KR20180036576A - Article transport facility - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 물품을 반송(transport)하는 제1 반송 장치와, 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비(article transport facility)에 관한 것이다. The present invention relates to an article transport facility having a first transport device for transporting an article and a second transport device for transporting the container.
이러한 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2000-091401호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 1개의 반송 장치[이송탑재(移載; transfer) 로봇(76)]과, 물품(reticle)을 수용한 용기(카세트)가 반입(搬入)되는 반입용 포트[입출고구(入出庫口)(81)]와, 물품용의 보관부[선반(72a)]와, 용기용의 보관부[카세트 선반(72b)]가 구비되어 있다. 반송 장치는, 카세트용 핸드(77)와 레티클용 핸드(78)를 구비하고 있고, 1개의 반송 장치가, 물품을 반송하는 반송 장치인 제1 반송 장치와 용기를 반송하는 반송 장치인 제2 반송 장치에 겸용되고 있다. 그리고, 반송 장치는, 카세트용 핸드(77)를 사용하여, 반입용 포트에 반입된 용기를 용기용의 보관부에 반송한다. 또한, 반송 장치는, 레티클용 핸드(78)를 사용하여, 용기용의 보관부에 보관된 보관 중인 용기 내로부터 물품을 인출하여 물품용의 보관부로 반송하는 동시에, 물품용의 보관부의 물품을 보관 중인 용기 내에 수용한다. An example of such an article transporting facility is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-091401 (Patent Document 1). In the article transporting apparatus of
이와 같은 물품 반송 설비를 이용하여, 물품이나 용기를 세정하는 것을 생각할 수 있다. 즉, 물품용의 보관부 대신에, 물품 세정용 포트를 설치하고, 용기용의 보관부 대신에, 용기 세정용 포트를 설치한다. 물품 세정용 포트는, 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트이며, 용기 세정용 포트는, 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트이다. It is conceivable to clean an article or a container using such an article transporting facility. That is, in place of the storage portion for the article, a port for cleaning the article is provided, and a container cleaning port is provided in place of the storage portion for the container. The port for cleaning the article is a port provided at a position corresponding to the first cleaner for cleaning the article and the container cleaning port is a port provided at a position corresponding to the second cleaner for cleaning the container.
즉, 반송 장치의 카세트용 핸드를 사용하여, 세정 전의 용기를 반입용 포트로부터 용기 세정용 포트로 반송하고, 반송 장치의 레티클용 핸드를 사용하여, 용기 세정용 포트에 위치하는 용기 내로부터 세정 전의 물품을 인출하여 이 세정 전의 물품을 물품 세정용 포트로 반송하는 동시에, 제1 세정기에 의해 세정된 세정 후의 물품을 물품 세정용 포트로부터 용기 세정용 포트에 위치하는 용기 내에 수용하는 것을 생각할 수 있다. That is, by using the cassette hand of the transfer device, the container before cleaning is transported from the carry-in port to the container cleaning port, and from the container placed in the container cleaning port using the reticle hand, It is conceivable that the article is taken out, the article before cleaning is transferred to the article cleaning port, and the cleaned article, which has been cleaned by the first cleaner, is accommodated in the container located in the container cleaning port from the article cleaning port.
그러나, 전술한 바와 같이, 반송 장치에 의해 용기나 물품을 반송하면, 레티클용 핸드에 의해, 세정 전의 물품과 세정 후의 물품과의 양쪽을 반송한다. 그러므로, 레티클용 핸드에 의해 세정 전의 물품을 반송했을 때, 세정 전의 물품에 부착되어 있는 먼지 등의 오염 물질이 레티클용 핸드에 부착되고, 레티클용 핸드에 의해 세정 후의 물품을 반송했을 때, 레티클용 핸드에 부착된 오염 물질이 세정 후의 물품에 부착됨으로써, 세정 후의 물품이 오염되는 것을 생각할 수 있다. However, as described above, when the container or the article is transported by the transport apparatus, both the article before cleaning and the article after cleaning are transported by the reticle hand. Therefore, when the article before cleaning is transported by the reticle hand, contaminants such as dust adhering to the article before cleaning are attached to the reticle hand, and when the article after cleaning is transported by the reticle hand, It is conceivable that the contaminants attached to the hand are attached to the article after cleaning, thereby contaminating the article after cleaning.
그래서, 세정 후의 물품이 오염되는 것을 회피할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다. Therefore, it is required to realize an article transporting facility capable of avoiding contamination of the article after cleaning.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 물품을 수용한 상기 용기가 반입되는 반입용 포트와, 상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트와, 상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트와, 상기 물품을 반송하는 제1 반송 장치와, 상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비하고, 상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처(搬送處)에 대한 반송을 행하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행하는 점에 있다. In order to solve the above problems, a characteristic configuration of an article transporting apparatus includes a loading port in which the container containing the article is loaded, and a loading port provided at a position corresponding to the first washing apparatus for cleaning the article, A first cleaning port for holding the container holding the article before cleaning, and a second cleaning port provided at a position corresponding to the first cleaner, for holding the article after being taken out of the container and cleaned by the first cleaner And a second transfer device for transferring the container, wherein the second cleaning port is provided separately from the first cleaning port and the second cleaning port, And the second transfer device is configured to transfer the container from the loading port to the first cleaning port, to the first cleaning port of the container after the article is taken out, Send to the second emitter (搬 送 處) performs the transfer for the first conveying device, and from the
이와 같은 구성에 의해, 반입용 포트에 반입된 용기는, 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 이 때 제2 반송 장치에 의해 반송되는 용기에는, 제1 세정기에 세정되기 전의 물품이 수용되어 있다. 그리고, 물품에 대하여는, 제1 세정용 포트에 위치하는 용기로부터 인출되어 제1 세정기에 의해 세정된 후, 제2 세정용 포트에 탑재된다. 그리고, 이 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로 반송된다. 또한, 물품이 인출되어 비어 있었던 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로 반송된다. With this configuration, the container carried in the carry-in port is transported from the carry-in port to the first cleaning port by the second transfer device. At this time, the container conveyed by the second conveyance apparatus contains the article before being cleaned by the first cleaner. The product is drawn out from the container located in the first cleaning port, and is then cleaned by the first cleaner, and then mounted on the second cleaning port. Then, the cleaned product is transported from the second cleaning port to the first transportation destination by the first transportation device. Further, the container from which the article is drawn out and is empty is transported from the first cleaning port to the second transporting destination by the second transporting device.
제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품은, 용기에 수용된 상태로 반입용 포트에 반입되고, 용기에 수용된 상태로 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 그리고, 제1 세정기에 의해 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제1 반송 장치는, 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품을 반송하지 않고, 세정된 후의 물품의 반송만을 행하므로, 세정되기 전의 물품을 반송함으로써 오염된 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 물품을 반송함으로써, 세정한 후의 물품이 오염된다는 것을 회피할 수 있다. The article before being cleaned by the first cleaner is carried into the carry-in port while being accommodated in the container, and is transported from the carry-in port to the first cleaning port by the second transfer device while being accommodated in the container. Then, the article that has been cleaned by the first cleaner is transported from the second cleaning port to the transport destination by the first transport device. As described above, the first conveying device does not convey the article before being cleaned by the first cleaner, but only carries the article after it has been cleaned. Therefore, the article before cleaning is conveyed to clean the article by the contaminated second conveying device It is possible to avoid that the article after cleaning is contaminated.
