KR20180041804A - 임프린트용 가압 롤러 및 이를 이용한 임프린트 방법 - Google Patents

임프린트용 가압 롤러 및 이를 이용한 임프린트 방법 Download PDF

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Abstract

임프린트용 가압 롤러는 제1 방향으로 연장되는 원기둥 형태의 롤러 몸체, 상기 롤러 몸체의 측면인 곡면 상에 배치되고 각각이 열 또는 에너지를 방출하도록 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 또는 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함한다. 이때, 상기 보상층은 기판 상의 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 스탬프가 레진층을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 단차에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.

Description

임프린트용 가압 롤러 및 이를 이용한 임프린트 방법 {PRESS ROLLER FOR IMPRINT AND IMPRINT METHOD USING THE SAME}
본 발명은 임프린트용 가압 롤러 및 상기 가압 롤러를 이용한 임프린트 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 스탬프를 이용하여 레진 패턴을 형성하는 임프린트 방법에 사용되는 가압 롤러 및 상기 가압 롤러를 이용한 임프린트 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 미세 패턴을 형성하기 위해 나노 임프린트 리소그래피(nano-imprint lithography)방법에 대한 연구가 진행되고 있다. 예를 들면, 액정 표시 장치는 와이어 그리드 편광 소자를 포함할 수 있는데, 상기 와이어 그리드 편광 소자는 기판 상의 금속층 상에 레진층을 형성한 후, 스탬프를 이용하여 상기 레진층에 임프린트 패턴을 형성한 후, 상기 임프린트 패턴이 형성된 레진층 이용하여 상기 금속층을 패터닝하여 상기 와이어 그리드 편광 소자를 형성할 수 있다.
그러나, 상기 임프린트 방법은 상기 레진층이 형성되는 기판의 상면이 평탄하지 않는 경우, 즉, 임프린트가 진행되는 면에 단차가 형성된 경우, 상기 단차 부분에 잔막(residual layer) 두께가 커지거나 상기 임프린트 패턴이 정확하게 형성되지 않아 상기 임프린트 패턴의 품질이 떨어지는 문제가 있었다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 점에서 착안된 것으로, 본 발명의 목적은 단차가 형성된 면 상에 임프린트 패턴을 형성함에 있어서, 상기 임프린트 패턴의 품질을 향상시키기 위한 임프린트용 가압 롤러를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 상기 가압 롤러를 이용하는 임프린트 방법을 제공하는 것이다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러는 제1 방향으로 연장되는 원기둥 형태의 롤러 몸체, 상기 롤러 몸체의 측면인 곡면 상에 배치되고 각각이 열 에너지 등의 에너지를 방출하도록 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 상기 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보상층은 제1 중합 결합제 및 제2 중합 결합제를 포함할 수 있다. 상기 제1 중합 결합제의 유리 전이 온도가 상기 제 2 중합체 결합제의 유리 전이 온도보다 20℃ 이상 높을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 중합 결합제는 폴리스티렌 및 이의 공중합체, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 공중합체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 중합 결합제는 부틸 아크릴레이트 및 이의 공중합체를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 열 발생 수단 또는 마이크로웨이브 발생 수단일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되고, 하나의 상기 에너지 발생 유닛은 상기 제1 방향에 수직하게 상기 곡면을 따라 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 곡면 상에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 임프린트용 가압 롤러는 상기 보상층 상에 배치되어 상기 보상층을 보호하는 보호층을 더 포함할 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 방법은 패턴이 기판의 상면 상에 형성되어 단차가 형성된 상기 기판을 준비하는 단계, 상기 단차가 형성된 상기 기판의 상면 상에 레진층을 형성하는 단계, 제1 방향으로 연장되는 원기둥 형태의 롤러 몸체, 상기 롤러 몸체의 측면인 곡면 상에 배치되고 각각이 열 에너지 등의 에너지를 방출하도록 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 상기 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함하는 임프린트용 가압 롤러, 필름 및 상기 필름 상에 형성된 스탬프를 준비하는 단계, 상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들을 작동하여 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계, 상기 가압 롤러를 이용하여 상기 필름 상의 상기 스탬프를 상기 레진층에 가압하여, 상기 레진층에 임프린트 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 스탬프를 상기 레진층으로부터 분리시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 롤러의 상기 보상층은 제1 중합 결합제 및 제2 중합 결합제를 포함하고, 상기 제1 중합 결합제의 유리 전이 온도가 상기 제 2 중합체 결합제의 유리 전이 온도보다 20℃ 이상 높을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보상층의 상기 제1 중합 결합제는 폴리스티렌 및 이의 공중합체, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 공중합체 중 어느 하나를 포함할 수 있다. 상기 제2 중합 결합제는 부틸 아크릴레이트 및 이의 공중합체를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되고, 하나의 상기 에너지 발생 유닛은 상기 제1 방향에 수직하게 상기 곡면을 따라 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판의 상기 단차는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않는 제1 영역 및 상기 패턴이 형성된 제2 영역을 포함할 수 있다. 상기 패턴은 제1 두께를 가질 수 있다. 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는, 상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않은 제3 영역을 더 포함하고, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역 및 상기 제3 영역 사이에 배치되고, 상기 패턴은 제1 두께를 가질 수 있다. 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는, 상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 및 상기 제3 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분 및 제3 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 곡면 상에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판의 상기 단차는 상기 제1 방향을 따라 연장될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않는 제1 영역 및 상기 패턴이 형성된 제2 영역을 포함할 수 있다. 상기 패턴은 제1 두께를 가질 수 있다. 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는, 상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 기판의 상기 패턴은 제1 두께를 갖는 제1 패턴부 및 제2 두께를 갖는 제2 패턴부를 포함할 수 있다. 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는, 상기 보상층은 상기 패턴에 의해 형성되는 상기 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형될 수 있다.
