KR20180039819A - Slit Nozzle - Google Patents

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KR20180039819A
KR20180039819A KR1020160131040A KR20160131040A KR20180039819A KR 20180039819 A KR20180039819 A KR 20180039819A KR 1020160131040 A KR1020160131040 A KR 1020160131040A KR 20160131040 A KR20160131040 A KR 20160131040A KR 20180039819 A KR20180039819 A KR 20180039819A
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조강일
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주식회사 케이씨텍
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Abstract

The present invention is to provide a slit nozzle capable of adjusting a gap of a discharge hole through which a chemical liquid is sprayed, and improving uniformity of a chemical liquid coating film applied on a surface of a substrate. To this end, the slit nozzle for spraying a chemical liquid onto a surface of a substrate, comprises: first and second bodies disposed opposite to each other at both sides to supply a chemical liquid through a gap between opposite surfaces, and having a chemical liquid discharge hole formed at a lower end of the gap; and a gap adjusting member interposed between the opposite surfaces of the first and second bodies to adjust the gap of the discharge hole. An inclined surface for inducing the chemical solution to be uniformly dispersed and supplied to the surface of the substrate, is formed on opposite inner surfaces of both side portions of the gap adjusting member positioned at both sides of the discharge hole in a longitudinal direction.

Description

슬릿 노즐{Slit Nozzle}Slit nozzle < RTI ID = 0.0 >

본 발명은 슬릿 노즐에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 약액이 분사되는 토출구의 갭 조정을 가능하도록 함과 아울러 기판 표면에 도포되는 약액 코팅막의 균일도를 향상시킬 수 있는 슬릿 노즐에 관한 것이다.The present invention relates to a slit nozzle, and more particularly, to a slit nozzle capable of adjusting a gap of a discharge port through which a chemical liquid is injected and improving the uniformity of a chemical coating film applied to the surface of the substrate.

평판 기판에 약액을 일정한 두께로 균일하게 코팅하는 기판 코팅 장치는 다양한 분야에서 사용될 수 있으며, 엘시디(LCD)와 같은 평판 디스플레이의 제조를 위하여 유리 기판 표면에 감광성 수지를 도포하는 코팅공정도 그 중에 하나이다. A substrate coating apparatus for uniformly coating a chemical solution on a flat substrate with a uniform thickness can be used in various fields, and a coating process for applying a photosensitive resin to the surface of a glass substrate for manufacturing a flat panel display such as an LCD .

디스플레이 기판의 크기가 대형화되면서 약액 코팅 방식으로 슬릿 노즐(Slit Nozzle)을 이용하는 슬릿 코팅 방식이 널리 사용되고 있다. 슬릿 코팅 방식은 피처리 기판의 폭에 대응하는 길이를 갖는 슬릿 노즐을 기판을 따라 이송시키면서 약액을 분사하여 도포하는 방식이다. A slit coating method using a slit nozzle in a chemical coating method has been widely used as a display substrate becomes larger in size. In the slit coating method, a slit nozzle having a length corresponding to the width of a substrate to be processed is transferred along a substrate while spraying a chemical solution.

도 1을 참조하면, 종래 기판 코팅 장치(1)는 스테이지(10) 상에 기판(20)이 고정된 상태에서, 슬릿 노즐(30)이 구동부(50)의 구동에 의해 기판(20)의 상측 공간을 따라 이동하면서 기판(20)의 표면에 약액(40)을 도포한다. 1, a substrate coating apparatus 1 according to the related art has a structure in which a substrate 20 is fixed on a stage 10 and a slit nozzle 30 is mounted on the upper side of the substrate 20 by driving of a driving unit 50 The chemical solution 40 is applied to the surface of the substrate 20 while moving along the space.

도 1에서 X축은 슬릿 노즐(30)이 이동하는 수평 방향, Y축은 X축에 직교하는 수평 방향, Z축은 X축 및 Y축에 직교하는 수직 방향을 지칭한다. 상기 슬릿 노즐(30)은 Y축 방향으로 길게 구성되어 있고, 기판(20)은 그 폭 방향이 Y축 방향과 일치되도록 스테이지(10) 상에 안착된다.1, the X axis indicates the horizontal direction in which the slit nozzle 30 moves, the Y axis indicates the horizontal direction orthogonal to the X axis, and the Z axis indicates the vertical direction orthogonal to the X axis and the Y axis. The slit nozzle 30 is elongated in the Y-axis direction, and the substrate 20 is placed on the stage 10 so that its width direction coincides with the Y-axis direction.

도 2와 도 3을 참조하면, 상기 슬릿 노즐(30)은, 대향하는 제1몸체(31)와 제2몸체(32)를 구비하고, 상기 제1몸체(31)와 제2몸체(32) 사이에 형성된 유입 유로(34)를 통해 공급된 약액(40)은, 그 하측에 순차로 형성된 캐비티(35)와 토출 유로(36) 및 토출구(37)를 통하여 기판(20)의 표면에 분사되어 도포된다. 2 and 3, the slit nozzle 30 includes a first body 31 and a second body 32 facing each other, and the first body 31 and the second body 32, The chemical liquid 40 supplied through the inflow channel 34 formed between the substrate 20 and the substrate 20 is sprayed onto the surface of the substrate 20 through the cavity 35, the discharge passage 36, and the discharge port 37, .

