KR20180037133A - A surface-treated copper foil for a printed wiring board, a copper clad laminate for a printed wiring board and a printed wiring board - Google Patents

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다카히로 사이토
다케시 에주라
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후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤
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Abstract

조화 입자가 형성된 표면에 실란 커플링제층을 가지는 프린트 배선판용 표면 처리 동박으로서,
상기 실란 커플링제층 표면에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.5μm 미만이며,
상기 실란 커플링제층 표면의 BET 표면적비가 1.2 이상, 미세 표면 계수 Cms가 2.0 이상 8.0 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
A surface-treated copper foil for a printed wiring board having a silane coupling agent layer on a surface on which roughening particles are formed,
Wherein the average height of the roughening particles in the surface of the silane coupling agent layer is 0.05 탆 or more and less than 0.5 탆,
Wherein the BET surface area ratio of the surface of the silane coupling agent layer is 1.2 or more and the fine surface coefficient Cms is 2.0 or more and less than 8.0.

Description

프린트 배선판용 표면 처리 동박, 프린트 배선판용 구리 피복 적층판 및 프린트 배선판A surface-treated copper foil for a printed wiring board, a copper clad laminate for a printed wiring board and a printed wiring board

본 발명은, 프린트 배선판용 표면 처리 동박(銅箔)에 관한 것이다. 또한 본 발명은, 상기 프린트 배선판용 표면 처리 동박을 이용한 프린트 배선판용 구리 피복 적층판(COPPER CLAD LAMINATE) 및 프린트 배선판에 관한 것이다. The present invention relates to a surface-treated copper foil for a printed wiring board. The present invention also relates to a copper clad laminate for a printed wiring board using the surface-treated copper foil for a printed wiring board and a printed wiring board.

최근, 컴퓨터나 정보 통신 기기의 고성능·고기능화나, 네트워크화의 진전에 수반하여, 대용량의 정보를 보다 고속으로 전달 처리할 필요가 생기고 있다. 이 때문에, 전달되는 신호는 점점 더 고주파화되는 경향이 있고, 고주파 신호의 전송 손실을 억제한 프린트 배선판이 요구되고 있다. 프린트 배선판의 제작에는, 통상, 동박과 절연성 기재(수지 기재)를 적층하고, 이것을 가열, 가압하여 접착한 구리 피복 적층판을 제작하고, 이 구리 피복 적층판을 이용하여 도체 회로가 형성된다. 이 도체 회로에 고주파 신호를 전송(고주파 전송)했을 때의 전송 손실에는, 도체 손실, 유전 손실, 복사(輻射) 손실의 3개의 인자가 관계하고 있다. 2. Description of the Related Art In recent years, with the advancement of high performance and high functionality of computers and information communication devices and progress of networking, it has become necessary to transmit large amounts of information at higher speeds. Therefore, a signal to be transmitted tends to be increased in frequency, and a printed wiring board in which the transmission loss of a high-frequency signal is suppressed is required. In the production of a printed wiring board, a copper-clad laminated board is usually produced by laminating a copper foil and an insulating base material (resin base) and heating and pressing them, and a conductor circuit is formed by using this copper clad laminate. Three factors of the conductor loss, the dielectric loss and the radiation loss are related to the transmission loss when the high frequency signal is transmitted to the conductor circuit (high frequency transmission).

도체 손실은, 도체 회로의 표피 저항에 기인하는 것이다. 구리 피복 적층판을 이용하여 형성한 도체 회로에 고주파 신호를 전송하면 표피 효과 현상이 생긴다. 즉, 도체 회로에 교류를 흘리면 자속이 변화되어 도체 회로의 중심부에 역기전력이 생기고, 그 결과, 전류가 도체 중심부를 흐르기 어려워지고, 반대로 도체 표면 부분(표피 부분)의 전류 밀도가 높아지는 현상이 생긴다. 이 표피 효과 현상은, 도체의 유효 단면적을 감소시키기 때문에, 이른바 표피 저항이 발생한다. 전류가 흐르는 표피 부분의 두께(표피 깊이)는, 주파수의 제곱근에 반비례한다. The conductor loss is caused by the skin resistance of the conductor circuit. When a high-frequency signal is transmitted to a conductor circuit formed by using a copper clad laminate, a skin effect phenomenon occurs. That is, when the alternating current is passed through the conductor circuit, the magnetic flux changes and a back electromotive force is generated in the center of the conductor circuit. As a result, the current hardly flows through the conductor center. Conversely, the current density of the conductor surface portion (skin portion) increases. This skin effect phenomenon reduces the effective cross-sectional area of the conductor, so that so-called skin resistance occurs. The thickness (skin depth) of the epidermal section through which current flows is inversely proportional to the square root of the frequency.

최근에는 20 GHz를 초과하는 고주파 대응 기기가 개발되고 있다. 주파수가 GHz대의 고주파 신호를 도체 회로에 전송하면, 표피 깊이는 2μm 정도 혹은 그 이하가 되고, 전류는 도체의 극히 표층 밖에 흐르지 않는다. 그러므로, 상기 고주파 대응 기기에 이용하는 구리 피복 적층판에 있어서 동박의 표면 거칠기가 크면, 이 동박에 의해 형성되는 도체의 전송 경로(즉 표피 부분의 전송 경로)가 길어지고, 전송 손실이 증가된다. 따라서, 고주파 대응 기기에 이용하는 구리 피복 적층판의 동박은, 그 표면 거칠기를 작게 하는 것이 바람직하다. Recently, high-frequency devices exceeding 20 GHz have been developed. When a high-frequency signal of a GHz frequency band is transmitted to the conductor circuit, the skin depth becomes about 2 μm or less, and the current does not flow only on the very surface layer of the conductor. Therefore, when the surface roughness of the copper foil is large in the copper-clad laminate used for the high-frequency device, the transmission path of the conductor formed by the copper foil becomes long and the transmission loss increases. Therefore, it is preferable that the surface roughness of the copper foil of the copper clad laminate used in high-frequency equipment is reduced.

한편, 프린트 배선판에 사용되는 동박은 일반적으로, 전기 도금이나 에칭 등의 수법을 이용하여 그 표면에 조화(粗化) 처리층(조화 입자를 형성시킨 층)을 형성하고, 물리적인 효과(앵커 효과)에 의해 수지 기재와의 접착력을 높이고 있다. 그러나, 수지 기재와의 접착력을 효과적으로 높이기 위하여 동박 표면에 형성하는 조화 입자를 크게 하면, 상술한 대로 전송 손실이 증가되어 버린다. On the other hand, a copper foil used for a printed wiring board generally has a roughened layer (a layer in which roughened particles are formed) is formed on its surface by a technique such as electroplating or etching, and a physical effect ) To improve adhesion to the resin substrate. However, if the coarsened particles formed on the surface of the copper foil are increased in order to effectively increase the adhesive force with the resin base material, the transmission loss increases as described above.

유전 손실은, 수지 기재의 유전율이나 유전 정접(誘電正接)에 기인하는 것이다. 펄스 신호를 도체 회로에 흘리면 도체 회로 주위의 전계에 변화가 일어난다. 이 전계의 변화되는 주기(주파수)가 수지 기재의 분극의 완화 시간(분극을 일으키는 하전체(荷電體)의 이동 시간)에 가까워지면(즉 고주파화되면) 전계 변화에 지연이 생긴다. 이러한 상태에 있어서는 수지 내부에 분자 마찰이 생겨서 열이 발생하고, 전송 손실이 된다. 이 유전 손실을 억제하기 위해서는, 구리 피복 적층판의 수지 기재로서 극성이 큰 치환기의 양이 적은 수지나 극성이 큰 치환기를 가지지 않는 수지를 채용하고, 전계 변화에 수반하는 수지 기재의 분극을 생기기 어렵게 할 필요가 있다. The dielectric loss is due to the dielectric constant and dielectric tangent of the resin substrate. When a pulse signal is passed through the conductor circuit, a change occurs in the electric field around the conductor circuit. When the period (frequency) of the change of the electric field becomes closer to the relaxation time of the polarization of the resin base material (the movement time of the charge object causing the polarization) (that is, when the frequency becomes high), a delay occurs in the electric field change. In such a state, molecular friction occurs in the resin, heat is generated, and transmission loss is caused. In order to suppress this dielectric loss, a resin having a small amount of high polarity substituent or a resin having no high polarity substituent is employed as the resin base material of the copper clad laminate, and polarization of the resin base material along with the change in electric field is made difficult There is a need.

한편, 프린트 배선판에 사용되는 동박은, 상기 조화 처리층의 형성에 더하여, 동박 표면을 실란 커플링제로 처리하는 것에 의하여, 수지 기재와의 화학적 접착력을 높이는 일도 행해진다. 실란 커플링제와 수지 기재의 화학적 접착성을 높이기 위해서는, 수지 기재가 어느 정도 극성이 큰 치환기를 가지는 것을 필요로 하지만, 유전 손실을 억제하기 위하여 수지 기재 중의 극성이 큰 치환기의 양을 감소시킨 저유전성 기재를 이용했을 경우, 화학적 접착력이 저하되어, 동박과 수지 기재와의 충분한 접착성이 담보되기 어려워진다. On the other hand, in addition to the formation of the above-mentioned roughening treatment layer, the copper foil used in the printed wiring board may be treated with a silane coupling agent to improve the chemical bonding strength with the resin base material. In order to improve the chemical adhesion between the silane coupling agent and the resin substrate, the resin substrate needs to have a substituent having a certain polarity to some extent. However, in order to suppress the dielectric loss, the resin substrate has a low dielectric constant When the base material is used, the chemical bonding strength is lowered, and sufficient adhesion between the copper foil and the resin base material is difficult to be secured.

이와 같이, 구리 피복 적층판에 있어서, 전송 손실의 억제와, 동박과 수지 기재의 밀착성(접착성)의 향상(내구성의 향상)은, 서로 트레이드 오프의 관계에 있다. As described above, in the copper clad laminate, the transmission loss is suppressed and the adhesiveness (adhesion) between the copper foil and the resin substrate is improved (durability is improved).

최근, 고주파 대응 프린트 배선판은, 보다 신뢰성이 요구되는 분야에 전개되고 있다. 예를 들면, 차재(車載) 용도 등, 이동체 통신의 프린트 배선 기판으로서의 사용에는, 가혹한 환경하에서의 사용에도 견디는 고도의 신뢰성이 요구된다. 이 요구에 대응하는 구리 피복 적층판에는, 동박과 수지 기재의 밀착성을 고도로 높일 필요가 있다. In recent years, high-frequency compatible printed wiring boards have been developed in fields where reliability is more demanded. For example, in the use as a printed wiring board for mobile communication such as a vehicle application, a high reliability that can withstand use under harsh environments is required. In the copper clad laminate corresponding to this demand, it is necessary to highly increase the adhesion between the copper foil and the resin base material.

상기 요구를 만족시키기 위하여 기술 개발이 진행되고 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는, 동박에 조화 입자를 부착시키고, 표면 거칠기 Rz가 1.5 ~ 4.0μm, 명도치(明度値)가 30 이하의 조화면을 형성하고, 상기 조화 입자가 특정의 밀도로 대략 균등하게 분포되고, 상기 조화 입자로부터 형성된 돌기물이 특정의 높이 및 폭을 가지는 표면 처리 동박이 기재되고, 이 표면 처리 동박을 이용하는 것으로, 액정 폴리머를 비롯한 고주파 회로 기판용의 수지 기재와의 밀착성을 높일 수 있는 것이 기재되어 있다. Technological development is proceeding to satisfy the above requirements. For example, Patent Document 1 discloses a method in which coarse particles are adhered to a copper foil to form a roughened surface having a surface roughness Rz of 1.5 to 4.0 μm and a lightness value (brightness value) of 30 or less, A surface treated copper foil which is evenly distributed and has protrusions formed from the above-mentioned roughening particles has a specific height and width. By using the surface treated copper foil, the adhesiveness to a resin substrate for a high frequency circuit board including liquid crystal polymer It can be increased.

스마트폰이나 타블렛 PC 등의 소형 전자 기기에는, 배선의 용이성이나 경량성으로부터 플렉서블 프린트 배선판(이하, FPC)이 채용되고 있다. 최근, 이들의 소형 전자 기기의 고기능화에 수반하여 신호 전송 속도의 고속화가 진행되고, FPC의 임피던스 정합(출력 저항과 입력 저항의 매칭)이 중요해지고 있다. 신호 전송 속도의 고속화에 대한 임피던스 정합의 실현을 위해서, FPC의 베이스가 되는 수지 기재(대표적으로는 폴리이미드)를 후층화(厚層化)하는 것이 행해지고 있다. Flexible printed wiring boards (hereinafter referred to as FPCs) are employed in small electronic devices such as smart phones and tablet PCs because of their ease of wiring and light weight. In recent years, as these small electronic devices have become more sophisticated, signal transmission speeds have increased, and impedance matching (matching of output resistance and input resistance) of the FPC has become important. A resin substrate (typically, polyimide) serving as a base of the FPC is layered (thickened) in order to realize impedance matching for increasing the signal transmission speed.