도 1은 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 물품 반송 설비의 측면도
도 3은 제2 스태커 크레인(stacker crane)에 의한 용기 반송의 설명도
도 4는 제1 스태커 크레인에 의한 판형체 반송의 설명도
도 5는 제1 스태커 크레인에 의한 판형체의 반송과 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 6은 제1 스태커 크레인에 의한 판형체의 반송과 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 7은 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 8은 제1 스태커 크레인에 의한 판형체 반송의 설명도1 is a plan view of the product transportation equipment
2 is a side view of the product transporting apparatus
3 is an explanatory diagram of container transportation by a second stacker crane
Fig. 4 is an explanatory diagram of planetary body conveyance by the first stacker crane
5 is an explanatory diagram of conveyance of the plate-shaped body by the first stacker crane and conveyance of the container by the second stacker crane
6 is an explanatory diagram of conveyance of the plate-shaped body by the first stacker crane and conveyance of the container by the second stacker crane;
7 is an explanatory diagram of container transportation by the second stacker crane
Fig. 8 is an explanatory diagram of planetary body conveyance by the first stacker crane
이하, 본 발명에 관한 물품 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of a product transport system according to the present invention will be described with reference to the drawings.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 판형체(1) 및 용기(2)를 보관하는 보관 선반(storage rack)(4)과, 판형체(1)를 반송하는 제1 스태커 크레인(5)과, 용기(2)를 반송하는 제2 스태커 크레인(6)과, 용기 반입용의 반입용 포트(7)와, 용기 반출용(搬出用)의 반출용 포트(8)를 구비하고 있다. 또한, 물품 반송 설비에는, 벽체(W)가 구비되어 있고, 보관 선반(4)과 제1 스태커 크레인(5)과 제2 스태커 크레인(6)은, 벽체(W)에 에워싸인 내부에 설치되어 있다. 1, the product transport equipment is provided with a
벽체(W)의 외부에는, 상기 벽체(W)에 인접하는 상태로 제1 세정기(CL1)와 제2 세정기(CL2)가 설치되어 있다. 제1 세정기(CL1)는, 판형체(1)를 세정하기 위한 세정기이며, 제2 세정기(CL2)는, 판형체(1)가 인출된 후의 용기(2)를 세정하기 위한 세정기이다. 그리고, 물품 반송 설비에는, 제1 세정기(CL1)에 대하여 설치된 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)와, 제2 세정기(CL2)에 대하여 설치된 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)가 구비되어 있다. 제1 세정용 포트(11)는, 제2 세정용 포트(12)와는 별개로 설치되고, 제4 세정용 포트(14)는, 제3 세정용 포트(13)와는 별개로 설치되어 있다. A first cleaner CL1 and a second cleaner CL2 are provided outside the wall W in a state of being adjacent to the wall W. [ The first cleaner CL1 is a cleaner for cleaning the
본 실시형태에서는, 판형체(1)는, 포토마스크이며, 평면에서 볼 때의 형상이 직사각형으로 형성되어 있다. 그리고, 판형체(1)가 물품에 상당한다. 용기(2)는, 규정 개수의 판형체(1)를 수용 가능한 용기이다. 용기(2)로서, 커버가 구비되어 있고 커버의 개폐가 필요한 밀폐된 밀폐식의 용기, 커버가 구비되어 있지 않고 커버의 개폐가 불필요한 해방식(解放式)의 용기 중 어느 용기를 사용해도 된다. 단, 밀폐식의 용기를 사용하는 경우에는, 커버의 개폐가 필요한 위치[예를 들면, 후술하는 반출용 포트(8) 등]에는, 용기(2)의 커버를 개폐하는 개폐 장치를 구비할 필요가 있다. In the present embodiment, the plate-
이하, 물품 반송 설비의 각각의 구성에 대하여 설명하지만, 상하 방향 Z에서 볼 때, 제1 세정기(CL1)와 제2 세정기(CL2)가 배열되는 방향을 배열 방향 Y라고 하고, 이 배열 방향 Y에 대하여 직교하는 방향을 전후 방향 X라고 하여 설명한다. 또한, 전후 방향 X에 있어서, 보관 선반(4)에 대하여 제1 스태커 크레인(5)이나 제2 스태커 크레인(6)이 존재하는 방향을 전방 X1이라고 하고, 그 반대 방향을 후방 X2라고 하여 설명한다. 또한, 배열 방향 Y에 있어서, 제2 세정기(CL2)에 대하여 제1 세정기(CL1)가 존재하는 방향을 제1 방향 Y1이라고 하고, 그 반대 방향을 제2 방향 Y2라고 하여 설명한다. Hereinafter, the respective arrangements of the product transport equipment will be described, but the direction in which the first cleaner CL1 and the second cleaner CL2 are arranged is referred to as the arrangement direction Y in the vertical direction Z, And the direction orthogonal to the direction X is referred to as a forward / backward direction X. The direction in which the
도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비의 천정부에는, 제1 팬(fan) 필터 유닛(16)이 설치되어 있다. 이 제1 팬 필터 유닛(16)은, 보관 선반(4)이나 제1 스태커 크레인(5)이나 제2 스태커 크레인(6)보다 위쪽에 설치되어 있고, 위쪽의 공기를 흡인하여 아래쪽으로 공기를 토출(吐出)한다. 이로써, 벽체(W)의 내부에는, 천정측으로부터 바닥측을 향해 청정 공기가 하방향으로 유동(流動)하는 다운플로우(downflow)가 형성되어 있다. As shown in Fig. 2, a
또한, 벽체(W)에는, 제2 팬 필터 유닛(17)이 설치되어 있다. 제2 팬 필터 유닛(17)은, 보관 선반(4)에 대하여 후방 X2 측에 위치하도록 설치되어 있다. 그리고, 제2 팬 필터 유닛(17)은, 후방 X2의 공기를 흡인하여 전방 X1로 토출한다. 이로써, 보관 선반(4) 내에 청정 공기가 후방 X2로부터 전방 X1로 흐르는 청정 공기의 흐름이 형성되어 있다. The wall W is provided with a second
물품 반송 설비가 설치되는 바닥부(F)는, 하부 바닥(F1)과, 하부 바닥(F1)보다도 위쪽에 설치된 상부 바닥(F2)에 의해 구성되어 있고, 하부 바닥(F1)과 상부 바닥(F2)과의 사이에 바닥 하부 공간이 형성되고, 상부 바닥(F2)과 천정과의 사이에 작업 공간이 형성되어 있다. 상부 바닥(F2)은, 그레이팅(grating) 바닥이며, 상하 방향 Z로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있다. 하부 바닥(F1)은, 통기공을 가지지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 구멍이 없는 형상의 콘크리트에 의해 구성되어 있다. The bottom portion F on which the product transportation equipment is installed is constituted by a lower floor F1 and an upper floor F2 provided above the lower floor F1. The lower floor F1 and the upper floor F2 , And a work space is formed between the upper floor F2 and the ceiling. The upper floor F2 is a grating floor, and a plurality of ventilation holes penetrating in the vertical direction Z are formed. The lower floor F1 is a floor having no ventilation holes, and in the present embodiment, it is constituted by a concrete having no holes.
