KR20180045973A - 와이퍼 세척기 및 세척 방법 - Google Patents

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KR20180045973A KR1020160140252A KR20160140252A KR20180045973A KR 20180045973 A KR20180045973 A KR 20180045973A KR 1020160140252 A KR1020160140252 A KR 1020160140252A KR 20160140252 A KR20160140252 A KR 20160140252A KR 20180045973 A KR20180045973 A KR 20180045973A
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Abstract

본 발명은 와이퍼 세척기(100)에 관한 것으로, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)는, 와이퍼(300)를 세척하는 공간을 제공하는 세탁조(110), 상기 세탁조(110)와 연결되어, 상기 와이퍼(300)를 투입 또는 배출하는 개방부(120), 상기 세탁조(110)의 내부에 배치되고, 세탁수(500) 수면과 소정간격 이격되어 상기 세탁수(500) 수면을 따라 이동하며, 전도성 부재로 구비되는 플레이트(140), 상기 플레이트에 전압을 인가하는 전원부(130) 및 상기 플레이트(140)의 이동경로의 말단에 배치되고, 상기 세탁조(110)의 내부로부터 연장되어, 이물질(400) 및 세탁수(500)를 외부로 배출하는 배수관(150)을 포함한다.

Description

와이퍼 세척기 및 세척 방법{wiper cleanser and cleaning method}
본 발명은 와이퍼 세척기 및 세척 방법에 관한 것이다.
전자 재료에 들어가는 부품들이 점점 더 정밀해지고 있으며, 이에 따른 불량율 감소가 강조되고 있다. 이러한 불량율을 감소시키기 위하여 반도체 및 TFT LCD 제조 공정을 실시하는 클린룸(clean-room) 내에서는 웨이퍼(wafer)나 장치 및 기구 등을 청소할 때, 클린룸용 와이퍼를 이용하고 있다. 이러한 클린룸용 와이퍼는, 먼지(particle)나 수분 등의 흡착성이 우수하고, 사용 중에 먼지 등이 억제되는 섬유 재질인 폴리에스터, 폴리아미드 또는 이들의 복합섬유의 직/편물 와이퍼를 사용하는 것이 일반적이다.
이러한 클린룸용 와이퍼는 일정폭의 와이퍼를 원형으로 감은 형태의 롤형 와이퍼와 장방형의 닦개형 와이퍼가 주로 사용된다.
닦개형 와이퍼는 폭이 넓고 길이가 긴 와이퍼원단을 일정폭으로 자른 다음 일정폭으로 가공된 와이퍼원단을 다시 일정길이로 잘라 장방형으로 만들며, 절단과정 등에서 외표면에 부착된 먼지 등을 제거하기 위해 절단 작업후에 와이퍼를 세탁한 후 포장한다.
이러한 와이퍼에는 제조과정에서 발생하는 주위환경에 있는 먼지 및 섬유, 또는 가공과정에서 마찰 또는 충격에 의해서 발생하는 섬유조각들이 함유되어 있다. 이러한 와이퍼에서 발생하는 섬유 조각과 같은 이물은, 주로 와이퍼를 재단하는 과정에서 발생하거나, 공정에서 스트레스에 의해 와이퍼표면에서 탈락하는 린트 등을 포함한다.
한편, 전자 재료를 청정하게 하는 과정에서 와이퍼에 존재하는 먼지나 섬유조각과 같은 이물이 전자 재료의 표면으로 전이될 수 있으며, 전자 재료로 전이된 이물은 최종제품에서의 불량품을 생산하게 된다. 따라서, 이러한 이물을 와이퍼로부터 완전히 세척할 필요가 있다.
다만, 종래기술에 따른 와이퍼 세척기는 하기 선행기술문헌의 특허문헌에 개시된 바와 같이, 와이퍼 표면에 부착된 먼지를 제거하는 작업을 하지 않은 채 곧바로 와이퍼를 세척하였기 때문에 와이퍼 표면으로부터 먼지를 완벽하게 제거할 수 없게 되고, 그에 따라 고품질의 와이퍼를 생산할 수 없게 되는 문제점이 존재한다.
