KR20180053643A - 가스-분배 설비를 위한 피봇 가능 터치스크린 - Google Patents

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KR20180053643A
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zone
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아지즈 오얼드
에르브 둘피
엔리케 도스 레이스
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레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레？드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
레르 리키드 쏘시에떼 아노님 뿌르 레드 에렉스뿔라따시옹 데 프로세데 조르즈 클로드
에르 리뀌드 일렉뜨로닉 시스템
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Abstract

본 발명은 절연 챔버(3) 및 챔버(3)가 개방 및 폐쇄될 수 있게 하기 위해서 수직 축을 중심으로 피봇될 수 있는 도어(3')를 구비하는, 작업 가스를 공급하기 위한 설비에 관한 것으로서, 설비는, 절연 챔버(3) 내에 배열된 가압 작업 가스의 적어도 하나의 공급원(5, 7)을 포함하고, 작업 가스를 분배하기 위한 장치(9)를 포함하며, 적어도 하나의 작업 가스 공급원(5, 7)에 그리고 작업 가스가 소비되는 스테이션(10B)에 작업 가스를 이송하기 위해서 적어도 하나의 배출구 파이프(10, 10A)에 연결된 파이프(15, 21, 23)의 세트, 기능적 부재(25, 25A), 특히 파이프(15, 21, 23) 내에 배열되고 파이프 내의 작업 가스의 유동을 조절하기 위해서 이용되는 밸브(27, 29, 27A, 29A)뿐만 아니라, 가스 누출의 검출기(34, 34A), 그리고 기능적 부재(35, 35A)와 통신하기 위한 수단(37), 기능적 부재(25, 25A)와 관련된 과제를 모니터링하기 위한 수단(39), 및 분배 장치(9, 9A)의 조작자에 의해서 작동될 수 있는 모니터링 수단(39)을 제어하기 위한 수단(45)을 포함하는 모니터링 및 명령 유닛(35, 35A)을 포함하며, 제어 수단(45)은 상응하는 과제의 모니터링과 연관된 명령 영역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)을 가지는 터치스크린(47)을 포함하고, 그러한 터치스크린은 도어(3') 내로 설치된 하우징(47A)에 부착되고, 그러한 하우징(47A)은 수직 축(Y)을 중심으로 피봇될 수 있고 피봇되도록 설계되는 것을 특징으로 한다.

Description

가스-분배 설비를 위한 피봇 가능 터치스크린
본 발명은 작업 가스를 분배하기 위한 장치 및 그러한 가스를 공급하기 위한 설비에 관한 것으로서, 그러한 장치 및 설비는, 반도체, 광발전, LED 및 평판 스크린 산업과 같은 다양한 산업, 또는 광산 또는 의약 산업과 같은 임의의 다른 산업에서의 방법에서 이용되는 가스를 실린더로부터 이러한 방법을 위해서 이용되는 장치 또는 반응기에 전달하기 위해서 이용된다.
이러한 방법의 실시는, 예를 들어 자동 퍼지 및 연속적 분배를 필요로 하는, 고품질의 위험한 가스의 이용을 종종 필요로 한다. 예를 들어, 전자 회로의 제조는, 예를 들어, 그 독성 및/또는 그 인화성으로 인해서 대부분이 인간에게 위험한 것으로 간주되는, Cl2, NH3, HCl, HBr, NF3 또는 WF6, 등과 같은, "작업" 가스로 지칭되는 다양한 가스의 이용을 필요로 한다.
이러한 이유로, 이러한 가스는, 또한 "가스 캐비넷"이라는 명칭으로 알려져 있는, 가스 공급 설비 내에서 쌍으로 배열되는 가압 가스 실린더 내에 저장된다. 그러한 설비는 제어된 추출을 가지는 안전 외장 및 외장 내에 배열된, 작업 가스를 분배하기 위한 장치를 포함한다.
분배 장치는, 2개의 가압 가스 실린더에 연계된, 가스 공급, 퍼지 및 추출을 위한 파이프라인의 세트, 작업 유체의 유동을 조절하기 위해서 파이프라인 내에 배열된 밸브, 및 설비의 동작 상태를 감독하기 위해서 파이프라인 내에 만연하는(prevailing) 압력을 측정하기 위한 가스 누출 검출기 및 센서를 포함한다.
밸브의 조절 그리고 누출 검출기 및 압력 센서로부터 기원하는 다양한 신호의 캡쳐 및 이용은 모니터링 및 제어 유닛에 의해서 실시된다.
이러한 모니터링 및 제어 유닛은 예를 들어 프로그래밍된 자동 기계 및, 자동 기계에 연계된, 디스플레이 및 제어 패널을 포함한다.
설비의 블록도가 이러한 패널 상에 도시된다.
설비의 감독을 담당하는 조작자에게 경보를 신호하기 위해서, 특정 경보와 각각 연관되는 다수의 표시부 조명이 패널 내에 배열된다. 부가적으로, 설비가 수동 모드로 동작될 수 있게 하는, 밸브를 제어하기 위한 스위치가 또한 이러한 패널 내에 설치된다. 또한, 패널 내에 장착되고 자동 기계에 의해서 제어되는 다양한 디스플레이 요소는 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값을 보여준다.