[반출입(搬出入)용 컨베이어][Conveyor for carry-in / out]
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 반입용 컨베이어(19)와 반출용 컨베이어(20)와의 각각이 벽체(W)를 관통하는 상태로 설치되어 있다. 반입용 컨베이어(19)나 반출용 컨베이어(20)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 반송한다. As shown in Fig. 1, each of the carry-in
반입용 컨베이어(19)는, 벽체(W)의 외부에 위치하는 제1 반입 위치로부터 벽체(W)의 내부에 위치하는 제2 반입 위치로 용기(2)를 반송한다. 반입용 컨베이어(19)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 반입용 컨베이어(19)의 전방 X1의 단부(端部)에 의해 반입용 포트(7)가 구성되어 있다. 환언하면, 반입용 포트(7)는, 제2 반입 위치에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 반입용 컨베이어(19)에 의해 용기(2)를 제1 반입 위치로부터 제2 반입 위치로 반송함으로써, 용기(2)가 반입용 포트(7)에 반입된다. 이와 같이, 반입용 포트(7)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)가 반입되는 포트이다. The carry-on
반출용 컨베이어(20)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제1 반출 위치로부터 벽체(W)의 외부에 위치하는 제2 반출 위치로 용기(2)를 반송한다. 반출용 컨베이어(20)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 반출용 컨베이어(20)의 전방 X1의 단부에 의해 반출용 포트(8)가 구성되어 있다. 환언하면, 반출용 포트(8)는, 제1 반출 위치에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 반출용 컨베이어(20)에 의해 용기(2)를 제1 반출 위치로부터 제2 반출 위치로 반송함으로써, 용기(2)가 반출용 포트(8)로부터 반출된다. 이와 같이, 반출용 포트(8)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 반출하기 위한 포트이다. The conveying
[세정용 컨베이어][Cleaning conveyor]
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 제1 세정용 컨베이어(21)와 제2 세정용 컨베이어(22)와 제3 세정용 컨베이어(23)와 제4 세정용 컨베이어(24)와의 각각이, 벽체(W)를 관통하는 상태로 설치되어 있다. 제1 세정용 컨베이어(21) 및 제2 세정용 컨베이어(22)는, 제1 세정기(CL1)에 대하여 설치되어 있고, 제3 세정용 컨베이어(23) 및 제4 세정용 컨베이어(24)는, 제2 세정기(CL2)에 대하여 설치되어 있다. As shown in Fig. 1, the product conveying equipment is provided with a
제1 세정용 컨베이어(21)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제1 위치 P1으로부터 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 용기(2)를 반송하는 동시에, 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 위치 P1으로 용기(2)를 반송한다. 제1 세정기(CL1)에는, 용기(2)로부터 판형체(1)를 인출하는 로봇(도시하지 않음)이 장비되어 있다. 그러므로, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 위치 P1으로부터 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 반송되는 용기(2)에는 판형체(1)가 수용되어 있지만, 이 밀착되는 위치의 용기(2)로부터 로봇에 의해 판형체(1)가 인출되므로, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 위치 P1으로 반송되는 용기(2)에는 판형체(1)는 수용되어 있지 않다. 이와 같이, 제1 세정용 컨베이어(21)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2) 및 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)의 양쪽을 반송한다. 그리고, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 반송되는 용기(2) 및 이에 수용되어 있는 판형체(1)는, 세정기에 의해 세정되기 전의 용기(2)[세정 전의 용기(2)] 및 판형체(1)[세정 전의 판형체(1)]이다. 제1 세정용 컨베이어(21)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제1 세정용 컨베이어(21)의 전방 X1의 단부에 의해 제1 세정용 포트(11)가 구성되어 있다. 환언하면, 제1 세정용 포트(11)는, 제1 위치 P1에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제1 세정용 포트(11)는, 판형체(1)를 세정하는 제1 세정기(CL1)에 대응하는 위치에 설치되어 제1 세정기(CL1)에 의해 세정되기 전의 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다. The
제2 세정용 컨베이어(22)는, 제1 세정기(CL1)내에서 벽체(W)의 내부에 위치하는 제2 위치 P2로 판형체(1)를 반송한다. 제1 세정기(CL1)는, 로봇에 의해 인출한 판형체(1)를 세정하고, 그 세정된 후의 판형체(1)[세정 후의 판형체(1)]를 제2 세정용 컨베이어(22)에 탑재한다. 그러므로, 제2 세정용 컨베이어(22)에 의해 제1 세정기(CL1)내로부터 제2 위치 P2로 반송되는 판형체(1)는, 세정 후의 판형체(1)이다. 제2 세정용 컨베이어(22)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제2 세정용 컨베이어(22)의 전방 X1의 단부에 의해 제2 세정용 포트(12)가 구성되어 있다. 환언하면, 제2 세정용 포트(12)는, 제2 위치 P2에 위치하는 판형체(1)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제2 세정용 포트(12)는, 제1 세정기(CL1)에 대응하는 위치에 설치되고, 용기(2)로부터 인출되어 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 지지하는 포트에 상당한다. The
제3 세정용 컨베이어(23)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제3 위치 P3로부터 제2 세정기(CL2) 내로 용기(2)를 반송한다. 제3 세정용 컨베이어(23)에 의해 반송되는 용기(2)는, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되기 전의 용기(2)[세정 전의 용기(2)]이다. 제3 세정용 컨베이어(23)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제3 세정용 컨베이어(23)의 전방 X1의 단부에 의해 제3 세정용 포트(13)가 구성되어 있다. 환언하면, 제3 세정용 포트(13)는, 제3 위치 P3에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제3 세정용 포트(13)는, 제2 세정기(CL2)에 대응하는 위치에 설치되어 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되기 전의 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다. The
제4 세정용 컨베이어(24)는, 제2 세정기(CL2)내에서 벽체(W)의 내부에 위치하는 제4 위치 P4로 용기(2)를 반송한다. 제4 세정용 컨베이어(24)에 의해 반송되는 용기(2)는, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된 후의 용기(2)[세정 후의 용기(2)]이다. 제4 세정용 컨베이어(24)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제4 세정용 컨베이어(24)의 전방 X1의 단부에 의해 제4 세정용 포트(14)가 구성되어 있다. 환언하면, 제4 세정용 포트(14)는, 제4 위치 P4에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 이 제4 세정용 포트(14)는, 제2 세정기(CL2)에 대응하는 위치에 설치되어 제2 세정기(CL2)에 세정된 후의 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다. The
[보관 선반][Storage shelves]
보관 선반(4)은, 복수의 보관부(26)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)은, 상하 방향 Z 및 배열 방향 Y로 복수 배열되는 상태로 보관부(26)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)에는, 보관부(26)로서, 판형체(1)를 보관하기 위한 제1 보관부(27)와, 용기(2)를 보관하기 위한 제2 보관부(28)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)은, 배열 방향 Y에 있어서, 제1 보관부(27)가 제2 보관부(28)에 대하여 제1 방향 Y1에 위치하도록, 제1 보관부(27) 및 제2 보관부(28)를 구비하고 있다. The storage shelf (4) has a plurality of storage portions (26). The
또한, 보관 선반(4)에는, 또한 반입용 포트(7)[반입용 컨베이어(19)], 반출용 포트(8)[반출용 컨베이어(20)], 제1 세정용 포트(11)[제1 세정용 컨베이어(21)], 제2 세정용 포트(12)[제2 세정용 컨베이어(22)], 제3 세정용 포트(13)[제3 세정용 컨베이어(23)], 제4 세정용 포트(14)[제4 세정용 컨베이어(24)], 후술하는 검사부(29)가 구비되어 있다. The
본 실시형태에서는, 전후 방향 X로 배열되는 상태로 보관 선반(4)이 한 쌍 설치되어 있고, 전후 방향 X에 있어서, 한 쌍의 보관 선반(4)의 사이에 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)이 설치되어 있다. 한 쌍의 보관 선반(4) 중 한쪽의 보관 선반(4)에, 반입용 포트(7), 반출용 포트(8) 및 검사부(29)가 형성되어 있고, 한 쌍의 보관 선반(4) 중 다른 쪽의 보관 선반(4)에, 제1 세정용 포트(11), 제2 세정용 포트(12), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)가 구비되어 있다. 제1 보관부(27) 및 제2 보관부(28)의 각각은, 한 쌍의 보관 선반(4)의 양쪽에 구비되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 검사부(29)로서, 제1 검사부(30)와 제2 검사부(31)와의 2개의 검사부(29)를 구비하고 있다. 제1 검사부(30)는, 미립자나 패턴의 결함 등의 판형체(1)의 외관을 검사한다. 제2 검사부(31)는, 판형체(1)의 길이, 폭 및 두께 등의 판형체(1)의 크기를 계측[측장(測長)]한다. In the present embodiment, a pair of
도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 보관부(28)로서, 세정 후의 용기(2)를 보관하기 위한 세정 후의 제2 보관부(28A)와, 세정 전의 용기(2)를 보관하기 위한 세정전용의 제2 보관부(28B)가 있다. 세정전용의 제2 보관부(28B)는, 세정 후의 제2 보관부(28A)보다 아래쪽에 구비되어 있다. 상하 방향 Z에 인접하는 세정후용의 제2 보관부(28A)와 세정전용의 제2 보관부(28B)는, 칸막이체(32)에 의해 구획되어 있다. 칸막이체(32)는, 상하 방향 Z에 인접하는 세정후용의 제2 보관부(28A)와 세정후용의 제2 보관부(28B)를 서로 공기가 유동하지 않도록, 구멍이 없는 형상의 판형재에 의해 구성되어 있다. As shown in Fig. 2, the
[스태커 크레인][Stacker Crane]