KR 10-1246108 B1
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 일측면은 와이퍼의 표면에 있는 린트 등 이물질을 제거하여, 고품질의 와이퍼를 생산할 수 있는 와이퍼 세척기를 제공하기 위한 것이다.
또한, 세탁조로 투입하는 정수를 재활용함으로써, 경제성을 갖춘 와이퍼 세척기를 제공하기 위함이다.
본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기는, 와이퍼를 세척하는 공간을 제공하는 세탁조, 상기 세탁조와 연결되어, 상기 와이퍼를 투입하거나 배출하는 개방부, 상기 세탁조의 내부에 배치되고, 세탁수 수면과 소정간격 이격되어 상기 세탁수 수면을 따라 이동하며, 전도성 부재로 구비되는 플레이트, 및 상기 플레이트의 이동경로의 말단에 배치되고, 상기 세탁조의 내부로부터 연장되어, 이물질 및 세탁수를 외부로 배출하는 배수관을 포함한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 배수관과 연결되고, 세탁수의 이물질을 거르는 거름장치, 상기 거름장치와 연결되어, 상기 거름장치로부터 걸러진 정수를 이송하는 이송관, 상기 이송관과 연결되어 상기 정수를 상기 세탁조에 투입할 수 있도록 동력을 생산하는 펌프, 및 상기 펌프와 연결되어 상기 정수를 상기 세탁조에 투입하는 급수관을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 세탁조의 내부에 배치되고, 상기 플레이트의 높이를 조절하면서 상기 플레이트를 이동시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 플레이트는 복수 개인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 복수의 플레이트는 양전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제1 플레이트, 및 음전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제2 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 세탁조의 내벽상측에 배치되어, 상기 세탁조 내부에 유체를 분사하는 분사장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기에 있어서, 상기 세탁조는, 고정된 제1 세탁조 및 상기 제1 세탁조 내부에서 회동하는 제2 세탁조를 포함하는 다중 구조로 형성되고, 상기 분사장치는 상기 제1 세탁조의 내벽으로부터 연장되도록 배치되어, 상기 제2 세탁조 내부의 상기 세탁수 수면에 유체를 분사하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척방법은, 세탁조에 구비된 개방부에 와이퍼를 투입하는 (A)단계, 상기 (A)단계에서 투입된 와이퍼를 상기 세탁조를 회동하여 세척하는 (B)단계, 상기 세탁조의 회동을 정지하고, 상기 세탁조의 내부에 전도성 부재로 구비되는 플레이트에 전압을 인가하는 (C)단계, 상기 (C)단계에서 전압이 인가된 상기 플레이트를 세탁수 수면과 소정간격 이격하여 상기 세탁수 수면을 따라 이동시켜, 이물질 및 이에 수반하는 세탁수를 배수관을 통하여 배출하는 (D)단계를 포함할 수 있다.
또한 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척방법은, 거름장치(160)를 이용하여 상기 (D)단계에서 배출된 세탁수(500)로부터 이물질(400)을 거르고, 정수를 생산하는 (E)단계, 및 상기 (E)단계에서 생산한 정수를 펌프에 의한 동력으로 급수관을 통하여 상기 세탁조로 투입하는 (F)단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.
이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
본 발명에 따르면, 와이퍼의 표면에 있는 이물질을 제거하여, 고품질의 와이퍼를 생산할 수 있는 장점이 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 세탁조에 투입하는 정수를 재활용함으로써, 경제성을 높일 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기를 도시한 사시도이다.
도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 세탁조 내에서의 플레이트의 이동을 도시한 도면이다.