수 많은 표시부, 스위치 및 디스플레이 요소로 인해서, 제어 패널은 처음에 복잡하게 그리고 매우 사용자-친화적이지 않게 보이며, 그에 따라 설비의 감독을 담당하는 조작자를 훈련시키는데 있어서 매우 긴 학습 기간을 필요로 한다.
본 발명은, 첫 번째로, 보다 사용자-친화적인, 디스플레이 및 제어 인터페이스를 구비한 분배 장치를 제공함으로써, 이러한 단점을 경감하는 것을 목적으로 한다.
두 번째로, 이러한 설비는 일반적으로, 조작자가 외장의 내부에 접근할 수 있게 하고 그에 따라 그러한 외장 내에 배열된 가스 실린더 및/또는 다양한 요소를 취급할 수 있게 하는 도어를 구비한다. 도어가 일단 개방되면, 조작자는, 스위치 및 디스플레이 요소, 그리고 디스플레이 및 제어 패널과 같이, 도어의 전방 면에 존재하는 요소에 더 이상 접근할 수 없다. 이는, 조작자의 설비 이용과 관련하여 조작자에 대한 주요 단점을 구성한다.
이러한 목적을 위해서, 본 발명의 하나의 대상은 격리 외장 및 외장이 개방 및 폐쇄될 수 있게 하기 위해서 수직 축을 중심으로 피봇될 수 있는 도어를 구비하는, 작업 가스를 공급하기 위한 설비이며, 그러한 설비는, 격리 외장 내에 배열되는, 가압 작업 가스의 적어도 하나의 공급원을 포함하고, 작업 가스를 분배하기 위한 장치를 포함하며, 적어도 하나의 작업 가스 공급원에 그리고 소비자 스테이션에 작업 가스를 경로 연결하기(routing) 위한 적어도 하나의 출력 파이프라인에 연계된 파이프라인의 세트, 기능적 구성요소, 특히 파이프라인 내에 배열되고 파이프라인 내에서 작업 가스의 유동을 조절하기 위해서 이용되는 밸브, 및 가스 누출 검출기, 그리고 기능적 구성요소와 통신하기 위한 수단, 기능적 구성요소와 관련된 과제를 모니터링하기 위한 수단, 및 분배 장치의 조작자에 의해서 작동될 수 있는 모니터링 수단을 관리하기 위한 수단을 포함하는 모니터링 및 제어 유닛을 포함하며, 관리 수단은 상응하는 과제의 모니터링과 연관된 제어 구역을 가지는 터치스크린을 포함하는, 설비에 있어서, 터치스크린이 도어 내로 통합된 하우징에 부착되고, 하우징이 수직 축을 중심으로 피봇될 수 있고 피봇되도록 설계되는 것을 특징으로 한다.
피봇 가능한 하우징은 실린더 또는 다른 구성요소를 조작하는 조작자가, 도어가 폐쇄되었을 때 캐비넷의 외부로부터, 그리고 도어가 개방되었을 때, 예를 들어 캐비넷의 형태인 설비의 내부로부터, 터치스크린 그리고 가능하게는 정지 버튼에 접근할 수 있게 한다.
본 발명에 따른 분배 장치는 이하의 특징 중 하나 이상을 부가적으로 포함할 수 있다:
- 터치스크린은, 적어도 하나의 주 제어 구역에 대해서, 적어도 하나의 주 구역과 연관되고 적어도 하나의 주 제어 구역에 상응하는 과제를 모니터링하기 위한 명령어와 관련되는 적어도 하나의 이차적인 제어 구역을 포함하고, 적어도 하나의 이차적인 제어 구역은, 조작자에 의한 상응하는 주 제어 구역의 활성화의 이벤트에서만, 명령어와 연관되고 터치스크린 상에서 디스플레이되는 그래픽에 의해서 표시되고,
- 터치스크린은 주 제어 구역만을 위해서 유보된(reserved) 제1 영역 및 제1 영역과 별개이고 이차적인 제어 구역을 위해서 의도된 제2 영역을 포함하며,
- 터치스크린은 제1 및 제2 영역과 별개이고 조작자에 의해서 활성화된 주 제어 구역과 관련된 정보의 항목을 디스플레이하도록 유보된 제3 영역을 더 포함하고,
- 관리 수단은, 터치스크린 상에서, 조작자에 의해서 활성화된 제어 구역을 신호하기 위한 수단을 부가적으로 포함하며,
- 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 관리, 특히, 기능적 구성요소에 의해서 검출된 경보의, 터치스크린 상의, 디스플레이에 관한 것이고, 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나는 발생되는(raised) 경보의 디스플레이를 활성화하기 위한 구역이고,
- 장치가, 특히 파이프라인 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한, 측정 센서를 구비하는 경우에, 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 측정 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값의 평가에 그리고 터치스크린 상의 그러한 값의 디스플레이에 관한 것이고, 주 제어 구역 중 하나는 캡쳐되는 측정 값의, 터치스크린 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역이고,
- 장치가, 특히 파이프라인 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한, 측정 센서를 구비하는 경우에, 관리 수단은 특히 작업 가스를 분배하기 위한 장치의 모든 파이프라인 및 그러한 파이프라인 내에 배열된 밸브를 보여주는 블록도를 저장하기 위한 수단을 포함하고, 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값의 평가, 그리고 저장 수단 내에 기록된, 분배 장치의 블록도의, 그리고 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값의, 터치스크린 상의, 결합 디스플레이(joint display)에 관한 것이고, 주 제어 구역 중 하나는, 캡쳐된 측정 값과 함께 블록도의, 터치스크린 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역이다.