그리고, 상기 제1몸체(31)와 제2몸체(32) 사이에는 상기 토출구(37)의 갭(Gap)을 조정하기 위한 갭조정부재(33)가 개재된다. 상기 토출구(37)의 갭은 두께를 달리하는 갭조정부재(33)를 선택하여 제1몸체(31)와 제2몸체(32) 사이에 장착함으로써 조정될 수 있다.A gap adjusting member 33 for adjusting the gap of the discharge port 37 is interposed between the first body 31 and the second body 32. The gap of the discharge port 37 can be adjusted by selecting a gap adjusting member 33 having a different thickness and mounting it between the first body 31 and the second body 32.

상기 캐비티(35)는 유입 유로(34)를 통과한 약액(40)이 그 내부공간에 충진되도록 하여 캐비티(35) 내에 약액(40)의 충진이 완료되면 일정한 압력이 캐비티(35) 내에 가해져 캐비티(35)의 하측에 연결된 토출 유로(36)를 통해 토출구(37)로 약액(40)이 공급되도록 함으로써, 약액(40)이 토출구(36)의 Y축 방향 전체 영역에 걸쳐 균일하게 분산되도록 하는 기능을 한다.The cavity 35 is filled with the chemical liquid 40 that has passed through the inflow channel 34. When the filling of the chemical liquid 40 is completed in the cavity 35 by applying the chemical liquid 40 to the cavity 35, a certain pressure is applied to the cavity 35, The chemical solution 40 is supplied to the discharge port 37 through the discharge passage 36 connected to the lower side of the discharge port 35 so that the chemical solution 40 is uniformly dispersed over the entire area of the discharge port 36 in the Y- Function.

도 3을 참조하면, 종래의 슬릿 노즐(30)에 구비되는 갭조정부재(33)는, 제1몸체(31)와 제2몸체(32)의 대향면의 상부면에 접촉되는 수평부(33a)와, 상기 수평부(33a)의 양측부에서 각각 하방으로 연장되어 제1몸체(31)와 제2몸체(32)의 대향면의 Y축 방향 양측부면에 접촉되는 수직부(33b)와, 상기 수평부(33a)와 양측의 수직부(33b) 사이에 형성되어 약액(40)의 유로를 제공하는 개구부(33c)로 구성된다.3, the gap adjusting member 33 provided in the conventional slit nozzle 30 includes a horizontal portion 33a contacting the upper surface of the opposed surface of the first body 31 and the second body 32, Vertical portions 33b extending downward from both side portions of the horizontal portion 33a and contacting both side surfaces of the opposite surfaces of the first body 31 and the second body 32 in the Y axis direction, And an opening 33c formed between the horizontal portion 33a and the vertical portions 33b on both sides to provide a flow path for the chemical liquid 40. [

그리고, 상기 양측에 구비된 수직부(33b)의 대향하는 내측면(33b')은 수직한 직선형으로 형성되어 있다. 이와 같은 구조로 이루어진 갭조정부재는 공개특허 제10-2015-0031820호에 개시되어 있다.The opposing inner side surfaces 33b 'of the vertical portions 33b provided on both sides are formed in a straight linear shape. A gap adjusting member having such a structure is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 10-2015-0031820.

그러나, 상기와 같이 수직부(33b)의 대향하는 내측면(33b')이 수직한 직선형으로 이루어진 구조에 의하면, 유입 유로(34)를 통해 갭조정부재(33)의 개구부(33c)의 중간부로 유입된 약액(40)이 갭조정부재(33)의 중간부에서 양측부로 분산되어 이동함에 있어서 양측부로 갈수록 전단력이 점차 커지게 되므로, 약액(40)이 개구부(33c)의 양측부로 편중되어 공급됨에 따라 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이 기판(20)의 표면에 도포되는 약액(40)의 양측부가 기타 영역에 비해 상측으로 볼록한 형태(40a)로 과다하게 도포되어 약액 코팅막의 균일도가 저하되고, 이로 인해 제품의 불량을 초래할 뿐만 아니라 약액(40)의 불필요한 낭비를 초래하는 문제점이 있었다.However, according to the structure in which the opposing inner side surfaces 33b 'of the vertical portion 33b are perpendicular to each other as described above, it is possible to prevent the vertical movement of the gap adjusting member 33 from the middle portion of the opening portion 33c of the gap adjusting member 33 through the inflow passage 34 The shear force gradually increases toward both sides when the inflow chemical liquid 40 is dispersed and moved from the middle portion of the gap adjusting member 33 to the both side portions so that the chemical liquid 40 is supplied to both sides of the opening portion 33c in a concentrated manner As shown in FIG. 4 (a), both sides of the chemical liquid 40 applied to the surface of the substrate 20 are excessively coated with the convex shape 40a upward in comparison with other regions, so that the uniformity of the chemical liquid coating film is lowered Thereby causing defective products and unnecessary waste of the chemical liquid 40.

또한, 갭조정부재(33)의 재질과 약액(40)의 점도 특성에 따라서는 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 기판(20)의 표면에 도포되는 약액(40)의 양측부가 기타 영역에 비해 하측으로 오목한 형태(40b)로 과소하게 도포되어 약액 코팅막의 균일도가 저하되고, 이로 인해 제품의 불량을 초래하는 문제점이 있었다.4 (b), depending on the material of the gap adjusting member 33 and the viscosity characteristics of the chemical liquid 40, both side portions of the chemical liquid 40 applied to the surface of the substrate 20 may have other regions And the uniformity of the liquid coating film is lowered, thereby causing a problem of defective products.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 약액이 분사되는 토출구의 갭 조정을 가능하도록 함과 아울러 기판 표면에 도포되는 약액 코팅막의 균일도를 향상시킬 수 있는 슬릿 노즐을 제공함에 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been conceived to solve the problems described above, and it is an object of the present invention to provide a slit nozzle capable of adjusting a gap of a discharge port through which a chemical liquid is injected and improving the uniformity of a chemical- .