FPC는, 액정기재에 접합되거나 IC 칩이 탑재되거나 하는 등, 소정의 가공이 실시된다. 이 가공시의 위치 맞춤은, 에칭에 의해 동박이 제거된 부분의 수지 기재를 투과하여 시인(視認)되는(눈으로 인식되는) 위치 결정 패턴을 지표로 하여 행해진다. 이 때문에, 상기 위치 맞춤에 있어서는 수지 기재의 투과성(시인성)이 중요해진다. 이 수지 기재의 투과성은 통상, 가시광선 영역의 전체 광선 투과율이나 흐림도(헤이즈값)을 이용하여 평가되고, 관리되고 있다. 최근, 수지 기재의 후층화나 위치 맞춤 프로세스의 다양화가 진행되고, 에칭 후의 수지 기재에 요구되는 투과성의 레벨은 높아지고 있다. 에칭 후의 수지 기재의 투과성은, 수지 자체의 특성에 더하여 수지 기재에 맞붙여지는 동박의 표면 형상도 크게 영향을 준다. The FPC is subjected to predetermined processing such as bonding to a liquid crystal substrate or mounting of an IC chip. The alignment at the time of machining is performed with the positioning pattern (which is recognized as an eye) which is transmitted through the resin base material of the portion from which the copper foil is removed by etching as an index. For this reason, the permeability (visibility) of the resin substrate becomes important in the alignment. The transparency of this resin base material is generally evaluated and controlled by using the total light transmittance and haze (haze value) in the visible light region. In recent years, diversification of the layering and alignment process of the resin substrate has progressed, and the level of permeability required for the resin substrate after etching has increased. The permeability of the resin substrate after etching greatly affects the surface shape of the copper foil applied to the resin base material in addition to the characteristics of the resin itself.

폴리이미드나 액정 폴리머와 같은 플렉서블성을 가지는 수지 기재는, 고온, 고압 조건으로 동박과 맞붙여진다. 이 때, 동박의 조화 처리면에 형성된 조화 입자의 근원부(根元部)까지 수지가 들어가기 때문에, 조화 입자가 클수록 수지에 전사되는 요철도 깊어지고, 그 결과, 에칭 후의 수지 기재를 투과하는 광은 산란되기 쉽고, 투과성이 떨어지는 경향이 있다. A resin substrate having flexibility such as polyimide or liquid crystal polymer is brought into contact with the copper foil under high temperature and high pressure conditions. At this time, since the resin enters the roots of the roughening particles formed on the roughened surface of the copper foil, the larger the roughening particles are, the deeper the projections and projections transferred to the resin become, and as a result, It tends to be scattered, and the permeability tends to deteriorate.

또한, FPC에 관하여 특허문헌 2에는, 절연층에 접착되는 접착면에 니켈-아연 합금에 의한 방청(防·) 처리층을 구비하고, 상기 접착면의 표면 조도(粗度)(Rz)가 0.05 ~ 1.5μm이며, 입사각 60°에 있어서의 경면 광택도가 250 이상인 전해 동박을 가지는 칩 온 필름(COF) 타입에 적합한 FPC가 기재되고, 이 FPC가 우수한 광투과율을 나타내고, 또한 동박과 수지 기재와의 밀착성도 양호하다고 하는 것이 기재되어 있다. Patent Document 2 discloses an FPC in which an adhesive layer bonded to an insulating layer is provided with an anti-rust treatment layer made of a nickel-zinc alloy, and the surface roughness (Rz) of the adhesive surface is 0.05 (COF) type having an electroconductive copper foil having a specular gloss of at least 250 and an incident angle of 60 DEG or more and having an excellent light transmittance, Is also good.

또한, 특허문헌 3에는, 조화 처리에 의해 조화 입자를 형성하고, 조화 처리면의 평균 거칠기 Rz를 0.5 ~ 1.3μm, 광택도를 4.8 ~ 68로 하고, 조화 입자의 표면적 A와 조화 입자를 상기 동박 표면측으로부터 평면에서 보았을 때에 얻어지는 면적 B와의 비 A/B를 2.00 ~ 2.45로 한 표면 처리 동박이 기재되고, 이 표면 처리 동박과 수지 기판을 적층하여 형성한 구리 피복 적층판이, 동박을 에칭 제거한 후의 수지 투명성이 양호하고, 또한 동박과 수지와의 밀착성이 양호하다고 하는 것이 기재되어 있다. In Patent Document 3, roughened particles are formed by roughening treatment, the roughened surface has an average roughness Rz of 0.5 to 1.3 μm and a gloss of 4.8 to 68, and the surface area A of the roughened particles and the roughening particles Treated copper foil having a ratio A / B to an area B obtained when viewed from the front side from the surface side of the copper foil is 2.00 to 2.45, and the copper-clad laminate formed by laminating the copper foil with the surface- It is described that the resin transparency is good and the adhesion between the copper foil and the resin is good.

일본 특허공보 제4833556호Japanese Patent Publication No. 4833556 일본 특허공보 제4090467호Japanese Patent Publication No. 4090467 일본 특허공보 제5497808호Japanese Patent Publication No. 5497808

상기 특허문헌 1 기재의 표면 처리 동박은, 고주파 대응 수지 기재와의 밀착성은 우수하지만, 이 표면 처리 동박을 이용한 구리 피복 적층판은 GHz대의 고주파 대역에 있어서 전송 손실이 높고, 고주파 대응 프린트 배선판에 대한 고도의 요구를 충분히 만족하는 것에는 이르지 않았다. The surface-treated copper foil described in Patent Document 1 is excellent in adhesion to a high frequency compatible resin base material. However, the copper-clad laminate using the surface-treated copper foil has a high transmission loss in the high frequency band of GHz band, It did not come to a sufficient degree to satisfy the requirement of.

또한, 상기 특허문헌 2 기재의 FPC에 이용되고 있는 전해 동박은, 조화 처리가 실시되지 않고, COF 이외의 프린트 배선판에 요구되는 수지 기재와의 고도의 밀착성을 실현하는 것에는 이르지 않았다. In addition, the electrolytic copper foil used in the FPC described in Patent Document 2 is not roughened and does not reach a high degree of adhesion with a resin substrate required for printed wiring boards other than COF.

또한, 상기 특허문헌 3 기재의 표면 처리 동박은, 수지 기재로서 저유전 기재를 이용했을 경우에는, 수지 기재와의 충분한 밀착성이 얻어지지 않는다. In the surface-treated copper foil described in Patent Document 3, when a low-dielectric base material is used as the resin base material, sufficient adhesion with the resin base material is not obtained.

본 발명은, GHz대의 고주파 신호를 전송했을 때에도 전송 손실이 고도로 억제되고, 수지 기재와의 밀착성이 높고 내구성도 우수하고, 또한, 시인성도 우수한 프린트 배선판을 얻을 수 있는 프린트 배선판용 표면 처리 동박을 제공하는 것을 과제로 한다. 또한, 본 발명은, 상기 프린트 배선판용 표면 처리 동박을 이용한 프린트 배선판용 구리 피복 적층판 및 프린트 배선판(회로 기판)을 제공하는 것을 과제로 한다. Disclosed is a surface-treated copper foil for printed wiring boards, which is capable of highly suppressing transmission loss even when a high-frequency signal of GHz band is transmitted, achieving a printed wiring board having high adhesion with resin base material and excellent durability, . It is another object of the present invention to provide a copper clad laminate for a printed wiring board and a printed wiring board (circuit board) using the surface-treated copper foil for a printed wiring board.

본 발명의 상기 과제는 하기 수단에 의해 해결된다. The above object of the present invention is solved by the following means.

[1][One]

조화 입자가 형성된 표면에 실란 커플링제층을 가지는 프린트 배선판용 표면 처리 동박으로서,A surface-treated copper foil for a printed wiring board having a silane coupling agent layer on a surface on which roughening particles are formed,

상기 실란 커플링제층 표면에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.5μm 미만이며,Wherein the average height of the roughening particles in the surface of the silane coupling agent layer is 0.05 탆 or more and less than 0.5 탆,

상기 실란 커플링제층 표면의 BET 표면적비가 1.2 이상, 미세 표면 계수 Cms가 2.0 이상 8.0 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박. Wherein the BET surface area ratio of the surface of the silane coupling agent layer is 1.2 or more and the fine surface coefficient Cms is 2.0 or more and less than 8.0.

[2][2]

상기 실란 커플링제층 표면에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.3μm 미만인, [1]에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박. The surface-treated copper foil for a printed wiring board according to [1], wherein the average height of the roughening particles on the surface of the silane coupling agent layer is 0.05 m or more and less than 0.3 m.

[3][3]

상기의 실란 커플링제층 표면의, L*a*b*표 색계에 있어서의 L*가 40 이상 60 미만인, [1] 또는 [2]에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박. Of the silane coupling agent layer on the surface, L * a * b * color system of L * a table 40 or 60 is less than [1] or [2] The surface-treated copper foil for printed wiring board according to according to.

[4][4]

상기의 조화 입자가 형성된 표면이, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 몰리브덴, 및 주석으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 가지는 금속 처리층을 가지거나, 또는, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 몰리브덴, 및 주석으로부터 선택되는 2종 이상의 금속으로 이루어지는 합금을 가지는 금속 처리층을 가지는, [1] ~ [3]의 어느 한 항에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박. Wherein the surface on which the roughening particles are formed has a metal treatment layer having at least one metal selected from the group consisting of chromium, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, molybdenum and tin, The surface-treated copper foil for a printed wiring board according to any one of [1] to [3], which has a metal treatment layer having an alloy consisting of two or more metals selected from nickel, copper, zinc, molybdenum and tin.

[5][5]

상기 실란 커플링제층에 함유되는 Si 원소량이 0.5μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만인, [1] ~ [4]의 어느 한 항에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박. The silane Si element amount to be contained in the coupling agent layer 0.5μg / dm 2 or more 15μg / dm 2 is less than [1] to [4] wherein any one of surface-treated copper foil for printed wiring board according to the.

[6][6]

상기 실란 커플링제가, 에폭시기, 아미노기, 비닐기, (메타)아크릴로일기, 스티릴기, 우레이드기, 이소시아누레이트기, 메르캅토기, 술피드기, 및 이소시아네이트기로부터 선택되는 적어도 1종의 관능기를 가지는, [1] ~ [5]의 어느 한 항에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박. The silane coupling agent is at least one selected from the group consisting of an epoxy group, an amino group, a vinyl group, a (meth) acryloyl group, a styryl group, a ureide group, an isocyanurate group, a mercapto group, a sulfide group, and an isocyanate group Treated copper foil for a printed wiring board according to any one of [1] to [5], which has a functional group of the following formula

[7][7]

[1] ~ [6]의 어느 한 항에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박의, 상기 실란 커플링제층 표면에, 수지층이 적층되어서 이루어지는 프린트 배선판용 구리 피복 적층판. A copper clad laminate for a printed wiring board in which a resin layer is laminated on the surface of the silane coupling agent layer of the surface-treated copper foil for a printed wiring board according to any one of [1] to [6].

[8][8]

[7]에 기재된 프린트 배선판용 구리 피복 적층판을 이용한 프린트 배선판. A printed wiring board using the copper clad laminate for a printed wiring board according to [7].

본 발명의 프린트 배선판용 표면 처리 동박은, 이것을 프린트 배선판의 도체 회로에 이용하는 것으로, GHz대의 고주파 신호를 전송했을 때의 전송 손실이 고도로 억제되고, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 높고 내구성도 우수하고, 또한, 시인성도 우수한 프린트 배선판을 얻을 수 있다. The surface-treated copper foil for a printed wiring board of the present invention is used for a conductor circuit of a printed wiring board. The copper foil for a printed wiring board according to the present invention highly suppresses the transmission loss when a high frequency signal of GHz band is transmitted and exhibits high adhesion between the copper foil and the resin substrate and excellent durability , And a printed wiring board excellent in visibility can be obtained.

본 발명의 프린트 배선판용 구리 피복 적층판은, 이것을 프린트 배선판의 기판으로서 이용하는 것에 의하여, GHz대의 고주파 신호를 전송했을 때의 전송 손실이 고도로 억제되고, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 높고 내구성도 우수하고, 또한, 시인성도 우수한 프린트 배선판을 얻을 수 있다. By using the copper clad laminate for printed wiring boards of the present invention as a substrate of a printed wiring board, the transmission loss at the time of transmitting a high frequency signal of GHz band is highly suppressed, the adhesion between the copper foil and the resin substrate is high and the durability is excellent , And a printed wiring board excellent in visibility can be obtained.

본 발명의 프린트 배선판은, GHz대의 고주파 신호를 전송했을 때의 전송 손실이 고도로 억제되고, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 높고 내구성도 우수하고, 또한, 시인성도 우수하다. The printed wiring board of the present invention is highly resistant to transmission loss when a high frequency signal of GHz band is transmitted, has high adhesion between the copper foil and the resin base material, has excellent durability, and is also excellent in visibility.

본 발명의 상기 및 다른 특징 및 이점은, 적절히 첨부된 도면을 참조하여, 하기의 기재로부터 보다 명백해질 것이다. These and other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description, with reference to the accompanying drawings appropriately.

도 1은 조화 입자의 높이 측정 방법의 일례를 나타내는 설명도이다.
도 2는 조화 입자의 높이 측정 방법의 일례를 나타내는 설명도이다.
Fig. 1 is an explanatory diagram showing an example of a method for measuring the height of the coarse particles.
2 is an explanatory view showing an example of a method for measuring the height of the coarse particles.

본 발명의 프린트 배선판용 표면 처리 동박의 바람직한 실시형태에 대해서 이하에 설명한다. Preferred embodiments of the surface-treated copper foil for a printed wiring board of the present invention will be described below.