대안적으로, 스크린은, 압력 센서 및 분배의 이진 상태(binary state)를 포함하는 개요만을 도시한다. 이러한 유형의 단순화된 스크린은 작은 크기를 가지고 그에 따라 부피(bulk)를 줄인다.
본 발명의 하나의 대상은 부가적으로 작업 가스를 분배하기 위한 설비이고, 그러한 설비는 병렬로 배열되는, 앞서서 규정한 바와 같은, 작업 가스를 분배하기 위한 제1 및 제2 장치 그리고 서로 통신되는 모니터링 및 제어 유닛들을 포함하고, 제2 장치는 제1 장치에 대해서 기능적인 구성요소이며, 제1 장치의 모니터링 수단의 과제는, 기능적 구성요소인 것으로 간주되는, 제2 장치의 동작 상태의 감독에 관한 것이고, 그리고 제1 장치의 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나는 제2 장치의 동작 상태와 관련된 정보의, 제1 장치의 터치스크린 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역인 것을 특징으로 한다. 작업 가스를 분배하기 위한 설비는 또한 이하의 특징을 포함할 수 있다:
- 만약 제2 분배 장치가, 특히 파이프라인 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한, 측정 센서를 구비한다면, 제1 분배 장치의 관리 수단은 특히 작업 가스를 분배하기 위한 제2 장치의 모든 파이프라인 및 파이프라인 내에 배열된 밸브를 보여주는 블록도를 저장하기 위한 수단을 포함하고, 제1 분배 장치의 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 제2 분배 장치의 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값의 평가 그리고, 제2 분배 장치의 센서에 의해서 캡쳐된 측정된 값과 함께, 제2 분배 장치의 블록도의, 제1 분배 장치의 터치스크린 상의, 디스플레이에 관한 것이고, 제1 장치의 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나는 제2 장치의 측정 센서에 의해서 캡쳐된 측정 값과 함께 제2 분배 장치의 블록도의, 제1 분배 장치의 터치스크린 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역이다.
대안적으로, 스크린은, 압력 센서 및 분배의 이진 상태를 포함하는 개요만을 도시한다. 이러한 유형의 단순화된 스크린은 작은 크기를 가지고 그에 따라 부피를 줄인다.
본 발명의 하나의 대상은 부가적으로 작업 가스를 공급하기 위한 설비이며, 그러한 설비는 격리 외장 내에 배열된, 가압 작업 가스의 적어도 하나의 공급원을 포함하고, 설비는 적어도 하나의 공급원에 연계되고 격리 외장 내에 배열되는, 앞서서 규정된 바와 같은 분배 장치를 포함하고, 분배 장치의 터치스크린은 외장의 외부 벽 내로 통합되는 것을 특징으로 한다.
작업 가스를 공급하기 위한 설비는 이하의 특징 중 하나 이상을 부가적으로 포함할 수 있다:
- 공급원이 가스 실린더라면, 분배 장치의 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 빈 실린더를 완충 실린더로 교체하기 이전 및 이후 각각의 파이프라인 퍼지 사이클의 제어에 관한 것이고, 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나는 퍼지 사이클을 활성화시키기 위해서 밸브의 제어를 활성화시키기 위한 구역이며,
- 설비가, 분배 장치에 연계되고 분배 장치에 교번적으로 공급하도록 의도된 제1 및 제2 작업 가스 공급원을 포함하는 경우에, 분배 장치의 모니터링 수단에 의해서 모니터링되는 과제는 제1 공급원으로부터의 분배 장치의 공급으로부터 제2 공급원으로부터의 공급으로의 전환의 제어에 관련되며, 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나는 그러한 전환을 위해서 밸브의 제어를 활성화시키기 위한 구역이다.
앞서서 규정된 설비는, 관리 수단이, 앞서서 규정된 바와 같은 제어 구역을 적어도 가지는 스크린을 구비한 태블릿, 스마트폰 또는 휴대용 컴퓨터에 의해서, 와이파이 연결에 의해서, 원격으로 제어될 수 있고 그렇게 제어되도록 설계되는 것을 특징으로 한다.
앞서서 규정한 바와 같은 설비는, 비상 정지 버튼이 하우징에 부착되고, 그러한 하우징은 지면으로부터 1.70 m 미만의 높이에 위치되는 것을 특징으로 한다.