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 슬릿 노즐은, 기판의 표면에 약액을 분사하기 위한 슬릿 노즐에 있어서, 양측에 대향 배치되어 대향면 사이의 간극을 통하여 약액이 공급되도록 하고, 상기 간극의 하단에 약액의 토출구를 형성하는 제1몸체와 제2몸체, 및 상기 토출구의 갭을 조정하기 위해 상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 사이에 개재되는 갭조정부재를 포함하되, 상기 토출구의 길이방향 양측부에 위치하는 상기 갭조정부재의 양측부의 대향하는 내측면에는, 상기 약액이 상기 기판의 표면에 균일하게 분산되어 공급되도록 유도하기 위한 경사면이 형성된 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a slit nozzle for spraying a chemical liquid on a surface of a substrate, the slit nozzle being opposed to both sides of the slit nozzle for supplying a chemical solution through a gap between opposite surfaces, And a gap adjusting member interposed between the first body and the second body so as to adjust a gap between the first body and the second body, the gap adjusting member being disposed between the first body and the second body, The inclined surfaces for guiding the chemical liquid to be uniformly dispersed and supplied to the surface of the substrate are formed on the opposing inner surfaces of the opposite sides of the gap adjusting member located on both side portions in the longitudinal direction of the substrate.

상기 갭조정부재는, 상기 제1몸체부와 제2몸체부의 대향면의 상부면에 접촉되는 수평부와, 상기 수평부의 양측부에서 각각 하방으로 연장되어 상기 제1몸체부와 제2몸체부의 대향면의 길이방향 양측부면에 접촉되는 수직부와, 상기 수평부와 양측의 수직부 사이에 형성되어 약액의 유로를 제공하는 개구부로 이루어지고, 상기 경사면은, 상기 개구부의 양측부에 위치하는 상기 수직부의 대향하는 내측면에 각각 형성될 수 있다.The gap adjusting member may include a horizontal portion contacting the upper surface of the opposed surface of the first body portion and the second body portion and a second portion extending downward from both side portions of the horizontal portion to oppose the first body portion and the second body portion, Wherein the inclined surface comprises a vertical portion that is in contact with both side surfaces in the longitudinal direction of the surface, and an opening that is provided between the horizontal portion and the vertical portion on both sides to provide a flow path for the chemical liquid, Respectively.

상기 경사면은 상단에서 하단으로 갈수록 상기 개구부의 외측으로 경사지게 형성되어 상기 개구부의 하단 양측부가 확장되도록 구성될 수 있다.The inclined surface may be inclined to the outer side of the opening toward the lower end so that both sides of the lower end of the opening may be expanded.

상기 경사면은 상단에서 하단으로 갈수록 상기 개구부의 내측으로 경사지게 형성되어 상기 개구부의 하단 양측부가 축소되도록 구성될 수 있다.The inclined surface may be formed to be inclined toward the inside of the opening toward the lower end from the upper end so that both sides of the lower end of the opening are reduced.

상기 갭조정부재는 두께를 달리하여 복수로 구비되어 상기 약액의 점도에 대응하여 상기 토출구의 갭이 조정되도록 교체되어 장착될 수 있다.The gap adjusting members may be provided in a plurality of different thicknesses so that the gaps of the ejection orifices may be adjusted to correspond to the viscosity of the chemical liquid.

상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 중 어느 하나 이상에는 상기 약액의 유로를 형성하는 요홈부가 형성될 수 있다.At least one of the opposing surfaces of the first body and the second body may be formed with a groove for forming the flow path of the chemical liquid.

상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 중 어느 하나 이상에는 약액이 충진되는 캐비티가 형성되고, 상기 캐비티는 중간부를 정점으로 하여 양측부 간의 사이각이 수평이 아닌 구조로 형성될 수 있다.A cavity filled with a chemical solution may be formed on at least one of the opposing surfaces of the first body and the second body, and the cavity may have a structure in which the angle between the two side portions is not horizontal, with the intermediate portion as a vertex.

상기 캐비티는 상기 중간부를 정점으로 하여 상기 양측부가 하향 경사지게 형성될 수 있다.The cavity may be formed such that both side portions thereof are inclined downward with the intermediate portion as a vertex.

상기 캐비티의 중간부와 양측부에는 상기 캐비티에 수용된 약액에 포함된 기포를 배출하기 위한 배기구가 각각 연결될 수 있다.And an exhaust port for discharging bubbles contained in the chemical solution contained in the cavity may be connected to the intermediate portion and both side portions of the cavity.

상기 경사면은 평면 또는 곡면 형상으로 이루어질 수 있다.The inclined surface may be a flat surface or a curved surface.

상기 갭조정부재에는 상기 개구부가 복수로 형성될 수 있다.The gap adjusting member may be formed with a plurality of the openings.

본 발명에 따른 슬릿 노즐에 의하면, 갭조정부재의 양측부 내측면에 경사면을 형성함으로써 갭조정부재의 양측부에서 작용하는 전단력의 차이를 보상하여 갭조정부재의 전체 영역에 걸쳐 전단력이 균일하게 작용하도록 유도함으로써, 기판 표면에 도포되는 약액 코팅막의 균일도를 향상시킬 수 있다.According to the slit nozzle of the present invention, the inclined surfaces are formed on the inner side surfaces of both side portions of the gap adjusting member to compensate for the difference in the shearing force acting on both side portions of the gap adjusting member, so that the shearing force acts uniformly over the entire region of the gap adjusting member The uniformity of the chemical liquid coating film applied to the substrate surface can be improved.