[프린트 배선판용 표면 처리 동박][Surface-treated copper foil for printed wiring board]

본 발명의 프린트 배선판용 표면 처리 동박(이하, 「본 발명의 표면 처리 동박」이라고 한다.)은, 조화 입자가 형성된 표면(필요에 의해 방부(防腐) 금속을 추가적으로 부착시킨 면)이 실란 커플링제로 처리되어서 이루어지고(즉, 조화 입자가 형성된 표면에 실란 커플링제층을 가져서 이루어지고), 이 실란 커플링제층 표면(표면 처리 동박 최표면)에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.5μm 미만이며, 상기 실란 커플링제층 표면의 BET 표면적비가 1.2 이상이며, 또한, 상기 실란 커플링제층 표면의 미세 표면적 계수(Cms)가 2.0 이상 8.0 미만이다. 본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 실란 커플링제층 표면으로서, 상기 표면에 있어서 측정되는 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.5μm 미만이며, 상기 표면의 BET 표면적비가 1.2 이상이며, 또한, 상기 표면의 Cms가 2.0 이상 8.0 미만인 면을, 단순히 「조화 처리면」이라고 한다. 조화 처리면은 그 전체가 실란 커플링제로 덮여 있는 것이 바람직하지만, 본 발명의 효과를 가지는 한에 있어서, 조화 처리면의 일부가 실란 커플링제로 덮이지 않아도 좋다(즉, 본 발명의 효과를 가지는 한, 조화 처리면의 실란 커플링제층의 일부에 막 결함이 생겨 있어도 좋고, 그러한 형태도 본 발명에 있어서의 「실란 커플링제층을 가지는」 형태에 포함된다). The surface-treated copper foil for a printed wiring board of the present invention (hereinafter referred to as " surface-treated copper foil of the present invention ") is a copper foil obtained by subjecting a surface on which coarse particles are formed (That is, having a silane coupling agent layer on the surface on which the roughening particles are formed), the average height of the roughening particles in the surface of the silane coupling agent layer (surface-treated copper foil surface) m or less, a BET surface area ratio of the surface of the silane coupling agent layer is 1.2 or more, and a surface area coefficient (Cms) of the surface of the silane coupling agent layer is 2.0 or more and less than 8.0. In the surface-treated copper foil of the present invention, it is preferable that the surface of the silane coupling agent layer has an average height of coarse grains measured on the surface of not less than 0.05 탆 and less than 0.5 탆, a BET surface area ratio of the surface of not less than 1.2, Is not less than 2.0 but less than 8.0 is simply referred to as " harmonized surface ". It is preferable that the roughened surface is entirely covered with a silane coupling agent. However, as long as the effect of the present invention is attained, a part of the roughened surface may not be covered with a silane coupling agent (that is, A part of the silane coupling agent layer on the roughened surface may have a film defect, and such a form is also included in the "having a silane coupling agent layer" in the present invention.

본 발명의 표면 처리 동박은, 적어도 한쪽 면이 조화 처리면이라면 좋고, 양 면이 조화 처리면이라도 좋다. 본 발명의 표면 처리 동박은, 통상은, 한쪽 면만이 조화 처리면인 형태이다. In the surface-treated copper foil of the present invention, at least one surface may be a roughened surface, and both surfaces may be roughened. In the surface-treated copper foil of the present invention, usually only one side is a roughened surface.

본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 조화 처리면은, 조화 입자의 평균 높이가 0.5μm 미만으로 낮음에도 불구하고, BET 표면적비가 1.2 이상으로 크다. 그러므로, 상기 조화 처리면을 개재하여 표면 처리 동박과 수지층을 적층하고, 구리 피복 적층판을 제작했을 때에는, 조화 입자의 앵커 효과와 큰 표면적이 어우러져서, 동박과 수지층의 밀착성이 고도로 높아지고, 내열성이 우수한 구리 피복 적층판을 얻을 수 있다. 또한, 상기 조화 처리면은, 조화 입자의 평균 높이가 0.5μm 미만으로 낮고, 전송 경로의 길이에 대한 조화 입자의 존재의 영향을 작게 할 수 있다. 그러므로, 상기 구리 피복 적층판을 이용한 도체 회로에 GHz대의 고주파 신호를 전송했을 때에도 전송 손실을 효과적으로 억제할 수 있다. In the surface-treated copper foil of the present invention, the roughened surface has a BET surface area ratio of at least 1.2, although the average height of the roughed grains is as low as less than 0.5 mu m. Therefore, when the surface-treated copper foil and the resin layer are laminated via the roughened surface to prepare a copper clad laminate, the anchoring effect of the roughened particles and the large surface area are matched to each other, the adhesion between the copper foil and the resin layer becomes extremely high, An excellent copper clad laminate can be obtained. In addition, the roughened surface has a low average height of roughened particles of less than 0.5 mu m, and can reduce the influence of the presence of harmful particles on the length of the transmission path. Therefore, even when a high-frequency signal of GHz band is transmitted to the conductor circuit using the copper clad laminate, transmission loss can be effectively suppressed.

지금까지, 동박 표면에 평균 높이가 0.5μm 미만이라고 하는 작은 조화 입자를 형성하면서도, BET 표면적비를 1.2 이상으로까지 높이는 방법은 알려지지 않았다. 본 발명자들은 그러한 상황하에서, 후술하는 특정의 조화 도금 처리 조건을 채용하는 것으로써, 평균 높이 0.05μm 이상 0.5μm 미만의 조화 입자를 가지고, 또한 BET 표면적비가 1.2 이상의 동박 표면을 만들어 내는 것을 성공하여, 본 발명을 완성시키기에 이르렀다. Until now, a method of increasing the BET surface area ratio to 1.2 or more, while forming small coarsened particles having an average height of less than 0.5 占 퐉 on the surface of the copper foil, is unknown. Under such circumstances, the present inventors succeeded in producing copper foil surfaces having coarse particles having an average height of 0.05 μm or more and less than 0.5 μm and a BET surface area ratio of 1.2 or more, by employing the specific harmonious plating treatment conditions described later, Thereby completing the present invention.

수지 기재와의 고도의 밀착성을 유지하면서 전송 손실을 보다 효과적으로 저감하는 관점에서, 상기 조화 처리면에 있어서의 상기 조화 입자의 평균 높이는 0.05μm 이상 0.5μm 미만이 바람직하고, 0.05μm 이상 0.3μm 미만이 보다 바람직하다. The average height of the coarsely grained particles on the roughened surface is preferably 0.05 m or more and less than 0.5 m, more preferably 0.05 m or more and less than 0.3 m, from the viewpoint of more effectively reducing the transmission loss while maintaining high adhesiveness with the resin base material More preferable.

본 발명에 있어서, 조화 입자는 조화 처리면 전체에 고르게(균질하게) 형성되어 있는 것이 바람직하다. 조화 입자의 평균 높이는, 후술하는 실시예에 기재된 방법에 의해 측정된다. In the present invention, it is preferable that the coarsely grained particles are uniformly formed on the entire roughened surface. The average height of the harmonic grains is measured by the method described in Examples described later.

상기 BET 표면적비는, BET법에 의한 표면적의 측정 방법에 기초하여 산출되는 것이다. 즉, 상기 BET 표면적비는, 시료 표면에 흡착 점유 면적이 이미 알려져 있는 기체 분자를 흡착시키고, 그 흡착량에 기초하여 시료의 표면적(BET 측정 표면적)을 구하고, 이 BET 측정 표면적으로부터 시료 표면에 요철이 없다고 가정했을 경우의 표면적(시료 컷아웃(cutout) 면적)을 뺀 값의, 상기 시료 컷아웃 면적에 대한 비이며, 후술하는 실시예에 기재된 방법에 의해 측정된다. The BET surface area ratio is calculated based on a method of measuring the surface area by the BET method. That is, the BET surface area ratio is determined by adsorbing gas molecules whose adsorption occupancy area is already known on the sample surface, determining the surface area (BET measurement surface area) of the sample based on the adsorption amount, Is a ratio of the surface cut-off area obtained by subtracting the surface area (cutout area of the sample) assuming that there is no cut-out area, and is measured by the method described in the following embodiments.

본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 조화 처리면의 BET 표면적비는, 그 값이 클수록, 표면적이 큰 것을 의미한다. 따라서, 조화 처리면의 상기 BET 표면적비가 클수록, 수지와의 상호 작용성이 높아지고, 조화 입자의 앵커 효과와 어우러져서, 수지층을 적층했을 때의 동박과 수지층과의 밀착성이 향상된다. 본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 조화 처리면의 BET 표면적비는 1.2 이상 10 이하가 바람직하고, 4 이상 8 이하가 보다 바람직하다. In the surface-treated copper foil of the present invention, the BET surface area ratio of the roughened surface means that the larger the value, the larger the surface area. Therefore, the larger the BET surface area ratio of the roughened surface is, the higher the interactivity with the resin becomes, and the better the anchoring effect of the roughening particles, the better the adhesion between the copper foil and the resin layer when the resin layer is laminated. In the surface-treated copper foil of the present invention, the BET surface area ratio of the roughened surface is preferably 1.2 or more and 10 or less, more preferably 4 or more and 8 or less.

동박의 표면적 측정에 있어서 일반적으로 이용되는 레이저 현미경에 의한 표면적 측정에서는, 조화 입자의 형상에 의해 레이저광이 닿지 않는 「음영」이 되는 부분의 측정은 원리적으로 불가능하고, 또한 극미세한 요철 부분의 표면적을 고감도로 검출하는 것도 곤란하다. 예를 들면, 높이와 직경은 동일한 조화 입자라도, 근원부가 가늘어진 조화 입자와 그렇지 않은 조화 입자를 비교하면, 수지와 밀착되는 면적이 많은 것은 전자인데, 레이저 현미경에 의한 표면적 측정에서는, 거의 동일한 값이 되어 버린다. In the surface area measurement by the laser microscope generally used in the measurement of the surface area of the copper foil, it is impossible in principle to measure the portion which becomes "shaded" in which the laser beam does not touch due to the shape of the coarse particles, It is also difficult to detect the surface area with high sensitivity. For example, even if the height and the diameter are the same as the coarse particles, the coarse grains having a tapered root portion and the non-coarse grains are electrons having a large area in close contact with the resin. In the surface area measurement using a laser microscope, .

이것에 비해 BET법에 의한 표면적의 측정에서는, 기체 분자의 흡착에 의해 표면적을 측정하므로, 미세한 요철에 대한 감도가 높고, 레이저광에서는 「음영」이 되어 버리는 부분의 측정도 가능해진다. 따라서, 조화 입자를 형성시킨 시료의 표면적을, 레이저 현미경을 이용했을 경우보다, 통상, 높은 정밀도로 측정할 수 있다. In comparison with this, in the measurement of the surface area by the BET method, since the surface area is measured by adsorption of gas molecules, it is possible to measure a portion where the sensitivity to fine irregularities is high and the laser light becomes "shaded". Therefore, the surface area of the sample on which the coarse particles are formed can be measured with higher accuracy than with a laser microscope.

본 발명자들은, 후술하는 특정의 조화 도금 처리를 실시하는 것으로써, 레이저 현미경에서는 측정할 수 없는 「음영」의 부분이나 미세한 요철 부분의 표면적의 비율을 보다 증대시키는 것을 성공했다. 이것에 의해, 조화 입자의 평균 높이를 억제하여, 고주파 신호를 전송했을 때의 전송 손실을 효과적으로 억제하면서도, 수지 기재와의 밀착성을 크게 높일 수 있고, 또한, 에칭 후의 수지 기재의 시인성을 양호하게 유지할 수 있다는 것을 발견하고, 본 발명을 완성시키기에 이른 것이다. The present inventors succeeded in further increasing the ratio of the surface area of the "shaded portion" or the fine uneven portion which can not be measured by the laser microscope by performing the specific harmonious plating process described later. As a result, the average height of the roughening particles can be suppressed, the transmission loss when the high-frequency signal is transmitted can be effectively suppressed, the adhesion with the resin base material can be greatly increased, and the visibility of the resin base material after etching can be kept good And the present invention has been completed.

상기 Cms는, 레이저 현미경으로 측정한 표면적비에 대한, BET법으로 측정한 표면적비의 비이며, 레이저 현미경에서는 측정 불가능한 「음영」의 부분이나 미세한 요철 부분의 표면적의 비율을 수치화한 것이다. Cms의 산출 방법의 상세한 사항은 후술하는 실시예에 기재되는 바와 같다. 본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 조화 처리면의 Cms는, 2.0 이상 8.0 미만이다. 조화 처리면에 있어서의 조화 입자의 평균 높이와 조화 처리면의 BET 표면적비를 본 발명에서 규정하는 범위 내로 하고, 또한, 조화 처리면의 Cms를 2.0 이상 8.0 미만으로 하는 것으로써, 상기 표면과 수지 기재와의 밀착성을 고도로 높이면서도, 에칭 후의 수지의 시인성(투과성)을 양호하게 유지할 수 있다. Cms는 2.5 이상 5.0 미만이 바람직하다. The Cms is a ratio of a surface area ratio measured by a BET method to a surface area ratio measured by a laser microscope, and is a numerical value of the ratio of the surface area of the "shadow" portion or the fine irregular portion that can not be measured by a laser microscope. The details of the calculation method of Cms are as described in the following embodiments. In the surface-treated copper foil of the present invention, the Cms of the roughened surface is 2.0 or more and less than 8.0. By setting the average height of harmonic grains on the roughened surface and the BET surface area ratio of the roughened surface within the range specified in the present invention and setting the Cms of the roughened surface to be less than 2.0 and less than 8.0, It is possible to maintain the visibility (permeability) of the resin after the etching well, while enhancing the adhesion to the substrate to a high degree. Cms is preferably 2.5 or more and less than 5.0.

또한, 레이저 현미경에 의해 측정되는 표면적과 BET법에 의해 측정되는 표면적은, 표면적의 측정 원리가 다르고, 조화 처리면의 형상에 따라서는 Cms가 1 미만이 되는 일도 있을 수 있다. The surface area measured by the laser microscope and the surface area measured by the BET method are different from each other in the principle of measurement of the surface area, and Cms may be less than 1 depending on the shape of the roughened surface.