도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)의 각각은, 배열 방향 Y로 이동 가능하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반송하는 스태커 크레인이다. 제2 스태커 크레인(6)은, 용기(2)를 반송하는 스태커 크레인이다. 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 스태커 크레인(6)에 대하여 제1 방향 측에 있다. 제1 스태커 크레인(5)의 이동 경로(M1)와 제2 스태커 크레인(6)의 이동 경로(M2)가, 배열 방향 Y로 중첩되는 부분을 가진다. 그리고, 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반송하는 제1 반송 장치에 상당하고, 제2 스태커 크레인(6)은, 용기(2)를 반송하는 제2 반송 장치에 상당한다. As shown in Fig. 1, each of the first and
도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 배열 방향 Y로 주행하는 주행 대차(travel carriage)(33)와, 주행 대차(33)에 세워 설치된 마스트(mast)(34)와, 마스트(34)를 따라 승강하는 승강체(35)와, 승강체(35)에 지지되어 있는 이송탑재 장치(transfer device)(36)를 구비하고 있다. 상세한 설명은 생략하지만, 이송탑재 장치(36)에는, 용기(2)를 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 전후 방향 X를 따라 이동시키는 링크 기구(機構)를 구비하고 있다. 제2 스태커 크레인(6)의 이송탑재 장치(36)는, 제2 반송원(搬送元)(S2)으로부터 자체에 용기(2)를 이송탑재(transfer) 가능하면서 또한 자기(自己)로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)은, 이송탑재 장치(36)의 지지체에 의해 판형체(1)를 지지하는 점 이외에는, 제2 스태커 크레인(6)과 동일하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)의 이송탑재 장치(36)는, 제1 반송원(S1)으로부터 자체에 판형체(1)를 이송탑재 가능하면서 또한 자기로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 2, the
[포트의 위치 관계][Location relationship of port]
제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 제2 세정용 포트(12)가 가장 제1 방향 Y1 측에 설치되는 동시에 제4 세정용 포트(14)가 가장 제2 방향 Y2 측에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)는, 제2 방향 Y2을 측을 향해, 제2 세정용 포트(12), 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13), 제4 세정용 포트(14)의 순으로 정렬되어 있다. 이와 같이, 제1 스태커 크레인(5)이 반송원 또는 반송처로 하는 제2 세정용 포트(12)는, 제2 스태커 크레인(6)이 반송원 또는 반송처로 하는 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)보다도 제1 방향 Y1에 위치하도록 설치되어 있다. The
반입용 포트(7)와 반출용 포트(8)는, 제2 방향 Y2을 측을 향해, 반입용 포트(7), 반출용 포트(8)의 순으로 정렬되어 있다. 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)는, 배열 방향 Y에 있어서, 제2 세정용 포트(12)의 제1 방향 Y1 측의 단부와, 제4 세정용 포트(14)의 제2 방향 Y2 측의 단부와의 사이에 위치하도록 설치되어 있다. 그리고, 이들 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)는, 배열 방향 Y에 있어서, 제1 스태커 크레인(5)의 이동 경로(M1)와 제2 스태커 크레인(6)의 이동 경로(M2)가 중첩되는 영역 내에 설치되어 있다. 제2 세정용 포트(12)보다 제1 방향 Y1으로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제1 보관부(27)만이 설치되어 있고, 제4 세정용 포트(14)보다 제2 방향 Y2로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제2 보관부(28)만이 설치되어 있다. The carry-in
[반송의 형태][Form of return]
제1 스태커 크레인(5)은, 제1 반송원(S1)으로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 반송한다. 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 세정용 포트(12), 제1 검사부(30), 제2 검사부(31) 및 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 검사부(30), 제2 검사부(31), 제1 보관부(27) 및 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하고 있다. 즉, 구체예를 들면, 제1 스태커 크레인(5)은, 다음과 같이 제1 반송원(S1)으로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 반송한다. The
도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 세정용 포트(12)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 검사부(30)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제2 세정용 포트(12)로부터 제1 검사부(30)에 대한 반송을 행한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 검사부(30)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제2 검사부(31)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 검사부(30)로부터 제2 검사부(31)에 대한 반송을 행한다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 검사부(31)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 보관부(27)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제2 검사부(31)로부터 제1 보관부(27)에 대한 반송을 행한다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)에 대한 반송을 행한다. 구체적으로는, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)의 용기(2)에 대한 반송을 행한다. 4, the
또한, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 검사부(31)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하여, 제2 검사부(31)로부터 반출용 포트(8)로 판형체(1)를 반송하는 경우 등도 있고, 제1 스태커 크레인(5)에 의해 판형체(1)가 반송되는 반송원과 반송처의 조합은 도시한 것에 한정되지 않는다. The
제2 스태커 크레인(6)은, 제2 반송원(S2)으로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 반송한다. 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7), 제1 세정용 포트(11), 제4 세정용 포트(14) 및 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 반출용 포트(8), 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13) 및 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)로 하고 있다. 그리고, 제2 스태커 크레인(6)은, 반출용 포트(8) 및 제2 보관부(28)를 제3 반송처로 하고 있고, 제2 반송처(G2) 중, 제4 세정용 포트(14)를 제2 반송원(S2)으로 한 경우에, 용기를 반송하는 앞으로 되는 포트나 보관부(26)를 제3 반송처로 하고 있다. The
즉, 구체예를 들면, 제2 스태커 크레인(6)은, 다음과 같이 제2 반송원(S2)으로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 반송한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송처(G2)로 하여, 용기(2)의 반입용 포트(7)로부터 제1 세정용 포트(11)에 대한 반송을 행한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송원(S2), 제3 세정용 포트(13)를 제2 반송처(G2)로 하여, 제1 세정용 포트(11)로부터 제3 세정용 포트(13)로 용기(2)를 반송한다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제4 세정용 포트(14)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)(제3 반송처)로 하여, 용기(2)의 제4 세정용 포트(14)로부터 제2 보관부(28)에 대한 반송을 행한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제2 반송처(G2)로 하여, 용기(2)의 제2 보관부(28)로부터 반출용 포트(8)에 대한 반송을 행한다. Specifically, for example, the
또한, 반입용 포트(7)에 용기(2)가 반입된 것의 제1 세정용 포트(11)에 다른 용기(2)가 존재하는 등에 의해 반입용 포트(7)의 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로 반송할 수 없는 경우에는, 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)로 하여, 반입용 포트(7)로부터 제2 보관부(28)로 용기(2)를 반송한다. 그리고, 상기 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로 반송 가능하게 되었을 경우에, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송처(G2)로 하여, 제2 보관부(28)로부터 제1 세정용 포트(11)로 용기(2)를 반송한다. 이와 같이, 제2 스태커 크레인(6)에 의해 용기(2)가 반송되는 반송원과 반송처의 조합은 도시한 것에 한정되지 않는다. The
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제어부(H)가 구비되어 있다. 다음과 같이 하여 판형체(1) 및 용기(2)를 반송하기 위해, 제어부(H)에 의해 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)이 제어된다. As shown in Fig. 1, the product transporting facility is provided with a control section H for controlling the first and
도 3에 가상선(2점 쇄선)과 나타낸 바와 같이, 반입용 컨베이어(19)에 의해 반입용 포트(7)에 용기(2)가 반입된다. 이 반입용 포트(7)에 반입된 용기(2)는 세정 전의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 세정 전의 판형체(1)가 수용되어 있다. 그리고, 제어부(H)는, 반입용 포트(7)에 반입된 용기(2)를 반입용 포트(7)로부터 제1 세정용 포트(11)로 반송(도 3 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제1 용기 반송 제어를 실행한다. 제1 세정용 포트(11)로 반송된 용기(2)는, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 반송된 후, 제1 세정기(CL1)의 로봇(도시하지 않음)에 의해 용기(2)로부터 판형체(1)가 인출되어, 판형체(1)가 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된다. 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)는, 제1 세정기(CL1)의 로봇에 의해, 제2 세정용 컨베이어(22) 상에 탑재하고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 세정용 컨베이어(22)에 의해 제2 세정용 포트(12)로 반송된다. 판형체(1)가 모두 인출된 용기(2)는, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 세정용 포트(11)로 반송된다. The