앞서서 규정된 설비는, 터치스크린의 크기가 12 인치 미만, 바람직하게 6 인치 미만인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 특징 및 장점은, 비제한적으로, 첨부 도면을 참조하여, 예로서 주어진, 이하의 설명으로부터 나타날 것이다.
도 1은 본 발명에 따른, 작업 가스를 분배하기 위한 장치를 구비한, 작업 가스를 공급하기 위한 설비의 개략적 사시도이다.
도 2는 도 1의 설비 내에 장착된 작업 가스를 분배하기 위한 장치의 파이프라인의 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 분배 장치의 모니터링 및 제어 유닛의 블록도이다.
도 4는 본 발명에 따른 장치의 터치스크린의 도면이다.
도 5는 터치스크린 상의 디스플레이의 제1 예이다.
도 6은 터치스크린 상의 디스플레이의 제2 예이다.
도 7은 터치스크린 상의 디스플레이의 제3 예이다.
도 8은 터치스크린 상의 디스플레이의 제4 예이다.
도 9는 설비의 도어가 폐쇄될 때 터치스크린을 가지는 하우징의 도면이다.
도 10은 설비의 도어가 개방될 때 터치스크린을 가지는 하우징의 도면이다.
도 1은 작업 가스의 공급을 위한 설비(1)를, 그 하부 부분을 절개한 개략적 사시도로 도시하며, 설비는 이러한 가스를 소비하는 하나 이상의 스테이션에 공급하기 위한 것이다.
이러한 설비(1)는 격리 외장(3)을 포함하고, 격리 외장 내에는 첫 번째로, 절개로 인해서 도면에서 확인될 수 있는 바와 같은, 가압 작업 가스의 2개의 실린더(5 및 7) 및, 두 번째로, 작업 가스를 분배하기 위한 장치(9)가 설치되며, 그러한 장치(9)의, 실린더(5 및 7)에 연계된, 파이프라인(11 및 13)이 각각 이러한 도면에 도시되어 있다. 이러한 설비(1)는 또한 외장(3)이 개방 및 폐쇄될 수 있게 하기 위해서 수직 축(X)을 중심으로 피봇될 수 있는 도어(3')를 포함한다.
설비(1)는, 그 출력 파이프라인(10A)을 통해서 작업 가스를 공급하기 위해서 이용되는, 작업 가스의 분배를 위한 제2 장치(9A)에, 동시에 복수의 소비자 스테이션(10B)에, 그 출력 파이프라인(10)을 통해서, 연결된다.
도 2에서 확인되는 바와 같이, 설비(1)의 작업 가스를 분배하기 위한 장치(9)는 파이프라인의 세트를 포함하고, 그러한 파이프라인의 세트는 특히, 각각의 실린더(5 및 7)를 위한, 작업 가스를 소비자 스테이션(10B)에 경로 연결하기 위해서 출력 파이프라인(10)에, 공유된 파이프라인(17)을 통해서, 연계된 주 파이프라인(15), 퍼징 파이프라인(21), 및 진공 발생기(24)의 활성화로 인해서 외장(3) 내에서 부분적인 진공을 획득하기 위한 가스 추출 파이프라인(23)을 포함한다.
다양한 파이프라인 내의 다양한 가스의 유동을 조절할 수 있게 그리고 분배 장치(9)의 동작 상태를 감독할 수 있게 하기 위해서, 분배 장치는, 설비의 외장(3) 내에 배열된, 다양한 파이프라인(15, 17, 21 및 23) 내에 배열된 차단 밸브(27) 및 조절 밸브(29), 특히 주 파이프라인(15) 내에서 만연하는 압력을 측정하기 위한 센서(31), 실린더가 액화 가스로 충진되는 경우에 실린더의 충진 레벨을 결정할 수 있게 하는, 실린더(5 및 7)의 중량 측정을 위한 저울(33), 또는 기타 가스 누출 검출기(34)와 같은, 기능적 구성요소(25)를 포함한다.
도 3의 도면에서 확인되는 바와 같이, 이러한 기능적 구성요소(25)는 모두 모니터링 및 제어 유닛(35)에 연계된다. 기능적 구성요소(25)를 모니터링 및 제어하기 위한 이러한 유닛(35)은 이러한 기능적 구성요소(25)와 통신하기 위한 수단(37) 및, 이러한 수단(37)에 연계된, 과제 메모리(41) 내에 저장된, 기능적 구성요소(25)와 관련된 다양한 과제를 모니터링하기 위한 수단(39)을 포함한다.
그러한 과제는 예를 들어 센서(31)에 의해서 및/또는 저울(33)에 의해서 캡쳐된 측정 값을 문턱값 메모리(43) 내에 저장된 미리 규정된 문턱값과 비교하는 것, 측정된 값 중 하나가 연관된 문턱값을 초과하는 경우에 경보 신호를 생성하는 것, 그리고, 가능하게는, 경보의 미리 규정된 우선순위 레벨에 따른, 설비(1)의 부분적 또는 전체적 중단을 포함한다. 이러한 경우에, 수단(39)은, 통신 수단(37)을 통해서, 설비의 밸브의 일부의 폐쇄를 제어한다.