상기한 본 발명의 목적을 실현하기 위한 일 실시예에 따른 임프린트 방법은 상면 상에 단차가 형성된 기판 상에 레진층을 형성하는 단계, 및 가압 롤러를 이용하여 스탬프가 형성된 필름을 가압하여, 상기 레진층에 임프린트 패턴을 형성하는 단계를 포함한다. 상기 가압 롤러는 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 에너지 등의 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는, 상기 보상층은 상기 패턴에 의해 형성되는 상기 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 임프린트용 가압 롤러는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 또는 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함한다. 이때, 상기 보상층은 상기 기판 상의 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 스탬프가 레진층을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 단차에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
또한, 상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 제1 방향으로 배열되거나 매트릭스 형태로 배열되고 개별적으로 조절이 가능하므로, 상기 보상층의 두께를 위치와 시간에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으므로, 다양한 형상의 단차를 갖는 기판에 대해 임프린트 품질을 향상시킬 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 효과들로 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 2c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다.
도 4a 내지 도 4c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 3의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다.
도 6a 내지 도 6c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 5의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다.
도 8a 내지 도 8e는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 7의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다.
도 10a 내지 도 10c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 9의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1a 내지 도 1c는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 1a를 참조하면, 기판(10)을 준비한다. 상기 기판(10) 상에는 패턴(12)이 형성될 수 있다. 상기 패턴(12)이 형성된 기판(10) 상에 레진층(14)이 도포될 수 있다. 상기 패턴(12)에 의해, 상기 기판(10)의 상면에는 임프린트 영역인 상기 레진층(14)이 도포된 영역 내에 단차가 형성될 수 있다.
상기 기판(10) 상에 임프린트 장치를 준비한다. 상기 임프린트 장치는 가압 롤러(100), 디몰딩(demolding) 롤러(20), 필름(30) 및 스탬프(32)를 포함할 수 있다. 상기 가압 롤러(100)는 제1 방향(x)으로 연장되고 원기둥 형태의 롤러 몸체를 포함할 수 있다. 상기 디몰딩 롤러(20)는 상기 가압롤러(100)와 제2 방향(y)으로 이격되어 배치되고, 상기 제1 방향(x)으로 연장되고 원기둥 형태의 롤러 몸체를 포함할 수 있다. 상기 제2 방향(y)은 상기 제1 방향(x)에 대해 실질적으로 수직할 수 있다. 상기 필름(30)이 상기 가압 롤러(100)및 상기 디몰딩 롤러(20)에 의해 가이드될 수 있다. 상기 필름(30) 상에는 임프린트 패턴을 형성하기 위한 스탬프(32)가 형성될 수 있다.
도 1b를 참조하면, 상기 기판(10)이 상기 제2 방향(y)으로 이동하며(도면 상의 화살표 A 참조), 상기 가압 롤러(100) 및 상기 디몰딩 롤러(20)가 회전하여, 상기 스탬프(32)에 의해, 상기 레진층(14) 상에 상기 임프린트 패턴이 형성될 수 있다. 이때, 상기 가압 롤러(100)는 상기 필름(30)을 가압하며 회전하여, 상기 스탬프(32)가 상기 레진층(14)을 가압하도록 할 수 있다. 상기 디몰딩 롤러(20)는 상기 제2 방향(y)으로 이동하고(도면 상의 화살표 B 참조), 상기 필름(30)이 상기 기판(10)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하여(도면 상의 화살표 C 참조), 상기 필름(30)의 장력(tension)을 유지할 수 있다. 상기 임프린트 패턴이 형성된 상기 레진층(14)은 자외선 조사기(40)에 의해 자외선이 조사되어 경화될 수 있다. 이때, 상기 필름(30) 및 상기 스탬프(32)는 광을 투과시킬 수 있으므로, 상기 자외선 조사기(40)에서 발생한 자외선이 상기 필름(30) 및 상기 스탬프(32)를 통해 상기 레진층(14)에 조사될 수 있다.
이때, 상기 기판(10)의 상면 상에 상기 패턴(12)에 의해 형성되는 단차에 의한 임프린트 불량을 방지하기 위해, 상기 가압 롤러(100)의 보상층의 두께를 조절할 수 있다. 이에 대한 자세한 설명은 후술한다.
도 1c를 참조하면, 상기 디몰딩 롤러(20)는 상기 기판(10)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하고(도면 상의 화살표 D 참조), 상기 필름(30)이 상기 기판(10)으로부터 멀어지는 방향으로 이동하여(도면 상의 화살표 C' 참조), 상기 스탬프(32)를 상기 기판(10) 상의 상기 임프린트 패턴이 형성된 레진층(14)으로부터 분리시킬 수 있다.