도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 복수의 플레이트의 이동을 도시한 도면이다.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 분사장치에서 유체의 분사를 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명의 목적, 특정한 장점들 및 신규한 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어지는 이하의 상세한 설명과 바람직한 실시예들로부터 더욱 명백해질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척기를 도시한 사시도이고, 도 2a 내지 도 2b는 본 발명의 실시예에 따른 세탁조 내에서의 플레이트의 이동을 도시한 도면이고, 도 3a 내지 도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 복수의 플레이트의 이동을 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 2b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)는, 와이퍼(300)를 세척하는 공간을 제공하는 세탁조(110), 상기 세탁조(110)와 연결되어, 상기 와이퍼(300)를 투입 또는 배출하는 개방부(120), 상기 세탁조(110)의 내부에 배치되고, 세탁수(500) 수면과 소정간격 이격되어 상기 세탁수(500) 수면을 따라 이동하며, 전도성 부재로 구비되는 플레이트(140), 상기 플레이트에 전압을 인가하는 전원부(130), 상기 플레이트(140)의 이동경로의 말단에 배치되고, 상기 세탁조(110)의 내부로부터 연장되어, 이물질(400) 및 세탁수(500)를 외부로 배출하는 배수관(150)을 포함한다.
상기 와이퍼(300)는 페이스트를 제거하기 위하여 이용되는 극세사 천, 부직포 등 모든 면재를 통칭하는 것으로서, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)가 세척하고자 하는 대상이다.
상기 세탁조(110)는, 투입된 와이퍼(300)를 세척하는 공간이다. 세탁조(110)에는 와이퍼(300)를 세척하기 위한 정수가 공급된다.
상기 개방부(120)에는 세척하고자 하는 와이퍼(300)가 투입되거나, 세척한 와이퍼(300)가 배출된다. 여기서, 개방부(120)는 세탁조(110)에 연결되며, 세탁조(110) 외부와 세탁조(110) 내부 사이에서 와이퍼(300)를 투입, 배출하는 것이 가능하다면 어느 위치에나 형성될 수 있다.
상기 개방부(120)는 하나로 구비될 수도 있고, 도 1에 도시된 바와 같이, 세척하고자 하는 와이퍼(300)를 투입하는 투입구(122) 및 세척한 와이퍼를 배출하는 배출구(124)가 각각 별도로 구비될 수 있다.
한편, 와이퍼(300)를 세척하면, 와이퍼(300)의 표면에 존재했던 린트와 같은 이물질(400)은 거품과 함께 세탁수(500)의 수면에 떠오른다. 이것은, 이물질(400)의 비중이 낮아 세탁수(500)에 대하여 부유성을 가지기 때문이다. 여기서, 세탁수를 배수하게 되면, 이물질(400)이 완전히 배출되지 못하고, 일부 이물질(400)은 다시 와이퍼(300)의 표면에 내려앉게 된다. 결국, 와이퍼(300)의 세척이 불완전한 문제가 있으므로, 이물질(400)을 세탁수를 배수하기 전에 배출시킬 필요가 있다. 이러한 린트와 같은 이물질(400)은 전기적 성질을 가진 물체에 이끌리는 성향이 있는 것이 일반적인데, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)는 이러한 성향을 이용하여, 이물질(400)을 배출시킬 수 있다. 이하, 이물질(400) 배출에 대하여 상세히 설명한다.
상기 플레이트(140)는, 세탁수(500) 수면에 존재하는 린트 등의 이물질(400)이 세탁수(500)와 함께 외부로 배출될 수 있도록 이물질(400)을 유도하는 역할을 한다. 상기 플레이트(140)는 판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 다양한 형상으로 형성될 수 있다.
상기 플레이트(140)는 전도성 부재로 구비되어, 전원부(130)에 의해 전압을 인가하면, 양전하 또는 음전하의 전기적 성질을 띨 수 있다. 이러한 전기적 성질을 띠는 플레이트(140)는 이물질(400)과의 전기적 성질에 의한 인력이 유지될 수 있는 소정 간격을 유지하며, 세탁수(500)의 수면과 소정간격만큼 이격되어 수면 위를 따라 이동할 수 있다. 예를 들어, 상기 플레이트(140)에 전원부(130)에 의하여 1000 내지 10000V의 전압을 가한 경우에는, 수면으로부터 3mm 내지 15mm 만큼 이격되어 수면 위를 따라 0.1 내지 1 미터/초의 속도로 이동하도록 하는 것이 바람직하다.