제어부(H)는, 제1 세정용 포트(11)의 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로부터 제3 세정용 포트(13)로 반송(도 5 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제2 용기 반송 제어를 실행한다. 이 제2 용기 반송 제어에 의해 제2 스태커 크레인(6)에 의해 반송되는 용기(2)는 세정 전의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 판형체(1)는 수용되어 있지 않다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제3 세정용 포트(13)로 반송된 세정 전의 용기(2)는, 제3 세정용 컨베이어(23)에 의해 제2 세정기(CL2) 내로 반송되고, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된다. 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된 후의 세정 후의 용기(2)는, 제4 세정용 컨베이어(24)에 의해 제4 세정용 포트(14)로 반송된다. 5) so that the
제어부(H)는, 제4 세정용 포트(14)의 용기(2)를 제4 세정용 포트(14)로부터 제2 보관부(28)로 반송(도 6 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제3 용기 반송 제어를 실행한다. 그리고, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하여 용기(2)를 반출하는 경우에, 제어부(H)는, 제2 보관부(28)로부터 반출용 포트(8)로 반송(도 7 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제4 용기 반송 제어를 실행한다. 이 제3 용기 반송 제어나 제4 용기 반송 제어에 의해 제2 스태커 크레인(6)에 의해 반송되는 용기(2)는 세정 후의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 판형체(1)는 수용되어 있지 않다. The control section H controls the second stacker crane (not shown) so that the
제어부(H)는, 제2 세정용 포트(12)의 판형체(1)를 제2 세정용 포트(12)로부터 제1 검사부(30)로 반송(도 4 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제1 판형체 반송 제어를 실행한다. 제어부(H)는, 제1 검사부(30)에서의 검사가 종료된 판형체(1)를 제1 검사부(30)로부터 제2 검사부(31)로 반송(도 5 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제2 판형체 반송 제어를 실행한다. 제어부(H)는, 제2 검사부(31)에서의 검사가 종료된 판형체(1)를 제2 검사부(31)로부터 제1 보관부(27)로 반송(도 6 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제3 판형체 반송 제어를 실행한다. 그리고, 제어부(H)는, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하여 용기(2)를 반출하는 경우에, 제1 보관부(27)의 판형체(1)를 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)로 반송(도 8 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제4 판형체 반송 제어를 실행한다. 제1 판형체 반송 제어, 제2 판형체 반송 제어, 제3 판형체 반송 제어 및 제4 판형체 반송 제어에 의해 제1 스태커 크레인(5)에 의해 반송되는 판형체(1)는, 세정 후의 판형체(1)이다. 그리고, 제4 판형체 반송 제어에서는, 제1 스태커 크레인(5)에 의해 반출용 포트(8)에 판형체(1)를 반송하는 경우에 있어서, 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 반출용 포트(8)로 반송한다. The control section H controls the
2. 그 외의 실시형태2. Other Embodiments
다음에, 물품 반송 설비의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다. Next, another embodiment of the article transporting facility will be described.
(1) 상기 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)를, 제2 세정용 포트(12)에 대하여 제1 방향 Y1 측에 설치했지만, 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)의 설치 위치는 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 제1 세정용 포트(11)를, 제2 세정용 포트(12)에 대하여 제2 방향 Y2로 설치해도 되고, 또한 상하 방향 Z에서 볼 때 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)를 중첩되도록 설치하여, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)를 배열 방향 Y와 같은 위치에 설치해도 된다. 그리고, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)의 설치 위치, 및 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)의 설치 위치에 대하여도, 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)와 마찬가지로, 적절히 변경해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 제4 세정용 포트(14)를, 제3 세정용 포트(13)와는 별개로 설치했지만, 제3 세정용 포트(13)에 제4 세정용 포트(14)의 기능을 구비하게 하여, 제3 세정용 포트(13)를 제4 세정용 포트(14)와 공용해도 된다. 또한, 반출용 포트(8)를, 반입용 포트(7)와는 별개로 설치했지만, 반입용 포트(7)에 반출용 포트(8)의 기능을 구비하게 하여, 반입용 포트(7)를 반출용 포트(8)와 공용해도 된다. (1) In the above embodiment, the
(2) 상기 실시형태에서는, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 반출용 포트(8)로 반송하도록 하여, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하였으나, 다른 구성에 의해 판형체(1)를 용기(2)에 수용해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 반출용 포트(8)와는 별개로 용기 수용용 포트를 구비하여, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 용기 수용용 포트로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 용기 수용용 포트에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 용기 수용용 포트로 반송하도록 해도 된다. 이 경우, 제2 스태커 크레인(6)에 의해 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 용기 수용용 포트로부터 반출용 포트(8)로 반송한다. 또한, 예를 들면, 반출용 포트(8)와는 별개로 판형체용 포트를 구비하여, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 판형체용 포트로 반송한다. 그리고, 별도 구비한 수용 로봇에 의해, 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록, 판형체(1)를 판형체용 포트로부터 반출용 포트(8)로 반송하도록 해도 된다. (2) In the above-described embodiment, the
(3) 상기 실시형태에서는, 제1 스태커 크레인(5)을, 판형체(1)의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하도록 구성하였지만, 제1 스태커 크레인(5)에서의 판형체(1)를 지지하는 구성은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 제1 스태커 크레인(5)을, 판형체(1)의 상면을 흡착함으로써 판형체(1)를 위쪽으로부터 지지하도록 구성해도 된다. (3) In the above-described embodiment, the
제2 스태커 크레인(6)을, 용기(2)의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하도록 구성하였지만, 제2 스태커 크레인(6)에서의 용기(2)를 지지하는 구성은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 제2 스태커 크레인(6)을, 용기(2)의 상부를 지지하여 용기(2)를 현수(懸垂)하도록 지지해도 된다. The
(4) 상기 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 가장 제1 방향 Y1 측에 위치하는 포트보다 제1 방향 Y1으로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제1 보관부(27)만을 설치했지만, 가장 제1 방향 Y1 측에 위치하는 포트보다 제1 방향 Y1으로, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28)와의 양쪽을 설치해도 된다. 또한, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 가장 제2 방향 Y2 측에 위치하는 포트보다 제2 방향 Y2로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제2 보관부(28)만을 설치했지만, 가장 제2 방향 Y2 측에 위치하는 포트보다 제2 방향 Y2으로, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28)와의 양쪽을 설치해도 된다. (4) In the above embodiment, the
(5) 상기 실시형태에서는, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를, 제2 스태커 크레인(6)이 용기(2)를 받아건넴 가능한 위치에 설치했지만, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 설치하는 위치는 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 벽체(W)의 외부에 설치하여, 세정 전에 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로부터 반출하고, 그 반출용 포트(8)로부터 반출한 용기(2)를 외부의 반송 장치에 의해 제3 세정용 포트(13)로 반송하는 동시에, 세정 후에, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 외부의 반송 장치에 의해 제4 세정용 포트(14)로부터 반송하여, 상기 용기(2)를 반입용 포트(7)로부터 반입하도록 해도 된다. 또한, 제2 세정기(CL2), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 구비하지 않아도 된다. (5) In the above embodiment, the
(6) 상기 실시형태에서는, 물품을 포토마스크로 하였으나, 웨이퍼 등의 다른 판형체(1)라도 되고, 또한 물품의 형상으로서는, 판형 이외에 입방체형이나 둥근 막대형 등의 다른 형상이라도 된다. (6) In the above embodiment, the article is a photomask, but it may be another
(7) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다. (7) The configurations disclosed in the above-described respective embodiments may be applied in combination with the configurations disclosed in the other embodiments, unless a contradiction occurs. As for the other configurations, the embodiments disclosed in this specification are merely examples in all respects. Accordingly, various modifications can be appropriately made without departing from the spirit of the present disclosure.