이에 따라, 상기 기판(10)상에 임프린트 패턴이 형성된 레진층(14)을 형성할 수 있고, 이후, 상기 레진층(14)의 잔막(residual layer)을 제거하는 등의 후속 공정을 수행한 후, 패터닝 공정이 수행되어 미세 패턴을 형성할 수 있다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 2a를 참조하면, 상기 가압 롤러(100)는 롤러 몸체(110), 에너지 발생부(120) 및 보상층(130)을 포함한다.
상기 롤러 몸체(110)는 제1 방향(x)으로 연장되는 원기둥 형태를 가질 수 있다.
상기 에너지 발생부(120)는 상기 롤러 몸체(110)의 측면인 곡면 상에 배치될 수 있다. 상기 에너지 발생부(120)는 상기 제1 방향(x) 따라 배열된 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 에너지 발생부(120)는 제1 에너지 발생 유닛(121) 및 상기 제1 에너지 발생 유닛(121)과 상기 제1 방향(x)으로 인접하는 제2 에너지 발생 유닛(122)을 포함할 수 있다. 상기 제1 에너지 발생 유닛(121) 및 상기 제2 에너지 발생 유닛(122) 각각은 상기 몸체(110)의 상기 측면을 따라 상기 몸체(110)를 둘러싸는 고리 형태를 가질 수 있다.
상기 에너지 발생부(120)의 각각의 상기 에너지 발생 유닛들은 개별적으로 제어가 가능하도록 구성될 수 있다. 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(130)의 대응되는 부분을 가열할 수 있는 열 발생 수단으로 구성될 수 있다.
즉, 상기 제1 에너지 발생 유닛(121)의 가열 온도와 상기 제2 에너지 발생 유닛(122)의 가열 온도가 별개로 제어될 수 있다. 이에 따라 상기 에너지 발생 유닛들은 대응되는 상기 단차 보상층(130)의 부분들을 개별적으로 가열할 수 있다.
다른 예시적인 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부(120)의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(130)의 대응되는 부분에 에너지를 공급하는 수단으로 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(130)의 대응되는 부분에 마이크로웨이브를 제공하는 마이크로웨이브 발생 수단일 수 있다.
상기 보상층(130)은 상기 에너지 발생부(120) 상에 배치되어, 상기 가압 롤러(100)의 둘러 쌀 수 있다.
상기 보상층(130)은 열(또는 에너지)가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함한다. 즉, 상기 보상층(130)의 일부분에 열(또는 에너지)이 가해지면, 열이 가해진 상기 일부분의 두께가 다른 부분보다 두꺼워 지며, 상기 일부분이 냉각되면 상기 두께가 다시 원상태로 돌아올 수 있다. 가해지는 열의 세기에 따라 변화되는 두께가 조절될 수 있다. 상기 에너지 발생부(120)의 상기 에너지 발생 유닛들은 개별적으로 제어되므로, 상기 보상층(130)의 두께 역시, 상기 에너지 발생 유닛들의 배열에 대응하여 다양하게 조절될 수 있다.
상기 보상층(130)을 구성하는 물질은, 예를 들면, 미국 등록 특허 6921614 의 transfer layer 를 구성하는 성분을 포함할 수 있다.
구체적으로, 상기 보상층(130)은 둘 이상의 중합 결합제를 포함하고, 적어도 한 쌍 이상의 중합 결합제 쌍은 유리 전이 온도(Tg)가 20 ℃ 이상 차이가 나도록 구성될 수 있다.
상기 중합 결합제 쌍에서 높은 유리 전이 온도(Tg) 구성성분로 사용되는 적합한 중합 결합제는 폴리스티렌 및 이의 공중합체, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 공중합체를 포함하나, 이에 한정되지 않는다. 상기 중합 결합제 쌍에서 낮은 유리 전이 온도(Tg) 구성성분로 사용되는 적합한 중합 결합제는 부틸 아크릴레이트 및 이의 공중합체를 포함하나 이에 한정되지 않는다. 상기 중합 결합제에 존재하는 단량체 단위는 치환 또는 비치환될 수 있으며, 이들의 혼합물 또한 사용될 수 있다.
바람직하게, 가교성 단량체의 1 내지 5 mol％가 상기 중합 결합제로 혼입될 수 있다. 적합한 가교성 공단량체는 히드록시 에틸 메타크릴레이트 및 글리시딜 메타크릴레이트를 포함하나 이에 한정되지 않는다.
상기 중합 결합제는 상기 보상층(130)의 총중량을 기준으로약 15 내지 50 중량％, 바람직하게는 30 내지 40 중량％의 농도로 존재할 수 있다. 높은 유리 전이 온도(Tg) 결합제 대 낮은 유리 전이 온도(Tg) 결합제의 비는 60:40 내지 95:5 범위 일 수 있다.
상기 중합 결합제는 전체로 혼입될 수 있고, 미국 특허 제 6,020,416호에서 기술된 바와 같이 바람직하게는 라텍스 분산액의 형태로 합성될 수 있다. 중합체 라텍스의 합성은 광범위한 상업적 용도로 잘 알려진 공지기술이다.