다른 과제는 예를 들어, 장치(9)에 공급하는 실린더(5)가 실질적으로 비었을 때 그리고 분배 장치(9)의 공급을 실린더(7)로 전환하는 것이 필요할 때, 또는 그 반대일 때, 예를 들어 밸브(27 및 29)를 제어하는 것을 포함한다.
또 다른 과제는 검출기(34)를 통한 가스 누출의 검출에 관한 것이고, 그러한 누출이 검출되는 경우에, 경보 신호의 생성 및 설비(1)의 부분적인 또는 완전한 차단에 관한 것이다.
또한, 제2 분배 장치(9A)는 특별한 과제가 연관되는 특별한 기능적 구성요소(25)를 형성하고, 그러한 장치의 모니터링 및 제어 유닛(35A) 그리고 이러한 유닛(35A)에 연계된 기능적 구성요소(25A) 만이 도 3에 도시되어 있다. 파이프라인의 세트, 및 작업 가스의 유동을 조절하기 위해서 그 파이프라인 내에 배열된 밸브(27A 및 29A), 파이프라인 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한 센서(31A) 및 가스 누출 검출기(34A)와 같은 기능적 구성요소(25A)를 또한 포함한다는 의미에서, 장치(9A)의 구조가 장치(9)의 구조와 유사하다는 것을 고려하여, 파이프라인 및 밸브의 특별한 레이아웃을 더 구체적으로 설명하지 않을 것이다.
그러나, 장치(9A)의 모니터링 및 제어 유닛(35A)은 분배 장치(9)의 모니터링 및 제어 유닛(35)과 동일하다는 것을 주목하여야 한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 모니터링 및 제어 유닛(35A)은 유닛(35)의 통신 수단(37)에 연계된다.
수단(37)을 통해서, 수단(39)에 의해서 모니터링되는 특별한 과제는 장치(9A)의 동작 상태의 감독과 관련된다.
특히, 센서(31A)를 통해서 측정되는 압력 값 및 가능하게는 검출기(34A)에 의해서 검출되는 누출이 모니터링 수단(39)에 전달된다.
다양한 과제는 병렬로 또는 순차적으로 수단(39)에 의해서 모니터링될 수 있거나, 예를 들어 경보의 검출과 같은 이벤트의 검출 시에만 모니터링될 수 있다.
부가적으로, 모니터링 및 제어 유닛(35)은, 예를 들어 조작자가 과제를 활성화할 수 있게 하거나 과제의 모니터링에 필요한 특정 매개변수를 선택하거나 규정할 수 있게 하는, 모니터링 수단(39)을 관리하기 위한 수단(45)을 포함한다.
이러한 목적을 위해서, 관리 수단(45)은 터치스크린(47) 및 터치스크린(47) 상에서 디스플레이하고자 하는 도면 또는 그래픽을 저장하기 위한 수단(48)을 포함한다.
도 1에서 확인되는 바와 같이, 터치스크린(47)은 설비(1)의 외장(3)의 상부 부분의 외부 벽 내로 통합되고, 그에 따라 터치스크린은 설비를 감독하는 조작자에게 명확하게 보여질 수 있고 조작자가 터치스크린에 접근할 수 있다.
유리하게, 스크린(47)은 외장의 도어 내로 통합된다.
도 9에서 확인되는 바와 같이, 터치스크린(47)은 설비(1)의 외장(3)의 상부 부분의 외부 벽 내로 통합된 하우징(47A)에 부착된다. 도어(3')가 폐쇄될 때, 하우징은 그러한 도어와 동일한 평면 내에 있게 된다. 결과적으로, 조작자는 터치스크린(47)을 판독하고 그에 접근하기 위해서 설비(1)의 전방에 자신을 배치시킨다.
도 10에서 확인되는 바와 같이, 도어(3')가 개방될 때, 하우징(47A)은 수직 축(Y)을 중심으로 피봇된다. 따라서, 조작자가 외장(3)의 내부에 접근할 때, 도어가 개방되어 있는 때에도, 터치스크린(47)에 접근할 수 있다.
도 9 및 도 10은 피봇 가능 하우징(47A)에 부착된 비상 정지 버튼(B)을 또한 도시한다.
자동 기계(39)로부터 외부(유지보수 도구, 감시, 등)로 정보를 연계시키기 위한 연결 장치가 통합될 수 있다. 유지보수 모드로의 전환을 위한 열쇠(key) 또한 그러하다.
본 발명에 따라 이용될 수 있는 터치스크린의 예가 도 4에 더 구체적으로 도시되어 있다.
이러한 도 4를 참조하면, 터치스크린(47)은 하단부에서 제1 영역(49)을 포함하고, 그러한 제1 영역 내에서는 그래픽(50, 51, 52, 53, 54, 55, 56, 57 및 58)이 영구적으로 디스플레이된다. 각각의 그래픽(50 내지 58)은, 터치스크린(47) 상에서, 각각 참조 번호 60 및 68을 가지는 연관된 주 제어 구역, 다시 말해서 설비(1)의 감독을 담당하는 조작자가, 그의 손가락을 터치스크린(47)에 접촉시키는 것을 통해서, 미리 결정된 과제와 관련된 명령을 관리 수단(45)에 입력하기 위해서 이용하는 구역을 나타낸다.