3. 상기 실시형태의 개요3. Outline of the above embodiment
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다. Hereinafter, the outline of the above-described article transporting facility will be described.
물품 반송 설비는, 물품을 수용한 상기 용기가 반입되는 반입용 포트와, 상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트와, 상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트와, 상기 물품을 반송하는 제1 반송 장치와, 상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비하고, 상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로의 반송을 행하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행한다. The article transporting apparatus includes a carry-in port into which the container containing the article is carried, and a container which is provided at a position corresponding to the first cleaner for cleaning the article and accommodates the article before being cleaned by the first cleaner A second cleaning port provided at a position corresponding to the first cleaner and supporting the article after being drawn out of the container and cleaned by the first cleaner; And a second transporting device for transporting the container, wherein the second cleaning port is provided separately from the first cleaning port, and the second transporting device is provided separately from the first cleaning port, The container is transported from the loading port to the first cleaning port and the container is transported from the first cleaning port to the second transportation destination after the article is drawn out, Apparatus performs the transfer of cheoro first transfer from the
이와 같은 구성에 의해, 반입용 포트에 반입된 용기는, 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 이 때 제2 반송 장치에 의해 반송되는 용기에는, 제1 세정기에 세정되기 전의 물품이 수용되어 있다. 그리고, 물품에 대하여는, 제1 세정용 포트에 위치하는 용기로부터 인출되어 제1 세정기에 의해 세정된 후, 제2 세정용 포트에 탑재된다. 그리고, 이 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로 반송된다. 또한, 물품이 인출되어 비어 있었던 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로 반송된다. With this configuration, the container carried in the carry-in port is transported from the carry-in port to the first cleaning port by the second transfer device. At this time, the container conveyed by the second conveyance apparatus contains the article before being cleaned by the first cleaner. The product is drawn out from the container located in the first cleaning port, and is then cleaned by the first cleaner, and then mounted on the second cleaning port. Then, the cleaned product is transported from the second cleaning port to the first transportation destination by the first transportation device. Further, the container from which the article is drawn out and is empty is transported from the first cleaning port to the second transporting destination by the second transporting device.
제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품은, 용기에 수용된 상태로 반입용 포트에 반입되고, 용기에 수용된 상태로 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 그리고, 제1 세정기에 의해 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제1 반송 장치는, 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품을 반송하지 않고, 세정된 후의 물품의 반송만을 행하므로, 세정되기 전의 물품을 반송함으로써 오염된 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 물품을 반송함으로써, 세정한 후의 물품이 오염된다는 것을 회피할 수 있다. The article before being cleaned by the first cleaner is carried into the carry-in port while being accommodated in the container, and is transported from the carry-in port to the first cleaning port by the second transfer device while being accommodated in the container. Then, the article that has been cleaned by the first cleaner is transported from the second cleaning port to the transport destination by the first transport device. As described above, the first conveying device does not convey the article before being cleaned by the first cleaner, but only carries the article after it has been cleaned. Therefore, the article before cleaning is conveyed to clean the article by the contaminated second conveying device It is possible to avoid that the article after cleaning is contaminated.
또한, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제2 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 용기를 지지하는 제3 세정용 포트와, 상기 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제2 세정기에 의해 세정된 후의 상기 용기를 지지하는 제4 세정용 포트를 더 구비하고, 상기 제4 세정용 포트는, 상기 제3 세정용 포트와는 별개로 설치되거나, 또는 상기 제3 세정용 포트와 공용되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 상기 제2 반송처로서의 상기 제3 세정용 포트로의 반송, 및 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로의 반송을 행하는 것이 바람직하다. A third cleaning port provided at a position corresponding to a second cleaner for cleaning the container after the article is drawn out and supporting the container before being cleaned by the second cleaner; And the fourth cleaning port is provided separately from the third cleaning port, or the fourth cleaning port is provided separately from the third cleaning port, or the fourth cleaning port is provided separately from the third cleaning port, Or the third cleaning port, and the second transporting device transports the container from the first cleaning port of the container after the article is taken out to the third cleaning port as the second transportation destination, And carrying the container from the fourth cleaning port to the third transportation destination.
이 구성에 의하면, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제3 세정용 포트로 반송되어 제2 세정기에 의해 세정된 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제2 세정기에 의해 용기를 세정할 수 있는 동시에, 상기 용기를, 제2 반송 장치에 의해 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로 반송함으로써, 반송 장치를 별개로 구비하는 경우와 비교하여, 물품 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. According to this configuration, the container, which is transported from the first cleaning port to the third cleaning port by the second transport device and cleaned by the second cleaner, is transported by the second transport device from the fourth cleaning port 3 Returned to the destination. As described above, the container can be cleaned by the second cleaner, and the container is transported from the fourth cleaning port to the third transport destination by the second transport device, as compared with the case where the container is separately provided , It is possible to simplify the configuration of the article transporting facility.