바람직하게, 상기 중합 결합제의 하나 이상은 자유 라디칼 유도 반응 또는 양이온성 가교 반응을 할 수 있는 측기(pendant group)를 갖는 단량체 단위를 포함할 수 있다. 자유 라디칼 유도 가교 반응을 할 수 있는 측기는 일반적으로 에틸렌성 불포화 부위, 예를 들면 모노- 및 폴리불포화 알킬기; 아크릴산 및 메타크릴산 및 에스테르를 포함하는 것들일 수 있다. 어떤 경우에서는, 측가교기는 시나모일 또는 N-알킬 스틸바졸륨 측기의 경우처럼 감광성일 수 있다. 양이온성 가교 반응을 할 수 있는 측기로 치환 및 비치환된 에폭시드 및 아지리딘기를 포함할 수 있다.
상기 가교성 결합제는 하나 이상의 에틸렌성 불포화 디카르복시산 무수물, 또는 이에 상응하는 알킬 디에스테르와 상기 공단량체 중의 하나 이상과의 직접적인 공중합에 의하여 형성될 수 있다. 적합한 에틸렌성 불포화 디카르복시산 무수물은 예를 들면 말레산 무수물, 이타콘산 무수물 및 시트라콘산 무수물 및 알킬 디에스테르 예컨대, 말레산 무수물의 디이소부틸 에스테르일 수 있다. 산 무수물 관능기를 포함하는 공중합 결합제는 일차 지방족 또는 방향족 아민과 반응할 수 있다.
상기 보상층(130)의 본질적 기능을 방해하지 않는 한, 상기 보상층(130) 내에 첨가제로서 기타 물질이 존재할 수 있다. 이러한 첨가제의 예로서 피복 보조제, 가소제, 유동 첨가제, 슬립제, 항할레이션제, 대전 방지제, 계면활성제, 및 피복 제제에서 사용되는 것으로 알려져 있는 기타물질을 포함할 수 있다.
상기 보상층(130)은 단일층으로 형성될 수 있고, 또는 복수의 층으로 구성될 수 있다.
상기 보상층(130)은 적합한 용매 중의 분산액으로서 상기 에너지 발생부(120) 상에 피복될 수 있지만, 종래의 피복 기술 또는 프린팅 기술, 예를 들면, 그라비어 프린팅을 이용하여 용액으로부터 층을 피복하는 것이 바람직하다. 부품의 성질에 해로운 영향을 주지 않는 한, 임의의 적합한 용매를 피복 용매로서 사용할 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 가압 롤러(100)는 임프린트 영역의 상기 제1 방향(x)으로의 단차에 대해 단차 보상이 가능하다.
도 2b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 2b를 참조하면, 상기 가압 롤러(200)는 롤러 몸체(210), 에너지 발생부(220) 및 보상층(230)을 포함한다. 상기 가압 롤러(200)의 상기 에너지 발생부(220)를 제외하고, 상기 가압 롤러(200)는 도 2a 의 가압 롤러(100)와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서 반복되는 설명은 생략한다.
상기 에너지 발생부(220)는 상기 롤러 몸체(210)의 측면인 곡면 상에 배치될 수 있다. 상기 에너지 발생부(220)는 제1 방향(x) 및 상기 제1 방향(x)과 수직한 상기 곡면 방향을 따라 매트릭스 형태로 배열된 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 에너지 발생부(120)는 제1 에너지 발생 유닛(221), 상기 제1 에너지 발생 유닛(221)과 상기 제1 방향(x)으로 인접하는 제2 에너지 발생 유닛(222), 상기 제1 에너지 발생 유닛(221)과 상기 곡면 방향을 따라 인접하는 제3 에너지 발생 유닛(223) 및 상기 제2 에너지 발생 유닛(222)과 상기 곡면 방향을 따라 인접하고 상기 제3 에너지 발생 유닛(223)과 상기 제1 방향(x)으로 인접하는 제4 에너지 발생 유닛(224)을 포함할 수 있다. 상기 제1 내지 제4 에너지 발생 유닛들(221, 222, 223, 224) 각각은 사각형 형상을 갖고 매트릭스 형태로 배열될 수 있다.
상기 에너지 발생부(220)의 각각의 상기 에너지 발생 유닛들은 개별적으로 제어가 가능하도록 구성될 수 있다. 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(230)의 대응되는 부분을 가열할 수 있는 열원으로 구성될 수 있다.
즉, 상기 제1 에너지 발생 유닛(221)의 가열 온도, 상기 제2 에너지 발생 유닛(222)의 가열 온도, 상기 제3 에너지 발생 유닛(223)의 가열 온도 및 상기 제4 에너지 발생 유닛(224)의 가열 온도가 각각 별개로 제어될 수 있다. 이에 따라 상기 에너지 발생 유닛들은 대응되는 상기 단차 보상층(230)의 부분들을 개별적으로 가열할 수 있다.
다른 예시적인 실시예에 있어서, 상기 에너지 발생부(220)의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(230)의 대응되는 부분에 에너지를 공급하는 수단으로 구성될 수 있다. 예를 들면, 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 보상층(230)의 대응되는 부분에 마이크로웨이브를 제공하는 마이크로웨이브 발생 수단일 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 가압 롤러(200)는 임프린트 영역의 상기 제1 방향(x)으로의 단차 뿐 아니라, 상기 제1 방향(x)과 수직한 제2 방향(y)으로의 단차에 대해서도 단차 보상이 가능하다.