이러한 제1 영역(49)은 연관된 영구적 디스플레이 그래픽(50 내지 58)을 가지는 이러한 주 제어 구역(60 내지 68)을 위해서 엄격하게 유보된다. 이러한 주 제어 구역(60 내지 68)은, 영구적으로, 조작자로부터 명령을 수신할 준비를 갖춘다. 이는, 조작자가 과제와 연관된 주 제어 구역의 단순한 활성화를 통해서 과제의 관리에 접근할 수 있게 함에 따라, 수단(39)이 다양한 과제를 병렬로 모니터링할 때, 특히 유리하다.
일부 특정 과제를 위해서, 상응하는 주 구역의 활성화 이후에, 이러한 특정 과제와 관련된 매개변수 또는 제어 명령어를 선택 또는 입력하는 것에 관한 선택 사항을 조작자에게 제공할 필요가 있다.
이러한 목적을 위해서, 터치스크린(47)은 부가적으로, 도 4에 도시된, 그 우측에서, 제1 영역(49)과 별개인 제2 영역(80)을 포함하고, 그러한 제2 영역 내에서, 활성화된 과제에 따라, 이러한 도면에서 프레임에 의해서만 도시된 그래픽(81, 82, 83 및 84)이 디스플레이된다. 이러한 그래픽(81 내지 84)은 각각 참조 번호 91 내지 94를 가지는 이차적인 제어 구역을 나타낸다. 이러한 이차적인 제어 구역은 활성화되는 특정 과제와 관련된 다양한 동작을 조작자가 실시할 수 있게 한다.
물론, 그래픽(81 내지 84) 및 그에 따라 조작자가 관리 수단(45) 내에 입력할 수 있는 동작이 주 제어 구역 및 그에 따라 활성화되는 과제에 따라 변화된다.
또한, 도 3에서 확인되는 바와 같이, 관리 수단은, 조작자에 의해서 활성화된 주 또는 이차적인 제어 구역을, 터치스크린(47) 상에서, 신호하기 위한 수단(70)을 부가적으로 포함한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 신호 수단(70)은, 제어 구역의 활성화, 예를 들어 구역(60)의 활성화 이후에, 예를 들어 활성화된 주 제어 구역(60)을 둘러싸는 채색된 프레임(72)의 디스플레이를, 터치스크린(47) 상에서, 발생시킨다. 그에 따라, 조작자는 스크린 상에서 디스플레이되는 활성 과제를 항상 통지 받는다.
또한, 터치스크린(47)은, 상단부에서, 제1 및 제2 영역(49 및 80)와 별개이고 조작자에 의해서 활성화된 주 제어 구역과 관련된 정보의 항목을 디스플레이하기 위해서 유보되는, 제3 영역(100)을 포함한다.
영역(80) 위에서, 이러한 영역(100)의 우측에, 현재 시간을 디스플레이하기 위한 구역(102)이 표시된다.
영역(100, 80 및 49)에 의해서 둘러싸인 영역(104)인, 터치스크린(47)의 나머지는, 해당 과제와 연관된 주 제어 구역이 조작자에 의해서 활성화될 때, 수단(39)에 의해서 모니터링되는 과제의 모니터링과 관련된 정보를 첫 번째로 그리고 최우선으로 디스플레이하기 위한 것이다.
유리하게, 이차적인 제어 구역이 주 제어 구역에 의해서 활성화된 특정 과제와 연관되지 않을 때, 구역(104)이 확장되고 영역(80)을 더 포함한다.
터치스크린(47)을 가지는 장치(9)의 동작의 다양한 예에 관한 설명이 이하에서 주어진다.
예를 들어, 도 4에서, 그래픽(50)은 아래에 "경보"가 기재된 벨을 도시하고, 전술한 바와 같이, 수단(39)에 의해서 모니터링되는 경보 관리 및 디스플레이 과제와 관련된 주 제어 구역(60)을 나타낸다. 조작자에 의한 구역(60)의 활성화는, 도 5에 도시된 바와 같이, 발생된 경보의, 터치스크린(47)의 구역(104) 내의, 디스플레이를 초래한다.
부가적으로, 관리와 그리고 경보의 디스플레이와 관련된 이차적인 제어 구역(91 내지 94)을 나타내는 그래픽(81 내지 84)은 스크린 상에서 디스플레이된다. 예를 들어, 그래픽(82)에 의해서 표시되는 이차적인 구역(92)의 활성화는 경보의 로그(log)가 디스플레이될 수 있게 한다.
도 4의 그래픽(51)은, "압력"이 아래에 기재된 그림을 가지는 디스플레이를 보여준다. 이러한 그래픽(51)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 센서(31) 및 저울(33)에 의해서 측정된 압력 및 중력 값의 캡쳐와, 그리고 터치스크린(47) 상의 이러한 값의 디스플레이와 관련된 과제의 활성화와 연관된 주 제어 구역(61)을 나타낸다.