여기서, 상기 제1 세정기와 상기 제2 세정기가 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에서의 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여, 상기 제1 반송 장치 및 상기 제2 반송 장치 각각은, 상기 배열 방향으로 이동 가능하게 구성되며, 상기 제1 반송 장치는, 상기 제2 반송 장치에 대하여 상기 제1 방향 측에 있고, 상기 제1 반송 장치의 이동 경로와 상기 제2 반송 장치의 이동 경로가, 상기 배열 방향으로 중첩되는 부분을 가지면 바람직하다. Here, a direction in which the first cleaner and the second cleaner are arranged is an arrangement direction, and a direction in which the first cleaner exists is referred to as a first direction, and a direction opposite to the first direction is defined as a direction The first transfer device and the second transfer device are configured to be movable in the arranging direction in two directions, and the first transfer device is located on the first direction side with respect to the second transfer device , It is preferable that the moving path of the first conveying device and the moving path of the second conveying device have a portion overlapping in the arrangement direction.
이 구성에 의하면, 제1 반송 장치의 이동 경로와 제2 반송 장치의 이동 경로에서 배열 방향으로 중첩되는 부분에 반송처를 설치함으로써, 제1 반송 장치와 제2 반송 장치에서 같은 반송처로 물품이나 용기를 반송할 수 있다. 그러므로, 예를 들면, 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 용기를 반송처로 반송하고, 세정한 후의 물품을, 반송처에 위치하는 용기에 수용하도록 반송처로 반송할 수도 있다. 이와 같이, 사용 편리성이 우수한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다. According to this configuration, by arranging the conveying destination in a portion overlapping in the arranging direction in the moving path of the first conveying device and the moving path of the second conveying device, it is possible to arrange the conveying device in the first conveying device and the second conveying device, Can be returned. Therefore, for example, the container after being cleaned by the second conveyance device may be returned to the conveyance destination, and the cleaned article may be conveyed to the conveyance destination so as to be accommodated in the container placed in the conveyance destination. In this way, it is possible to provide an article carrying facility with excellent usability.
또한, 상기 물품을 보관하기 위한 제1 보관부와, 상기 용기를 보관하기 위한 제2 보관부를 더 구비하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 상기 제1 반송처로서의 상기 제1 보관부로의 반송도 행하고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 상기 제3 반송처로서의 상기 제2 보관부로의 반송도 행하는 것이 바람직하다. The apparatus according to
이 구성에 의하면, 세정 후의 물품을 제1 보관부에 보관할 수 있고, 세정 후의 용기를 제2 보관부에 보관할 수 있다. 그리고, 세정 후의 물품을 세정 후의 용기에 수용하는 경우로서, 물품의 세정이 완료되는 타이밍과 용기의 세정이 완료되는 타이밍이 어긋난 경우 등에, 제1 보관부나 제2 보관부를, 물품이나 용기를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있다. According to this configuration, the article after cleaning can be stored in the first storage section, and the container after cleaning can be stored in the second storage section. In the case where the cleaned article is accommodated in the cleaned container, the first storage section and the second storage section may be arranged so as to temporarily store the article or the container in a case where the cleaning timing of the article is completed, And can be used as a buffer for storing.
또한, 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여, 상기 제1 세정용 포트와 상기 제2 세정용 포트와 상기 제3 세정용 포트와 상기 제4 세정용 포트와 상기 반입용 포트 중, 상기 제2 세정용 포트가 가장 상기 제1 방향 측에 설치되는 동시에 상기 제4 세정용 포트가 가장 상기 제2 방향 측에 설치되고, 상기 제2 세정용 포트보다 상기 제1 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제1 보관부만이 설치되고, 상기 제4 세정용 포트보다 상기 제2 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제2 보관부만이 설치되어 있는 것이 바람직하다. The first cleaning port, the second cleaning port, the third cleaning port, and the second cleaning port may be arranged such that the direction in which the first cleaner exists in the first direction and the opposite direction is the second direction, The fourth cleaning port, and the second cleaning port are provided in the most first direction side and the fourth cleaning port is provided at the most side in the second direction, Only the first storage portion of the first storage portion and the second storage portion is provided in the first direction with respect to the second cleaning port, and in the second direction than the fourth cleaning port, It is preferable that only the second storage portion among the first storage portion and the second storage portion is provided.
이 구성에 의하면, 배열 방향에 있어서, 제1 보관부와 제2 보관부와의 사이에 제1 세정용 포트와 제2 세정용 포트와 제3 세정용 포트와 제4 세정용 포트와 반입용 포트를 설치함으로써, 이들 포트를 집약하여 설치할 수 있다. 그러므로, 포트로부터 다른 포트로 물품이나 용기를 반송할 때, 물품이나 용기를 효율적으로 반송할 수 있다. 또한, 가장 제1 방향 측에 설치된 제2 세정용 포트보다 제1 방향으로는, 물품을 보관하기 위한 제1 보관부만이 설치되어 있으므로, 용기를 반송하기 위한 제2 반송 장치를 제2 세정용 포트로부터 제1 방향으로 이동하지 않도록 하여, 제2 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있다. 또한, 가장 제2 방향 측에 설치된 제4 세정용 포트보다 제2 방향으로는, 용기를 보관하기 위한 제1 보관부만이 설치되어있으므로, 물품을 반송하기 위한 제1 반송 장치를 제4 세정용 포트보다 제2 방향으로 이동하지 않도록 하여, 제1 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있다. 이와 같이, 제1 반송 장치 및 제2 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있으므로, 제1 반송 장치에 의한 물품의 반송이나 제2 반송 장치에 의한 용기의 반송을 효율적으로 행할 수 있다. According to this configuration, in the arrangement direction, a first cleaning port, a second cleaning port, a third cleaning port, a fourth cleaning port, and a carry-in port are provided between the first storage portion and the second storage portion, It is possible to collectively install these ports. Therefore, when the article or the container is transported from the port to another port, the article or the container can be efficiently transported. In addition, since only the first storage portion for storing the article is provided in the first direction than the second cleaning port provided on the side facing the first direction, the second transport device for transporting the container is used for the second cleaning It is possible to shorten the movement path of the second transport apparatus by preventing movement in the first direction from the port. Further, since only the first storage portion for storing the container is provided in the second direction than the fourth cleaning port provided in the second direction side, the first transport device for transporting the article is the fourth cleaning device It is possible to shorten the movement path of the first transportation device. In this manner, since the movement path of the first transfer device and the second transfer device can be shortened, the conveyance of the article by the first conveyance device and the conveyance of the container by the second conveyance device can be efficiently performed.
또한, 상기 물품을 수용한 상기 용기를 반출하기 위한 반출용 포트를 더 구비하고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 제2 세정기에 의해 세정되고, 또한 상기 물품을 수용하고 있지 않은 상기 용기를 상기 반출용 포트로 반송하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 제1 세정기에 의해 세정된 상기 물품을 상기 반출용 포트에 위치하는 상기 용기에 수용시키도록 상기 물품을 상기 반출용 포트로 반송하면 바람직하다. Further, it is preferable that the apparatus further comprises a carry-out port for taking out the container containing the article, and the second transfer device is a device for transferring the container, which is cleaned by the second cleaner, And the first transport device transports the article to the carry-out port so that the article cleaned by the first cleaner is accommodated in the container placed in the carry-out port.