본 발명의 표면 처리 동박은, 조화 처리면의 명도 지수 L*(Lightness)가 40 이상 60 미만인 것이 바람직하고, 40 이상 55 미만인 것이 보다 바람직하다. 이른바 흑화 처리와 같은 다갈색 ~ 흑색의 처리 표면(합금이나 산화동이 형성되어 있는 표면)이면 L*는 작고, 전송 손실이 높아지는 경향이 있다. 한편, 조화 입자의 형상이 둥근 모양을 띠면 L*가 상승되고, 수지 기재와의 밀착성이 저하되는 경향이 있다. L*는 후술하는 실시예에 기재된 방법에 의해 측정된다. In the surface-treated copper foil of the present invention, the brightness index L * (Lightness) of the roughened surface is preferably 40 or more and less than 60, and more preferably 40 or more and 55 or less. In the so-called blackening treatment, a treatment surface of a brown to black color (a surface on which an alloy or a copper oxide is formed) tends to have a small L * and a high transmission loss. On the other hand, if the shape of the coarsely grained particles is rounded, L * tends to rise and the adhesion with the resin base tends to be lowered. L * is measured by the method described in the following Examples.

본 발명의 표면 처리 동박에 있어서, 실란 커플링제 처리 전의, 조화 입자가 형성된 표면은, 크롬(Cr), 철(Fe), 코발트(Co), 니켈(Ni), 구리(Cu), 아연(Zn), 몰리브덴(Mo), 및 주석(Sn)으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 가지는 금속 처리층을 가지거나, 또는, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 몰리브덴, 및 주석으로부터 선택되는 2종 이상의 금속으로 이루어지는 합금을 가지는 금속 처리층을 가지는 것이 바람직하다. 이 금속 처리층은, 니켈, 아연, 및 크롬으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 가지는 금속 처리층을 가지거나, 또는, 니켈, 아연, 및 크롬으로부터 선택되는 2종 이상의 금속으로 이루어지는 합금을 가지는 금속 처리층을 가지는 것이 보다 바람직하다. In the surface-treated copper foil of the present invention, the surface on which the roughening particles are formed before the treatment with the silane coupling agent is at least one selected from the group consisting of chromium (Cr), iron (Fe), cobalt (Co), nickel (Ni) ), Molybdenum (Mo), and tin (Sn), or a metal-treated layer having at least one metal selected from chromium, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, molybdenum, and tin It is preferable to have a metal treatment layer having an alloy made of at least two kinds of metals. This metal treatment layer is formed of a metal having a metal treatment layer having at least one kind of metal selected from nickel, zinc and chromium, or a metal having an alloy made of at least two metals selected from nickel, zinc and chromium It is more preferable to have a treatment layer.

본 발명의 표면 처리 동박이 이용되는 구리 피복 적층판이나 프린트 배선판은, 그 제작 공정에 있어서, 수지와 동박과의 접착 공정이나, 땜납 공정 등, 여러 번 열이 가해진다. 이 열에 의해, 구리가 수지측에 확산되어서, 구리와 수지의 밀착성을 저하시키는 일이 있는데, 상기 금속 처리층을 마련하는 것으로 구리의 확산을 방지하고, 수지 기재와의 고도의 밀착성을 보다 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 금속 처리층을 구성하는 금속은, 구리의 녹을 방지하는 방청 금속으로서도 기능한다. The copper clad laminate or the printed wiring board using the surface-treated copper foil of the present invention is subjected to heat many times such as a bonding step between the resin and the copper foil or a soldering process in the production step. By this heat, the copper is diffused to the resin side to lower the adhesion between the copper and the resin. By providing the metal treatment layer, diffusion of copper can be prevented, and high adhesion with the resin substrate can be stably . The metal constituting the metal treatment layer also functions as a rust preventive metal for preventing rust of copper.

동박의 에칭성을 보다 높이는 관점에서는, 실란 커플링제 처리 전의, 조화 입자가 형성된 표면에 있어서의 방청 금속으로서의 니켈량의 제어도 중요하다. 즉, 니켈 부착량이 많은 경우, 구리의 녹이 생기기 어렵고 고온하에서의 수지와의 밀착성은 향상되는 경향이 있지만, 에칭 후에 니켈이 잔류되기 쉽고, 충분한 절연 신뢰성이 얻어지기 어렵다. 본 발명의 표면 처리 동박이 금속 처리층을 가지는 경우, 고온하에 있어서의 밀착성과 에칭성을 양립하는 관점에서, 조화 처리면에 있어서의 니켈 원소량을 0.1mg/dm2 이상 0.3mg/dm2 미만이 되도록 하는 것이 바람직하다. From the viewpoint of further improving the etching property of the copper foil, it is also important to control the amount of nickel as a rust preventive metal on the surface on which the coarse particles are formed before the silane coupling agent treatment. In other words, when the amount of nickel adhered is large, the rust of copper is hardly generated and the adhesion with the resin at high temperature tends to be improved. However, nickel is liable to remain after etching and sufficient insulation reliability is hardly obtained. When the surface-treated copper foil of the present invention has a metal-treated layer, it is preferable that the amount of the nickel element in the roughened surface is 0.1 mg / dm 2 or more and less than 0.3 mg / dm 2 .

[프린트 배선판용 표면 처리 동박의 제조][Production of surface-treated copper foil for printed wiring board]

<동박><Copper>

본 발명의 표면 처리 동박의 제조에 이용하는 동박으로서는, 압연 동박, 전해 동박 등, 용도 그 외의 목적에 따라 선택할 수 있다. 본 발명의 표면 처리 동박에 이용하는 동박의 박 두께에 특별히 제한은 없고, 목적에 대응하여 적절히 선택하면 좋다. 상기 박 두께는, 통상은 4 ~ 120μm이며, 5 ~ 50μm가 바람직하고, 6 ~ 18μm가 보다 바람직하다. The copper foil to be used in the production of the surface-treated copper foil of the present invention can be selected depending on the application and other purposes, such as rolled copper foil and electrolytic copper foil. The thickness of the copper foil used in the surface-treated copper foil of the present invention is not particularly limited and may be suitably selected in accordance with the purpose. The thickness is usually 4 to 120 占 퐉, preferably 5 to 50 占 퐉, and more preferably 6 to 18 占 퐉.

<조화 도금 처리><Harmonious plating treatment>

본 발명의 표면 처리 동박의 제조에 있어서, 상기 조화 처리면은, 특정의 조화 도금 처리 조건을 적용하는 것으로 형성하는 것이 가능하게 된다. 즉 본 발명은, 본 발명자들이, 몰리브덴 농도의 특정의 범위 내로 하고, 또한, 후술하는 특정의 조건하에서 전기 도금 처리를 실시하는 것으로써, 상기 조화 처리면을 형성하는 것이 가능해지는 것을 발견한 것에 기초하는 발명이다. In the production of the surface-treated copper foil of the present invention, the roughened surface can be formed by applying a specific roughening treatment condition. That is, the present invention is based on discovering that the present inventors can form the above-mentioned roughened surface by carrying out electroplating treatment under specific conditions to be described later within a specific range of molybdenum concentration .

(조화 도금 처리 조건)(Condition for harmonious plating treatment)

상기 조화 처리면의 형성을 가능하게 하기 위해서는, 조화 도금 처리(전기 도금 처리)에 있어서, 몰리브덴 농도를 50mg/L 이상 600mg/L 이하로 제어하는 것이 필요하다. 몰리브덴 농도를 50mg/L 미만으로 하면, 가루(입자) 탈락 등의 문제가 생기기 쉽고, 600mg/L를 초과하면, 다른 특성을 만족하면서, 실란 커플링제 처리 후의 표면(즉 조화 처리면) BET 표면적비를 1.2 이상으로 높이는 것이 어려워진다. In order to enable the formation of the roughened surface, it is necessary to control the molybdenum concentration to 50 mg / L or more and 600 mg / L or less in the harmful plating process (electroplating process). When the concentration of molybdenum is less than 50 mg / L, problems such as dropping of the powder (grain) are liable to occur. When the concentration exceeds 600 mg / L, the surface after the treatment with the silane coupling agent To 1.2 or more.

상기 조화 처리면의 형성을 가능하게 하기 위해서는, 조화 도금 처리에 있어서, 극간(極間) 유속을 0.15m/초 이상 0.4m/초 이하로 하는 것이 필요하다. 극간 유속을 0.15m/초 미만으로 하면, 동박 상에 발생한 수소 가스의 이탈이 진행되지 않고, 몰리브덴의 효과가 얻어지기 어려워져서 가루(입자) 탈락 등의 문제가 생기기 쉽다. 또한 극간 유속이 0.4m/초를 초과하면 미세한 오목부로의 구리 이온 공급이 과잉으로 진행되고, 오목부가 도금으로 매립되어 버리고, 실란 커플링제 처리 후의 표면의 BET 표면적비를 1.2 이상으로 높이는 것이 어려워진다. In order to enable the formation of the roughened surface, it is necessary to set the inter-pole (inter-pole) flow rate to 0.15 m / sec to 0.4 m / sec in the roughening treatment. If the inter-pole flow rate is less than 0.15 m / sec, the hydrogen gas generated on the copper foil does not progress, and the effect of molybdenum is hard to be obtained, and problems such as dropping of powder (grain) are likely to occur. If the inter-pole flow velocity exceeds 0.4 m / sec, the supply of copper ions to the fine recesses excessively proceeds, the recesses are buried by plating, and it becomes difficult to increase the BET surface area ratio of the surface after the silane coupling agent treatment to 1.2 or more .

상기 조화 처리면의 형성을 가능하게 하기 위해서는, 조화 도금 처리에 있어서, 전류 밀도에 처리 시간을 곱한 값을 20(A/dm2)·초 이상 250(A/dm2)·초 이하로 하는 것이 필요하다. 이 값이 20(A/dm2)·초 미만이면, 실란 커플링제 처리 후에 있어서, 조화 처리면의 조화 입자의 평균 높이를 0.05μm 이상으로 하는 것이 어려워지므로, 적층하는 수지와의 충분한 밀착성을 확보하는 것이 어려워진다. 또한 250(A/dm2)·초를 초과하면, 형성되는 조화 입자의 평균 높이를 0.5μm 미만으로 하는 것이 어려워지므로, 전송 손실이 악화되기 쉬워진다. 상기의 전류 밀도에 처리 시간을 곱한 값은, 20(A/dm2)·초 이상 160(A/dm2)·초 미만으로 하는 것이 바람직하다. In order to enable formation of the roughened surface, it is preferable that the value obtained by multiplying the current density by the processing time in the roughening treatment is set to 20 (A / dm 2 ) · sec to 250 (A / dm 2 ) need. If this value is less than 20 (A / dm 2 ) 占 seconds, it becomes difficult to make the average height of the coarsened grains of the roughened surface to be 0.05 탆 or more after the silane coupling agent treatment, so that sufficient adhesion with the resin to be laminated is ensured It becomes difficult to do. In addition, if it exceeds 250 (A / dm 2 ) · sec, it becomes difficult to make the average height of the formed harmonic grains less than 0.5 μm, so that the transmission loss tends to deteriorate. It is preferable that the value obtained by multiplying the current density by the treatment time is less than 160 (A / dm 2 ) · sec. From 20 (A / dm 2 ) · sec.

상기 조화 처리면의 형성을 가능하게 하기 위해서는, 조화 도금 처리에 있어서, 전류 밀도에 처리 시간을 곱한 값을 Mo 농도로 나눈 값을 1.0{(A/dm2)·초}/(mg/L) 이상 3.0{(A/dm2)·초}/(mg/L) 이하로 할 필요가 있다. 이 값이 1.0{(A/dm2)·초}/(mg/L) 미만이면 다른 특성을 만족하면서 충분한 BET 표면적비를 얻는 것이 어려워진다. 또한 이 값이 3.0{(A/dm2)·초}/(mg/L)를 초과하고 있으면 Cms를 8.0 미만으로 하는 것이 어려워지는 경향이 있다. 상기의 전류 밀도에 처리 시간을 곱한 값을 Mo 농도로 나눈 값은, 1.2{(A/dm2)·초}/(mg/L) 이상 2.4{(A/dm2)·초}/(mg/L) 미만으로 하는 것이 바람직하다. (A / dm 2 ) / sec} / (mg / L), which is obtained by dividing the value obtained by multiplying the current density by the treatment time by the Mo concentration in the harmonious plating treatment, (A / dm 2 ) 占 seconds} / (mg / L) or more. If this value is less than 1.0 (A / dm 2 ) sec} / (mg / L), it becomes difficult to obtain a sufficient BET surface area ratio while satisfying other properties. If this value is more than 3.0 ((A / dm 2 ) 占 seconds} / (mg / L), it becomes difficult to make Cms less than 8.0. The value obtained by dividing the value obtained by multiplying the current density by the treatment time by the Mo concentration is not less than 1.2 {(A / dm 2 ) · seconds} / (mg / L) or more and 2.4 {(A / dm 2 ) / L).

상기 조화 처리면의 형성을 가능하게 하기 위한 바람직한 조화 도금 처리 조건을 이하에 나타낸다. Preferable conditions for coarsening plating for enabling formation of the roughened surface are shown below.