또한 갭조정부재의 재질과 약액의 점도 특성에 대응하여 경사면의 경사진 방향과 각도를 설정함으로써, 다양한 조건에서도 약액 코팅막을 균일하게 도포할 수 있다.Further, by setting the inclination direction and the angle of the inclined surface corresponding to the material of the gap adjusting member and the viscosity characteristic of the chemical liquid, the chemical liquid coating film can be uniformly applied even under various conditions.

또한 캐비티는 중간부에 비해 양측부를 하향 경사지게 형성하여 양측부로 갈수록 전단력이 커지는 구조를 취함으로써, 약액의 정체를 방지하여 노즐의 오염을 방지함과 아울러 약액에 포함된 기포의 배출이 신속하고 원활하게 이루어져 약액의 도포 품질을 향상시킬 수 있다.In addition, the cavity has a structure in which both side portions are formed to be inclined downwardly from the middle portion so that the shear force increases toward both sides, thereby preventing stagnation of the chemical liquid, thereby preventing contamination of the nozzle, So that the coating quality of the chemical liquid can be improved.

도 1은 일반적인 기판 코팅 장치의 구성도,
도 2는 종래 슬릿 노즐의 횡단면도,
도 3은 종래 슬릿 노즐에 구비되는 갭조정부재의 (a) 사시도와, (b) 정면도,
도 4의 (a)와 (b)는 종래 슬릿 노즐을 사용하여 약액을 도포하는 경우에 갭조정부재의 재질과 약액의 점도 특성에 따른 약액 코팅막의 프로파일을 보여주는 단면도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 노즐의 사시도,
도 6은 도 5의 분해 사시도,
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 노즐에 구비되는 갭조정부재의 정면도,
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 노즐을 사용하여 약액을 도포하는 경우에 약액 코팅막의 프로파일을 보여주는 종단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 슬릿 노즐에 구비되는 갭조정부재의 (a) 사시도와, (b) 정면도,
도 10과 도 11은 갭조정부재의 변형 실시예들을 나타낸 정면도. 1 is a structural view of a general substrate coating apparatus;
2 is a cross-sectional view of a conventional slit nozzle,
Fig. 3 is a perspective view of a gap adjusting member provided in a conventional slit nozzle, (b) is a front view,
4 (a) and 4 (b) are cross-sectional views showing the profile of the chemical liquid coating film depending on the material of the gap adjusting member and the viscosity characteristics of the chemical liquid when applying the chemical liquid using the slit nozzle,
5 is a perspective view of a slit nozzle according to an embodiment of the present invention,
Fig. 6 is an exploded perspective view of Fig. 5,
7 is a front view of a gap adjusting member provided in a slit nozzle according to an embodiment of the present invention;
8 is a longitudinal sectional view showing a profile of a chemical solution coating film when a chemical solution is applied using a slit nozzle according to an embodiment of the present invention.
9 is a perspective view (a) of a gap adjusting member provided in a slit nozzle according to another embodiment of the present invention, and FIG. 9 (b) is a front view,
Figs. 10 and 11 are front views showing modified embodiments of the gap adjusting member. Fig.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명의 슬릿 노즐(100)은 기판 코팅 장치에 적용되는 것으로서, 도 1에 도시된 기판 코팅 장치(1)에서 슬릿 노즐(30)을 대체하여 적용될 수 있다. 이하에서는 도 1에 도시된 방향을 기준으로 설명하기로 하며, 동일한 구성요소에는 동일한 도면부호를 사용하기로 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The slit nozzle 100 of the present invention is applied to a substrate coating apparatus, and can be applied by replacing the slit nozzle 30 in the substrate coating apparatus 1 shown in Fig. Hereinafter, the description will be made with reference to the direction shown in FIG. 1, and the same reference numerals will be used for the same components.

도 5 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 슬릿 노즐(100)은, 양측에 대향 배치되어 대향면(110a,120a) 사이의 간극을 통하여 약액(40)이 공급되도록 하고, 상기 간극의 하단에 약액(40)이 토출되는 토출구(125)를 형성하는 제1몸체(110)와 제2몸체(120), 상기 토출구(125)의 갭(G)을 조정하기 위해 상기 제1몸체(110)와 제2몸체(120)의 대향면(110a,120a) 사이에 개재되는 갭조정부재(130)를 포함한다. 그리고, 상기 토출구(125)의 길이방향(Y축 방향) 양측부에 위치하는 상기 갭조정부재(130)의 양측부 내측면(134)에는 약액(40)이 기판(20)의 표면에 균일하게 분산되어 공급되도록 유도하는 경사면(134a)이 형성된다.5 to 8, a slit nozzle 100 according to an embodiment of the present invention is disposed opposite to both sides to supply a chemical solution 40 through a gap between opposing surfaces 110a and 120a, A first body 110 and a second body 120 that form a discharge port 125 through which the chemical liquid 40 is discharged at the lower end of the gap and a second body 120 that forms a discharge gap 125 between the first body 110 and the second body 120, And a gap adjusting member 130 interposed between the body 110 and the opposing faces 110a and 120a of the second body 120. [ The chemical solution 40 is uniformly applied to the surface of the substrate 20 on both side inner side surfaces 134 of the gap adjusting member 130 located on both sides of the discharge port 125 in the longitudinal direction An inclined surface 134a is formed to induce dispersion and supply.