도 2c는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 임프린트용 가압 롤러의 사시도이다.
도 2c를 참조하면, 상기 가압 롤러(300)는 롤러 몸체(310), 에너지 발생부(320), 보상층(330) 및 보호층(340)을 포함한다. 상기 가압 롤러(300)는 상기 보호층(340)을 더 포함하는 것을 제외하고, 도 2a 또는 도 2b의 가압 롤러(100, 200)와 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 반복되는 설명은 생략한다.
상기 보호층(340)은 상기 보상층(330) 상에 형성되어 상기 보상층(330)의 손상을 방지할 수 있다. 또한, 상기 보호층(340)은 상기 보상층(330)의 두께를 제어하는 과정에서, 원하지 않는 변형을 방지할 수 있도록 탄성을 가질 수 있다. 또한, 상기 보호층(340)은 외부의 정전기로부터 상기 보상층(330) 및 상기 에너지 발생부(320)를 보호할 수 있다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다. 도 4a 내지 도 4c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 3의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 3 및 도 4a를 참조하면, 기판(10) 상에 패턴(12)이 형성될 수 있다. 상기 패턴(12)은 제1 두께(t1)를 갖고, 따라서, 상기 기판(10)의 상면에 단차를 형성할 수 있다. 상기 패턴(12)이 형성된 상기 기판(10) 상에 레진층(14)이 형성될 수 있다. 상기 레진층(14)은 상기 패턴(12)이 형성된 부분인 제2 영역(A2) 및 상기 제2 영역(A2)에 인접하는 제1 영역(A1) 내에 형성될 수 있다.
상기 패턴(12) 및 상기 레진층(14)이 형성된 상기 기판(10) 상에 가압 롤러(도 2a의 100 참조), 필름(30) 및 스탬프(32)를 포함하는 임프린트 장치가 제공된다. 상기 가압 롤러는 롤러 몸체(110), 제1 및 제2 에너지 발생 유닛들(121, 122)을 포함하는 에너지 발생부(도 2a의 120 참조), 및 보상층(130)을 포함할 수 있다.
도 4b를 참조하면, 상기 에너지 발생부(도 2a의 120 참조)를 작동시켜, 상기 보상층(130)의 일부의 두께를 변화시킬 수 있다. 즉, 상기 패턴(12)이 형성된 상기 제2 영역(A2)에 대응하는 상기 보상층(130)의 제2 부분과 접하는 상기 에너지 발생부(120)의 에너지 발생 유닛들(도면 상에서 빗금 없는 부분)은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하지 않으므로, 상기 보상층(130)의 상기 제2 부분의 두께는 그대로 유지될 수 있다. 이때, 상기 패턴(12)이 형성되지 않은 영역인 상기 제1 영역(A1)에 대응하는 상기 보상층(130)의 제1 부분에 대응하는 상기 에너지 발생부(120)의 에너지 발생 유닛들(도면 상에서 빗금친 부분)은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하여 상기 보상층(130)의 상기 제1 부분에 열 또는 에너지를 공급할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(A1) 내의 상기 보상층(130)의 상기 제1 부분의 두께가 상기 제1 두께(t1)만큼 커질 수 있다.
이때, 상기 보상층(130)의 두께 변화량인 상기 제1 두께(t1)는 상기 패턴(12)의 두께인 상기 제1 두께(t1)와 동일하도록 상기 에너지 발생 유닛들이 제어될 수 있다.
즉, 임프린트 영역인 상기 레진층(14)이 형성되는 상기 기판(10)의 상면 상에 상기 패턴(12)에 의한 단차가 형성된 경우, 상기 단차 형상을 고려하여 상기 보상층(130)의 두께가 능동적으로 제어될 수 있다.
도 4c를 참조하면, 상기 가압 롤러(100)를 이용하여 상기 필름(30) 상의 상기 스탬프(32)를 상기 레진층(14)에 가압하여, 임프린트 패턴을 전사할 수 있다.
이때, 상기 보상층(130)은 상기 기판(10) 상의 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 상기 스탬프(32)가 상기 레진층(14)을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(A1)과 상기 제2 영역(A2)의 경계에서 상기 단차에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
한편, 도시하지 않았으나, 임프린트 패턴이 전사된 상기 레진층(14')에 자외선을 조사한 후, 상기 스탬프(32)를 상기 레진층(14')으로부터 분리 시킬 수 있다. 이후 필요로 하는 후속 공정이 수행되어 임프린트 리소그래피 공정이 완료될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다. 도 6a 내지 도 6c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 5의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다. 상기 임프린트 방법은 상기 기판 상에 단차가 형성되는 위치를 제외하면, 도 3 내지 도4c의 임프린트 방법과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서 반복되는 설명은 간략히 하거나 생략한다.
도 5 및 도 6a를 참조하면, 기판(10) 상에 패턴(12)이 형성될 수 있다. 상기 패턴(12)은 제1 두께(t1)를 갖고, 따라서, 상기 기판(10)의 상면에 단차를 형성할 수 있다. 상기 패턴(12)이 형성된 상기 기판(10) 상에 레진층(14)이 형성될 수 있다. 상기 레진층(14)은 상기 패턴(12)이 형성된 부분인 제2 영역(B2) 및 상기 제2 영역(B2)에 인접하는 제1 영역(B1) 및 제3 영역(B3) 내에 형성될 수 있다.