-조화 도금 처리 조건-- Condition for harmonious plating treatment -

Cu: 10 ~ 30g/LCu: 10 to 30 g / L

H2SO4: 100 ~ 200g/LH 2 SO 4 : 100-200 g / L

욕온(浴溫): 20 ~ 30℃Bath temperature: 20 ~ 30 ℃

Mo 농도: 50 ~ 600mg/LMo concentration: 50 to 600 mg / L

극간 유속: 0.15 ~ 0.4m/초Inter-pole flow rate: 0.15 ~ 0.4m / sec

전류 밀도: 15 ~ 70A/dm2 Current density: 15 to 70 A / dm 2

처리 시간: 0.1 ~ 10초Processing time: 0.1 to 10 seconds

전류 밀도×처리 시간: 20 ~ 250(A/dm2)·초Current density x processing time: 20 to 250 (A / dm 2 )

전류 밀도×처리 시간÷Mo 농도: 1.0 ~ 3.0{(A/dm2)·초}/(mg/L)Current density × processing time ÷ Mo concentration: 1.0 ~ 3.0 {(A / dm 2) · sec} / (mg / L)

또한, 도금액에의 몰리브덴의 첨가는, 몰리브덴이 이온으로서 용해되는 형태이며, 또한, 황산 구리 도금액의 pH를 변화시키거나 구리 도금 피막에 편입되는 금속 불순물을 포함하거나 하고 있지 않는다면 특별히 제한되는 것은 아니다. 예를 들면, 몰리브덴산염(예를 들면 몰리브덴산 나트륨이나 몰리브덴산 칼륨)의 수용액을 황산 구리 도금액에 첨가할 수 있다. The addition of molybdenum to the plating solution is a form in which molybdenum dissolves as ions and is not particularly limited so long as it does not change the pH of the copper sulfate plating solution or contain metal impurities incorporated into the copper plating film. For example, an aqueous solution of a molybdate (for example, sodium molybdate or potassium molybdate) may be added to the copper sulfate plating solution.

<금속 처리층><Metal Treatment Layer>

본 발명의 표면 처리 동박이 금속 처리층을 가지는 경우, 금속 처리층의 형성 방법에 특별히 제한은 없고, 통상의 방법에 의해 형성할 수 있다. 예를 들면, 니켈, 아연 및 크롬을 가지는 금속 처리층을 형성하는 경우를 예로 들면, 하기 조건으로, 니켈 도금, 아연 도금, 크롬 도금을, 예를 들면 이 순서로 실시하는 것으로, 금속 처리층을 형성할 수 있다. When the surface-treated copper foil of the present invention has a metal treatment layer, the method for forming the metal treatment layer is not particularly limited and can be formed by a conventional method. For example, in the case of forming a metal treatment layer having nickel, zinc and chromium, nickel plating, zinc plating and chromium plating are carried out in this order, for example, under the following conditions. .

(Ni 도금)(Ni plating)

Ni: 10 ~ 100g/LNi: 10 to 100 g / L

H3BO3: 1 ~ 50g/LH 3 BO 3 : 1 to 50 g / L

PO2: 0 ~ 10g/LPO 2 : 0 to 10 g / L

욕온: 10 ~ 70℃Bath temperature: 10 ~ 70 ℃

전류 밀도: 1 ~ 50A/dm2 Current density: 1 to 50 A / dm 2

처리 시간: 1초 ~ 2분Processing time: 1 second to 2 minutes

pH: 2.0 ~ 4.0pH: 2.0 to 4.0

(Zn 도금)(Zn plating)

Zn: 1 ~ 30g/LZn: 1 to 30 g / L

NaOH: 10 ~ 300g/LNaOH: 10 to 300 g / L

욕온: 5 ~ 60℃Bath temperature: 5 ~ 60 ℃

전류 밀도: 0.1 ~ 10A/dm2 Current density: 0.1 to 10 A / dm 2

처리 시간: 1초 ~ 2분Processing time: 1 second to 2 minutes

(Cr 도금)(Cr plating)

Cr: 0.5 ~ 40g/LCr: 0.5 to 40 g / L

욕온: 20 ~ 70℃Bath temperature: 20 ~ 70 ℃

전류 밀도: 0.1 ~ 10A/dm2 Current density: 0.1 to 10 A / dm 2

처리 시간: 1초 ~ 2분Processing time: 1 second to 2 minutes

pH: 3.0 이하pH: not more than 3.0

본 발명의 표면 처리 동박은, 조화 처리면에 존재하는 Si 원소량(즉, 실란 커플링제층에 함유되는 Si 원소량)이 0.5μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만인 것이 바람직하다. 이 Si 원소량을 0.5μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만으로 하는 것으로써, 실란 커플링제의 사용량을 억제하면서, 수지와의 밀착성을 효과적으로 높일 수 있다. 실란 커플링제층에 함유되는 Si 원소량은, 보다 바람직하게는 3μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만이며, 더 바람직하게는 5μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만이다. Surface-treated copper foil of the present invention is preferably present Si element amount (i.e., Si element amount to be contained in the silane coupling agent layer) is 0.5μg / dm 2 or more 15μg / dm 2 is less than that in the surface roughening treatment. Is written as the Si element amount of less than 0.5μg / dm 2 or more 15μg / dm 2, while suppressing the amount of the silane coupling agent, it can improve the adhesion to the resin effectively. Si element amount to be contained in the silane coupling agent layer is, more preferably, 3μg / dm 2 or more and 15μg / dm less than 2, more preferably from 5μg / dm 2 or more and less than 15μg / dm 2.

상기 실란 커플링제는, 본 발명의 표면 수식 동박과 적층되는 수지층을 구성하는 수지의 분자 구조(관능기의 종류 등)에 따라 적절히 선택되는 것이다. 그 중에서도 상기 실란 커플링제는, 에폭시기, 아미노기, 비닐기, (메타)아크릴로일기, 스티릴기, 우레이드기, 이소시아누레이트기, 메르캅토기, 술피드기, 및 이소시아네이트기로부터 선택되는 적어도 1종의 관능기를 가지는 것이 바람직하다. 「(메타)아크릴로일기」는, 「아크릴로일기 및/또는 메타크리로일기」의 의미이다. The silane coupling agent is appropriately selected according to the molecular structure (kind of functional group, etc.) of the resin constituting the resin layer to be laminated with the surface-modified copper foil of the present invention. Among them, the silane coupling agent is preferably at least one selected from an epoxy group, an amino group, a vinyl group, a (meth) acryloyl group, a styryl group, a ureide group, an isocyanurate group, a mercapto group, a sulfide group and an isocyanate group It is preferable to have one kind of functional group. The term "(meth) acryloyl group" means "acryloyl group and / or methacryloyl group".

조화 입자를 형성한 동박 표면의 실란 커플링제에 의한 처리는 통상의 방법에 의해 행할 수 있다. 예를 들면, 실란 커플링제의 용액(도포액)을 조제하고, 이 도포액을 조화 입자를 형성한 동박 표면에 도포하고, 건조시키는 것으로, 조화 입자를 형성한 동박 표면에 실란 커플링제를 흡착 내지 결합시킬 수 있다. 상기 도포액으로서는, 예를 들면 순수를 이용하여 실란 커플링제를 0.05wt% ~ 1 wt%의 농도로 함유하는 용액을 이용할 수 있다. The treatment of the surface of the copper foil on which the coarse particles are formed with the silane coupling agent can be carried out by a conventional method. For example, a solution (coating liquid) of a silane coupling agent is prepared, and the coating liquid is applied to the surface of the copper foil on which the coarse particles are formed and dried, whereby the surface of the copper foil on which the coarse particles are formed is adsorbed . As the coating liquid, for example, a solution containing a silane coupling agent at a concentration of 0.05 wt% to 1 wt% using pure water can be used.

상기 도포액의 도포 방법에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 동박을 비스듬하게 한 상태로, 조화 입자를 형성한 표면에 도포액을 균일하게 흘리고, 롤을 이용하여 액 드레인(drain)을 한 후에 가열 건조시키거나, 롤 사이에, 조화 입자를 형성한 표면을 아래 방향(下向)으로 하여 붙인 동박에, 도포액을 분무하여, 롤로 액 드레인한 후에 가열 건조하거나 하는 것으로써, 도포할 수 있다. 도포 온도에 특별히 제한은 없고, 통상은 10 ~ 40℃로 실시한다. There is no particular limitation on the method of applying the coating liquid. For example, the coating liquid is uniformly flowed on the surface on which the coarse particles are formed in a state where the copper foil is obliquely, and a liquid is drained by using a roll The film can be coated by applying a coating liquid to a copper foil adhered with the surface on which the coarse particles are formed in a downward direction (downward) between the rolls, draining the solution into rolls, and then heating and drying . The coating temperature is not particularly limited, and is usually 10 to 40 占 폚.

[프린트 배선판용 구리 피복 적층판][Copper clad laminate for printed wiring board]

본 발명의 프린트 배선판용 구리 피복 적층판(이하, 「본 발명의 구리 피복 적층판」이라고 한다.)은, 본 발명의 표면 처리 동박의 조화 처리면에, 수지층(수지 기재)을 적층한 구조를 가진다. 상기 수지층에 특별히 제한은 없고, 프린트 배선판을 제작하기 위한 구리 피복 적층판에 통상 이용되는 수지층을 채용할 수 있다. 일례를 들면, 리지드(rigid) 기판에 사용되는 할로겐 프리 저유전 기재나, 플렉서블 기판에 범용되는 저유전 폴리이미드를 이용할 수 있다. The copper clad laminate for a printed wiring board of the present invention (hereinafter referred to as "copper clad laminate of the present invention") has a structure in which a resin layer (resin base) is laminated on the roughened surface of the surface-treated copper foil of the present invention . The resin layer is not particularly limited, and a resin layer which is usually used for a copper clad laminate for manufacturing a printed wiring board can be employed. For example, a halogen-free low-dielectric substrate used in a rigid substrate or a low-dielectric polyimide commonly used in a flexible substrate can be used.

표면 처리 동박과 수지 기재와의 적층 방법에 특별히 제한은 없고, 예를 들면, 열프레스 가공기를 이용한 열가압 성형법 등에 의해, 동박과 수지 기재를 접착시킬 수 있다. 상기 열가압 성형법에 있어서의 프레스 온도는 150 ~ 400℃ 정도로 하는 것이 바람직하다. 또한, 프레스압은 1 ~ 50 MPa 정도로 하는 것이 바람직하다. The method for laminating the surface-treated copper foil and the resin base material is not particularly limited. For example, the copper foil and the resin base material can be adhered to each other by a heat press molding method using a hot press machine. The press temperature in the thermo-compression molding method is preferably about 150 to 400 캜. The press pressure is preferably set to about 1 to 50 MPa.

구리 피복 적층판의 두께는, 10 ~ 1000μm가 바람직하다. The thickness of the copper clad laminate is preferably 10 to 1000 占 퐉.

[프린트 배선판][Printed circuit board]

본 발명의 프린트 배선판은, 본 발명의 구리 피복 적층판을 이용하여 제작된다. 즉, 본 발명의 구리 피복 적층판에 에칭 등의 처리를 실시하고, 도체 회로 패턴을 형성하고, 또한, 필요에 따라 그 외의 구성을 통상의 방법에 의해 형성 내지 탑재하여 얻을 수 있다. The printed wiring board of the present invention is manufactured using the copper clad laminate of the present invention. That is, the copper-clad laminate according to the present invention can be obtained by performing a treatment such as etching to form a conductor circuit pattern and, if necessary, forming or mounting other structures by a conventional method.

실시예Example

이하에, 실시예에 기초하여 본 발명을 더 상세하게 설명한다. 또한, 이하는 본 발명의 일례이며, 본 발명의 실시에 있어서는, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 여러 가지의 형태를 채용할 수 있다. Hereinafter, the present invention will be described in more detail based on examples. In addition, the following is an example of the present invention, and various forms can be employed in the practice of the present invention within the scope of not deviating from the gist of the present invention.

[동박의 제조][Production of copper foil]

조화 처리를 실시하기 위한 기재가 되는 동박으로서, 전해 동박 또는 압연 동박을 사용했다. An electrolytic copper foil or a rolled copper foil was used as a copper foil to be a substrate for carrying out the roughening treatment.

실시예 1, 2, 4, 5, 7 및 8, 비교예 1 ~ 4 및 7 및 참고예 1에서는, 하기 조건에 의해 제조한, 두께 12μm의 전해 동박을 이용했다. In Examples 1, 2, 4, 5, 7 and 8, and Comparative Examples 1 to 4 and 7 and Reference Example 1, an electrolytic copper foil having a thickness of 12 탆 was used, which was produced under the following conditions.

<전해 동박의 제조 조건>&Lt; Preparation conditions of electrolytic copper foil &

CuSO4: 280g/LCuSO 4 : 280 g / L

H2SO4: 70g/LH 2 SO 4 : 70 g / L

염소 농도: 25mg/LChlorine concentration: 25 mg / L

욕온: 55℃Bath temperature: 55 ℃

전류 밀도: 45A/dm2 Current density: 45 A / dm 2

(첨가제)(additive)

·3-메르캅토 1-프로판술폰산 나트륨: 2mg/LSodium 3-mercapto-1-propanesulfonate: 2 mg / L

·하이드록시에틸셀룰로오스: 10mg/LHydroxyethylcellulose: 10 mg / L

·저분자량 아교(분자량 3000): 50mg/L· Low molecular weight glue (molecular weight 3000): 50 mg / L

실시예 3 및 6 및 비교예 5 및 6에서는, 시판되고 있는 12μm의 터프 피치 구리 압연박(가부시키가이샤 UACJ(株式會社 UACJ)제)에 대해, 하기 조건으로 탈지 처리를 행한 것을 이용했다. In Examples 3 and 6 and Comparative Examples 5 and 6, a commercially available 12 μm tough pitch copper rolled sheet (manufactured by UACJ Co., Ltd.) was subjected to a degreasing treatment under the following conditions.

<탈지 처리 조건><Condition for degreasing treatment>

탈지 용액: 클리너 160S(매루텍스가부시키가이샤(Meltex Inc.)제)의 수용액Degreasing solution: An aqueous solution of Cleaner 160S (manufactured by Meltex Inc.)