도 4의 그래픽(52)은, "개요"가 아래에 기재된, 파이프라인 및 그에 연계된 실린더를 보여준다. 이러한 그래픽(52)은, 도 7에 도시된 바와 같이, 센서(31) 및 저울(33)에 의해서 측정된 측정 값의 캡쳐와 그리고 장치의 블록도의, 터치스크린 상의, 디스플레이와 관련된 과제의 활성화와 연관된 주 제어 구역(62)을 나타내며, 그러한 블록도는, 캡쳐된 측정 값과 함께, 저장 수단(48) 내에 기록된다.
도 4의 그래픽(53)은 실린더를 가지는 가스 공급 설비("가스 캐비넷") 및, "실린더"가 아래에 기재된, 실린더 교체를 나타내는 화살표를 도시한다. 이러한 그래픽(53)은 2개의 과제의 활성화와 연관된 주 제어 구역(63)을 나타낸다. 이러한 과제의 하나는, 빈 실린더를 만충 실린더로 교체하기 이전 및 이후에 각각 필요한, 퍼지 사이클 및 누출 체크를 실시하도록 밸브를 제어하는 것과 관련된다. 다른 과제는 실린더(5 또는 7) 중 하나로부터의 분배 장치(9)의 공급으로부터, 다른 실린더(7 또는 5)로부터의 공급으로의 전환을 보장하기 위해서, 파이프라인 내에 배열된 밸브를 제어하는 것과 관련된다. 구역(63)의 활성화시에 디스플레이되는 스크린의 예가 도 8에 도시되어 있다. 이는, 좌측에서, 실린더 변경과 관련되는 설비(1)의 부분에 관한 블록도를, 그리고 우측에서, 예를 들어, 코드(F1 내지 F5)가 기재된, 정사각형에 의해서 표시된 이차적인 제어 구역을 통해서 조작자에 의해서 활성화될 수 있는, 다양한 퍼지 및 누출 체크 사이클을 보여준다. 공급의 전환은, "좌측" 및 "우측"이라는 용어가 내부에 기재된, 제어 구역을 활성화시키는 것에 의해서 실시될 수 있다.
도 4의 그래픽(55)은, (분배 장치를 위한) "DD"가 아래에 기재된, 분배 장치의 파이프라인을 보여준다. 이러한 그래픽(55)은, 설비(1)의 장치(9)와 직렬로 배열된 분배 장치(9A)의 센서(31A)에 의해 캡쳐된 측정 값의 평가, 그리고 장치(9A)의 블록도의, 터치스크린 상의, 디스플레이와 관련된 과제의 활성화와 연관된 주 제어 구역(65)을 나타내며, 그러한 블록도는, 센서(31A)에 의해서 캡쳐된 측정 값과 함께, 저장 수단(48) 내에 기록된다.
설명된 예를 통해서, 작업 가스의 분배를 위한 장치에 관한 그리고 그러한 장치를 구비한 그러한 가스를 공급하기 위한 설비에 관한 맥락에서의 터치스크린(47)의 이용이, 설비를 감독하는 조작자의 작업을 상당히 용이하게 하고, 길고 고비용인 훈련 프로그램이 없이도 설비를 감독할 수 있게 한다는 것이 확인된다.

Claims (13)

  1. 격리 외장(3) 및 상기 외장(3)이 개방 및 폐쇄될 수 있게 하기 위해서 수직 축(X)을 중심으로 피봇될 수 있는 도어(3')를 구비하는, 작업 가스를 공급하기 위한 설비로서, 상기 설비는, 상기 격리 외장(3) 내에 배열되는, 가압 작업 가스의 적어도 하나의 공급원(5, 7)을 포함하고, 작업 가스를 분배하기 위한 장치(9)를 포함하며, 적어도 하나의 작업 가스 공급원(5, 7)에 그리고 소비자 스테이션(10B)에 상기 작업 가스를 경로 연결하기 위한 적어도 하나의 출력 파이프라인(10, 10A)에 연계된 파이프라인(15, 21, 23)의 세트, 기능적 구성요소(25, 25A), 특히 상기 파이프라인(15, 21, 23) 내에 배열되고 상기 파이프라인 내에서 상기 작업 가스의 유동을 조절하기 위해서 이용되는 밸브(27, 29, 27A, 29A), 및 가스 누출 검출기(34, 34A), 그리고 상기 기능적 구성요소(25, 25A)와 통신하기 위한 수단(37), 상기 기능적 구성요소(25, 25A)와 관련된 과제를 모니터링하기 위한 수단(39), 및 상기 분배 장치(9, 9A)의 조작자에 의해서 작동될 수 있는 모니터링 수단(39)을 관리하기 위한 수단(45)을 포함하는 모니터링 및 제어 유닛(35, 35A)을 포함하며, 상기 관리 수단(45)은 상응하는 과제의 모니터링과 연관된 제어 구역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)을 가지는 터치스크린(47)을 포함하는, 설비에 있어서, 상기 터치스크린은 상기 도어(3') 내로 통합된 하우징(47A)에 부착되고, 상기 하우징(47A)은 수직 축(Y)을 중심으로 피봇될 수 있고 피봇되도록 설계되는 것을 특징으로 하는 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 터치스크린(47)은 상응하는 과제의 모니터링과 연관된 주 제어 구역(60, 61, 62, 63, 64, 65, 66, 67, 68)을 가지며, 상기 주 제어 구역(60 내지 68)은 상기 과제와 연관된 그래픽(50 내지 58)에 의해서 표시되는 것을 특징으로 하는 설비.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 터치스크린(47)은, 적어도 하나의 주 제어 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68)에 대해서, 상기 적어도 하나의 주 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68)과 연관되고 상기 적어도 하나의 주 제어 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68)에 상응하는 과제를 모니터링하기 위한 명령어와 관련되는 적어도 하나의 이차적인 제어 구역(91, 92, 93, 94)을 포함하고, 상기 적어도 하나의 이차적인 제어 구역(91, 92, 93, 94)은, 조작자에 의한 상기 상응하는 주 제어 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68)의 활성화의 이벤트에서만, 상기 명령어와 연관되고 상기 터치스크린(47) 상에서 디스플레이되는 그래픽(81, 82, 83, 84)에 의해서 표시되는 것을 특징으로 하는 설비.