2的同一侧。反射光束用于检测，折射光束被吸收，吸收组件1能够吸收到能量较大的折射光束，以此提高功率检测上限。

请参阅图1至图4，本实施例的主体为提供一种激光功率计，包括上述的冷却装置，所述激光功率计还包括连接块3，所述连接块3设置有相互连通的第二开口31、第三开口32和第四开口33，所述第二开口31连接有入射组件4，所述第三开口32连接有检测组件5，所述冷却装置的分光镜2远离吸收腔14的一侧连接所述第四开口33；所述检测组件5用于对第二子光束进行功率检测。

在本申请部分实施例中，激光功率计为直接水冷式结构，入射组件4设置有输出光缆头安装组件，检测组件5设置有功率计组件和准直组件7，其中输出光缆头安装组件包括输出光缆头转接块，输出光缆头转接块内设置有激光入射孔，输出光缆头的中心和激光入射孔同轴。

在一些实施例中，请参阅图3，连接块3的第一端面、第二端面和第三端面上分别对应设置有第二开口31、第三开口32和第四开口33，所述连接块3激光入射孔从第一端面贯穿至第二端面的分光入射孔；所述分光入射孔从第二端面贯穿至第三端面的分光出射孔。所述连接块3侧壁上设有出气孔螺纹，用与安装消音器。

在一些实施例中，准直组件7用于收束反射光进行功率检测，其包括准直镜、准直镜夹座、准直镜夹盖，所述准直镜夹座设有第一台阶、第二台阶；所诉准直镜夹盖设有凸台和安装环；所诉准直镜夹盖安装在所诉准直镜夹座的上表面，将所述准直镜压紧安装在所述准直镜夹座的第一台阶；所述准直镜与准直镜夹座、准直镜夹盖与准直镜夹座、准直镜与准直镜夹座设有密封圈。

在一些实施例中，请参阅图2，准直组件7包括用于去除准直镜表面杂质的准直镜保护气组件，其包括准直镜内气座、准直镜内气环、准直镜外气座、准直镜外气环、快插接头；所述准直镜内气座设有贯通侧壁的气孔，并在所述准直镜内气座外表面安装有所述快插接头；所述准直镜内气环设有一圈小孔；所述准直镜内气座和所述准直镜内气环之间设有密封圈；气体从所述快插接头通过所述气孔进入所述准直镜内气座和所述准直镜内气环间，通过所述小孔形成内气帘保护所述准直镜组件内表面；所述准直镜外气环设有高凸台；所述准直镜外气环安装在所述准直镜外气座上表面，并且安装后所设高凸台与所述分割壁之间有间隙，气体从所述快插接头通过所述气孔进入所述准直镜外气座和所述准直镜外气环间，通过所述间隙形成内气帘保护所述准直镜组件外表面。

在一些实施例中，功率计组件包括托盘、功率计安装架、遮光罩、功率计支撑架、常规低功率功率计；所述常规低功率功率计安装在功率计安装架上；所述功率计支撑架通过所述功率计支撑架固定在所述托盘上；所述连接块3通过螺纹连接在托盘上；所述遮光罩将功率计托盘组件和准直镜保护气组件罩在一起，保证出光安全。

本申请中激光通过输出光缆头安装组件进入分光镜2上，分光镜2将入射激光分为绝大部分的第一子光束和极少部分的第二子光束，第一子光束会透过分光镜2两个表面进入到吸收组件1中，并被吸收组件1吸收转化为热量散发，分光镜2反射的第二子光束能量通过准直镜将汇聚入到常规低功率功率计内进行检测；若使用常规的5000W以下的低功率功率计测量第二子光束的功率，就可以推算100KW激光器的功率，相当于市面的高功率功率计可以长时间出光，并且能够提高检测功率的上限。采用直接水冷技术，第一子光束的激光能量入射进入充满冷却水的吸收体组件，利用冷却水对激光的吸收，将激光能量直接通过冷却水带走，达到极高的激光吸收效率和散热效率。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见上文针对其他实施例的详细描述，此处不再赘述。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本申请的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本申请进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本申请中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本申请示范实施例的精神和范围。

同时，本申请使用了特定词语来描述本申请的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本申请至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本申请的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

同理，应当注意的是，为了简化本申请披露的表述，从而帮助对一个或多个发明实施例的理解，前文对本申请实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本申请对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明，“大约”、“近似”或“大体上”表明数字允许有±20％的变化。相应地，在一些实施例中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本申请一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。

针对本申请引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本申请作为参考，但与本申请内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本申请权利要求最广范围有限制的文件(当前或之后附加于本申请中的)也除外。需要说明的是，如果本申请附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本申请内容有不一致或冲突的地方，以本申请的描述、定义和/或术语的使用为准。

以上对本申请实施例所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (12)

1.一种激光功率计，其特征在于，包括：

分光镜，具有将入射激光分为至少两条子光束的第一位置，所述子光束包括第一子光束和第二子光束，所述第一子光束和第二子光束分别位于所述分光镜的两侧；

吸收组件，包括吸收腔，所述吸收腔内设置有冷却介质，所述吸收腔上还设置有用于使所述冷却介质循环流动的第一介质进口和第一介质出口；且当所述分光镜处于第一位置时，所述第一子光束射入所述冷却介质中；

其中，所述第一子光束为入射激光的折射光束，所述第二子光束为入射激光的反射光束，所述吸收组件和所述第一子光束设置在所述分光镜的同一侧。

2.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述分光镜至少部分与所述冷却介质形成物理接触。

3.根据权利要求2所述的激光功率计，其特征在于，所述吸收腔上设置有第一开口，所述分光镜设置在所述第一开口上并封闭所述第一开口。

4.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述第一介质进口设置在所述吸收腔远离所述分光镜的一端。

5.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述吸收腔靠近所述第一介质进口的一侧设置有分水板，所述分水板上设置有多个分水孔，所述分水孔用于分流所述第一介质进口流出的介质。

6.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述吸收腔还包括第二介质进口，所述第二介质进口设置在所述吸收腔靠近所述分光镜的一端，所述第一介质出口设置在所述第二介质进口和所述第一介质进口之间。

7.根据权利要求6所述的激光功率计，其特征在于，所述吸收腔外靠近所述第一介质进口的一侧还设置有外接管道，所述外接管道一端连通所述第二介质进口、另一端连接有进水组件。

8.根据权利要求6所述的激光功率计，其特征在于，所述第一位置包括将所述分光镜朝着远离所述吸收腔的一侧倾斜设置，且所述第二介质进口设置在所述分光镜的上方，以使所述分光镜至少部分暴露在所述第二介质进口处。

9.根据权利要求8所述的激光功率计，其特征在于，所述分光镜与入射激光之间设置有第一夹角，所述第一夹角为45°-80°。

10.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述分光镜远离所述吸收组件的一侧还设置有吹气组件，所述吹气组件用于在所述分光镜表面形成流动气帘。

11.根据权利要求1所述的激光功率计，其特征在于，所述激光功率计还包括入射组件和检测组件，所述入射组件一端连接激光模组、另一端连通所述分光镜；所述检测组件一端连通所述分光镜、另一端设置有用于对第一子光束进行功率检测的功率计组件。

12.根据权利要求11所述的激光功率计，其特征在于，所述激光功率计包括连接块，所述连接块上设置有相互连通的第二开口、第三开口和第四开口，所述第二开口连通所述入射组件，所述第三开口连通所述检测组件，所述第四开口与所述分光镜连接。