농도: 60g/L 수용액Concentration: 60 g / L aqueous solution

욕온: 60℃Bath temperature: 60 ℃

전류 밀도: 3A/dm2 Current density: 3A / dm 2

통전 시간: 10초Power-on time: 10 seconds

[조화 처리면의 형성][Formation of Harmonized Surface]

전기 도금 처리에 의해, 상기 동박의 한쪽 면에 조화 도금 처리면을 형성했다. 이 조화 도금 처리면은, 하기의 조화 도금액 기본 욕(浴) 조성을 이용하여, 몰리브덴 농도를 하기 표 1 기재와 같이 하고, 또한, 극간 유속, 전류 밀도, 처리 시간을 하기 표 1 기재와 같이 하여 형성했다. 몰리브덴 농도는, 몰리브덴산 나트륨을 순수에 용해한 수용액을 기본 욕에 더하는 것으로 조정했다. A roughened surface was formed on one side of the copper foil by electroplating. The surface to be roughened plating was formed by setting the concentration of molybdenum as shown in Table 1 below and using the intercooled flow rate, the current density and the treatment time as shown in Table 1 below, using the following coarse plating bath basic bath composition did. The molybdenum concentration was adjusted by adding an aqueous solution of sodium molybdate dissolved in pure water to the basic bath.

<조화 도금액 기본 욕 조성>&Lt; Basic bath composition of harmony plating solution >

Cu: 25g/LCu: 25 g / L

H2SO4: 180g/LH 2 SO 4 : 180 g / L

욕온: 25℃Bath temperature: 25 ℃

Figure pct00001
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<금속 처리층의 형성><Formation of Metal Treatment Layer>

계속하여, 상기에서 조화 도금 처리한 표면에, 또한 하기 조건으로, Ni, Zn, Cr의 순서로 금속 도금을 실시하여 금속 처리층을 형성했다. 또한, 참고예 1에 대해서는 금속 처리층을 형성시키지 않았다. Subsequently, the surface subjected to the harmonious plating was subjected to metal plating in the order of Ni, Zn, and Cr in the following conditions to form a metal-treated layer. In addition, the metal treatment layer was not formed in Reference Example 1.

<Ni 도금><Ni plating>

Ni: 40g/LNi: 40 g / L

H3BO3: 5g/LH 3 BO 3 : 5 g / L

욕온: 20℃Bath temperature: 20 ℃

pH: 3.6pH: 3.6

전류 밀도: 0.2A/dm2 Current density: 0.2 A / dm 2

통전 시간: 10초Power-on time: 10 seconds

<Zn 도금><Zn plating>

Zn: 2.5g/LZn: 2.5 g / L

NaOH: 40g/LNaOH: 40 g / L

욕온: 20℃Bath temperature: 20 ℃

전류 밀도: 0.3A/dm2 Current density: 0.3 A / dm 2

통전 시간: 5초Power-up time: 5 seconds

<Cr 도금><Cr plating>

Cr: 5g/LCr: 5 g / L

욕온: 30℃Bath temperature: 30 ℃

pH: 2.2pH: 2.2

전류 밀도: 5A/dm2 Current density: 5 A / dm 2

통전 시간: 5초Power-up time: 5 seconds

<실란 커플링제의 도포(조화 처리면의 형성)>&Lt; Application of silane coupling agent (Formation of roughened surface) >

상기 금속 처리층 표면 전체에, 표 2 기재의 시판되고 있는 실란 커플링제의 용액(30℃)을 도포하고, 스퀴지로 여분의 액 드레인을 행한 후, 120℃ 대기(大氣)하에서 30초간 건조시켰다. 각 실란 커플링제의 용액의 조제 방법은 이하와 같다. A commercially available silane coupling agent solution (30 占 폚) as shown in Table 2 was applied to the entire surface of the metal treatment layer, and excess liquid drainage was performed by squeegee, followed by drying at 120 占 폚 under atmospheric pressure for 30 seconds. A method for preparing a solution of each silane coupling agent is as follows.

3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤(信越化學株式會社)제 KBM-402): 순수로 0.3wt% 용액을 조제. 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane (KBM-402 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): A 0.3 wt% solution was prepared with pure water.

3-아미노프로필트리메톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤제 KBM-903): 순수로 0.25wt% 용액을 조제. 3-Aminopropyltrimethoxysilane (KBM-903 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 0.25 wt% solution was prepared with pure water.

비닐트리메톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤제 KBM-1003): 순수에 황산을 첨가하여 pH3으로 조정한 용액으로 0.2wt% 용액을 조제. Vinyltrimethoxysilane (KBM-1003 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 0.2 wt% solution was prepared with a solution adjusted to pH 3 by adding sulfuric acid to pure water.

3-메타크릴록시프로필메틸디메톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤제 KBM-502): 순수에 황산을 첨가하여 pH3으로 조정한 용액으로 0.25wt% 용액을 조제. 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane (KBM-502 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 0.25 wt% solution was prepared with a solution adjusted to pH 3 by adding sulfuric acid to pure water.

3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤제 KBE-9007): 순수에 황산을 첨가하여 pH3으로 조정한 용액으로 0.2wt% 용액을 조제. 3-isocyanate propyltriethoxysilane (KBE-9007, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): 0.2 wt% solution was prepared by adding sulfuric acid to pure water and adjusting the pH to 3.

3-우레이드프로필트리에톡시실란(신에츠카가쿠가부시키가이샤제 KBE-585): 에탄올과 순수를 1:1로 혼합한 용액으로 0.3wt% 용액을 조제. 3-ureide propyltriethoxysilane (KBE-585 manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.): A 0.3 wt% solution was prepared by mixing 1: 1 of ethanol and pure water.

Figure pct00002
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[조화 입자의 평균 높이의 측정][Measurement of average height of harmonic particles]

조화 처리면에 있어서의 조화 입자의 평균 높이는, 이온 밀링(ion milling) 처리하는 것으로 얻어진 동박의 두께 방향과 평행한 단면을 SEM 관찰하는 것으로 구했다. 상세한 사항을 이하에 설명한다. The average height of the roughed grains in the roughened surface was obtained by SEM observation of a cross section parallel to the thickness direction of the copper foil obtained by ion milling. Details will be described below.

도 1은, 비교예 6으로 제조한 표면 처리 동박의 조화 처리면(실란 커플링제 처리 후의 표면)의 두께 방향과 평행한 단면의 SEM상이다. 마찬가지로 각 동박의 단면에 있어서, 시야 내에 조화 입자의 두정부(頭頂部)와 바닥부를 확인할 수 있고, 또한 조화 입자가 10개 전후 포함되는 배율로, 무작위로 다른 5시야에 대해서 SEM 관찰했다. 하나의 동박의 5개의 시야마다, 높이가 가장 높은 조화 입자의 상기 높이를 측정하고, 얻어진 5개의 측정치(최대치)의 평균을, 그 동박의 조화 처리면에 있어서의 조화 입자의 평균 높이로 했다. Fig. 1 is an SEM image of a cross section parallel to the thickness direction of the roughened surface (surface after the silane coupling agent treatment) of the surface-treated copper foil prepared in Comparative Example 6. Fig. Likewise, on the cross section of each copper foil, SEM observation was performed randomly for five different visual fields at a magnification that allows confirmation of the two heads and bottom portions of the coarse grains in the field of view and including about 10 coarse grains. The heights of the coarsened grains having the highest height were measured for each of five visual fields of one copper foil and the average of the obtained five measured values (maximum value) was taken as the average height of the coarsened particles on the roughened surface of the copper foil.

조화 입자의 높이의 측정 방법을, 도면을 이용하여 상세하게 설명한다. 도 1에 나타나는 바와 같이, 측정 대상으로 하는 조화 입자에 대해서, 좌우의 최저부(最底部)를 연결한 직선(a점과 b점을 연결한 직선)과의 최단 거리가 가장 긴, 상기 조화 입자의 두정부(c점)와 a점과 b점을 연결한 직선과의 최단 거리를, 조화 입자의 높이(H)로 했다. A method of measuring the height of harmonic particles will be described in detail with reference to the drawings. As shown in Fig. 1, the coarse particles to be measured are arranged such that the shortest distance between a straight line connecting a leftmost and rightmost bottom portion (a straight line connecting point a and point b) The shortest distance between the two points (point c) of the point A and the straight line connecting point a and point b is the height H of the coarsened particles.

도 2는, 실시예 2에서 제조한 표면 처리 동박의 조화 처리면(실란 커플링 처리 후의 표면)의 두께 방향과 평행한 단면의 SEM상이다. 이와 같이 조화 입자가 분기되어 형성되어 있는 경우에는, 분기 구조를 포함한 전체를, 1개의 조화 입자로 간주한다. 즉, 수지 형상으로 형성된 조화 입자의 좌우의 최저부를 연결한 직선(d점과 e점을 연결한 직선)과의 최단 거리가 가장 긴, 상기 조화 입자의 두정부(f점)와 d점과 e점을 연결한 직선과의 최단 거리를, 조화 입자의 높이(H)로 했다. 2 is an SEM image of a cross section parallel to the thickness direction of the roughened surface (surface after the silane coupling treatment) of the surface-treated copper foil prepared in Example 2. Fig. When the coarsely grained particles are formed in such a manner as to branch off, the whole including the branched structure is regarded as one coarsely grained particle. That is, the two points (f point) and d point of the coarse particles and the point (d) of the coarse particles having the longest distance from the straight line connecting the left and right lowermost portions of the coarse particles formed in resin form The shortest distance from the straight line connecting the points was defined as the height H of the harmonic grains.

결과를 하기 표 3에 나타낸다. The results are shown in Table 3 below.

[BET 표면적비 A의 측정][Measurement of BET surface area ratio A]

BET 표면적비 A는, BET법에 의해 측정되는 조화 처리면의 표면적(BET 측정 표면적)을, 평면에서 본 면적이 되는 시료 컷아웃 면적으로 나누는 것으로 산출된다. The BET surface area ratio A is calculated by dividing the surface area (BET measurement surface area) of the roughened surface measured by the BET method by the sample cutout area that is the area seen from the plane.

BET 측정 표면적은, 마이크로메리틱스샤(Micromeritics Japan)제 가스 흡착 세공 분포 측정 장치 ASAP 2020형을 사용하고, 크립톤 가스 흡착 BET 다점법에 의해 측정했다. 측정 전에, 전처리로서 150℃로 6시간의 감압 건조를 행했다. The BET measurement surface area was measured by a krypton gas adsorption BET multi-point method using a gas adsorption pore distribution measuring apparatus ASAP 2020 manufactured by Micromeritics Japan. Prior to the measurement, the pre-treatment was carried out under reduced pressure drying at 150 占 폚 for 6 hours.

측정에 사용하는 시료(동박)는, 대략 3g이 되는 3dm2을 잘라내어, 5mm 스퀘어(square)로 잘라낸 후, 측정 장치 내에 도입했다. The sample (copper foil) to be used for the measurement was cut out into 3 m 2 of approximately 3 g, cut into 5 mm squares, and introduced into the measuring apparatus.

BET법에 의한 표면적 측정에서는 장치 내에 도입한 시료 전체면의 표면적을 측정하기 때문에, 한쪽 면을 조화 처리한 상기의 표면 처리 동박에 있어서의 상기 조화 처리면만의 표면적을 측정할 수 없다. 여기서, BET 표면적비 A는, 실제로는 하기 식에 의해 산출했다. In the surface area measurement by the BET method, since the surface area of the entire surface of the sample introduced into the apparatus is measured, the surface area of only the surface of the surface-treated copper subjected to the roughening treatment on one surface can not be measured. Here, the BET surface area ratio A was actually calculated by the following formula.

<BET 표면적비 A><BET surface area ratio A>

조화 처리가 실시되지 않은 면(상기 조화 처리면과는 반대측의 면)의 표면적비를 1, 즉 시료 컷아웃 면적과 동일하다고 간주하고, 하기 식에 의해 BET 표면적비 A를 산출했다. The BET surface area ratio A was calculated by the following equation, assuming that the surface area ratio of the surface on which the roughening treatment was not performed (the surface opposite to the roughened surface) was equal to 1, that is, the sample cutout area.

(BET 표면적비 A)=[(BET 측정 표면적)-(시료 컷아웃 면적)]/(시료 컷아웃 면적)(BET surface area ratio A) = [(BET measurement surface area) - (sample cutout area)] / (sample cutout area)

또한, BET법의 표면적 측정에서는 조화 처리면 및 조화 처리가 실시되지 않은 면 이외의 면(측면)의 표면적도 측정되지만, 본 발명이 상정하고 있는 박 두께(예를 들면 최대라도 120μm 정도)에서는, 전체 평면에서 본 면적에 차지하는 측면의 비율은 매우 적고, 사실상 무시할 수 있다. Further, in the surface area measurement of the BET method, the surface area of the surface (side surface) other than the roughened surface and the surface not subjected to roughening treatment is also measured. However, at the thin thickness (for example, The aspect ratio of the area occupied by the entire plane is very small and can be ignored in practice.

참고예 1과 같이, 표면이 조화 처리 되어 있지 않은 것에서는, BET법의 측정 원리에 기인하여, BET 측정 표면적이 컷아웃 면적보다 작아지는 일이 있다(즉, BET 표면적비 A가 1 미만이 되는 일이 있다). 한편, 조화 처리에 의해 미세한 요철을 가지는 표면을 형성했을 경우에는, BET법을 적용하는 것으로써, 미세한 요철 등을 고감도로 검출하는 것이 가능해지고, 그 결과 BET 표면적비 A는 1을 초과하게 된다. In the case where the surface is not roughened as in Reference Example 1, the BET measurement surface area may be smaller than the cutout area due to the measurement principle of the BET method (that is, the BET surface area ratio A is less than 1 There is work. On the other hand, when the surface having fine irregularities is formed by the roughening treatment, it is possible to detect fine irregularities with high sensitivity by applying the BET method, and as a result, the BET surface area ratio A exceeds 1.