상기 제1몸체(110)와 제2몸체(120) 및 갭조정부재(130)에는 일정 간격으로 다수개의 체결공(111,121,135)이 형성되고, 상기 제1몸체(110)와 제2몸체(120) 및 갭조정부재(130)는 상기 체결공(111,121,135)을 관통하는 체결부재(미도시됨)에 의해 상호 결합될 수 있다. A plurality of fastening holes 111, 121 and 135 are formed at predetermined intervals in the first body 110, the second body 120 and the gap adjusting member 130. The first body 110 and the second body 120, And the gap adjusting member 130 may be coupled to each other by a fastening member (not shown) passing through the fastening holes 111, 121, and 135.

본 실시예에서 상기 제1몸체(110)와 제2몸체(120)의 대향면(110a,120a) 중, 제1몸체(110)의 대향면(110a)은 평평한 형상으로 형성되고, 제2몸체(120)의 대향면(120a)에는 약액(40)이 공급되는 유로를 형성하기 위한 요홈부(123)가 형성된다.In this embodiment, of the opposed surfaces 110a and 120a of the first and second bodies 110 and 120, the opposed surface 110a of the first body 110 is formed in a flat shape, A recessed portion 123 for forming a flow path through which the chemical liquid 40 is supplied is formed on the opposing face 120a of the substrate 120. [

상기 제2몸체(120)에는 X축 방향으로 관통되어 약액(40)이 유입되는 약액 유입구(122)가 형성되고, 상기 약액 유입구(122)의 하측으로 상기 요홈부(123)에는 약액(40)이 충진되는 캐비티(124)가 형성되고, 상기 캐비티(124)의 하측으로 제1몸체(110)와 제2몸체(120)의 대향면(110a,120a) 사이의 간극에 의해 약액(40)이 분사되는 토출구(125)가 형성된다.The second body 120 has a chemical solution inlet 122 through which the chemical solution 40 flows in the X axis direction and a chemical solution 40 is introduced into the recessed portion 123 below the chemical solution inlet 122. [ The chemical solution 40 is formed by the gap between the first body 110 and the opposing surfaces 110a and 120a of the second body 120 to the lower side of the cavity 124. [ A discharge port 125 to be sprayed is formed.

도 6과 도 7을 참조하면, 상기 갭조정부재(130)는, 제1몸체부(110)와 제2몸체부(120)의 대향면(110a,120a)의 상부면에 접촉되는 수평부(131)와, 상기 수평부(131)의 양측부에서 각각 하방으로 연장되어 제1몸체부(110)와 제2몸체부(120)의 대향면(110a,120a)의 길이방향 양측부면에 접촉되는 수직부(132)와, 상기 수평부(131)와 양측의 수직부(132) 사이에 형성되어 약액(40)의 유로를 제공하는 개구부(133)로 이루어진다. 그리고, 상기 개구부(133)의 양측부에 위치하는 수직부(132)의 대향하는 내측면(134)에는 경사면(134a)이 형성된다.6 and 7, the gap adjusting member 130 includes a horizontal portion (not shown) contacting the upper surfaces of the opposed surfaces 110a and 120a of the first body portion 110 and the second body portion 120 And the second body portion 120 extends downward from both sides of the horizontal portion 131 to be in contact with both side surfaces of the first body portion 110 and the second body portion 120 in the longitudinal direction of the opposite surfaces 110a and 120a A vertical portion 132 and an opening 133 formed between the horizontal portion 131 and the vertical portions 132 on both sides to provide a flow path for the chemical liquid 40. An inclined surface 134a is formed on the opposing inner side surface 134 of the vertical portion 132 located on both sides of the opening 133. [

본 실시예에서, 상기 경사면(134a)은 상단에서 하단으로 갈수록 상기 개구부(133)의 외측으로 경사지게 형성되어 개구부(133)의 하단 양측부가 확장되도록 형성된다. In the present embodiment, the inclined surface 134a is inclined to the outside of the opening 133 from the upper end to the lower end so that both sides of the lower end of the opening 133 are extended.

도 8을 참조하면, 상기와 같이 경사면(134a)이 개구부(133)의 외측으로 경사지게 형성된 구조에 의하면, 약액 유입구(122)를 통해 유입된 약액(40)이 상기 요홈부(123)와 캐비티(124) 및 개구부(133)를 거치면서 개구부(133)의 중간부에서 양측 방향으로 분산되어 유동하는 과정에서 상기 개구부(133)의 양측부로 갈수록 전단력이 크게 작용하는 경우에도 상기 경사면(134a)에 의해 토출구(125)의 양측부에서 약액(40)의 유동 통로가 넓게 확보되므로 전단력의 차이를 보상하여 토출구(125)의 Y축 방향 전체 영역에 걸쳐 전단력이 균일하게 작용하도록 유도함으로써, 약액(40)이 균일하게 분산되어 기판(20)의 표면에 도포되는 약액 코팅막의 균일도를 향상시킬 수 있다.8, the inclined plane 134a is inclined to the outside of the opening 133, so that the chemical liquid 40 introduced through the chemical liquid inlet 122 flows into the cavity 123 Even when the shear force acts on both sides of the opening 133 largely in the course of scattering and flowing in both directions from the middle portion of the opening 133 through the openings 133 and 124 and the openings 133, Since the flow path of the chemical liquid 40 is secured widely at the both side portions of the discharge port 125, the difference in shear force is compensated to induce the shear force to act uniformly over the entire region of the discharge port 125 in the Y- Uniformity of the liquid coating film applied to the surface of the substrate 20 can be improved.