이와 같이, 수면에 부유한 이물질(400)은 플레이트(140)의 전기적 성질에 의한 인력에 의해 플레이트(140)의 이동방향으로 유도될 수 있다. 이에 따라, 이물질(400)은 플레이트(140)의 이동 경로의 말단에 이르기까지 세탁수(500)의 수면 위에서 이동할 수 있다. 이때, 플레이트(140)의 이동 및 이물질(400)의 원활한 배출을 위하여 미리 와이퍼 세척장치(100)의 작동, 즉 세탁조(110)의 회동을 정지시키는 것이 바람직하다.
결국, 후술하는 바와 같이, 플레이트(140)의 이동 경로의 말단에 형성된 배수관(150)을 통해, 이물질(400)이 소량의 세탁수(500)와 함께 배출된다.
상기 배수관(150)은, 상기 플레이트(140)에 의해 유도된 이물질(400) 및 이에 수반하는 세탁수(500)를 세탁조(110) 외부로 배출하는 역할을 한다. 배수관(150)은 세탁조(110)의 내부와 연결되고, 상기 플레이트(140)의 이동 경로의 말단으로부터 연장된다. 구체적으로, 상기 플레이트(140)는 상기 수면 위에서 이동하므로, 배수관(150)은 수면이 위치하는 높이에서부터 연장된다.
한편, 린트와 같은 이물질(400)은 부유성을 가지고 있기는 하나, 모든 이물질(400)이 세탁수(500)의 수면에 위치할 수는 없고. 세탁수(500) 내부에도 이물질(400)이 존재한다. 이와 같이, 세탁수(500)의 내부에 존재하는 이물질(400)도 배출할 필요가 있다.
따라서, 배수관(150)은, 세탁수(500) 수면뿐 아니라, 세탁수(500) 내부에 존재하는 이물질(400)을 배출할 수 있도록 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수의 배수관(150) 중 어느 하나의 배수관(150)은 세탁수(500) 내부의 이물질(400) 배출을 위해 수면보다 낮은 높이에 위치할 수 있다(미도시). 결국, 복수의 배수관(150)을 통해 세탁수(500) 수면에 존재하는 이물질(400) 및 세탁수(500) 내부에 존재하는 이물질(400)을 모두 배출할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)는, 상기 배수관(150)과 연결되고, 세탁수(500)의 이물질(400)을 거르는 거름장치(160), 상기 거름장치(160)와 연결되어, 상기 거름장치(160)로부터 걸러진 정수를 이송하는 이송관(170), 상기 이송관(170)과 연결되어, 상기 정수를 상기 세탁조(110)에 투입할 수 있도록 동력을 생산하는 펌프(180), 및 상기 펌프(180)와 연결되어, 상기 정수를 상기 세탁조(110)에 투입하는 급수관(190)을 포함할 수 있다.
상기 거름장치(160)는, 배수관(150)과 연결되어, 배수관(150)을 통해 배출되는 세탁수(500)에서 이물질(400)을 걸러내는 역할을 한다. 여기서, 거름장치(160)는 버튼 트랩과 같은 당업계에 공지된 필터 기능을 하는 장치를 모두 포함한다.
상기 이송관(170)은 상기 거름장치(160)로부터 걸러진 정수를 펌프(180)로 이송하는 통로 역할을 한다. 또한, 상기 펌프(180)는, 상기 이송관(170)과 연결되어, 세탁수(500)에서 걸러진 정수를 다시 세탁조(110)로 투입하기 위한 동력을 제공한다. 이송관(170)으로부터 정수가 유입되면, 펌프(180)에 의한 동력으로 급수관(190)을 통하여 정수를 세탁조(110)로 재투입할 수 있다. 이러한 방식으로, 세탁수(500)를 재활용하여, 새로이 투입해야하는 정수를 절약할 수 있으므로, 경제성 측면에서 장점이 있다.
한편, 상기 플레이트(140)는 1회 이동할 수도 있으나, 복수회 이동하도록 하여, 이물질(400)을 유도, 배출하는 횟수를 증가시킬 수 있다.