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 터치스크린(47)은 상기 주 제어 구역(60 내지 68)만을 위해서 유보된 제1 영역(49) 및 상기 제1 영역(49)과 별개이고 상기 이차적인 제어 구역(91, 92, 93, 94)을 위해서 의도된 제2 영역(80)을 포함하는 것을 특징으로 하는 설비.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 터치스크린(47)은 상기 제1 영역(49) 및 제2 영역(80)과 별개이고 조작자에 의해서 활성화된 주 제어 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68)과 관련된 정보의 항목을 디스플레이하도록 유보된 제3 영역(100)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 설비.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 관리 수단(45)은, 상기 터치스크린(47) 상에서, 조작자에 의해서 활성화된 제어 구역(60; 61; 62; 63; 64; 65; 66; 67; 68, 91, 92, 93, 94)을 신호하기 위한 수단(70)을 부가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 설비.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 모니터링 수단(39)에 의해서 모니터링되는 과제는 상기 관리에 그리고 특히 상기 기능적 구성요소(25, 25A)에 의해서 검출된 경보의, 상기 터치스크린(47) 상의, 상기 디스플레이에 관한 것이고, 상기 터치스크린의 주 제어 구역 중 하나(60)는 발생되는 경보의 디스플레이를 활성화하기 위한 구역인 것을 특징으로 하는 설비.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    특히 상기 파이프라인(15) 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한, 측정 센서(31)를 구비하고, 상기 모니터링 수단(39)에 의해서 모니터링되는 과제는 상기 측정 센서(31)에 의해서 캡쳐된 측정 값의 평가에 그리고 상기 터치스크린(47) 상의 상기 값의 디스플레이에 관한 것이고, 상기 주 제어 구역 중 하나(61)는 캡쳐된 측정 값의, 상기 터치스크린 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역인 것을 특징으로 하는 설비.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    특히 상기 파이프라인 내에 만연하는 압력을 측정하기 위한, 측정 센서(31)를 구비하고, 상기 관리 수단(45)은 상기 작업 가스를 분배하기 위한 상기 장치(9) 및 그 내부에 배열된 상기 밸브(27, 29)를 보여주는 블록도를 저장하기 위한 수단(48)을 포함하고, 상기 모니터링 수단(39)에 의해서 모니터링되는 과제는 상기 센서(31)에 의해서 캡쳐된 측정 값의 평가에, 그리고 상기 저장 수단(48) 내에 기록된, 상기 분배 장치(9)의 블록도의, 그리고 상기 센서(31)에 의해서 캡쳐된 상기 측정 값의, 상기 터치스크린(47) 상의, 결합 디스플레이에 관한 것이고, 상기 주 제어 구역 중 하나(62)는, 캡쳐된 측정 값과 함께 상기 블록도의, 상기 터치스크린(47) 상의, 디스플레이를 활성화시키기 위한 구역인 것을 특징으로 하는 설비.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    작업 가스의 2개의 공급원(5, 7)을 포함하고, 상기 공급원은 가스 실린더인 것을 특징으로 하는 설비.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 관리 수단(45)은, 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 규정된 바와 같은 제어 구역을 적어도 가지는 스크린을 구비한 태블릿, 스마트폰 또는 휴대용 컴퓨터에 의해서, 와이파이 연결에 의해서, 원격으로 제어될 수 있고 원격으로 제어되도록 설계되는 것을 특징으로 하는 설비.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    비상 정지 버튼(B)이 상기 하우징(47A)에 부착되고, 상기 하우징은 지면으로부터 1.70 m 미만의 높이에 위치되는 것을 특징으로 하는 설비.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 터치스크린(47)의 크기는 12 인치 미만, 바람직하게 6 인치 미만인 것을 특징으로 하는 설비.
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