한편, 도 8에 도시된 바와 같이 상기 캐비티(124)는 중간부(124a)를 정점으로 하여 양측부(124b) 간의 사이각(θ)이 수평이 아닌 구조로 형성된다. 본 실시예에서, 상기 캐비티(124)는 중간부(124a)을 기준으로 그 양측부(124b)가 하향 경사지게 형성된다. 즉, 상기 사이각(θ)은 180°보다 작은 각도로 형성된다. 8, the cavity 124 is formed such that the angle? Between the side portions 124b is not horizontal, with the intermediate portion 124a as a vertex. In the present embodiment, the cavity 124 is formed such that its both side portions 124b are inclined downward with respect to the intermediate portion 124a. That is, the angle? Is formed at an angle smaller than 180 degrees.

그리고, 상기 약액 유입구(122)는 캐비티(124)의 중간부(124a)의 직상방에 연결되도록 형성된다. 또한, 상기 제1몸체(110)에는 상기 캐비티(124)의 중간부(124a)와 양측부(124b)에 대응되는 위치에 각각 배기구(112)가 연결되어 있다. 상기 배기구(112)는 상기 캐비티(124)에 수용된 약액(40)에 포함된 기포를 외부로 배출하기 위한 구성이다.The chemical solution inlet 122 is formed so as to be connected to the upper chamber of the intermediate portion 124a of the cavity 124. An exhaust port 112 is connected to the first body 110 at positions corresponding to the intermediate portion 124a and the opposite side portions 124b of the cavity 124, respectively. The exhaust port 112 is configured to discharge the bubbles contained in the chemical solution 40 contained in the cavity 124 to the outside.

이와 같이 캐비티(124)가 그 중간부(124a)를 정점으로 하여 양측부(124b)로 갈수록 하향의 경사를 갖도록 형성되고, 상기 중간부(124a)와 양측부(124b)에 각각 배기구(112)가 연결되도록 구성함으로써, 캐비티(124)에 수용되는 약액(40)에 포함된 기포는 부력에 의해 경사면을 타고 부상한 후에 중간부(124a)에 연결되는 배기구(112)를 통하여 신속하고 원활하게 배기될 수 있고, 나머지 기포는 캐비티(124)의 양측부(124b)에 각각 연결된 배기구(112)를 통하여 배기될 수 있다.The cavity 124 is formed to have a downward inclination toward the both side portions 124b with the intermediate portion 124a as a vertex and the exhaust port 112 is formed in the intermediate portion 124a and the both side portions 124b, The bubbles contained in the chemical solution 40 contained in the cavity 124 float on the inclined surface due to the buoyancy force and are quickly and smoothly discharged through the exhaust port 112 connected to the intermediate portion 124a, And the remaining bubbles can be exhausted through the exhaust ports 112 connected to the opposite side portions 124b of the cavity 124, respectively.

또한, 이러한 캐배티(124)의 경사진 구조에 의하면, 캐비티(124)의 중간부(124a)에서 양측부(124b)로 갈수록 전단력이 점차로 커지게 되어 약액 유입구(122)를 통하여 캐비티(124) 내로 유입된 약액(40)은 중간부(124a)에서 양측부(124b)로 원활하게 분산되어 이동할 수 있게 되어, 캐비티(124) 내에서 약액(40)의 정체현상을 방지하여 약액(40)의 오염을 최소화할 수 있는 효과가 있다.According to the inclined structure of the cavity 124, the shear force gradually increases from the intermediate portion 124a to the both side portions 124b of the cavity 124, so that the cavity 124 flows through the chemical liquid inlet 122, The drug solution 40 flowing into the cavity 124 can be smoothly dispersed and moved from the intermediate portion 124a to the both side portions 124b so as to prevent congestion of the drug solution 40 in the cavity 124, There is an effect that contamination can be minimized.

이하, 도 9 내지 11을 참조하여, 본 발명의 슬릿 노즐(100)에 구비되는 갭조정부재의 다양한 변형 실시예들을 설명한다.Hereinafter, various modified embodiments of the gap adjusting member provided in the slit nozzle 100 of the present invention will be described with reference to Figs.

도 9에 도시된 갭조정부재(130-1)는 전술한 실시예와 비교하여 수직부(132)의 내측면(134)에 형성된 경사면(134b)이 상단에서 하단으로 갈수록 개구부(133)의 내측으로 경사지게 형성되어 개구부(133)의 하단 양측부가 축소되도록 형성된 점에서 차이가 있고, 기타의 구성은 전술한 실시예와 동일하게 구성될 수 있다.The gap adjusting member 130-1 shown in Fig. 9 is different from the above embodiment in that the inclined surface 134b formed on the inner side surface 134 of the vertical portion 132 is inclined toward the inner side of the opening 133 And the lower end portions of the opening 133 are reduced. The other configurations are the same as those of the above-described embodiment.