상기 플레이트(140)는 이물질(400)을 유도하여 배수관(150)을 통해 이물질(400) 및 세탁수(500)를 배출시키고, 초기위치로 복귀하도록 할 수 있다. 다만, 상기 플레이트(140)가 세탁수(500)의 수면에 대하여 2차원적으로만 이동하게 되면, 플레이트(140)의 초기 위치로 되돌아 가는 과정에서, 전기적 성질에 의한 인력의 영향으로 일부 이물질(400)이 배수관(150) 방향이 아닌 세탁수(500)의 내부로 혼합되어 들어갈 수 있다. 따라서, 플레이트(140)가 초기 위치로 되돌아가는 과정에서, 플레이트(140)의 전기적 성질에 의한 인력이 이물질(400)에 미치지 않을 정도의 높이까지 상승시킨 후에, 플레이트(140)를 초기 위치로 복귀시킬 필요가 있다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 도 2a 내지 도 2b에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(140)의 높이를 조절하면서, 상기 플레이트를 이동시키는 제어부(210)를 포함할 수 있다. 따라서, 플레이트(140)가 1차적으로 이물질(400)을 유도하여 배수관(150)으로 배출한 후, 플레이트(140)의 전기적 성질에 의한 인력이 이물질(400)에 미치지 않을 높이까지 플레이트(140)를 상승시킨 후, 초기위치로 복귀시킬수 있다. 즉, 플레이트(140)를 수면에 대하여 2차원적인 이동뿐 아니라, 3차원적인 이동이 가능하도록 할 수 있다.
한편, 도 3a 내지 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 플레이트(140)는 복수일 수 있다. 여기서, 복수의 플레이트(140)는 동일 방향으로 이동할 수도 있으나, 다른 방향으로 이동할 수도 있다. 예를 들어, 도 3b에 도시된 바와 같이, 각 플레이트(140)가 마주보는 방향으로 이동할 수 있게 하여, 이물질(400)을 유도하여 배출될 수 있도록 할 수 있다. 이때, 유도되는 이물질(400)이 배출될 수 있도록, 각각의 플레이트(140)의 이동 경로 말단에 복수의 배수관(150)이 배치될 수 있다(미도시).
이때, 상기 복수의 플레이트(140)는, 동일한 전기적 성질을 가질 수도 있으나, 각각 다른 전기적 성질을 가질 수도 있다. 구체적으로, 상기 복수의 플레이트(140)는, 전원부(130)에 의하여 전압을 인가할 때, 양전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제1 플레이트(142) 및, 음전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제2 플레이트(144)를 포함할 수 있다. 따라서, 이물질(400)이 띠는 전기적 성질과 무관하게, 양전하 또는 음전하를 띠는 어떠한 이물질(400)이라도 각기 다른 전기적 성질을 가지는 제1 플레이트(142) 및 제2 플레이트(144)에 의해 배수관(150)으로 유도되어 배출될 수 있다.
도 4a 내지 도 4b는 본 발명의 실시예에 따른 분사장치에서 유체의 분사를 도시한 도면이다.
추가적으로, 본 발명에 따른 와이퍼 세척기(100)는, 상기 세탁조(110)의 내벽 상측에 배치되어, 상기 세탁조(110) 내부의 상기 세탁수(500) 수면을 향해 유체를 분사하는 1 이상의 분사장치(220)를 더 포함할 수 있다.
린트와 같은 이물질(400)은 부유성을 가지기는 하나, 와이퍼(300)에 의한 인력으로 이물질(400)이 와이퍼(300) 표면에 여전히 잔존한다. 이때, 도 4a 내지 도 4b에 도시된 바와 같이, 상기 분사장치(220)에 의해 세탁조(110) 내부에 유체를 분사하면, 와이퍼(300)는 더욱 침전한다. 이와 같이, 분사장치(220)가 와이퍼(300)를 더욱 침전시킴으로써, 이물질(400)을 와이퍼(300)의 표면에서 분리시킬 수 있다. 이로 인하여, 최대한 많은 양의 이물질(400)이 세탁수(500)의 수면으로 부유할 수 있도록 하고, 와이퍼(300)의 표면에 잔존하는 이물질(400)의 양을 최소화할 수 있다. 이와 같이 세탁수(500) 수면 위로 부유한 이물질(400)을, 상술한 플레이트(140)에 의해 배수관(150)으로 배출시킴으로써, 와이퍼(300)로부터 더욱 효과적으로 이물질(400)을 제거할 수 있는 장점이 있다.