도 6b를 참조하면, 에너지 발생부(120)를 작동시켜, 보상층(130)의 일부의 두께를 변화시킬 수 있다. 즉, 상기 패턴(12)이 형성된 상기 제2 영역(B2)에 대응하는 상기 보상층(130)의 제2 부분과 접하는 에너지 발생 유닛들은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하지 않으므로, 상기 보상층(130)의 상기 제2 부분의 두께는 그대로 유지될 수 있다. 이때, 상기 패턴(12)이 형성되지 않은 영역인 상기 제1 영역(B1) 및 상기 제3 영역(B3)에 대응하는 상기 보상층(130)의 제1 부분 및 제3 부분에 대응하는 상기 에너지 발생부(120)의 에너지 발생 유닛들(도면상 빗금친 부분)은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하여 상기 보상층(130)의 상기 제1 부분 및 상기 제3 부분에 열 또는 에너지를 공급할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(B1) 및 상기 제3 영역(B3) 내의 상기 보상층(130)의 상기 제1 부분 및 상기 제3 부분의 두께가 상기 제1 두께(t1)만큼 커질 수 있다.
도 6c를 참조하면, 상기 가압 롤러(100)를 이용하여 상기 필름(30) 상의 상기 스탬프(32)를 상기 레진층(14)에 가압하여, 임프린트 패턴을 전사할 수 있다.
이때, 상기 보상층(130)은 상기 기판(10) 상의 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 상기 스탬프(32)가 상기 레진층(14)을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(B1)과 상기 제2 영역(B2)의 경계 및 상기 제3 영역(B3) 및 상기 제2 영역(B2)의 경계에서 상기 단차들에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다. 도 8a 내지 도 8e는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 7의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다.
도 7 및 도 8a를 참조하면, 기판(10) 상에 패턴(12)이 형성될 수 있다. 상기 패턴(12)은 제1 두께(t1)를 갖고, 따라서, 상기 기판(10)의 상면에 단차를 형성할 수 있다. 상기 단차는 제1 방향(x)을 따라 절단한 단면(I-I' 선) 상에 형성될 수 있고, 또한, 상기 제1 방향(x)과 수직한 제2 방향(y)을 따라 절단한 단면(II-II'선) 상에도 단차가 형성될 수 있다.
상기 패턴(12)이 형성된 상기 기판(10) 상에 레진층(14)이 형성될 수 있다. 상기 제2 방향(y)을 따라 절단한 단면(II-II'선)에서, 상기 레진층(14)은 상기 패턴(12)이 형성된 부분인 제2 영역(C2) 및 상기 제2 영역(C2)에 인접하는 제1 영역(C1) 및 제3 영역(C3) 내에 형성될 수 있다. 상기 제1 방향(x)을 따라 절단한 단면(I-I' 선)에서, 상기 레진층(14)은 상기 패턴(12)이 형성된 부분인 제2b 영역(C2b) 및 상기 제2b 영역(C2b)에 인접하는 제2a 영역(C2a) 내에 형성될 수 있다.
상기 패턴(12) 및 상기 레진층(14)이 형성된 상기 기판(10) 상에 가압 롤러(200), 필름(30) 및 스탬프(32)를 포함하는 임프린트 장치가 제공된다. 상기 가압 롤러는 롤러 몸체(210), 매트릭스 형태로 배열되는 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부(220), 및 보상층(230)을 포함할 수 있다.
상기 제1 영역(C1)에서는, 상기 단차가 형성된 부분이 없으므로, 일반적인 방법으로 임프린트가 진행될 수 있다. 상기 기판(10)이 상기 제2 방향(y)으로 진행하며 임프린트가 진행될 수 있다.
도 8b 및 도 8c를 참조하면, 상기 가압 롤러(200)가 상기 제1 영역(C1)과 상기 제2 영역(C2)의 경계의 단차에 도달하면, 상기 에너지 발생부(220)의 상기 에너지 발생 유닛들을 제어하여, 상기 제1 영역(C1)에 대응하는 상기 보상층(230)의 부분의 두께를 증가시킬 수 있다. 이때, 상기 보상층(230)의 두께 변화량은 상기 패턴(12)의 두께인 상기 제1 두께(t1)와 동일하도록 상기 에너지 발생 유닛들이 제어될 수 있다.
이때, 제2 영역(C2)에 대응하는 상기 보상층(130)의 부분들과 접하는 에너지 발생 유닛들은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하지 않으므로, 상기 보상층(130)의 해당 부분의 두께는 그대로 유지될 수 있다.
이와 동시에, 상기 에너지 발생부(220)의 상기 에너지 발생 유닛들을 제어하여, 상기 제2a 영역(C2b)에 대응하는 상기 보상층(230)의 부분의 두께를 증가시킬 수 있다.
이에 따라 상기 보상층(230)은 상기 제1 방향(x)의 단차 및 상기 제2 방향(y)의 단차를 모두 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 상기 스탬프(32)가 상기 레진층(14)을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 단차들에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
도 8d를 참조하면, 상기 가압 롤러(200)가 상기 제2 영역(C2)과 상기 제3 영역(C3)의 경계의 단차에 도달하면, 상기 에너지 발생부(220)의 상기 에너지 발생 유닛들을 제어하여, 상기 제3 영역(C3)에 대응하는 상기 보상층(230)의 부분의 두께를 증가시킬 수 있다. 이때, 상기 보상층(230)의 두께 변화량은 상기 패턴(12)의 두께인 상기 제1 두께(t1)와 동일하도록 상기 에너지 발생 유닛들이 제어될 수 있다.