[레이저 표면적비 B의 측정][Measurement of laser surface area ratio B]

레이저 표면적비 B는, 레이저 현미경 VK8500(키엔스샤(KEYENCE CORPORATION.)제)를 이용한 표면적 측정치에 기초하여 산출했다. 보다 상세하게는, 시료(동박)의 조화 처리면을, 배율 1000배로 관찰하고, 평면에서 본 면적 6550μm2 부분의 3차원 표면적을 측정하여, 상기 3차원 표면적을 6550μm2로 나누는 것으로써, 레이저 표면적비 B를 구했다. 측정 피치는 0.01μm로 했다. 결과를 표 3에 나타낸다. The laser surface area ratio B was calculated based on the surface area measurement using a laser microscope VK8500 (manufactured by KEYENCE CORPORATION.). To be more specific, the roughened surface of the sample (copper foil), the observation times magnification of 1000, and measuring a three-dimensional surface area of the area of 6550μm 2 portions in a plan view, written by dividing the three-dimensional surface area to 6550μm 2, a laser surface area The ratio B was obtained. The measurement pitch was set to 0.01 mu m. The results are shown in Table 3.

[미세 표면 계수 Cms의 계산][Calculation of fine surface coefficient Cms]

미세 표면 계수 Cms는, 상기 BET 표면적비 A와 상기 레이저 표면적비 B를 이용하여 하기 식에 기초하여 산출했다. 결과를 하기 표 3에 나타낸다. The fine surface coefficient Cms was calculated based on the BET surface area ratio A and the laser surface area ratio B on the basis of the following equation. The results are shown in Table 3 below.

미세 표면 계수 Cms=BET 표면적비 A/레이저 표면적비 BFine surface coefficient Cms = BET surface area ratio A / laser surface area ratio B

[Si의 측정][Measurement of Si]

조화 처리면의 Si 원소량(μg/dm2)은(즉, 실란 커플링제층에 함유되는 Si 원소량은), 시료의 조화 도금 처리를 행하지 않은 면을 도료로 마스킹한 후 10cm 스퀘어로 잘라내고, 80℃로 가온한 혼합산(질산 2:염산 1:순수 5(체적비))으로 표면부만을 용해한 후, 얻어진 용액 중의 Si 질량을 히타치하이테크사이언스샤(Hitachi High-Tech Science Corporation.)제의 원자 흡광 광도계(형식: Z-2300)를 이용하여 원자 흡광 분석법에 의해 정량 분석을 행하여 구했다. 결과를 하기 표 3에 Si 원소량으로서 나타낸다. The amount of Si element (mu g / dm &lt; 2 &gt;) in the roughened surface (i.e., the amount of Si element contained in the silane coupling agent layer) was masked with the coating material on the surface not subjected to the roughening treatment of the sample, , Only the surface portion was dissolved by a mixed acid heated to 80 DEG C (nitric acid 2: hydrochloric acid 1: pure water 5 (volume ratio)), and the Si mass in the obtained solution was measured at an atom of Hitachi High-Tech Science Corporation And quantitatively analyzed by atomic absorption spectrometry using a spectrophotometer (model: Z-2300). The results are shown in Table 3 below as the amount of Si element.

[명도 지수 L*의 측정][Measurement of lightness index L * ] [

명도 지수 L*는, JIS-Z8729에 규정되는 표색계 L*a*b*에 있어서의 L*이다. 명도 지수 L*의 측정에는, 니혼분코(日本分光)제 자외 가시 분광 광도계 V-660(적분구(積分球) 유닛)을 사용했다. 파장 870 ~ 200 nm의 사이에서 조화 처리면의 전체 광선 분광 반사율을 측정했다. 얻어진 스펙트럼으로부터, 측정기 부속 소프트웨어에 의해 명도 지수 L*값을 산출하고, 표 3에 나타냈다. The lightness index L * is an L * in the color space L * a * b * as defined in JIS-Z8729. An ultraviolet visible spectrophotometer V-660 (an integrating sphere unit) manufactured by Nihon Bunko Co., Ltd. was used for the measurement of the brightness index L * . The total light ray spectral reflectance of the roughened surface was measured at a wavelength of 870 to 200 nm. From the obtained spectrum, the brightness index L * value was calculated by the software provided with the measuring apparatus, and it is shown in Table 3.

Figure pct00003
Figure pct00003

[고주파 특성의 평가][Evaluation of high-frequency characteristics]

고주파 특성의 평가로서 고주파 대역으로의 전송 손실을 측정했다. 상기 각 실시예 및 비교예에서 제조한, 조화 처리면을 가지는 표면 처리 동박의 상기 조화 처리면(실란 커플링제로 처리된 면)을, 파나소닉샤(Panasonic Corporation)제의 폴리페닐렌에테르계 저유전율 수지 기재인 MEGTRON6(두께 50 ~ 100μm)에 면압(面壓) 3 MPa, 200℃의 조건으로 2시간 프레스하는 것으로써 맞붙여서 구리 피복 적층판을 제작했다. 얻어진 적층판에 회로 가공을 행하고, 그 위에 또한 MEGTRON6를 맞붙여서 최종적으로 3층의 구리 피복 적층판으로 했다. 전송로는 폭 100μm, 길이 40mm의 마이크로스트립 라인을 형성시켰다. 이 전송로에, 네트워크 애널라이저를 이용하여 100 GHz까지의 고주파 신호를 전송하고, 전송 손실을 측정했다. 특성 임피던스는 50Ω으로 했다. As an evaluation of the high frequency characteristics, the transmission loss to the high frequency band was measured. The roughened surface (surface treated with the silane coupling agent) of the surface-treated copper foil having the roughened surface prepared in each of the above Examples and Comparative Examples was applied to a polyphenylene ether-based low dielectric constant A copper clad laminate was produced by pressing two sheets of the resin substrate MEGTRON6 (thickness 50 to 100 mu m) under the conditions of surface pressure 3 MPa and 200 DEG C for 2 hours. The obtained laminate was subjected to circuit processing, and MEGTRON6 was further laminated thereon to finally form a three-layer copper clad laminate. A microstrip line having a width of 100 m and a length of 40 mm was formed in the transmission line. In this transmission line, a high-frequency signal up to 100 GHz was transmitted using a network analyzer, and transmission loss was measured. The characteristic impedance was 50 Ω.

전송 손실의 측정치는, 절대값이 작을수록 전송 손실이 적고, 고주파 특성이 양호한 것을 의미한다. 표 4에는 20 GHz와 70 GHz에 있어서의 전송 손실의 평가 결과를 기재한다. 그 평가 기준은 하기와 같다. The measurement of the transmission loss means that the smaller the absolute value is, the lower the transmission loss and the better the high-frequency characteristic. Table 4 shows the evaluation results of transmission loss at 20 GHz and 70 GHz. The evaluation criteria are as follows.

<20 GHz의 전송 손실 평가 기준><Evaluation Criteria for Transmission Loss at 20 GHz>

◎: 전송 손실이 -6.2 dB 이상◎: transmission loss is -6.2 dB or more

○: 전송 손실이 -6.2 dB 미만으로부터 -6.5 dB 이상○: From transmission loss less than -6.2 dB to more than -6.5 dB

×: 전송 손실이 -6.5 dB 미만×: transmission loss less than -6.5 dB

<70 GHz의 전송 손실 평가 기준><Evaluation criteria of transmission loss at 70 GHz>

◎: 전송 손실이 -20.6 dB 이상◎: transmission loss is -20.6 dB or more

○: 전송 손실이 -20.6 dB 미만으로부터 -24.0 dB 이상?: -24.0 dB or more from a transmission loss of less than -20.6 dB

×: -24.0 dB 미만X: Less than -24.0 dB

또한, 상기 전송 손실의 평가 결과에 기초하여, 하기 평가 기준에 기초하여 고주파 특성을 종합 평가했다. 결과를 하기 표 4에 나타낸다. Further, on the basis of the evaluation result of the transmission loss, the high frequency characteristics were evaluated based on the following evaluation criteria. The results are shown in Table 4 below.

<고주파 특성 종합 평가 기준><General evaluation criteria for high frequency characteristics>

◎(우량): 20 GHz의 전송 손실과 70 GHz의 전송 손실의 평가 결과가 모두 ◎이다. ◎ (Good): The evaluation results of transmission loss of 20 GHz and transmission loss of 70 GHz are all ◎.

○(양): 20 GHz의 전송 손실의 평가 결과가 ◎이며, 70 GHz의 전송 손실의 평가 결과가 ○이다. (Positive): The evaluation result of the transmission loss at 20 GHz is ⊚, and the evaluation result of the transmission loss at 70 GHz is ◯.

△(합격): 70 GHz의 전송 손실의 평가 결과가 ×지만, 20 GHz의 전송 손실이 ◎ 또는 ○이다. (Pass): The evaluation result of the transmission loss at 70 GHz is x, but the transmission loss at 20 GHz is ⊚ or ◯.

×(불합격): 20 GHz의 전송 손실과 70 GHz의 전송 손실의 평가 결과가 모두 ×이다. × (Failed): The evaluation results of transmission loss of 20 GHz and transmission loss of 70 GHz are all ×.

[시인성의 평가][Evaluation of visibility]

시인성의 평가로서 흐림도(헤이즈값)의 측정을 행했다. 실시예 및 비교예에서 제조한 샘플의 조화 처리면을 수지 접착면으로서 가부시키가이샤카네카(Kaneka Corporation.)제의 라미네이트용 폴리이미드인 PIXEO(FRS-522, 두께 12.5μm)의 양 면에 접착시킬 수 있는 구리 피복 적층판을 제작했다. 이들의 구리 피복 적층판에 대해서, 양 면에 맞붙여진 동박을 염화 구리 수용액에 의한 에칭으로 제거하여, 헤이즈 측정용 샘플 필름을 제작했다. The haze value (haze value) was measured as an evaluation of visibility. The roughened surface of the sample prepared in Examples and Comparative Examples was applied as a resin adhering surface and adhered to both surfaces of a PIXEO (FRS-522, thickness 12.5 m) as a polyimide for a laminate made by Kaneka Corporation. A copper clad laminate was produced. With respect to these copper-clad laminated sheets, the copper foil bonded to both surfaces was removed by etching with an aqueous solution of copper chloride to prepare a sample film for haze measurement.

제작한 샘플 필름에 대해서, 니혼분코제 자외 가시 분광 광도계 V-660(적분구 유닛)을 사용하고, JIS K7136: 2000에 기재된 방법에 기초하여 헤이즈를 측정했다. (Td/Tt)×100(%)을 헤이즈값으로서 산출했다(Tt: 전체 광선 투과율, Td: 확산 투과율). The haze of the produced sample film was measured based on the method described in JIS K7136: 2000 using an ultraviolet visible spectrophotometer V-660 (integral sphere unit) manufactured by Nihon Bunko. (Tt: total light transmittance, Td: diffusion transmittance) was calculated as the haze value (Td / Tt) × 100 (%).

헤이즈값은 샘플 필름의 흐림도를 나타내고 있고, 수치가 작아질수록 흐림도가 낮고, 시인성으로서는 양호하다. 상기 시인성을 하기 평가 기준에 기초하여 평가했다. 결과를 하기 표 4에 나타낸다. The haze value indicates the degree of cloudiness of the sample film, and the smaller the numerical value, the lower the degree of fogging and the better the visibility. The visibility was evaluated based on the following evaluation criteria. The results are shown in Table 4 below.

<시인성의 평가 기준><Evaluation criteria of visibility>

◎: 헤이즈값이 30% 미만⊚: Haze value is less than 30%

○: 헤이즈값이 30% 이상 60% 미만○: Haze value is 30% or more and less than 60%

△: 헤이즈값이 60% 이상 80% 미만?: Haze value is 60% or more and less than 80%

×: 헤이즈값이 80% 이상×: haze value of not less than 80%

시인성이 ◎, ○ 또는 △이면, 실용상 허용할 수 있는 시인성이라고 말할 수 있다. If the visibility is ⊚, ◯ or △, it can be said that visibility is practically acceptable.

[밀착성의 평가-1][Evaluation of Adhesion-1]

밀착성은, 박리 시험에 의해 평가했다. 상기 [고주파 특성의 평가]에서 제작한 구리 피복 적층판과 마찬가지로 하여 구리 피복 적층판을 제작하고, 얻어진 구리 피복 적층판의 동박부를 10mm폭 테이프로 마스킹했다. 이 구리 피복 적층판에 대해서 염화 구리 에칭을 실시한 후 테이프를 제거하고, 10mm폭의 회로 배선판을 제작했다. 토요세이키세이사쿠쇼샤(東洋精機製作所社)제의 텐시론테스터를 이용하여, 이 회로 배선판의 10mm폭의 회로 배선 부분(동박 부분)을 90도 방향으로 50mm/분의 속도로 수지 기재로부터 박리했을 때의 박리 강도를 측정했다. 얻어진 측정치를 지표로 하여, 하기 평가 기준에 기초하여 밀착성을 평가했다. 또한, MEGTRON6 수지는 PIXEO 수지와 비교하여 밀착성에의 앵커 효과의 기여가 크다. 결과를 하기 표 4에 나타낸다. The adhesion was evaluated by peeling test. A copper clad laminate was prepared in the same manner as the copper clad laminate produced in the above [evaluation of high frequency characteristics], and the copper clad part of the obtained copper clad laminate was masked with a 10 mm wide tape. The copper-clad laminate was subjected to copper chloride etching, and then the tape was removed to prepare a circuit board having a width of 10 mm. A circuit wiring portion (copper foil portion) having a width of 10 mm on the circuit board was peeled off from the resin substrate at a rate of 50 mm / min in a direction of 90 degrees using a tensile tester manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., The peel strength was measured. Using the obtained measurement value as an index, the adhesiveness was evaluated based on the following evaluation criteria. In addition, the MEGTRON6 resin contributes more to the adhesion than the PIXEO resin in the anchor effect. The results are shown in Table 4 below.