상기 세탁조(110)는, 고정된 제1 세탁조(112) 및 상기 제1 세탁조(112) 내부에서 회동하는 제2 세탁조(114)를 포함하는 다중 구조로 형성되고, 상기 분사장치(220)는 상기 제1 세탁조(112)의 내벽으로부터 연장되도록 배치되어, 상기 제2 세탁조(114) 내부의 상기 세탁수(500) 수면을 향하여 유체를 분사할 수 있다.
상기 제2 세탁조(114)는 와이퍼(300)의 세탁을 위해 회동할 수 있다. 이때, 제2 세탁조(114)를 회동시킴으로써, 내부의 세탁수(500)가 기울어지도록 하고, 기울어진 저층부에 배관(154)을 연결하여, 배관(154)을 통해 이물질(400) 및 이에 수반하는 세탁수(500)가 배출되도록 할 수 있다. 배관(154)은 이물질(400) 및 세탁수(500)가 배출되도록 적정한 위치에 구비되며, 하나 이상이 구비될 수 있다. 이때, 배관(154)은 상술한 배수관(150)일 수 있으나, 이와 별도로 설치할 수도 있다.
예를 들어, 도 4b에 도시된 바와 같이, 제2 세탁조(114)의 회동에 의해 세탁수(500)의 수면에 경사가 형성되면, 세탁수(500) 및 이물질(400)은 제2 세탁조(114)에 형성된 개폐조절이 가능한 배수구(152)를 통해 배출되고, 제1 세탁조(112)의 내벽을 따라 이동하여, 제1 세탁조(112)와 연결된 배관(154)을 통해 외부로 배출될 수 있다. 다만, 본 발명의 권리범위가 반드시 이러한 구조에 한하는 것은 아니며, 세탁수(500)가 기울어짐에 의해 세탁수(500) 및 이물질(400)이 외부로 배출될 수 있는 구조라면, 어떠한 구조라도 가능할 것이다.
상술한 바와 같이, 분사장치(220)는 와이퍼(300)를 더욱 침전시키고, 이물질(400)이 와이퍼(300)로부터 분리되어 수면에 더욱 부유하도록 한다. 따라서, 세탁조(110) 내부의 상측으로부터 하측으로 유체를 분사하는 것이 바람직하다. 또한, 일정한 위치에서 유체를 분사하는 것이 바람직하므로, 제2 세탁조(114)가 회동하더라도, 분사장치(220)를 고정시킬 필요가 있다.
이를 위하여, 상기 세탁조(110)는 외부의 제1 세탁조(112) 및 내부의 제2 세탁조(114)의 이중 구조로 설계하고, 제1 세탁조(112)의 내벽으로부터 연장되도록 구동부(230) 및 분사장치(220)를 배치함으로써, 제2 세탁조(114)가 회동하더라도, 분사장치(220)는 고정된 상태로 세탁조(110) 내부 상측에서 하측으로 유체를 분사할 수 있다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 와이퍼 세척방법을 나타낸 순서도이다.
본 발명에 따른 와이퍼 세척 방법은, 상술한 바와 같이, 세탁조(110)에 구비된 개방부(120)에 와이퍼(300)를 투입하는 (A)단계, 상기 (A)단계에서 투입된 와이퍼(300)를 상기 세탁조(110)를 회동하여 세척하는 (B)단계, 상기 세탁조(110)의 회동을 정지하고, 상기 세탁조(110)의 내부에 전도성 부재로 구비되는 플레이트(140)에 전압을 인가하는 (C)단계, 상기 (C)단계에서 전압이 인가된 상기 플레이트(140)를 세탁수(500) 수면과 소정간격 이격하여 상기 세탁수(500) 수면을 따라 이동시켜, 이물질(400) 및 이에 수반하는 세탁수(500)를 배수관(150)을 통하여 배출하는 (D)단계를 포함할 수 있다.