도 8e를 참조하면, 상기 제3 영역(C3)에서는, 상기 단차가 형성된 부분이 없으므로, 일반적인 방법으로 임프린트가 진행될 수 있다. 상기 기판(10)이 상기 제2 방향(y)으로 진행하며 임프린트가 진행될 수 있다.
본 실시예에 따르면, 상기 보상층(130)의 두께는 상기 제1 방향(x) 및 상기 제2 방향(y)에 대응하여 시간에 따라 다양하게 변화할 수 있으므로, 상기 기판(10) 상에 단차가 어느 방향으로 형성된 경우에도 상기 단차에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 임프린트 방법을 설명하기 위한 기판의 평면도이다. 도 10a 내지 도 10c는 상기 임프린트 방법을 이용하여 도 9의 기판 상에 임프린트 패턴을 형성하는 것을 나타낸 단면도들이다. 상기 임프린트 방법은 상기 기판 상에 단차가 형성되는 위치를 제외하면, 도 3 내지 도4c의 임프린트 방법과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서 반복되는 설명은 간략히 하거나 생략한다.
도 9 및 도 10a를 참조하면, 기판(10) 상에 제1 패턴부(12a) 및 상기 제1 패턴부(12a)와 이격하여 배치되는 제2 패턴부(12b)를 포함하는 패턴이 형성될 수 있다. 상기 제1 패턴부(12a)는 제1 두께(t1)를 갖고, 상기 제2 패턴부(12b)는 제2 두께(t2)를 가질 수 있다. 도면상에서는 상기 제1 두께(t1)와 상기 제2 두께(t2)가 동일한 것으로 도시되어 있으나, 상기 제1 두께(t1)와 상기 제2 두께(t2)는 서로 다를 수 있다. 이에 따라, 상기 기판(10)의 상면에 단차들이 형성될 수 있다. 상기 제1 및 제2 패턴들(12a, 12b)이 형성된 상기 기판(10) 상에 레진층(14)이 형성될 수 있다. 상기 레진층(14)은 상기 제1 패턴부(12a)가 형성된 부분인 제4 영역(D4), 상기 제2 패턴부(12b)가 형성된 부분인 제2 영역(D2) 및 상기 패턴이 형성되지 않은 영역인 제1 영역(D1) 및 제3 영역(D3) 내에 형성될 수 있다.
도 10b를 참조하면, 에너지 발생부(120)를 작동시켜, 보상층(130)의 일부의 두께를 변화시킬 수 있다. 즉, 상기 제1 패턴부(12a) 및 상기 제2 패턴부(12b)이 형성된 상기 제4 영역(D4) 및 상기 제2 영역(D2)에 대응하는 상기 보상층(130)의 부분들과 접하는 에너지 발생 유닛들은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하지 않으므로, 상기 보상층(130)의 해당 부분의 두께는 그대로 유지될 수 있다. 이때, 상기 패턴이 형성되지 않은 영역인 상기 제1 영역(D1) 및 상기 제3 영역(D3)에 대응하는 상기 보상층(130)의 부분들에 대응하는 상기 에너지 발생부(120)의 에너지 발생 유닛들(도면상 빗금친 부분)은 발열(또는 마이크로웨이브를 발생)하여 상기 보상층(130)의 해당 부분에 열 또는 에너지를 공급할 수 있다. 이에 따라, 상기 제3 영역(D3)의 보상층(130)의 해당 부분의 두께가 상기 제1 두께(t1)만큼 커지고, 상기 제1 영역(D1) 내의 상기 보상층(130)의 해당 부분의 두께가 상기 제2 두께(t2)만큼 커질 수 있다.
도 10c를 참조하면, 상기 가압 롤러(100)를 이용하여 상기 필름(30) 상의 상기 스탬프(32)를 상기 레진층(14)에 가압하여, 임프린트 패턴을 전사할 수 있다.
이때, 상기 보상층(130)은 상기 기판(10) 상의 단차들을 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 상기 스탬프(32)가 상기 레진층(14)을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1 영역(D1)과 상기 제2 영역(D2)의 경계, 상기 제2 영역(D2)과 상기 제3 영역(D3)의 경계 및 상기 제3 영역(D3)과 상기 제4 영역(D4)의 경계에서 상기 단차들에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 임프린트용 가압 롤러는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 또는 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함한다. 이때, 상기 보상층은 상기 기판 상의 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형된 상태이므로, 스탬프가 레진층을 일정하게 가압할 수 있다. 이에 따라, 상기 단차에 의한 임프린트 불량이 최소화 될 수 있다.
또한, 상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 제1 방향으로 배열되거나 매트릭스 형태로 배열되고 개별적으로 조절이 가능하므로, 상기 보상층의 두께를 위치와 시간에 따라 다양하게 변화시킬 수 있으므로, 다양한 형상의 단차를 갖는 기판에 대해 임프린트 품질을 향상시킬 수 있다.