본 실시예에 따른 경사면(134b)의 구성에 의하면, 전술한 도 4의 (b)에서와 같이 갭조정부재(130-1)와 약액(40)의 점도 특성에 의해 기판(20)의 양측부에 약액(40)이 과소하게 도포되는 경우와 같이, 개구부(133)의 양측부로 갈수록 전단력이 작게 작용하는 경우에도 상기 경사면(134b)에 의해 토출구(125)의 양측부에서 약액(40)의 유동 통로를 좁혀 약액(40)이 내측을 향하여 유동하도록 유도함으로써 전단력의 차이를 보상하여 토출구(125)의 Y축 방향 전체 영역에 걸쳐 전단력이 균일하게 작용하도록 유도할 수 있다. 이에 따라 약액(40)이 균일하게 분산되어 기판(20)의 표면에 도포되는 약액 코팅막의 균일도를 향상시킬 수 있다. According to the configuration of the inclined surface 134b according to the present embodiment, the viscosity of the gap adjusting member 130-1 and the chemical liquid 40 can be adjusted to the both side portions of the substrate 20 The flow of the chemical liquid 40 at the both sides of the discharge port 125 by the inclined surface 134b can be prevented even when the shear force acts on both sides of the opening 133 as if the chemical liquid 40 is excessively applied to the discharge port 125. [ It is possible to induce the shear force to act uniformly over the entire area of the discharge port 125 in the Y-axis direction by compensating for the difference in shear force by guiding the chemical solution 40 to flow inward. Accordingly, the chemical solution 40 can be uniformly dispersed to improve the uniformity of the chemical solution coating film applied to the surface of the substrate 20.

도 10에 도시된 갭조정부재(130-2)는 전술한 도 7의 실시예에서 개구부(133)가 복수로 형성되고, 양측의 수직부(132) 사이의 중간 영역에는 중간부(132')가 추가로 형성된 실시예를 나타낸 것이다. 도 11에 도시된 갭조정부재(130-3)는 전술한 도 9의 실시예에서 개구부(133)가 복수로 형성되고, 양측의 수직부(132) 사이의 중간 영역에는 중간부(132')가 추가로 형성된 실시예를 나타낸 것이다. The gap regulating member 130-2 shown in FIG. 10 has a plurality of openings 133 in the embodiment of FIG. 7 described above, and the intermediate portion 132 'is formed at an intermediate region between the vertical portions 132 on both sides. Are further formed. The gap adjusting member 130-3 shown in FIG. 11 has a plurality of openings 133 in the embodiment of FIG. 9 described above, and the intermediate portion 132 'is formed in an intermediate region between the vertical portions 132 on both sides. Are further formed.

상기 도 10과 도 11에 도시된 바와 같이 개구부(133)를 복수로 형성할 경우에는 슬릿 노즐(100)의 토출구(125) 또한 상기 개구부(133)와 대응되는 영역에 복수로 형성되며, 이와 같은 구성에 의하면 한 번의 도포 공정에 의하여 기판(20)의 표면에 복수로 분할된 영역에 약액(40)을 동시에 도포할 수 있는 이점이 있다.10 and 11, when a plurality of openings 133 are formed, a plurality of discharge ports 125 of the slit nozzles 100 are also formed in a region corresponding to the openings 133, According to the constitution, there is an advantage that the chemical liquid 40 can be simultaneously applied to a plurality of divided areas on the surface of the substrate 20 by a single coating step.

한편, 상기와 같이 구성된 갭조정부재(130)는 두께를 달리하여 복수로 구비되어 약액(40)의 점도에 대응하여 상기 토출구(125)의 갭(G)이 설정된 크기로 조정되도록 교체되어 장착될 수 있다.The gap adjusting members 130 are formed in a plurality of different thicknesses so that the gaps G of the discharge openings 125 are adjusted to a predetermined size corresponding to the viscosity of the chemical liquid 40, .

본 명세서에서는 상기 경사면(134a,134b)이 평면 형상으로 이루어진 경우를 예로 들었으나, 상기 경사면(134a,134b)은 개구부(133)의 양측부에서의 전단력의 차이를 균일하게 보상할 수 있는 구조로서 곡면 등의 다양한 형태로 변형 실시될 수 있다.In this specification, the inclined surfaces 134a and 134b have a planar shape. However, the inclined surfaces 134a and 134b have a structure capable of uniformly compensating a difference in shear force at both sides of the opening 133 A curved surface, or the like.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various changes and modifications may be made without departing from the scope of the present invention as defined in the appended claims. And such modifications are within the scope of the present invention.

1 : 기판 코팅 장치 10 : 스테이지
20 : 기판 30 : 슬릿 노즐
31 : 제1몸체 32 : 제2몸체
33 : 갭조정부재 33a : 수평부
33b : 수직부 33b' : 내측면
33c : 개구부 34 : 유입 유로
35 : 캐비티 36 : 토출 유로
37 : 토출구 40 : 약액
50 : 구동부 100 : 슬릿 노즐
110a : 대향면 110 : 제1몸체
111 : 체결공 112 : 배기구
120 : 제2몸체 120a : 대향면
121 : 체결공 122 : 약액 유입구
123 : 오홈부 124 : 캐비티
124a : 중간부 124b : 양측부
125 : 토출구 130,130-1,130-2,130-3 : 갭조정부재
131 : 수평부 132 : 수직부
133 : 개구부 134 : 내측면
134a,134b : 경사면 135 : 체결공1: substrate coating apparatus 10: stage
20: substrate 30: slit nozzle
31: first body 32: second body
33: gap adjusting member 33a:
33b: vertical part 33b ': inner side
33c: opening 34:
35: Cavity 36: Discharge channel
37: discharge port 40: chemical solution
50: driving part 100: slit nozzle
110a: opposing face 110: first body
111: fastening hole 112: exhaust port
120: second body 120a: opposing face
121: fastening hole 122: chemical solution inlet
123: O-grooves 124: Cavities
124a: intermediate portion 124b:
125: discharge port 130,130-1,130-2,130-3: gap adjusting member
131: horizontal part 132: vertical part
133: opening 134: inner side
134a, 134b: inclined surface 135:

Claims (11)

기판의 표면에 약액을 분사하기 위한 슬릿 노즐에 있어서,
양측에 대향 배치되어 대향면 사이의 간극을 통하여 약액이 공급되도록 하고, 상기 간극의 하단에 약액의 토출구를 형성하는 제1몸체와 제2몸체;
상기 토출구의 갭을 조정하기 위해 상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 사이에 개재되는 갭조정부재;를 포함하되,
상기 토출구의 길이방향 양측부에 위치하는 상기 갭조정부재의 양측부의 대향하는 내측면에는, 상기 약액이 상기 기판의 표면에 균일하게 분산되어 공급되도록 유도하기 위한 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.A slit nozzle for spraying a chemical liquid onto a surface of a substrate,
A first body and a second body arranged opposite to each other to supply a chemical solution through a gap between the opposing surfaces and form a discharge port of the chemical liquid at a lower end of the gap;
And a gap adjusting member interposed between the first body and the second body so as to adjust the gap of the discharge port,
Wherein sloped surfaces are formed on opposite inner surfaces of both side portions of the gap adjusting member located on both sides in the longitudinal direction of the discharge port to guide the chemical liquid to be uniformly dispersed and supplied to the surface of the substrate. 제1항에 있어서,
상기 갭조정부재는, 상기 제1몸체부와 제2몸체부의 대향면의 상부면에 접촉되는 수평부와, 상기 수평부의 양측부에서 각각 하방으로 연장되어 상기 제1몸체부와 제2몸체부의 대향면의 길이방향 양측부면에 접촉되는 수직부와, 상기 수평부와 양측의 수직부 사이에 형성되어 약액의 유로를 제공하는 개구부로 이루어지고,
상기 경사면은, 상기 개구부의 양측부에 위치하는 상기 수직부의 대향하는 내측면에 각각 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
The gap adjusting member may include a horizontal portion contacting the upper surface of the opposed surface of the first body portion and the second body portion and a second portion extending downward from both side portions of the horizontal portion to oppose the first body portion and the second body portion, A vertical portion which is in contact with both side surfaces in the longitudinal direction of the surface, and an opening portion provided between the horizontal portion and the vertical portions on both sides to provide a flow path for the chemical solution,
Wherein the inclined surface is formed on opposite inner surfaces of the vertical portion located at both side portions of the opening portion. 제2항에 있어서,
상기 경사면은 상단에서 하단으로 갈수록 상기 개구부의 외측으로 경사지게 형성되어 상기 개구부의 하단 양측부가 확장되도록 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.3. The method of claim 2,
Wherein the inclined surface is inclined to the outer side of the opening from the upper end to the lower end so that the lower end portions of the opening are expanded. 제2항에 있어서,
상기 경사면은 상단에서 하단으로 갈수록 상기 개구부의 내측으로 경사지게 형성되어 상기 개구부의 하단 양측부가 축소되도록 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.3. The method of claim 2,
Wherein the inclined surface is inclined to the inside of the opening toward the lower end so that both sides of the lower end of the opening are reduced. 제1항에 있어서,
상기 갭조정부재는 두께를 달리하여 복수로 구비되어 상기 약액의 점도에 대응하여 상기 토출구의 갭이 조정되도록 교체되어 장착되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
Wherein the plurality of gap adjustment members are provided in a plurality of different thicknesses so that the gap adjustment member is installed to be replaced in such a manner that the gap of the discharge port is adjusted corresponding to the viscosity of the chemical solution. 제1항에 있어서,
상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 중 어느 하나 이상에는 상기 약액의 유로를 형성하는 요홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the opposing surfaces of the first body and the second body is provided with a groove portion for forming the flow path of the chemical liquid. 제1항에 있어서,
상기 제1몸체와 제2몸체의 대향면 중 어느 하나 이상에는 약액이 충진되는 캐비티가 형성되고,
상기 캐비티는 중간부를 정점으로 하여 양측부 간의 사이각이 수평이 아닌 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
And a cavity filled with a chemical solution is formed on at least one of the opposing surfaces of the first body and the second body,
Wherein the cavity has a structure in which the angle between the both side portions is not horizontal, with the intermediate portion as a vertex. 제7항에 있어서,
상기 캐비티는 상기 중간부를 정점으로 하여 상기 양측부가 하향 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 듀얼 캐비티 슬릿 노즐.8. The method of claim 7,
Wherein the cavity is formed such that both sides of the cavity are inclined downward with the intermediate portion as a vertex. 제8항에 있어서,
상기 캐비티의 중간부와 양측부에는 상기 캐비티에 수용된 약액에 포함된 기포를 배출하기 위한 배기구가 각각 연결된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.9. The method of claim 8,
Wherein an exhaust port for discharging the bubbles contained in the chemical solution contained in the cavity is connected to the intermediate portion and both side portions of the cavity. 제1항에 있어서,
상기 경사면은 평면 또는 곡면 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.The method according to claim 1,
Wherein the inclined surface has a flat or curved shape. 제2항에 있어서,
상기 갭조정부재에는 상기 개구부가 복수로 형성된 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.3. The method of claim 2,
Wherein a plurality of the opening portions are formed in the gap adjusting member.
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KR20210112730A (en) * 2020-03-06 2021-09-15 주식회사 지아이텍 Injection nozzle for supplying coating liquid
KR20220008762A (en) * 2020-07-14 2022-01-21 주식회사 엘지에너지솔루션 Die Coater And The Apparatus For Inspecting Thereof

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