<밀착성의 평가 기준><Evaluation Criteria of Adhesion>

○: 박리 강도가 0.6kN/m 이상?: Peel strength of 0.6 kN / m or more

△: 박리 강도가 0.5kN/m 이상 0.6kN/m 미만DELTA: Peel strength of 0.5 kN / m or more and less than 0.6 kN / m

×: 박리 강도가 0.5kN/m 미만X: Peel strength less than 0.5 kN / m

[밀착성의 평가-2][Evaluation of adhesion 2]

상기 [시인성의 평가]에서 제작한 구리 피복 적층판과 마찬가지로 하여 구리 피복 적층판을 제작하고, 얻어진 구리 피복 적층판의 동박부를 10mm폭 테이프로 마스킹했다. 이 구리 피복 적층판에 대해서 염화 구리 에칭을 행한 후 테이프를 제거하고, 10mm폭의 회로 배선판을 제작했다. 토요세이키세이사쿠쇼샤제의 텐시론테스터를 이용하여, 이 회로 배선판의 10mm폭의 회로 배선 부분(동박 부분)을 90도 방향으로 50mm/분의 속도로 수지 기재로부터 박리했을 때의 박리 강도를 측정했다. 얻어진 측정치를 지표로 하여, 하기 평가 기준에 기초하여 밀착성을 평가했다. 결과를 하기 표 4에 나타낸다. A copper clad laminate was prepared in the same manner as the copper clad laminate produced in [Evaluation of visibility], and the copper clad part of the obtained copper clad laminate was masked with a 10 mm wide tape. The copper clad laminate was subjected to copper chloride etching, and then the tape was removed to prepare a circuit board having a width of 10 mm. The peeling strength when the circuit wiring portion (copper foil portion) of 10 mm in width of this circuit wiring was peeled off from the resin base material at a rate of 50 mm / min in the 90 degree direction was measured using a tensile tester of Toyosaka Seisakusho Co., Respectively. Using the obtained measurement value as an index, the adhesiveness was evaluated based on the following evaluation criteria. The results are shown in Table 4 below.

<밀착성의 평가 기준><Evaluation Criteria of Adhesion>

○: 박리 강도가 1kN/m 이상?: Peel strength of 1 kN / m or more

×: 박리 강도가 1kN/m 미만X: peel strength less than 1 kN / m

또한, 상기 밀착성의 평가 결과에 기초하여, 하기 평가 기준에 기초하여 밀착성을 종합 평가했다. 결과를 하기 표 4에 나타낸다. Further, on the basis of the evaluation results of the adhesion, the adhesiveness was evaluated based on the following evaluation criteria. The results are shown in Table 4 below.

<밀착성 종합 평가 기준><Adhesiveness Overall Evaluation Standard>

◎(우량): 상기 [밀착성의 평가-1] 및 [밀착성의 평가-2]의 양 평가 결과가 ○이다. ⊚ (Good): The evaluation results of [adhesion evaluation 1] and [adhesion evaluation 2] described above are ◯.

○(합격): 상기 [밀착성의 평가-1]의 평가 결과가 △이며, 상기 [밀착성의 평가-2]의 평가 결과가 ○이다. (Pass): The evaluation result of [Adhesion evaluation-1] is?, And the evaluation result of [Adhesion evaluation-2] is?.

×(불합격): 상기 [밀착성의 평가-1] 및 [밀착성의 평가-2]의 적어도 어느 한 쪽의 평가 결과가 ×이다. × (rejection): The evaluation result of at least one of the [evaluation of adhesion-1] and the [adhesion evaluation-2] described above is X.

[종합 평가][Overall evaluation]

상기의 고주파 특성, 시인성 및 밀착성의 모든 것을 종합하고, 하기 평가 기준에 기초하여 종합 평가했다. All of the above-described high-frequency characteristics, visibility and adhesiveness were integrated and evaluated based on the following evaluation criteria.

<종합 평가의 평가 기준><Evaluation Criteria of Overall Evaluation>

A(우량): 고주파 특성의 종합 평가, 시인성의 평가 및 밀착성의 종합 평가의 결과가 모두 ◎이다. A (good): The results of the comprehensive evaluation of high-frequency characteristics, the evaluation of visibility and the evaluation of adhesion are both ◎.

B(합격): 상기 A를 만족하지 않지만, 고주파 특성의 종합 평가, 시인성의 평가 및 밀착성의 종합 평가의 결과에 있어서 ×가 없다. B (Pass): Although A is not satisfied, there is no X in the result of comprehensive evaluation of high-frequency characteristics, evaluation of visibility, and evaluation of adhesion.

C(불합격): 고주파 특성의 종합 평가, 시인성의 평가, 및 밀착성의 종합 평가의 적어도 하나의 평가 결과가 ×이다. C (rejection): At least one evaluation result of the comprehensive evaluation of high-frequency characteristics, the evaluation of visibility, and the evaluation of adhesion is x.

Figure pct00004
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상기 각 표에 나타난 결과에 대해서 고찰한다. The results shown in the above tables will be discussed.

비교예 1은, 표면 처리 동박의 조화 처리면에 존재하는 조화 입자의 평균 높이가 본 발명에서 규정하는 것보다도 작은 예이다. 비교예 1의 표면 처리 동박을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작했을 경우에는, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 떨어지는 결과가 되었다. Comparative Example 1 is an example in which the average height of the harmonic grains existing on the roughened surface of the surface-treated copper foil is smaller than that specified in the present invention. When the copper clad laminate was produced by using the surface-treated copper foil of Comparative Example 1, the adhesion between the copper foil and the resin substrate was poor.

비교예 2, 3 및 7은, 표면 처리 동박의 조화 처리면의 BET 표면적비 및 Cms의 모두 본 발명에서 규정하는 것보다도 작은 예이다. 비교예 2, 3 및 7의 표면 처리 동박을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작했을 경우에는, 동박과 수지 기재의 밀착성이 떨어지는 결과가 되었다. In Comparative Examples 2, 3 and 7, both the BET surface area ratio and the Cms of the roughened surface of the surface-treated copper foil are smaller than those specified in the present invention. When the copper-clad laminated boards were produced by using the surface-treated copper foils of Comparative Examples 2, 3 and 7, adhesion between the copper foil and the resin substrate was deteriorated.

비교예 4 및 5는, 표면 처리 동박의 조화 처리면에 존재하는 조화 입자의 평균 높이가 본 발명에서 규정하는 것보다도 큰 예이다. 비교예 4 및 5의 표면 처리 동박을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작하고, 도체 회로를 형성했을 경우에는, 고주파 특성 및 시인성의 어느 것도 크게 떨어지는 결과가 되었다. In Comparative Examples 4 and 5, the average height of the harmonic grains existing on the roughened surface of the surface-treated copper foil is larger than that specified in the present invention. When the copper-clad laminate was produced by using the surface-treated copper foils of Comparative Examples 4 and 5 and a conductor circuit was formed, both the high-frequency characteristics and the visibility were significantly lowered.

비교예 6은 Cms가 본 발명에서 규정하는 것보다도 작은 예이다. 비교예 6의 표면 처리 동박을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작했을 경우, 밀착성에의 앵커 효과의 기여가 큰 MEGTRON6 수지에서는 밀착성이 떨어지는 결과가 되었다. Comparative Example 6 is an example in which Cms is smaller than that specified in the present invention. When the copper-clad laminate was produced using the surface-treated copper foil of Comparative Example 6, the adhesion of the MEGTRON 6 resin, which contributed greatly to the anchor effect to the adhesion, was poor.

또한, 참고예 1은, 동박에 조화 처리를 실시하지 않고, 또한 금속 처리층의 형성도 실란 커플링제 처리도 행하지 않은 예이다. 참고예 1의 동박을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작했을 경우에는, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 크게 떨어지는 결과가 되었다. Reference Example 1 is an example in which the roughening treatment is not performed on the copper foil, and neither the metal treatment layer nor the silane coupling agent treatment is performed. When the copper clad laminate was produced by using the copper foil of Reference Example 1, the adhesion between the copper foil and the resin substrate was greatly reduced.

이것에 비해, 표면 처리 동박의 조화 처리면에 형성된 조화 입자의 평균 높이가 본 발명에서 규정하는 범위 내에 있고, 또한 상기 조화 처리면의 BET 표면적비 및 Cms도 본 발명에서 규정을 만족하는 실시예 1 ~ 8의 표면 처리 동박은, 이것을 이용하여 구리 피복 적층판을 제작했을 때에는, 동박과 수지 기재와의 밀착성이 우수했다. 또한, 실시예 1 ~ 8의 표면 처리 동박을 이용한 구리 피복 적층판으로부터 형성한 도체 회로는 고주파 신호를 전송해도 전송 손실이 효과적으로 억제되고, 또한 실시예 1 ~ 8의 표면 처리 동박을 적층하여 밀착시킨 수지 기재는, 그 후 동박을 에칭에 의해 제거했을 때에, 양호한 시인성을 나타냈다. In contrast to this, when the average height of the coarse grains formed on the roughened surface of the surface-treated copper foil is within the range specified in the present invention and the BET surface area ratio and Cms of the roughened surface are also in the range of the present invention When the copper clad laminate was produced using the surface-treated copper foil of Examples 1 to 8, the adhesion between the copper foil and the resin substrate was excellent. The conductor circuits formed from the copper-clad laminated boards using the surface-treated copper foils of Examples 1 to 8 effectively suppressed the transmission loss even when a high-frequency signal was transmitted. Further, the surface-treated copper foils of Examples 1 to 8 were laminated and adhered to each other The base material exhibited good visibility when the copper foil was thereafter removed by etching.

본원은, 2015년 12월 9일에 일본에서 특허 출원된 일본 특허 출원2015-240007에 기초하는 우선권을 주장하는 것이며, 이것은 여기에 참조하여 그 내용을 본 명세서의 기재의 일부로서 넣는다. The present application is based on Japanese patent application 2015-240007 filed in Japan on Dec. 9, 2015, which is incorporated herein by reference and its contents as part of the description of this specification.

Claims (8)

조화 입자가 형성된 표면에 실란 커플링제층을 가지는 프린트 배선판용 표면 처리 동박으로서,
상기 실란 커플링제층 표면에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.5μm 미만이며,
상기 실란 커플링제층 표면의 BET 표면적비가 1.2 이상, 미세 표면 계수 Cms가 2.0 이상 8.0 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
A surface-treated copper foil for a printed wiring board having a silane coupling agent layer on a surface on which roughening particles are formed,
Wherein the average height of the roughening particles in the surface of the silane coupling agent layer is 0.05 탆 or more and less than 0.5 탆,
Wherein the BET surface area ratio of the surface of the silane coupling agent layer is 1.2 or more and the fine surface coefficient Cms is 2.0 or more and less than 8.0.
제 1 항에 있어서,
상기 실란 커플링제층 표면에 있어서, 조화 입자의 평균 높이가 0.05μm 이상 0.3μm 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
The method according to claim 1,
Wherein the average height of the roughening particles on the surface of the silane coupling agent layer is from 0.05 mu m or more to less than 0.3 mu m.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 실란 커플링제층 표면의, L*a*b*표 색계에 있어서의 L*가 40 이상 60 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
3. The method according to claim 1 or 2,
The silane coupling agent layer on the surface, L * a * b * color system of table L * is 40 or more is less than 60, surface-treated copper foil for printed wiring board according to.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기의 조화 입자가 형성된 표면이, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 몰리브덴, 및 주석으로부터 선택되는 적어도 1종의 금속을 가지는 금속 처리층을 가지거나, 또는, 크롬, 철, 코발트, 니켈, 구리, 아연, 몰리브덴, 및 주석으로부터 선택되는 2종 이상의 금속으로 이루어지는 합금을 가지는 금속 처리층을 가지는, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
4. The method according to any one of claims 1 to 3,
Wherein the surface on which the roughening particles are formed has a metal treatment layer having at least one metal selected from the group consisting of chromium, iron, cobalt, nickel, copper, zinc, molybdenum and tin, A surface treated copper foil for a printed wiring board having a metal treatment layer having an alloy made of at least two metals selected from nickel, copper, zinc, molybdenum, and tin.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실란 커플링제층에 함유되는 Si 원소량이 0.5μg/dm2 이상 15μg/dm2 미만인, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
The silane coupling Si element amount is 0.5μg / dm 2 or more 15μg / dm 2 below, the surface treated copper foil for printed wiring board to be contained in the agent layer.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실란 커플링제가, 에폭시기, 아미노기, 비닐기, (메타)아크릴로일기, 스티릴기, 우레이드기, 이소시아누레이트기, 메르캅토기, 술피드기, 및 이소시아네이트기로부터 선택되는 적어도 1종의 관능기를 가지는, 프린트 배선판용 표면 처리 동박.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
The silane coupling agent is at least one selected from the group consisting of an epoxy group, an amino group, a vinyl group, a (meth) acryloyl group, a styryl group, a ureide group, an isocyanurate group, a mercapto group, a sulfide group, and an isocyanate group Of the surface-treated copper foil for a printed wiring board.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 프린트 배선판용 표면 처리 동박의, 상기 실란 커플링제층 표면에, 수지층이 적층되어서 이루어지는 프린트 배선판용 구리 피복 적층판. A copper clad laminate for a printed wiring board comprising a surface-treated copper foil for a printed wiring board according to any one of claims 1 to 6, wherein a resin layer is laminated on the surface of the silane coupling agent layer. 제 7 항에 기재된 프린트 배선판용 구리 피복 적층판을 이용한 프린트 배선판. A printed wiring board using the copper clad laminate for a printed wiring board according to claim 7.
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