추가적으로, 거름장치(160)를 이용하여 상기 (D)단계에서 배출된 세탁수(500)로부터 이물질(400)을 거르고, 정수를 생산하는 단계; 및 상기 (E)단계에서 생산한 정수를 펌프(180)에 의한 동력으로 급수관(190)을 통하여 상기 세탁조(110)로 투입하는 (F)단계를 더 포함할 수 있다. 또한, (F)단계 이후에 상기 (B)단계로 돌아가 수회 반복하여 와이퍼를 세척할 수도 있다.
이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다.
100: 와이퍼 세척기 110: 세탁조
112: 제1 세탁조 114: 제2 세탁조
120: 개방부 122: 투입구
124: 배출구 130: 전원부
140: 플레이트 142: 제1 플레이트
144: 제2 플레이트 150: 배수관
152: 배수구 154: 배관
160: 거름장치 170: 이송관
180: 펌프 190: 급수관
210: 제어부 220: 분사장치
230: 구동부 300: 와이퍼
400: 이물질 500: 세탁수

Claims (9)

  1. 와이퍼를 세척하는 공간을 제공하는 세탁조;
    상기 세탁조와 연결되어, 상기 와이퍼를 투입 또는 배출하는 개방부;
    상기 세탁조의 내부에 배치되고, 세탁수 수면과 소정간격 이격되어 상기 세탁수 수면을 따라 이동하며, 전도성 부재로 구비되는 플레이트;
    상기 플레이트에 전압을 인가하는 전원부; 및
    상기 플레이트의 이동경로의 말단에 배치되고, 상기 세탁조의 내부로부터 연장되어, 이물질 및 세탁수를 외부로 배출하는 배수관;
    을 포함하는 와이퍼 세척기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 배수관과 연결되고, 세탁수의 이물질을 거르는 거름장치;
    상기 거름장치와 연결되어, 상기 거름장치로부터 걸러진 정수를 이송하는 이송관;
    상기 이송관과 연결되어, 상기 정수를 상기 세탁조에 투입할 수 있도록 동력을 생산하는 펌프; 및
    상기 펌프와 연결되어, 상기 정수를 상기 세탁조에 투입하는 급수관;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 세탁조의 내부에 배치되고, 상기 플레이트의 높이를 조절하면서 상기 플레이트를 이동시키는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 플레이트는 복수 개인 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 복수의 플레이트는,
    양전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제1 플레이트; 및
    음전하를 띠는 적어도 하나 이상의 제2 플레이트;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 세탁조의 내벽 상측에 배치되어, 상기 세탁조 내부의 상기 세탁수 수면에 유체를 분사하는 분사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 세탁조는, 고정된 제1 세탁조 및 상기 제1 세탁조 내부에서 회동하는 제2 세탁조를 포함하는 다중 구조로 형성되고,
    상기 분사장치는 상기 제1 세탁조의 내벽으로부터 연장되도록 배치되어, 상기 제2 세탁조 내부의 상기 세탁수 수면에 유체를 분사하는 것을 특징으로 하는 와이퍼 세척기.
  8. (A) 세탁조에 구비된 개방부에 와이퍼를 투입하는 단계;
    (B) 상기 (A) 단계에서 투입된 와이퍼를 상기 세탁조를 회동하여 세척하는 단계;
    (C) 상기 세탁조의 회동을 정지하고, 상기 세탁조의 내부에 전도성 부재로 구비되는 플레이트에 전압을 인가하는 단계; 및
    (D) 상기 (C)단계에서 전압이 인가된 상기 플레이트를 세탁수 수면과 소정간격 이격하여 상기 세탁수 수면을 따라 이동시켜, 이물질 및 이에 수반하는 세탁수를 배수관을 통하여 배출하는 단계;
    를 포함하는 와이퍼 세척 방법.

  9. 청구항 8에 있어서,
    (E) 거름장치를 이용하여 상기 (D)단계에서 배출된 세탁수로부터 이물질을 거르고, 정수를 생산하는 단계; 및
    (F) 상기 (E)단계에서 생산한 정수를 펌프에 의한 동력으로 급수관을 통하여 상기 세탁조로 투입하는 단계;
    를 더 포함하는 와이퍼 세척 방법.
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