이상 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 12: 패턴
14: 레진층 20: 디몰딩 롤러
30: 필름 32: 스탬프
100: 가압 롤러 110: 롤러 몸체
120: 에너지 발생부 130: 보상층

Claims (20)

  1. 제1 방향으로 연장되는 원기둥 형태의 롤러 몸체;
    상기 롤러 몸체의 측면인 곡면 상에 배치되고 각각이 열 또는 에너지를 방출하도록 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부; 및
    상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 또는 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함하는 임프린트용 가압 롤러.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 보상층은 제1 중합 결합제 및 제2 중합 결합제를 포함하고, 상기 제1 중합 결합제의 유리 전이 온도가 상기 제 2 중합체 결합제의 유리 전이 온도보다 20℃ 이상 높은 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 중합 결합제는 폴리스티렌 및 이의 공중합체, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 공중합체 중 어느 하나를 포함하고,
    상기 제2 중합 결합제는 부틸 아크릴레이트 및 이의 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 열 발생 수단 또는 마이크로웨이브 발생 수단인 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되고, 하나의 상기 에너지 발생 유닛은 상기 제1 방향에 수직하게 상기 곡면을 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 곡면 상에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 매트릭스 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 보상층 상에 배치되어 상기 보상층을 보호하는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트용 가압 롤러.
  8. 패턴이 기판의 상면 상에 형성되어 단차가 형성된 상기 기판을 준비하는 단계;
    상기 단차가 형성된 상기 기판의 상면 상에 레진층을 형성하는 단계;
    제1 방향으로 연장되는 원기둥 형태의 롤러 몸체, 상기 롤러 몸체의 측면인 곡면 상에 배치되고 각각이 열 에너지 등의 에너지를 방출하도록 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부, 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 상기 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함하는 임프린트용 가압 롤러, 필름 및 상기 필름 상에 형성된 스탬프를 준비하는 단계;
    상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들을 작동하여 상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계;
    상기 가압 롤러를 이용하여 상기 필름 상의 상기 스탬프를 상기 레진층에 가압하여, 상기 레진층에 임프린트 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 스탬프를 상기 레진층으로부터 분리시키는 단계를 포함하는 임프린트 방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 가압 롤러의 상기 보상층은 제1 중합 결합제 및 제2 중합 결합제를 포함하고, 상기 제1 중합 결합제의 유리 전이 온도가 상기 제 2 중합체 결합제의 유리 전이 온도보다 20℃ 이상 높은 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 보상층의 상기 제1 중합 결합제는 폴리스티렌 및 이의 공중합체, 아크릴레이트, 메타크릴레이트 및 이들의 공중합체 중 어느 하나를 포함하고,
    상기 제2 중합 결합제는 부틸 아크릴레이트 및 이의 공중합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 가압 롤러의 상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 제1 방향으로 배열되고, 하나의 상기 에너지 발생 유닛은 상기 제1 방향에 수직하게 상기 곡면을 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 단차는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  13. 제12 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않는 제1 영역 및 상기 패턴이 형성된 제2 영역을 포함하고, 상기 패턴은 제1 두께를 갖고,
    상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는,
    상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  14. 제13 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않은 제3 영역을 더 포함하고, 상기 제2 영역은 상기 제1 영역 및 상기 제3 영역 사이에 배치되고, 상기 패턴은 제1 두께를 갖고,
    상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는,
    상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 및 상기 제3 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분 및 제3 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  15. 제9 항에 있어서,
    상기 에너지 발생부의 상기 에너지 발생 유닛들은 상기 곡면 상에 상기 제1 방향 및 상기 제1 방향과 수직한 방향으로 매트릭스 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 단차는 상기 제1 방향을 따라 연장되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 기판은 상기 패턴이 형성되지 않는 제1 영역 및 상기 패턴이 형성된 제2 영역을 포함하고, 상기 패턴은 제1 두께를 갖고,
    상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는,
    상기 제1 영역에 대응하는 상기 보상층의 제1 부분의 두께는 상기 제2 영역에 대응하는 상기 보상층의 제2 부분의 두께 보다 상기 제1 두께만큼 더 두껍게 변화되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  18. 제8 항에 있어서,
    상기 기판의 상기 패턴은 제1 두께를 갖는 제1 패턴부 및 제2 두께를 갖는 제2 패턴부를 포함하고,
    상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는,
    상기 보상층은 상기 패턴에 의해 형성되는 상기 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  19. 기판의 상면 상에 단차가 형성된 상기 기판 상에 레진층을 형성하는 단계; 및
    가압 롤러를 이용하여 스탬프가 형성된 필름을 가압하여, 상기 레진층에 임프린트 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 가압 롤러는 개별적으로 작동되는 복수의 에너지 발생 유닛들을 포함하는 에너지 발생부; 및 상기 에너지 발생부 상에 배치되고, 열 에너지 등의 에너지가 가해지면 부피가 팽창하는 물질을 포함하는 보상층을 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
  20. 제19 항에 있어서,
    상기 보상층의 두께를 부분적으로 변화시키는 단계에서는,
    상기 보상층은 상기 패턴에 의해 형성되는 상기 단차를 고려하여 다양한 두께를 갖도록 변형되는 것을 특징으로 하는 임프린트 방법.
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