이 구성에 의하면, 제2 반송 장치에 의해, 물품을 수용하고 있지 않은 용기를 반출용 포트로 반송하여 두고, 그 용기에 물품을 수용시키도록, 제1 반송 장치에 의해, 세정된 후의 물품을 반출용 포트로 반송한다. 이와 같이, 반출용 포트를 이용하여 용기에 물품을 수용함으로써, 예를 들면, 반출용 포트 이외의 장소에서, 세정한 후의 물품을 용기에 수용한 경우와 같이, 물품을 수용한 용기를 반출용 포트로 반송한다는 반송 처리가 불필요하므로, 용기를 효율적으로 반출할 수 있다. According to this configuration, the container that does not contain the article is transported to the unloading port by the second transport device, and the article after being cleaned is taken out by the first transport device so as to be accommodated in the container Port. As described above, when the container is accommodated in the container using the unloading port, for example, as in the case where the washed article is accommodated in the container at a place other than the unloading port, So that the container can be efficiently taken out.
[산업 상의 이용 가능성][Industrial Availability]
본 개시에 관한 기술은, 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트에 물품이나 용기를 반송하는 물품 반송 설비에 이용할 수 있다. The technology relating to the present disclosure can be used for an article transporting apparatus that transports an article or a container to a port provided at a position corresponding to the scrubber.
1: 판형체(물품)
2: 용기
5: 제1 스태커 크레인(제1 반송 장치)
6: 제2 스태커 크레인(제2 반송 장치)
7: 반입용 포트
8: 반출용 포트
11: 제1 세정용 포트
12: 제2 세정용 포트
13: 제3 세정용 포트
14: 제4 세정용 포트
27: 제1 보관부
28: 제2 보관부
CL1: 제1 세정기
CL2: 제2 세정기
M1: 이동 경로
M2: 이동 경로
Y: 배열 방향
Y1: 제1 방향
Y2: 제2 방향1: plate (article)
2: container
5: First stacker crane (first transfer device)
6: second stacker crane (second transfer device)
7: Port for import
8: Port for export
11: First cleaning port
12: port for second cleaning
13: Third cleaning port
14: Fourth cleaning port
27: First storage part
28: Second storage section
CL1: First cleaner
CL2: Second cleaner
M1: Movement path
M2: Movement path
Y: Array direction
Y1: First direction
Y2: the second direction
Claims (6)
상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트;
상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트;
상기 물품을 반송(transport)하는 제1 반송 장치; 및
상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치;
를 포함하고,
상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고,
상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처(搬送處)에 대한 반송을 행하고,
상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행하는,
물품 반송 설비. A receiving port through which the container containing the article is carried;
A first cleaning port provided at a position corresponding to a first cleaner for cleaning the article and supporting the container containing the article before cleaning by the first cleaner;
A second cleaning port provided at a position corresponding to the first cleaner and supporting the article after being drawn out of the container and cleaned by the first cleaner;
A first transporting device for transporting the article; And
A second transporting device for transporting the container;
Lt; / RTI >
The second cleaning port is provided separately from the first cleaning port,
The second transfer device is configured to transfer the container from the loading port to the first cleaning port, the first cleaning port to the second transfer destination For example,
Wherein the first transporting device transports the article from the second cleaning port to the first transporting destination,
Goods returning equipment.
상기 물품이 인출된 후의 상기 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제2 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 용기를 지지하는 제3 세정용 포트; 및
상기 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제2 세정기에 의해 세정된 후의 상기 용기를 지지하는 제4 세정용 포트;를 더 포함하고,
상기 제4 세정용 포트는, 상기 제3 세정용 포트와는 별개로 설치되거나, 또는 상기 제3 세정용 포트와 공용되고,
상기 제2 반송 장치는, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 상기 제2 반송처로서의 상기 제3 세정용 포트로의 반송, 및 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로의 반송을 행하는, 물품 반송 설비. The method according to claim 1,
A third cleaning port provided at a position corresponding to a second cleaner for cleaning the container after the article is drawn out and supporting the container before being cleaned by the second cleaner; And
And a fourth cleaning port provided at a position corresponding to the second cleaner and supporting the container after being cleaned by the second cleaner,
The fourth cleaning port is provided separately from the third cleaning port or is shared with the third cleaning port,
Wherein the second transporting device transports the container from the first cleaning port of the container after the article is taken out to the third cleaning port as the second transportation destination, To the third conveyance destination.
상기 제1 세정기와 상기 제2 세정기가 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에 있어서의 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여,
상기 제1 반송 장치 및 상기 제2 반송 장치 각각은, 상기 배열 방향으로 이동 가능하게 구성되며,
상기 제1 반송 장치는, 상기 제2 반송 장치에 대하여 상기 제1 방향 측에 있고,
상기 제1 반송 장치의 이동 경로와 상기 제2 반송 장치의 이동 경로가, 상기 배열 방향으로 중첩되는 부분을 가지는, 물품 반송 설비. 3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein a direction in which the first cleaner and the second cleaner are arranged is an arrangement direction and a direction in which the first cleaner is present in the first cleaner with respect to the second cleaner in the arrangement direction is defined as a first direction, Direction,
Wherein each of the first transfer device and the second transfer device is configured to be movable in the arrangement direction,
Wherein the first transport device is located on the first direction side with respect to the second transport device,
Wherein the moving path of the first transporting device and the moving path of the second transporting device have portions overlapping in the arranging direction.
상기 물품을 보관하기 위한 제1 보관부; 및
상기 용기를 보관하기 위한 제2 보관부;를 더 포함하고,
상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 상기 제1 반송처로서의 상기 제1 보관부로의 반송도 행하고,
상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 상기 제3 반송처로서의 상기 제2 보관부로의 반송도 행하는, 물품 반송 설비. 3. The method of claim 2,
A first storage unit for storing the article; And
And a second storage unit for storing the container,
The first transport device also transports the article from the second cleaning port to the first storage section as the first transport destination,
Wherein the second transport device also transports from the fourth cleaning port of the container to the second storage section as the third transport destination.
상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여,
상기 제1 세정용 포트와 상기 제2 세정용 포트와 상기 제3 세정용 포트와 상기 제4 세정용 포트와 상기 반입용 포트 중, 상기 제2 세정용 포트가 가장 상기 제1 방향 측에 설치되는 동시에 상기 제4 세정용 포트가 가장 상기 제2 방향 측에 설치되고,
상기 제2 세정용 포트보다 상기 제1 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제1 보관부만이 설치되고,
상기 제4 세정용 포트보다 상기 제2 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제2 보관부만이 설치되어 있는, 물품 반송 설비. 5. The method of claim 4,
The first cleaner is disposed in a first direction, and the opposite direction is a second direction, with respect to the second cleaner,
Wherein the first cleaning port, the second cleaning port, the third cleaning port, the fourth cleaning port, and the carry-in port are provided with the second cleaning port at the most side of the first direction At the same time, the fourth cleaning port is provided closest to the second direction,
Only the first storage portion of the first storage portion and the second storage portion is provided in the first direction than the second cleaning port,
Wherein only the second storage portion of the first storage portion and the second storage portion is provided in the second direction than the fourth cleaning port.
상기 물품을 수용한 상기 용기를 반출(搬出)하기 위한 반출용 포트를 더 포함하고,
상기 제2 반송 장치는, 상기 물품을 수용하고 있지 않은 상기 용기를 상기 반출용 포트로 반송하고,
상기 제1 반송 장치는, 상기 제1 세정기에 의해 세정된 상기 물품을 상기 반출용 포트에 위치하는 상기 용기에 수용시키도록 상기 물품을 상기 반출용 포트로 반송하는, 물품 반송 설비. 3. The method according to claim 1 or 2,
Further comprising a carry-out port for carrying out the container containing the article,
The second transfer device transfers the container that does not contain the article to the carry-out port,
Wherein the first transporting device transports the article to the carry-out port so that the article cleaned by the first cleaner is accommodated in the container positioned in the carry-out port.
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